JP5084661B2 - Substrate transfer device - Google Patents

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Description

本発明は、基板搬送装置、特に電子部品実装装置においてプリント基板等の基板を搬送する際に適用して好適な基板搬送装置に関する。   The present invention relates to a substrate transfer device, and more particularly to a substrate transfer device suitable for application when transferring a substrate such as a printed circuit board in an electronic component mounting apparatus.

一般に、電子部品をプリント基板に搭載する実装装置においては基板搬送装置が用いられている(例えば、特許文献1参照)。   In general, a substrate transport device is used in a mounting device that mounts electronic components on a printed circuit board (see, for example, Patent Document 1).

図1には一般的な基板搬送装置の平面図を、図2にはそれを内側から見た内部側面図を、図3には下流側から見た正面図をそれぞれ示す。   FIG. 1 is a plan view of a general substrate transfer apparatus, FIG. 2 is an internal side view of the substrate transfer apparatus viewed from the inside, and FIG. 3 is a front view of the substrate transfer apparatus viewed from the downstream side.

この基板搬送装置は、基板Sを搬入し、待機させるインバッファ10と、搬入された基板を位置決め・固定し、該基板S上に電子部品を搭載するセンタステーション(基板位置決め固定部)12と、電子部品の搭載が完了した生産済みの基板を、適宜搬出するアウトバッファ14と呼ばれる各エリアからなる。   The substrate transport apparatus includes an in-buffer 10 that loads and waits for a substrate S, a center station (substrate positioning and fixing unit) 12 that positions and fixes the loaded substrate and mounts electronic components on the substrate S, The board is composed of areas called out-buffers 14 for appropriately carrying out the produced substrates on which the electronic components have been mounted.

これら各エリア10〜14には、基板Sの搬送方向(X方向)に沿って配設された固定レール20と、これに対向配置され、搬送方向に直交する対向方向(Y方向)に移動可能な可動レール22とが、それぞれ配設されている。また、これら各レール上には、基板Sを搬送するための一対の搬送ベルト24が配設され、基板Sを幅方向に所定の余裕をもたせたレール部でガイドしながら上流(図中左方向)から下流に搬送可能になっている。   In each of these areas 10 to 14, the fixed rail 20 disposed along the transport direction (X direction) of the substrate S and the opposite side (Y direction) perpendicular to the transport direction are disposed so as to be opposed to the fixed rail 20. Each movable rail 22 is provided. On each of these rails, a pair of transport belts 24 for transporting the substrate S is disposed, and the substrate S is guided upstream by a rail portion having a predetermined margin in the width direction (left direction in the figure). ) Can be transported downstream.

この基板搬送装置では、生産する基板Sの幅に合せて、インバッファ10〜アウトバッファ14の各可動レール22の全体を進退動させて固定レール20との間隔を調整することが可能であり、適切に間隔を調整した後、基板Sがインバッファ10を通してセンタステーション12に搬入されると、該基板Sはストッパ26に当接し、機械的に停止されることにより搬送方向に位置決めされる。   In this substrate transfer apparatus, it is possible to adjust the distance from the fixed rail 20 by moving the entire movable rails 22 of the in-buffer 10 to the out-buffer 14 in accordance with the width of the substrate S to be produced. After appropriately adjusting the interval, when the substrate S is carried into the center station 12 through the in-buffer 10, the substrate S comes into contact with the stopper 26 and is mechanically stopped to be positioned in the transport direction.

一方、センタステーション12の可動レール22Aのみは、他の可動レール22とは独立に更に進退動可能になっており、電空レギュレータにより所定圧力に調整されたエアシリンダにより駆動されるYプッシャ28により固定レール20の方向に押圧可能になっている。そして、前記ストッパ26でX方向に位置決めされた上記基板Sは、該Yプッシャ28に所定圧力で押圧される可動レール22Aにより、Y方向の基板位置を規定する固定レール20A上のY基準位置(内壁部)30に押し付けられ、位置決めされるようになっている。   On the other hand, only the movable rail 22A of the center station 12 can be further advanced and retracted independently of the other movable rails 22, and is driven by a Y pusher 28 driven by an air cylinder adjusted to a predetermined pressure by an electropneumatic regulator. It can be pressed in the direction of the fixed rail 20. Then, the substrate S positioned in the X direction by the stopper 26 is moved to a Y reference position (on the fixed rail 20A defining the substrate position in the Y direction by the movable rail 22A pressed against the Y pusher 28 with a predetermined pressure. It is pressed against the (inner wall part) 30 and positioned.

このようにセンタステーション12に搬入された基板Sは、X方向、Y方向にそれぞれ位置決めされると、該センタステーション12の下部に設置されているバックアップテーブル32によって、該ステーション12における固定レール20A、可動レール22A及び搬送ベルト24Aが同時に押し上げられ、搬送ベルト24Aとその上部にある基板上面位置決め部34との間に挟み込まれ、Z方向に位置決め固定される。その後、図示しない実装装置の搭載ヘッドにより、固定された基板S上に電子部品の搭載が行なわれる。   Thus, when the substrate S carried into the center station 12 is positioned in the X direction and the Y direction, the fixed rails 20A and 20A in the station 12 are placed by the backup table 32 installed at the lower part of the center station 12. The movable rail 22A and the conveyor belt 24A are pushed up at the same time, and are sandwiched between the conveyor belt 24A and the substrate upper surface positioning portion 34 above the conveyor belt 24A, and are positioned and fixed in the Z direction. Thereafter, electronic components are mounted on the fixed substrate S by a mounting head of a mounting apparatus (not shown).

以上詳述した従来の基板搬送装置では、センタステーション12の搬送方向中央部分に設けられた1つのYプッシャ28で基板SをY方向の基準となる固定レール20Aの基準位置に押し付けて位置決めする際には、前記図1等に示したように搬送方向に十分な長さがある基板Sであれば、可動レール22Aを固定レール20Aに対して平行に維持できるため、該基板SをY方向に正確に位置決めし、固定することができる。   In the conventional substrate transfer apparatus described in detail above, when the substrate S is pressed against the reference position of the fixed rail 20A serving as a reference in the Y direction by one Y pusher 28 provided at the center portion in the transfer direction of the center station 12, the positioning is performed. If the substrate S has a sufficient length in the transport direction as shown in FIG. 1 and the like, the movable rail 22A can be maintained parallel to the fixed rail 20A. It can be positioned and fixed accurately.

特開平7−142892号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-142892

しかしながら、図4(A)に示すように、搬送方向の長さが短い小型基板Sの場合には、ストッパ26でX方向に位置決めされた時点でYプッシャ28によりY方向の位置決めをしようとすると、同図(B)に示すように基板Sの後方角部Aを支点にしてモーメントが働くことにより、可動レール22Aが傾いてしまい、該可動レール22Aを固定レール20Aに対して均一な位置に(平行に)押え付けることができないため、該基板SのY方向の位置決めを正確に行なうことが困難であるという問題があった。   However, as shown in FIG. 4A, in the case of a small substrate S having a short length in the transport direction, when the Y pusher 28 tries to position in the Y direction when the stopper 26 is positioned in the X direction. As shown in FIG. 5B, when the moment acts with the rear corner A of the substrate S as a fulcrum, the movable rail 22A tilts, and the movable rail 22A is placed at a uniform position with respect to the fixed rail 20A. There is a problem that it is difficult to accurately position the substrate S in the Y direction because it cannot be pressed (in parallel).

本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、使用する基板が搬送方向の長さが短い場合でも、該基板に対する搬送方向に直交する幅方向の位置決め固定を確実に行なうことができる基板搬送装置を提供することを課題とする。   The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and even when the substrate to be used is short in the transport direction, the positioning and fixing in the width direction perpendicular to the transport direction with respect to the substrate is reliably performed. It is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus capable of performing the above.

本発明は、基板の搬送方向に沿って配設された固定レールと、該固定レールに対向配置され、対向方向に移動可能な可動レールと、各レールにそれぞれ付設され、対向する基板の両端部をそれぞれ支持して搬送するコンベアと、両コンベアにより搬入された基板を停止させ、搬送方向の位置決めをする搬送方向位置決め手段と、前記可動レールを固定レール側へ押圧し、搬送方向に位置決めされた前記基板を基準位置に当接させて幅方向の位置決めをする幅方向位置決め手段とを備えた基板位置決め固定部を有する基板搬送装置において、前記幅方向位置決め手段として、搬送方向の上流側と下流側に離間して配設された、シリンダ駆動される第1プッシャ及び第2プッシャと、各プッシャのシリンダ圧をそれぞれ調整する第1圧力調整手段及び第2圧力調整手段とを備え、且つ、搬送方向の上流側と下流側に離間して配設された、各対応位置の固定レール及び可動レール間の距離を測定する第1距離計及び第2距離計を備えていると共に、前記両コンベアにより搬入された基板が搬送方向に位置決めされた後、前記第1プッシャ及び第2プッシャをそれぞれ所定のシリンダ圧で駆動して可動レールの押圧を開始すると共に、前記第1距離計及び第2距離計による測定を開始し、該測定開始後、少なくとも一方の距離計による測定値が、予め設定されている基板幅に対応する長さ以下になった時点で、前記第1プッシャ及び第2プッシャの駆動を停止し、該駆動停止時に前記両距離計による測定値に偏差がある場合には、該偏差が解消される方向に前記第1プッシャ及び第2プッシャの少なくとも一方のシリンダ圧を調整する制御を行なう制御手段を備えたことにより、前記課題を解決したものである。   The present invention relates to a fixed rail disposed along a substrate transport direction, a movable rail disposed opposite to the fixed rail and movable in the opposite direction, and both ends of each of the opposing substrates attached to each rail. A conveyor that supports and conveys each of them, a conveyance direction positioning means that stops the substrates carried by both conveyors, positions the conveyance direction, and presses the movable rail toward the fixed rail to be positioned in the conveyance direction. In a substrate transport apparatus having a substrate positioning and fixing portion provided with a width direction positioning means for positioning in the width direction by bringing the substrate into contact with a reference position, as the width direction positioning means, an upstream side and a downstream side in the transport direction The first pusher and the second pusher which are disposed to be spaced apart from each other and the first pressure adjusting means for adjusting the cylinder pressure of each pusher. A first range finder and a second pressure adjusting means, which are spaced apart from the upstream side and the downstream side in the transport direction and measure the distance between the fixed rail and the movable rail at each corresponding position. A 2-distance meter is provided, and after the substrates carried by the two conveyors are positioned in the transport direction, the first pusher and the second pusher are each driven with a predetermined cylinder pressure to start pressing the movable rail. At the same time, measurement by the first distance meter and the second distance meter was started, and after the measurement was started, the measurement value by at least one distance meter became less than the length corresponding to the preset substrate width. At the time, the driving of the first pusher and the second pusher is stopped, and when there is a deviation in the measured values by the both distance meters when the driving is stopped, the first pusher and the second pusher are moved in a direction in which the deviation is eliminated. 2 push By the provided with a control means for performing control for adjusting at least one of the cylinder pressure is obtained by solving the above problems.

本発明においては、前記偏差が解消される方向に前記第1プッシャ及び第2プッシャの少なくとも一方のシリンダ圧を調整する制御を、前記調整停止時の測定値が小さい方の距離計に対応する方のプッシャのシリンダ圧を低下させて行なうようにしてもよい。   In the present invention, the control for adjusting the cylinder pressure of at least one of the first pusher and the second pusher in the direction in which the deviation is eliminated corresponds to the distance meter having a smaller measured value when the adjustment is stopped. Alternatively, the cylinder pressure of the pusher may be lowered.

本発明によれば、搬送方向の上流側と下流側に離間して配設された2つのプッシャ(幅方向位置決め手段)により、同一のシリンダ圧で搬送方向に直交する方向に可動レールを押圧した際に、同じく上流側と下流側に離間して配設された第1、第2距離計の少なくとも一方が基板幅以下になった時点で、両者による検出値に差があり、且つ一方が基板幅より狭くなっている場合には、例えば幅が狭い方のプッシャのシリンダ圧を減少させるようにしたので、その差を解消することができ、結果として搬送方向全体の可動レールを基板幅に一致させることができ、該基板を幅方向に正確に位置決めすることができるようになる。   According to the present invention, the movable rail is pressed in the direction orthogonal to the transport direction with the same cylinder pressure by the two pushers (width direction positioning means) that are spaced apart on the upstream side and the downstream side in the transport direction. At the time when at least one of the first and second rangefinders, which are similarly spaced apart from the upstream side and the downstream side, becomes equal to or smaller than the substrate width, there is a difference between the detection values of both, and one of them is the substrate. If it is narrower than the width, for example, the cylinder pressure of the pusher with the smaller width is reduced, so the difference can be eliminated, and as a result, the movable rail in the entire conveyance direction matches the board width. And the substrate can be accurately positioned in the width direction.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図5〜図7は、本発明に係る一実施形態の基板搬送装置の概要を示す平面図、内部側面図、正面図である。   5 to 7 are a plan view, an internal side view, and a front view showing an outline of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

本実施形態の基板搬送装置は、前記図1〜図3に示したものと基本的な構成は同一である。   The basic structure of the substrate transfer apparatus of this embodiment is the same as that shown in FIGS.

即ち、搬送方向に沿ってインバッファ10、センタステーション(基板位置決め固定部)12、アウトバッファ14を有している。   That is, an in-buffer 10, a center station (substrate positioning and fixing portion) 12, and an out-buffer 14 are provided along the transport direction.

そして、センタステーション12には、基板Sの搬送方向に沿って配設された固定レール20Aと、該固定レール20Aに対向配置され、搬送方向に直交する対向方向に移動可能な可動レール22Aと、各レール20A、20Bの内側にそれぞれ付設され、対向する基板Sの両端部をそれぞれ支持して搬送する無端状の搬送ベルト(コンベア)24Aと、対向する両コンベア24Aにより搬入された基板Sを停止させ、搬送方向の位置を決めるストッパ(搬送方向位置決め手段)26を備えている。   The center station 12 includes a fixed rail 20A disposed along the transport direction of the substrate S, a movable rail 22A that is disposed to face the fixed rail 20A and is movable in a facing direction orthogonal to the transport direction, An endless transfer belt (conveyor) 24A attached to the inside of each rail 20A, 20B and supporting both ends of the opposing substrate S and the substrate S carried by the opposing conveyors 24A are stopped. And a stopper (conveying direction positioning means) 26 for determining the position in the conveying direction.

但し、前記可動レール22Aを固定レール20A側に押圧し、搬送方向に位置決めされた基板Sを基準位置30に当接させて幅方向に位置決めをする幅方向位置決め手段としては、搬送方向の上流側と下流側に離間して配設された第1プッシャ40A及び第2プッシャ40Bを備えているとともに、図8に制御系の概要を示すように、各プッシャ40A、40Bのシリンダ圧をそれぞれ調整する圧力調整手段である第1電空レギュレータR1及び第2電空レギュレータR2を備えている。   However, the width direction positioning means for pressing the movable rail 22A toward the fixed rail 20A and bringing the substrate S positioned in the transport direction into contact with the reference position 30 and positioning in the width direction is an upstream side in the transport direction. And a first pusher 40A and a second pusher 40B that are spaced apart on the downstream side, and adjust the cylinder pressure of each pusher 40A, 40B as shown in FIG. A first electropneumatic regulator R1 and a second electropneumatic regulator R2 are provided as pressure adjusting means.

又、同様に搬送方向の上流側と下流側に離間した位置の固定レール20Aには、各対応位置の固定レール20A及び可動レール22A間の距離を測定する、変位センサからなる第1検出センサ(距離計)42A及び第2検出センサ42Bが配設されている。ここでは、第1検出センサ42A、第2検出センサ42Bはセンタステーション12の両端位置に設置され、通常使用される基板の最大サイズより外側に位置している。   Similarly, a first detection sensor (displacement sensor) that measures the distance between the fixed rail 20A and the movable rail 22A at each corresponding position is provided on the fixed rail 20A at positions separated from the upstream side and the downstream side in the transport direction. A distance meter) 42A and a second detection sensor 42B are provided. Here, the first detection sensor 42A and the second detection sensor 42B are installed at both end positions of the center station 12, and are positioned outside the maximum size of a normally used substrate.

次に本実施形態における制御系の概要を、図8を参照して説明する。この制御系は、実装装置本体の制御装置に含まれている。   Next, an outline of the control system in the present embodiment will be described with reference to FIG. This control system is included in the control device of the mounting apparatus body.

この制御系においては、前記第1検出センサ42A、第2検出センサ42Bからの検出値L1、L2が比較器44に入力され、該比較器44により算出された差分が制御部46に入力される。この制御部46は、その差分ΔL(L1−L2)に基づいて、前記第1プッシャ40A、第2プッシャ40Bのシリンダ圧をそれぞれ調整する第1電空レギュレータR1、第2電空レギュレータR2を制御する。   In this control system, the detection values L1 and L2 from the first detection sensor 42A and the second detection sensor 42B are input to the comparator 44, and the difference calculated by the comparator 44 is input to the control unit 46. . The controller 46 controls the first electropneumatic regulator R1 and the second electropneumatic regulator R2 that adjust the cylinder pressures of the first pusher 40A and the second pusher 40B, respectively, based on the difference ΔL (L1-L2). To do.

即ち、制御部46においては、前記両コンベア24Aにより搬入された基板Sがストッパ26により搬送方向に位置決めされた後、前記第1プッシャ40A及び第2プッシャ40Bをそれぞれ所定(同一)のシリンダ圧で駆動して可動レール22Aの押圧を開始すると同時に、前記第1検出センサ42A及び第2検出センサ42Bによる測定を開始する。   That is, in the control unit 46, after the substrate S carried in by both the conveyors 24A is positioned in the carrying direction by the stopper 26, the first pusher 40A and the second pusher 40B are respectively set at a predetermined (same) cylinder pressure. At the same time as driving and pressing of the movable rail 22A is started, measurement by the first detection sensor 42A and the second detection sensor 42B is started.

測定開始後、少なくとも一方の検出センサによる測定値L1又はL2が、予め制御部46に入力して設定されている基板幅Wに対応する長さ以下になった時点で、前記所定のシリンダ圧による前記第1プッシャ40A及び第2プッシャ40Bの駆動を停止する。この両プッシャ40A、40Bの駆動停止時に前記両検出センサ42A、42Bによる測定値L1、L2に偏差ΔLがある場合には、該偏差ΔLが解消される方向に前記第1プッシャ40A及び第2プッシャ40Bの少なくとも一方のシリンダ圧を調整する制御を行なう。   After the measurement starts, when the measured value L1 or L2 by at least one of the detection sensors becomes equal to or less than the length corresponding to the substrate width W set in advance by inputting to the control unit 46, the predetermined cylinder pressure is applied. The driving of the first pusher 40A and the second pusher 40B is stopped. When there is a deviation ΔL in the measured values L1 and L2 by the detection sensors 42A and 42B when the driving of both the pushers 40A and 40B is stopped, the first pusher 40A and the second pusher are moved in a direction in which the deviation ΔL is eliminated. Control for adjusting at least one cylinder pressure of 40B is performed.

以上の構成からなる本実施形態の作用を、図9のフローチャートを参照しながら説明する。   The operation of the present embodiment having the above configuration will be described with reference to the flowchart of FIG.

まず、制御部46には生産する基板のサイズが入力される(ステップ1)。次いで、該基板Sのストッパ26位置への搬入を待つ(ステップ2)。例えば、図示しない基板先端検出センサによりストッパ位置への基板の搬入が検出されたら、前記第1検出センサ42A、第2検出センサ42Bによりそれぞれ固定レール20Aと可動レール22A間のレール幅(距離)を検出する動作を開始すると同時に、第1プッシャ40A、第2プッシャ40Bを駆動する。   First, the size of the board to be produced is input to the control unit 46 (step 1). Next, the loading of the substrate S to the position of the stopper 26 is awaited (step 2). For example, when the board leading edge detection sensor (not shown) detects the board loading to the stopper position, the first detection sensor 42A and the second detection sensor 42B respectively set the rail width (distance) between the fixed rail 20A and the movable rail 22A. At the same time as the detection operation is started, the first pusher 40A and the second pusher 40B are driven.

この両プッシャ40A、40Bの駆動に際しては、第1検出センサ42A、第2検出センサ42Bにより検出される距離(長さ)が同一になるように第1電空レギュレータR1、第2電空レギュレータR2で第1プッシャ40A、第2プッシャ40Bのシリンダ圧を所定値(通常は同一値)に調整しつつ、両プッシャ40A、40Bにより可動レール22Aを固定レール20Aの方向に押圧する(ステップ3)。   When driving the pushers 40A and 40B, the first electropneumatic regulator R1 and the second electropneumatic regulator R2 so that the distances (lengths) detected by the first detection sensor 42A and the second detection sensor 42B are the same. Thus, while adjusting the cylinder pressure of the first pusher 40A and the second pusher 40B to a predetermined value (usually the same value), the movable rail 22A is pressed toward the fixed rail 20A by both the pushers 40A and 40B (step 3).

第1プッシャ40A、第2プッシャ40Bを所定のシリンダ圧で駆動して基板Sの幅方向押し付けを開始した後、第1検出センサ42A、第2検出センサ42Bのいずれか一方が予め入力されている基板幅W以下になったところで両電空レギュレータR1、R2に停止信号を送信し、シリンダ圧を固定することにより両プッシャ40A、40Bの駆動を停止する(ステップ4)。   After driving the first pusher 40A and the second pusher 40B with a predetermined cylinder pressure and starting the pressing in the width direction of the substrate S, one of the first detection sensor 42A and the second detection sensor 42B is input in advance. When the width of the substrate becomes equal to or smaller than W, a stop signal is transmitted to both electropneumatic regulators R1 and R2, and the drive of both pushers 40A and 40B is stopped by fixing the cylinder pressure (step 4).

次いで、第1検出センサ42A、第2検出センサ42Bにより測定された固定レール20Aと可動レール22A間の距離L1、L2の差を比較器44で算出し(ステップ5)、その差分ΔLが0でなければ0になるようにいずれか一方の電空レギュレータに制御信号を送り、両センサの検出値が基板幅に一致するようにシリンダ圧を自動調整する(ステップ6、7)。   Next, the difference between the distances L1 and L2 between the fixed rail 20A and the movable rail 22A measured by the first detection sensor 42A and the second detection sensor 42B is calculated by the comparator 44 (step 5), and the difference ΔL is 0. If not, a control signal is sent to either one of the electropneumatic regulators so that the cylinder pressure is automatically adjusted so that the detection values of both sensors coincide with the substrate width (steps 6 and 7).

因みに、前記図4と同一サイズの搬送方向に短い小型の基板Sを位置決めする場合であれば、図示は省略するが両プッシャ40A、40Bを同一のシリンダ圧で駆動すると、同図(B)に示される例の場合と同様に搬送方向上流、即ち第1プッシャ40A側の可動レール22Aの押し込み量が大きくなるため、第1検出センサ42Aにより測定される長さL1の方が短くなる。   Incidentally, when positioning a short small substrate S in the transport direction of the same size as in FIG. 4, although not shown, when both pushers 40A and 40B are driven with the same cylinder pressure, FIG. As in the example shown, the pushing amount of the movable rail 22A upstream in the transport direction, that is, the first pusher 40A side becomes larger, and therefore the length L1 measured by the first detection sensor 42A becomes shorter.

そこで、図10に圧力の大きさのイメージを矢印の太さで示すように、L1=L2になるように第1プッシャ40Aのシリンダ圧を小さくし、搬送方向の前方(上流)と後方(下流)の間隔のバランスをとるようにする。これにより、図4(B)に示したような基板Sに生じる傾きを無くすことができ、この調整を基板ごとに行なうことにより、Y方向の位置決め精度を向上することができる。   Therefore, as shown by the thickness of the arrow in FIG. 10, the cylinder pressure of the first pusher 40A is reduced so that L1 = L2, and the front (upstream) and the rear (downstream) in the transport direction. ) To balance the distance. Thereby, the inclination which arises in the board | substrate S as shown to FIG. 4 (B) can be eliminated, and the positioning precision of a Y direction can be improved by performing this adjustment for every board | substrate.

以上詳述した本実施形態によれば、小型の基板Sを固定レール20Aに均一に押し付けることができ、基板SのY方向位置決め精度を向上することができる。   According to this embodiment described in detail above, the small board S can be pressed uniformly against the fixed rail 20A, and the Y-direction positioning accuracy of the board S can be improved.

なお、実施形態では、シリンダ圧を調整する制御を行なう際、レール間距離が短い方のプッシャのシリンダ圧を小さくする場合を説明したが、これに限定されず、逆に長い方のシリンダ圧を大きくしても、あるいは両方のシリンダ圧を調整するようにしてもよい。   In the embodiment, the case where the cylinder pressure of the pusher with the shorter distance between the rails is reduced when performing the control to adjust the cylinder pressure is not limited to this, but the longer cylinder pressure is reversed. It may be increased or both cylinder pressures may be adjusted.

従来の基板搬送装置の概要を示す平面図Plan view showing an outline of a conventional substrate transfer apparatus 従来の基板搬送装置の概要を示す内部側面図Internal side view showing the outline of a conventional substrate transfer device 従来の基板搬送装置の概要を示す正面図Front view showing an outline of a conventional substrate transfer device 従来の基板搬送装置の問題点を説明するための模式図Schematic diagram for explaining problems of a conventional substrate transfer apparatus 本発明に係る基板搬送装置の概要を示す平面図The top view which shows the outline | summary of the board | substrate conveyance apparatus which concerns on this invention 本発明に係る基板搬送装置の概要を示す内部側面図The internal side view which shows the outline | summary of the board | substrate conveyance apparatus based on this invention 本発明に係る基板搬送装置の概要を示す正面図The front view which shows the outline | summary of the board | substrate conveyance apparatus which concerns on this invention 本実施形態の基板搬送装置の制御系の概要を示すブロック図The block diagram which shows the outline | summary of the control system of the board | substrate conveyance apparatus of this embodiment 本実施形態の作用を示すフローチャートFlow chart showing the operation of this embodiment 本実施形態の作用を示す模式図Schematic diagram showing the operation of this embodiment

符号の説明Explanation of symbols

10…インバッファ
12…センタステーション
14…アウトバッファ
20…固定レール
22…可動レール
24…搬送ベルト
26…ストッパ
28…Yプッシャ
30…基準位置
32…バックアップテーブル
34…基板上面位置決め部
40A…第1プッシャ
40B…第2プッシャ
42A…第1検出センサ
42B…第2検出センサ
44…比較器
46…制御部
R1…第1電空レギュレータ
R2…第2電空レギュレータ
S…基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... In buffer 12 ... Center station 14 ... Out buffer 20 ... Fixed rail 22 ... Movable rail 24 ... Conveyor belt 26 ... Stopper 28 ... Y pusher 30 ... Reference position 32 ... Backup table 34 ... Substrate upper surface positioning part 40A ... 1st pusher 40B ... Second pusher 42A ... First detection sensor 42B ... Second detection sensor 44 ... Comparator 46 ... Control unit R1 ... First electropneumatic regulator R2 ... Second electropneumatic regulator S ... Substrate

Claims (2)

基板の搬送方向に沿って配設された固定レールと、
該固定レールに対向配置され、対向方向に移動可能な可動レールと、
各レールにそれぞれ付設され、対向する基板の両端部をそれぞれ支持して搬送するコンベアと、
両コンベアにより搬入された基板を停止させ、搬送方向の位置決めをする搬送方向位置決め手段と、
前記可動レールを固定レール側へ押圧し、搬送方向に位置決めされた前記基板を基準位置に当接させて幅方向の位置決めをする幅方向位置決め手段とを備えた基板位置決め固定部を有する基板搬送装置において、
前記幅方向位置決め手段として、搬送方向の上流側と下流側に離間して配設された、シリンダ駆動される第1プッシャ及び第2プッシャと、各プッシャのシリンダ圧をそれぞれ調整する第1圧力調整手段及び第2圧力調整手段とを備え、
且つ、搬送方向の上流側と下流側に離間して配設された、各対応位置の固定レール及び可動レール間の距離を測定する第1距離計及び第2距離計を備えていると共に、
前記両コンベアにより搬入された基板が搬送方向に位置決めされた後、前記第1プッシャ及び第2プッシャをそれぞれ所定のシリンダ圧で駆動して可動レールの押圧を開始すると共に、前記第1距離計及び第2距離計による測定を開始し、
該測定開始後、少なくとも一方の距離計による測定値が、予め設定されている基板幅に対応する長さ以下になった時点で、前記第1プッシャ及び第2プッシャの駆動を停止し、
該駆動停止時に前記両距離計による測定値に偏差がある場合には、該偏差が解消される方向に前記第1プッシャ及び第2プッシャの少なくとも一方のシリンダ圧を調整する制御を行なう制御手段を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
Fixed rails arranged along the substrate transport direction;
A movable rail disposed opposite the fixed rail and movable in the opposite direction;
A conveyor attached to each rail, respectively supporting and transporting both ends of the opposing substrate;
A transport direction positioning means for stopping the substrates carried by both conveyors and positioning in the transport direction;
A substrate transport apparatus having a substrate positioning and fixing unit including a width-direction positioning unit that presses the movable rail toward the fixed rail and brings the substrate positioned in the transport direction into contact with a reference position to perform positioning in the width direction. In
As the width direction positioning means, a first pusher and a second pusher, which are disposed separately on the upstream side and the downstream side in the transport direction, and a first pressure adjustment for adjusting the cylinder pressure of each pusher, respectively. Means and second pressure adjusting means,
In addition, the first distance meter and the second distance meter for measuring the distance between the fixed rail and the movable rail at each corresponding position, which are disposed apart from the upstream side and the downstream side in the transport direction, are provided.
After the substrates carried by the two conveyors are positioned in the transport direction, the first pusher and the second pusher are each driven with a predetermined cylinder pressure to start pressing the movable rail, and the first distance meter and Start measuring with the second rangefinder,
After the measurement is started, when the measured value by at least one distance meter becomes equal to or less than the length corresponding to the preset substrate width, the driving of the first pusher and the second pusher is stopped,
A control means for performing control to adjust the cylinder pressure of at least one of the first pusher and the second pusher in a direction in which the deviation is eliminated when there is a deviation in the measured value by the both distance meters when the driving is stopped; A substrate transport apparatus comprising the substrate transport apparatus.
前記偏差が解消される方向に前記第1プッシャ及び第2プッシャの少なくとも一方のシリンダ圧を調整する制御を、前記調整停止時の測定値が小さい方の距離計に対応する方のプッシャのシリンダ圧を低下させて行なうことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。   The control of adjusting the cylinder pressure of at least one of the first pusher and the second pusher in the direction in which the deviation is eliminated is performed by adjusting the cylinder pressure of the pusher corresponding to the distance meter having the smaller measured value when the adjustment is stopped. The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein the substrate transfer device is performed while lowering.
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