JP5114059B2 - 排気システム - Google Patents

Description

本発明は、排気機構と、排気機構を駆動するためのモータと、モータを制御するための駆動制御装置と、を含む排気システムまたはポンプに関する。

排気システム、特に真空排気機構を含むシステムは、半導体処理システムに広く用いられている。典型的な排気システム６０が図７に示されている。半導体ウェハの処理は、真空チャンバまたは処理チャンバ６２で行われる。処理の間に、処理チャンバ内の処理ガスの圧力は、真空ポンプまたは排気機構６４により比較的低い処理圧力に維持される。圧力は、典型的には長時間、処理圧力に維持され、例えば装置の修理や保守のために、定期的に大気圧に戻される。未処理のウェハは処理チャンバに導入され、処理済のウェハは処理チャンバからロードロックチャンバを経て取り出される。ロードロックチャンバ内の圧力は、ロードロックチャンバが大気にあるときに、ウェハを半導体処理システムに、および、半導体処理システムから移送することができるように、また、ロードロックチャンバが処理圧力まで排気されているときに、ウェハをロードロックチャンバと処理チャンバとの間で移送することができるように、真空ポンプによって制御される。半導体処理システムと関連したチャンバのために真空ポンプが選択されるときには、ポンプの電力要求を特定しなければならない。変速駆動装置を含む駆動制御装置５０は、ポンプのモータ５１を制御するのに適切な電力要求とともに選択される。典型的には、駆動装置およびポンプに対する電力要求は同じになる。

したがって、（ａ）チャンバ内の圧力を処理圧力まで減圧することができ、および（ｂ）チャンバ内に処理圧力を維持することができる、真空ポンプが要求される。真空ポンプがチャンバ内に処理圧力を維持するとき、真空ポンプは、大気圧がポンプの下流からチャンバに流入するのを阻止している。これは究極での作動と呼ばれる。究極での作動は、ポンプの電力要求について要求が比較的少ない。チャンバを大気圧から処理圧力まで排気するポンプの作動（排気）は、比較的多くの電力を要求する。

排気が真空ポンプの作動寿命の例えば２〜３％を取るに過ぎないとしても、一般的には、排気での電力要求を満たすために、真空ポンプ、且つまた駆動装置の電力の最大出力を選択するのが手順である。増大した電力が作動のわずかなパーセンテージのみに必要とされるとしても、ポンプの駆動装置のコストと大きさは、増大した電力要求と共に増す。

図１を参照すると、モータ５１に供給される電力を制御するための変速駆動装置５０を含む先行技術の駆動制御装置が示されている。駆動装置５０は、モータのモータ熱負荷（ＭＴＬ）を監視するための第１モジュール５２を含む。当技術分野で知られているように、モータ電流（Ｉ_motor）が第１モジュールに入力され、第１モジュールがモータ熱負荷を見積もる。Ｉ_ratedは、モータが過熱することなく無制限に作動することができる定格電流である。第１モジュールは、Ｉ_motor／Ｉ_ratedの２乗を計算し、一次の低域フィルタ５２（時定数τ、ラプラス演算子ｓ）を用いてモータ熱負荷を計算する。モータは、その温度が入力電流の２乗の関数であるから一次システムを用いて、熱的にモデル化することができる。

モジュール５２で表される一次の低域フィルタはデジタルであるが、代わりに、モータ温度をアナログ手段によってモデル化してもよい。より高い精度のために、高次のフィルタを用いてもよい。

第２モジュール５４は、モータへの電力を表示する矢印によって指示されるようにモータ５１に電力を伝達するための電流制御モジュール５６を含む。電力はモータに供給される電流を制御することによって制御され、電流はモータの電圧の周波数および／または大きさを調整することにより制御される。プログラム可能な内部駆動電流制限器５８は、モータに供給される電力を制限するための制御モジュール５６に駆動電流制限を出力する。比較器５７は、モータ熱負荷ＭＴＬと、予め設定されたトリップ値記憶装置６０に保持された所定のモータ熱負荷とを比較する。決定されたモータ熱負荷が予め設定されたトリップ値を超えると、モータへの電力を遮断するためのトリップコマンドが制御モジュール５６に伝達される。トリッピングは、モータ電力の０への急激な即時の減少を伴い、その目的はモータを損傷から保護することにある。

一般に、モータおよび駆動装置は、定格電力の１００％で無期限に作動することができる。しかしながら、これらを、典型的には、短期時限期間の間、定格電力の２００％（あるいはそれ以上）まで過負荷にすることができる。

図２は、変速駆動装置５０の時間対電流（Ｉ_motor）のグラフを示している。破線６２は、モータ熱負荷が予め設定された値を超え、かくしてトリッピングがいつ起こるかを示す。破線は、電流とモータ熱負荷との間の関係にしたがってプロットされている。モータの定格電力は、モータを、過熱なしに、したがってトリッピングなく、無期限に作動することができる電力である。定格電力，定格電圧および定格周波数で作動されるモータは、図１に関して上述された定格電流Ｉ_ratedを引く。

図２は、定格電流Ｉ_ratedを１００％として示し、これはモータを過熱させることなく無期限に持続させることができる電流である。図２から分かるように、駆動制御装置５０が２００％の電流で過負荷状態で作動されるとき、モータのトリッピングが時間ｔ_trip（２００％）で起こり、Ｘ％の電流で過負荷状態での作動は、時間ｔ_trip（Ｘ％）でモータのトリッピングをもたらす。したがって、トリッピングが起こる時間は、過負荷電流の量（すなわち、電流が定格電流を超える程度）に依存することが認識されるであろう。

したがって、半導体処理システムで真空ポンプのいわゆる排気時間を短縮するために、モータを過負荷状態で作動することが可能である。しかしながら、このことは、過負荷があまりに長く保持されたり大き過ぎたりすると、駆動装置がトリップするかも知れない欠点を有する。これは、モータが止められるならば、半導体処理ウェハを損傷させるかもしれないので不利である。

本発明は、トリッピングのいかなる可能性もなしにシステムを過負荷状態で過渡期の間、意図的に作動することによって、排気システムの性能を向上させようとするものである。

第１の態様では、本発明は、排気機構と、排気機構を駆動するためのモータと、モータを制御するための駆動制御装置と、システム内の少なくとも一つの状態を監視するための手段と、を含む排気システムであって、該システムの性能を向上させるために、駆動制御装置により、前記監視状態が所定の作動制限を超えることができる過負荷状態でシステムを過渡期の間作動させ、前記過負荷状態で作動するときに、前記駆動制御装置は、前記監視状態のレベルに応じてモータへの電力を制御し、これにより前記状態が前記作動制限を超えるのを回避する。排気機構は、真空排気機構であるのがよい。

性能は、好ましくは、前記駆動制御装置がモータに供給する電力を、前記監視状態が所定の作動制限を超えることができるレベルまで増大させることによって向上される。駆動制御装置により、好ましくはモータの負荷がモータへの増大した電力供給を要求するとき、システムを過負荷状態で作動させる。

好ましくは、駆動制御装置は、前記状態が所定の下限を超えない限り、前記電力を制限しない。前記所定の下限以上では、前記駆動制御装置は、前記監視状態に応じて電力を徐々に減少させてもよいし、増大させてもよい。

駆動制御装置は、好ましくはモータ電力を制限しない１のゲイン，モータ電力を０に制限する０のゲイン，０〜１のゲイン，を採用し得るゲイン回路を含み、前記ゲイン回路は、前記状態との所定関係にしたがって前記ゲインを制御する。

好ましい実施形態では、駆動制御装置は、モータに供給される電圧の周波数および／または電圧の大きさを調整してモータに供給される電流を制限することにより、モータの電力を制御する。駆動制御装置は、前記モータにおける最大許容電流を設定するためのプログラム可能な手段を含み、それによってシステムを過負荷にすることができる程度を設定する。

前記状態は、システム内の温度であってもよい。前記状態は、モータ，駆動装置または排気機構のいずれかの部分の熱負荷の計算値であってもよい。この場合、駆動制御装置は、

にしたがってモータ熱負荷を見積もってもよい。ここで、Ｉ_motorはモータの電流，Ｉ_ratedはこれ以上で前記モータが前記過負荷状態で作動する定格電流，τは時定数，ｓはラプラス演算子である。

また、システム内の前記監視状態は、圧力，電流，電圧，インピーダンス，温度の内のいずれか一つまたはそれ以上であってもよい。駆動制御装置は、システム内の一つまたはそれ以上の前記状態を監視するための一つまたはそれ以上のセンサーからの入力を受けるための手段を含んでいてもよく、駆動制御装置により、過負荷状態で過渡期の間システムを作動させるときに、モータへの電力が、前記一つまたはそれ以上の状態が所定の作動制限を超えるのを回避するように制御される。例えば、一つまたはそれ以上のセンサーは、システム内のガス圧，温度，電圧またはインピーダンスの内の一つまたはそれ以上を検出するためのものであってもよい。

駆動制御装置は、前記監視状態のレベルに応じてモータへの電力を制御するための変速駆動装置を含み、これにより前記状態が前記作動制限を超えるのを回避してもよい。

駆動制御装置は、前記監視状態のレベルに応じてモータへの電力を制御するためのアナログ手段を含み、これにより前記状態が前記作動制限を超えるのを回避してもよい。

駆動制御装置は、前記システムが過負荷状態で作動されるのを防止するように作動可能であってもよい。

第２の態様では、本発明は、排気機構と、排気機構を駆動するためのモータと、モータへの電力を制御するための駆動制御装置と、を含む排気システムの制御方法であって、システムを、前記監視状態が所定の作動制限を超えることができる過負荷状態で過渡期の間作動させることによって、システムの性能を向上させる工程と、前記過負荷状態で作動するとき、前記監視状態のレベルに応じてモータへの電力を制御し、これにより前記状態が前記作動制限を超えるのを回避する工程と、を含む。

本発明のシステムの態様に関連する上記特徴は、方法の態様にも同様に適用でき、逆もまた同様である。

本発明をより容易に理解するために、ここでは単なる例として示された２つの実施形態を、添付図面を参照して記載する。

図３は、本発明の第１の実施形態による変速駆動装置８の形態の駆動制御装置を示す。第１モジュール１０と第２モジュール１２は、図１に示された第１モジュール５２と第２モジュール５４と同様である。第１モジュール１０は、上述のＩ_motor，Ｉ_rated，τ，ｓの間の関係を用いてモータ熱負荷ＭＴＬを監視する。モータ熱負荷は、ゲイン回路ユニット１４に入力される。ユニット１４は、モータ熱負荷との所定の関係にしたがってゲインを計算し、ゲインを乗算器３２に出力する。乗算器３２は、またプログラム可能な内部駆動電流制限ユニット２０から入力を受ける。乗算器３２は、電流制御モジュール１６に調整電流制限値を出力する。乗算器３２からの電流制限出力は、モータ３０の電力を制限する。

ゲイン回路ユニット１４は、モータ熱負荷ＭＴＬとの所定の関係にしたがって、乗算器３２へのゲイン出力を決定する。この関係は、アルゴリズムで具現化され、その一例を図３ａに示す（詳細は以下に記載）。

図４は、駆動装置８の時間に対する電流のグラフを示している。図４の破線６２は、モータ熱負荷がいつ所定の作動制限を超えるかを指示し、かくしてモータの損傷を防ぐために先行技術でトリッピングがいつ起こっていたかを指示している（図２に示すように）。実線４０は、本実施形態にしたがう、モータの作動の限界を示している。実線４０は、安全マージンを提供するために、破線６２から間隔が隔てられている。

駆動制御装置８のゲイン回路ユニット１４は、電流を減ずることによりモータに供給される電力を制限する。ゲイン回路は、モータ電力を制限しない１のゲイン，モータに電力を供給させない０のゲイン，「制限なし」と「電力なし」との間でモータに供給される電力を調整する０〜１のゲインを採用することができる。したがって、モータに供給される電流は、モータ熱負荷が所定の作動制限を超えない（すなわち、破線６２を超えない）ように制御される。

図３ａに示すように、モータ熱負荷が所定の下限を下回っているとき、ユニット１４のゲインは１である。ゲインが１のとき、モータに供給される電力は制限されない。図４で破線６２と実線４０の間の安全マージンは、選択された下限によって決定される。図３ａに示されたモータ熱負荷とゲインとの間の関係にしたがって、モータ熱負荷が下限以上に増大すると、ユニット１４はゲインを徐々に減ずる。図示した例では、０.５のゲインで安定点（Ｉ_motor＝Ｉ_rated）に達する。モータ熱負荷が安定点以上であるとき、モータを過負荷状態で作動させない。熱負荷が所定の上限に到達するとき、ゲインは０まで徐々に減じられる。したがって、駆動制御装置８は、過負荷状態（モータ熱負荷が安定点未満であるとき）で過渡期の間モータを作動させ、モータをトリップさせることなくモータ電力を持続可能な値まで減ずることができる。

図４に示すように、例えば、ポンプの負荷が（例えば、半導体システムにおける排気で）比較的高いとき、駆動装置８により、モータ定格電流の２００％の電流を時間ｔ_{overload(200%)}にわたってモータに供給させ、かくして増大した電力と向上したシステム性能から利益を得る。時間ｔ_{overload(200%)}で、ゲイン回路ユニット１４は、モータ熱負荷が所定の下限を超えたことを検出し、熱負荷とゲインとの間の所定の関係にしたがって、乗算器３２へのゲイン出力を「１」未満まで徐々に減じる。したがって、制御モジュール１６はモータ３０の電力を制限し、かくして、定格点でモータ熱負荷とモータ電力を安定化させる。システム負荷が減少し、モータ熱負荷が減少すると、ゲイン回路ユニット１４はゲインを増加させ（可能なら「１」まで）、これにより必要なときにより大きな電力を再びモータ３０に供給することができる。

同様に、モータ熱負荷が所定の制限を超えたことをゲイン回路ユニット１４が検出し、ゲインを減少させる前に、Ｘ％（１００％と２００％の間）の過負荷電流を、より長い時間ｔ_overload(X%)供給することができる。

図５は、実施形態の利益を説明するためのモータ速度（ＲＰＭ）に対するトルク（Ｎｍ）のグラフを示している。回転速度曲線に対するモータトルクがプロットされ、最大過負荷トルクＴｍａｘが示されている。モータを損傷なしに無期限に作動することができるモータ定格トルクは、Ｔｍａｘよりもかなり小さいことが分かる。図１に示された従来技術の駆動制御装置は、駆動定格トルク未満の領域でモータを作動するように制限され、そうしないと、モータがトリップされる危険がある。しかしながら、駆動装置８は、例えば２００％トルクを表す線よりも下の領域でモータを作動することによってシステムの性能を向上させることができ、かくして、損傷やシステムトリップの危険なしに、増大したトルクおよび電力から利益を得ることができる。例えば真空チャンバの排気中、モータの負荷がモータへの増大した電力供給を要求するとき、駆動装置８により、モータを過負荷で作動させ、或いは、モータを意図的に過負荷で強制作動させる。

モータに供給することができる電力の量を調整するためのゲイン回路ユニット１４が示されているが、モータ，駆動装置および／またはポンプに対する特定の要求に応じて、任意適当な手段を用いてもよい。

本実施形態では、モータ熱負荷が、適切なゲイン出力を選択するのに用いられる。したがって、本実施形態は、モータの過熱なしに、且つモータのトリップなしに過負荷状態でのモータの作動を許容する。しかしながら、本発明は、モータ熱負荷に加えて、または、モータ熱負荷に代えて、駆動装置，モータまたはポンプの他の状態（例えば、電圧，電流，電力，周波数またはインピーダンス）がそれぞれの作動制限を超えるのを防ぐ排気システムの作動を意図している。特に、変速駆動装置そのものは、過負荷（典型的には定格出力の２００％まで）での作動ができ、詳細に上述されたモータ熱負荷（ＭＴＬ）と同様に、駆動熱負荷（ＤＴＬ）を決定することによって保護することができる。

第１の実施形態は、モータ熱負荷、かくしてモータ温度を決定するために、測定されたモータ電流を用いることによって、いわゆる「間接」構成を採用している。しかしながら、これに代えて、駆動制御装置は、例えばモータの巻線温度，ポンプボディ温度，排気圧，ガス温度，背圧等の直接測定値のような、ポンプシステム内に組み込まれたセンサーからのフィードバックを用いることによって「直接」構成で作動してもよい。

図６はそのような直接構成が採用された第２の実施形態を示す。この構成は、排気システムの内部状態を決定し、モータ電力を制御して、その状態が所定の作動制限を超えるのを防止する。例えば、装置が過熱することを防止するために、排気機構の温度を、ポンプ内に配置されたセンサーによって監視してもよい。検出された状態は、電流制限、それ故にモータ電力を調整し、これにより排気機構が過熱することを防止するために用いられる。

図６は、ポンプ、特に真空ポンプの排気機構を駆動するためのモータ３０に電力を供給するための変速駆動装置２８の形態をなした駆動制御装置を示す。排気システムの一つまたはそれ以上のそれぞれのセンサー２４からのセンサー情報を決定するための一つまたはそれ以上の調整装置２６が設けられていることを除いて、駆動装置２８は駆動装置８と同様である。センサー２４からのデータは各調整装置２６を通して供給され、調整装置２６はそのデータを駆動装置２８で理解できる情報に変換する。センサー２４は、ポンプ内の内部状態（例えば、ポンプボディ温度，排気圧，モータ巻線温度）を監視する。調整されたセンサー情報は、ゲイン回路、または他の適当な調整手段に入力され、ここでモータ電力３０を制限するためのゲインが決定される。

複数のセンサー入力を有する構成では、表示器が、センサーのどれにより、電力出力が制御されているかを指示する警告をユーザーに提供してもよい。この情報は、先行技術でシステムトリップをもたらしていた進行中の問題の事前の警告を提供するのに使用することができる。

上記実施形態により、例えば排気中、過渡期の間、過負荷状態での作動を生じさせる駆動制御装置とモータを選択することができ、したがって、先行技術のモータ／駆動装置アセンブリよりも安価なモータ／駆動装置アセンブリを、特定の排気要求に対して選択することができる。さらに、図５に示すように、増大したトルクは、より大きな起動トルクとより優れた埃粉砕能力を可能にする。選択された商用の真空ポンプについて第１の実施形態と先行技術のモータ／駆動装置との比較が、以下の表１に包含される。

上記例では、性能の顕著な向上が実現されていることが分かる。

上記実施形態では、駆動制御装置は、デジタル変速駆動装置の形態をとっている。しかしながら、駆動制御装置は、システム内の状態を決定し、且つモータ電力を制御するための一つまたはそれ以上のアナログ手段、例えばアナログ回路を含んでいてもよい。

駆動制御装置は、前記システムを過負荷状態で作動するのを防止するように作動可能であることが望ましい。したがって、本発明による作動と上記先行技術に関して記載されたような作動との間で駆動制御装置を切り替える切替手段を設けてもよい。このような構成は、或る適用で、システムが過負荷状態で作動することが望ましくない場合に有用である。

要約すると、すべての上記実施形態および上記変更で、システム状態が作動制限を超える（すなわちトリップ）ときに、モータへの電力を０に遮断する代わりに、駆動制御装置が、持続可能な作動に達するまで電力を徐々に減ずるように、電力を制御することが認識されるであろう。かくして、本実施形態は、モータまたはポンプシステム（モータ，変速駆動装置またはポンプ装置）を、ポンプをトリップさせることなく、それ故に作動を絶え間なく、（例えば、排気中）能力超過状態で作動させる。

上記実施形態は単なる例示であって、他の変更は特許請求の範囲内に含まれることが理解されるであろう。

排気システムにおける駆動制御装置の公知の構成を示す図である。 公知の駆動制御装置における時間に対する電流のグラフである。 本発明の第１の実施形態に係る駆動制御装置を示す図である。 モータ電流とモータ熱負荷に関連して示されたゲイン関数のグラフである。 第１の実施形態に係る時間に対する電流のグラフである。 本発明の実施形態に係る構成と在来システムのモータ性能を比較するモータ速度に対するトルクのグラフである。 本発明の第２の実施形態を示す図である。 排気システムの概略図である。

符号の説明

８ 変速駆動装置
１０，５２ 第１モジュール
１２，５４ 第２モジュール
１４ ゲイン回路ユニット
１６ 電流制御モジュール
２０ 内部駆動電流制限ユニット
２４ センサー
２６ 調整装置
２８ 駆動装置
３０ モータ
３２ 乗算器
５０ 駆動制御装置
５１ モータ
６０ 排気システム
６２ 処理チャンバ
６４ 排気機構

Claims (18)

1. 排気機構と、排気機構を駆動するためのモータと、モータを制御するための駆動制御装置と、システム内の少なくとも一つの熱負荷の状態を監視するための手段と、を含む排気システムであって、
   システムの性能を向上させるために、駆動制御装置は、前記監視状態が所定の作動制限を超すおそれを生じさせる過負荷状態で過渡期の間システムを作動し、前記過負荷状態で作動するときに、前記駆動制御装置は、前記モータへの電力を０に遮断する代わりに、持続可能な作動に達するまで電力を減ずるように、前記監視状態のレベルに応じてモータへの電力を制御し、これにより前記監視状態が前記作動制限を超えるのを回避し、前記モータへの電力を定格値まで下げても前記監視状態がその上限に向けて増加していく場合には、前記モータへの電力を定格値よりも減じていくことを特徴とする排気システム。
2. 性能は、前記駆動制御装置がモータに供給される電力を、前記監視状態が所定の作動制限を超すおそれを生じさせるレベルまで、増大させることによって向上されることを特徴とする請求項１に記載の排気システム。
3. 駆動制御装置により、モータの負荷がモータへの増大した電力供給を要求するとき、システムを過負荷状態で作動させることを特徴とする請求項１又は２に記載の排気システム。
4. 駆動制御装置は、前記監視状態が所定の下限を超えない限り、前記電力を制限しないことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の排気システム。
5. 前記所定の下限以上では、前記駆動制御装置は、前記監視状態に応じて前記監視状態の増大時には電力を徐々に減じ、前記監視状態の減少時には電力を徐々に増大させることを特徴とする請求項４に記載の排気システム。
6. 前記駆動制御装置は、モータ電力を制限しない１のゲイン，モータ電力を０に制限する０のゲイン，０〜１のゲイン，を採用し得るゲイン回路を含み、前記ゲイン回路は、前記監視状態との所定の関係にしたがって前記ゲインを制御することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の排気システム。
7. 駆動制御装置は、モータに供給される電圧の周波数および／または電圧の大きさを調整することによってモータに供給される電流を制限することにより、モータの電力を制御することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の排気システム。
8. 駆動制御装置は、前記モータの最大許容電流を設定するためのプログラム可能な手段を含み、それによってシステムを過負荷にすることができる程度を設定することを特徴とする請求項７に記載の排気システム。
9. 前記監視状態は、システム内の温度であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の排気システム。
10. 前記監視状態は、モータ，駆動装置または排気機構のいずれかの部材の熱負荷の計算値であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の排気システム。
11. 駆動制御装置は、
    

    

    （ただし、Ｉ_motorはモータの電流，Ｉ_ratedはこれ以上で前記モータが前記過負荷状態で作動する定格電流，τは時定数，ｓはラプラス演算子）、にしたがってモータ熱負荷を見積もることを特徴とする請求項１０に記載の排気システム。
12. システム内の前記監視状態は、圧力，電流，電圧，インピーダンス，温度の内のいずれか一つまたはそれ以上であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の排気システム。
13. 駆動制御装置は、システム内の一つまたは複数の前記監視状態を監視するための一つまたはそれ以上のセンサーからの入力を受け取るための手段を含み、駆動制御装置により、システムを過負荷状態で過渡期の間作動させるときに、前記一つまたはそれ以上の監視状態が所定の作動制限を超えるのを回避するようにモータへの電力が制御されることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載の排気システム。
14. 一つまたはそれ以上のセンサーは、システム内のガス圧，温度，電圧またはインピーダンスの内の一つまたはそれ以上を検出することを特徴とする請求項１３に記載の排気システム。
15. 駆動制御装置は、前記監視状態のレベルに応じてモータへの電力を制御するための変速駆動装置を含み、これにより前記監視状態が前記作動制限を超えるのを回避することを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載の排気システム。
16. 駆動制御装置は、前記監視状態のレベルに応じてモータへの電力を制御するためのアナログ手段を含み、これにより前記監視状態が前記作動制限を超えるのを回避することを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１項に記載の排気システム。
17. 前記排気機構は、真空排気機構であることを特徴とする請求項１〜１６のいずれか１項に記載の排気システム。
18. 排気機構と、排気機構を駆動するためのモータと、モータへの電力を制御するための駆動制御装置と、を含む排気システムを制御する方法であって、
    システムを、このシステム内の熱負荷の監視状態が所定の作動制限を超すおそれを生じさせる過負荷状態で過渡期の間作動させることによって、システムの性能を向上させる工程と、
    前記過負荷状態で作動しているときに、前記モータへの電力を０に遮断する代わりに、持続可能な作動に達するまで電力を減ずるように、前記監視状態のレベルに応じてモータへの電力を制御し、これにより前記監視状態が前記作動制限を超えるのを回避する工程と、を含み、
    前記監視状態が前記作動制限を超えるのを回避する工程では、前記モータへの電力を定格値まで下げても前記監視状態がその上限に向けて増加していく場合には、前記モータへの電力を定格値よりも減じていくことを特徴とする方法。

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