JP5077690B2 - Au-Sn alloy solder paste for printing - Google Patents

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Description

この発明は、Au−Sn合金はんだ微粉末を用いたAu−Sn合金はんだペーストを印刷工法により塗布しリフロー処理してAu−Sn合金はんだを基板などの表面に薄く狭く形成するためのAu−Sn合金はんだペーストに関するものである。   In the present invention, Au-Sn alloy solder paste using Au-Sn alloy solder fine powder is applied by a printing method and reflowed to form Au-Sn alloy solder thinly and narrowly on the surface of a substrate or the like. It relates to an alloy solder paste.

一般に、SAWフィルター、水晶発振子などをセラミックスを主とするパッケージ内に気密封止するための蓋接合材、LED、LD、PD、MEMSなどのダイボンド材、電極材などとしてAu−Sn合金はんだペーストが使用されている。   In general, a Au-Sn alloy solder paste as a lid bonding material for hermetically sealing a SAW filter, a crystal oscillator, etc. in a package mainly made of ceramics, a die bonding material such as LED, LD, PD, and MEMS, and an electrode material Is used.

前記Au−Sn合金はんだペーストはAu−Sn合金はんだ粉末にフラックスを添加し撹拌混合して作製する。そして、通常使用されているAu−Sn合金はんだ粉末はSn:15〜25質量%を含有し、残部がAuおよび不可避不純物からなる成分組成を有することが知られており、このAu−Sn合金はんだ粉末はガスアトマイズにより製造されることおよびその平均粒径D50は10〜40μmの範囲内にあることが知られている。前記Au−Sn合金はんだペーストを塗布する方法の一つとして印刷法が知られており、この印刷法の一つとして例えばステンシル印刷法が知られている。このステンシル印刷法は狭い幅の貫通細溝を有するステンシルマスクを基板の上に載置し、このステンシルマスクの貫通細溝にAu−Sn合金はんだペーストを充填し、その後、ステンシルマスクを除去して貫通細溝に充填されたAu−Sn合金はんだペーストを基板に残して印刷する方法である(非特許文献1参照)。
また、前記フラックスにはロジンがベースとなっているロジン系フラックスが使用され、このロジン系フラックスには、R(溶媒と純粋なロジンだけのロジンフラックス)、RMA(温和な活性があるロジン系フラックス)、RA(活性化ロジンフラックス)の三つに分類され表示されて市販されており、この分類はアメリカ連邦規格に由来するとされている(非特許文献2、3参照)。
そして、前記非特許文献1にはRMAフラックスまたはノンハロゲンフラックス:5〜10質量%、残部:Au−Sn合金はんだ粉末となるように配合したAu−Sn合金はんだペーストは粘度:50〜250Pa・sを有することが記載されている。
第10回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム論文集、Vol.10.2004、P95〜100(財団法人 溶接学会、2004年2月5日発行) 竹本正、佐藤良著「高信頼度マイクロソルダリング技術」(1991年1月11日(株)工業調査会発行、P132〜133) 竹本正、内藤伸一監訳「ソルダリング イン エレクトロニクス」(昭和61年8月30日 日刊工業新聞社発行、P150〜151)
The Au—Sn alloy solder paste is prepared by adding a flux to the Au—Sn alloy solder powder and stirring and mixing. And it is known that normally used Au—Sn alloy solder powder contains Sn: 15 to 25% by mass, and the balance is composed of Au and inevitable impurities, and this Au—Sn alloy solder powder is used. It is known that the powder is produced by gas atomization and that its average particle size D 50 is in the range of 10-40 μm. A printing method is known as one of the methods for applying the Au—Sn alloy solder paste, and for example, a stencil printing method is known as one of the printing methods. In this stencil printing method, a stencil mask having narrow narrow through-grooves is placed on a substrate, the through-thin grooves of this stencil mask are filled with Au-Sn alloy solder paste, and then the stencil mask is removed. In this method, the Au—Sn alloy solder paste filled in the through-thin grooves is left on the substrate for printing (see Non-Patent Document 1).
In addition, a rosin-based flux based on rosin is used as the flux, and this rosin-based flux includes R (rosin flux consisting only of solvent and pure rosin), RMA (rosin-based flux with mild activity). ) And RA (activated rosin flux), classified and displayed on the market, and this classification is said to be derived from US federal standards (see Non-Patent Documents 2 and 3).
In Non-Patent Document 1, the RMA flux or non-halogen flux: 5 to 10% by mass, and the balance: Au—Sn alloy solder paste blended so as to be Au—Sn alloy solder powder has a viscosity of 50 to 250 Pa · s. It is described that it has.
Proceedings of the 10th Symposium on Microjoining and Mounting Technology in Electronics, Vol. 10.2004, P95-100 (Japan Welding Society, issued on February 5, 2004) Tadashi Takemoto and Ryo Sato “High-Reliability Micro Soldering Technology” (published on January 11, 1991, Industrial Research Council, P132-133) Translated by Tadashi Takemoto and Shinichi Naito “Soldering in Electronics” (August 30, 1986, published by Nikkan Kogyo Shimbun, P150-151)

近年、セラミックスを主とするパッケージはますます小型化している。それに伴って前記パッケージの気密封止するために塗布されるAu−Sn合金はんだペーストの幅をますます薄く狭くすることが求められている。この薄く狭い幅のAu−Sn合金はんだペースト塗布膜をステンシル印刷法により形成するためには、ステンシルマスクの厚さを一層薄くし、さらにステンシルマスクに設けられている貫通細溝の幅を一層狭くしなければならない。しかし、ステンシルマスクの貫通細溝の幅を狭くするにつれて得られるAu−Sn合金はんだペーストは非塗布部分を有する切れた線状に印刷されるようになり、このAu−Sn合金はんだペーストが切れた線状に印刷された状態でリフロー処理するとAu−Sn合金はんだが形成されない部分が発生し、例えば、セラミックスパッケージの気密封止を行うと、Au−Sn合金はんだの非接合部分が発生して十分な気密保持を行うことができないという問題点が生じてきた。 In recent years, ceramic-based packages have become increasingly smaller. Accordingly, it is required to make the width of the Au—Sn alloy solder paste applied for hermetic sealing of the package thinner and narrower. In order to form this thin and narrow Au—Sn alloy solder paste coating film by the stencil printing method, the thickness of the stencil mask is further reduced, and the width of the through-grooves provided in the stencil mask is further reduced. Must. However, the Au-Sn alloy solder paste obtained as the through-thin groove width of the stencil mask becomes narrower is printed in a cut line shape having a non-coated portion, and this Au-Sn alloy solder paste is cut. When the reflow process is performed in a linearly printed state, a portion where the Au—Sn alloy solder is not formed is generated. For example, when the ceramic package is hermetically sealed, a non-joined portion of the Au—Sn alloy solder is generated and sufficient A problem has arisen that it is impossible to maintain a tight airtightness.

そこで、本発明者らはかかる課題を解決すべく研究を行った。その結果、
(イ)Au−Sn合金はんだペーストが点線状に断続的に印刷されるのはステンシルマスクの貫通細溝の幅が狭くなるにつれてAu−Sn合金はんだペーストがステンシルマスクの貫通細溝にまんべんなく充填されず、非塗布部分を有する切れた線状に印刷されることによるものであること、
(ロ)従来のAu−Sn合金はんだペーストに含まれるAu−Sn合金はんだ粉末の平均粒径D50は10〜40μmの範囲内にあるが、Au−Sn合金はんだペーストに含まれるAu−Sn合金はんだ粉末を一層微細にし、平均粒径D50を5μm未満でかつ最大粒径:10μm以下とし、さらにAu−Sn合金はんだペーストの粘度を180〜300Pa・sの範囲に調整したAu−Sn合金はんだペーストは、ステンシルマスクの貫通細溝の幅が一層狭くなっても貫通細溝にまんべんなく充填することができ、Au−Sn合金はんだペーストの断続的な塗布層とはならない、
(ハ)前記平均粒径D50:5μm未満、最大粒径:10μm以下の微細なAu−Sn合金はんだ粉末に混合するフラックスは、一般に知られているロジン系フラックス(RMAフラックス、Rフラックス、RAフラックスなど)の内でもRAフラックスが好ましい、などの研究結果が得られたのである。
Therefore, the present inventors have studied to solve such problems. as a result,
(B) The Au-Sn alloy solder paste is printed intermittently in dotted lines because the Au-Sn alloy solder paste is evenly filled into the through-slots of the stencil mask as the width of the through-slots of the stencil mask is reduced. Without being printed on a cut line having a non-coated portion,
(B) an average particle diameter D 50 of the Au-Sn alloy solder powder contained in the conventional Au-Sn alloy solder paste is in the range of 10 to 40 [mu] m, Au-Sn alloy contained in the Au-Sn alloy solder paste the solder powder to finer average particle diameter D 50 of and maximum particle size less than 5 [mu] m: and 10μm or less, further Au-Sn alloy solder paste Au-Sn alloy solder viscosity was adjusted to a range of 180~300Pa · s of Even if the width of the through-slot groove of the stencil mask is further narrowed, the paste can be filled evenly in the through-slot, and does not become an intermittent coating layer of the Au-Sn alloy solder paste.
(C) The flux mixed with the fine Au—Sn alloy solder powder having an average particle size D 50 of less than 5 μm and a maximum particle size of 10 μm or less is a generally known rosin flux (RMA flux, R flux, RA). Among them, research results such as RA flux being preferable are obtained.

この発明は、かかる研究結果に基づいてなされたものであって、
RAフラックス:5.0〜7.5質量%を含有し、残部がSn:15〜25質量%を含有し、残り:Auおよび不可避不純物からなる成分組成を有するAu−Sn合金はんだ粉末からなる印刷用Au−Sn合金はんだペーストであって、前記印刷用Au−Sn合金はんだペーストの粘度は180〜300Pa・sの範囲内にあり、さらに前記印刷用Au−Sn合金はんだペーストに含まれるAu−Sn合金はんだ粉末は平均粒径:5μm未満でかつ最大粒径:10μm以下の粒度分布を有するAu−Sn合金はんだ粉末である印刷用Au−Sn合金はんだペーストに特徴を有するものである。
The present invention has been made based on the results of such research,
RA flux: 5.0 to 7.5% by mass, balance of Sn: 15 to 25% by mass, remainder: Au—Sn alloy solder powder having a component composition consisting of Au and inevitable impurities Au—Sn alloy solder paste for printing, wherein the viscosity of the printing Au—Sn alloy solder paste is in the range of 180 to 300 Pa · s, and further included in the Au—Sn alloy solder paste for printing The alloy solder powder is characterized by an Au—Sn alloy solder paste for printing, which is an Au—Sn alloy solder powder having an average particle size of less than 5 μm and a maximum particle size of 10 μm or less.

この発明の印刷用Au−Sn合金はんだは下記の方法で作製する。まず、Sn:15〜25質量%を含有し、残りがAuおよび不可避不純物からなる成分組成を有するAu−Sn合金を溶解し、得られた溶湯を不活性ガスを噴射してガスアトマイズすることによりAu−Sn合金はんだ粉末を製造し、このようにして製造したAu−Sn合金はんだ粉末を分級して粒度調整し、平均粒径D50:5μm未満、最大粒径:10μm以下の微細なAu−Sn合金はんだ粉末を製造する。 The Au—Sn alloy solder for printing according to the present invention is produced by the following method. First, by dissolving an Au—Sn alloy having a component composition containing Sn: 15 to 25% by mass and the remainder consisting of Au and inevitable impurities, the obtained molten metal is injected with an inert gas to be gas atomized. -Sn alloy solder powder was produced, and the Au-Sn alloy solder powder thus produced was classified to adjust the particle size, and fine Au-Sn having an average particle size D 50 of less than 5 µm and a maximum particle size of 10 µm or less Produces alloy solder powder.

このようにして得られた微細なAu−Sn合金粉末をRAフラックスと混合してAu−Sn合金はんだペーストを作製する。このときAu−Sn合金はんだ粉末に配合するRAフラックスの量は5.0〜7.5質量%の範囲内にあるように配合し混合してAu−Sn合金はんだペーストの粘度を180〜300Pa・sの範囲内にあるようにすることが一層好ましい。 The fine Au—Sn alloy powder thus obtained is mixed with RA flux to prepare an Au—Sn alloy solder paste. At this time, the amount of RA flux blended in the Au—Sn alloy solder powder is blended so as to be in the range of 5.0 to 7.5 mass%, and the viscosity of the Au—Sn alloy solder paste is 180 to 300 Pa · More preferably, it is within the range of s.

この発明の印刷用Au−Sn合金はんだペーストに含まれるAu−Sn合金はんだ粉末の成分組成は一般にAu−Sn合金はんだとして知られている範囲であるのでその成分組成の限定理由の説明は省略する。
この発明の印刷用Au−Sn合金はんだペーストに含まれるAu−Sn合金はんだ粉末の粒度を平均粒径D50:5μm以下、最大粒径:10μm以下に限定したのは、Au−Sn合金はんだ粉末の平均粒径D50が5μmを越え、最大粒径が10μmを越えると、貫通細溝の幅が一層狭くかつ厚さが一層薄いステンシルマスク(例えば、幅:60〜80μm、厚さ:15〜20μm)を使用してステンシル印刷した場合に部分的に途切れた断続的な印刷がなされるので好ましくないからである。
また、平均粒径D50:5μm以下でかつ最大粒径:10μm以下の微細なAu−Sn合金はんだ粉末に市販のRAフラックスを5.0〜7.5質量%混合して得られたAu−Sn合金はんだペーストであっても粘度が180Pa・s未満であると、粘度が低すぎて、ステンシル印刷時の版抜け性が悪く、さらに版抜け後にペーストがダレ安くなるので好ましくなく、一方、粘度が300Pa・sを越えると、粘度が高すぎて、ステンシル上で良好なローリング性を有さなくなるので好ましくない。したがって、この発明の印刷用Au−Sn合金はんだペーストの粘度は180〜300Pa・sの範囲内に定めた。
この発明の印刷用Au−Sn合金はんだペーストに含まれるフラックスをRAフラックスに限定しているのは、RAフラックスは5μmアンダーのAu−Sn合金粉末はAu−Sn合金粉末表面の酸化膜を除去して溶融・凝集させる作用が顕著であるが、その他のフラックスではAu−Sn合金粉末表面の酸化膜を除去して溶融・凝集する作用が弱いからである。
Since the component composition of the Au-Sn alloy solder powder contained in the printing Au-Sn alloy solder paste of this invention is in a range generally known as Au-Sn alloy solder, explanation of the reasons for limiting the component composition is omitted. .
The Au—Sn alloy solder powder contained in the printing Au—Sn alloy solder paste of the present invention is limited to the average particle size D 50 : 5 μm or less and the maximum particle size: 10 μm or less. the average particle diameter D 50 exceeds the 5 [mu] m, the maximum particle diameter exceeds 10 [mu] m, a thin stencil mask width further narrower and the thickness of the through fine grooves more (e.g., width: 60 to 80 m, thickness: 15 This is because, when stencil printing is performed using 20 μm), intermittent printing partially interrupted is not preferable.
Further, Au—obtained by mixing 5.0 to 7.5% by mass of commercially available RA flux with fine Au—Sn alloy solder powder having an average particle size D 50 of 5 μm or less and a maximum particle size of 10 μm or less. Even if it is a Sn alloy solder paste, if the viscosity is less than 180 Pa · s, the viscosity is too low, the plate slippage property at the time of stencil printing is bad, and the paste becomes dull and cheap after the plate slippage. Is more than 300 Pa · s, the viscosity is too high, and it does not have good rolling properties on the stencil, which is not preferable. Therefore, the viscosity of the printing Au—Sn alloy solder paste of the present invention is set in the range of 180 to 300 Pa · s.
The flux contained in the printing Au-Sn alloy solder paste of this invention is limited to the RA flux. The RA flux removes the oxide film on the surface of the Au-Sn alloy powder when the Au-Sn alloy powder is under 5 μm. This is because the effect of melting and agglomerating is remarkable, but the other flux has a weak effect of melting and aggregating by removing the oxide film on the surface of the Au—Sn alloy powder.

この発明のAu−Sn合金はんだペーストは印刷に際して非印刷部分が発生することが無く、したがって、従来のAu−Sn合金はんだペーストに比べて接合部の信頼性が優れており、最終製品の不良品発生率も減少してコストを低減することができ、産業上優れた効果をもたらすものである。   The Au—Sn alloy solder paste according to the present invention does not generate a non-printed portion during printing. Therefore, the reliability of the joint is superior to the conventional Au—Sn alloy solder paste, and the final product is defective. The rate of occurrence can also be reduced to reduce the cost, and an excellent industrial effect can be achieved.

高周波溶解炉により溶解して得られたAu−Sn合金はんだ溶湯をガスアトマイズすることによりSn:20質量%を含有し残部がAuおよび不可避不純物からなる成分組成を有するAu−Sn合金はんだ粉末を作製し、このガスアトマイズして得られたAu−Sn合金はんだ粉末を分級装置を用いて分級し、分級して得られたAu−Sn合金はんだ粉末の粒度分布をマイクロトラック(日機装製MT3300)を用いて測定し、表1に示される平均粒径D50および最大粒径を有するAu−Sn合金はんだ粉末A〜Gを作製した。 By gas atomizing the Au—Sn alloy solder melt obtained by melting in a high-frequency melting furnace, an Au—Sn alloy solder powder containing Sn: 20% by mass and the balance consisting of Au and inevitable impurities is produced. The Au—Sn alloy solder powder obtained by gas atomization was classified using a classifier, and the particle size distribution of the Au—Sn alloy solder powder obtained by classification was measured using a microtrack (MT3300 manufactured by Nikkiso). Then, Au—Sn alloy solder powders A to G having the average particle diameter D 50 and the maximum particle diameter shown in Table 1 were produced.

Figure 0005077690
Figure 0005077690

さらに、市販のRAフラックスおよびRMAフラックスを用意し、このRAフラックスおよびRMAフラックスに表1の平均粒径および最大粒径が異なるAu−Sn合金はんだ粉末A〜Gを、表2に示される量のRAフラックスと混合し、表2に示される粘度を有する本発明Au−Sn合金はんだペースト(以下、本発明ペーストという)1〜6、比較Au−Sn合金はんだペースト(以下、比較ペーストという)1〜3および従来Au−Sn合金はんだペースト(以下、従来ペーストという)1を作製した。 Further, commercially available RA flux and RMA flux are prepared, and Au—Sn alloy solder powders A to G having different average particle sizes and maximum particle sizes shown in Table 1 are added to the RA flux and RMA flux in the amounts shown in Table 2. The present invention Au—Sn alloy solder paste (hereinafter referred to as “present paste”) 1 to 6 and the comparative Au—Sn alloy solder paste (hereinafter referred to as “comparative paste”) 1 to 6 having a viscosity shown in Table 2 mixed with RA flux. 3 and a conventional Au—Sn alloy solder paste (hereinafter referred to as a conventional paste) 1 were prepared.

さらに、コバール製板を用意し、この板の表面にNiメッキ層(厚さ:5μm)を形成し、このNiメッキ層の最表面にさらにAuメッキ層(厚さ:0.1μm)を施すことにより基板を作製し用意した。
さらに、パッケージサイズ1610(長さ:1.6mm、幅:1.0mm)のAu−Sn合金はんだ枠を形成するために、幅:60μmの枠状貫通細溝が100個設けられている厚さ:15μmの印刷用ステンシルマスクを用意した。
前記基板の上に前記印刷用ステンシルマスクを載せ、本発明ペースト1〜6、比較ペースト1〜3および従来ペースト1を印刷用ステンシルマスク上に供給し、基板用印刷機を用いて印刷し、印刷用ステンシルマスクを除去したのちベルト炉を用い、N雰囲気下、ピーク温度:320℃の条件でリフロー処理した。リフロー処理した後の基板上には、フラックス残渣が残っているので洗浄した。基板に100個形成されたAu−Sn合金はんだ枠の短辺の中点部、長辺の中点部の平均幅と平均厚みを3次元測定機(Nikon製 NEXIV VMR−3020)を用いて測定し、100個のAu−Sn合金はんだ枠の内でAu−Sn合金はんだが乗っていない非形成部が生成したAu−Sn合金はんだ枠の数をカウントし、その結果を表2に示した。
Furthermore, a Kovar plate is prepared, a Ni plating layer (thickness: 5 μm) is formed on the surface of the plate, and an Au plating layer (thickness: 0.1 μm) is further applied to the outermost surface of the Ni plating layer. A substrate was prepared and prepared.
Furthermore, in order to form an Au—Sn alloy solder frame having a package size 1610 (length: 1.6 mm, width: 1.0 mm), a thickness in which 100 frame-shaped through-grooves having a width: 60 μm are provided. : A 15 μm printing stencil mask was prepared.
The stencil mask for printing is placed on the substrate, the pastes 1 to 6 of the present invention, the comparative pastes 1 to 3 and the conventional paste 1 are supplied onto the stencil mask for printing, printed using a substrate printing machine, and printed. After removing the stencil mask, a belt furnace was used, and reflow treatment was performed in a N 2 atmosphere at a peak temperature of 320 ° C. Since the flux residue remained on the substrate after the reflow treatment, the substrate was cleaned. Measure the average width and average thickness of the short-side midpoint and long-side midpoint of 100 Au-Sn alloy solder frames formed on a substrate using a three-dimensional measuring machine (Nikon NEXIV VMR-3020). Then, the number of Au—Sn alloy solder frames in which the non-formed portion on which the Au—Sn alloy solder was not placed was counted among the 100 Au—Sn alloy solder frames was counted, and the results are shown in Table 2.

Figure 0005077690
Figure 0005077690

表1〜2に示される結果から、比較ペースト1〜3を用いて基板表面に形成したAu−Sn合金はんだ枠の幅および厚さはバラツキが大きく、さらにAu−Sn合金はんだが乗っていない非形成部分が発生して接合不良があり、さらに従来ペースト1はAu−Sn合金はんだ枠を形成しないが、平均粒径:5μm未満、最大粒径:10μm以下を有するAu−Sn合金はんだ粉末A〜Fを含む本発明ペースト1〜6を用いて基板表面に形成したAu−Sn合金はんだ枠の幅および厚さはバラツキが小さく、さらにAu−Sn合金はんだが乗っていない非形成部分が発生していないことから、本発明ペースト1〜6は比較ペースト1〜3および従来ペースト1に比べて信頼性に優れたはんだ接合を行うことができることがわかる。 From the results shown in Tables 1 and 2, the width and thickness of the Au—Sn alloy solder frame formed on the substrate surface using the comparative pastes 1 to 3 vary widely, and the Au—Sn alloy solder is not on the surface. A formed portion is generated and there is a bonding failure. Further, the conventional paste 1 does not form an Au—Sn alloy solder frame, but an Au—Sn alloy solder powder A to having an average particle size of less than 5 μm and a maximum particle size of 10 μm or less. The width and thickness of the Au—Sn alloy solder frame formed on the substrate surface using the pastes 1 to 6 of the present invention containing F are small in variation, and a non-formed portion on which no Au—Sn alloy solder is placed is generated. From this, it can be seen that the pastes 1 to 6 of the present invention can perform solder bonding with higher reliability than the comparative pastes 1 to 3 and the conventional paste 1.

Claims (1)

RAフラックス:5.0〜7.5質量%を含有し、残部がSn:15〜25質量%を含有し、残り:Auおよび不可避不純物からなる成分組成を有するAu−Sn合金はんだ粉末からなる印刷用Au−Sn合金はんだペーストであって、前記印刷用Au−Sn合金はんだペーストの粘度は180〜300Pa・sの範囲内にあり、さらに前記印刷用Au−Sn合金はんだペーストに含まれるAu−Sn合金はんだ粉末は平均粒径:5μm未満でかつ最大粒径:10μm以下の粒度分布を有するAu−Sn合金はんだ粉末であることを特徴とする印刷用Au−Sn合金はんだペースト。 RA flux: 5.0 to 7.5% by mass, balance of Sn: 15 to 25% by mass, remainder: Au—Sn alloy solder powder having a component composition consisting of Au and inevitable impurities Au—Sn alloy solder paste for printing, wherein the viscosity of the printing Au—Sn alloy solder paste is in the range of 180 to 300 Pa · s, and further included in the Au—Sn alloy solder paste for printing A printing Au-Sn alloy solder paste, wherein the alloy solder powder is an Au-Sn alloy solder powder having an average particle size of less than 5 m and a maximum particle size of 10 m or less.
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