JP5137917B2 - 成膜用基板、成膜方法及び発光素子の作製方法 - Google Patents
成膜用基板、成膜方法及び発光素子の作製方法 Download PDFInfo
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Description
前記第1の面を覆って、光吸収層と、前記光吸収層上に、有機材料層とを有することを特徴とする成膜用基板に関する。
本実施の形態を、図1(A)〜図1(C)及び図2(A)〜図2(B)を用いて説明する。
本実施の形態では、図3(A)〜図3(B)、図5(A)〜図5(D)を用いて、成膜方法について説明する。
本実施の形態では、図4(A)〜図1(D)を用いて、発光素子を作製する方法について説明する。
102 光吸収層
103 有機材料層
104 有機材料
105 基板
106 光
108 有機材料層
111 凹部
112 凹部
121 絶縁物
122 電極
123 電極
131 下部
132 上部
133 上部
134a Oリング
134b Oリング
134c Oリング
134d Oリング
134e Oリング
134f Oリング
135a ネジ
135b ネジ
136a ネジ
136b ネジ
137 治具
138 治具
139 パイプ
141 ランプ
142 窓
147 支持材
147a 支持材
147b 支持材
149 バルブ
150 支持材
151 保護材
152 バネ
163 レーザ発振装置
164 光学系
165 光学系
166 光学系
167 反射ミラー
168 窓
169 ステージ
Claims (6)
- 第1の面に、第1の凹部と、前記第1の凹部内に、前記第1の凹部よりも深い第2の凹部と、を有する第1の基板と、
前記第1の基板の前記第1の面を覆うように設けられた光吸収層と、
前記光吸収層上に設けられた第1の有機材料層と、
を有することを特徴とする成膜用基板。 - 請求項1において、前記光吸収層は、モリブデン、窒化タンタル、チタン、タングステン、またはカーボンを材料として含むことを特徴とする成膜用基板。
- 請求項1または請求項2の成膜用基板を加熱することにより、前記第1の有機材料層を液化し、前記液化した第1の有機材料は前記第2の凹部に集まり、
前記第1の基板の前記第1の面側に、第2の基板を対向させ、
前記第1の面と反対側の第2の面側から、前記成膜用基板に光を照射し、
前記光を照射することにより、前記第2の凹部に集められた前記液化した第1の有機材料を、第2の有機材料層として前記第2の基板上に転写することを特徴とする成膜方法。 - 請求項3において、
前記第2の有機材料層は、発光層、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層のいずれか1つであることを特徴とする成膜方法。 - 請求項1または請求項2の成膜用基板を加熱することにより、前記第1の有機材料層を液化し、前記液化した第1の有機材料は、前記第2の凹部に集まり、
第2の基板の第1の面上に、第1の電極を形成し、
前記第1の基板の前記第1の面側に、前記第2の基板の前記第1の面側を対向させ、
前記第1の基板の前記第1の面と反対側の第2の面側から、前記成膜用基板に光を照射し、
前記光を照射することにより、前記第2の凹部に集められた前記液化した第1の有機材料を、第2の有機材料層として前記第1の電極上に転写し、
前記第2の有機材料層上に、第2の電極を形成することを特徴とする発光素子の作製方法。 - 請求項5において、
前記第2の有機材料層は、発光層、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層のいずれか1つであることを特徴とする発光素子の作製方法。
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