JP5136072B2 - Manufacturing method of liquid cooling jacket - Google Patents

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本発明は、液冷ジャケットの製造方法に関する。 The present invention also relates to the production how of the liquid cooling jacket.

金属部材同士を接合する方法として、摩擦撹拌接合(FSW=Friction Stir Welding)が知られている。摩擦撹拌接合とは、回転ツールを回転させつつ金属部材同士の突合部に沿って移動させ、回転ツールと金属部材との摩擦熱により突合部の金属を塑性流動させることで、金属部材同士を固相接合させるものである。   Friction stir welding (FSW = Friction Stir Welding) is known as a method for joining metal members. Friction stir welding is a method in which metal members are fixed to each other by causing the metal at the abutting portion to flow plastically by frictional heat between the rotating tool and the metal member by moving the rotating tool along the abutting portion while rotating the rotating tool. Phase joining is performed.

ところで、近年、パーソナルコンピュータに代表される電子機器は、その性能が向上するにつれて、搭載されるCPU(熱発生体)の発熱量が増大し、CPUの冷却が益々重要になっている。従来、CPUを冷却するために、空冷ファン方式のヒートシンクが使用されてきたが、ファン騒音や、空冷方式での冷却限界といった問題がクローズアップされるようになり、次世代冷却方式として、液冷ジャケットが注目されている。   By the way, in recent years, as the performance of an electronic device typified by a personal computer is improved, the amount of heat generated by a CPU (heat generating body) to be mounted has increased, and cooling of the CPU has become increasingly important. Conventionally, air-cooled fan type heat sinks have been used to cool CPUs, but problems such as fan noise and cooling limit in air-cooled systems have come to be highlighted. The jacket is drawing attention.

このような液冷ジャケットにおいて、構成部材同士を摩擦撹拌接合によって接合した技術が特許文献1で開示されている。この液冷ジャケットは、たとえば、金属製フィンを収容するフィン収容室を有するジャケット本体と、フィン収容室を封止する封止体とを備えており、フィン収容室を取り囲むジャケット本体の周壁と封止体との突合部に沿って回転ツールを一周させて、摩擦撹拌接合することで液冷ジャケットを製造するように構成されている。そして、特許文献1では、摩擦撹拌接合における始端と終端とをオーバーラップさせることで、ジャケット本体と封止体とを良好に接合して、フィン収容室内を流れる熱輸送流体が外部に漏れにくくなるようにする技術が開示されている。
特開2006−324647号公報(図18〜図20)
In such a liquid cooling jacket, Patent Document 1 discloses a technique in which constituent members are joined by friction stir welding. This liquid cooling jacket includes, for example, a jacket body having a fin housing chamber for housing metal fins, and a sealing body for sealing the fin housing chamber, and seals the peripheral wall of the jacket body surrounding the fin housing chamber. The liquid cooling jacket is manufactured by rotating the rotating tool around the abutting portion with the stationary body and performing friction stir welding. And in patent document 1, by making the start end and termination | terminus in friction stir welding overlap, a jacket main body and a sealing body are joined favorably, and the heat transport fluid which flows through a fin accommodation chamber becomes difficult to leak outside. Techniques for doing so are disclosed.
JP 2006-324647 A (FIGS. 18 to 20)

しかしながら、一般に摩擦撹拌接合方法では、塑性化領域に空洞欠陥が発生する場合がある。特許文献1に記載の液冷ジャケットの製造方法(摩擦撹拌接合方法)で製造された液冷ジャケットでは、空洞欠陥が発生したとしても、表面には露出され難いので接合部の密閉性能上問題はないが、さらなる信頼性の向上のために突合部の近くの空洞欠陥を低減して密閉性能を向上させることが要求されている。   However, generally, in the friction stir welding method, a cavity defect may occur in the plasticized region. In the liquid cooling jacket manufactured by the manufacturing method of the liquid cooling jacket described in Patent Document 1 (friction stir welding method), even if a cavity defect occurs, it is difficult to be exposed on the surface. However, it is required to improve the sealing performance by reducing the cavity defects near the abutting portion in order to further improve the reliability.

そこで、本発明は、接合部の密閉性能を向上させることができる液冷ジャケットの製造方法を提供することを課題とする。 The present invention aims to provide a manufacturing how the liquid cooling jacket can improve sealing performance of the joint.

前記課題を解決するための手段として、本発明は、熱発生体が発生する熱を外部に輸送する熱輸送流体が流れるとともに一部が開口した凹部を有するジャケット本体に、前記凹部の開口部を封止する封止体を摩擦撹拌接合によって固定して構成される液冷ジャケットの製造方法において、前記ジャケット本体の前記凹部の開口周縁部と前記封止体の周縁部との突合部に沿って回転ツールを一周させて塑性化領域を形成した後、前記回転ツールの前記突合部への押込み量を、前記回転ツールの一周目における前記突合部への押込み量よりも大きくして、前記塑性化領域に沿って前記回転ツールをさらに一周させて、前記封止体を前記ジャケット本体に固定することを特徴とする液冷ジャケットの製造方法である。 As a means for solving the above-mentioned problems, the present invention provides a jacket main body having a recessed portion in which a heat transport fluid for transporting heat generated by a heat generating body flows to the outside and a partially opened recess, and the opening of the recessed portion is provided. In the manufacturing method of the liquid cooling jacket constituted by fixing the sealing body to be sealed by friction stir welding, along the abutting portion between the opening peripheral edge of the recess of the jacket body and the peripheral edge of the sealing body After forming a plasticizing region by making one rotation of the rotating tool, the amount of pushing into the abutting portion of the rotating tool is made larger than the amount of pushing into the abutting portion in the first round of the rotating tool, and the plasticizing It is a manufacturing method of a liquid cooling jacket characterized in that the rotary tool is further rotated along a region to fix the sealing body to the jacket body.

このような方法によれば、回転ツールを一周させて塑性化領域を形成した後、塑性化領域に沿って回転ツールをさらに一周させることによって、塑性化領域がより一層撹拌されるので、空洞欠陥を低減させることができ、接合部の密閉性能を向上させることができ、信頼性の高い液冷ジャケットを供給することができる。また、二周目において回転ツールがより一層奥まで押し込まれ、効率的に撹拌されるので、空洞欠陥を低減させることができ、接合部の密閉性能を向上できる。 According to such a method, since the plasticizing region is further stirred by forming the plasticizing region by rotating the rotating tool once and further rotating the rotating tool along the plasticizing region. The sealing performance of the joint can be improved, and a highly reliable liquid cooling jacket can be supplied. Further, since the rotary tool is pushed further into the second round and efficiently stirred, cavity defects can be reduced and the sealing performance of the joint can be improved.

請求項2に係る発明は、前記回転ツールの一周目における始端と終端とがオーバーラップしており、前記塑性化領域の一部が重複していることを特徴とする請求項1に記載の液冷ジャケットの製造方法である。   The invention according to claim 2 is characterized in that the start end and the end of the first round of the rotary tool overlap, and a part of the plasticizing region overlaps. It is a manufacturing method of a cold jacket.

このような方法によれば、塑性化領域の一部が重複していることにより、ジャケット本体の周壁と、封止体とを良好に接合することができる。これにより、熱輸送流体が外部に漏れにくくなり、接合部の密閉性能を向上させることができる。   According to such a method, the peripheral wall of the jacket main body and the sealing body can be satisfactorily joined by overlapping a part of the plasticized region. Thereby, it becomes difficult for the heat transport fluid to leak to the outside, and the sealing performance of the joint portion can be improved.

請求項3に係る発明は、前記回転ツールの二周目における移動軌跡を、前記回転ツールの一周目における移動で形成された塑性化領域よりも外側へ偏移させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液冷ジャケットの製造方法である。   The invention according to claim 3 is characterized in that the movement trajectory of the second rotation of the rotary tool is shifted outward from the plasticizing region formed by the movement of the first rotation of the rotary tool. Or it is a manufacturing method of the liquid cooling jacket of Claim 2.

このような方法によれば、一周目で空洞欠陥が発生したとしても二周目の移動で撹拌して空洞欠陥を低減することができるとともに、万一、二周目で空洞欠陥が発生したとしても、ジャケット本体の開口周縁部と封止体の周縁部との突合部から離反した部分に発生するので、熱輸送流体が外部に漏れにくくなり、接合部の密閉性能を大幅に向上させることができる。   According to such a method, even if a cavity defect occurs in the first round, it is possible to reduce the cavity defect by stirring in the movement of the second round, and in the unlikely event that a cavity defect occurs in the second round However, the heat transport fluid is less likely to leak to the outside, and the sealing performance of the joint can be greatly improved since it occurs at a portion separated from the abutting portion between the opening peripheral portion of the jacket body and the peripheral portion of the sealing body. it can.

請求項4に係る発明は、前記回転ツールの挿入位置は、前記突合部から外側に外れた周壁の上面であり、前記回転ツールの引き抜き位置は、前記突合部から外側に外れた周壁の上面であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の液冷ジャケットの製造方法である。 In the invention according to claim 4, the insertion position of the rotary tool is an upper surface of the peripheral wall that is outside the abutting portion, and the drawing position of the rotary tool is an upper surface of the peripheral wall that is outside the abutting portion. It is a manufacturing method of the liquid cooling jacket of any one of the Claims 1 thru | or 3 characterized by the above-mentioned.

請求項5に係る発明は、前記回転ツールを前記開口部に対して右回りに移動させるときは、前記回転ツールを右回転させ、前記回転ツールを前記開口部に対して左回りに移動させるときは、前記回転ツールを左回転させることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の液冷ジャケットの製造方法である。   In the invention according to claim 5, when the rotating tool is moved clockwise with respect to the opening, the rotating tool is rotated clockwise, and the rotating tool is moved counterclockwise with respect to the opening. The method for manufacturing a liquid cooling jacket according to any one of claims 1 to 4, wherein the rotary tool is rotated counterclockwise.

このような方法によれば、万一、空洞欠陥が発生したとしても、突合部よりも外側位置の離反した部分に発生することとなり、熱輸送流体が外部に漏れにくくなるので、接合部の密閉性能を向上させることができる。   According to such a method, even if a cavity defect occurs, it will occur in a part away from the abutting part, and the heat transport fluid will be difficult to leak to the outside. Performance can be improved.

請求項6に係る発明は、前記回転ツールの二周目における移動方向を、前記回転ツールの一周目における移動方向とは逆方向にすることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の液冷ジャケットの製造方法である。   The invention according to claim 6 is characterized in that the moving direction in the second turn of the rotating tool is opposite to the moving direction in the first turn of the rotating tool. 2. A method for producing a liquid cooling jacket according to item 1.

このような方法によれば、突合部は、一周目と二周目とで逆向きに撹拌されることになるので、効率的に撹拌される。したがって、空洞欠陥を低減させることができ、接合部の密閉性能を向上させることができる。   According to such a method, the abutting portion is agitated in the opposite direction in the first and second revolutions, and thus is agitated efficiently. Therefore, cavity defects can be reduced and the sealing performance of the joint can be improved.

請求項7に係る発明は、前記回転ツールで前記塑性化領域を形成する工程に先立って、前記突合部の一部を前記回転ツールよりも小型の仮接合用回転ツールを用いて仮接合することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の液冷ジャケットの製造方法である。   According to a seventh aspect of the present invention, prior to the step of forming the plasticized region with the rotary tool, a part of the abutting portion is temporarily joined using a temporary joining rotary tool smaller than the rotary tool. The method for manufacturing a liquid cooling jacket according to any one of claims 1 to 6, wherein:

このような方法によれば、ジャケット本体と封止体とを仮接合することによって、本接合の際に、封止体が移動することがなく、本接合しやすくなるとともに、封止体の位置決め精度が向上する。また、仮接合用回転ツールが本接合用の回転ツールよりも小さいので、本接合用の回転ツールを、仮接合部分の上で移動させて摩擦撹拌するだけで、本接合が仕上げられる。   According to such a method, by temporarily joining the jacket body and the sealing body, the sealing body does not move during the main joining, and it becomes easy to perform the main joining and positioning of the sealing body. Accuracy is improved. In addition, since the temporary welding rotary tool is smaller than the main welding rotary tool, the main welding can be completed only by moving the main welding rotary tool on the temporary bonding portion and performing frictional stirring.

請求項8に係る発明は、前記突合部が矩形環状を呈しており、前記仮接合用回転ツールで前記突合部を仮接合する工程において、前記突合部の一方の対角同士を先に仮接合した後に、他方の対角同士を仮接合することを特徴とする請求項7に記載の液冷ジャケットの製造方法である。   The invention according to claim 8 is characterized in that the abutting portion has a rectangular ring shape, and in the step of temporarily joining the abutting portion with the temporary joining rotary tool, one diagonal of the abutting portion is temporarily joined first. The method of manufacturing a liquid cooling jacket according to claim 7, wherein the other diagonals are temporarily joined together.

このような方法によれば、封止体をバランスよく仮接合することができ、封止体のジャケット本体に対する位置決め精度が向上する。   According to such a method, the sealing body can be temporarily joined with a good balance, and the positioning accuracy of the sealing body with respect to the jacket body is improved.

請求項9に係る発明は、前記突合部が矩形環状を呈しており、前記仮接合用回転ツールで前記突合部を仮接合する工程において、前記突合部の一方の対辺の中間部同士を先に仮接合した後に、他方の対辺の中間部同士を仮接合することを特徴とする請求項7に記載の液冷ジャケットの製造方法である。   In the invention according to claim 9, the abutting portion has a rectangular ring shape, and in the step of temporarily joining the abutting portion with the temporary joining rotary tool, an intermediate portion of one opposite side of the abutting portion is first placed. 8. The method for manufacturing a liquid-cooled jacket according to claim 7, wherein the intermediate portions of the other opposite side are temporarily joined after the temporary joining.

このような方法によれば、封止体をバランスよく仮接合することができ、封止体のジャケット本体に対する位置決め精度が向上する。さらに、仮接合は直線状に行われるので、加工が容易となる。   According to such a method, the sealing body can be temporarily joined with a good balance, and the positioning accuracy of the sealing body with respect to the jacket body is improved. Furthermore, since temporary joining is performed linearly, processing becomes easy.

本発明によれば、液冷ジャケットのジャケット本体と封止体との接合部、または、第一部材の開口部と板状の第二部材との接合部の密閉性能を向上させることができるといった優れた効果を発揮する。   According to the present invention, the sealing performance of the joint portion between the jacket body of the liquid cooling jacket and the sealing body or the joint portion between the opening of the first member and the plate-like second member can be improved. Exhibits excellent effects.

以下、本発明の実施形態について、図面を適宜参照して詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with appropriate reference to the drawings.

(第1実施形態)
まず、本発明に係る液冷ジャケットの製造方法および摩擦撹拌接合方法によって形成された液冷ジャケットについて説明する。液冷ジャケットは、例えば、パーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載される冷却システムの構成部品であって、CPU(熱発生体)等を冷却する部品である。液冷システムは、CPUが所定位置に取り付けられる液冷ジャケットと、冷却水(熱輸送流体)が輸送する熱を外部に放出するラジエータ(放熱手段)と、冷却水を循環させるマイクロポンプ(熱輸送流体供給手段)と、温度変化による冷却水の膨張/収縮を吸収するリザーブタンクと、これらを接続するフレキシブルチューブと、熱を輸送する冷却水とを主に備えている。冷却水としては、例えば、エチレングリコール系の不凍液が使用される。そして、マイクロポンプが作動すると、冷却水がこれら機器を循環するようになっている。
(First embodiment)
First, the liquid cooling jacket formed by the liquid cooling jacket manufacturing method and the friction stir welding method according to the present invention will be described. The liquid cooling jacket is a component of a cooling system mounted on an electronic device such as a personal computer, for example, and is a component that cools a CPU (heat generating body) and the like. The liquid cooling system includes a liquid cooling jacket in which a CPU is mounted at a predetermined position, a radiator (heat dissipating means) that discharges heat transported by cooling water (heat transport fluid) to the outside, and a micropump (heat transport) that circulates the cooling water. Fluid supply means), a reserve tank that absorbs expansion / contraction of cooling water due to temperature change, a flexible tube that connects these, and cooling water that transports heat. For example, an ethylene glycol antifreeze is used as the cooling water. And if a micropump act | operates, cooling water will circulate through these apparatuses.

図1に示すように、液冷ジャケット1は、熱発生体であるCPU(図示せず)が発生する熱を外部に輸送する熱輸送流体である冷却水(図示せず)が流れるとともに一部が開口した凹部11を有するジャケット本体10に、凹部11の開口部12を封止する封止体30を摩擦撹拌接合(図3参照)によって固定して構成されている。   As shown in FIG. 1, the liquid cooling jacket 1 partially flows with cooling water (not shown), which is a heat transport fluid that transports heat generated by a CPU (not shown), which is a heat generator, to the outside. A sealing body 30 that seals the opening 12 of the recess 11 is fixed to the jacket main body 10 having the recess 11 opened by friction stir welding (see FIG. 3).

液冷ジャケット1は、その下方側の中央に、熱拡散シート(図示せず)を介してCPU(図示せず)が取り付けられるようになっており、CPUが取り付けられた状態で、液冷ジャケット1内を冷却水が流通することにより、CPUが発生する熱を受熱すると共に、内部を流通する冷却水と熱交換する。これによって、液冷ジャケット1は、CPUから受け入れた熱を冷却水に伝達し、その結果として、CPUを効率的に冷却する。なお、熱拡散シートは、CPUの熱を、ジャケット本体10に効率的に伝達させるためのシートであり、例えば銅などの高熱伝導性を有する金属から形成されている。   The liquid cooling jacket 1 is configured such that a CPU (not shown) is attached to the lower center of the liquid cooling jacket 1 via a heat diffusion sheet (not shown). As the cooling water flows through 1, the heat generated by the CPU is received and exchanged with the cooling water flowing through the inside. Thereby, the liquid cooling jacket 1 transmits the heat received from the CPU to the cooling water, and as a result, the CPU is efficiently cooled. The thermal diffusion sheet is a sheet for efficiently transmitting the heat of the CPU to the jacket body 10 and is formed of a metal having high thermal conductivity such as copper, for example.

ジャケット本体10は、一方側(本実施形態では上側)が開口した浅底の箱体であって、その内側に凹部11が形成されており、底壁13と、周壁14とを有している。このようなジャケット本体10は、例えば、ダイキャスト、鋳造、鍛造などによって作製される。ジャケット本体10は、アルミニウムまたはアルミニウム合金から形成されている。これにより、液冷ジャケット1は軽量化が達成されており、取り扱い容易となっている。   The jacket main body 10 is a shallow box that is open on one side (the upper side in the present embodiment), and has a recess 11 formed therein, and has a bottom wall 13 and a peripheral wall 14. . Such a jacket main body 10 is produced by die casting, casting, forging or the like, for example. The jacket body 10 is formed from aluminum or an aluminum alloy. Thereby, the liquid cooling jacket 1 has been reduced in weight and is easy to handle.

ジャケット本体10の凹部11の開口周縁部12aには、凹部11の底面側に一段下がった段差部15が形成されている。段差部15は、封止体30の厚さ寸法と同等の寸法の段差を有している。一段下がった段差部15の上には、封止体30の周縁部30aが載せられる。段差部15の幅W1は、冷却水が流れる凹部11の容積を確保するため、なるべく小さく設定することが好ましい。周壁14の互いに対向する一対の壁部14a,14aには、凹部11に冷却水を流通させるための貫通孔16,16がそれぞれ形成されている。貫通孔16,16は、本実施形態では、壁部14a,14aの対向方向(図1中、X軸方向)に延出しており、円形断面を有し、凹部11の深さ方向中間部に形成されている。なお、貫通孔16の形状および位置は、これに限られるものではなく、冷却水の種類や流量に応じて適宜変更可能である。   A stepped portion 15 that is lowered by one step is formed on the bottom surface side of the recessed portion 11 at the opening peripheral edge portion 12 a of the recessed portion 11 of the jacket body 10. The step portion 15 has a step having the same dimension as the thickness of the sealing body 30. On the stepped portion 15 lowered by one step, the peripheral portion 30a of the sealing body 30 is placed. The width W1 of the step portion 15 is preferably set as small as possible in order to secure the volume of the recess 11 through which the cooling water flows. Through-holes 16 and 16 for circulating cooling water through the recess 11 are formed in a pair of wall portions 14a and 14a facing each other of the peripheral wall 14, respectively. In this embodiment, the through-holes 16 and 16 extend in the opposing direction of the walls 14 a and 14 a (X-axis direction in FIG. 1), have a circular cross section, and are formed in the intermediate portion in the depth direction of the recess 11. Is formed. In addition, the shape and position of the through-hole 16 are not restricted to this, It can change suitably according to the kind and flow volume of cooling water.

図1および図2に示すように、封止体30は、ジャケット本体10の凹部11の開口部12(図1参照)と同じ形状(本実施形態では正方形)の平面形状を有する板状の蓋板部31と、蓋板部31の下面に設けられた複数のフィン32,32…とを備えて構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the sealing body 30 is a plate-like lid having a planar shape that is the same shape (square in this embodiment) as the opening 12 (see FIG. 1) of the recess 11 of the jacket body 10. It comprises a plate portion 31 and a plurality of fins 32, 32... Provided on the lower surface of the lid plate portion 31.

複数のフィン32,32…は、互いに平行で且つ蓋板部31に対して直交して配置されており、蓋板部31と一体に構成されている。これにより、蓋板部31とフィン32,32…との間において、熱が良好に伝達するようになっている。図1に示すように、フィン32,32…は、貫通孔16,16が形成された周壁14の壁部14a,14aと直交する方向(図1中、X軸方向)に延出して配置されている。フィン32は、凹部11の深さ寸法と同等の高さ(深さ)寸法(図1中、Z軸方向長さ)を有しており、その先端部が凹部11の底面に当接するようになっている。これによって、封止体30がジャケット本体10に取り付けられた状態で、封止体30の蓋板部31と、隣り合うフィン32,32と、凹部11の底面とで筒状の空間が区画され、その空間が、冷却水が流れる流路33(図3の(a)参照)として機能することとなる。また、フィン32,32…は、凹部11の一辺の長さ寸法よりも短い長さ寸法(図1中、X軸方向長さ)を有しており、その両端は、凹部11の周壁14の各壁部14a,14aの内壁面とそれぞれ所定の間隔を隔てるように構成されている。これによって、封止体30がジャケット本体10に取り付けられた状態で、フィン32,32…の両端外側の、凹部11の周壁14の壁部14aとの間の空間が、貫通孔16から、フィン32の延出方向と直交する方向(図1中、Y軸方向)へ広がる流路ヘッダ部34(図3の(a)参照)を構成することとなる。   The plurality of fins 32, 32... Are arranged parallel to each other and orthogonal to the lid plate portion 31, and are configured integrally with the lid plate portion 31. Thereby, heat is transmitted favorably between the cover plate portion 31 and the fins 32, 32. As shown in FIG. 1, the fins 32, 32... Are arranged so as to extend in a direction (X-axis direction in FIG. 1) orthogonal to the wall portions 14a, 14a of the peripheral wall 14 in which the through holes 16, 16 are formed. ing. The fin 32 has a height (depth) dimension (length in the Z-axis direction in FIG. 1) equivalent to the depth dimension of the recess 11, and its tip end abuts against the bottom surface of the recess 11. It has become. Thus, in a state where the sealing body 30 is attached to the jacket body 10, a cylindrical space is partitioned by the cover plate portion 31 of the sealing body 30, the adjacent fins 32 and 32, and the bottom surface of the recess 11. The space functions as a flow path 33 (see FIG. 3A) through which cooling water flows. Further, the fins 32, 32... Have a length dimension (length in the X-axis direction in FIG. 1) shorter than the length dimension of one side of the recess 11, and both ends of the fins 32, 32. Each of the wall portions 14a, 14a is configured to be spaced from the inner wall surface by a predetermined distance. Thus, in a state in which the sealing body 30 is attached to the jacket main body 10, the space between the outer ends of the fins 32, 32... And the wall portion 14 a of the peripheral wall 14 of the concave portion 11 extends from the through hole 16 to the fin. The flow path header portion 34 (see FIG. 3A) extending in the direction orthogonal to the extending direction of 32 (the Y-axis direction in FIG. 1) is configured.

封止体30もジャケット本体10と同様に、アルミニウムまたはアルミニウム合金から形成されている。これにより、液冷ジャケット1は軽量化が達成されており、取り扱い容易となっている。封止体30は、アルミニウムまたはアルミニウム合金から形成されブロックを切削加工することで形成されている。また、作製方法はこれに限定されるものではなく、例えば、蓋板部31と複数のフィン32,32…からなる断面形状を有する部材を、押出成形または溝加工によって形成し、そのフィン32の両端部を取り除くことによって構成してもよい。   The sealing body 30 is also made of aluminum or an aluminum alloy, like the jacket body 10. Thereby, the liquid cooling jacket 1 has been reduced in weight and is easy to handle. The sealing body 30 is formed from aluminum or an aluminum alloy, and is formed by cutting a block. In addition, the manufacturing method is not limited to this. For example, a member having a cross-sectional shape including the cover plate portion 31 and the plurality of fins 32, 32... Is formed by extrusion molding or groove processing. You may comprise by removing both ends.

次に、ジャケット本体10に、封止体30を摩擦撹拌接合によって固定する方法について、図3および図4を参照して説明する。   Next, a method of fixing the sealing body 30 to the jacket body 10 by friction stir welding will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

まず、図3の(a)に示すように、封止体30を、フィン32が下側になるようにして、ジャケット本体10の凹部11に挿入して、封止体30の周縁部30aが、凹部11の開口周縁部12aの段差部15上に載置されるように設置する。ここで、ジャケット本体10の凹部11の開口周縁部12aと、封止体30の周縁部30aとが突き合わされ、突合部40が構成される。   First, as shown in FIG. 3A, the sealing body 30 is inserted into the concave portion 11 of the jacket body 10 with the fins 32 on the lower side, and the peripheral portion 30a of the sealing body 30 is It is installed so as to be placed on the step portion 15 of the opening peripheral edge portion 12a of the recess 11. Here, the opening peripheral part 12a of the recessed part 11 of the jacket main body 10 and the peripheral part 30a of the sealing body 30 are faced | matched, and the abutting part 40 is comprised.

次に、この突合部40に沿って摩擦撹拌接合用の回転ツール50を相対移動させる。このとき、ジャケット本体10の周壁14の周面に、ジャケット本体10を四方向から囲む治具(図示せず)を予め当てておくのが好ましい。これによれば、周壁14の厚さが薄く、回転ツール50のショルダ部51(図4の(a)参照)の外周面と、周壁14の外周面との距離(隙間)が、例えば、2.0mm以下であっても、回転ツール50の押圧力によって周壁14が外側に変形しにくくなる。なお、周壁14の厚さが厚い場合は、前記の治具は設置しなくてもよい。   Next, the rotary tool 50 for friction stir welding is relatively moved along the abutting portion 40. At this time, it is preferable that a jig (not shown) surrounding the jacket body 10 from four directions is applied in advance to the peripheral surface of the peripheral wall 14 of the jacket body 10. According to this, the thickness of the peripheral wall 14 is thin, and the distance (gap) between the outer peripheral surface of the shoulder 51 (see FIG. 4A) of the rotary tool 50 and the outer peripheral surface of the peripheral wall 14 is, for example, 2 Even if it is 0.0 mm or less, the peripheral wall 14 is hardly deformed to the outside by the pressing force of the rotary tool 50. In addition, when the thickness of the surrounding wall 14 is thick, the said jig | tool does not need to be installed.

回転ツール50は、ジャケット本体10や封止体30よりも硬質の金属材料からなり、図4の(a)に示すように、円柱状を呈するショルダ部51と、このショルダ部51の下端面に突設された撹拌ピン(プローブ)52とを備えて構成されている。回転ツール50の寸法・形状は、ジャケット本体10および封止体30の材質や厚さ等に応じて設定すればよい。撹拌ピン52の突出長さ寸法L1は、封止体30の蓋板部31の厚さ寸法T1の60%以下であることが好ましい(本実施形態では、略50%)。このような構成によれば、摩擦撹拌接合によって封止体30が凹部11側に変形しにくくなり、凹部11の容積が小さくなることが防止される。また、回転ツール50の回転速度は500〜15000(rpm)、送り速度は0.05〜2(m/分)で、突合部40を押さえる押込み力は1〜20(kN)程度で、ジャケット本体10および封止体30の材質や板厚および形状に応じて適宜選択される。   The rotary tool 50 is made of a metal material that is harder than the jacket body 10 and the sealing body 30, and has a cylindrical shoulder portion 51 and a lower end surface of the shoulder portion 51 as shown in FIG. A projecting stirring pin (probe) 52 is provided. The dimensions and shape of the rotary tool 50 may be set according to the material and thickness of the jacket body 10 and the sealing body 30. The protruding length dimension L1 of the stirring pin 52 is preferably 60% or less of the thickness dimension T1 of the cover plate portion 31 of the sealing body 30 (in this embodiment, approximately 50%). According to such a configuration, the sealing body 30 is less likely to be deformed toward the concave portion 11 by friction stir welding, and the volume of the concave portion 11 is prevented from being reduced. The rotational speed of the rotary tool 50 is 500 to 15000 (rpm), the feed speed is 0.05 to 2 (m / min), and the pushing force for pressing the abutting portion 40 is about 1 to 20 (kN). 10 and the sealing body 30 are appropriately selected according to the material, plate thickness, and shape.

図3の(a)に示すように、回転ツール50の挿入位置53は、突合部40から外側に外れた周壁14の上面となっている。回転ツール50は、挿入位置53から突合部40へ回転しながら移動させる。回転ツール50は、その軸心が突合部40の突合面40a上に位置する部分に移動したならば、軸芯が突合面40a上に沿うように、回転ツール50を移動させる。このとき、回転ツール50の回転方向(自転方向)は、移動方向(公転方向)と同じ方向となるようにする。すなわち、本実施形態では、回転ツール50を凹部11の開口部12に対して右回りに移動させている(図3中、矢印Y1参照)ので、回転ツール50を右回転させる(図3中、矢印Y2参照)。なお、回転ツール50を凹部11の開口部12に対して左回りに移動させるときは、回転ツール50を左回転させることとなる。   As shown in FIG. 3A, the insertion position 53 of the rotary tool 50 is the upper surface of the peripheral wall 14 that is outside the abutting portion 40. The rotation tool 50 is moved while rotating from the insertion position 53 to the abutting portion 40. When the axis of the rotary tool 50 moves to a portion located on the abutting surface 40a of the abutting portion 40, the rotating tool 50 is moved so that the axis is along the abutting surface 40a. At this time, the rotation direction (rotation direction) of the rotary tool 50 is set to be the same direction as the movement direction (revolution direction). That is, in the present embodiment, the rotary tool 50 is moved clockwise with respect to the opening 12 of the concave portion 11 (see arrow Y1 in FIG. 3), so that the rotary tool 50 is rotated clockwise (in FIG. 3, (See arrow Y2). When the rotary tool 50 is moved counterclockwise with respect to the opening 12 of the recess 11, the rotary tool 50 is rotated counterclockwise.

その後、回転ツール50の回転および移動を継続し、図3の(b)に示すように、回転ツール50を開口部12の周りを一周させて塑性化領域41を形成する。ここで、「塑性化領域」とは、回転ツール50の摩擦熱によって加熱されて現に塑性化している状態と、回転ツール50が通り過ぎて常温に戻った状態の両方を含むこととする。このとき、回転ツール50の一周目における始端54a(図3の(a)参照)と終端54b(図3の(b)参照)とがオーバーラップしており、塑性化領域41の一部が重複するように構成されている。   Thereafter, the rotation and movement of the rotary tool 50 are continued, and the plasticizing region 41 is formed by making the rotary tool 50 go around the opening 12 as shown in FIG. Here, the “plasticization region” includes both a state in which the rotary tool 50 is heated by frictional heat and is actually plasticized, and a state in which the rotary tool 50 passes and returns to room temperature. At this time, the start end 54a (see FIG. 3A) and the end 54b (see FIG. 3B) in the first round of the rotating tool 50 overlap, and a part of the plasticizing region 41 overlaps. Is configured to do.

そして、図3の(c)に示すように、回転ツール50の一周目の移動が終わった後に、引き続いて塑性化領域41に沿って回転ツール50をさらに一周させる。本実施形態では、回転ツール50の二周目の回転および移動は、一周目の回転方向、回転速度、移動方向および移動速度と同様にしている(図3中、矢印Y3,Y4参照)。また、二周目の移動に入るに際して、回転ツール50は、交換を行わず、突合部40に挿入したままの状態で継続して回転および移動させ、押込み量も変更しない。なお、回転ツール50の回転速度や移動速度等は、ジャケット本体10と封止体30の形状や材質に応じて適宜変更してもよい。   Then, as shown in (c) of FIG. 3, after the movement of the first round of the rotary tool 50 is finished, the rotary tool 50 is further rotated once along the plasticizing region 41. In the present embodiment, the rotation and movement of the second turn of the rotary tool 50 are the same as the rotation direction, rotation speed, movement direction, and movement speed of the first turn (see arrows Y3 and Y4 in FIG. 3). Further, when entering the second round of movement, the rotary tool 50 is not replaced, and is continuously rotated and moved while being inserted into the abutting portion 40, and the pushing amount is not changed. Note that the rotation speed, movement speed, and the like of the rotary tool 50 may be appropriately changed according to the shape and material of the jacket body 10 and the sealing body 30.

ここで、回転ツール50は、一周目の移動において塑性化領域41を形成し、二周目の移動において、形成された塑性化領域41をさらに撹拌することでその内部に存在する空洞欠陥を低減させている。以下、回転ツール50の二周目の移動が終了して形成された領域を「第二塑性化領域43」と称する場合がある。   Here, the rotation tool 50 forms the plasticized region 41 in the movement of the first round, and further stirs the formed plasticized region 41 in the movement of the second round, thereby reducing the cavity defects existing therein. I am letting. Hereinafter, a region formed after the second movement of the rotary tool 50 is completed may be referred to as a “second plasticizing region 43”.

そして、図3の(c)に示すように、回転ツール50の二周目の移動が終了したならば、回転ツール50を塑性化領域41(突合部40)から外側に外れた周壁14の上面へと移動させ、その位置で、回転ツール50を引き抜く。このように、回転ツール50の引抜位置55が、突合部40から外側に外れた位置となっているので、撹拌ピン52の引抜跡が突合部40に形成されることはない。これにより、ジャケット本体10と封止体30との接合性をさらに高めることができる。   Then, as shown in FIG. 3C, when the movement of the second turn of the rotary tool 50 is completed, the upper surface of the peripheral wall 14 that has moved the rotary tool 50 out of the plasticizing region 41 (butting portion 40). The rotary tool 50 is pulled out at that position. As described above, the extraction position 55 of the rotary tool 50 is located outside the abutting portion 40, so that the extraction trace of the stirring pin 52 is not formed in the abutting portion 40. Thereby, the joining property of the jacket main body 10 and the sealing body 30 can further be improved.

以上のように、回転ツール50を凹部11の開口部12の周囲で、突合部40(図3の(a)参照)に沿って二周させて摩擦撹拌接合を行い、ジャケット本体10に封止体30を固定することで、液冷ジャケット1が形成される。   As described above, the rotary tool 50 is rotated around the opening portion 12 of the recess 11 along the abutting portion 40 (see FIG. 3A) to perform friction stir welding, and is sealed to the jacket body 10 By fixing the body 30, the liquid cooling jacket 1 is formed.

本実施形態に係る液冷ジャケット1の製造方法および摩擦撹拌接合方法によれば、回転ツール50を一周させて塑性化領域41を形成した後に、この塑性化領域41に沿って回転ツール50をさらに一周させることによって、塑性化領域41よりもさらに撹拌された第二塑性化領域43が形成される。すなわち、塑性化領域41に空洞欠陥が発生した場合であっても自動的に欠陥を補修することとなり、第二塑性化領域43における空洞欠陥を大幅に低減させることができる。したがって、接合部の密閉性能をより一層向上させることができ、信頼性の高い液冷ジャケット1を供給することができる。   According to the method for manufacturing the liquid cooling jacket 1 and the friction stir welding method according to the present embodiment, after forming the plasticized region 41 by making one rotation of the rotary tool 50, the rotary tool 50 is further moved along the plasticized region 41. By making one round, a second plasticized region 43 that is further stirred than the plasticized region 41 is formed. That is, even when a cavity defect occurs in the plasticized region 41, the defect is automatically repaired, and the cavity defect in the second plasticized region 43 can be greatly reduced. Accordingly, the sealing performance of the joint can be further improved, and the highly reliable liquid cooling jacket 1 can be supplied.

また、回転ツール50の二周目の移動は、回転ツール50の交換を行うことなく、一周目の移動に引き続いて連続的に行うことによって、接合時間が長くなるのを抑えることができる。   Further, the movement of the rotating tool 50 in the second round is continuously performed following the movement of the first round without exchanging the rotating tool 50, so that an increase in the joining time can be suppressed.

さらに、回転ツール50の一周目における始端54aと終端54bとがオーバーラップしており、塑性化領域41の一部が重複していることにより、ジャケット本体10の周壁14と、封止体30とを良好に接合することができる。すなわち、塑性化領域41が確実に突合部40の全周を覆うので、熱輸送流体が外部に漏れにくくなり、接合部の密閉性能をさらに向上させることができる。   Further, the start end 54a and the end end 54b in the first round of the rotary tool 50 overlap each other, and a part of the plasticized region 41 overlaps, so that the peripheral wall 14 of the jacket body 10, the sealing body 30, Can be bonded satisfactorily. That is, since the plasticized region 41 reliably covers the entire circumference of the abutting portion 40, the heat transport fluid is less likely to leak to the outside, and the sealing performance of the joint portion can be further improved.

また、回転ツール50を凹部11の開口部12回りの移動方向と同じ方向に回転させることによって、万一、第二塑性化領域43に空洞欠陥が発生したとしても、突合部40よりも外側寄りのスペース56(図4の(b)参照)の突合面40aから所定距離離反した部分に発生することとなる。したがって、凹部11内の熱輸送流体が空洞欠陥を伝わって流れることはないので、凹部11の外部に漏れにくくなり、接合部の密閉性能をさらに向上させることができる。   In addition, by rotating the rotary tool 50 in the same direction as the movement direction of the recess 11 around the opening 12, even if a cavity defect occurs in the second plasticization region 43, it is closer to the outside than the abutting portion 40. The space 56 (see (b) of FIG. 4) is generated at a portion separated by a predetermined distance from the abutting surface 40a. Therefore, since the heat transport fluid in the recess 11 does not flow through the cavity defect, it becomes difficult to leak to the outside of the recess 11, and the sealing performance of the joint can be further improved.

さらに、封止体30は、蓋板部31とフィン32,32…が一体的に形成されていることによって、蓋板部31の剛性が高くなり、摩擦撹拌接合の熱により封止体30が変形するのを防止できる。これによって、凹部11の開口部12の開口周縁部12aと封止体30の周縁部30aとの突合状態が良好となり、接合部の密閉性能をさらに向上させることができる。   Furthermore, the sealing body 30 has the lid plate portion 31 and the fins 32, 32... Integrally formed, so that the rigidity of the lid plate portion 31 is increased, and the sealing body 30 is heated by the friction stir welding. Deformation can be prevented. Thereby, the abutting state of the opening peripheral part 12a of the opening part 12 of the recessed part 11 and the peripheral part 30a of the sealing body 30 becomes favorable, and the sealing performance of a junction part can further be improved.

(第2実施形態)
次に、第2実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法および摩擦撹拌接合方法について、図5を参照して説明する。
(Second Embodiment)
Next, a method for manufacturing a liquid cooling jacket and a friction stir welding method according to the second embodiment will be described with reference to FIG.

かかる実施形態は、図5の(a)に示すように、第1実施形態の回転ツール50で塑性化領域41を形成する工程に先立って、凹部11の開口部12の開口周縁部12aと封止体30の周縁部30aとの突合部40の一部を回転ツール50よりも小型の仮接合用回転ツール60を用いて仮接合することを特徴とする。仮接合を行った後に、回転ツール50を用いて第1実施形態と同様の本接合を行う(図5の(b)参照)。   In this embodiment, as shown in FIG. 5A, prior to the step of forming the plasticized region 41 with the rotary tool 50 of the first embodiment, the sealing is performed with the opening peripheral portion 12a of the opening 12 of the recess 11 and the sealing. A part of the abutting portion 40 with the peripheral edge portion 30a of the stationary body 30 is temporarily joined using a temporary joining rotary tool 60 smaller than the rotary tool 50. After performing temporary joining, the main joining similar to 1st Embodiment is performed using the rotary tool 50 (refer FIG.5 (b)).

仮接合用回転ツール60は、回転ツール50の撹拌ピン52よりも小径の撹拌ピン(図示せず)を備えており、形成される塑性化領域45は、後の工程で回転ツール50によって形成される塑性化領域41(図5の(b)参照)の幅よりも小さい幅を有することとなる。これによって、仮接合における塑性化領域45は、塑性化領域41で完全に覆われることとなるので、塑性化領域45に残った仮接合用回転ツール60の引抜跡および塑性化領域45の跡が残らない。   The temporary joining rotary tool 60 includes a stirring pin (not shown) having a diameter smaller than that of the stirring pin 52 of the rotating tool 50, and the plasticized region 45 to be formed is formed by the rotating tool 50 in a later step. It has a width smaller than the width of the plasticized region 41 (see FIG. 5B). As a result, the plasticizing region 45 in the temporary joining is completely covered with the plasticizing region 41, so that the trace of the extraction of the temporary joining rotary tool 60 remaining in the plasticizing region 45 and the trace of the plasticizing region 45 are present. Does not remain.

本実施形態では、第1実施形態と同様に、突合部40が正方形(矩形環状)を呈しており、仮接合用回転ツール60で突合部40を仮接合する工程において、突合部40の一方の対角44a,44b同士を先に仮接合した後に、他方の対角44c,44d同士を仮接合するようになっている。このような順序で仮接合することで、封止体30をバランスよくジャケット本体10に仮接合することができ、封止体30のジャケット本体10に対する位置決め精度が向上するとともに、封止体30の変形を防止できる。また、封止体30の仮接合を行ったことによって、回転ツール50による本接合時の封止体30のズレを防止でき、接合部の密閉性能をより一層向上させることができる。   In the present embodiment, as in the first embodiment, the abutting portion 40 has a square shape (rectangular ring), and in the step of temporarily joining the abutting portion 40 with the temporary joining rotary tool 60, one of the abutting portions 40 is provided. After the diagonals 44a and 44b are temporarily joined together, the other diagonals 44c and 44d are temporarily joined. By temporarily joining in such an order, the sealing body 30 can be temporarily joined to the jacket body 10 in a well-balanced manner, and the positioning accuracy of the sealing body 30 with respect to the jacket body 10 is improved. Deformation can be prevented. Moreover, by performing the temporary joining of the sealing body 30, it is possible to prevent the sealing body 30 from being displaced at the time of the main joining by the rotary tool 50, and to further improve the sealing performance of the joint portion.

(第3実施形態)
次に、第3実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法および摩擦撹拌接合方法について、図6を参照して説明する。
(Third embodiment)
Next, a method for manufacturing a liquid cooling jacket and a friction stir welding method according to the third embodiment will be described with reference to FIG.

かかる実施形態は、図6の(a)に示すように、第1実施形態の回転ツール50で塑性化領域41を形成する工程に先立って、凹部11の開口部12の開口周縁部12aと封止体30の周縁部30aとの突合部40の一部を回転ツール50よりも小型の仮接合用回転ツール60を用いて仮接合することを特徴とする。ここでの仮接合は、第2実施形態が、正方形の突合部40の角部を摩擦撹拌接合しているのに対して、各辺の中間部を摩擦撹拌接合することによって直線状に行われている。具体的には、突合部40が正方形(矩形環状)を呈しており、仮接合用回転ツール60で突合部40を仮接合する工程において、突合部40の一方の対辺46,46の中間部46a,46b同士を先に仮接合した後に、他方の対辺47,47の中間部47a,47b同士を仮接合するようになっている。このとき仮接合用回転ツール60で形成される塑性化領域48は、それぞれ同じ長さの直線状になるようになっている。   In this embodiment, as shown in FIG. 6A, prior to the step of forming the plasticized region 41 with the rotary tool 50 of the first embodiment, the sealing is performed with the opening peripheral portion 12a of the opening 12 of the recess 11 and the sealing. A part of the abutting portion 40 with the peripheral edge portion 30a of the stationary body 30 is temporarily joined using a temporary joining rotary tool 60 smaller than the rotary tool 50. Temporary joining here is performed in a straight line by friction stir welding at the middle part of each side, while the second embodiment is friction stir welding the corners of the butt 40 of the square. ing. Specifically, the abutting portion 40 has a square shape (rectangular ring shape), and in the step of temporarily joining the abutting portion 40 with the temporary joining rotary tool 60, an intermediate portion 46 a of one opposite side 46, 46 of the abutting portion 40. , 46b are temporarily joined together, and then the intermediate portions 47a, 47b of the other opposite sides 47, 47 are temporarily joined. At this time, the plasticizing regions 48 formed by the temporary bonding rotary tool 60 are linearly formed with the same length.

本実施形態では、前記のような順序で仮接合することで、封止体30をバランスよくジャケット本体10に仮接合することができ、封止体30のジャケット本体10に対する位置決め精度が向上するとともに、封止体30の変形を防止できる。また、封止体30の仮接合を行ったことによって、回転ツール50による本接合時の封止体30のズレを防止できる。さらに、本実施形態によれば、仮接合の摩擦撹拌接合が直線状であるので、仮接合用回転ツール60を直線的に移動させるだけでよく加工が容易である。   In this embodiment, by temporarily joining in the order as described above, the sealing body 30 can be temporarily joined to the jacket body 10 in a balanced manner, and the positioning accuracy of the sealing body 30 with respect to the jacket body 10 is improved. The deformation of the sealing body 30 can be prevented. Further, by performing temporary bonding of the sealing body 30, it is possible to prevent the sealing body 30 from being displaced during the main bonding by the rotary tool 50. Furthermore, according to this embodiment, since the friction stir welding of the temporary bonding is linear, it is only necessary to move the temporary bonding rotary tool 60 linearly and the processing is easy.

(第4実施形態)
次に、第4実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法および摩擦撹拌接合方法について、図7、図8および図9を参照して説明する。
(Fourth embodiment)
Next, a method for manufacturing a liquid cooling jacket and a friction stir welding method according to the fourth embodiment will be described with reference to FIGS. 7, 8, and 9.

かかる実施形態は、図7に示すように、回転ツール50の二周目における移動軌跡を、回転ツール50の一周目における移動で形成された塑性化領域41よりも外側へ偏移させることを特徴とする。   In this embodiment, as shown in FIG. 7, the movement trajectory in the second turn of the rotary tool 50 is shifted outward from the plasticizing region 41 formed by the movement in the first turn of the rotary tool 50. And

具体的には、まず、図7の(a)に示すように、封止体30を、ジャケット本体10の凹部(図示せず)に挿入して、封止体30の周縁部30aが、凹部の開口周縁部12aの段差部(図示せず)上に載置されるように設置した後、回転ツール50を、突合部40から外側に外れた周壁14の上面の挿入位置53に挿入する。その後、回転ツール50を、突合部40の始端54aまで移動させて、この突合部40に沿って一周目の終端54bまで移動させて塑性化領域41を形成する。ここまでの工程は第1実施形態と同様である(図3の(b)までと同様)。回転ツール50の一周目の移動は、凹部(図示せず)の開口部(図示せず)に対して右回りとなっており(図7中、矢印Y1参照)、回転ツール50の回転方向も右回転となっている(図7中、矢印Y2参照)。   Specifically, first, as shown in FIG. 7A, the sealing body 30 is inserted into a recess (not shown) of the jacket body 10, and the peripheral portion 30 a of the sealing body 30 is recessed. Then, the rotary tool 50 is inserted into the insertion position 53 on the upper surface of the peripheral wall 14 that is outside the abutting portion 40. Thereafter, the rotary tool 50 is moved to the start end 54 a of the abutting portion 40, and is moved to the first end 54 b along the abutting portion 40 to form the plasticized region 41. The steps up to here are the same as those in the first embodiment (the same as in FIG. 3B). The rotation of the rotary tool 50 in the first round is clockwise with respect to the opening (not shown) of the recess (not shown) (see arrow Y1 in FIG. 7). The rotation is clockwise (see arrow Y2 in FIG. 7).

その後、図8に示すように、回転ツール50を、一周目の終端54bから外側へ偏移させる。このとき、回転ツール50の一周目の始端54aと終端54bとはオーバーラップしている。回転ツール50の偏移は、移動方向に向かうに連れて外側へ移動するように斜めに移動して、回転ツール50の二周目の移動軌跡の内側端が、一周目の移動軌跡(塑性化領域41)の中心線(突合部40の突合面40a)よりも外側に位置するようになっている。その後、回転ツール50は、図7の(b)に示すように、一周目の移動軌跡(塑性化領域41)と位置関係を保ちながら平行に移動する。これによって、一周目の移動軌跡の外側部分が、回転ツール50の二周目の移動によって撹拌されることとなる(図8および図9参照)。なお、回転ツール50の二周目の移動は、一周目の回転方向、回転速度、移動方向、移動速度および押込み量と同様にしている。なお、二周目の回転ツール50の回転速度や移動速度や押込み量等は、ジャケット本体10と封止体30の形状や材質に応じて適宜変更してもよい。   Thereafter, as shown in FIG. 8, the rotary tool 50 is shifted outward from the end 54b of the first round. At this time, the first end 54a and the last end 54b of the first turn of the rotary tool 50 overlap each other. The deviation of the rotation tool 50 moves obliquely so as to move outward in the direction of movement, and the inner end of the second movement trajectory of the rotation tool 50 is the first movement trajectory (plasticization). It is located outside the center line of the region 41) (the abutting surface 40a of the abutting portion 40). Thereafter, as shown in FIG. 7B, the rotary tool 50 moves in parallel while maintaining the positional relationship with the movement trajectory (plasticization region 41) in the first round. As a result, the outer part of the movement track of the first round is agitated by the movement of the second round of the rotary tool 50 (see FIGS. 8 and 9). The movement of the rotary tool 50 in the second round is the same as the rotation direction, rotation speed, movement direction, movement speed, and push-in amount in the first round. Note that the rotation speed, movement speed, push-in amount, and the like of the second rotation tool 50 may be changed as appropriate according to the shape and material of the jacket body 10 and the sealing body 30.

そして、図7の(c)に示すように、回転ツール50の二周目の移動が終了したならば、回転ツール50を第二塑性化領域43から外側に外れた周壁14の上面の引抜位置55
へと移動させ、その位置で、回転ツール50を引き抜く。
Then, as shown in FIG. 7C, when the movement of the second turn of the rotary tool 50 is completed, the extraction position of the upper surface of the peripheral wall 14 that is outside the second plasticizing region 43 is removed. 55
The rotary tool 50 is pulled out at that position.

本実施形態によれば、第1実施形態で得られる作用効果の他に、以下のような作用効果を得られる。   According to the present embodiment, the following operational effects can be obtained in addition to the operational effects obtained in the first embodiment.

本実施形態では、回転ツール50の二周目における移動軌跡を、回転ツール50の一周目における移動で形成された塑性化領域41よりも外側へ偏移させることによって、一周目の摩擦撹拌で空洞欠陥が発生したとしても、その空洞欠陥は塑性化領域41内の外側寄りのスペース56a(図9参照)に発生するので、回転ツール50の二周目の移動で撹拌して空洞欠陥を低減することができる。さらに、万一、二周目の摩擦撹拌で空洞欠陥が発生したとしても、外側へ偏移した移動軌跡の外側寄りのスペース56b(図9参照)に発生することになるので、空洞欠陥はジャケット本体10の開口周縁部12aと封止体30の周縁部30aとの突合部40から大きく離反する。したがって、熱輸送流体が外部に漏れにくくなり、接合部の密閉性能をさらに向上させることができる。   In the present embodiment, the movement trajectory in the second round of the rotary tool 50 is shifted outward from the plasticizing region 41 formed by the movement in the first round of the rotary tool 50, so that the cavity is created by friction stirring in the first round. Even if a defect occurs, the cavity defect occurs in the outer space 56a (see FIG. 9) in the plasticized region 41. Therefore, stirring is performed by the second movement of the rotary tool 50 to reduce the cavity defect. be able to. Furthermore, even if a cavity defect occurs due to the friction agitation in the second round, it will occur in the space 56b (see FIG. 9) near the outside of the movement locus shifted to the outside. The main body 10 is greatly separated from the abutting portion 40 between the opening peripheral portion 12a of the main body 10 and the peripheral portion 30a of the sealing body 30. Therefore, it becomes difficult for the heat transport fluid to leak to the outside, and the sealing performance of the joint portion can be further improved.

(第5実施形態)
次に、第4実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法および摩擦撹拌接合方法について、図10を参照して説明する。
(Fifth embodiment)
Next, a method for manufacturing a liquid cooling jacket and a friction stir welding method according to a fourth embodiment will be described with reference to FIG.

かかる実施形態は、図10に示すように、回転ツール50の二周目における移動方向を、回転ツールの一周目における移動方向とは逆方向にすることを特徴とする。   As shown in FIG. 10, this embodiment is characterized in that the moving direction in the second turn of the rotary tool 50 is opposite to the moving direction in the first turn of the rotating tool.

具体的には、まず、図10の(a)に示すように、封止体30を、ジャケット本体10の凹部(図示せず)に挿入して、封止体30の周縁部30aが、凹部の開口周縁部12aの段差部(図示せず)上に載置されるように設置した後、回転ツール50を、突合部40から外側に外れた周壁14の上面の挿入位置53に挿入する。その後、回転ツール50を、突合部40の始端54aまで移動させて、この突合部40に沿って一周目の終端54bまで移動させて塑性化領域41を形成する。ここまでの工程は第1実施形態と同様である(図3の(b)まで)。回転ツール50の一周目の移動は、凹部の開口部12に対して右回りとなっており(図10中、矢印Y1参照)、回転ツール50の回転方向も右回転となっている(図10中、矢印Y2参照)。   Specifically, first, as shown in FIG. 10A, the sealing body 30 is inserted into a recess (not shown) of the jacket body 10, and the peripheral portion 30 a of the sealing body 30 is recessed. Then, the rotary tool 50 is inserted into the insertion position 53 on the upper surface of the peripheral wall 14 that is outside the abutting portion 40. Thereafter, the rotary tool 50 is moved to the start end 54 a of the abutting portion 40, and is moved to the first end 54 b along the abutting portion 40 to form the plasticized region 41. The steps so far are the same as in the first embodiment (up to (b) in FIG. 3). The first rotation of the rotary tool 50 is clockwise with respect to the opening 12 of the recess (see arrow Y1 in FIG. 10), and the rotation direction of the rotary tool 50 is also clockwise (FIG. 10). Middle, see arrow Y2).

その後、図10の(b)に示すように、回転ツール50を、一周目の終端54bで折り返して、形成された塑性化領域41に沿って(突合部40に沿って)左回りに移動する(図10中、矢印Y5参照)。このとき、回転ツール50は、回転方向は一周目と同様に右回転を継続する(図10中、矢印Y6参照)。回転ツール50が一周目とは逆方向に移動して同方向に回転する二周目によって、形成された塑性化領域41をさらに撹拌された第二塑性化領域43が形成される。なお、二周目の回転ツール50の回転速度や移動速度や押込み量等は、ジャケット本体10と封止体30の形状や材質に応じて適宜変更してもよい。   Thereafter, as shown in FIG. 10B, the rotary tool 50 is folded back at the end 54b of the first round and moved counterclockwise along the formed plasticized region 41 (along the abutting portion 40). (See arrow Y5 in FIG. 10). At this time, the rotation tool 50 continues to rotate clockwise as in the first rotation (see arrow Y6 in FIG. 10). The second plasticizing region 43 in which the formed plasticizing region 41 is further stirred is formed by the second rotation in which the rotating tool 50 moves in the opposite direction to the first rotation and rotates in the same direction. Note that the rotation speed, movement speed, push-in amount, and the like of the second rotation tool 50 may be changed as appropriate according to the shape and material of the jacket body 10 and the sealing body 30.

そして、図10の(c)に示すように、回転ツール50の二周目の移動が終了したならば(本実施形態では、一周目の始端54aまで移動)、回転ツール50を第二塑性化領域43(突合部40)から外側に外れた周壁14の上面へと移動させ、その位置で、回転ツール50を引き抜く。なお、回転ツール50を引き抜く位置は、挿入位置53と同じである。   Then, as shown in FIG. 10C, when the movement of the second turn of the rotary tool 50 is completed (in this embodiment, the rotary tool 50 is moved to the start end 54a of the first turn), the rotary tool 50 is second plasticized. It moves to the upper surface of the surrounding wall 14 which remove | deviated from the area | region 43 (butting part 40), and the rotary tool 50 is pulled out in the position. The position where the rotary tool 50 is pulled out is the same as the insertion position 53.

本実施形態によれば、第1実施形態で得られる作用効果の他に、以下のような作用効果を得られる。   According to the present embodiment, the following operational effects can be obtained in addition to the operational effects obtained in the first embodiment.

本実施形態では、回転ツール50の一周目と二周目における移動方向を逆方向にすることによって、塑性化領域41,43が一周目と二周目とで逆向きに撹拌されることになるので、効率的に撹拌される。したがって、空洞欠陥を低減させることができ、接合部の密閉性能を向上させることができる。   In the present embodiment, the plasticizing regions 41 and 43 are agitated in the opposite directions in the first and second rounds by reversing the moving directions in the first and second rounds of the rotary tool 50. So it is stirred efficiently. Therefore, cavity defects can be reduced and the sealing performance of the joint can be improved.

(第6実施形態)
次に、第6実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法および摩擦撹拌接合方法について、図11を参照して説明する。
(Sixth embodiment)
Next, a method for manufacturing a liquid cooling jacket and a friction stir welding method according to a sixth embodiment will be described with reference to FIG.

かかる実施形態は、図11に示すように、回転ツール50の二周目における突合部40への押込み量を、回転ツール50の一周目における突合部40への押込み量よりも大きくすることを特徴とする。   As shown in FIG. 11, this embodiment is characterized in that the pushing amount into the abutting portion 40 in the second round of the rotary tool 50 is larger than the pushing amount into the abutting portion 40 in the first round of the rotating tool 50. And

具体的には、一周目における回転ツール50は、図11の(a)に示すように、回転ツール50のショルダ部51の下端面が、ジャケット本体10および封止体30の上端面よりも僅かに低くなるように配置されており、ジャケット本体10および封止体30の上端面と、回転ツール50のショルダ部51の下端面との距離が、突合部40への押込み量L2となっている。二周目における回転ツール50は、図11の(b)に示すように、回転ツール50のショルダ部51の下端面が、一周目よりも深くジャケット本体10および封止体30の上端面より低い高さに位置するように配置されており、回転ツール50の突合部40への押込み量L3が、回転ツール50の一周目における突合部40への押込み量L2よりも大きくなっている。このとき、回転ツール50によって形成される第二塑性化領域43は、突合部40の深い位置まで形成されることとなる。なお、回転ツール50のショルダ部51によって押し退けられた金属は、バリとなって排除される。   Specifically, as shown in FIG. 11A, the rotary tool 50 in the first round is slightly lower in the lower end surface of the shoulder portion 51 of the rotary tool 50 than the upper end surfaces of the jacket body 10 and the sealing body 30. The distance between the upper end surfaces of the jacket main body 10 and the sealing body 30 and the lower end surface of the shoulder portion 51 of the rotary tool 50 is the amount L2 pushed into the abutting portion 40. . As for the rotary tool 50 in the second round, as shown in FIG. 11B, the lower end surface of the shoulder portion 51 of the rotary tool 50 is deeper than the first round and lower than the upper end surfaces of the jacket body 10 and the sealing body 30. It arrange | positions so that it may be located in height, and the pushing amount L3 to the abutting part 40 of the rotary tool 50 is larger than the pushing amount L2 to the abutting part 40 in the 1st round of the rotating tool 50. At this time, the second plasticizing region 43 formed by the rotary tool 50 is formed up to a deep position of the abutting portion 40. In addition, the metal pushed away by the shoulder part 51 of the rotary tool 50 is removed as a burr.

本実施形態によれば、第1実施形態で得られる作用効果の他に、以下のような作用効果を得られる。   According to the present embodiment, the following operational effects can be obtained in addition to the operational effects obtained in the first embodiment.

本実施形態では、回転ツール50の二周目における突合部40への押込み量を、回転ツール50の一周目における突合部40への押込み量よりも大きくしているので、回転ツール50がより一層奥まで押し込まれ、回転ツール50の押込み力により第二塑性化領域43にかかる圧力が高くなり、効率的に撹拌されることとなる。これによって、空洞欠陥を低減させることができる。   In the present embodiment, the amount of pushing into the abutting portion 40 in the second round of the rotary tool 50 is made larger than the amount of pushing into the abutting portion 40 in the first round of the rotating tool 50. The pressure applied to the second plasticizing region 43 is increased by the pressing force of the rotary tool 50 and is efficiently stirred. Thereby, cavity defects can be reduced.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の実施形態はこれに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能であり、例えば、前記実施形態では、封止体30が平面視正方形であるが、これに限定されるものではなく、長方形、多角形、円形等の他の形状であってもよい。さらに、前記実施形態では封止体30に設けられているフィン32は、蓋板部と別体であってもよく、例えば、ジャケット本体と一体であってもよい。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, embodiment of this invention is not limited to this, In the range which does not deviate from the meaning of this invention, it can change suitably, For example, in the said embodiment, Although the sealing body 30 is a square in plan view, the shape is not limited to this, and may be other shapes such as a rectangle, a polygon, and a circle. Furthermore, in the said embodiment, the fin 32 provided in the sealing body 30 may be a different body from a cover board part, for example, may be integral with a jacket main body.

また、前記実施形態では、液冷ジャケットの製造方法として、ジャケット本体10と封止体30との摩擦撹拌接合方法を説明したが、摩擦撹拌接合方法の実施形態としてはこれに限られるものではなく、他の形態の金属材(ジャケット本体10に相当する第一部材と、封止体30に相当する板状の第二部材)同士の接合に適用できるのは勿論である。   Moreover, in the said embodiment, although the friction stir welding method of the jacket main body 10 and the sealing body 30 was demonstrated as a manufacturing method of a liquid cooling jacket, as embodiment of a friction stir welding method, it is not restricted to this. Of course, the present invention can be applied to joining metal materials of other forms (a first member corresponding to the jacket body 10 and a plate-like second member corresponding to the sealing body 30).

第1実施形態に係る液冷ジャケットの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the liquid cooling jacket which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る液冷ジャケットの封止体の斜視図である。It is a perspective view of the sealing body of the liquid cooling jacket which concerns on 1st Embodiment. (a)〜(c)は、第1実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の工程図である。(A)-(c) is process drawing of the manufacturing method of the liquid cooling jacket which concerns on 1st Embodiment. (a)は、第1実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の摩擦撹拌接合を示した断面図、(b)は、(a)の摩擦撹拌接合により形成された塑性化領域を示した断面図である。(A) is sectional drawing which showed the friction stir welding of the manufacturing method of the liquid cooling jacket which concerns on 1st Embodiment, (b) is the cross section which showed the plasticization area | region formed by the friction stir welding of (a). FIG. (a)、(b)は、第2実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の工程図である。(A), (b) is process drawing of the manufacturing method of the liquid cooling jacket which concerns on 2nd Embodiment. (a)、(b)は、第3実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の工程図である。(A), (b) is process drawing of the manufacturing method of the liquid cooling jacket which concerns on 3rd Embodiment. (a)〜(c)は、第4実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の工程図である。(A)-(c) is process drawing of the manufacturing method of the liquid cooling jacket which concerns on 4th Embodiment. 第4実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の摩擦撹拌接合を示した拡大平面図である。It is the enlarged plan view which showed the friction stir welding of the manufacturing method of the liquid cooling jacket which concerns on 4th Embodiment. 第4実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の摩擦撹拌接合により形成された塑性化領域を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the plasticization area | region formed by the friction stir welding of the manufacturing method of the liquid cooling jacket which concerns on 4th Embodiment. (a)〜(c)は、第5実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の工程図である。(A)-(c) is process drawing of the manufacturing method of the liquid cooling jacket which concerns on 5th Embodiment. (a)は、第6実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の摩擦撹拌接合の一周目を示した断面図、(b)は、第6実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の摩擦撹拌接合の二周目を示した断面図である。(A) is sectional drawing which showed the 1st round of the friction stir welding of the manufacturing method of the liquid cooling jacket which concerns on 6th Embodiment, (b) is the friction stirring of the manufacturing method of the liquid cooling jacket which concerns on 6th Embodiment. It is sectional drawing which showed the 2nd round of joining.

符号の説明Explanation of symbols

1 液冷ジャケット
10 ジャケット本体
11 凹部
12 開口部
12a 開口周縁部
30 封止体
30a 周縁部
40 突合部
41 塑性化領域
50 回転ツール
60 仮接合用回転ツール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid cooling jacket 10 Jacket main body 11 Recessed part 12 Opening part 12a Opening peripheral part 30 Sealing body 30a Peripheral part 40 Butting part 41 Plasticization area | region 50 Rotating tool 60 Rotating tool for temporary joining

Claims (9)

熱発生体が発生する熱を外部に輸送する熱輸送流体が流れるとともに一部が開口した凹部を有するジャケット本体に、前記凹部の開口部を封止する封止体を摩擦撹拌接合によって固定して構成される液冷ジャケットの製造方法において、
前記ジャケット本体の前記凹部の開口周縁部と前記封止体の周縁部との突合部に沿って回転ツールを一周させて塑性化領域を形成した後、前記回転ツールの前記突合部への押込み量を、前記回転ツールの一周目における前記突合部への押込み量よりも大きくして、前記塑性化領域に沿って前記回転ツールをさらに一周させて、前記封止体を前記ジャケット本体に固定する
ことを特徴とする液冷ジャケットの製造方法。
A sealing body that seals the opening of the recess is fixed to the jacket body having a recess that is partially opened while a heat transport fluid that transports heat generated by the heat generator flows to the outside by friction stir welding. In the manufacturing method of the liquid cooling jacket constituted,
The amount of pushing of the rotary tool into the butt portion after forming a plasticized region by making a round of the rotary tool along the butt portion between the peripheral edge of the opening of the concave portion of the jacket body and the peripheral edge of the sealing body Is larger than the amount of pressing into the abutting portion in the first round of the rotary tool, and the rotary tool is further rotated along the plasticizing region to fix the sealing body to the jacket body. A method for producing a liquid-cooled jacket.
前記回転ツールの一周目における始端と終端とがオーバーラップしており、前記塑性化領域の一部が重複している
ことを特徴とする請求項1に記載の液冷ジャケットの製造方法。
The manufacturing method of the liquid cooling jacket according to claim 1, wherein a starting end and a terminal end of the first round of the rotating tool overlap and a part of the plasticizing region overlaps.
前記回転ツールの二周目における移動軌跡を、前記回転ツールの一周目における移動で形成された塑性化領域よりも外側へ偏移させる
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液冷ジャケットの製造方法。
3. The liquid according to claim 1, wherein a movement trajectory in the second round of the rotary tool is shifted outward from a plasticizing region formed by movement in the first round of the rotary tool. Manufacturing method for cold jacket.
前記回転ツールの挿入位置は、前記突合部から外側に外れた周壁の上面であり、前記回転ツールの引き抜き位置は、前記突合部から外側に外れた周壁の上面であるThe insertion position of the rotary tool is the upper surface of the peripheral wall that is out of the abutting portion, and the extraction position of the rotary tool is the upper surface of the peripheral wall that is out of the abutting portion.
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の液冷ジャケットの製造方法。The manufacturing method of the liquid cooling jacket of any one of Claim 1 thru | or 3 characterized by the above-mentioned.
前記回転ツールを前記開口部に対して右回りに移動させるときは、前記回転ツールを右回転させ、
前記回転ツールを前記開口部に対して左回りに移動させるときは、前記回転ツールを左回転させる
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の液冷ジャケットの製造方法。
When moving the rotary tool clockwise with respect to the opening, rotate the rotary tool clockwise,
The liquid cooling jacket according to any one of claims 1 to 4, wherein when the rotating tool is moved counterclockwise with respect to the opening, the rotating tool is rotated counterclockwise. Method.
前記回転ツールの二周目における移動方向を、前記回転ツールの一周目における移動方向とは逆方向にする
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の液冷ジャケットの製造方法。
The liquid cooling jacket according to any one of claims 1 to 4, wherein a moving direction of the rotating tool in the second turn is opposite to a moving direction of the rotating tool in the first turn. Manufacturing method.
前記回転ツールで前記塑性化領域を形成する工程に先立って、前記突合部の一部を前記回転ツールよりも小型の仮接合用回転ツールを用いて仮接合する
ことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の液冷ジャケットの製造方法。
Prior to the step of forming the plasticized region with the rotary tool, a part of the abutting portion is temporarily joined using a rotary tool for temporary joining that is smaller than the rotary tool. The manufacturing method of the liquid cooling jacket of any one of Claim 6.
前記突合部が矩形環状を呈しており、
前記仮接合用回転ツールで前記突合部を仮接合する工程において、前記突合部の一方の対角同士を先に仮接合した後に、他方の対角同士を仮接合する
ことを特徴とする請求項7に記載の液冷ジャケットの製造方法。
The abutting portion has a rectangular ring shape;
In the step of temporarily joining the abutting portion with the temporary tool for temporary joining, after temporarily joining one diagonal of the abutting portion first, the other diagonal is temporarily joined. 8. A method for producing a liquid cooling jacket according to 7.
前記突合部が矩形環状を呈しており、
前記仮接合用回転ツールで前記突合部を仮接合する工程において、前記突合部の一方の対辺の中間部同士を先に仮接合した後に、他方の対辺の中間部同士を仮接合する
ことを特徴とする請求項7に記載の液冷ジャケットの製造方法。
The abutting portion has a rectangular ring shape;
In the step of temporarily joining the abutting portion with the temporary tool for temporary joining, the intermediate portions of one opposite side of the abutting portion are temporarily joined first, and then the intermediate portions of the other opposite side are temporarily joined. The manufacturing method of the liquid cooling jacket of Claim 7.
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