JP5144675B2

JP5144675B2 - マイクロ流体装置の作製方法および得られた装置

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Publication number: JP5144675B2
Application number: JP2009539280A
Authority: JP
Inventors: タンギュイ，ロナン
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Priority date: 2006-11-30
Filing date: 2007-11-26
Publication date: 2013-02-13
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Description

本発明は、一般に、化学処理に有用なマイクロ流体装置、特に、２つ以上の基板の間の容積に、凹部または流路を画成する、構造化された、固結されたフリットの形状をしているマイクロ流体装置に関する。

本明細書で理解されるマイクロ流体装置は、一般に、サブミリメートル〜１ミリメートルの範囲の寸法を、典型的には少なくとも１つ、一般的には２つ以上有する、流体の流路またはチャンバーを含む装置である。マイクロ流体装置は、難しい、危険な、または、他の方法では不可能な化学反応および処理を、安全で効率的、かつ環境に配慮した方法で行なうのに有用でありうる。

２つ以上の基板の間の容積に、凹部または流路を画成する、構造化された、固結されたフリットの形状をしたマイクロ流体装置は、たとえば特許文献１の「マイクロ流体装置およびその製造方法（Microfluidic Device and Manufacture Thereof）」および関連特許または特許出願公開公報に開示されるとおり、本発明者らの同僚らによる先行研究において開発された。そこに開示される方法は、第１の基板を提供し、第２の基板を提供し、前記第１の基板の接面に第１のフリット構造を形成し、前記第２の基板の接面に第２のフリット構造を形成し、前記第１および第２の基板の間に、固結されたフリットで画成された凹部を形成するように、前記第１の基板および前記第２の基板、並びに、前記第１および第２のフリット構造を一緒に、接面を互いの方向に向けて、固結する、各工程を含む、さまざまな工程を有してなる。

米国特許第６，７６９，４４４号明細書

よって、開示された製造方法は、そこに開示されるタイプの装置の製造には有用であるが、このような装置を製造する方法の効率、特に生産率を高めることが望まれるようになった。

本発明の１つの態様は、マイクロ流体装置を作製する方法であって、
第１および第２の基板を提供し、
前記第１の基板上に第１のフリット構造を、および、前記第２の基板上に第２のフリット構造を形成し、
前記第１および第２の基板間に固結されたフリットで画成された凹部、および、固結されたフリットで囲まれた凹部を形成するために、前記第１および第２の基板を一緒に、接面を互いの方向に向けて、固定することにより、
マイクロ流体装置を作製し、
ここで、前記第２の基板が、少なくとも１つの予備形成された貫通孔を有し、
前記第２のフリット構造を形成する工程が、前記基板、並びに前記第１および第２のフリット構造を一緒に固結する際に、前記凹部を囲む前記固結されたフリットに接続する、固結されたフリットの内部表面を有する貫通孔を生ずるのに十分な薄さで、前記貫通孔の内部表面を被覆する、前記貫通孔内のフリット層を形成する工程を含むことを特徴とする、方法である。

本発明の別の態様は、マイクロ流体装置であって、
固結されたフリット、第１の基板、および第２の基板を含み、
前記固結されたフリット、前記第１の基板、および前記第２の基板が、前記固結されたフリットを介して互いに付着し、
前記固結されたフリットが、少なくとも、前記第１および第２の基板間の第１の凹部を囲み、
前記第１の凹部が、前記第２の基板を貫通して延在する貫通孔と流体連通する、
マイクロ流体装置に関し、
ここで、前記貫通孔は、前記凹部を囲む前記固結されたフリットに接続する、固結されたフリットで覆われ、前記装置の内部で単一の材料界面を提供する。

本発明のさらなる特性および利点は、以下の詳細な説明に記載され、また一部は、その記載から当業者には容易に明らかとなり、あるいは、以下の詳細な説明、特許請求の範囲、および添付の図面を含む、本願に記載される発明の実施によって認識されるであろう。

前記の概要および以下の詳細な説明は、本発明の実施の形態を表すものであり、特許請求の範囲に記載される本発明の性質および特徴を理解するための外観または骨組みを提供することを意図するものと解されるべきである。添付の図面は、本発明のさらなる理解を提供することを目的として含まれ、また、本明細書に取り込まれ、その一部を構成するものである。図面は、本発明のさまざまな実施の形態を例証し、説明と共に、本発明の原理および操作を説明する役割をする。

本発明の装置のある実施の形態を形成するために、本発明の方法のある実施の形態に従って製造された基板の断面図。本発明の装置のある実施の形態を形成するために、本発明の方法のある実施の形態に従って製造された基板の断面図。本発明の装置のある実施の形態を形成するために、本発明の方法のある実施の形態に従って製造された基板の断面図。本発明の装置のある実施の形態を形成するために、本発明の方法のある実施の形態に従って製造された基板の断面図。本発明の装置のある実施の形態を形成するために、本発明の方法のある実施の形態に従って製造された基板の断面図。本発明の方法のある実施の形態によって製造されうる、本発明の装置の別の実施の形態の断面図。本発明の方法の実施の形態の１つの態様に従って製造された基板の断面図。本発明の方法の実施の形態の１つの態様に従って製造された基板の断面図。本発明の方法の実施の形態の１つの態様に従って製造された基板の断面図。本発明の方法の実施の形態の別の態様に従って製造された基板の断面図。本発明の方法の実施の形態の別の態様に従って製造された基板の断面図。図３Ａ〜３Ｃおよび／または図４Ａ〜４Ｂに示す方法の態様によって製造されうる、本発明の装置の別の実施の形態の一部の断面図。本発明の方法の実施の形態の別の２つの態様に従って製造された基板の断面図。本発明の方法の実施の形態の別の２つの態様に従って製造された基板の断面図。本発明の方法の実施の形態の別の２つの態様に従って製造された基板の断面図。本発明の方法の実施の形態の別の２つの態様に従って製造された基板の断面図。本発明の方法の実施の形態の別の２つの態様に従って製造された基板の断面図。本発明の方法の実施の形態のさらに別の態様に従って製造された基板の断面図。本発明の方法の実施の形態のさらに別の態様に従って製造された基板の断面図。本発明の方法の実施の形態のさらに別の態様に従って製造された基板の断面図。外部基板の貫通孔における、十分に薄いフリット層の固結前後の特性を示す断面図。外部基板の貫通孔における、やや厚すぎるフリット層の固結前後の特性を示す断面図。外部基板の貫通孔における、顕著に厚すぎるフリット層の固結前後の特性を例証する断面図。内部基板の貫通孔における、十分に薄いフリット層の固結前後の特性を示す断面図。内部基板の貫通孔における、やや厚すぎるフリット層の固結前後の特性を示す断面図。内部基板の貫通孔における、顕著に厚すぎるフリット層の固結前後の特性を例証する断面図。最終的または完全な固結前の、本発明の方法の実施の形態に従って製造した、マイクロ流体装置基板の貫通孔の濃淡のデジタル写真。最終的または完全な固結後の、図１４のマイクロ流体装置基板の貫通孔の濃淡のデジタル写真。

本発明の好ましい実施の形態について、以下、詳細に述べ、その例を添付の図面に例示する。できるかぎり、同一または同様の部分についての参照を目的として、図面全体を通して同一の参照番号を用いる。

図１Ａ〜１Ｅは、本発明の装置の実施の形態を形成することを目的とした、本発明の方法の実施の形態に従って処理した基板１０２および１０４の断面図である。

本発明は、有機または他の結合剤または任意の他の適切な手段などによって、形成工程の前後（prior after）において、フリットが、ある程度、凝集することを意味する、結合したフリットの形成および処理を含む。本発明はまた、
焼結または任意の他の適切な手段などによる、フリット材料の最終的な緻密化および固形化を意味する、固結されたフリット、またはフリットの固結をも含む。フリットのある程度の固結とは、最終的な固結された状態の方へとある程度だけ移動するように、フリットを処理することを意味する。

図１Ａは、第１および第２のむき出しの（bare）基板１０２および１０４を示している。第１および第２の基板１０２および１０４は、平面的であることが望ましい。それらは、ガラス、ガラス・セラミック、およびセラミック材料など、さまざまな適切な材料であって差し支えない。フリット材料およびフリットの固結処理と、合理的に良好に適合するように、より低いＣＴＥおよび、より高い熱伝導率が一般的には望ましい。検査、検出、および屈折率のモニタにとっては、透明性もまた望ましい。図の特定の断面図では、第２の基板１０４を貫通して延在する、１つの貫通孔１０８が存在する。

図１Ｂは、成形処理などによって、固定されたフリット構造２０２および２０４が、各基板上に形成された後の第１および第２の基板１０２および１０４を示す。固定されたフリット構造は、図において方向付けられたように、基板１０２および１０４の上面３０２および３０４上に形成されているが、その方向は、要望に応じて、形成または関連処理の間に、変えてもよい。表面３０２および３０４は、結果として得られる装置の最終的な形態において互いに向き合うであろうことから、表面３０２および３０４は、基板１０２および１０４の接面と称して差し支えない。図１の実施の形態のフリット構造２０４は、貫通孔１０８の内部表面上に配置されるフリットの層３０８を備えている。

図１Ｃは、フリットを、デバインディング、またはある程度デバインディング、もしくはある程度固結させた後の基板１０２および１０４上のフリット構造２０２および２０４を示している。

図１Ｄは、焼結などによって最終的に固結するために、互いに接触して積み重ねられた、デバインディングされた、またはある程度デバインディングされた、もしくはある程度固結された、フリット構造２０２および２０４を示している。デバインディング、またはある程度デバインディング、もしくは、他のある程度の固結は、適切な条件下で、フリット構造の強度および密着性を向上させることができる。あるいは、形成されたままの（デバインディングされていない、またはある程度の固結がされていない）フリット構造が、互いに積み重ねられ、１つの工程または連続した工程において、デバインディングされ、および／または、ある程度固結されてもよい。

図１Ｅは、焼結などによって最終的に固結した後の基板１０２および１０４、並びにフリット構造２０２および２０４を示している。第１および第２の基板１０２および１０４の間に、１つ以上の固結されたフリットで画成された凹部１１０が形成されるように、フリット構造２０２および２０４が、基板１０２および１０４に、かつ、互いに、固結される。結果として得られるマイクロ流体装置１０は、固結されたフリット２０２および２０４、並びに第１の基板１０２および第２の基板１０４を備え、そのすべてが、固結されたフリット２０２および２０４を介して一緒に付着している。固結されたフリット２０２、２０４によって画成された、第１および第２の基板１０２および１０４の間の少なくとも１つの凹部１１０は、第２の基板１０４を貫通して延在する貫通孔１０８と流体連通し、層３０８から生じた、固結されたフリット２０２、２０４の部分は、関連する第１の凹部１１０の内部表面および貫通孔１０８の内部表面が固結されたフリットで形成されるように、かつ、貫通孔１０８を覆う固結されたフリットが、凹部１１０を覆う固結されたフリットに接続するように、位置決めされる。

図２は、本発明の方法の実施の形態によって製造されうる、本方法の装置の別の実施の形態の断面図である。特に、図２は、２つ以上の基板を使用しうることを例証している。図におけるマイクロ流体装置１０では、３つの基板１０２、１０４、および１０６が存在し、結果として得られた固結されたフリットが、第１および第２の基板１０２、１０４の間の１つの凹部１１０と、第２および第３の基板１０４、１０６の間の第２の凹部１１１とを画成する。第１の凹部１１０および第２の凹部１１１は、貫通孔１０８を通じて流体連通し、層３０８に対応する層から生じた固結されたフリット部分は、第１の凹部１１０、第２の凹部１１１、および貫通孔１０８の各内部表面がすべて連続した固結されたフリットを形成するように位置決めされる。本発明の方法から得られた構造は、幾つかの基板に並行して延在して差し支えない。

本発明の方法に従って、貫通孔を含む基板を提供する工程は、本タイプのマイクロ流体装置の生産の製造歩留まりおよび関連するコストを非常に改善する。孔が既に存在する基板を提供することにより、穿孔により生じる破損の最も重大な危険性の１つが、本方法の第１の工程に、またはその直前に移行する。よって、所定の基板上にフリットを形成する工程への投資が、穿孔の間に基板の破損によって失なわれる危険がない。さらには、未焼成体（green）またはデバインディングされたが固結されていないフリット構造の存在下で、穿孔による小片または破片が生じないという点において、前の工程に関連する、不純物混入または不均質性および内包物の潜在的発生源が除去される。

さらには、本発明の工程または方法により、図１Ｅのような外側、および図２のような装置内の両方において、固結されたフリットで覆われた貫通孔の生成も可能になる。これは、ガラス、セラミック、またはガラス・セラミック、もしくは他の材料から選択される材料を使用した、２つ以上の基板または下盤（floors）であって、間隙を介した、連続した基板または下盤の間の固結されたガラスまたはガラス・セラミックのフリットによって、一緒に付着した基板または下盤を備え、かつ、装置の内部表面が固結されたフリットに完全に覆われるようにコーティングが形成されると共に、装置内の流路を画成する、フリットを形成する壁を備えた、マイクロ流体装置の製造を可能にする。よって、同様の材料を用いたすべての装置よりも高い性能を有する装置を製造することを目的として、基板およびフリットの材料および特性を、ある程度、独立して選択することができる。例えば、フリットは、一般に、化学耐性について、または特定の反応条件下で、最適化されうる一方で、１つ以上の基板は、最も高い熱伝導率について選択されうる。

１つ以上の貫通孔１０８を覆う層３０８は、さまざまな方法で生成されうる。例えば、図３Ａおよび３Ｂに示されるように、フリット構造２０４を形成することため、貫通孔１０８を、固定した（bound）フリットで充填して差し支えない。貫通孔１０８に充填する間、基板１０４の反対側にフリットを備えるため、接着フィルムまたは他の被覆材（backing material）１２０を用いてもよい。形成後、形成されたままの固定されたフリットが十分な強度を有している場合は、結果として充填された貫通孔に穿孔して差し支えなく、結果的に、その上にフリット構造２０４を備えた基板１０４が得られ、ここでフリット構造は、図３Ｃに示されるように基板１０４に貫通孔１０８を覆う層３０８を備えている。あるいは、形成されたままのフリットの強度が不十分である場合は、フリットをデバインディング、またはある程度デバインディングし、もしくは別の方法である程度固結して、図４Ａに示すような、ある程度または十分にデバインディングされた、もしくはある程度固結された、フリット構造２０４を得、次いでそれを穿孔し、結果的に図４Ｂの構造を得てもよい。形成されたままのフリット、またはデバインディング、あるいはある程度デバインディングされた、もしくはある程度固結されたフリットが充填されたかどうかに関わらず、フリットが充填された孔の再開放は、比較的容易であり、ガラスまたはセラミック基板に直接穿孔する場合とは非常に対照的に、典型的には高速度鋼バイトで、一般には液体冷却せずに、行うことができる。

所定の基板には、複数の貫通孔が望ましく、それらの貫通孔に最初に充填されるフリット構造は、単純または平面的なフリット構造である必要はない。例えば、図５に示されるような構造が望ましい。

１つ以上の貫通孔１０８を覆う層３０８を生成する他の方法は、図６Ａ〜６Ｅに関連して示されている。図６Ａは、ピンを基準に位置決めされた板または層４０４と接続して配置される基板１０４を示している。ピンを基準に位置決めされた板または層４０４は、ピン４０８の形状をした流路を維持した構造を保持し、ピン４０８が、図６Ａに示すように、基板１０４における孔１０８の中心またはその近くに位置するように、基板１０４に対して位置決めされる。ピンはまた、およそ、フリット構造の意図する最小の厚さになるように、接面３０４の上に突出させると有利である。次いで、図６Ｂに示すように、基板１０４上にフリットおよび結合剤の混合物を成形することなどによって、フリット構造２０４が、基板１０４上に、残存する開放部分の孔１０８の形状に形成される。付随するピン４０８を備えた、ピンを基準に位置決めされた板または層４０４を除去すると、図６Ｃに示される構造が残り、次いで、それをデバインディング、またはある程度デバインディングする、あるいはある程度固結し、結果として図６Ｄの構造化されたフリット材料２０４となりうる。

フリット構造が基板１０４の両側に所望される場合は、先に形成されたフリット構造２０４の側になるように、追加のピン４０９を備えた、追加のピンを基準に位置決めされた板または層４０５を、再挿入して差し支えない。この工程は、図示されるように、デバインディング、またはある程度デバインディングされ、あるいはある程度固結された状態で、もしくは、形成されたままの状態で、先のフリット構造２０４を備えたままで行なって差し支えなく、機械的堅牢性に応じて、構造２０４は、形成されたままの状態で提示される。構造２０４が、図示される単純な平面的形状よりも複雑な形状を有する場合は、構造２０４の潜在的な複雑な形状に適合または一致するように、追加のピンを基準に位置決めされた板または層４０５が、図６Ｅに示すものよりも側部の広がりが小さいか、非平面的であって差し支えない。

図３Ａ〜３Ｃ、または図４Ａ〜４Ｂに関連する本発明の方法の実施の形態は、最初に充填され、次いで穿孔され、元の貫通孔の壁にフリット構造の層または材料が残された、貫通孔１０８を備えた基板１０４を使用する。この特定の選択肢は、両側にフリット構造を有する基板にも適合して差し支えない。これは、図７Ａ〜７Ｃに簡単に図示されている。強度について必要とされる場合は、図７Ａに示すように、基板１０４上に最初に形成されたフリット構造２０４は、デバインディング、またはある程度デバインディングされ、あるいはある程度固結されて差し支えない（図における２０４のより黒く、高密度の詰まり具合は、デバインディング、またはある程度デバインディングされ、あるいはある程度固結された材料を示す）。次に、図７Ｂに示すように、第２の構造化されたフリット２０５を、基板１０４の残る開放された主表面上に形成して差し支えない。次に、図７Ｃに示すように、構造２０５は形成されたままの状態で存在する一方で、結果として充填された孔に穿孔してもよい。

図８〜１０は、貫通孔１０８の内部表面上に位置決めされるフリットの層３０８の厚さに対する本発明の方法の感度を例証しており、ここで、フリット構造は、基板１０４の片側にのみ配置されている。層３０８が適切な薄さを有する場合には、図８のように、固結の工程から得られた層のすべての形状における変化（図における矢印で表示）は最小であり、貫通孔１０８の内部表面上の基板１０４の固結されたフリットの被覆率は維持される。層３０８が幾分厚すぎる場合は、得られる固結特性は、図９に示されるように、貫通孔１０８における基板１０４の内部表面９０４が露出する結果となりうる、あるいは、言い換えれば、フリット・コーティングが退縮し、基板１０４のむき出しの主表面から離れる結果となりうる。層３０９が非常に厚すぎる場合には、得られる固結特性は、図１０に示すように、層３０８の上下両方の貫通孔１０８の内側で基板１０４の内部表面９０４が露出する。したがって、層３０８には構造化されたフリットの適切な薄さのコーティングを使用することが望ましい。

図１１〜１３は、貫通孔１０８の内部表面上に位置決めされたフリットの層３０８の厚さに対する本方法の感度を例証しており、ここでフリット構造は基板１０４の両側に配置される。図１１および１２の特性から見られるように、貫通孔１０８の内部表面は、より厚い層３０８の使用により、固結処理の間に容易には非被覆化されない。それでもなお、すべての寸法および処理の最良の調節には、薄い層が好ましい。

本発明は、ガラス、セラミック、および／またはガラス・セラミック基板と共に利用されることが望ましいであろう。金属基板もまた利用して差し支えない。温度勾配および熱衝撃に対する耐性の保持のため、ＣＴＥの不一致は、固結されたフリットおよび基板の間で大きすぎるべきではなく、本発明が、マイクロ流体装置の内表面の連続した固結されたフリット表面を可能にすることから、基板および／またはフリットの材料の別々の最適化を可能にする、特定の有用性を見出した。多くの用途では、例えば、フリットに熱伝導率を促進するための基板材料を選択し、所望のレベルの化学耐性または不活性を提供することを目的としたフリットを選択および／または配合することが望ましいであろう。

本発明の一部のさらなる有益な効果を、図１４および１５に示す。図１４は、最終的なまたは十分な固結の前に本発明の方法の実施の形態に従って生じた、マイクロ流体装置基板の貫通孔の濃淡のデジタル写真である。図１５は、最終的なまたは十分な固結の後の図１４のマイクロ流体装置基板貫通孔の濃淡のデジタル写真である。図１４では、ガラス片６０２の形状において、および、表面の隆起６０４および一般的な鋭角６０６の形状において、表面に欠陥および粗さが見られる。図１５では、ガラス片６０２が固結されたフリットによって全体的に覆われ、滑らかになり、表面の粗さおよび鋭角もまた消失している。よって、潜在的な機械的応力集中部位（化学攻撃に対しても同様に影響を受けやすいと思われる部位）が除去または低減されている。

一般に、本発明は、装置の内部表面が固結されたフリットで完全に覆われるように、装置内に流路またはチャンバーを画成し、コーティングを形成する、フリット形成壁を備えた、連続する基板または下盤の間の固結されたガラスまたはガラス・セラミック・フリットによって、間隙を介し、かつ、互いに付着した、２つ以上の基板または下盤を備えた、マイクロ流体装置を提供する。これにより、（１）流路またはチャンバー（貫通孔を除く）が、より環境に悪い、および／または、より困難なマイナスの方法にはよらずに、付加的なフリット形成工程によって決定されることによる、さまざまな装置構造（device geometries）の柔軟な製造、および（２）基板の特性が強度、熱伝導率、または熱絶縁性などについて最適化できると同時に、フリット材料の特性を流体との接触に最適化することができることによる、材料の最適化における柔軟性、の両方を可能にする。さらには、本明細書に開示されるこのような装置の作製方法の使用は、貫通孔を有する基板を備えた製造方法を開始することにより、したがって、穿孔または別の方法による貫通孔の形成の間の生産損失を生産循環のいちばん最初に移行することによって、製造コストが軽減され、生産率が高くなる。

Claims

マイクロ流体装置を作製する方法であって、該方法が、
第１の基板を提供し、
第２の基板を提供し、
前記第１の基板の接面上に第１のフリット構造を形成し、
前記第２の基板の接面上に第２のフリット構造を形成し、
前記第１および第２の基板間に、固結されたフリットで囲まれた凹部を形成するように、前記第１の基板および第２の基板、並びに前記第１および第２のフリット構造を、接面を互いの方向に向けて、一緒に固定する、
各工程を有してなり、
ここで、
前記第２の基板を提供する工程が、その内部に少なくとも１つの貫通孔を有する第２の基板の提供を含み、
前記第２のフリット構造を形成する工程が、前記第２の基板の貫通孔内におけるフリット層の形成を含み、
前記貫通孔内における前記フリット層が、前記第１の基板および前記第２の基板、並びに第１および第２のフリット構造を、一緒に固結する際に、前記凹部を取り囲む前記固結されたフリットに接続する、固結されたフリットの内部表面を有する貫通孔を生じるのに十分な薄さで、前記貫通孔の内部表面を被覆する、
ことを特徴とする方法。
前記第２の基板の貫通孔内にフリット層を形成する工程が、前記貫通孔に固定されたフリットを充填し、結果として充填された孔に穿孔することを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
前記第２の基板の貫通孔内にフリット層を形成する工程が、前記貫通孔に固定されたフリットを充填し、前記フリットをデバインディングし、次いで、前記結果として充填された孔に穿孔することを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
前記第２の基板の貫通孔内にフリット層を形成する工程が、前記貫通孔内に流路維持構造を位置決めし、前記流路維持構造によって満たされない前記貫通孔の残りの容積に、固定されたフリットを充填し、前記流路維持構造を除去することを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
前記第１の基板を提供する工程が、ガラス、セラミック、またはガラス・セラミックの基板を提供することを含むことを特徴とする請求項１〜４いずれか１項記載の方法。
前記第１の基板または前記第２の基板を形成する材料が、前記フリットよりも高い熱伝導率を有する材料から選択されることを特徴とする請求項１〜５いずれか１項記載の方法。
前記固結されたフリットが、前記第１の基板または前記第２の基板のいずれかを形成する材料よりもはるかに大きい化学攻撃に対する耐性を有するように選択されることを特徴とする請求項１〜６いずれか１項記載の方法。
マイクロ流体装置であって、
固結されたフリット、第１の基板、および第２の基板を備え、
前記固結されたフリット、前記第１の基板、および前記第２の基板が、前記固結されたフリットを介して一緒に付着し、
前記固結されたフリットが、少なくとも、前記第１および第２の基板の間の第１の凹部を囲み、
前記第１の凹部が、前記第２の基板を貫通して延在する貫通孔と流体連通し、
ここで、
前記貫通孔が、前記凹部を囲む前記固結されたフリットに接続する、固結されたフリットで覆われていることを特徴とする、
マイクロ流体装置。
前記固結されたフリットを介して前記第１および第２の基板に付着した第３の基板をさらに含み、
前記固結されたフリットが、少なくとも、前記第２および第３の基板の間の第２の凹部を囲み、
前記第１の凹部が、前記貫通孔を通じて前記第２の凹部と流体連通し、
ここで、
前記貫通孔が、前記第１および第２の凹部を囲む、前記固結されたフリットに接続する固結フリットで覆われていることを特徴とする請求項８記載のマイクロ流体装置。
１つ以上の前記基板を形成する材料が、前記固結されたフリットよりも高い熱伝導率を有することを特徴とする請求項８または９記載のマイクロ流体装置。