JPH019669Y2 - - Google Patents

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JPH019669Y2
JPH019669Y2 JP1984197465U JP19746584U JPH019669Y2 JP H019669 Y2 JPH019669 Y2 JP H019669Y2 JP 1984197465 U JP1984197465 U JP 1984197465U JP 19746584 U JP19746584 U JP 19746584U JP H019669 Y2 JPH019669 Y2 JP H019669Y2
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room
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air shower
duct
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Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は、身体及び衣服その他の物に付着した
粉塵を浄化したエアーで吹き落すエアーシヤワー
装置に関するもので、主として手術室や集積回路
の製造室等のように、空気中の粉塵が除かれた環
境のクリーンルームの出入口に設置して使用され
るものである。
[Detailed description of the invention] "Industrial application field" This invention relates to an air shower device that uses purified air to blow away dust adhering to the body, clothes, and other objects, and is mainly used in operating rooms and in the manufacturing of integrated circuits. It is used by installing it at the entrance of a clean room in an environment where dust in the air is removed, such as a clean room.

「従来の技術」 第7図及び第8図を参照して従来のこの種の装
置を説明する。
"Prior Art" A conventional device of this type will be explained with reference to FIGS. 7 and 8.

1はエアーシヤワールームで、一の面にはドア
ー11が設けられ、このドアー11が相対する面
は開口してクリーンルーム側のドアーa1が設け
られている。
Reference numeral 1 designates an air shower room, and one side thereof is provided with a door 11, and the side facing this door 11 is open and a door a1 on the clean room side is provided.

ルーム1の他の相対する両側には側部ダクト
2,2が設けられ、ルーム1の上部には側部ダク
ト2と連通する天井ダクト3が設けられている。
Side ducts 2, 2 are provided on the other opposite sides of the room 1, and a ceiling duct 3 communicating with the side ducts 2 is provided in the upper part of the room 1.

天井ダクト3内の一端部にはフアン31が取付
けられており、このフアン31の作動により、各
側部ダクト2の前面に形成された空気取入口21
及びルーム1の側壁25の下方部分からエアーが
ダクト2内に吸い込まれ、該エアーは高性能のメ
インフイルター22で浄化され、ダクト2内の小
ダクト23を経て天井ダクト3内に達し、天井ダ
クト3内中央部に設けられた風向板32で下方へ
方向変換され、天井に開けられた孔33よりエア
ーシヤワールーム1内にエアージエツトとして吹
き出される。
A fan 31 is attached to one end of the ceiling duct 3, and the operation of this fan 31 opens the air intake ports 21 formed in the front surface of each side duct 2.
Air is sucked into the duct 2 from the lower part of the side wall 25 of the room 1, and the air is purified by the high-performance main filter 22, passes through the small duct 23 in the duct 2, reaches the ceiling duct 3, and enters the ceiling duct. The direction of the air is changed downward by a wind direction plate 32 provided at the center of the air shower room 3, and the air is blown out as an air jet into the air shower room 1 through a hole 33 made in the ceiling.

天井ダクト3からルーム1内に吹き出されたエ
アーの一部は、ダクト2内の上部に設けられたフ
アン27の作動により、側壁25の上部に形成さ
れた吸込孔28からダクト2内のダストボツクス
29を経て、ルーム1の側壁25に設けられた丸
型の複数のエアージツト用のノズル4からエアー
シヤワールーム1内へ高速で吹き出される。ノズ
ル4からルーム1内に吹き出されたエアーは、天
井から吹き出されたエアーの一とともに側壁25
の下部に設けられたナイロン不織布等のプレフイ
ルター26、メインフイルター22を経て前記経
路を循環する。
A part of the air blown into the room 1 from the ceiling duct 3 is supplied to the dust box in the duct 2 through the suction hole 28 formed in the upper part of the side wall 25 by the operation of the fan 27 provided at the upper part of the duct 2. 29, and is blown into the air shower room 1 at high speed from a plurality of round air jet nozzles 4 provided on the side wall 25 of the room 1. The air blown into the room 1 from the nozzle 4 is sent to the side wall 25 together with the air blown out from the ceiling.
It circulates through the above-mentioned path via a pre-filter 26 such as a nylon non-woven fabric provided at the bottom of the main filter 22 .

前記装置は、天井から下向きに吹き出されるエ
アージエツトと、ノズル4から吹き出されるエア
ージエツトとによつてルーム1内の人又は物に付
着している粉塵を吹き落し、また、靴その他の物
の底面に付着しているごみ等はルーム1の床に敷
かれたゼラチンマツト12等によつて吸着除去す
るようになつている。
The device uses an air jet blown downward from the ceiling and an air jet blown from the nozzle 4 to blow off dust adhering to people or objects in the room 1, and also blows off dust attached to the bottoms of shoes and other objects. The dirt adhering to the room 1 is adsorbed and removed by a gelatin mat 12 spread on the floor of the room 1.

「考案が解決しようとする問題点」 従来のエアーシヤワー装置は、側壁のノズル4
は点在する状態であつて、この各ノズル4から吹
き出されるエアージエツト相互の間には隙間がで
きるため、浮遊粉塵やこの隙間から上方へ舞い上
り易く、このように舞い上る浮遊粉塵を吹き落す
ため前述のように天井からエアーを吹き出す構造
を必要とする。
``Problems that the invention attempts to solve'' Conventional air shower devices have nozzles 4 on the side wall.
are scattered, and since there are gaps between the air jets blown out from each nozzle 4, it is easy for floating dust to rise upward from these gaps, and the floating dust that flies up in this way can be blown away. Therefore, as mentioned above, a structure is required to blow out air from the ceiling.

しかしながら、側壁からエアーを吹き出すほか
に天井からもエアーを吹き出す構造とするのは、
天井部分にダクトの設置スペースや特別なフアン
が必要になるので、設備費が高価になるとともに
空間の利用効率も低下する問題がある。
However, a structure that blows air out from the ceiling in addition to blowing out air from the side walls is
Since installation space for ducts and special fans are required in the ceiling, there are problems in that equipment costs are high and space utilization efficiency is reduced.

本考案の目的は、前記のような欠点を改良した
エアーシヤワー装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide an air shower device that improves the above-mentioned drawbacks.

「問題点を解決するための手段」 本考案は前述の目的を達成するため、エアージ
ツト用のノズルを、エアーシヤワールーム内より
見て傾斜して連続する状態でかつ上下方向へ所定
の間隔に設け、各ノズルの吹出口を連続する細長
いスリツト状に形成し、当該吹出口から吹き出さ
れるエアーをカーテン状になるように構成してい
る。
``Means for Solving the Problems'' In order to achieve the above-mentioned purpose, the present invention provides air jet nozzles that are continuous and inclined when viewed from inside the air shower room, and are arranged at predetermined intervals in the vertical direction. The air outlet of each nozzle is formed in the shape of a continuous long and narrow slit, and the air blown out from the air outlet is configured to form a curtain shape.

「作用」 本考案装置は、エアージエツト用のノズルを傾
斜して連続する状態でかつ上下方向へ所定の間隔
に設け、ノズルの吹出口を連続する細長いスリツ
ト状に形成したので、エアージエツトはカーテン
状になつて各吹出口から吹き出され、このカーテ
ン状のエアージエツトによつて人や者に付着して
いる塵芥を吹き落す。
``Function'' The device of the present invention has air jet nozzles that are continuous at an angle and are provided at predetermined intervals in the vertical direction, and the nozzle outlet is formed in the shape of a continuous elongated slit, so that the air jet is shaped like a curtain. The air is blown out from each outlet, and this curtain-like air jet blows away dust and dirt adhering to people and objects.

また、エアージエツトはカーテン状に形成され
るから、当該エアージエツトより下方の浮遊塵芥
の舞い上りが有効に阻止される。したがつて、天
井からエアーを吹出す機構を要しない。
Further, since the air jet is formed in a curtain shape, floating dust below the air jet is effectively prevented from flying up. Therefore, a mechanism for blowing out air from the ceiling is not required.

さらに、細長い吹出口を持つノズルが傾斜して
いるため、エアーシヤワールーム内を人や物が移
動する時エアージエツトの当る位置が変化する。
Furthermore, since the nozzle with the elongated air outlet is slanted, the position of the air jet changes when people or objects move within the air shower room.

「実施例」 第1図〜第3図は本考案に係るエアーシヤワー
装置の一実施例を示すもので、1はエアーシヤワ
ールーム、11はルーム1のドアー、a1はクリ
ーンルームa側のドアーで、ドアー11及びa1
の上方部分にはガラス窓又はアクリル窓bが取付
けられている。また、ルーム1の床にはゼラチン
マツト等のように吸着除塵する除塵マツト13が
敷かれている。
"Embodiment" Figures 1 to 3 show an embodiment of the air shower device according to the present invention, where 1 is an air shower room, 11 is a door of room 1, a1 is a door on the clean room a side, door 11 and a1
A glass window or acrylic window b is attached to the upper part of the window. Further, on the floor of the room 1, a dust removal mat 13, such as a gelatin mat, is placed to remove dust by adsorption.

ルーム1の両側にはダクトボツクス5が設けら
れ、該ボツクス5の下方部分には空気取入口5
1、高性能のメインフイルター50及びフアン6
が取付けられている。
A duct box 5 is provided on both sides of the room 1, and an air intake port 5 is provided in the lower part of the box 5.
1. High performance main filter 50 and fan 6
is installed.

前記ダクトボツクス5の一部を構成するエアー
シヤワールーム1の側壁52には、連続した細長
いスリツト状の吹出口71を有し、かつダクトボ
ツクス5内に通ずるエアージエツト用の適数のノ
ズル7が、ルーム1内より見て一方向に傾斜する
状態で上下方向へ所定の間隔に設けられ、更にそ
の下方にはダクトボツクス5に通ずるナイロン不
織布が電気集塵器よりなるプレフイルター53が
取付けられている。
The side wall 52 of the air shower room 1, which constitutes a part of the duct box 5, has a continuous elongated slit-shaped outlet 71, and an appropriate number of nozzles 7 for air jets that communicate with the inside of the duct box 5. Prefilters 53 are provided at predetermined intervals in the vertical direction while being inclined in one direction when viewed from inside the room 1, and further below the prefilters 53, which are made of nylon nonwoven fabric and are made of electrostatic precipitators, are installed which communicate with the duct box 5. .

エアージエツト用のノズル7は、好ましくはそ
の吹出口71を斜め上下方向へ角度を変化させ得
るように構成する。
The air jet nozzle 7 is preferably constructed such that its blow-off port 71 can be changed in angle diagonally up and down.

この実施例では、第3図で拡大して示すよう
に、吹出口71の上下に形成された対称な断面円
弧状の摺接板72,72と、該摺接板72相互を
連結する両端の端板76とでノズル7を形成し、
ルーム1の側壁52に形成された溝状凹部54の
取付用開口の上下の縁に、前記摺接板72,72
へ摺接する断面円弧状のガイド73をブラケツト
74によつて取り付け、ノズル7が遊動しないよ
うに一方のガイド73の外側から押しねじ75に
よつて一方の摺接板72を軽く押えており、第3
図二点鎖線で示すように、吹出口71は斜め上下
方向にそれぞれ45度程度向きを変えることができ
るように構成されている。ブラケツト74は、ル
ーム1の側壁52の裏側へリベツト止め又は溶接
によつて固定している。
In this embodiment, as shown in an enlarged view in FIG. Forming a nozzle 7 with an end plate 76,
The sliding contact plates 72, 72 are attached to the upper and lower edges of the mounting opening of the groove-shaped recess 54 formed in the side wall 52 of the room 1.
A guide 73 with an arcuate cross section that slides into contact with the nozzle 7 is attached by a bracket 74, and one of the sliding contact plates 72 is lightly pressed from the outside of the one guide 73 with a set screw 75 to prevent the nozzle 7 from moving. 3
As shown by the two-dot chain line in the figure, the air outlet 71 is configured to be able to change its direction by about 45 degrees diagonally up and down. The bracket 74 is fixed to the back side of the side wall 52 of the room 1 by riveting or welding.

ルーム1の側壁52は、プレフイルター53が
取付けられている部分と、前記ノズル7が取付け
られている部分とが分離し得るように構成されて
おり、ノズル7が取付けられている上方の部分は
交換できるように構成されている。
The side wall 52 of the room 1 is configured such that the part where the prefilter 53 is attached and the part where the nozzle 7 is attached can be separated, and the upper part where the nozzle 7 is attached is Configured to be interchangeable.

前記実施例のエアーシヤワー装置においては、
フアン6の作動によつて、空気取入口51からの
外部のエアーと、プレフイルター53からエアー
シヤワールーム1内のエアーとがダクトボツクス
5内に吸い込まれ、該エアーはメインフイルター
50により清浄化されて各ノズル7の吹出口71
からルーム1内に所定の角度で吹き出され、ルー
ム1内に吹き出されたエアーはプレフイルター5
3、メインフイルター50を経て循環する。
In the air shower device of the above embodiment,
By the operation of the fan 6, external air from the air intake port 51 and air inside the air shower room 1 are sucked into the duct box 5 from the pre-filter 53, and the air is purified by the main filter 50. The air outlet 71 of each nozzle 7
The air is blown out into room 1 at a predetermined angle, and the air blown out into room 1 is passed through prefilter 5.
3. It circulates through the main filter 50.

この実施例のエアーシヤワー装置は、エアーシ
ヤワールーム1内に入る人の身長や物の高さ、大
きさに応じて適当な位置のノズル7の吹出口71
を適宜下方へ傾けて使用する。
In the air shower device of this embodiment, the air outlet 71 of the nozzle 7 is located at an appropriate position depending on the height of the person entering the air shower room 1, the height of objects, and the size of the object.
Tilt it downwards as appropriate.

例えば人の場合には、第6図のように、最上位
の吹出口71,71から吹き出されるエアージエ
ツトd1,d1が人体cの頭上で衝突し、以下の
吹出口71から吹き出されるエアージエツトd
2,d3,d4がそれぞれ人体cの所要の部分に
当る状態で使用すると、スリツト状に連続してい
る各吹出口71から吹き出されるそれぞれのエア
ージエツトd1〜d4はカーテン状になり、循環
により人体cに沿つて下方に流れ、人体cに付着
している粉塵を効率よく吹き落す。また側壁にあ
る各ノズル7は傾斜しているため、人体cが移動
(第6図において前後の方向)する時、各エアー
ジエツトd1〜d4が当る位置が徐々に変化し、
これによつて除塵効果が一層高められる。
For example, in the case of a person, as shown in FIG.
When used with air jets 2, d3, and d4 each hitting a desired part of the human body c, each of the air jets d1 to d4 blown out from the continuous slit-like air outlet 71 becomes like a curtain, and the circulation causes damage to the human body. It flows downward along c and efficiently blows off the dust adhering to the human body c. Moreover, since each nozzle 7 on the side wall is inclined, when the human body c moves (back and forth direction in FIG. 6), the position where each air jet d1 to d4 hits gradually changes.
This further enhances the dust removal effect.

各エアージエツトd1〜d4はカーテン状に形
成されるので、それぞれのエアージエツトd1〜
d4の下に浮遊する粉塵は、当該エアージエツト
から上方に舞い上るのを阻止され、エアーの流れ
に沿つて下方に吸引されフイルター53,50で
補足される。
Since each air jet d1 to d4 is formed in a curtain shape, each air jet d1 to d4 is
The dust floating below d4 is prevented from rising upward from the air jet, is sucked downward along the air flow, and is captured by the filters 53 and 50.

このように、天井からエアーを吹き出す構造を
必要としないのでより低コストで設置することが
できるとともに、空間の利用効率もよい。
In this way, since there is no need for a structure for blowing air from the ceiling, it can be installed at a lower cost, and the space can be used more efficiently.

本考案において、ノズル7は前記実施例のよう
に一定の方向に傾斜した状態に設ける場合の外、
第4図で例示するように側壁52へ中央より両側
に傾斜する山形状に設けてもよく、また、第4図
の逆に設けてもよく、あるいは第2図における隣
接した上下のノズル7が互いに反対方向へ傾斜す
るように設けても実施することができる。
In the present invention, in addition to the case where the nozzle 7 is provided inclined in a certain direction as in the above embodiment,
As illustrated in FIG. 4, the side wall 52 may be provided in a mountain shape that slopes from the center to both sides, or may be provided in the reverse direction of FIG. 4, or the adjacent upper and lower nozzles 7 in FIG. It can also be implemented by providing them so as to be inclined in opposite directions.

また、前記実施例のエアーシヤワー装置は、ル
ーム1の両側にダクトボツクス5及びノズル7を
設けたものであるが、使用する場所によつては一
側壁にのみこれ等を取付ける。また、設置現場の
情況によつては、第5図のように、エアーシヤワ
ールム1におけるクリーンルームaのドアーa1
が接しないの一つの隅角を挟む二側壁にエアージ
エツト用のノズル7及びダクトボツクス5を設け
ることもできる。
Further, although the air shower device of the above embodiment is provided with a duct box 5 and a nozzle 7 on both sides of the room 1, these may be attached only to one side wall depending on the place of use. Also, depending on the situation at the installation site, as shown in Figure 5, the door a1 of the clean room a in the air shear room 1 may be
It is also possible to provide the air jet nozzle 7 and the duct box 5 on two side walls sandwiching one corner that do not touch.

エアージエツト用のノズル7は、細長いスリツ
ト状の吹出口を有するものであれば前記実施例の
ような構造でなくてもよい。
The air jet nozzle 7 does not have to have the structure of the above embodiment as long as it has an elongated slit-shaped outlet.

「考案の効果」 本考案に係るエアーシヤワー装置は、エアージ
エツト用のノズルを傾斜して連続する状態でか
つ、上下方向へ所定の間隔に設け、ノズルの吹出
口連続する細長いスリツト状に形成したので、エ
アージエツトはカーテン状になつて各吹出口から
吹き出され、このカーテン状のエアージエツトに
よつて、当該エアージエツトの下方に浮遊する塵
芥は上方へ舞い上るのを阻止される。
``Effect of the invention'' The air shower device according to the invention has air jet nozzles that are continuous at an angle and are provided at predetermined intervals in the vertical direction, and the nozzle outlet is formed in the shape of a continuous elongated slit. The air jet is blown out from each outlet in the form of a curtain, and this curtain-like air jet prevents the dust floating below the air jet from flying upward.

したがつて、天井からエアーを吹出す機構を要
しないので設置費がより安価になるとともに、天
井ダクト等の設置空間も不要となるから、空間の
利用効率もより向上する。
Therefore, since a mechanism for blowing air from the ceiling is not required, the installation cost is lower, and since there is no need for installation space such as a ceiling duct, space utilization efficiency is further improved.

さらに、細長いスリツト状の吹出口を持つノズ
ルが傾斜しているため、エアーシヤワールーム内
を人や物が移動する時エアージエツトの当る位置
が徐々に変化し、これによつて除塵効果を一層高
めることができる。
Furthermore, since the nozzle with the elongated slit-shaped outlet is slanted, the position of the air jet will gradually change when people or objects move within the air shower room, thereby further enhancing the dust removal effect. Can be done.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本考案に係るエアーシヤワー装置の一
実施例を示す半裁断面図、第2図は第1図の矢印
A−Aに沿う断面図、第3図は第2図の矢印B−
Bに沿う拡大断面図、第4図は他の実施例を示す
エアーシヤワールーム内の側面図、第5図は他の
実施例の概略平面図、第6図は第1図の例の装置
の作用を説明するための概略正面図、第7図は従
来のエアーシヤワー装置の半裁断面図、第8図は
第7図の矢印C−Cに沿う断面図である。 図中主要符号の説明、1はエアーシヤワールー
ム、11はドアー、5はダクトボツクス、50は
メインフイルター、52はエアーシヤワールムの
側壁、53はプレフイルター、6はフアン、7は
エアージエツト用のノズル、71は吹出口であ
る。
FIG. 1 is a half-cut sectional view showing an embodiment of an air shower device according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along arrow A-A in FIG. 1, and FIG. 3 is a sectional view taken along arrow B-- in FIG. 2.
FIG. 4 is a side view of the inside of the air shower room showing another embodiment, FIG. 5 is a schematic plan view of another embodiment, and FIG. 6 is a diagram of the apparatus of the example shown in FIG. 1. FIG. 7 is a schematic front view for explaining the operation, FIG. 7 is a half-cut sectional view of a conventional air shower device, and FIG. 8 is a sectional view taken along the arrow CC in FIG. 7. Explanation of the main symbols in the figure: 1 is the air shower room, 11 is the door, 5 is the duct box, 50 is the main filter, 52 is the side wall of the air shower room, 53 is the pre-filter, 6 is the fan, and 7 is the nozzle for the air jet. , 71 is an air outlet.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] エアーシヤワールームの側壁にエアージエツト
用のノズルを適数設け、このノズルから前記エア
ーシヤワールーム内へ浄化したエアーを高速で吹
き出し、吹き出したエアーを下方より回収して前
記ノズル側へ循環させる構造の装置において、前
記エアージツト用のノズルを、エアーシヤワール
ーム内より見て傾斜して連続する状態でかつ上下
方向へ所定の間隔に設け、各ノズルの吹出口を連
続する細長いスリツト状に形成し、当該吹出口か
ら吹き出されるエアーをカーテン状にすることを
特徴とするエアーシヤワー装置。
A device with a structure in which an appropriate number of air jet nozzles are installed on the side wall of the air shower room, and purified air is blown out at high speed into the air shower room from these nozzles, and the blown air is collected from below and circulated to the nozzle side. In this method, the nozzles for the air jet are arranged in a continuous manner in an inclined manner when viewed from inside the air shower room, and are arranged at predetermined intervals in the vertical direction, and the blow-off opening of each nozzle is formed into a continuous elongated slit shape. An air shower device characterized by forming air blown out from an outlet into a curtain shape.
JP1984197465U 1984-12-29 1984-12-29 Expired JPH019669Y2 (en)

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JPS61115183U JPS61115183U (en) 1986-07-21
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