JP5101425B2 - Epoxy resin composition for optical semiconductor element sealing and optical semiconductor device using the same - Google Patents

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本発明は、各種光半導体素子の封止に用いられる光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いて光半導体素子を封止してなる光半導体装置に関するものである。   The present invention relates to an epoxy resin composition for sealing an optical semiconductor element used for sealing various optical semiconductor elements and an optical semiconductor device formed by sealing an optical semiconductor element using the same.

従来から、受光素子および発光素子等の光半導体素子の封止材料としては、透明性、耐湿性および耐熱性に優れていなければならないという観点より、エポキシ樹脂組成物が用いられている。このエポキシ樹脂組成物を、光半導体素子を設置した成形金型中にて、例えば、トランスファー成形し、光半導体素子をパッケージにして光半導体装置化されている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, as a sealing material for an optical semiconductor element such as a light receiving element and a light emitting element, an epoxy resin composition has been used from the viewpoint of excellent transparency, moisture resistance, and heat resistance. This epoxy resin composition is, for example, transfer-molded in a molding die provided with an optical semiconductor element, and an optical semiconductor device is formed by using the optical semiconductor element as a package (see, for example, Patent Document 1).

そして、この光半導体パッケージにおいても、光半導体以外の半導体パッケージと同様に、小型・軽量化や実装生産性の向上を目的として、従来のピン挿入実装方式に代わり、表面実装方式が急速に普及してきている。このような表面実装型パッケージとしては、例えば、2方向フラットパッケージ(スモールアウトラインパッケージ:SOP)や、4方向フラットパッケージ(クワッドフラットパッケージ:QFP)、SON(スモールアウトラインノンリード)があげられる。
特開2006−93277号公報
In this optical semiconductor package, as with semiconductor packages other than the optical semiconductor, the surface mounting method has been rapidly spread instead of the conventional pin insertion mounting method for the purpose of reducing the size and weight and improving the mounting productivity. ing. Examples of such surface mount packages include a two-way flat package (small outline package: SOP), a four-way flat package (quad flat package: QFP), and SON (small outline non-lead).
JP 2006-93277 A

上記表面実装方式ではピン挿入実装方式と異なり、実装時にパッケージ全体が最大で260℃の高温環境下にさらされる。その際、光半導体デバイス製造後の保管中に吸湿した水分が急激に気化膨張し、大きな応力が発生する。その応力が、パッケージの強度を超えた場合にパッケージにクラックが発生する。その防止対策として、光半導体メーカーでは、光半導体デバイスを出荷の際に防湿梱包したり、実装現場では、実装工程前に光半導体デバイスをオーブンで加熱乾燥する等の工程を加えている。しかし、上記防湿梱包によるコストアップや梱包開封による作業性の悪化、また上記加熱乾燥にかかるコストが大きな負担となっている。この水蒸気による封止樹脂のクラックの問題を解決するための一般的な手法としては、フィラー等の高強度構造物をその封止樹脂中に多く含有させる方法があるが、光半導体用途では、透明性の観点から上記フィラー等の高強度構造物を多く含有させるという手法を用いることは難しい。また、脂肪族基、フェニル基の含有量を増やし、樹脂自身の吸水率を低くすることで耐半田性の効果を上げる手法も考えられるが、この手法でも、エポキシ樹脂組成物のガラス転移温度(Tg)が高く、半田リフロー時の弾性率が高くなるため、リフローをかけた際の気化膨張による応力を緩和することができず、クラックが発生する。そして、半田リフロー時の弾性率を低下させる手法としては、エポキシ樹脂組成物のガラス転移温度(Tg)を下げる方法が考えられるが、この方法では、温度サイクル信頼性が著しく低下し、製品の信頼性という点において満足させることができないという問題がある。   In the surface mounting method, unlike the pin insertion mounting method, the entire package is exposed to a high temperature environment of 260 ° C. at the time of mounting. At that time, moisture absorbed during storage after manufacturing the optical semiconductor device is rapidly vaporized and expanded, and a large stress is generated. When the stress exceeds the strength of the package, a crack occurs in the package. To prevent this, optical semiconductor manufacturers add steps such as moisture-proof packaging of optical semiconductor devices at the time of shipment, and heating and drying optical semiconductor devices in an oven before the mounting process at the mounting site. However, the cost increase due to the moisture-proof packaging, the deterioration of workability due to the opening of the packaging, and the cost for the heat drying are significant burdens. As a general technique for solving the problem of cracking of the sealing resin due to water vapor, there is a method in which a large amount of a high-strength structure such as a filler is contained in the sealing resin. From the viewpoint of property, it is difficult to use a method of containing a large amount of high-strength structures such as the filler. In addition, a method of increasing the solder group resistance by increasing the content of aliphatic groups and phenyl groups and lowering the water absorption rate of the resin itself is also conceivable. However, even with this method, the glass transition temperature of the epoxy resin composition ( Since Tg) is high and the elastic modulus during solder reflow is high, the stress due to vaporization expansion during reflow cannot be relieved and cracks occur. As a technique for reducing the elastic modulus at the time of solder reflow, a method of lowering the glass transition temperature (Tg) of the epoxy resin composition is conceivable. However, this method significantly reduces the temperature cycle reliability, and the reliability of the product. There is a problem that it cannot be satisfied in terms of sex.

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、良好な透明性はもちろん、半田リフロー時の耐クラック性に優れ、かつ温度サイクル試験信頼性にも優れた光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた、高い信頼性を備えた光半導体装置の提供をその目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and has an excellent epoxy resin for sealing an optical semiconductor element that has excellent transparency, crack resistance during solder reflow, and excellent temperature cycle test reliability. An object of the present invention is to provide a composition and an optical semiconductor device using the composition and having high reliability.

上記目的を達成するため、本発明は、下記の(A)〜(C)成分を含有する光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物であって、上記(A)成分および(B)成分の混合割合〔(A):(B)〕が、重量比で、(A):(B)=60:40〜95:5に設定されている光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物を第1の要旨とする。
(A)下記の構造式(1)で表されるエポキシ樹脂。

Figure 0005101425
(B)上記構造式(1)で表されるエポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂〔ただし、トリグリシジルイソシアヌレートおよび下記の一般式(2)で表される脂環式エポキシ樹脂を除く〕。
Figure 0005101425
(C)硬化剤。 In order to achieve the above object, the present invention provides an epoxy resin composition for encapsulating an optical semiconductor element containing the following components (A) to (C), which is a mixture of the components (A) and (B): The epoxy resin composition for sealing an optical semiconductor element in which the ratio [(A) :( B)] is set to (A) :( B) = 60: 40 to 95: 5 by weight ratio is the first. The gist.
(A) An epoxy resin represented by the following structural formula (1).
Figure 0005101425
(B) Epoxy resins other than the epoxy resin represented by the structural formula (1) above (excluding triglycidyl isocyanurate and the alicyclic epoxy resin represented by the following general formula (2)).
Figure 0005101425
(C) Curing agent.

そして、本発明は、上記光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物を用いて光半導体素子をトランスファー成形して封止してなる光半導体装置を第2の要旨とする。   And this invention makes the 2nd summary the optical-semiconductor device formed by carrying out transfer molding of the optical-semiconductor element using the said epoxy resin composition for optical-semiconductor-element sealing.

本発明者らは、半田リフロー時の耐クラック性に優れる光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物を得るべく一連の研究を重ねた。その結果、上記構造式(1)で表されるエポキシ樹脂〔(A)成分〕と、それ以外のエポキシ樹脂〔(B)成分〕を特定の割合で組み合わせると、半田リフロー温度(ゴム状領域)での高温の弾性率が従来のエポキシ樹脂に比べて低くなり、リフローをかけた際の気化膨張による発生応力の緩和を可能とし、クラックの発生が抑制されて耐半田リフロー性に優れることはもちろん、ガラス転移温度が高くなり、温度サイクル試験信頼性に関しても向上が図られるようになることを見出し本発明に到達した。   The inventors of the present invention have made a series of studies to obtain an epoxy resin composition for sealing an optical semiconductor element that is excellent in crack resistance during solder reflow. As a result, when the epoxy resin [component (A)] represented by the structural formula (1) and the other epoxy resin (component (B)) are combined at a specific ratio, the solder reflow temperature (rubber-like region) The low-temperature elastic modulus of the resin is lower than that of the conventional epoxy resin, and it is possible to relieve the stress generated by vaporization expansion when reflow is applied, and of course, the generation of cracks is suppressed and the solder reflow resistance is excellent. The present inventors have found that the glass transition temperature is increased and that the reliability of the temperature cycle test can be improved.

このように、本発明は、上記構造式(1)で表されるエポキシ樹脂〔(A)成分〕と、それ以外のエポキシ樹脂〔(B)成分〕を特定の混合割合で含有してなる光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物である。このため、半田リフロー時の耐クラック性に優れるとともに、ガラス転移温度が高いことから温度サイクル試験信頼性にも優れたものである。したがって、本発明の光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物は、有用な封止材料となり、信頼性の高い光半導体装置を得ることが可能となる。   Thus, the present invention is a light comprising the epoxy resin [component (A)] represented by the above structural formula (1) and the other epoxy resin [component (B)] in a specific mixing ratio. An epoxy resin composition for encapsulating semiconductor elements. For this reason, it is excellent in crack resistance at the time of solder reflow, and also has excellent temperature cycle test reliability because of its high glass transition temperature. Therefore, the epoxy resin composition for sealing an optical semiconductor element of the present invention becomes a useful sealing material, and a highly reliable optical semiconductor device can be obtained.

つぎに、本発明の実施の形態を詳しく説明する。   Next, embodiments of the present invention will be described in detail.

本発明の光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物(以下、単に「エポキシ樹脂組成物」という)は、特定の構造式で表されるエポキシ樹脂(A成分)と、上記A成分以外のエポキシ樹脂(B成分)と、硬化剤(C成分)を用いて得られるものであり、通常、粉末状、もしくはこの粉末を打錠したタブレット状になっている。   The epoxy resin composition for sealing an optical semiconductor element of the present invention (hereinafter simply referred to as “epoxy resin composition”) includes an epoxy resin (A component) represented by a specific structural formula and an epoxy resin other than the A component. It is obtained using (B component) and a curing agent (C component), and is usually in the form of a powder or a tablet obtained by tableting this powder.

上記特定の構造式で表されるエポキシ樹脂(A成分)は、下記の構造式(1)で表されるエポキシ樹脂である。   The epoxy resin (component A) represented by the specific structural formula is an epoxy resin represented by the following structural formula (1).

Figure 0005101425
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上記式(1)において、繰り返し数nは、正数であるが、より好ましくはnは1〜2である。そして、エポキシ当量は、400〜1300であることが好ましく、より好ましくは400〜800である。また、軟化点は50〜130℃であることが好ましく、より好ましくは70〜110℃である。   In the above formula (1), the repeating number n is a positive number, and more preferably n is 1 to 2. And it is preferable that an epoxy equivalent is 400-1300, More preferably, it is 400-800. Moreover, it is preferable that a softening point is 50-130 degreeC, More preferably, it is 70-110 degreeC.

上記A成分とともに用いられる、A成分以外のエポキシ樹脂(B成分)は、トリグリシジルイソシアヌレートおよび下記の一般式(2)で表される脂環式エポキシ樹脂を除くものであればよい。   The epoxy resin (component B) other than the component A used together with the component A may be any one excluding triglycidyl isocyanurate and the alicyclic epoxy resin represented by the following general formula (2).

Figure 0005101425
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そして、A成分以外のエポキシ樹脂(B成分)としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3′,4′−エポキシシクロヘキセンカルボキシレート、下記の一般式(3)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂等があげられる。これらは単独で使用してもあるいは2種以上併用してもよい。   Examples of the epoxy resin other than the component A (component B) include, for example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, 3,4-epoxycyclohexenylmethyl-3 ′, 4′-epoxycyclohexene carboxylate, And a biphenyl type epoxy resin represented by the general formula (3). These may be used alone or in combination of two or more.

Figure 0005101425
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上記式(3)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂としては、より好ましくはRがメチル基となるビフェニル型エポキシ樹脂があげられる。さらに、このようなA成分以外のエポキシ樹脂(B成分)としては、エポキシ当量80〜250のものを用いることが好ましい。また、軟化点もしくは融点が40〜125℃のものを用いることが好ましい。   The biphenyl type epoxy resin represented by the above formula (3) is more preferably a biphenyl type epoxy resin in which R is a methyl group. Furthermore, it is preferable to use an epoxy resin having an epoxy equivalent of 80 to 250 as an epoxy resin (B component) other than the A component. Moreover, it is preferable to use a thing with a softening point or melting | fusing point of 40-125 degreeC.

上記構造式(1)で表されるエポキシ樹脂(A成分)およびA成分以外のエポキシ樹脂(B成分)の混合割合〔(A成分):(B成分)〕は、重量比で、(A成分):(B成分)=60:40〜95:5に設定する必要がある。より好ましくは(A成分):(B成分)=70:30〜90:10である。すなわち、混合割合が上記範囲を外れA成分の割合が少な過ぎると、半田リフロー時の弾性率が上がり、応力を緩和することができず、耐半田リフロー特性時にてクラックが発生するという問題が生じる。また、混合割合が上記範囲を外れA成分の割合が多過ぎると、ガラス転移温度(Tg)は下がり耐半田リフロー性は向上するが、温度サイクル試験において、ワイヤーの断線が発生し、光半導体装置自体の信頼性が低下する。さらに、耐熱性が低下し、半田リフロー時の変色が激しく、光学特性に対して影響が及ぶこととなるからである。   The mixing ratio [(A component) :( B component)] of the epoxy resin (component A) represented by the structural formula (1) and the epoxy resin (component B) other than the component A is (weight ratio) (component A) ): (Component B) = 60: 40 to 95: 5 is required to be set. More preferably, (A component) :( B component) = 70: 30 to 90:10. That is, if the mixing ratio is out of the above range and the ratio of the component A is too small, the elastic modulus at the time of solder reflow increases, stress cannot be relieved, and cracks occur at the time of solder reflow resistance. . On the other hand, if the mixing ratio is out of the above range and the ratio of the component A is too large, the glass transition temperature (Tg) is lowered and the solder reflow resistance is improved. The reliability of itself decreases. Further, heat resistance is lowered, discoloration during solder reflow is severe, and optical properties are affected.

上記A成分およびB成分とともに用いられる上記硬化剤(C成分)は、上記A成分およびB成分に対する硬化剤として作用するものであって、エポキシ樹脂用硬化剤として従来公知のものが用いられるが、エポキシ樹脂組成物の硬化体が変色しにくいという点から、特に、酸無水物系硬化剤を用いることが好ましい。   The curing agent (C component) used together with the A component and the B component acts as a curing agent for the A component and the B component, and conventionally known curing agents for epoxy resins are used. In particular, it is preferable to use an acid anhydride-based curing agent from the viewpoint that the cured product of the epoxy resin composition is not easily discolored.

上記酸無水物系硬化剤としては、例えば、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水メチルナジック酸、無水ナジック酸、無水グルタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸等の無色ないし淡黄色の酸無水物があげられる。これらは単独で使用してもあるいは2種以上併用してもよい。そして、上記酸無水物系硬化剤の中でも、短波長領域の吸収がより低いという点から、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸を用いることが好ましい。   Examples of the acid anhydride-based curing agent include phthalic anhydride, maleic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, methyl nadic anhydride, nadic anhydride, anhydrous Colorless to light yellow acid anhydrides such as glutaric acid, methylhexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride and the like can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more. Of the acid anhydride curing agents, hexahydrophthalic anhydride and methylhexahydrophthalic anhydride are preferably used from the viewpoint of lower absorption in the short wavelength region.

さらに、上記酸無水物系硬化剤以外に、上記酸無水物系硬化剤をグリコール類でエステル化したもの、または、ヘキサヒドロフタル酸、テトラヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸等のカルボン酸類等の硬化剤を単独で使用してもよいし、あるいは2種以上併用してもよい。   Further, in addition to the acid anhydride curing agent, the acid anhydride curing agent esterified with glycols, or carboxylic acids such as hexahydrophthalic acid, tetrahydrophthalic acid, methylhexahydrophthalic acid, etc. Curing agents may be used alone or in combination of two or more.

上記エポキシ樹脂成分(A成分+B成分)と硬化剤(C成分)との配合割合は、例えば、硬化剤(C成分)として酸無水物系硬化剤を用いる場合、上記エポキシ樹脂成分(A成分+B成分)中のエポキシ基1当量に対して、酸無水物系硬化剤における酸無水物当量を、0.5〜1.5当量となるように設定することが好ましい。特に好ましくは0.7〜1.2当量である。すなわち、上記配合割合において、酸無水物当量が上記下限値未満では、得られるエポキシ樹脂組成物の硬化後の色相が悪くなる傾向がみられ、逆に、上記上限値を超えると、耐湿性が低下する傾向がみられるからである。   The blending ratio of the epoxy resin component (A component + B component) and the curing agent (C component) is, for example, when an acid anhydride curing agent is used as the curing agent (C component), the epoxy resin component (A component + B). It is preferable to set the acid anhydride equivalent in the acid anhydride curing agent to 0.5 to 1.5 equivalents with respect to 1 equivalent of the epoxy group in the component. Particularly preferred is 0.7 to 1.2 equivalents. That is, in the above blending ratio, when the acid anhydride equivalent is less than the above lower limit value, the hue after curing of the resulting epoxy resin composition tends to be deteriorated, and conversely, when the above upper limit value is exceeded, moisture resistance is increased. This is because there is a tendency to decrease.

なお、硬化剤(C成分)として、酸無水物系硬化剤以外に前記のヘキサヒドロフタル酸等のカルボン酸類等の硬化剤を単独で使用あるいは2種以上併用する場合においても、その配合割合は、上記酸無水物系硬化剤を使用した配合割合(当量比)に準ずる。   In addition, as a curing agent (C component), in addition to the acid anhydride-based curing agent, when the curing agent such as carboxylic acids such as hexahydrophthalic acid is used alone or in combination of two or more, the blending ratio is According to the blending ratio (equivalent ratio) using the above acid anhydride curing agent.

本発明のエポキシ樹脂組成物は、必要により、硬化促進剤を含有することができる。硬化促進剤としては、例えば、三級アミン類、イミダゾール類、四級アンモニウム塩および有機金属塩類、リン化合物等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。そして、上記硬化促進剤の中でも、リン系化合物、三級アミン類を用いることが好ましい。さらに好ましくは、1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕ウンデセン−7(DBU)、1,5−ジアザビシクロ〔4.3.0〕ノネン−5、DBUのオクチル酸塩、N,N−ジメチルベンジルアミン、テトラ−n−ブチルホスホニウム−o,o−ジエチルホスホロジチオエート、N,N−ジメチルシクロヘキシルアミンがあげられる。これらを用いることにより、半田リフロー温度での耐熱変色性が生起しにくいという効果が得られる。   The epoxy resin composition of the present invention can contain a curing accelerator if necessary. Examples of the curing accelerator include tertiary amines, imidazoles, quaternary ammonium salts and organometallic salts, phosphorus compounds and the like. These may be used alone or in combination of two or more. And among the said hardening accelerators, it is preferable to use a phosphorus compound and tertiary amines. More preferably, 1,8-diazabicyclo [5.4.0] undecene-7 (DBU), 1,5-diazabicyclo [4.3.0] nonene-5, DBU octylate, N, N-dimethyl Examples include benzylamine, tetra-n-butylphosphonium-o, o-diethyl phosphorodithioate, and N, N-dimethylcyclohexylamine. By using these, the effect that heat discoloration at the solder reflow temperature hardly occurs can be obtained.

上記硬化促進剤の配合量は、前記エポキシ樹脂成分(A成分+B成分)100重量部(以下「部」と略す)に対して、0.05〜7.0部の範囲に設定することが好ましく、より好ましくは0.2〜3.0部である。すなわち、硬化促進剤の配合量が少な過ぎると、充分な硬化促進効果が得られない傾向がみられ、逆に、多過ぎると、エポキシ樹脂組成物の硬化体に変色がみられる傾向があるからである。   The blending amount of the curing accelerator is preferably set in the range of 0.05 to 7.0 parts with respect to 100 parts by weight of the epoxy resin component (component A + component B) (hereinafter abbreviated as “part”). More preferably, it is 0.2 to 3.0 parts. That is, if the blending amount of the curing accelerator is too small, there is a tendency that a sufficient curing accelerating effect cannot be obtained, and conversely, if too large, the cured product of the epoxy resin composition tends to be discolored. It is.

また、本発明のエポキシ樹脂組成物には、前記構造式(1)で表されるエポキシ樹脂(A成分)、A成分以外のエポキシ樹脂(B成分)、硬化剤(C成分)および硬化促進剤以外に、エポキシ樹脂組成物の硬化体の透明性を損なわない範囲であれば必要に応じて、従来から用いられている劣化防止剤、変性剤、シランカップリング剤、脱泡剤、離型剤、染料、顔料等の従来公知の各種添加剤を適宜配合することができる。   The epoxy resin composition of the present invention includes the epoxy resin (component A) represented by the structural formula (1), an epoxy resin other than the component A (component B), a curing agent (component C), and a curing accelerator. In addition, as long as it does not impair the transparency of the cured product of the epoxy resin composition, conventionally used deterioration inhibitors, modifiers, silane coupling agents, defoaming agents, release agents are used. Various conventionally known additives such as dyes and pigments can be appropriately blended.

上記劣化防止剤としては、例えば、フェノール系化合物、アミン系化合物、有機硫黄系化合物、ホスフィン系化合物等の従来公知のものがあげられる。   Examples of the deterioration preventing agent include conventionally known agents such as phenol compounds, amine compounds, organic sulfur compounds, and phosphine compounds.

上記変性剤としては、例えば、グリコール類、シリコーン類、アルコール類等の、従来から公知の変性剤があげられる。   Examples of the modifier include conventionally known modifiers such as glycols, silicones, and alcohols.

上記シランカップリング剤としては、例えば、シラン系、チタネート系等の、従来から公知のシランカップリング剤があげられる。   As said silane coupling agent, conventionally well-known silane coupling agents, such as a silane system and a titanate system, are mention | raise | lifted, for example.

上記脱泡剤としては、例えば、シリコーン系等の、従来から公知の脱泡剤があげられる。   Examples of the defoaming agent include conventionally known defoaming agents such as silicone-based ones.

上記離型剤としては、例えば、ステアリン酸、ベヘニン酸、モンタン酸およびその金属塩、ポリエチレン系、ポリエチレン−ポリオキシエチレン系、カルナバワックス等の従来公知のものがあげられる。そして、上記離型剤の中でも、ポリエチレン−ポリオキシエチレン系が、エポキシ樹脂組成物の硬化体の透明性が良好となるため、好ましく用いられる。   Examples of the release agent include conventionally known agents such as stearic acid, behenic acid, montanic acid and metal salts thereof, polyethylene, polyethylene-polyoxyethylene, and carnauba wax. And among the said mold release agents, since the transparency of the hardening body of an epoxy resin composition becomes favorable, polyethylene-polyoxyethylene type | system | group is used preferably.

なお、光分散性が必要な場合には、上記成分以外にさらに充填剤を配合してもよい。この充填剤としては、例えば、石英ガラス粉末、タルク、シリカ粉末、アルミナ粉末、炭酸カルシウム等の無機質充填剤等があげられる。   In addition, when a light dispersibility is required, you may mix | blend a filler other than the said component. Examples of the filler include inorganic fillers such as quartz glass powder, talc, silica powder, alumina powder, and calcium carbonate.

本発明のエポキシ樹脂組成物は、例えば、つぎのようにして製造することができる。すなわち、上記A成分、B成分およびC成分、さらに必要に応じて、硬化促進剤、劣化防止剤、変性剤、シランカップリング剤、脱泡剤、離型剤、染料、顔料、充填剤等の従来公知の各種添加剤を所定の割合で配合する。そして、これらを常法に準じてドライブレンド法または溶融ブレンド法を適宜採用して混合、混練する。ついで、得られた混練物を冷却したのち粉砕し、さらに必要に応じて打錠することにより、本発明のエポキシ樹脂組成物を製造することができる。   The epoxy resin composition of the present invention can be produced, for example, as follows. That is, the above A component, B component and C component, and further, if necessary, curing accelerators, deterioration inhibitors, modifiers, silane coupling agents, defoaming agents, mold release agents, dyes, pigments, fillers, etc. Various conventionally known additives are blended at a predetermined ratio. Then, these are mixed and kneaded by appropriately adopting a dry blend method or a melt blend method according to a conventional method. Subsequently, the obtained kneaded product is cooled and then pulverized, and further tableted as necessary, whereby the epoxy resin composition of the present invention can be produced.

このような、エポキシ樹脂組成物を用いた光半導体素子の封止は、トランスファーモールド等の公知のモールド方法により行うことができる。   Sealing of the optical semiconductor element using such an epoxy resin composition can be performed by a known molding method such as transfer molding.

なお、本発明のエポキシ樹脂組成物の硬化体は、厚み1mmにおいて、分光光度計の測定により、波長600nmの光透過率が70%以上のものが好ましく、特に好ましくは80%以上である。ただし、上記充填剤、染料、あるいは顔料を用いた場合の光透過率に関してはこの限りではない。   The cured product of the epoxy resin composition of the present invention preferably has a light transmittance of 70% or more at a wavelength of 600 nm as measured by a spectrophotometer at a thickness of 1 mm, particularly preferably 80% or more. However, the light transmittance in the case of using the filler, dye, or pigment is not limited to this.

また、本発明のエポキシ樹脂組成物の硬化体におけるガラス転移温度(Tg)は、110℃以上であることが好ましく、より好ましくは、110〜150℃の範囲である。さらに、上記ガラス転移温度(Tg)より50℃高い温度での貯蔵弾性率が2〜14MPaであることが好ましく、より好ましくは3〜14MPaである。このような特性を有することにより本発明のエポキシ樹脂組成物は、耐半田リフロー性および温度サイクル試験信頼性に優れたものとなる。なお、上記ガラス転移温度(Tg)は、例えば、エポキシ樹脂組成物硬化体を用い、示差走査熱量計(DSC)により測定し、ガラス転移温度の前後に現れる2つの屈曲点の中間点をガラス転移温度(Tg)に決定する。また、上記貯蔵弾性率は、例えば、エポキシ樹脂組成物硬化体を用い、1Hz,30〜270℃の温度範囲を10℃/分の測定条件にて、RHEOMETRIC SCIENTIFIC社製のRSA−IIにより測定することができる。   Moreover, it is preferable that the glass transition temperature (Tg) in the hardening body of the epoxy resin composition of this invention is 110 degreeC or more, More preferably, it is the range of 110-150 degreeC. Further, the storage elastic modulus at a temperature 50 ° C. higher than the glass transition temperature (Tg) is preferably 2 to 14 MPa, more preferably 3 to 14 MPa. By having such characteristics, the epoxy resin composition of the present invention is excellent in solder reflow resistance and temperature cycle test reliability. The glass transition temperature (Tg) is measured by, for example, a differential scanning calorimeter (DSC) using a cured epoxy resin composition, and the intermediate point between two bending points appearing before and after the glass transition temperature. Determine the temperature (Tg). Moreover, the said storage elastic modulus is measured by RSA-II made from RHEOMETRIC SCIENTIFIC, for example using the epoxy resin composition hardened | cured body and the temperature range of 1 Hz and 30-270 degreeC on the measurement conditions of 10 degreeC / min. be able to.

つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。ただし、本発明は、これら実施例に限定されるものではない。   Next, examples will be described together with comparative examples. However, the present invention is not limited to these examples.

まず、実施例および比較例に先立って下記に示す各成分を準備した。   First, prior to the examples and comparative examples, the following components were prepared.

〔エポキシ樹脂a〕
前記構造式(1)で表されるエポキシ樹脂〔式(1)中、n=1であり、エポキシ当量540:東都化成社製、ZX−1718−3〕
〔エポキシ樹脂b〕
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量185、液状)
〔エポキシ樹脂c〕
ビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポキシ当量170、液状)
〔エポキシ樹脂d〕
下記の構造式(d)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂(エポキシ当量193、融点105℃)

Figure 0005101425
〔エポキシ樹脂e〕
3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3′,4′−エポキシシクロヘキセンカルボキシレート(エポキシ当量134) [Epoxy resin a]
Epoxy resin represented by the structural formula (1) [in formula (1), n = 1, epoxy equivalent 540: manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., ZX-1718-3]
[Epoxy resin b]
Bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent 185, liquid)
[Epoxy resin c]
Bisphenol F type epoxy resin (epoxy equivalent 170, liquid)
[Epoxy resin d]
Biphenyl type epoxy resin represented by the following structural formula (d) (epoxy equivalent 193, melting point 105 ° C.)
Figure 0005101425
[Epoxy resin e]
3,4-epoxycyclohexenylmethyl-3 ', 4'-epoxycyclohexenecarboxylate (epoxy equivalent 134)

〔硬化剤〕
ヘキサヒドロ無水フタル酸
[Curing agent]
Hexahydrophthalic anhydride

〔硬化促進剤〕
N,N−ジメチルベンジルアミン
〔シランカップリング剤〕
γ−メルカプトトリメトキシシラン
[Curing accelerator]
N, N-dimethylbenzylamine [silane coupling agent]
γ-mercaptotrimethoxysilane

〔実施例1〜9、比較例1〜9〕
後記の表1および表2に示す各成分を同表に示す割合で配合し、80〜130℃に加熱したミキシングロールに3分間かけて溶融混練を行い、熟成した後、室温(25℃)まで冷却して粉砕することにより目的とする粉末状のエポキシ樹脂組成物を得た。
[Examples 1-9, Comparative Examples 1-9]
Each component shown in Table 1 and Table 2 below is blended in the proportions shown in the same table, melt-kneaded for 3 minutes in a mixing roll heated to 80 to 130 ° C., aged, and then until room temperature (25 ° C.) The target powdery epoxy resin composition was obtained by cooling and pulverizing.

このようにして得られた実施例および比較例のエポキシ樹脂組成物を用い、後記に示す方法にしたがって各種特性評価を行った。その結果を上記の表1および表2に併せて示す。   Using the epoxy resin compositions of Examples and Comparative Examples thus obtained, various characteristics were evaluated according to the methods described below. The results are also shown in Tables 1 and 2 above.

〔ガラス転移温度(Tg)〕
上記のようにして作製した各エポキシ樹脂組成物を用いて、専用金型で成形する(硬化条件:150℃×4分間成形)ことにより、硬化物試験片(大きさ:直径50mm×厚み1mm)を作製した。これを、150℃で3時間加熱することにより完全に硬化を終了させた。ついで、この硬化を完全に終了させた試験片を用い、示差走査熱量計(DSC:セイコーインスツル社製、DSC−6220)にて測定し、ガラス転移温度の前後に現れる2つの屈曲点の中間点をガラス転移温度(Tg)とした。
[Glass transition temperature (Tg)]
Using each epoxy resin composition produced as described above, molding with a dedicated mold (curing conditions: molding at 150 ° C. for 4 minutes) to obtain a cured specimen (size: diameter 50 mm × thickness 1 mm) Was made. This was completely cured by heating at 150 ° C. for 3 hours. Next, using a test piece that has been completely cured, the sample was measured with a differential scanning calorimeter (DSC: DSC-6220, manufactured by Seiko Instruments Inc.), and an intermediate between two bending points appearing before and after the glass transition temperature. The point was made into glass transition temperature (Tg).

〔貯蔵弾性率〕
上記のようにして作製した各エポキシ樹脂組成物を用いて、専用金型で成形する(硬化条件:150℃×4分間成形)ことにより、硬化物試験片(大きさ:幅5mm×長さ35mm×厚み1mm)を作製した。これを、150℃で3時間加熱することにより完全に硬化を終了させた。ついで、この硬化を完全に終了させた試験片を用い、RHEOMETRIC SCIENTIFIC社製のRSA−IIにより、1Hz,30〜270℃の温度範囲を10℃/分の測定条件にて貯蔵弾性率を測定した。すなわち、この貯蔵弾性率は、上記測定したガラス転移温度(Tg)より50℃高い温度での測定値となる。
[Storage modulus]
Using each epoxy resin composition produced as described above, molding with a dedicated mold (curing conditions: molding at 150 ° C. for 4 minutes) to obtain a cured specimen (size: width 5 mm × length 35 mm) X thickness 1 mm). This was completely cured by heating at 150 ° C. for 3 hours. Next, the storage elastic modulus was measured under a measurement condition of 10 ° C./min in a temperature range of 1 Hz and 30 to 270 ° C. by using RSA-II manufactured by RHEOMETRIC SCIENTIFIC, using a test piece that had been completely cured. . That is, the storage elastic modulus is a measured value at a temperature 50 ° C. higher than the measured glass transition temperature (Tg).

〔耐半田リフロー性〕
上記エポキシ樹脂組成物を用いて光半導体素子(SiNフォトダイオード:1 .5mm×1.5mm×厚み0.37mm)をトランスファー成形(150℃×4分間成形、150℃×3時間後硬化)でモールドすることにより表面実装型光半導体装置を得た。この表面実装型光半導体装置は、図1に示すように、8ピンのスモールアウトラインパッケージ(SOP−8:4.9mm×3.9mm×厚み1.5mm)1で、リードフレーム2として、42アロイ合金素体の表面全面に銀メッキ層(厚み0.2μm)を形成したものを用いた。また、ワイヤー径は25μmである。
[Solder reflow resistance]
An optical semiconductor element (SiN photodiode: 1.5 mm × 1.5 mm × thickness 0.37 mm) is molded by transfer molding (150 ° C. × 4 minutes molding, 150 ° C. × 3 hours post-curing) using the epoxy resin composition. As a result, a surface mount type optical semiconductor device was obtained. As shown in FIG. 1, this surface-mount type optical semiconductor device is an 8-pin small outline package (SOP-8: 4.9 mm × 3.9 mm × thickness 1.5 mm) 1 and a 42 alloy as a lead frame 2. What formed the silver plating layer (thickness 0.2 micrometer) on the whole surface of the alloy element | base_body was used. The wire diameter is 25 μm.

このようにして得られた光半導体装置10個を、30℃/60%RHの条件で、192時間吸湿させ、実際のリフロー炉(トップピ−ク260℃×10秒)に3回通した。その後、顕微鏡により目視にてリードフレームと素子との樹脂界面の剥離、クラックの有無を観察し、それが生じている光半導体装置の個数を数えた。   Ten optical semiconductor devices thus obtained were absorbed by 192 hours under the conditions of 30 ° C./60% RH and passed through an actual reflow furnace (top peak 260 ° C. × 10 seconds) three times. Thereafter, the resin interface between the lead frame and the element was visually observed with a microscope for the presence or absence of cracks, and the number of optical semiconductor devices in which this occurred was counted.

〔温度サイクル試験〕
上記耐半田リフロー性にて評価した光半導体装置を用い、これを100℃〜−40℃を1サイクルとして300サイクルの温度サイクル試験にかけ、ワイヤーの断線および導通をチェックした。なお、上記耐半田リフロー性評価において、剥離およびクラックの発生した光半導体装置に関しては、温度サイクル試験に供しなかった。
[Temperature cycle test]
The optical semiconductor device evaluated by the solder reflow resistance was subjected to a temperature cycle test of 300 cycles with 100 ° C. to −40 ° C. as one cycle, and wire breakage and continuity were checked. In the evaluation of solder reflow resistance, the optical semiconductor device in which peeling and cracking occurred was not subjected to a temperature cycle test.

Figure 0005101425
Figure 0005101425

Figure 0005101425
Figure 0005101425

上記結果から、全ての実施例品は、ガラス転移温度(Tg)は、110℃以上であり、貯蔵弾性率は低く抑えられていた。そして、耐半田リフロー性および温度サイクル試験において良好な結果が得られた。   From the above results, all of the examples had glass transition temperatures (Tg) of 110 ° C. or higher, and the storage elastic modulus was kept low. Good results were obtained in solder reflow resistance and temperature cycle tests.

これに対し、2種類のエポキシ樹脂の混合割合が特定の範囲を外れ、エポキシ樹脂aの混合比率が少ない比較例1〜4品は、耐半田リフロー性試験において、剥離およびクラックが発生した。また、2種類のエポキシ樹脂の混合割合が特定の範囲を外れ、エポキシ樹脂aの混合比率が多過ぎる比較例6〜9品は、貯蔵弾性率が低く抑えられていたが、温度サイクル試験においてワイヤーの断線および導通不良が発生した。同様に、エポキシ樹脂aのみを用いた比較例5品は、ガラス転移温度(Tg)は、100℃と低く、貯蔵弾性率は低く抑えられていた。しかしながら、温度サイクル試験においてワイヤーの断線および導通不良が発生した。   On the other hand, in the solder reflow resistance test, peeling and cracking occurred in the products of Comparative Examples 1 to 4 in which the mixing ratio of the two types of epoxy resins was outside the specific range and the mixing ratio of the epoxy resin a was small. Moreover, although the mixing ratio of two types of epoxy resins deviated from a specific range and the mixing ratio of the epoxy resin a was too large, the comparative examples 6 to 9 had a low storage elastic modulus. Disconnection and continuity failure occurred. Similarly, in Comparative Example 5 using only the epoxy resin a, the glass transition temperature (Tg) was as low as 100 ° C., and the storage elastic modulus was kept low. However, wire breakage and poor conduction occurred in the temperature cycle test.

表面実装型光半導体装置の一例であるSOP−8を示す斜視図である。It is a perspective view which shows SOP-8 which is an example of a surface mount optical semiconductor device.

Claims (4)

下記の(A)〜(C)成分を含有する光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物であって、上記(A)成分および(B)成分の混合割合〔(A):(B)〕が、重量比で、(A):(B)=60:40〜95:5に設定されていることを特徴とする光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物。
(A)下記の構造式(1)で表されるエポキシ樹脂。
Figure 0005101425
(B)上記構造式(1)で表されるエポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂〔ただし、トリグリシジルイソシアヌレートおよび下記の一般式(2)で表される脂環式エポキシ樹脂を除く〕。
Figure 0005101425
(C)硬化剤。
An epoxy resin composition for encapsulating an optical semiconductor element containing the following components (A) to (C), wherein the mixing ratio [(A) :( B)] of the components (A) and (B) is: An epoxy resin composition for sealing an optical semiconductor element, wherein the weight ratio is set to (A) :( B) = 60: 40 to 95: 5.
(A) An epoxy resin represented by the following structural formula (1).
Figure 0005101425
(B) Epoxy resins other than the epoxy resin represented by the structural formula (1) above (excluding triglycidyl isocyanurate and the alicyclic epoxy resin represented by the following general formula (2)).
Figure 0005101425
(C) Curing agent.
上記構造式(1)で表されるエポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂(B)が、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3′,4′−エポキシシクロヘキセンカルボキシレートおよび下記の一般式(3)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂からなる群から選ばれた少なくとも一つのエポキシ樹脂である請求項1記載の光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物。
Figure 0005101425
The epoxy resin (B) other than the epoxy resin represented by the structural formula (1) is bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, 3,4-epoxycyclohexenylmethyl-3 ', 4'-epoxycyclohexene. 2. The epoxy resin composition for sealing an optical semiconductor element according to claim 1, wherein the epoxy resin composition is at least one epoxy resin selected from the group consisting of a carboxylate and a biphenyl type epoxy resin represented by the following general formula (3).
Figure 0005101425
上記光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物のガラス転移温度が、110℃以上である請求項1または2記載の光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物。   The epoxy resin composition for sealing an optical semiconductor element according to claim 1 or 2, wherein the epoxy resin composition for sealing an optical semiconductor element has a glass transition temperature of 110 ° C or higher. 請求項1〜3のいすれか一項に記載の光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物を用いて光半導体素子をトランスファー成形して封止してなる光半導体装置。   The optical semiconductor device formed by carrying out transfer molding of an optical semiconductor element using the epoxy resin composition for optical semiconductor element sealing as described in any one of Claims 1-3.
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