JP5098991B2 - 高周波モジュール - Google Patents

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Description

この発明は、FETなどの能動素子後段に設置する回路を搭載する高周波モジュールに関するものである。
高周波モジュール内の能動素子に電力を供給する場合、動作周波数における漏洩電力を抑圧しうるバイアス回路を介して給電することが望まれる。そのため高周波モジュールでは、能動素子から出力される不要波を抑圧する手法として、能動素子と出力ポートの間にフィルタを挿入することにより所望波以外の帯域を抑圧する。すなわち、広帯域に亘る効率的な高調波処理を行う手段として高調波インピーダンスを短絡または開放とすることにより、高効率な増幅器を得る。
一般的に先端開放線路または先端短絡線路(以下スタブと呼ぶ)を用いた方法が用いられる。スタブを用いた回路構成として、例えば、特開平6−204764号公報図1(特許文献1参照)には、半導体デバイスを用いた高周波電力増幅器の整合回路に関し、多くの高調波に対し、短絡あるいは開放の処理を行う高調波処理回路が記載されている。すなわち、トランジスタ1の出力端子A点21に、基本波の1/8波長の先端開放の伝送線路4を接続し、それと並列に、出力端子A点に、基本波の1/8波長の伝送線路5を接続し、その先端B点に奇数次高調波の1/4波長の先端開放伝送線路を1種類以上接続するものが開示されている。
また、特開2008−5128号公報図4(特許文献2参照)には、バイアス回路の損失が小さく、雑音特性が良好なマイクロ波増幅器として、バイアス回路4は、1/4波長オープンスタブ42の代わりに、キャパシタ48を設けたマイクロ波増幅器が開示されている。
特開平6−204764号公報(第1図)
特開2008−5128号公報(第4図)「段落0026」
しかし、特許文献1に記載のものは、高周波電力増幅器の出力側にスタブを介して整合回路を設け、基本波の1/8波長程度以下の比較的短い伝送線路を用いて、F級増幅に必要な、高調波に対する短絡、開放処理をかなりの次数の高調波まで正確に行っているものの、トランジスタ1を駆動するバイアス回路については言及されていない。
また、特許文献2に記載のものは、電界効果トランジスタ1のゲート電極と電源供給するバイアス電源端子45との間に抵抗43を介しているので電源負荷のアイソレーションを安定して確保することが可能なものの大電流を流す電源回路については抵抗43における損失が大きくなり、発熱や耐電力不足による電力効率の低下が問題になるという課題があった。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、モジュール内の能動素子後段に設ける主線路に近接して設けたバイアス回路の面積のコンパクト化を図ると共に電源回路に対する不要放射や回り込みを抑圧することが可能な高周波モジュールを提供することを目的とする。
請求項1に係る高周波モジュールは、入力端子から入力された高周波を周波数帯域幅に亘って増幅する増幅器と、この増幅器で増幅された出力端からの高周波を伝送する主線路と、この主線路に沿って設けられ、前記主線路からの分岐点が高周波周波数の高調波において短絡点となって前記高調波を抑圧する高調波抑圧スタブと、前記主線路を介して前記増幅器にバイアス電力を印加し、前記高調波抑圧スタブが前記主線路から分岐する分岐点に設けられたバイアス線路と、このバイアス線路から分岐し、この分岐点が前記高調波において短絡点となって前記高調波を抑圧する高調波短絡オープンスタブと、前記主線路から前記バイアス線路に沿って高周波周波数の基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧する第1の基本波短絡オープンスタブと、この第1の基本波短絡オープンスタブの短絡点から前記主線路から遠ざかる方向に前記バイアス線路に沿って前記基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧するシャント抵抗を設けた第2の基本波短絡オープンスタブと、前記バイアス線路にバイアス電力を供給する電源とを備え、前記高調波短絡オープンスタブは、前記主線路から前記バイアス線路に沿って前記高調波の1/4波長離間した点に設けられ、前記主線路からの前記バイアス線路の分岐点において前記高調波において開放点となるものである。
請求項2に係る高周波モジュールは、入力端子から入力された高周波を周波数帯域幅に亘って増幅する増幅器と、この増幅器で増幅された出力端からの高周波を伝送する主線路と、この主線路に沿って設けられ、前記主線路からの分岐点が高周波周波数の高調波において短絡点となって前記高調波を抑圧する高調波抑圧スタブと、前記主線路を介して前記増幅器にバイアス電力を印加し、前記高調波抑圧スタブが前記主線路から分岐する分岐点に設けられたバイアス線路と、このバイアス線路から分岐し、この分岐点が前記高調波において短絡点となって高調波を抑圧する高調波短絡オープンスタブと、前記主線路から前記バイアス線路に沿って高周波周波数の基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって基本波を抑圧する第1の基本波短絡オープンスタブと、この第1の基本波短絡オープンスタブの短絡点から前記主線路から遠ざかる方向に前記バイアス線路に沿って前記基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧するシャント抵抗を設けた第2の基本波短絡オープンスタブと、前記バイアス線路からそれぞれ分岐し、互いに異なる周波数を抑圧するシャント抵抗を設けた複数のスタブで形成した広帯域抑圧フィルタと、前記バイアス線路にバイアス電力を供給する電源とを備え、前記高調波短絡オープンスタブは、前記主線路から前記バイアス線路に沿って前記高調波の1/4波長離間した点に設けられ、前記主線路からの前記バイアス線路の分岐点において前記高調波において開放点となるものである。
請求項3に係る高周波モジュールは、入力端子から入力された高周波を周波数帯域幅に亘って増幅する増幅器と、この増幅器で増幅された出力端からの高周波を伝送する主線路と、この主線路に沿って設けられ、前記主線路からの分岐点が高周波周波数の基本波の2倍の周波数において短絡点となって前記基本波の2倍の周波数の高調波を抑圧する高調波抑圧スタブと、前記主線路を介して前記増幅器にバイアス電力を印加し、前記高調波抑圧スタブが前記主線路から分岐する分岐点に設けられたバイアス線路と、このバイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波の2倍の周波数において短絡点となって前記基本波の2倍の周波数の高調波を抑圧する高調波短絡オープンスタブと、前記主線路から前記バイアス線路に沿って前記基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧する第1の基本波短絡オープンスタブと、この第1の基本波短絡オープンスタブの短絡点から前記主線路から遠ざかる方向に前記バイアス線路に沿って前記基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧するシャント抵抗を設けた第2の基本波短絡オープンスタブと、前記バイアス線路にバイアス電力を供給する電源とを備え、前記高調波短絡オープンスタブは、前記主線路から前記バイアス線路に沿って前記基本波の2倍の周波数の1/波長離間した点に設けられ、前記主線路からの前記バイアス線路の分岐点において前記基本波の2倍の周波数において開放点となるものである。
請求項4に係る高周波モジュールは、入力端子から入力された高周波を周波数帯域幅に亘って増幅する増幅器と、この増幅器で増幅された出力端からの高周波を伝送する主線路と、この主線路に沿って設けられ、前記主線路からの分岐点が高周波周波数の基本波の2倍の周波数において短絡点となって前記基本波の2倍の周波数の高調波を抑圧する高調波抑圧スタブと、前記主線路を介して前記増幅器にバイアス電力を印加し、前記高調波抑圧スタブが前記主線路から分岐する分岐点に設けられたバイアス線路と、このバイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波の2倍の周波数において短絡点となって前記基本波の2倍の周波数の高調波を抑圧する高調波短絡オープンスタブと、前記主線路から前記バイアス線路に沿って前記基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧する第1の基本波短絡オープンスタブと、この第1の基本波短絡オープンスタブの短絡点から前記主線路から遠ざかる方向に前記バイアス線路に沿って前記基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧するシャント抵抗を設けた第2の基本波短絡オープンスタブと、前記バイアス線路からそれぞれ分岐し、互いに異なる周波数を抑圧するシャント抵抗を設けた複数のスタブで形成した広帯域抑圧フィルタと、前記バイアス線路にバイアス電力を供給する電源とを備え、前記高調波短絡オープンスタブは、前記主線路から前記バイアス線路に沿って前記基本波の2倍の周波数の1/4波長離間した点に設けられ、前記主線路からの前記バイアス線路の分岐点において前記基本波の2倍の周波数において開放点となるものである。
請求項1に係る高周波モジュールによれば、バイアス線路に基本波を抑圧するスタブとシャント抵抗を介したスタブとを設置し、高調波を抑圧するスタブも付加しているので電源側のインピーダンスに依存しない高周波モジュールを得る効果がある。
請求項2に係る高周波モジュールによれば、請求項1に記載の効果に加えてバイアス線路に広帯域フィルタを付加したので広い帯域幅に亘って漏洩電力を低減できる効果がある。
請求項3に係る高周波モジュールによれば、バイアス線路に基本波を抑圧するスタブとシャント抵抗を介したスタブとを設置し、高調波を抑圧するスタブも付加しているので電源側のインピーダンスに依存しない高周波モジュールを得る効果がある。
請求項4に係る高周波モジュールによれば、請求項3に記載の効果に加えてバイアス線路に広帯域フィルタを付加したので広い帯域幅に亘って漏洩電力を低減できる効果がある。
実施の形態1.
以下この発明の実施の形態1について図を用いて説明する。図1はこの発明の実施の形態1による高周波モジュールのブロック構成図である。図1において、1はバイアス回路(バイアス回路基板)であり、1aは後段バイアス回路、1bは中段バイアス回路、1cは前段バイアス回路である。2はWBG(Wide Band Gap)素子やFETトランジスタなどの能動素子(増幅器)であり、2aは後段増幅器、2bは前置増幅器である。増幅器2aのアノード電極は後段バイアス回路1aの入力端に接続される。
3は増幅前の高周波入力端子、4は増幅後の高周波出力端子、5は増幅器2のアノード電圧供給電源(電源)、6は増幅器2のゲート電圧供給電源、7は後段増幅器2a用のアノード電源配線(電源配線)、8は前置増幅器2b用のアノード電源配線、9は後段増幅器2a用のゲート電源配線、10は前置増幅器2b用のゲート電源配線である。11は電源5,6を構成する電源回路基板を示す。
図2は、この発明の実施の形態1による高周波モジュールの後段バイアス回路の回路構成を説明する図である。図2において、12は後段増幅器2aで増幅された高周波電力を伝送する1方向から略直線的に延在配置した伝送線路(主線路)、13は高周波電力に重畳する直流成分をカットする直流カットコンデンサ、14は主線路12に伝送される不要波周波数である高調波を軽減する高調波抑圧フィルタ(高調波抑圧スタブ)、15は電源インピーダンスの変動を吸収するインピーダンス変動抑圧抵抗器(シャント抵抗)、16は電源5から供給され、増幅器2aのアノードに電圧を供給する直流電圧供給線路(バイアス線路)、17は主線路12の出力端部、18は直流電源入力ポート、20は第1の基本波短絡オープンスタブ、21は第2の基本波短絡オープンスタブ、22は高調波短絡オープンスタブである。
20aは、第1の基本波短絡オープンスタブ20の短絡点、21aは第2の基本波短絡オープンスタブ21の短絡点、22aは高調波短絡オープンスタブ22の短絡点、14aは高調波抑圧フィルタ14による短絡条件となる点であると共に高調波短絡オープンスタブ22の開放条件となる点とする。したがって、高調波抑圧フィルタ14と高調波短絡オープンスタブ22との間で共振は発生しない。15aは第1の基本波短絡オープンスタブ20と第2の基本波短絡オープンスタブ21により、基本波に対してはインピーダンス変動抑圧抵抗15の抵抗値のインピーダンス値に固定される点を示す。図中、図1と同一符号は、同一又は相当部分を示す。
次に動作について図1及び図2を用いて説明する。高周波入力端子3に入力された高周波送信電力は前置増幅器2bで増幅され、さらにWBG素子などの後段増幅器2aで増幅される。後段増幅器2aのゲート電圧は、バイアス回路1bから供給され、後段増幅器2aのアノード電圧は、バイアス回路1aから供給される。後段増幅器2aの高周波電力は主線路12を通過して直流カットコンデンサ13を介して出力端部17に接続された高周波出力端子4から外部に設置したアンテナ素子などに高周波電力信号として送信される。主線路12には高調波抑圧フィルタ14が付加され送信電力の高調波成分が抑圧される。
主線路12には、直流電圧供給線路(バイアス線路)16が接続されており、後段増幅器2aのアノード電極と接続される。したがって直流電圧供給線路16には一部の高周波電力が流入しないように広帯域のフィルタ(抑圧)機能を有するスタブを挿入し電源回路基板11側への高周波の基本波を含む高調波の漏洩電力の流入を防止する。
第1の基本波短絡オープンスタブ20は主線路12から1/4波長(波長λgは回路内基本波波長又は電気長とも呼ぶ)離間した位置で直流電圧供給線路16と接続する。さらに第2の基本波短絡オープンスタブ21は第1の基本波短絡オープンスタブ20から主線路12とは反対側に1/4電気長離間した位置で直流電圧供給線路16と接続する。また、高調波電力の抑圧に対しては、高調波短絡オープンスタブ22を主線路12と第1の基本波短絡オープンスタブ20との中間位置で直流電圧供給線路16と接続する。
図3は、この発明の実施の形態1による高周波モジュールの後段バイアス回路のパターン図である。図3において、L1は主線路12から高調波短絡オープンスタブ22までの距離、L2は高調波短絡オープンスタブ22から第1の基本波短絡オープンスタブ20までの距離、L3は第1の基本波短絡オープンスタブ20から第2の基本波短絡オープンスタブ21までの距離である。23は直流電源入力ポート18近傍の直流電圧供給線路16にインピーダンス変動抑圧抵抗器15を介して設置した複数の広帯域抑圧フィルタである。図中、図2と同一符号は、同一又は相当部分を示す。
直流電圧供給線路16は主線路12に沿って長く主線路12に直交する方向に対しては主線路12に沿って設けたサイズよりも短く配置したミアンダ状(蛇行状)で構成する。また、直流電圧供給線路16間の隙間及び直流電圧供給線路16と主線路12との隙間で互いに電磁結合しない領域にスタブを設ける。主線路12は略直線状に一方向から他方の出力端部17に向かって最短距離で高周波電力を伝送することが好ましい。対して直流電圧供給線路16は、互いに離間された多数のスタブを接続するので主線路12に直交する方向の領域を有効活用するためにミアンダ状とすることでコンパクトなバイアス回路1を形成する。
図4は、この発明の実施の形態1による高周波モジュールの後段バイアス回路の主線路より電源配線側への漏洩電力(通過特性)を説明する図である。主線路12から後段増幅器2aのアノード電源配線7側(S21)に対する漏洩電力(通過電力)は周波数帯域内で変動し、電源側インピーダンスの変動でも変動する。
図4では、増幅器2aのアノード電圧供給電源(電源)5のインピーダンスを変動させて漏洩電力(通過電力)特性を各周波数帯域における波形として表示した。図4に示す一例では、使用帯域(基本波領域)に対して必要とする電源5側へのアイソレーション量を約−30dB、使用帯域外(高調波領域 不要波領域とも呼ぶ)に対して必要とする電源5側へのアイソレーション量を−15dBとした場合、電源5側のインピーダンス変動により漏洩電力に変動はあるが、約4GHz〜13GHzの周波数帯域(抑圧帯域幅)内においては電源インピーダンスの変動があっても安定したアイソレーション量を確保していることが解かる。
次にスタブとフィルタについて説明する。高周波電力が通過する主線路12から分岐して設けられた高調波抑圧フィルタ14は主線路12との接続点14aで短絡条件を満たす。この高調波抑圧フィルタ14は、適宜主線路12に沿って出力端17側に複数個設けることで主線路12側の高調波に対する抑圧を図っても良い。
主線路12から分岐した直流電圧供給線路16には、主線路12から基本波周波数のλg/8電気長離れた点で高調波短絡オープンスタブ22が設けられ、直流電圧供給線路16との接続点22aを短絡点とする。
主線路12から分岐した直流電圧供給線路16には、主線路12から基本波周波数のλg/4電気長離れた点で第1の基本波短絡オープンスタブ20が設けられ、直流電圧供給線路16との接続点20aを短絡点とする。
さらに主線路12から分岐した直流電圧供給線路16には、第1の基本波短絡オープンスタブ20の短絡点20aから直流電源入力ポート18側に基本波周波数のλg/4電気長離れた点でインピーダンス変動抑圧抵抗器15を介して第2の基本波短絡オープンスタブ21が設けられ、直流電圧供給線路16との接続点21aを短絡点とする。
インピーダンス変動抑圧抵抗器15は、基準インピーダンスが50オーム(Ω)である場合にはそれ以下の抵抗値を電源5側に対してシャントに追加する。すなわち、インピーダンス変動抑圧抵抗器15をシャント配置し直流的に開放端条件で使用することでインピーダンス変動抑圧抵抗器15における電力消費はほぼ無視できる。また、インピーダンス変動抑圧抵抗器15の抵抗値が比較的小さくてもインピーダンス変動抑圧抵抗器15は直流電圧供給線路16から分岐されているので直流電圧供給線路16上の線路における電力消費は生じない。
第2の基本波短絡オープンスタブ21は、適宜直流電圧供給線路16に沿って直流電源入力ポート18側に複数個設けることで基本波の抑圧を図っても良く、図3に示すようにインピーダンス変動抑圧抵抗器15を介して複数の広帯域抑圧フィルタ23として用いることにより抑圧帯域幅を広帯域化しても良い。
以上から電源インピーダンスが変動した場合でも高周波電力のアイソレーション特性を安定化すると共に高周波モジュールとしての消費電力の低減に対する効率の向上が図れる。
実施の形態1では、直流電圧供給線路16には増幅器2aのアノード電圧供給電源直流5から直流電圧を供給した場合について説明したが、これに限らず、電源5は定電流源でも良く、増幅器2aが間欠的に電力増幅する場合には、そのタイミングに合わせて電源5はパルスで供給しても良い。
また、増幅器2aはWBG素子やFETトランジスタなどのアノード電極を有するもので説明したがコレクタやエミッタなどを用いた高周波トランジスタを用いた場合であっても同様の効果を奏する。
実施の形態1では、第1及び第2の基本波短絡オープンスタブを用いて基本波の抑圧について説明したが、第1及び第2の基本波短絡オープンスタブに置き換えてコンデンサを用い、コンデンサ先端を接地することでコンデンサのリーク量が少ない場合には電源5側に対する基本波の抑圧について相応の効果を奏する。
実施の形態1では、主線路12に設けた高調波抑圧フィルタ14は、直流電圧供給線路16に対向するように設け、主線路12に高調波抑圧フィルタ14の短絡条件となる点と高調波短絡オープンスタブ22の開放条件となる点を一致させたが、例えば特定の基本波周波数が4.5GHz、2倍高調波が9GHzであったとすると増幅器2aによる歪による原因などで高調波のアイソレーションレベルを変更する場合には、主線路に沿って歪周波数に対応する基本波周波数の1/8電気長離間させた位置に適宜高調波抑圧フィルタ14の開放点を設けることで増幅器2aの負荷変動や増幅率のばらつきによる増幅器2aから見た電源側の高調波レベルの変化に対応した抑圧帯域幅の調整ができる利点がある。
この発明の実施の形態1による高周波モジュールのブロック構成図である。 この発明の実施の形態1による高周波モジュールの後段バイアス回路の回路構成を説明する図である。 この発明の実施の形態1による高周波モジュールの後段バイアス回路のパターン図である。 この発明の実施の形態1による高周波モジュールの後段バイアス回路の主線路より電源配線側への漏洩電力(通過特性)を説明する図である。
符号の説明
1・・バイアス回路(バイアス回路基板) 1a・・後段バイアス回路
1b・・中段バイアス回路 1c・・前段バイアス回路
2・・能動素子(増幅器) 2a・・後段増幅器 2b・・前置増幅器
3・・高周波入力端子 4・・高周波出力端子
5・・増幅器2のアノード電圧供給電源(電源)
6・・増幅器2のゲート電圧供給電源
7・・後段増幅器2a用のアノード電源配線(電源配線)
8・・前置増幅器2b用のアノード電源配線
9・・後段増幅器2a用のゲート電源電源配線
10・・前置増幅器2b用のゲート電源配線
11・・電源回路基板 12・・伝送線路(主線路) 13・・直流カットコンデンサ
14・・高調波抑圧フィルタ(高調波抑圧スタブ)
14a・・高調波抑圧フィルタによる短絡点及び高調波短絡オープンスタブの開放点
15・・インピーダンス変動抑圧抵抗器(シャント抵抗)
15a・・インピーダンス変動抑圧抵抗器抵抗値のインピーダンス値に固定された点
16・・直流電圧供給線路(バイアス線路) 17・・出力端部
18・・直流電源入力ポート
20・・第1の基本波短絡オープンスタブ
20a・・第1の基本波短絡オープンスタブの短絡点
21・・第2の基本波短絡オープンスタブ
21a・・第2の基本波短絡オープンスタブの短絡点
22・・高調波短絡オープンスタブ
22a・・高調波短絡オープンスタブの短絡点
23・・広帯域抑圧フィルタ

Claims (4)

  1. 入力端子から入力された高周波を周波数帯域幅に亘って増幅する増幅器と、この増幅器で増幅された出力端からの高周波を伝送する主線路と、この主線路に沿って設けられ、前記主線路からの分岐点が高周波周波数の高調波において短絡点となって前記高調波を抑圧する高調波抑圧スタブと、前記主線路を介して前記増幅器にバイアス電力を印加し、前記高調波抑圧スタブが前記主線路から分岐する分岐点に設けられたバイアス線路と、このバイアス線路から分岐し、この分岐点が前記高調波において短絡点となって前記高調波を抑圧する高調波短絡オープンスタブと、前記主線路から前記バイアス線路に沿って高周波周波数の基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧する第1の基本波短絡オープンスタブと、この第1の基本波短絡オープンスタブの短絡点から前記主線路から遠ざかる方向に前記バイアス線路に沿って前記基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧するシャント抵抗を設けた第2の基本波短絡オープンスタブと、前記バイアス線路にバイアス電力を供給する電源とを備え、前記高調波短絡オープンスタブは、前記主線路から前記バイアス線路に沿って前記高調波の1/4波長離間した点に設けられ、前記主線路からの前記バイアス線路の分岐点において前記高調波において開放点となる高周波モジュール。
  2. 入力端子から入力された高周波を周波数帯域幅に亘って増幅する増幅器と、この増幅器で増幅された出力端からの高周波を伝送する主線路と、この主線路に沿って設けられ、前記主線路からの分岐点が高周波周波数の高調波において短絡点となって前記高調波を抑圧する高調波抑圧スタブと、前記主線路を介して前記増幅器にバイアス電力を印加し、前記高調波抑圧スタブが前記主線路から分岐する分岐点に設けられたバイアス線路と、このバイアス線路から分岐し、この分岐点が前記高調波において短絡点となって高調波を抑圧する高調波短絡オープンスタブと、前記主線路から前記バイアス線路に沿って高周波周波数の基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって基本波を抑圧する第1の基本波短絡オープンスタブと、この第1の基本波短絡オープンスタブの短絡点から前記主線路から遠ざかる方向に前記バイアス線路に沿って前記基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧するシャント抵抗を設けた第2の基本波短絡オープンスタブと、前記バイアス線路からそれぞれ分岐し、互いに異なる周波数を抑圧するシャント抵抗を設けた複数のスタブで形成した広帯域抑圧フィルタと、前記バイアス線路にバイアス電力を供給する電源とを備え、前記高調波短絡オープンスタブは、前記主線路から前記バイアス線路に沿って前記高調波の1/4波長離間した点に設けられ、前記主線路からの前記バイアス線路の分岐点において前記高調波において開放点となる高周波モジュール。
  3. 入力端子から入力された高周波を周波数帯域幅に亘って増幅する増幅器と、この増幅器で増幅された出力端からの高周波を伝送する主線路と、この主線路に沿って設けられ、前記主線路からの分岐点が高周波周波数の基本波の2倍の周波数において短絡点となって前記基本波の2倍の周波数の高調波を抑圧する高調波抑圧スタブと、前記主線路を介して前記増幅器にバイアス電力を印加し、前記高調波抑圧スタブが前記主線路から分岐する分岐点に設けられたバイアス線路と、このバイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波の2倍の周波数において短絡点となって前記基本波の2倍の周波数の高調波を抑圧する高調波短絡オープンスタブと、前記主線路から前記バイアス線路に沿って前記基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧する第1の基本波短絡オープンスタブと、この第1の基本波短絡オープンスタブの短絡点から前記主線路から遠ざかる方向に前記バイアス線路に沿って前記基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧するシャント抵抗を設けた第2の基本波短絡オープンスタブと、前記バイアス線路にバイアス電力を供給する電源とを備え、前記高調波短絡オープンスタブは、前記主線路から前記バイアス線路に沿って前記基本波の2倍の周波数の1/波長離間した点に設けられ、前記主線路からの前記バイアス線路の分岐点において前記基本波の2倍の周波数において開放点となる高周波モジュール。
  4. 入力端子から入力された高周波を周波数帯域幅に亘って増幅する増幅器と、この増幅器で増幅された出力端からの高周波を伝送する主線路と、この主線路に沿って設けられ、前記主線路からの分岐点が高周波周波数の基本波の2倍の周波数において短絡点となって前記基本波の2倍の周波数の高調波を抑圧する高調波抑圧スタブと、前記主線路を介して前記増幅器にバイアス電力を印加し、前記高調波抑圧スタブが前記主線路から分岐する分岐点に設けられたバイアス線路と、このバイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波の2倍の周波数において短絡点となって前記基本波の2倍の周波数の高調波を抑圧する高調波短絡オープンスタブと、前記主線路から前記バイアス線路に沿って前記基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧する第1の基本波短絡オープンスタブと、この第1の基本波短絡オープンスタブの短絡点から前記主線路から遠ざかる方向に前記バイアス線路に沿って前記基本波の1/4波長離間した点で前記バイアス線路から分岐し、この分岐点が前記基本波において短絡点となって前記基本波を抑圧するシャント抵抗を設けた第2の基本波短絡オープンスタブと、前記バイアス線路からそれぞれ分岐し、互いに異なる周波数を抑圧するシャント抵抗を設けた複数のスタブで形成した広帯域抑圧フィルタと、前記バイアス線路にバイアス電力を供給する電源とを備え、前記高調波短絡オープンスタブは、前記主線路から前記バイアス線路に沿って前記基本波の2倍の周波数の1/4波長離間した点に設けられ、前記主線路からの前記バイアス線路の分岐点において前記基本波の2倍の周波数において開放点となる高周波モジュール。
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