JP5083777B2 - Volatile organic solvent recovery equipment and method - Google Patents

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本発明は、製造設備内などで発生した揮発性有機溶媒を含む溶媒ガスからその揮発性有機溶媒を吸着剤を用いて吸着し、蒸気を用いて吸着剤から揮発性有機溶媒を脱着させる揮発性有機溶媒の回収設備及び方法に関する。   The present invention adsorbs a volatile organic solvent from a solvent gas containing a volatile organic solvent generated in a production facility using an adsorbent, and desorbs the volatile organic solvent from the adsorbent using steam. The present invention relates to an organic solvent recovery facility and method.

ポリマーフイルム(以下「フイルム」とする)は、優れた光透過性や柔軟性を有し、軽量薄膜化が可能であることから、光学機能性フイルムとして多岐に利用されている。この中でも、セルロースアシレート等を用いたセルロースエステル系フイルムは、前述の特性に加えて、さらに強靭性や低複屈折率を有している。このセルロースエステル系フイルムは、写真感光用フイルムをはじめとして、近年市場が拡大している液晶表示装置(LCD)の構成部材である偏光板の保護フイルムや光学補償フイルムとして利用されている。   Polymer films (hereinafter referred to as “films”) have excellent light transmittance and flexibility, and can be reduced in thickness and are widely used as optical functional films. Among these, the cellulose ester film using cellulose acylate has toughness and low birefringence in addition to the above-described properties. This cellulose ester film is used as a protective film and an optical compensation film for polarizing plates, which are constituent members of liquid crystal display devices (LCDs) whose market has been expanding in recent years, including photographic photosensitive films.

このフイルムの製造方法の一つとしては、溶液製膜方法が挙げられる。溶液製膜方法は、ポリマーと溶媒とが含まれたドープを流延ダイから支持体上に流延して流延膜を形成し、流延膜が自己支持性を有するものとなった後に、支持体から剥ぎ取って湿潤フイルムとし、テンタ内で湿潤フイルムを搬送させながら乾燥させてフイルムを得る。その後、フイルムは、乾燥装置を経て、巻取装置によって巻き取られる。   One method for producing this film is a solution casting method. In the solution casting method, a dope containing a polymer and a solvent is cast on a support from a casting die to form a casting film, and after the casting film has a self-supporting property, The film is peeled off from the support to form a wet film, and dried while the wet film is conveyed in a tenter to obtain a film. Thereafter, the film is wound by a winding device through a drying device.

製膜工程においては、流延室での乾燥、テンタなどの乾燥装置による乾燥その他の自然乾燥によって、流延膜、湿潤フイルム、フイルムから溶媒が蒸発する。蒸発した溶媒を含むガス(以下「溶媒ガス」という)は、吸着塔に送られる。吸着塔は複数設けられており、各吸着塔では、吸着工程と脱着工程とが交互に行われる。吸着工程においては、溶媒ガスを吸着塔内の吸着剤に通して、吸着剤に溶媒を吸着させ、溶媒ガスから溶媒成分が取り除かれたガスを大気に排出する。脱着工程においては、蒸気を吸着塔に送り込んで、吸着剤に吸着した溶媒を脱着させる。溶媒を脱着させた蒸気は、コンデンサなどの凝縮器によって液化され、蒸留塔において溶媒と水とに分留される。分留された溶媒は、製膜工程において、再度利用される。   In the film forming process, the solvent evaporates from the cast film, the wet film, and the film by drying in the casting chamber, drying by a drying device such as a tenter, and other natural drying. The gas containing the evaporated solvent (hereinafter referred to as “solvent gas”) is sent to the adsorption tower. A plurality of adsorption towers are provided, and the adsorption process and the desorption process are alternately performed in each adsorption tower. In the adsorption step, the solvent gas is passed through the adsorbent in the adsorption tower to adsorb the solvent to the adsorbent, and the gas from which the solvent component has been removed from the solvent gas is discharged to the atmosphere. In the desorption process, vapor is sent to the adsorption tower to desorb the solvent adsorbed on the adsorbent. The vapor from which the solvent has been desorbed is liquefied by a condenser such as a condenser, and fractionated into a solvent and water in a distillation column. The fractionated solvent is used again in the film forming process.

吸着工程から脱着工程に切り替えるタイミングは、吸着剤が溶媒を吸着できなくなり、吸着塔から排出される溶媒ガスに溶媒が残留するようになる前であることが好ましい。この切り替えるタイミングについては、特許文献1や2のようなものが提案されている。特許文献1では、吸着剤の温度変化を連続的に測定し、その温度の微分値が所定値となったときに、吸着工程から脱着工程に切り替えている。また、特許文献2では、吸着工程と脱着工程をモデル化した吸着モデルに基づいて、吸着剤が溶媒を吸着できなくなる時間を算出し、この算出した時間に基づいて、脱着工程への切替を行っている。   The timing for switching from the adsorption process to the desorption process is preferably before the adsorbent can adsorb the solvent and the solvent remains in the solvent gas discharged from the adsorption tower. As for the timing for switching, those disclosed in Patent Documents 1 and 2 have been proposed. In Patent Document 1, the temperature change of the adsorbent is continuously measured, and when the differential value of the temperature reaches a predetermined value, the adsorption process is switched to the desorption process. Further, in Patent Document 2, a time during which the adsorbent cannot adsorb the solvent is calculated based on an adsorption model that models the adsorption step and the desorption step, and switching to the desorption step is performed based on the calculated time. ing.

特開平5−155603号公報JP-A-5-155603 特開平11−71584号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-71584

しかしながら、上記特許文献の発明については以下に示す問題点がある。特許文献1の発明については、温度の微分値が所定値となり、脱着工程に切り替えたときには、吸着塔から大気中に排出される溶媒ガスに溶媒が100ppm以上残留することがある。溶媒の主成分は揮発性有機物から構成されており、この揮発性有機物の中でも、特に塩化メチレンは行政により排出濃度を50ppm以下にすることが求められている。したがって、その排出濃度を超える溶媒ガスを、大気中に排出することは避けなければならない。そこで、これまでは、吸着剤に溶媒をまだ吸着する余裕があっても、早めに脱着工程に切り替えていた。ところが、吸着工程と脱着工程のサイクルが早くなることで、吸着剤の寿命が早くなるとともに、脱着工程での蒸気の量が余分に使用されていた。   However, the invention of the above patent document has the following problems. Regarding the invention of Patent Document 1, the differential value of the temperature becomes a predetermined value, and when switching to the desorption process, the solvent may remain in the solvent gas discharged from the adsorption tower to the atmosphere by 100 ppm or more. The main component of the solvent is composed of volatile organic substances, and among these volatile organic substances, methylene chloride, in particular, is required to have an emission concentration of 50 ppm or less by the government. Therefore, it is necessary to avoid discharging the solvent gas exceeding the discharge concentration into the atmosphere. Thus, until now, even if there was still room for the adsorbent to adsorb the solvent, the adsorbent was switched to the desorption process early. However, since the cycle of the adsorption process and the desorption process is accelerated, the life of the adsorbent is shortened, and the amount of steam in the desorption process is used excessively.

また、特許文献2の発明については、環境の変化などによって、吸着モデルが実際の現象に合わなくなることがある。   In the invention of Patent Document 2, the adsorption model may not match the actual phenomenon due to environmental changes or the like.

本発明は、脱着工程での蒸気の量を余分に使用しない揮発性有機溶媒の回収設備及び方法を提供することを目的とする。   It is an object of the present invention to provide a volatile organic solvent recovery facility and method that does not use an excessive amount of vapor in the desorption process.

上記課題を解決するために、本発明は、揮発性有機溶媒を含む溶媒ガスを吸着剤に通し、前記揮発性有機溶媒を前記吸着剤に吸着させる第1及び第2吸着装置を含む複数の吸着装置を並列に設け、一方で吸着を行っているときに、他方で前記吸着剤に蒸気を供給して、前記吸着剤から前記揮発性有機溶媒を脱着させて、前記揮発性有機溶媒の吸着を連続的に行う揮発性有機溶媒の回収設備において、各吸着装置ごとに、前記吸着装置内部の前記溶媒ガスのうち、前記吸着剤通過後の溶媒ガスの溶媒成分濃度を測定する質量分析装置と、前記揮発性有機溶媒を吸着中の第1吸着装置において、前記溶媒成分濃度が溶媒排出許容濃度に基づく基準値を超えたときに、前記溶媒ガスの供給を、前記第1吸着装置から、脱着済みの吸着剤を有する第2吸着装置に切り替えるとともに、前記蒸気を、前記第1吸着装置に供給することにより、前記第1吸着装置で脱着を開始させる第1操作、及び脱着中の第1吸着装置で測定した溶媒成分濃度に基づいて、前記第1吸着装置への前記蒸気の供給を停止する第2操作を行うための切替制御装置とを備えることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention provides a plurality of adsorption devices including first and second adsorption devices that pass a solvent gas containing a volatile organic solvent through an adsorbent and adsorb the volatile organic solvent to the adsorbent. When an apparatus is provided in parallel and adsorption is performed on one side, vapor is supplied to the adsorbent on the other side, and the volatile organic solvent is desorbed from the adsorbent to adsorb the volatile organic solvent. In a continuously performing volatile organic solvent recovery facility, for each adsorber, among the solvent gas inside the adsorber, a mass spectrometer that measures the solvent component concentration of the solvent gas after passing through the adsorbent ; In the first adsorption device that is adsorbing the volatile organic solvent, when the solvent component concentration exceeds a reference value based on the solvent discharge allowable concentration, the supply of the solvent gas is already desorbed from the first adsorption device. Second adsorbent The first operation for starting desorption by the first adsorption device and the solvent component concentration measured by the first adsorption device during desorption by switching to the adsorption device and supplying the vapor to the first adsorption device. And a switching control device for performing a second operation for stopping the supply of the steam to the first adsorption device .

前記揮発性有機溶媒は塩化メチレンであり、前記質量分析装置は試料をイオン化し、質量数と電荷との比によって分離・検出する装置であり、前記基準値が1ppmであることが好ましい。   The volatile organic solvent is methylene chloride, and the mass spectrometer is an apparatus that ionizes a sample and separates and detects the sample based on the ratio between the mass number and the charge, and the reference value is preferably 1 ppm.

本発明の揮発性有機溶媒の回収方法は、前記各吸着装置ごとに、吸着装置内部の前記溶媒ガスのうち、前記吸着剤通過後の溶媒ガスの溶媒成分濃度を質量分析装置により測定し、前記揮発性有機溶媒を吸着中の第1吸着装置において、前記溶媒成分濃度が溶媒排出許容濃度に基づく基準値を超えたときに、前記溶媒ガスの供給を、前記第1吸着装置から、脱着済みの吸着剤を有する第2吸着装置に切り替えるとともに、前記蒸気を、前記第1吸着装置に供給することにより、前記第1吸着装置で脱着を開始させ、脱着中の第1吸着装置で測定した溶媒成分濃度に基づいて、前記第1吸着装置への前記蒸気の供給を停止させることを特徴とする。 Method for recovering a volatile organic solvent of the present invention, the each adsorber, of the solvent gas inside the adsorption apparatus, said measured by the solvent component concentration of the solvent gas after the adsorbent pass through the mass spectrometer, the In the first adsorption device that is adsorbing the volatile organic solvent, when the solvent component concentration exceeds a reference value based on the allowable solvent discharge concentration, the supply of the solvent gas is desorbed from the first adsorption device. The solvent component is measured by the first adsorption device during desorption by switching to the second adsorption device having an adsorbent and supplying the vapor to the first adsorption device to start desorption by the first adsorption device. The supply of the vapor to the first adsorption device is stopped based on the concentration .

本発明によれば、吸着装置を通過した溶媒ガス中の溶媒成分濃度を質量分析装置により測定し、前記質量分析装置で測定した溶媒成分濃度を溶媒排出許容濃度に基づく基準値と比較し、前記溶媒成分濃度が前記基準値を超えたときに、脱着済みの吸着剤を有する吸着装置に溶媒ガスを通すように流路を切り替えるようにしたから、ほぼ基準値となるまで吸着剤を使用することができ、吸着剤を有効に使用することができる。しかも、有効に使用した吸着剤を脱着するため、蒸気の使用量を削減することができる。   According to the present invention, the solvent component concentration in the solvent gas that has passed through the adsorption device is measured by a mass spectrometer, the solvent component concentration measured by the mass spectrometer is compared with a reference value based on a solvent discharge allowable concentration, When the solvent component concentration exceeds the reference value, the flow path is switched to allow the solvent gas to pass through the adsorption device having the adsorbed adsorbent, so the adsorbent should be used until the reference value is almost reached. And the adsorbent can be used effectively. Moreover, since the adsorbent used effectively is desorbed, the amount of steam used can be reduced.

本発明の一実施形態である溶液製膜設備、ボイラ、第1〜第3吸着塔、コンデンサ、蒸留塔、質量分析装置、コントローラを示す概略図である。It is the schematic which shows the solution casting apparatus, boiler, the 1st-3rd adsorption tower, capacitor | condenser, distillation tower, mass spectrometer, and controller which are one Embodiment of this invention.

図1は本発明の一実施形態を示す概略図であり、溶液製膜設備10、ボイラ11、第1〜第3吸着塔12,13,14、質量分析装置15、コントローラ16、コンデンサ17、蒸留塔18を示している。   FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of the present invention, in which a solution casting apparatus 10, a boiler 11, first to third adsorption towers 12, 13, and 14, a mass spectrometer 15, a controller 16, a condenser 17, and a distillation are shown. Tower 18 is shown.

溶液製膜設備10では、まず、ポリマー20と溶媒22とを含むドープ23が、走行する流延バンド25に流延ダイ26から流延される。これにより、流延バンド25上に流延膜28が形成される。形成された流延膜28は、流延バンド25の上方に設けられた乾燥器30によって乾燥される。この乾燥によって、流延膜28から溶媒が蒸発する。そして、流延膜28が自己支持性を有するようになったときに、流延膜28は湿潤フイルムとして流延バンド25から剥ぎ取られてテンタ31に送られる。テンタ31では、湿潤フイルムをその幅方向に引き伸ばすとともに乾燥させてフイルムを得る。テンタ31を出たフイルムは、乾燥装置32において、乾燥される。そして、乾燥装置32を出たフイルムは、巻取装置34によって巻き取られる。なお、溶媒の主成分は揮発性有機溶媒であり、例えば塩化メチレンなどが挙げられる。   In the solution casting apparatus 10, first, a dope 23 including a polymer 20 and a solvent 22 is cast from a casting die 26 to a traveling casting band 25. Thereby, the casting film 28 is formed on the casting band 25. The formed casting film 28 is dried by a dryer 30 provided above the casting band 25. The solvent evaporates from the casting film 28 by this drying. When the casting film 28 has self-supporting properties, the casting film 28 is peeled off from the casting band 25 as a wet film and sent to the tenter 31. In the tenter 31, the wet film is stretched in the width direction and dried to obtain a film. The film exiting the tenter 31 is dried in the drying device 32. The film exiting the drying device 32 is taken up by the take-up device 34. The main component of the solvent is a volatile organic solvent such as methylene chloride.

溶液製膜設備10は、前述の乾燥器30、テンタ31、乾燥装置32による乾燥や自然乾燥によって、流延膜、湿潤フイルム、フイルムから蒸発した溶媒が設備外に出ることがないように、設備全体が密閉された構造となっている。蒸発した溶媒を含むガス35(以下「溶媒ガス」とする)は、配管36,37,38,39を通じて第1〜第3吸着塔12,13,14のいずれかに送られる。溶液製膜設備10に接続された配管36は、第1吸着塔12に接続する配管37と、第2吸着塔13に接続する配管38と、第3吸着塔14に接続する配管39とに分岐される。配管37,38,39には、電磁弁37a,38a,39aがそれぞれ設置されている。電磁弁37a,38a,39aの開閉動作は、ドライバ(図示省略)を介して、コントローラ16によって制御される。   The solution casting equipment 10 is installed so that the casting film, the wet film, and the solvent evaporated from the film do not come out of the equipment by drying or natural drying by the dryer 30, the tenter 31, and the drying device 32 described above. The entire structure is hermetically sealed. A gas 35 containing evaporated solvent (hereinafter referred to as “solvent gas”) is sent to one of the first to third adsorption towers 12, 13, and 14 through pipes 36, 37, 38, and 39. The pipe 36 connected to the solution casting apparatus 10 branches into a pipe 37 connected to the first adsorption tower 12, a pipe 38 connected to the second adsorption tower 13, and a pipe 39 connected to the third adsorption tower 14. Is done. Solenoid valves 37a, 38a, 39a are installed in the pipes 37, 38, 39, respectively. The opening / closing operation of the solenoid valves 37a, 38a, 39a is controlled by the controller 16 via a driver (not shown).

ボイラ11は水43を加熱して蒸気44を発生させる。発生した蒸気46は、配管46,47,48,49を通じて、第1〜第3吸着塔12,13,14のいずれかに送られる。ボイラ11に接続された配管46は、第1吸着塔12に接続する配管47と、第2吸着塔13に接続する配管48と、第3吸着塔14に接続する配管49とに分岐される。配管47,48,49には、電磁弁47a,48a,49aがそれぞれ設置されている。電磁弁47a,48a,49aの開閉動作は、ドライバ(図示省略)を介して、コントローラ16によって制御される。   The boiler 11 heats the water 43 to generate steam 44. The generated steam 46 is sent to one of the first to third adsorption towers 12, 13, and 14 through pipes 46, 47, 48, and 49. The pipe 46 connected to the boiler 11 is branched into a pipe 47 connected to the first adsorption tower 12, a pipe 48 connected to the second adsorption tower 13, and a pipe 49 connected to the third adsorption tower 14. Solenoid valves 47a, 48a and 49a are installed in the pipes 47, 48 and 49, respectively. The opening / closing operation of the solenoid valves 47a, 48a, 49a is controlled by the controller 16 via a driver (not shown).

第1〜第3吸着塔12,13,14は、その内部に吸着剤12a,13a,14aを備えている。吸着剤としては、例えば活性炭が挙げられる。第1〜第3吸着塔12,13,14には供給部12b,13b,14bと排出部12c,13c,14cとが設けられいる。供給部12b,13b,14bには、前述の溶液製膜設備10からの配管37,38,39と、コンデンサ17に接続する配管60とが取り付けられている。排出部12c,13c,14cには排出口12d,13d,14dが形成され、また、前述のボイラ11からの配管47,48,49が取り付けられている。排出口12d,13d,14dの近傍にはガス取込器61,62,63が設置されている。   The first to third adsorption towers 12, 13, and 14 include adsorbents 12a, 13a, and 14a therein. Examples of the adsorbent include activated carbon. The first to third adsorption towers 12, 13, and 14 are provided with supply units 12b, 13b, and 14b and discharge units 12c, 13c, and 14c. Pipes 37, 38, 39 from the solution casting apparatus 10 and a pipe 60 connected to the capacitor 17 are attached to the supply units 12 b, 13 b, 14 b. Discharge ports 12d, 13d, and 14d are formed in the discharge portions 12c, 13c, and 14c, and pipes 47, 48, and 49 from the above-described boiler 11 are attached. Gas intake devices 61, 62, and 63 are installed in the vicinity of the discharge ports 12d, 13d, and 14d.

溶媒ガス35中の溶媒は、第1〜第3吸着塔12,13,14内の吸着剤12a,13a,14aに吸着される。吸着剤12a,13a,14aを通過した溶媒ガス35は、排出口12d,13d,14dから大気中に排出される。ガス取込器61,62,63は、吸着剤12a,13a,14aを通過した溶媒ガス35を取り込んで、質量分析装置15内のイオン化部70に送る。一方、吸着剤12a,13a,14aに吸着した溶媒は、ボイラ11からの蒸気によって、吸着剤12a,13a,14aから脱着される。溶媒を脱着させた蒸気65(以下「脱着蒸気」という)は、配管60を通じてコンデンサ17に送られる。   The solvent in the solvent gas 35 is adsorbed by the adsorbents 12a, 13a, and 14a in the first to third adsorption towers 12, 13, and 14. The solvent gas 35 that has passed through the adsorbents 12a, 13a, and 14a is discharged into the atmosphere from the discharge ports 12d, 13d, and 14d. The gas take-in devices 61, 62, 63 take in the solvent gas 35 that has passed through the adsorbents 12 a, 13 a, 14 a and send it to the ionization unit 70 in the mass spectrometer 15. On the other hand, the solvent adsorbed on the adsorbents 12a, 13a, and 14a is desorbed from the adsorbents 12a, 13a, and 14a by the steam from the boiler 11. The vapor 65 from which the solvent is desorbed (hereinafter referred to as “desorption vapor”) is sent to the capacitor 17 through the pipe 60.

コンデンサ17は、コンデンサ本体17aと、このコンデンサ本体17aの内部に設けられた冷却管17bとを備えている。冷却管17bは冷却器67と接続している。コンデンサ本体17aには、第1〜第3吸着塔12,13,14からの脱着蒸気65が送り込まれる。冷却管17bの内部には水などの伝熱媒体(図示省略)が流動しており、この伝熱媒体はコンデンサ本体17a内の脱着蒸気65を冷却させる。これにより、脱着蒸気65は冷却管17bの表面で凝縮し液化する。この液は蒸留塔18に送られる。一方、脱着蒸気を冷却させた伝熱媒体は温度が上昇するため、冷却器67に送られて冷却される。冷却器67で冷却された伝熱媒体は、再び冷却管17bに送られる。   The capacitor 17 includes a capacitor main body 17a and a cooling pipe 17b provided inside the capacitor main body 17a. The cooling pipe 17 b is connected to the cooler 67. The desorption steam 65 from the first to third adsorption towers 12, 13, and 14 is fed into the capacitor body 17a. A heat transfer medium (not shown) such as water flows inside the cooling pipe 17b, and this heat transfer medium cools the desorption steam 65 in the capacitor body 17a. Thereby, the desorption steam 65 is condensed and liquefied on the surface of the cooling pipe 17b. This liquid is sent to the distillation column 18. On the other hand, since the temperature of the heat transfer medium that has cooled the desorption steam rises, it is sent to the cooler 67 and cooled. The heat transfer medium cooled by the cooler 67 is sent again to the cooling pipe 17b.

蒸留塔18では、コンデンサ17から送られてきた液を溶媒と水とに分留する。分留された溶媒は、原料としての溶媒22として再利用される。水は、排水68として処分される。なお、溶媒が複数の成分からなる場合には、それぞれの成分ごとに分留されるので、溶媒を所定の配合に処方した後に、再利用する。   In the distillation tower 18, the liquid sent from the condenser 17 is fractionated into a solvent and water. The fractionated solvent is reused as the solvent 22 as a raw material. The water is disposed as drainage 68. In addition, when a solvent consists of a several component, since it fractionates for every component, after prescribing | solving a solvent to a predetermined | prescribed mixing | blending, it reuses.

質量分析装置15は、イオン化部70と、質量分離部71と、検出部72と、濃度算出部73から構成される。イオン化部70はホットフィラメント(図示省略)を備えており、このホットフィラメントから熱電子を発生させ、この熱電子をガス取り込み器61,62,63から取り込んだ溶媒ガス35に衝突させる。この熱電子の衝突により、溶媒ガス35はイオン化される。質量分離部71は質量数と電荷との比によって分離する可変磁場を備えており、この可変磁場に溶媒ガス35のイオンを通過させる。検出部72はイオン検出器(図示省略)を備え、このイオン検出器によって可変磁場を通過したイオンを検出する。検出した信号は濃度算出部73に送られる。濃度算出部73は、検出部72からの検出信号に基づいて、溶媒ガス35の成分濃度を算出する。溶媒ガス35の成分濃度は、5000ppm以上50000ppm以下で算出されることが好ましい。算出された溶媒ガス35の成分濃度についてのデータは、コントローラ16に送信される。なお、イオン検出器にまで到達するイオンはわずかであるため、検出信号を増幅するための増幅器をイオン検出器に設けることが好ましい。また、イオン化部,質量分離部、検出部を質量分析装置側に設ける代わりに、各ガス取り込み器側に設けてもよい。この場合には、検出部で検出した信号を濃度算出部に送り、溶媒ガスの成分濃度を算出する。   The mass spectrometer 15 includes an ionization unit 70, a mass separation unit 71, a detection unit 72, and a concentration calculation unit 73. The ionization unit 70 includes a hot filament (not shown), generates thermoelectrons from the hot filament, and collides the thermoelectrons with the solvent gas 35 taken in from the gas intake devices 61, 62, and 63. The solvent gas 35 is ionized by the collision of the thermal electrons. The mass separation unit 71 includes a variable magnetic field that is separated according to the ratio between the mass number and the charge, and allows ions of the solvent gas 35 to pass through the variable magnetic field. The detection unit 72 includes an ion detector (not shown), and detects ions that have passed through the variable magnetic field by the ion detector. The detected signal is sent to the concentration calculation unit 73. The concentration calculation unit 73 calculates the component concentration of the solvent gas 35 based on the detection signal from the detection unit 72. The component concentration of the solvent gas 35 is preferably calculated from 5000 ppm to 50000 ppm. Data on the calculated component concentration of the solvent gas 35 is transmitted to the controller 16. Since few ions reach the ion detector, an amplifier for amplifying the detection signal is preferably provided in the ion detector. Further, instead of providing the ionization unit, the mass separation unit, and the detection unit on the mass spectrometer side, they may be provided on each gas intake side. In this case, the signal detected by the detection unit is sent to the concentration calculation unit, and the component concentration of the solvent gas is calculated.

コントローラ16はメモリ(図示省略)を備えており、このメモリには大気中に排出することができる溶媒の排出許容濃度に基づき決定した基準値が予め記憶されている。例えば、塩化メチレンの大気への排出許容濃度が50ppmであり、事業所基準の排出許容濃度が1ppmである場合には、基準値を1ppmとしてメモリに記憶する。コントローラ16は、質量分析装置15で算出された溶媒ガス35の成分濃度に基づいて、溶媒ガス35に含まれる溶媒の成分濃度が基準値の1ppmを超えているか否かを判定する。基準値の1ppmを超えていると判定された場合には、コントローラ16により、吸着塔12〜14の切り替えが行われる。例えば、第1吸着塔12において溶媒ガス35の吸着が行われており、その溶媒ガス35の成分濃度が1ppmとなったときに、第1の吸着塔12から、脱着済みの吸着剤13aを有する第2の吸着塔13に配管経路が切り替えられ、溶媒ガス35が第2吸着塔13に送られる。また、吸着が終了して切り替えられた第1の吸着塔12には、蒸気が44が送り込まれて、脱着が開始される。   The controller 16 includes a memory (not shown), in which a reference value determined based on the allowable discharge concentration of the solvent that can be discharged into the atmosphere is stored in advance. For example, when the allowable discharge concentration of methylene chloride to the atmosphere is 50 ppm and the discharge allowable concentration based on the establishment is 1 ppm, the reference value is stored in the memory as 1 ppm. Based on the component concentration of the solvent gas 35 calculated by the mass spectrometer 15, the controller 16 determines whether the component concentration of the solvent contained in the solvent gas 35 exceeds the reference value of 1 ppm. When it is determined that the reference value exceeds 1 ppm, the adsorption towers 12 to 14 are switched by the controller 16. For example, when the solvent gas 35 is adsorbed in the first adsorption tower 12 and the component concentration of the solvent gas 35 reaches 1 ppm, the adsorbent 13a desorbed from the first adsorption tower 12 is provided. The piping path is switched to the second adsorption tower 13 and the solvent gas 35 is sent to the second adsorption tower 13. Further, the vapor 44 is fed into the first adsorption tower 12 which has been switched after the adsorption is completed, and desorption is started.

次に、本発明の作用を説明する。まず、コントローラ16により、電磁弁37aが開かれる。溶液製膜設備10から溶媒ガス35が配管36,37を通じて第1吸着塔12に送り込まれる。溶媒ガス35は第1吸着塔12内の吸着剤12aを通過することによって、溶媒ガス35中の溶媒が吸着剤12aに吸着される。吸着剤12aを通過した溶媒ガス35は、その一部がガス取込器61によって質量分析装置15のイオン化部70に送られ、その他の大部分は排出口12dから排出される。質量分析装置15に送られた溶媒ガス35は、イオン化部70でイオン化される。溶媒ガス35のイオンは、質量分離部71の可変磁場を通過し、検出部72のイオン検出器で検出される。イオン検出器の検出信号は、濃度算出部73に送られる。濃度算出部73は、溶媒ガス35の成分濃度を算出する。算出した溶媒ガス35の成分濃度についてのデータは、コントローラ16に送られる。   Next, the operation of the present invention will be described. First, the controller 16 opens the electromagnetic valve 37a. A solvent gas 35 is sent from the solution casting apparatus 10 to the first adsorption tower 12 through pipes 36 and 37. As the solvent gas 35 passes through the adsorbent 12a in the first adsorption tower 12, the solvent in the solvent gas 35 is adsorbed by the adsorbent 12a. A part of the solvent gas 35 that has passed through the adsorbent 12a is sent to the ionization unit 70 of the mass spectrometer 15 by the gas intake device 61, and most of the other is discharged from the discharge port 12d. The solvent gas 35 sent to the mass spectrometer 15 is ionized by the ionization unit 70. The ions of the solvent gas 35 pass through the variable magnetic field of the mass separator 71 and are detected by the ion detector of the detector 72. The detection signal of the ion detector is sent to the concentration calculation unit 73. The concentration calculation unit 73 calculates the component concentration of the solvent gas 35. Data on the calculated component concentration of the solvent gas 35 is sent to the controller 16.

コントローラ16は、溶媒ガス35中の溶媒の成分濃度が基準値の1ppmを超えていると判定したときに、電磁弁37aを閉じて、電磁弁38aを開く。これにより、第1吸着塔12に送り込まれていた溶媒ガス35が、配管36,38を通じて第2吸着塔13に送り込まれるようになる。また、コントローラ16により電磁弁47aを開いて、蒸気44を配管46,47を通じて第1吸着塔12に送り込む。蒸気44は第1吸着塔12の吸着剤12aに吸着した溶媒を脱着させる。溶媒を脱着させた脱着蒸気65は配管60を通じてコンデンサ17に送られる。コンデンサ17は、脱着蒸気65を凝縮して液化させる。この液は蒸留塔18に送られて、溶媒と水とに分留される。溶媒は回収されて、原料の溶媒22として再利用される。第1吸着塔12における溶媒の脱着が完了すると、コントローラ16により電磁弁47aが閉じられる。 When the controller 16 determines that the component concentration of the solvent in the solvent gas 35 exceeds the reference value of 1 ppm, the controller 16 closes the solenoid valve 37a and opens the solenoid valve 38a. As a result, the solvent gas 35 sent to the first adsorption tower 12 is sent to the second adsorption tower 13 through the pipes 36 and 38. Further, the controller 16 opens the electromagnetic valve 47 a and sends the vapor 44 to the first adsorption tower 12 through the pipes 46 and 47. The vapor 44 desorbs the solvent adsorbed on the adsorbent 12 a of the first adsorption tower 12. The desorption vapor 65 from which the solvent has been desorbed is sent to the condenser 17 through the pipe 60. The condenser 17 condenses and liquefies the desorption vapor 65. This liquid is sent to the distillation column 18 and fractionated into a solvent and water. The solvent is recovered and reused as the raw material solvent 22. When the desorption of the solvent in the first adsorption tower 12 is completed, the electromagnetic valve 47a is closed by the controller 16.

一方、第2吸着塔13では、第1吸着塔12と同様に、溶媒ガス35が第2吸着塔内13の吸着剤13aを通過することによって、溶媒ガス35中の溶媒が吸着剤13aに吸着される。質量分析装置15は、ガス取り込み器62からの溶媒ガス35に基づいて、溶媒ガス35の成分濃度を算出する。算出した溶媒ガス35の成分濃度についてのデータは、コントローラ16に送られる。   On the other hand, in the second adsorption tower 13, like the first adsorption tower 12, the solvent gas 35 passes through the adsorbent 13a in the second adsorption tower 13, whereby the solvent in the solvent gas 35 is adsorbed on the adsorbent 13a. Is done. The mass spectrometer 15 calculates the component concentration of the solvent gas 35 based on the solvent gas 35 from the gas intake device 62. Data on the calculated component concentration of the solvent gas 35 is sent to the controller 16.

コントローラ16は、溶媒ガス35中の溶媒の成分濃度が基準値の1ppmを超えていると判定したときに、電磁弁38aを閉じて、電磁弁39aを開く。これにより、第2吸着塔13に送り込まれていた溶媒ガス35が、配管36,39を通じて第3吸着塔14に送り込まれるようになる。また、コントローラ16により電磁弁48aを開いて、蒸気44を配管46,48を通じて第2吸着塔13に送り込む。蒸気44は第2吸着塔13の吸着剤13aに吸着した溶媒を脱着させる。溶媒を脱着させた脱着蒸気65は、前述のように、溶媒と水とに分留される。分留された溶媒は、原料の溶媒22として再利用される。第2吸着塔13における溶媒の脱着が完了とすると、コントローラ16により電磁弁48aが閉じられる。   When the controller 16 determines that the component concentration of the solvent in the solvent gas 35 exceeds the reference value of 1 ppm, the controller 16 closes the solenoid valve 38a and opens the solenoid valve 39a. As a result, the solvent gas 35 that has been sent to the second adsorption tower 13 is sent to the third adsorption tower 14 through the pipes 36 and 39. Further, the controller 16 opens the electromagnetic valve 48 a and sends the vapor 44 to the second adsorption tower 13 through the pipes 46 and 48. The vapor 44 desorbs the solvent adsorbed on the adsorbent 13 a of the second adsorption tower 13. As described above, the desorption vapor 65 from which the solvent has been desorbed is fractionated into the solvent and water. The fractionated solvent is reused as the raw material solvent 22. When the desorption of the solvent in the second adsorption tower 13 is completed, the controller 16 closes the electromagnetic valve 48a.

一方、第3吸着塔14では、第1及び第2吸着塔12,13と同様に、溶媒ガス35が第3吸着塔14内の吸着剤14aを通過することによって、溶媒ガス35中の溶媒が吸着剤14aに吸着される。質量分析装置15は、ガス取り込み器63からの溶媒ガス35に基づいて、溶媒ガス35の成分濃度を算出する。算出した溶媒ガス35の成分濃度についてのデータは、コントローラ16に送られる。   On the other hand, in the third adsorption tower 14, similarly to the first and second adsorption towers 12 and 13, the solvent gas 35 passes through the adsorbent 14 a in the third adsorption tower 14, whereby the solvent in the solvent gas 35 is changed. Adsorbed on the adsorbent 14a. The mass spectrometer 15 calculates the component concentration of the solvent gas 35 based on the solvent gas 35 from the gas intake unit 63. Data on the calculated component concentration of the solvent gas 35 is sent to the controller 16.

コントローラ16は、溶媒ガス35中の溶媒の成分濃度が基準値の1ppmを超えていると判定したときに、電磁弁39aを閉じて、電磁弁37aを開く。これにより、第3吸着塔14に送り込まれていた溶媒ガス35が、配管36,37を通じて第1吸着塔12に送り込まれるようになる。また、コントローラ16により電磁弁49aを開いて、蒸気44を配管46,49を通じて第3吸着塔14に送り込む。蒸気44は第2吸着塔13の吸着剤13aに吸着した溶媒を脱着させる。溶媒を脱着させた脱着蒸気65は、前述のように、溶媒と水とに分留される。分留された溶媒は、原料の溶媒22として再利用される。第3吸着塔14における溶媒の脱着が完了すると、コントローラ10により電磁弁49aが閉じられる。   When the controller 16 determines that the component concentration of the solvent in the solvent gas 35 exceeds the reference value of 1 ppm, the controller 16 closes the electromagnetic valve 39a and opens the electromagnetic valve 37a. Thus, the solvent gas 35 that has been sent to the third adsorption tower 14 is sent to the first adsorption tower 12 through the pipes 36 and 37. Further, the electromagnetic valve 49 a is opened by the controller 16, and the vapor 44 is sent into the third adsorption tower 14 through the pipes 46 and 49. The vapor 44 desorbs the solvent adsorbed on the adsorbent 13 a of the second adsorption tower 13. As described above, the desorption vapor 65 from which the solvent has been desorbed is fractionated into the solvent and water. The fractionated solvent is reused as the raw material solvent 22. When the desorption of the solvent in the third adsorption tower 14 is completed, the controller 10 closes the electromagnetic valve 49a.

このように、3台の吸着塔のうちの1台の吸着塔にて溶媒の吸着を行い、それと同時にその他の吸着塔にて溶媒の脱着を行うことで、溶媒ガスから溶媒を連続的に回収することができる。また、質量分析装置15によって吸着塔から排出される溶媒ガス中の溶媒の成分濃度を1ppm以下に抑えることができる。これによって、大気中に排出される溶媒の量を最小限に制限することができる。さらに、従来のように、余裕を見て早めに吸着剤の切り替えを行っていたものに比べて、吸着剤の吸着限界近くまで使用することができ、吸着剤の吸着・脱着サイクルを長くすることができる。これによって、溶媒の脱着の際に使用される蒸気を、質量分析装置を用いない場合と比較して10%程度削減することが出来る。なお、吸着塔の数については2台もしくは4台以上であってもよい。   In this way, solvent is adsorbed in one of the three adsorption towers, and solvent is desorbed in other adsorption towers at the same time, so that the solvent is continuously recovered from the solvent gas. can do. Moreover, the component concentration of the solvent in the solvent gas discharged from the adsorption tower by the mass spectrometer 15 can be suppressed to 1 ppm or less. This can limit the amount of solvent discharged to the atmosphere to a minimum. Furthermore, compared to the conventional case where the adsorbent is switched early with a margin, the adsorbent can be used close to the adsorption limit and the adsorption / desorption cycle of the adsorbent can be lengthened. Can do. As a result, the vapor used for desorption of the solvent can be reduced by about 10% as compared with the case where the mass spectrometer is not used. The number of adsorption towers may be two or four or more.

なお、本実施形態では、溶液製膜設備内で発生した溶媒ガスから溶媒を回収したが、これに限らず、その他の製造設備内で発生する溶媒ガスから溶媒を回収してもよい。   In this embodiment, the solvent is recovered from the solvent gas generated in the solution casting equipment. However, the present invention is not limited thereto, and the solvent may be recovered from the solvent gas generated in other manufacturing equipment.

10 溶液製膜設備
12 第1吸着塔
12a 吸着剤
13 第2吸着塔
13a 吸着剤
14 第3吸着塔
14a 吸着剤
15 質量分析装置
16 コントローラ
22 溶媒
35 溶媒ガス
44 蒸気
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Solution film forming equipment 12 1st adsorption tower 12a Adsorbent 13 2nd adsorption tower 13a Adsorbent 14 3rd adsorption tower 14a Adsorbent 15 Mass spectrometer 16 Controller 22 Solvent 35 Solvent gas 44 Vapor

Claims (4)

揮発性有機溶媒を含む溶媒ガスを吸着剤に供給し、前記揮発性有機溶媒を前記吸着剤に吸着させる第1及び第2吸着装置を含む複数の吸着装置を並列に設け、一方で吸着を行っているときに、他方で前記吸着剤に蒸気を供給して、前記吸着剤から前記揮発性有機溶媒を脱着させて、前記揮発性有機溶媒の吸着を連続的に行う揮発性有機溶媒の回収設備において、
各吸着装置ごとに、前記吸着装置内部の前記溶媒ガスのうち、前記吸着剤通過後の溶媒ガスの溶媒成分濃度を測定する質量分析装置と、
前記揮発性有機溶媒を吸着中の第1吸着装置において、前記溶媒成分濃度が溶媒排出許容濃度に基づく基準値を超えたときに、前記溶媒ガスの供給を、前記第1吸着装置から、脱着済みの吸着剤を有する第2吸着装置に切り替えるとともに、前記蒸気を、前記第1吸着装置に供給することにより、前記第1吸着装置で脱着を開始させる第1操作、及び脱着中の第1吸着装置で測定した溶媒成分濃度に基づいて、前記第1吸着装置への前記蒸気の供給を停止する第2操作を行うための切替制御装置とを備えることを特徴とする揮発性有機溶媒の回収設備。
A plurality of adsorption devices including a first and a second adsorption device for supplying a solvent gas containing a volatile organic solvent to the adsorbent and adsorbing the volatile organic solvent to the adsorbent are provided in parallel, while performing adsorption. The volatile organic solvent is recovered continuously by supplying vapor to the adsorbent and desorbing the volatile organic solvent from the adsorbent and continuously adsorbing the volatile organic solvent. In
For each adsorption device, among the solvent gas inside the adsorption device, a mass spectrometer that measures the solvent component concentration of the solvent gas after passing through the adsorbent , and
In the first adsorption device that is adsorbing the volatile organic solvent, when the solvent component concentration exceeds a reference value based on the solvent discharge allowable concentration, the supply of the solvent gas is already desorbed from the first adsorption device. A first operation for starting desorption by the first adsorption device by supplying the vapor to the first adsorption device, and a first adsorption device during desorption. A volatile organic solvent recovery facility comprising: a switching control device for performing a second operation for stopping the supply of the vapor to the first adsorption device based on the solvent component concentration measured in (1) .
前記揮発性有機溶媒は塩化メチレンであり、
前記質量分析装置は試料をイオン化し、質量数と電荷との比によって分離・検出する質量分析装置であり、
前記基準値が1ppmであることを特徴とする請求項1記載の揮発性有機溶媒の回収設備。
The volatile organic solvent is methylene chloride;
The mass spectrometer is a mass spectrometer that ionizes a sample and separates / detects it by a ratio of mass number and charge,
The volatile organic solvent recovery facility according to claim 1, wherein the reference value is 1 ppm.
揮発性有機溶媒を含む溶媒ガスを吸着剤に供給し、前記揮発性有機溶媒を前記吸着剤に吸着させる第1及び第2吸着装置を含む複数の吸着装置を並列に設け、一方で吸着を行っているときに、他方で前記吸着剤に蒸気を供給して、前記吸着剤から前記揮発性有機溶媒を脱着させて、前記揮発性有機溶媒の吸着を連続的に行う揮発性有機溶媒の回収方法において、
各吸着装置ごとに、前記吸着装置内部の前記溶媒ガスのうち、前記吸着剤通過後の溶媒ガスの溶媒成分濃度を質量分析装置により測定し、
前記揮発性有機溶媒を吸着中の第1吸着装置において、前記溶媒成分濃度が溶媒排出許容濃度に基づく基準値を超えたときに、前記溶媒ガスの供給を、前記第1吸着装置から、脱着済みの吸着剤を有する第2吸着装置に切り替えるとともに、前記蒸気を、前記第1吸着装置に供給することにより、前記第1吸着装置で脱着を開始させる第1操作、及び脱着中の第1吸着装置で測定した溶媒成分濃度に基づいて、前記第1吸着装置への前記蒸気の供給を停止する第2操作を行うことを特徴とする揮発性有機溶媒の回収方法。
A plurality of adsorption devices including a first and a second adsorption device for supplying a solvent gas containing a volatile organic solvent to the adsorbent and adsorbing the volatile organic solvent to the adsorbent are provided in parallel, while performing adsorption. The volatile organic solvent is continuously adsorbed on the other side by supplying vapor to the adsorbent and desorbing the volatile organic solvent from the adsorbent. In
For each adsorber, among the solvent gas inside the adsorber, measure the solvent component concentration of the solvent gas after passing through the adsorbent, using a mass spectrometer,
In the first adsorption device that is adsorbing the volatile organic solvent, when the solvent component concentration exceeds a reference value based on the solvent discharge allowable concentration, the supply of the solvent gas is already desorbed from the first adsorption device. A first operation for starting desorption by the first adsorption device by supplying the vapor to the first adsorption device, and a first adsorption device during desorption. A method for recovering a volatile organic solvent, comprising performing a second operation for stopping the supply of the vapor to the first adsorption device based on the concentration of the solvent component measured in (1) .
前記揮発性有機溶媒は塩化メチレンであり、
前記質量分析装置は試料をイオン化し、質量数と電荷との比によって分離・検出する質量分析装置であり、
前記基準値が1ppmであることを特徴とする請求項3記載の揮発性有機溶媒の回収方法。
The volatile organic solvent is methylene chloride;
The mass spectrometer is a mass spectrometer that ionizes a sample and separates / detects it by a ratio of mass number and charge,
4. The method for recovering a volatile organic solvent according to claim 3, wherein the reference value is 1 ppm.
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