JP5081776B2 - 振動周波数計測装置および振動周波数計測方法 - Google Patents

Description

本発明は、振動する物体の振動周波数を計測する振動周波数計測装置および振動周波数計測方法に関するものである。

従来より、半導体レーザを用いて、振動する物体を解析する技術が提案されている（例えば特許文献１参照）。
特許文献１に開示された計測装置では、発振周波数が固定された半導体レーザから物体にレーザ光を照射し、物体からのドップラ周波数偏移した反射光の一部を半導体レーザに戻り光として帰還させ、自己混合効果を発生させる。そして、物体の振動に関係して生ずる半導体レーザの出力の変化をフォトダイオードで検出している。

このとき、フォトダイオードの出力に現れるドップラビート波は自己混合効果により物体の変位の方向に応じて傾きが逆転するので、ドップラビート波の傾きから物体の変位の方向を判別することができる。そして、物体の変位の方向を判別することができれば、変位の周期から物体の振動周波数を求めることが可能である。

特許第３２８２７４６号公報

図２４（Ａ）は特許文献１に開示された計測装置においてフォトダイオードの出力に現れるドップラビート波の１例を示し、図２４（Ｂ）はドップラビート波の傾きから物体の変位の方向を判別する方向判別回路の出力電圧の１例を示している。
しかしながら、特許文献１に開示された計測装置では、実際にはドップラビート波にノイズが存在するため、ドップラビート波の傾きの判定が非常に困難な場合があり、また物体の振動の加速度が小さいとき（例えば振動周波数が低いとき）には振動振幅の最大点付近で物体の速度が遅いので、非対称性がほとんど生じない。ドップラビート波の実際の波形は、時間に関してほとんど対称な三角形である。物体の変位の速度が小さいと、ドップラビート波が小さくなり、ドップラビート波の強度が増大するときの傾きと強度が減少するときの傾きとは絶対値が同じになり、物体の変位の方向を判別することができなくなる。その結果、特許文献１に開示された計測装置では、振動周波数計測の誤差が非常に大きいという問題点があった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、物体の振動周波数の測定精度を向上させることができる振動周波数計測装置および振動周波数計測方法を提供することを目的とする。

本発明の振動周波数計測装置は、測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第１の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第２の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振波長変調手段と、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段と、この検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々について数える信号抽出手段と、時間的に隣接する前記第１、第２の発振期間の計数結果の大小を比較して、これらの計数結果を２値化する２値化手段と、この２値化手段から出力された２値化出力の周期を測定する２値化出力周期測定手段と、この２値化出力周期測定手段の測定結果から一定時間における２値化出力の周期の度数分布を作成する２値化出力周期度数分布作成手段と、前記２値化出力の周期の度数分布から前記２値化出力の周期の分布の代表値である基準周期を算出する基準周期算出手段と、前記２値化出力周期度数分布作成手段が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間の期間において前記２値化出力のパルスの数を数える２値化出力計数手段と、前記２値化出力の周期の度数分布から、前記基準周期の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと前記基準周期の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて前記２値化出力計数手段の計数結果を補正する補正手段と、この補正手段で補正された計数結果と前記一定時間に基づいて前記測定対象の振動周波数を算出する周波数算出手段とを備えることを特徴とするものである。

また、本発明の振動周波数計測装置は、測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第１の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第２の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振波長変調手段と、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段と、この検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々について数える信号抽出手段と、時間的に隣接する前記第１、第２の発振期間の計数結果の大小を比較して、これらの計数結果を２値化する２値化手段と、この２値化手段から出力された一定個数の２値化出力のパルスについて周期を測定する２値化出力周期測定手段と、前記２値化出力の一定個数のパルスについて実施された前記２値化出力周期測定手段の測定結果から前記２値化出力の周期の度数分布を作成する２値化出力周期度数分布作成手段と、前記２値化出力の周期の度数分布から前記２値化出力の周期の分布の代表値である基準周期を算出する基準周期算出手段と、前記２値化出力周期測定手段の測定結果から前記２値化出力の周期の総和を算出する周期和算出手段と、前記２値化出力の周期の度数分布から、前記基準周期の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと前記基準周期の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて前記一定個数を補正する補正手段と、この補正手段で補正された値と前記周期和算出手段で算出された周期の総和に基づいて前記測定対象の振動周波数を算出する周波数算出手段とを備えることを特徴とするものである。

また、本発明の振動周波数計測装置の１構成例において、前記基準周期算出手段は、階級値と度数との積が最大となる階級値を前記基準周期とすることを特徴とするものである。
また、本発明の振動周波数計測装置の１構成例において、前記信号抽出手段は、前記検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第１の発振期間と第２の発振期間の各々について数える干渉波形計数手段と、この干渉波形計数手段が干渉波形の数を数える計数期間中の前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に測定する干渉波形周期測定手段と、この干渉波形周期測定手段の測定結果から前記計数期間中の干渉波形の周期の度数分布を作成する干渉波形周期度数分布作成手段と、前記干渉波形の周期の度数分布から前記干渉波形の周期の分布の代表値を算出する代表値算出手段と、前記干渉波形の周期の度数分布から、前記代表値の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓａと、前記代表値の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗａとを求め、これらの度数ＮｓａとＮｗａに基づいて前記干渉波形計数手段の計数結果を補正し、補正後の計数結果を出力する補正値算出手段とからなることを特徴とするものである。

また、本発明の振動周波数計測装置の１構成例において、前記２値化出力周期測定手段は、前記２値化出力の立ち上がりから次の立ち上がりまでの時間、または前記２値化出力の立ち下がりから次の立ち下がりまでの時間を測定することにより、前記２値化出力の周期を測定することを特徴とするものである。
また、本発明の振動周波数計測装置の１構成例において、前記２値化出力周期測定手段は、前記２値化出力の立ち上がりから次の立ち下がりまでの時間を測定すると共に、前記２値化出力の立ち下がりから次の立ち上がりまでの時間を測定することにより、前記２値化出力の周期を測定することを特徴とするものである。
また、本発明の振動周波数計測装置の１構成例において、前記２値化出力周期測定手段は、前記２値化出力の立ち上がりから次の立ち上がりまでの時間を測定すると共に、前記２値化出力の立ち下がりから次の立ち下がりまでの時間を測定することにより、前記２値化出力の周期を測定することを特徴とするものである。

また、本発明は、半導体レーザを用いて測定対象の振動周波数を計測する振動周波数計測方法において、発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第１の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第２の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振手順と、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手順と、この検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々について数える信号抽出手順と、時間的に隣接する前記第１、第２の発振期間の計数結果の大小を比較して、これらの計数結果を２値化する２値化手順と、この２値化手順で得られた２値化出力の周期を測定する２値化出力周期測定手順と、この２値化出力周期測定手順の測定結果から一定時間における２値化出力の周期の度数分布を作成する２値化出力周期度数分布作成手順と、前記２値化出力の周期の度数分布から前記２値化出力の周期の分布の代表値である基準周期を算出する基準周期算出手順と、前記２値化出力周期度数分布作成手順が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間の期間において前記２値化出力のパルスの数を数える２値化出力計数手順と、前記２値化出力の周期の度数分布から、前記基準周期の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと前記基準周期の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて前記２値化出力計数手順の計数結果を補正する補正手順と、この補正手順で補正された計数結果と前記一定時間に基づいて前記測定対象の振動周波数を算出する周波数算出手順とを備えることを特徴とするものである。

また、本発明の振動周波数計測方法は、発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第１の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第２の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振手順と、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手順と、この検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々について数える信号抽出手順と、時間的に隣接する前記第１、第２の発振期間の計数結果の大小を比較して、これらの計数結果を２値化する２値化手順と、この２値化手順で得られた一定個数の２値化出力のパルスについて周期を測定する２値化出力周期測定手順と、前記２値化出力の一定個数のパルスについて実施された前記２値化出力周期測定手順の測定結果から前記２値化出力の周期の度数分布を作成する２値化出力周期度数分布作成手順と、前記２値化出力の周期の度数分布から前記２値化出力の周期の分布の代表値である基準周期を算出する基準周期算出手順と、前記２値化出力周期測定手順の測定結果から前記２値化出力の周期の総和を算出する周期和算出手順と、前記２値化出力の周期の度数分布から、前記基準周期の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと前記基準周期の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて前記一定個数を補正する補正手順と、この補正手順で補正された値と前記周期和算出手順で算出された周期の総和に基づいて前記測定対象の振動周波数を算出する周波数算出手順とを備えることを特徴とするものである。

本発明によれば、時間的に隣接する第１、第２の発振期間の計数結果の大小を比較して干渉波形の計数結果を２値化し、２値化出力の周期を測定して一定時間における周期の度数分布を作成し、周期の度数分布から２値化出力の周期の分布の代表値である基準周期を算出し、一定時間の期間において２値化出力のパルスの数を数え、度数分布から、基準周期の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと基準周期の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて２値化出力のパルスの計数結果を補正し、補正後の計数結果と一定時間に基づいて測定対象の振動周波数を算出することにより、２値化出力の計数誤差を補正することができるので、測定対象の振動周波数の測定精度を向上させることができる。

また、本発明によれば、時間的に隣接する第１、第２の発振期間の計数結果の大小を比較して干渉波形の計数結果を２値化し、一定個数の２値化出力のパルスについて周期を測定して２値化出力の周期の度数分布を作成し、周期の度数分布から２値化出力の周期の分布の代表値である基準周期を算出し、周期の測定結果から２値化出力の周期の総和を算出し、度数分布から、基準周期の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと基準周期の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて一定個数を補正し、補正した値と周期の総和に基づいて測定対象の振動周波数を算出することにより、測定対象の振動周波数の測定精度を向上させることができる。

［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施の形態に係る振動周波数計測装置の構成を示すブロック図である。
図１の振動周波数計測装置は、測定対象の物体１０にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、半導体レーザ１の光出力を電気信号に変換するフォトダイオード２と、半導体レーザ１からの光を集光して放射すると共に、物体１０からの戻り光を集光して半導体レーザ１に入射させるレンズ３と、半導体レーザ１を駆動する発振波長変調手段となるレーザドライバ４と、フォトダイオード２の出力電流を電圧に変換して増幅する電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力電圧から搬送波を除去するフィルタ部６と、フィルタ部６の出力電圧に含まれる自己結合信号であるモードホップパルス（以下、ＭＨＰとする）の数を数える信号抽出部７と、信号抽出部７の計数結果に基づいて物体１０の振動周波数を求める周波数計測部８と、周波数計測部８の計測結果を表示する表示部９とを有する。

フォトダイオード２と電流−電圧変換増幅部５とは、検出手段を構成している。以下、説明容易にするために、半導体レーザ１には、モードホッピング現象を持たない型（ＶＣＳＥＬ型、ＤＦＢレーザ型）のものが用いられているものと想定する。

レーザドライバ４は、時間に関して一定の変化率で増減を繰り返す三角波駆動電流を注入電流として半導体レーザ１に供給する。これにより、半導体レーザ１は、注入電流の大きさに比例して発振波長が一定の変化率で連続的に増加する第１の発振期間と発振波長が一定の変化率で連続的に減少する第２の発振期間とを交互に繰り返すように駆動される。図２は、半導体レーザ１の発振波長の時間変化を示す図である。図２において、Ｐ１は第１の発振期間、Ｐ２は第２の発振期間、λａは各期間における発振波長の最小値、λｂは各期間における発振波長の最大値、Ｔｔは三角波の周期である。本実施の形態では、発振波長の最大値λｂおよび発振波長の最小値λａはそれぞれ常に一定になされており、それらの差λｂ−λａも常に一定になされている。

半導体レーザ１から出射したレーザ光は、レンズ３によって集光され、物体１０に入射する。物体１０で反射された光は、レンズ３によって集光され、半導体レーザ１に入射する。ただし、レンズ３による集光は必須ではない。フォトダイオード２は、半導体レーザ１の内部又はその近傍に配置され、半導体レーザ１の光出力を電流に変換する。電流−電圧変換増幅部５は、フォトダイオード２の出力電流を電圧に変換して増幅する。

フィルタ部６は、変調波から重畳信号を抽出する機能を有するものである。図３（Ａ）は電流−電圧変換増幅部５の出力電圧波形を模式的に示す図、図３（Ｂ）はフィルタ部６の出力電圧波形を模式的に示す図である。これらの図は、フォトダイオード２の出力に相当する図３（Ａ）の波形（変調波）から、図２の半導体レーザ１の発振波形（搬送波）を除去して、図３（Ｂ）のＭＨＰ波形（干渉波形）を抽出する過程を表している。

次に、信号抽出部７と周波数計測部８の動作について説明する。図４は信号抽出部７と周波数計測部８の動作を示すフローチャートである。
信号抽出部７は、フィルタ部６の出力電圧に含まれるＭＨＰの数を第１の発振期間Ｐ１と第２の発振期間Ｐ２の各々について数える（図４ステップＳ１）。信号抽出部７は、論理ゲートからなるカウンタを利用するものでもよいし、ＦＦＴ（Fast Fourier Transform）を利用してＭＨＰの周波数（すなわち単位時間あたりのＭＨＰの数）を計測するものでもよい。

ここで、自己結合信号であるＭＨＰについて説明する。図５に示すように、ミラー層１０１３から物体１０までの距離をＬ、レーザの発振波長をλとすると、以下の共振条件を満足するとき、物体１０からの戻り光と半導体レーザ１の光共振器内のレーザ光は強め合い、レーザ出力がわずかに増加する。
Ｌ＝ｑλ／２ ・・・（１）
式（１）において、ｑは整数である。この現象は、物体１０からの散乱光が極めて微弱であっても、半導体レーザ１の共振器内の見かけの反射率が増加することにより、増幅作用が生じ、十分観測できる。

図６は、半導体レーザ１の発振波長をある一定の割合で変化させたときの発振波長とフォトダイオード２の出力波形との関係を示す図である。式（１）に示したＬ＝ｑλ／２を満足したときに、戻り光と光共振器内のレーザ光の位相差が０°（同位相）になって、戻り光と光共振器内のレーザ光とが最も強め合い、Ｌ＝ｑλ／２＋λ／４のときに、位相差が１８０°（逆位相）になって、戻り光と光共振器内のレーザ光とが最も弱め合う。そのため、半導体レーザ１の発振波長を変化させていくと、レーザ出力が強くなるところと弱くなるところとが交互に繰り返し現れ、このときのレーザ出力をフォトダイオード２で検出すると、図６に示すように一定周期の階段状の波形が得られる。このような波形は一般的には干渉縞と呼ばれる。この階段状の波形、すなわち干渉縞の１つ１つがＭＨＰである。前記のとおり、ある一定時間において半導体レーザ１の発振波長を変化させた場合、測定距離に比例してＭＨＰの数は変化する。

次に、周波数計測部８は、信号抽出部７が数えたＭＨＰの数に基づいて物体１０の振動周波数を算出する。図７は周波数計測部８の構成の１例を示すブロック図である。周波数計測部８は、信号抽出部７の計数結果等を記憶する記憶部８０と、信号抽出部７の計数結果を２値化する２値化部８１と、２値化部８１から出力された２値化出力の周期を測定する周期測定部８２と、２値化出力の周期の度数分布を作成する度数分布作成部８３と、２値化出力の周期の分布の代表値である基準周期を算出する基準周期算出部８４と、２値化出力のパルスの数を数える２値化出力計数手段となるカウンタ８５と、カウンタ８５の計数結果を補正する補正部８６と、補正された計数結果に基づいて物体１０の振動周波数を算出する周波数算出部８７とから構成される。

信号抽出部７の計数結果は、周波数計測部８の記憶部８０に格納される。周波数計測部８の２値化部８１は、記憶部８０に格納された、信号抽出部７の計数結果を２値化する（図４ステップＳ２）。図８は２値化部８１の動作を説明するための図であり、図８（Ａ）は半導体レーザ１の発振波長の時間変化を示す図、図８（Ｂ）は信号抽出部７の計数結果の時間変化を示す図、図８（Ｃ）は２値化部８１の出力Ｄ（ｔ）を示す図である。図８（Ｂ）において、Ｎｕは第１の発振期間Ｐ１の計数結果、Ｎｄは第２の発振期間Ｐ２の計数結果である。

２値化部８１は、時間的に隣接する２つの発振期間Ｐ１，Ｐ２の計数結果ＮｕとＮｄの大小を比較して、これらの計数結果を２値化する。２値化部８１は、具体的には以下の式を実行する。
Ｉｆ Ｎｕ（ｔ）≧Ｎｄ（ｔ−１） ｔｈｅｎ Ｄ（ｔ）＝１ ・・・（２）
Ｉｆ Ｎｕ（ｔ）＜Ｎｄ（ｔ−１） ｔｈｅｎ Ｄ（ｔ）＝０ ・・・（３）
Ｉｆ Ｎｄ（ｔ）≦Ｎｕ（ｔ−１） ｔｈｅｎ Ｄ（ｔ）＝１ ・・・（４）
Ｉｆ Ｎｄ（ｔ）＞Ｎｕ（ｔ−１） ｔｈｅｎ Ｄ（ｔ）＝０ ・・・（５）

式（２）〜式（５）において、（ｔ）は現時刻ｔにおいて計測されたＭＨＰの数であることを表し、（ｔ−１）は現時刻ｔの１回前に計測されたＭＨＰの数であることを表している。式（２）、式（３）は、現時刻ｔの計数結果が第１の発振期間Ｐ１の計数結果Ｎｕで、１回前の計数結果が第２の発振期間Ｐ２の計数結果Ｎｄの場合である。この場合、２値化部８１は、現時刻ｔの計数結果Ｎｕ（ｔ）が１回前の計数結果Ｎｄ（ｔ−１）以上であれば、現時刻ｔの出力Ｄ（ｔ）を「１」（ハイレベル）とし、現時刻ｔの計数結果Ｎｕ（ｔ）が１回前の計数結果Ｎｄ（ｔ−１）より小さい場合は、現時刻ｔの出力Ｄ（ｔ）を「０」（ローレベル）とする。

式（４）、式（５）は、現時刻ｔの計数結果が第２の発振期間Ｐ２の計数結果Ｎｄで、１回前の計数結果が第１の発振期間Ｐ１の計数結果Ｎｕの場合である。この場合、２値化部８１は、現時刻ｔの計数結果Ｎｄ（ｔ）が１回前の計数結果Ｎｕ（ｔ−１）以下であれば、現時刻ｔの出力Ｄ（ｔ）を「１」とし、現時刻ｔの計数結果Ｎｄ（ｔ）が１回前の計数結果Ｎｕ（ｔ−１）より大きい場合は、現時刻ｔの出力Ｄ（ｔ）を「０」とする。

こうして、信号抽出部７の計数結果は２値化される。２値化部８１の出力Ｄ（ｔ）は記憶部８０に格納される。２値化部８１は、以上のような２値化処理を、信号抽出部７によってＭＨＰの数が測定される時刻毎（発振期間毎）に行う。

信号抽出部７の計数結果を２値化することは、物体１０の変位の方向を判別することを意味する。つまり、半導体レーザ１の発振波長が増加しているときの計数結果Ｎｕが、発振波長が減少しているときの計数結果Ｎｄ以上の場合（Ｄ（ｔ）＝１）、物体１０の移動方向は半導体レーザ１に接近する方向であり、計数結果Ｎｕが計数結果Ｎｄより小さい場合（Ｄ（ｔ）＝０）、物体１０の移動方向は半導体レーザ１から遠ざかる方向である。したがって、基本的には図８（Ｃ）に示した２値化出力の周期を求めることができれば、物体１０の振動周波数を算出することができる。

周期測定部８２は、記憶部８０に格納された２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を測定する（図４ステップＳ３）。図９は周期測定部８２の動作を説明するための図である。図９において、Ｈ１は２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりを検出するためのしきい値、Ｈ２は２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち下がりを検出するためのしきい値である。

周期測定部８２は、記憶部８０に格納された２値化出力Ｄ（ｔ）をしきい値Ｈ１と比較することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりを検出し、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりから次の立ち上がりまでの時間ｔｕｕを測定することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を測定する。周期測定部８２は、このような測定を２値化出力Ｄ（ｔ）に立ち上がりエッジが発生する度に行う。

あるいは、周期測定部８２は、記憶部８０に格納された２値化出力Ｄ（ｔ）をしきい値Ｈ２と比較することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち下がりを検出し、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち下がりから次の立ち下がりまでの時間ｔｄｄを測定することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を測定してもよい。周期測定部８２は、このような測定を２値化出力Ｄ（ｔ）に立ち下がりエッジが発生する度に行う。

周期測定部８２の測定結果は記憶部８０に格納される。次に、度数分布作成部８３は、周期測定部８２の測定結果から、一定時間Ｔ（Ｔ＞Ｔｔであり、例えば１００×Ｔｔ、すなわち三角波１００個分の時間）における周期の度数分布を作成する（図４ステップＳ４）。図１０は度数分布の１例を示す図である。度数分布作成部８３が作成した度数分布は、記憶部８０に格納される。度数分布作成部８３は、このような度数分布の作成をＴ時間毎に行う。

続いて、基準周期算出部８４は、度数分布作成部８３が作成した度数分布から、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期の代表値である基準周期Ｔ０を算出する（図４ステップＳ５）。一般に、周期の代表値は最頻値や中央値であるが、本実施の形態においては、最頻値や中央値が周期の代表値として適していない。そこで、基準周期算出部８４は、階級値と度数との積が最大となる階級値を基準周期Ｔ０とする。表１に、度数分布の数値例およびこの数値例における階級値と度数との積を示す。

表１の例では、度数が最大である最頻値（階級値）は１である。これに対して、階級値と度数との積が最大となる階級値は６であり、最頻値とは異なる値になっている。階級値と度数との積が最大となる階級値を基準周期Ｔ０とする理由については後述する。算出された基準周期Ｔ０の値は、記憶部８０に格納される。基準周期算出部８４は、このような基準周期Ｔ０の算出を、度数分布作成部８３によって度数分布が作成される度に行う。

一方、カウンタ８５は、周期測定部８２および度数分布作成部８３と並行して動作し、度数分布作成部８３が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間Ｔの期間において、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりエッジの数Ｎ（すなわち、２値化出力Ｄ（ｔ）の「１」のパルスの数）を数える（図４ステップＳ６）。カウンタ８５の計数結果Ｎは、記憶部８０に格納される。カウンタ８５は、このような２値化出力Ｄ（ｔ）の計数をＴ時間毎に行う。

補正部８６は、度数分布作成部８３が作成した度数分布から、基準周期Ｔ０の０．５倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと、基準周期Ｔ０の１．５倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、カウンタ８５の計数結果Ｎを次式のように補正する（図４ステップＳ７）。
Ｎ’＝Ｎ−Ｎｓ＋Ｎｗ ・・・（６）
式（６）において、Ｎ’は補正後の計数結果である。この補正後の計数結果Ｎ’は、記憶部８０に格納される。補正部８６は、このような補正をＴ時間毎に行う。

図１１は度数の総和ＮｓとＮｗを模式的に表す図である。図１１において、Ｔｓは基準周期Ｔ０の０．５倍の階級値、Ｔｗは基準周期Ｔ０の１．５倍の階級値である。図１１における階級が、周期の代表値であることは言うまでもない。なお、図１１では記載を簡略化するため、基準周期Ｔ０とＴｓとの間、及び基準周期Ｔ０とＴｗとの間の度数分布を省略している。

図１２はカウンタ８５の計数結果の補正原理を説明するための図であり、図１２（Ａ）は２値化出力Ｄ（ｔ）を示す図、図１２（Ｂ）は図１２（Ａ）に対応するカウンタ８５の計数結果を示す図である。
本来、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期は物体１０の振動周波数によって異なるが、物体１０の振動周波数が不変であれば、２値化出力Ｄ（ｔ）のパルスは同じ周期で出現する。しかし、ノイズのために、ＭＨＰの波形には欠落が生じたり、信号として数えるべきでない波形が生じたりして、結果として２値化出力Ｄ（ｔ）の波形にも欠落や信号として数えるべきでない波形が生じ、２値化出力Ｄ（ｔ）のパルスの計数結果に誤差が生じる。

信号の欠落が生じると、欠落が生じた箇所での２値化出力Ｄ（ｔ）の周期Ｔｗは、本来の周期のおよそ２倍になる。つまり、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期が基準周期Ｔ０のおよそ２倍以上の場合には、信号に欠落が生じていると判断できる。そこで、周期Ｔｗ以上の階級の度数の総和Ｎｗを信号が欠落した回数と見なし、このＮｗをカウンタ８５の計数結果Ｎに加算することで、信号の欠落を補正することができる。

また、スパイクノイズなどによって本来の信号が分割された箇所での２値化出力Ｄ（ｔ）の周期Ｔｓは、本来の周期と比較して０．５倍よりも短い信号と０．５倍よりも長い信号の２つになる。つまり、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期が基準周期Ｔ０のおよそ０．５倍以下の場合には、信号を過剰に数えていると判断できる。そこで、周期Ｔｓ以下の階級の度数の総和Ｎｓを信号を過剰に数えた回数と見なし、このＮｓをカウンタ８５の計数結果Ｎから減算することで、誤って数えたノイズを補正することができる。以上が、式（６）に示した計数結果の補正原理である。

周波数算出部８７は、補正部８６が計算した補正後の計数結果Ｎ’に基づいて、物体１０の振動周波数ｆｓｉｇを次式のように算出する（図４ステップＳ８）。
ｆｓｉｇ＝Ｎ’／Ｔ ・・・（７）
表示部９は、周波数計測部８が算出した振動周波数ｆｓｉｇの値を表示する。

以上のように、本実施の形態では、時間的に隣接する第１、第２の発振期間Ｐ１，Ｐ２の計数結果の大小を比較してＭＨＰの計数結果を２値化し、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を測定して一定時間Ｔにおける周期の度数分布を作成し、周期の度数分布から２値化出力Ｄ（ｔ）の周期の分布の代表値である基準周期Ｔ０を算出し、一定時間Ｔの期間において２値化出力Ｄ（ｔ）のパルスの数を数え、度数分布から、基準周期Ｔ０の０．５倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと基準周期Ｔ０の１．５倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて２値化出力Ｄ（ｔ）のパルスの計数結果を補正することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の計数誤差を補正することができるので、物体１０の振動周波数の測定精度を向上させることができる。

次に、階級値と度数との積が最大となる階級値を基準周期Ｔ０とする理由について説明する。
波長変調（本実施の形態では三角波変調）を用いた自己結合型のレーザ計測装置においては、各計数期間におけるＭＨＰの数は、物体１０との距離に比例したＭＨＰの数と計数期間における物体１０の変位（速度）に比例したＭＨＰの数との和もしくは差になる。物体１０の振動の最大速度と物体１０との距離の比と、半導体レーザ１の波長変化率の大小関係によって、計測装置で得られる信号の状況を以下の２通りに分けることができる。

まず、物体１０の振動の最大速度と物体１０との距離の比が、半導体レーザ１の波長変化率よりも小さい場合について説明する。図１３は、この場合に本実施の形態の振動周波数計測装置で得られる信号を説明するための図であり、図１３（Ａ）は物体１０との距離の時間変化を示す図、図１３（Ｂ）は物体１０の速度の時間変化を示す図、図１３（Ｃ）は信号抽出部７の計数結果の時間変化を示す図、図１３（Ｄ）は２値化部８１による２値化出力Ｄ（ｔ）を示す図である。図１３（Ｂ）において，１３０は速度が小さい箇所を示し、１３１は物体１０の移動方向が半導体レーザ１に接近する方向であることを示し、１３２は物体１０の移動方向が半導体レーザ１から遠ざかる方向であることを示している。

物体１０の振動の最大速度と物体１０との距離の比が半導体レーザ１の波長変化率よりも小さい場合は、物体１０との距離に比例したＭＨＰの数が、計数期間における物体１０の変位（速度）に比例したＭＨＰの数よりも常に大きいため、半導体レーザ１の発振波長が増加しているときの計数結果Ｎｕと発振波長が減少しているときの計数結果Ｎｄとの差の絶対値が２つの計数期間（本実施の形態では発振期間Ｐ１とＰ２）における物体１０の変位に常に比例することになる。この場合、Ｎｕ−Ｎｄを時系列でプロットすると、半導体レーザ１への接近方向を正とした振動の速度を示す。そのため、Ｎｕ−Ｎｄの符号が物体１０の運動方向を示すことになり、この符号によって物体１０の変位を２値化することができる。

このとき、度数分布作成部８３によって作成される周期の度数分布は、図１４のようになる。
図１３（Ｃ）に示すように物体１０の速度が小さい箇所１３３において、例えば外乱光などに起因するホワイトノイズが加わると、計数結果ＮｕとＮｄの大小関係が本来の関係と反転する場合がある。その結果、図１３（Ｄ）に示すように、２値化出力Ｄ（ｔ）の符号が切り替わる箇所１３４において、２値化出力Ｄ（ｔ）の符号が本来の値と逆の値になることがある。
また、例えば外乱光などに起因するスパイクノイズが加わると、図１３（Ｄ）に示すように箇所１３５において２値化出力Ｄ（ｔ）の符号が局所的に反転する。

その結果、度数分布作成部８３によって作成される周期の度数分布は、図１４に示すように、基準周期Ｔ０を中心とした正規分布１４０と、スパイクノイズに起因する符号反転による度数１４１と、ホワイトノイズに起因する符号逆転による度数１４２との和になる。また、２値化を実施したときの信号の欠落の度数１４３は、大きな速度を持った低周波ノイズが混入しない限り生じないことが多い。

次に、物体１０の振動の最大速度と物体１０との距離の比が、半導体レーザ１の波長変化率よりも大きい場合について説明する。図１５は、この場合に本実施の形態の振動周波数計測装置で得られる信号を説明するための図であり、図１５（Ａ）は物体１０との距離の時間変化を示す図、図１５（Ｂ）は物体１０の速度の時間変化を示す図、図１５（Ｃ）は信号抽出部７の計数結果の時間変化を示す図、図１５（Ｄ）は２値化部８１による２値化出力Ｄ（ｔ）を示す図である。図１５（Ｂ）において，１５０は速度が小さい箇所を示し、１５１は物体１０の移動方向が半導体レーザ１に接近する方向であることを示し、１５２は物体１０の移動方向が半導体レーザ１から遠ざかる方向であることを示している。

物体１０の振動の最大速度と物体１０との距離の比が、半導体レーザ１の波長変化率よりも大きい場合は、物体１０の最大速度付近で、物体１０との距離に比例したＭＨＰの数が、計数期間における物体１０の変位（速度）に比例したＭＨＰの数よりも小さくなるため、半導体レーザ１の発振波長が増加しているときの計数結果Ｎｕと発振波長が減少しているときの計数結果Ｎｄとの差が２つの計数期間（本実施の形態では発振期間Ｐ１とＰ２）における物体１０の変位に比例する期間と、計数結果Ｎｕと計数結果Ｎｄとの和が２つの計数期間における物体１０の変位に比例する期間とが存在する。

この場合、物体１０の振動の速度は、図１５（Ｂ）のようにＮｕ−ＮｄとＮｕ＋Ｎｄを時系列でプロットしたグラフの合成で表現することができる。ただし、速度の方向は常にＮｕとＮｄとの大小関係と一致するため、Ｎｕ−Ｎｄの符号が物体１０の運動方向を示すことになり、この符号によって物体１０の変位を２値化することができる。このとき、度数分布作成部８３によって作成される周期の度数分布は、図１４と同様である。

後述する実施の形態のように、ＭＨＰの計数結果を補正する場合には、ＭＨＰが小さいときの低周波ノイズによるＭＨＰの波形の欠落の補正が重要であるが、本実施の形態のように物体１０の変位を２値化した２値化出力Ｄ（ｔ）を補正する場合においては、高周波ノイズの補正が重要になる。

高周波ノイズによる短い周期での符号の変化は物体１０の本来の振動の周期の度数を上回ることがあり、周期の代表値として最頻値や中央値などを用いた場合、誤って振動周期よりも短いノイズの周期を基準として補正を掛けてしまう懸念がある。そのため、振動周波数を算出するための一定時間Ｔの期間において、ある階級の信号が占める割合、つまり階級値と度数との積が最も大きい階級値を基準周期Ｔ０として、カウンタ８５の計数結果の補正を実施する。以上が、階級値と度数との積が最大となる階級値を基準周期Ｔ０とする理由である。

［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態は、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を第１の実施の形態と異なる方法で測定するものである。本実施の形態においても、振動周波数計測装置の構成は第１の実施の形態と同様であるので、図１、図７の符号を用いて説明する。図１６は本実施の形態の周期測定部８２の動作を説明するための図である。図１６において、Ｈ１は２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりを検出するためのしきい値、Ｈ２は２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち下がりを検出するためのしきい値である。

本実施の形態の周期測定部８２は、記憶部８０に格納された２値化出力Ｄ（ｔ）をしきい値Ｈ１と比較することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりを検出すると共に、２値化出力Ｄ（ｔ）をしきい値Ｈ２と比較することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち下がりを検出する。そして、周期測定部８２は、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりから次の立ち下がりまでの時間ｔｕｄを測定すると共に、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち下がりから次の立ち上がりまでの時間ｔｄｕを測定することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を測定する。周期測定部８２は、このような測定を２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりまたは立ち下がりのどちらかが検出される度に行う。

以上のようにして、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期、より正確には半周期を測定することができる。２値化出力Ｄ（ｔ）の半周期を測定することにより、基準周期算出部８４が算出するＴ０も周期ではなく、正確には基準半周期Ｔ０となる。他の構成は第１の実施の形態と同様である。

［第３の実施の形態］
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。本実施の形態は、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を第１、第２の実施の形態と異なる方法で測定するものである。本実施の形態においても、振動周波数計測装置の構成は第１の実施の形態と同様であるので、図１、図７の符号を用いて説明する。

本実施の形態の周期測定部８２は、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりから次の立ち上がりまでの時間ｔｕｕを測定することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を測定すると共に、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち下がりから次の立ち下がりまでの時間ｔｄｄを測定することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を測定する。周期測定部８２は、このような測定を２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりまたは立ち下がりのどちらかが検出される度に行う。
以上のようにして、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を測定することができる。他の構成は第１の実施の形態と同様である。

［第４の実施の形態］
次に、本発明の第４の実施の形態について説明する。第１〜第３の実施の形態では、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期の度数分布と２値化出力Ｄ（ｔ）のパルスの数とを求める時間を一定時間Ｔとしたが、この時間を可変長にしてもよい。
図１７は本実施の形態の周波数計測部８ａの構成の１例を示すブロック図である。周波数計測部８ａは、記憶部８０と、２値化部８１と、周期測定部８２ａと、度数分布作成部８３ａと、基準周期算出部８４と、補正部８６ａと、周波数算出部８７ａと、周期和算出部８８とから構成される。

図１８は本実施の形態の信号抽出部７と周波数計測部８ａの動作を示すフローチャートである。半導体レーザ１、フォトダイオード２、レーザドライバ４、電流−電圧変換増幅部５、フィルタ部６、信号抽出部７、および周波数計測部８ａの記憶部８０と２値化部８１の動作は、第１の実施の形態と同じである。

周期測定部８２ａは、記憶部８０に格納された２値化出力Ｄ（ｔ）の一定個数Ｎ（Ｎは２以上の自然数で、例えば１００）個のパルスについて、周期を測定する（図１８ステップＳ９）。２値化出力Ｄ（ｔ）の周期の測定方法は、第１〜第３の実施の形態のいずれの方法を用いてもよい。周期測定部８２ａの測定結果は記憶部８０に格納される。周期測定部８２ａは、このような測定を２値化出力Ｄ（ｔ）の「１」のパルスがＮ個発生する度に行う。

度数分布作成部８３ａは、２値化出力Ｄ（ｔ）の一定個数Ｎ個のパルスについて実施された周期測定部８２ａの測定結果から、周期の度数分布を作成する（図１８ステップＳ１０）。度数分布作成部８３ａが作成した度数分布は、記憶部８０に格納される。度数分布作成部８３ａは、このような度数分布の作成を２値化出力Ｄ（ｔ）の「１」のパルスがＮ個発生する度に行う。
基準周期算出部８４の動作は、第１の実施の形態と同様である（図１８ステップＳ５）。

周期和算出部８８は、記憶部８０に格納された周期測定部８２ａの測定結果から、２値化出力Ｄ（ｔ）の一定個数Ｎ個のパルスについて測定された周期の総和Ｔを算出する（図１８ステップＳ１１）。算出された周期の総和Ｔは、記憶部８０に格納される。
ただし、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期の測定方法として、第３の実施の形態の方法を用いる場合には、算出した値の１／２を周期の総和Ｔとする。

補正部８６ａは、度数分布作成部８３ａが作成した度数分布から、基準周期Ｔ０の０．５倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと、基準周期Ｔ０の１．５倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、一定個数Ｎを式（６）のように補正する（図１８ステップＳ１２）。補正後の値Ｎ’は、記憶部８０に格納される。補正部８６ａは、このような補正を２値化出力Ｄ（ｔ）の「１」のパルスがＮ個発生する度に行う。

周波数算出部８７ａは、補正部８６ａが算出した補正後の値Ｎ’と周期和算出部８８が算出した周期の総和Ｔに基づいて、物体１０の振動周波数ｆｓｉｇを式（７）のように算出する（図１８ステップＳ１３）。

その他の構成は、第１の実施の形態と同じである。こうして、本実施の形態のように、周波数計測部８の代わりに周波数計測部８ａを用いる場合においても、物体１０の振動周波数の測定精度を向上させることができる。
第１の実施の形態では、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期の度数分布と２値化出力Ｄ（ｔ）のパルスの数とを求める時間が一定時間Ｔで固定されているため、周期の総和が一定時間Ｔと一致しない場合がある。このため、第１の実施の形態では、物体１０の振動周波数に測定誤差が生じる可能性がある。

これに対して、本実施の形態では、周期和算出部８８で算出される周期の総和が式（７）で用いる時間Ｔと等しくなるようにしたので、第１の実施の形態と同様の効果が得られるだけでなく、振動周波数の測定精度をさらに向上させることができる。

なお、物体１０の振動周波数ｆｓｉｇを求める際の母集団のＴについて、母集団の境目に前記のＮｓに該当するパルスがあると、図１９（Ｂ）、図１９（Ｃ）のように凹凸両方のノイズの可能性が考えられるが、凹のノイズなのか凸のノイズなのか判断できないためＮｓの短いパルスが本来Ｔに含まれるものか否かを判断することが困難であるため、Ｔに誤差が生じる可能性がある。図１９（Ａ）はノイズがない場合、図１９（Ｂ）はＮｓに該当する凹のノイズ１９０が存在する場合、図１９（Ｃ）はＮｓに該当する凸のノイズ１９１が存在する場合を示している。そこで、図１９（Ｂ）、図１９（Ｃ）のような場合には、Ｔの境目の前後にＮｓのパルスがないようにＴを選択すると良い。

［第５の実施の形態］
次に、本発明の第５の実施の形態について説明する。本実施の形態は、信号抽出部の別の構成例を示すものである。図２０は本実施の形態の信号抽出部７ａの構成の１例を示すブロック図である。信号抽出部７ａは、判定部７１と、論理積演算部（ＡＮＤ）７２と、カウンタ７３と、計数結果補正部７４と、記憶部７５とから構成される。判定部７１とＡＮＤ７２とカウンタ７３とは、干渉波形計数手段を構成している。

図２１は計数結果補正部７４の構成の１例を示すブロック図である。計数結果補正部７４は、周期測定部７４０と、度数分布作成部７４１と、代表値算出部７４２と、補正値算出部７４３とから構成される。

図２２（Ａ）〜図２２（Ｆ）は信号抽出部７ａの動作を説明するための図であり、図２２（Ａ）はフィルタ部６の出力電圧の波形、すなわちＭＨＰの波形を模式的に示す図、図２２（Ｂ）は図２２（Ａ）に対応する判定部７１の出力を示す図、図２２（Ｃ）は信号抽出部７ａに入力されるゲート信号ＧＳを示す図、図２２（Ｄ）は図２２（Ｂ）に対応するカウンタ７３の計数結果を示す図、図２２（Ｅ）は信号抽出部７ａに入力されるクロック信号ＣＬＫを示す図、図２２（Ｆ）は図２２（Ｂ）に対応する周期測定部７４０の測定結果を示す図である。

まず、信号抽出部７ａの判定部７１は、図２２（Ａ）に示すフィルタ部６の出力電圧がハイレベル（Ｈ）かローレベル（Ｌ）かを判定して、図２２（Ｂ）のような判定結果を出力する。このとき、判定部７１は、フィルタ部６の出力電圧が上昇してしきい値ＴＨ１以上になったときにハイレベルと判定し、フィルタ部６の出力電圧が下降してしきい値ＴＨ２（ＴＨ２＜ＴＨ１）以下になったときにローレベルと判定することにより、フィルタ部６の出力を２値化する。

ＡＮＤ７２は、判定部７１の出力と図２２（Ｃ）のようなゲート信号ＧＳとの論理積演算の結果を出力し、カウンタ７３は、ＡＮＤ７２の出力の立ち上がりをカウントする（図２２（Ｄ））。ここで、ゲート信号ＧＳは、計数期間（本実施の形態では第１の発振期間Ｐ１または第２の発振期間Ｐ２）の先頭で立ち上がり、計数期間の終わりで立ち下がる信号である。したがって、カウンタ７３は、計数期間中のＡＮＤ７２の出力の立ち上がりエッジの数（すなわち、ＭＨＰの立ち上がりエッジの数）を数えることになる。

一方、計数結果補正部７４の周期測定部７４０は、計数期間中のＡＮＤ７２の出力の立ち上がりエッジの周期（すなわち、ＭＨＰの周期）を立ち上がりエッジが発生する度に測定する。このとき、周期測定部７４０は、図２２（Ｅ）に示すクロック信号ＣＬＫの周期を１単位としてＭＨＰの周期を測定する。図２２（Ｆ）の例では、周期測定部７４０は、ＭＨＰの周期としてＴα，Ｔβ，Ｔγを順次測定している。図２２（Ｅ）、図２２（Ｆ）から明らかなように、周期Ｔα，Ｔβ，Ｔγの大きさは、それぞれ５クロック、４クロック、２クロックである。クロック信号ＣＬＫの周波数は、ＭＨＰの取り得る最高周波数に対して十分に高いものとする。
記憶部７５は、カウンタ７３の計数結果と周期測定部７４０の測定結果を記憶する。

ゲート信号ＧＳが立ち下がり、計数期間が終了した後、計数結果補正部７４の度数分布作成部７４１は、記憶部７５に記憶された測定結果から計数期間中のＭＨＰの周期の度数分布を作成する。
続いて、計数結果補正部７４の代表値算出部７４２は、度数分布作成部７４１が作成した度数分布から、ＭＨＰの周期の中央値（メジアン）Ｔ０を算出する。

計数結果補正部７４の補正値算出部７４３は、度数分布作成部７４１が作成した度数分布から、周期の中央値Ｔ０の０．５倍以下である階級の度数の総和Ｎｓａと、周期の中央値Ｔ０の１．５倍以上である階級の度数の総和Ｎｗａとを求め、カウンタ７３の計数結果を次式のように補正する。
Ｎａ’＝Ｎａ−Ｎｓａ＋Ｎｗａ ・・・（８）

式（８）において、Ｎａはカウンタ７３の計数結果であるＭＨＰの数、Ｎａ’は補正後の計数結果である。式（８）に示した計数結果の補正原理は、図１２を用いて説明した、カウンタ８５の計数結果の補正原理と同じである。

補正値算出部７４３は、式（８）により計算した補正後の計数結果Ｎａ’の値を周波数計測部８，８ａに出力する。信号抽出部７ａは、以上のような処理を第１の発振期間Ｐ１と第２の発振期間Ｐ２の各々について行う。なお、本実施の形態では、ＭＨＰの周期の代表値として中央値を用いたが、ＭＨＰの周期の代表値として最頻値を用いてもよい。

以上、本実施の形態で説明した信号抽出部７ａを、第１〜第４の実施の形態において、信号抽出部７の代わりに使用することが可能である。
信号抽出部７ａによれば、計数期間中のＭＨＰの周期を測定し、この測定結果から計数期間中のＭＨＰの周期の度数分布を作成し、度数分布からＭＨＰの周期の代表値を算出し、度数分布から、代表値の０．５倍以下である階級の度数の総和Ｎｓａと、代表値の１．５倍以上である階級の度数の総和Ｎｗａとを求め、これらの度数ＮｓａとＮｗａに基づいてカウンタの計数結果を補正することにより、ＭＨＰの計数誤差を補正することができるので、物体１０の振動周波数の測定精度を更に向上させることができる。

［第６の実施の形態］
次に、本発明の第６の実施の形態について説明する。第１〜第５の実施の形態では、ＭＨＰ波形を含む電気信号を検出する検出手段としてフォトダイオード２と電流−電圧変換増幅部５とを用いたが、フォトダイオードを使用することなくＭＨＰ波形を抽出することも可能である。図２３は本発明の第６の実施の形態に係る振動周波数計測装置の構成を示すブロック図であり、図１と同様の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の振動周波数計測装置は、第１〜第５の実施の形態のフォトダイオード２と電流−電圧変換増幅部５の代わりに、検出手段として電圧検出回路１１を用いるものである。

電圧検出回路１１は、半導体レーザ１の端子間電圧、すなわちアノード−カソード間電圧を検出して増幅する。半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光とによって干渉が生じるとき、半導体レーザ１の端子間電圧には、ＭＨＰ波形が現れる。したがって、半導体レーザ１の端子間電圧からＭＨＰ波形を抽出することが可能である。

フィルタ部６は、電圧検出回路１１の出力電圧から搬送波を除去する。振動周波数計測装置のその他の構成は、第１〜第５の実施の形態と同じである。
こうして、本実施の形態では、フォトダイオードを使用することなくＭＨＰ波形を抽出することができ、第１〜第５の実施の形態と比較して振動周波数計測装置の部品を削減することができ、振動周波数計測装置のコストを低減することができる。また、本実施の形態では、フォトダイオードを使用しないので、外乱光による影響を除去することができる。

本実施の形態では、レーザドライバ４から半導体レーザ１に供給する駆動電流をレーザ発振のしきい値電流付近に制御することが好ましい。これにより、半導体レーザ１の端子間電圧からＭＨＰを抽出することが容易になる。

なお、第１〜第６の実施の形態において少なくとも信号抽出部７，７ａと周波数計測部８，８ａとは、例えばＣＰＵ、記憶装置およびインタフェースを備えたコンピュータとこれらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。このようなコンピュータを動作させるためのプログラムは、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、メモリカードなどの記録媒体に記録された状態で提供される。ＣＰＵは、読み込んだプログラムを記憶装置に書き込み、このプログラムに従って第１〜第６の実施の形態で説明した処理を実行する。

本発明は、レーザを用いて物体の振動周波数を計測する技術に適用することができる。

本発明の第１の実施の形態に係る振動周波数計測装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第１の実施の形態における半導体レーザの発振波長の時間変化の１例を示す図である。 本発明の第１の実施の形態における電流−電圧変換増幅部の出力電圧波形およびフィルタ部の出力電圧波形を模式的に示す波形図である。 本発明の第１の実施の形態における信号抽出部と周波数計測部の動作を示すフローチャートである。 モードホップパルスについて説明するための図である。 半導体レーザの発振波長とフォトダイオードの出力波形との関係を示す図である。 本発明の第１の実施の形態における周波数計測部の構成の１例を示すブロック図である。 本発明の第１の実施の形態における２値化部の動作を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における周期測定部の動作を説明するための図である。 本発明の第１の実施の形態における周期の度数分布の１例を示す図である。 本発明の第１の実施の形態においてカウンタの計数結果の補正に用いる度数を模式的に表す図である。 本発明の第１の実施の形態におけるカウンタの計数結果の補正原理を説明するための図である。 物体の振動の最大速度と物体との距離の比が半導体レーザの波長変化率よりも小さい場合に、本発明の第１の実施の形態に係る振動周波数計測装置で得られる信号を説明するための図である。 図１３の２値化出力に応じて作成される周期の度数分布を示す図である。 物体の振動の最大速度と物体との距離の比が半導体レーザの波長変化率よりも大きい場合に、本発明の第１の実施の形態に係る振動周波数計測装置で得られる信号を説明するための図である。 本発明の第２の実施の形態における周期測定部の動作を説明するための図である。 本発明の第２の実施の形態における周波数計測部の構成の１例を示すブロック図である。 本発明の第４の実施の形態における信号抽出部と周波数計測部の動作を示すフローチャートである。 ２値化出力にノイズが存在する場合の一定時間の設定の仕方を説明するための図である。 本発明の第５の実施の形態における信号抽出部の構成の１例を示すブロック図である。 図２０の信号抽出部における計数結果補正部の構成の１例を示すブロック図である。 図２０の信号抽出部の動作を説明するための図である。 本発明の第６の実施の形態に係る振動周波数計測装置の構成を示すブロック図である。 従来の計測装置においてフォトダイオードの出力に現れるドップラビート波の１例を示す図およびドップラビート波の傾きから物体の変位の方向を判別する方向判別回路の出力電圧の１例を示す図である。

符号の説明

１…半導体レーザ、２…フォトダイオード、３…レンズ、４…レーザドライバ、５…電流−電圧変換増幅部、６…フィルタ部、７，７ａ…信号抽出部、８，８ａ…周波数計測部、９…表示部、１０…物体、１１…電圧検出回路、７１…判定部、７２…論理積演算部、７３…カウンタ、７４…計数結果補正部、７５…記憶部、８０…記憶部、８１…２値化部、８２，８２ａ…周期測定部、８３，８３ａ…度数分布作成部、８４…基準周期算出部、８５…カウンタ、８６，８６ａ…補正部、８７，８７ａ…周波数算出部、８８…周期和算出部、７４０…周期測定部、７４１…度数分布作成部、７４２…代表値算出部、７４３…補正値算出部。

Claims (14)

1. 測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、
   発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第１の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第２の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振波長変調手段と、
   前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段と、
   この検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々について数える信号抽出手段と、
   時間的に隣接する前記第１、第２の発振期間の計数結果の大小を比較して、これらの計数結果を２値化する２値化手段と、
   この２値化手段から出力された２値化出力の周期を測定する２値化出力周期測定手段と、
   この２値化出力周期測定手段の測定結果から一定時間における２値化出力の周期の度数分布を作成する２値化出力周期度数分布作成手段と、
   前記２値化出力の周期の度数分布から前記２値化出力の周期の分布の代表値である基準周期を算出する基準周期算出手段と、
   前記２値化出力周期度数分布作成手段が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間の期間において前記２値化出力のパルスの数を数える２値化出力計数手段と、
   前記２値化出力の周期の度数分布から、前記基準周期の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと前記基準周期の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて前記２値化出力計数手段の計数結果を補正する補正手段と、
   この補正手段で補正された計数結果と前記一定時間に基づいて前記測定対象の振動周波数を算出する周波数算出手段とを備えることを特徴とする振動周波数計測装置。
2. 測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、
   発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第１の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第２の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振波長変調手段と、
   前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段と、
   この検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々について数える信号抽出手段と、
   時間的に隣接する前記第１、第２の発振期間の計数結果の大小を比較して、これらの計数結果を２値化する２値化手段と、
   この２値化手段から出力された一定個数の２値化出力のパルスについて周期を測定する２値化出力周期測定手段と、
   前記２値化出力の一定個数のパルスについて実施された前記２値化出力周期測定手段の測定結果から前記２値化出力の周期の度数分布を作成する２値化出力周期度数分布作成手段と、
   前記２値化出力の周期の度数分布から前記２値化出力の周期の分布の代表値である基準周期を算出する基準周期算出手段と、
   前記２値化出力周期測定手段の測定結果から前記２値化出力の周期の総和を算出する周期和算出手段と、
   前記２値化出力の周期の度数分布から、前記基準周期の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと前記基準周期の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて前記一定個数を補正する補正手段と、
   この補正手段で補正された値と前記周期和算出手段で算出された周期の総和に基づいて前記測定対象の振動周波数を算出する周波数算出手段とを備えることを特徴とする振動周波数計測装置。
3. 請求項１または２記載の振動周波数計測装置において、
   前記基準周期算出手段は、階級値と度数との積が最大となる階級値を前記基準周期とすることを特徴とする振動周波数計測装置。
4. 請求項１または２記載の振動周波数計測装置において、
   前記信号抽出手段は、
   前記検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第１の発振期間と第２の発振期間の各々について数える干渉波形計数手段と、
   この干渉波形計数手段が干渉波形の数を数える計数期間中の前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に測定する干渉波形周期測定手段と、
   この干渉波形周期測定手段の測定結果から前記計数期間中の干渉波形の周期の度数分布を作成する干渉波形周期度数分布作成手段と、
   前記干渉波形の周期の度数分布から前記干渉波形の周期の分布の代表値を算出する代表値算出手段と、
   前記干渉波形の周期の度数分布から、前記代表値の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓａと、前記代表値の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗａとを求め、これらの度数ＮｓａとＮｗａに基づいて前記干渉波形計数手段の計数結果を補正し、補正後の計数結果を出力する補正値算出手段とからなることを特徴とする振動周波数計測装置。
5. 請求項１または２記載の振動周波数計測装置において、
   前記２値化出力周期測定手段は、前記２値化出力の立ち上がりから次の立ち上がりまでの時間、または前記２値化出力の立ち下がりから次の立ち下がりまでの時間を測定することにより、前記２値化出力の周期を測定することを特徴とする振動周波数計測装置。
6. 請求項１または２記載の振動周波数計測装置において、
   前記２値化出力周期測定手段は、前記２値化出力の立ち上がりから次の立ち下がりまでの時間を測定すると共に、前記２値化出力の立ち下がりから次の立ち上がりまでの時間を測定することにより、前記２値化出力の周期を測定することを特徴とする振動周波数計測装置。
7. 請求項１または２記載の振動周波数計測装置において、
   前記２値化出力周期測定手段は、前記２値化出力の立ち上がりから次の立ち上がりまでの時間を測定すると共に、前記２値化出力の立ち下がりから次の立ち下がりまでの時間を測定することにより、前記２値化出力の周期を測定することを特徴とする振動周波数計測装置。
8. 半導体レーザを用いて測定対象の振動周波数を計測する振動周波数計測方法において、
   発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第１の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第２の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振手順と、
   前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手順と、
   この検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々について数える信号抽出手順と、
   時間的に隣接する前記第１、第２の発振期間の計数結果の大小を比較して、これらの計数結果を２値化する２値化手順と、
   この２値化手順で得られた２値化出力の周期を測定する２値化出力周期測定手順と、
   この２値化出力周期測定手順の測定結果から一定時間における２値化出力の周期の度数分布を作成する２値化出力周期度数分布作成手順と、
   前記２値化出力の周期の度数分布から前記２値化出力の周期の分布の代表値である基準周期を算出する基準周期算出手順と、
   前記２値化出力周期度数分布作成手順が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間の期間において前記２値化出力のパルスの数を数える２値化出力計数手順と、
   前記２値化出力の周期の度数分布から、前記基準周期の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと前記基準周期の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて前記２値化出力計数手順の計数結果を補正する補正手順と、
   この補正手順で補正された計数結果と前記一定時間に基づいて前記測定対象の振動周波数を算出する周波数算出手順とを備えることを特徴とする振動周波数計測方法。
9. 半導体レーザを用いて測定対象の振動周波数を計測する振動周波数計測方法において、
   発振波長が連続的に単調増加する期間を少なくとも含む第１の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する期間を少なくとも含む第２の発振期間とが交互に存在するように前記半導体レーザを動作させる発振手順と、
   前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手順と、
   この検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々について数える信号抽出手順と、
   時間的に隣接する前記第１、第２の発振期間の計数結果の大小を比較して、これらの計数結果を２値化する２値化手順と、
   この２値化手順で得られた一定個数の２値化出力のパルスについて周期を測定する２値化出力周期測定手順と、
   前記２値化出力の一定個数のパルスについて実施された前記２値化出力周期測定手順の測定結果から前記２値化出力の周期の度数分布を作成する２値化出力周期度数分布作成手順と、
   前記２値化出力の周期の度数分布から前記２値化出力の周期の分布の代表値である基準周期を算出する基準周期算出手順と、
   前記２値化出力周期測定手順の測定結果から前記２値化出力の周期の総和を算出する周期和算出手順と、
   前記２値化出力の周期の度数分布から、前記基準周期の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと前記基準周期の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて前記一定個数を補正する補正手順と、
   この補正手順で補正された値と前記周期和算出手順で算出された周期の総和に基づいて前記測定対象の振動周波数を算出する周波数算出手順とを備えることを特徴とする振動周波数計測方法。
10. 請求項８または９記載の振動周波数計測方法において、
    前記基準周期算出手順は、階級値と度数との積が最大となる階級値を前記基準周期とすることを特徴とする振動周波数計測方法。
11. 請求項８または９記載の振動周波数計測方法において、
    前記信号抽出手順は、
    前記検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第１の発振期間と第２の発振期間の各々について数える干渉波形計数手順と、
    この干渉波形計数手順で干渉波形の数を数える計数期間中の前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に測定する干渉波形周期測定手順と、
    この干渉波形周期測定手順の測定結果から前記計数期間中の干渉波形の周期の度数分布を作成する干渉波形周期度数分布作成手順と、
    前記干渉波形の周期の度数分布から前記干渉波形の周期の分布の代表値を算出する代表値算出手順と、
    前記干渉波形の周期の度数分布から、前記代表値の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓａと、前記代表値の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗａとを求め、これらの度数ＮｓａとＮｗａに基づいて前記干渉波形計数手順の計数結果を補正し、補正後の計数結果を出力する補正値算出手順とからなることを特徴とする振動周波数計測方法。
12. 請求項８または９記載の振動周波数計測方法において、
    前記２値化出力周期測定手順は、前記２値化出力の立ち上がりから次の立ち上がりまでの時間、または前記２値化出力の立ち下がりから次の立ち下がりまでの時間を測定することにより、前記２値化出力の周期を測定することを特徴とする振動周波数計測方法。
13. 請求項８または９記載の振動周波数計測方法において、
    前記２値化出力周期測定手順は、前記２値化出力の立ち上がりから次の立ち下がりまでの時間を測定すると共に、前記２値化出力の立ち下がりから次の立ち上がりまでの時間を測定することにより、前記２値化出力の周期を測定することを特徴とする振動周波数計測方法。
14. 請求項８または９記載の振動周波数計測方法において、
    前記２値化出力周期測定手順は、前記２値化出力の立ち上がりから次の立ち上がりまでの時間を測定すると共に、前記２値化出力の立ち下がりから次の立ち下がりまでの時間を測定することにより、前記２値化出力の周期を測定することを特徴とする振動周波数計測方法。

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