JP5036027B2 - 超伝導素子及びその作製方法 - Google Patents
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Z.K.Tang et.al., Science 292, 2462(2001) J.Haruyama et.al., Applied Physics Letters, vol.84, 2004, 23, 4714-4716 春山純志、社団法人電気学会、電子材料研究会資料、資料番号EFM−03−41
(表1)
(比較例1)
(比較例2)
(比較例3)
3 MWNT 4 金属電極
21 細孔 22 触媒
31 切断面 S 基板
Claims (11)
- 多層カーボンナノチューブとAu、Pd及びTiから選ばれた少なくとも1種の金属又は合金からなる金属電極とを備えた超伝導素子であって、前記多層カーボンナノチューブは、その直径が5〜20nm、その層数が2〜20であり、かつ、その長手方向に対し垂直に切断された切断面を有し、前記金属電極は、この切断面で多層カーボンナノチューブと接触していることを特徴とする超伝導素子。
- 前記多層カーボンナノチューブが、強磁性体を含んでおらず、かつ、欠陥がないことを特徴とする請求項1の超伝導素子。
- 前記多層カーボンナノチューブが、多孔質膜の細孔中に形成されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の超伝導素子。
- 前記超伝導素子に金属電極から電圧を印加した場合の超伝導転移温度が、12K以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の超伝導素子。
- 触媒にカーボンナノチューブ成長ガスを接触させて多層カーボンナノチューブを形成するカーボンナノチューブ形成工程と、形成された多層カーボンナノチューブをその長手方向に対して垂直に切断する切断工程と、Au、Pd及びTiから選ばれた少なくとも1種の金属又は合金からなる金属電極を多層カーボンナノチューブの切断面に接触するように形成する電極形成工程とを含み、
前記カーボンナノチューブ形成工程が、直径が5〜20nmの細孔を有する多孔質膜を形成する膜形成工程と、多孔質膜の細孔内に触媒を形成する触媒形成工程と、カーボンナノチューブ成長ガスを10〜20分間触媒に接触させ多層カーボンナノチューブを成長させる成長工程とを含む
ことを特徴とする超伝導素子の作製方法。 - 前記触媒が強磁性体からなることを特徴とする請求項5記載の超伝導素子の作製方法。
- 前記カーボンナノチューブ成長ガスがアルコールガスを含むガスであることを特徴とする請求項5又は6に記載の超伝導素子の作製方法。
- 前記切断工程を、超音波処理により行なうことを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の超伝導素子の作製方法。
- 前記触媒形成工程が、電界析出法を用いて触媒を形成する工程であって、印加電圧が6〜12Vであることを特徴とする請求項5〜8のいずれかに記載の超伝導素子の作製方法。
- 前記電極形成工程が、金属電極を形成した後に、550〜650℃でアニールするアニール工程を含むことを特徴とする請求項5〜9のいずれかに記載の超伝導素子の作製方法。
- 前記触媒が、Fe及びCoから選ばれた少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項5〜10のいずれかに記載の超伝導素子の作製方法。
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