JP5095511B2 - Air shower equipment - Google Patents

Air shower equipment Download PDF

Info

Publication number
JP5095511B2
JP5095511B2 JP2008148033A JP2008148033A JP5095511B2 JP 5095511 B2 JP5095511 B2 JP 5095511B2 JP 2008148033 A JP2008148033 A JP 2008148033A JP 2008148033 A JP2008148033 A JP 2008148033A JP 5095511 B2 JP5095511 B2 JP 5095511B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
nozzle
shower
air shower
air flow
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008148033A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2009293862A (en
Inventor
太一 徳永
泰生 吉井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd filed Critical Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd
Priority to JP2008148033A priority Critical patent/JP5095511B2/en
Publication of JP2009293862A publication Critical patent/JP2009293862A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5095511B2 publication Critical patent/JP5095511B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、半導体、精密機械等の製造や、食品の加工などを行う作業空間の出入り口に設置され、作業者や加工・検査物などに付着した塵埃や花粉などをエアシャワーで除去するエアシャワー装置の構造に関する。   The present invention is an air shower that is installed at the entrance of a work space for manufacturing semiconductors, precision machines, etc., and processing foods, and removes dust, pollen, etc. adhering to workers and processed / inspected objects with an air shower. It relates to the structure of the device.

従来のエアシャワー装置は、出入口にドアを備え、作業者や加工・検査物など塵埃や花粉などを除去する対象のもの（以下、清浄化対象体という）が装置空間内に進入したり、該装置空間内から外部に退出したりするときにはその都度、該ドアが開閉され、エアシャワーを浴びせる清浄化動作は、該出入口のドアが閉められた状態の密閉された空間内で行われる構成が一般的である。   A conventional air shower device has a door at an entrance, and an object for removing dust and pollen such as an operator, a processed / inspected object (hereinafter referred to as a cleaning object) enters the device space, The door is opened and closed each time the device is moved out of the device space, and the cleaning operation for taking an air shower is performed in a sealed space with the door of the entrance closed. Is.

上記従来技術においては、作業者等の清浄化対象体が装置空間に出入りする度に、出入口のドアを開閉する必要がある。このため、作業者の人数が多いなど清浄化対象体数が多い場合には、該出入りに要する時間が長くなり、エアシャワーを浴びせる清浄化動作のための時間を含めた全体の必要時間が長くなる。必要時間を短縮するために、一度にエアシャワー装置内に進入可能な清浄化対象体数を増大させるためには、エアシャワー装置の大型化とノズルやフィルタの増設などが必要となり、製造コストの増大につながる。また、出入口のドアを単に取除いた簡易構成とした場合には、エアシャワーにより清浄化対象体から吹き飛ばされた塵埃や花粉などの付着物（以下、塵埃類という）は、該出入口からクリーンルーム内などエアシャワー装置の外部の、清浄性を要求される環境内に漏出して、該外部環境を汚染することになり、エアシャワー装置が本来の機能を果たせないことになる。   In the above prior art, it is necessary to open and close the door of the entrance / exit each time a cleaning object such as an operator enters or exits the apparatus space. For this reason, when the number of objects to be cleaned is large, such as a large number of workers, the time required for the entry / exit becomes long, and the total time required for the cleaning operation including the air shower is long. Become. In order to shorten the required time, in order to increase the number of objects to be cleaned that can enter the air shower device at a time, it is necessary to increase the size of the air shower device and to add nozzles and filters. It leads to increase. In addition, when the door is simply removed from the doorway, dust and pollen deposits (hereinafter referred to as dust) blown away from the object to be cleaned by the air shower are removed from the doorway into the clean room. If the air is leaked into an environment that requires cleanliness outside the air shower device, the external environment is contaminated, and the air shower device cannot perform its original function.

本発明の課題点は、上記従来技術の状況に鑑み、エアシャワー装置において、出入口にドアなどの閉鎖手段を有しない構成など、出入口が開口された状態のままで清浄化対象体に対する清浄化動作が行われる構成の場合にも、装置空間内でエアシャワーにより清浄化対象体から除去された塵埃類のエアシャワー装置外部への漏出を抑えられるようにするとともに、除去した塵埃類の効率的な捕集を可能にすることである。
本発明の目的は、上記課題点を解決し、簡易な構成で、使い勝手が良く、能率的な清浄化処理が可能なエアシャワー装置を提供することにある。 In view of the above-described prior art, the problem of the present invention is that the air shower apparatus has a structure that does not have a closing means such as a door at the entrance, and the cleaning operation for the object to be cleaned while the entrance is open. Even in the configuration where the dust is removed, it is possible to suppress the leakage of the dust removed from the object to be cleaned by the air shower in the device space to the outside of the air shower device and to efficiently remove the removed dust. It is to enable collection.
An object of the present invention is to provide an air shower apparatus that solves the above-described problems and has a simple configuration, is easy to use, and can be efficiently cleaned.

上記課題点を解決するために、本発明では、エアシャワー装置を以下の構成とする。
第１の発明（請求項１）のエアシャワー装置は、出入口が開口状態とされた装置内空間を通り抜ける清浄化対象体にエアシャワーを浴びせて塵埃類を除去する通り抜け型のエアシャワー装置（実施例；１００ａ）であって、
１）当該装置の入口側と出口側のそれぞれにおいて装置内空間をはさむ両側の構体（実施例；５０ Ａ１ 、５０ Ａ２ 、５０ Ｂ１ 、５０ Ｂ２ ）上の互いに対向する位置に配され、それぞれが、当該装置の入口と出口とを結ぶ中心線（実施例；Ｃ）に対し装置内部側に向けて傾斜した方向から空気を該装置内空間に吹出し、該傾斜方向に流れる第１のエアシャワー用空気流（実施例；８１ Ａ１ 、８１ Ａ２ 、８１ Ｂ１ 、８１ Ｂ２ ）を該装置内空間に発生させる第１のノズル（実施例；１１ Ａ１ 、１１ Ａ２ 、１１ Ｂ１ 、１１ Ｂ２ ）と、
２）上記装置内空間の上記中心線方向の略中央部において装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置から互いにずれた位置に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過し互いに逆方向に流れる第２のエアシャワー用空気流（実施例；８２ Ａ 、８２ Ｂ ）を該装置内空間に発生させる第２のノズル（実施例；１２ Ａ 、１２ Ｂ ）と、
３）上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記中心線方向の上記第１のノズルと上記第２のノズルとの間に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向にかつ該中心線位置に向かって流れる第３のエアシャワー用空気流（実施例；８３ Ａ１ 、８３ Ａ２ 、８３ Ｂ１ 、８３ Ｂ２ ）を該装置内空間に発生させる第３のノズル（実施例；１３ Ａ１ 、１３ Ａ２ 、１３ Ｂ１ 、１３ Ｂ２ ）と、
４）上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記第２のノズルのそれぞれと略対向する位置に設けられた吸込み口に配され、それぞれが、該吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集するフィルタ（実施例；２１ Ａ 、２１ Ｂ ）と、
５）上記構体に搭載され、上記第１、第２及び第３のノズルに送風するとともに、上記吸込み口及び上記フィルタに対し吸気を行うファン（実施例；３１ Ａ１ 、３１ Ａ２ 、３１ Ｂ１ 、３１ Ｂ２ ）と、
を備え、
６）上記第１のエアシャワー用空気流により、該第１のエアシャワー用空気流及び上記第３のエアシャワー用空気流によって上記清浄化対象体から除去された塵埃類の上記出入口から外部への漏出を抑えるとともに、該除去された塵埃類を上記第２のエアシャワー用空気流側に移動させて該第２のエアシャワー用空気流の空気中に入れ、上記ファンにより該第２のエアシャワー用空気流の空気とともに上記吸込み口から吸込ませ、上記フィルタにより該塵埃類を捕集し、該フィルタを通って該塵埃類が除去された空気を上記ファンにより上記第１及び第３のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させる構成とする。
第２の発明（請求項２）のエアシャワー装置も出入口が開口状態とされた通り抜け型のエアシャワー装置（該当実施例；符号１００ｂ）であって、
７）当該装置の入口側と出口側のそれぞれにおいて装置内空間をはさむ両側の構体（実施例；５０ Ａ１ 、５０ Ａ２ 、５０ Ｂ１ 、５０ Ｂ２ ）上の互いに対向する位置に配され、それぞれが、当該装置の入口と出口とを結ぶ中心線（実施例；Ｃ）に対し装置内部側に向けて傾斜した方向から空気を該装置内空間に吹出し、該傾斜方向に流れる第１のエアシャワー用空気流（実施例；８１ Ａ１ 、８１ Ａ２ 、８１ Ｂ１ 、８１ Ｂ２ ）を該装置内空間に発生させる第１のノズル（実施例；１１ Ａ１ 、１１ Ａ２ 、１１ Ｂ１ 、１１ Ｂ２ ）と、
８）上記装置内空間の上記中心線方向の略中央部において装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置から互いにずれた位置に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過し互いに逆方向に流れる第２のエアシャワー用空気流（実施例；８２ Ａ 、８２ Ｂ ）を該装置内空間に発生させる第２のノズル（実施例；１２ Ａ 、１２ Ｂ ）と、
９）上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記中心線方向の上記第１のノズルと上記第２のノズルとの間に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向にかつ該中心線位置に向かって流れる第３のエアシャワー用空気流（実施例；８３ Ａ１ 、８３ Ａ２ 、８３ Ｂ１ 、８３ Ｂ２ ）を該装置内空間に発生させる第３のノズル（実施例；１３ Ａ１ 、１３ Ａ２ 、１３ Ｂ１ 、１３ Ｂ２ ）と、
１０）当該装置の入口側と出口側のそれぞれにおいて装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上で上記第１のノズルよりも上記中心線方向の外側の位置に配され、該中心線に略直交する方向であって上記第２のノズルのうち近い位置にあるものとは逆の方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過して流れる第４のエアシャワー用空気流（実施例；８４ Ａ 、８４ Ｂ ）を装置内空間に発生させる第４のノズル（実施例；１４ Ａ 、１４ Ｂ ）と、
１１）上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記第２のノズルのそれぞれと略対向する位置に設けられた第１の吸込み口に配され、それぞれが、該第１の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第１のフィルタ（実施例；２１ Ａ 、２１ Ｂ ）と、
１２）当該装置の入口側と出口側のそれぞれで、装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上において上記第４のノズルと略対向する位置に設けられた第２の吸込み口に配され、該第２の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタ（実施例；２２ Ａ 、２２ Ｂ ）と、
１３）上記構体に搭載され、上記第１、第２、第３及び第４のノズルに送風するとともに、上記第１の吸込み口、第１のフィルタ、第２の吸込み口及び第２のフィルタに対し吸気を行うファン（実施例；３１ Ａ１ 、３１ Ａ２ 、３１ Ｂ１ 、３１ Ｂ２ ）と、
を備え、
１４）上記第１のエアシャワー用空気流及び上記第４のエアシャワー用空気流により、該第１のエアシャワー用空気流及び上記第３のエアシャワー用空気流によって上記清浄化対象体から除去された塵埃類の上記出入口から外部への漏出を抑えるとともに、該除去された塵埃類を上記第１のエアシャワー用空気流により上記第２のエアシャワー用空気流側に移動させて該第２のエアシャワー用空気流の空気中に入れ、上記ファンにより該第２のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第１の吸込み口から吸込ませ、上記第１のフィルタにより該塵埃類を捕集し、該第１のフィルタを通って該塵埃類が除去された空気を上記ファンにより上記第１、第３及び第４のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させ、かつ、上記清浄化対象体から除去された塵埃類のうち上記第４のエアシャワー用空気流の空気中に入った一部のものを、上記ファンにより該第４のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第２の吸込み口から吸込ませ、上記第２のフィルタにより塵埃類を捕集し、該第２のフィルタを通った空気を上記ファンにより上記第１、第２及び第３のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させる構成とする。
第３の発明（請求項３）のエアシャワー装置は、開口状態とされた入口と該入口に対向する壁部（実施例；２００）との間に装置内空間が形成され、該装置内空間内に進入した清浄化対象体にエアシャワーを浴びせて塵埃類を除去する入口／出口兼用型のエアシャワー装置（該当実施例；符号１００ｃ）であって、
１５）当該装置の入口部において、装置内空間をはさむ両側の構体（実施例；５０ Ａ１ 、５０ Ａ２ ）上の互いに対向する位置に配され、それぞれが、当該装置の入口と上記壁部とを結ぶ中心線（実施例；Ｃ）に対し装置内部側に向けて傾斜した方向から空気を該装置内空間に吹出し、該傾斜方向に流れる第１のエアシャワー用空気流（実施例；８１ Ａ１ 、８１ Ａ２ ）を該装置内空間に発生させる第１のノズル（実施例；１１ Ａ１ 、１１ Ａ２ ）と、
１６）上記壁部の近傍において装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上に配され、上記中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過して流れる第２のエアシャワー用空気流（実施例；８２ Ａ ）を装置内空間に発生させる第２のノズル（実施例；１２ Ａ ）と、
１７）上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記中心線方向の上記第１のノズルと上記第２のノズルとの間に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向にかつ該中心線位置に向かって流れる第３のエアシャワー用空気流（実施例；８３ Ａ１ 、８３ Ａ２ ）を該装置内空間に発生させる第３のノズル（実施例；１３ Ａ１ 、１３ Ａ２ ）と、
１８）当該装置の入口部において装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上で上記第１のノズルよりも上記中心線方向の外側の位置に配され、該中心線に略直交する方向であって上記第２のノズルとは逆の方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過して流れる第４のエアシャワー用空気流（実施例；８４ Ａ ）を装置内空間に発生させる第４のノズル（実施例；１４ Ａ ）と、
１９）上記装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上において、上記第２のノズルに略対向する位置に設けられた第１の吸込み口に配され、該第１の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第１のフィルタ（実施例；２１ Ａ ）と、
２０）上記装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上において、上記第４のノズルに略対向する位置に設けられた第２の吸込み口に配され、該第２の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタ（実施例；２２ Ａ ）と、
２１）上記構体に搭載され、上記第１、第２、第３及び第４のノズルに送風するとともに、上記第１の吸込み口、第１のフィルタ、第２の吸込み口及び第２のフィルタに対し吸気を行うファン（実施例；３１ Ａ１ 、３１ Ａ２ ）と、
を備え、
２２）上記第１のエアシャワー用空気流及び上記第４のエアシャワー用空気流により、該第１のエアシャワー用空気流及び上記第３のエアシャワー用空気流によって上記清浄化対象体から除去された塵埃類の上記入口から外部への漏出を抑えるとともに、該除去された塵埃類を上記第１のエアシャワー用空気流により上記第２のエアシャワー用空気流側に移動させて該第２のエアシャワー用空気流の空気中に入れ、上記ファンにより該第２のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第１の吸込み口から吸込ませ、上記第１のフィルタにより該塵埃類を捕集し、該第１のフィルタを通って該塵埃類が除去された空気を上記ファンにより上記第１、第３及び第４のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させ、かつ、上記清浄化対象体から除去された塵埃類のうち上記第４のエアシャワー用空気流の空気中に入った一部のものを、上記ファンにより該第４のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第２の吸込み口から吸込ませ、上記第２のフィルタにより塵埃類を捕集し、該第２のフィルタを通った空気を上記ファンにより上記第１、第２及び第３のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させる構成とする。 In order to solve the above problems, in the present invention, the air shower apparatus has the following configuration.
An air shower apparatus according to a first aspect of the present invention (invention 1) is a through-type air shower apparatus that removes dust by showering an object to be cleaned that passes through the internal space of the apparatus having an open / closed opening. Example: 100a),
1) Arranged in positions opposite to each other on structures (examples; 50 A1 , 50 A2 , 50 B1 , 50 B2 ) on both sides sandwiching the internal space of the apparatus on each of the inlet side and the outlet side of the apparatus , First air shower air that blows air from the direction inclined toward the inside of the apparatus with respect to the center line (Example; C) connecting the inlet and the outlet of the apparatus and flows in the inclined direction. A first nozzle (Example; 11 A1 , 11 A2 , 11 B1 , 11 B2 ) that generates a flow (Example; 81 A1 , 81 A2 , 81 B1 , 81 B2 ) in the internal space of the apparatus;
2) Arranged in positions substantially deviated from the mutually opposing positions on the structures on both sides of the apparatus internal space in the substantially central portion of the apparatus internal space in the center line direction, and each direction substantially orthogonal to the center line The second air shower air flow (example: 82 A , 82 B ) that blows air from the air to the device internal space and passes through the center line position in the substantially orthogonal direction and flows in the opposite directions is used in the device internal space. A second nozzle (Example: 12 A , 12 B ) generated in
3) It is arranged between the first nozzle and the second nozzle in the direction of the center line on the structures on both sides sandwiching the internal space of the device, and each of the devices from the direction substantially orthogonal to the center line Air is blown into the inner space, and a third air shower airflow (examples: 83 A1 , 83 A2 , 83 B1 , 83 B2 ) that flows in the substantially orthogonal direction and toward the center line position A third nozzle (Example: 13 A1 , 13 A2 , 13 B1 , 13 B2 ) generated in
4) Dusts in the air that are arranged on suction ports provided at positions substantially opposite to the second nozzles on the structures on both sides of the internal space of the apparatus, and that are respectively sucked from the suction ports. A filter (Example; 21 A , 21 B ) that collects
5) A fan that is mounted on the structure, blows air to the first, second, and third nozzles, and sucks air to the suction port and the filter (Examples: 31 A1 , 31 A2 , 31 B1 , 31) B2 ) and
With
6) The first air shower air flow causes the dust removed from the object to be cleaned by the first air shower air flow and the third air shower air flow to the outside. And the removed dust is moved to the second air shower air flow side and placed in the air of the second air shower air flow, and the second air is discharged by the fan. The first and third nozzles are sucked from the suction port together with the air of the shower air flow, the dust is collected by the filter, and the air from which the dust has been removed through the filter is collected by the fan. It is set as the structure which is blown in to the said apparatus internal space from these each nozzle.
The air shower apparatus of the second invention (invention 2) is also a through-type air shower apparatus (corresponding example; reference numeral 100b) in which the entrance is opened.
7) Arranged in positions opposite to each other on the structures (examples; 50 A1 , 50 A2 , 50 B1 , 50 B2 ) on both sides sandwiching the internal space of the apparatus on each of the inlet side and the outlet side of the apparatus , First air shower air that blows air from the direction inclined toward the inside of the apparatus with respect to the center line (Example; C) connecting the inlet and the outlet of the apparatus and flows in the inclined direction. A first nozzle (Example; 11 A1 , 11 A2 , 11 B1 , 11 B2 ) that generates a flow (Example; 81 A1 , 81 A2 , 81 B1 , 81 B2 ) in the internal space of the apparatus;
8) Arranged in positions substantially deviated from the mutually opposing positions on the structures on both sides of the apparatus internal space in the substantially central portion of the apparatus internal space in the center line direction, and each direction substantially orthogonal to the center line The second air shower air flow (example: 82 A , 82 B ) that blows air from the air to the device internal space and passes through the center line position in the substantially orthogonal direction and flows in the opposite directions is used in the device internal space. A second nozzle (Example: 12 A , 12 B ) generated in
9) Arranged between the first nozzle and the second nozzle in the center line direction on the structures on both sides sandwiching the internal space of the apparatus, and each of the apparatuses from the direction substantially orthogonal to the center line Air is blown into the inner space, and a third air shower airflow (examples: 83 A1 , 83 A2 , 83 B1 , 83 B2 ) that flows in the substantially orthogonal direction and toward the center line position A third nozzle (Example: 13 A1 , 13 A2 , 13 B1 , 13 B2 ) generated in
10) On one of the structures on both the inlet side and the outlet side of the apparatus that sandwich the internal space of the apparatus, the center line is disposed outside the first nozzle in the center line direction. The air is blown into the internal space of the apparatus from the direction opposite to the direction close to the second nozzle, and flows through the center line position in the substantially orthogonal direction. A fourth nozzle (Example; 14 A , 14 B ) for generating four air shower airflows (Example; 84 A , 84 B ) in the apparatus internal space;
11) Disposed on first suction ports provided at positions substantially opposite to each of the second nozzles on the structures on both sides of the internal space of the apparatus, and each sucks from the first suction port. A first filter (Example: 21 A , 21 B ) that collects dust in the air
12) On each of the inlet side and outlet side of the device, the second suction port provided at a position substantially opposite to the fourth nozzle on one of the structures sandwiching the internal space of the device. A second filter (Example; 22 A , 22 B ) that collects dust in the air sucked from the second suction port;
13) Mounted on the structure and blows air to the first, second, third and fourth nozzles, and to the first suction port, the first filter, the second suction port and the second filter. A fan (Example; 31 A1 , 31 A2 , 31 B1 , 31 B2 ) that performs intake with respect to
With
14) The first air shower air flow and the fourth air shower air flow are removed from the object to be cleaned by the first air shower air flow and the third air shower air flow. The dust that has been discharged is prevented from leaking to the outside from the entrance / exit, and the removed dust is moved to the second air shower air flow side by the first air shower air flow. The air is introduced into the air of the air shower air flow, sucked from the first suction port together with the air of the second air shower air flow by the fan, and the dust is collected by the first filter. , The air from which the dust has been removed through the first filter is blown to the first, third and fourth nozzles by the fan, and blown out from the nozzles to the internal space of the device, and the above A part of the dusts removed from the object to be purified that has entered the air of the fourth air shower air flow is put together with the air of the fourth air shower air flow by the fan with the second air shower air. The air is sucked in from the suction port, dust is collected by the second filter, and the air that has passed through the second filter is blown to the first, second, and third nozzles by the fan. It is set as the structure which blows off to the said apparatus internal space from a nozzle.
In the air shower apparatus according to the third invention (invention 3), an apparatus internal space is formed between an open inlet and a wall portion (example 200) facing the inlet, and the apparatus internal space is formed. An inlet / outlet type air shower device (corresponding example; reference numeral 100c) for removing dust by subjecting the object to be cleaned to an air shower.
15) In the entrance portion of the apparatus , they are arranged at positions facing each other on the structures (examples; 50 A1 , 50 A2 ) on both sides that sandwich the internal space of the apparatus. A first air shower air flow (Example; 81 A1 ) that blows air into the internal space of the device from a direction inclined toward the inside of the device with respect to the connecting center line (Example; C) . 81 A2 ) in the internal space of the apparatus (Example; 11 A1 , 11 A2 ),
16) Arranged on one of the structures on both sides sandwiching the internal space of the device in the vicinity of the wall, and blows air from the direction substantially perpendicular to the center line to the internal space of the device, A second nozzle (Example; 12 A ) for generating a second air shower air flow (Example; 82 A ) flowing through the center line position in the internal space of the apparatus;
17) It is arranged between the first nozzle and the second nozzle in the direction of the center line on the structures on both sides sandwiching the internal space of the apparatus, and each of the apparatuses from the direction substantially orthogonal to the center line A third air shower air flow (example: 83 A1 , 83 A2 ) that blows air into the inner space and flows in the substantially orthogonal direction toward the center line position is generated in the inner space of the apparatus. Nozzles (examples; 13 A1 , 13 A2 );
18) A direction that is arranged on the outer side of the center line direction from the first nozzle on one of the structures on both sides of the apparatus internal space at the inlet of the apparatus, and is substantially orthogonal to the center line. In the fourth air shower air flow (Example; 84), the air is blown into the device internal space from the direction opposite to the second nozzle and flows through the center line position in the substantially orthogonal direction. A fourth nozzle (Example; 14 A ) for generating A ) in the apparatus internal space;
19) On one of the structures on both sides sandwiching the internal space of the apparatus, the first suction port is provided at a position substantially opposite to the second nozzle, and suction is performed from the first suction port. A first filter (Example: 21 A ) for collecting dust in the air
20) Disposed on a second suction port provided at a position substantially opposite to the fourth nozzle on one of the two structures sandwiching the internal space of the apparatus, and sucking from the second suction port A second filter (Example; 22 A ) for collecting dust in the air
21) Mounted on the structure and blows air to the first, second, third and fourth nozzles, and to the first suction port, the first filter, the second suction port and the second filter. A fan (example; 31 A1 , 31 A2 ) that performs intake air ,
With
22) The first air shower air flow and the fourth air shower air flow are removed from the object to be cleaned by the first air shower air flow and the third air shower air flow. The dust that has been discharged is prevented from leaking from the inlet to the outside, and the removed dust is moved to the second air shower air flow side by the first air shower air flow. The air is introduced into the air of the air shower air flow, sucked from the first suction port together with the air of the second air shower air flow by the fan, and the dust is collected by the first filter. , The air from which the dust has been removed through the first filter is blown to the first, third and fourth nozzles by the fan, and blown out from the nozzles to the internal space of the device, and Above Among the dusts removed from the object to be activated, a part of the dust that has entered the air of the fourth air shower air flow is collected together with the air of the fourth air shower air flow by the fan. The air is sucked in from the suction port, dust is collected by the second filter, and the air that has passed through the second filter is blown to the first, second, and third nozzles by the fan. It is set as the structure which blows off to the said apparatus internal space from a nozzle.

本発明によれば、エアシャワー装置において、出入口にドアなどの閉鎖手段を有しない構成など、出入口が開口された状態のままで清浄化対象体に対する清浄化動作が行われる構成においても、装置内空間内でエアシャワーにより清浄化対象体から除去された塵埃類のエアシャワー装置外部への漏出を抑えられるとともに、除去した塵埃類を効率的に捕集することができる。 According to the present invention, in the air shower apparatus, even in a configuration in which the cleaning operation is performed on the object to be cleaned while the entrance / exit is open, such as a configuration in which the entrance / exit does not have a closing means such as a door , Leakage of dust removed from the object to be cleaned by the air shower in the space to the outside of the air shower device can be suppressed, and the removed dust can be efficiently collected.

以下、本発明の実施例につき、図面を用いて説明する。
図１は、本発明の第１の実施例としての通り抜け型すなわち、作業者など清浄化対象体が、入口から入って、エアシャワーが浴びせられる装置内空間を通って清浄化された後、該入口とは別個に設けられた出口から出て行く方式のエアシャワー装置の構成図である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, after a cleaning object such as an operator enters from an entrance and is cleaned through a space in an apparatus where an air shower is taken, It is a block diagram of the air shower apparatus of the system which goes out from the exit provided separately from the inlet.

図１において、１００ａは、第１の実施例としてのエアシャワー装置、１は、エアシャワー装置１００ａ内に形成される装置内空間、２は、エアシャワー装置１００ａの入口（＝装置内空間１の入口）、３は、エアシャワー装置１００ａの出口（＝装置内空間１の出口）、Ｃは、入口２の中心と出口３の中心とを結ぶ中心線、１０は、エアシャワー装置１００ａによって清浄化される作業者など清浄化対象体、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄはそれぞれ、清浄化対象体１０の位置である。   In FIG. 1, 100a is an air shower device as a first embodiment, 1 is a device internal space formed in the air shower device 100a, and 2 is an inlet of the air shower device 100a (= the device internal space 1). (Inlet) 3 is an outlet of the air shower apparatus 100a (= exit of the internal space 1), C is a center line connecting the center of the inlet 2 and the center of the outlet 3, and 10 is cleaned by the air shower apparatus 100a The objects to be cleaned, such as workers to be cleaned, A, B, C, and D are the positions of the object to be cleaned 10.

また、１１Ａ１、１１Ａ２は、入口２側において、Ｙ軸方向に装置内空間１をはさんだ位置に配され、それぞれが、空気を該装置内空間１に吹出す第１のノズル、１１Ｂ１、１１Ｂ２は、出口３側において、Ｙ軸方向に装置内空間１をはさんだ位置に配され、それぞれが、空気を該装置内空間１に吹出す第１のノズル、８１Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流、８１Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流、８１Ｂ１は、第１のノズル１１Ｂ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流、８１Ｂ２は、第１のノズル１１Ｂ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流である。第１のノズル１１Ａ１は、中心線Ｃに対し角θＡ１（０°＜θＡ１＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ａ２は、中心線Ｃに対し角θＡ２（０°＜θＡ２＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ｂ１は、中心線Ｃに対し角θＢ１（０°＜θＢ１＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ｂ２は、中心線Ｃに対し角θＢ２（０°＜θＢ２＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出すようになっている。このため、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１は、中心線Ｃに対し角θＡ１傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ２は、中心線Ｃに対し角θＡ２傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１は、中心線Ｃに対し角θＢ１傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ２は、中心線Ｃに対し角θＢ２傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かう。 Further, 11 A1 and 11 A2 are arranged on the inlet 2 side at positions sandwiching the device internal space 1 in the Y-axis direction, each of which is a first nozzle that blows air into the device internal space 1, 11 B1 , 11 B2 are arranged on the outlet 3 side at positions interposing the device internal space 1 in the Y-axis direction, each of which is a first nozzle that blows air into the device internal space 1, and 81 A1 is a first nozzle The air shower air flow generated by the air blown from the nozzle 11 A1 of the first air flow, that is, the first air shower air flow 81 A2 is for the air shower generated by the air blown from the first nozzle 11 A2 . air flow air flow i.e. the first air shower, 81 B1, the first nozzle 11 air stream for air shower is generated by air discharged from the B1 or first air flow for the air shower, 1 B2 is an air flow i.e. the air flow for the first air shower air shower is generated by air discharged from the first nozzle 11 B2. The first nozzle 11 A1 blows air in a direction inclined by an angle θ A1 (0 ° <θ A1 <90 °) with respect to the center line C, and the first nozzle 11 A2 has an angle θ A2 with respect to the center line C. Air is blown in a direction inclined (0 ° <θ A2 <90 °), and the first nozzle 11 B1 discharges air in a direction inclined by an angle θ B1 (0 ° <θ B1 <90 °) with respect to the center line C. The first nozzle 11 B2 blows out air in a direction inclined with respect to the center line C by an angle θ B2 (0 ° <θ B2 <90 °). For this reason, the first air shower air flow 81 A1 is directed from the direction inclined by the angle θ A1 with respect to the center line C toward the center line C side of the device internal space 1, and the first air shower air flow 81 A2. Is from the direction inclined by the angle θ A2 with respect to the center line C toward the center line C side of the apparatus internal space 1, and the first air shower air flow 81 B1 is inclined by the angle θ B1 with respect to the center line C. To the center line C side of the apparatus internal space 1, and the first air shower air flow 81 B 2 is directed to the center line C side of the apparatus internal space 1 from a direction inclined by an angle θ B 2 with respect to the center line C. .

また、１２Ａ、１２Ｂはそれぞれ、第２のノズルであって、１２Ａは、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の略中央部（入口２と出口３との間の略中央部）に配され、空気を装置内空間１に−Ｙ軸方向に吹出す第２のノズル、１２Ｂは、中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の略中央部（入口２と出口３との間の略中央部）に配され、空気を装置内空間１に＋Ｙ軸方向に吹出す第２のノズルである。また、８２Ａは、第２のノズル１２Ａから吹出される空気によって発生される−Ｙ軸方向のエアカーテン状のエアシャワー用空気流すなわち第２のエアシャワー用空気流、８２Ｂは、第２のノズル１２Ｂから吹出される空気によって発生される＋Ｙ軸方向のエアカーテン状のエアシャワー用空気流すなわち第２のエアシャワー用空気流である。すなわち、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂは、空気を装置内空間１において互いに反対方向のエアカーテン状の空気流れとして形成される。第２のノズル１２Ａ、１２Ｂはそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出す。このため、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂはそれぞれ、略水平方向かつ中心線Ｃに対し略直交し該略直交方向に装置内空間１を通過する。また、２１Ａ、２１Ｂはそれぞれ、通過する空気をろ過し塵埃類を捕集するフィルタであり、２１Ａは、装置内空間１をはさんで上記第２のノズル１２Ａと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第２のエアシャワー用空気流８２Ａによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集するフィルタ、２１Ｂは、装置内空間１をはさんで上記第２のノズル１２Ｂと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第２のエアシャワー用空気流８２Ｂによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集するフィルタである。 12 A and 12 B are second nozzles, respectively, and 12 A is a substantially central portion in the center line C direction (X-axis direction) (substantially central portion between the inlet 2 and the outlet 3). disposed, the second blowing in the -Y-axis direction of air in the apparatus space 1 nozzle, 12 B are substantially central portion of the center line C direction (X axis direction) (between the inlet 2 and the outlet 3 This is a second nozzle that is arranged in a substantially central portion) and blows air into the device internal space 1 in the + Y-axis direction. Further, 82 A is the air curtain-like air shower air flow in the Y-axis direction generated by the air blown from the second nozzle 12 A, that is, the second air shower air flow, and 82 B is the second air shower air flow. air flow for the + Y-axis direction of the air curtain of air shower generated by air discharged from the second nozzle 12 B i.e. an air flow for the second air shower. That is, the second air shower air flows 82 A and 82 B are formed as air curtain-like air flows in opposite directions in the apparatus internal space 1. The second nozzles 12 A and 12 B each blow out air in a direction substantially orthogonal to the center line C. Therefore, the second air shower air flows 82 A and 82 B are substantially horizontal and substantially orthogonal to the center line C, and pass through the apparatus internal space 1 in the substantially orthogonal direction. Reference numerals 21 A and 21 B denote filters that filter the air that passes therethrough and collect dust, and 21 A is a position that substantially faces the second nozzle 12 A across the internal space 1 of the apparatus. disposed in the suction port, the filter filtering the air by at least the second air shower air flow 82 a sucked from the suction inclusive port, for collecting dust such in the air, 21 B is in the apparatus across the space 1 is disposed on the second nozzle 12 B and the suction port of the substantially opposite positions, air is filtered by at least the second air shower air flow 82 B is sucked from the suction inclusive port, It is a filter that collects dust in the air.

また、１３Ａ１、１３Ａ２、１３Ｂ１、１３Ｂ２はそれぞれ第３のノズルであって、１３Ａ１は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ａ１と上記第２のノズル１２Ａとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ａ２は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ａ２と上記第２のノズル１２Ｂとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ｂ１は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ｂ１と上記第２のノズル１２Ａとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ｂ２は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ｂ２と上記第２のノズル１２Ｂとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズルである。また、８３Ａ１は、第３のノズル１３Ａ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流、８３Ａ２は、第３のノズル１３Ａ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流、８３Ｂ１は、第３のノズル１３Ｂ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流、８３Ｂ２は、第３のノズル１３Ｂ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流である。第３のノズル１３Ａ１、１３Ａ２、１３Ｂ１、１３Ｂ２はそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出すようになっている。このため、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２、８３Ｂ１、８３Ｂ２はそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に発生し、該略直交する方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かう。 13 A1 , 13 A2 , 13 B1 , and 13 B2 are third nozzles, respectively, and 13 A1 is the first nozzle 11 A1 and the second nozzle in the center line C direction (X-axis direction). A third nozzle 13 A2, which is arranged at a position between the nozzle 12A and across the device internal space 1 and blows air to the device internal space 1, is in the direction of the center line C (X axis). (Direction) in a position between the first nozzle 11 A2 and the second nozzle 12 B, and is arranged at a position sandwiching the apparatus internal space 1, and third air is blown out to the apparatus internal space 1. nozzle, 13 B1, at a position between the first nozzle 11 B1 and the second nozzle 12 a of the center line C direction (X axis direction), a position across the device in space 1 A third nozzle which is arranged and blows air into the device internal space 1 , 13 B2 is disposed at a position between the first nozzle 11 B2 and the second nozzle 12 B in the center line C direction (X-axis direction) and across the device internal space 1. , A third nozzle that blows air into the internal space 1 of the apparatus. 83 A1 is an air shower air flow generated by the air blown from the third nozzle 13 A1, that is, a third air shower air flow, and 83 A2 is blown from the third nozzle 13 A2. An air shower air flow generated by air, ie, a third air shower air flow, 83 B1 is an air shower air flow generated by air blown from the third nozzle 13 B1, ie, a third air shower. The air flow 83 B2 is an air shower air flow generated by the air blown from the third nozzle 13 B2, that is, a third air shower air flow. Each of the third nozzles 13 A1 , 13 A2 , 13 B1 , and 13 B2 blows air in a direction substantially orthogonal to the center line C. For this reason, the third air shower air flow 83 A1 , 83 A2 , 83 B1 , 83 B2 is generated in a direction substantially orthogonal to the center line C, and from the substantially orthogonal direction, Head toward the center line C.

３１Ａ１、３１Ａ２、３１Ｂ１、３１Ｂ２はそれぞれファンである。ファン３１Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１、第２のノズル１２Ａ及び第３のノズル１３Ａ１に対して送風を行い、ファン３１Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２及び第３のノズル１３Ａ２に対しては送風を行うとともに、フィルタ２１Ａが設けられた吸込み口及び該フィルタ２１Ａに対しては吸気を行うようになっている。同様に、ファン３１Ｂ２は、第１のノズル１１Ｂ２、第２のノズル１２Ｂ及び第３のノズル１３Ｂ２に対して送風を行い、ファン３１Ｂ１は、第１のノズル１１Ｂ１及び第３のノズル１３Ｂ１に対しては送風を行うとともに、フィルタ２１Ｂが設けられた吸込み口及び該フィルタ２１Ｂに対しては吸気を行うようになっている。 31 A1 , 31 A2 , 31 B1 and 31 B2 are fans. Fan 31 A1, the first nozzle 11 A1, performs air blowing to the second nozzle 12 A and the third nozzle 13 A1, the fan 31 A2, the first nozzle 11 A2 and the third nozzle 13 A2 for performs air blowing, and performs the intake for the suction port and the filter 21 a filter 21 a is provided. Similarly, the fan 31 B2 blows air to the first nozzle 11 B2 , the second nozzle 12 B, and the third nozzle 13 B2 , and the fan 31 B1 includes the first nozzle 11 B1 and the third nozzle 13 B2 . It performs blowing for nozzle 13 B1, thereby performing the air for opening the suction filter 21 B is provided and the filter 21 B.

また、図１において、５０Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１、第２のノズル１２Ａ、第３のノズル１３Ａ１及びファン３１Ａ１が搭載された第１の構体、５０Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２、フィルタ２１Ａ、第３のノズル１３Ａ２及びファン３１Ａ２が搭載された第１の構体、５０Ｂ１は、第１のノズル１１Ｂ１、フィルタ２１Ｂ、第３のノズル１３Ｂ１及びファン３１Ｂ１が搭載された第２の構体、５０Ｂ２は、第１のノズル１１Ｂ２、第２のノズル１２Ｂ、第３のノズル１３Ｂ２及びファン３１Ｂ２が搭載された第２の構体である。第１のノズル１１Ａ１、１１Ａ２、第２のノズル１２Ａ、第３のノズル１３Ａ１、１３Ａ２、フィルタ２１Ａ、及びファン３１Ａ１、３１Ａ２は、第１の構体５０Ａ１、５０Ａ２上において第１のエアシャワーユニットを構成し、第１のノズル１１Ｂ１、ノズル１１Ｂ２、第２のノズル１２Ｂ、第３のノズル１３Ｂ１、１３Ｂ２、フィルタ２１Ｂ、及びファン３１Ｂ１、３１Ｂ２は、第２の構体５０Ｂ１、５０Ｂ２上において第２のエアシャワーユニットを構成している。該第１の構体５０Ａ１、５０Ａ２と、該第２の構体５０Ｂ１、５０Ｂ２とは、互いに分離された構成または互いに分離可能な構成である。 In FIG. 1, 50 A1 is a first structure on which a first nozzle 11 A1 , a second nozzle 12 A , a third nozzle 13 A1 and a fan 31 A1 are mounted, and 50 A2 is a first structure The first structure 50 B1 on which the nozzle 11 A2 , the filter 21 A , the third nozzle 13 A2 and the fan 31 A2 are mounted is the first nozzle 11 B1 , the filter 21 B , the third nozzle 13 B1 and the fan. second structure which 31 B1 is mounted, is 50 B2, the first nozzle 11 B2, the second nozzle 12 B, a second structure of the third nozzle 13 B2 and fan 31 B2 is mounted. The first nozzles 11 A1 and 11 A2 , the second nozzles 12 A , the third nozzles 13 A1 and 13 A2 , the filter 21 A , and the fans 31 A1 and 31 A2 are arranged on the first structures 50 A1 and 50 A2 . In the first air shower unit, the first nozzle 11 B1 , the nozzle 11 B2 , the second nozzle 12 B , the third nozzle 13 B1 , 13 B2 , the filter 21 B , and the fans 31 B1 , 31 B2 Constitutes a second air shower unit on the second structures 50 B1 and 50 B2 . The first structures 50 A1 and 50 A2 and the second structures 50 B1 and 50 B2 are separated from each other or separable from each other.

上記図１の構成において、清浄化対象体１０が、位置Ａからエアシャワー装置１００ａの入口２を通って、装置内空間１内のＢ位置に進入すると、該Ｂ位置で清浄化対象体１０には、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１によるエアシャワーが左側から浴びせられ、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ２によるエアシャワーが右側から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１によるエアシャワーが左側斜め後方（中心線Ｃに対し角θＡ１を成す方向）から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ２によるエアシャワーが右側斜め後方（中心線Ｃに対し角θＡ２を成す方向）から浴びせられ、付着していた塵埃類がこれらのエアシャワーで吹き飛ばされ除去される。さらに、清浄化対象体１０がＸ軸方向に進んでＣ位置にくると、該Ｃ位置で清浄化対象体１０には、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１によるエアシャワーが左側から浴びせられ、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ２によるエアシャワーが右側から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１によるエアシャワーが左側斜め前方（中心線Ｃに対し角θＢ１を成す方向）から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ２によるエアシャワーが右側斜め前方（中心線Ｃに対し角θＢ２を成す方向）から浴びせられ、残って付着していた塵埃類の一部または全部が吹き飛ばされて除去される。第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって除去された塵埃類は、装置内空間１内において、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって、第２のエアシャワー用空気流８２Ａの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、フィルタ２１Ａを通過するときに該フィルタ２１Ａにより捕集される。入口２側においては、中心線Ｃに対してそれぞれθＡ１、θＡ２を成す斜め方向に装置空間１内に吹込む第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２があるために、上記第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって除去された塵埃類は、入口２から外部に漏出するのを阻止される。同様に、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１、８３Ｂ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２によって除去された塵埃類は、装置内空間１内において、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２によって、第２のエアシャワー用空気流８２Ｂの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、フィルタ２１Ｂを通過するときに該フィルタ２１Ｂにより捕集される。出口３側においては、中心線Ｃに対してそれぞれθＢ１、θＢ２を成す斜め方向に装置内空間１内に吹込む第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２があるために、上記第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１、８３Ｂ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２によって除去された塵埃類は、出口３から外部（クリーンルーム等の内部）に漏出するのを阻止される。このようにして清浄化された清浄化対象体１０は、さらにＸ軸方向に進んで、エアシャワー装置１００ａの出口３を通って、装置内空間１外のＤ位置に出る。Ｄ位置は、クリーンルームや、高い清浄度が要求される作業場などの内部における位置である。 In the configuration shown in FIG. 1, when the object 10 to be cleaned passes from the position A through the inlet 2 of the air shower apparatus 100 a and enters the position B in the apparatus internal space 1, the object 10 to be cleaned is located at the position B. The air shower by the third air shower air flow 83 A1 is taken from the left side, the air shower by the third air shower air flow 83 A2 is taken from the right side, and the first air shower air flow 81 A1 is taken. The air shower is taken from the diagonally left side (the direction forming an angle θ A1 with respect to the center line C), and the air shower by the first air shower air flow 81 A2 is diagonally inclined to the right side (the angle θ A2 with respect to the center line C). The dust that has been soaked in and removed from these air showers is removed. Further, when the cleaning target body 10 advances in the X-axis direction and reaches the C position, the cleaning target body 10 is exposed to the air shower from the left side by the third air shower air flow 83 B1 at the C position. The air shower by the third air shower air flow 83 B2 is taken from the right side, and the air shower by the first air shower air flow 81 B1 is diagonally forward left (in the direction that forms an angle θ B1 with respect to the center line C). The air shower by the first air shower air flow 81 B2 is bathed obliquely from the front right side (in the direction that forms an angle θ B2 with respect to the center line C), and a part of the remaining dust adhered or Everything is blown away and removed. The dust removed by the third air shower air flow 83 A1 , 83 A2 and the first air shower air flow 81 A1 , 81 A2 is the first air shower air flow in the apparatus internal space 1. by 81 A1, 81 A2, enters the air in the second air shower air flow 82 a, is sucked into the inlet suction with air, it is collected by the filter 21 a when passing through the filter 21 a. On the inlet 2 side, since there is a first air shower air flow 81 A1 , 81 A2 that blows into the device space 1 in an oblique direction that forms θ A1 and θ A2 with respect to the center line C, respectively, The dusts removed by the third air shower air flow 83 A1 , 83 A2 and the first air shower air flow 81 A1 , 81 A2 are prevented from leaking from the inlet 2 to the outside. Similarly, the dusts removed by the third air shower air flow 83 B1 , 83 B2 and the first air shower air flow 81 B1 , 81 B2 are transferred to the first air shower in the device internal space 1. by use airflow 81 B1, 81 B2, enters the air in the second air shower air flow 82 B, is sucked into the inlet suction with air, collected by the filter 21 B as it passes through the filter 21 B Is done. On the outlet 3 side, there is a first air shower air flow 81 B1 , 81 B2 that blows into the apparatus internal space 1 in an oblique direction that forms θ B1 and θ B2 with respect to the center line C, respectively. The dust removed by the third air shower air flow 83 B1 , 83 B2 and the first air shower air flow 81 B1 , 81 B2 leaks out from the outlet 3 to the outside (inside a clean room or the like). Be blocked. The object to be cleaned 10 thus cleaned further proceeds in the X-axis direction, passes through the outlet 3 of the air shower device 100a, and exits to the D position outside the device internal space 1. The D position is a position in a clean room or a workplace where high cleanliness is required.

上記構成のエアシャワー装置１００ａによれば、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂを発生させる構成のため、装置空間１内でエアシャワーにより清浄化対象体１０から除去された塵埃類を効率的にフィルタ２１Ａ、２１Ｂに導いて捕集することができる。また、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２、８１Ｂ１、８１Ｂ２を発生させる構成のため、装置空間１内でエアシャワーにより清浄化対象体１０から除去された塵埃類の入口２や出口３からの漏出を抑えることができる。また、入口２及び出口３にドアなどを設けない構成のため、ドアなどを開閉する必要がなく、単に清浄化対象体１０が装置空間１を通り抜けることによって能率的な清浄化処理を行うことができ、多数の清浄化対象体１０に対しても短時間で清浄化処理を行うことができる。よって、装置の使い勝手性を向上させることができるとともに、能率的な清浄化処理が可能となる。また、入口２及び出口３にドアなどを設けない簡易な構成のため、装置の製造コストを低く抑えることも可能である。 According to the air shower apparatus 100a having the above-described configuration, the dusts removed from the object 10 to be cleaned by the air shower in the apparatus space 1 because the second air shower air flow 82 A and 82 B are generated. Can be efficiently guided to the filters 21 A and 21 B and collected. In addition, since the first air shower air flow 81 A1 , 81 A2 , 81 B1 , 81 B2 is generated, the entrance 2 of the dust removed from the object 10 to be cleaned by the air shower in the device space 1. And leakage from the outlet 3 can be suppressed. In addition, since the entrance 2 and the exit 3 are not provided with doors or the like, there is no need to open and close the doors or the like, and the cleaning object 10 simply passes through the device space 1 to perform an efficient cleaning process. The cleaning process can be performed for a large number of objects 10 to be cleaned in a short time. Therefore, the usability of the apparatus can be improved and an efficient cleaning process can be performed. In addition, since the entrance 2 and the exit 3 are not provided with doors or the like, it is possible to keep the manufacturing cost of the apparatus low.

図２は、本発明の第２の実施例としての通り抜け型のエアシャワー装置の構成図である。本第２の実施例では、エアカーテン状の空気の流れを、装置の入口部と出口部にも発生させる構成とした場合である。   FIG. 2 is a configuration diagram of a walk-through air shower apparatus as a second embodiment of the present invention. In the second embodiment, an air curtain-like air flow is generated at the inlet and outlet of the apparatus.

図２において、１００ｂは、第２の実施例としてのエアシャワー装置、１は、エアシャワー装置１００ｂ内に形成される装置内空間、２は、エアシャワー装置１００ｂの入口（＝装置内空間１の入口）、３は、エアシャワー装置１００ｂの出口（＝装置内空間１の出口）、Ｃは、入口２の中心と出口３の中心とを結ぶ中心線、１０は、エアシャワー装置１００ｂによって清浄化される作業者など清浄化対象体、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄはそれぞれ、清浄化対象体１０の位置である。   In FIG. 2, 100b is an air shower device as a second embodiment, 1 is a device internal space formed in the air shower device 100b, and 2 is an inlet of the air shower device 100b (= the device internal space 1). (Inlet) 3 is the outlet of the air shower device 100b (= the outlet of the internal space 1), C is the center line connecting the center of the inlet 2 and the center of the outlet 3, and 10 is cleaned by the air shower device 100b The objects to be cleaned, such as workers to be cleaned, A, B, C, and D are the positions of the object to be cleaned 10.

また、１１Ａ１、１１Ａ２は、入口２側において、Ｙ軸方向に装置内空間１をはさんだ位置に配され、それぞれが、空気を該装置内空間１に吹出す第１のノズル、１１Ｂ１、１１Ｂ２は、出口３側において、Ｙ軸方向に装置内空間１をはさんだ位置に配され、それぞれが、空気を該装置内空間１に吹出す第１のノズル、８１Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流、８１Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流、８１Ｂ１は、第１のノズル１１Ｂ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流、８１Ｂ２は、第１のノズル１１Ｂ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流である。第１のノズル１１Ａ１は、中心線Ｃに対し角θＡ１（０°＜θＡ１＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ａ２は、中心線Ｃに対し角θＡ２（０°＜θＡ２＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ｂ１は、中心線Ｃに対し角θＢ１（０°＜θＢ１＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ｂ２は、中心線Ｃに対し角θＢ２（０°＜θＢ２＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出すようになっている。このため、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１は、中心線Ｃに対し角θＡ１傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ２は、中心線Ｃに対し角θＡ２傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１は、中心線Ｃに対し角θＢ１傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ２は、中心線Ｃに対し角θＢ２傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かう。 Further, 11 A1 and 11 A2 are arranged on the inlet 2 side at positions sandwiching the device internal space 1 in the Y-axis direction, each of which is a first nozzle that blows air into the device internal space 1, 11 B1 , 11 B2 are arranged on the outlet 3 side at positions interposing the device internal space 1 in the Y-axis direction, each of which is a first nozzle that blows air into the device internal space 1, and 81 A1 is a first nozzle The air shower air flow generated by the air blown from the nozzle 11 A1 of the first air flow, that is, the first air shower air flow 81 A2 is for the air shower generated by the air blown from the first nozzle 11 A2 . air flow air flow i.e. the first air shower, 81 B1, the first nozzle 11 air stream for air shower is generated by air discharged from the B1 or first air flow for the air shower, 1 B2 is an air flow i.e. the air flow for the first air shower air shower is generated by air discharged from the first nozzle 11 B2. The first nozzle 11 A1 blows air in a direction inclined by an angle θ A1 (0 ° <θ A1 <90 °) with respect to the center line C, and the first nozzle 11 A2 has an angle θ A2 with respect to the center line C. Air is blown in a direction inclined (0 ° <θ A2 <90 °), and the first nozzle 11 B1 discharges air in a direction inclined by an angle θ B1 (0 ° <θ B1 <90 °) with respect to the center line C. The first nozzle 11 B2 blows out air in a direction inclined with respect to the center line C by an angle θ B2 (0 ° <θ B2 <90 °). For this reason, the first air shower air flow 81 A1 is directed from the direction inclined by the angle θ A1 with respect to the center line C toward the center line C side of the device internal space 1, and the first air shower air flow 81 A2. Is from the direction inclined by the angle θ A2 with respect to the center line C toward the center line C side of the apparatus internal space 1, and the first air shower air flow 81 B1 is inclined by the angle θ B1 with respect to the center line C. To the center line C side of the apparatus internal space 1, and the first air shower air flow 81 B 2 is directed to the center line C side of the apparatus internal space 1 from a direction inclined by an angle θ B 2 with respect to the center line C. .

また、１２Ａ、１２Ｂはそれぞれ第２のノズルであって、１２Ａは、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の略中央部（入口２と出口３との間の略中央部）に配され、空気を装置内空間１に−Ｙ軸方向に吹出す第２のノズル、１２Ｂは、中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の略中央部（入口２と出口３との間の略中央部）に配され、空気を装置内空間１に＋Ｙ軸方向に吹出す第２のノズルである。また、８２Ａは、第２のノズル１２Ａから吹出される空気によって発生される−Ｙ軸方向のエアカーテン状のエアシャワー用空気流すなわち第２のエアシャワー用空気流、８２Ｂは、第２のノズル１２Ｂから吹出される空気によって発生される＋Ｙ軸方向のエアカーテン状のエアシャワー用空気流すなわち第２のエアシャワー用空気流である。すなわち、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂは、装置内空間１において互いに反対方向のエアカーテン状の空気流れとして形成される。第２のノズル１２Ａ、１２Ｂはそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出す。このため、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂはそれぞれ、略水平方向かつ中心線Ｃに対し略直交し該略直交方向に装置内空間１を通過する。また、２１Ａ、２１Ｂはそれぞれ、通過する空気をろ過し塵埃類を捕集するフィルタ（第１のフィルタ）であり、２１Ａは、装置内空間１をはさんで上記第２のノズル１２Ａと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第２のエアシャワー用空気流８２Ａによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集する第１のフィルタ、２１Ｂは、装置内空間１をはさんで上記第２のノズル１２Ｂと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第２のエアシャワー用空気流８２Ｂによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集する第１のフィルタである。 Further, 12 A and 12 B are second nozzles, respectively, and 12 A is provided at a substantially central portion (substantially central portion between the inlet 2 and the outlet 3) in the center line C direction (X-axis direction). arranged, a second nozzle for blowing out the -Y-axis direction of air in the apparatus space 1, 12 B are substantially between the substantially central portion (inlet 2 and the outlet 3 of the center line C direction (X axis direction) This is a second nozzle that is arranged in the central portion and blows air into the device internal space 1 in the + Y-axis direction. Further, 82 A is the air curtain-like air shower air flow in the Y-axis direction generated by the air blown from the second nozzle 12 A, that is, the second air shower air flow, and 82 B is the second air shower air flow. air flow for the + Y-axis direction of the air curtain of air shower generated by air discharged from the second nozzle 12 B i.e. an air flow for the second air shower. That is, the second air shower air flows 82 A and 82 B are formed as air curtain-like air flows in opposite directions in the apparatus internal space 1. The second nozzles 12 A and 12 B each blow out air in a direction substantially orthogonal to the center line C. Therefore, the second air shower air flows 82 A and 82 B are substantially horizontal and substantially orthogonal to the center line C, and pass through the apparatus internal space 1 in the substantially orthogonal direction. Further, 21 A and 21 B are filters (first filters) for filtering the air passing therethrough and collecting dusts, respectively, and 21 A is the second nozzle 12 across the internal space 1 of the apparatus. A first air that is disposed at a suction port substantially opposite to A , filters air from at least the second air shower air flow 82A sucked from the suction port, and collects dust in the air. filter, 21 B is across the device in the space 1 is arranged on the second nozzle 12 B and the suction port of the substantially opposite positions, air at least the second air shower sucked from suction inclusive port filtering the air by the flow 82 B, a first filter for collecting dust such in the air.

また、１３Ａ１、１３Ａ２、１３Ｂ１、１３Ｂ２はそれぞれ第３のノズルであって、１３Ａ１は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ａ１と上記第２のノズル１２Ａとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ａ２は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ａ２と上記第２のノズル１２Ｂとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ｂ１は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ｂ１と上記第２のノズル１２Ａとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ｂ２は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ｂ２と上記第２のノズル１２Ｂとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズルである。また、８３Ａ１は、第３のノズル１３Ａ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流、８３Ａ２は、第３のノズル１３Ａ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流、８３Ｂ１は、第３のノズル１３Ｂ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流、８３Ｂ２は、第３のノズル１３Ｂ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流である。第３のノズル１３Ａ１、１３Ａ２、１３Ｂ１、１３Ｂ２はそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出すようになっている。このため、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２、８３Ｂ１、８３Ｂ２はそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に発生し、該略直交する方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かう。９０Ａは、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２の側から、入口２側に向かう空気の流れ、９０Ｂは、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１、８３Ｂ２の側から、出口３側に向かう空気の流れである。 13 A1 , 13 A2 , 13 B1 , and 13 B2 are third nozzles, respectively, and 13 A1 is the first nozzle 11 A1 and the second nozzle in the center line C direction (X-axis direction). A third nozzle 13 A2, which is arranged at a position between the nozzle 12A and across the device internal space 1 and blows air to the device internal space 1, is in the direction of the center line C (X axis). (Direction) in a position between the first nozzle 11 A2 and the second nozzle 12 B, and is arranged at a position sandwiching the apparatus internal space 1, and third air is blown out to the apparatus internal space 1. nozzle, 13 B1, at a position between the first nozzle 11 B1 and the second nozzle 12 a of the center line C direction (X axis direction), a position across the device in space 1 A third nozzle which is arranged and blows air into the device internal space 1 , 13 B2 is disposed at a position between the first nozzle 11 B2 and the second nozzle 12 B in the center line C direction (X-axis direction) and across the device internal space 1. , A third nozzle that blows air into the internal space 1 of the apparatus. 83 A1 is an air shower air flow generated by the air blown from the third nozzle 13 A1, that is, a third air shower air flow, and 83 A2 is blown from the third nozzle 13 A2. An air shower air flow generated by air, ie, a third air shower air flow, 83 B1 is an air shower air flow generated by air blown from the third nozzle 13 B1, ie, a third air shower. The air flow 83 B2 is an air shower air flow generated by the air blown from the third nozzle 13 B2, that is, a third air shower air flow. Each of the third nozzles 13 A1 , 13 A2 , 13 B1 , and 13 B2 blows air in a direction substantially orthogonal to the center line C. For this reason, the third air shower air flow 83 A1 , 83 A2 , 83 B1 , 83 B2 is generated in a direction substantially orthogonal to the center line C, and from the substantially orthogonal direction, Head toward the center line C. 90 A is a flow of air from the third air shower air flow 83 A1 , 83 A2 side to the inlet 2 side, and 90 B is from the third air shower air flow 83 B1 , 83 B2 side. The air flow toward the outlet 3 side.

また、１４Ａ、１４Ｂはそれぞれ第４のノズルであって、１４Ａは、入口２側において、上記第１のノズル１１Ａ２よりも上記中心線Ｃ方向（−Ｘ軸方向）の外側に配され、空気を装置内空間１にＹ軸方向に吹出す第４のノズル、１４Ｂは、出口３側において、上記第１のノズル１１Ｂ１よりも上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の外側に配され、空気を装置内空間１に−Ｙ軸方向に吹出す第４のノズルである。また、８４Ａは、第４のノズル１４Ａから吹出される空気によって発生されるＹ軸方向のエアカーテン状のエアシャワー用空気流すなわち第４のエアシャワー用空気流、８４Ｂは、第４のノズル１４Ｂから吹出される空気によって発生される−Ｙ軸方向のエアカーテン状のエアシャワー用空気流すなわち第４のエアシャワー用空気流である。すなわち、第４のエアシャワー用空気流８４Ａ、８４Ｂは、装置内空間１において互いに反対方向のエアカーテン状の空気流れとして形成される。また、該第４のエアシャワー用空気流８４Ａ、８４Ｂはそれぞれ、略水平方向で、上記第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂとも反対の方向とされる。第４のノズル１４Ａ、１４Ｂはそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出す。このため、第４のエアシャワー用空気流８４Ａ、８４Ｂはそれぞれ、略水平方向かつ中心線Ｃに対し略直交し該略直交方向に装置内空間１を通過する。また、２２Ａ、２２Ｂはそれぞれ、通過する空気をろ過し塵埃類を捕集するフィルタ（第２のフィルタ）であり、２２Ａは、装置内空間１をはさんで上記第４のノズル１４Ａと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第４のエアシャワー用空気流８４Ａによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタ、２２Ｂは、装置内空間１をはさんで上記第４のノズル１４Ｂと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第４のエアシャワー用空気流８４Ｂによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタである。 Further, 14 A, 14 B is a fourth nozzle, respectively, 14 A, at the inlet 2 side, distribution outside the first of the center line C direction than the nozzle 11 A2 (-X axis direction) The fourth nozzle 14 B that blows air in the apparatus internal space 1 in the Y-axis direction is located outside the center line C direction (X-axis direction) from the first nozzle 11 B1 on the outlet 3 side. And a fourth nozzle that blows air into the device internal space 1 in the −Y-axis direction. Further, 84 A is a fourth nozzle 14 air stream for the Y-axis direction of the air curtain of air shower generated by air discharged from the A i.e. the fourth air stream for air shower, 84 B are 4th air flow for the -Y-axis direction generated by the air discharged from the nozzle 14 B of the air curtain of air shower that is, the fourth air flow for the air shower. That is, the fourth air shower air flows 84 A and 84 B are formed as air curtain-like air flows in opposite directions in the apparatus internal space 1. The fourth air shower airflows 84 A and 84 B are substantially horizontal and opposite to the second air shower airflows 82 A and 82 B , respectively. The fourth nozzles 14 A and 14 B each blow out air in a direction substantially orthogonal to the center line C. Therefore, the fourth air shower airflows 84 A and 84 B are substantially horizontal and substantially orthogonal to the center line C and pass through the apparatus internal space 1 in the substantially orthogonal direction. Further, 22 A and 22 B are filters (second filters) for filtering the air passing therethrough and collecting dusts, respectively, and 22 A is the fourth nozzle 14 across the internal space 1 of the apparatus. A second air that is disposed at a suction port substantially opposite to A , filters at least the air by the fourth air shower air flow 84 A sucked from the suction port, and collects dust in the air. filter, 22 B is across the device in the space 1 is arranged to the fourth nozzle 14 B and the suction port of the substantially opposite positions, air at least the fourth air shower sucked from suction inclusive port filtering the air by the flow 84 B, a second filter for collecting dust such in the air.

３１Ａ１、３１Ａ２、３１Ｂ１、３１Ｂ２はそれぞれファンである。ファン３１Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１、第２のノズル１２Ａ及び第３のノズル１３Ａ１に対しては送風を行い、第２のフィルタ２２Ａが設けられた吸込み口及び該第２のフィルタ２２Ａに対しては吸気を行う。ファン３１Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２、第３のノズル１３Ａ２及び第４のノズル１４Ａに対しては送風を行うとともに、第１のフィルタ２１Ａが設けられた吸込み口及び該第１のフィルタ２１Ａに対しては吸気を行うようになっている。同様に、ファン３１Ｂ２は、第１のノズル１１Ｂ２、第２のノズル１２Ｂ及び第３のノズル１３Ｂ２に対しては送風を行い、第２のフィルタ２２Ｂが設けられた吸込み口及び該第２のフィルタ２２Ｂに対しては吸気を行う。また、ファン３１Ｂ１は、第１のノズル１１Ｂ１、第３のノズル１３Ｂ１及び第４のノズル１４Ｂに対しては送風を行うとともに、第１のフィルタ２１Ｂが設けられた吸込み口及び該第１のフィルタ２１Ｂに対しては吸気を行うようになっている。 31 A1 , 31 A2 , 31 B1 and 31 B2 are fans. The fan 31 A1 blows air to the first nozzle 11 A1 , the second nozzle 12 A, and the third nozzle 13 A1 , and the suction port provided with the second filter 22 A and the second nozzle performing intake for filter 22 a. The fan 31 A2 blows air to the first nozzle 11 A2 , the third nozzle 13 A2, and the fourth nozzle 14 A , and the suction port provided with the first filter 21 A and the first nozzle and it performs the intake for the filter 21 a. Similarly, the fan 31 B2 blows air to the first nozzle 11 B2 , the second nozzle 12 B, and the third nozzle 13 B2 , and the suction port provided with the second filter 22 B and the performing an intake for the second filter 22 B. The fan 31 B1 blows air to the first nozzle 11 B1 , the third nozzle 13 B1, and the fourth nozzle 14 B , and includes a suction port provided with the first filter 21 B and the suction port. and it performs the intake air to the first filter 21 B.

また、図２において、５０Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１、第２のノズル１２Ａ、第３のノズル１３Ａ１、第２のフィルタ２２Ａ及びファン３１Ａ１が搭載された第１の構体、５０Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２、第３のノズル１３Ａ２、第４のノズル１４Ａ、第１のフィルタ２１Ａ、及びファン３１Ａ２が搭載された第１の構体、５０Ｂ１は、第１のノズル１１Ｂ１、第３のノズル１３Ｂ１、第４のノズル１４Ｂ、第１のフィルタ２１Ｂ、及びファン３１Ｂ１が搭載された第２の構体、５０Ｂ２は、第１のノズル１１Ｂ２、第２のノズル１２Ｂ、第３のノズル１３Ｂ２、第２のフィルタ２２Ｂ及びファン３１Ｂ２が搭載された第２の構体である。第１のノズル１１Ａ１、１１Ａ２、第２のノズル１２Ａ、第３のノズル１３Ａ１、１３Ａ２、第４のノズル１４Ａ、第１のフィルタ２１Ａ、第２のフィルタ２２Ａ及びファン３１Ａ１、３１Ａ２は、第１の構体５０Ａ１、５０Ａ２上において第１のエアシャワーユニットを構成し、第１のノズル１１Ｂ１、ノズル１１Ｂ２、第２のノズル１２Ｂ、第３のノズル１３Ｂ１、１３Ｂ２、第４のノズル１４Ｂ、第１のフィルタ２１Ｂ、第２のフィルタ２２Ｂ及びファン３１Ｂ１、３１Ｂ２は、第２の構体５０Ｂ１、５０Ｂ２上において第２のエアシャワーユニットを構成している。該第１の構体５０Ａ１、５０Ａ２と、該第２の構体５０Ｂ１、５０Ｂ２とは、互いに分離された構成または互いに分離可能な構成である。 In FIG. 2, 50 A1 is a first structure in which a first nozzle 11 A1 , a second nozzle 12 A , a third nozzle 13 A1 , a second filter 22 A, and a fan 31 A1 are mounted. 50 A2 is the first structure on which the first nozzle 11 A2 , the third nozzle 13 A2 , the fourth nozzle 14 A , the first filter 21 A , and the fan 31 A2 are mounted, and 50 B1 is the first structure The first nozzle 11 B1 , the third nozzle 13 B1 , the fourth nozzle 14 B , the first filter 21 B , and the second structure on which the fan 31 B1 is mounted, 50 B2 is the first nozzle 11 B2 , A second structure in which the second nozzle 12 B , the third nozzle 13 B2 , the second filter 22 B and the fan 31 B2 are mounted. The first nozzle 11 A1, 11 A2, the second nozzle 12 A, the third nozzle 13 A1, 13 A2, fourth nozzles 14 A, the first filter 21 A, the second filter 22 A and the fan 31 A1, 31 A2 is the first air shower unit configured in the first body structure 50 A1, 50 on A2, the first nozzle 11 B1, nozzle 11 B2, the second nozzle 12 B, the third nozzle 13 B1, 13 B2, the fourth nozzles 14 B, the first filter 21 B, the second filter 22 B and the fan 31 B1, 31 B2, the second air shower on the second structure 50 B1, 50 B2 It constitutes a unit. The first structures 50 A1 and 50 A2 and the second structures 50 B1 and 50 B2 are separated from each other or separable from each other.

上記図２の構成において、清浄化対象体１０が、位置Ａからエアシャワー装置１００ｂの入口２を通り、エアカーテン状の第４のエアシャワー用空気流８４Ａの領域を通って、装置内空間１内のＢ位置に進入すると、該Ｂ位置で清浄化対象体１０には、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１によるエアシャワーが左側から浴びせられ、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ２によるエアシャワーが右側から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１によるエアシャワーが左側斜め後方（中心線Ｃに対し角θＡ１を成す方向）から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ２によるエアシャワーが右側斜め後方（中心線Ｃに対し角θＡ２を成す方向）から浴びせられ、付着していた塵埃類がこれらのエアシャワーで吹き飛ばされ除去される。さらに、清浄化対象体１０がＸ軸方向に進んでＣ位置にくると、該Ｃ位置で清浄化対象体１０には、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１によるエアシャワーが左側から浴びせられ、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ２によるエアシャワーが右側から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１によるエアシャワーが左側斜め前方（中心線Ｃに対し角θＢ１を成す方向）から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ２によるエアシャワーが右側斜め前方（中心線Ｃに対し角θＢ２を成す方向）から浴びせられ、残って付着していた塵埃類の一部または全部が吹き飛ばされて除去される。第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって除去された塵埃類は、装置内空間１内において、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって、大部分が第２のエアシャワー用空気流８２Ａの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、第１のフィルタ２１Ａを通過するときに該第１のフィルタ２１Ａにより捕集され、また、一部が第４のエアシャワー用空気流８４Ａの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、第２のフィルタ２２Ａを通過するときに該第２のフィルタ２２Ａにより捕集される。入口２側においては、中心線Ｃに対してそれぞれθＡ１、θＡ２を成す斜め方向に装置内空間１内に吹込む第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２があるため及び第４のエアシャワー用空気流８４Ａがあるために、上記第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって除去された塵埃類は、入口２から外部に漏出することを阻止される。同様に、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１、８３Ｂ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２によって除去された塵埃類は、装置内空間１内において、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２によって、大部分が第２のエアシャワー用空気流８２Ｂの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、第１のフィルタ２１Ｂを通過するときに該第１のフィルタ２１Ｂにより捕集され、また、一部が第４のエアシャワー用空気流８４Ａの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、第２のフィルタ２２Ｂを通過するときに該第２のフィルタ２２Ｂにより捕集される。出口３側においては、中心線Ｃに対してそれぞれθＢ１、θＢ２を成す斜め方向に装置内空間１内に吹込む第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２があるため及び第４のエアシャワー用空気流８４Ｂがあるために、上記第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１、８３Ｂ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２によって除去された塵埃類は、出口３から外部（クリーンルーム等の内部）に漏出するのを阻止される。このようにして清浄化された清浄化対象体１０は、さらにＸ軸方向に進んで、エアシャワー装置１００ｂの出口３を通って、装置内空間１外のＤ位置に出る。Ｄ位置は、クリーンルームや、高い清浄度が要求される作業場などの内部における位置である。 In the configuration of FIG 2, the cleaning object 10 is, through the inlet 2 of the air shower apparatus 100b from the position A, through the region of the air curtain of the fourth air shower air flow 84 A, device space When entering the B position in 1, the object 10 to be cleaned is subjected to the air shower by the third air shower air flow 83 A1 from the left side at the B position, and the third air shower air flow 83 A2 The air shower is taken from the right side, and the air shower by the first air shower air flow 81 A1 is taken obliquely from the left side (the direction that forms an angle θ A1 with respect to the center line C), and the first air shower air air shower by the flow 81 A2 is showered from the right side obliquely backward (direction forming an angle theta A2 with respect to the center line C), dust such that had adhered blown in these air shower It is removed. Further, when the cleaning target body 10 advances in the X-axis direction and reaches the C position, the cleaning target body 10 is exposed to the air shower from the left side by the third air shower air flow 83 B1 at the C position. The air shower by the third air shower air flow 83 B2 is taken from the right side, and the air shower by the first air shower air flow 81 B1 is diagonally forward left (in the direction that forms an angle θ B1 with respect to the center line C). The air shower by the first air shower air flow 81 B2 is bathed obliquely from the front right side (in the direction that forms an angle θ B2 with respect to the center line C), and a part of the remaining dust adhered or Everything is blown away and removed. The dust removed by the third air shower air flow 83 A1 , 83 A2 and the first air shower air flow 81 A1 , 81 A2 is the first air shower air flow in the apparatus internal space 1. by 81 A1, 81 A2, most of the second air shower air flow 82 a enters into the air, drawn into the inlet suction with air, said first as it passes through the first filter 21 a trapped by the filter 21 a, also partially enters the air in the fourth air shower air flow 84 a, is sucked into the inlet suction with air, it said as it passes through the second filter 22 a It is collected by the second filter 22 a. On the inlet 2 side, there is a first air shower air flow 81 A1 , 81 A2 that blows into the apparatus internal space 1 in an oblique direction that forms θ A1 and θ A2 with respect to the center line C, and the fourth. Because of the air shower air flow 84 A, the dusts removed by the third air shower air flow 83 A1 and 83 A2 and the first air shower air flow 81 A1 and 81 A2 2 is prevented from leaking outside. Similarly, the dusts removed by the third air shower air flow 83 B1 , 83 B2 and the first air shower air flow 81 B1 , 81 B2 are transferred to the first air shower in the device internal space 1. Most of the air flow 81 B1 and 81 B2 enters the air of the second air shower air flow 82 B , is sucked into the suction port together with the air, and passes through the first filter 21 B. trapped by the first filter 21 B, also partially enters the air in the fourth air shower air flow 84 a, is sucked into the inlet suction with air, passes through the second filter 22 B It is collected by the filter 22 B of the second when. On the outlet 3 side, there is a first air shower air flow 81 B1 , 81 B2 that blows into the apparatus internal space 1 in an oblique direction that forms θ B1 and θ B2 with respect to the center line C, and the fourth because of the air flow for the air shower 84 B, the dust such removed by a third flow of air for the air shower 83 B1, 83 B2, and the first air shower air flow 81 B1, 81 B2, the outlet 3 is prevented from leaking to the outside (inside a clean room or the like). The object to be cleaned 10 thus cleaned further proceeds in the X-axis direction, passes through the outlet 3 of the air shower device 100b, and exits to the D position outside the device internal space 1. The D position is a position in a clean room or a workplace where high cleanliness is required.

上記構成のエアシャワー装置１００ｂによっても、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂ及び第４のエアシャワー用空気流８４Ａ、８４Ｂを発生させる構成のため、装置内空間１内でエアシャワーにより清浄化対象体１０から除去された塵埃類を効率的に第１のフィルタ２１Ａ、２１Ｂや第２のフィルタ２２Ａ、２２Ｂに導いて捕集することができる。また、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２、８１Ｂ１、８１Ｂ２及び第４のエアシャワー用空気流８４Ａ、８４Ｂを発生させる構成のため、装置内空間１内でエアシャワーにより清浄化対象体１０から除去された塵埃類の入口２や出口３からの漏出を抑えることができる。また、入口２及び出口３にドアなどを設けない構成のため、ドアなどを開閉する必要がなく、単に清浄化対象体１０が装置内空間１を通り抜けることによって能率的な清浄化処理を行うことができ、多数の清浄化対象体１０に対しても短時間で清浄化処理を行うことができる。よって、装置の使い勝手性を向上させることができるとともに、能率的な清浄化処理が可能となる。また、入口２及び出口３にドアなどを設けない簡易な構成のため、装置の製造コストを低く抑えることも可能である。 By air shower apparatus 100b having the above configuration, due to the configuration to generate a second air shower air flow 82 A, 82 B and the fourth air shower air flow 84 A, 84 B, in the apparatus in space 1 The dusts removed from the object 10 to be cleaned by the air shower can be efficiently guided to the first filters 21 A and 21 B and the second filters 22 A and 22 B to be collected. Further, since the first air shower air flow 81 A 1 , 81 A 2 , 81 B 1 , 81 B 2 and the fourth air shower air flow 84 A , 84 B are generated, the air shower is provided in the device internal space 1. Thus, leakage of dusts removed from the object 10 to be cleaned from the inlet 2 and the outlet 3 can be suppressed. In addition, since the door 2 or the like is not provided at the entrance 2 and the exit 3, there is no need to open and close the door, and an efficient cleaning process is simply performed by the cleaning object 10 passing through the device internal space 1. The cleaning process can be performed for a large number of objects 10 to be cleaned in a short time. Therefore, the usability of the apparatus can be improved and an efficient cleaning process can be performed. In addition, since the entrance 2 and the exit 3 are not provided with doors or the like, it is possible to keep the manufacturing cost of the apparatus low.

図３は、本発明の第３の実施例としてのエアシャワー装置の構成図である。本第３の実施例は、入口と対向する壁部との間に装置内空間が形成され、入口と出口を兼用
する構成とした場合である。 FIG. 3 is a block diagram of an air shower device as a third embodiment of the present invention. The third embodiment is a case where a space in the apparatus is formed between the inlet and the opposing wall portion, and the inlet and outlet are combined.

図３において、１００ｃは、第３の実施例としてのエアシャワー装置、１は、エアシャワー装置１００ｃ内に形成される装置内空間、２は、エアシャワー装置１００ｃの入口（＝装置内空間１の入口）、２００は、入口２と対向する壁部、Ｃは、入口２の中心と壁部２００の中心とを結ぶ中心線、１０は、エアシャワー装置１００ｃによって清浄化される作業者など清浄化対象体、Ａ、Ｂはそれぞれ、清浄化対象体１０の位置である。   In FIG. 3, 100c is an air shower device as a third embodiment, 1 is a device internal space formed in the air shower device 100c, and 2 is an inlet of the air shower device 100c (= the device internal space 1). Inlet), 200 is a wall facing the inlet 2, C is a center line connecting the center of the inlet 2 and the center of the wall 200, and 10 is a worker who is cleaned by the air shower device 100c. Each of the objects, A and B, is the position of the object 10 to be cleaned.

また、１１Ａ１、１１Ａ２は、入口２部において、Ｙ軸方向に装置内空間１をはさんだ位置に配され、それぞれが、空気を該装置内空間１に吹出す第１のノズル、８１Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１から吹出される空気によって発生される第１のエアシャワー用空気流、８１Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２から吹出される空気によって発生される第１のエアシャワー用空気流である。第１のノズル１１Ａ１は、中心線Ｃに対し角θＡ１（０°＜θＡ１＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ａ２は、中心線Ｃに対し角θＡ２（０°＜θＡ２＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出すようになっている。このため、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１は、中心線Ｃに対し角θＡ１傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ２は、中心線Ｃに対し角θＡ２傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かう。 Further, 11 A1 and 11 A2 are arranged at positions where the apparatus internal space 1 is sandwiched in the Y-axis direction at the entrance 2 portion, and each of them is a first nozzle for blowing air into the apparatus internal space 1, 81 A1 Is a first air shower air flow generated by the air blown from the first nozzle 11 A1 , and 81 A2 is a first air shower generated by the air blown from the first nozzle 11 A2. Air flow. The first nozzle 11 A1 blows air in a direction inclined by an angle θ A1 (0 ° <θ A1 <90 °) with respect to the center line C, and the first nozzle 11 A2 has an angle θ A2 with respect to the center line C. (0 ° <θ A2 <90 °) The air is blown out in an inclined direction. For this reason, the first air shower air flow 81 A1 is directed from the direction inclined by the angle θ A1 with respect to the center line C toward the center line C side of the device internal space 1, and the first air shower air flow 81 A2. Is from the direction inclined by the angle θ A2 with respect to the center line C toward the center line C side of the internal space 1 of the apparatus.

また、１２Ａは、上記壁部２００の近傍に配され、空気を装置内空間１に−Ｙ軸方向に吹出す第２のノズルである。また、８２Ａは、第２のノズル１２Ａから吹出される空気によって発生される−Ｙ軸方向のエアカーテン状の第２のエアシャワー用空気流である。第２のノズル１２Ａは、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出す。このため、第２のエアシャワー用空気流８２Ａは、略水平方向かつ中心線Ｃに対し略直交し該略直交方向に装置内空間１を通過する。また、２１Ａは、通過する空気をろ過し塵埃類を捕集する第１のフィルタであり、装置内空間１をはさんで上記第２のノズル１２Ａと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第２のエアシャワー用空気流８２Ａによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集する。 Further, 12 A is disposed in the vicinity of the wall portion 200, a second nozzle for blowing out the -Y-axis direction of air in the apparatus space 1. Further, 82 A is -Y-axis direction second air stream for the air shower air curtain of the generated by air discharged from the second nozzle 12 A. The second nozzle 12 A, blowing air in a direction substantially perpendicular to the center line C. Therefore, the second air shower airflow 82 A is substantially perpendicular to the substantially horizontal direction and the center line C through the apparatus in the space 1 in the symbolic orthogonal direction. Further, 21 A is a first filter for collecting filtered dust such air passing through, distribution to the second nozzle 12 A and the inlet of the substantially opposing positions across the device in space 1 is, air is filtered by at least the second air shower air flow 82 a sucked from the suction inclusive port, for collecting dust such in the air.

また、１３Ａ１、１３Ａ２はそれぞれ第３のノズルであって、１３Ａ１は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ａ１と上記第２のノズル１２Ａとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ａ２は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ａ２と上記フィルタ２１Ａとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズルである。また、８３Ａ１は、第３のノズル１３Ａ１から吹出される空気によって発生される第３のエアシャワー用空気流、８３Ａ２は、第３のノズル１３Ａ２から吹出される空気によって発生される第３のエアシャワー用空気流である。第３のノズル１３Ａ１、１３Ａ２はそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出すようになっている。このため、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２はそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に発生し、該略直交する方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かう。９０Ａは、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２の側から、入口２側に向かう空気の流れである。 Further, 13 A1 and 13 A2 are third nozzles, respectively. 13 A1 is between the first nozzle 11 A1 and the second nozzle 12 A in the center line C direction (X-axis direction). The third nozzle 13 A2, which is arranged at a position sandwiching the device internal space 1 and blows air into the device internal space 1, is located in the center line C direction (X-axis direction). The third nozzle is arranged at a position between the apparatus internal space 1 at a position between the nozzle 11 A2 and the filter 21 A and blows air into the apparatus internal space 1. 83 A1 is a third air shower air flow generated by the air blown from the third nozzle 13 A1 , and 83 A2 is a third air flow generated by the air blown from the third nozzle 13 A2 . 3 is an air flow for air shower. Each of the third nozzles 13 A1 and 13 A2 blows air in a direction substantially orthogonal to the center line C. Therefore, the third air shower airflows 83 A1 and 83 A2 are generated in a direction substantially orthogonal to the center line C, and are directed from the substantially orthogonal direction toward the center line C of the apparatus internal space 1. . 90 A is the flow of air from the third air shower air flow 83 A1 , 83 A2 side toward the inlet 2 side.

また、１４Ａは、入口２部において、上記第１のノズル１１Ａ２よりも上記中心線Ｃ方向（−Ｘ軸方向）の外側に配され、空気を装置内空間１にＹ軸方向に吹出す第４のノズルである。また、８４Ａは、第４のノズル１４Ａから吹出される空気によって発生されるＹ軸方向のエアカーテン状の第４のエアシャワー用空気流である。該第４のエアシャワー用空気流８４Ａは、略水平方向で、上記第２のエアシャワー用空気流８２Ａと反対方向の流れとされている。第４のノズル１４Ａは、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出す。このため、第４のエアシャワー用空気流８４Ａは、略水平方向かつ中心線Ｃに対し略直交し該略直交方向に装置内空間１を通過する。また、２２Ａは、装置内空間１をはさんで上記第４のノズル１４Ａと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第４のエアシャワー用空気流８４Ａによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタである。 Further, 14 A is arranged outside the first nozzle 11 A2 in the center line C direction (−X axis direction) at the inlet 2 portion, and blows air into the apparatus internal space 1 in the Y axis direction. This is the fourth nozzle. Further, 84 A is a fourth fourth airflow for the air shower shaped Y-axis direction of the air curtain generated by the air blown out from the nozzle 14 A of. Airflow 84 A air shower of said 4, in substantially horizontal direction, and is opposite the direction of flow and the second air shower air flow 82 A. The fourth nozzle 14 A, blowing air in a direction substantially perpendicular to the center line C. Therefore, the fourth air shower air flow 84 A is substantially perpendicular to the substantially horizontal direction and the center line C through the apparatus in the space 1 in the symbolic orthogonal direction. Further, 22 A is device across the space 1 is arranged to the fourth nozzle 14 A and inlet substantially opposite positions, at least the fourth air flow for the air shower sucked from suction inclusive port It is the 2nd filter which filters the air by 84 A and collects the dusts in this air.

３１Ａ１、３１Ａ２はそれぞれファンである。ファン３１Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１、第２のノズル１２Ａ及び第３のノズル１３Ａ１に対しては送風を行い、第２のフィルタ２２Ａが設けられた吸込み口及び該第２のフィルタ２２Ａに対しては吸気を行う。ファン３１Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２、第３のノズル１３Ａ２及び第４のノズル１４Ａに対しては送風を行い、第１のフィルタ２１Ａが設けられた吸込み口及び該第１のフィルタ２１Ａに対しては吸気を行うようになっている。 31 A1 and 31 A2 are fans. The fan 31 A1 blows air to the first nozzle 11 A1 , the second nozzle 12 A, and the third nozzle 13 A1 , and the suction port provided with the second filter 22 A and the second nozzle performing intake for filter 22 a. Fan 31 A2, the first nozzle 11 A2, relative to the third nozzle 13 A2 and the fourth nozzles 14 A performs air blowing, suction port and the first of the first filter 21 A is provided and it performs the intake air to the filter 21 a.

また、図３において、５０Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１、第２のノズル１２Ａ、第３のノズル１３Ａ１、第２のフィルタ２２Ａ及びファン３１Ａ１が搭載された構体、５０Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２、第３のノズル１３Ａ２、第４のノズル１４Ａ、第１のフィルタ２１Ａ、及びファン３１Ａ２が搭載された構体である。第１のノズル１１Ａ１、１１Ａ２、第２のノズル１２Ａ、第３のノズル１３Ａ１、１３Ａ２、第４のノズル１４Ａ、第１のフィルタ２１Ａ、第２のフィルタ２２Ａ及びファン３１Ａ１、３１Ａ２は、構体５０Ａ１、５０Ａ２上においてエアシャワーユニットを構成している。 In FIG. 3, 50 A1 is a structure on which the first nozzle 11 A1 , the second nozzle 12 A , the third nozzle 13 A1 , the second filter 22 A, and the fan 31 A1 are mounted, and 50 A2 is The first nozzle 11 A2 , the third nozzle 13 A2 , the fourth nozzle 14 A , the first filter 21 A , and the fan 31 A2 are mounted. The first nozzle 11 A1, 11 A2, the second nozzle 12 A, the third nozzle 13 A1, 13 A2, fourth nozzles 14 A, the first filter 21 A, the second filter 22 A and the fan 31 A1, 31 A2 constitute an air shower unit on structure 50 A1, 50 A2.

上記図３の構成において、清浄化対象体１０が、位置Ａからエアシャワー装置１００ｃの入口２を通り、エアカーテン状の第４のエアシャワー用空気流８４Ａの領域を通って、装置内空間１内のＢ位置に進入すると、該Ｂ位置で清浄化対象体１０には、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１によるエアシャワーが左側から浴びせられ、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ２によるエアシャワーが右側から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１によるエアシャワーが左側斜め後方（中心線Ｃに対し角θＡ１を成す方向）から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ２によるエアシャワーが右側斜め後方（中心線Ｃに対し角θＡ２を成す方向）から浴びせられ、付着していた塵埃類がこれらのエアシャワーで吹き飛ばされ除去される。第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって除去された塵埃類は、装置内空間１内において、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって、大部分が第２のエアシャワー用空気流８２Ａの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、第１のフィルタ２１Ａを通過するときに該第１のフィルタ２１Ａにより捕集され、また、一部が第４のエアシャワー用空気流８４Ａの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、第２のフィルタ２２Ａを通過するときに該第２のフィルタ２２Ａにより捕集される。入口２側においては、中心線Ｃに対してそれぞれθＡ１、θＡ２を成す斜め方向に装置空間１内に吹込む第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２があるため及び第４のエアシャワー用空気流８４Ａがあるために、上記第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって除去された塵埃類は、入口２から外部に漏出することを阻止される。このようにして清浄化された清浄化対象体１０は、再び入口２を通って、装置内空間１外に出る。 In the configuration of FIG. 3, the cleaning object 10 is, through the inlet 2 of the air shower apparatus 100c from the position A, through the region of the air curtain of the fourth air shower air flow 84 A, device space When entering the B position in 1, the object 10 to be cleaned is subjected to the air shower by the third air shower air flow 83 A1 from the left side at the B position, and the third air shower air flow 83 A2 The air shower is taken from the right side, and the air shower by the first air shower air flow 81 A1 is taken obliquely from the left side (the direction that forms an angle θ A1 with respect to the center line C), and the first air shower air air shower by the flow 81 A2 is showered from the right side obliquely backward (direction forming an angle theta A2 with respect to the center line C), dust such that had adhered blown in these air shower It is removed. The dust removed by the third air shower air flow 83 A1 , 83 A2 and the first air shower air flow 81 A1 , 81 A2 is the first air shower air flow in the apparatus internal space 1. by 81 A1, 81 A2, most of the second air shower air flow 82 a enters into the air, drawn into the inlet suction with air, said first as it passes through the first filter 21 a trapped by the filter 21 a, also partially enters the air in the fourth air shower air flow 84 a, is sucked into the inlet suction with air, it said as it passes through the second filter 22 a It is collected by the second filter 22 a. On the inlet 2 side, there is a first air shower air flow 81 A1 , 81 A2 that blows into the device space 1 in an oblique direction that forms θ A1 and θ A2 with respect to the center line C, and the fourth because of the air flow 84 a for air shower, the dust such removed by a third air stream for the air shower 83 A1, 83 A2 and the first air shower air flow 81 A1, 81 A2, the inlet 2 Is prevented from leaking outside. The object to be cleaned 10 thus cleaned passes through the inlet 2 again and goes out of the device internal space 1.

上記構成のエアシャワー装置１００ｃによっても、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ及び第４のエアシャワー用空気流８４Ａを発生させる構成のため、装置空間１内でエアシャワーにより清浄化対象体１０から除去された塵埃類を効率的に第１のフィルタ２１Ａや第２のフィルタ２２Ａに導いて捕集することができる。また、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２及び第４のエアシャワー用空気流８４Ａを発生させる構成のため、装置空間１内でエアシャワーにより清浄化対象体１０から除去された塵埃類の入口２からの漏出を抑えることができる。また、入口２にドアなどを設けない構成のため、ドアなどを開閉する必要がなく、単に清浄化対象体１０が装置空間１を通り抜けることによって能率的な清浄化処理を行うことができ、多数の清浄化対象体１０に対しても短時間で清浄化処理を行うことができる。よって、装置の使い勝手性を向上させることができるとともに、能率的な清浄化処理が可能となる。また、入口２にドアなどを設けない簡易な構成のため、装置の製造コストを低く抑えることも可能である。 The also the configuration of the air shower apparatus 100c, because of the configuration to generate a second air stream for the air shower 82 A and the fourth air shower air flow 84 A, cleaned object by the air shower in the apparatus space 1 can be collected dust such removed from 10 to efficiently guided to the first filter 21 a and the second filter 22 a. Further, since the first air shower air flow 81 A1 , 81 A 2 and the fourth air shower air flow 84 A are generated, the air flow is removed from the cleaning object 10 by the air shower in the apparatus space 1. Leakage of dust from the inlet 2 can be suppressed. In addition, since the door 2 is not provided at the entrance 2, it is not necessary to open and close the door, and the cleaning object 10 can be efficiently cleaned simply by passing through the device space 1. The cleaning object 10 can be cleaned in a short time. Therefore, the usability of the apparatus can be improved and an efficient cleaning process can be performed. Further, since the entrance 2 is not provided with a door or the like, it is possible to keep the manufacturing cost of the apparatus low.

本発明の第１の実施例としてのエアシャワー装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the air shower apparatus as a 1st Example of this invention. 本発明の第２の実施例としてのエアシャワー装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the air shower apparatus as a 2nd Example of this invention. 本発明の第３の実施例としてのエアシャワー装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the air shower apparatus as a 3rd Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１００ａ、１００ｂ、１００ｃ…エアシャワー装置、
１…装置内空間、
２…入口、
３…出口、
１０…清浄化対象体、
１１Ａ１、１１Ａ２、１１Ｂ１、１１Ｂ２…第１のノズル、
１２Ａ、１２Ｂ…第２のノズル、
２１Ａ、２１Ｂ…第１のフィルタ、
１３Ａ１、１３Ａ２、１３Ｂ１、１３Ｂ２…第３のノズル、
１４Ａ、１４Ｂ…第４のノズル、
２２Ａ、２２Ｂ…第２のフィルタ、
３１Ａ１、３１Ａ２、３１Ｂ１、３１Ｂ２…ファン、
５０Ａ１、５０Ａ２…第１の構体、
５０Ｂ１、５０Ｂ２…第２の構体、
８１Ａ１、８１Ａ２、８１Ｂ１、８１Ｂ２…第１のエアシャワー用空気流、
８２Ａ、８２Ｂ…第２のエアシャワー用空気流、
８３Ａ１、８３Ａ２、８３Ｂ１、８３Ｂ２…第３のエアシャワー用空気流、
８４Ａ、８４Ｂ…第４のエアシャワー用空気流、
２００…壁部。 100a, 100b, 100c ... air shower device,
1 ... Space in the device
2 ... Entrance,
3 ... Exit,
10 ... object to be cleaned,
11 A1 , 11 A2 , 11 B1 , 11 B2 ... first nozzle,
12 A , 12 B ... second nozzle,
21 A , 21 B ... first filter,
13 A1 , 13 A2 , 13 B1 , 13 B2 ... third nozzle,
14 A , 14 B ... fourth nozzle,
22 A , 22 B ... second filter,
31 A1 , 31 A2 , 31 B1 , 31 B2 ... fans,
50 A1 , 50 A2 ... the first structure,
50 B1 , 50 B2 ... second structure,
81 A1 , 81 A2 , 81 B1 , 81 B2 ... First air shower air flow,
82 A , 82 B ... second air shower air flow,
83 A1 , 83 A2 , 83 B1 , 83 B2 ... third air shower air flow,
84 A , 84 B ... fourth air flow for air shower,
200 ... the wall.

Claims (5)

出入口が開口状態とされた装置内空間を通り抜ける清浄化対象体にエアシャワーを浴びせて塵埃類を除去する通り抜け型のエアシャワー装置であって、
当該装置の入口側と出口側のそれぞれにおいて装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置に配され、それぞれが、当該装置の入口と出口とを結ぶ中心線に対し装置内部側に向けて傾斜した方向から空気を該装置内空間に吹出し、該傾斜方向に流れる第１のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第１のノズルと、
上記装置内空間の上記中心線方向の略中央部において装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置から互いにずれた位置に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過し互いに逆方向に流れる第２のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第２のノズルと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記中心線方向の上記第１のノズルと上記第２のノズルとの間に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向にかつ該中心線位置に向かって流れる第３のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第３のノズルと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記第２のノズルのそれぞれと略対向する位置に設けられた吸込み口に配され、それぞれが、該吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集するフィルタと、
上記構体に搭載され、上記第１、第２及び第３のノズルに送風するとともに、上記吸込み口及び上記フィルタに対し吸気を行うファンと、
を備え、
上記第１のエアシャワー用空気流により、該第１のエアシャワー用空気流及び上記第３のエアシャワー用空気流によって上記清浄化対象体から除去された塵埃類の上記出入口から外部への漏出を抑えるとともに、該除去された塵埃類を上記第２のエアシャワー用空気流側に移動させて該第２のエアシャワー用空気流の空気中に入れ、上記ファンにより該第２のエアシャワー用空気流の空気とともに上記吸込み口から吸込ませ、上記フィルタにより該塵埃類を捕集し、該フィルタを通って該塵埃類が除去された空気を上記ファンにより上記第１及び第３のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させる構成としたことを特徴とするエアシャワー装置。 A through-type air shower device that removes dust by taking an air shower on the object to be cleaned that passes through the internal space of the device where the doorway is open ,
Arranged so as to be opposite to each other on either side of the structure to sandwich the inlet side and the device space Te respective smell the outlet side of the device, respectively, to the apparatus interior side with respect to the center line connecting the inlet and outlet of the device A first nozzle that blows air into the device internal space from the direction inclined toward the device and generates a first air shower air flow flowing in the inclination direction in the device internal space ;
Arranged at positions shifted from each other from opposing positions on either side of the structure sandwiching the Oite device space at a substantially central portion of the center line direction the device in space, the direction in which each is substantially perpendicular to the centerline A second nozzle that blows air into the internal space of the apparatus and generates a second air shower air flow that passes through the center line position in the substantially orthogonal direction and flows in opposite directions to the internal space of the apparatus ;
On either side of the structure sandwiching the device space is arranged between the center line direction of the first nozzle and the second nozzle, respectively, the device in space from a direction substantially perpendicular to the centerline And a third nozzle for generating a third air shower air flow flowing in the substantially orthogonal direction and toward the center line position in the internal space of the apparatus,
On the structures on both sides sandwiching the internal space of the apparatus , each is disposed in a suction port provided at a position substantially opposite to each of the second nozzles, and each captures dust in the air sucked from the suction port. Filters to collect ,
A fan that is mounted on the structure and blows air to the first, second, and third nozzles, and sucks air to the suction port and the filter;
Equipped with a,
Leakage of dust removed from the object to be cleaned by the first air shower air flow and the third air shower air flow to the outside through the first air shower air flow. In addition, the removed dusts are moved to the second air shower air flow side and placed in the air of the second air shower air flow, and the second air shower air is discharged by the fan. The air is sucked from the suction port together with the air flow, the dust is collected by the filter, and the air from which the dust has been removed through the filter is blown to the first and third nozzles by the fan. And the air shower apparatus characterized by having made it the structure which blows off to each said internal space from these each nozzle . 出入口が開口状態とされた装置内空間を通り抜ける清浄化対象体にエアシャワーを浴びせて塵埃類を除去する通り抜け型のエアシャワー装置であって、
当該装置の入口側と出口側のそれぞれにおいて装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置に配され、それぞれが、当該装置の入口と出口とを結ぶ中心線に対し装置内部側に向けて傾斜した方向から空気を該装置内空間に吹出し、該傾斜方向に流れる第１のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第１のノズルと、
上記装置内空間の上記中心線方向の略中央部において装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置から互いにずれた位置に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過し互いに逆方向に流れる第２のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第２のノズルと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記中心線方向の上記第１のノズルと上記第２のノズルとの間に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向にかつ該中心線位置に向かって流れる第３のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第３のノズルと、
当該装置の入口側と出口側のそれぞれにおいて装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上で上記第１のノズルよりも上記中心線方向の外側の位置に配され、該中心線に略直交する方向であって上記第２のノズルのうち近い位置にあるものとは逆の方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過して流れる第４のエアシャワー用空気流を装置内空間に発生させる第４のノズルと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記第２のノズルのそれぞれと略対向する位置に設けられた第１の吸込み口に配され、それぞれが、該第１の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第１のフィルタと、
当該装置の入口側と出口側のそれぞれで、装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上において上記第４のノズルと略対向する位置に設けられた第２の吸込み口に配され、該第２の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタと、
上記構体に搭載され、上記第１、第２、第３及び第４のノズルに送風するとともに、上記第１の吸込み口、第１のフィルタ、第２の吸込み口及び第２のフィルタに対し吸気を行うファンと、
を備え、
上記第１のエアシャワー用空気流及び上記第４のエアシャワー用空気流により、該第１のエアシャワー用空気流及び上記第３のエアシャワー用空気流によって上記清浄化対象体から除去された塵埃類の上記出入口から外部への漏出を抑えるとともに、該除去された塵埃類を上記第１のエアシャワー用空気流により上記第２のエアシャワー用空気流側に移動させて該第２のエアシャワー用空気流の空気中に入れ、上記ファンにより該第２のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第１の吸込み口から吸込ませ、上記第１のフィルタにより該塵埃類を捕集し、該第１のフィルタを通って該塵埃類が除去された空気を上記ファンにより上記第１、第３及び第４のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させ、かつ、上記清浄化対象体から除去された塵埃類のうち上記第４のエアシャワー用空気流の空気中に入った一部のものを、上記ファンにより該第４のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第２の吸込み口から吸込ませ、上記第２のフィルタにより塵埃類を捕集し、該第２のフィルタを通った空気を上記ファンにより上記第１、第２及び第３のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させる構成としたことを特徴とするエアシャワー装置。 A through-type air shower device that removes dust by taking an air shower on the object to be cleaned that passes through the internal space of the device where the doorway is open ,
Arranged so as to be opposite to each other on either side of the structure to sandwich the inlet side and the device space Te respective smell the outlet side of the device, respectively, to the apparatus interior side with respect to the center line connecting the inlet and outlet of the device A first nozzle that blows air into the device internal space from the direction inclined toward the device and generates a first air shower air flow flowing in the inclination direction in the device internal space ;
Arranged at positions shifted from each other from opposing positions on either side of the structure sandwiching the Oite device space at a substantially central portion of the center line direction the device in space, the direction in which each is substantially perpendicular to the centerline A second nozzle that blows air into the internal space of the apparatus and generates a second air shower air flow that passes through the center line position in the substantially orthogonal direction and flows in opposite directions to the internal space of the apparatus ;
On either side of the structure sandwiching the device space is arranged between the center line direction of the first nozzle and the second nozzle, respectively, the device in space from a direction substantially perpendicular to the centerline And a third nozzle for generating a third air shower air flow flowing in the substantially orthogonal direction and toward the center line position in the internal space of the apparatus,
One of the structures on both the inlet side and the outlet side of the apparatus that sandwich the internal space of the apparatus is disposed on the outer side in the direction of the center line with respect to the first nozzle. Air is blown into the internal space of the apparatus from the direction opposite to the direction close to the second nozzle, and flows through the center line position in the substantially orthogonal direction. A fourth nozzle for generating an air flow for air shower in the internal space of the apparatus;
Disposed first suction port provided in each substantially opposite to the position of the second nozzle on opposite sides of the structure sandwiching the device in space, air, respectively, to be sucked from the first suction opening A first filter that collects the dust therein ;
Each of the inlet side and the outlet side of the device is arranged on a second suction port provided at a position substantially opposite to the fourth nozzle on one of the structures sandwiching the space in the device, a second filter for collecting dust such air sucked from the second suction opening,
Mounted on the structure, blows air to the first, second, third and fourth nozzles, and sucks air into the first suction port, the first filter, the second suction port and the second filter. With fans to do
Equipped with a,
Removed from the object to be cleaned by the first air shower air flow and the third air shower air flow by the first air shower air flow and the fourth air shower air flow. The dust is prevented from leaking to the outside from the entrance / exit, and the removed dust is moved to the second air shower air flow side by the first air shower air flow so that the second air flows. Put in the air of the shower air flow, suck in from the first suction port together with the air of the second air shower air flow by the fan, collect the dust by the first filter, The air from which the dust has been removed through the first filter is blown to the first, third and fourth nozzles by the fan, blown out from the nozzles to the internal space of the apparatus, and the clean Conversion Part of the dust that has been removed from the elephant and has entered the air of the fourth air shower air flow together with the air of the fourth air shower air flow by the fan is added to the second air shower air flow. The air is sucked from the suction port, dust is collected by the second filter, and the air that has passed through the second filter is blown by the fan to the first, second, and third nozzles. An air shower device characterized in that the air shower device is configured to blow out into the device internal space . 開口状態とされた入口と該入口に対向する壁部との間に装置内空間が形成され、該装置内空間内に進入した清浄化対象体にエアシャワーを浴びせて塵埃類を除去する入口／出口兼用型のエアシャワー装置であって、
当該装置の入口部において、装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置に配され、それぞれが、当該装置の入口と上記壁部とを結ぶ中心線に対し装置内部側に向けて傾斜した方向から空気を該装置内空間に吹出し、該傾斜方向に流れる第１のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第１のノズルと、
上記壁部の近傍において装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上に配され、上記中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過して流れる第２のエアシャワー用空気流を装置内空間に発生させる第２のノズルと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記中心線方向の上記第１のノズルと上記第２のノズルとの間に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向にかつ該中心線位置に向かって流れる第３のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第３のノズルと、
当該装置の入口部において装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上で上記第１のノズルよりも上記中心線方向の外側の位置に配され、該中心線に略直交する方向であって上記第２のノズルとは逆の方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過して流れる第４のエアシャワー用空気流を装置内空間に発生させる第４のノズルと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上において、上記第２のノズルに略対向する位置に設けられた第１の吸込み口に配され、該第１の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第１のフィルタと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上において、上記第４のノズルに略対向する位置に設けられた第２の吸込み口に配され、該第２の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタと、
上記構体に搭載され、上記第１、第２、第３及び第４のノズルに送風するとともに、上記第１の吸込み口、第１のフィルタ、第２の吸込み口及び第２のフィルタに対し吸気を行うファンと、
を備え、
上記第１のエアシャワー用空気流及び上記第４のエアシャワー用空気流により、該第１のエアシャワー用空気流及び上記第３のエアシャワー用空気流によって上記清浄化対象体から除去された塵埃類の上記入口から外部への漏出を抑えるとともに、該除去された塵埃類を上記第１のエアシャワー用空気流により上記第２のエアシャワー用空気流側に移動させて該第２のエアシャワー用空気流の空気中に入れ、上記ファンにより該第２のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第１の吸込み口から吸込ませ、上記第１のフィルタにより該塵埃類を捕集し、該第１のフィルタを通って該塵埃類が除去された空気を上記ファンにより上記第１、第３及び第４のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させ、かつ、上記清浄化対象体から除去された塵埃類のうち上記第４のエアシャワー用空気流の空気中に入った一部のものを、上記ファンにより該第４のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第２の吸込み口から吸込ませ、上記第２のフィルタにより塵埃類を捕集し、該第２のフィルタを通った空気を上記ファンにより上記第１、第２及び第３のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させる構成としたことを特徴とするエアシャワー装置。 Device space between the wall portion opposed to the opening state and to an inlet and inlet are formed, to remove dust such peppered the air shower cleaning subject that has entered into the device space inlet / An outlet-type air shower device,
In the entrance portion of the device, they are arranged at opposite positions on the structures on both sides of the internal space of the device, and each is inclined toward the inside of the device with respect to the center line connecting the entrance of the device and the wall portion. A first nozzle that blows air into the apparatus internal space from the generated direction and generates a first air shower air flow flowing in the inclined direction in the apparatus internal space ;
Arranged on one of the structure of both sides of the structure sandwiching the Oite device space in the vicinity of the wall portion, blowing air in a direction substantially perpendicular to the center line in the apparatus space, the in the symbolic orthogonal direction A second nozzle for generating a second air shower air flow flowing through the center line position in the space in the apparatus;
On either side of the structure sandwiching the device space is arranged between the center line direction of the first nozzle and the second nozzle, respectively, the device in space from a direction substantially perpendicular to the centerline And a third nozzle for generating a third air shower air flow flowing in the substantially orthogonal direction and toward the center line position in the internal space of the apparatus,
One of the structures sandwiching the internal space of the apparatus at the inlet of the apparatus is disposed on the outer side of the center line direction from the first nozzle, and is in a direction substantially perpendicular to the center line. Thus, air is blown into the device internal space from the direction opposite to the second nozzle, and a fourth air shower airflow that flows through the center line position in the substantially orthogonal direction is generated in the device internal space. A fourth nozzle;
On one structure of both sides of the structure sandwiching the device in space, arranged on the first suction port provided at a position substantially opposed to the second nozzle is sucked from the first suction opening A first filter that collects dust in the air ;
On one structure of both sides of the structure sandwiching the device in space, arranged on the second suction port provided at a position substantially opposed to the fourth nozzle is sucked from the second suction port A second filter that collects dust in the air ;
Mounted on the structure, blows air to the first, second, third and fourth nozzles, and sucks air into the first suction port, the first filter, the second suction port and the second filter. With fans to do
Equipped with a,
Removed from the object to be cleaned by the first air shower air flow and the third air shower air flow by the first air shower air flow and the fourth air shower air flow. The dust is prevented from leaking from the inlet to the outside, and the removed dust is moved to the second air shower air flow side by the first air shower air flow so as to move the second air. Put in the air of the shower air flow, suck in from the first suction port together with the air of the second air shower air flow by the fan, collect the dust by the first filter, The air from which the dust has been removed through the first filter is blown to the first, third and fourth nozzles by the fan, blown out from the nozzles to the internal space of the apparatus, and the clean Versus Part of the dust removed from the body that has entered the air of the fourth air shower air flow is sucked into the second air shower air together with the air of the fourth air shower air flow by the fan. The air is sucked from the mouth, the dust is collected by the second filter, and the air that has passed through the second filter is blown to the first, second, and third nozzles by the fan. An air shower apparatus characterized by being configured to blow out into the apparatus internal space . 上記第１、第２、第３のノズル、フィルタ及びファンのうち装置の入口に近い側に配されたものが第１の構体上に搭載されて第１のエアシャワーユニットを構成し、
上記第１、第２、第３のノズル、フィルタ及びファンのうち装置の出口に近い側に配されたものが第２の構体上に搭載されて第２のエアシャワーユニットを構成し、
上記第１、第２の構体が互いに分離された構成または分離可能にされた構成である請求項１に記載のエアシャワー装置。 Among the first, second and third nozzles, filters and fans, those arranged on the side close to the inlet of the device are mounted on the first structure to constitute the first air shower unit,
Among the first, second and third nozzles, filters and fans, those arranged on the side close to the outlet of the device are mounted on the second structure to constitute a second air shower unit,
The air shower device according to claim 1, wherein the first and second structures are separated from each other or separated from each other . 上記第１、第２、第３、第４のノズル、第１、第２のフィルタ及びファンのうち装置の入口に近い側に配されたものが第１の構体上に搭載されて第１のエアシャワーユニットを構成し、
上記第１、第２、第３、第４のノズル、第１、第２のフィルタ及びファンのうち装置の出口に近い側に配されたものが第２の構体上に搭載されて第２のエアシャワーユニットを構成し、
上記第１、第２の構体が互いに分離された構成または分離可能にされた構成である請求項２に記載のエアシャワー装置。 Of the first, second, third, and fourth nozzles, the first and second filters, and the fan, the one arranged on the side close to the inlet of the apparatus is mounted on the first structure and the first Configure the air shower unit,
Among the first, second, third, and fourth nozzles, the first and second filters, and the fan, the one arranged on the side close to the outlet of the apparatus is mounted on the second structure and the second Configure the air shower unit,
The air shower apparatus according to claim 2 , wherein the first and second structures are separated from each other or separated from each other .
JP2008148033A 2008-06-05 2008-06-05 Air shower equipment Active JP5095511B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008148033A JP5095511B2 (en) 2008-06-05 2008-06-05 Air shower equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008148033A JP5095511B2 (en) 2008-06-05 2008-06-05 Air shower equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009293862A JP2009293862A (en) 2009-12-17
JP5095511B2 true JP5095511B2 (en) 2012-12-12

Family

ID=41542190

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008148033A Active JP5095511B2 (en) 2008-06-05 2008-06-05 Air shower equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5095511B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101456046B1 (en) 2013-07-22 2014-11-04 박민경 Air barrier formation device of shower room

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2522921B1 (en) * 2010-02-15 2019-03-06 Koken Ltd. Local clean zone forming apparatus
KR102570624B1 (en) * 2016-11-10 2023-08-28 엘지전자 주식회사 Air Wash apparatus
KR102473046B1 (en) * 2016-11-10 2022-12-02 엘지전자 주식회사 Air wash apparatus
KR102539682B1 (en) * 2016-11-10 2023-06-05 엘지전자 주식회사 Air wash apparatus
JP7141363B2 (en) * 2019-04-18 2022-09-22 株式会社日立産機システム air shower device
JP2021145900A (en) * 2020-03-19 2021-09-27 日本エアーテック株式会社 Hand dryer

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62183894A (en) * 1985-09-25 1987-08-12 日立プラント建設株式会社 Air shower device
JPS62196537A (en) * 1986-02-21 1987-08-29 Hitachi Ltd Air shower device
JP2567917B2 (en) * 1988-06-27 1996-12-25 株式会社日立製作所 Air shower for goods
JP4301456B2 (en) * 2005-11-30 2009-07-22 Ｔｄｋ株式会社 Closed container lid opening and closing system
JP2007278577A (en) * 2006-04-05 2007-10-25 Mayekawa Mfg Co Ltd Insect/dust-proof air shutter

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101456046B1 (en) 2013-07-22 2014-11-04 박민경 Air barrier formation device of shower room

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009293862A (en) 2009-12-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5095511B2 (en) Air shower equipment
KR101539020B1 (en) A clean room vacuum cleaner equipped with a low quiet and low heat generation structure
KR100873410B1 (en) A collection test system for air cleaner
JP4713239B2 (en) Air shower equipment for bio-related laboratories
JP4112588B2 (en) Mist collection device in cleaning equipment
JP6531700B2 (en) Foreign substance removal device
TWI609156B (en) Clean air blowoff device
JP6364510B2 (en) Air shower equipment
JP5014815B2 (en) Air shower equipment
JP2018176041A (en) Dust recovery machine
JP2014005992A (en) Clean booth structure
TWM561567U (en) Cutting fluid intercepting device
JP2018096672A (en) Dust remover for automatic door and automatic door
JP3510617B2 (en) Internal negative pressure clean bench
JP6399662B2 (en) Cleaning blow device and blow device
JPH05116863A (en) Cleaner for interior of elevator cage
JP4167850B2 (en) Clean work bench equipment
JP5911656B1 (en) Blow equipment
JP7153040B2 (en) Air cleaner and air cleaner with air curtain function
JP3125967U (en) Air shower room
JP3950699B2 (en) Air shower device
JP2009047323A (en) Air shower device
JP7428670B2 (en) safety cabinet
CN111305612B (en) Semiconductor factory building toilet
JP2022076935A (en) Air shower device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100819

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111213

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111220

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120220

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120821

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120919

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5095511

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150928

Year of fee payment: 3