JP5036834B2 - 半導体装置 - Google Patents

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Description

この発明は半導体装置に関し、特に、一定の電圧レベルの電圧が伝達される内部ノードを安定に一定電圧レベルに維持するための構成に関する。より特定的には、この発明は、外部電源電圧を降圧して内部電源電圧を生成する内部降圧回路の構成および内部電圧安定化の構成に関する。
半導体記憶装置の高密度および高集積化の進展に伴って構成要素である素子が微細化される。この微細化された素子の信頼性の改善、信号線の振幅の低減による高速化および低消費電力化のために内部動作電源電圧が低くされる。一方において、外部装置であるプロセサおよび論理ＬＳＩ（大規模集積回路）は、半導体記憶装置ほど微細化は進展していない。したがって、半導体記憶装置を用いて処理システムを構築する場合、プロセサなどの電源電圧によりシステム電源電圧が決定される。単一電源のシステムを構築するために半導体記憶装置内部において外部電源電圧（システム電源電圧）を所望のレベルに降圧して内部電源電圧を生成する。この内部電源電圧を生成するために内部降圧回路が用いられる。
図１３３は、従来の内部降圧回路の構成を概略的に示す図である。図１３３において、内部降圧回路１０は、外部電源電圧ＶＣＥと接地電圧ＶＳＳから一定の電圧レベルの基準電圧Ｖｒｅｆを生成する基準電圧発生回路４と、内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧発生回路４からの基準電圧Ｖｒｅｆを比較する比較回路３と、比較回路３の出力信号に応答して外部電源ノード（パッド）から内部電源線５へ電流を供給するｐチャネルＭＯＳトランジスタ２を含む。比較回路３は、その正入力に内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩを受け、その負入力に基準電圧発生回路４からの基準電圧Ｖｒｅｆを受ける。したがって、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも高いときには、その比較回路３の出力信号の電位レベルは上昇する。
内部電源線５には、この内部電源電圧ＶＣＩを使用する負荷回路７が設けられる。この負荷回路７は、内部電源電圧ＶＣＩを一方動作電源電圧として動作する回路であってもよく、またこの内部電源電圧ＶＣＩと接地電圧ＶＳＳから一定の中間電圧（たとえば（ＶＣＩ＋ＶＳＳ）／２）を生成する回路であってもよく、また所定の信号線をこの内部電源電圧ＶＣＩレベルに充電する回路（たとえばセンスアンプ）であってもよい。いずれの構成においても、この負荷回路７は、動作時には内部電源電圧ＶＣＩを使用して動作する回路であればよい。次にこの図１３３に示す内部降圧回路の動作を図１３４に示す波形図を参照して説明する。 内部電源電圧ＶＣＩが一定の電圧レベル（基準電圧Ｖｒｅｆのレベル）のとき、比較回路３の出力信号は所定の電圧レベルにある。負荷回路７が動作して内部電源電圧ＶＣＩを使用した場合、この内部電源線５から負荷回路７へ電流が流れ、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルは低下する。内部電源電圧ＶＣＩが低下すると、比較回路３の出力信号の電圧レベルが低下し、応じてｐチャネルＭＯＳトランジスタ（以下、ドライブトランジスタと称す）２のコンダクタンスが低下し、外部電源ノード１から内部電源線５へ流れる電流が増加する。このドライブトランジスタ２を介して流れる電流が負荷回路７が消費する電流よりも多くなると、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが上昇する。内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが上昇して基準電圧Ｖｒｅｆよりも高くなると、比較回路３の出力信号の電圧レベルが上昇し、ドライブトランジスタ２のコンダクタンスが低下する。これによりドライブトランジスタ２から内部電源線５へ与えられる電流量は低減または遮断される。すなわち、内部電源電圧ＶＣＩは基準電圧Ｖｒｅｆよりも高い場合には、ドライブトランジスタ２は電流を遮断または供給電流量を低減する。内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも低くなった場合には、ドライブトランジスタ２は多くの電流を外部電源ノード１から内部電源線５へ供給する。これによって内部電源電圧ＶＣＩは基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルに維持される。
外部電源電圧を降圧して内部電源電圧を発生する構成は、特許文献１（特開昭６１−１９５４１５号公報）および特許文献２（特開平３−６３８０５号公報）に示されている。
特開昭６１−１９５４１５号公報 特開平３−６３８０５号公報
従来の内部降圧回路の構成においては、ドライブトランジスタ２、内部電源線５および比較回路３によりフィードバックループが形成される。このフィードバックループを利用した内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルの調整動作は以下のステップを含む。
（ａ） 定常状態での比較回路３の出力信号は一定レベルである。この一定レベルは、今、ドライブトランジスタ２を完全にオフ状態にするＨレベル（たとえば外部電源電圧ＶＣＥレベル）とする。
（ｂ） 負荷回路７が動作し、内部電源線５から電流を消費し、内部電源電圧ＶＣＩが低下する。
（ｃ） 比較回路３が内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆを比較し、その出力信号のレベルを低下させる。
（ｄ） ドライブトランジスタ２がオン状態となり、外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給する。
（ｅ） 内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが回復する。
（ｆ） 比較回路３が内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆとを比較し、その出力信号の電圧レベルを上昇させる。
（ｇ） ドライブトランジスタ２がオフ状態となる。
フィードバックループを用いた制御においては、内部電源電圧ＶＣＩの変化が比較回路３で検出され、次いで比較回路３の出力信号に従ってドライブトランジスタ２のゲート電位が調整され、ドライブトランジスタ２の電流供給量が調整される。したがって、内部電源電圧ＶＣＩが変化してからドライブトランジスタ２の電流供給量が調整されるまでには時間遅れが生じる。この状況を図１３５を用いて説明する。
図１３５は、内部電源電圧ＶＣＩと比較回路３の出力信号との関係を模式的に示す図である。図１３５においては、比較回路３の出力信号は内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆが等しくなったときには一定の電圧レベルのＨレベルに設定される状態を説明を簡略化するために示す。
内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが低下したとき、少し遅れて比較回路３の出力信号が低下する。したがって、比較回路３の出力信号に従ってドライブトランジスタ２の電流供給量が大きくされる場合には、既に内部電源電圧ＶＣＩはさらに大きく変化している。この大きく変化した内部電源電圧ＶＣＩをもとの電圧レベルに回復させるために大きな電流が外部電源ノード１から内部電源線５へ供給される（比較回路３は、後に詳細に説明するが、差動増幅回路の構成を備えている）。また、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルに回復しても、ドライブトランジスタ２は、遅れてオフ状態となるため、内部電源電圧ＶＣＩは基準電圧Ｖｒｅｆよりも上昇し、内部電源電圧ＶＣＩにオーバーシュートが生じる。このオーバーシュートは、内部電源線５に存在するインダクタンス成分によりリンギングを生じさせるかまたは負荷回路７の動作により内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが低下する。この状態が繰り返され、ドライブトランジスタ２のオン状態時に外部電源ノード１から内部電源線５へ電流が供給される。
一方、実現すべき理想的な応答波形においては、内部電源電圧ＶＣＩの変化に即座に応答してドライブトランジスタ２を介して内部電源線５へ電流を供給する。このとき、内部電源電圧ＶＣＩの変化量は小さく（電流供給タイミングが早いため）、高速で内部電源電圧ＶＣＩが元の基準電圧Ｖｒｅｆのレベルへ復帰する。このときドライブトランジスタ２を介して流れる電流量も小さく、大きなオーバーシュートは生じず、内部電源電圧ＶＣＩは安定に基準電圧Ｖｒｅｆのレベルに復帰する。
理想応答波形と従来の内部降圧回路の動作波形との比較から明らかなように、従来の内部降圧回路の構成では、内部電源電圧ＶＣＩが急激に変化したとき、内部電源電圧ＶＣＩにオーバーシュート／アンダーシュートが生じ、不安定となり、負荷回路７の安定動作を保証することができない。
また、この応答の遅れにより負荷回路７が動作し、内部電源電圧ＶＣＩが急激に変化した場合、ドライブトランジスタ２は遅れてオン状態となるため、この内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが大きく低下するという問題もあった。
上述のような問題は、一般に、内部降圧回路のみならず、所定の電圧レベルに保持すべき出力信号を比較回路にフィードバックし、比較回路がフィードバックされた出力信号に基づいてその出力信号のレベルを制御するフィードバック制御系において生じる。
また、負荷回路が動作するとき、その電源ノードから電流を出力ノードへ供給して出力ノードの信号を電源ノード上の電圧レベルにまで駆動する。したがって、電源ノードの電圧がこの電流消費のために変動し、電源ノイズが発生する。このとき、この電源ノードから電流を供給される他の回路の入出力信号のレベルがこの電源ノードの電圧の変動に従って変動し、これらの他の回路で誤動作が生じるという問題が発生する。
特に、半導体記憶装置の動作時において、ビット線充放電時に大きな電流を消費するセンスアンプにおいては、電源ノードの電圧が変動すると、センスアンプトランジスタの駆動力が低下し（トランジスタのソース−ゲート間電位差が小さくなるため）、高速でセンス動作を行なうことができなくなるという問題が生じ、またこの電源ノードの電圧変動が大きい場合には、ビット線上の論理を誤って検知し、誤ったセンス動作を行なうという問題が生じる。
それゆえ、この発明の目的は、一般的に、内部ノード上の電圧レベルを安定に一定のレベルに保持することのできる半導体装置を提供することである。
この発明の特定的な目的は、内部電源電圧および内部高電圧などの内部電圧を安定に供給することのできる半導体装置を提供することである。
この発明のさらに他の目的は、消費電流の小さな内部降圧回路を備える半導体装置を提供することである。
この発明のさらに他の目的は、安定かつ高速の動作するセンスアンプを備える半導体記憶装置を提供することである。
この発明の第１の観点に係る半導体装置は、複数の内部電源線と、これら複数の内部電源線各々に対応して設けられ、各々が関連の活性化信号に応答して活性化され、外部電源電圧を降圧して内部電源電圧を生成し、該生成した内部電源電圧を対応の内部電源線上へ伝達する複数の活性内部降圧手段と、各関連の活性化信号の活性および非活性にかかわらず常時活性状態とされ、外部電源電圧から内部電源電圧を生成して複数の内部電源線へ伝達する常時内部降圧手段とを備える。
この発明の第２の観点に係る半導体装置は、外部電源電位供給ノードに互いに並列に接続され、各々が外部電源電位と異なるレベルの内部電源電圧を発生する複数の内部電源電圧発生回路と、動作タイミング信号に対応してこれら複数の内部電源電圧発生回路を時分割態様で活性化する活性制御手段とを備える。
この発明の第３の観点に係る半導体装置は、複数の互いに電圧レベルの異なる基準電圧を発生する基準電圧発生手段と、基準電圧を指定する基準電圧指定信号を発生する手段と、この基準電圧指定信号に応答して基準電圧発生手段が出力する複数の基準電圧のうちの１つの基準電圧を選択する選択手段と、この基準電圧選択手段が選択する基準電圧と内部電圧線上の電圧とを比較する比較手段と、この比較手段の出力信号に従って電圧源ノードと内部電圧線との間を流れる電流量を調整するドライブ素子とを備える。
この発明の第１の観点に係る半導体装置においては、複数の内部電源線各々に内部降圧手段が設けられており、内部降圧手段の各々は活性化時対応の内部電源線の電圧変化に追随して内部電源電圧のレベルを調整する。したがって個々の内部降圧手段の出力の負荷が軽減され、高速で内部電源電圧の変化に追随して安定に内部電源電圧のレベルを調整することができる。また、スタンバイ時には常時降圧手段が内部電源電圧を複数の内部電源線に共通に与え、かつそれらの内部電源線上の電圧レベルを調整する。スタンバイ時においては、内部回路は動作せず、消費電流はごくわずかであり、小さな駆動力の常時内部降圧手段により、低消費電流で安定に所定の電圧レベルの内部電源電圧を生成することができる。また、常時内部降圧手段は複数の内部電源線に共有されるため、この内部降圧手段の規模を低減することができる。
この発明の第２の観点に係る半導体装置においては、活性制御手段が、動作タイミング信号に従って複数の内部電源電圧発生回路を時分割態様で活性化し、半導体装置の動作状況に応じて最適な駆動力を持って内部電源電圧が発生される。
この発明の第３の観点に係る半導体装置においては、複数の電圧レベルの基準電圧から、内部電圧線上の電圧レベルを基準電圧指定信号に従って選択し、この選択された基準電圧に従って比較回路およびドライブ素子により内部電圧線上の電圧レベルを設定しているため、この半導体装置の使用用途に応じて最適な内部電圧レベルを設定することができる。
この発明の第１の実施例である内部電源電圧発生回路の構成を概略的に示す図である。 この発明の第１の実施例である内部電源電圧発生回路の動作を説明するための図である。 図２に示す構成の動作を示す信号波形図である。 図１および図２に示す構成の負荷回路動作時における動作を説明するための波形図である。 図１に示す構成における抵抗素子と比較回路の出力段の抵抗との対応関係を説明するための図である。 図５に示す構成の利点を説明するための図である。 この発明の第１の実施例である内部電源電圧発生回路の第１の具体的構成を示す図である。 この発明の第１の実施例である内部電源電圧発生回路の第２の具体的構成を示す図である。 この発明の第１の実施例である内部電源電圧発生回路の第３の具体的構成を示す図である。 この発明の第１の実施例である内部電源電圧発生回路の第４の具体的構成を示す図である。 この発明の第１の実施例である内部電源電圧発生回路の第５の具体的構成を示す図である。 図１１に示す構成の動作を説明するための図である。 この発明の第１の実施例である内部電源電圧発生回路の第１の変更例を示す図である。 図１３に示す構成の動作を説明するための波形図である。 この発明の第１の実施例である内部電源電圧発生回路の第２の変更例を示す図である。 この発明の第２の実施例である内部電源電圧発生回路の構成を示す図である。 図１６に示す回路の動作を説明するための信号波形図である。 この発明の第２の実施例である内部電源電圧発生回路の第１の具体的構成を示す図である。 この発明の第２の実施例である内部電源電圧発生回路の第２の具体的構成を示す図である。 この発明の第２の実施例である内部電源電圧発生回路の第３の具体的構成を示す図である。 図２０に示す構成の動作を示す信号波形図である。 この発明の第２の実施例である内部電源電圧発生回路の第４の具体的構成を示す図である。 図２２に示す動作を説明するための信号波形図である。 図２２に示す回路の適用例を説明するための図である。 この発明の第３の実施例である内部電源電圧発生回路の概念的構成を示す図である。 図２５に示す回路の動作を示す信号波形図である。 図２５に示す構成の負荷回路の具体例を示す図である。 図２７に示す回路構成の動作を示す信号波形図である。 この発明の第３の実施例である内部電源電圧発生回路の第１の具体的構成を示す図である。 この発明の第３の実施例である内部電源電圧発生回路の第２の具体的構成を示す図である。 この発明の第３の実施例である内部電源電圧発生回路の第３の具体的構成を示す図である。 図３１に示す充電部の具体的構成を示す図である。 この発明の第３の実施例である内部電源電圧発生回路の第４の具体的構成を示す図である。 この発明の第３の実施例である内部電源電圧発生回路の第５の具体的構成を示す図である。 この発明の第４の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。 図３５に示す半導体装置の動作を示す信号波形図である。 この発明の第４の実施例の第１の変更例の構成を示す図である。 図３７に示す半導体装置の動作を示す信号波形図である。 この発明の第５の実施例の構成を示す図である。 図３９に示す半導体装置の動作を示す信号波形図である。 （ａ）はこの発明の第５の実施例の第１の変更例の構成を示し、（ｂ）は（ａ）に示す装置の動作を示す信号波形図である。 この発明の第５の実施例の第２の変更例の構成および動作を示す図である。 この発明の第６の実施例の半導体装置の構成および動作を示す図である。 この発明の第７の実施例の半導体装置の要部の構成を示す図である。 図４４に示す半導体装置の動作を示す信号波形図である。 この発明の第７の実施例の第１の変更例の構成を示す図である。 図４６に示す半導体装置の動作を示す信号波形図である。 この発明の第７の実施例の第２の変更例の構成を示す図である。 この発明の第８の実施例である内部電源電圧発生回路の構成を示す図である。 図４９に示す回路の動作を示す信号波形図である。 この発明の第８の実施例である内部電源電圧発生回路の第１の変更例の構成を示す図である。 図５１に示す回路の動作を示す信号波形図である。 この発明の第８の実施例である内部電源電圧発生回路の第２の変更例の構成を示す図である。 図５３に示す回路構成の動作を示す信号波形図である。 この発明の第９の実施例である内部電源電圧発生回路の概略構成を示す図である。 図５５に示す回路構成の動作を示す信号波形図である。 この発明の第９の実施例である内部電源電圧発生回路の第１の具体的構成を示す図である。 この発明の第９の実施例である内部電源電圧発生回路の第２の具体的構成を示す図である。 この発明の第９の実施例である内部電源電圧発生回路の第３の具体的構成を示す図である。 この発明の第１０の実施例である内部電源電圧発生回路の全体の構成を概略的に示す図である。 図６０に示す内部電源電圧発生回路の第１の具体的構成を示す図である。 図６１に示す内部電源電圧発生回路の動作を示す信号波形図である。 図６１に示す第１および第２の差動増幅回路の具体的構成を示す図である。 図６１に示す内部電源電圧発生回路の第２の具体的構成を示す図である。 この発明の第１１の実施例である半導体記憶装置の全体の構成を示す図である。 図６５に示す周辺用内部降圧回路の概略構成を示すブロック図である。 図６５に示す基準電圧発生部の動作を説明するための図である。 図６５に示す基準電圧発生部の具体的構成を示す図である。 図６５に示す内部電圧発生部の具体的構成を示す図である。 図６５に示すアレイ用内部降圧発生回路の構成を示すブロック図である。 図７０に示す内部電圧発生部の第１の変更例を示す図である。 図７０に示す内部電圧発生部の第２の変更例を示す図である。 この発明の第１２の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。 図７３に示す半導体装置の動作を示す信号波形図である。 この発明の第１３の実施例である半導体装置の要部の構成を概略的に示す図である。 図７５に示す半導体装置の動作を示す信号波形図である。 図７５に示す半導体装置の動作の変更例を示す図である。 この発明の第１３の実施例の変更例を示す図である。 図７８に示す動作タイミング信号を発生するための回路構成を概略的に示す図である。 この発明の第１４の実施例である半導体装置の構成を示す図である。 この発明の第１４の実施例の変更例を示す図である。 この発明の第１５の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。 図８０に示す動作タイミング信号を発生するための構成を示す図である。 図８０に示す動作タイミング信号を発生するための他の構成を示す図である。 この発明の第１６の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。 図８５に示す動作モード指定信号を発生するための構成を示す図である。 この発明の第１７の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。 この発明の第１９の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。 図８８に示す選択信号発生回路の構成を概略的に示す図である。 図８８に示す選択信号発生回路の他の構成を示す図である。 この発明の第１８の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。 図９１に示す動作モード指定信号を発生する構成を示す図である。 この発明の第１８の実施例の第１の変更例の構成を示す図である。 この発明の第１８の実施例の第２の変更例の構成を示す図である。 この発明の第１９の実施例である半導体装置の構成を概略的に示す図である。 図９５に示す周波数検出器および選択情報発生器の構成を概略的に示す図である。 図９５に示す選択情報発生器の他の構成を示す図である。 この発明の第１９の実施例の変更例の構成を示す図である。 この発明の第２０の実施例である半導体装置の要部の構成を概略的に示す図である。 図９９に示す半導体装置の動作を示す信号波形図である。 図９９に示す昇圧電圧発生回路およびレベル検出器の構成を概略的に示す図である。 図９９に示す昇圧電圧発生回路の他の構成を示す図である。 図９９に示す昇圧電圧発生回路の第２の変更例の構成を示す図である。 図９９に示す昇圧電圧発生回路の第３の変更例の構成を示す図である。 図９９に示す昇圧電圧発生回路の第４の変更例の構成を示す図である。 図９９に示すリングオシレータの構成を示す図である。 この発明の第２０の実施例の第１の変更例の構成を示す図である。 図１０７に示す構成の変更例を示す図である。 図１０８の負電流制御部の構成を示す図である。 図１０９に示す回路の動作を示す図である。 この発明の第２３の実施例である半導体装置の構成を概略的に示す図である。 この発明の第２３の実施例の変更例の構成を示す図である。 この発明の第２４の実施例の半導体装置の構成を概略的に示す図である。 この発明の第２５の実施例の半導体装置の要部の構成を示す図である。 図１１４に示す線Ａ−Ａに沿った断面構造を概略的に示す図である。 この発明の第２５の実施例の第１の変更例を示す図である。 この発明の第２５の実施例の第２の変更例を示す図である。 この発明の第２６の実施例の半導体装置の構成を概略的に示す図である。 図１１８に示すダミーリードの配置を説明するための図である。 図１１８に示すダミーリードと内部回路との接続を示す図である。 図１１８に示すダミーリードと内部回路との接続の他の構成を示す図である。 この発明の第２６の実施例の変更例を示す図である。 この発明の第２７の実施例の半導体装置の構成を概略的に示す図である。 図１２３におけるダミーリードおよびフレームリードの垂直方向の位置関係を示す図である。 この発明の第２６の実施例の変更例の構成を示す図である。 この発明の第２８の実施例の半導体装置の要部の構成を示す図である。 この発明の第２８の実施例の第１の変更例の構成を示す図である。 この発明の第２８の実施例の第２の変更例の構成を示す図である。 この発明の第２９の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。 この発明の第２９の実施例の半導体装置の変更例の構成を示す図である。 この発明の第２９の実施例の冗長部の構成を示す図である。 この発明の第３０の実施例の半導体装置の構成を概略的に示す図である。 従来の内部降圧回路の構成を示す図である。 図１３３に示す回路の動作を概略的に説明するための図である。 図１３３に示す従来の内部降圧回路の問題点を説明するための信号波形図である。
以下、この発明の実施例について説明する。以下の説明において、本発明の実施例として、外部電源電圧を降圧して内電源電圧を生成する内部降圧回路について説明するが、本発明は所定の電圧レベルに保持すべき内部ノードの電圧レベルを調整する回路にも適用することができる。まず、本発明の内部降圧回路の特徴的構成をブロックのレベルで模式的に説明し、最後に本発明を具体化した半導体記憶装置における内部降圧回路の構成について説明する。
［実施例１］
図１は、この発明に従う内部電源電圧発生回路の第１の実施例の構成を概略的に示す図である。図１において、内部電源電圧発生回路は、内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧発生回路４からの基準電圧Ｖｒｅｆを比較する比較回路３と、外部電源ノード１と比較回路３の出力部（ノード６）との間に接続される抵抗素子Ｚ１と、ノード６と接地電圧供給ノード（以下、単に接地ノードと称す）ＶＳＳの間に接続される抵抗素子Ｚ２と、ノード６上の電圧に従って外部電源ノード１から内部電源線５上へ電流を供給するドライブトランジスタ２を含む。外部電源ノード１は、外部電源電圧ＶＣＥを伝達する外部電源線であってもよく、また外部からの電源電圧が印加されるパッドであってもよい。この外部電源ノード１と接地ノードＶＳＳの間に直列に接続される抵抗素子Ｚ１およびＺ２により、比較回路３の出力信号の振幅を制限する。簡単に図１に示す構成の動作について説明する。
比較回路３の出力信号がローレベル側に変化した場合、外部電源ノード１から電流が抵抗素子Ｚ１を介してノード６に供給され、このノード６の電圧の低下を抑制する。逆に、比較回路３の出力信号はＨレベルに向かって変化した場合には、抵抗素子Ｚ２がこのノード６から接地ノードＶＳＳに電流を流すため、ノード６の電圧上昇が抑制される。抵抗素子Ｚ１および２による比較回路３の出力信号の振幅制限効果は、比較回路３の出力信号の電圧レベルが抵抗素子Ｚ１およびＺ２が抵抗分割によりノード６に与えるバイアス電圧より大きくずれるほど大きくなる。すなわち、比較回路３の出力信号の振幅が大きくなるほどこの比較回路３の利得（基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源電圧ＶＣＩとの差に対する出力信号の振幅の比）が小さくされる。これにより、内部電源電圧ＶＣＩが急激に変化したときの比較回路３の出力信号の発振現象を抑制することができる。次に、この抵抗素子Ｚ１およびＺ２による振幅制限の作用について具体的に説明する。
今、図２に示すように、比較回路３の出力段においては、外部電源ノード１とノード６の間にスイッチング素子ＳＷ１と抵抗素子Ｚｕが接続され、またノード６と接地ノードＶＳＳの間に抵抗Ｚｄとスイッチング素子ＳＷ２が接続されている構成を想定する。スイッチング素子ＳＷ１およびＳＷ２は相補的にオン・オフ状態となる。この比較回路３の出力段の構成については後に詳細に説明する。今、ノード６の電位は、初期状態において抵抗素子Ｚ１およびＺ２により所定電圧にバイアスされているとする。抵抗素子Ｚ１およびＺ２の抵抗値をそれぞれＲ１およびＲ２とすると、ノード６の電圧が、初期状態において、
Ｖ（初期）＝Ｒ２・ＶＣＥ／（Ｒ１＋Ｒ２）
で与えられる。内部電源電圧ＶＣＩが所定の電圧レベル（基準電圧Ｖｒｅｆ）よりも低下したとき、比較回路３の出力信号の電圧レベルは低下し、ドライブトランジスタ２のコンダクタンスが初期状態のそれよりも大きくされ、このドライブトランジスタ２を流れる電流Ｉが大きくされる。この状態において、比較回路３においては、スイッチング素子ＳＷ２がオン状態となり、ノード６を接地ノードＶＳＳへ放電する。このとき、ノード６の最終到達電位は、
Ｖ＝（Ｒ２／／Ｒｄ）・ＶＣＥ／（Ｒ１＋（Ｒ２／／Ｒｄ））
で与えられる。ただし、Ｒ２／／Ｒｄは並列に接続された抵抗素子Ｚ２およびＺｄの合成抵抗値を示す。ただし、抵抗素子Ｚｄの抵抗値はＲｄとしている。すなわち、
（Ｒ２／／Ｒｄ）＝Ｒ２・Ｒｄ／（Ｒ２＋Ｒｄ）
で与えられる。したがって、抵抗素子Ｚ１およびＺ２が設けられていない場合には、このノード６の最低到達電位は接地電圧ＶＳＳである。
また、ノード６の電圧レベルが上昇する場合、比較回路３においては、スイッチング素子ＳＷ１がオン状態とされ、ノード６は、抵抗素子Ｚｕを介して電流を供給されてその電位が上昇する。このとき、ノード６の最高到達電位は、
Ｖ＝Ｒ２・ＶＣＥ／（（Ｒ１／／Ｒｕ）＋Ｒ２）
で与えられる。ただし、Ｒ１／／Ｒｕは抵抗素子Ｚ１およびＺｕの合成抵抗を示す。抵抗素子Ｚ１およびＺ２が設けられていないとき、ノード６の最終到達電位は外部電源電圧ＶＣＥとなる。したがって、ノード６の電圧レベルは上限が抵抗素子Ｚ１、Ｚ２およびＺｕにより決定され、その下限が抵抗素子Ｚ１、Ｚ２およびＺｄにより決定される範囲内で変動する。ノード６の電圧のリンギングは、Ｌ・ｄｉ／ｄｔに比例する。ただし、Ｌは、ノード６に付随する寄生インダクタンスを示し、ｄｉ／ｄｔは、ノード６における電流の変化率（時間についての）を示す。したがってノード６の電圧振幅を小さくすることによりｄｉ／ｄｔを小さくすることができ、比較回路３の出力信号のリンギングすなわち発振現象を抑制することができる。この抵抗素子による振幅制限はまた以下の効果をもたらす。
今、図３に示すように抵抗素子Ｚ１およびＺ２が設けられていない場合には、比較回路３は、スタンバイ時には外部電源電圧ＶＣＥレベルの出力信号を出力すると想定する（後に説明するように比較回路３をカレントミラー型増幅回路で構成し、定電流源をスタンバイ時には遮断状態とすることによりこの条件が実現される）。一方、抵抗素子Ｚ１およびＺ２によりノード６の電圧をＶＣＥ−Ｖｔｐの電圧レベルに設定する。ただしＶｔｐはドライブトランジスタ２のしきい値電圧の絶対値を示す。この状態においては、ドライブトランジスタ２はオフ状態であり、外部電源ノード１から内部電源線５へは電流は供給しない。
スタンバイサイクルが完了し、アクティブサイクルに入り、負荷回路７が動作し、内部電源電圧ＶＣＩを使用した状態を考える。この負荷回路７の動作により、内部電源線から負荷回路７へ電流が流入し、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが低下する。この内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルの低下に従って比較回路３の出力信号の電圧レベルが低下する。ノード６の電圧レベルがＶＣＩ−Ｖｔｐ以下の電圧レベルに到達するとドライブトランジスタ２がオン状態となり、外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給する。このとき、従来の構成においては、比較回路３の出力信号がＶＣＥ−Ｖｔｐ以下となったときにドライブトランジスタ２が電流を供給する。しかしながら、本発明の場合、抵抗素子Ｚ１およびＺ２によりこのノード６の電圧レベルはＶＣＥ−Ｖｔｐの電圧レベルに設定されており、したがって、比較回路３の出力信号の電圧レベルが低下すれば即座にドライブトランジスタ２がオン状態となり、外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給する。したがって、内部電源電圧ＶＣＩの変化量が少ないときにドライブトランジスタ２を介して電流を内部電源線５上へ供給することができ、高速で内部電源電圧ＶＣＩを所定の電圧レベル（基準電圧Ｖｒｅｆレベル）に復帰させることができる。
一方、従来の構成の場合、ドライブトランジスタ２が電流を供給する時点において、既に内部電源電圧ＶＣＩは大きく変化しており、したがってこの大きく変化した内部電源電圧ＶＣＩをもとの電圧レベルに復帰させるために、大きな電流をドライブトランジスタ２を介して外部電源ノード１から内部電源線５へ供給する必要がある。またこの期間も長くなる。このとき、大きな電流をドライブトランジスタ２を介して内部電源線５へ供給するため、内部電源線５における電流変化率が大きくなり、内部電源線５上でのリンギングが生じる。応じて、比較回路３の出力信号においても大きなリンギングが生じ、比較回路３の出力信号の発振現象が発生する。一方、本発明においては、内部電源電圧ＶＣＩの変化が小さいときにドライブトランジスタ２を介して内部電源線５上へ電流を供給しており、この内部電源電圧ＶＣＩの変化速度は小さくすなわち内部電源線上の電流変化率は小さく、したがって小さなリンギングしか生じない。これにより、ドライブトランジスタ２がオン状態となる期間における外部電源ノード１から内部電源線５への供給電流量は本発明の場合、従来の構成に比べて大幅に小さくされるとともに、内部電源電圧のリンギングが小さいため、ドライブトランジスタ２を介して内部電源線５へ電流を供給する期間および回数を少なくすることができ、従来の構成に比べて大幅に、内部電源電圧ＶＣＩを安定化するために外部電源ノード１から内部電源線５へ供給する電流量を小さくすることができる。すなわち、半導体装置の消費電流を大幅に低減することができることになり、低消費電流で安定に内部電源ＶＣＩを生成することができる。
また、図３に示す信号波形図においては、内部電源電圧ＶＣＩが変化してからノード６の電位が変化するまでの応答に遅れが生じているが、図４に示すように、本発明の場合、この応答の遅れを大幅に低減することができる。
すなわち、図４に示すように、従来の場合、ノード６の電位が所定の電圧レベル（ＶＣＥ−Ｖｔｐ）以下に低下してからドライブトランジスタ２がオン状態となり、外部電源ノード１から内部電源線へ電流が供給される。一方、本発明の場合、比較回路３の出力信号の電圧レベルが低下すれば、即座にノード６の電圧レベルが低下し、このノード６の電圧の低下に伴って即座にドライブトランジスタ２を介して外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給することができる。これにより、内部電源電圧ＶＣＩの変化に応答して高速でドライブトランジスタ２をオン状態として外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給することができ、応答特性が大幅に改善される。
［抵抗素子Ｚ１、Ｚ２、Ｚｕ、およびＺｄの抵抗値の関係］
図５は、抵抗素子Ｚ１、Ｚ２、Ｚｕ、およびＺｄの抵抗値の関係を模式的に示す図である。図５において、２つの負荷回路７Ａおよび７Ｂが設けられる。負荷回路７Ａに対しては、外部電源ノード１からドライブトランジスタ２Ａを介して電流が供給される。負荷回路７Ｂは、外部電源ノード１からドライブトランジスタ２Ｂを介して電流が供給される。ドライブトランジスタ２Ａのゲート（制御電極）には、抵抗素子Ｚ１Ａ、Ｚ２Ａ、ＺｕＡ、およびＺｄＡが設けられる。ドライブトランジスタ２Ｂのゲートには、抵抗素子Ｚ１Ｂ、Ｚ２Ｂ、ＺｕＢ、およびＺｄＢが設けられる。
負荷回路７Ａおよび７Ｂがその動作内容が異なり、応じてその動作特性も異なる。今、一例として、負荷回路７Ａとしてダイナミック型半導体装置における周辺回路などの論理動作を行なう回路を考え、負荷回路７Ｂとして、メモリセルアレイ駆動回路（ビット線の充放電を行なう回路（センスアンプ））を考える。このような負荷回路７Ａおよび７Ｂに対して供給されるべき内部電源電圧ＶＣＩは、図６に示すような条件が要求される。
図６は、ダイナミック型半導体記憶装置の内部電源電圧に対して要求される条件を例示的に示す図である。図６において、ダイナミック型半導体記憶装置（ＤＲＡＭ）においてよく知られているロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳが活性状態のＬレベルとされると、このＤＲＡＭのアクティブ動作が開始される。まず最初に信号／ＲＡＳが活性化されると、周辺回路（デコーダ、バッファ回路、および内部制御信号発生回路）が動作する（ただし行選択動作に関係する回路部分）。これらの回路すなわち負荷回路７Ａは、高速に動作し、その出力信号を高速で安定状態に設定する必要がある。この場合、負荷回路７Ａに対する電源電圧ＶＣＩとしては、負荷回路７Ａが動作時に消費する電流量は小さいものの、その内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルは高速でもとの電圧レベルに回復することが要求される（負荷回路７Ａの出力信号の電圧レベルが内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルにより決定されるため）。この場合、内部電源電圧ＶＣＩが低下した場合高速で所定の電圧レベルに復帰させる必要があり、抵抗素子ＺｕＡおよびＺｄＡの影響を抵抗素子Ｚ１ＡおよびＺ２Ａの振幅制限機能よりも大きくする必要がある。高速で比較回路３の出力信号の電圧レベルに従ってドライブトランジスタ２Ａをオン・オフ状態とする必要があるためである。
一方、センスアンプなどのビット線を充放電する負荷回路７Ｂの場合、充電すべきビット線の数は多く、そのため消費電流が多くなる。しかしながら、センスアンプの動作時において、ビット線の充電電位は、所定の時間内に一定電圧レベルに到達すればよい（列選択動作が開始する前）。したがって、大きな消費電流を補償する必要があるものの、その内部電源電圧ＶＣＩは高速で所定電圧レベルに回復する必要はない。したがってこの場合、負荷回路７Ｂに対しては、抵抗素子Ｚ１ＢおよびＺ２Ｂの影響が抵抗素子ＺｕＢおよびＺｄＢの影響よりも大きくされる。比較回路３の出力信号の電圧レベルの振幅が大きくなるのを抑制する。しかしながら、負荷回路７Ａおよび７Ｂいずれに対しても、抵抗素子Ｚ１ＡおよびＺ２Ａならびに抵抗素子Ｚ１ＢおよびＺ２Ｂの振幅制限機能は作用しており、高速応答性および消費電流低減および比較回路３の出力信号の発振現象の抑制は確実に実現することができる。負荷回路７ａおよび７ｂの消費電流の大小に応じてドライブトランジスタ２Ａおよび２Ｂの電流駆動力が併せて調整される。また、抵抗素子Ｚ１、Ｚ２、ＺｕおよびＺｄの抵抗値は、対応のドライブトランジスタ２が生成する内部電源電圧ＶＣＩを使用する負荷回路の動作特性に応じて決定される。
以上のように、ドライブトランジスタ２の供給電流量を制御する比較回路３の出力信号の振幅を制限する抵抗素子を設けることにより、比較回路３の出力信号の発振現象を抑制し、安定に所望の電圧レベルの内部電源電圧ＶＣＩを生成することができる。
［抵抗素子の具体的構成１］
図７は、図１に示す抵抗素子の具体的構成を示す図である。図７においては、抵抗素子Ｚ１として、ポリシリコンまたは活性層（半導体基板表面に形成される不純物領域）で形成される抵抗Ｒａが用いられ、抵抗素子Ｚ２として、同様にポリシリコンまたは活性層で形成される抵抗Ｒｂが用いられる。抵抗素子Ｚ１およびＺ２を実現する構成としては最も単純であるが、ノード６の電圧レベルの上昇時に抵抗Ｒｂを介して電流が接地ノードＶＳＳへ流れ、ノード６の電圧上昇は抑制される。一方、ノード６の電圧レベルの低下時には、抵抗Ｒａによりノード６の電圧下降が抑制される。単純な形態であるが、十分にこの比較回路３の出力信号の振幅を抑制することができる。
［抵抗素子Ｚ１およびＺ２の具体的構成２］
図８は、図１に示す抵抗素子Ｚ１およびＺ２の第２の具体的構成を示す図である。図８において、抵抗素子Ｚ１は、そのソースが外部電源ノード１に接続され、ゲートおよびドレインがノード６に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰＴにより構成され、抵抗素子Ｚ２は、そのゲートおよびドレインがノード６に接続され、そのソースが接地ノードＶＳＳに接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮＴで構成される。ＭＯＳトランジスタＰＴおよびＮＴはほぼ同じサイズを備えており、抵抗素子として機能する。ＭＯＳトランジスタは、一般に、そのゲート−ソース間電圧をＶｇｓとし、しきい値電圧の絶対値をＶｔｈとするとβ（Ｖｇｓ−Ｖｔｈ）2 のドレイン電流を供給する。ただし、βは、ＭＯＳトランジスタのゲート幅（チャネル幅）Ｗとゲート長（チャネル長）Ｌの比Ｗ／Ｌに比例する定数である。したがってノード６の電圧レベルの変化が大きくなると、ＭＯＳトランジスタＰＴおよびＮＴを介して流れる電流が前述の自乗特性に従って変化し、より高速で、比較回路３の出力信号の振幅制限を行なうことができる。すなわち、ノード６の電圧レベルが比較回路３の出力信号に従って上昇すると、ｐチャネルＭＯＳトランジスタＰＴのゲート−ソース間電圧が低下し、このｐチャネルＭＯＳトランジスタＰＴを介して外部電源ノード１からノード６へ流れる電流量が上述の自乗特性を示す式に従って低下し、一方、ｎチャネルＭＯＳトランジスタＮＴのゲート−ソース間電圧が上昇し、このｎチャネルＭＯＳトランジスタＮＴを介してノード６から接地ノードＶＳＳへ流れる電流が自乗特性に従って増加する。これにより、ノード６の電圧上昇をより高速で抑制することができる。ノード６の電圧降下時には逆の動作が行なわれ電圧降下が制限される。
［抵抗素子Ｚ１およびＺ２の構成３］
図９は、図１に示す抵抗素子Ｚ１およびＺ２の第３の具体的構成を示す図である。図９において、抵抗素子Ｚ１は、ゲートおよびドレインが外部電源ノード１に接続され、そのソースがノード６に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ１で構成され、抵抗素子Ｚ２は、そのソースがノード６に接続され、ゲートおよびドレインが接地ノードＶＳＳに接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ１で構成される。ノード６の電圧上昇時には、ＭＯＳトランジスタＰ１のゲート−ソース間電圧がより負となり、ＭＯＳトランジスタＰ１がより強くオン状態となって多くの電流を流す。ノード６の電圧降下時にはＭＯＳトランジスタＮ１がより強くオン状態となって電流をノード６へ供給する。図９に示す構成においても、図８に示す構成と同様、ノード６の電圧レベルの変化に応じてＭＯＳトランジスタＮ１およびＰ１を流れる電流が自乗特性に従って変化し、いわゆる「可変抵抗素子」として作用し、高速で比較回路３の出力信号の振幅を抑制することができる。
［抵抗素子Ｚ１およびＺ２の具体的構成４］
図１０は、図１に示す抵抗素子Ｚ１およびＺ２の第４の具体的構成を示す図である。図１０に示す構成においては、抵抗素子Ｚ１は、ソースが外部電源ノード１に接続され、ドレインがノード６に接続され、そのゲートが一定の電圧Ｖｃｐを受けるように接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ２で構成され、抵抗素子Ｚ２は、ドレインがノード６に接続され、ソースが接地ノードＶＳＳに接続され、そのゲートが一定の電圧Ｖｃｎを受けるように接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＭ２により構成される。ｐチャネルＭＯＳトランジスタＴ２のゲート−ソース間電圧はＶｃｐ−ＶＣＥで一定であり、したがってｐチャネルＭＯＳトランジスタＴ２はそのゲート電圧Ｖｃｐにより決定されるオン抵抗（チャネルコンダクタンス）を有する抵抗素子として機能する。同様に、ｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ２のゲート−ソース間電圧はＶｃｎ−ＶＳＳで一定であり、ｎチャネルＭＯＳトランジスタはそのゲート電圧Ｖｃｎで決定されるオン抵抗（チャネルコンダクタンス）を有する抵抗素子として機能する。このＭＯＳトランジスタＰ２およびＮ２を用いる構成の場合、ポリシリコンまたは活性層を利用する抵抗に比べて占有面積を小さくすることができるとともに、ゲート電圧ＶｃｐおよびＶｃｎによりＭＯＳトランジスタＰ２およびＮ２の抵抗値を最適値に設定することができる。
［抵抗素子Ｚ１およびＺ２の具体例５］
図１１は、図１に示す抵抗素子Ｚ１およびＺ２の第５の具体的構成を示す図である。図１１において、抵抗素子Ｚ１は、そのドレインが外部電源ノード１に接続され、そのゲートが一定の電圧Ｖｃｎｎを受けるように接続されかつそのソースがノード６に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ３で構成され、抵抗素子Ｚ２は、そのソースがノード６に接続され、そのドレインが接地ノードＶＳＳに接続され、そのゲートが一定の電圧Ｖｃｐｐを受けるように接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ３で構成される。ＭＯＳトランジスタのドレイン電流Ｉｄｓが、飽和領域においては、Ｉｄｓ＝β（Ｖｇｓ−Ｖｔｈ）2 で与えられる。すなわち、ドレイン電流Ｉｇｓは、ゲート−ソース間電圧Ｖｇｓがしきい値電圧Ｖｔｈより高くなると流れる。したがって、図１１に示す構成の場合、ＭＯＳトランジスタＮ３は、ノード６の電圧がＶｃｎｎ−Ｖｔｈよりも低くなると電流を供給する。同様に、ｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ３は、ノード６の電圧レベルがＶｃｔｐ＋Ｖｔｐよりも高くなったときにノード６から接地ノードＶＳＳへ電流を流す。
したがって、図１２に示すように、ＶＣＥ＞Ｖｃｐｐ＋Ｖｔｐ＞Ｖｃｎｎ−Ｖｔｎ＞ＶＳＳという関係を満たすように電圧ＶｃｎｎおよびＶｃｐｐを設定すれば、振幅制限が行なわれない領域と振幅制限が行なわれる領域を設けることができる。すなわち、ノード６の電圧がＶｃｐｐ＋ＶｔｐとＶｃｎｎ−Ｖｔｎの間のときには、ＭＯＳトランジスタＮ３およびＰ３がともにオフ状態となるため、ノード６の電位は比較回路３の出力信号に従って変化する。したがって、この領域においては、比較回路３の出力信号に対する振幅制限は行なわれない。一方、ノード６の電圧がＶｃｔｐ＋Ｖｔｐ以上に上昇した場合には、ｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ３がオン状態となり、ノード６から接地ノードＶＳＳへ電流を引抜く。したがって、そのときには、比較回路３の出力信号の電圧レベルの上昇が抑制され、振幅制限が行なわれる。また、ノード６の電圧レベルがＶｃｎｎ−Ｖｔｎよりも小さくなったときには、ＭＯＳトランジスタＮ３がオン状態となり、ノード６へ外部電源ノード１から電流を供給し、ノード６の電圧レベルを上昇させることにより、比較回路３の出力信号に対する振幅制限が行なわれる。
すなわち、図１１に示す構成により、比較回路３の出力信号が小振幅信号の場合には振幅制限は何ら行なわれず、大振幅信号の場合にのみ振幅制限が行なわれる。比較回路３の出力信号が発振するのは、内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩが急激に変化し、比較回路３からの出力信号が大きく変化したときである。したがって、このような比較回路３の出力信号に発振現象が発生する可能性のあるときにのみ振幅制限を行なうことにより、急激に内部電源電圧ＶＣＩが変化しても高速でこの内部電源電圧を安定状態に復帰させることができる。内部電源電圧ＶＣＩの変化が小さいかまたはその変化速度が緩やかな場合には、ノード６の電圧レベルの変化は小さいかまたは緩やかであり、この場合には、比較回路３の出力信号の振幅制限を行なわないことにより、この内部電源電圧ＶＣＩの変化に追随してドライブトランジスタ２のコンダクタンスを調整することができ、この変化した内部電源電圧ＶＣＩを安定状態へ高速で復帰させることができる。この構成により、高周波応答特性（内部電源電圧ＶＣＩが急激に変化したときの応答特性）および直流特性（内部電源電圧ＶＣＩが緩やかに変化するときの応答特性）いずれにも優れた内部降圧回路（内部電源電圧発生回路）を実現することができる。
なお、抵抗素子Ｚ１およびＺ２としてＭＯＳトランジスタを用いる場合、これらのＭＯＳトランジスタの電流駆動力と比較回路３のノード６の充放電を行なう出力段の構成要素であるＭＯＳトランジスタの電流駆動力との関係は、比較回路７の動作速度（または動作特性）に応じて決定される。これは先に図５を参照して説明した抵抗値Ｒ１，Ｒ２，ＲｕおよびＲｄの関係と同様である。
［変更例１］
図１３は、この発明の第１の実施例の第１の変更例の内部降圧回路の構成を示す図である。図１３に示す構成においては、抵抗素子Ｚ１とノード６との間に期間制御信号／ＥＮに応答してオン状態となるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４が設けられ、またノード６と抵抗素子Ｚ２との間に期間前制御号ＥＮに応答してオン状態となるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ４が設けられる。期間制御信号／ＥＮおよびＥＮは互いに相補な信号である。この期間制御信号／ＥＮおよびＥＮは、負荷回路７が動作する期間を定める信号であればよい。たとえば、この内部降圧回路が半導体記憶装置に適用される場合には、この期間制御信号／ＥＮとして、ロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳまたはチップセレクト信号／ＣＳを利用することができる。
また、図１３においては、比較回路３は、期間制御信号ＥＮに応答して活性化される電流源としてのｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ５を含むように示される。比較回路３は、外部電源ノード１に与えられる外部電源電圧ＶＣＥを一方動作電源電圧として動作し、基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源電圧ＶＣＩを比較するが、この比較回路３は、後にその構成は詳細に説明するが、カレントミラー型差動増幅回路の構成を備えており、このカレントミラー型差動増幅回路の電流源としてＭＯＳトランジスタＮ５が動作する。したがって期間制御信号ＥＮが非活性状態のＬレベルのときには、比較回路３の出力信号は外部電源電圧ＶＣＥレベルとなる。次に図１３に示す構成の動作についてその動作波形図である図１４を参照して説明する。
期間制御信号ＥＮおよび／ＥＮが非活性状態のＬレベルおよびＨレベルにそれぞれあるときには、ＭＯＳトランジスタＰ４およびＮ４はともにオフ状態であり、ノード６は、抵抗素子Ｚ１およびＺ２から分離される。したがって、この状態においては、外部電源ノード１から接地ノードＶＳＳへ流れる電流の経路は遮断され、電流消費が防止される。また、比較回路３においては、ＭＯＳトランジスタＮ５がオフ状態にされ、比較回路３は非活性状態にあり、その出力信号は外部電源電圧ＶＣＥレベルである。したがって、ノード６の電圧レベルは外部電源電圧ＶＣＥレベルになり、ドライブトランジスタ２もオフ状態になる。この期間は、スタンバイ期間であり、負荷回路７は動作せず、したがって内部電源電圧ＶＣＩはほとんど使用されず（負荷回路７におけるスタンバイ電流による電流消費が存在するだけである）、内部電源電圧ＶＣＩはほぼ一定値を維持する。
アクティブサイクルが始まると、期間前記信号ＥＮおよび／ＥＮが活性状態のＨレベルおよびＬレベルにそれぞれ設定される。これによりＭＯＳトランジスタＰ４、Ｎ４、およびＮ５がオン状態となり、ノード６の電圧レベルが抵抗素子Ｚ１およびＺ２の抵抗分割により低下する。この状態においても、ドライブトランジスタ２はほぼオフ状態を維持する。アクティブサイクルにおいて負荷回路７が動作すると、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが低下し、応じてノード６の電圧レベルが低下し、ドライブトランジスタ２を介して外部電源ノード１から内部電源線５へ電流が供給される。この内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルの調整時における抵抗素子Ｚ１およびＺ２の機能は、先に説明したものと同様である。期間制御信号ＥＮおよび／ＥＮにより、内部電源電圧ＶＣＩが変化する期間のみ抵抗素子Ｚ１およびＺ２をノード６に接続するこにとより、この経路における消費電流を低減することができる。この期間制御信号ＥＮ、／ＥＮは、負荷回路７が動作する期間を決定する信号であればよく、負荷回路７はこの期間制御信号ＥＮおよび／ＥＮに直接応答して動作しなくてもよい。また抵抗素子Ｚ１およびＺ２としてはし、先に図７ないし図１１に示した具体的構成のいずれをも利用することができる。
［変更例２］
図１５は、この発明の第１の実施例の第２の変更例を示す図である。図１５に示す構成においては、期間制御信号／ＥＮに応答してオン状態となるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ６が抵抗素子Ｚ１の一方端と外部電源ノード１との間に設けられ、また期間制御信号ＥＮに応答してオン状態となるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ６が抵抗素子Ｚ２の一方端と接地ノードＶＳＳの間に設けられる。抵抗素子Ｚ１およびＺ２のそれぞれの他方端はノード６に接続される。他の構成は、図１３に示す構成と同じである。この図１５に示す構成のように、抵抗素子Ｚ１およびＺ２をそれぞれ期間制御信号／ＥＮおよびＥＮに従って外部電源ノード１および接地ノードＶＳＳから分離する構成としても図１３に示す構成と同様に、スタンバイ時（期間制御信号ＥＮおよび／ＥＮの非活性時）における抵抗素子Ｚ１およびＺ２の電流消費を防止することができ、低消費電流の内部降圧回路を実現することができる。
以上のように、この発明の第１の実施例に従えば、ドライブトランジスタの電流供給量を調整する比較回路の出力信号の振幅を抑制するように構成したため、ドライブトランジスタ２のゲート電位が大きく変動し、ドライブトランジスタ２を介して大きな電流が内部電源線５上へ伝達されて内部電源電圧が大きく変動することにより発生する内部電源電圧ＶＣＩのオーバーシュートおよびアンダーシュートが防止され、また内部電源電圧ＶＣＩの変化に高速で応答してこの内部電源電圧ＶＣＩを所定の電圧レベルに復帰させることができる。
また期間制御信号ＥＮおよび／ＥＮに従って、必要な期間のみ出力制限用の抵抗素子に電流を流す構成とすることにより、振幅制限のための消費電流を低減することができる。
［実施例２］
図１６は、この発明に従う内部降圧回路の第２の実施例の構成を示す図である。図１６に示す構成においては、活性制御信号ＥＮＡに応答してノード６の電圧レベルを降下させる電圧降下手段１０が設けられる。活性制御信号ＥＮＡは負荷回路７の活性タイミングを決定する。次のこの図１６に示す内部降圧回路の動作をその動作波形図である図１７を参照して説明する。期間制御信号（アクティブ信号）ＥＮが活性状態のＨレベルとなると比較回路３が活性化される。この状態においてはまだ活性制御信号ＥＮＡは非活性状態のＬレベルであり、電圧降下手段１０は非活性状態にあり、また負荷回路７も動作せず、スタンバイ状態を維持している。ドライブトランジスタ２は、比較回路３の出力信号に従って電流Ｉｓを内部電源線５へ供給する。このとき、負荷回路７においては、スタンバイ電流が流れる。
活性制御信号ＥＮＡが活性状態のＨレベルとなると、電圧降下手段１０が活性化され、ノード６の電圧レベルを低下させる。これにより、ドライブトランジスタ２のコンダクタンスが大きくなり、電流Ｉｓが増加する。負荷回路７がまたこの活性制御信号ＥＮＡに応答して活性化され、内部電源線５から電流ＩＬを消費する。この負荷回路７が消費する電流ＩＬは、ドライブトランジスタ２から供給される。ドライブトランジスタ２が供給する電流Ｉｓが負荷回路７が消費する動作電流ＩＬと等しい場合には、内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩは変化せず一定値を保持する。ドライブトランジスタ２が供給する電流Ｉｓが負荷回路７が消費する電流ＩＬよりも小さくなった場合には、内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩが低下する。この場合には、比較回路３の出力信号がＬレベルへ変化し、ドライブトランジスタ２のコンダクタンスをより大きくし、電流Ｉｓを増加させる。したがって、負荷回路７の動作開始時にこれと同期して電圧降下手段１０を活性化させてノード６の電圧レベルを低下させることにより、内部電源電圧ＶＣＩが急激に低下するのを防止することができ、内部電源電圧ＶＣＩを一定の電圧レベルに保持することができる。
［第２の実施例の具体的構成１］
図１８は、この発明の第２の実施例の第１の具体的構成を示す図である。図１８に示す構成においては、電圧降下手段１０は、ノード６と接地ノードＶＳＳの間に直列に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ６とｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ８を含む。ｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ７は、その一方導通端子がノード６に接続され、そのゲートに活性制御信号ＥＮＡを受ける。ｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ８は、そのソースがｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ７の他方導通端子に接続され、そのゲートおよびドレインが接地ノードＶＳＳに接続される。次に動作について説明する。
活性制御信号ＥＮＡが非活性のＬレベルのとき、ＭＯＳトランジスタＮ７はオフ状態にあり、ノード６は比較回路３の出力信号の電圧レベルにある。すなわち信号ＥＮＡがＬレベルにあれば、ノード６の電圧レベルは外部電源電圧ＶＣＥレベルであり、信号ＥＮＡがＨレベルのときには、ノード６の電圧レベルは内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧ＲＥＦとの関係に従って決定される電圧レベルに設定される。
活性制御信号ＥＮＡが活性状態のＨレベルとなると、ＭＯＳトランジスタＮ７はオン状態となり、ノード６は、ＭＯＳトランジスタＮ７およびＰ８を介して放電され、電圧レベルが低下する。これにより、ドライブトランジスタ２のコンダクタンスが増大し、外部電源ノード１から内部電源線５へ供給される電流が増加する。負荷回路７は、また活性制御信号ＥＮＡに応答して活性化され、内部電源線５から電流を消費する。この負荷回路７の消費電流の急激な増大は、ドライブトランジスタ２を介して供給される電流により補償されるため、内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩの急激な変化は抑制される。このとき、ドライブトランジスタ２を介して供給される電流は、負荷回路７の消費電流の最大値よりも小さくされる。ドライブトランジスタ２が供給する電流が負荷回路７が消費する電流よりも大きく、内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが不必要に上昇するのを防止するためである。負荷回路７の動作に従って、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが低下すると比較回路３の出力信号の電圧レベルが低下する。これに応じてドライブトランジスタ２の供給電流量も大きくされる。負荷回路７の動作の初期時にドライブトランジスタ２を介して比較的大きな電流を供給しているため、内部電源電圧ＶＣＩの急激な変化が抑制され、比較回路３の出力信号はこの内部電源電圧ＶＣＩの変化に追随してドライブトランジスタ２のコンダクタンスを調整する。ノード６の電圧レベルが低下すると、ＭＯＳトランジスタＰ８のゲート−ソース間電圧が小さくなり、ＭＯＳトランジスタＰ８を介して流れる電流量が低下する。これにより、電圧降下手段１０の影響の度合が小さくされ、比較回路３の出力信号に従ってドライブトランジスタ２のコンダクタンスが調整される。この構成により、負荷回路７の動作開始時における内部電源電圧ＶＣＩの急激な低下を防止することができるのみならず、必要以上の大きな電流が供給され、内部電源電圧ＶＣＩがオーバーシュートするのを防止することができる。
なお図１８に示す構成においては、ｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ８が用いられているが、ｎチャネルＭＯＳトランジスタが用いられてもよい。
［電圧降下手段の具体的構成２］
図１９は、図１６に示す電圧降下手段の第２の具体的構成を示す図である。図１９において、電圧降下手段１０は、並列に接続されるキャパシタＣ１および抵抗Ｒ５と、活性制御信号ＥＮＡに応答してキャパシタＣ１および抵抗Ｒ５をノード６に接続するｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ８を含む。抵抗Ｒ５は比較的大きな抵抗値を有しており、プルダウン抵抗として機能する。すなわち、抵抗Ｒ５は、ＭＯＳトランジスタＮ８のオフ状態時において、キャパシタＣ１の充電電位を接地電位ＶＳＳレベルに放電する機能を主として備える。次に動作について説明する。
活性制御信号ＥＮＡが非活性状態のＬレベルのとき、ＭＯＳトランジスタＮ８はオフ状態にある。この状態において、キャパシタＣ１の一方電極は抵抗Ｒ５を介して接地電位ＶＳＳレベルに放電される。活性制御信号ＥＮＡが活性状態のＨレベルとなるとＭＯＳトランジスタＮ８がオン状態となり、ノード６は接地電位レベルに放電されていたキャパシタＣ１の一方電極に接続される。これにより、ノード６からキャパシタＣ１へ電流が流れ込み、ノード６の電位が低下する。このノード６の電位低下に従ってドライブトランジスタ２のコンダクタンスが大きくされ、外部電源ノード１から内部電源線５への供給電流が増加する。ノード６の低下した電位は、比較回路３の出力信号により充電され、この比較回路３の出力信号とほぼ同じ電圧レベルにまでキャパシタＣ１の一方電極が充電される。ここで抵抗Ｒ５の電圧降下機能はすべて無視している。これにより、ドライブトランジスタ２は、負荷回路７の動作開始時において急激に増加する電流に対応して大きな電流を内部電源線５へ供給することができる。これにより、内部電源電圧ＶＣＩの急激な低下を防止することができ、負荷回路７の動作時において、内部電源電圧ＶＣＩの変化に追随して比較回路３の出力信号に従って内部電源電圧ＶＣＩを一定の電圧レベルに高速で回復させることができる。
活性制御信号ＥＮＡが非活性状態となるとＭＯＳトランジスタＮ８がオフ状態とされ、このキャパシタＣ１の一方電極に充電された電圧は再び抵抗Ｒ５を介して接地電圧ＶＳＳレベルに放電される。
この図１９に示す構成によれば、負荷回路７の動作開始時において瞬間的にノード６の電位を低下させることができ、急激に増大する負荷回路７の消費電流を補償するようにドライブトランジスタ２のコンダクタンスを調整することができ、内部電源電圧ＶＣＩの急激な変化を抑制することができ、安定に内部電源電圧ＶＣＩを生成することができる。
［第２の実施例の具体的構成３］
図２０は、図１６に示す電圧降下手段の第３の具体的構成を示す図である。図２０においては、電圧降下手段１０は、活性制御信号／ＥＮＡを受ける一方電極と、ノード６に接続される他方電極とを有するキャパシタＣ２を備える。活性制御信号／ＥＮＡは信号ＥＮＡと相補な信号であり、活性時にＬレベルとされる。キャパシタＣ２は、容量結合により、活性制御信号／ＥＮＡをノード６に伝達する。次に図２０に示す構成の動作についてその動作波形図である図２１を参照して説明する。
活性制御信号／ＥＮＡがＨレベルのときには、ノード６は、比較回路３の出力信号のレベルに応じた電圧レベルになる。負荷回路７が活性制御信号ＥＮＡに応答して動作するとき、活性制御信号／ＥＮＡが活性状態のＬレベルとなり、ノード６の電圧レベルを低下させる。このノード６の電圧の低下量は、ノード６に付随する寄生容量とキャパシタＣ２の容量値により決定される。このノード６の電圧降下に従ってドライブトランジスタ２のコンダクタンスが大きくなりこのドライブトランジスタ２を介して流れる電流Ｉｓが急激に増加する。これにより、負荷回路７が動作し、この電流ＩＬも増加し内部電源電圧ＶＣＩの急激な低下が抑制されて（図２１において内部電源電圧ＶＣＩの変化を破線で示す）内部電源電圧ＶＣＩは緩やかに変化する。ノード６の電圧レベルはキャパシタＣ２の容量結合により低下した後、比較回路３の出力信号の電圧レベルに対応する電圧レベルにノード６が復帰し、ドライブトランジスタ２は、比較回路３の出力信号に従ってそのコンダクタンスが調整される。これにより、負荷回路７の動作開始時における消費電流ＩＬによる内部電源電圧ＶＣＩの急激な変化を抑制することができ、安定に内部電源電圧ＶＣＩを所定の電圧レベルに維持することができる。
図２０に示す構成は、さらに以下の利点を備える。すなわち、負荷回路７の動作が完了して活性制御信号／ＥＮＡが非活性状態のＨレベルに立上がるとき、キャパシタＣ２の容量結合によりノード６の電圧レベルが上昇する。これにより、ドライブトランジスタ２のコンダクタンスが急激に低下し、供給電流Ｉｓが低下する。負荷回路７の動作が停止し、その消費電流ＩＬが急激に減少した場合において、応じてドライブトランジスタ２が供給する電流Ｉｓを低減することができ、過剰な電流が外部電源ノード１から内部電源線５へ供給されるのを抑制することができ、内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩのオーバーシュートを抑制することができる。これにより、負荷回路７の動作完了時における内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルの変動を防止することができる。
なお、図１８ないし図２０に示す構成において、信号ＥＮとＥＮＡは同じ信号であってもよい。たとえばＤＲＡＭにおいて、信号ＥＮおよびＥＮＡとしてロウアドレスストローブ信号ＲＡＳまたはコラムアドレスストローブ信号ＣＡＳが利用されてもよい。高周波動作する列選択回路または行選択回路に対する内部電源電圧ＶＣＩを安定に一定電圧レベルに保持することができる。
［電圧降下手段の具体的構成４］
図２２は、図１６に示す電圧降下手段の第４の具体的構成を示す図である。図２２においては比較回路３の具体的構成も併せて示す。比較回路３は、その一方導通端子が外部電源ノード１に接続され、その他方導通端子がノード１１に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ１０と、その一方導通端子が外部電源ノード１に接続され、その他方導通端子がノード１２に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ１１と、その一方導通端子がノード１１に接続され、その他方導通端子がノード１３に接続され、そのゲートが内部電源線５に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ１０と、その一方導通端子がノード１２に接続され、その他方導通端子がノード１３に接続され、そのゲートに基準電圧Ｖｒｅｆを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ１１と、ノード１３と接地ノードＶＳＳの間に接続され、そのゲートに期間制御信号ＥＮを受けるｎチャネルＭＯとトランジスタＮ５を含む。ＭＯＳトランジスタＰ１０はそのゲートにｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ１１のゲートに接続されかつノード１１に接続される。ＭＯＳトランジスタＰ１０およびＰ１１はカレントミラー回路を構成する。
電圧降下手段１０は、ノード６とノード１３の間に直列に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ２０およびＮ２１を含む。ｎチャネルＭＯトランジスタＮ２０のゲートへは基準電圧Ｖｒｅｆが与えられ、ＭＯＳトランジスタＮ２１のゲートへは活性制御信号ＥＮＡが与えられる。負荷回路７は、この活性制御信号ＥＮＡの相補な信号／ＥＮＡに応答して活性化されて所定の動作を実行する。次に動作についてその動作波形図である図２３を参照して説明する。ただし、図２３においては、制御信号ＥＮは示していない。
制御信号ＥＮが非活性状態のＬレベルの場合、ＭＯＳトランジスタＮ５はオフ状態であり、ノード６から接地ノードＶＳＳへの電流経路および外部電源ノード１から接地ノードＶＳＳへの電流経路は遮断される。したがって、ノード６は、ＭＯＳトランジスタＰ１１を介して外部電源電圧ＶＣＥレベルに充電される（外部電源ノード１とノード１２の間で電流が流れないため、ノード１２の電圧レベルは外部電源ノード１の電圧レベルに等しくなる）。
信号ＥＮが活性状態のＨレベルとなると、ＭＯＳトランジスタＮ５がオン状態とされて比較回路３が活性化され、ノード６上の電圧レベルが基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源電圧ＶＣＩの関係に対応した電圧レベルに設定される。今、活性制御信号ＥＮＡがＬレベルの状態を考える。このとき、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも高い場合には、ＭＯＳトランジスタＮ１０のコンダクタンスがＭＯＳトランジスタＮ１１のコンダクタンスよりも高くなり、ＭＯＳトランジスタＮ１０を介して流れる電流がＭＯＳトランジスタＮ１１を介して流れる電流よりも多くなる。このＭＯＳトランジスタＮ１０へは、ＭＯＳトランジスタＰ１０から電流が供給される。ノード１１の電圧レベルはこのＭＯＳトランジスタＰ１０が供給する電流の増加に従って低下する（ＭＯＳトランジスタのドレイン電流の自乗特性に従って）。応じて、ＭＯＳトランジスタＰ１１のゲート電位が低下し、ＭＯＳトランジスタＰ１１には、ＭＯＳトランジスタＰ１０を介して流れる電流のミラー電流が流れる。ＭＯＳトランジスタＰ１０およびＰ１１のサイズが等しい場合には、ＭＯＳトランジスタＰ１０およびＰ１１に同じ大きさの電流が流れる。これにより、ノード１２の電位が上昇し、ドライブトランジスタ２のコンダクタンスが小さくされる。
逆に、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも低い場合には、ＭＯＳトランジスタＮ１０のコンダクタンスがＭＯＳトランジスタＮ１１のコンダクタンスよりも小さくなる。これにより、ＭＯＳトランジスタＰ１０が供給する電流が低減され、応じてＭＯＳトランジスタＰ１１が供給する電流が低減され、ノード１２が、ＭＯＳトランジスタＮ１１およびＮ５を介して放電され、その電圧レベルが低下する。これによりドライブトランジスタ２のコンダクタンスが上昇する。すなわちこの比較回路３は、基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源電圧ＶＣＩを差動的に増幅するカレントミラー型差動増幅回路の構成を備える。
次に、活性制御信号ＥＮＡが活性状態のＨレベルとなった状態を考える。このときには、ＭＯＳトランジスタＮ２１がオン状態とされ、ＭＯＳトランジスタＮ１１およびＮ２０が並列に接続される。ＭＯＳトランジスタＮ１１およびＮ２０が同じサイズを有する場合、等価的に、ＭＯＳトランジスタＮ１１の電流供給量が２倍にされた状態に等しくなり、比較回路３においては基準電圧Ｖｒｅｆに対してオフセットがかけられた状態に等しくなる。すなわち、ＭＯＳトランジスタＮ１０を介して流れる電流Ｉは、ＭＯＳトランジスタＰ１０を介して供給される。同じ大きさの電流ＩがＭＯＳトランジスタＰ１１を介してＭＯＳトランジスタＮ１１およびＮ２０に供給される。したがって、ＭＯＳトランジスタＮ１１およびＮ２０は電流Ｉ／２をそれぞれ流すだけである。ＭＯＳトランジスタＮ１０のコンダクタンスがＭＯＳトランジスタＮ１１およびＮ２０のコンダクタンスよりも大きくなったとき、ドライブトランジスタ２がオフ状態となるのは、このＭＯＳトランジスタＮ１０を介して流れる電流が、信号ＥＮＡが非活性状態のときに流れる電流の２倍の値に設定されたときである。したがって、ドライブトランジスタ２がオフ状態となる内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルは上昇する。これは、基準電圧Ｖｒｅｆを上昇させたことと等価である。同様に、ＭＯＳトランジスタＮ１０のコンダクタンスがＭＯＳトランジスタＮ１１およびＮ２０のコンダクタンスよりも小さくされたときでも、ノード１２（ノード６）はＭＯＳトランジスタＮ１１およびＮ２０を介して放電されるため、信号ＥＮＡが非活性状態のときに比べて２倍の速度でノード６の電位が低下し、内部電源５へ電流が供給される。したがって、内部電源電圧ＶＣＩは基準電圧Ｖｒｅｆよりも高い電圧レベルに維持されることになる。これはたとえば内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆとが等しいときでも、ＭＯＳトランジスタＮ１０を介して流れる電流の大きさの１／２の電流がＭＯＳトランジスタＮ１１およびＮ２０それぞれを介して流れ、ＭＯＳトランジスタＮ１１，Ｎ２０の電流駆動力よりも小さな電流がこれらに供給されるだけであり、ノード１２の電圧レベルが低下するため、ドライブトランジスタ２のコンダクタンスは小さくされ、内部電源線５へ電流が供給されて内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが上昇することからも内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも高い電圧レベルに維持されることが理解できる。すなわち、内部電源電圧ＶＣＩは、ＭＯＳトランジスタＮ１１およびＮ２０がそれぞれ流すことのできる電流の２倍の電流をＭＯＳトランジスタＮ１０を介して流す電圧レベルに維持される。
次いで、活性制御信号ＥＮＡが非活性状態となり、一方、活性制御信号／ＥＮＡが活性状態となると、負荷回路７が動作し、所定の信号線の電圧レベルを内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルにまで上昇させる。このとき、負荷回路７は、通常よりも高い電圧レベルにプリチャージされ内部電源線５から電流を使用して内部信号線を所定の電圧レベルに充電している。したがって、内部電源電圧ＶＣＩが所定の電圧レベルよりも低下するのが防止される。これにより、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが急激に低下するのが防止され、内部電源電圧ＶＣＩを安定に所定の電圧レベルに維持することができる。次に、この図２２に示す負荷回路の具体的構成について説明する。
図２４（Ａ）は、ＤＲＡＭのセンスアンプ部の構成を概略的に示す図である。ＤＲＡＭにおいては、１列のメモリセルが接続されるビット線対ＢＬおよび／ＢＬに対しｎチャネルＭＯＳトランジスタで構成されるＮセンスアンプＮＳＡと、ｐチャネルＭＯＳトランジスタで構成されるＰセンスアンプＰＳＡが設けられる。ＮセンスアンプＮＳＡはセンスアンプ活性信号ＳＮに応答して活性化され、ビット線対ＢＬおよび／ＢＬの低電位のビット線の電位を接地電圧ＶＳＳレベルに放電する。ＰセンスアンプＰＳＡはセンスアンプ活性化信号ＳＰに応答して活性化され、ビット線対ＢＬおよび／ＢＬの高電位のビット線を内部電源電圧ＶＣＩレベルに充電する。
図２４（Ａ）においては、さらに、ワード線ＷＬとビット線ＢＬの交差部に対応してメモリセルＭＣが配置される状態が一例として示される。ＤＲＡＭのメモリセルＭＣは、周知のごとく、電荷を格納するメモリキャパシタと、ワード線ＷＬ上の信号電位に応答してこのメモリキャパシタを対応のビット線ＢＬに接続するアクセストランジスタとを備える。このＰセンスアンプＰＳＡが図２２に示す負荷回路７に対応する。センスアンプ活性化信号ＳＰが活性制御信号ＥＮＡに対応する。次にこの図２４（Ａ）に示す回路の動作をその動作波形図である。図２４（Ｂ）を参照して説明する。
ＤＲＡＭにおいては、ロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳ（図２０に示す信号ＥＮに対応）がＬレベルに低下すると、メモリサイクルが始まる。信号／ＲＡＳの立下がりに応答してＤＲＡＭ内部において行選択動作が行なわれ、選択されたワード線ＷＬの電位が上昇する。このとき、センスアンプ活性化信号ＳＮおよびＳＰはそれぞれ非活性状態のＬレベルおよびＨレベルである。選択されたワード線ＷＬの電位が上昇すると、この選択されたワード線ＷＬに接続されるメモリセルＭＣの記憶するデータが対応のビット線ＢＬ（または／ＢＬ）に伝達される。
次いで、センスアンプ活性化信号ＳＮが活性状態のＨレベルとされ、ＮセンスアンプＮＳＡが活性化され、ビット線ＢＬおよび／ＢＬの低電位のビット線の電位を接地電圧ＶＳＳレベルに放電する。次いで、センスアンプ活性化信号ＳＰが活性化され、高電位のビット線の電位を内部電源電圧ＶＣＩレベルに上昇させる。この信号／ＲＡＳの立下がりからセンスアンプ活性化信号ＳＰの活性状態までの期間において、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩが所定の電圧レベルよりも高くされる。これにより、ビット線ＢＬまたは／ＢＬの充電を高速に行なうことができるとともに（内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが昇圧されている）、このＰセンスアンプＰＳＡの動作時における内部電源電圧ＶＣＩの急激な低下を防止することができる。これにより、安定なセンス動作を保証することができる。
なお上述の説明において、内部電源電圧ＶＣＩが所定の電圧レベルよりも上昇されるプリブースト期間は、信号／ＲＡＳの活性状態からセンスアンプ活性化信号ＳＰの活性状態までの期間としている。しかしながらこれは、適用される半導体記憶装置の構成において適当に設定されればよく、ビット線ＢＬおよび／ＢＬのイコライズ動作完了後（信号／ＲＡＳの立下がりに応答してビット線ＢＬおよび／ＢＬのイコライズが行なわれる場合またはメモリサイクル完了後信号／ＲＡＳの立上がりにより発生されるイコライズ信号によるビット線ＢＬおよび／ＢＬの電位のイコライズ）からセンスアンプＰＳＡの活性化（リストア動作）までの期間がプリブースト期間とされてもよい。センスアンプＰＳＡが非活性状態の期間であればよい。
以上のように、この発明の第２の実施例に従えば、負荷回路が動作し、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが低下すると予測される期間においてのみドライブトランジスタのゲート電位を強制的に低下させてドライブトランジスタのコンダクタンスを大きくしているため、負荷回路が動作し、その消費電流が急激に増大しても、安定に内部電源電圧を所定の電圧レベルに保持することができる。
［実施例３］
図２５は、この発明に従う内部電源電圧発生回路の第３の実施例の構成を示す図である。図２５に示す構成においては、内部電源線５には、ドライブトランジスタ２とは別に、活性制御信号／ＥＮに応答して内部電源線５を所定の電圧レベルに充電する充電回路２０が設けられる。この活性制御信号／ＥＮは、負荷回路７へ与えられる活性制御信号ＥＮと相補な信号である。すなわち充電回路２０は、負荷回路７が非活性状態のときに内部電源線５の電圧レベルを所定電圧レベル（内部電源電圧ＶＣＩよりも高い電圧レベル）に充電する。
この内部電源線５は、実施例１および２の場合と同様、ドライブトランジスタ２および比較回路３により一定の電圧レベルに保持される。次にこの図２５に示す構成の動作について、図２６に示す信号波形図を参照して説明する。
活性前記信号ＥＮは非活性レベルのＬレベルのとき、活性制御信号／ＥＮが活性状態のＨレベルにあり、充電回路２０は、内部電源線５を所定の電圧レベル（内部電源電圧ＶＣＩよりも高い電圧レベル）に充電する。このとき、比較回路３は、また活性制御信号ＥＮにより非活性状態に維持されてもよく、また活性状態とされていても、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも高い電圧レベルであり、比較回路３は、ドライブトランジスタ２をオフ状態に維持する。
活性制御信号ＥＮが活性状態のＨレベルとなると、負荷回路７が所定のタイミングで動作する。このときまた充電回路２０は、信号／ＥＮが非活性状態となり、内部電源線５の充電動作を停止する。負荷回路７がこの活性制御信号ＥＮに応答して所定のタイミングで動作し、駆動すべき信号線ＳＧを内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルにまで上昇させる。この信号線ＳＧの電圧上昇は、内部電源線５から電流を信号線ＳＧへ供給することにより実現される。このとき、充電回路２０により、内部電源線５上の電圧レベルは所定の電圧レベル（Ｖｒｅｆ）よりも高く設定されており、負荷回路７の動作時（信号線ＳＧの充電動作時）において内部電源線５から急激に電流が信号線ＳＧに流出しても、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩはこの充電回路２０により充電された昇圧レベルからその電圧レベルが低下するため、負荷回路７の動作時における電源電圧ＶＣＩの電圧レベルの急激な低下を防止することができる。特に、図２６において斜線で示す領域において使用される電流量が同じであれば、内部電源電圧ＶＣＩは、負荷回路７の動作時において所定の基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルにまで低下するだけであり、内部電源電圧ＶＣＩの基準電圧Ｖｒｅｆ以下の低下を防止することができる。負荷回路７の活性期間中、比較回路３およびドライブトランジスタ２により内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩは一定の電圧レベル（Ｖｒｅｆ）に維持される。
活性制御信号ＥＮが再び非活性状態となり、負荷回路７の動作が完了すると、再び充電回路２０が制御信号／ＥＮに応答して活性化され、内部電源線５を一定の電圧レベル（Ｖｒｅｆ）よりも高い電圧レベルに内部電源線５を充電する。
上述の一連の動作により、充電回路２０により、内部電源線５を基準電圧Ｖｒｅｆ以上の所定の電圧レベルに充電しておけば、負荷回路７の動作開始直後に消費される動作電流に起因する内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルの急激な低下を防止することができる。
図２７は、図２５に示す負荷回路の具体的構成を示す図である。図２７において、負荷回路として、ＤＲＡＭにおけるセンスアンプおよびセンスアンプ活性化回路を示す。ＤＲＡＭにおいては、図２４に示す構成と同様、ビット線ＢＬおよび／ＢＬに対しｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ３１およびＰ３２で構成されるＰセンスアンプＰＳＡならびにｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ３１およびＮ３２で構成されるＮセンスアンプＮＳＡが設けられる。ＭＯＳトランジスタＰ３１およびＰ３２はそのゲートおよびドレインが交差結合され、ＭＯＳトランジスタＮ３１およびＮ３２はゲートおよびドレインが交差結合される。
ＰセンスアンプＰＳＡを活性化するために、信号／ＲＡＳに応答して所定のタイミングでセンスアンプ活性化信号／ＳＯを活性状態とする（Ｌレベルとする）Ｐセンスアンプ活性化回路３０と、このセンスアンプ活性化信号／ＳＯに応答してＰセンスアンプＰＳＡへ内部電源線５ｃ上の内部電源電圧ＶＣＩを伝達するｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ３３が設けられる。ＮセンスアンプＮＳＡに対しても、信号／ＲＡＳに応答して所定のタイミングでセンスアンプ活性化信号ＳＯを活性状態（Ｈレベル）とするＮセンスアンプ活性化回路３１と、センスアンプ活性化信号ＳＯに応答して接地電圧ＶＳＳをＮセンスアンプＮＳＡへ伝達するｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ３３が設けられる。Ｐセンスアンプ活性化回路３０に対しては、内部電源線５ａを介して内部電源電圧ＶＣＩが伝達され、Ｎセンスアンプ活性化回路３１に対しては、内部電源線５ｂを介して内部電源電圧ＶＣＩが伝達される。この内部電源線５ａおよび５ｂは同じ配線であってもよく、また異なる配線であってもよい。次にこの図２７に示す構成の動作についてその動作波形図である図２８を参照して説明する。
信号／ＲＡＳがＨレベルのとき、内部電源線５ａ、５ｂおよび５ｃは図示しない充電回路により基準電圧Ｖｒｅｆよりも高い電圧レベルに充電される。ビット線ＢＬおよび／ＢＬは所定の中間電圧（ＶＣＩ／２）の電圧レベルにプリチャージされている。
信号／ＲＡＳがＬレベルとなると、行選択動作が始まる。すなわち、図示しないワード線が選択され、このワード線に接続されるメモリセルのデータがビット線ＢＬまたは／ＢＬ上に伝達される。一方のビット線の電圧がその選択されたメモリセルの記憶データに従って変化し、他方のビット線はプリチャージ電圧ＶＣＩ／２を維持する。
所定のタイミングで、Ｎセンスアンプ活性化回路３１がセンスアンプ活性化信号ＳＯを活性状態のＨレベルとする。これによりＭＯＳトランジスタＮ３３がオン状態となり、ビット線ＢＬおよび／ＢＬのうち低電位のビット線が接地電圧ＶＳＳレベルに放電される。このＮセンスアンプ活性化回路３１がセンスアンプ活性化信号ＳＯを活性状態とするとき、内部電源線５ｂ上の内部電源電圧ＶＣＩを使用する（すなわち、内部電源線５ｂから電流を使用してセンスアンプ活性化信号ＳＯを伝達する信号線上へ電流を供給する）。このとき、内部電源線５ｂ上の電源電圧ＶＣＩは所定の電圧レベル（Ｖｒｅｆレベル）よりも高い電圧レベルに充電されているため、高速でセンスアンプ活性化信号ＳＯを立上げることができるとともに、この内部電源線５ｂ上の電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが急激に低下するのを防止することができる。
次いで、Ｐセンスアンプ活性化回路３０がセンスアンプ活性化信号／ＳＯを活性状態のＬレベルとする。それにより、ＭＯＳトランジスタＰ３３がオン状態となり、内部電源線５ｃ上の内部電源電圧ＶＣＩがビット線ＢＬおよび／ＢＬのうちの高電位のビット線へ伝達される（すなわち内部電源線５ｃから高電位のビット線へ電流が供給される）。この場合においても、内部電源線５ｃ上の電源電圧ＶＣＩは一定の電圧レベル（Ｖｒｅｆレベル）よりも高い電圧レベルに昇圧されているため、このビット線充電に伴う内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルの基準電圧Ｖｒｅｆ以下への低下を防止することができ、急激な内部電源電圧ＶＣＩの低下を防止するのみならず、高電位のビット線をその高電圧により高速で内部電源電圧ＶＣＩレベルにまで充電する。
以後、図示しない列選択回路が信号／ＣＡＳ（コラムアドレスストローブ信号）に従って動作し、選択された列上のメモリセルに対するデータの書込／読出が行なわれる。
メモリサイクルが完了すると、信号／ＲＡＳが非活性状態のＨレベルとなり、センスアンプ活性化信号／ＳＯおよびＳＯがそれぞれＬレベルおよびＨレベルの非活性状態とされる。このとき、また再び内部電源線５ａ，５ｂおよび５ｃの充電動作が開始される。内部電源線５ａ〜５ｃの充電動作の開始および完了は、信号／ＲＡＳにより決定されてもよく、またセンスアンプ活性化信号／ＳＯ、およびＳＯに従って決定されてもよい。
なお、図２８に示す動作波形図においては、センスアンプ活性化信号ＳＮおよびＳＰがそれぞれ接地電圧ＶＳＳと内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを維持している。センスアンプ活性化信号ＳＰおよびＳＮは、これに代えて、非活性時に中間電圧ＶＣＩ／２の電圧レベルに保持されてもよい。Ｐセンスアンプ活性化回路３０に対する内部電源電圧ＶＣＩを昇圧するのは、センスアンプ活性化信号ＳＰを内部電源線５Ｃ上の内部電源電圧ＶＣＩと同一の電圧レベルとし、ＭＯＳトランジスタＰ３３を確実にオフ状態とするためである。次に充電回路の具体的構成について説明する。
［充電回路の具体的構成１］
図２９は、図２５に示す充電回路２０の第１の具体的構成を示す図である。図２９において、充電回路２０は、活性制御信号／ＥＮＡに応答して導通し、外部電源ノード１から外部電源電圧ＶＣＥを内部電源線５へ伝達するｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ３５と、内部電源線５と接地ノードＶＳＳの間に接続されるタンク容量Ｃ１０を含む。内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩを使用する負荷回路７は、活性前記信号ＥＮＡに応答して活性化される。負荷回路７の非活性時には、ＭＯＳトランジスタＮ３５がオン状態となり、その固有のオン抵抗により内部電源線５へ電流を供給し、タンク容量Ｃ１０を外部電源電圧ＶＣＥレベルに充電する。負荷回路７が活性制御信号ＥＮＡに応答して活性化されるときには、ＭＯＳトランジスタＮ３５はオフ状態であり、タンク容量Ｃ１０の充電は停止される。負荷回路７は、このタンク容量Ｃ１０に充電された電荷をその動作開始時に使用して内部回路（信号線）を所定の電圧レベルへ駆動する。タンク容量Ｃ１０の容量値として、負荷回路７が駆動する信号線の寄生容量と同じ大きさであれば、内部電源電圧ＶＣＩは比較回路３およびドライブトランジスタ２により設定される基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルを維持する。なお、活性制御信号／ＥＮＡはＨレベルは外部電源電圧ＶＣＥレベルである。タンク容量Ｃ１０の容量は、以下のようにして求めることができる。今、一例として、負荷回路７の接地電圧ＶＳＳレベルの容量Ｃａを基準電圧Ｖｒｅｆに充電させる動作を考える。この場合には、負荷回路７において使用される電荷量は、Ｃａ・Ｖｒｅｆで与えられる。一方、タンク容量Ｃ１０において消費される電荷はＣ１０・（ＶＣＥ−Ｖｒｅｆ）で与えられる。これらが等しいことから、
Ｃ１０＝Ｃａ・Ｖｒｅｆ／（ＶＣＥ−Ｖｒｅｆ）
が得られる。この式を満足するようにタンク容量Ｃ１０の容量値を設定することにより、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆ以下に低下するのを防止することができる。
［充電回路の具体的構成２］
図３０は、図２５に示す充電回路２０の第２の具体的構成を示す図である。図３０において、充電回路２０は、活性制御信号ＥＮＡに応答して外部電源ノード１から内部電源線５へ外部電源電圧ＶＣＥを伝達するｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ３５と、内部電源線５と接地ノードＶＳＳの間に接続されるタンク容量Ｃ１０を含む。タンク容量Ｃ１０は、内部電源線５上の電圧レベルまで充電される。この図３０に示す構成は、図２９に示す構成とｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ３５に代えて、ｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ３５が用いられている点においてのみ異なっている。他の構成は同じである。この図３０に示す構成においては、ＭＯＳトランジスタのしきい値電圧の損失を伴うことなく、同様に内部電源線５を所定の期間のみ基準電圧Ｖｒｅｆよりも高い電圧レベルに（外部電源電圧ＶＣＥ）レベルにまで充電することができる。
［充電回路の具体的構成３］
図３１は、図２５に示す充電回路２０の第３の具体的構成を示す図である。図３１において、充電回路２０は、外部電源ノード１から電源電圧ＶＣＥを受け、タンク容量Ｃ１０を基準電圧Ｖｒｅｆよりも高い所定の電圧レベルに充電する充電部２５と、活性制御信号／ＥＮＡに応答して、タンク容量Ｃ１０の一方電極（ノード５ｄ）を内部電源線５に接続するスイッチング素子２７を含む。負荷回路７は、活性制御信号ＥＮＡに応答して活性化され、所定の動作を実行する。充電部２５の構成は後に説明するが、タンク容量Ｃ１０の一方電極ノード５ｄを常時一定の電圧レベルに充電する。スイッチング素子２７は、負荷回路７の非活性時に導通状態となり、タンク容量Ｃ１０の一方電極ノード５ｄを内部電源線５に接続する。負荷回路７の動作時においては、スイッチング素子２７はオフ状態とされ、内部電源線５はタンク容量Ｃ１０の一方電極ノード５ｄから分離される。この図３１に示す構成においても、内部電源線５が基準電圧Ｖｒｅｆよりも高い電圧レベルに充電されるため、負荷回路７の動作開始時において消費される電流をこの昇圧された電圧レベルで補償することができ、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルよりも低下するのを防止することができる。
このスイッチング素子２７は、負荷回路７の動作時にオフ状態とされるのではなく、負荷回路７の動作開始期間を含む所定の期間のみオン状態となり、タンク容量Ｃ１０から負荷回路７が動作開始時に消費する電流を供給するように構成されてもよい。
図３２は、図３１に示す充電部２５の具体的構成を示す図である。図３２（ａ）において、充電部２５は、外部電源ノード１とタンク容量の一方電極ノード５ｄの間に接続される抵抗Ｒ１０を含む。この構成の場合、タンク容量Ｃ１０の一方電極ノード５ｄは、外部電源電圧ＶＣＥの電圧レベルに充電される。抵抗素子Ｒ１０としては、ポリシリコン、活性層またはＭＯＳトランジスタのいずれが利用されてもよい。
図３２（ｂ）に示す充電部２５は、外部電源ノード１とタンク容量Ｃ１０の一方電極ノード５ｄの間に直列に接続されるダイオード接続されたｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ３７およびＰ３８と、タンク容量の一方電極ノード５ｄと接地ノードＶＳＳの間に接続される抵抗Ｒ１１を含む。抵抗Ｒ１１はＭＯＳトランジスタＰ３７およびＰ３８に微小電流を生じさせる比較的大きな抵抗値を有しており、ＭＯＳトランジスタＰ３７およびＰ３８は、そのしきい値電圧の絶対値Ｖｔｐの電圧降下をそれぞれ生じさせる。したがって図３２（ｂ）に示す構成の場合、ノード５ｄには、ＶＣＥ−２・Ｖｔｐの電圧が伝達され、タンク容量Ｃ１０の一方電極ノード５ｄはこの電圧レベルに充電される。なお、図３２（ｂ）において、抵抗Ｒ１１はＭＯＳトランジスタで構成されてもよく、またＭＯＳトランジスタＰ３７およびＰ３８は、ｎチャネルＭＯＳトランジスタにより置換えられてもよい。さらにこの外部電源ノード１とノード５ｄの間に接続されるＭＯＳトランジスタの数はタンク容量Ｃ１０の一方電極ノード５ｄの充電電位に応じて適当な数に設定される。
［充電回路の具体的構成４］
図３３は、図２５に示す充電回路の第４の具体的構成を示す図である。図３３において、充電回路２０は、その一方導通端子が外部電源ノード１に接続され、活性制御信号ＥＮＡに応答してオン状態となるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ３９と、ＭＯＳトランジスタＰ３９と内部電源線５の間に直列に接続されるダイオード接続されたｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ３７およびＰ３８と、内部電源線５と接地ノードＶＳＳの間に接続されるタンク容量Ｃ１０と、内部電源線５と接地ノードＶＳＳの間にタンク容量Ｃ１０と並列に接続される抵抗Ｒ１１を含む。抵抗Ｒ１１は大きな抵抗値を有しており、ＭＯＳトランジスタＰ３７およびＰ３８はダイオードとして機能し、ＭＯＳトランジスタＰ３９の導通時に電圧Ｖｔｐの電圧降下をそれぞれ生じさせる。負荷回路７は、活性制御信号ＥＮＡに応答して動作する。すなわち、負荷回路７の非活性時にＭＯＳトランジスタＰ３９が導通し、タンク容量Ｃ１０を所定の電圧レベル（図示の例においてＶＣＥ−２・Ｖｔｐ）の電圧レベルにタンク容量Ｃ１０を充電する。負荷回路７が、活性制御信号ＥＮＡに応答して活性化されるときには、ＭＯＳトランジスタＰ３９がオフ状態とされ、負荷回路７は、動作時にはこのタンク容量Ｃ１０に充電された電荷を使用してこの内部の信号線を所定の電圧レベルへ充電する。トランジスタＰ３９とタンク容量Ｃ１０の間に抵抗素子が接続される構成が利用されてもよい。
［充電回路の具体的構成５］
図３４は、図２５に示す充電回路の第５の具体的構成を示す図である。図３４において、充電回路２０は、信号線５ｅ上の電圧と基準電圧Ｖｒｅｆ１よりも高い基準電圧Ｖｒｅｆ２とを比較する比較回路４１と、比較回路４０の出力信号に応答して外部電源ノード１から信号線５ｅへ電流を供給するｐチャネルＭＯＳトランジスタ４０と、信号線５ｅと接地ノードＶＳＳの間に接続されるタンク容量Ｃ１０と、活性制御信号ＥＮＡに応答して信号線５ｅを内部電源線５に接続するｎチャネルＭＯＳトランジスタ４２を含む。比較回路４１は、活性制御信号／ＥＮＡに応答して活性化され、活性化時に信号線５ｅと基準電圧Ｖｒｅｆ２の比較動作を行なう。活性制御信号／ＥＮＡの非活性時には、比較回路４１は非活性状態とされ、ＭＯＳトランジスタ４０をオフ状態とする。すなわち比較回路４１の非活性時には、信号線５ｅの電圧調整動作は行なわれず、また外部電源ノード１から信号線５ｅへの電流供給動作も行なわれない。ＭＯＳトランジスタ４２は、負荷回路７の動作時に信号線５ｅを内部電源線５に接続する。次に動作について説明する。
活性制御信号ＥＮＡの非活性時には、ＭＯＳトランジスタ４２がオフ状態にあり、内部電源線５と信号線５ｅは分離される。この状態において、信号／ＥＮＡが活性状態にあり、比較回路４１が信号線５ｅ上の電圧と基準電圧Ｖｒｅｆ２とを比較する。信号線５ｅ上の電圧が基準電圧Ｖｒｅｆ２よりも低い場合には、比較回路４１の出力信号に応答してＭＯＳトランジスタ４０がオン状態となり、外部電源ノード１から信号線５ｅへ電流を供給し、タンク容量Ｃ１０を充電する。信号線５ｅ上の電圧が基準電圧Ｖｒｅｆよりも高い場合には、比較回路４１の出力信号はＨレベルとなり、ＭＯＳトランジスタ４０もオフ状態とされる。これにより、タンク容量Ｃ１０の一方電極すなわち信号線５ｅは基準電圧Ｖｒｅｆ２の電圧レベル充電される。
負荷回路７が、活性制御信号ＥＮＡに応答して活性化されるとき、同様にＭＯＳトランジスタ４２がオン状態となり、内部電源線５が信号線５ｅに接続される。これにより、負荷回路７の動作開始時においては、タンク容量Ｃ１０に充電された電荷が使用され、この内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩの急激な電圧降下が防止される。このとき比較回路４１は比較動作を行なっていないためまたＭＯＳトランジスタ４０もオフ状態のため、タンク容量Ｃ１０の一方電極の電圧の内部電源線５上の電圧ＶＣＩと等しくなる。負荷回路７の動作が完了すると、ＭＯＳトランジスタ４２はオフ状態とされ、再び比較回路４１が活性状態とされ、信号線５ｅの電圧レベルを基準電圧Ｖｒｅｆ２にまで上昇させる。
負荷回路７の動作時においては、比較回路３が内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩを基準電圧Ｖｒｅｆ１と比較し、その比較結果に従ってドライブトランジスタ２を介して外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給する。これにより電源電圧ＶＣＩは一定の基準電圧Ｖｒｅｆ１の電圧レベルに保持されている。
図３４に示す構成に従えば、基準電圧Ｖｒｅｆ２を所定の電圧レベルに設定することにより正確にタンク容量Ｃ１０の充電電圧を設定することができる。
なお、図３４に示す構成において、タンク容量Ｃ１０は内部電源線５に接続され、ＭＯＳトランジスタ４２が活性制御信号／ＥＮＡに応答して導通するように構成されてもよい。負荷回路７の非活性時にタンク容量Ｃ１０をオン状態のＭＯＳトランジスタ４２を介して充電し、負荷回路７の活性化時には、このタンク容量Ｃ１０を信号線５ｅから切離すようにする。この構成でも同様の効果を得ることができる。
以上のように、この発明の第３の実施例に従えば、タンク容量を用いて、別の経路から内部電源線５を所定の電圧レベルよりも高い電圧レベルに昇圧するように構成したため、この昇圧電圧により蓄積された余分の電荷（内部電源線に付随する寄生容量またはタンク容量の蓄積電荷）を用いて負荷回路７の動作開始時に消費される電流を供給することができ、内部電源電圧ＶＣＩの急激な電圧降下を防止することができ、安定に内部電源電圧ＶＣＩを供給することができる。
［実施例４］
図３５は、この発明の第４の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。この図３５に示す構成においては、負荷回路は特に活性化信号を受けず、単に内部ノード上の電圧が与えられると活性状態とされる。図３５において、従来と同様にして、内部電源線５上の電圧と所定の基準電圧Ｖｒｅｆ（基準電圧発生回路は示さず）とを比較する比較回路３と、この比較回路３の出力信号に応答して外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給するｐチャネルＭＯＳトランジスタで構成されるドライブ素子２が設けられる。内部電源線５に対しては、さらにキャパシタ４１０と、キャパシタ４１０の一方電極を所定期間所定電圧レベルに充電する充電回路４００が設けられる。キャパシタ４１０の一方電極はまた内部電源線５に接続される。充電回路４００は、図３２ないし図３４に示す構成と同様の構成を備え、プリチャージ信号／ＰＲに応答して所定期間キャパシタ４１０の一方電極を所定電圧レベルに充電する。
負荷回路としてのアクティブリストア回路（Ｐセンスアンプ）４２０は、一列のメモリセルＭＣが接続されるビット線ＢＬおよび／ＢＬの電位を差動的に増幅する。図３５においては、ビット線対ＢＬおよび／ＢＬにおいて、１つのメモリセルＭＣを代表的に示す。このメモリセルＭＣは、情報を記憶するメモリキャパシタＭＱと、ワード線ＷＬ上の電位に応答してメモリキャパシタＭＱをビット線ＢＬに接続するアクセストランジスタＭＴを含む。アクティブリストア回路４２０は、１対の交差結合されたｐチャネルＭＯＳトランジスタＰＱ１およびＰＱ２を含む。ＭＯＳトランジスタＰＱ１は、そのソースが信号線４４１に接続され、そのドレインがビット線ＢＬに接続され、そのゲートがビット線／ＢＬに接続される。ＭＯＳトランジスタＰＱ２は、そのソースが信号線４４１に接続され、そのドレインがビット線／ＢＬに接続され、そのゲートがビット線ＢＬに接続される。ＭＯＳトランジスタＰＱ１およびＰＱ２の基板領域（ウェルまたは半導体層）は外部電源ノード１から外部電源電圧ＶＣＥを受けるように接続される。
ビット線ＢＬおよび／ＢＬに対しては、さらに、ビット線ＢＬおよび／ＢＬの電位を差動的に増幅するセンスアンプ４３０と、スタンバイ時にビット線ＢＬおよび／ＢＬを所定の電位ＶＢＬにプリチャージしかつイコライズするビット線イコライズ回路４４０が設けられる。センスアンプ４３０は、交差結合されたｎチャネルＭＯＳトランジスタＮＱ１およびＮＱ２を含む。ＭＯＳトランジスタＮＱ１は、そのソースがノードＳＮに接続され、そのドレインがビット線ＢＬに接続され、そのゲートがビット線／ＢＬに接続される。ＭＯＳトランジスタＮＱ２は、そのソースがノードＳＮに接続され、そのドレインがビット線／ＢＬに接続され、そのゲートがビット線ＢＬに接続される。
ビット線イコライズ回路４４０は、イコライズ信号ＥＱに応答して導通し、ビット線ＢＬおよび／ＢＬを電気的に短絡するｎチャネルＭＯＳトランジスタＮＱ３と、イコライズ信号ＥＱに応答して所定のプリチャージ電位ＶＢＬ（内部電源電圧の１／２）をビット線ＢＬに供給するｎチャネルＭＯＳトランジスタＮＱ４と、イコライズ信号ＥＱに応答して導通し、プリチャージ電圧ＶＢＬをビット線／ＢＬへ伝達するｎチャネルＭＯＳトランジスタＮＱ５を含む。ＭＯＳトランジスタＮＱ１〜ＮＱ５は、その基板領域が接地電圧を受けるように接続される。
センスアンプ４３０を活性化するために、センス活性化トランジスタＮＱ６が設けられる。このセンス活性化トランジスタＮＱ６は、センス活性化信号ＳＯに応答して導通し、接地電圧ＧＮＤをノードＳＮへ伝達する。
スタンバイ時にノードＳＮおよびＳＰを中間電圧ＶＢＬにイコライズしかつ、プリチャージするためにセンスイコライズ／プリチャージ回路４５０が設けられる。このセンスイコライズ／プリチャージ回路４５０は、イコライズ信号ＳＥＱに応答してノードＳＮおよびＳＰをプリチャージ電圧ＶＢＬの電圧レベルにプリチャージしかつイコライズする。このセンスイコライズ／プリチャージ回路４５０は、イコライズ回路４４０と同じ構成を備える。
図３５においては、さらに、列選択ゲート４４５の転送ゲートＴＧａおよびＴＧｂは、コラム選択信号Ｙに応答してビット線ＢＬおよび／ＢＬを内部データ線ＩＯおよび／ＩＯへ接続する。このコラム選択信号Ｙは図３５においては、１対のビット線ＢＬおよび／ＢＬのみを選択するように示されるが、このコラム選択信号Ｙは同時に複数の列を選択するようにされてもよい。またセンスアンプ４３０およびアクティブリストア回路４２０は、２つのメモリブロックのビット線対により共有されるいわゆる「シアードセンスアンプ配置」に構成されてもよい。次にこの図３５に示す半導体装置の動作をその動作波形図である図３６を参照して説明する。
半導体記憶装置においては、ロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳがハイレベルのときには装置内部はスタンバイ状態に維持される。この状態においては、イコライズ信号ＥＱがハイレベルにあり、ビット線イコライズ回路４４０はビット線ＢＬおよび／ＢＬをプリチャージ電圧ＶＢＬにプリチャージしかつイコライズしている。同様に、センスイコライズ／プリチャージ回路４５０は、ノードＳＮおよびＳＰを中間電圧ＶＢＬにプリチャージしかつイコライズしている。充電回路４００は、非活性状態にあり、キャパシタ４１０の一方電極は内部電源線５上の電圧レベルに充電されている。図３６においては、このキャパシタ４１０のスタンバイ時の充電電圧ＶＣＣＳが内部動作電源電圧ＶＣＣに等しい電圧レベルであるように示される（ＶＣＩ＝ＶＣＣ）。スイッチング素子ＳＷａおよびセンス活性化トランジスタＮＱ６はともにオフ状態にある。
ロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳが活性状態のローレベルに立下がると、メモリサイクルが始まる。この信号／ＲＡＳの活性化に応答して所定期間の間プリチャージ信号／ＰＲが活性状態のローレベルとされ、充電回路４００が外部電源ノード１から電流をキャパシタ４１０へ供給し、これによりキャパシタ４１０の一方電極の電圧ＶＣＣＳが内部電源電圧ＶＣＣよりも高くなる。またイコライズ信号ＥＱおよびＳＥＱがともに非活性状態とされ、ビット線イコライズ回路４４０およびセンスイコライズ／プリチャージ回路４５０は非活性状態とされる。これによりビット線ＢＬおよび／ＢＬはプリチャージ電圧ＶＢＬでフローティング状態とされ、またノードＳＮおよびＳＰもプリチャージ電圧ＶＢＬでフローティング状態とされる。
次いで信号／ＲＡＳの活性化に応答して、図示しない回路により、アドレス信号のデコードが行なわれ、ワード線選択動作が行なわれる。選択されたワード線ＷＬの電位が図示しないワード線ドライブ回路によりハイレベルに上昇する。図３６においては、選択ワード線ＷＬの電圧レベルが内部電源電圧ＶＣＣよりも高い高電圧Ｖｐｐにまで昇圧される場合が一例として示される。
ワード線ＷＬが選択状態とされ、その電位がハイレベルとなると、メモリセルＭＣのアクセストランジスタＭＴがオン状態とされ、メモリキャパシタＭＱに格納された電荷がビット線ＢＬ（または／ＢＬ）に伝達され、ビット線ＢＬおよび／ＢＬに電位差が生じる。図３６においては、メモリキャパシタＭＱにローレベルの情報が格納されており、ビット線ＢＬの電位がプリチャージ電圧ＶＢＬから低下する状態が一例として示される。
充電回路４００によるキャパシタ４１０の充電動作が完了すると、内部電源線５の放電により、このキャパシタ４１０の充電電圧ＶＣＣＳは徐々に低下する。ビット線ＢＬおよび／ＢＬの電位差が十分に拡大されると（信号／ＲＡＳが活性状態となってから所定時間経過後に）、センス活性化信号／ＳＯおよびＳＯが活性状態とされる。これらのセンス活性化信号／ＳＯおよびＳＯは信号／ＲＡＳに応答して活性状態とされる。これによりスイッチング素子ＳＷａおよびセンス活性化トランジスタＮＱ６がともにオン状態となり、ノードＳＰの充電およびノードＳＮの放電が行なわれる。キャパシタ４１０の一方電極の電圧ＶＣＣＳは内部動作電源電圧ＶＣＣよりも高い電圧レベルにあり、スイッチングトランジスタＳＷａがオン状態となったときに内部電源線５上の電圧ＶＣＩ（ＶＣＣ）の変動を抑制し、高速でノードＳＰの電位を上昇させる。すなわち、内部電源線５上の電位低下はこのキャパシタ４１０からの充電電荷により補償され、内部電源線５上の電圧ＶＣＩの低下が抑制される。ノードＳＰの電圧レベルが上昇すると、アクティブリストア回路４２０においては、低電位のビット線ＢＬの電位をゲートに受けるＭＯＳトランジスタＰＱ２のコンダクタンスがＭＯＳトランジスタＰＱ１のそれよりも大きくなり、ビット線／ＢＬがこのトランジスタＰＱ２を介してノードＳＰから電流を供給されその電位が電源電圧レベルにまで上昇する。このとき、キャパシタ４１０の電位が内部電源電圧ＶＣＣレベルにまで低下しても、このときにはドライブ素子２を介して電流が内部電源線へ供給され、ノードＳＰの電圧レベルが内部電源電圧ＶＣＣレベルに維持される。
一方、センスアンプ４３０においては、ノードＳＮが接地電圧ＧＮＤレベルにまで放電されると、高電位のビット線／ＢＬの電位をゲートに受けるＭＯＳトランジスタをＮＱ１のコンダクタンスがＭＯＳトランジスタＮＱ２のそれよりも大きくなるため、ビット線ＢＬはトランジスタＮＱ１を介して接地電圧レベルにまで放電される。
ビット線ＢＬおよび／ＢＬが内部電源電圧ＶＣＣおよび接地電圧ＧＮＤレベルに駆動されると、列選択信号Ｙがハイレベルの活性状態とされ、このビット線ＢＬおよび／ＢＬが内部データ線ＩＯおよび／ＩＯにそれぞれ列選択ゲート４４５を介して接続される。その後、図示しない回路によりメモリセルのデータの書込／読出が行なわれる。
メモリサイクルが完了すると、信号／ＲＡＳがハイレベルとなり、ワード線ＷＬが非選択状態とされ、センス活性化信号ＳＯおよび／ＳＯが非活性状態とされる。この後、ビット線イコライズ信号ＥＱが活性状態のハイレベルとされ、またセンスイコライズ／プリチャージ回路４５０もイコライズ信号ＳＥＱにより活性状態とされ、ノードＳＰおよびＳＮならびにビット線ＢＬおよび／ＢＬがプリチャージ電圧ＶＢＬにプリチャージされかつイコライズされる。これにより１つのメモリサイクルが完了する。
上述のように、アクティブリストア回路４２０の動作開始時において、ノードＳＰの電圧レベルを内部電源電圧ＶＣＣ以上に昇圧した場合、内部電源電圧ＶＣＣを用いる場合に比べて、そのノードＳＰの電圧レベルの立上がり速度を速くすることができる。この場合、内部電源電圧ＶＣＣを用いる場合に比べてアクティブリストア回路４２０において、低電位のビット線の電位（図３６に示す場合には、ビット線ＢＬ）をゲートに受けるＭＯＳトランジスタ（ＰＱ２）のゲート−ソース間電圧が大きくなり、そのコンダクタンスが大きくされ、一方、ＭＯＳトランジスタＰＱ１は、そのゲートとソースの電圧差が小さくされ、そのコンダクタンスが小さくなる。トランジスタＰＱ１およびＰＱ２のコンダクタンスの差が大きくされ、応じてアクティブリストア回路動作時における充電すべきビット線へ供給する電流を内部電源電圧ＶＣＣを用いる場合に比べて大きくすることができ、高速でリストア動作を行なうことができる。
キャパシタ４１０の静電容量は、このキャパシタ４１０が駆動すべき信号線（センスアンプ駆動信号線）に付随する負荷容量（ビット線容量）とキャパシタ４１０の充電電位とから決定することができる。
［変更例１］
図３７は、この発明の第４の実施例の第１の変更例の構成を示す図である。図３７においては、内部電源線５とノードＳＰとの間にスイッチング素子ＳＷｂがさらに設けられる。ノードＳＰは、また図３５に示す構成と同様、スイッチング素子ＳＷａを介してキャパシタ４１０の一方電極ノードに接続される。充電回路４１１は、キャパシタ４１０の一方電極を常時充電していてもよく、また図３５に示すように、所定の期間のみ充電を行なうように構成されてもよい。この充電回路４１１の充電電位は、外部電源電圧ＶＣＥレベルであってもよく、また内部電源電圧ＶＣＣレベルよりも低い電圧レベルであってもよい。ノードＳＰの充電を補助する電圧レベルに充電されていればよい。次に動作について簡単にその動作波形図である図３８を参照して説明する。ここで、図３８においては、単にセンス動作時における波形図のみを示す。
キャパシタ４１０の一方電極は充電回路４１１により所定の電圧レベル（正の電圧レベル）に充電されている。
センス活性化信号／ＳＯａが所定期間活性状態のローレベルとなると、スイッチ素子ＳＷａがオン状態とされ、キャパシタ４１０の一方電極がノードＳＰに接続される。これにより、ノードＳＰは、そのプリチャージ電位ＶＢＬからキャパシタ４１０の充電電位によりその電位が少し上昇し、このノードＳＰの電位上昇に伴って、ビット線対ＢＬおよび／ＢＬのうち高電位のビット線電位が少し上昇する。この後、センス活性化信号／ＳＯｂが活性状態のローレベルとされ、スイッチ素子ＳＷｂがオン状態とされ、内部電源線５がノードＳＰに接続される。これにより、ノードＳＰはドライブ素子２および比較回路３による電流制御経路により電源電圧ＶＣＣレベルにまで充電される。このドライブ素子２からの充電動作により、ノードＳＰは最終的に内部電源電圧ＶＣＣレベルにまで上昇する。
図３８に示すように、リストア回路の動作時において、まずキャパシタ４１０の充電電位によりノードＳＰを充電し、次いで内部電源線５をノードＳＰに接続することにより、このスイッチング素子ＳＷｂのオン状態移行時における内部電源線５の電圧変動を十分に小さくすることができ、安定にリストア動作を行なうことができる。このセンス活性化信号／ＳＯａおよび／ＳＯｂは同じタイミングで活性状態とされてもよい。リストア動作時におけるノードＳＰの電位上昇時に内部電源線５からの電流供給のみならずキャパシタ４１０からの充電電荷を合わせて供給することにより、内部電源線５上の電圧レベルの低下を抑制することができ、高速でノードＳＰを所定の電圧レベルへ駆動することができ、高速でリストア動作を行なうことができる。
なお、図３６に破線の波形図で示すように、充電回路４００の充電動作期間はリストア回路の動作期間と重なり合うようにしてもよい。すなわちリストア動作時においても充電回路４００からノードＳＰが充電されるため、より高速でノードＳＰの電位を所定の電圧レベルにまで上昇させることができ、応じて充電されるべきビット線に対して設けられたＭＯＳトランジスタのゲート−ソース間電位差を十分大きくすることができ、高速で充電すべきビット線を充電することができる。
以上のように、この発明の第４の実施例に従えば、リストア回路の動作時、そのノードをキャパシタの充電電荷により電位を上昇させるように構成したため、ドライブ素子２および比較回路３の応答に遅れが生じる場合においても、内部電源線５上の電圧低下を十分に抑制することができ、安定かつ高速にリストア回路の制御ノードを所定電圧レベルへ上昇させることができ、高速かつ安定に動作するリストア回路を実現することができる。
［実施例５］
図３９は、この発明の第５の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。この図３９に示す構成においては、リストア回路４２０に含まれるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰＱ１およびＰＱ２の基板領域（ウェルまたは半導体層）は充電回路４００の出力電圧を受けるように接続される。ノードＳＰは、スイッチング素子ＳＷｃを介して内部電源線５に接続される。他の構成は、図３５に示すもの同じであり、対応する部分には同一の参照番号を付す。次にこの図３９に示す装置の動作をその動作波形図である図４０を参照して説明する。
信号／ＲＡＳが活性状態のローレベルとなり、アクティブサイクルが始まると、まず充電回路４００が、プリチャージ信号／ＰＲに応答して活性化され、所定期間内部電源電圧ＶＣＣよりも高い電圧を出力する。これによりアクティブリストア回路４２０のＭＯＳトランジスタＰＱ１およびＰＱ２の基板領域が電源電圧ＶＣＣよりも高い電圧レベルに充電され、これらＭＯＳトランジスタＰＱ１およびＰＱ２の基板バイアスがより深い状態に設定される。
次いでメモリセル選択動作が行なわれ、選択ワード線ＷＬ上の電位が高電圧Ｖｐｐレベルに立上がると、ビット線ＢＬおよび／ＢＬにこのメモリセルＭＣが記憶するデータに応じた電位差が生じる。図４０においては、ビット線ＢＬにローレベルの電圧が伝達される状態が一例として示される。次いでセンス活性化信号／ＳＯが活性状態のローレベルとされ、スイッチング素子ＳＷｃがオン状態とされる。これにより、ノードＳＵＢとＳＰが相互接続される。ＭＯＳトランジスタＰＱ１およびＰＱ２の基板領域に格納された電荷がノードＳＵＢおよびスイッチング素子ＳＷｃを介してノードＳＰへ伝達される。これにより、基板領域に格納されていた充電電荷がノードＳＰへ伝達され、このノードＳＰは、内部電源線５からの電流供給と基板領域からの充電電荷の供給とに従ってその電圧レベルが上昇する。これにより、内部電源線５上の電圧レベルの低下を抑制することができ、ドライブ素子２および比較回路３の応答の遅れを補償することができる。このリストア回路４２０の動作開始時においては、ノードＳＵＢから高電圧がノードＳＰへ伝達されるため、ノードＳＰの電圧上昇速度は早くなり、ＭＯＳトランジスタＰＱ１，ＰＱ２のソース電位が高くされたことと等価となる。したがって、実施例４の場合と同様、ビット線を充電すべきＭＯＳトランジスタのコンダクタンスは他方のＭＯＳトランジスタのそれよりも相対的に十分大きくされ、高速で充電すべきビット線を充電することができる。
図４０においては、この基板ノードＳＵＢが、充電回路４００の充電完了後、ノードＳＰに接続され、その電位が低下する状態が示される。このように、アクティブリストア回路のＭＯＳトランジスタＰＱ１およびＰＱ２の基板領域を容量として利用し、この容量の充電電荷を用いてアクティブリストア回路のノードＳＰの電位上昇時に利用することにより、内部電源線５上の電位低下を抑制して高速でノードＳＰを所定の電圧レベルへ駆動することができる。
また、この充電回路４００による充電期間はプリチャージ信号／ＰＲの活性期間のみであり、したがって充電回路４００が外部電源ノード１から電流を供給されて充電動作を行なったとしても、その充電動作は所定期間のみ行なわれるため、ノードＳＰが内部電源電圧ＶＣＣレベル以上に昇圧されることはない。
また、スイッチング素子ＳＷｃのオン状態のときには、アクティブリストア回路においてＭＯＳトランジスタＰＱ１およびＰＱ２のソースおよび基板領域が同じ電位とされるため、ＭＯＳトランジスタＰＱ１およびＰＱ２は最も低いしきい値電圧の絶対値の状態で増幅動作を行なうことができ、高速に充電動作を行なわせることができる。また、基板バイアスを深くすることにより、そのしきい値電圧の絶対値が大きくなるため、アクティブリストア回路４２０のＭＯＳトランジスタＰＱ１およびＰＱ２のコンダクタンスは内部電源電圧ＶＣＣが基板領域へ印加される場合に比べて大きくなり、その動作開始時における増幅動作速度を遅くすることができ、応じてセンスアンプの感度を高くすることができ（微小電位が緩やかに増幅される）、正確に動作するアクティブリストア回路を実現することができる。
なお図４０において破線で示すように、充電回路４００に対するプリチャージ信号／ＰＲはセンス活性化信号ＳＯおよび／ＳＯが活性状態となった後も充電（プリチャージ動作）が行なわれるように構成されてもよい。この場合、より高速でノードＳＰを所定の電圧レベルへ駆動することができる。
［変更例１］
図４１は、この発明の第５の実施例の第１の変更例の構成および動作を示す図である。図４１（ａ）において、充電回路４００は、プリチャージ信号／ＰＲに応答して所定期間のみプリチャージ動作を行なう。アクティブリストア回路に含まれるＭＯＳトランジスタＰＱ１およびＰＱ２（図４１（ａ）には示さず）の基板領域ＳＵＢは内部電源ノード５に接続される。すなわち基板領域ＳＵＢは、充電回路４００の充電動作時、内部電源線５上の電圧ＶＣＩよりも高い電圧レベルにプリチャージされる。内部電源線５とアクティブリストア回路のノードＳＰの間にスイッチング素子ＳＷｅが配置され、ノードＳＰと基板領域ＳＵＢの間にスイッチング素子ＳＷｆが配置される。スイッチング素子ＳＷｅはセンス活性化信号／ＳＯに応答して導通し、スイッチング素子ＳＷｆはこのセンス活性化信号／ＳＯより速いタイミングで活性状態とされる信号／ＳＯａにより導通状態とされる。次に、図４１（ｂ）に示す動作波形図を参照して動作について簡単に説明する。
スタンバイ時においては、スイッチング素子ＳＷｅおよびＳＷｆはともにオフ状態にあり、基板領域ＳＵＢは内部電源線５上の電源電圧レベルに充電されている。アクティブサイクルが始まると、まずプリチャージ信号／ＰＲが活性状態とされ、充電回路４００が動作し、基板領域ＳＵＢを所定電圧レベルに充電する。次いで、信号／ＳＯａが活性状態となり、スイッチング素子ＳＷｆがオン状態となり、基板領域ＳＵＢがノードＳＰに接続される。これにより基板領域ＳＵＢに充電された電荷がノードＳＰへ伝達され、ノードＳＰの電位が上昇する。このとき基板領域ＳＵＢとノードＳＰは相互接続されるため、アクティブリストア回路に含まれるＭＯＳトランジスタのソースおよび基板領域は同一電位とされ、基板効果がなくなり、最も小さなしきい値電圧の絶対値でアクティブリストア回路のＭＯＳトランジスタが動作する。次いでセンス活性化信号／ＳＯが活性状態とされ、内部電源線５がノードＳＰに接続され、ノードＳＰは内部電源線５上の電圧レベルにまでその電位が上昇する。
基板領域の静電容量がノードＳＰに付随する容量（ビット線容量）よりも小さく、ノードＳＰの電位がこの基板領域ＳＵＢからの充電電荷により十分上昇しない場合においても、内部電源線５上へドライブ素子２を介して与えられる電流により、ノードＳＰの電圧は所定の電圧レベルにまで上昇する。
基板領域にはこのアクティブリストア回路がすべて形成されるため（複数のビット線対それぞれに対応してアクティブリストア回路が設けられている）この基板領域は比較的大きな面積となり、基板領域の容量は十分大きな値を持つことができる。ノードＳＰをこのアクティブリストア回路の動作時に十分にその充電電荷を供給して電圧レベルを上昇させることができる。ノードＳＰの基板領域ＳＵＢからの充電電荷により上昇する電圧レベルはノードＳＰに付随する容量と基板領域ＳＵＢの容量とにより決定される。
この図４１に示す構成においても、内部電源線５上の電圧低下を抑制して確実に内部ノードＳＰを所定電圧レベルにまで駆動することができる。
［変更例２］
図４２は、この第５の実施例の第２の変更例の構成および動作を示す図である。図４２（ａ）において、この発明の第５の実施例の第２の変更例の構成においては、充電回路４００の出力ノード（基板領域ＳＵＢ）と内部電源線５の間にロウアドレスストローブ信号ＲＡＳへ非活性化時に導通状態となるスイッチング素子ＳＷｇがさらに設けられる。他の構成は図４１（ａ）に示す構成と同じである。スイッチング素子ＳＷｇはスタンバイサイクル時においてのみオン状態とされる。充電回路４００はプリチャージ信号／ＰＲに応答して所定期間のみプリチャージ動作を行なう。次に動作についてその動作波形図である図４２（ｂ）を参照して説明する。
スタンバイサイクルにおいては、信号ＲＡＳはローレベルにあり、スイッチング素子ＳＷｇがオン状態、一方、センス活性化信号／ＳＯおよび信号／ＳＯａは非活性状態のハイレベルにあり、スイッチング素子ＳＷｅおよびＳＷｆはオフ状態にある。この状態においては、基板領域ＳＵＢは内部電源線５上の電源電圧ＶＣＣレベルに充電される。
アクティブサイクルが始まると、信号ＲＡＳが活性状態のハイレベルとなり、スイッチング素子ＳＷｇがオフ状態とされる。この信号ＲＡＳの活性化に応答してプリチャージ信号／ＰＲが活性状態のローレベルとされ、充電回路４００が動作し、基板領域ＳＵＢを所定の電圧レベルにまで充電する。次いで信号／ＳＯａが活性状態のローレベルとされ、基板領域ＳＵＢとノードＳＰとが相互接続される。これにより、基板領域ＳＵＢからノードＳＰへ充電電荷が流れ、ノードＳＰの電位が上昇する。次いで信号／ＳＯが活性状態のローレベルとされスイッチング素子ＳＷｅがオン状態とされる。これにより、ノードＳＰがドライブ素子２から電流を供給され、その電位が高速でハイレベルへと立上がる。この場合においても、同様の効果を得ることができる。このときまた基板領域ＳＵＢの充電時においては、内部電源線５の充電は行なわれないため、効率的に基板領域ＳＵＢを所定電圧レベルに充電することができる。
なお充電回路４００としては、先に図２８ないし３２に示す充電回路を利用することができ、充電回路４００は、基板領域ＳＵＢを外部電源ノード１へ与えられる電源電圧レベルにまで充電するように構成されてもよい。また単に充電回路４００は外部電源ノードに接続される抵抗素子であってもよい。
以上の様に、この実施例５においてはアクティブリストア回路に含まれるＭＯＳトランジスタの基板領域を容量として利用し、この容量の充電電荷を用いてアクティブリストア回路の動作時におけるノード電位を上昇させるように構成したため内部電源線５の電圧変動を抑制することができ、高速かつ安定にアクティブリストア回路のノードを所定電圧レベルへ駆動することができ、応じて高速かつ安定に動作するアクティブリストア回路を実現することができる。
［実施例６］
図４３は、この発明の第６の実施例である半導体装置の要部の構成およびその動作を示す図である。図４３（ａ）において、外部電源ノード１と基板領域（アクティブリストア回路に含まれるＭＯＳトランジスタの基板領域）ＳＵＢの間に、ロウアドレスストローブ信号ＲＡＳに応答して導通するスイッチングトランジスタＳＷｈが設けられる。内部電源線５は基板領域ＳＵＢには接続されない。基板領域ＳＵＢとアクティブリストア回路のノードＳＰとの間には、信号／ＳＯａに応答して導通するスイッチング素子ＳＷｆが配置され、内部電源線５とノードＳＰの間にセンス活性化信号／ＳＯに応答して導通するスイッチング素子ＳＷｅが配置される。スイッチング素子ＳＷｈは、信号ＲＡＳがハイレベルのときにオン状態とされ、信号ＲＡＳがローレベルのときにオン状態とされる。すなわち、スイッチング素子ＳＷｈはスタンバイサイクルにおいてオン状態とされる。次に動作についてその動作波形図である図４３（ｂ）を参照して説明する。
スタンバイサイクル時においては信号ＲＡＳがローレベルであり、スイッチング素子ＳＷｈがオン状態となり、基板領域ＳＵＢは外部電源ノード１へ与えられる外部電源電圧ＶＣＥレベルに充電される。スイッチング素子ＳＷｅおよびＳＷｆはともにオフ状態にある。
アクティブサイクルが始まると、信号ＲＡＳがハイレベルとなり、スイッチング素子ＳＷｈがオフ状態とされる。この信号ＲＡＳがハイレベルになり、アクティブサイクルが始まると、所定期間経過後信号／ＳＯａがローレベルの活性状態となり、スイッチング素子ＳＷｆがオン状態となり、基板領域ＳＵＢがノードＳＰに接続され、ノードＳＰの電位がそのプリチャージ電位（中間電位）から上昇する。これによりアクティブリストア動作が緩やかに開始される。ノードＳＰの電位上昇に従って基板領域ＳＵＢの電位が低下する。このノードＳＰと基板領域ＳＵＢは相互接続されており、ほぼ同じ速度で基板領域ＳＵＢの電位低下とノードＳＰの電位上昇とが生じる。リストア動作開始時、アクティブリストア回路のＭＯＳトランジスタの基板バイアスは深くされており、そのチャネル抵抗が基板効果により大きくなり緩やかな増幅動作が行なわれる。
次いで、センス活性化信号／ＳＯがローレベルの活性状態とされ、スイッチング素子／ＳＯがオン状態となり、ノードＳＰへは内部電源線５から電流が供給され、その電位が内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩ（内部動作電源電圧ＶＣＣ）レベルに復帰する。このスイッチング素子ＳＷｅを介しての電流供給は、またスイッチング素子ＳＷｆを介して基板領域ＳＵＢに対して行なわれているため、基板領域ＳＵＢの電位は同様内部電源ＶＣＣレベルとなる。この状態においてアクティブリストア動作が行なわれる。この場合においても、先の第２の実施例の場合と同様、高電位のビット線を充電すべきＭＯＳトランジスタのコンダクタンスとそうでないＭＯＳトランジスタのコンダクタンスとの差が十分大きくされ、比較的高速で充電すべきビット線の電位が上昇する。またこのとき、アクティブリストア回路において、ＭＯＳトランジスタＰＱ１およびＰＱ２（図３９参照）のソースおよび基板領域は同一電位とされており、基板効果の影響を受けることなく、小さな絶対値のしきい値電圧によりこれらのＭＯＳトランジスタが動作しており、高速でリストア動作を行なうことができる。
１つの動作サイクルが完了すると、信号ＲＡＳがローレベルへ立下がり、次いで信号／ＳＯａおよび／ＳＯがハイレベルの活性状態とされる。スイッチング素子ＳＷｈがオン状態となり、再び基板領域ＳＵＢが外部電源電圧ＶＣＥレベルに充電される。
この第６の実施例のように、アクティブリストア回路のＭＯＳトランジスタの基板領域を外部電源電圧レベルとすることにより、何ら余分の充電回路を設けることなく容易に基板領域を充電することができ、高速かつ安定に動作するアクティブリストア回路を実現することができる。
以上のように、この第６の実施例の構成に従えば、スタンバイサイクル時にアクティブリストア回路の構成要素であるＭＯＳトランジスタの基板領域を外部電源電圧レベルにプリチャージしておき、アクティブリストア回路の動作時にはその基板領域に充電された電荷をアクティブリストア回路の活性化ノードへ伝達するように構成しているため、このノード電位を高速でかつ正確に上昇させることができ、高速かつ安定に動作するアクティブリストア回路を得ることができる。
［実施例７］
図４４は、この発明の第７の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。図４４においては、一列のメモリセルに関連する部分すなわち１つのセンスアンプに関連する部分の構成のみを示す。図４４においてアクティブリストア回路４２０は、交差結合されたｐチャネルＭＯＳトランジスタＰＱ３およびＰＱ４を含む。これらのＭＯＳトランジスタＰＱ３およびＰＱ４の基板領域へは外部電源ノード１から外部電源電圧ＶＣＥが供給される。
ビット線イコライズ回路４４０は、図３９に示す構成と同様、ｎチャネルＭＯＳトランジスタＮＱ３、ＮＱ４およびＮＱ５を含む。これらのＭＯＳトランジスタＮＱ３〜ＮＱ５の基板領域は接地電圧ＧＮＤを受けるように接続される。
センスアンプ４３０は、ビット線ＢＬおよび／ＢＬの間に交差結合されたｎチャネルＭＯＳトランジスタＮＱ７およびＮＱ８を含む。これらＭＯＳトランジスタＮＱ７およびＮＱ８の基板領域はノードＶＳＷに接続される。ノードＶＳＷと接地電圧供給ノードとの間にプリチャージ信号φＰの活性化時導通状態となるスイッチング素子ＳＷｉが配置される。ノードＶＳＷとノードＳＮの間には、信号ＳＯｂの活性化時に導通状態とされるスイッチング素子ＳＷｊが配置される。ノードＳＮと接続電圧供給ノードとの間には、信号ＳＯａの活性化時に導通状態となるスイッチング素子ＳＷｋが配置される。
またビット線対ＢＬおよび／ＢＬには、列選択信号Ｙに応答してビット線ＢＬおよび／ＢＬを内部データ線ＩＯおよび／ＩＯへ接続する列選択ゲート４４５が配置される。この列選択ゲート４４５は、列選択信号Ｙに応答して導通する転送ゲートＴＧａおよびＴＧｂを含む。ビット線イコライズ回路４４０および列選択ゲート４４５の構成は、先に図３９に示したものと同じである。次に、この図４４に示す構成の動作について、その動作波形図である図４５を参照して説明する。
スタンバイサイクル時においては、ロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳはハイレベルの非活性状態にあり、応じてビット線イコライズ信号ＥＱはＨレベル（高電圧Ｖｐｐレベル）にあり、ビット線イコライズ回路４４０のＭＯＳトランジスタＮＱ３〜ＮＱ５がすべてオン状態にあり、ビット線ＢＬおよび／ＢＬは中間電圧ＶＢＬにプリチャージされかつイコライズされている。アクティブリストア回路４２０のノードＳＰおよびセンスアンプ４３０のノードＳＮは同様、図示しないイコライズ／プリチャージ回路により中間電圧ＶＢＬにプリチャージされかつイコライズされている。センスアンプ４３０のＭＯＳトランジスタＮＱ７およびＮＱ８の基板領域ＶＳＷは、先のサイクルにおいて接地電圧ＧＮＤレベルにプリチャージされている。
アクティブサイクルが始まるとき、信号／ＲＡＳがローレベルの活性状態とされる。これに応答して、信号φＰがハイレベルの活性状態となり、スイッチング素子ＳＷｉがオン状態とされる。これにより基板領域ＶＳＷは接地電圧ＧＮＤレベルに確実にプリチャージされる。このときまたビット線イコライズ信号ＥＱがローレベルの非活性状態となり、ビット線イコライズ回路４４０のＭＯＳトランジスタＮＱ３〜ＮＱ５がすべてオフ状態とされる。
図示しない経路により、ワード線選択動作が行なわれ、選択ワード線ＷＬが高電圧Ｖｐｐレベルにまで昇圧される。これにより、ワード線ＷＬに接続されるメモリセルＭＣの記憶する情報に従ってビット線ＢＬおよび／ＢＬに電位差が生じる。図４５においては、ビット線ＢＬへは、ローレベルの情報が読出された状態が一例として示される。
次いで、センス活性化信号ＳＯｂがまずハイレベルの活性状態とされ、スイッチング素子ＳＷｊがオン状態とされる。これにより基板領域ＶＳＷがセンスアンプ４３０のノードＳＮに接続されノードＳＮの電圧レベルがプリチャージレベルのＶＢＬから徐々に低下する。このノードＳＮの電位低下は、基板領域ＶＳＷからの電荷（電子）の供給により行なわれており、応じて基板領域ＶＳＷの電位が上昇する。
次いで、第２のセンス活性化信号ＳＯａがハイレベルの活性状態となり、スイッチング素子ＳＷｋがオン状態とされ、接地電圧ＧＮＤがノードＳＮへ与えられる。これにより、センスアンプ４３０のノードＳＮの電圧レベルが急速に低下する。スイッチング素子ＳＷｋのみを介して接地電圧ＧＮＤを供給する構成と比べて、キャパシタとして、ＭＯＳトランジスタＮＱ７およびＮＱ８の基板領域を用い、そこに格納された電荷を利用してノードＳＮを接地電圧レベルへ駆動しているため、高速でセンスアンプ４３０のノードＳＮを所定の接地電圧レベルへ駆動することができる。このとき、センスアンプ４３０において、スイッチング素子ＳＷｊを介して基板領域ＶＳＷとソース（ノードＳＮ）とが相互接続され、同一電位となるため、これらＭＯＳトランジスタＮＱ７およびＮＱ８のしきい値電圧は、基板効果の影響がなくなり、最小値となり、高速で放電すべきビット線を接地電圧レベルへ放電することができる。ノードＳＮは、基板領域ＶＳＷの容量がこのノードＳＮに付随する容量（ビット線容量）よりも小さい場合においても、スイッチング素子ＳＷｋを介して接地電圧ＧＮＤレベルへ確実に放電される。これにより、接地電圧のセンス動作開始時における浮き上がりを防止し、確実にセンス動作を行なうことができる。
メモリサイクルが完了すると、信号／ＲＡＳがハイレベルへ立上がり、ワード線ＷＬの電位が非選択状態の接地電圧レベルへ低下する。次いで、まず信号ＳＯｂがローレベルとされ、スイッチング素子ＳＷｊがオフ状態とされる。基板領域ＶＳＷは、既に接地電圧ＧＮＤレベルに充電されている。次いで活性化信号ＳＯａがローレベルの非活性状態となり、スイッチング素子ＳＷｋがオフ状態とされる。
なお図４５に示す波形図においては、プリチャージ信号φＰは、センス動作時においてもハイレベルの活性状態とされている。このとき、充電信号φＰがローレベルの活性状態となった後にセンス活性化信号ＳＯｂおよびＳＯａが活性状態とされる構成が利用されてもよい。
なお、アクティブリストア回路のノードＳＰの電位は、先の実施例２において説明したものと同様であり、図示しない経路によりセンス活性化信号が発生され、このノードＳＰは内部電源電圧ＶＣＣレベルにまで上昇する。
［変更例１］
図４６は、この発明の第７の実施例の第１の変更例の構成を示す図である。図４６に示す構成においては、センスアンプ４３０のＭＯＳトランジスタＮＱ７およびＮＱ８の基板領域ＶＳＷへは、スイッチング素子ＳＷｍを介してＶｂｂ発生回路４６０からの負電圧Ｖｂｂが供給される。スイッチング素子ＳＷｍは、そのゲートにプリチャージ信号φＰＲを受ける。このプリチャージ信号φＰＲは、そのハイレベルが内部電源電圧ＶＣＣレベル、そのローレベルが負電圧Ｖｂｂレベルである。他の構成は図４４に示す構成と同じであり、対応する部分には同じ参照番号を付す。次に、図４６に示す構成の動作を、その動作波形図である図４７を参照して説明する。
スタンバイサイクルにおいては、信号ＳＯａ、ＳＯｂおよびφＰＲはすべてローレベルの非活性状態にあり、スイッチング素子ＳＷｋ、ＳＷｊおよびＳＷｍはオフ状態にある。基板領域ＶＳＷは、先のサイクルにおいて接地電圧ＧＮＤレベルにプリチャージされている。ビット線イコライズ回路４４０は、ハイレベルのイコライズ信号ＥＱに応答して活性化されてビット線ＢＬおよび／ＢＬを中間電圧ＶＢＬにプリチャージしかつイコライズしている。またアクティブリストア回路４２０においては、ノードＳＰは中間電圧ＶＢＬにプリチャージされ、またセンスアンプ４３０のノードＳＮも中間電圧ＶＢＬにプリチャージされている。
信号／ＲＡＳがローレベルの活性状態となると、アクティブサイクルが始まる。この信号／ＲＡＳの立下がりに応答して、プリチャージ信号φＰＲがローレベルからハイレベルへ立上がり、Ｖｂｂ発生回路４６０の発生する負電圧Ｖｂｂがセンスアンプ４３０の基板領域ＶＳＷへ供給される。これにより、基板領域ＶＳＷは接地電圧ＧＮＤレベルから負電圧Ｖｂｂレベルに充電される。またこのときイコライズ信号ＥＱが非活性状態のローレベルとされ、ビット線イコライズ回路４４０が非活性状態とされ、ビット線ＢＬおよび／ＢＬはプリチャージ電圧ＶＢＬでフローティング状態とされる。
選択ワード線ＷＬの電位が高電圧Ｖｐｐレベルにまで上昇し、ビット線ＢＬおよび／ＢＬの電位差が拡大されると、センス活性化信号ＳＯｂおよびＳＯａが順次活性状態のハイレベルとされる（信号／ＲＡＳに応答して所定期間経過後に活性状態とされる）。これによりまずスイッチング素子ＳＷｊがオン状態とされ、基板領域ＶＳＷの負電圧ＶｂｂがノードＳＮへ伝達され、ノードＳＮの電圧レベルはその中間電圧ＶＢＬから接地電位レベル方向へ低下する。センスノードＳＮへは基板領域ＶＳＷから負電圧が供給されるため、通常の接地電圧ＧＮＤが供給される場合に比べて高速でセンスアンプ４３０のＭＯＳトランジスタＮＱ７およびＮＱ８のソース電圧が低下し、高電位のビット線の電位とそのノードＳＮの電位との差が大きくされ、低電位のビット線を放電すべきＭＯＳトランジスタのゲート−ソース間電圧が拡大され、高速で放電すべきビット線の放電が行なわれる。このとき、ＭＯＳトランジスタＮＱ７およびＮＱ８の基板領域ＶＳＷへは負電圧Ｖｂｂが印加されており、接地電圧を印加する場合よりもそのバイアスが深くされる。したがってこの場合には、基板バイアス効果により、ＭＯＳトランジスタＮＱ７およびＮＱ８のしきい値電圧が高くなり、ソース電位が等価的に低下する。この状態においては、比較的緩やかに放電動作が行なわれる。したがってセンス動作開始時においてスイッチング素子ＳＷｊがオフ状態のときにおいては、緩やかにセンス動作が行なわれ、次いでスイッチング素子ＳＷｊがオン状態となり、基板領域ＶＳＷとノードＳＮとが相互接続されて基板効果が排除された後に高速で放電が行なわれることになり、センス動作開始時における緩やかな増幅およびその後の高速の増幅動作という２段階のセンス動作が実現され、正確にビット線ＢＬおよび／ＢＬの微小電位差を増幅することができる。
１つのメモリサイクルが完了すると、信号／ＲＡＳがハイレベルへ立上がり、応じてワード線ＷＬがローレベル、センス活性化信号ＳＯｂおよびＳＯａがローレベルとなり、イコライズ信号ＥＱが高電圧Ｖｐｐレベルのハイレベルとされる。これにより、各回路がスタンバイ状態に復帰する。
なお、図４５および４７に示す動作波形図においては、スイッチング素子ＳＷｊがオフ状態とされた後にスイッチング素子ＳＷｋがオフ状態とされている。これは同じタイミングでスイッチング素子ＳＷｋおよびＳＷｊがオフ状態とされてもよい。またスイッチング素子ＳＷｋが先にオフ状態とされ、次いでスイッチング素子ＳＷｊがオフ状態とされてもよい。
［変更例２］
図４８は、この発明の第７の実施例の第２の変更例の構成を示す図である。図４８に示す構成においては、基板領域ＶＳＷに対し、さらに、信号／ＲＡＳの非活性化時導通して接地電圧ＧＮＤを伝達するスイッチング素子ＳＷｎが配置される。すなわち図４８に示す構成においては、信号／ＲＡＳがハイレベルのスタンバイサイクルにおいては、スイッチング素子ＳＷｎがオン状態とされ、センスアンプ４３０のＭＯＳトランジスタＮＱ７およびＮＱ８の基板領域ＶＳＷへは接地電圧ＧＮＤが与えられる。これによりスタンバイサイクル時において、基板領域ＶＳＷがフローティング状態となるのが防止され、確実に基板領域ＶＳＷを接地電圧ＧＮＤレベルに維持することができる。
この図４６および図４８に示す構成において、スイッチング素子ＳＷｍは所定期間のみオン状態とされているため、Ｖｂｂ発生回路４６０から負電圧Ｖｂｂが与えられても、その負電圧Ｖｂｂが基板領域ＶＳＷへ印加される期間は限定されており、したがって基板領域ＶＳＷは、ノードＳＮの充電の後、スイッチング素子ＳＷｋおよびＳＷｊにより接地電圧ＧＮＤレベルにまで駆動され、ノードＳＮが負電圧Ｖｂｂレベルにまで変化するのは防止される。
以上のように、この第７の実施例の構成に従えば、センスアンプのＭＯＳトランジスタＮＱ７およびＮＱ８の基板領域を所定電圧に充電し、センス動作開始時にはこの基板領域に充電された電荷を用いてセンスアンプの活性化用のノードを充電しているため、高速かつ安定にセンス動作を行なうことができる。
［実施例８］
図４９は、この発明の第８の実施例である内部電源電圧発生回路の構成を示す図である。図４９において、内部電源電圧発生回路（内部降圧回路）は、外部電源ノード１に与えられた外部電源電圧ＶＣＥが所定の電圧レベルに上昇したとき、外部電源電圧ＶＣＥが投入されたと判断し、電源投入検出信号ＰＯＲ（図４９には示さず）およびその反転信号／ＰＯＲを出力する電源投入検出回路４５と、外部電源ノード１上の外部電源電圧ＶＣＥから所定の電圧レベルの基準電圧Ｖｒｅｆを生成し、信号線９上に出力する基準電圧発生回路４と、電源投入検出回路４５からの電源投入検出信号／ＰＯＲに応答して導通し、外部電源ノード１と信号線９を電気的に接続するｐチャネルＭＯＳトランジスタ４６を含む。ドライブトランジスタ２および比較回路３は、従来の内部構成回路と同様であり、比較回路３は、内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩと信号線９上の電圧とを比較し、その比較結果に従ってドライブトランジスタ２の電流供給量すなわちコンダクタンスを調整する。負荷回路７は、この内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩを使用する。次にこの図４９に示す内部電源電圧発生回路の動作をその動作波形図である図５０を参照して説明する。
外部電源ノード１に外部電源電圧ＶＣＥが与えられ、この外部電源ノード１上の電圧レベルが所定の電圧レベル以上となると、電源投入検出回路４５は外部電源電圧ＶＣＥが投入されたと判断し、電源投入検出信号ＰＯＲをＨレベルに立上げる。この電源投入検出信号ＰＯＲのＨレベルのパルス幅は適当な大きさに設定される。図５０において、外部電源電圧ＶＣＥが所定の電圧レベルで一定となった時刻の後にこの電源投入検出信号ＰＯＲはＬレベルに立下がるように示される。この電源投入検出信号ＰＯＲの期間がもう少し長くされてもよい。
一方、電源投入検出信号／ＰＯＲはＬレベルを維持する（外部電源電圧ＶＣＥの投入時この外部電源電圧ＶＣＥに従って少し電圧レベルは上昇するが、信号ＰＯＲにより即座にＬレベルに設定される。このＬレベルの信号／ＰＯＲに応答してＭＯＳトランジスタ４６がオン状態となり、信号線９上に外部電源電圧ＶＣＥを伝達する。基準電圧発生回路４は、この構成は後に一例を示すが、外部電源電圧ＶＣＥが一定の電圧レベル以上となったときに動作し、この基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルを徐々に上昇させて最終的に所定の一定電圧レベルに設定する。比較回路３は、この信号線９上の電圧と内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩとを比較し、その比較結果に従ってドライブトランジスタ２を駆動している。内部電源線５には比較的大きな寄生容量が付随し、この内部電源電圧ＶＣＩの上昇は基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルの上昇よりも緩やかである。このとき、ＭＯＳトランジスタ４６がオン状態であり、信号線９上の電圧は外部電源電圧ＶＣＥレベルに設定されているため、比較回路３は、この内部電源電圧ＶＣＩと外部電源電圧ＶＣＥの差に従ってドライブトランジスタ２のコンダクタンスを調整する。したがって、ドライブトランジスタ２は基準電圧発生回路４からの基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源電圧ＶＣＩとを比較する場合に比べてより大きな電流を内部電源線５へ供給する。これにより、内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩの立上が早くされ、内部電源電圧ＶＣＩが高速で安定状態とされる。
なお電源投入検出回路４５の出力する信号／ＰＯＲのＨレベルへの立上がり期間は、この内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩが一定の基準電圧のレベルに到達するまでの期間に設定されればよい。この信号／ＰＯＲの立上がり期間および信号ＰＯＲのＨレベルの持続期間は、したがって、内部電源電圧ＶＣＩが目標となる一定の電圧レベル（基準電圧Ｖｒｅｆの最終到達レベル）以上となるときまでに、比較回路３が基準電圧発生回路４からの基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源電圧ＶＣＩとを比較する動作を行なうように設定される。
上述のように、内部電源電圧ＶＣＩが安定化される期間を早くすることにより、たとえばＤＲＡＭにおいて、電源投入後内部回路をリセットするために実行されるダミーサイクル（信号／ＲＡＳを所定回数トグルさせて信号線および内部ノードを所定電圧レベルに設定する）を行なう際に確実に、内部電源電圧ＶＣＩを所定の電圧レベルに設定することができ、確実に内部回路および内部ノードを所定の電圧レベルに初期設定することができる。
［変更例１］
図５１は、この発明の第８の実施例の内部電源電圧発生回路の第１の変更例を示す図である。図３７に示す構成においては、比較回路３の出力ノード６すなわちドライブトランジスタ２のゲートに、電源投入検出信号ＰＯＲに応答してオン状態となり、ノード６を接地ノードＶＳＳに電気的に接続するｎチャネルＭＯＳトランジスタ４７が設けられる。他の構成は、従来の内部降圧回路と同じである。次に図３７に示す構成の動作についてその動作波形図である図５２を参照して説明する。
外部電源電圧ＶＣＥが外部電源ノード１へ与えられ、所定のレベルに達すると、電源投入検出信号ＰＯＲが所定期間Ｈレベルとされる。これによりＭＯＳトランジスタ４７がオン状態となり、ノード６は接地電圧ＶＳＳレベルに設定される。ドライブトランジスタ２は、このノード６上の接地電圧ＶＳＳに従って大きなコンダクタンスを有し、外部電源ノード１から内部電源線５へ大きな電流を供給し、内部電源電圧ＶＣＥの電圧レベルを上昇させる。電源投入検出信号ＰＯＲがＨレベルのとき、基準電圧Ｖｒｅｆは所定の電圧レベルに到達していないため、より高速で内部電源電圧ＶＣＩを上昇させることができる。電源投入検出信号ＰＯＲがＬレベルとなると、ＭＯＳトランジスタ４７がオフ状態となり、ノード６の電圧レベルは、比較回路３の出力信号に応じて変化し、そのときの基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルと内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルに従ってドライブトランジスタ２のコンダクタンス（電流駆動力）が調整され、内部電源電圧ＶＣＩが最終の電圧レベルにまで上昇する。
この図５１に示す構成においても、外部電源電圧ＶＣＥの印加時に、ドライブトランジスタ２は、大きな電流駆動力をもって外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給するため、高速で内部電源電圧ＶＣＩを上昇させることができ、応じて高速で内部電源電圧ＶＣＩを所定の電圧レベルに安定化させることができる。
［変更例２］
図５３は、この発明の第８の実施例である内部電源電圧発生回路の第２の変更例の構成を示す図である。図５３に示す構成においては、ドライブトランジスタ２とは別に、内部電源線５と外部電源ノード１の間に、電源投入検出信号／ＰＯＲに応答して導通するｐチャネルＭＯＳトランジスタ４８が設けられる。図５３に示す構成の動作をその動作波形図である図５４を参照して説明する。
この図５３に示す構成においては、図５１に示す構成と同様、外部電源電圧ＶＣＥが外部電源ノード１印加されると、所定期間ｐチャネルＭＯＳトランジスタ４８がオン状態となり、外部電源ノード１から内部電源線５へ電流が供給される。比較回路３の出力信号の電圧レベルが過渡状態にあり、ドライブトランジスタ２のコンダクタンスが不安定な場合においても、内部電源線５はＭＯＳトランジスタ４８を介して外部電源ノード１から電流を供給され、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが上昇する。信号／ＰＯＲがＨレベルに立上がると、ＭＯＳトランジスタ４８がオフ状態とされる（信号／ＰＯＲのＨレベルは外部電源電圧ＶＣＥレベル）。内部電源線５は、比較回路３の出力信号に従ってドライブトランジスタ２を介して外部電源ノード１から電流を供給され、その内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルは所定の電圧レベルに上昇する。
この図５３に示す構成においても、内部電源電圧ＶＣＥが内部電源ノード１へ印加されたとき、内部電源線５が外部電源ノード１に電気的に接続されるため、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルの上昇を早くすることができ、内部電源電圧ＶＣＩを高速で安定状態に設定することができる。
［実施例９］
図５５は、この発明の第９の実施例である内部電源電圧発生回路の構成を示す図である。図５５において、内部電源電圧発生回路は、基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩを比較する比較回路３と、比較回路３の出力信号に応答して外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給するドライブトランジスタ２と、比較回路３の出力信号を増幅する増幅回路５０と、この増幅回路５０の出力信号に応答してオン・オフし、外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給するｐチャネルＭＯＳトランジスタ６０を含む。増幅回路５０は、比較回路３の出力信号を増幅する２段の縦続接続されたＣＭＯＳインバータ５２および５３と、ＣＭＯＳインバータ５２および５３の出力信号のＬレベルの振幅を制限する振幅制限回路５１を含む。ＣＭＯＳインバータ５２および５３は、外部電源ノード１に与えられる外部電源電圧ＶＣＥを一方導通電源電圧として動作する。次にこの図５５に示す内部電源電圧発生回路の動作をその動作波形図である図５６を参照して説明する。
内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩが緩やかに低下した場合、比較回路３の出力信号も同様にこの内部電源電圧ＶＣＩの変化に追随して低下する。比較回路３の出力信号すなわちノード６の電圧レベルが低下すると、ドライブトランジスタ２は、そのコンダクタンスが大きくなり、外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給し、この低下した内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルをもとのレベルへ復帰させる。このとき、また、増幅回路５０においては、ＣＭＯＳインバータ５２がこのノード６上の信号を反転増幅し、次いでＣＭＯＳインバータ５３がこのＣＭＯＳインバータ５２の出力信号を反転して増幅する。これにより増幅回路５０の出力信号が高速でＬレベルとなり、ＭＯＳトランジスタ６０がオン状態とされ、外部電源ノード１から電流を内部電源線５上へ供給する。このとき、負荷電流が大きい場合には、ＭＯＳトランジスタ６０の電流駆動力がドライブトランジスタ２の電流駆動能力を助け、また、負荷電流が小さい場合には、ドライブトランジスタ２の電流駆動力のみで十分に負荷電流を供給することができるので、この内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩのオーバーシュートは防止される。
また、ノード６の信号電圧が低下したとき、ＣＭＯＳインバータ５２において、ｐチャネルＭＯＳトランジスタがオン状態となり、その出力信号をＨレベルに上昇させるが、振幅制限回路５１により、その内部のｎチャネルＭＯＳトランジスタのソース電位は接地電圧ＶＳＳよりも高くされており、ｎチャネルＭＯＳトランジスタのゲート−ソース間電圧は十分小さくされ、これによりＣＭＯＳインバータ５２における貫通電流が抑制される。この振幅制限回路５１の構成については後に詳細に説明する。このとき、ＣＭＯＳインバータ５３の出力信号がＬレベルに低下するが、そのＬレベルの電圧レベルは、振幅制限回路５１が実現する電圧レベルに設定されており、ＭＯＳトランジスタ６０のゲート電位が接地電圧ＶＳＳレベルに低下するのが防止され、これにより内部電源線５へこのＭＯＳトランジスタ６０から大きな電流が供給されて内部電源線５がオーバードライブされるのが防止される。
内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩが負荷回路７の動作により急激に低下した場合、比較回路３の出力信号はこの急激な内部電源電圧ＶＣＩの変化に追随できず、緩やかに変化する。しかしながら、この場合においても、増幅回路５０が比較回路３の出力信号すなわちノード６の電圧を増幅するため、ＭＯＳトランジスタ６０が高速でオン状態となり、外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給し、この内部電源電圧ＶＣＩの急激な変化を抑制する。したがって、ＭＯＳトランジスタ６０をオン状態とすることにより、急激な内部電源電圧ＶＣＩの変化を緩和または補償することができ、内部電源電圧ＶＣＩを安定に所定の電圧レベルに保持することができる。
［具体的構成１］
図５７は、この発明の第９の実施例の内部電源電圧発生回路の具体的構成を示す図である。図５７において、比較回路３は、ノードＪ２と接地ノードＶＳＳの間に接続され、そのゲートに内部電源電圧ＶＣＩを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ４１と、ノード６ｂと接地ノードＶＳＳの間に接続され、そのゲートに基準電圧Ｖｒｅｆを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ４２と、外部電源ノード１とノードＪ２の間に接続され、そのゲートがノードＪ１を介してノードＪ２に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４１と、外部電源ノード１とノード６ｂの間に接続され、そのゲートがノードＪ１に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４２と、外部電源ノード１とノード６ａの間に接続され、そのゲートがノードＪ１に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４３と、ノード６ａと接地ノードＶＳＳの間に接続され、そのゲートに基準電圧Ｖｒｅｆを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ４３を含む。
ｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４１とｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４２およびＰ４３とはカレントミラー回路を構成する。すなわちｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４１を流れる電流のミラー電流がｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４２およびＰ４３を流れる。電流の比がこれらのＭＯＳトランジスタＰ４１とＭＯＳトランジスタＰ４２およびＰ４３とのサイズの比（ゲート幅とゲート長との比Ｗ／Ｌ）により決定される。ノード６ａはドライブトランジスタ２のゲートに接続される。ノード６ｂは、増幅回路５０の入力部に接続される。
増幅回路５０は、ＣＭＯＳインバータ５２および５３を含む。ＣＭＯＳインバータ５２は、外部電源ノード１とノードＧ３の間に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４４およびｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ４４を含む。ＣＭＯＳインバータ５３は、外部電源ノード１とノードＪ３の間に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４５およびｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ４５を含む。ノード６ｂがＭＯＳトランジスタＰ４４およびＮ４４のゲートに接続される。ＣＭＯＳインバータ５２の出力ノードはＭＯＳトランジスタＰ４５およびＮ４５のゲートに接続される。
振幅制限回路５１は、ノード５３と接地ノードとの間に接続され、かつ振幅制限信号ＬＭをそのゲートに受けるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４６を含む。ＭＯＳトランジスタＰ４６は、ノードＪ３の電位を、ＬＭ＋Ｖｔｐの電圧レベルに設定する。次に動作について説明する。
比較回路３は、図２２に示す比較回路と同様、カレントミラー型増幅回路の構成を備える。すなわち、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも高いときには、ＭＯＳトランジスタＮ４１のコンダクタンスがＭＯＳトランジスタＮ４２およびＮ４３のコンダクタンスよりも高くなり、ＭＯＳトランジスタＰ４１を介して流れる電流が増加する。このＭＯＳトランジスタＰ４１を流れる電流のミラー電流がＭＯＳトランジスタＰ４２およびＰ４３にそれぞれ流れる。ＭＯＳトランジスタＮ４２およびＮ４３のコンダクタンスはＭＯＳトランジスタＮ４１のそれよりも小さいため、ノード６ａおよび６ｂの電圧レベルが上昇する。これにより、ドライブトランジスタ２のコンダクタンスは小さくされ、外部電源ノード１からドライブトランジスタ２を介して内部電源線５へ流れる電流量が抑制される（遮断される）。
一方、ノード６ｂ上の電圧はＣＭＯＳインバータ５２により反転増幅される。このとき、ＣＭＯＳインバータ５２において、ＭＯＳトランジスタＰ４４がオフ状態に移行し、ＭＯＳトランジスタＮ４４がオン状態へ移行する。これにより、ＣＭＯＳインバータ５２の出力信号がＬレベルへ移行し、ＣＭＯＳインバータ５３においてＭＯＳトランジスタＰ４５がオン状態、ＭＯＳトランジスタＮ４５がオフ状態へ移行する。これによりノード５５の電圧レベルが上昇し、ドライブ用ＭＯＳトランジスタ６０がオフ状態とされる。ＣＭＯＳインバータ５２の出力信号がＬレベルに低下したとき、ノードＪ３の電圧レベルはＬＭ＋Ｖｔｐであり、ＭＯＳトランジスタＮ４５がオフ状態とされ、ＣＭＯＳインバータ５３における貫通電流が防止される。また、ＣＭＯＳインバータ５２においても、ドライブトランジスタ２がほぼオフ状態にされる場合には、同様にＭＯＳトランジスタＰ４４もほぼオフ状態とされ、ＣＭＯＳインバータ５２における貫通電流も同様に防止される。
内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも低い場合にはＭＯＳトランジスタＮ４１のコンダクタンスがＭＯＳトランジスタＮ４２およびＮ４３のそれよりも小さくされ、ＭＯＳトランジスタＰ４１を介して流れる電流が小さくなり、応じてＭＯＳトランジスタＰ４２およびＰ４３を介して流れる電流が減少する。これによりノード６ａおよび６ｂはＭＯＳトランジスタＮ４２およびＮ４３により放電され、その電圧レベルが低下する。まずドライブトランジスタ２がオン状態とされ、外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給する。増幅回路５０においては、ＭＯＳトランジスタＰ４４がオン状態となり、ＭＯＳトランジスタＮ４４はそのゲート−ソース間電圧（ノード６ｂとノードＪ３の間の電圧）が小さいため、ＭＯＳトランジスタＮ４４を介して流れる電流は小さくされる。これにより、ＣＭＯＳインバータ５２の出力信号がＨレベルに上昇し、ＣＭＯＳインバータ５３においてＭＯＳトランジスタＰ４５がオフ状態、ＭＯＳトランジスタＮ４５がオン状態とされる。
ノード５５の電圧レベルはほぼノードＪ３上の電圧レベルにまで低下し、ＭＯＳトランジスタ６０がオン状態とされる。このときノード５５の電圧レベルがノードＪ３上の電圧ＬＮ＋Ｖｔｐレベルであり、ＭＯＳトランジスタ６０は比較的制限された電流量を外部電源ノード１から内部電源線５へ供給する。この構成においては、ドライブトランジスタ２が内部電源線５の急激な電圧低下に追随しない場合においても、増幅回路５０によりドライブトランジスタ６０が高速でオン状態とされ、この急激な内部電源電圧ＶＣＩの変化に追随して内部電源線５へ内部電源ノード１から電流を供給し、この急激な内部電源電圧ＶＣＩの電圧低下を補償する。
ドライブトランジスタ２が内部電源電圧ＶＣＩの緩やかな電圧変化に応答して電流を外部電源ノード１から内部電源線５へ供給し、ＭＯＳトランジスタ６０が内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩの急激な変化を緩和するように内部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給する。すなわち、ドライブトランジスタ２をアナログ的に動作させ、ＭＯＳトランジスタ６０をディジタル的に動作させることにより、安定に内部電源電圧ＶＣＩをほぼ一定の電圧レベルに保持することができる。
また比較回路３は、そのカレントミラー回路のマスター段（ＭＯＳトランジスタＰ４１）を共通としてノード６ａおよび６ｂから信号電圧を取出している。その場合、増幅回路５０およびドライブトランジスタそれぞれに対して比較回路を設ける構成に比べ、比較回路の占有面積を低減することができる。またＭＯＳトランジスタＰ４２およびＰ４３のサイズを適当に調整することによりノード６ａおよび６ｂの電圧変化の速度を適当な値に設定することができ、すなわち増幅回路５０およびドライブトランジスタ２それぞれに対し比較回路３の増幅率を適当な値に設定することができ、ドライブトランジスタ２およびＭＯＳトランジスタ６０の応答特性を適当な値に設定することができる。
さらに、比較回路３においては、ＭＯＳトランジスタＰ４１を介して流れる電流のミラー電流がＭＯＳトランジスタＰ４２およびＰ４３を介して流れる。２つの比較回路を設けた場合、このＭＯＳトランジスタＰ４１が２つ必要とされることにより各トランジスタで電流が消費されるが、このカレントミラー回路のマスター段を共有する構成とすることにより電流を流れる経路の数を低減し、応じて比較回路の消費電流を低減することができる。
ＭＯＳトランジスタＰ４２およびＰ４３の電流駆動力は、ドライブトランジスタ２のゲート容量およびＣＭＯＳインバータ５２の入力ゲート容量の値それぞれに応じて適当な値に設定される。それにより内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩの急激な変化（高周波的な変化）および緩やかな変化（直流的な変化）いずれに対しても内部電源電圧ＶＣＩの低下を抑制することができ、内部電源電圧ＶＣＩの変化に追随することができる。
［具体的構成２］
図５８は、この発明の第９の実施例の内部電源電圧発生回路の第２の具体的構成を示す図である。図５８に示す構成においては、振幅制限回路５１すなわちＭＯＳトランジスタＰ４６のゲートへ与えられる信号ＬＭを発生するために、比較回路３の差動出力信号をさらに差動的に増幅する差動増幅回路７０が設けられる。比較回路３および増幅回路５０の構成は図５７に示すものと同じであり、対応する部分には同一の参照番号を付す。差動増幅回路７０は、ノードＪ６と接地ノードＶＳＳの間に接続され、そのゲートに比較回路３のノードＪ２の出力信号を受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ４６と、ノードＪ５と接地ノードＶＳＳの間に接続され、そのゲートに比較回路３の出力ノード６ｂ上の信号を受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ４７と、外部電源ノード１とノードＪ６の間に接続され、そのゲートがノードＪ４およびＪ５に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４６と、外部電源ノード１とノードＪ５の間に接続され、そのゲートがノードＪ４およびＪ５に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４７を含む。ｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４６およびＰ４７はカレントミラー回路を構成する。ＭＯＳトランジスタＰ４７がマスターとして動作し、ＭＯＳトランジスタＰ４７を介して流れる電流のミラー電流がＭＯＳトランジスタＰ４６を介して流れる。次に動作について簡単に説明する。
（ｉ） ＶＣＩ＞Ｖｒｅｆのとき：
ノードＪ２の電圧レベルは、ＭＯＳトランジスタＰ４１を介して流れる電流が増加するため（Ｖｇｓ−Ｖｔｐ）2 の関係から、低下する。ＭＯＳトランジスタＰ４１のゲートとドレインがノードＪ２の電圧レベルに等しく、ソース電圧は外部電源電圧ＶＣＥレベルである。したがって、このＭＯＳトランジスタＰ４１における電圧降下が高くなるためである。一方、ノード６ｂの電圧レベルは、ＭＯＳトランジスタＰ４２を介して流れる電流が増加するが、ＭＯＳトランジスタＮ４２は、この電流を全て通過させることができないため、上昇する。これにより、差動増幅回路７０においては、ＭＯＳトランジスタＮ４６のコンダクタンスよりもＭＯＳトランジスタＮ４７のコンダクタンスが高くなり、ＭＯＳトランジスタＰ４７を介して流れる電流が増加する。これによりＭＯＳトランジスタＰ４６を介して流れる電流が増加しノードＪ６からの出力信号すなわち振幅制限信号ＬＭの電圧レベルが上昇する（最大ＶＣＥレベル）。これに応答して、増幅回路５０における振幅制限回路５１のＭＯＳトランジスタＰ４６のゲート電位が上昇し、ノードＪ３の電圧レベルが上昇する。ここで、ＭＯＳトランジスタＰ４６は、その電流供給力は十分大きくされており、常にこのゲート−ソース間（ノード６ｂとノードＪ３の間）の電圧はしきい値電圧Ｖｔｐの電圧レベルに維持する。これにより、ＭＯＳトランジスタＮ４４のコンダクタンスが低下しＣＭＯＳインバータ５７の貫通電流が低減される。ノード５５の電圧レベルがＭＯＳトランジスタＰ４５により充電され外部電源電圧ＶＣＥに近くなり、ＭＯＳトランジスタ６０はオフ状態とされる。一方、ドライブトランジスタ２はノード６ａの電圧レベルに従ってコンダクタンスが低下する。
（ｉｉ） ＶＣＩ＜Ｖｒｅｆのとき：
この場合には、ノードＪ２の電圧レベルが少し上昇し、ノード６ｂの電圧レベルがＭＯＳトランジスタＮ４２により放電され低下する。これにより、ＭＯＳトランジスタＮ４６のコンダクタンスがＭＯＳトランジスタＮ４７のコンダクタンスよりも大きくされ、ノードＪ６の出力信号すなわち振幅制限信号ＬＭの電圧レベルが低下する。ノード６ｂの電圧レベルの低下は電圧回路５０により増幅され、ＭＯＳトランジスタ６０はオン状態となる。このとき、増幅回路５０においてノードＪ３のクランプレベル（ＭＯＳトランジスタＰ４６によるクランプ）が低下し、ノード５５の電圧レベルはこのノードＪ３の電圧レベルに等しくされる。これによりＭＯＳトランジスタ６０のコンダクタンスが大きくされ、比較的大きな電流を外部電源ノード１から内部電源線５へ伝達する。この内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆの差が小さい場合には、振幅制限信号ＬＭの電圧レベルは比較的高く、この内部電源電圧ＶＣＩは基準電圧Ｖｒｅｆよりも十分小さい場合、この振幅制限信号ＬＭの電圧レベルが接地電圧ＶＳＳレベルに近くなる。
すなわちノード５５（増幅回路５０の出力ノード）の電圧レベルは、ＭＯＳトランジスタ６０がより多くの電流を供給すべきときにはその電圧レベルが低くされ、それほど多くの電流を供給する必要のない場合には振幅制限信号ＬＭの電圧レベルが少し高くされる。これによりＭＯＳトランジスタ６０のオーバードライブを抑制し、内部電源線５へ過剰な電流が供給されるのを防止することができ、安定にオーバーシュートを生じさせることなく内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルをもとのレベルへ回復させることができる。もちろん、このとき高速応答特性が劣るもののドライブトランジスタ２もオン状態となり外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給する。
すなわちこの図５８に示す構成においては、比較回路３において、基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源電圧ＶＣＩの差を反転増幅し、この比較回路３の出力を更に増幅して振幅制限信号ＬＭを生成することにより、この内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆの差に応じた振幅制限信号ＬＭの電圧レベルを設定することができる。
［具体例３］
図５９は、この発明の第９の実施例の内部電源電圧発生回路の第３の具体的構成を示す図である。図５９において、内部電源電圧発生回路は、内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆの差を増幅して出力する差動増幅回路７２と、基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源電圧ＶＣＩの差を増幅して出力する差動増幅回路７４と、差動増幅回路７２の出力信号と差動増幅回路７４の出力信号の差を増幅して出力する差動増幅回路７６と、この差動増幅回路７６の出力信号をさらに増幅してドライブトランジスタ２のコンダクタンスを調整する増幅回路５０と、この差動増幅回路７６の出力信号を振幅制限信号ＬＭとして受けて、増幅回路５０の出力する信号のＬレベルの振幅を制限する振幅制限回路５１を含む。
差動増幅回路７２は、ノードＪ８と接地ノードＶＳＳとの間に接続され、そのゲートに基準電圧Ｖｒｅｆを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ５０と、ノードＪ７と接地ノードＶＳＳの間に接続され、そのゲートに内部電源電圧ＶＣＩを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ５１と、内部電源ノード１とノードＪ８の間に接続され、そのゲートがノードＪ７に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ５０と、外部電源ノード１とノードＪ７の間に接続されかつそのゲートがノードＪ７に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ５１を含む。ＭＯＳトランジスタＰ５０およびＰ５１はカレントミラー回路を構成し、ＭＯＳトランジスタＰ５１を介して流れる電流のミラー電流がＭＯＳトランジスタＰ５０を介して流れる。この差動増幅回路７２においては、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも高いときには、ノードＪ８からＨレベルの信号が出力される。差動増幅回路７４は、ノードＪ１０と接地ノードＶＳＳの間に接続され、そのゲートに内部電源電圧ＶＣＩを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ５２と、ノードＪ９と接地ノードＶＳＳの間に接続され、そのゲートに基準電圧Ｖｒｅｆを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ５３と、内部電源ノード１とノードＪ１０の間に接続され、そのゲートがノードＪ９に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ５２と、外部電源ノード１とノードＪ９の間に接続され、かつそのゲートがノードＪ９に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ５３を含む。ｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ５２およびＰ５３はカレントミラー回路を構成し、ＭＯＳトランジスタＰ５３を介して流れる電流のミラー電流がＭＯＳトランジスタＰ５２を介して流れる。この差動増幅回路７４においては、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも低いときにＨレベルの信号がノードＪ１０から出力される。
差動増幅回路７６は、ノードＪ１１と接地ノードＶＳＳの間に接続され、そのゲートが差動増幅回路７２の出力ノードＪ８に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ５４と、ノードＪ１２と接地ノードＶＳＳの間に接続され、そのゲートが差動増幅回路７４の出力ノードＪ１０に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ５５と、外部電源ノード１とノードＪ１１の間に接続されかつそのゲートがノードＪ１１に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ５４と、外部電源ノード１とノードＪ１２の間に接続され、そのゲートがノードＪ１１に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ５５を含む。ｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ５４およびＰ５５はカレントミラー回路を構成しＭＯＳトランジスタＰ５４を介して流れる電流のミラー電流がＭＯＳトランジスタＰ５５を介して流れる。この差動増幅回路７６においては、差動増幅回路７２の出力ノードＪ８における信号電圧が差動増幅回路７４の出力ノードＪ１０の信号電圧よりも高いときには、その出力ノードＪ１２からＨレベルの信号が出力される。
増幅回路５０は、差動増幅回路７６の出力ノードＪ１２の信号電圧を受けるように接続される２段のＣＭＯＳインバータ５２および５３を含む。ＣＭＯＳインバータ５２は、ｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４４とｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ４４を含む。ＣＭＯＳインバータ５３はｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４５とｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ４５を含む。ＣＭＯＳインバータ５３からドライブトランジスタ２のコンダクタンスを調整する信号が出力される。
増幅回路５０の出力信号のＬレベルの振幅を制限する振幅制限回路５１は、差動増幅回路７６の出力信号を振幅制限信号ＬＭとしてそのゲートに受けるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４６を含む。このＭＯＳトランジスタＰ４６は、クランプ機能はなく、そのゲートに与えられる増幅制限信号ＬＭに従った抵抗値が決定される抵抗素子として機能する。この図５９に示す内部電源電圧発生回路においては、外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給するドライブトランジスタが１つ設けられているだけである。次に動作について簡単に説明する。
差動増幅回路７２は、ｋ・（ＶＣＩ−Ｖｒｅｆ）の電圧レベルの信号をその出力ノードＪ８から出力する。ここでｋは差動増幅回路７２の増幅率を示す。同様に差動増幅回路７４は、ｊ・（Ｖｒｅｆ−ＶＣＩ）の電圧レベルの信号をその出力ノードＪ１０から出力する。ここでｊは差動増幅回路７４の増幅率を示す。差動増幅回路７６は、それらの差動増幅回路７２および７４の出力信号を差動的に増幅して出力する。したがって、この差動増幅回路７６からは、ｉをその増幅率として
ｉ｛ｋ・（ＶＣＩ−Ｖｒｅｆ）−ｊ・（Ｖｒｅｆ−ＶＣＩ）｝
＝ｉ・（ｋ＋ｊ）（ＶＣＩ−Ｖｒｅｆ）
の電圧レベルの信号が出力される。内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも高い場合には、増幅回路５０からは内部電源電圧ＶＣＩに近い電圧レベルの信号がドライブトランジスタ２のゲートへ与えられる。したがって、この場合には、内部電源ノード１から内部電源線５へはほぼ電流は供給されない。
一方、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも小さい場合には、初段のＣＭＯＳインバータ５２の増幅率をｍとすると、そこから
−ｍ・ｉ・（ｋ＋ｊ）（ＶＣＩ−Ｖｒｅｆ）
の電圧信号が出力される。このＣＭＯＳインバータ５２の出力信号はさらにＣＭＯＳインバータ５３により反転増幅されてドライブトランジスタ２のゲートへ与えられる。内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆの差の小さい場合においても比較的大きな電圧振幅を有する信号がドライブトランジスタ２のゲートへ与えられる。ドライブトランジスタ２は１つしか設けられておらず、比較的大きな電流駆動力を有している。このとき、振幅制限信号ＬＭもＣＭＯＳインバータ５２の入力信号と同じ電圧レベルであり、ＭＯＳトランジスタＰ４６の抵抗値を大きくして、そのソース電位を上昇させ比較的高い電圧レベルにこのＣＭＯＳインバータ５３の出力信号のＬレベルを設定する。したがってドライブトランジスタ２からは＋ｍ2 ・ｉ・（ｋ＋ｊ）（ＶＣＩ−Ｖｒｅｆ）で規定される電圧レベルの信号がゲートへ与えられ、比較的小さな電源駆動力で外部電源ノード１から内部電源線５へドライブトランジスタ２が電流を供給する。
内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも大きく低下した場合には、この増幅回路５０からドライブトランジスタ２のゲートへ与えられる電圧レベルも大きく低下する。このときには、また振幅制限信号ＬＭの電圧レベルも低下しており、ＭＯＳトランジスタＰ６４の抵抗値は十分小さくされ、そのソース電位は十分低くなり、応じてドライブトランジスタ２のゲート電位は大きく低下しており、大きな電流駆動力で外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給する。ＭＯＳトランジスタＰ４６のソース電位はＣＭＯＳインバータ５２の貫通電流により与えられ、ＣＭＯＳインバータ５３は貫通電流をほとんど生じさせない。
図５９に示す構成においては、基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源電圧ＶＣＩの差が３つの差動増幅回路７２、７４、および７６により増幅され、さらにこの差動増幅回路７６の出力信号を増幅回路５０により増幅されている。したがってドライブトランジスタ２が内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルに応じて高速でオン・オフ状態とされ、内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩが急速に低下した場合においても高速でドライブトランジスタ２は外部電源ノード１から電流を内部電源線５へ供給し、この急激な内部電源電圧ＶＣＩの低下を補償することができる。
なお図５９に示す構成において、振幅制限用のｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ４６は、ＭＯＳトランジスタＮ４５に対してのみ設けられ、ＣＭＯＳインバータ５２のｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ４４のソースは接地ノードＶＳＳに接続されるように構成されてもよい。また、振幅制限信号ＬＭの電圧レベルは、ＣＭＯＳインバータ５２を構成するＭＯＳトランジスタＰ４４およびＮ４４のサイズがＣＭＯＳインバータ５３を構成するＭＯＳトランジスタＰ４５およびＮ４５のそれよりも小さくされておれば、ＣＭＯＳインバータ５２における貫通電流は十分小さな値に設定することができる。出力段のＣＭＯＳインバータ５３においてのみこの出力信号の振幅制限が行なわれることにより、ＣＭＯＳインバータ５３における貫通電流の防止およびドライブトランジスタのオーバードライブを確実に抑制し、必要な量の電流をドライブトランジスタ２を介して外部電源ノード１から内部電源線５へ供給することができる。この構成の場合、ＭＯＳトランジスタＰ４６は、ソース電位クランプ機能（ＬＭ＋Ｖｔｐにクランプ）を持つように構成されてもよい。
以上のようにこの発明の第９の実施例に従えば、ドライブトランジスタのゲート電位を、内部電源電圧と基準電圧を比較する比較回路の出力信号をさらに増幅して設定しているため、急激な内部電源電圧ＶＣＩの低下にもまた緩やかな内部電源電圧ＶＣＩの低下のいずれにも対応して必要な電流を外部電源ノード１からドライブトランジスタを介して内部電源線へ供給することができ、安定に内部電源電圧ＶＣＩを所定の電圧レベルに保持することができる。このとき、増幅回路の出力信号の振幅を制限することにより、ドライブトランジスタのオーバードライブが抑制され、必要な電流量のみを外部電源ノード１から内部電源線５へ供給することができる。特にこの振幅制限の電圧レベルを比較回路の出力信号を用いて生成することにより、ドライブトランジスタを介して内部電源線５へ供給すべき電流量に応じ振幅制限される電圧レベルを調整することができ、内部電源電圧ＶＣＩの変化に対応して必要な電流を外部電源ノード１から内部電源線５へ供給することができ、急激な内部電源電圧の低下および緩やかな内部電源電圧ＶＣＩのいずれにも柔軟に対してこの内部電源電圧ＶＣＩを所定の電圧レベルに回復させることができる。
［実施例１０］
図６０は、この発明の第１０の実施例である内部電源電圧発生回路の構成を概略的に示す図である。図６０において、内部電源電圧発生回路は、基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源線５上の電圧ＶＣＩとを比較する比較回路３と、比較回路３の出力に応答して、外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給するｐチャネルＭＯＳトランジスタ２と、比較回路３の出力を増幅（バッファ処理）する増幅回路５０と、増幅回路５０の出力に応答して内部電源線５へ外部電源ノード１から電流を供給するｐチャネルＭＯＳトランジスタ６０を含む。この比較回路３は、図５７に示す比較回路と同じ構成を備え、また増幅回路５０も、図５７に示すそれと同じ構成を備える。
内部電源電圧発生回路は、さらに、内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆとを受け、この内部電源電圧のオーバシュート量とアンダシュート量との差を検出する積分部３００と、積分部３００の出力に応答してｐチャネルＭＯＳトランジスタ（第２のドライバ素子）の供給電流量を調整する調節部３１０を含む。この調節部３１０は、ドライブ素子６０と外部電源ノード１との間に設けられる。積分部３００は、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆ以上のとき、この基準電圧Ｖｒｅｆを基準とする内部電源電圧ＶＣＩの積分値と、この内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆ以下のとき、この内部基準電圧Ｖｒｅｆを基準とする積分値とを加算する。調節部３１０は、この積分部３００の出力が、アンダシュート量がオーバシュート量よりも大きいことを示すときにはドライブ素子６０を流れる電流量を増加し、逆に、内部電源電圧ＶＣＩのオーバシュート量がそのアンダシュート量よりも大きい場合には、ドライブ素子６０を流れる電流を減少させる。このドライブ素子２および６０をそれぞれ比較回路３および増幅回路５０で駆動する構成は、素４３に示す構成と同様である。この図６０に示すように、積分部３００および調節部３１０を用いて、内部電源電圧ＶＣＩのアンダシュート量およびオーバシュート量に従ってドライブ素子６０の供給電流量を調整する構成は、以下の利点を与える。
システム（外部処理装置および半導体記憶装置を含むシステム）の低消費電力化のために、外部電源電圧ＶＣＥを低くした場合、この外部電源電圧ＶＣＥを動作電源電圧として動作する比較回路３の応答特性が劣化する。この場合、負荷回路７が動作して電流を消費して内部電源電圧ＶＣＩが低下したとき、この内部電源電圧ＶＣＩの低下を補償するのに十分な電流を第１のドライブ素子２を介して内部電源線５へ供給することができない。この欠点を克服するために、増幅回路５０により、第２のドライブ素子を高速でスイッチング動作させて電流を内部電源線５上へ供給している。この第２のドライブ素子６０の供給電流量を固定的に設定すると、以下の問題が生じる場合がある。
近年、同期型半導体記憶装置と呼ばれる、システムクロックなどの外部クロック信号に同期してロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳなどの外部制御信号、アドレス信号、および書込データを取込む半導体記憶装置がデータ処理システムの主メモリとして用いられてきている。このような同期型半導体記憶装置は、複数種類の周波数のシステムクロックに対応可能である。クロック周波数が増加すると、回路（特に入力バッファ回路）の動作速度が高くなり、消費電流が増加する（トランジスタのスイッチング回数が増加するため）。消費電流が最も高くなる最も高いクロック周波数に対応してドライブ素子６０の供給電流量を設定すると、逆に低周波数のシステムクロックを用いる低速システムにこの半導体記憶装置が用いられた場合、ドライブ素子６０の供給電流量が不必要に大きくなり、内部電源電圧ＶＣＩにオーバシュートが生じる。しかしながら、図６０に示すように、ドライブ素子２および６０を用い、かつドライブ素子６０の供給電流量を負荷回路７の消費する電流（負荷電流）に応じて調節することにより、上述の問題が解消され、最適量の電流を内部電源線５へ供給することができ、内部電源電圧ＶＣＩのオーバシュートの発生を抑制し、内部電源電圧ＶＣＩを安定に所定レベルに維持することができる。次に具体的に構成について説明する。
［具体的構成１］
図６１は、この発明の第１０の実施例の第１の具体的構成を示す図である。図６１において、増幅回路５０は、図５７に示す構成と同様、２段のインバータ５２および５３を含む。初段のインバータ５２のトランジスタのサイズは小さくされ、比較回路３の出力負荷を低減する。ドライブ素子６０は、一例として、４個の互いに並列に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタ６０ａ、６０ｂ、６０ｃ、および６０ｄに分割される（この理由については後に説明する）。
積分部３００は、基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源電圧ＶＣＩの差を増幅する差動増幅回路３０２と、内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆの差を増幅する第２の差動増幅回路３０４と、キャパシタで構成されるループフィルタ３０９と、差動増幅回路３０２および３０４の出力に従ってループフィルタ３０９を充放電するチャージポンプ回路３０５を含む。
チャージポンプ回路３０５は、外部電源ノード１とノードＤの間に設けられ、差動増幅回路３０２の出力に応答して導通するｐチャネルＭＯＳトランジスタ３０６と、ノードＤと接地ノードとの間に設けられ、差動増幅回路３０４の出力に応答して導通するｎチャネルＭＯＳトランジスタ３０８を含む。
差動増幅回路３０２は、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも低いときに“Ｌ”の出力を出力し、ｐチャネルＭＯＳトランジスタ３０６をオン状態とする。差動増幅回路３０４は、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも高いときに“Ｈ”の信号を出力し、ｎチャネルＭＯＳトランジスタ３０８をオン状態とする。すなわち、積分部３００においては、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも低い場合には、ループフィルタ３０９がｐチャネルＭＯＳトランジスタ３０６を介して充電される。内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも低い場合には、ＭＯＳトランジスタ３０８がオン状態となり、ループフィルタ３０９を放電する。差動増幅回路３０２および３０４の出力信号はアナログ的に変化し、したがってループフィルタ３０９の充電電位は内部電源電圧ＶＣＩのオーバシュート量とアンダシュート量の差を示す。
調節回路３１０は、ループフィルタ３０９の充電電位（ノードＤの電位）を多ビットデジタル信号（図４７においては４ビットのデジタル信号）に変換するＡ／Ｄコンバータ３１２と、Ａ／Ｄコンバータ３１２を多ビットデジタル信号の各ビットに対応して設けられかつドライブトランジスタ６０ａ〜６０ｄの各々と直列に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰＢａ、ＰＢｂ、ＰＢｃ、およびＰＢｄを含む。Ａ／Ｄコンバータ３１２の動作周波数は、任意であるが、同期型半導体記憶装置に適用される場合には最高速度のシステムクロック以上（または同程度）の速度で動作するのが好ましい。後に説明するように、積分部３００は、本質的に積分回路であり、低速動作回路である。したがって、積分部３００の出力に従ってドライブトランジスタ６０（６０ａ〜６０ｄ）の供給電流量が変化するのは現サイクル（負荷回路の動作サイクルについて）よりも、主に次のサイクルにおいてである。しかしながら、動作周波数が一定の状態の場合には、一度供給電流量が安定すれば、その後はほとんどそれは変化しないので問題はない。同期型半導体記憶装置においてこの図６１に示す構成が適用される場合、したがって、Ａ／Ｄコンバータ３１２の動作速度が最高外部クロック周波数以上（または同程度）あればよい。
次に、この図６１に示す構成の動作をその動作波形図である図６２を参照して説明する。
負荷回路７が動作すると、負荷電流Ｉｌｏａｄが流れ、ノードＡ（内部電源線５）上の内部電源電圧ＶＣＩが低下する。内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも低くなると、比較回路３の出力が低下し、ドライブ素子２がオン状態となり、外部電源ノード１から内部電源線５へ電流を供給する。ドライブ素子が２が供給する電流量は、比較回路３の出力レベルに従ってアナログ的に変化する。 一方、増幅回路５０は、この比較回路３の出力を増幅し、急速にその出力を低下させ、ドライブ素子６０ａ〜６０ｄをオン状態とする。ＭＯＳトランジスタＰＢａ〜ＰＢｄは、Ａ／Ｄコンバータ３１２の出力する多ビットデジタル信号に従って選択的にオン状態とされる。このＡ／Ｄコンバータ３１２の出力する多ビットデジタル信号は、初期電位Ｖ０に従って決定される。したがって、このドライブトランジスタ６０ａ〜６０ｄのうち、対応のＭＯＳトランジスタＰＢａ〜ＰＢｄがオン状態となっているドライブトランジスタのみが内部電源線５（ノードＡ）へ電流を供給する。
差動増幅回路３０２の出力は、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも低いためＨレベルであり、ＭＯＳトランジスタ３０６はオフ状態にある。一方、差動増幅回路３０４の出力は、基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源電圧ＶＣＩとの差に応じたＨレベルとなり、ＭＯＳトランジスタ３０８がオン状態となり、ループフィルタ３０９を放電する。ＭＯＳトランジスタ３０８の放電電流量は、差動増幅回路３０４の出力に従ってアナログ的に変化する。このＭＯＳトランジスタ３０８の放電により、ループフィルタ３０９の充電電位（ノードＤの電位）が初期電位Ｖ０から低下する。チャージポンプ回路３０５の充放電電流は、ループフィルタ３０５の有する容量に対し比較的小さく、ループフィルタ３０５の充電電位（ノードＤの電位）は緩やかに変化する。ループフィルタ３０５は、「ローパスフィルタ」であり、高速応答性がない。ループフィルタ３０５の充電電位（ノードＤの電位）が現実に調節回路３１０の電流調節動作に影響を及ぼすのは次のサイクル（負荷回路７の次の動作サイクル）においてであり、現サイクルにおいては、調節回路３１０の制御によりドライブトランジスタ６０ａ−６０ｄが内部電源線５（ノードＡ）に供給する電流はほぼ一定である。このＡ／Ｄコンバータ３１２の動作速度を、負荷回路７とそれとほぼ同様にすれば、この動作は確実に実現することができる。現サイクルにおいて、ＭＯＳトランジスタＰＢａ〜ＰＢｄのオン／オフ状態を固定的に設定することができるためである。
内部電源電圧ＶＣＩがそのアンダシュートにより電圧レベルが低下するにつれ、比較回路３の出力信号がＬレベルへ移行し、ドライブ素子２が供給する電流Ｉ２が多くなる。一方、ドライブトランジスタ６０が供給する電流Ｉ１は、前述のごとくほぼ一定である。負荷回路７が消費する電流（負荷電流）Ｉｌｏａｄが低下すると、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが上昇する。このとき、ドライブ素子２を介して流れる電流Ｉ２も応じて低減される。しかしながらこの場合、ドライブ素子６０がともに電流を内部電源線５（ノードＡ）へ供給しているため、この供給電流が多くなり、負荷回路７の動作が完了し、負荷電流Ｉｌｏａｄが流れなくなった場合において、内部電源線５（ノードＡ）上の内部電源電圧ＶＣＩにオーバシュートが生じる。
オーバシュートが生じた場合、差動増幅回路３０２の出力がＬレベルへ移行し、一方、差動増幅回路３０４の出力はＬレベルへ移行する。これにより、ＭＯＳトランジスタ３０６がオン状態へ移行し、ＭＯＳトランジスタ３０８がオフ状態とされ、ノードＤがＭＯＳトランジスタ３０６を介して充電される。内部電源電圧ＶＣＩにオーバシュートが生じた場合、比較回路３の出力はＨレベルとなり、ドライブ素子２および６０はすべてオフ状態とされる。このオーバシュートは、アンダシュートおよびオーバシュートを繰返し、ほぼ基準電圧レベルへと徐々に復帰する。図６２においては、オーバシュートからアンダシュートへの移行時に負荷回路７の次のサイクルが始まる状態が示される。負荷回路７の１つの動作サイクルにおいて、ループフィルタ３０９が充電される電荷量は、内部電源電圧ＶＣＩのアンダシュート量に対応し（図６２においてノードＣの部分の斜線で示す領域）、また内部電源電圧ＶＣＩのオーバシュート量は、このループフィルタ３０９への充電電流（ノードＢの斜線領域）で表される。したがって、１つのサイクル完了時において、ループフィルタ３０９の充電電位（ノードＤの充電電位）は、オーバシュート量とアンダシュート量の差に等しくなる。
次のサイクル（負荷回路７の動作サイクル）においては、ループフィルタ３０９はこの内部電源電圧ＶＣＩのオーバシュートより充電されており、充電電位はＶ１である。Ａ／Ｄコンバータ３１２により、このループフィルタ３０９の充電電位をデジタル信号に変換し、ＭＯＳトランジスタＰＢａ−ＰＢｄを選択的にオン状態とする。ノードＤの電位が高ければ、Ａ／Ｄコンバータ３１２の出力するデジタル信号は“１”を多く含み、ノードＤの電位が低い場合にはＡ／Ｄコンバータ３１２の出力するデジタル信号は“０”を多く含む。
内部電源電圧ＶＣＩにアンダシュートが生じるのは、比較回路３の応答の遅れとドライブ素子２および６０の供給する電流の状態（アンダシュートが大きい場合には供給電流が不十分）による。オーバシュート量よりもアンダシュート量が大きい場合には、このドライブ素子２および６０が供給する電流量が不十分な場合である。この場合には、ＭＯＳトランジスタＰＢａ−ＰＢｄのうち数多くのトランジスタがオン状態とされ、ドライブ素子６０を介して内部電源線５へ与えられる供給電流量が多くされ、アンダシュートの発生を抑制する。
一方、オーバシュート量がアンダシュート量よりも大きい場合には、ドライブ素子２および６０が供給する電流が負荷電流よりも大きい場合である。この場合には、ＭＯＳトランジスタＰＢａ−ＰＢｄのうち少ないＭＯＳトランジスタがオン状態とされ、ドライブ素子６０を介して供給される電流量が低減され、オーバシュートの発生が抑制される。図６２においては、アンダシュート量がオーバシュート量よりも大きく、次のサイクルの開始電圧Ｖ１が初期電位Ｖ０よりも低く、ドライブ素子６０を介して供給される電流が多くされる状態が示される。この場合、内部電源電圧ＶＣＩは、比較回路３の応答の遅れによりアンダシュートが生じるものの、先のサイクルに比べてより高速で元の電位に復帰する。このオーバシュート量とアンダシュート量とが等しい場合には、ノードＤの電位は変化せず、オーバシュート量とアンダシュート量とのバランスが取られる。内部電源電圧ＶＣＩのオーバシュート量とアンダシュート量との平衡状態においては、負荷回路７が消費する負荷電流Ｉｌｏａｄとドライブ素子２および６０が供給する電流とは最適化されており、比較回路３の応答の遅れに起因する内部電源電圧ＶＣＩの小さなオーバシュート／アンダシュートが生じるだけである。途中でたとえば動作周波数が変更され、応じて負荷回路７の消費電流すなわち負荷電流Ｉｌｏａｄが変化した場合には、再び加算部３００および調節回路３１２による最適化動作が行なわれ、内部電源電圧ＶＣＩのオーバシュート量とアンダシュート量が一致するようにドライブ素子６０の供給する電流量が調整される。
スイッチング動作（デジタル動作）を行なうドライブ素子６０の供給電流量を調整するのは以下の理由による。このドライブ素子６０は高周波動作時における負荷電流Ｉｌｏａｄの内部電源電圧ＶＣＩの電位低下を補償するために用いられており、したがって、ドライブ素子６０の供給電流量を調整することにより、内部電源電圧ＶＣＩに対する内部電源電圧発生回路（特に比較回路３）の応答の遅れを補償し、アンダシュート量を小さくすることができ、かつアンダシュート量およびオーバシュート量を等しくすることができる。
図６３は、図６１に示す積分部の構成を示す図である。図６３において、第１の差動増幅回路３０２は、基準電圧ＶＣＳｎをゲートに受け、定電流源として機能するｎチャネルＭＯＳトランジスタ３２１と、基準電圧Ｖｒｅｆをゲートに受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタ３２２と、内部電源電圧ＶＣＩをゲートに受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタ３２３と、ノード３２７と外部電源ノード１の間に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタ３２４と、ノードＤと外部電源ノード１の間に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタ３２５を含む。ＭＯＳトランジスタ３２２および３２３のソースはともにＭＯＳトランジスタ３２１のドレインに接続され、ＭＯＳトランジスタ３２２および３２３のドレインはそれぞれノード３２７およびノードＢに接続される。ＭＯＳトランジスタ３２４および３２５のゲートはノード３２７に接続される。ＭＯＳトランジスタ３２４および３２５はカレントミラー回路を構成する。
第２の差動増幅回路３０４は、基準電圧ＶＣＳｐをゲートに受け、定電流源として機能し、外部電源ノード１から電流を供給するｐチャネルＭＯＳトランジスタ３３６と、ＭＯＳトランジスタ３３６とノード３３７の間に接続され、そのゲートに基準電圧Ｖｒｅｆを受けるｐチャネルＭＯＳトランジスタ３３４と、ＭＯＳトランジスタ３３６とノードＣの間に接続され、そのゲートに内部電源電圧ＶＣＩを受けるｐチャネルＭＯＳトランジスタ３３５と、ノードＣとノード３３８の間に接続され、そのゲートがノード３３７に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタ３３３と、ノード３３７とノード３３８の間に接続され、そのゲートがノード３３７に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタ３３２とを含む。この基準電圧ＶＣＳｎは、スタンバイサイクル時に非活性状態とされる（接地電圧レベルとされる）電圧であってもよく、常時印加される一定の電圧レベルの信号であってもよい。またＭＯＳトランジスタ３３６のゲートへ与えられる基準電圧ＶＣＳｐも、この動作サイクル時（負荷回路７の動作サイクル時）において活性状態とされる（一定の基準電圧レベル）信号であってもよく、また常時印加される一定の電圧レベルの信号であってもよい。次に動作について簡単に説明する。
（ｉ） ＶＣＩ＞Ｖｒｅｆ：
第１の差動増幅回路３０２においては、ＭＯＳトランジスタ３２２のコンダクタンスがＭＯＳトランジスタ３２３のそれよりも小さくなり、ＭＯＳトランジスタ３２３を介して流れる電流がＭＯＳトランジスタ３２２を介して流れる電流よりも多くなる。ＭＯＳトランジスタ３２１は定電流源として機能しており、したがってＭＯＳトランジスタ３２２を介して流れる電流が減少する。応じてＭＯＳトランジスタ３２４を介して流れる電流が減少する。ＭＯＳトランジスタ３２４とＭＯＳトランジスタ３２５とはカレントミラー回路を構成しており、これらのＭＯＳトランジスタ３２４および３２５のサイズが同じ場合には、ＭＯＳトランジスタ３２４および３２５には同じ大きさの電流が流れる。したがって、ＭＯＳトランジスタ３２５を介して供給される電流が低下し、ノードＢの電位がＭＯＳトランジスタ３２３を介して放電され、低下する。これによりチャージポンプ回路３０５において、ＭＯＳトランジスタ３０６がオン状態となり、ループフィルタ３０９を充電する。
一方、第２の差動増幅回路３０４においては、ＭＯＳトランジスタ３３５のコンダクタンスはＭＯＳトランジスタ３３４のコンダクタンスよりも小さくなり、定電流トランジスタ３３６からの電流がＭＯＳトランジスタ３３４を介してより多くながれる。これにより、ＭＯＳトランジスタ３３２を介して流れる電流が増加する。ＭＯＳトランジスタ３３２とＭＯＳトランジスタ３３３とはカレントミラー回路を構成しており、それらのＭＯＳトランジスタ３３２および３３３のサイズが同じ場合には、ＭＯＳトランジスタ３３２および３３３に同じ大きさの電流が流れる。したがって、ノードＣはＭＯＳトランジスタ３３３を介して放電されその電位レベルが低下する。このとき、ノードＣの電位レベルは接地電位レベルにまで放電される。これによりチャージポンプ回路３０５において、ＭＯＳトランジスタ３０８は確実にオフ状態とされ、このチャージポンプ回路３０５における貫通電流の発生が防止される。すなわちこの貫通電流の発生を防止することにより、内部電源電圧ＶＣＩのオーバシュート量に応じた電荷量をループフィルタ３０９に蓄積することができる。
（ｉｉ） ＶＣＩ＜Ｖｒｅｆのとき：
第１の差動増幅回路３０２においてはＭＯＳトランジスタ３２２のコンダクタンスがＭＯＳトランジスタ３２３のコンダクタンスよりも大きくなり、ＭＯＳトランジスタ３２２を介して流れる電流が増加する。応じてＭＯＳトランジスタ３２４および３２５を介して流れる電流が増加する。ＭＯＳトランジスタ３２５が供給する電流は、ＭＯＳトランジスタ３２３が放電する電流よりも大きい。したがってノードＢの電位が上昇し、外部電源電圧ＶＣＥレベルまで上昇する。これにチャージポンプ回路３０５において、ＭＯＳトランジスタ３０６が確実にオフ状態とされる。
一方、第２の差動増幅回路３０４においては、ＭＯＳトランジスタ３３５のコンダクタンスがＭＯＳトランジスタ３３４のそれよりも大きくなり、定電流源トランジスタ３３６からの電流がＭＯＳトランジスタ３３５を介して多く流れる。このときには、ＭＯＳトランジスタ３３４および３３２を介して流れる電流が減少し、応じてＭＯＳトランジスタ３３３が放電する電流量が減少する。これにより、ＭＯＳトランジスタ３３５を介してノードＣが充電され、その電位レベルが上昇し、ＭＯＳトランジスタ３０８がオン状態となり、ノードＣを放電する。チャージポンプ回路３０５におけるＭＯＳトランジスタ３０８が放電する電流量は、内部電源電圧ＶＣＩのアンダシュート量を表わしている。したがって、ノードＤの電位すなわちループフィルタ３０９の充電電位はオーバシュート量とアンダシュート量の差に等しくなる。言い換えると、基準電位Ｖｒｅｆを基準とする内部電源電圧ＶＣＩのアンダシュート値における積分値とオーバシュート時における内部電源電圧ＶＣＩの積分値の和に対応する電圧レベルとなる。
なお上記実施例においては、内部電源電圧ＶＣＩが直接差動増幅回路３０２および３０４へ与えられ、基準電圧Ｖｒｅｆと比較されてその比較結果に従った信号がチャージポンプ回路３０５へ与えられている。また同様に内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆとが比較回路３において比較されている。これは、内部電源電圧ＶＣＩがレベルシフトされ、比較回路３および差動増幅回路３０２および３０４へ与えられる構成が利用されてもよい。感度の最もよい領域で比較回路３、差動増幅回路３０２および３０４を動作させることができる。
Ａ／Ｄコンバータを用いて、複数のＭＯＳトランジスタを選択的にオン状態とすることにより、比較的簡単に、負荷回路７の動作サイクルごとにドライブトランジスタ６０の供給電流量を調整することができる。
［具体的構成２］
図６４は、この発明の第１０の実施例である内部電源電圧発生回路の第２の具体的構成を示す図である。図６４に示す構成においては、調節回路３１０は、外部電源ノード１とドライブ素子６０の間に設けられたｐチャネルＭＯＳトランジスタ３１５を含む。このＭＯＳトランジスタ３１５のゲートへはノードＤの電位が与えられる。他の構成は、図４７に示すものと同様であり、対応する部分には同一の参照番号を付す。次に動作について説明する。
ループフィルタ３０９の充電電位（ノードＤの電位）は、図６１に示す構成と同様、内部電源電圧ＶＣＩの基準電圧Ｖｒｅｆを基準とする前のサイクル（負荷回路７の動作サイクル）の積分値に対応している。内部電源電圧ＶＣＩのアンダシュート量がそのオーバシュート量よりも大きい場合には、ノードＤの電位が低下する。逆に、内部電源電圧ＶＣＩのオーバシュート量がそのアンダシュート量よりも大きい場合には、ループフィルタ３０９の充電電位（ノードＤの電位）が上昇する。このループフィルタ３０９の充電電位（ノードＤの電位）は、調節回路３１０を構成するｐチャネルＭＯＳトランジスタ３１５のゲートへ与えられる。したがって、内部電源電圧ＶＣＩのオーバシュート量がそのアンダシュート量よりも大きい場合には、ＭＯＳトランジスタ３１５の抵抗値が大きくなり、外部電源ノード１からドライブ素子６０へ与えられる電流量が低下する。逆に、内部電源電圧ＶＣＩのアンダシュート量がそのオーバシュート量よりも大きい場合には、ＭＯＳトランジスタ３１５の抵抗値が小さくなり、外部電源ノード１からドライブ素子６０へ供給される電流量が増加する。このときこのドライブ素子６０の電流供給力は、ＭＯＳトランジスタ３１５の供給する電流駆動力よりも大きくされている。したがって、このドライブ素子６０から内部電源線５へ与えられる電流量を負荷回路７が消費する負荷電流Ｉｌｏａｄに応じた値に設定することができる。
ループフィルタ３０９は、積分動作を行なっており、「ローパスフィルタ」として機能する。したがって、ループフィルタ３０９の充電電位は、１サイクル内においてチャージポンプ回路３０５の充放電動作により変化するものの、その変化は緩やかである。高周波応答特性はなく、したがって１サイクル（負荷回路７の動作サイクル）において、ノードＤの電位はほぼ一定と見なすことができ、応じて１サイクル期間においてＭＯＳトランジスタ３１５が供給する電流をほぼ一定とすることができる。すなわち、図５４に示す動作波形図と同様の動作をこの図６４に示す回路を用いても実現することができる。
図６４に示す構成の場合、各サイクル（負荷回路７の動作サイクル）ごとに、ノードＤの電位に従ってアナログ的に（連続的に）外部電源ノード１がドライブ素子６０へ供給される電流量を調整することができる。したがって調節回路の占有面積を小さくして正確にこのドライブ素子６０が供給する電流を調節することができ、応じて負荷回路７の消費する負荷電流Ｉｌｏａｄとドライブ素子２および６０が供給する電流Ｉ１およびＩ２とをバランスさせることができ、オーバシュートおよびアンダシュートを抑制するとともに、負荷電流Ｉｌｏａｄに対する最適な電流を内部電源線５へ供給することができる。
なお、第１および第２の差動増幅回路３０２および３０４はデジタル的に動作し、ＭＯＳトランジスタ３０６および３０８をスイッチング動作（デジタル動作）させるように構成してもよい。
以上のように、この第１０の実施例に従えば、内部電源電圧ＶＣＩのアンダシュート量とオーバシュート量との差に従ってドライブ素子が内部電源線へ供給する電流量を調節するように構成しているので、この内部電源線に接続する負荷回路が消費する負荷電流に応じた最適な電流量を内部電源線へ供給することができ、内部電源線におけるオーバシュートおよびアンダシュートを抑制することができる。
また、上記各実施例においては、外部電源電圧を降圧して内部電源電圧を生成しているが、本発明は、一般に、第１の電源電位から所定の電圧レベルの第２の電源電位を装置内部で生成する回路に適用することができる。
［実施例１１］
図６５は、この発明の第１１の実施例である内部降圧回路が適用される半導体記憶装置の全体の構成を示す図である。図６５において、半導体記憶装置は、半導体チップ１００上に配置される４つのメモリセルアレイ１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、および１０２ｄを含む。メモリセルアレイ１０２ａ〜１０２ｄの各々は、行および列のマトリクス状に配列された複数のメモリセルと、各列に対応して配置されるビット線対および各行に対応して配置されるワード線、および各ビット線対に対応して設けられるセンスアンプを含む。メモリセルアレイ１０２ａ〜１０２ｄからのメモリセルの選択方法は任意である。アクセス時において、メモリセルアレイ１０２ａ〜１０２ｄ各々において所定数（たとえば１ビット）のメモリセルが選択される構成が利用されてもよい。またメモリセルアレイ１０２ａ〜１０２ｄのうち所定数のアレイ（たとえばメモリセルアレイ１０２ａおよび１０２ｃ）が選択され、残りのメモリセルアレイはスタンバイ状態を維持する構成が利用されてもよい。
半導体記憶装置はさらに、メモリセルアレイ１０２ａおよび１０２ｃとメモリセルアレイ１０２および１０２ｄの間の領域に配置され、外部からの信号に従ってメモリセルアレイ１０２ａ〜１０２ｄに対する制御信号を生成するマスタ周辺回路１０４と、メモリセルアレイ１０２ａおよび１０２ｃの間に設けられ、マスタ周辺回路１０４からの制御信号に従って、メモリセルアレイ１０２ａおよび１０２ｃに対するアクセス動作を制御するローカル周辺回路１０６ａと、メモリセルアレイ１０２ｂおよび１０２ｄの間に設けられ、マスタ周辺回路１０４からの制御信号に従ってメモリセルアレイ１０２ｂおよび１０２ｄに対するアクセス動作を制御するローカル周辺回路１０８ａを含む。
マスタ周辺回路１０４は、外部からのロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳ、コラムアドレスストローブ信号／ＣＡＳ、およびライトイネーブル信号／ＷＥなどの制御信号を受けて内部制御信号を生成するとともに、外部からのアドレス信号を受け、内部アドレス信号を生成するとともにブロックアドレス（ブロック選択方式の場合選択されるメモリセルアレイを指定する）を生成するアドレスバッファおよびブロックデコーダを含む。ローカル周辺回路１０６ａおよび１０６ｂは、対応のメモリセルアレイにおける行および列の選択を行なうロウデコーダおよびコラムデコーダを含む。
半導体記憶装置はさらに、マスタ周辺回路１０４およびローカル周辺回路１０６ａおよび１０６ｂへ内部電源電圧を供給する周辺用内部降圧回路１１２と、メモリセルアレイ１０２ａおよび１０２ｂへ内部電源電圧を供給するアレイ用内部降圧回路１１０ａと、メモリセルアレイ１０２ｃおよびメモリセルアレイ１０２ｄへ内部電源電圧を供給するアレイ用内部降圧回路１１０ｂを含む。アレイ用内部降圧回路１１０ａおよび周辺用内部降圧回路１１２は、チップ１００の中央部に設けられた外部電源パッド１ａから外部電源電圧ＶＣＥを受けて所定の内部電源電圧を生成し、アレイ用内部降圧回路１１０ｂは、同様に別の領域に設けられた外部電源パッド１ｂに与えられた外部電源電圧から内部電源電圧を生成する。ここで、外部電源パッド１ａおよび１ｂがチップ１００の中央部に配置されており、いわゆる「リード・オン・チップ（ＬＯＣ）」のパッドの配置を有するように示されているが、この半導体記憶装置は、チップ１００の外周部に沿って外部電源電圧を入力するためのパッドが配置される構成であってもよい。
アレイ用内部降圧回路１１０ａおよび１１０ｂは、センスアンプの動作時におけるビット線の充電のために利用される内部電源電圧およびビット線を中間電位に保持するための中間電位を生成するために利用される内部電源電圧を生成する。ビット線の充放電動作時においては、数多くのビット線の充電が行なわれるため（選択されたワード線と交差するビット線対においてすべて充放電が行なわれる）、内部電源線から大量の電流が消費されるものの、その電圧変化は比較的緩やかである。したがってこのセンス動作時におけるビット線の充電に利用される内部電源電圧を発生する内部降圧回路は、高周波応答特性よりもむしろ比較的緩やかな電圧変化に対応する直流応答特性と大きな電流供給力を要求される。一方、内部制御信号などを生成する周辺回路（マスタ周辺回路１０４およびローカル周辺回路１０６ａ，１０６ｂ）は、早いタイミングで信号を確定状態とする必要があり、高速動作を行なうため、この内部電源電圧は急激に変化する。したがって周辺回路に対する内部電源電圧を供給する周辺用内部降圧回路１１２は、急激な内部電源電圧の変化に対応する高周波応答特性が要求される。したがってこれら要求される応答特性に従ってアレイ用内部降圧回路１１０ａおよび１１０ｂならびに高周波応答特性に優れた周辺用内部降圧回路１１２をそれぞれ別々に設けることにより、各対応の内部回路の動作に応じて安定に内部電源電圧を生成することができる。
しかしながら、図５９〜６４に示すように高周波応答特性および直流応答特性いずれをも満足することのできる内部降圧回路が用いられる場合には、アレイ用内部降圧回路と周辺用内部降圧回路が共用される構成が利用されてもよい。次に各内部回路の具体的構成について説明する。
［周辺回路用内部降圧回路］
図６６は、図６５に示す周辺用内部降圧回路の構成を示すブロック図である。図６６において、周辺用内部降圧回路１１２は、所定の電圧レベルの基準電圧ＶｒｅｆＬおよび振幅制限信号ＬＭを生成する基準電圧発生部１２０と、基準電圧発生部１２０からの基準電圧ＶｒｅｆＬと内部電源線１３５上の内部電源電圧ＶＣＩとに従ってこの内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを所定レベルに保持する内部電源電圧発生部１３０と、外部電源パッド１ａに与えられた外部電源電圧ＶＣＥの高周波成分を除去し、基準電圧発生部１２０および内部電源電圧発生部１３０の外部電源ノードへ伝達するローパスフィルタ１４０を含む。ローパスフィルタ１４０は、この半導体記憶装置の動作時に外部電源電圧ＶＣＥか使用されたとき、外部電源パッド１ａに与えられた外部電源電圧ＶＣＥの電圧レベルにバウンス（オーバーシュートおよびアンダーシュート）が生じたときに、基準電圧発生部１２０が生成する基準電圧（その内部構成については後に詳細に説明する）に対しこの外部電源電圧ＶＣＥのバウンスが悪影響を及ぼすのを防止するために設けられる。
図６７はこの図６６に示す基準電圧発生部の動作を概略的に示す図である。以下、図６６および図６７を参照して、この基準電圧発生部の動作について簡単に説明する。
外部電源電圧ＶＣＥが上昇すると、ノーマル用基準電圧発生回路１２２が出力する基準電圧ＶｒｅｆＮＬも応じて上昇する。外部電源電圧ＶＣＥが所定の電圧レベルＶ０に到達すると、このノーマル用基準電圧発生回路１２２からの基準電圧ＶｒｅｆＮＬが一定の電圧レベルを維持する。一方、バーンイン用基準電圧発生回路１２４は、この外部電源電圧ＶＣＥよりも一定値低い基準電圧ＶｒｅｆＢＬを発生する。したがってこのバーンイン用基準電圧発生回路１２４から発生される基準電圧ＶｒｅｆＢＬは外部電源電圧ＶＣＥに比例して増加する。
基準電圧発生回路１２６は、この基準電圧ＶｒｅｆＮＬおよびＶｒｅｆＢＬのうちの高い電圧レベルを選択して出力する。外部電源電圧ＶＣＥが電圧Ｖ１に到達するまでは、基準電圧ＶｒｅｆＮＬが高いため、基準電圧発生回路１２６からの基準電圧ＶｒｅｆＬは、ノーマル用基準電圧発生回路１２２からの基準電圧ＶｒｅｆＮＬに等しくなる。一方、外部電源電圧ＶＣＥが電圧Ｖ１を超えると、基準電圧ＶｒｅｆＢＬが基準電圧ＶｒｅｆＮＬよりも高くなるため、この基準電圧発生回路１２６からの基準電圧ＶｒｅｆＬは、バーンイン用基準電圧発生回路１２４からの基準電圧ＶｒｅｆＢＬに等しくなる。
通常動作モード（メモリセル選択動作、データの書込／読出動作およびリフレッシュ動作等）においては、外部電源電圧ＶＣＥは電圧Ｖ０−Ｖ１の間のレベルに設定される。一方、半導体記憶装置の製品出荷時において、動作特性の安定化および潜在的不良の顕在化による不良品のスクリーニングなどの製品の信頼性を保証するための最終試験が行なわれる。このような試験はバーンイン試験と呼ばれ、内部電源電圧ＶＣＩを通常動作時よりも高くし、高いストレス条件下で半導体記憶装置を動作させる。このようなバーンイン試験を行なうバーンインモードおよび、製品の寿命試験を行なう加速試験などの場合、内部電源電圧ＶＣＩを通常動作時よりも高くする必要がある。この必要性を満たすために、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを決定する基準電圧ＶｒｅｆＬの電圧レベルを外部電源電圧ＶＣＥに従って高くする。これにより動作モードに応じて内部電源電圧を外部電源電圧ＶＣＥに従って変化させることができる。
再び図６６を参照して、内部電源電圧発生回路１３０は、ロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳ、チップセレクト信号／ＣＳおよびチップイネーブル信号／ＣＥなどの活性化信号ＡＣＴに応答して活性化され、内部電源線４上の内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを低下させる活性分圧回路１３４と、活性化信号ＡＣＴに応答して活性化され、基準電圧発生部１２０からの基準電圧ＶｒｅｆＬと活性分圧回路１３４の出力電圧とを比較し、その比較結果に従って内部電源線１３５への電流の供給／遮断を行なう活性内部降圧回路１３２と、常時活性状態とされ、内部電源線１３５上の内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを低下させる常時分圧回路１３８と、この常時分圧回路１３８の出力電圧と基準電圧発生部１２０からの基準電圧ＶｒｅｆＬを比較し、その比較結果に従って内部電源線１３５上の内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルの調整（電流の供給／停止）を行なう常時内部降圧回路１３６を含む。常時内部降圧回路１３６の電流駆動力は、活性内部降圧回路１３２のそれよりも小さくされる。これによりスタンバイ時（信号ＡＣＴの非活性化時）における消費電流を低減する。
活性内部降圧回路１３２は、また先に実施例８および９において説明したように、バーンインモード指示信号ＢＩまたは電源投入検出信号ＰＯＲに従ってその内部電源電圧ＶＣＩの外部電源電圧ＶＣＥに等しくする構成を備える。それにより電源投入時における内部電源電圧ＶＣＩの立上がりの高速化および内部電源電圧ＶＣＩをバーンインモード時に外部電源電圧ＶＣＥに従って上昇させる構成を実現する。
活性化信号ＡＣＴの活性化時、周辺回路（図６０参照）が動作し、内部電源線１３５から電流が周辺回路へ流れ込み（内部電源電圧ＶＣＩが消費（使用）される）、この内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが低下する。周辺回路は高速動作しており、内部電源線１３５上の内部電源電圧ＶＣＩは急激に低下する。活性分圧回路１３４によりこの内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを低下させて、後に説明するように、活性内部降圧回路１３２に含まれるカレントミラー型増幅回路で構成される比較回路を最も感度のよい領域で動作させ、高速応答性を実現する。一般に、カレントミラー型（差動）増幅回路において、一方動作電源電圧（ＶＣＥ）にその基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルが近づいた場合、入力信号（ＶＣＩ）の変化量に対する出力信号の変化量が低下し、感度が低下するため、高速応答性が損なわれる。すなわち、基準電圧Ｖｒｅｆを受けるＭＯＳトランジスタのコンダクタンスが、基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルが高い場合には大きくなり、入力信号を受けるＭＯＳトランジスタのコンダクタンスが入力信号の電圧レベルの変化に応じて変化しても、この入力信号をゲートに受けるＭＯＳトランジスタのコンダクタンスの変化が基準電圧Ｖｒｅｆをゲートに受けるＭＯＳトランジスタを介して流れる電流に及ぼす影響は小さく、大きな電流変化は生じず、出力ノードの電圧レベルの変化が小さくなるためである。この高速応答性の劣化を改善するために活性分圧回路１３４により内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを低下させて活性内部降圧回路１３２の高速応答性を改善する。
図６８は、図６６に示す基準電圧発生部の詳細構成を示す図である。以下、各回路の構成および動作について順に説明する。
ローパスフィルタ１４０は、外部電源電圧ＶＣＥを受けるパッド１ａにその一方端が接続され、その他方端が外部電源線を介して外部電源ノード１に他方端が接続される抵抗素子Ｒ３０と、抵抗素子Ｒ３０の他方端と接地ノードＶＳＳの間に接続される容量Ｃ３０を含む。このローパスフィルタ１４０は、積分回路としても知られている回路であり、抵抗Ｒ３０の抵抗値と容量Ｃ３０の容量値の積により決定される周波数領域の信号を通過させる。
定電流発生回路１２７は、その一方導通端子（ソース）が外部電源ノード１に接続され、その他方導通端子（ドレイン）およびゲートがノードＫ３に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ６６と、その一方導通端子がノードＫ３に接続され、そのゲートが接地ノードＶＳＳに接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタ６８と、その一方導通端子がＭＯＳトランジスタＰ６８の他方導通端子に接続され、そのゲートがノードＫ４に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ６１と、ＭＯＳトランジスタＮ６１の他方導通端子にその一方端が接続され、その他方端が接地ノードＶＳＳに接続される可変抵抗Ｒ３１と、その一方導通端子が外部電源ノード１に接続され、そのゲートがノードＫ３に接続されるＭＯＳトランジスタＰ６７と、その一方端がＭＯＳトランジスタＰ６７の他方導通端子に接続され、その他方端がノードＫ４に接続される抵抗素子Ｒ３２と、そのゲートおよび一方導通端子がノードＫ４に接続され、その他方導通端子が接地ノードＶＳＳに接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ６２を含む。
ＭＯＳトランジスタＰ６６およびＰ６７はカレントミラー回路を構成し、ＭＯＳトランジスタＰ６６を介して流れる電流と同じ大きさの電流がＭＯＳトランジスタＰ６７を介して流れる。ＭＯＳトランジスタＮ６０およびＮ６２はまたカレントミラー回路を構成する。ＭＯＳトランジスタＮ６１のチャネル幅Ｗ（またはβ）はＭＯＳトランジスタＮ６２のそれよりも大きくされる。ｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ６８は、抵抗素子として機能し、ＭＯＳトランジスタＰ６６を介して与えられる電流を小さくする機能を備える。抵抗Ｒ３２も同様、ＭＯＳトランジスタＰ６７を介して流れる電流を小さくする機能を備える。
スタートアップ回路１２３は、その一方導通端子が外部電源ノード１に接続され、そのゲートが接地ノードＶＳＳに接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ６９と、その一方導通端子および基板がＭＯＳトランジスタＰ６９の他方導通端子に接続され、そのゲートおよび他方導通端子がノードＫ４に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ７０と、その一方導通端子がＭＯＳトランジスタＰ７０の一方導通端子に接続され、そのゲートがノードＫ４に接続され、その他方導通端子が接地ノードＶＳＳに接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ６３を含む。まず定電流発生回路１２７およびスタートアップ回路１２３の動作について説明する。
外部電源電圧ＶＣＥが印加される前、外部電源ノード１は接地電圧ＶＳＳレベルである。このとき、定電流発生回路１２７およびスタートアップ回路１２３の各内部ノードの電圧レベルも接地電圧ＶＳＳレベルである。
外部電源電圧ＶＣＥが印加されると、外部電源ノード１の電圧レベルがこの外部電源電圧ＶＣＥに従って上昇する。定電流発生回路１２７において電流が流れない場合、ノードＫ３の電圧が外部電源電圧ＶＣＥに従って上昇し、ノードＫ４の電圧が接地電圧ＶＳＳを維持し、この定電流発生回路１２７は所望の動作を実現しない。
一方、スタートアップ回路１２３において、外部電源電圧ＶＣＥが上昇すると、抵抗素子として機能するｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ６９により電流が外部電源電源ノード１からＭＯＳトランジスタＰ７０へ供給される。このＭＯＳトランジスタＰ７０の一方導通端子の電圧レベルがこのノードＫ４の電圧レベルよりもＶｔｐ（ＶｔｐはＭＯＳトランジスタＰ７０のしきい値電圧の絶対値）以上高くなると、ＭＯＳトランジスタＰ７０を介して電流が流れ、ＭＯＳトランジスタＮ６２およびおよびＮ６１のゲート電位が上昇する。ノードＫ４の電圧レベルがＭＯＳトランジスタＮ６２のしきい値電圧Ｖｔｎ以上となると、このＭＯＳトランジスタＮ６２がオン状態となり、応じて外部電源ノード１からＭＯＳトランジスタＰ６７、抵抗Ｒ３２およびＭＯＳトランジスタＮ６２を介して接地ノードＶＳＳへ電流が流れる。ＭＯＳトランジスタＮ６２とＭＯＳトランジスタＮ６１はカレントミラー回路を構成しており、したがってこのときＭＯＳトランジスタＮ６１を介して電流が流れ、同様に内部電源ノード１からＭＯＳトランジスタＰ６６、Ｐ６８およびＮ６１ならびに抵抗Ｒ３１を介して電流が流れる。これにより定電流発生回路１２７において外部電源ノード１から接地ノードＶＳＳに電流が流れ、定電流発生回路１２７が正常に動作し、各内部ノードの電圧が所定の電圧レベルに設定される。
一方、ノードＫ４の電圧レベルがＭＯＳトランジスタＮ６２のしきい値電圧Ｖｔｎ以上に上昇すると、応じてスタートアップ回路１２３においてＭＯＳトランジスタＮ６３がオン状態となり、ＭＯＳトランジスタＰ７０の一方導通端子が接地電圧ＶＳＳレベルに放電され、ＭＯＳトランジスタＰ７０がオフ状態とされ、スタートアップ回路１２３から定電流発生回路１２７への電流の注入が禁止される。すなわちこのスタートアップ回路１２３は外部電源電圧ＶＣＥの投入時に定電流発生回路１２７に電流を供給し、この定電流発生回路１２７の内部ノードを所定の電圧レベルに設定させる機能を備える。
定電流発生回路１２７においては、電流が流れたとき、以下の動作が行なわれる。
ＭＯＳトランジスタＰ６６とＭＯＳトランジスタＰ６７とは同じサイズを有しかつカレントミラー回路を構成している。したがって、ＭＯＳトランジスタＰ６７は、ＭＯＳトランジスタＰ６６を介して流れる電流と同じ大きさの電流を供給する。ＭＯＳトランジスタＮ６１は、ＭＯＳトランジスタＮ６２よりも大きなチャネル幅Ｗ（またはβ）を有する。ＭＯＳトランジスタＮ６２は、ゲートおよびドレインがノードＫ４に接続されており、飽和領域で動作し、電流Ｉ（Ｎ６２）として、
Ｉ（Ｎ６２）＝β（Ｎ６２）・（Ｖｇｓ−Ｖｔｎ）2
の電流を流す。ここで、ＶｇｓはＭＯＳトランジスタＮ６２のゲート−ソース間であり、ノードＫ４の電圧レベルを示すため、以下Ｖ（Ｋ４）として示す。β（Ｎ６２）はＭＯＳトランジスタＮ６２の係数βである。
ＭＯＳトランジスタＮ６２とＭＯＳトランジスタＮ６１はまたカレントミラー回路を構成している。ＭＯＳトランジスタＮ６１は、ＭＯＳトランジスタＮ６２よりも大きなチャネル幅Ｗ（またはβ）を有しており、またＭＯＳトランジスタＰ６６よりも大きな電流駆動力を有している。したがって、このＭＯＳトランジスタＮ６１のゲート−ソース間電圧はほぼこのしきい値電圧Ｖｔｎの電圧レベルとなる。一般にＭＯＳトランジスタにおいて、その電流駆動力より十分小さな電流しか供給されない場合、ゲート−ソース間電圧は、Ｉｇｓ＝β・（Ｖｇｓ−Ｖｔｈ）2の自乗特性に従い、ほぼしきい値電圧Ｖｔｎレベルと
される。
したがって抵抗Ｒ３１の両端に印加される電圧Ｖ（Ｒ３１）は、
Ｖ（Ｒ３１）＝Ｖ（Ｋ４）−Ｖｔｎ
となる。したがって、この抵抗Ｒ３１を介して流れる電流は、抵抗Ｒ３１の抵抗値をまたＲ３１として示すと、
Ｉ＝（Ｖ（Ｋ４）−Ｖｔｎ）／Ｒ３１
で与えられる。この電流Ｉが外部電源ノード１からＭＯＳトランジスタＰ６６、Ｐ６８およびＮ６１を介して抵抗Ｒ３１へ供給される。この電流Ｉと同じ大きさの電流がまたＭＯＳトランジスタＰ６６およびＰ６７のカレントミラー回路により抵抗Ｒ３２を介してＭＯＳトランジスタＮ６２へ供給される。これにより、ノードＫ４の電圧レベルがＭＯＳトランジスタＮ６２の自乗特性により決定される一定値となる。ＭＯＳトランジスタＰ６８はＭＯＳトランジスタＮ６１のゲート−ソース間電圧をしきい値電圧レベルに保持するための電流制限機能を備え、抵抗Ｒ３２は、ＭＯＳトランジスタＮ６２を抵抗モードで動作させる機能を備える。ノードＫ４の電圧レベルが上昇すると、抵抗Ｒ３１両端の電圧が上昇し、応じてＭＯＳトランジスタＮ６１を介して流れる電流がＭＯＳトランジスタＰ６６を介して流れる電流が増加し、応じてＭＯＳトランジスタＰ６７を介して流れる電流が増加し、抵抗Ｒ３２による電圧降下が大きくなり、ノードＫ４の電圧レベルも低下させる。逆にノードＫ４の電圧レベルが低下したとき、抵抗Ｒ３１両端の電圧が小さくなり、ＭＯＳトランジスタＰ６６を介して流れる電流が小さくなり、応じてＭＯＳトランジスタＰ６７を介して流れる電流が小さくなり、抵抗Ｒ３２における電圧降下が小さくされ、ノードＫ４の電圧レベルが上昇する。これにより、ノードＫ４の電圧レベルが一定とされ、ＭＯＳトランジスタＮ６２を介して流れる電流は一定、すなわちＭＯＳトランジスタＰ６６およびＰ６７がそれぞれ供給する電流と同じ大きさに設定される。
この定電流発生回路１２７を利用することにより、外部電源電圧ＶＣＥが（Ｖｔｐ＋Ｖｔｎ）以上になったときに、安定に一定の電流を供給するための基準電圧を生成することができる。
電流源用基準電圧発生回路１２１は、その一方導通端子が内部電源ノード１に接続され、そのゲートがノードＫ３に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ６０と、その一方導通端子がＭＯＳトランジスタＰ６０の他方導通端子に接続され、そのゲートおよび他方導通端子がノードＫ１に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ６１と、その一方導通端子およびゲートがノードＫ１に接続され、その他方導通端子が接地ノードＶＳＳに接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ６０を含む。ＭＯＳトランジスタＰ６０は、定電流発生回路１２７のＭＯＳトランジスタＰ６６とカレントミラー回路を構成し、このＭＯＳトランジスタＰ６６を介して流れるミラー電流をＭＯＳトランジスタＰ６１およびＮ６０へ与える。ＭＯＳトランジスタＰ６１およびＮ６０は、そのチャネル抵抗に従って抵抗素子として機能し、抵抗分割によりノードＫ１に、一定の基準電圧ＣＳＴＬを生じさせる。この電流源基準電圧発生回路１２１は、また外部電源電圧ＶＣＥがＶｔｎ＋Ｖｔｐ以上に増加したときに動作し、外部電源電圧ＶＣＥに依存しない一定の基準電圧ＣＳＴＬを生成する。
ノーマル用基準電圧発生回路１２２は、その一方導通端子が外部電源ノード１に接続され、そのゲートがノードＫ３に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ６２と、ＭＯＳトランジスタＰ６２の他方導通端子と接地ノードＶＳＳの間に直列に接続される３つのＭＯＳトランジスタＰ６３、Ｐ６４およびＰ６５とを含む。ＭＯＳトランジスタＰ６３〜Ｐ６５のゲートは接地ノードＶＳＳに接続され、これらのＭＯＳトランジスタＰ６３〜Ｐ６５はそれぞれのオン抵抗（チャネルコンダクタンス）に従った抵抗素子として機能する。
このノーマル用基準電圧発生回路１２２においてＭＯＳトランジスタＰ６２が、定電流発生回路１２７のＭＯＳトランジスタＰ６６とカレントミラー回路を構成しており、ＭＯＳトランジスタＰ６２が、ＭＯＳトランジスタＰ６６の供給する電流のミラー電流をＭＯＳトランジスタＰ６３〜Ｐ６５へ供給する。ＭＯＳトランジスタＰ６４は、その抵抗値が変更可能である。この抵抗値が変更可能な構成は、複数の直列または並列に接続されたＭＯＳトランジスタを配線またはヒューズ素子などにより選択的に分離または短絡することにより実現することができる。
このノーマル基準電圧発生回路１２２のノードＫ２から出力される基準電圧ＶｒｅｆＮＬは、ＭＯＳトランジスタＰ６２が供給する電流とＭＯＳトランジスタＰ６４およびＰ６５の抵抗値の和との積により与えられる。ＭＯＳトランジスタＰ６２が供給する電流は、安定時には外部電源電圧ＶＣＥと無関係に一定であり、基準電圧ＶｒｅｆＮＬの外部電源電圧ＶＣＥと無関係の一定値となる。ＭＯＳトランジスタＰ６２の供給する電流が一定となるまでは、この基準電圧ＶｒｅｆＮＬは、図６７に示すように、外部電源電圧ＶＣＥに従って上昇する。
バーンイン用基準電圧発生回路１２４は、その一方導通端子が外部電源ノード１に接続され、かつその抵抗値がヒューズまたは配線により変更可能なｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ７１と、その一方導通端子がＭＯＳトランジスタＰ７１の他方導通端子に接続され、かつそのゲートがＭＯＳトランジスタＰ７１のゲートに接続されかつ自身の他方導通端子に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ７２と、その一方導通端子がＭＯＳトランジスタＰ７２のゲートおよび他方導通端子に接続され、かつそのゲートが接地ノードＶＳＳに接続され、かつその他方導通端子がノードＫ５に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ７３と、その一方導通端子がノードＫ５に接続され、そのゲートが接地ノードＶＳＳに接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＫ５と、その一方導通端子がＭＯＳトランジスタＰ７４の他方導通端子に接続され、その他方導通端子が接地ノードＶＳＳに接続され、そのゲートがノードＫ４に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ６４を含む。
ＭＯＳトランジスタＰ７３およびＰ７４はそのゲート電位が接地電圧ＶＳＳに固定され、そのオン抵抗により抵抗素子として機能する。ＭＯＳトランジスタＰ７２は、抵抗モードで動作し、そのチャネルコンダクタンスに従って抵抗素子として機能する。
抵抗素子として機能するＭＯＳトランジスタＰ７１はその抵抗値が変更可能であるが、通常の抵抗モードにおける抵抗接続のようにそのゲートおよびドレインが接続されるのではなく、ゲートがＭＯＳトランジスタＰ７２のゲートおよび他方導通端子（ドレイン）に接続されているのは、ＭＯＳトランジスタＰ７１およびＰ７２のゲートを同一電圧レベルに設定し、ＭＯＳトランジスタＰ７１およびＰ７２を同じゲート電圧にバイアスすることにより、これらＭＯＳトランジスタＰ７１の基板効果を無くしＭＯＳトランジスタＰ７１のチャネルコンダクタンスを所望の値に確実に設定するためである。
ＭＯＳトランジスタＮ６４は、定電流発生回路１２７のＭＯＳトランジスタＮ６２とカレントミラー回路を構成し、このＭＯＳトランジスタＮ６２を介して流れる電流のミラー電流がＭＯＳトランジスタＮ６４を介して流れる。したがって、このバーンイン用基準電圧発生回路１２４からは、ＭＯＳトランジスタＰ７１およびＰ７２がともにオン状態となったときに外部電源ノード１から接地ノードＶＳＳへ一定の電流が流れ、ノードＫ５の電圧は、ＶＣＥ−Ｉ・Ｒの関係に従って上昇する。ここでＲはＭＯＳトランジスタＰ７１、Ｐ７２およびＰ７３の合成抵抗を示し、Ｉは、ＭＯＳトランジスタＮ６４を介して流れる電流を示す。このＭＯＳトランジスタＰ７１およびＰ７２のゲート電圧をともに等しくすることにより、また、バーンイン用基準電圧発生回路１２４におけるＭＯＳトランジスタＰ７１およびＰ７２がともにオン状態となるタイミングを定電流発生回路１２７において電流が流れるタイミングとほぼ同じとすることができる（ＭＯＳトランジスタＰ７１のゲートはＭＯＳトランジスタＰ７１のゲートおよびドレインに接続されており、外部電源電圧ＶＣＥがＶｔｐ以上となると、ＭＯＳトランジスタＰ７１およびＰ７２がともにオン状態となる。これはスタートアップ回路１２３による電流注入開始とほぼ同じタイミングである）。
上述のような構成により、定電流発生回路１２７が安定に一定の電流を供給する状態となった後はノードＫから外部電源電圧ＶＣＥに従って上昇する基準電圧ＶｒｅｆＢＬを生成することができる。
振幅制限信号発生回路１２５は、外部電源ノード１とノードＫ６の間に直列に接続されるダイオード接続されたｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ７５、Ｐ７６およびＰ７７と、ノードＫ６と接地ノードＶＳＳの間に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ６５を含む。ＭＯＳトランジスタＮ６５は定電流発生回路１２７のＭＯＳトランジスタＮ６２とカレントミラー回路を構成する。ＭＯＳトランジスタＰ７５〜Ｐ７７のゲート幅ＷはＭＯＳトランジスタＮ６５のそれよりも十分大きくされており、これらＭＯＳトランジスタＰ７５〜Ｐ７７を、導通時にそれぞれそのしきい値電圧の絶対値Ｖｔｐの電圧降下を生じさせる。したがって、外部電源電圧ＶＣＥが所定の電圧レベル以上となったときには、振幅制限信号ＬＭは、ＶＣＥ−３・Ｖｔｐの電圧レベルとされる。振幅制限信号ＬＭのレベルを外部電源電圧ＶＣＥに応じて変化させることにより、バーンインモード時においても外部電源電圧ＶＣＥのレベルに対応して所定の振幅制限機能が実現される。
基準電圧発生回路１２６は、その一方導通端子が外部電源ノード１に接続され、その他方導通端子がノードＫ７に接続されかつそのゲートがノードＫ７に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ７８と、その一方導通端子が外部電源ノード１に接続され、その他方導通端子がノードＫ８に接続され、そのゲートがノードＫ７に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ７９と、ノードＫ７とノードＫ９の間に接続され、そのゲートに基準電圧ＶｒｅｆＮＬを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ６６と、ノードＫ７とノードＫ９の間に設けられ、そのゲートに基準電圧ＶｒｅｆＢＬを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ６７と、ノードＫ８とノードＫ９の間に接続され、そのゲートがノードＫ８に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ６８と、ノードＫ９と接地ノードＶＳＳの間に接続され、そのゲートに電流源用基準電圧発生回路１２１からの基準電圧ＣＳＴＬを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ６９を含む。ＭＯＳトランジスタＮ６９は、電流源用基準電圧発生回路１２１のＭＯＳトランジスタＮ６０とカレントミラー回路を構成し、ＭＯＳトランジスタＮ６０を流れる電流のミラー電流を生じさせる。ＭＯＳトランジスタＰ７８およびＰ７９はカレントミラー回路を構成する。ＭＯＳトランジスタＮ６９は定電流源として機能する。今、基準電圧ＶｒｅｆＬが基準電圧ＶｒｅｆＮＬおよびＶｒｅｆＢＬの少なくとも一方よりも低いとき、ＭＯＳトランジスタＮ６６またはＮ６７のコンダクタンスはＭＯＳトランジスタＮ６８のそれよりも大きくなり、このＭＯＳトランジスタＮ６６およびＮ６７を介して流れる電流が増加する。この電流はＭＯＳトランジスタＰ７８から供給され、応じてカレントミラー回路を構成するＭＯＳトランジスタＰ７９を介して流れる電流も増加する。ＭＯＳトランジスタＮ６８は、このＭＯＳトランジスタＰ７９を介して供給される電流をすべて放出することはできず、したがって、ノードＫ８の電圧レベルが上昇する。すなわち基準電圧ＶｒｅｆＮの電圧レベルが上昇する。
逆に基準電圧ＶｒｅｆＬが基準電圧ＶｒｅｆＮＬおよびＶｒｅｆＢＬ両者よりも高い場合には、ＭＯＳトランジスタＮ６８のコンダクタンスがＭＯＳトランジスタＮ６６およびＮ６７のそれよりも大きくされ、ＭＯＳトランジスタＮ６８は、ＭＯＳトランジスタＰ７９からの供給される電流をすべてノードＫ９に放出する。これによりノードＫ８からの基準電圧ＶｒｅｆＬの電圧レベルが低下する。すなわちこの基準電圧発生回路１２６は、基準電圧ＶｒｅｆＬとして、基準電圧ＶｒｅｆＮＬおよびＶｒｅｆＢＬのうちの高い方の電圧を出力する。
以上詳細に説明したように、外部電源電圧ＶＣＥが所定の電圧レベルに到達すると、安定に必要な基準電圧を発生することができる。
図６９は、図６６に示す内部電源電圧発生部１３０の具体的構成を示す図である。以下、図６９を参照して各回路の構成および動作について説明する。
活性分圧回路１３４は、その一方導通端子が外部電源線１３５に接続され、そのゲートが接地ノードＶＳＳに接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ８８と、ＭＯＳトランジスタＰ８８の他方導通端子にその一方導通端子が接続されかつそのゲートが接地ノードＶＳＳに接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ８９と、その一方導通端子がＭＯＳトランジスタＰ８９の他方導通端子に接続され、そのゲートに活性制御信号ＡＣＴを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ８７と、その一方導通端子がＭＯＳトランジスタＮ８７の他方導通端子に接続され、その他方導通端子が接地ノードＶＳＳに接続され、そのゲートに基準電圧ＣＳＴＬを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ８８を含む。ＭＯＳトランジスタＰ８８およびＰ８９はゲート電位が接地電圧ＶＳＳレベルに固定されており、その固有のオン抵抗により抵抗素子として機能する。ＭＯＳトランジスタＮ８７は、活性制御信号ＡＣＴがＨレベルとなり、半導体記憶装置のアクティブサイクルを示すときオン状態となる。ＭＯＳトランジスタＭ８８は、図６８に示す電流源用基準電圧発生回路１２１からの基準電圧ＣＳＴＬを受けて定電流源として機能する。すなわちこのＭＯＳトランジスタＮ８８は、図６８に示すＭＯＳトランジスタＮ６０とカレントミラー回路を構成し、一定の電流を供給する。したがってこの活性分圧回路１３４は、活性制御信号ＡＣＴがＨレベルとなったとき、ＭＯＳトランジスタＰ８８およびＰ８９の抵抗値とＭＯＳトランジスタＮ８８が供給する電流に従った電圧、すなわち、ＶＣＩ−Ｉ（Ｎ８８）・Ｒ（Ｐ８８）の電圧を出力する。ただし、Ｉ（Ｎ８８）はＭＯＳトランジスタＮ８８を介して流れる電流であり、Ｒ（Ｐ８８）はＭＯＳトランジスタＰ８８の抵抗値を示す。
ＭＯＳトランジスタＰ８８およびＰ８９が直列に設けられているのは、これらのオン抵抗の値によりＭＯＳトランジスタＮ８８のオン抵抗をほぼ無視できる値に設定し、ほほこの分圧回路１３４からの出力電圧のレベルはＭＯＳトランジスタＰ８８の抵抗値により決定することができるようにするためである。このＭＯＳトランジスタＰ８８の抵抗値は変更可能である（直列または並列に接続されたＭＯＳトランジスタを選択的に配線またはヒューズ素子により接続する）。これにより分圧回路１３４の出力電圧のレベルを最適な値に設定することができる。 活性内部降圧回路１３２は、活性制御信号ＡＣＴに応答して活性化され、図６８に示す基準電圧発生回路１２６からの基準電圧ＶｒｅｆＬと分圧回路１３４からの出力電圧とを比較する比較回路１５０と、この比較回路１５０の第１の出力信号を増幅する増幅回路１５２と、比較回路１５０の第２の出力信号に応答して外部電源ノード１から内部電源線１３５へ電流を供給するｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ８３と、増幅回路１５２の出力信号に応答して外部電源ノード１から内部電源線１３５へ電流を供給するｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ８７と、この増幅回路１５２の出力信号のＬレベルの振幅を制限する振幅制限回路１５４と、バーンインモード指定信号および電源投入検出信号ＢＩ／ＰＯＲに応答して活性化され、ＭＯＳトランジスタＰ８３およびＰ８７のゲートを接地電圧ＶＳＳレベルに設定するｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ９３およびＮ９４を含む。
比較回路１５０は、一方導通端子が外部電源ノード１に接続されその他方導通端子がノード１６０ａに接続され、そのゲートがノード１６０ｃに接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ８０と、その一方導通端子が外部電源ノード１に接続され、その他方導通端子がノード１６０ｂに接続され、そのゲートがノード１６０ｃに接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ８１と、その一方導通端子が外部電源ノード１に接続され、その他方導通端子およびゲートがノード１６０ｃに接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ８２と、ノード１６０ａとノード１６０ｄの間に接続され、そのゲートに基準電圧ＶｒｅｆＬを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ８０と、ノード１６０ｂとノード１６０ｄの間に接続され、そのゲートに基準電圧ＶｒｅｆＬを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ８１と、ノード１６０ｄと接地ノードＶＳＳの間に直列に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ８３およびＮ８４を含む。
ＭＯＳトランジスタＮ８３はそのゲートに活性制御信号ＡＣＴを受け、ＭＯＳトランジスタＮ８４はそのゲートに基準電圧ＣＳＴＬを受ける。このＭＯＳトランジスタＮ８４の電流駆動力は変更可能であり（配線またはヒューズ素子によりＭＯＳトランジスタを並列に接続することにより電流駆動力を大きくすることができる）、比較回路１５０の応答特性および動作電流に応じて最適な電流を供給する定電流源が実現される。この比較回路１５０は、実質的に図５８に示す比較回路３の構成と同じてあり（分圧回路からのレベルシフトされた電圧が伝達されることを除いて）、活性制御信号ＡＣＴが非活性状態のＬレベルのとき、ＭＯＳトランジスタＮ８３がオフ状態であり、この比較回路１５０においては電流が流れないため、ノード１６０ａおよび１６０ｂは、ほぼ外部電源電圧ＶＣＥレベルに設定される。
活性制御信号ＡＣＴが活性状態のＨレベルとされると、分圧回路１３４からの出力電圧と基準電圧ＶｒｅｆＬの関係に従ってノード１６０ａおよび１６０ｂの出力信号の電圧レベルが変化する。ドライブ用のＭＯＳトランジスタＰ８３がこのノード１６０ａ上の信号電圧に従って外部電源ノード１から内部電源線１３５へ電流を供給する。この分圧回路１３４に内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを低下させて比較回路１５０へ与えることにより、比較回路１５０は、最も感度のよい領域で比較動作を行なうことができ、高速応答性に優れた比較回路を実現することができる。ＭＯＳトランジスタＰ８３のサイズは大きくされており、大きな電流供給力をもって外部電源ノード１から内部電源線１３５へ電流を供給する。活性制御信号ＡＣＴによりＭＯＳトランジスタＮ８３およびＮ８７をオフ状態とすることにより、活性内部降圧回路１３２および活性分圧回路１３４におけるスタンバイ時における消費電流をほぼ０とする。
ＭＯＳトランジスタＮ９３およびＮ９４はバーンインモード時または電源投入時に活性状態のＨレベルとなる信号ＢＩ／ＰＯＲに応答して導通し、ＭＯＳトランジスタＰ８３およびＰ８７のゲートを接地電圧ＶＳＳレベルに設定する。これによりＭＯＳトランジスタＰ８３およびＰ８７は外部電源電圧ＶＣＥを内部電源線１３５上に伝達し、高速で電源投入時に内部電源電圧ＶＣＩを上昇させるとともにバーンインモード時には内部電源電圧ＶＣＥを外部電源電圧ＶＣＥに等しくする。
常時分圧回路１３８は、基準電圧ＣＳＴＬをゲートに受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ８９と、ＭＯＳトランジスタＮ８９と内部電源線１３５の間に直列に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ９０およびＰ９１を含む。ＭＯＳトランジスタＰ９０およびＰ９１は、そのゲートが接地電圧ＶＳＳレベルに設定されており、抵抗素子として機能する。この常時分圧回路１３８も、活性分圧回路１３４と同様、内部電源電圧ＶＣＩを所定値シフトダウンさせる。すなわち、ＭＯＳトランジスタＮ８９を流れる定電流に従ってＭＯＳトランジスタＰ９０が有する抵抗値に従って内部電源電圧ＶＣＩを所定値低下させる。
常時内部降圧回路１３６は、基準電圧ＶｒｅｆＬをゲートに受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ９０と、常時分圧回路１３８の出力電圧をゲートに受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ９１と、ＭＯＳトランジスタＮ９０およびＮ９１の共通接続ノードと接地ノードＶＳＳの間に設けられ、そのゲートに基準電圧ＣＳＴＬを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタＮ９２と、ＭＯＳトランジスタＮ９０およびＮ９１へそれぞれ電流を供給するｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ９２およびＰ９３を含む。ＭＯＳトランジスタＰ９２およびＰ９３はカレントミラー回路を構成し、ＭＯＳトランジスタＰ９３を流れる電流と同じ大きさの電流ＭＯＳトランジスタＰ９２を介して流れる。ＭＯＳトランジスタＮ９２の電流駆動力は変更可能であり（配線またはヒューズ素子のプログラムにより）、この常時比較回路１３６の動作電流、すなわち応答特性が適当な値に設定される。
ＭＯＳトランジスタＰ９２およびＮ９０の接続ノードからドライブ用ｐチャネルＭＯＳトランジスタＰ９４のゲートへ電圧が与えられる。このＭＯＳトランジスタＰ９４は、そのゲート電圧に従って外部電源ノード１から内部電源線１３５へ電流を供給する。ＭＯＳトランジスタＰ９４の電流駆動力は比較的小さくされる。スタンバイ時においては、内部電源線１３５上の内部電源電圧ＶＣＩはほぼ一定であり、大きな電流駆動力は要求されないためである。スタンバイ時においては、単にリーク電流などのスタンバイ電流が消費され、これにより内部電源電圧ＶＣＩが低下するためこのスタンバイ電流を補償する能力がＭＯＳトランジスタＰ９０に要求されるだけである。
［アレイ用内部降圧回路］
図７０は、図６０に示すアレイ用内部降圧回路１１０ａおよび１１０ｂの構成を概略的に示すブロック図である。図７０においては、２つの内部降圧回路１１０ａおよび１１０ｂのうちの一方のみ構成を示す。内部降圧回路１１０ａおよび１１０ｂは同じ構成を備える。
図７０において、アレイ用内部降圧回路１１０（１１０ａ，１１０ｂ）は、基準電圧ＶｒｅｆＨを発生する基準電圧発生部２２０と、基準電圧発生部２２０からの基準電圧ＶｒｅｆＨと内部電源電圧ＶＣＩとを比較し該比較結果に従って内部電源電圧ＶＣＥの電圧レベルの調整（電流を供給する）を行なう内部電圧発生部２３０を含む。
基準電圧発生部２２０は、図６６に示す周辺回路用内部降圧回路の構成と同様、一定の電流を供給する定電流発生回路２２７と、内部電源電圧ＶＣＩの投入時に定電流源発生回路２２７を正確に動作させるためのスタートアップ回路２２３と、電流源用の基準電圧ＣＳＴＬを発生する電流源用基準電圧発生回路２２１と、通常動作モード時に使用される基準電圧ＶｒｅｆＮＨを発生するノーマル用基準電圧発生回路２２２と、バーンインモード時に用いられる基準電圧ＶｒｅｆＢＨを発生するバーンイン用基準電圧発生回路２２４と、振幅制限信号ＬＭを発生する振幅制限信号発生回路２２５と、基準電圧発生回路２２２および２２４からの基準電圧ＶｒｅｆＮＨおよびＶｒｅｆＢＨのうち高い方の基準電圧を基準電圧ＶｒｅｆＨとして出力する基準電圧発生回路２２６を含む。
この基準電圧発生部２２０の詳細構成および動作は図６８および図６９に示す周辺回路用内部降圧回路に含まれる基準電圧発生部の対応のものと同じである。異なっているのは、ノーマル用基準電圧発生回路２２２およびバーンイン用基準電圧発生回路２２４が発生する基準電圧ＶｒｅｆＮＨおよびＶｒｅｆＢＨの電圧レベルが基準電圧ＶｒｅｆＮＬおよびＶｒｅｆＢＬよりもそれぞれ高くされていることである。この基準電圧ＶｒｅｆＮＨおよびＶｒｅｆＢＨをそれぞれ基準電圧ＶｒｅｆＮＬおよびＶｒｅｆＢＬよりも高くする構成は、図６８に示す構成においてＭＯＳトランジスタＰ６４（基準電圧１２２に含まれる）およびＭＯＳトランジスタＰ７１（基準電圧発生回路１２４に含まれる）の抵抗値をそれぞれ大きくおよび小さくすることにより実現される。この基準電圧発生部２２０の詳細構成および動作は、先に図６８を参照して説明したものと同じであり、単に基準電圧ＶｒｅｆＮＨおよびＶｒｅｆＢＨの電圧レベルが高くされているのが異なるだけであり、その詳細説明は省略する。この基準電圧ＶｒｅｆＮＨおよびＶｒｅｆＢＨが高くされる理由については後に詳細に説明する。
内部電圧発生部２３０は、２つの内部電源電圧発生系を含む。図６５に示すように、２つのメモリセルアレイに対して１つのアレイ用内部降圧回路が設けられ、それぞれのメモリセルアレイに対し別々の系統から内部電源電圧を供給するためである。
すなわちこの内部電圧発生部２３０は、活性制御信号ＡＣＴおよびバーンインモード指示信号／電源投入検出信号ＢＩ／ＰＯＲに応答して動作する活性内部降圧回路２３２および２３４と、スタンバイ時にそれぞれ内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを所定レベルに維持するための常時内部降圧回路２３６および２３８を含む。活性内部降圧回路２３２および常時内部降圧回路２３６は内部電源線２３５ａ上の内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルの制御を行ない、活性内部降圧回路２３４および常時内部降圧回路２３８は内部電源線２３５ｂ上の内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを調整する。
この図７０に示す活性内部降圧回路２３２および２３４ならびに常時内部降圧回路２３６および２３８の内部構成は図６４に示すものと同じである。単に基準電圧ＶｒｅｆＨの電圧レベルが異なりまたそれぞれ内部電源線２３５ａおよび２３５ｂ上の内部電源電圧ＶＣＩが直接比較回路へ与えられる点が異なっているだけである。構成およびその動作は図６９に示すものと実質的に同じでありその詳細説明は省略する。
図７０に示すようにアレイ用内部降圧回路として分圧回路を用いずに内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルの調整を行なうことにより低消費電流の内部降圧回路を実現することができる。
なお、基準電圧発生部２２０および内部電圧発生部２３０へは外部電源パッド１ａへ与えられた外部電源電圧ＶＣＥがローパスフィルタ２４０によりフィルタ処理された後動作電源電圧として伝達される。
ＭＯＳトランジスタＮ９３およびＮ９４が設けられており、バーンインモード時トランジスタＰ８３，Ｐ８７がオン状態とされ、比較回路１５０の出力が無視されるにもかかわらず、バーンイン用基準電圧発生回路１２４および２２４が設けられており、バーンインモード時にこの基準電圧ＶｒｅｆＢＬおよびＶｒｅｆＢＨをそれぞれ外部電源電圧ＶＣＥに従ってその電圧レベルを上昇させるのは以下の理由による。図６９に示すように、ＭＯＳトランジスタＰ８３およびＰ８７のゲート電圧はバーンインモード時接地電圧ＶＳＳレベルに設定され、内部電源線１３５上の電源電圧ＶＣＩは外部電源電圧ＶＣＥに等しくされる。このとき活性内部降圧回路１３２，２３２において、図６９に示すノード１６０ａの電圧レベルが接地電圧ＶＳＳのとき、内部電源電圧ＶＣＩが基準電圧ＶｒｅｆＬよりも高いときには、ＭＯＳトランジスタＰ８２を介して大きな電流が流れ、この電流と同じ大きさの電流がＭＯＳトランジスタＰ８０およびＰ８１を介して流れる。このため比較回路１５０の消費電流が増大する。これを防止するために基準電圧ＶｒｅｆＬおよびＶｒｅｆＨはそれぞれ外部電源電圧ＶＣＥに応じてバーンインモード時には上昇させる。このときまたはＭＯＳトランジスタＮ９３およびＮ９４の電流駆動力は不必要な電流消費を防止するため十分小さくされる。また同様に、常時内部降圧回路においては、そのドライブ用のＭＯＳトランジスタのゲート電圧は接地電圧レベルに放電されないため、常時内部降圧回路において正確に外部電源電圧ＶＣＥと内部電源電圧ＶＣＩを等しくする動作を実現するためにもこの基準電圧ＶｒｅｆＬおよびＶｒｅｆＨを外部電源電圧ＶＣＥに応じて高くする必要がある。上述の構成により、低消費電流で安定に内部電源電圧ＶＣＩを発生するアレイ用内部降圧回路を実現することができる。
［変更例１］
図７１は、アレイ用内部降圧回路の第１の変更例を示す図である。図７１において、アレイ用内部降圧回路は、活性化時、内部電源線２４５ａおよび内部電源電圧の電圧レベルを調整する活性内部降圧回路２４２と、活性化時内部電源線２４５ｂ上の内部電源電圧ＶＣＩｂの電圧レベルを調整する活性内部降圧回路２４４と、この内部電源線２４５ａおよび２４５ｂ上の内部電源電圧ＶＣＩａおよびＶＣＩｂの電圧レベルを調整する常時内部降圧回路２４７を含む。内部電源線２４５ａおよび２４５ｂは別々の配線で構成されてもよく、また同一の配線であってもよい。すなわち内部電源線２４５ａおよび２４５ｂはそれぞれ別々のメモリセルアレイへ内部電源電圧ＶＣＩａおよびＶＣＩｂを供給する構成であればよい。常時内部降圧回路２４７が基準電圧ＶｒｅｆＨと内部電源線２４５ａおよび２４５ｂの共通接続ノード２４９上の電圧とを比較することにより内部電源電圧ＶＣＩａおよびＶＣＩｂの電圧レベルを調整する。活性内部降圧回路２４２は、活性制御信号ＡＣＴ、振幅制限信号ＬＮおよびバーンインモード指示信号／電源投入検出信号ＢＩ／ＰＯＲに応答して所定の上で説明した電圧調整動作を実行する。活性内部ワード回路４４４も同様、活性制御信号ＡＣＴ、振幅制限信号ＬＮおよびバーンインモード指示信号／電源投入検出信号ＢＩ／ＰＯＲに従って上で説明した電源電圧調整動作を実行する。
活性制御信号ＡＣＴが活性状態のときには、活性内部降圧回路２４２および２４４をそれぞれを互いに独立に内部電源線２４５ａおよび２４５ｂ上の内部電源電圧ＶＣＩａおよびＶＣＩｂの電圧調整を実行する。内部電源線２４５ａおよび２４５ｂが異なる配線で構成されている場合では、この内部電源電圧ＶＣＩａおよびＶＣＩｂの電圧変動レベルが異なる場合が生じる。したがってこれらの内部電源電圧ＶＣＩａおよびＶＣＩｂの動作時における変化に対応して正確に内部電源電圧ＶＣＩａおよびＶＣＩＢを所定の電圧レベルに維持することができる。
スタンバイ時においては、活性内部降圧回路２４２および活性内部降圧回路２４４は非活性状態とされる。このときには、常時内部降圧回路２４７により内部電源電圧ＶＣＩａおよびＶＣＩｂの電圧レベルの調整が行なわれる。スタンバイ時においては、内部電源線２４５ａおよび２４５ｂに接続される内部回路はスタンバイ状態にあり、その消費電流はリーク電流などにおいてのみ生じるだけであり、内部電源電圧ＶＣＩａおよびＶＣＩｂの変動はごくわずかであり、小さな電流駆動力を有する常時内部構成回路２４７であっても正確に内部電源電圧ＶＣＩａおよびＶＣＩｂを所定の電圧レベルに維持することができる。
図７１に示す構成の場合、常時内降圧回路２４７は活性内部降圧回路２４２および２４４で共用される（内部電源線２４５ａおよび２４５ｂで共用される）。したがって、この常時内部降圧回路２４７の占有面積を低減することができ、また消費電流を低減することができ、低占有面積で低消費電流のアレイ用内部降圧回路を実現することができる。
［変更例２］
図７２は、この発明に従った内部電源電圧発生回路の第２の変更例の構成を示す図である。図７２に示す構成においては、内部電源線２４５ａおよび２４５ｂがそれぞれ、活性制御信号／ＡＣＴに応答して導通するｎチャネルＭＯＳトランジスタでたとえば構成されるスイッチング素子２５０ａおよび２５０ｂにより常時内部降圧回路２４７から分離される。すなわち、このスイッチング素子２５０ａおよび２５０ｂは活性化時（信号／ＡＣＴが活性状態のＬレベル）のときには内部電源線２４５ａおよび２４５ｂは常時内部降圧回路２４７から分離される。内部電源線２４５ａおよび２４５ｂ上の内部電源電圧ＶＣＩａおよびＶＣＩｂはそれぞれ活性内部降圧回路２４２および２４４によりそれぞれの電圧レベルが調整される。常時内部降圧回路２４７は、基準電圧ＶｒｅｆＨとノード２４９上の電圧とを比較し、該比較結果に従ってノード２４９上の電源電圧のレベルを基準電圧ＶｒｅｆＨの電圧レベルに維持する。
活性制御信号／ＡＣＴがＨレベルとなると、スイッチング素子２５５ａおよび２５５ｂがオン状態状態となり、内部電源線ＶＣＩａおよびＶＣＩｂがノード２４９に接続される。この状態において、活性制御信号ＡＣＴはＬレベルの非活性状態にあり、活性内部降圧回路２４２および２４４は非活性状態とされ、電源電圧調整動作は停止される。この状態すなわちスタンバイ時においては、常時内部構成回路２４７がノード２４９を介して内部電源線２４５ａおよび２４５ｂ上の内部電源電圧ＶＣＩａおよびＶＣＩｂの電圧レベルを一定の基準電圧ＶｒｅｆＨの電圧レベルに調整する。この図７２に示す構成においても、同様に常時内部降圧回路２４７が２つの活性内部降圧回路２４２および２４４に共用されるため、内部降圧回路の占有面積および消費電力を低減することができる。またこの図７２に示す構成の場合、ノード２４９は内部電源線２４５ａおよび２４５ｂから分離されており、ノード２４９の電圧レベルの変動はほぼ０とすることができ、常時内部降圧回路２４７における消費電流はほぼ０とすることができる（外部電源ノード１からのし２４９への電流供給動作はほとんど行なわれないため）。ただし比較回路における動作電流は流れる。
なお、図７２に示す構成において、スイッチング素子２５０ａおよび２５０ｂの一方のみが設けられる構成が用いられてもよい。すなわち常時内部降圧回路２４７は常時内部電源線２４５ａおよび２４５ｂの一方に接続されており、スタンバイ時においてのみ内部電源線２４５ａおよび２４５ｂがノード２４９に接続される構成が利用されてもよい。
この変更例１および２の構成に従えば、常時内部降圧回路を２つの活性内部降圧回路により共有することができ、低消費電力で低占有面積の内部降圧回路を実現することができる。
なお、アレイ用内部降圧回路および周辺用内部降圧回路を共用する場合、高周波応答特性および直流応答特性（アレイ充電動作時おける緩やかな変化に対応する特性）を両者実現する必要がある。この場合には、図５９に示す回路構成を利用することができ、この図５９に示す回路構成を利用する場合には、図７１および図７２に示す構成を利用するこにとより、より内部降圧回路の占有面積を低減することができる。
この場合には、活性内部降圧回路が、アレイ用および周辺用両者を兼用するため、その区別は設けられない。
なお、第１１の実施例において、半導体記憶装置を一例として示しているがこれは、所定の内部ノードの電圧レベルが比較回路の出力信号により一定の電圧レベルに保持される構成を備える半導体装置であればすべて本発明を適用することができる。
［実施例１２］
図７３は、この発明の第１２の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。図７３において、３つの内部電圧発生回路が設けられる。第１の内部電圧発生回路は、内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩと第１の基準電圧Ｖｒｅｆ１とを比較する、差動増幅器で構成される比較器３ａと、外部電源電圧が供給されるノード（以下、電圧源ノードと称す）１と内部電源線５の間に接続され、比較器３ａの出力信号に従ってそのコンダクタンスが変化し、電圧源ノード１と内部電源線５の間に流れる電流量を調整する可変コンダクタンス素子としてのドライブ素子２ａで構成される。
第２の内部電圧発生回路は、動作タイミング信号ＥＮに応答して活性化され、活性化時に内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆ１とを比較する比較器３ｂと、電圧源ノード１と内部電源線５の間に接続されて、比較器３ｂの出力信号に従って電圧源ノード１と内部電源線５の間を流れる電流量を調整するドライブ素子２ｂで構成される。
第３の内部電圧発生回路は、第１の基準電圧Ｖｒｅｆ１よりも高い第２の基準電圧Ｖｒｅｆ２と内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩとを比較する比較器３ｃと、この比較器３ｃの出力信号に従って電圧源ノード１と内部電源線５の間を流れる電流量を調整するドライブ素子２ｃで構成される。ドライブ素子２ａ〜２ｃが接続する電圧源ノード１は、単に外部電源電圧が伝達されるノードであればよく、共通のノードである必要はなく、別々のノードであってもよい。
ドライブ素子２ａの電流供給力および比較器３ａの駆動力（応答速度）は比較的小さくされる。比較器３ａは、常時動作するため、その消費電流を低減するためである。比較器３ｂは、負荷回路７が動作する期間を設定する動作タイミング信号ＥＮに応答してトランジスタ２３００が導通して電流経路が形成され、これにより活性化される。この比較器３ｂは、負荷回路７の動作による内部電源線５上の電源電圧変動を補償するため、その応答速度は比較的大きくされ、またドライブ素子２ｂの電流供給力も比較的大きくされる。ドライブ素子２ｃの電流駆動力および比較回路３ｃの応答速度は、消費電流を低減するため、ともに小さくされる。次にこの図７３に示す内部電源電圧発生回路の動作をその動作波形図である図７４を参照して説明する。
動作タイミング信号ＥＮが非活性状態のローレベルのとき、比較回路３ｂは非活性状態にあり（電流源トランジスタ２３００オフ）、ドライブ素子２ｂはほぼオフ状態を維持している。この動作タイミング信号ＥＮの非活性化時においては、負荷回路７は動作せず、半導体装置がスタンバイ状態にある。この状態においては、比較回路３ａおよび３ｃが動作し、ドライブ素子２ａおよび２ｃを介して内部電源線５に対する充電動作が行なわれる。基準電圧Ｖｒｅｆ２の電圧レベルは基準電圧Ｖｒｅｆ１のそれよりも高い。したがってこの状態においては、内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩは第２の基準電圧Ｖｒｅｆ２の電圧レベルとされる。この内部電源線５上の充電電圧、この内部電源線５に付随する寄生容量（図示せず）に過剰電荷として蓄積される。
動作タイミング信号ＥＮが論理ハイレベルの活性状態とされると、比較回路３ｂが活性状態とされ、比較動作を行なう。負荷回路７の動作前においては、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩは、第２の基準電圧Ｖｒｅｆ２の電圧レベルにされる。次いで、負荷回路７が動作し、内部電源線５上の電圧（電流）を消費し、この内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが低下する。このとき、内部電源線５の寄生容量に蓄積された過剰電荷から負荷回路７へ電流が供給されるため、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩは、第２の基準電圧Ｖｒｅｆ２の電圧レベルから低下する。したがって、この内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩが第１の基準電圧Ｖｒｅｆ１以下に低下するのを抑制することができる。比較回路３ｂは、この内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩの低下に応答して高速で追随して、ドライブ素子２ｂを介してこの内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩを第１の基準電圧Ｖｒｅｆ１の電圧レベルに復帰させる。比較回路３ｃは、単にスタンバイ時においてこの内部電源線５上に過剰電荷を蓄積するために用いられるだけであり、この負荷回路７の動作時における高速追随性は何ら要求されない。高速追随性は、単に比較回路３ｂに対してのみ要求されるだけである。
比較回路３ａおよび３ｃは、常時動作している。比較回路３ｃおよびドライブ素子２ｃは、比較回路３ａおよびドライブ素子２ａにより充電された内部電源線５上の電圧をさらに上昇させるだけである。したがって、第１の基準電圧Ｖｒｅｆ１までの充電は２つの比較回路３ａおよび３ｃ（およびドライブ素子２ａおよび２ｃ）により実行され、第２の基準電圧Ｖｒｅｆ２までの充電が比較回路３ｃおよびドライブ素子２ｃにより実行されるため、これらの構成要素の電流駆動力は十分小さくすることができる。
しかしながら、この比較回路３ａおよびドライブ素子２ａは省略されてもよい。構成要素の数が低減されるため、回路の占有面積が低減され、また消費電流を低減することができる（ドライブ素子２ａがほぼオフ状態される状態においても、比較回路３ａにおいては動作電流が常時流れており、この動作電流を削減することができるためである）。
以上のように、この第１２の実施例に従えば、負荷回路の動作前に、内部電源線の電圧レベルをより高い電圧レベルに充電し、内部電源線に過剰電荷を蓄積するように構成したために、負荷回路動作時において、この内部電源線上の電圧レベルが所定値レベル以下に低下するのを抑制することができ、安定に内部電源電圧を供給することができる。
［実施例１３］
図７５は、この発明の第１３の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。この図７５に示す構成においては、内部電源線５の電圧ＶＣＩを第２の基準電圧Ｖｒｅｆ２のレベルへ充電するための比較器２３０１が、活性化信号ＥＱａに応答して導通する活性化トランジスタ２３０２により活性状態とされる。他の構成は、図７３に示す構成と同じであり、対応する部分には同一の参照番号を付し、その詳細説明は省略する。活性化信号ＥＱａは、動作タイミング信号ＥＮの非活性化時に所定期間活性状態（図示の例では論理ハイレベル）とされる。内部電源線５上の電圧レベルを第２の基準電圧Ｖｒｅｆ２の電圧レベルにまで上昇させるための比較器２３０１の動作期間（活性化期間）を低減することにより、電流消費の低減を図る。次に、この図７５に示す構成の動作をその動作波形図である図７６を参照して説明する。
動作タイミング信号ＥＮの非活性化時、活性化トランジスタ２３００が非導通状態であり、比較器３ｂは非活性状態とされる。この動作タイミング信号ＥＮの非活性期間の所定の期間、活性化信号ＥＱａが活性状態の論理ハイレベルとされる。活性化トランジスタ２３０２が導通し、比較器２３０１において動作電流が流れる経路が形成され、比較器２３０１が動作し、内部電源線５上の電圧ＶＣＩを第２の基準電圧Ｖｒｅｆ２のレベルまで上昇させる。この内部電源線５の充電電圧は、先の実施例１２と同様、内部電源線５に付随する寄生容量に充電される。この活性化信号ＥＱａが非活性状態の論理ローレベルとされると、比較器２３０１が非活性状態とされ、ドライブ素子２ｃを介しての内部電源線５の充電動作が停止される。
次いで、動作タイミング信号ＥＮが活性状態とされ、活性化トランジスタ２３００により、比較器３ｂが活性状態とされ、内部電源線５上の電圧レベルの調整動作を実行する。この動作タイミング信号ＥＮに従って負荷回路７が所定のタイミングで動作し、内部電源線５上の電圧ＶＣＩを消費する。このとき、負荷回路７は、内部電源線５に付随する図示しない寄生容量に充電された過剰電荷から電流を供給されるため、負荷回路７の動作時に大きな電流が消費される場合においても、この内部電源線５上の電圧ＶＣＩが大幅に低下するのを防止することができる。すなわち、内部電源線５上の電圧レベルの低下時においてその低下速度が内部電源線５に格納された過剰電荷により緩和され、その緩和された電圧低下に比較器３ｂが追随して、ドライブ素子２ｂを介して電流を供給するためである。比較器３ｂにおける消費電流を低減するために、その応答速度がそれほど早くない場合においても、過剰電荷により、この内部電源線５上の電圧変化速度を低下させることにより、比較器３ｂによりこの内部電源線５上の電圧変化に追随して内部電源電圧ＶＣＩを安定に供給することができる。
動作タイミング信号ＥＮは、半導体記憶装置において、たとえばチップイネーブル信号または内部ロウアドレスストローブ信号ＲＡＳであってもよい。活性制御信号ＥＱａは、この動作タイミング信号ＥＮの非活性化に応答して所定期間活性状態とされる。
［変更例］
図７７は、この発明の第１３の実施例の変更例を示す図である。図７７に示す動作波形図は、図７５の回路の動作を示す。この図７７に示す動作波形図においては、半導体装置は、半導体記憶装置である場合が示される。図７７において、動作タイミング信号ＥＮとして、ロウアドレスストローブ信号ＲＡＳが用いられる。ロウアドレスストローブ信号ＲＡＳが非活性状態の論理ローレベルのときには、この半導体装置はスタンバイ状態にあり、内部回路は動作をしていない。この状態においては、図７５に示す比較器３ａのみが動作し、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩを第１の基準電圧Ｖｒｅｆ１の電圧レベルに維持している。
ロウアドレスストローブ信号ＲＡＳが活性状態とされると、この半導体装置が動作状態とされる。これにより、比較器３ｂが活性状態とされ、内部回路（負荷回路および他の図示しない回路）が動作し、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが変動する。しかしながらこの場合においては、内部回路による電流消費は少なく、その電流変化も小さいため、比較器３ｂの応答の遅れがあっても、十分その電源電圧ＶＣＩの変化に追随してもとの電源電圧レベルへ復帰させることができる。
この内部ロウアドレスストローブ信号ＲＡＳの活性化に応答して所定期間動作制御信号ＥＱａが活性状態とされる。これにより比較器２３０１が活性状態とされ、ドライブ素子２ｃを介して内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩが第２の基準電圧Ｖｒｅｆ２レベルにまで充電される。
この動作タイミング信号ＥＱａの活性期間が経過した後、負荷回路駆動信号が活性状態とされる。この負荷回路駆動信号により負荷回路７が動作し、大電流を消費する。この負荷回路駆動信号としては、半導体記憶装置におけるセンスアンプ駆動信号がたとえば相当する。この場合、負荷回路７はセンスアンプであり、ビット線の充放電を行なう。この場合には、内部電源線５上に大きな電流変化が生じる。しかしながら、既に比較器２３０１により、内部電源線５上の電圧レベルが第２の基準電圧Ｖｒｅｆ２の電圧レベルにまで上昇しているため、この電流変化を等価的に小さな電流変化とすることができ、低速応答性の比較器３ｂを用いても十分にこの変化に追随して内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを所定電圧レベルに復帰させることができる。
活性制御信号ＥＱａは、したがって、負荷回路７が動作し、大電流変化が生じる可能性がある場合においてのみ予め活性状態とされればよい。通常、半導体記憶装置においては、このような大電流消費が行なわれる状態は、たとえばセンスアンプ動作時のように予め予測することができ、動作タイミング信号ＥＮに従って、所定期間必要なときのみこの動作制御信号ＥＱａを活性状態とすることができる。
なお、図７７において、この動作制御信号ＥＱａは、破線で示すように、動作制御信号ＥＱａが負荷回路駆動信号の活性状態においても活性状態とされるタイミング関係が用いられてもよい。
以上のように、この発明の第１３の実施例の構成に従えば、動作タイミング信号に従って、所定期間のみ内部電源線５上の第２の基準電圧Ｖｒｅｆ２の電圧レベルにまで充電する比較器を活性状態としているため、第１２の実施例の効果に加えて、さらに低消費電流化を実現することができる。
［実施例１４］
図７８は、この発明の第１４の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。図７８において、この半導体装置は、基準電圧発生回路２３１０からの基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩとを比較する比較器２３３０ａと、比較器２３３０ａの出力信号に従って電圧源ノード１と内部電源線５の間を流れる電流量を調整するドライブ素子２３２０ａと、基準電圧発生回路２３１０からの基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源線５上のＶＣＩとを比較する比較器２３３０ｂと、比較器２３３０ｂの出力信号に従って電圧源ノード１から内部電源線５へ流れる電流量を調整するドライブ素子２３２０ｂを含む。比較器２３３０ａは、半導体装置（負荷回路７）の活性化時に活性状態とされる動作タイミング信号ＥＮａに応答して導通する活性化トランジスタ２３０５ａにより、動作電流が供給されて作動状態とされる。比較器２３３０ｂは、特定の動作モードを除く通常動作モード時における負荷回路７の活性時（すなわち動作時）においてのみ活性状態とされる動作制御信号ＥＮｂに応答して導通する活性制御トランジスタ３０５ｂにより、動作電流が供給されて作動状態とされる。
基準電圧発生回路２３１０は、一例として、電圧源ノードに結合されて一定の基準電流を供給する定電流源２３１２と、定電流源２３１２と接地ノード（他方電圧源ノード）の間に直列に接続される抵抗素子２３１３ａおよび２３１３ｂを含む。基準電圧Ｖｒｅｆは、抵抗素子２３１３ａおよび２３１３ｂの抵抗値と定電流源２３１２が与える定電流により決定される。次にこの図７８に示す内部電源電圧発生回路の動作について説明する。以下の説明において、この半導体装置は、半導体記憶装置であると仮定する。
半導体装置に対する外部アクセスが行なわれる場合には、内部回路（負荷回路７）は高速動作が要求される（高速アクセスを実現するため）。この場合、負荷回路７の動作タイミングに併せて、活性制御信号ＥＱａおよびＥＱｂがともに活性状態とされ、比較器２３３０ａおよび２３３０ｂがともに作動状態とされる。２つの比較器２３３０ａおよび２３３０ｂの制御のもとに、ドライブ素子２３２０ａおよび２３２０ｂにより、内部電源線５上に電流が供給され、負荷回路７（内部回路）の動作時における電源電圧ＶＣＩの変動を抑制する。２つのドライブ素子２３２０ａおよび２３２０ｂにより内部電源線５へ電流が供給されるため、負荷回路７の動作時において内部電源線５の電圧が急激に変動しても、十分その変化に追随して高速でこの内部電源電圧ＶＣＩの低下を補償し、所定の基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルに電源電圧ＶＣＩを復帰させることができる。
リフレッシュサイクルまたはデータ保持モードなどの特定の動作時においては、活性制御信号ＥＮｂは常時非活性状態とされ、比較器２３３０ｂの比較動作が禁止される。活性制御信号ＥＮａのみが負荷回路７の動作タイミングに併せて活性状態とされる。この場合においては、内部電源線５は、１つのドライブ素子２３２０ａを介してのみ電流が供給される。このため、内部電源線５上の電圧ＶＣＩの電圧レベルへの復帰は、通常動作サイクル時におけるよりも遅れる。しかしながら、リフレッシュサイクルおよびデータ保持モードなどにおいては、外部アクセスは何ら行なわれず、高速アクセスは要求されない。したがって、負荷回路７の動作開始タイミングは、この内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩが安定化した後に行なわれるように構成されても、何ら外部においては問題は生じない。リフレッシュサイクルおよびデータ保持モードなどにおいて１つの比較器のみを駆動することにより、消費電流を低減することが可能となる。
図７９は、図７８に示す活性制御信号ＥＮａおよびＥＮｂを発生するための回路構成の一例を概略的に示す図である。図７９において、制御信号発生系は、外部から与えられるロウアドレスストローブ信号ｅｘｔＲＡＳを受けて内部ロウアドレスストローブ信号を出力するＲＡＳバッファ２３４０と、内部ロウアドレスストローブ信号ｅｘｔＲＡＳ、外部コラムアドレスストローブ信号ｅｘｔＣＡＳおよび外部ライトイネーブル信号ｅｘｔＷＥを受けて、特定の動作モードであるリフレッシュモードおよびスリープモード（データ保持モード）が指定されたか否かを検出する動作モード検出器２３４２と、動作モード検出器２３４２の出力信号とＲＡＳバッファ２３４０の出力信号に従って内部ロウアドレスストレージ信号ｉｎｔＲＡＳを出力するゲート回路２３４４と、動作モード検出器２３４２からの出力信号に従って、データのリフレッシュに必要な動作を所定のタイミングで実行するリフレッシュ制御回路２３４６と、ゲート回路２３４４の出力する内部ロウアドレスストローブ信号ｉｎｔＲＡＳとリフレッシュ制御回路２３４６が出力する活性化信号とに応答して、内部のロウ系回路（行選択動作に関連する回路：ロウアドレスデコーダ、およびセンスアンプ、およびプリチャージ／イコライズ回路等）を活性化するための内部活性化信号ＥＮａ（φＲＡＳ）を出力する内部活性化回路２３４８を含む。
動作モード検出器２３４２は、たとえば外部ロウアドレスストローブ信号ｅｘｔＲＡＳの活性化（立下がり）よりも先に外部コラムアドレスストローブ信号ｅｘｔＣＡＳおよび外部ライトイネーブル信号ｅｘｔＷＥが活性状態（ローレベル）とされたときに、リフレッシュサイクルが指定されたことを検出する。この動作モード検出器２３４２は、また加えて、特定のアドレスキーを用いて特定の動作モードが指定されたか否かを検出する構成とされてもよい。この動作モード検出器２３４２が検出する動作モードは外部アクセスが行なわれないリフレッシュサイクルまたはデータ保持のみを行なうデータ保持モードである。
ゲート回路２３４４は、動作モード検出器２３４２が特定の動作モードが指定されたことを検出したときには、ＲＡＳバッファ２３４０の出力信号の伝達を禁止する。それ以外の通常動作モード時においては、このゲート回路２３４４は、ＲＡＳバッファ２３４０の出力信号を伝達する。ゲート回路２３４４として、ＲＡＳバッファ２３４０および動作モード検出器２３４２の出力する信号が活性状態となるときの論理レベルおよび内部ロウアドレスストローブ信号ｉｎｔＲＡＳの活性時の論理レベルに併せて、２入力のゲート回路を用いて実現することができる。
リフレッシュ制御回路２３４６は、動作モード検出器２３４２により特定の動作モードが指定されたとき、所定のタイミングでリフレッシュを行なうための制御信号を発生する。このリフレッシュ制御回路２３４６は、内部ロウアドレスストローブ信号ｉｎｔＲＡＳに対応するロウ系回路活性化信号を所定のタイミングで出力する。セルフリフレッシュサイクル時およびデータ保持モード時においては、所定の時間間隔で、この内部ロウ系回路活性化信号が活性状態とされる。
内部活性化回路２３４８は、ゲート回路２３４４およびリフレッシュ制御回路２３４６からの信号の一方が活性状態とされたときに、その活性制御信号ＥＮａを活性状態とする。内部活性化回路２３４８も、内部ロウアドレスストローブ信号ｉｎｔＲＡＳの活性時における論理レベルおよびリフレッシュ制御回路２３４６から出力されるロウ系回路制御信号の活性化時における論理レベルに併せて２入力ゲート回路で構成することができる。このゲート回路２３４４から出力される内部アドレスストローブ信号ｉｎｔＲＡＳが活性制御信号ＥＮｂとして用いられる。
内部活性化回路２３４８からの内部活性化制御信号φＲＡＳが活性化制御信号ＥＮａとして用いられる。これにより、通常動作モード時においては、ゲート回路２３４４からの内部ロウアドレスストローブ信号ｉｎｔＲＡＳに従って活性制御信号ＥＮａおよびＥＮｂがともに活性状態とされ、図７８に示す比較器２３３０ａおよび２３３０ｂが作動状態とされる。リフレッシュサイクルおよびデータ保持モード時においては、活性制御信号ＥＮａがリフレッシュ制御回路２３４６からの内部ロウ系回路活性化制御信号に従って活性状態とされる。活性制御信号ＥＮｂは、ゲート回路２３４４により、非活性状態に固定される。したがって、この場合においては、比較器２３３０ａのみ作動状態とされる。
なお、この図７８に示す構成において、負荷回路７の動作サイクルおよびスタンバイサイクルにかかわらず常時動作する比較器およびその常時動作する比較器出力に応答して電流を内部電源線５へ伝達するドライブ素子が設けられてもよい。
以上のように、この第１４の実施例の構成に従えば、通常動作サイクルにおいて内部回路（負荷回路）が動作する場合には、複数の比較器を作動状態として、大きな電流供給力を持って高速で内部電源線５上の電源電圧の変動を補償し、リフレッシュサイクルおよびデータ保持モードなどの特定の動作モードにおいては、１つの比較器に従って内部電源線上の電源電圧の変動を補償している。したがって、高速アクセスおよび特定モード時における低消費電流を実現することができる。
［実施例１５］
図８０は、この発明の第１５の実施例である内部電源電圧発生回路の構成を概略的に示す図である。図８０に示す構成においては、電圧源ノード１と内部電源線５の間に、基準電圧発生回路２３１０からの基準電圧Ｖｒｅｆをゲートに受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタが電流ドライブ素子２３５０として設けられる。この電流ドライブ素子２３５０は、そのしきい値電圧が０Ｖまたはほぼ０Ｖに近い小さなしきい値電圧を備える。
この内部電源電圧発生回路は、さらに、通常動作モード時において、内部回路の動作タイミングに併せて活性状態とされる制御信号ＥＮｂに応答して導通する活性制御トランジスタ２３０５ｂにより作動状態とされる比較器２３３０ｂと、比較器２３３０ｂの出力信号に従って電圧源ノード１から内部電源線５へ電流を供給するドライブ素子２３２０ｂを含む。
基準電圧発生回路２３１０は、図７８に示す構成と同様、定電流源２３１２および抵抗素子２３１３ａおよび２３１３ｂを含む。この図８０に示す内部電圧発生回路の構成においては、常時電流ドライブ素子２３５０が導通し、そのゲート電極に与えられる基準電圧Ｖｒｅｆに従って電圧源ノード１から内部電源線５へ電流が供給される。この電流ドライブ素子２３５０のしきい値電圧はほぼ０Ｖであり、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩは、比較器２３３０ｂの非活性化時ほぼ基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルに固定される。
通常動作時においては、内部回路（図８０には示さず）の動作タイミングに併せて、活性制御信号ＥＮｂが活性状態とされ、比較器２３３０ｂが動作し、ドライブ素子２３２０ｂを介して内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩを基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルに調整する。活性制御信号ＥＮｂが活性状態とされるのは、通常動作サイクルにおける外部アクセスが行なわれ、高速アクセス動作が要求されるときである。すなわち、電源ドライブ素子２３５０およびドライブ素子２３２０ｂをともに動作させることにより、内部電源線５へ供給される電流量が増加し、この内部電源線５上の電源電圧の変動に対し高速で追随して内部電源電圧ＶＣＩを所定の電圧Ｖｒｅｆレベルに調整することができる。外部アクセスが行なわれない場合には、単に電流ドライブ素子２３５０のみが内部電源線５上で電流を供給しており、消費電流が低減される。
［変更例］
図８１は、この発明の第１５の実施例である内部電源電圧発生回路の変更例を示す図である。この図８１に示す構成においては、基準電圧発生回路２３１０は、定電流源２３１２と抵抗素子２３１３ａの間に配置される、ダイオード接続されたｎチャネルＭＯＳトランジスタ２３１４を備える。ＭＯＳトランジスタ２３１４のチャネル抵抗は、抵抗素子２３１３ａおよび２３１３ｂの抵抗値よりも十分小さく、また大きな電流駆動力を有しており、定電流源２３１２から与えられる電流をすべて抵抗素子２３１３ａおよび２３１３ｂへ供給する。この場合、ＭＯＳトランジスタ２３１４はダイオードモードで動作し、そのゲートおよびドレインとソースの間にしきい値電圧Ｖｔｈの電圧降下をもたらす。すなわちこの基準電圧発生回路２３１０は、２つの基準電圧ＶＲＥＦおよびＶｒｅｆを発生する。基準電圧ＶＲＥＦ＝Ｖｒｅｆ＋Ｖｔｈである。電圧源ノード１と内部電源線５の間に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタで構成される電流ドライブ素子２３５２は、そのゲートに基準電圧ＶＲＥＦを受ける。
比較器２３３０ｂ、ドライブ素子２３２０ｂは、図８０で示す構成と同じであり、基準電圧Ｖｒｅｆを受ける。電流ドライブ素子２３５２が、基準電圧発生回路２３１０に含まれるトランジスタ２３１４と同じしきい値電圧Ｖｔｈを有する場合、この電流ドライブ素子２３５２は、ソースホロワで動作し、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩを基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルに維持する。内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが低下したとき、電流ドライブ素子２３５２はそのゲート−ソース間電圧が大きくなり、この電流ドライブ素子２３５２を介して流れるドレイン電流が増加する。内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが上昇したとき、電流ドライブ素子２３５２のゲート−ソース間電圧が小さくなり、この電流ドライブ素子２３５２の供給するドレイン電流が低下する。これにより、比較器を用いる電圧発生回路と同様に、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩの電圧レベルに応じた電流を供給し、この電源電圧ＶＣＩの電圧レベル調整を実行する。すなわち、この電源ドライブ素子２３５２は、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩを基準電圧ＶＲＥＦ−Ｖｔｈの電圧レベルにクランプする機能を備える。
この図８１に示す構成においては、基準電圧発生回路２３１０において、しきい値電圧Ｖｔｈのシフトを実現するＭＯＳトランジスタ２３１４が用いられている。したがって電流ドライブ素子２３５２として、しきい値電圧が０Ｖまたはそれに近い低しきい値電圧のｎチャネルＭＯＳトランジスタを用いる必要がなく、しきい値電圧調整のための余分の製造工程は何ら必要とされず、製造工程が簡略化される。
基準電圧発生回路２３１０は、電圧源ノード１ｘから電流を供給される。この場合、電圧源ノード１ｘに与えられる電源電圧と基準電圧Ｖｒｅｆの差が小さい場合、定電流源２３１２に電流が流れず、またＭＯＳトランジスタ１４がオン状態とならない場合が生じることが考えられる。したがって、この基準電圧発生回路２３１０を確実に動作させるため、電圧源ノード１ｘへは、電圧源ノード１へ与えられる電圧レベルよりも高い昇圧電圧を与える。半導体装置が半導体記憶装置である場合には、内部にワード線駆動のための昇圧電圧を発生する回路が設けられており、この昇圧電圧を電圧源ノード１ｘへ与える構成を利用することができる。
外部アクセスが行なわれない場合には、ｎチャネルＭＯＳトランジスタで構成される電流ドライブ素子のみを用いて内部電源電圧を発生し、外部アクセスが行なわれる場合には、比較器およびドライブ素子を用いて内部電源電圧レベルの調整を行なっているため、高速応答特性が要求されるときのみ比較器を動作させるだけであり、消費電流を低減することができるとともに、高速アクセスを実現することができる。
［実施例１６］
図８２は、この発明の第１６の実施例である内部電源電圧発生回路の構成を示す図である。図８２において、内部電源電圧発生回路は、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆとを比較する比較器２３３０と、電圧源ノード１と内部電源線５の間を流れる電流量を比較器２３３０の出力信号に従って調節するドライブ素子２３２０ｃと、比較器２３３０の出力信号に従ってそのコンダクタンスが変化する可変コンダクタンス素子としてのドライブ素子２３２０ｄと、ドライブ素子２３２０ｄと直列に接続され、動作モード指定信号φＭＤに従って導通／非導通状態とされるｐチャネルＭＯＳトランジスタで構成されるドライブ素子２３６０を含む。
この動作モード指定信号φＭＤは、２値信号であり、この半導体装置の動作モードに応じて論理ハイレベルまたは論理ローレベルに設定される。この動作モードとしては、以下の動作モードがある。
（１） リフレッシュ動作時において、選択状態とされるワード線の数を、通常動作時における選択ワード線の数よりも増加させる。
（２） テストモード時において、マージン試験などおよび多ビットデータのテストを行なうために、選択ワード線の数を通常動作時における選択ワード線の数よりも増加させる。
（３） テスト動作時において、多ビットのデータを同時に良不良を検証するために、選択されるコラム選択線（ビット線対を選択するためのコラム選択信号を伝達するコラムデコーダの出力信号線）の数を、通常動作時におけるそれよりも増加させる。
これらの動作モードにおいては、通常動作時におけるよりも、内部電源線５上に接続される負荷回路７（または内部回路）の消費する電流が増加し、電源電圧ＶＣＩの変動が大きくなる。この大きな消費電流を補償するために、動作モード指定信号φＭＤをローレベルに設定し、ドライブ素子２３６０を導通状態とする。この状態においては、内部電源線５はドライブ素子２３２０ｃおよび２３２０ｄを介して比較器２３３０の制御のもとに内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを調整する。２つのドライブ素子２３２０ｃおよび２３２０ｄが並列に動作するため、電圧源ノード１から内部電源線５へ大きな電流を供給することができ、内部電源電圧ＶＣＩの低下を高速で補償することができる。
また動作モード指定信号φＭＤが指定する動作モードとしては、さらに半導体装置が、動作時に消費する電流のマージンを検証するために、内部電源線５へ供給することの可能な電流量を減少させる動作電流マージンテストがある。この場合には、動作モード指定信号φＭＤは論理ハイレベルに設定され、ドライブ素子２３６０は非導通状態とされる。この場合には、通常動作時においては、２つのドライブ素子２３２０ｃおよび２３２０ｄにより内部電源線５上の電圧調整が行なわれ、テストモード時においては、ドライブ素子２３２０ｃによってのみ内部電源線５への電流供給が行なわれる。内部回路（負荷回路）の消費電流量に応じてその内部電源電圧の電流供給能力を切換えることにより、動作モードに応じて安定に必要とされる電流を供給して内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩを安定化させることができる。
また半導体装置ごとに、リフレッシュサイクルにおいて選択されるワード線の数が異なる構成が用いられることがある（リフレッシュサイクルを装置用途に応じて切換える）。この場合においても、そのリフレッシュサイクルに応じて動作モード指定信号φＭＤを論理ハイレベルまたは論理ローレベルに設定することにより、必要とされる電流供給能力を内部電源電圧発生回路へ与えることができ、安定に内部電源電圧ＶＣＩを発生することができる。
図８３は、動作モード指定信号φＭＤを発生するための回路構成を示す図である。図８３（Ａ）においては、動作モード指定信号発生回路は、外部から与えられる制御信号をデコードするデコーダ２３６２で構成される。デコーダ２３６２を用いることにより、複数種類の動作モードに対応して必要な電流供給能力を内部電源電圧発生回路へ与えることができる。またデコーダ２３６２を用いることにより、この内部電源電圧発生回路の電流供給能力の増加および減少いずれをも実現することができる。
図８３（Ｂ）に示す動作モード指定信号発生回路は、信号線２３６３と電圧源ノード１との間に接続される高抵抗の抵抗素子２３６５を含む。信号線２３６３はパッド２３６４に接続される。このパッド２３６４を、選択的にフレーム２３６７へボンディングワイヤ２３６６を介して接続される。フレーム２３６７へは、外部から接地電圧Ｖｓｓが与えられる。パッド２３６４とフレーム２３６７とがボンディングワイヤ２３６６により接続されたとき、信号線２３６３からの動作モード指定信号φＭＤは接地電圧Ｖｓｓレベルの論理ローレベルとされる。抵抗素子２３６５は高抵抗であり、その消費電流は無視することのできる値である。パッド２３６４とフレーム２３６７の間にボンディングワイヤ２３６６が接続されない場合には、信号線２３６３は抵抗素子２３６５により内部電源電圧レベルの論理ハイレベルとされる。
ボンディングワイヤ２３６６の有無により動作モード指定信号φＭＤを発生する構成とすることにより、この半導体装置が用いられる用途に応じて内部電源電圧発生回路の供給する電流供給能力を適切にプログラムすることができる。
図８４は図８２に示す動作モード指定信号を発生するためのさらに他の構成を示す図である。図８４（Ａ）に示す構成においては、電圧源ノード１と出力ノード２３７２の間に溶断可能なリンク素子２３７０が設けられ、出力ノード２３７２と接地電圧供給ノードとの間に高抵抗の抵抗素子２３７１が設けられる。出力ノード２３７２から動作モード指定信号φＭＤが出力される。リンク素子２３７０の導通時においては、出力ノード２３７２の電圧レベルは電圧源１へ与えられる電圧レベルである。リンク素子２３７０を溶断すると、この出力ノード２３７２の電圧レベルは抵抗素子２３７１により接地電圧Ｖｓｓレベルに設定される。 図８４（Ｂ）に示す構成においては、信号線２３７４と電圧源ノード１または接地電圧Ｖｓｓ供給ノードの間に、選択的に配線２３７３ａおよび２３７３ｂの一方が配設される。この配線２３７３ａまたは配線２３７３ｂを選択的に接続することにより、動作モード指定信号φＭＤを所望の論理レベルに設定することができる。
以上のように、この発明の第１６の実施例の構成に従えば、動作モードに従って内部電源電圧発生回路の電源供給能力を切換えるように構成したため、動作モードによる内部回路（負荷回路）の消費する電流量に併せて内部電源電圧発生回路の電流供給能力を調整することができ、安定に内部電源電圧ＶＣＩを生成することができる。
すなわち、大きな電流供給能力による、必要以上の電流供給に伴う内部電源電圧ＶＣＩのリンギングの発生および小さな電流供給力による内部電源電圧ＶＣＩの変動に対する非追随性をなくし、安定に内部電源電圧ＶＣＩを供給することができる。
［実施例１７］
図８５は、この発明の第１７の実施例である内部電源電圧発生回路の構成を示す図である。
図８５において、内部電源電圧発生回路は、内部電源線５上の電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆとを比較する比較器２３３０、比較器２３３０の出力信号に従ってそのコンダクタンスが変化し、応じて電流供給量が変化するドライブ素子２３２０と、ドライブ素子２３２０と電圧源ノード１との間に接続され、そのゲートに動作モード指定信号φＭＡを受けるドライブ素子２３６０を含む。このドライブ素子２３６０はｐチャネルＭＯＳトランジスタで構成され、そのゲートへ与えられる動作モード指定信号φＭＡは、電圧源ノード１へ与えられる電圧と接地電圧Ｖｓｓの間での中間電位レベルを有する。ドライブ素子２３６０は、この中間電位レベルの動作モード指定信号φＭＡに従って、そのチャネル抵抗が変化する。動作モードに応じてこのドライブ素子２３６０のコンダクタンスが変更され、動作モードに応じた電流供給力を内部電源電圧発生回路へ与えることができ、負荷回路７の消費電流に応じた最適な電流供給力を内部電源電圧発生回路へ与えることができる。
この動作モード指定信号φＭＡが指定する動作モードは、先の実施例１６における動作モードと同様である。動作モード指定信号φＭＡの電圧レベルが高くなれば、ドライブ素子２３６０のコンダクタンスが小さくされ、そこを流れる電流量が制限され、内部電源電圧発生回路の電源供給力が小さくされる。一方、動作モード指定信号φＭＡの電圧レベルが低くされた場合には、ドライブ素子２３６０のコンダクタンスが大きくなり、このドライブ素子２３２０へ供給される電流量が増加し、応じて内部電源電圧発生回路の電流供給力が大きくされる。ドライブ素子２３２０は、この可変コンダクタンス素子としてのドライブ素子２３６０を電流源として、比較器２３３０の出力信号に従って内部電源線５へ電流を供給し、内部電源電圧ＶＣＩの変動を調整する。
図８６は、図８５に示す動作モード指定信号φＭＡを発生するための構成の一例を示す図である。
図８６（Ａ）においては、動作モード指定信号発生回路は、電圧源ノード１と信号線２３８０の間に接続される一定電流を供給するための定電流源２３８２と、定電流源２３８２と接地電圧Ｖｓｓ供給ノードとの間で直列に接続される抵抗素子２３８２ａ〜２３８２ｄと、抵抗素子２３８２ｂ〜２３８２ｄ各々と並列に接続される溶断可能なリンク素子２３８３ａ〜２３８３ｃを含む。抵抗素子２３８２ａ〜２３８２ｄの数は任意であり、また同様にリンク素子２３８３ａ〜２３８３ｃの数も任意である。リンク素子２３８３ａ〜２３８３ｃのすべてが導通状態のときには、信号線２３８０上の動作モード指定信号φＭＡの電圧レベルは定電流源２３８２が供給する電流と抵抗素子２３８２ａが有する抵抗値とにより決定される電圧レベルとされる。リンク素子２３８３ａ〜２３８３ｃを選択的に溶断することにより、信号線２３８０と接地電圧供給ノードとの間の抵抗の値が大きくなり、動作モード指定信号φＭＡの電圧レベルが増加する。これにより、動作モードに応じてリンク素子２３８３ａ〜２３８３ｃを選択的に溶断する（プログラムする）ことにより、動作モード指定信号φＭＡの電圧レベルを所望の中間電位レベルに設定することができる。
図８６（Ｂ）においては、複数ビットのモード設定信号を受けてデジタル−アナログ変換するＤ／Ａコンバータ２３８５が動作モード指定信号発生回路として用いられる。モード設定信号のビットの組合せにより、この動作モード指定信号φＭＡの電圧レベルを設定することができる。モード設定信号としては、たとえばＷＣＢＲ条件下において動作モード指定信号電圧レベル設定動作が指定され、この動作モード指定信号φＭＡの設定する電圧レベルが、そのときに与えられるアドレス信号ビットの組合せにより決められる構成が用いられてもよい。また後に説明するような、半導体記憶装置において通常用いられているコマンドレジスタにモード設定信号が設定される構成が用いられてもよい。半導体記憶装置の初期動作時に動作モード指定信号φＭＡの電圧レベルを容易の所望の電圧レベルに設定することができる。
図８６（Ｃ）に示す動作モード指定信号発生回路は、電圧源ノード１に結合され、この電圧源ノード１から所定の値の一定の電流を供給する定電流源２３９０と、定電流源２３９０と接地電圧供給ノードとの間に直列に接続される抵抗素子２３９２ａ〜２３９３ｃと、信号線２３９７を介して与えられる選択信号に従ってノード２３９４ａおよびノード２３９４ｂの一方の電圧を選択するセレクタ２３９５を備える。セレクタ２３９５は、信号線２３９７上の信号電位に従って抵抗素子２３９２ａおよび２３９３ｂの間のノード２３９４ａ上の電圧レベルを選択するｐチャネルＭＯＳトランジスタ２３９５ａと、信号線２３９７上の電位が論理ハイレベルのときに抵抗素子２３９３ｂおよび２３９３ｃの間のノード２３９４ｂ上の電圧を選択するｎチャネルＭＯＳトランジスタ２３９５ｂを含む。セレクタ２３９５から動作モード指定信号φＭＡが出力される。
信号線２３９７はパッド２３９９ａに接続され、かつ高抵抗の抵抗素子２３９８を介して電圧源ノード１に接続される。パッド２３９９ａは、接地電圧Ｖｓｓを供給するフレーム２３９９ｃにボンディングワイヤ２３９９ｄを介して選択的に接続される。ボンディングワイヤ２３９９ｄが設けられない場合、信号線２３９７上の電位は抵抗素子２３９８により電圧源ノード１上の電圧レベルとされ、セレクタ２３９５においては、ＭＯＳトランジスタ２３９５ｂが導通状態となり、ＭＯＳトランジスタ２３９５ａが非導通状態とされる。この状態においては、ノード２３９４ｂ上の電圧が選択され、動作モード指定信号φＭＡとして出力される。一方ボンディングワイヤ２３９９ｄがパッド２３９０ａとフレーム２３９９ｃの間に接続された場合には、信号線２３９７上の電圧レベルは接地電圧Ｖｓｓレベルとなる。この状態においては、ＭＯＳトランジスタ２３９５ａが導通状態、ＭＯＳトランジスタ２３９５ｂが非導通状態とされる。したがってこの場合には、動作モード指定信号φＭＡとして、ノード２３９４ａ上の電圧が選択されて出力される。パッドに対するボンディングワイヤの有無により、２つの電圧レベルのうちの一方の電圧レベルを有する動作モード指定信号φＭＡを生成することができる。
以上のように、この発明の第１７の実施例に従えば、比較器の出力信号に従って内部電源線５上の電源電圧レベルを調整するドライブ素子と直列にそのコンダクタンスが変更可能な可変コンダクタンス素子を接続したため、半導体装置の使用状況に応じた電流供給能力を備える半導体装置を実現することができる。またこのとき、可変コンダクタンス素子１つが用いられるだけであり内部電源電圧発生回路の規模が低減される。
［実施例１８］
図８７は、この発明の第１８の実施例に従う内部電源電圧発生回路の構成を概略的に示す図である。図８７において、内部電源電圧発生回路は、基準電圧発生回路２３１０から基準電圧伝達線２４０２上に伝達された基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩを比較する比較器２３３０と、この比較器２３３０の出力信号に従って電圧源ノード１から内部電源線５へ流れる電流量を調整するドライブ素子２３０２と、この内部電源線上の電源電圧ＶＣＩと基準電圧伝達線２４０２上の基準電圧Ｖｒｅｆに従って基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルを調整するレベル調整回路２４０１を含む。
基準電圧発生回路２３１０は、電圧源ノード１と接地電圧供給ノードとの間に直列に接続される抵抗素子２４００ａおよび２４００ｂで構成されるように示される。抵抗素子２４００ａに代えて定電流源が用いられてもよい。
レベル調整器２４０１は、電源線５上の電源電圧ＶＣＩを正入力に受け、基準電圧伝達線２４０２上の基準電圧Ｖｒｅｆを負入力に受ける差動増幅器で構成される比較器２４１０と、この比較器２４１０の出力信号に従って電圧源ノード１から基準電圧伝達線２４０２へ電流を供給する電流ドライブ素子２４１１と、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩを正入力に受け、かつ基準電圧伝達線上の基準電圧Ｖｒｅｆを負入力に受ける差動増幅器で構成される比較器２４１２と、この比較器２４１２の出力信号に従って基準電圧伝達線２４０２から接地電圧供給ノードへ電流を放電する電流ドライブ素子２４１３とを含む。基準電圧伝達線２４０２には、安定化のための容量２４０５が設けられる。この容量２４０５は、基準電圧伝達線２４０２の寄生容量で構成されてもよい。次に動作について説明する。
基準電圧発生回路２３１０からは、抵抗素子２４００ａおよび２４００ｂの有する抵抗値で決定される基準電圧Ｖｒｅｆが出力される。比較器２３３０は、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩとこの基準電圧伝達線２４０２上の基準電圧Ｖｒｅｆとを比較する。電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも低い場合には、比較器２３３０の出力が電圧レベルが低下し、ドライブ素子２３２０のコンダクタンスが増加する。レベル調整器２４０１においても、比較器２４１０および２４１２が比較器２３３０と同様の態様で比較動作を行なっており、電流ドライブ素子２４１１のコンダクタンスが大きくなり、一方電流ドライブ素子２４１３のコンダクタンスが低下する。これにより、基準電圧伝達線２４０２上に、電流ドライブ素子２４１１を介して電圧源ノード１から電流が供給され、この基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルが増加し、応じて比較器２３３０の出力信号の電圧レベルがさらによく低下し、ドライブ素子２３２０のコンダクタンスがより小さくされ、高速で電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを上昇させる。
一方、電源電圧ＶＣＩが基準電圧Ｖｒｅｆよりも高い場合には、比較器２３３０の出力信号の電圧レベルが上昇し、電流ドライブ素子２３２０のコンダクタンスは低下する。これにより、電圧源ノード１から内部電源線５への電流供給がほぼ停止される。この状態においては、レベル調整器２４０１において、比較器２４１０および２４１２の出力信号の電圧レベルが上昇し、電流ドライブ素子２４１１がほぼ非導通状態とされ、電流ドライブ素子２４１３のコンダクタンスが大きくなり、基準電圧伝達線２４０２（安定化容量２４０５）の電圧レベルを低下させる。これにより、比較器２３３０の出力信号の電圧レベルがより高くされ、ドライブ素子２３２０がほぼ完全に非導通状態とされる。
レベル調整器２４０１による基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベル調整により、比較器２３３０により、ドライブ素子２３２０が大きな電流量を供給する必要がある場合には、基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルが上昇し、比較器２３３０の出力の電圧レベルが上昇し、一方ドライブ素子２３２０が大きな電流を供給する必要がない場合には、基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルを低下させ、比較器２３３０の出力信号をよりその電圧レベルを上昇させる。レベル調整器２４０１により、基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルを調整し、応じて比較器２３３０の応答速度が改善され、高速で、この内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩが負荷回路７の動作により変動する場合においても、安定に一定の電圧レベルの電源電圧ＶＣＩを供給することができる。
また、この基準電圧Ｖｒｅｆのレベルは、基準電圧発生回路２３１０に含まれる抵抗素子２４００ａおよび２４００ｂと、電流ドライブ素子２４１１および２４１３のコンダクタンスにより決定される。基準電圧発生回路２３１０においては、正確な一定電流レベルの基準電流を発生する定電流源を用いる必要がない。したがって基準電圧発生回路２３１０の回路構成を簡略化することができる。
以上のように、この第１８の実施例の構成に従えば、レベル調整器により、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルに応じて基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルを調整し、比較器３３０の応答速度を等価的に早くしているため、負荷回路７の動作状況に応じて高速でドライブ素子２３２０の電流供給力を調整することができ、安定に内部電源電圧ＶＣＩを出力することができる。
［実施例１９］
図８８は、この発明の第１９の実施例の内部電源電圧発生回路の構成を概略的に示す図である。図８８において、内部電源電圧発生回路は、複数の互いに電圧レベルの異なる基準電圧Ｖｒｅｆａ、Ｖｒｅｆｂ、Ｖｒｅｆｃ、およびＶｒｅｆｄを発生する基準電圧発生回路２４２０と、この基準電圧発生回路２４２０の出力する基準電圧Ｖｒｅｆａ〜Ｖｒｅｆｄのうちの１つを選択する信号を発生する選択信号発生回路２４３０と、選択信号発生回路２４３０からの基準電圧選択信号に応答して、基準電圧発生回路２４２０からの基準電圧Ｖｒｅｆａ〜Ｖｒｅｆｄの１つを選択して出力する選択回路２４４０と、選択回路２４４０からの基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源線５上の内部電源電圧ＶＣＩとを比較する比較器２３３０と、比較器２３３０の出力信号に従って電圧源ノード１から内部電源線５へ電流を供給するドライブ素子２３２０を含む。
基準電圧発生回路２４２０は、電圧源ノード１に結合され、一定の電流を供給する定電流源２４２１と、定電流源２４２１と接地電圧供給ノードとの間に直列に接続される抵抗素子２４２２ａ、２４２２ｂ、２４２２ｃ、および２４２２ｄを含む。定電流源２４２１と抵抗素子２４２２ａの間の接続ノード２４２４ａ、および抵抗素子２４２２ａ〜２４２２ｄの各接続ノード２４２４ｂ、２４２４ｃおよび２４２４ｄからそれぞれ基準電圧Ｖｒｅｆａ、Ｖｒｅｆｂ、ＶｒｅｆｃおよびＶｒｅｆｄが出力される。
選択回路２４４０は、基準電圧Ｖｒｅｆａ〜Ｖｒｅｆｄそれぞれに対応して設けられ、選択信号発生回路２４３０（この構成については後に詳細に説明する）からの選択信号に従って導通し、対応の基準電圧を通過させる選択ゲート２４４２ａ〜２４４２ｄを含む。図８８において、選択ゲート２４４２ａ〜２４４２ｄは、ｎチャネルＭＯＳトランジスタで構成されるように示される。しかしながら、選択ゲート２４４２ａ〜２４４２ｄは、ＣＭＯＳトランスミションゲートであってもよい。
次に動作について説明する。
基準電圧発生回路２４２０は、定電流源２４２１が供給する電流と抵抗素子２４２２ａ〜２４２２ｄの各抵抗値とに従ってそれぞれ互いに電圧レベルの異なる基準電圧Ｖｒｅｆａ〜Ｖｒｅｆｄを出力する。選択回路２４４０は、この選択信号発生回路２４３０からの選択信号に従って１つの基準電圧を選択して出力する。負荷回路７の高速動作性が要求されない場合、選択信号発生回路２４３０は、比較的低い電圧レベルの基準電圧を選択する信号を発生する。比較器２３３０およびドライブ素子２３２０により、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩが、選択回路２４４０により選択された基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルに電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを設定する。負荷回路７が構成要素としてＭＯＳトランジスタを含む場合、そのＭＯＳトランジスタの動作速度は、電源電圧ＶＣＩにより決定される。ＭＯＳトランジスタの内部ノードの充放電速度は、ゲート電位および電源電圧を受けるドレインまたはソースの電位により決定されるためである。また、基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルが低い場合、負荷回路７の動作時において電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが低下しても、この負荷回路７の高速動作は要求されていないため、負荷回路７動作時において電源電圧ＶＣＩが仮に急激に変化した場合においても、比較器２３３０およびドライブ素子２３２０によるフィードバックループによる電源電圧ＶＣＩの復元が遅れても何ら問題は生じない。
一方、負荷回路７が高速動作性を要求される場合、選択信号発生回路２４３０は、比較的電圧レベルの高い基準電圧を選択する信号発生する。この場合、比較器２３３０およびドライブ素子２３２０により、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩは比較的高い電圧レベルに設定される。したがって、負荷回路７が高速で動作することができる。また、負荷回路７の動作時において急激に電源電圧ＶＣＩが変動しても、この基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルが内部電源電圧ＶＣＩの必要最小限の電圧レベルよりも高い電圧レベルに設定されていれば、負荷回路７を高速動作させるために要求される電圧レベルからの電源電圧ＶＣＩの低下を抑制することができ（先の実施例１６および１７におけるスタンバイ時において内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを所定値よりも高くする状態に対応する）、安定に必要とされる電源電圧ＶＣＩを供給することができ、負荷回路７の高速動作性を保証することができる。
図８９は、図８８に示す選択信号発生回路２４３０の構成の一例を示す図である。図８９において、選択信号発生回路２４３０は、外部からの信号ＺＲＡＳ、ＺＣＡＳ、ＺＷＥおよびアドレス信号Ａｂに従って基準電圧レベルを設定するモードが指定されたことを検出するモード検出回路２４３２と、このモード検出回路２４３２からのモード検出信号に従って内部からのアドレス信号ＡｄｍおよびＡｄｎを取込み保持するコマンドレジスタ２４３４と、コマンドレジスタ２４３４の保持するデータをデコードし、選択信号を発生するデコーダ２４３６を含む。モード検出回路２４３２はいわゆる「ＷＣＢＲ＋アドレスキー」条件に従って基準電圧レベル設定モードが指定されたか否かを検出する。ＷＣＢＲ＋アドレスキー条件は、ロウアドレスストローブ信号ＺＲＡＳの立下がり前に、コラムアドレスストローブ信号ＺＣＡＳおよびライトイネーブル信号ＺＷＥが立下がり、かつ特定のアドレス信号ビットＡｂが予め定められた値に設定される状態を示す。コマンドレジスタ２４３４としては、通常、半導体記憶装置においては、内部動作条件を指定するために設けられており、このコマンドレジスタを利用することができる。コマンドレジスタ２４３４は、ラッチ機能を備えており、その与えられたアドレス信号ＡｄｍおよびＡｄｎを取込んで持続的に保持しかつ出力する。デコーダ２４３６は、このコマンドレジスタ２４３４からの２ビットのアドレス信号ＡｂｍおよびＡｂｎをデコードし、図８８に示す４つの基準電圧Ｖｒｅｆａ〜Ｖｒｅｆｄのうちのいずれかを選択する信号を出力する。コマンドレジスタ２４３４が、４ビットのアドレス信号を受ける構成とされている場合、デコーダ２４３６を介することなく直接、選択信号がそのときに与えられるアドレス信号に従って発生される構成が用いられてもよい。
この図８９に示す選択信号発生回路の構成に従えば、半導体装置の動作条件に応じて基準電圧すなわち内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを設定することができる。したがって、高速アクセスが要求されないリフレッシュサイクルおよびデータ保持モード時において、基準電圧のレベルを低くし、高速アクセスが要求される通常動作時においては、基準電圧Ｖｒｅｆを高い電圧レベルに設定することができ、低消費電流特性が要求される動作モードにおいて、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを低くすることにより、内部電源線５の充電電流を低減することができる。
図９０は、図８８に示す選択信号発生回路２４３０の他の構成を示す図である。図９０に示す構成においては、基準電圧Ｖｒｅｆａ〜Ｖｒｅｆｄそれぞれに対応してリンク素子２４３７（２４３７ａ〜２４３７ｄ）および抵抗素子２４３８（２４３８ａ〜２４３８ｄ）およびインバータ２４３９（２４３９ａ〜２４３９ｄ）が設けられる。リンク素子２４３７および抵抗素子２４３８は電圧源ノード１と接地ノードの間に直列に接続される。インバータ２４３９は、抵抗素子２４３８の一方端（接地ノードに接続されないノード）上の信号電位を受けて反転して選択信号を出力する。
リンク素子２４３７ａ〜２４３７ｄが導通状態（非切断状態）の場合、インバータ２４３９ａ〜２４３９ｄの出力信号はすべて論理ローレベルである。リンク素子２４３７ａ〜２４３７ｄのいずれかを切断すると、対応のインバータ２４３９ａ〜２４３９ｄの出力信号が論理ハイレベルとなり、対応の基準電圧Ｖｒｅｆａ〜Ｖｒｅｆｄが選択される。たとえば、リンク素子２４３７ａが切断されると、インバータ２４３９ａの入力信号は、抵抗素子２４３８ａにより論理ローレベルとなり、インバータ２４３９ａの出力信号も論理ハイレベルとなる。それにより、基準電圧Ｖｒｅｆａが伝達される。
なお、図９０に示す構成においては、リンク素子を切断することにより、対応の基準電圧を選択するように構成されている。しかしながら、リンク素子導通時において対応の基準電圧を選択する信号が発生されるように構成されてもよい。このリンク素子の溶断／非溶断のプログラムにより基準電圧レベルを設定する構成の場合、半導体装置の用途すなわち高速動作が要求される半導体装置および高速動作が要求されない半導体装置それぞれに応じて基準電圧レベルを設定することができ、同一回路構成で、高速動作する半導体装置および低消費電力性が強調される半導体装置いずれにも対応することが可能となる。
以上のように、この発明の第１９の実施例の構成に従えば、内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを決定する基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルを選択可能としているため、半導体装置の動作条件および使用用途に応じて最適な基準電圧レベルを設定することができ、動作状況に応じて基準電圧を介して電源電圧ＶＣＩを安定に供給することができる。
［実施例２０］
図９１は、この発明の第２０の実施例に従う内部電源電圧発生回路の構成を示す図である。図９１において、ドライブ素子２３２０のゲート電位を基準電圧Ｖｒｅｆおよび内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩの差に従って調節する比較器２３３０は、その応答速度が動作モードに応じて切換えられる。
すなわち、比較器２３３０は、カレントミラー段を構成するｐチャネルＭＯＳトランジスタ２４４０および２４４１と、基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源電圧ＶＣＩとを比較する差動段を構成するｎチャネルＭＯＳトランジスタ２４４２および２４４３と、この比較器２３３０を流れる動作電流の量を決定する電流源トランジスタ２４４４および２４４５を含む。ＭＯＳトランジスタ２４４０はそのゲートおよびドレインが接続される。ＭＯＳトランジスタ２４４０およびＭＯＳトランジスタ２４４２は直列に接続され、ＭＯＳトランジスタ２４４１およびＭＯＳトランジスタ２４４３は直列に接続される。
電流源トランジスタ２４４４はそのゲートに一定電圧レベルの基準電圧ＣＳＴを受ける。この基準電圧ＣＳＴは電圧源ノード１に与えられる電源電圧であってもよい。この電流源トランジスタ２４４４と並列に、動作モード指定信号φＭに応答して選択的に導通状態とされるスイッチング電流源トランジスタ２４４５が設けられる。この動作モード指定信号φＭは２値の論理信号であり、スイッチング電流源トランジスタ２４４５は導通状態または非導通状態の一方の状態にこの動作モード指定信号φＭに従って設定される。
この比較器２３３０は、通常の差動増幅器で構成されており、基準電圧Ｖｒｅｆと内部電源電圧ＶＣＩの差を反転増幅してドライブ素子２３２０のゲートへ与える。この比較器２３３０の動作速度は、この電流源トランジスタ２４４４および２４４５を流れる動作電流により決定される。すなわち、ＭＯＳトランジスタ２４４３を介して流れる電流が大きければ、このドライブ素子２３２０のゲートへ与えられる電位は高速で変化し、一方、ＭＯＳトランジスタ２４４３を流れる電流量が小さい場合には、このドライブ素子２３２０のゲート電位は緩やかに変化する。したがって、この電流源トランジスタ２４４４および２４４５を流れる電流量を調整することにより、比較器２３３０の応答速度を調整することができ、外部電源電圧ＶＣＩの急激な変化に高速で追随する場合および比較的緩やかに追跡する場合の２つの状態を設定することができる。
すなわち、動作モード指定信号φＭが論理ローレベルであり、スイッチング電流源トランジスタ２４４５が非導通状態の場合には、この比較器２３３０の動作電流は、電流源トランジスタ２４４４により決定される。この場合には、比較器２３３０の出力ノードの電位変化は緩やかとなり、その応答速度が小さくされる。一方、動作モード指定信号φＭが論理ハイレベルとされ、スイッチング電流源トランジスタ２４４５が導通状態とされた場合には、この比較器２３３０の動作電流は電流源トランジスタ２４４４および２４４５に流れる電流量により決定されるため、動作電流が増加する。したがってこの場合には、比較器２３３０によるドライブ素子２３２０のゲート電位変化速度が大きくされ、比較器２３３０の応答速度が速くされる。これにより、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩの急激な変化にも高速で追随して安定に内部電源電圧を供給することができる。次にこの動作モード指定信号φＭの発生態様について説明する。
図９２は、図９１に示す動作モード指定信号発生回路の構成を示す図である。図９２（Ａ）において、動作モード指定信号発生回路は、電圧源ノード１と接地ノード（接地電圧供給ノード）の間に直列に接続されるリンク素子２４５０および抵抗素子２４５２を含む。リンク素子２４５０と抵抗素子２４５２の間の接続ノード２４５１から動作モード指定信号φＭが出力される。リンク素子２４５０を溶断することにより、プルダウン抵抗２４５２により、動作モード指定信号φＭが接地電圧レベルの論理ローレベルとされる。リンク素子２４５０が導通状態のとき（非溶断状態のとき）、動作モード指定信号φＭは、抵抗素子２４５２が高抵抗を有するため、電圧源ノード１へ与えられる電圧レベルは、論理ハイレベルとされる。リンク素子２４５０のプログラムにより動作モード指定信号φＭの電圧レベルを設定することにより、この半導体装置の使用される用途に応じて比較器の応答速度を固定的に設定することができ、高速アクセスが要求される装置および低消費電流特性が要求される装置それぞれに応じて比較器の動作特性を固定的に設定することができる。
図９２（Ｂ）に示す動作モード指定信号発生回路は、外部から与えられるロウアドレスストローブ信号ＺＲＡＳ、コラムアドレスストローブ信号ＺＣＡＳ、ライトイネーブル信号ＺＷＥ、およびアドレス信号Ａｄに従って所定の動作モードが指定されたか否かを検出し、所定の動作モードが指定されたときにこの動作モード指定信号φＭを論理ハイレベルまたは論理ローレベルに設定する動作モード検出器２４５４で構成される。この動作モード指定信号φＭが論理ハイレベルとされ、比較器２３３０の動作速度（応答速度）を速くする動作モードとして以下のものがある：ページモード、スタティックコラムモード、周期的に与えられるクロック信号に同期して動作するクロック同期動作、およびＥＤＯモードがある。ＥＤＯモードにおいては、ニブルモードと通常の動作が行なわれるが、データ出力をリセットするタイミングが、ニブルモードの場合には、コラムアドレスストローブ信号ＺＣＡＳの立上がりタイミングであるのに対し、このコラムアドレスストローブ信号ＺＣＡＳの立下がりタイミングまたは信号ＺＣＡＳおよびＺＲＡＳがともにハイレベルとされるタイミングとされる。出力データが確定状態とされる期間が長くなり、ニブルモードよりも高速動作が実現される。これらの高速動作モードにおいては、内部電源線５上の電源電圧を高速で所定の電圧レベルに復帰させる必要がある。この場合には、動作モード指定信号φＭを論理ハイレベルとして比較器２３３０の応答速度を速くする。
外部アクセスが要求されないデータ保持モードまたはリフレッシュ動作時においては、この動作モード指定信号φＭは論理ローレベルとされる。これらの動作モードにおいては、高速動作性は要求されず、低消費電流性が要求されるためである。リフレッシュサイクルとして、外部からのロウアドレスストローブ信号ＺＲＡＳによりリフレッシュ動作を制御するＲＡＳオンリーリフレッシュ、ライトイネーブル信号ＺＷＥ、コラムアドレスストローブ信号ＺＣＡＳおよびロウアドレスストローブ信号ＺＲＡＳのタイミング関係によりリフレッシュが指定されるＣＢＲリフレッシュおよび内部で所定期間ごとに自動的にリフレッシュが行なわれるセルフリフレッシュがある。この他に、アクセスされたメモリブロックと別の非選択ブロックに対してリフレッシュが行なわれるヒドンリフレッシュサイクルがある。このヒドンリフレッシュサイクルの場合、内部電源線５が各メモリブロック個々に設けられている場合には、リフレッシュが行なわれるメモリブロックに対して設けられた内部電源線５のみが比較器２３３０の応答速度が遅くされるように構成されればよい。内部電源線５がすべてのメモリブロックに対し共通に設けられている場合には、通常アクセス動作とヒドンリフレッシュ動作が共通に行なわれるため、この場合には、動作モード指定信号φＭを論理ハイレベルと設定することにより、内部電源線５の電流消費による電源電圧ＶＣＩの低下を補償する。
またテストモードにおいては、比較器２３３０の応答速度を意図的に遅らせる動作マージンテストを行なう場合には、この動作モード指定信号φＭは論理ローレベルとされる。一方、テストモードにおいて、通常動作時における選択メモリセルのビット数よりも、より多くのメモリセルを選択状態として、複数のメモリセルデータを同時に良／不良を判定する構成の場合、この動作モード指定信号φＭを論理ハイレベルとして、比較器２３３０の応答速度を速くし、その内部電源線５上の電流消費による電源電圧ＶＣＩの電圧低下を補償する。
図９２（Ｃ）に示す動作モード指定信号発生回路は、電圧源ノード１と信号線２４５６の間に接続される高抵抗抵抗素子２４５５を含む。信号線２４５６はパッド２４５７に接続される。パッド２４５７とフレーム２４５８とを選択的にボンディングワイヤ２４５９により接続することにより、この動作モード指定信号φＭの論理レベルを固定的に設定する。図９２（Ａ）に示すリンク素子２４５０によるプログラムと同様の目的および効果が達成される。この図９２（Ｃ）に示す構成の場合、さらに、入出力データビット数が装置に応じて異なる場合、その入出力データビット数に併せてボンディングワイヤ２４５９により、動作モード指定信号φＭの論理レベルを設定し、比較器２３３０の応答速度を固定的に設定することができる。同一の回路構成で、複数種類の入力データビット数の半導体記憶装置に対応することができる。
［変更例］
図９３はこの発明の第２０の実施例の内部電源電圧発生回路の変更例の要部の構成を示す図である。この図９３においては、ドライブ素子２３２０（図９１参照）のゲート電位を調整するための比較器２３３０のみが示される。この図９３に示す比較器２３３０においては、比較器２３３０の動作電流を決定する電流源トランジスタとして、それぞれのゲートが電圧源ノード１に結合されるｎチャネルＭＯＳトランジスタ２４６０ａ〜２４６０ｃが設けられる。これらのＭＯＳトランジスタ２４６０ａ〜２４６０ｃと直列に、リンク素子２４６２ａ，２４６２ｂおよび２４６２ｃが設けられる。リンク素子２４６２ａ〜２４６２ｃを選択的に溶断することにより、この比較器２３３０の動作電流を調整することができ、目的とする応答速度を比較器２３３０に対し与えることができる。
比較器２３３０の、他の構成、すなわちカレントミラー手段および差動段を構成する部分は、図９１に示す構成と同じである。
［変更例２］
図９４は、この発明の第２０の実施例に従う内部電源電圧発生回路の他の変更例の要部の構成を示す図である。この図９４に示す構成においては、比較器２３３０の電流減トランジスタ２４６０のゲートへ与えられる基準電圧ＣＳＴの電圧レベルが変更される。比較器２３３０の構成は、図９１に示す比較器の構成と同じである。
基準電圧ＣＳＴを発生する基準電圧発生回路２４７０は、電圧源１に結合されて一定の電流を供給する定電流源２４７１と、定電流源２４７１と接地ノードの間に直接に接続される抵抗素子２４７２ａ〜２４７２ｃと、抵抗素子２４７２ｂおよび２４７２ｃと並列に接続されるリンク素子２４７４ａおよび２４７４ｂを含む。定電流源２４７１と抵抗素子２４７２ａの間のノードから信号線２４７３上に基準電圧ＣＳＴが出力される。リンク素子２４７４ａおよび２４７４ｂがともに導通状態（非溶断状態）のとき、抵抗素子２４７２ｂおよび２４７２ｃがリンク素子２４７４ａおよび２４７４ｂにより短絡され、信号線２４７３上の基準電圧ＣＳＴの電圧レベルは、定電流源２４７１が供給する電流と抵抗素子２４７２ａの有する抵抗値とにより決定される。リンク素子２４７４ａおよび２４７４ｂを選択的に溶断することにより、この信号線２４７３と接地ノードの間の接続される抵抗素子の数が増大し、応じてこの信号線２４７３上の基準電圧ＣＳＴの電圧レベルが上昇する。電流源トランジスタ２４４４は、この基準電圧ＣＳＴの電圧レベルが高い場合には、そのコンダクタンスが大きくされ、大きな動作電流を生じさせ、一方、基準電圧ＣＳＴの電圧レベルが小さい場合には、比較的小さな動作電流を生じさせる。ＭＯＳトランジスタは、一般に、その供給するドレイン電流は、ゲートの電位により決定されるためである。この図９４に示すように、先の図９１ないし図９３に示す電流源トランジスタのゲート幅（チャネル幅）を等価的に変化させる構成と異なり、ゲート電位を調整しても、比較器２３３０の動作電流量を調整することができる。この場合においても、先の図９１ないし図９３に示す構成と同様の効果を得ることができる。
また、この図９１および図９３に示す電流源トランジスタの数および図９４に示す基準電圧発生回路の抵抗素子の数は任意であり、必要に応じて適当な数が設けられればよい。
さらに、この図９４に示す構成において、基準電圧発生回路２４７０が複数の電圧レベルの基準電圧ＣＳＴを発生し、動作モードに応じて複数の基準電圧のうち１つの基準電圧が選択されて電流源トランジスタ２４４４のゲートへ与えられる構成が用いられてもよい。
以上のように、この発明の第２０の実施例の構成に従えば、動作モードまたは使用状況に応じて、このドライブ素子の電流供給量を調整する比較器の応答速度をその動作電流調整により変更するようにしたため、高速アクセスおよび低消費電流それぞれに対応した動作特性を備える内部電源電圧発生回路（比較器）を容易に実現することができる。
［実施例２１］
図９５はこの発明の第２１の実施例である内部電源電圧発生回路の要部の構成を示す図である。図９５においては、内部電源線５上の電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを設定する基準電圧Ｖｒｅｆが、この半導体装置が動作する動作速度を決定する外部から周期的に与えられるクロック信号ＣＬＫの周波数に従って設定される。一般に、クロック同期型半導体装置（たとえばＳＤＲＡＭ）においては、外部から周期的にクロック信号が与えられ、このクロック信号に同期して、外部制御信号の取込みおよびデータの入出力が行なわれる。このクロック信号としてはシステムクロックが一般に用いられる。このクロック信号ＣＬＫの周波数としては、３０ＭＨｚ、５０ＭＨｚ、および１００ＭＨｚまたはそれ以上の周波数が用いられる。内部回路である負荷回路７は、このクロック信号ＣＬＫに同期して動作する（内部制御信号の発生タイミングはクロック信号ＣＬＫにより決定される）。したがって、このクロック信号ＣＬＫの周波数により、高速動作および低速動作が決定される。このクロック信号ＣＬＫの周波数に従って内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルを調整することにより、この負荷回路７の動作速度に応じた電圧レベルに内部電源電圧ＶＣＩを設定することができる。
複数の互いに電圧レベルの異なる基準電圧Ｖｒｅｆａ、Ｖｒｅｆｂ、Ｖｒｅｆｃ、およびＶｒｅｆｄを出力する基準電圧発生回路５００から１つの基準電圧を選択するために、外部から周期的に与えられるクロック信号ＣＬＫの周波数を検出する周波数検出器５１０と、この周波数検出器５１０で検出された周波数情報に従って、対応の基準電圧を選択するための選択情報を発生する選択情報発生器５２０と、選択情報発生器５２０からの基準電圧選択情報に従って、基準電圧Ｖｒｅｆａ〜Ｖｒｅｆｄのうちの１つを選択して基準電圧Ｖｒｅｆとして出力する選択回路５３０が設けられる。基準電圧発生回路５００は、電圧源ノード１から一定の電流を供給する定電流源５０１と、この定電流源５０１と接地ノードとの間に直列に接続される抵抗素子５０２ａ〜５０２ｄを含む。抵抗素子５０２ａ〜５０２ｄの各々の一方端から基準電圧Ｖｒｅｆａ〜Ｖｒｅｆｄが出力される。
周波数検出器５１０は、その構成については後に詳細に説明するが、クロック信号ＣＬＫの周波数を示す情報（パラメータ）を出力する。選択情報発生器５２０は、この周波数検出器５１０の出力する周波数情報が高い周波数を示す場合には、高い電圧レベルの基準電圧を選択する選択情報を発生する。選択回路５３０は、基準電圧Ｖｒｅｆａ〜Ｖｒｅｆｄそれぞれに対応して設けられる選択ゲート５３１ａ〜５３１ｄを含み、選択情報発生器５２０からの選択情報に従って１つの選択ゲートを導通状態として、複数の基準電圧Ｖｒｅｆａ〜Ｖｒｅｆｄのうちの１つを選択して基準電圧Ｖｒｅｆとして出力する。
この図９５に示す構成にように、外部から周期的に与えられるこの半導体装置の動作速度を決定するクロック信号ＣＬＫの周波数に従って基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルを調整することにより、動作速度に応じた電圧レベルに内部電源電圧ＶＣＩを設定することができ、高速動作時における内部電源電圧ＶＣＩが所定の電圧レベル以下に低下した場合、その基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルが所定電圧レベルよりも高い場合には、高速で比較器２３３０が応答して電源電圧ＶＣＩを所定電圧レベルに復帰させることができる。次に選択回路の具体的構成について説明する。
図９６は、図９５に示す周波数検出器５１０および選択情報発生器５２０の具体的構成を示す図である。図９６において、周波数検出器５１０は、ＰＬＬで構成される。すなわち、周波数検出器５１０は、クロック信号ＣＬＫと電圧制御発振器（ＶＣＯ）５１４の出力信号との位相を比較する位相比較器５１１と、この位相比較器５１１からの位相誤差信号ＤおよびＵをアナログ変換するＤ／Ａコンバータとしてのチャージポンプ回路５１２と、チャージポンプ回路５１２の出力信号によりその充電電位が設定されるループフィルタ５１３と、ループフィルタ５１３から与えられる電圧に従ってその発振周波数が変化するＶＣＯ５１４を含む。
チャージポンプ回路５１２は、位相比較器５１１からの誤差信号Ｄをゲートに受けるｐチャネルＭＯＳトランジスタ５１２ａと、位相比較器５１１からの位相誤差信号Ｕをゲートに受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタ５１２ｂで構成される。ループフィルタ５１３は、ローパスフィルタとして機能し、一例として、抵抗ＲおよびキャパシタＣを備える。チャージポンプ回路５１２の出力信号により、キャパシタＣの充電電位が変化する。
ＶＣＯ５１４は、奇数段の縦列接続されるインバータ５１５ａ〜５１５ｃと、インバータ５１５ａ〜５１５ｃに対しそれぞれ動作電流を供給するためのｐチャネルＭＯＳトランジスタ５１６ａ〜５１６ｃおよびｎチャネルＭＯＳトランジスタ５１７ａ〜５１７ｃと、ｎチャネルＭＯＳトランジスタ５１７ａ〜５１７ｃの動作電流を決定するｎチャネルＭＯＳトランジスタ５１４ｂを含む。ＭＯＳトランジスタ５１４ａおよびＭＯＳトランジスタ５１４ｂは電源ノード（内部電源電圧を受けるノードであってもよく、また外部電源電圧を受けるノードであってもよい）と接地ノードとの間に直列に接続される。ＭＯＳトランジスタ５１４ｂは、ゲートとドレインとが相互接続され、ＭＯＳトランジスタ５１７ａ〜５１７ｃに対するカレントミラー回路のマスター段を構成する。ＭＯＳトランジスタ５１７ａ〜５１７ｃにおいては、ＭＯＳトランジスタ５１４ｂに流れる電流と同じ大きさの電流が流れる（ＭＯＳトランジスタ５１４ｂおよび５１７ａ〜５１７ｃが同じサイズを備えるとき）。
選択情報発生器５２０は、このループフィルタ５１３から与えられる充電電位をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ５２０ａで構成される。Ａ／Ｄコンバータ５２０ａのステップ（各デジタル値の間のアナログ値の大きさ）は選択回路（図９５参照）で選択される基準電圧の数により適当に決定される。次に動作について簡単に説明する。
この周波数検出器５１０は、通常のＰＬＬの構成である。位相比較器５１１は、クロック信号ＣＬＫの位相がＶＣＯ５１４からの出力信号の位相よりも早い場合には、信号ＤおよびＵをともにハイレベルとし、クロック信号ＣＬＫの位相がＶＣＯ５１４の出力信号の位相よりも遅れている場合には、信号ＤおよびＵをともにローレベルとする。クロック信号ＣＬＫの位相とＶＥＣＯ５１４の出力信号の位相が同じ場合には、位相比較器５１１は、信号Ｄをハイレベル、信号Ｕをローレベルとする。チャージポンプ回路５１２では、この信号ＤおよびＵに従ってＭＯＳトランジスタ５１２ａおよび５１２ｂが選択的に導通／非導通状態とされる。このチャージポンプ回路５１２により、ループフィルタ５１３に含まれるキャパシタＣの充電電位が決定される。チャージポンプ回路５１２におけるＭＯＳトランジスタ５１２ａおよび５１２ｂの導通／非導通は、クロック信号ＣＬＫとＶＣＯの出力信号の位相差に対応している。したがって、このループフィルタ５１３に含まれるキャパシタＣの充電電位は、クロック信号ＣＬＫとＶＣＯ５１４の出力信号の位相差に応じた電圧レベルである。ＶＣＯ５１４は、奇数段のインバータ５１５ａ〜５１５ｃで構成されており、リングオシレータとして発振動作を行なう。
インバータ５１５ａ〜５１５ｃの動作速度は、ＭＯＳトランジスタ５１６ａ〜５１６ｃおよび５１７ａ〜５１７ｃを介して与えられる動作電流により決定される。動作電流が大きければインバータ５１５ａ〜５１５ｃが高速で動作し、その発振周波数が高くなる。一方、動作電流が小さくなれば、インバータ５１５ａ〜５１５ｃの動作速度が遅くなり、発振周波数が低下する。このＭＯＳトランジスタ５１６ａ〜５１６ｃを流れる電流量は、ループフィルタ５１３に含まれるキャパシタＣの充電電圧により決定される。キャパシタＣの充電電圧が高ければ、ＭＯＳトランジスタ５１６ａ〜５１６ｃのゲート電位が高くなり動作電流が低下する。一方、このローパスフィルタ５１３のキャパシタＣの充電電位が低くなれば、ＭＯＳトランジスタ５１６ａ〜５１６ｃのゲート電位が低下し、インバータ５１５ａ〜５１５ｃの動作電流が増加する。ＭＯＳトランジスタ５１４ａを流れる電流はＭＯＳトランジスタ５１４ｂを介して流れる。ＭＯＳトランジスタ５１４ｂは、ＭＯＳトランジスタ５１７ａ〜５１７ｃとカレントミラー回路を構成する。したがって、ＭＯＳトランジスタ５１４ａおよび５１４ｂを流れる電流と同じ大きさの電流がＭＯＳトランジスタ５１６ａ〜５１６ｃおよびＭＯＳトランジスタ５１７ａ〜５１７ｃを介して流れる。この位相比較器５１１における位相比較動作に従ってループフィルタ５１３に含まれるキャパシタＣの電圧レベルが最終的に安定化し、ＶＣＯ５１４の出力信号がクロック信号ＣＬＫと位相同期した状態に至る。
クロック信号ＣＬＫの周波数が高い場合には、ＶＣＯ５１４が高速で発振動作を行なうため、ローパスフィルタ５１３に含まれるキャパシタＣの充電電位は低くなる。一方、クロック信号ＣＬＫの周波数が低い場合には、ＶＣＯ５１４の発振周波数が応じて低くなるため、ローパスフィルタフィルタ５１３のキャパシタＣの充電電位が高くなる。このループフィルタ５１３のキャパシタＣの充電電位をＡ／Ｄコンバータ５２０ａで選択情報に変換する。このＡ／Ｄコンバータ５２０ａからの選択情報に従って、図９５に示す基準電圧発生回路５００から出力される基準電圧Ｖｒｅｆａ〜Ｖｒｅｆｄを選択する。これにより、クロック信号ＣＬＫの周波数、すなわち半導体装置の動作速度に応じた基準電圧を選択することができる。
なお、図９６に示す周波数検出器５１０に含まれるチャージポンプ回路およびループフィルタ５１３の構成は単なる一例であり、他の回路構成が用いられてもよい。クロック信号ＣＬＫの周波数に対応する電圧が与えられればよい。
［変更例］
図９７は図９５に示す選択情報発生器の他の構成を示す図である。図９７に示す構成においては、選択情報発生回路５２０は、図９６に示すＶＣＯ５１４における動作電流をモニタして選択情報を発生する。
すなわち、選択情報発生器５２０は、ＶＣＯ５１４に含まれるＭＯＳトランジスタ５１４ａのゲート電位（図９６に示すループフィルタ５１３のキャパシタＣの充電電位）をゲートに受けるｐチャネルＭＯＳトランジスタ５２１ａと、ＭＯＳトランジスタ５２１ａを電流源として動作するダイオード接続されたｎチャネルＭＯＳトランジスタ５２１ｂと、基準電圧Ｖｒｅｆａ〜Ｖｒｅｆｄそれぞれに対応して設けられる電流源５２２ａ〜５２２ｄと、電流源５２２ａ〜５２２ｄそれぞれに対応して設けられるｎチャネルＭＯＳトランジスタ５２３ａ〜４２３ｄを含む。ＭＯＳトランジスタ５２３ａ〜５２３ｄは、各ゲートがＭＯＳトランジスタ５２１ｂのゲートに接続され、カレントミラー回路のスレーブ段を構成する。電流源５２２ａ〜５２２ｄは、それぞれ互いに異なる大きさの電流ｉａ〜ｉｄを供給する。次に動作について説明する。
今、電流源５２２ａ〜５２２ｄが供給する定電流ｉａ〜ｉｄが、以下の条件を満足すると仮定する。
ｉａ＞ｉｂ＞ｉｃ＞ｉｄ
ＭＯＳトランジスタ５２１ａには、ＶＣＯ５１４におけるリングオシレータの動作電流に対応する電流が流れる。ＭＯＳトランジスタ５２１ｂにおいても、このＭＯＳトランジスタ５２１ａから供給される電流Ｉが流れる。ＭＯＳトランジスタ５２１ｂは、カレントミラー回路のマスター段を構成しており、カレントミラー回路のスレーブ段を構成するＭＯＳトランジスタ５２３ａ〜５２３ｄには、この電流Ｉと同じ大きさの電流が流れる（ＭＯＳトランジスタ５２１ｂおよびＭＯＳトランジスタ５２３ａ〜５２３ｄは同じサイズとする）。今、この電流Ｉが、定電流ｉａ〜ｉｄのすべてよりも大きい場合、ＭＯＳトランジスタ５２３ａ〜５２３ｄは、対応の電流源５２２ａ〜５２２ｄから供給される電流よりも大きな電流を放電する。したがって、このＭＯＳトランジスタ５２３ａ〜５２３ｄの出力ノード（ドレイン端）の電位はローレベルとなる。一方、電流Ｉが、一定電流ｉａ〜ｉｄすべてよりも小さい場合には、ＭＯＳトランジスタ５２３ａ〜５２３ｄは、対応の定電流源５２２ａ〜５２２ｄから供給される定電流ｉａ〜ｉｄをそれぞれ接地ノードへ放電することができない。したがって、この場合には、ＭＯＳトランジスタ５２３ａ〜５２３ｄのドレイン端子の電位はハイレベルとなる。すなわち、ＭＯＳトランジスタ５２３ａ〜５２３ｄのドレイン端子の電位レベルは、ＭＯＳトランジスタ５２１ｂを流れる電流Ｉと対応の定電流源５２２ａ〜５２２ｄから与えられる定電流ｉａ〜ｉｄの大きさにより決定される。これにより、その選択情報発生回路５２０からは、電流Ｉに従って基準電圧を選択する情報を出力することができる。
なお、この図９７に示す選択情報発生回路５２０の構成において、出力段に、さらに増幅回路が設けられていてもよい。電流Ｉと定電流ｉａ〜ｉｄの差が小さい場合、微小な電位差を増幅して正確に基準電圧選択情報を出力することができる。
［変更例］
図９８は、この発明の第２１の実施例による内部電源電圧発生回路の変更例の構成を示す図である。この図９８に示す内部電源電圧発生回路の構成において、先の図９５に示す構成と同様、外部から動作速度を示すクロック信号ＣＬＫが与えられ、このクロック信号ＣＬＫの周波数に従って基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルを調整する。周波数情報を検出するための構成としては、先の図９６に示す構成と同様の構成が用いられる。
すなわち、図９８において、周波数情報を検出する周波数情報検出手段としてのＶＣＯ５１４と、このＶＣＯ５１４に含まれるＭＯＳトランジスタ５１４ｂを流れる電流量を検出することにより、基準電圧レベル調整情報を出力する基準電圧レベル調整回路５５０と、基準電圧レベル調整回路５５０からの供給電流に従ってその電圧レベルが設定される基準電圧Ｖｒｅｆを発生する基準電圧発生回路５４０を含む。この基準電圧発生回路５４０からの基準電圧Ｖｒｅｆが、内部電源電圧ＶＣＩと基準電圧Ｖｒｅｆとを比較する比較器２３３０へ与えられる。比較器２３３０の出力信号は図示しないドライブ素子のゲートへ与えられる。
基準電圧発生回路５４０は、電圧源ノード１に結合され、一定の電流を供給する定電流源５４１と定電流源５４１に直列に接続される抵抗素子５４２を含む。 レベル調整回路５５０は、ＶＣＯ５４０に含まれるＭＯＳトランジスタ５１４ｂのゲートおよびドレインの電位をゲートに受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタ５５３と、ｎチャネルＭＯＳトランジスタ５５３と直列に電源ノード（外部電源ノードまたは内部電源ノードいずれであってもよい）の間に直列に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタ５５１と、ｐチャネルＭＯＳトランジスタ５５１とカレントミラー回路を構成するｐチャネルＭＯＳトランジスタ５５２を含む。ＭＯＳトランジスタ５５１のゲートおよびドレインが相互接続される。このＭＯＳトランジスタ５５２の出力ノード（ドレイン端子）が基準電圧発生回路５４０に含まれる抵抗素子５４２の一方端に接続される。次に動作について説明する。 クロック信号ＣＬＫの周波数が大きい場合、周波数情報検出器５１０に含まれるＶＣＯ５１４におけるＭＯＳトランジスタ５１４ｂを流れる電流が大きくなり、応じてレベル調整回路５５０に含まれるＭＯＳトランジスタ５５３を介して流れる電流が大きくなる。ＭＯＳトランジスタ５５３を介して流れる電流は、ＭＯＳトランジスタ５５１から供給される。このＭＯＳトランジスタ５５１を介して流れる電流は、ＭＯＳトランジスタ５５２により鏡映され、このレベル調整回路５５０から、ＶＣＯ５１４とＭＯＳトランジスタ５１４ｂを流れる電流に対応する大きさの電流が基準電圧発生回路５４０の抵抗素子５４２へ与えられる。基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルは、定電流源５４１から与えられる電流とこのレベル調整回路５５０から与えられる電流の合成電流値と抵抗素子５４２における抵抗値とによって決定される。したがって、この場合には、抵抗素子５４２を介して流れる電流値が大きくなり、基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルが増加する。一方、クロック信号ＣＬＫが低周波数の場合、ＭＯＳトランジスタ５１４ｂを介して流れる電流は小さくされ、応じてレベル調整器５５０から抵抗素子５４２へ供給される電流量が低下する。これにより、基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルが低くなる。すなわち、クロック信号ＣＬＫが高周波数であり、半導体装置が高速動作する場合には、基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルが高くされ、一方クロック信号ＣＬＫの周波数が低く、半導体装置が低速動作する場合には、基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルが低くされる。これにより、半導体装置（半導体記憶装置）の動作速度に応じて基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルを設定することができる。すなわち、高速動作時においては、内部電源線上の電源電圧ＶＣＩの電圧レベルが高くされ、半導体装置の高速動作が可能となる。
以上のように、この発明の第２１の実施例の構成に従えば、半導体装置の動作速度を規定するクロック信号の周波数を検出し、その検出したクロック信号の周波数に応じて内部電源電圧の電圧レベルを決定する基準電圧Ｖｒｅｆの電圧レベルを設定しているため、半導体装置の動作速度に応じて適切な電圧レベルに内部電源電圧ＶＣＩを設定することができ、安定に動作する半導体装置（半導体記憶装置）を実現することができる。基準電圧Ｖｒｅｆを高くした場合に高速動作が安定に実現されるのは先の実施例の場合と同様の理由による。
［実施例２２］
図９９は、この発明の第２２の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。図９９に示す構成においては、一旦、電源電圧よりも高い電圧ＶＰＰ′を生成し、この電圧ＶＰＰ′から必要とされる高電圧ＶＰＰを生成する。
すなわち、図９９において、半導体装置は、高圧線６００上に必要とされる電圧レベルの高電圧ＶＰＰ′を発生する昇圧電圧発生回路６１０および６１５と、第２の高圧線６０２上の高電圧ＶＰＰと基準電圧Ｖｒｅｆｈとを比較する比較器６０４と、比較器６０４の出力信号に従って第１の高圧線６００から第２の高圧線６０２へ流れる電流量を調整するｐチャネルＭＯＳトランジスタで構成されるドライブ素子６０５と、動作タイミング信号ＥＮに応答して活性化され、活性化時第２の高電圧線６０２上の高電圧ＶＰＰと基準電圧Ｖｒｅｆｈとを比較する比較器６０６と、比較器６０６の出力信号に従って第１の高電圧線６００から第２の高電圧線６０２へ流れる電流量を調整するｐチャネルＭＯＳトランジスタで構成される第２のドライブ素子６０７と、第１の高電圧線６００上の電圧レベルを検出し、その検出結果に従って昇圧電圧発生回路６１０の昇圧電圧発生を選択的に停止または弱くさせるレベル検出器６２０を含む。昇圧電圧発生器６１５は、比較器６０６の出力信号に従ってその発振周波数が変化するリングオシレータ６１６と、リングオシレータ６１６からのクロック信号に従ってチャージポンプ動作を行なって高電圧ＶＰＰ′を発生するチャージポンプ６１８を含む。次に動作について、この図９９に示す半導体装置の動作波形図である図１００を用いて説明する。
基準電圧Ｖｒｅｆｈは内部電源電圧ＶＣＩよりも高い電圧レベルであり、定電流源と抵抗素子を高電圧ＶＰＰ′供給ノード（第１の高電圧線６００）と接地ノードとの間に接続することにより生成することができる。この基準電圧Ｖｒｅｆｈは、第２の高電圧ＶＰＰの電圧レベルを設定する。動作タイミング信号ＥＮが非活性状態のとき、第２の高電圧線６０２上の電圧ＶＰＰを使用する負荷回路（図示せず）はスタンバイ状態にあり、この第２の高電圧線６０２上の電圧ＶＰＰは利用されず、ほぼ基準電圧Ｖｒｅｆｈの電圧レベルを維持する。このスタンバイサイクル時においては、比較器６０４およびドライブ素子６０５により、この高電圧ＶＰＰの電圧レベルの調整動作が実行される。昇圧電圧発生回路６１０はレベル検出器６２０の制御の下に昇圧動作を実行しており、この第１の高電圧線６００上の高電圧ＶＰＰ′を所定の電圧レベルに維持する。昇圧電圧発生回路６１５では、比較器６０６が非動作状態であり、リングオシレータ６１６の動作電流が極めて少なくされ、ほぼ発振動作を停止しているかまたは極めて低速で動作している。チャージポンプ６１８、このリングオシレータ６１６からの出力信号に従ってチャージポンプ動作を行なうために、この状態においてはほとんどチャージポンプ動作は行なっていない。
動作タイミング信号ＥＮが活性状態とされると、所定のタイミングで図示しない負荷回路が動作し、第２の高電圧線６０２から電流がこの動作する負荷回路により消費され、高電圧ＶＰＰの電圧レベルが低下する。この低下時においては、比較回路６０６の出力信号のレベルが低下し、ドライブ素子６０７を介して比較的大きな駆動力を持って第１の高電圧線６００から第２の高電圧線６０２へ電流が供給され、この第２の高電圧ＶＰＰの電位低下が補償される。第２の高電圧線６０２への電流供給により、第１の高電圧線６００上の高電圧ＶＰＰ′の電圧レベルが低下したとき、レベル検出器６２０の出力信号に従って昇圧電圧発生回路６１０が昇圧動作を行ない、高速でこの第１の高電圧線６００上の高電圧ＶＰＰ′を所定の電圧レベルに復帰させる。また比較器６０６の出力信号に従って、昇圧電圧発生回路６１５に含まれるリングオシレータ６１６の発振周波数が大きくされ、チャージポンプ６１８により、またこの第１の高電圧線６００へ電荷が供給され、第１の高電圧ＶＰＰ′が所定電圧レベルに高速で復帰する。第２の高電圧線６０２上の高電圧ＶＰＰを使用する回路は安定に高電圧ＶＰＰを供給されて動作する。常時動作する比較器６０４と動作タイミング信号ＥＮの活性化時のみ動作する比較器６０６とを設け、これらによりドライブ素子６０５および６０７を駆動する構成とすることにより、第２の高電圧線６０２上の高電圧ＶＰＰの電圧レベルが低下するとき、大きな電流駆動力を有するドライブ素子６０７を用いて第１の高電圧線６００から第２の高電圧線６０２へ電流を供給することにより、先の実施例における内部電源電圧ＶＣＩの電圧レベルと同様、安定な電圧レベルを維持する高電圧ＶＰＰを供給することができる。またレベル検出器６２０および昇圧電圧発生回路６１５により、この第１の高電圧線６００から第２の高電圧線６０２へ電流が流れ、高電圧ＶＰＰ′が低下する場合においても、高電圧ＶＰＰ′が急激に変化するのは、動作タイミング信号ＥＮの活性化時であり、２つの昇圧電圧発生回路６１０および６１５により、高速で第１の高電圧線６００上の高電圧ＶＰＰ′を所定電圧レベルに復帰させることができる。
図１０１は、図９９に示す昇圧電圧発生回路６１０およびレベル検出回路６２０の構成の一例を示す図である。図１０１においてレベル検出回路６２０は、第１の高電圧線６００とノード６２３の間に直列に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタ６２０ａ，６２０ｂおよび６２１と、ノード６２３と接地ノードの間に接続される抵抗素子６２２と、ノード６２３上の電位を増幅する２段の縦続接続されたインバータ６２３ａおよび６２３ｂを含む。
ｐチャネルＭＯＳトランジスタ６２０ａおよび６２０ｂは、ダイオード接続されており、導通時にはしきい値電圧の絶対値Ｖｔｈｐの電圧降下を生じささせる。ｐチャネルＭＯＳトランジスタ６２１は、そのゲートに内部電源電圧ＶＣＩを受ける。
昇圧電圧発生回路６１０は、２段のインバータ６１１ａおよび６１１ｂと、インバータ６１１ｂの出力信号とレベル検出回路６２０内のインバータ６２３ｂの出力信号を受ける２入力ＮＯＲゲート６１２と、このＮＯＲゲート６１２の出力信号に従ってチャージポンプ動作を行なうチャージポンプ６１４を含む。チャージポンプ６１４は、周知の回路で構成され、キャパシタのチャージポンプ動作により、高電圧ＶＰＰ′を発生する。チャージポンプ６１４は、効率的に高電圧ＶＰＰ′を発生するように、外部電源電圧を好ましく利用する。次に動作について説明する。
レベル検出器６２０において、ｐチャネルＭＯＳトランジスタ６２１は、そのゲート電位がソース電位よりもしきい値電圧の絶対値Ｖｔｈｐよりも低くなったときに導通する。一方、ＭＯＳトランジスタ６２０ａおよび６２０ｂは、導通時においては、しきい値電圧の絶対値Ｖｔｈｐの電圧降下を生じさせる。したがって、高電圧線６００上の電源電圧ＶＰＰ′が、ＶＣＩ＋３・Ｖｔｈｐ以上のときには、ＭＯＳトランジスタ６２０ａ，６２０ｂおよび６２１が導通し、抵抗素子６２２に電流が流れ、ノード６２３上の電位がハイレベルとされ、インバータ６２３ａおよび６２３ｂにより、ハイレベルの信号φＬが出力される。したがって、昇圧電圧発生回路６１０においては、ＮＯＲゲート６１２の出力信号がローレベルに固定され、チャージポンプ８１４はチャージポンプ動作が禁止される。
［昇圧電圧発生回路６１０の変更例］
図１０２は、昇圧電圧発生回路６１０の第１の変更例の構成を示す図である。図１０２において、昇圧電圧発生回路１０２は、クロック信号を発生するリングオシレータ６３０と、レベル検出信号φＬＶに応答してリングオシレータ６３０の出力信号を通過させるトランスファーゲート６３１ａと、トランスファーゲート６３１ａから伝達されたクロック信号を波形整形して出力するインバータドライバ６３２ａと、インバータドライバ６３２ａの出力信号に従ってチャージポンプ動作を行なうチャージポンプキャパシタ６３３ａと、レベル検出信号φＬＶに応答して、チャージポンプキャパシタ６３３ａにより供給された電荷を伝達するためのトランスファゲート６３４ａと、ノード６３７を、電圧源１に与えられる電圧レベル（しきい値電圧レベルの低い電圧レベル）にクランプするダイオード接続されたｎチャネルＭＯＳトランジスタ６３５と、ノード６３７に与えられた電荷を出力ノード６３８へ伝達するためのダイオード接続されたｎチャネルＭＯＳトランジスタで構成される出力ゲート６３６を含む。ＭＯＳトランジスタ６３５および６３６は、その基板領域が接地電圧レベルに固定される。ノード６３７の電位が高くなったとき、基板領域と不純物領域との間に形成されるＰＮ接合が順バイアス状態とされるのを防止する。
昇圧電圧発生回路６１０は、さらに、レベル検出信号φＬＶの相補な信号であるレベル検出信号φＺＬＶに応答してリングオシレータ６３０からのクロック信号を伝達するｎチャネルＭＯＳトランジスタで構成されるトランスファゲート６３１ｂと、トランスファゲート６３１ｂから与えられたクロック信号を波形整形するインバータドライバ６３２ｂと、インバータドライバ６３２ｂから与えられる信号に従ってチャージポンプ動作を行なうチャージポンプキャパシタ６３３ｂと、レベル検出信号φＺＬＶに応答してチャージポンプキャパシタ６３３ｂから与えられた電荷をノード６３７へ伝達するｎチャネルＭＯＳトランジスタで構成されるトランスファゲート６３４ｂを含む。ドライバ６３２ａおよびチャージポンプキャパシタ６３３ａの有する電荷駆動力は、インバータドライバ６３２ｂおよびキャパシタ６３３ｂが有する電荷駆動力よりも大きくされる。チャージポンプ動作において、クロック信号の１回の変化によりノード６３７へ与えられる電荷量は、チャージポンプキャパシタの容量、クロック信号の幅およびその電圧高さにより決定される。これらのパラメータを適当に定めてそれぞれの電荷供給力の大きさに違いがつけられる。
レベル検出信号φＬＶおよびφＺＬＶは、図１０２に示すレベル変換回路から出力される。ノード６３７の電位が高電圧ＶＰＰ′レベルとなるためである。すなわち、図１０２に示すように、信号φＬＶおよびφＺＬＶは、図１０１に示すレベル検出回路からのレベル検出信号φＬのレベルをノード６３８と接地ノードの間に接続されるレベル変換回路により生成する。このレベル変換回路は、レベル検出信号φＬをゲートに受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタ６３９ａと、レベル検出信号φＬを反転するインバータ６３９ｂと、インバータ６３９ｂの出力信号をゲートに受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタ６３９ｃと、ノード６３８とＭＯＳトランジスタ６３９ａの間に直列に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタ６３９ｄと、ノード６３８とＭＯＳトランジスタ６３９ｃの間に直列に接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタ６３９ｅを含む。ノード６３９ｆからレベル検出信号φＬＶが出力されてノード６３９ｅからレベル検出信号φＺＬＶが出力される。
このレベル変換回路においては、レベル検出信号φＬがハイレベルのとき、ＭＯＳトランジスタ６３９ａが導通状態、ＭＯＳトランジスタ６３９ｃが非導通状態とされ、ノード６３９ｆがＭＯＳトランジスタ６３９ｅによりノード６３８の電圧レベルまで充電され、ハイレベルとされる。一方、ノード６３９ｅは、ＭＯＳトランジスタ６３９ａにより放電されてローレベルとされる。これによりレベル変換されたレベル検出信号φＬＶおよびφＺＬＶが出力される。昇圧電圧レベルに変換して昇圧電圧発生回路の切換の信号を生成することにより、ＭＯＳトランジスタにおけるしきい値電圧損失を補償し、効率的に電荷を伝達することができる。
レベル検出信号φＬがハイレベルにあり、高電圧ＶＰＰ′が所定の電圧レベルよりも低い場合には、トランスファゲート６３１ａおよび６３４ａが導通し、トランスファゲート６３１ｂおよび６３４ｂがともに非導通状態とされる。この状態においては、駆動力の大きなインバータドライバ６３２ａおよび／または容量の大きなチャージポンプキャパシタ６３３ａによりチャージポンプ動作が行なわれ、電荷注入が効率的に行なわれ、ノード６３８の高電圧ＶＰＰ′が高速で所定電圧レベルにまで復帰される。
ノード６３８上の電圧ＶＰＰ′が所定の電圧レベル以上のときには、レベル検知信号φＬがローレベルとなり、応じてトランスファゲート６３１ａおよび６３４ａが非導通状態、トランスファゲート６３１ｂおよび６３４ｂが導通状態とされる。この状態において、インバータドライバ６３２ｂおよびチャージポンプキャパシタ６３３ｂで構成される比較的小さな電荷駆動力を有する回路部分が動作し、ノード６３７に対するチャージポンプ動作が行なわれる。この状態においては、単に出力ノード６３８から出力される高電圧ＶＰＰ′の電圧レベルを維持することが行なわれるだけである。
上述のように、高電圧ＶＰＰ′の電圧レベルに応じて昇圧電圧発生回路の電荷供給力を切換えることにより、低消費電流でかつ安定に高電圧ＶＰＰ′を供給することができる。インバータドライバ６３２ｂの駆動力が小さく、その消費電流が小さくされるために低消費電流特性が実現される。
なお、図１０２に示すリングオシレータ６３０は、奇数段のインバータで構成される。
［昇圧電圧発生回路の変更例２］
図１０３は、図９９に示す昇圧電圧発生回路６１０の他の変更例を示す図である。この図１０３に示す構成においては、リングオシレータ６３０からのクロック信号を波形整形するインバータドライバ６３２と、インバータドライバ６３２の出力信号に従ってチャージポンプ動作を行なうチャージポンプキャパシタ６３３ａと、チャージポンプ動作により与えられたノード６３７の電荷を出力ノード６３８へ伝達する出力トランジスタ６２６が設けられる。図１０３においては、ノード６３７を所定電位にクランプするためのクランプトランジスタ（図１０２のトランジスタ６３５）は図面を簡略化するために示していない。この図１０３に示す構成においては、さらに、レベル検出信号φＬＶに応答して導通するトランスファゲート６４１ａおよび６４１ｂにより、チャージポンプキャパシタ６３３ａと並列にチャージポンプキャパシタ６３３ｂが接続される。すなわち、高電圧ＶＰＰ′が所定電圧レベルよりも低いとき、レベル検出信号φＬＶがハイレベルとなり、トランスファゲート６４１ａおよび６４１ｂが導通し、チャージポンプキャパシタ６３３ａと並列にチャージポンプキャパシタ６３３ｂが接続される。ノード６３７へ電荷を供給するチャージポンプキャパシタの容量が大きくなり、ノード６３７に蓄積される電荷量が増加する。Ｑ＝Ｃ・Ｖであり、インバータドライバ６３２が与える電圧変化量Ｖが一定であっても、チャージポンプキャパシタの容量値Ｃが増加するため、ノード６３７に蓄積される電荷量Ｑが増加するためである。これにより、出力トランジスタ６３６を介して多くの電荷が出力ノード６３８へ伝達され、高速で高電圧ＶＰＰ′を所定電圧レベルへ復帰させることができる。
なお、図１０７に示す構成において、チャージポンプキャパシタ６３３ａおよび６３３ｂの容量値が互いに異なり、レベル検出信号φＬＶに従って、一方のチャージポンプキャパシタのみを用いてチャージポンプ動作が行なわれるように構成されてもよい。
［昇圧電圧発生回路６１０の変更例３］
図１０４は、図９９に示す昇圧電圧発生回路６１０のさらに他の構成を示す図である。図１０４に示す構成においては、チャージポンプ動作を駆動するためのインバータドライバとして、インバータドライバ６３２ａおよび６３２ｂが用いられる。インバータドライバ６３２ａは、その入力部がトランスファゲート６４２ａを介してリングオシレータ６３０の出力部（インバータドライバ６３２ａの入力部）に接続され、かつその出力部がトランスファゲート６４２ｂを介してインバータドライバ６３２ａの出力部に接続される。トランスファゲート６４２ａおよび６４２ｂは、ｎチャネルＭＯＳトランジスタで構成され、レベル検出信号φＬＶに応答して導通する。この図１０４に示す構成においても、ノード６３７を所定電圧レベルにプリチャージするためのダイオード接続されたトランジスタは図面を簡略化するために示していない。
この図１０４に示す構成においては、高電圧ＶＰＰ′が所定電圧レベルよりも低いときに、レベル検出信号φＬＶがハイレベルとなり、トランスファゲート６４２ａおよび６４２ｂが導通する。リングオシレータ６３０からのクロック信号が２つのインバータドライバ６３２ａおよび６３２ｂへ与えられ、その出力信号がチャージポンプキャパシタ６３３の一方電極へ与えられる。このため、チャージポンプキャパシタ６３３の一方電極へは、２つのインバータドライバ６３２ａおよび６３２ｂから電荷が供給されるため、応じてチャージポンプ動作によりその２つのドライバ６３２ａおよび６３２ｂから与えられた電荷に対応する電荷量がノード６３７へ伝達される。したがって、この場合においても、ノード６３７へ与えられる電荷量が大きくなり、出力トランジスタ６３６を介して出力ノード６３８へ伝達される電荷量が応じて大きくなり、高速で高電圧ＶＰＰ′を所定電圧レベルへ復帰させることができる。レベル検出信号φＬＶがローレベルとなり、高電圧ＶＰＰ′が所定電圧レベル以上のときには、トランスファゲート６４２ａおよび６４２ｂがともに非導通状態とされ、リングオシレータ６３０の出力信号（クロック信号）はインバータドライバ６３２ａのみへ与えられる。したがってこの場合においては、インバータドライバ６３２ａおよびチャージポンプキャパシタ６３３のみに従ってチャージポンプ動作が行なわれ、高電圧ＶＰＰ′の電圧レベルの保持動作が行なわれる。
なおこの図１０４に示す構成においても、インバータドライバ６３２ａおよび６３２ｂの駆動力が互いに異なるとき、レベル検出信号φＬＶの論理レベルに従って一方のインバータドライバのみが動作する構成が用いられてもよい。
この図１０４に示す構成においては、高電圧ＶＰＰ′が所定電圧レベル以上のときには、１つのインバータドライバのみが動作し、応じて消費電流を低減することができる。また高電圧ＶＰＰ′が所定電圧レベルよりも低くなった場合には、２つのインバータドライバが動作しており、高速で高電圧ＶＰＰ′を所定電圧レベルで復帰させることができる。
［昇圧電圧発生回路の変更例４］
図１０５は、図９９に示す昇圧電圧発生回路６１０のさらに他の構成を示す図である。図１０５に示す構成においては、リングオシレータ６３０からのクロック信号を波形整形するインバータドライバ６３２と、このインバータドライバ６３２の出力信号に従ってチャージポンプ動作を行なうチャージポンプキャパシタ６３３により行なわれる。ノード６３７と出力ノード６３８の間に、２つの出力トランジスタ６３６ａおよび６３６ｂが配置される。出力トランジスタ６３６ｂは、レベル検出信号に従って導通するトランスファゲート６４３ａおよび６４３ｂによりノード６３７および出力ノード６３８の間に接続される。
トランスファゲート６４３ａおよび６４３ｂのゲートへは、レベル変換回路によりレベル変換されたレベル検出信号φＬＶが与えられる。このレベル変換回路は、レベル検出信号φＬＶをゲートに受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタ６４４ａと、レベル検出信号φＬＶの反転信号φＺＬをゲートに受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタ６４４ｂと、ノード６３７とノード６４４ｅの間に接続され、かつそのゲートがノード６４４ｆに接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタ６４４ｃと、ノード６３７とノード６４４ｆの間に接続され、そのゲートがノード６４４ｅに接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタ６４４ｄを含む。ノード６４４ｆからトランスファゲート６４３ａおよび６４３ｂのゲートへ与える信号が出力される。なお、この図１０５に示す構成においても、ノード６３７を所定電圧レベルにクランプするためのダイオード接続されたトランジスタ（図１０２のトランジスタ６３５）は図面を簡略化するために示していない。
ノード６３８から出力される高電圧ＶＰＰ′が所定電圧レベル以上のとき、レベル検出信号φＬはローレベル、レベル検出信号φＺＬがハイレベルである。この状態においては、ノード６４４ｆは接地電圧レベルのローレベルとなり、トランスファゲート６４３ａおよび６４３ｂはともにオフ状態とされる。したがって、この状態においては、リングオシレータ６３０、インバータドライバ６３２およびチャージポンプキャパシタ６３３によりノード６３７へ伝達された電荷は、出力トランジスタ６３６ａのみを介して出力ノード６３８へ伝達される。したがってこの状態においては、比較的緩やかに電荷供給動作が行なわれ、高電圧ＶＰＰ′の電圧レベルの維持のみが行なわれる。
出力ノード６３８からの高電圧ＶＰＰ′が所定電圧レベルよりも低くなったときには、レベル検出信号φＬがハイレベル、レベル検出信号φＺＬがローレベルとなる。この状態においては、レベル変換回路においてノード６４４ｅの電圧レベルが接地電圧レベルのローレベルとなり、ＭＯＳトランジスタ６４４ｄが導通しノード６４４ｆの電位はノード６３７の電位レベルとされる。ノード６３７の電位レベルは、チャージポンプキャパシタ６３３のチャージポンプ動作によりその電圧レベルが変化する。したがって、このトランスファゲート６４３ａおよび６４３ｂへ与えられるゲート電圧が、このノード６３７上の電位レベルに応じて変化する。チャージポンプキャパシタ６３３によりチャージポンプ動作が行なわれてノード６３７の電位が上昇したとき、ノード６３７の電位レベルは出力ノード６３８の電位レベルよりも高い（出力トランジスタ６３６ａのしきい値電圧分ノート６３７の電位が高い）、トランスファゲート６４３ａおよび６４３ｂがオン状態とされ、ノード６３７および出力ノード６３８の間に出力トランジスタ６３６ｂが接続される。これにより、ノード６３７に蓄積された電荷は出力トランジスタ６３６ａおよび６３６ｂを介して出力ノード６３８へ伝達されることになり、ノード６３７から出力ノード６３８へ高速でかつ効率的に電荷が伝達され、高電圧ＶＰＰ′の電圧レベルが高速で変化する。
インバータドライバ６３２の出力信号がローレベルとされ、ノード６３７の電位が低下するとき、出力トランジスタ６３６ａが逆バイアス状態とされ、非導通状態となる。このとき、またトランスファゲート６４３ｂが、そのゲート電位が仮にトランスファゲート６４３ａおよび６４３ｂが導通状態にあっても、出力トランジスタ６３６ｂが逆バイアス状態とされて、この出力トランジスタ６３６ｂが非導通状態とされる。またこのとき、トランスファゲート６４３ｂは、そのゲート電位がドレイン（出力ノード６３８の電位）よりも低くなり、抵抗素子として作用し、この出力ノード６３８から出力トランジスタ６３６ｂへ電荷が流れるのを抑制する。
以上のように、図１０５に示す構成のように、高電圧ＶＰＰ′が所定電圧レベルよりも低い場合には、１つの出力トランジスタにより、内部ノード６３７から出力ノード６３８へ電荷を供給することにより、出力ノード６３８へ伝達される電荷量の伝達速度が速くなり、出力ノード６３８への電荷注入効率が大きくされ、高速で高電圧ＶＰＰ′を所定電圧レベルへ供給させることができる。
［昇圧電圧発生回路６１５の構成］
図１０６は、図９９に示す昇圧電圧発生回路６１５の具体的構成を示す図である。この図１０６においては、リングオシレータ６１６の部分の構成を示し、チャージポンプ６１８の具体的構成は示していない。このチャージポンプ６１８の構成は、先の図１０２ないし図１０５に示したチャージポンプと同様で、インバータドライバおよびチャージポンプキャパシタ、および出力用のダイオード接続されたトランジスタおよびクランプ用のダイオード接続されたトランジスタを備える。ここでは、チャージポンプ６１８の電荷供給能力は、固定的に設定されると想定する。
図１０６において、リングオシレータ６１６は、電圧源ノード１に結合され、比較器６０６の出力信号に従って電流を供給するｐチャネルＭＯＳトランジスタ６１０ａと、ｐチャネルＭＯＳトランジスタ６１０ａと接地ノードとの間に接続されるダイオード接続されたｎチャネルＭＯＳトランジスタ６１０ｂと、電圧源ノード１に結合され、それぞれが比較器６０６の出力信号をゲートに受けるｐチャネルＭＯＳトランジスタ６５１ａ〜６５１ｅと、ｐチャネルＭＯＳトランジスタ６５１ａ〜６５１ｅそれぞれから動作電流を供給される奇数段のインバータ６５２ａ〜６５２ｅと、インバータ６５２ａ〜６５２ｅそれぞれに対応して設けられ、対応のインバータ６５２ａ〜６５２ｅの接地ノードへの放電電流を供給するｎチャネルＭＯＳトランジスタ６５３ａ〜６５３ｅを含む。ＭＯＳトランジスタ６５３ａ〜６５３ｅのゲートは、ＭＯＳトランジスタ６１０ｂのゲートに接続される。すなわち、ＭＯＳトランジスタ６１０ｂおよび６５３ａ〜６５３ｅは、ＭＯＳトランジスタ６５０ｂをマスタ段とするカレントミラー回路を構成する。このインバータ６５２ｅから、チャージポンプ６１８へ与えられるクロック信号が出力される。次に動作について説明する。
ｐチャネルＭＯＳトランジスタ６１０ａは、比較器６０６の出力信号の電圧レベルに応じた電流をＭＯＳトランジスタ６１０ｂへ供給する。同様に、ＭＯＳトランジスタ６５１ａ〜６５１ｅも、この比較器６０６の出力信号に応じた電流を電圧源１から対応のインバータ６５２ａ〜６５２ｅへ供給する。ＭＯＳトランジスタ６５３ａ〜６５３ｅは、ＭＯＳトランジスタ６１０ｂを流れる電流と同じ大きさの電流の流れを生じさせる（これらのＭＯＳトランジスタ６５０ｂおよび６５３ａ〜６５３ｂのサイズが同じとき）。また、ＭＯＳトランジスタ６５０ａおよび６５１ａ〜６５１ｅもそのサイズが同じであるとする。
比較器６０６の出力信号がハイレベルのとき、ｐチャネルＭＯＳトランジスタ６１０ａおよび６５１ａ〜６５１ｅを流れる電流量は小さいかまたはほとんど生じない。同様に、ＭＯＳトランジスタ６１０ｂは、ＭＯＳトランジスタ６１０ａから電流を供給され、このＭＯＳトランジスタ６１０ａを流れる電流と同じ大きさの電流の流れを生じさせる。したがって、ＭＯＳトランジスタ６５３ａ〜６５３ｅにおいても、ＭＯＳトランジスタ６５１ａ〜６５１ｅと同じ大きさの電流が流れる。したがって、この状態においては、インバータ６５２ａ〜６５２ｅは、その動作電流が極めて小さいかまたはほとんどなく、きわめて低速で動作し、このインバータ６５２ｅから出力されるクロック信号周波数はきわめて小さいか、またはほとんど発振動作が行なわれない。この状態においては、チャージポンプ６１８は、ほとんどチャージポンプ動作を行なわないか、またはきわめて緩やかなチャージポンプ動作を行なっている。この比較器６０６の出力信号がハイレベルのときは、高電圧ＶＰＰの電圧レベルが高い状態にあり、ドライブ素子を介して高圧線６００から別の高圧線６０２へ電流を供給する必要のないときである。したがってこの状態においては、リングオシレータ６１６の発振周波数をきわめて低くし、昇圧電圧発生動作を停止させるかまたはきわめて緩やかに動作させる。この状態は、また比較器６０６が動作タイミング信号ＥＮが非活性状態において非活性化時においては、比較器６０６の出力信号はほぼ電圧源レベルのハイレベルにあり、ＭＯＳトランジスタ６１０ａおよび６５１ａ〜６５１ｂはほぼオフ状態にあり、リングオシレータ６１６の発振動作は停止される（動作電流の供給が行なわれないため）。
動作タイミング信号ＥＮが活性状態とされ、比較器６０６が活性状態となると、高電圧ＶＰＰはその負荷回路の動作により（急激に）変化する。この状態において、比較器６０６の出力信号のレベルが低下し、応じてＭＯＳトランジスタ６１０ａおよび６５１ａ〜６５１ｅを流れる電流量が増加し、応じてＭＯＳトランジスタ６１０ｂおよび６５３ａ〜６５３ｅを流れる電流が増加する。インバータ６５２ａ〜６５２ｅの動作電流が増加し、インバータ６５２ａ〜６５２ｅの動作速度が増加する。これにより、インバータ６５２ｅから出力されるクロック信号の周波数が増加し、チャージポンプ６１８が高速でチャージポンプ動作を行ない、高速で電荷を生成して、第１の高電圧線６００へ電荷を供給し、この高電圧ＶＰＰ′の電位レベルを上昇させる。この一連の動作により、高電圧ＶＰＰ低下時における高電圧ＶＰＰ′の低下を抑制し、応じて高電圧ＶＰＰをドライブ素子６０７（図９９参照）を介して所定電圧レベルに復帰させる。
また、リングオシレータ６１６およびチャージポンプ６１８の動作電圧源として、電圧源ノード１を用いることによって、内部電源電圧を用いる場合よりも、そのクロック信号の振幅を大きくすることができ、またチャージポンプにおける内部ノードのクランプ電位を高くすることができ、応じて効率的に高電圧ＶＰＰ′を発生することができる。この昇圧電圧発生回路は、図９９に示す昇圧電圧発生回路６１０に用いられてもよい。
［昇圧電圧発生回路の変更例１］
図１０７は、図９９に示す昇圧電圧発生回路の他の構成を示す図である。図１０７に示す構成においては、第１の高電圧ＶＰＰおよび第２の高電圧ＶＰＰ′のいずれの電圧レベルの変動が検出されてもよい。
図１０７において、昇圧電圧発生回路は、高電圧線６６０（第１または第２の高電圧線）の電圧レベルを検出するレベル検出器６７０と、このレベル検出器６７０の検出信号に応答して、その発振周波数が変化するリングオシレータ６８０を含む。リングオシレータ６８０の出力信号は図示しないチャージポンプへチャージポンプ動作駆動用のクロック信号として与えられる。
レベル検出器６７０は、一例として、３つの電圧レベル検出部６７２，６７４および６７６を含む。第１のレベル検出部６７２は、高電圧ノード６６０に直列に接続される、それぞれがダイオード接続されたｎチャネルＭＯＳトランジスタ６７２ａおよび６７２ｂと、ＭＯＳトランジスタ６７２ｂと接地ノードとの間に接続される電流源６７２ｃと、電圧源ノード１に結合されて電流を供給する電流源６７２ｄと、電流源６７２ｄからの電流を受けかつそのゲートがＭＯＳトランジスタ６７２ｂのゲートに接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタ６７２ｅと、ＭＯＳトランジスタ６７２ｅと接地ノードとの間に接続される電流源６７２ｆを含む。電流源６７２ｃおよび６７２ｆの電流供給量は、電流源６７２ｄの供給する電流よりも大きくされる。
第２のレベル検出部６７４は、高電圧ノード６６０に直列に接続される、それぞれがダイオード接続されたｎチャネルＭＯＳトランジスタ６７４ａ〜６７４ｃと、ＭＯＳトランジスタ６７４ｃと接地ノードの間に接続される電流源６７４ｄと、電圧源ノード１から電流を供給する電流源６７４ｅと、電流源６７４ｅから電流を供給されかつそのゲートがＭＯＳトランジスタ６７４ｃのゲートに接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタ６７４ｆと、ＭＯＳトランジスタ６７４ｆと接地ノードとの間に接続される電流源６７４ｅを含む。電流源６７４ｅの電流供給量は、電流源６７４ｄおよび６７４ｆそれぞれの電流供給量よりも小さくされる。
第３のレベル検出器６７６は、高電圧ノード６６０に直列に接続されかつそれぞれがダイオード接続されたｎチャネルＭＯＳトランジスタ６７６ａ〜６７６ｄと、ＭＯＳトランジスタ６７６ｄと接地ノードとの間に接続される電流源６７６ｅと、電圧源ノード１に結合され、電圧源ノード１から電流を供給する電流源６７６ｆと、電流源６７６ｆから電流を供給されかつそのゲートがＭＯＳトランジスタ６７６ｄのゲートに接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタ６７６ｇと、ＭＯＳトランジスタ６７６ｇと接地ノードとの間に接続される電流源６７６ｈを含む。電流源６７６ｆの供給電流量は、電流源６７６ｅおよび６７６ｈの電流供給量よりも小さくされる。レベル検出器６７０のレベル検出信号は、信号線６７３，６７４および６７５上に伝達される。
リングオシレータ６８０は、電圧源ノード１とノード６８２ｄの間に配置されるダイオード接続されたｐチャネルＭＯＳトランジスタ６８１ａと、ノード６８２ｄに互いに並列に接続され、かつそれぞれのゲートが信号線６７３，６７４および６７５に接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタ６８２ａ，６８２ｂおよび６８２ｃと、ＭＯＳトランジスタ６８２ａ〜６８２ｃそれぞれと接地ノードとの間に直列に接続される電流源６８３ａ，６８３ｂ，および６８３ｃを含む。
リングオシレータ６８０は、さらに、電圧源ノード１と接地ノードの間に直列に接合されるｐチャネルＭＯＳトランジスタ６８４ａと、ｎチャネルＭＯＳトランジスタ６８４ｂを含む。ＭＯＳトランジスタ６８４ａは、そのゲートがＭＯＳトランジスタ６８１ａのゲートに接続される。ＭＯＳトランジスタ６８４ｂは、そのゲートおよびドレインが相互接続される。
リングオシレータ６８０は、さらに、奇数段の縦列接続されるインバータ６８５ａ，６８５ｂ，６８５ｃ，６８５ｄおよび６８５ｅと、電圧源ノード１に結合されかつそのゲートがＭＯＳトランジスタ６８４ａのゲートに接続され、それぞれ対応のインバータ６８５ａ〜６８５ｅへ充電電流を供給するｐチャネルＭＯＳトランジスタ６８６ａ〜６８６ｅと、インバータ６８５ａ〜６８５ｅそれぞれと接地ノードとの間に配置され、かつそのゲートがＭＯＳトランジスタ６８４ｂのゲートに接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタ６８７ａ，６８７ｂ，６８７ｃ，６８７ｄおよび６８７ｅを含む。インバータ６８５ａ〜６８５ｅは、動作時においてリングオシレータを構成する。次に、動作について説明する。
第１のレベル検出器６７２は、高電圧ノード６６０の電圧レベルが第１の所定値（電流源６７２ｃの動作する電圧とＭＯＳトランジスタ６７２ａおよび６７２ｂのしきい値電圧の和）以上となったときに導通する。以下の説明において、説明を簡単にするため、電流源６７２ｃ，６７４ｄ，６７６ｅは、電圧ＶＴ以上の電圧が与えられたときに作動状態とされるとする。またＭＯＳトランジスタのしきい値電圧はすべてＶｔｈであるとする。
第１のレベル検出器６７２では、高電圧ノード６６０の電圧レベルがＶＴ＋２・Ｖｔｈ以上のときに、ＭＯＳトランジスタ６７２ａおよび６７２ｂが導通して、この経路に電流が流れる。応じてＭＯＳトランジスタ６７２ｅが導通し、電流源６７２ｄから供給される電流を、電流源６７２ｆが駆動する電流量に従って放電する。電流源６７２ｆの放電電流量は、電流源６７２ａが与える電流量よりも大きい。したがって、この場合には、信号線６７３上の電圧レベルはローレベルとなる。一方、高電圧ノード６６０の電圧がＶＴ＋２・Ｖｔｈよりも小さい場合には、このＭＯＳトランジスタ６７２ａおよび６７２ｂは非導通状態とされ、これらのＭＯＳトランジスタにおいては電流は流れない。応じて、ＭＯＳトランジスタ６７２ｅにおいても電流は流れない（ＭＯＳトランジスタ６７２ｅのゲート電位は、ＭＯＳトランジスタ６７２ｂのゲート電位と同じであり、電流が流れない場合、ローレベルである）。したがって、信号線６７３上の電位は電流源６７２ｄにより充電されてハイレベルとなる。
第２のレベル検出器６７４においては、高電圧ノード６６０の電圧レベルがＶＴ＋３・Ｖｔｈのときに、信号線６７４の電位がローレベルとなり、高電圧ノード６６０の電位がＶＴ＋３・Ｖｔｈよりも低い場合にはハイレベルとなる。
第３のレベル検出器６７６においては、高電圧ノード６６０の電圧レベルがＶＴ＋４・Ｖｔｈ以上のときに電流の流れが生じ、信号線６７５上の電位がローレベルとなり、高電圧ノード６６０の電位がＶＴ＋４・Ｖｔｈよりも低い場合には、電流源６７６ｆにより充電されてハイレベルとなる。
リングオシレータ６８０においては、ＭＯＳトランジスタ６８２ａ〜６８２ｃが信号線６７３〜６７５上の電位に応じて選択的に導通状態とされる。すなわち、信号線６７３上の電位がすべてハイレベルのとき、すなわち高電圧ノード６６０の電圧がＶＴ＋２・Ｖｔｈよりも低い場合には、ＭＯＳトランジスタ６８２ａ〜６８２ｃがすべて導通し、電流源６８３ａ〜６８３ｃによりＭＯＳトランジスタ６８１ａに大きな電流が流れる。一方、信号線６７３〜６７５上の電位がすべてローレベルのときには、すなわち高電圧ノード６６０上の電圧がＶＴ＋４・Ｖｔｈ以上のときには、ＭＯＳトランジスタ６８２ａ〜６８２ｃがすべて非導通状態とされ、ＭＯＳトランジスタ６８１ａには電流は流れない。
上述のような構成により、高電圧ノード６６０の電圧レベルに応じてリングオシレータの発振周波数を調整することにより、高速でこの高電圧ノード６６０の電位レベルを所定電位レベルに復帰させることができる。また高電圧ノード６６０の電圧レベルが高くされて高速動作が要求されない場合には、その動作電流を少なくすることにより応じて消費電流も低減することができる。
［昇圧電圧発生回路の変更例２］
図１０８は、図９９に示す昇圧電圧発生回路６１０または６１５の変更例の構成を示す図である。図１０８に示す構成においては、図１０７に示す構成と異なり、リングオシレータを構成するインバータの動作電流を与える駆動電流源６９０は、後に示すレベル検出器からのアナログ的に変化する制御信号により、その駆動電流量をアナログ的に変化させる。これにより、高電圧ノードの電圧レベルに応じてアナログ的にリング発振器の周波数を変化させる。
この図１０８において図１０７のリング発振器と対応する部分には同一参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
図１０９は、図１０８に示すリングオシレータの動作電流を調整するための信号を出力するレベル検出器７００の構成を示す図である。図１０９において、レベル検出器７００は、高電圧ノード６６０の電圧レベルに応じてその電流値が変化する低下電流ＩＢを供給する低下電流源７０２と、常時一定の電流を供給する一定電流源７０４と、低下電流源７０２および一定電流源７０４の出力信号を合成（引算）して図１０８に示す駆動電流源６９０の流れる電流量を調整する信号ＶＴを出力する引算回路７０６を含む。
低下電流源７０２は、電圧源ノード１に接続されるカレントミラー回路を構成するｐチャネルＭＯＳトランジスタ７０２ａおよび７０２ｂと、ＭＯＳトランジスタ７０２ａから電流を供給されるｎチャネルＭＯＳトランジスタ７０２ｃと、ＭＯＳトランジスタ７０２ｂから電流を供給される、抵抗接続されたｎチャネルＭＯＳトランジスタ７０２ｄと、ＭＯＳトランジスタ７０２ｃと接地ノードとの間に接続され、そのゲートに高電圧ノード６６０上の信号を受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタ７０２ｅを含む。ＭＯＳトランジスタ７０２ｄのゲートはＭＯＳトランジスタ７０２ｃのゲートに接続される。ＭＯＳトランジスタ７０２ｃの電流供給力（βまたはチャネル幅）はＭＯＳトランジスタ７０２ｄのそれよりも十分大きくされる。また、ＭＯＳトランジスタ７０２ａはそのゲートとドレインとが相互接続される。
一定電流源７０４は、電圧源ノード１に結合される、カレントミラー回路を構成するｐチャネルＭＯＳトランジスタ７０４ａおよびと７０４ｂと、ＭＯＳトランジスタ７０４ａから電流を供給されるｎチャネルＭＯＳトランジス７０４ｄと、ＭＯＳトランジスタ７０４ｂと接地ノードとの間に接続される抵抗接続されたｎチャネルＭＯＳトランジスタ７０４ｃと、ＭＯＳトランジスタ７０４ｄと接地ノードとの間に接続される抵抗素子７０４ｅを含む。ＭＯＳトランジスタ７０４ａのゲートとドレインは相互接続される。ＭＯＳトランジスタ７０４ｄの電流供給量は、ＭＯＳトランジスタ７０４ｃのそれよりも十分大きくされる。
引算回路７０６は、電圧源ノード１に結合され、そのゲートがＭＯＳトランジスタ７０４ａおよび７０４ｂのゲートに接続されるｐチャネルＭＯＳトランジスタ７０６ａと、ｐチャネルＭＯＳトランジスタ７０６ａから電流を供給され、一定の電流ＩＣを引抜くｎチャネルＭＯＳトランジスタ７０６ｃと、ＭＯＳトランジスタ７０６ａと接地ノードとの間に接続され、かつそのゲートがＭＯＳトランジスタ７０２ｃおよび７０２ｄのゲートに接続されるｎチャネルＭＯＳトランジスタ７０６ｂを含む。次に動作について説明する。
一定電流源７０４においては、ＭＯＳトランジスタ７０４ｃが飽和領域で動作し、そのドレイン電流Ｉは、２乗特性で表わされる。一方、ＭＯＳトランジスタ７０４ｄは十分大きな電流供給力を有しており、そのゲートソース間電位がそのほぼしきい値電圧Ｖｔｈレベルである。したがって、この抵抗素子７０４ｅには、ＭＯＳトランジスタ７０４ｄのソース電位に応じた電流が流れる。ＭＯＳトランジスタ７０４ｄへは、ＭＯＳトランジスタ７０４ａから電流を供給される。ＭＯＳトランジスタ７０４ａおよび７０４ｂはカレントミラー回路を構成している。したがって、このＭＯＳトランジスタ７０４ｄを流れる電流のミラー電流がＭＯＳトランジスタ７０４ｂおよび７０４ｃを介して流れる。最終的に、ＭＯＳトランジスタ７０４ｃへは、
Ｉｄ＝β（Ｖｇｓ（７０４）−Ｖｔｈ）2
で表わされる電流が流れる。Ｖｇｓ（７０４）はＭＯＳトランジスタ７０４ｃのゲート−ソース間電圧である。抵抗素子７０４ｅを介して流れる電流は、したがって、
Ｉ＝（Ｖｇｓ（７０４）−Ｖｔｈ）／Ｒ（７０４ｅ）
で表わされる電流が流れる。ただし、Ｒ（７０４ｅ）は抵抗７０４ｅの抵抗値を示す。最終的に、ＭＯＳトランジスタ７０４ａおよび７０４ｂのサイズが同じであれば、Ｉｄ＝Ｉとなり、ＭＯＳトランジスタ７０４ｅのゲート電位が一定となり、この一定電位Ｖｇｓ（７０４）と抵抗７０４ｅの抵抗値Ｒ（７０４ｅ）で与えられる電流が流れる。
低下電流源７０２においては、この一定電流源７０４の抵抗７０４ｅの代わりに、そのゲートが高電圧ノード６６０に接続されるＭＯＳトランジスタ７０２ｅが設けられる。したがって、このＭＯＳトランジスタ７０２ｅのチャネル抵抗が高電圧ノード６６０の電圧レベルに応じて変化する。したがって、この場合においては、同様の動作から、低下電流源７０２からは、高電圧ノード６６０の電圧レベルに応じた電圧ＩＢが流れる（ここで、ＭＯＳトランジスタ７０２ｄとＭＯＳトランジスタ７０６ｂはサイズが同じであるとする）。高電圧ノード６６０の電圧レベルが高くなれば、ＭＯＳトランジスタ７０２ｅのチャネル抵抗が低くなり、応じてこの低下電流ＩＢが増加する。一方、高電圧ノード６６０の電圧レベルが低下すれば、逆にＭＯＳトランジスタ７０２ｅのチャネル抵抗が大きくなり、低下電流ＩＢが低下する。
引算回路７０６においては、ＭＯＳトランジスタ７０６ａを介して一定電流源７０４により決定される大きさの電流ＩＡが流れる。この電流ＩＡは、一定値である。この一定電流ＩＡがＭＯＳトランジスタ７０６ｂおよび７０６ｃを介して流れる。このＭＯＳトランジスタ７０６ｂおよび７０６ｃを介して流れる電流ＩＢおよびＩＣは、ＩＡ＝ＩＢ＋ＩＣの関係を満たす。したがって、低下電流ＩＢが増加すれば、定電流ＩＣが減少し（ＶＴが低下し）、逆に低下電流ＩＢが減少すれば定電流ＩＣが増加する（ＶＴが増加する）。この定電流ＩＣは、駆動電流源６９０を構成するＭＯＳトランジスタを介して流れる。したがって、この図１０８に示す駆動電流源６９０の流れる電流を高電圧ノード６６０の流れる電流量を高電圧ノード６６０の電圧レベルに応じて調節することができ、応じてリングオシレータの発振周波数を調節することができる。
すなわち、図１１０に示すように、高電圧ノード６６０の電圧が一定値以上となったとき、各ＭＯＳトランジスタが導通し、各回路部分において電流が流れ、一定電流ＩＡが流れる。低下電流ＩＢは高電圧ノード６６０の電圧（ＶＰＰまたはＶＰＰ′）の電圧レベルが上昇するにつれて増加する。定電流ＩＥ（ＩＣ）は、その一定電流ＩＡと低下電流ＩＢの差で表わされるため、この電圧ノード６６０の高電圧（ＶＰＰまたはＶＰＰ′）の電圧レベルの上昇に従って減少する。これにより高電圧を発生するためのリングオシレータの発振周波数を高電圧の電圧レベルに応じて低くすることができる。
なお、このＭＯＳトランジスタ７０２ｅのゲートへは、図９９に示す比較器６０６の出力信号と相補な出力信号が与えられるように構成されてもよい。または、このＭＯＳトランジスタ７０２ｅにｐチャネルＭＯＳトランジスタを用い、このｐチャネルＭＯＳトランジスタのゲートへ図９９に示す比較器６０６の出力信号が与えられるように構成されてもよい。
またこの図１０８および図１０９に示すリングオシレータの発振周波数を調整する構成は、一般に、動作電源電圧の低下時に、その発振周波数が高くなるような構成に適用されてもよい。さらに、この図１０９に示す電圧源ノード１へは、外部電源電圧でなく、内部電源電圧が与えられてもよい。
以上のように、この発明の第２２の実施例の構成に従えば、第１の高電圧から実際の負荷回路が使用する第２の高電圧を発生する回路構成において、この第１または第２の高電圧変動時に昇圧電圧発生回路の駆動力を大きくするように構成しているため、安定な高電圧を負荷回路へ供給することができ、応じて負荷回路を安定に動作させることができる。
なお、第２２の実施例の構成においては、電源電圧から高電圧を発生し、次いで第２の高電圧を発生する構成としている。しかしながら、電源電圧から一旦、別の電圧レベルの電圧を生成し、この別の電圧レベルの電圧から必要とされる電圧を発生する回路に対してこの第２２の実施例の構成は、すべて適用可能である。
［実施例２３］
図１１１は、この発明の第２３の実施例である内部電源電圧発生回路の構成を概略的に示す図である。図１１１において、内部電源電圧発生回路は、基準電圧Ｖｒｅｆを発生する基準電圧発生回路７１０と、複数の負荷回路７ａ〜７ｃそれぞれに対応して分散配置され、基準電圧伝達線７２０を介して伝達される基準電圧Ｖｒｅｆに従って内部電源線７２５へ内部電源電圧を伝達する複数のドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃを含む。ドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃの各々は、ｎチャネルＭＯＳトランジスタで構成され、ソースフォロア態様で動作し、電圧源ノード１から内部電源線７２５へ電流を供給し、この内部電源線７２５上の電源電圧をＶｒｅｆ−Ｖｔｈの電圧レベルに維持する。
基準電圧発生回路７１０は、電圧源ノード１へ与えられる電圧よりも高い電圧レベルの昇圧電圧を発生する昇圧電圧発生回路７１２と、昇圧電圧発生回路７１２に結合されて一定の電流を供給する定電流源７１４と、定電流源７１４と接地ノードとの間に接続される抵抗素子７１６を含む。この基準電圧発生回路７１０において、昇圧電圧発生回路７１２が設けられているのは、基準電圧Ｖｒｅｆとして、内部電源線７２５上の内部電源電圧よりもドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃが有するしきい値電圧だけ高い電圧を発生するためである。
ドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃは、ソースフォロア態様で動作し、内部電源線７２５上の電源電位が低下した場合には、電圧源ノード１から電流を供給し、この内部電源線７２５上の電位レベルを上昇させる。負荷回路７ａ〜７ｃそれぞれに対応してドライブ素子が設けられているため、内部電源線７２５に対する電流供給力を大きくし、応じて内部電源線７２５における配線抵抗等に起因する電圧低下を抑制する。また負荷回路７ａ〜７ｃそれぞれに対応してドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃを配置することにより、ドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃと負荷回路７ａ〜７ｃの間の距離が短くなり、応じて電圧変化の配線抵抗および配線容量による遅れを補償することができ、高速で負荷回路７ａ〜７ｃ動作時における電圧変化に対応してドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃにより内部電源線７２５へ電圧源ノード１から電流を供給することができ、応答特性が改善される。なお、ドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃの動作については、内部電源線７２５の電位が低下したとき、ドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃのゲート電位が等価的に上昇し、応じてそのドレイン電流が増加し、内部電源線７２５の電位低下が防止される。
［変更例］
図１１２は、この発明の第２３の実施例の変更例の構成を示す図である。この図１１２に示す構成においては、基準電圧発生回路７１０は、外部電源電圧を受ける電圧源ノード１から基準電圧Ｖｒｅｆを発生する。昇圧電圧発生回路７１２は用いられていない。この場合、ドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃを構成するｎチャネルＭＯＳトランジスタのしきい値電圧は０Ｖとするか、または低しきい値電圧のＭＯＳトランジスタが用いられる。ドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃとしてデプレーション型のＭＯＳトランジスタが用いられてもよい。内部電源電圧ＶＣＩとドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃを構成するＭＯＳトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈから基準電圧Ｖｒｅｆの電位レベルが決定される（ＶＣＩ＋Ｖｔｈ＝Ｖｒｅｆ）。
この図１１２に示す構成においては、昇圧電圧発生回路７１２は用いられていないため、この基準電圧発生回路における消費電流を大幅に低減することができる。したがって、この内部電源電圧発生回路の構成を、たとえば半導体記憶装置に適用した場合、ドライブ素子を駆動する比較器および昇圧電圧発生回路の両者が用いられていないため、低消費電流特性を備える半導体記憶装置を実現することができる。特に、パーソナルコンピュータなどの電池駆動型コンピュータにおける記憶装置として用いられる半導体メモリに適用される場合、データ保持モードなどにおいての消費電力を大幅に低減することのできる内部電源電圧発生回路を実現することができる。
なお、図１１１および図１１２の構成において、内部電源線７２５は、負荷回路７ａ〜７ｃそれぞれに対応して互いに分離される分割内部電源線が用いられてもよい。
［実施例２４］
図１１３は、この発明の第２４の実施例である内部電源電圧発生回路の構成を示す図である。図１１３において、内部電源電圧発生回路は、互いに電圧レベルの異なる基準電圧ＶＲａおよびＶＲｂを発生する基準電圧発生回路７４０を含む。この基準電圧発生回路７４０は、電源電圧（内部および外部電源電圧両者）よりも高い電圧レベルの昇圧電圧を発生する昇圧電圧発生回路７４２に結合され、一定の電流を供給する定電流源７４４と、定電流源７４４と接地ノードとの間に直列に接続される抵抗素子７４５および７４６を含む。定電流源７４４と抵抗素子７４５の接続ノードから基準電圧ＶＲａが出力され、抵抗素子７４５と抵抗素子７４６の接続ノードから基準電圧ＶＲｂが出力される。基準電圧ＶＲａが、定電流源７４４が供給する電流と抵抗素子７４５および７４６の合成抵抗値とにより決定される電圧レベルを有し、基準電圧ＶＲｂは、定電流源７４４が供給する電流値と抵抗素子７４６の有する抵抗値とにより決定される電圧レベルを有する。
内部電源電圧発生回路は、さらに、複数の負荷回路７ａ〜７ｃそれぞれに対応して配置され、基準電圧ＶＲｂに従って電圧源ノード１から内部電源線７２５へ電流を供給するｎチャネルＭＯＳトランジスタで構成されるドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃと、電圧源ノード１に結合される一方導通ノードを有しかつこのゲートに基準電圧ＶＲａを受けるｎチャネルＭＯＳトランジスタで構成されるドライブ素子７５０ａおよび７５０ｂと、ドライブ素子７５０ａおよび７５０ｂと直列に接続され、動作タイミング信号ＥＱａに応答して導通するｎチャネルＭＯＳトランジスタで構成されるスイッチングトランジスタ７５２ａおよび７５２ｂを含む。動作タイミング信号ＥＱａは、図７６および図７７に示す動作タイミング信号ＥＱａと同様である、負荷回路７ａ〜７ｃの活性化前の所定期間ハイレベルの活性状態とされる。次に動作について簡単に説明する。
動作タイミング信号ＥＱａの非活性化時、スイッチングトランジスタ７５２ａおよび７５２ｂはともに非導通状態であり、ドライブ素子７５０ａおよび７５０ｂと内部電源線７２５の間の電流経路は遮断される。この状態においては、ドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃにより、内部電源線７２５上の電圧レベルは、基準電圧ＶＲｂとドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃのしきい値電圧とで決定される電圧レベルに設定される。負荷回路７ａ〜７ｃが動作する前の所定期間動作タイミング信号ＥＱａが活性状態とされ、スイッチングトランジスタ７５２ａおよび７５２ｂがともに導通状態とされる。この状態において、ドライブ素子７５０ａおよび７５０ｂと内部電源線７２５との間に電流経路が形成され、内部電源線７２５上の電圧レベルは基準電圧ＶＲａとドライブ素子７５０ａおよび７５０ｂの有するしきい値電圧とで決定される電圧レベルに上昇する。
負荷回路７ａ〜７ｃの動作時においては、この電圧レベルの上昇した電圧が利用されるため、内部電源線７２５上の電圧レベルが基準電圧ＶＲｂ以下に低下するのを抑制することができ、この内部電源線７２５上の電圧レベルを所定の電圧レベルに維持することができる。すなわち、負荷回路７ａ〜７ｃの動作時において、この内部電源線７２５上の電源電圧レベルを基準電圧ＶＲａレベルにまで上昇させることにより、この内部電源線７２５の蓄積電荷を用いることにより、内部電源線７２５の電流供給能力を増加させ、応じて内部電源線７２５における電源電圧のレベル低下を抑制する。これにより、負荷回路７ａ〜７ｃ動作時において大きな電流が消費される場合においても、内部電源線７２５上の電源電圧レベルの低下を抑制する。
特に、負荷回路７ａ〜７ｃそれぞれに対応してドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃを配置しかつさらに内部電源線７２５に対し複数のドライブ素子７５０ａおよび７５０ｂを分散配置させることにより、複数のドライブ素子７５０ａおよび７５０ｂを介して内部電源線７２５へ電流を供給することができ、内部電源線７２５の配線抵抗および配線容量の影響を受けることなく、安定に、この内部電源線７２５上の電圧レベルを基準電圧ＶＲａレベルに維持することができる。
なおこの動作タイミング信号ＥＱａは、負荷回路７ａの動作前の所定期間のみ活性状態とされるのではなく、負荷回路７ａ〜７ｃの動作期間活性状態とされてもよい。
以上のように、この発明の第２４の実施例の構成に従えば、複数の負荷回路７ａ〜７ｃの動作時において、内部電源線７２５上の電圧を高い基準電圧ＶＲａの電圧レベルに充電するように構成しているため、内部電源線７２５の電流供給力が等価的に増加し、この負荷回路７ａ〜７ｃ動作時において内部電源線７２５における電圧低下を抑制することができ、安定に内部電源電圧を供給することができる。
なお、この第２３および２４の実施例において内部電源線７２５へ伝達される電圧は、動作電源電圧のみならず、一般に用いられる基準電圧（たとえば中間電圧）または高電圧ＶＰＰであってもよい。
［実施例２５］
［分散ドライブ素子のレイアウト１］
図１１４は、この発明の第２５の実施例による要部の構成を示す図である。図１１４においては、図１１１ないし図１１３に示す分散配置されたドライブ素子７３０ａ〜７３０ｃのレイアウトを示す。図１１４においては、１つの負荷回路に対応して設けられるドライブ素子７３０を代表的に示す。
負荷回路が、負荷回路形成領域７′に形成される。この負荷回路形成領域７′は、ｐチャネルＭＯＳトランジスタが形成されるＮウェル７６０と、ｎチャネルＭＯＳトランジスタが形成されるｎチャネルＭＯＳトランジスタ形成領域７６５を含む。このｎチャネルＭＯＳトランジスタ形成領域７６５は、半導体基板表面のＰウェル内に形成されてもよい。またこの負荷回路形成領域７′は、トリプルウェル構造を備えていてもよい。
負荷回路形成領域７′に対応して配置されるドライブ素子７３０は、基準電圧が伝達されるゲート電極層７５２と、電圧源ノード１に接続される第２層アルミニウム配線層で構成される外部電源線７５２と、コンタクト孔７５０ａおよび７５０ｂを介して接続される一方活性領域と、負荷回路形成領域７′のＮウェル７６０上にわたって延在して配置される第２層アルミニウム配線層で構成される内部電圧伝達線７５５にコンタクト孔７５０ｃおよび７５０ｄを介して接続される他方活性領域を含む。コンタクト孔７５０ａは、後に説明するが、第２層アルミニウム配線層よりも下に形成される第１層アルミニウム配線層と内部電源配線７５０とを接続する。コンタクト孔７５０ｂは、この第１層アルミニウム配線層と一方活性領域とを接続する。コンタクト孔７５０ｃは、他方活性領域と別の第１層アルミニウム配線層とを接続する。コンタクト孔７５０ｄは、この別の第１層アルミニウム配線層を第２層アルミニウム配線層で構成される内部電圧伝達線７５５と接続する。ドライブ素子７３０のゲート幅（チャネル幅）は内部電圧伝達線７５５の延在方向と垂直な方向の長さ、すなわち幅と同じ広さを備える。十分大きな電流供給力をこのドライブ素子は備える。
Ｎウェル７６０には、ｐチャネルＭＯＳトランジスタが構成される。図１１４においては、２つのｐチャネルＭＯＳトランジスタを代表的に示す。一方のｐチャネルＭＯＳトランジスタは、ゲート電極層７６２ａと、内部電圧伝達線７５５にコンタクト孔７６４ａおよび７６５を介して接続される一方活性領域と、コンタクト孔７６３ａを介してたとえば第１層アルミニウム配線層で構成される、この負荷回路内の内部配線層に接続される他方活性領域とを備える。
他方のｐチャネルＭＯＳトランジスタは、ゲート電極層７６２ｂと、別の第１層アルミニウム配線層にコンタクト孔７６４ｂを介して接続される一方活性領域と、コンタクト孔７６３ｂを介して図示しない内部配線層に接続する他方活性領域とを備える。このＮウェル７６０内に形成されるｐチャネルＭＯＳトランジスタのゲート幅はドライブ素子７３０のゲート幅よりも十分小さくされている。負荷回路形成領域７′における内部電源線の充放電を行なうことが要求されるだけであり、設計ルールに従ってそのゲート幅（チャネル幅）が決定される。
負荷回路形成領域７′のｎチャネルＭＯＳトランジスタ形成領域７６５上にわたって、内部電圧伝達線７５５と平行に第２層アルミニウム配線層で形成される、接地ノードに接続される接地線７６８が配置される。この接地線７６８の下に、ｎチャネルＭＯＳトランジスタが形成される。このｎチャネルＭＯＳトランジスタは、一例として、ゲート電極層７７２と、コンタクト孔７７４および７７５を介して接地線７６８に接続される一方活性領域と、コンタクト孔７７３を介して内部配線（図示せず）に接続される他方活性領域とを備える。
図１１５は図１１４に示すラインＡ−Ａに沿った断面構造を示す図である。図１１５において、ドライブ素子７３０は、Ｐ型半導体基板７６１の表面に形成されたＰウェル７５１内に形成される。ドライブ素子７３０は、一方活性領域として、このＰウェル７５１表面に形成されたＮ型不純物領域７５３ａを含み、他方活性領域として、このＮウェル７５１に形成されるＮ型不純物領域７５３ｂを含む。不純物領域７５３ａは、コンタクト孔７５０ｂを介して第１層アルミニウム配線層７５４ａに接続される。第１層アルミニウム配線層７５４ａはコンタクト孔７５０ａを介して外部電源配線７５０に接続される。他方活性領域７５３ｂは、コンタクト孔７５０ｃを介して第１層アルミニウム配線層７５４ｂに接続される。この第１層アルミニウム配線層７５４ｂは、コンタクト孔７５０ｄを介して内部電圧伝達線７５５に接続される。不純物領域７５３ａおよび７５３ｂの間のチャネル領域上に図示しないゲート絶縁膜を介して基準電圧伝達線７５２が配設される。この基準電圧伝達線７５２は、低抵抗のポリシリコン配線で形成されてもよく、またアルミニウムで裏打ちされたポリシリコン配線層で形成されてもよく、またモリブデンまたはタングステンなどの高融点金属層で構成される多層配線で構成されてもよい。低抵抗であれば、その配線抵抗による電位低下をなくして各所定の電圧レベルの基準電圧を伝達することができる。
負荷回路形成領域７′の構成要素であるｐチャネルＭＯＳトランジスタは、Ｎウェル７５５の表面に互いに離れて形成されるＰ型不純物領域７５６ａおよび７５６ｂを含む。一方活性領域となる不純物領域７５６ａは、コンタクト孔７６４ａを介して第１層アルミニウム配線層７５７ａに接続される。この第１層アルミニウム配線層７５７ａはコンタクト孔７６５を介して内部電圧線７５５に接続される。他方活性領域７５６ｂは、コンタクト孔７６３ａを介して内部配線層を形成する第１層アルミニウム配線層７５７ｂに接続される。不純物領域７５６ａおよび７５６ｂの間のチャネル領域上にゲート絶縁膜（図示せず）を介してゲート電極７６２ａが配設される。なお、内部配線７５７ｂは第１層アルミニウム配線でなく、別の配線層で形成されてもよい（たとえば低抵抗のポリシリコン配線層）。第１層アルミニウム配線層７５４ａ，７５４ｂおよび７５７ａを介在させて第２層アルミニウム配線層７５０および７５５と活性領域７５３ａ，７５３ｂおよび７５６ａを接続することによりコンタクト領域におけるアスペクト比を低減して良好なコンタクトを実現する。
この図１１４および図１１５に示すように、ドライブ素子７３０のチャネル幅を、内部電圧伝達線７５５の幅とほぼ同程度とし、負荷回路に含まれる構成要素であるｐチャネルＭＯＳトランジスタのチャネル幅よりも十分大きくすることにより、負荷回路形成領域７′に形成された構成要素であるｐチャネルＭＯＳトランジスタの動作時において十分安定に所定の電圧レベルの内部電圧を伝達することができる。大きな電流駆動力をもっているため、この負荷回路形成領域７′に形成された回路素子の動作時においても大きな電流を供給することができ、この負荷回路７の動作時における内部電圧の変動を抑制することができる。
なお、図１１５に示す構成においては、ドライブ素子７３０は、Ｐウェル７５１内に形成されているが、半導体基板７６１表面に直接形成されてもよい。
［ドライブ素子のレイアウト２］
図１１６は、ドライブ素子の第２のレイアウトを示す図である。図１１６に示す構成においては、負荷回路形成領域７′の一方側に沿って電圧源ノード１に接続される第２層アルミニウム配線層で形成される外部電源線７８０が配設される。ドライブ素子７３０は、この外部電源線７８０の延在方向に沿って所定の幅に形成され、かつコンタクト孔７８５ａおよび７８６ａを介して外部電源線７８０に接続される一方活性領域と、コンタクト孔７８３ａおよび７８３ｂを介して基準電圧を伝達する低抵抗のたとえば第１層アルミニウム配線層で形成される基準電圧伝達線７８２に接続されるゲート電極層５８４と、コンタクト孔７８５ｂおよび７８６ｂを介して内部電圧伝達線７９０に接続される他方活性領域とを備える。この内部電圧伝達線７９０は、負荷回路形成領域７′（負荷回路形成領域７′におけるｐチャネルＭＯＳトランジスタ形成領域）上にわたって配設される第２層アルミニウム配線層で形成される。この第２層アルミニウム配線層で形成される内部電圧伝達線７９０の下にｐチャネルＭＯＳトランジスタを形成するためのＮウェル７６０が形成される。図１１６において、このＮウェル７６０に形成される２つのｐチャネルＭＯＳトランジスタを代表的に示す。この図１１６においてＮウェル７６０に形成される構成要素としてのｐチャネルＭＯＳトランジスタに対しては、図１１４におけるｐチャネルＭＯＳトランジスタの参照番号と同じ参照番号を付し、その詳細説明は省略する。これらのｐチャネルＭＯＳトランジスタは内部電圧伝達線７９０に接続されて所定の電圧を受ける。
負荷回路形成領域７′において、この内部電圧伝達線７９０と平行に負荷回路形成領域７′上にわたって第２層アルミニウム配線層で形成される接地線７６８が形成される。この接地線７６８の下にｎチャネルＭＯＳトランジスタが形成される。このＭＯＳトランジスタに対しても、図１１４に示すｎチャネルＭＯＳトランジスタと同一の参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
この図１１６に示す配置において、負荷回路形成領域７′に形成される負荷回路が、たとえば半導体記憶装置のメモリセルアレイの場合、メモリセルトランジスタのゲート電極がポリシリコンで形成される場合に、このポリシリコンゲートの抵抗を等価的に低くするために、いわゆる「ワード線シャント構造」が用いられる。ワード線駆動信号を低抵抗の第１層アルミニウム配線層を介して伝達し、所定の領域で、メモリセルトランジスタのゲート電極を構成するポリシリコンと低抵抗のコンタクトを介して物理的に接続する。このワード線シャント構造において用いられる第１層アルミニウム配線層と同一製造プロセスにおいて、この基準電圧伝達線７８２を形成する。これにより、ドライブ素子７３０のゲート電極層７８４として、ポリシリコンなどの比較的抵抗の高い材料が用いられた場合においても、基準電圧を各ドライブ素子のゲートへ、配線抵抗に起因する電圧低下を伴うことなく伝達することができる。
また図１１６に示す配置の場合、負荷回路形成領域７′の一方側側部に沿って外部電源配線７８０を延在して配置し、この外部電源線７８０に沿ってドライブ素子７３０の活性領域を形成している。したがって、ドライブ素子７３０のゲート幅を十分大きくすることができ、安定にこの負荷回路形成領域７′に形成される負荷回路に対し一定の電圧レベルの外部電圧を伝達することができる（負荷回路動作時における電流が消費された場合においても、ドライブ素子７３０の大きな電流駆動力により、十分余裕をもって動作電流を供給することができる）。
なお、この図１１６に示す構成において、たとえば第１層アルミニウム配線層で形成される基準電圧伝達線７８２が設けられず、ゲート電極層７８４がアルミで裏打ちされたポリシリコン層または高融点シリサイド層などの低抵抗材料が用いられる場合においては、このゲート電極層７８４が直接基準電圧を伝達するように構成されてもよい。
［ドライブ素子のレイアウト３］
図１１７は、ドライブ素子のさらに他の構成を示す図である。図１１７において、負荷回路形成領域７′内に形成される、ｐチャネルＭＯＳトランジスタ形成のためのＮウェル７６０の延在方向に沿って、第２層アルミニウム配線層で形成される外部電源線８００が配置される。
ドライブ素子７３０は、このＮウェル７６０の領域外部に、Ｎウェル７６０の延在方向に沿って外部電源配線８００と平面図的に見て重ね合う領域に、形成される。このドライブ素子７３０は、たとえば第１層アルミニウム配線層で形成される基準電圧伝達線８１４に所定の位置に形成されるコンタクト孔８１２ａおよび８１２ｂを介して接続されるゲート電極配線８１０と、外部電源配線８００にコンタクト孔８１５ａおよび８１６を介して接続される一方活性領域と、コンタクト孔８１５ｂを介してたとえば第１層アルミニウム配線層で形成される内部電圧伝達線８２０に接続される他方活性領域とを備える。この内部電圧伝達線８２０は、Ｎウェル７６０内に形成されるｐチャネルＭＯＳトランジスタの一方活性領域にコンタクト孔８２３（８２３ａ，８２３ｂ）を介して接続される。この負荷回路の構成要素であるｐチャネルＭＯＳトランジスタは、それぞれゲート電極層８２２（８２２ａ，８２２ｂ）および図示しない内部配線にコンタクト孔８２４（８２４ａ，８２４ｂ）を介して接続される他方活性領域を備える。
この外部電源配線８００と平行に、負荷回路形成領域７′上にわたってたとえば第２層アルミニウム配線層で形成される接地電圧を伝達する接地線７６８が配置される。この接地線７６８は、Ｎウェル７６０の外部の領域に形成されるｎチャネルＭＯＳトランジスタ形成領域上に形成される。負荷回路の構成要素であるｎチャネルＭＯＳトランジスタは、この接地線７６８にコンタクト孔７７４および７７５を介して接続される一方活性領域と、図示しない内部配線にコンタクト孔７７３を介して接続される他方活性領域を備える。図１１７においては、２つのｎチャネルＭＯＳトランジスタを代表的に示す。
この図１１７に示すように、Ｎウェル７６０の外部領域に、このＮウェル７６０延在方向に沿ってドライブ素子７３０を形成することにより、十分大きなゲート幅（チャネル幅）を有するドライブ素子を形成することができる。またＮウェル７６０に形成されたｐチャネルＭＯＳトランジスタに対し、第１層アルミニウム配線層で形成される内部電圧伝達線８２０を配置することにより、必要な領域に対してのみ内部電圧伝達線を配置するだけでよく、内部電圧伝達線８２０のレイアウトが容易となり、また不必要な部分に対してはこの内部電圧伝達線を設ける必要がなく、内部電圧伝達線の占有面積が低減されて、他の内部配線のレイアウトが容易となる。またドライブ素子７３０を負荷回路形成領域７′内部に形成するため、負荷回路形成領域外部にドライブ素子を設ける必要がなく、内部電圧を伝達するための素子の占有面積を低減することができる。
なお、この図１１７に示す配置においても、ゲート電極配線８１０が十分低い抵抗を有する配線層（高融点金属層を含む多層配線構造またはアルミニウムで裏打ちされたポリシリコン配線）が用いられる場合には、基準電圧伝達線８１４を特に設ける必要はない。
以上のように、この発明の第２４の実施例に従えば、負荷回路形成領域近傍または内部に、その構成要素であるＭＯＳトランジスタのチャネル幅よりも十分大きなチャネル幅を有するドライブ素子を配置し、外部電源配線からこの大きなチャネル幅を有するドライブ素子を介して負荷回路形成領域内へ内部電圧を伝達するようにしたため、大きな電流供給力をもって内部電圧を対応の負荷回路へ供給することができ、安定に負荷回路を動作させることができる。
なお、この実施例２４における内部電圧伝達線７５５，７９０および８２０上に伝達される電圧は動作電源電圧でなく、他の一定の電圧レベルが要求される基準電圧（高電圧または中間電圧）であってもよい。
また、負荷回路形成領域７′上に対してのみ内部電圧伝達線が配置されるため、内部電圧が内部配線抵抗により低下するのを抑制することができ、各負荷回路に対し所定の電圧レベルの内部電圧を伝達することができ、各負荷回路を同じ動作条件で動作させることができ、装置の信頼性が改善される。
［実施例２６］
図１１８は、この発明の第２６の実施例の構成を概略的に示す図である。図１１８において、半導体装置が形成される半導体チップ８５０上に、外部ピン端子に接続するフレームリード８５５からボンディングワイヤ８６１を介して外部電源電圧を受け、所定の内部電圧を発生する電流供給回路８６０が設けられる。この電流供給回路８６０は、先の実施例において示されるドライブ素子と比較器の構成を備える。内部電源電圧を発生してもよく、また高電圧ＶＰＰを発生する回路であってもよい。
半導体チップ８５０には、外部装置とのインタフェースをとるための（信号の授受の行なうための）フレームリード８５６ａ〜８５６ｉが配置される。これらのリード８５６ａ〜８５６ｉについては、接続先は図面を簡略化するために示していない。半導体チップ８５０上に、リードフレームの図１１８には示さないフレーム（金型）にボンディング時には支持される、内部電圧を伝達するためのフレーム（ダミーリードと称す）８７０が設けられる。このダミーリード８７０は、たとえばボンディングワイヤ８６２を介して電流供給回路８６０の出力部に接続される。このダミーリード８７０は、半導体チップ８５０上に形成された負荷回路７近傍領域においてその内部電圧供給ノード８６４へボンディングワイヤ８６３を介して接続される。ここで、図１１８においては、１つの負荷回路７のみを代表的に示す。
ダミーリード８７０は、外部ピン端子に接続されるフレームのリードと同じ材料で構成され、ほぼ同様の幅を有している。ダミーリード８７０は、したがって、アルミニウムなどで形成される内部配線よりも、線幅が十分広く、また材料も銅およびニッケルなどの低抵抗材料が用いられている。したがって、半導体チップ８５０上にわたって配置されるダミーリード８７０を用いて電流供給回路８６０から負荷回路７近傍にまで電圧／電流を伝達することにより、電流供給回路８６０から負荷回路７への配線抵抗を大幅に低減することができ、各負荷回路７に対し所定の電圧レベルの内部電圧を伝達することができる。またこのダミーリード８７０は、内部配線層よりもさらに上層に形成されているため、内部配線に対するレイアウトの影響を受けることなく各負荷回路に対し所定の電圧レベルの内部電圧を伝達することができる。またこの内部電圧を伝達するための内部電圧配線が、ダミーリード８７０で構成されているため、半導体チップ８５０上の回路配置により、電流供給回路８６０を各負荷回路に対応して分散配置させるのが困難な場合においても、１つの電流供給回路８６０から各負荷回路に対し何ら電圧低下をもたらすことなく一定電圧レベルの内部電圧を各負荷回路７に対し供給することができる。またダミーリード８７０はその線幅が十分広いため、大きな電流を流すことができ、１つの電流供給回路８６０から各負荷回路７に対し、安定に電流を供給して、応じて安定な電圧レベルの内部電圧を供給することができる。
図１１９は、図１１８に示すフレームの形態の一例を示す図である。図１１９において、半導体チップ８５０はフレーム８８０に支持されるリード８８２に接続するマウント台（図示せず）上に配置される。このフレーム８８０へは、半導体チップ８５０上に形成されたボンディングパッドに対応してフレームリード８５６が設けられる。このフレーム（金型）８８０に対しさらに、ダミーリード８７０が固定的に保持される。この状態で、各フレームリード８５６およびダミーリード８７０に対する必要なワイヤリングが行なわれる。この後、樹脂を用いて封止した後、このフレーム８８０を切り離すための金型の打ち抜き工程が行なわれる。この状態において、図１１９において破線で示すようにダミーリード８７０が切断される。したがってダミーリード８７０は装置外部に対しては（パッケージ外部）へは取出されないため、何ら問題は生じず、パッケージ内部で必要な電圧レベルの内部電圧をこのダミーリード８７０が伝達するだけである。
［内部配線とダミーリードとの接続位置］
図１２０は、内部配線とダミーリードとの接続の一例を示す図である。図１２０において、電流供給回路８６０からの内部電圧を伝達する内部電圧線８９０は、比較的幅が広くされた接続領域８９０ａにおいて、ボンディングワイヤ８９３ａによりダミーリード８７０に接続される。この内部電圧線８９０は、第１層アルミニウム配線層であってもよく、また第２層アルミニウム配線層であってもよい。この内部電圧線８９０上には、半導体装置の最終保護膜であるパッシベーション層８９２ａが形成される。負荷回路７においては、同様内部電圧伝達線８９４は、比較的その幅が大きくされた接続領域８９４ａにおいてボンディングワイヤ８９３ｂを介してダミーリード８７０に接続される。この内部電圧伝達線８９４ａ上には同様パッシベーション層８９２ｂが形成される。電流供給回路８６０と負荷回路７の間には、絶縁層８９５が配置されるように示される。この絶縁層８９５は、単に図面を簡略化するために示しているだけであり、この領域において他の内部回路が配置されていてもよい。
上述のように、内部電圧線８９０および内部電圧伝達線８９４それぞれにおいて、比較的幅の広い領域８９０ａおよび８９４ａを設けることにより、ボンディングワイヤ８９３ａおよび８９３ｂを用いて確実にダミーリード８７０と電流供給回路８６０および負荷回路７とを相互接続することができる。
［ダミーリードと内部配線との接続２］
図１２１に示す構成においては、接続領域８９０ａおよび８９４ａにおいて、ハンダ層で形成されるバンプ球８９６ａおよび８９６ｂがそれぞれ形成される。このバンプ球８９６ａおよび８９６ｂとダミーリード８７０とが接続される。このバンプ球８９６ａおよび８９６ｂを用いてダミーリード８７０と内部電圧線８９０および内部電圧伝達線８９４を相互接続する構成は、通常の、フリップチップをバンプ球を用いて回路基板に直接接続する表面実装技術と同様の手法を用いて行なうことができる。
なおこのハンダで形成されるバンプ球８９６ａおよび８９６ｂに代えて、たとえば柱状のアルミニウムなどが堆積され、この堆積されたアルミニウムとダミーリード８７０とのコンタクトがとられる構成が用いられてもよい。すなわち、バンプ球８９６ａおよび８９６ｂの位置にアルミニウム層が形成されてもよい。
なお、図１１８に示すフレームの配置においては、信号および電源電圧／接地電圧を入出力するためのパッドが半導体チップ８５０の外部周辺部両側に配置されている。しかしながら、このフレームの配置は、半導体チップ８５０の４辺すべてにわたって配置されていてもよく、または半導体チップ８５０の中央部に信号入出力用のおよび電源電圧／接地電圧入力のためのパッドが配置されるいわゆるＬＯＣ（リード・オン・チップ）構造でのフレームであってもよい。
［変更例］
図１２２は、この発明の第２６の実施例の変更例を示す図である。図１２２においては、半導体チップ９００に対し、信号の入出力を行なうためのフレームリード９０３ａ〜９０３ｊが配置される。これらのフレームリード９０３ａ〜９０３ｊは、それぞれ半導体チップ９００上に形成されたパッド（図において●印で示す）にボンディングワイヤ９０４ａ〜９０４ｊを介してそれぞれ接続される。これらのフレームリード９０３ａ〜９０３ｅを囲むように、チップ９００上にわたって電源電圧ＶＣＣを伝達するためのコの字型に形成される一方側電源フレームリード９０２が形成される。この電源フレームリード９０２と対称的な形状に、フレームリード９０３ｆ〜９０３ｊを囲むように、略コの字型に電源電圧を伝達する他方電源フレームリード９０４が配置される。
この電源フレームリード９０２および９０４は、半導体チップ９００上に形成された各回路部分へ電源電圧を伝達するためにボンディングワイヤ９０２ａおよび９０４ａを介して内部電源ノード（パッド）に接続される。電源フレームリード９０２および９０４を半導体チップ９００上にわたって延在して配置することにより、半導体チップ９００上に形成された回路部分に対し安定に電源電圧を供給することができる。
半導体チップ９００には、さらに、その周辺部に，電源フレームリード９０２から電源電圧を受けてこの電源電圧ＶＣＣより高い高電圧ＶＰＰを発生するＶＰＰ発生回路９１０が配置される。このＶＰＰ発生回路９１０からの高電圧を半導体チップ９００上に形成された各回路部分へ伝達するために、電源フレームリード９０２および９０４の間に高電圧用フレームリード（ダミーリード）９２０が配置される。このダミーリード９２０は、先の図１１８に示すダミーリード８７０に相当する。このダミーリード９２０は、ＶＰＰ発生回路９１０の高電圧出力ノードにボンディングワイヤ９１２により接続される。このダミーリード９２０は、またボンディングワイヤ９１３を介して半導体チップ９００上に形成された高電圧ＶＰＰを利用する負荷回路の高電圧ノードに接続される。低抵抗のダミーリード９２０を用いることにより、電圧降下をもたらすことなく半導体チップ９００上に形成された高電圧を利用する負荷回路すべてに対し安定に高電圧ＶＰＰを供給することができる。
なお、このボンディングワイヤ９１２および９１３の代わりにアルミニウム配線またはハンダなどのバンプが用いられてもよい。
またこの図１２２に示す変更例においても、フレームの形状は任意であり、この半導体チップ９００が収納されるパッケージの形状に応じたフレームが用いられればよい。
以上のように、この発明の第２６の実施例の構成に従えば、所定の電圧レベルの電圧を伝達するためにフレームリードを用いたため、低抵抗で電圧降下をもたらすことなく半導体チップ上の回路へ所定の電圧レベルの内部電圧を伝達することができ、またこのフレームリードは幅が内部配線よりも十分広いため大きな電流供給力を維持しており、各負荷回路に対し安定な電圧レベルの内部電圧を供給することができる。
［実施例２７］
図１２３は、この発明の第２７の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。この図１２３に示す構成においては、先の図１２２に示す構成に代えて、高電圧ＶＰＰ発生回路９１０からの高電圧ＶＰＰを発生するために、フレームリード９０２，９０３ａ〜９０３ｊおよび９０４よりも上層のフレームリード９３０ａおよび９３０ｂが用いられる。他の構成は図１２２に示す構成と同じであり、対応する部分には同一参照番号を付す。
図１２３において、半導体チップ９００の一方側のフレームリード９０２および９０３ａ〜９０３ｅ上に形成されるフレームリード（ダミーリード）９３０ａは、ボンディングワイヤ９３１ａを介してＶＰＰ発生回路９１０の出力部に接続され、また半導体チップ９００の他方端部において、ボンディングワイヤ９３２ａを介して高電圧ＶＰＰを利用する負荷回路近傍の高電圧ノードに接続される。フレームリード９０２および９０４の間の領域の上層に形成されるダミーリード９３０ｂは、ボンディングワイヤ９３１ｂを介してＶＰＰ発生回路９１０の高電圧出力部に接続され、かつボンディングワイヤ９３２ｂを介して高電圧ＶＰＰを利用する負荷回路の高電圧ノードに接続される。ＶＰＰ発生回路９１０は、電源フレーム９０２から電源電圧を受けて所定の電圧レベルの高電圧ＶＰＰを発生する。
この図１２３に示す配置においては、半導体チップ９００上の負荷回路に対し安定に高電圧ＶＰＰを供給することができる効果に加えて以下の効果が得られる。すなわち、フレーム９０２、９０３ａ〜９０３ｊおよび９０４と同層のダミーリードを用いた場合、このダミーリードと内部の負荷回路との接続位置は、フレーム９０２、９０３ａ〜９０３ｊおよび９０４の形状の影響を受ける（ＬＯＣ構造の場合）。このような場合においても、ダミーリードとフレームリードとを多層構造とすることにより、半導体チップ９００上の任意の位置に高電圧ＶＰＰを伝達するためのダミーリード９３０ａおよび９３０ｂを配置することができ、半導体チップ９００上の任意の位置の高電圧を利用する回路部分へ安定に高電圧ＶＰＰを供給することができる。
図１２４は、上層のダミーリードと下層のフレームリードとの配置を示す図である。図１２４（Ａ）においては、ダミーリード９３０とそのフレーム９０３（９０２または９０４）との間は中空構造とされる。図示しない枠にこれらのリード９３０および９０３（９０２または９０４）は保持されており、特に問題は生じない。
図１２４（Ｂ）においては、ダミーリード９３０と下層のフレーム９０３（９０２または９０４）の間にたとえばポリイミドである高分子絶縁材料またはＴＡＢ（テープ・オートメティッド・ボンディング）などにおいて用いられる絶縁性のテープ（フィルム）で構成される絶縁層９３５が配置される。確実にダミーリード９３０とフレーム９０３（９０２または９０４）との絶縁性を維持することができる。また、ダミーリード９３０はフレームリード９０３の下層に形成されてもよい。
なおこのダミーリード９３０ａおよび９３０ｂ上を伝達される電圧は高電圧ＶＰＰと異なり、別の一定の電圧レベルを必要とされる基準電圧（内部高圧電圧または中間電圧）であってもよい。
［変更例２］
図１２５は、この発明の第２７の実施例の第２の変更例の構成を示す図である。図１２５において、半導体チップ９４０の長辺側両側に、配置されたパッドそれぞれに対応して信号入出力のためのフレームリード９５４ａ〜９５４ｌが配置される。これらのフレームリード９５４ａ〜９５４ｌはそれぞれ対応のパッドにボンディングワイヤを介して接続される。
半導体チップ９４０上全面にわたって、電源電圧ＶＣＣを伝達するための電源フレームリード９５２が配置される。この電源フレームリード９５２は、複数のループを形成するように、一方方向（図１２５の水平方向）に延びる部分と他方方向（図１２５の垂直方向）に延在する部分とを有する。電源フレームリード９５２の、各ループ内部は何も形成されない空き領域である。この電源フレームリード９５２上層に、電源フレームリード９５２から電源電圧を受けて所定の電圧レベルの内部電圧を発生する内部電圧発生部９５０からの内部電圧を伝達するためのダミーリード９６０が配置される。このダミーリード９６０は、電源フレームリード９５２が延在する方向と直交する方向に延在する部分を有し、複数のループを有する。電源フレームリード９５２とダミーリード９６０のループ形成領域は、互いに直交する方向であり、平面図的に見て空き領域が存在する。この空き領域において、電源フレームリード９５２およびダミーリード９６０からそれぞれ所定の回路へボンディングワイヤまたはバンプまたはアルミニウムなどの接続部材９５３および９６２を用いて電気的コンタクトが形成される。半導体チップ９４０上に形成された回路部分すべてに対し安定に電源電圧を供給することができるとともに、一定の電圧レベルの内部電圧を伝達することができる。
なお、この図１２５において、ダミーリード９６０および電源フレームリード９５２のループを形成する形状は任意である。
電源フレームリード９５２および内部電圧伝達用のダミーリード９６０をそれぞれ複数のループを有するように形成することにより、ノイズ発生時において各ループにおいて流れる電流が逆方向となり、ノイズが相互に打ち消されることになり、ノイズ発生時においても安定に電源電圧および内部電圧を供給することができる。
以上のように、この発明の第２７の実施例の構成に従えば、信号入出力用および電圧入力のためのフレームと所定の内部電圧を伝達するフレームとを別々の層に形成したため、半導体チップ上の内部電圧を利用する回路部分へ安定に所定の電圧レベルの内部電圧を伝達することができる。
［実施例２８］
図１２６は、この発明の第２８の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。図１２６において、内部電圧線１０００上には、内部電圧発生回路１０１０からの内部電圧が伝達される。この内部電圧線１０００は、寄生容量を有しており、この内部電圧発生回路１０１０からの内部電圧レベルにその電位レベルが決定される。内部電圧発生回路１０１０は、電圧源ノード１に結合され、一定の電流を供給する定電流源１０１１と、定電流源１０１１と接地ノードとの間に接続される抵抗素子１０１２を含む。抵抗素子１０１２は、定電流源１０１１から与えられる電流Ｉに従って内部電圧を発生する。この内部電圧発生回路１０１０が発生する内部電圧は動作電源電圧、半導体記憶装置においてプリチャージ時に利用される中間電圧、または必要とされる基準電圧いずれであってもよい。
内部電圧線１０００に対し、複数の互いに分離されるサブ内部電圧線１００２ａ，１００２ｂ，１００３ｃ，…が配置される。これらのサブ内部電圧線１００２ａ〜１００３ｃ，…それぞれと内部電圧線１０００との間に溶断可能なリンク素子１００４ａ，１００４ｂ，１００４ｃ，…が配置される。
このサブ内部電圧線１００２ａ〜１００３ｃ，…は、それに接続される負荷回路の機能に応じて配置されてもよく、また半導体チップ上での負荷回路の位置に応じて配置されてもよく、また後にその一例を示すが、半導体記憶装置のメモリブロックのように、１つの機能単位となるブロックごとに設けられてもよい。
製造工程時においては、パーティクルの混入などにより、サブ内部電圧線１００２ｂと接地線１０１５の間にショート（抵抗Ｒｓで示す）が発生する場合がある。この場合、短絡抵抗Ｒｓの抵抗値が比較的大きく、サブ内部電圧線１００２ｂ上の電圧を所定値レベル以上に保持することができる場合であっても、基準電圧発生回路１０１０は、そのサブ内部電圧線１００２ｂを一定電圧レベルに維持するために大きな電流を供給する必要がある。またこの短絡抵抗Ｒｓの抵抗値が小さい場合には、このサブ内部電圧線１００２ｂ上の電圧レベルが低下し、応じて他の内部電圧線１００２ａ，１００３ｃ，…上の電圧レベルが低下し、半導体装置が正常に動作しなくなることが生じる。そこで、リンク素子１００４ｂをたとえばレーザブローにより溶断し、このサブ内部電圧線１００２ｂを内部電圧線１０００から分離する。これにより、サブ内部電圧線１００２ａ，１００３ｃ，…は、この短絡抵抗Ｒｓの影響を受けることなく、安定な一定電圧レベルの電圧を内部電圧発生回路１０１０から受けることができる。また内部電圧発生回路１０１０は、この短絡抵抗Ｒｓによる消費電流増加を生じることがなく、安定に一定の電圧レベルの内部電圧を発生することができる。
なお、電圧源ノード１は、外部電源電圧ではなく、内部電源電圧であってもよい。
［変更例１］
図１２７は、この発明の第２８の実施例の変更例の構成を示す図である。図１２７に示す構成においては、サブ内部電圧線１００３ａ〜１００３ｃ，…それぞれに対応して導通時対応のサブ内部電圧線を内部電圧線１０００に接続するｐチャネルＭＯＳトランジスタでそれぞれが構成されるスイッチング素子１０２０ａ，１０２０ｂ，１０２０ｃ，…が設けられる。
スイッチング素子１０２０ａ〜１０２０ｃ，…それぞれに対応して、これらのスイッチング素子１０２０ａ〜１０２０ｃ，…の導通／非導通を制御するための信号を発生するプログラム回路１０２５ａ，１０２５ｂ，…が配置される。図１２７においては、２つのプログラム回路１０２５ａおよび１０２５ｂを代表的に示す。プログラム回路１０２５ａおよび１０２５ｂは、同じ構成を備え、各々は、電圧源ノード１に接続される一方導通ノードと、接地ノードに接続されるゲート電極と、リンク素子１０３１を介して信号線１０３５に接続される他方導通ノードとを有するｐチャネルＭＯＳトランジスタ１０３０と、信号線１０３５に接続される一方導通ノードと接地ノードに接続される他方導通ノードと接地電位に接続されるゲート電極を有するｐチャネルＭＯＳトランジスタ１０３２と、信号線１０３５上の電位を反転するインバータ１０３３と、インバータ１０３３の出力信号に従って選択的に信号線１０３５を接地ノードへ接続するｎチャネルＭＯＳトランジスタ１０３４を含む。次に動作について説明する。
短絡抵抗Ｒｓが何ら存在しない場合においては、プログラム回路１０２５ａおよび１０２５ｂにおいては、リンク素子１０３１は導通状態（非溶断状態）とされる。この状態においては、信号線１０３５上の電位がＭＯＳトランジスタ１０３０によりハイレベルに充電され、応じてインバータ１０３３の出力信号がローレベルとなる。ＭＯＳトランジスタ１０３４はこのときには非導通状態である。したがって、プログラム回路１０２５ａ，１０２５ｂ，…からはローレベルの信号が出力され、スイッチング素子１０２０ａ〜１０２０ｃ，…はすべて導通状態にあり、サブ内部電圧線１００３ａ〜１００３ｃ，…は内部電圧線１０００に接続され、内部電圧発生回路１０１０からの内部電圧を受ける。
一方、サブ内部電圧線１００３ｂに短絡抵抗Ｒｓが存在する場合、このサブ内部電圧線１００３ｂに対応するプログラム回路１０２５ｂにおいて、リンク素子１０３１が溶断される。ＭＯＳトランジスタ１０３０が信号線１０３５から切り離され、フローティング状態とされる。ＭＯＳトランジスタ１０３２はそのゲート電位が接地電圧レベルでありローレベルである。電源投入時の初期状態においては、信号線１０３５は、したがってローレベルであり、電源投入にしたがって、インバータ１０３３の出力信号はハイレベルに立上がり応じてＭＯＳトランジスタ１０３４が導通し、このプログラム回路１０２５ｂからの出力信号はハイレベルに固定される。プログラム回路１０２５ａでは、リンク素子１０３１は導通状態にあり、したがってこのプログラム回路１０２５ａからは正常状態時と同様のローレベルの信号が出力される。したがって、サブ内部電圧線１００３ｂに対して設けられたスイッチング素子１０２０ｂのみが非導通状態とされ、短絡が生じたサブ電圧線１００３ｂが内部電圧線１０００から切り離される。これにより短絡抵抗Ｒｓの影響を排除し、安定に残りの正常なサブ内部電圧線１００３ａおよび１００３ｃ，…へ所定の電圧レベルの内部電圧を供給することができる。
サブ内部電圧線１００３ａ〜１００３ｃ，…および内部電圧線１０００の間にスイッチング素子を設けることにより、この短絡発生時においてこの対応のサブ内部電源線とメイン内部電圧線とを分離するとき、リンク素子溶断による飛散した切片により内部電圧線と正常なサブ内部電圧線との短絡または短絡の生じたサブ内部電圧線と内部電圧線との短絡が生じるのを防止することができ、確実に不良が発生したサブ内部電圧線を内部電圧線から分離することができる。
［変更例２］
図１２８は、この発明の第２８の実施例の第２の変更例の構成を示す図である。この図１２８に示す構成は、図１２７に示す構成と、内部電圧発生回路１０１０に代えて、ドライブ素子２と比較器３で構成される内部電源電圧発生回路が用いられることを除いて同じである。したがって図１２８において、図１２７に示す構成と対応する部分には同一参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
この内部電源電圧発生回路は、内部電圧線１０００上の電圧と基準電圧Ｖｒｅｆとを比較器３で比較し、この比較結果に従ってドライブ素子２を介して電圧源ノード１から内部電圧線１０００へ電流を供給する。したがって内部電圧線１０００およびサブ内部電圧線１００３ａ〜１００３ｃ，…は電源電圧線として機能する。不良（短絡抵抗Ｒｓ）の発生したサブ内部電圧線１００３ｂを内部電圧線１０００から切り離すことにより、各回路に対し安定に一定の電圧レベルの内部電源電圧を供給することができ、応じて半導体装置を安定に動作させることができる。また不良が生じた内部電源線を内部電源電圧発生回路から切り離すことにより、この内部電源電圧発生回路の消費電流が低減される（不良（短絡抵抗）におけるリーク電流が不要となるため）。
なお、この比較器３およびドライブ素子２で構成される内部電源電圧発生回路の構成に代えて、さらに高電圧ＶＰＰを発生する回路が用いられてもよい。
以上のように、この発明の第２８の実施例の構成に従えば、不良の発生したサブ内部電圧線を内部電圧線から切り離すように構成したため、正常なサブ内部電圧線へ安定に一定の電圧レベルの内部電圧を供給することができ、サブ内部電圧線上の電圧を使用する内部回路を安定に動作させることができる。また、この不良におけるリーク電流がなくなるため、内部電圧発生回路の消費電流が低減される。
［実施例２９］
図１２９は、この発明の第２９の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。図１２９においては、半導体記憶装置のメモリセルアレイ部の構成が一例として示される。
図１２９において、半導体装置は、行および列のマトリクス状に配列される複数のメモリセルを含む。図１２９においては、一例として、４行１列に配置されたメモリセルＭＣ０〜ＭＣ３を代表的に示す。半導体装置は、さらにメモリセルアレイの各行に対応して配置され、それぞれに対応の行のメモリセルが接続されるワード線ＷＬ０〜ＷＬ３と、メモリセルの各列に対応して配置され、それぞれに対応の列のメモリセルが接続されるビット線対ＢＬ，ＺＢＬを含む。ビット線対ＢＬおよびＺＢＬは互いに相補なデータ信号を伝達する。ここで、ワード線ＷＬ０〜ＷＬ３が、１つのグループを構成する。
半導体装置は、さらに、図示しないアドレスバッファからの内部アドレス信号をデコードし、このワード線ＷＬ０〜ＷＬ３のグループを指定するワード線グループ信号を出力するロウデコーダ１１００と、図示しないアドレスバッファからの内部アドレス信号をプリデコードするプリデコーダ１１０２と、ワード線ＷＬ０〜ＷＬ３それぞれに対応して配置され、プリデコーダ１１０２の出力信号に従って対応のワード線上へワード線選択信号を伝達するＸデコーダＸ０〜Ｘ３を含む。プリデコーダ１１０２は、たとえば２ビットのアドレス信号をプリデコードし、ＸデコーダＸ０〜Ｘ３のいずれかを選択状態とする信号を出力する。ＸデコーダＸ０〜Ｘ３の各々は、直列接続されたｎチャネルＭＯＳトランジスタで構成されるＮＡＮＤ型デコーダの構成を備える。
ＸデコーダＸ０〜Ｘ３それぞれに対し、ロウデコーダ１１００からのワード線グループ指定信号に応答して導通し、対応のＸデコーダＸ０〜Ｘ３の出力信号を伝達するデコーダとして機能する選択ゲートＴｒＸが配置される。
ワード線ＷＬ０〜ＷＬ３それぞれに対応して、この選択ゲートＴｒＸから与えられる信号のレベル変換を行なって選択されたワード線上へ高電圧ＶＰＰレベルの電圧を伝達するワードドライバＷＤ０〜ＷＤ３が配置される。ワードドライバＷＤ０〜ＷＤ３の各々は、選択時、高電圧印加ノード１１１４ａ〜１１１４ｄに与えられた高電圧を対応のＷＬ０〜ＷＬ３へ伝達する。ワードドライバＷＤ０〜ＷＤ３は、それぞれ同一構成を備え、高電圧印加ノード１１１４（１１１４ａ〜１１１４ｄ）と接地ノードとの間に接続されて対応の選択ゲートＴｒＸを介して与えられた信号を反転するインバータを構成するｐチャネルＭＯＳトランジスタＸＰｂおよびｎチャネルＭＯＳトランジスタＸＮと、対応のワード線ＷＬ（ＷＬ０〜ＷＬ３）上の電位がローレベルのとき高電圧印加ノード１１１４（１１１４ａ〜１１１４ｄ）に与えられた高電圧をＭＯＳトランジスタＸＰｂおよびＸＮのゲートへ伝達するｐチャネルＭＯＳトランジスタＸＰａを含む。すなわち、ワードドライバＷＤ０〜ＷＤ３は、「ハーフラッチ」のレベル変換器の構成を備える。
ワードドライバＷＤ０〜ＷＤ３のそれぞれの高電圧印加ノード１１１４ａ〜１１１４ｄと高電圧発生回路（先の実施例のいずれの高電圧発生回路であってもよい）の高電圧が伝達される高電圧ノード１１００との間に、溶断可能なリンク素子１１１２ａ〜１１１２ｄが設けられる。次に動作について説明する。
正常時においては、リンク素子１１１２ａ〜１１１２ｄはすべて導通状態にある。この状態においては、プリデコーダ１１０２の出力信号に従ってＸデコードＸ０〜Ｘ３のいずれかが選択され、選択状態とされたＸデコーダがローレベルの信号を出力する。ロウデコーダ１１００からのグループ指定信号ＷＬＧ１が選択状態のハイレベルとされると、選択ゲートＴｒＸが導通状態とされる。このとき他のワード線グループを指定するワード線グループ指定信号ＷＬＧ２はローレベルである。
この状態で、選択ワード線ＷＬ０に接続されるメモリセルＭＣ０のデータがビット線ＢＬ上に読出され、図示しないセンスアンプにより検知増幅された後に、データの読出／書込が実行される。
上述のように、不良ワードドライバ（短絡の発生したワードドライバ）に対する高電圧印加ノードを高電圧発生回路から切り離すことにより、高電圧発生回路の消費電流を低減し、各ワードドライバに対し安定に一定の電圧レベルの高電圧ＶＰＰを供給することができる。
［変更例１］
図１３０は、この発明の第２９の実施例の第１の変更例の構成を示す図である。図１３０においても、４本のワード線ＷＬ０〜ＷＬ３が１つのグループとしてロウデコーダ１１００の出力信号により選択される。図１３０において、図１２９の構成と対応する構成には同一の参照番号を付し、その詳細説明は省略する。この図１３０に示す構成においては、１つのグループを構成するワードドライバＷＤ０〜ＷＤ３の高電圧印加ノード１１１４ａ〜１１１４ｄが低抵抗配線１１１５により相互接続される。１つのワードドライバＷＤ０の高電圧印加ノード１１１４ａがリンク素子１１１２を介して高電圧ノード１１１０に結合される。１つのワード線グループにおいて不良ワードドライバが存在する場合には、リンク素子１１１２が溶断される。これにより４つのワードドライバＷＤ０〜ＷＤ３の高電圧印加ノード１１１４ａ〜１１１４ｄが高電圧ノード１１１０から切り離され、これらのワードドライバＷＤ０〜ＷＤ３に対する高電圧供給が禁止される。図１２９に示す構成においては、１本のワード線（ワードドライバ）ごとに救済が可能であるが、この図１３０に示す構成においては、１つのワード線グループを単位として救済（置換）が行なわれる。確実に不良ワードドライバにおけるリーク電流を抑制することができる。
上述のように、ワード線不良（ワードドライバ不良）が生じた場合、単にワード線の置換のみを行なうのではなく、ワードドライバに対する高電圧供給をも停止することにより、高電圧発生回路の負荷が軽減され、応じて安定に高電圧を各正常な回路へ供給することができる。また応じて高電圧発生回路の消費電流も低減され、低消費電流の半導体装置（半導体記憶装置）が実現される。
［冗長部の構成］
図１３１は、図１３０に示す不良ワードドライバと置換されるべき冗長回路の部分の構成を示す図である。図１３１においては、ワード線ＷＬ０〜ＷＬ３のグループと置換されるスペアワード線ＳＷＬ０〜ＳＷＬ３が設けられる。スペアワード線ＳＷＬ０〜ＳＷＬ３それぞれに対応してスペアワードドライバＳＷＤ０〜ＳＷＤ３が設けられる。スペアワードドライバＳＷＤ０〜ＳＷＤ３の構成は、図１３０に示すワードドライバＷＤ０〜ＷＤ３の構成と同じであり、対応する構成要素に対し末尾に“ｓ”を付し、その詳細説明は省略する。スペアワードドライバＳＷＤ０〜ＳＷＤ３の高電圧印加ノード１１１４ａｓ〜１１１４ｄｓの各々は信号線（低抵抗配線）１１１５ｓを介して相互接続される。スペアワードドライバＳＷＤ０の高電圧印加ノード１１１４ａｓは、プログラム回路１１２０の出力信号に応答して導通するｐチャネルＭＯＳトランジスタで構成されるスイッチングトランジスタ１１２５を介して高電圧ノード１１１０に結合される。
プログラム回路１１２０は、電圧源ノード（外部電源電圧、内部電源電圧いずれであってもよい）１１２１に結合される一方導通ノードと接地ノードに接続されるゲート電極とリンク素子１１２３に接続される他方導通ノードを有するｐチャネルＭＯＳトランジスタ１１２２と、リンク素子に接続される一方導通ノードと接地電位に接続されるゲート電極と接地電位に接続される他方導通ノードとを有するｎチャネルＭＯＳトランジスタ１１２４と、リンク素子１１２３とＭＯＳトランジスタ１１２０の接続ノードに接続される信号線１１２８上の電位を反転するインバータ１１２６と、インバータ１１２６の出力信号に応答して信号線１１２８を選択的に接地電位へ結合するスイッチング素子１１２５と、インバータ１１２６の出力信号を反転するインバータ１１２７を含む。インバータ１１２７は、ワードドライバＷＤ０〜ＷＤ３およびスペアワードドライバＳＷＤ０〜ＳＷＤ３と同様、レベル変換機能を備え、高電圧ＶＰＰレベルのハイレベルの信号を出力する。
このスペアワードドライバＳＷＤ０〜ＳＷＤ３のグループを選択するために不良ワード線（不良ワードドライバ）選択時に活性化されてグループの指定信号を出力するスペアロウデコーダ１１０１と、不良ワード線（不良ワードドライバ）選択時に活性状態とされ、スペアワード線ＳＷＬ０〜ＳＷＬ３のうちの１つを特定する信号を出力するためのスペアプリデコーダ１１０３と、スペアプリデコーダ１１０３の出力信号をデコードする、スペアワード線ＳＷＬ０〜ＳＷＬ３それぞれに対応して設けられるスペアＸデコーダＳＸ０〜ＳＸ３と、スペアロウデコーダ１１０１の出力信号に従ってスペアＸデコーダＸ０〜Ｘ３の出力信号を対応のスペアワードドライバＳＷＤ０〜ＳＷＤ３へ伝達する選択ゲートＳＴｒＸを含む。
プログラム回路１１２０では、このスペアワード線ＳＷＬ０〜ＳＷＬ３が使用されないとき（不良ワード線または不良ワードドライバが存在しないとき）においては、リンク素子１１２３は導通状態とされる。この状態においては、信号線１１２８上の電位がハイレベルであり、インバータ１１２６の出力信号が接地電位レベルのローレベルとされる。この場合、インバータ１１２７からは高電圧ＶＰＰレベルの信号が出力され、スイッチング素子１１３０が非導通状態とされてスペアワードドライバＳＷＤ０〜ＳＷＤ３へは高電圧が供給されない。
不良ワード線（または不良ワードドライバ）が存在するとき、リンク素子１１２３が溶断され、信号線１１２８上の電位が接地電位レベルとなる（ＭＯＳトランジスタ１１２４が非導通状態であるが、電源投入時の信号線１１２８上の電位はローレベルであり、インバータ１１２６およびスイッチング素子１１２５により接地電位レベルの電位に固定される）。応じてインバータ１１２７の出力信号が接地電位レベルのローレベルとなり、スイッチングトランジスタ１１３０が導通し、スペアワードドライバＳＷＤ０〜ＳＷＤ３へ高電圧ノード１１１０からの高電圧が各高電圧印加ノード１１１４ａｓ〜１１１４ｄｓへ伝達される。この状態において、不良ワードドライバが選択されたときには、スペアロウデコーダ１１０１およびスペアプリデコーダ１１０３が活性状態とされ、不良ワード線と置換されたスペアワード線が選択状態とされる。
上述の構成において不良ワード線（または不良ワードドライバ）が存在するときのみ冗長回路部分へ高電圧を印加することができ、不必要な高電圧の使用を停止することができ、高電圧発生回路の負荷が軽減される。
なお、上述の半導体装置においては、不良ワード線の救済（置換）は４本のワード線をグループ（単位）として救済（置換）が行なわれている。しかしながら、この不良救済は、１つのメモリブロック（たとえばワード線６４本）単位で置換が行なわれる構成であっても本実施例の構成は適用可能である。
［実施例３０］
図１３２は、この発明の第３０の実施例である半導体装置の要部の構成を示す図である。図１３２においては、内部電圧線１３００上には電圧発生部１３０２からの内部電圧が伝達される。この電圧発生部１３０２は、外部電源電圧を電圧線１３００へ与えてもよく、また高電圧ＶＰＰを発生してもよく、また内部降圧された電源電圧を発生してもよい。この内部電圧線１３００に対し並列にそれぞれが同じ機能を実現する複数の内部回路１３０２ａ〜１３０２ｇがリンク素子１３０５ａ〜１３０５ｇを介して相互接続される。内部回路１３０２ａ〜１３０２ｅは、それぞれが同じ機能を実現する回路であればよく、たとえば半導体記憶装置における１つのメモリブロックまたはメモリアレイであってもよく、また１つのメモリブロックにおけるセンスアンプ、またはワードドライバであってもよい。
内部回路１３０２ａ〜１３０２ｇと同一の機能を実現する冗長内部回路１３０２ｈおよび１３０２ｉがそれぞれ、また、並列にスイッチング素子１３１０ａ〜１３１０ｂを介して内部電圧線１３００に接続される。スイッチング素子１３１０ａおよび１３１０ｂはそれぞれに対応して設けられるプログラム回路１３２０ａおよび１３２０ｂの出力信号によりその導通／非導通が制御される。
内部回路１３０２ａ〜１３０２ｇが正常状態においては、リンク素子１３０５ａ〜１３０５ｇは導通状態とされる。同様、プログラム回路１３２０ａおよび１３２０ｂにおいてもリンク素子１３２５は導通状態とされる。この状態においては、プログラム回路１３２０ａからは、先の実施例と同様にして、インバータからローレベルの信号が出力され、スイッチングトランジスタ１３１０ａおよび１３１０ｂは非導通状態とされて冗長内部回路１３０８ａおよび１３０８ｂは内部電圧伝達線１３００から切り離される。
内部回路１３０２ａ〜１３０２ｇのいずれかにおいて不良が発生した場合、不良が発生した内部回路の対応のリンク素子１３０５が溶断され、内部電圧伝達線１３００から不良内部回路が切り離される。同様、プログラム回路１３２０ａおよび１３２０ｂの一方または双方においてリンク素子１３２５が溶断され、プログラム回路１３２０ａおよび／または１３２０ｂからの信号がハイレベルとされ、スイッチングトランジスタ１３１０ａおよび／または１３１０ｂが導通状態とされ、冗長内部回路１３０８ａおよび／または１３０８ｂが内部電圧線１３００に接続される。これにより、不良内部回路と冗長内部回路との置換が行なわれる。これにより、電圧発生部１３０２は不良内部回路から切り離されるため、不必要な電流消費がなくなり、安定に一定の電圧レベルの電圧を各内部回路および／または冗長内部回路へ供給することができ、安定な内部電圧を伝達する内部電圧発生系を実現することができる。
この発明は、一般に内部で電圧を発生する内部電圧発生回路を備える半導体装置に対して適用することができる。
１ 外部電源ノード、１ａ，１ｂ 外部電源パッド、２，２ａ〜２ｃ ドライブトランジスタ、３，３ａ〜３ｃ 比較回路、４ 基準電圧発生回路、５ 内部電源線、７，７ａ〜７ｄ 負荷回路、Ｚ１，Ｚ２ 抵抗素子、Ｎ１〜Ｎ９２ ｎチャネルＭＯＳトランジスタ、Ｐ１〜Ｐ９４ ｐチャネルＭＯＳトランジスタ、１０ 電圧降下手段、Ｃ１，Ｃ２ 容量、Ｒ５ 抵抗素子、２０ 充電回路、Ｃ１０ タンク容量、２７ スイッチング素子、２５ 充電部、２７ スイッチング素子、４０ ドライブ用ｎチャネルＭＯＳトランジスタ、４１ 比較回路、４２ スイッチング用ｎチャネルＭＯＳトランジスタ、４５ 電源投入検出回路、４６ ｐチャネルＭＯＳトランジスタ、４７ ｎチャネルＭＯＳトランジスタ、４８ ｐチャネルＭＯＳトランジスタ、５０ 増幅回路、５１ 振幅制限回路、５２，５３ ＣＭＯＳインバータ、６０ ｐチャネルＭＯＳトランジスタ、７０ 増幅回路、７２，７４，７６ カレントミラー型差動増幅回路、１１０ａ，１１０ｂ アレイ用内部降圧回路、１１２ 周辺用内部降圧回路、１２０ 基準電圧発生部、１２１ 電流源用基準電圧発生回路、１２２ ノーマル用基準電圧発生回路、１２３ スタートアップ回路、１２４ バーンイン用基準電圧発生回路、１２５ 振幅制限信号発生回路、１２６ 基準電圧発生回路、１２７ 定電流発生回路、１３０ 内部電圧発生部、１３２ 活性内部降圧回路、１３４ 活性分圧回路、１３６ 常時内部降圧回路、１３８ 常時分圧回路、１４０ ローパスフィルタ、２２０ 基準電圧発生部、２２１ 電流源用基準電圧発生回路、２２２ ノーマル用基準電圧発生回路、２２３ スタートアップ回路、２２４ バーンイン用基準電圧発生回路、２２５ 振幅制限信号発生回路、２２６ 基準電圧発生回路、２２７ 定電流発生回路、２３０ 内部電圧発生部、２３２ 活性内部降圧回路、２３４ 活性内部降圧回路、２３６ 常時内部降圧回路、２３８ 常時内部降圧回路、２３５ａ，２３５ｂ 内部電源線、２４０ ローパスフィルタ、２４２，２４４ 活性内部降圧回路、２４５ａ，２４５ｂ 内部電源線、２４７ 常時内部降圧回路、２５０ａ，２５０ｂ スイッチング素子、３００ 積分部、３０２ 第１の差動増幅回路、３０４ 第２の差動増幅回路、３０５ チャージポンプ回路、３０６ ｐチャネルＭＯＳトランジスタ、３０８ ｎチャネルＭＯＳトランジスタ、３０９ ループフィルタ、３１０ 調節部、３１２ Ａ／Ｄコンバータ、ＰＢａ〜ＰＢｄ ｐチャネルＭＯＳトランジスタ、６０ａ〜６０ｄ 第２のドライブ素子を構成するｐチャネルＭＯＳトランジスタ、３１５ ｐチャネルＭＯＳトランジスタ、４００ 充電回路、４１０ キャパシタ、４２０ アクティブリストア回路、４３０ センスアンプ、４４０ ビット線イコライズ回路、４５０ イコライズ／プリチャージ回路、ＰＱ１〜ＰＱ４ ｐチャネルＭＯＳトランジスタ、ＮＱ１〜ＮＱ８ ｎチャネルＭＯＳトランジスタ、ＳＷａ〜ＳＷｎ スイッチング素子、５００ 基準電圧発生器、５１０ 周波数検出器、５２０ 選択情報発生器、６００ 第１の高電圧線、６０２ 第２の高電圧線、６０５ 第１のドライブ素子、６０４，６０６ 比較器、６０７ 第２のドライブ素子、６１０ 昇圧電圧発生回路、６２０ レベル検出器、６１５ 昇圧電圧発生回路、６３０ リングオシレータ、６３２ インバータドライバ、６３３，６３３ａ，６３３ｂ キャパシタ、６３６，６３６ａ，６３６ｂ 出力トランジスタ、６４３ａ，６４３ｂ 制御用スイッチング素子、６０６ 比較器、６０５ 第１のドライブ素子、６０７ 第２のドライブ素子、６１０，６１５ 昇圧電圧発生回路、６１６
リングオシレータ、６２０ レベル検出器、６３０ リングオシレータ、６３２，６３２ａ，６３２ｂ インバータドライバ、６３３，６３３ａ，６３３ｂ チャージポンプキャパシタ、６３６，６３６ａ，６３６ｂ 出力トランジスタ、６４３ａ，６４３ｂ スイッチング素子、６７０ レベル検出器、６８０ リングオシレータ、６９０ 駆動電流源、７０２ 低下電流源、７０４ 低電流源、７０６ 引算回路、７１２ 昇圧電圧発生回路、７１４ 低電流源、７１６ 抵抗素子、７３０ａ〜７３０ｃ ドライブ素子、７２５，７２０ａ，７２０ｂ 基準電圧伝達線、７４８ａ，７４８ｂ 第２のドライブ素子、７４９ａ，７４９ｂ スイッチング素子、７５０ 電圧線、７５２ ゲート電極層、７５５
内部電圧伝達線、７８２ 基準電圧伝達線、７８４ ゲート電極層、７８０ 電圧伝達線、７９０ 内部電圧伝達線、８００ 電源線、８１０ ゲート電極層、８１４ 基準電圧伝達線、８２０ 内部電圧伝達線、８６０ 電流供給回路、８７０ ダミーリード、９１０ ＶＰＰ発生回路、９２０，９３０ａ，９３０ｂ，９６０ ダミーリード、９５２ フレームリード、１０００ メイン内部電圧線、１００２ａ〜１００３ｃ サブ内部電圧線、１００４ａ〜１００４ｃ リンク素子、１０１０ 内部電圧発生回路、１０２５ａ，１０２５ｂ プログラム回路、１１００ 高電圧ノード、１１１４ａ〜１１１４ｄ 高電圧印加ノード、ＷＤ０〜ＷＤ３ ワードドライバ、ＳＷＤ０〜ＳＷＤ３ 冗長ワードドライバ、１１１２，１１１２ａ〜１１１２ｄ リンク素子、１１２０ プログラム回路、１１３０ スイッチング素子、１３００ 内部電圧伝達線、１３０２ａ〜１３０２ｇ 内部回路、１３０５ａ〜１３０５ｇ リンク素子、１３０８ａ，１３０８ｂ 冗長内部回路、１３１０ａ，１３１０ｂ スイッチング素子、１３２０ａ，１３２０ｂ プログラム回路、１３０２ 電圧発生部、２３０１ 比較回路、２３３０ａ，２３３０ｂ 比較回路、２３２０ａ，２３２０ｂ ドライブ素子、２３５０，２３５２ ドライブ素子、２３６０ スイッチング素子、２３６０ 可変コンダクタンス素子、２３１０ 基準電圧発生回路、２３３０ 比較回路、２３２０ ドライブ素子、２４０１ レベル調整器、２４１０，２４１２ 比較回路、２４１１，２４１４ ドライブ素子、２４３０ 選択信号発生回路、２４４０ 選択回路、２３３０ 比較回路、２４５４ 動作モード検出器、２４７０ 基準電圧発生回路、２４４４ 比較回路電流源トランジスタ。

Claims (4)

  1. 複数の互いに電圧レベルの異なる基準電圧を発生する基準電圧発生手段、および
    前記基準電圧発生手段が発生する複数の基準電圧のうち１つの基準電圧を選択する選択手段を備え、前記選択手段は、周期的に与えられるクロック信号の周波数を示す情報を出力する周波数検出器を含み、前記周波数を示す情報に従って基準電圧を選択し、さらに、
    前記選択手段により選択された基準電圧と内部電圧線上の電圧とを比較する比較手段、
    および
    前記比較手段の出力信号に従って前記内部電圧線と電源ノードとの間を流れる電流量を調整するドライブ素子を備える、半導体装置。
  2. 前記周波数検出器は、ＰＬＬ回路を含み、
    前記選択手段は、前記ＰＬＬ回路の出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータをさらに含む、請求項１記載の半導体装置。
  3. 前記ＰＬＬ回路は、電圧制御発振器、前記クロック信号と前記電圧制御発振器の出力信号との位相を比較する位相比較器、前記位相比較器からの位相誤差信号をアナログ変換するチャージポンプ回路、および前記チャージポンプ回路の出力信号によりその充電電位が設定されるル-プフィルタを含み、
    前記電圧制御発振器は、前記ループフィルタから与えられる電圧に従って発振周波数が変化し、
    前記ＰＬＬ回路の出力は、前記ループフィルタから与えられる電圧である、請求項２記載の半導体装置。
  4. 前記周期的に与えられるクロック信号は、外部から周期的に与えられるこの前記半導体装置の動作速度を決定するクロック信号である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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