JP5080907B2 - Method for producing double-sided metal foil-clad laminate - Google Patents
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本発明は、プリント配線板などの製造に用いられる両面金属箔張り積層板の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a double-sided metal foil-clad laminate used for manufacturing printed wiring boards and the like.
従来より、絶縁層の両面に銅箔等の金属箔を設けた両面金属箔張り積層板であって、絶縁層を貫通するバンプによって両面の金属箔を電気的に接続するもの、所謂、バンプ接続金属箔張り積層板が提案されている(例えば、特許文献1参照)。このような両面金属箔張り積層板の製造は以下のようにして行われる。 Conventionally, a double-sided metal foil-clad laminate in which a metal foil such as a copper foil is provided on both sides of an insulating layer, wherein the metal foils on both sides are electrically connected by bumps penetrating the insulating layer, so-called bump connection A metal foil-clad laminate has been proposed (see, for example, Patent Document 1). Such a double-sided metal foil-clad laminate is manufactured as follows.
まず、金属箔2の上面に複数のバンプ1、1…を形成する。バンプ1は導電ペーストなどを印刷した後に半硬化状態にすることによって、円錐状などの先端(上端)が尖った形状に形成することができる。次に、バンプ1を形成した金属箔2の上面に絶縁シート材3を載置(ビルドアップ)して重ね合わせると共にバンプ1を絶縁シート材3に下側から突き刺して貫通させることによって、絶縁シート材3の上面にバンプ1の先端を突出させる。絶縁シート材3としては樹脂フィルムやプリプレグ(樹脂含浸基材)などを用いることができる。このようにしてバンプ1を形成した金属箔2と絶縁シート材3とを重ね合わせて重ね合わせ物20を形成し、図3(a)に示すように、複数個の重ね合わせ物20、20…を順次作製しつつ積載していく。ここで、上下に隣り合う重ね合わせ物20、20の間には合紙21が介在させている。合紙21は、バンプ1に割れや欠けなどの破損が発生しないように保護する目的及び金属箔2の下面にバンプ1や絶縁シート材3が直接接触しないようにして金属箔2への樹脂や導電性異物などの異物が付着しないようにするための紙である。尚、図3(a)では、積載した複数個の重ね合わせ物20、20…の一部を図示省略している。
First, a plurality of
次に、積載した複数個の重ね合わせ物20、20…を成形工程に搬送した後、図3(b)に示すように、合紙21を除去しながら一つの重ね合わせ物20を積載物から取り出す。この後、取り出した重ね合わせ物20の上にさらに他の金属箔5を載置(ビルドアップ)する。これにより、他の金属箔5が絶縁シート材3の上面に突出したバンプ1の先端に接触した状態で載置される。次に、図3(c)に示すように、金属箔2、5と絶縁シート材3の重ね合わせたものを上下二枚の成形プレート22、22の間に配置し、この後、加熱加圧成形して絶縁シート材3を硬化させることによって、絶縁シート材3から絶縁層を形成すると共に金属箔2、5を絶縁層に接着して一体化する。このようにして両面金属箔張り積層板を形成することができる。
Next, after the plurality of stacked
一般に、上記のような両面金属箔張り積層板の製造工程において、金属箔2、5と絶縁シート材3とをビルドアップする時などの周囲の雰囲気は、極力、クリーン度が高い場所で行うことが理想である。しかし、上記のようにして製造される両面金属箔張り積層板には、バンプ1を形成した金属箔2の表面に打痕(凹み)による成形不良が発生することがあった。この打痕は絶縁シート材3から生じる樹脂粉などの異物6が原因で発生するものである。すなわち、絶縁シート材3の表面で発生した異物6が下側の合紙21の上に落下した後、成形工程への搬送時や成形工程でのハンドリング(作業)などで下側の金属箔2と下側の合紙21とが相互にずれ動くことによって、異物6が下側の金属箔2と下側の合紙21との間に入り込み、この状態で加熱加圧成形されることによって、金属箔2の表面(下面)に異物6が押さえ付けられて打痕が発生するのである。そして、このような打痕が発生すると、外観不良だけでなく、その後の回路パターン形成においてもパターン不良の原因にもなっていた。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、打痕の発生を少なくすることができる両面金属箔張り積層板の製造方法を提供することを目的とするものである。 This invention is made | formed in view of said point, and it aims at providing the manufacturing method of the double-sided metal foil clad laminated board which can reduce generation | occurrence | production of a dent.
本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法は、上面にバンプ1を形成した金属箔2に絶縁シート材3を重ね合わせると共に前記バンプ1を前記絶縁シート材3に突き刺して貫通させることによって、前記絶縁シート材3の上面に前記バンプ1の先端を突出させた重ね合わせ物20を形成し、このバンプ1の先端に接触させるようにして他の金属箔5と前記絶縁シート材3とを重ね合わせ、この後、前記金属箔2、5と前記絶縁シート材3とを加圧成形して一体化する両面金属箔張り積層板の製造方法において、前記他の金属箔5と前記絶縁シート材3とを重ね合わせる前に、前記重ね合わせ物20の上下に合紙21、21を重ね合わせた状態で上下に反転し、その後、前記重ね合わせ物20から前記合紙21、21を除去することを特徴とするものである。
Method for producing both sides a metal foil-clad laminate of the present invention, by penetrating pierce the
本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法は、前記重ね合わせ物20の上下に合紙21、21を重ね合わせた状態で上下に反転した後、前記金属箔2の前記絶縁シート材3と重ね合わせていない方の面に付着する異物6を除去することが好ましい。
The method of manufacturing both sides a metal foil-clad laminate of the present invention, after inverted vertically superposed
本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法は、前記異物6を粘着物7で捕捉して除去することが好ましい。
Method for producing both sides a metal foil-clad laminate of the present invention is preferably removed by capturing the previous SL
本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法は、前記異物6を前記粘着物7で捕捉して除去するにあたって、前記金属箔2にかかる圧力を0.1〜100kPaとすることが好ましい。
Method for producing both sides a metal foil-clad laminate of the present invention, when the pre-Symbol
本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法は、前記金属箔2の前記絶縁シート材3と重ね合わせていない方の面に付着する前記異物6を除去するにあたって、前記金属箔2の表面にプラズマ9を供給することが好ましい。
Method for producing both sides a metal foil-clad laminate of the present invention, in order to remove the
本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法は、前記金属箔2の前記絶縁シート材3と重ね合わせていない方の面に付着する前記異物6を除去するにあたって、前記金属箔2の表面に紫外線10を照射することが好ましい。
Method for producing both sides a metal foil-clad laminate of the present invention, in order to remove the
本発明にあっては、前記他の金属箔5と前記絶縁シート材3とを重ね合わせる前に、前記重ね合わせ物20の上下に前記合紙21、21を重ね合わせた状態で上下に反転し、その後、前記重ね合わせ物20から前記合紙21、21を除去することによって、前記絶縁シート材3の表面に付着している前記異物6を前記合紙21の上に落下させて除去することができ、前記金属箔2、5の表面に前記異物6が付着しにくくなって、打痕の発生を少なくすることができるものである。
In the present onset Ming, inverted before superimposing said
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。 Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described.
まず、金属箔2の上面に複数のバンプ(突起物)1、1…を形成する。ここで、金属箔2として導電性のある任意の材質で任意の厚みのものを使用することができ、例えば、厚み8〜105μmの銅箔を用いることができる。バンプ1は銀ペーストなどの導電ペーストを印刷した後に半硬化状態にすることによって、円錐状などの先端(上端)が尖った形状に形成することができる。バンプ1の大きさや間隔などは任意に設定することができ、例えば、底面の直径が80〜300μmで、高さが80〜300μmに設定することができる。
First, a plurality of bumps (projections) 1, 1... Are formed on the upper surface of the
次に、バンプ1を形成した金属箔2の上面に絶縁シート材3を載置(ビルドアップ)して重ね合わせると共にバンプ1を絶縁シート材3に下側から突き刺して貫通させることによって、絶縁シート材3の上面にバンプ1の先端(上端)を突出させる。絶縁シート材3としては樹脂フィルムやプリプレグ(樹脂含浸基材)などを用いることができる。絶縁シート材3の樹脂としてはエポキシ樹脂やフェノール樹脂などの公知のものを用いることができ、プリプレグの基材としてはガラス不織布やガラス織布等の公知のものを用いることができる。また、絶縁シート材3の厚みも任意に設定することができ、例えば、20〜200μmにすることができる。また、バンプ1の先端は絶縁シート材3の上面から5〜20μm突出させるのが好ましい。このようにしてバンプ1を形成した金属箔2と絶縁シート材3とを重ね合わせて重ね合わせ物20を形成する。
Next, the
本発明では、図1(a)に示すように、複数個の重ね合わせ物20、20…を順次作製しつつ積載していくが、このとき、重ね合わせ物20と合紙21とを交互に積載するようにする。従って、上下に隣り合う重ね合わせ物20、20の間に合紙21が介在した状態で複数個の重ね合わせ物20、20…が積載されている。合紙21は、バンプ1に割れや欠けなどの破損が発生しないように保護する目的及び金属箔2の下面にバンプ1や絶縁シート材3が直接接触しないようにして金属箔2への樹脂や導電性異物などの異物が付着しないようにするための紙である。合紙21としては任意のものを用いることができるが、例えば、フィルムの上下面を無ジン紙で挟んで貼り合わせたもので、厚み100〜1000μmに形成されるものを用いるのが好ましい。尚、図1(a)(b)では、積載した複数個の重ね合わせ物20、20…の一部を図示省略している。
In the present invention, as shown in FIG. 1 (a), a plurality of superposed
次に、複数個の重ね合わせ物20、20…を積載した状態で次工程の成形工程にコンベア等で搬送する。次に、図1(b)に示すように、複数個の重ね合わせ物20、20…の全体を合紙21、21…とともに積載した状態で上下に反転させる。この反転により、金属箔2の上に載置した絶縁シート材3の上面が下向きとなり、絶縁シート材3の上面に付着していた樹脂粉などの異物6が自重により下側の合紙21の上に落下して除去される。従って、金属箔2とその上側の合紙21との間に異物6が進入しにくくなって、異物6による打痕の発生を少なくすることができる。次に、図1(c)に示すように、一つの重ね合わせ物20を積載物から取り出すが、このとき、重ね合わせ物20の上下に合紙21、21を重ね合わせた状態で取り出す。次に、取り出した重ね合わせ物20から上側の合紙21を除去し、金属箔2の上面の光沢面(シャイニー面)を露出させる。次に、金属箔2の上面に付着した樹脂粉などの異物6を除去する。ここで、図1(d)に示すように、異物6を除去するにあたっては粘着物7で捕捉するようにする。粘着物7は異物6を粘着して除去しやすくするためのものであって、松脂のような粘着性のある物質を含有する布などを用いることができ、例えば、「タグラック」と称されるものを用いることができる。また、粘着物7で異物6を除去する場合、金属箔2の上面に付着した異物6を粘着物7で拭き取るようにするが、このときに金属箔2にかかる圧力を0.1〜100kPa(0.01〜1.0kgf/cm2)にするのが好ましい。金属箔2にかかる圧力が0.1kPaより小さいと、異物6の除去が不十分になるおそれがあり、金属箔2にかかる圧力が100kPaより大きいと、バンプ1が割れて破損したり粘着物7が金属箔2に転写したりして外観不良が生じるおそれがある。このようにして異物6を金属箔2の表面から除去することによって、次工程において、異物6が金属箔2の表面に存在する状態で加圧成形されることが少なくなって、打痕の発生を少なくすることができる。
Next, in a state where a plurality of
上記のようにして重ね合わせ物20の金属箔2の表面から異物6を除去した後、この重ね合わせ物20から下側の合紙21を除去してバンプ1を露出させる。この後、重ね合わせ物20のバンプ1を形成した方の面に他の金属箔5を重ね合わせてビルドアップする。これにより、他の金属箔5が絶縁シート材3の下面に突出したバンプ1の先端に接触した状態で配置される。次に、図1(e)に示すように、金属箔2、5と絶縁シート材3の重ね合わせたものを上下二枚の成形プレート22、22の間に配置し、この後、加熱加圧成形して絶縁シート材3を硬化させることによって、絶縁シート材3から絶縁層を形成すると共に金属箔2、5を絶縁層に接着して一体化する。ここで、加熱加圧成形の条件は、絶縁シート材3の樹脂の種類や厚みなどに応じて適宜設定可能であるが、例えば、温度125〜190℃、圧力0.98〜10.3MPa、時間90〜120分とすることができる。このようにしてバンプ1により両面の金属箔2、5が電気的に接続された両面金属箔張り積層板を形成することができる。
After removing the
上記のような本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法において、重ね合わせ物20から粘着物7による異物6の除去の後、重ね合わせ物20に他の金属箔5を重ね合わせる前に、図2に示すように、重ね合わせ物20の異物6の除去した金属箔2の表面にプラズマ9の供給や紫外線10の照射を行うことができる。これにより、プラズマ9や紫外線10で金属箔2の表面に付着している油分等の異物6を分解して除去することができ、油分等の異物6による成形不良を防止することができる。ここで、プラズマ9の供給と紫外線10の照射とはいずれか一方だけでもよく、また、両方を順次行うようにしてもよい。プラズマ9の供給の条件としては、例えば、真空度1.5PaでCO2プラズマを用いた洗浄時間10分間とすることができ、紫外線10の照射の条件としては、例えば、紫外線ランプ300nm、300W×6個、10分間照射とすることができるが、これらに限定されるものではない。
In the manufacturing method of the double-sided metal foil-clad laminate of the present invention as described above, after removing the
そして、上記従来例の方法では、打痕による両面金属箔張り積層板の外観不良率が25%であったが、本発明では打痕による両面金属箔張り積層板の外観不良率が7%に減少した。 And in the method of the above conventional example, the appearance defect rate of the double-sided metal foil-clad laminate due to the dent is 25%, but in the present invention, the appearance failure rate of the double-sided metal foil-clad laminate is 7%. Diminished.
1 バンプ
2 金属箔
3 絶縁シート材
5 金属箔
6 異物
7 粘着物
9 プラズマ
10 紫外線
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