JP5044418B2 - イオンビーム測定装置および方法 - Google Patents
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Description
Claims (20)
- イオンビーム測定装置であって、
前記イオンビームを受ける一の開口と、
前記開口に隣接して配置された一の負にバイアスされる電極と、
前記負にバイアスされる電極に隣接して配置された一の正にバイアスされる電極と、
前記正にバイアスされる電極に隣接して配置された一の選択的にバイアスされる電極と、
一のコレクタと、
を備え、
前記選択的にバイアスされる電極は、負または正に選択的にバイアスされ得る、イオンビーム測定装置。 - 前記装置は、前記選択的にバイアスされる電極が負にバイアスされる場合、一のイオンビームの一の電流を測定する、請求項1に記載の装置。
- 前記負にバイアスされる電極により、複数の低エネルギー電子が前記装置から実質的に排除される、請求項2に記載の装置。
- 前記正にバイアスされる電極により、複数の低エネルギーイオンが前記装置から実質的に排除される、請求項2に記載の装置。
- 複数の高エネルギーイオンが前記コレクタにぶつかる、請求項2に記載の装置。
- 前記コレクタから発せられた複数の低エネルギー電子は、前記選択的にバイアスされる電極により実質的に抑制され、前記コレクタ内に保持される、請求項2に記載の装置。
- 前記装置は、前記選択的にバイアスされる電極が正にバイアスされる場合、前記イオンビーム内の一のレベルのエネルギー汚染を測定する、請求項1に記載の装置。
- 複数の減速された正イオンは、前記正にバイアスされる電極および前記選択的にバイアスされる電極の少なくとも1つにより、前記コレクタに到達するのを実質的に阻まれる、請求項7に記載の装置。
- 複数の高エネルギー中性粒子が前記コレクタにぶつかる、請求項7に記載の装置。
- 前記コレクタから解放された複数の電子は、前記正にバイアスされる電極および前記選択的にバイアスされる電極の少なくとも1つにより収集される、請求項7に記載の装置。
- 前記装置は、前記選択的にバイアスされる電極が負にバイアスされる場合、前記イオンビームの一の電流を測定し、前記選択的にバイアスされる電極が正にバイアスされる場合、前記イオンビームにおける一のレベルのエネルギー汚染を測定する、請求項1に記載の装置。
- 一のイオンビーム内の一の電流、および、一のレベルのエネルギー汚染の1つを選択的に測定する方法であって、
一の装置を提供する工程であって、前記装置は、
前記イオンビームを受ける一の開口と、
前記開口に隣接して配置された一の負にバイアスされる電極と、
前記負にバイアスされる電極に隣接して配置される一の正にバイアスされる電極と、
前記負にバイアスされる電極に隣接して配置され、負または正に選択的にバイアスされ得る一の選択的にバイアスされる電極と、
一のコレクタと、
を備える工程と、
前記イオンビーム内の一の電流を測定すべく、前記選択的にバイアスされる電極に対し一の負のバイアスを選択し、前記イオンビーム内の一のレベルのエネルギー汚染を測定すべく、前記選択的にバイアスされる電極に対し一の正のバイアスを選択する工程と、
を含む方法。 - 前記選択的にバイアスされる電極が負にバイアスされる場合、複数の低エネルギー電子は、前記負にバイアスされる電極により前記装置から実質的に排除される、請求項12に記載の方法。
- 前記選択的にバイアスされる電極が負にバイアスされる場合、複数の低エネルギーイオンは、前記正にバイアスされる電極により前記装置から実質的に排除される、請求項12に記載の方法。
- 前記選択的にバイアスされる電極が負にバイアスされる場合、複数の高エネルギーイオンが前記コレクタにぶつかる、請求項12に記載の方法。
- 前記選択的にバイアスされる電極が負にバイアスされる場合、前記コレクタから発せられる複数の低エネルギー電子は、前記選択的にバイアスされる電極により実質的に抑制され、前記コレクタ内に保持される、請求項12に記載の方法。
- 前記選択的にバイアスされる電極が正にバイアスされる場合、複数の減速される正イオンは、前記正にバイアスされる電極および前記選択的にバイアスされる電極の少なくとも1つにより、前記コレクタに到達することを実質的に阻まれる、請求項12に記載の方法。
- 前記選択的にバイアスされる電極が正にバイアスされる場合、複数の高エネルギー中性粒子が前記コレクタにぶつかる、請求項12に記載の方法。
- 前記選択的にバイアスされる電極が正にバイアスされる場合、前記コレクタから解放された複数の電子は、前記正にバイアスされる電極および前記選択的にバイアスされる電極の少なくとも1つにより収集される、請求項12に記載の方法。
- イオンビーム測定装置であって、
前記イオンビームを受ける一の開口と、
前記イオンビーム内の一の電流、および、一のレベルのエネルギー汚染の1つを選択的に測定する複数の電極を含む一の測定デバイスと、
一のコレクタと、
を含むイオンビーム測定装置。
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