JP5049342B2 - バリヤー・フルオロポリマー・フィルムをベースとするライナーおよびそれを含むパッケージング - Google Patents
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Description
本出願は、2006年6月2日に出願された米国仮出願第60/810,393号の利益を主張する。
1)エッチングされたPFAの内側、PENバリヤー、エッチングされたPFAの外側
2)エッチングされたPFAの内側、ポリアミド・バリヤー、エッチングされたPFAの外側(外側はエッチングされなくても、ポリアミドに付着していなくてもよい)
3)エッチングされたPFAの内側、タイ層、ガラスコーティング・ポリアミド(内側PFAの方にガラス)、エッチングされたPFAの外側(これは、湿気およびガス・バリヤー性の両方を実現する。タイ層は、比較的高温特性ならびにガラスおよびエッチングされたPFAの両方に接着する能力を有する高純度材料、例えば、改質PVDF、ETFE、またはECTFEであることが好ましい(これらのフルオロポリマーの「タイ層」タイプの材料は市販である))
4)エッチングされたPFAの内側、PEEK、エッチングされたPFAの外側
5)PFAの内側、タイ層、PEEK、エッチングされたPFAの外側
6)エッチングされたPFAの内側、金属または金属酸化物(PFA上にPVDまたはCVDコーティング)、PFAまたはPEEKの外層
7)エッチングされたPFAの内側、タイ層、金属ラミネート
8)エッチングされたPFAの内側、LCP、エッチングされたPFAの外側
9)エッチングされたPFAの内側、タイ層、LCP、タイ層、エッチングされたPFAの外側
10)エッチングされたPFAの内側、PCTFE、エッチングされたPFAの外側
いずれの場合にも、FEPよりも優れている亀裂抵抗を有し、半導体グレードで利用可能であるため、好ましい一実施形態としてPFAを選択した。しかし、それは最も高価であるため、PTFEまたはFEPの代替物を用いることができる。ECTFEもまた代用することができる。PFAは、フィルム・スタックに面している側にエッチングまたは他の表面処理をすることが望ましい(ポリアミドに対して)。PTFEを使用することができたが、他の材料への接着を可能にするために一般に化学エッチング(例えば、ナトリウムナフタラートでエッチング)しなければならない。これは金属汚染の可能性を生じ、環境に優しくない。FEPフィルムもまた、優れた耐化学性を有するため濡れ面として使用することができた。それはまた、プラズマによって効果的にエッチングすることができる。FEPは、いくつかの用途における輸送の間のピンホールに耐えるような十分な亀裂抵抗を有さない場合がある。外側フィルムは、融解およびヒーター・バーへの張り付きまたは劣化することなしに、PFAを共に溶着する熱に対処できる必要がある。バリヤー層はまた、溶着プロセスに対処する十分な温度特性も有さなくてはならない。それらは融解する場合があるが、劣化するべきではない。ポリアミド、LCP、およびPEEKはこの特性を示しており、十分に高いバリヤー性を有する。PCTFEは、また他の材料に接着するためにエッチングを必要とし、限定された温度特性を有するため、いくつかの実施形態ではバリヤー・フィルムとして適切ではない場合がある。
Claims (37)
- 容器ライナーであって、その部分に沿って接着されて、内部容積の境界を画する少なくとも1つの周辺シームを形成する少なくとも1つのシートを含み、前記少なくとも1つのシートが、フルオロポリマー・フィルム層、バリヤー・フィルム層、および第3のフィルム層を含み、(i)前記フルオロポリマー・フィルム層が、少なくともその周辺部分に沿って前記バリヤー・フィルム層に接着され、(ii)前記第3の層が、少なくともその周辺部分に沿って前記バリヤー・フィルム層に接着され、ここで、前記フルオロポリマー・フィルム層が、前記内部容積と接触し、前記バリヤー・フィルム層が、前記フルオロポリマー・フィルム層と前記第3の層との間に配置され;
前記ライナーが:
(i)前記フルオロポリマー・フィルム層および前記バリヤー・フィルム層が、その周辺部分に沿って接着され、前記少なくとも1つのシート内で第1のギャップまたはポケットをそれらの間に画定する;
(ii)前記第3の層および前記バリヤー・フィルム層が、その周辺部分に沿って接着され、前記少なくとも1つのシート内で第2のギャップまたはポケットをそれらの間に画定する;および
(iii)前記少なくとも1つのシートが、前記容器ライナーの全ての層に伸びて、前記内部容積と接着した前記少なくとも1つの周辺シームを形成する周辺共通溶着部を含み、そして前記少なくとも1つのシートがラミネーション部を含む;
のいずれか1以上によって特徴付けられる、容器ライナー。 - 前記フルオロポリマー・フィルム層および前記バリヤー・フィルム層が、その周辺部分に沿って接着され、前記少なくとも1つのシート内で第1のギャップまたはポケットをそれらの間に画定する、請求項1に記載の容器ライナー。
- 前記第3の層および前記バリヤー・フィルム層が、その周辺部分に沿って接着され、前記少なくとも1つのシート内で第2のギャップまたはポケットをそれらの間に画定する、請求項1に記載の容器ライナー。
- 前記少なくとも1つのシートが、前記容器ライナーの全ての層に伸びて、前記内部容積と接着した前記少なくとも1つの周辺シームを形成する周辺共通溶着部を含む、請求項1に記載の容器ライナー。
- 前記ラミネーション部が、前記共通溶着部から6.4ミリメートル以下だけ内側に配置されている周辺共通ラミネーション部を含み、前記共通ラミネーション部が前記少なくとも1つのシートの全ての層に伸びる、請求項4に記載の容器ライナー。
- 前記少なくとも1つのシートが、第1のシートおよび第2のシートを含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の容器ライナー。
- 以下の(i)および(ii)のうち少なくとも1つのグループの層が、実質的にその全体の大部分の表面に沿って接着され、前記少なくとも1つのシートを形成する、請求項4又は5に記載の容器ライナー:(i)前記フルオロポリマー・フィルム層および前記バリヤー・フィルム層、ならびに(ii)前記バリヤー・フィルム層および前記第3の層。
- 前記周辺共通ラミネーション部および前記周辺共通溶着部が実質的に一致する、請求項5に記載の容器ライナー。
- 前記少なくとも1つのシートのいずれかのシートに接着している開口部画定フィットメントをさらに含み、前記フィットメントが、前記少なくとも1つのシートより実質的に硬質である、請求項1〜8のいずれか1項に記載の容器ライナー。
- 前記バリヤー・フィルム層が、ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリモノクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)、ポリエステル、ポリエチレンナフタレート(PEN)、液晶ポリマー(LCP)、金属、酸化物、炭素材料、有機・無機複合材料、および上記のいずれかのブレンド、複合材料、コーティング、または組合せのいずれかを含む、請求項1〜9のいずれか1項に記載の容器ライナー。
- 前記フルオロポリマー・フィルム層が、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ペルフルオロアルコキシ(PFA)、フッ化エチレンプロピレン(FEP)、エチレンクロロトリフルオロエチレン(ECTFE)、および上記の2つ以上のブレンド、複合材料、または組合せのいずれかを含む、請求項1〜10のいずれか1項に記載の容器ライナー。
- 前記フルオロポリマー・フィルム層が、約13ミクロン〜約250ミクロンの範囲の厚さを有する、請求項1〜11のいずれか1項に記載の容器ライナー。
- 前記バリヤー・フィルム層が、溶剤溶着、熱および圧力下の圧密化、スポット接着、フィラメント溶着、超音波溶着、熱ラミネーション、同時押出、押出ラミネーション、押出コーティング、ならびに中間接着剤またはタイ層の使用のいずれかの方法によって、(i)フルオロポリマー・フィルム層および(ii)第3のフィルム層に接着されている、請求項1〜12のいずれか1項に記載の容器ライナー。
- (i)前記フルオロポリマー・フィルム層が、前記バリヤー・フィルム層への接着性を向上するように処理されている、
(ii)前記第3のフィルム層が、前記バリヤー・フィルム層への接着性を向上するように処理されている、および
(iii)前記バリヤー・フィルム層が、前記フルオロポリマー・フィルム層および前記第3のフィルム層のいずれかへの接着性を向上するように処理されている
のいずれ1以上によって特徴付けられる、請求項1〜13のいずれか1項に記載の容器ライナー。 - (i)前記フルオロポリマー・フィルム層および前記バリヤー・フィルム層、ならびに(ii)前記バリヤー・フィルム層および前記第3のフィルム層、の各々が、このような処理の後に、その隣接する表面の少なくとも周辺部分に沿って約5ダイン/cm以下の表面エネルギー差を有する、請求項14に記載の容器ライナー。
- 前記バリヤー・フィルムが、約13ミクロン〜約250ミクロンの範囲の厚さを有する、請求項1〜15のいずれか1項に記載の容器ライナー。
- 前記少なくとも1つのシートが、約75ミクロン〜約175ミクロンの範囲の厚さを有する、請求項1〜10のいずれか1項に記載の容器ライナー。
- 前記第3のフィルム層が、
(i)前記フッ化ポリマー層と実質的に同一の組成、
(ii)前記フッ化ポリマー層と実質的に同一の熱膨張係数、
(iii)前記バリヤー層より実質的に高い融解温度、
(iv)その融点の少なくとも90パーセントの絶対温度に加熱した場合、実質的に粘着しない表面特性
のいずれかによって特徴付けられる、請求項1〜17のいずれか1項に記載の容器ライナー。 - 前記第3のフィルム層が、中密度ポリエチレン(MDPE)、直鎖状低密度ポリエチレン(LLDPE)、MDPEとブレンドしたLLDPE、ポリアミド、エチレンビニルアルコール(EVOH)、および高密度ポリエチレン(HDPE)のいずれかを含む、請求項1〜18のいずれか1項に記載の容器ライナー。
- 前記フルオロポリマー・フィルム層、前記バリヤー層、および前記第3の層の少なくとも1つがブロック防止剤を含む、請求項1〜19のいずれか1項に記載の容器ライナー。
- 前記ライナーからの材料の、外部加圧による分配に適合された、請求項1〜20のいずれか1項に記載の容器ライナー。
- オーバーパック容器内に配置された請求項1〜21のいずれかに記載の容器ライナーを含む材料保管および分配パッケージであって、前記容器が、前記少なくとも1つのシートより実質的に硬質であり、前記容器の内側表面および前記ライナーの外側表面が加圧可能な空間の境界を画し、そして前記容器が前記加圧可能な空間を加圧するよう適合された膨張ガス源と接続しており、それによって前記ライナーの内容物を分配する、材料保管および分配パッケージ。
- 前記ライナーが化学試薬を保持する、請求項22に記載の材料保管および分配パッケージ。
- 前記化学試薬が、前記ライナー中にゼロまたはゼロに近いヘッド・スペース構造で保持される、請求項23に記載の材料保管および分配パッケージ。
- 内部容積の境界を画する少なくとも1つの周辺シームを形成するよう、少なくとも1つのシートをその部分に沿って接着するステップであって、前記少なくとも1つのシートが(i)少なくともその周辺部分に沿ってバリヤー・フィルム層に接着されるフルオロポリマー・フィルム層、および(ii)少なくともその周辺部分に沿って前記バリヤー・フィルム層に接着される第3の層、を含み、前記フルオロポリマー・フィルム層が前記内部容積と接触し、前記バリヤー・フィルム層が前記フルオロポリマー・フィルム層と前記第3の層との間に配置されており、そして、少なくとも1つのギャップまたはポケットが(a)前記フルオロポリマー・フィルム層と前記バリヤー・フィルム層、および(b)前記第3の層と前記バリヤー・フィルム層、のいずれかの間に形成され、ここで、前記接着するステップが、前記周辺シームをもたらすよう、前記容器ライナーの全ての層に伸びる周辺共通溶着部の形成を含むステップ;および
前記少なくとも1つのシートの全ての層に伸びるラミネーション部を形成するステップ;
を含む方法。 - 前記ラミネーション部が、前記共通溶着部から6.4ミリメートル以下だけ内側に配置されている周辺共通ラミネーション部含む、請求項25に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのシートが、第1のシートおよび第2のシートを含む、請求項25または26に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの周辺シームの形成が、同時に前記少なくとも1つのシートの(i)前記フルオロポリマー・フィルム層と前記バリヤー・フィルム層の間、および(ii)前記バリヤー・フィルム層と前記第3のフィルム層の間、の接着を行う、請求項25または26に記載の方法。
- 開口部画定フィットメントを、前記少なくとも1つのシートのいずれかに接着するステップをさらに含み、前記フィットメントが、前記少なくとも1つのシートより実質的に硬質である、請求項25〜28のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ラミネーション部および前記溶着部が実質的に一致する、請求項25〜29のいずれか1項に記載の方法。
- 前記フルオロポリマー・フィルム層、前記バリヤー・フィルム層、および前記第3のフィルム層のいずれかを処理し、(i)前記フルオロポリマー・フィルム層と前記バリヤー・フィルム層、および(ii)前記バリヤー・フィルム層と前記第3のフィルム層、のいずれかの間の接着を向上させるステップをさらに含む、請求項25〜30のいずれか1項に記載の方法。
- (i)前記フルオロポリマー・フィルム層および前記バリヤー・フィルム層、ならびに(ii)前記バリヤー・フィルム層および前記第3のフィルム層、の各々が、このような処理の後に、その隣接する表面の少なくとも周辺部分に沿って約5ダイン/cm以下の表面エネルギー差を有する、請求項25〜31のいずれか1項に記載の方法。
- (i)前記フルオロポリマー・フィルム層および前記バリヤー・フィルム層、ならびに(ii)前記バリヤー・フィルム層および前記第3のフィルム層、のいずれかを、実質的にその全体の大部分の表面に沿って接着して、前記少なくとも1つのシートを形成するステップをさらに含む、請求項25〜32のいずれか1項に記載の方法。
- 前記バリヤー・フィルムが、ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリモノクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)、ポリエステル、ポリエチレンナフタレート(PEN)、液晶ポリマー(LCP)、金属、酸化物、炭素、有機・無機複合材料、および上記の2つ以上のブレンド、複合材料、コーティング、または組合せのいずれかを含む、請求項25〜33のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第3のフィルム層が、
(i)前記フッ化ポリマー層と実質的に同一の組成、
(ii)前記フッ化ポリマー層と実質的に同一の熱膨張係数、
(iii)前記バリヤー層より実質的に高い融解温度、
(iv)その融点の少なくとも90パーセントの絶対温度に加熱した場合、実質的に粘着しない表面特性
のいずれかを特徴とする、請求項25〜34のいずれか1項に記載の方法。 - 前記ライナーをオーバーパック容器に挿入するステップ、および前記ライナーと前記オーバーパック容器との間の加圧可能な空間に圧力をかけ、前記ライナーの任意の内容物を分配するステップをさらに含む、請求項25〜35のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ライナーから半導体またはマイクロ電子デバイス製造のための化学試薬を分配するステップをさらに含む、請求項25〜36のいずれか1項に記載の方法。
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