JP7141363B2 - air shower device - Google Patents
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Description
本発明は、半導体、精密機械等の製造や、食品の加工などを行う作業空間の出入口に設置され、作業者に付着した塵埃や花粉などをエアシャワーで除去するエアシャワー装置に関する。 The present invention relates to an air shower device that is installed at the entrance/exit of a work space where semiconductors, precision machinery, etc. are manufactured and food processing is performed, and removes dust, pollen, etc. adhering to workers with an air shower.
特許文献1には、エアシャワーを多数配置して連続した歩行通路を形成した「クリーンルーム前室の空気洗浄方式」が記載されている。この特許文献1には、「歩行通路に折れ曲がり路を設け、そのコーナ部はエアシャワーゾーンとして、歩行者の歩行向きを変える姿勢で全身を万遍なく洗浄できるようにすることも可能である。」と記載されている。
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-200001 describes an "air cleaning system for a front chamber of a clean room" in which a large number of air showers are arranged to form a continuous walkway. In this
前記特許文献1には、歩行通路に折れ曲がり路を設けたクリーンルーム前室の空気洗浄方式が記載されている。しかし、特許文献1記載の空気洗浄方式は、折れ曲がり路により入室者の歩行向きを変化させたとしても、身体の前背面にエアーが吹き付けられる箇所が少なくエアー吹き付け時間が短いため、塵埃を除去しきれない課題がある。また、折れ曲がり路を設けようとすると設置箇所に大きなスペースが必要となり、万が一スペースが無く折れ曲がり路を設けられない場合には、身体の前背面に付着した塵埃が十分に除去されない。加えて、最後過程のエアシャワーから吹き出されるエアーは入室者に吹き付けられた際に乱れた気流となるため、浮遊塵埃が出口エリアのエアカーテンで抑制しきれず、クリーンルームに流入してしまう恐れがある。
The
本発明の目的は、入室者がエアシャワー内を身体の向きを変えずに歩行したとしても、エアーが身体の前背面に吹き付けられ前背面の塵埃を除去することができるエアシャワー装置を提供することにある。 To provide an air shower device capable of blowing air to the front and back of the body to remove dust on the front and back even if the user walks in the air shower without changing the direction of the body. That's what it is.
上記課題を解決するための、代表的な本発明の「エアシャワー装置」の一例を挙げるならば、
歩行通路の側面および天井に設けたエアー吹出ノズルからのエアーを入室者に吹き付けて塵埃を除去するエアシャワー装置であって、直線状の歩行通路の両側面から、歩行通路方向に位置をずらして交互に、歩行通路に突き出た複数の筐体突出部を設け、当該筐体突出部に入口と出口を結んだ中心線に対して傾斜したエアー吹出ノズルを配置して、入室者の前面および背面にエアーを吹き付け、前記歩行通路の側面に設けたエアー吹出ノズルおよび前記傾斜したエアー吹出ノズルの高さ位置を、入口から出口に向かって所定間隔ごとに次第に低くなるように配置したことを特徴とするものである。
To give an example of a representative "air shower device" of the present invention for solving the above problems,
This is an air shower device that removes dust by blowing air from air blowing nozzles installed on the side and ceiling of the walkway to the people entering the room. Alternately, a plurality of projecting parts of the housing are provided protruding into the walking passage, and an air blowing nozzle inclined with respect to the center line connecting the entrance and the exit is arranged on the projecting parts of the housing, so that the front and back of the occupants can be seen. and the air blowing nozzles provided on the side of the walking passage and the inclined air blowing nozzles are arranged so that the height positions thereof are gradually lowered at predetermined intervals from the entrance to the exit. It is something to do.
本発明によれば、入室者がエアシャワー内を身体の向きを変えずに歩行したとしても、エアーが身体の前背面に吹き付けられ前背面の塵埃を除去することができるエアシャワー装置を提供することができる。 To provide an air shower device capable of blowing air to the front and rear surfaces of a person's body to remove dust on the front and rear surfaces even if the person walks in the air shower without changing the direction of the body. be able to.
上記した以外の課題、構成及び効果は以下の実施形態の説明により明らかにされる。 Problems, configurations, and effects other than those described above will be clarified by the following description of the embodiments.
以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。なお、実施例を説明するための各図において、同一の構成要素にはなるべく同一の名称、符号を付して、その繰り返しの説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, in each drawing for explaining the embodiments, the same components are given the same names and symbols as much as possible, and the repeated description thereof is omitted.
図1は本発明の実施例1のエアシャワー装置の断面平面図であり、図2はその歩行通路側壁の構成形態を示す説明図、図3はエアシャワー装置の断面正面図、図4は手前側の筐体を透過した、歩行通路側壁の斜視図である。
FIG. 1 is a cross-sectional plan view of an air shower device according to
図において、エアシャワー装置はエアシャワーユニット2を直線状に多数配置して連続した歩行通路を形成している。エアシャワー装置にはエアーを吹き出すための複数のエアー吹出ノズルが設けられており、歩行通路の天井には上面用ノズル10が側面には側面用ノズル11が設けられ、上面用ノズル10および側面用ノズル11はエアシャワー装置入口5と出口6を結んだ中心線7に対して垂直方向に向けて設けられている。さらに、歩行通路の側面から歩行通路に向けて突出した筐体突出部20に、入室者1の前面と背面に対してもエアーが吹き付けられるように、中心線7に対して角θ傾斜した方向にエアーを吹き出す前面用ノズル12と、背面用ノズル13が設けられている。筐体突出部20は、直線状の歩行通路の両側面から、歩行通路方向に位置をずらして交互に、歩行通路に突き出すように複数設けられている。前面用ノズル12および背面用ノズル13の中心線に対する傾斜角θは、好ましくは30°<θ<60°であるが、これに限られるものではない。このとき、図2に示すように、側面用ノズル11、前面用ノズル12、背面用ノズル13は、入口5から出口6に向かって所定間隔ごとに次第にノズルの配置高さが低くなるように配置している。また、図2の矢印で示すように、天井に設けた上面用ノズル10から吹き出すエアーの風速を、入口5から出口6に向かって次第に弱めている。吹き出すエアーの風速を弱めるには、例えばエアーを送るファンの回転数を低下させればよい。
In the figure, the air shower device has a large number of
エアシャワーユニット2において、21はエアシャワー室内の空気を吸い込む空気吸込口、22は空気中の大きなごみを捕集するプレフィルタ、23は空気中の塵埃を捕集し空気をろ過するメインフィルタ、25はモータで回転するファンである。また、エアシャワーユニット2の側面の26は誘導灯である。クリーンルームに面する最終ユニット3には、エアカーテン装置4が設けられており、天井から底面に向かうエアカーテンが形成されている。なお、エアシャワーユニット2やノズルの個数は、図に限定したものではない。
In the
入室者1がエアシャワー装置内を入口5から出口6に向かって進行すると、側面用ノズル11から吹き出されたエアーが入室者1に浴びせられ、入室者1の身体に付着している塵埃が吹き飛ばされ除去される。側面用ノズル11と同様に、上面用ノズル10、前面用ノズル12、背面用ノズル13から吹き出されたエアーが側面用ノズル11で除去しきれなかった塵埃類を吹き飛ばし除去する。除去された塵埃はエアシャワー装置内を浮遊するが、エアシャワーユニット2下部の空気吸引口21に吸い込まれる。吸い込まれた塵埃はモータによって回転させられるファン25により、プレフィルタ22、メインフィルタ23を通して再びノズルより吹き出し、入室者1に浴びせられる。
When the
前面用ノズル12と背面用ノズル13は、図1に示すように、エアシャワーユニット2の筐体面より歩行通路に突き出た筐体突出部20に配置されている。これらのノズルは中心線7に対して角θ傾斜して筐体突出部20に配置されているので、エアシャワー装置内を歩行する入室者1の前面と背面にエアーを吹き付けることができる。これにより、折れ曲がり路を設けたりエアシャワー装置内で入室者1が回転動作を行ったりせずとも、入室者1の前面と背面に付着した塵埃を除去することができる。
As shown in FIG. 1, the
図2に示すように、側面用ノズル11、前面用ノズル12、背面用ノズル13は入口5から出口6に向かって所定間隔ごとに次第に高さが低くなるように配置している。ノズル位置を変化させても一定時間エアーを吹き付ければ身体に付着した塵埃は除去され、さらに、上面用ノズル10からのエアーの吹き出しと、エアシャワーユニット2下部の空気吸引口21での空気の吸い込みにより、除去された塵埃が身体の上部に再び付着する恐れはない。そのため、除塵効率は低下しない。これにより、出口6付近ではエアシャワーユニット2のノズルの位置を低くすることできる。また、天井に設けた上面用ノズル10から吹き出すエアーの風速を、入口5から出口6に向かって次第に弱めている。このため、入室者1から吹き飛ばされた塵埃の舞い上がる高さを抑えることができる。結果として、最終ユニット3内のエアカーテン装置4からのエアカーテン気流の効果を高めることにつながるので、塵埃のクリーンルームへの流入を防ぐことができる。
As shown in FIG. 2, the
エアシャワーユニット2内部の側面に誘導灯26を設け、エアシャワー装置内の歩行距離、清浄度に応じて入口5から出口6に向かって順次点滅させることで、入室者を適切に誘導する。これにより、入室者を適切な時間エアシャワー装置内に留まらせることができ、除塵効果の低下を防ぐことができる。
A
図5に、本発明の実施例2のエアシャワー装置の断面平面図を示す。
実施例2のエアシャワー装置は、エアシャワーユニット2の筐体面に設けた筐体突出部20の歩行通路側への突出量を増加させるとともに、筐体突出部20の数を増やして、ジグザグ状の歩行通路を形成したものである。筐体突出部20の個数、形状を変化させることで、直進方向にエアシャワーユニット2が多数配置されたエアシャワー装置でも、入室者1がエアシャワー装置内を蛇行しながら歩行できる。これにより、エアシャワー装置内の歩行距離、歩行時間が延長され、突出部が無い場合と比べて長時間エアーを入室者1の前後左右に均等に吹き付けることができるので、除塵効率を向上させることができる。
FIG. 5 shows a cross-sectional plan view of an air shower device according to Embodiment 2 of the present invention.
In the air shower device of the second embodiment, the amount of protrusion of the
図6に、本発明の実施例3のエアシャワー装置の歩行通路側壁の構成を示す。
実施例3のエアシャワー装置は、最終ユニット3内にエアカーテン装置を設けないで、空気吸引口21から吸い込まれた空気を入口方向のエアシャワーユニット2の筐体内を通して送風しノズルから吹き出させる。図の矢印で示すように、最終ユニット3内を負圧にして、クリーンルーム側から空気吸引口21への気流ができるので、エアカーテン装置を設けなくてもクリーンルームへの塵埃の流入を防ぐことができる。
FIG. 6 shows the structure of the side wall of the walking passage of the air shower device of Example 3 of the present invention.
The air shower device of the third embodiment does not provide an air curtain device in the
1 入室者
2 エアシャワーユニット
3 最終ユニット
4 エアカーテン装置
5 入口
6 出口
7 中心線
10 上面用ノズル
11 側面用ノズル
12 前面用ノズル
13 背面用ノズル
20 筐体突出部
21 空気吸引口
22 プレフィルタ
23 メインフィルタ
25 ファン
26 誘導灯
1
Claims (8)
直線状の歩行通路の両側面から、歩行通路方向に位置をずらして交互に、歩行通路に突き出た複数の筐体突出部を設け、当該筐体突出部に入口と出口を結んだ中心線に対して傾斜したエアー吹出ノズルを配置して、入室者の前面および背面にエアーを吹き付け、
前記歩行通路の側面に設けたエアー吹出ノズルおよび前記傾斜したエアー吹出ノズルの高さ位置を、入口から出口に向かって所定間隔ごとに次第に低くなるように配置したことを特徴とするエアシャワー装置。 An air shower device that removes dust by blowing air from air blowing nozzles provided on the side of the walkway and on the ceiling to the person entering the room,
A plurality of housing protrusions protruding into the walking path are provided alternately from both sides of the linear walking path in a staggered manner in the direction of the walking path. By arranging an air blowing nozzle inclined against the room, air is blown to the front and back of the person entering
An air shower device, wherein the height positions of the air blow-out nozzles provided on the side surface of the walkway and the inclined air blow-out nozzles are arranged so as to be gradually lowered at predetermined intervals from the entrance toward the exit.
エアシャワー装置は、複数のエアシャワーユニットを直線状に配置したものであることを特徴とするエアシャワー装置。 The air shower device according to claim 1,
An air shower device comprising a plurality of air shower units arranged in a straight line.
前記傾斜したエアー吹出ノズルの、入口と出口を結んだ中心線に対する傾斜角度θは、30°<θ<60°の範囲であることを特徴とするエアシャワー装置。 The air shower device according to claim 1,
An air shower device according to claim 1, wherein an inclination angle θ of the inclined air blowing nozzle with respect to a center line connecting an inlet and an outlet is in a range of 30°<θ<60°.
前記天井に設けたエアー吹出ノズルから吹き出すエアーの風速を、入口から出口に向かって次第に弱めたことを特徴とするエアシャワー装置。 The air shower device according to claim 1,
An air shower device characterized in that the wind speed of the air blown out from the air blowing nozzle provided on the ceiling is gradually weakened from the inlet toward the outlet.
クリーンルーム入口に面したユニットにエアカーテン装置を設けて、クリーンルームへの塵埃の流入を防ぐことを特徴とするエアシャワー装置。 In the air shower device according to claim 2,
An air shower device characterized in that an air curtain device is provided in a unit facing the entrance of a clean room to prevent dust from entering the clean room.
クリーンルーム入口に面したユニットにエアカーテン装置を設けることなく、空気吸引口から吸引した空気を別のエアシャワーユニットに送風することで前記クリーンルーム入口に面したユニット内を負圧にし、クリーンルームへの塵埃の流入を防ぐことを特徴とするエアシャワー装置。 In the air shower device according to claim 2,
Without installing an air curtain device in the unit facing the entrance of the clean room, the air sucked from the air suction port is sent to another air shower unit to create a negative pressure inside the unit facing the entrance of the clean room, thereby preventing dust from entering the clean room. An air shower device characterized by preventing the inflow of
歩行通路の側面に誘導灯を設けて入室者を誘導することで、入室者を適切な時間エアシャワー装置内に留まらせることを特徴とするエアシャワー装置。 The air shower device according to claim 1,
An air shower device characterized by providing a guide light on the side of a walkway to guide a person entering the room so that the person entering the room stays in the air shower device for an appropriate time.
前記筐体突出部を歩行通路の両側から交互に歩行通路に突き出るように設け、ジグザグ状の歩行通路を形成したことを特徴とするエアシャワー装置。 The air shower device according to claim 1,
1. An air shower device, wherein said housing projections are provided so as to protrude alternately from both sides of said walking passage to form said walking passage in a zigzag shape.
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