JP5083781B2 - 光学的センサー - Google Patents
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Description
図7に示すパターン(A)(モデル(A))はこの問題を解決するためのセンサー構造の一例である。このパターン(A)は、凹部3Aの間隔が異なる複数の扇形の領域を備えている。より詳細には、基板1A上の円の中心角を90°ごとに分割して形成した4つの扇形の領域のうち、円の中心に対して向かい合う2つの領域に、複数の凹部3Aを同心円状に周期的に配置し、残りの2つの領域には、複数の凹部3A’を同心円状に周期的に配置している。すなわち、凹部3Aが形成された扇形の領域と、凹部3A’が形成された扇形の領域は、交互に配置されている。また、隣接する凹部3A同士の間隔(ピッチ)は、隣接する凹部3A’同士の間隔よりも広くなっており、隣接する2つの凹部3Aの間には凸部5A、隣接する2つの凹部3A’の間には凸部5A’が形成されている。なお、凹部3A,3A’、凸部5A,5A’が形成された基板1A上には、実施例1と同様に金属膜(図示せず)が形成されている。
図7、8に示すパターン(B)(モデル(B))は2重螺旋のパターンを設けた例である。このパターン(B)は、2本の螺旋形の凸部5B,5B’が形成されるとともに、2本の凸部5B,5B’はそれぞれの螺旋中心で相互に接合し、この螺旋中心、すなわち、2本の凸部5B,5B’の接合部の中心には、凸部5B,5B’の幅よりも小さい直径を有する略円形の凹部4Bが形成されている。ここで、略円形には、円形、角度方向に応じて直径が異なる楕円、その他の円形や楕円に近似した形状が含まれる。また、2本の螺旋形の凸部5B,5B’は相互に略平行に形成され、凸部5Bと凸部5B’の間には、螺旋形の凹部3Bが形成されている。そして、それぞれ直交するa−b断面とc−d断面において、隣接する凹部3B同士の間隔(ピッチ)を比較すると、c−d断面のピッチP1は、a−b断面のピッチP2よりも小さくなっている。なお、基板1B上には、実施例1と同様に金属膜(図示せず)が形成されている。
図7、8に示すパターン(C)(モデル(C))は1重螺旋のパターンを設けた例である。このパターン(C)は、1本の螺旋形の凸部5Cが形成されるとともに、凸部5Cの螺旋中心、すなわち、凸部5Cの螺旋中心側の端部には、凸部5Cの幅よりも小さい直径を有する略円形の凹部4Cが形成されている。ここで、略円形には、円形、角度方向に応じて直径が異なる楕円、その他の円形や楕円に近似した形状が含まれる。また、凸部5Cの間には、螺旋形の凹部3Cが形成されている。そして、e−f断面における隣接する凹部3C同士の間隔(ピッチ)は、中心よりも左のピッチP1が右のピッチP2より大きくなっている。なお、基板1C上には、実施例1と同様に金属膜(図示せず)が形成されている。
基板エッチング法では、図9に示すように、基板にレジストを塗布し、光学露光又は電子線露光、及び溶剤により部分的なレジスト除去を行う(現像)ことによりレジストパターンを形成する。そして、ウエットエッチング法、イオンエッチング又は反応性イオンエッチングなどのドライエッチング法により、基板をエッチングしてパターンを形成する。さらにAg、Au、Cu、Alなどのプラズモンを励起できる金属膜を蒸着法やスパッタリング法により被覆してセンサーを作製する。
ナノインプリント法では、図10に示すように、まず、金型を作製し、つぎに該金型を基板に押しつけることによりパターン付きの基板を作製する。
2 金属膜
3,3A,3B,3C,4,4B,4C 凹部
5B,5B’,5C 凸部
6 自己組織化単分子膜
Claims (4)
- 基板と、この基板上に形成された開口部を有しない金属膜とを備え、この金属膜の表面には、中央に直径が0.1〜250nmの円形の凹部が形成され、この凹部を中心として同心円状に複数の凹部が450〜530nmの間隔で周期的に形成され、前記金属膜に光を照射すると表面プラズモン共鳴により前記金属膜の表面に発生した表面プラズモンが前記金属膜の一点に集中するように構成されたことを特徴とする光学的センサー。
- 前記金属膜の表面に自己組織化単分子膜が形成されたことを特徴とする請求項1記載の光学的センサー。
- 前記金属膜は、銀又は金からなることを特徴とする請求項1又は2記載の光学的センサー。
- 前記金属膜は、ビスマスを添加した銀からなることを特徴とする請求項1又は2項記載の光学的センサー。
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