JP5091597B2 - 検査装置、像投影装置、および基板特性測定方法 - Google Patents
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- 基板の特性を測定する検査装置であって、
基板上に放射を投影する放射プロジェクタ、
対物レンズ、
基板の表面から反射された放射ビームを検出するディテクタ、
反射放射ビームを各レンズがディテクタ上に投影するレンズアレイ、および
各レンズによって投影された角度分解スペクトルを処理して単一の角度分解スペクトルを生成するデータ処理ユニット
を備え、
レンズアレイは対物レンズの瞳面内、かつ、ディテクタの前面に位置し、
ディテクタは、レンズアレイの各レンズによって投影された放射の角度分解スペクトルを検出し、
データ処理ユニットは、生成した単一の角度分解スペクトルを利用してサブイメージを生成し、サブイメージの断面を解析することにより、基板が焦点から外れているか否かを判定し、ある特定点において基板が焦点から外れていることが判明した場合には、基板が焦点から外れている量を計算するために数値計算を行う、検査装置。 - ディテクタは、レンズアレイの各レンズによって投影された放射の波長を検出する、請求項1に記載の装置。
- レンズアレイは微小レンズのアレイである、請求項1または2に記載の装置。
- 対物レンズは高開口数レンズである、請求項1〜3のいずれか1の請求項に記載の装置。
- 対物レンズの開口数は少なくとも0.9である、請求項4に記載の装置。
- 検査装置を備えるリソグラフィ装置であって、検査装置は、
基板上に放射を投影する放射プロジェクタ、
対物レンズ、
基板の表面から反射された放射ビームを検出するディテクタ、および
反射放射ビームを各レンズがディテクタ上に投影するレンズアレイ、および各レンズによって投影された角度分解スペクトルを処理して単一の角度分解スペクトルを生成するデータ処理ユニット
を備え、
レンズアレイは対物レンズの瞳面内、かつ、ディテクタの前面に位置し、
ディテクタは、レンズアレイの各レンズによって投影された放射の角度分解スペクトルを検出し、
データ処理ユニットは、生成した単一の角度分解スペクトルを利用してサブイメージを生成し、サブイメージの断面を解析することにより、基板が焦点から外れているか否かを判定し、ある特定点において基板が焦点から外れていることが判明した場合には、基板が焦点から外れている量を計算するために数値計算を行う、リソグラフィ装置。 - ディテクタは、レンズアレイの各レンズによって投影された放射の波長を検出する、請求項6に記載のリソグラフィ装置。
- 基板の像を投影する装置であって、
基板上に放射を投影する放射プロジェクタ、
投影された放射が通過する対物レンズ、
基板の表面から反射された放射ビームの異なる部分をそれぞれが投影するレンズアレイ、および各レンズによって投影された角度分解スペクトルを処理して単一の角度分解スペクトルを生成するデータ処理ユニットを備え、
レンズアレイは対物レンズの瞳面内、かつ、ディテクタの前面に位置し、
ディテクタは、レンズアレイの各レンズによって投影された放射の角度分解スペクトルを検出し、
データ処理ユニットは、生成した単一の角度分解スペクトルを利用してサブイメージを生成し、サブイメージの断面を解析することにより、基板が焦点から外れているか否かを判定し、ある特定点において基板が焦点から外れていることが判明した場合には、基板が焦点から外れている量を計算するために数値計算を行う、装置。 - 基板の特性を測定する方法であり、
基板上に放射を投影すること、
反射された放射の異なる部分を各レンズが投影するレンズアレイを通して、基板から反射された放射を投影すること、および
レンズアレイを通して投影された角度分解スペクトルを処理して単一の角度分解スペクトルを生成することを含み、
レンズアレイは対物レンズの瞳面内、かつ、ディテクタの前面に位置し、
ディテクタは、レンズアレイの各レンズによって投影された放射の角度分解スペクトルを検出し、
データ処理ユニットは、レンズアレイを通して投影された角度分解スペクトルを処理して単一の角度分解スペクトルを生成し、生成した単一の角度分解スペクトルを利用してサブイメージを生成し、サブイメージの断面を解析することにより、基板が焦点から外れているか否かを判定し、ある特定点において基板が焦点から外れていることが判明した場合には、基板が焦点から外れている量を計算するために数値計算を行う、方法。 - 測定される特性はオーバーレイエラーである、請求項9に記載の方法。
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