JP5024265B2

JP5024265B2 - Heat spreader

Info

Publication number: JP5024265B2
Application number: JP2008297890A
Authority: JP
Inventors: 誠司井上; 哲崎道; 眞一横田; 一弥枝村
Original assignee: Denso Corp; Tokyo Institute of Technology NUC
Current assignee: Denso Corp; Tokyo Institute of Technology NUC
Priority date: 2008-11-21
Filing date: 2008-11-21
Publication date: 2012-09-12
Anticipated expiration: 2028-11-21
Also published as: JP2010123851A

Description

本発明は、発熱体の熱を拡散するための熱拡散装置に関するものである。 The present invention relates to a heat diffusing device for diffusing heat of a heating element.

インバータのパワー素子等の発熱体の発熱量は年々増大しており、単位面積当たりの発熱量すなわち熱流束も増大している。発熱量や熱流束が増大すると素子の温度が上昇し作動不良に至るおそれがある。したがって素子性能の向上のために高性能な素子冷却器が強く要求されている。冷却器は従来ヒートシンクを用いた空冷方式が主流であったが、近年ではより高性能な冷却器として、液冷方式の冷却器が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。 The amount of heat generated by a heating element such as a power element of an inverter increases year by year, and the amount of heat generated per unit area, that is, heat flux, also increases. When the amount of heat generation and heat flux increase, the temperature of the element rises and there is a risk of malfunction. Therefore, there is a strong demand for a high-performance element cooler to improve element performance. As the cooler, an air cooling method using a heat sink has been mainly used, but recently, a liquid cooling method cooler has been proposed as a higher performance cooler (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

また、発熱体（例えば電子部品）はさまざまな姿勢で取り付けられる可能性があり、また、加減速や遠心力などの慣性力を受ける環境下に置かれる可能性もある。したがって、どのような姿勢で取り付けられても、また、どのような方向の慣性力を受けても、発熱体を確実に冷却できるようにすることが求められる。 Further, the heating element (for example, an electronic component) may be attached in various postures, and may be placed in an environment that receives an inertial force such as acceleration / deceleration or centrifugal force. Therefore, it is required to reliably cool the heating element regardless of the posture in which it is attached or in any direction of inertia force.

液冷方式では、熱拡散装置内に液体を循環させることで、この液体を媒介として、発熱体の熱を拡散させる。したがって、液体を循環させるためのポンプが不可欠であるが、できるだけ簡素で耐久性の高いポンプが求められている。この要求に対し、電界共役流体（Ｅｌｅｃｔｒｏ−ＣｏｎｊｕｇａｔｅＦｌｕｉｄ）を用いたマイクロポンプが提案されている（例えば、特許文献３参照）。 In the liquid cooling method, the heat of the heating element is diffused by circulating the liquid in the heat diffusing device, using the liquid as a medium. Therefore, a pump for circulating the liquid is indispensable, but there is a demand for a pump that is as simple and durable as possible. In response to this requirement, a micropump using an electro-conjugate fluid has been proposed (for example, see Patent Document 3).

この電界共役流体（以下、ＥＣＦという）を用いた方式においては、電界共役流体に電圧を印加するポンプを用いることで、電界共役流体を流動させるようになっている。したがって、ＥＣＦを用いた方式では、液体を循環させるために可動部品を必要としないので、非常に簡素で高耐久なポンプが実現可能である。
特開平７−１４２８８６号公報特開２００５−３３５２号公報特開平１１−１２５１７３号公報特開２００５−２６４９８号公報特開２００４−４７９２２号公報 In the method using the electric field conjugate fluid (hereinafter referred to as ECF), the electric field conjugate fluid is caused to flow by using a pump that applies a voltage to the electric field conjugate fluid. Therefore, in the system using the ECF, no moving parts are required to circulate the liquid, so that a very simple and highly durable pump can be realized.
JP-A-7-142886 JP 2005-3352 A JP-A-11-125173 JP 2005-26498 A JP 2004-47922 A

しかし、ＥＣＦを用いた方式では、高電圧の印加が必要となるため、ＥＣＦの絶縁性が重要である。例えば、ＥＣＦの通路に異物や空気が混入し、その異物や空気がポンプの位置に到達すると、放電が発生してしまい、ポンプ性能の低下、液体の変質、ひいては過電流による発火などの危険性が生じる。したがって、空気や異物の混入を防ぐことが望ましいが、混入を完全に遮断することは不可能に近く、不可避的に空気や異物が混入してしまう。 However, in the system using the ECF, since a high voltage needs to be applied, the insulation of the ECF is important. For example, if foreign matter or air enters the ECF passage and the foreign matter or air reaches the position of the pump, discharge occurs, and there is a risk of deterioration in pump performance, liquid deterioration, and eventually ignition due to overcurrent. Occurs. Therefore, it is desirable to prevent air and foreign matter from being mixed in, but it is almost impossible to completely block the mixing, and air and foreign matter are inevitably mixed.

そこで本発明者は、ＥＣＦの通路に混入してもポンプの動作に影響が出ないよう、空気や異物をトラップ（すなわち捕捉）する方法について検討した。 Therefore, the present inventor studied a method for trapping (that is, trapping) air and foreign matter so that the operation of the pump is not affected even if it enters the ECF passage.

ＥＣＦでない液体の流路から空気のみをトラップする構造としては、特許文献４、５に記載のような方法が知られている。しかし、いずれも空気のみをトラップできるに過ぎず、空気と異物の両方をトラップすることはできない。また、特許文献４、５に記載のような方法を採用しても、冷却器の姿勢や冷却器にかかる慣性力の方向によっては、空気をうまくトラップできない場合がある。 As a structure for trapping only air from a liquid flow path other than ECF, methods as described in Patent Documents 4 and 5 are known. However, both can only trap air, and cannot trap both air and foreign matter. Even if the methods described in Patent Documents 4 and 5 are employed, air may not be trapped well depending on the attitude of the cooler and the direction of the inertial force applied to the cooler.

本発明は上記点に鑑み、ＥＣＦを用いて発熱体の熱を拡散する熱拡散装置において、この熱拡散装置の姿勢や熱拡散装置にかかる慣性力にかかわらず、ＥＣＦの通路中の空気と異物とを共に、ポンプの部分以外にトラップできるようにすることを目的とする。なお、本明細書においては、異物としては、ＥＣＦよりも比重が高く、ＥＣＦ内において沈殿する傾向にある異物（例えば、金属粉）のみを説明の対象とする。 In view of the above points, the present invention provides a heat diffusing device that diffuses the heat of a heating element using ECF, regardless of the attitude of the heat diffusing device and the inertial force applied to the heat diffusing device. Both of them are intended to be able to trap other than the pump part. In the present specification, only foreign matters (for example, metal powder) that have a higher specific gravity than ECF and tend to settle in the ECF are described as foreign matters.

上記目的を達成するための請求項１に記載の発明は、発熱体（３）が発する熱を拡散させるための熱拡散装置が、電界共役流体を循環させるための通路（１２、２１）を形成する通路形成部材（１）と、当該通路（１２、２１）中に取り付けられると共に電界共役流体に電圧を印加する電極（１３〜２０）と、を備え、当該通路（１２、２１）は、当該通路形成部材が特定の姿勢をとれば鉛直方向最上部となり得るトラップ可能部分（１２２〜１２８、２１ａ〜２１ｊ）と、当該通路形成部材がどのような姿勢をとっても鉛直方向最上部となり得ない非トラップ部分と、を有し、電極は、非トラップ部分に取り付けられていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is characterized in that the heat diffusion device for diffusing the heat generated by the heating element (3) forms a passage (12, 21) for circulating the electric field conjugate fluid. A passage forming member (1) and an electrode (13-20) that is attached in the passage (12, 21) and applies a voltage to the electric field conjugate fluid, the passage (12, 21) A trappable portion (122 to 128, 21a to 21j) that can be the top in the vertical direction if the passage forming member takes a specific posture, and a non-trap that cannot be the top in the vertical direction regardless of the posture of the passage forming member And the electrode is attached to the non-trap portion.

このように、電極が取り付けられる部分は、熱拡散装置がどのような姿勢をとっても鉛直方向最上部となり得ない部分である。したがって、熱拡散装置がどのような姿勢をとっても、電極が取り付けられる部分よりも高い所に位置する部分が、通路中に存在することになる。したがって、熱拡散装置がどのような姿勢をとっても、また、熱拡散装置にどのような外力が及ぼされても、電極が取り付けられる部分以外の部分に空気がトラップされることになる。 Thus, the part to which the electrode is attached is a part that cannot be the uppermost part in the vertical direction regardless of the posture of the thermal diffusion device. Therefore, regardless of the posture of the heat diffusing device, a portion located higher than the portion to which the electrode is attached is present in the passage. Therefore, no matter what posture the heat diffusing device takes or what external force is exerted on the heat diffusing device, air is trapped in a portion other than the portion where the electrode is attached.

また、熱拡散装置がどのような姿勢をとっても鉛直方向最上部となり得ない部分は、当然に、熱拡散装置がどのような姿勢をとっても鉛直方向最下部となり得ない部分である。したがって、熱拡散装置がどのような姿勢をとっても、電極が取り付けられる部分よりも低い所に位置する部分が、通路中に存在することになる。したがって、熱拡散装置がどのような姿勢をとっても、また、熱拡散装置にどのような外力が及ぼされても、電極が取り付けられる部分以外の部分に異物が沈殿してトラップされることになる。 Further, the portion that cannot be the uppermost portion in the vertical direction regardless of the posture of the heat diffusion device is naturally the portion that cannot be the lowermost portion in the vertical direction regardless of the posture of the heat diffusion device. Therefore, regardless of the posture of the heat diffusing device, there is a portion in the passage that is located lower than the portion where the electrode is attached. Therefore, no matter what posture the heat diffusing device takes, and what external force is exerted on the heat diffusing device, foreign matter precipitates and is trapped in a portion other than the portion where the electrode is attached.

このように、熱拡散装置の姿勢や熱拡散装置にかかる慣性力にかかわらず、ＥＣＦの通路中の空気と異物とを共に、ポンプ（すなわち電極）の部分以外にトラップすることができる。 Thus, regardless of the attitude of the heat diffusing device and the inertial force applied to the heat diffusing device, both air and foreign matter in the ECF passage can be trapped outside the pump (ie, electrode) portion.

また、請求項２に記載のように、トラップ可能部分は、１つ以上の拡幅部（１２２、１２３、１２７、１２８）を有し、当該１つ以上の拡幅部のそれぞれは、電界共役流体の流速が当該拡幅部の上流部分および下流部分に比べて低下するよう、当該上流部分および当該下流部分に比べて太くなっていることを特徴とする。 In addition, as described in claim 2, the trappable portion has one or more widened portions (122, 123, 127, 128), and each of the one or more widened portions is an electric field conjugate fluid. It is characterized by being thicker than the upstream portion and the downstream portion so that the flow velocity is lower than the upstream portion and the downstream portion of the widened portion.

このように、拡幅部がその前後の部分より太くなっていると、拡幅部におけるＥＣＦの流速が、他の部分よりも低下する。したがって、熱拡散装置の姿勢および熱拡散装置にかかる慣性力が特定の状態にあることで、拡幅部に空気または異物がトラップされるようになっている場合は、ＥＣＦに押し流されて空気または異物が拡幅部から流出してしまう可能性が低下する。すなわち、拡幅部における空気または異物のトラップが、より確実になる。 As described above, when the widened portion is thicker than the front and rear portions thereof, the flow rate of the ECF in the widened portion is lower than the other portions. Therefore, when the posture of the heat diffusing device and the inertial force applied to the heat diffusing device are in a specific state so that air or foreign matter is trapped in the widened portion, the air or foreign matter is pushed away by the ECF. Is less likely to flow out of the widened portion. That is, trapping of air or foreign matter in the widened portion becomes more reliable.

また、請求項３に記載のように、１つ以上の拡幅部のうち少なくとも１つは、互いに反対方向に膨らんだ２つの膨らみ部（１２２ｂ、１２２ｃ、１２７ｂ、１２７ｃ）を有するようになっていてもよい。このようになっていることで、熱拡散装置の姿勢が上下逆になって、一方の膨らみ部にトラップされていた空気または異物が流出しても、ただちに反対側に膨らんだ他方の膨らみ部に再トラップされる可能性が高い。したがって、空気および異物が電極に到達してしまう可能性をより低減することができる。 Further, as described in claim 3, at least one of the one or more widened portions has two bulge portions (122b, 122c, 127b, 127c) that bulge in opposite directions. Also good. In this way, even if the air diffuser trapped in one bulge flows out of the upside down position of the heat spreader, the other bulge immediately bulges to the other bulge. There is a high possibility of being re-trapped. Therefore, possibility that air and a foreign material will reach an electrode can be reduced more.

また、請求項４に記載のように、当該通路形成部材の外形は矩形の板形状となっており、上述の１つ以上の拡幅部は、４つあり、当該４つの拡幅部のそれぞれは、通路形成部材の矩形の四隅に配置されていてもよい。そして更に、当該４つの拡幅部のそれぞれは、当該通路形成部材の板面（すなわち、板の最も広い面（主面）に平行な面）に垂直な方向の両側に膨らんでいると共に、対応する通路形成部材の隅の方向に膨らんでいることで、当該４つの拡幅部をトラップ可能部分とし、当該通路（１２、２１）のうち当該４つの拡幅部以外の部分を非トラップ部分とするようになっていてもよい。 In addition, as described in claim 4, the outer shape of the passage forming member is a rectangular plate shape, and the one or more widened portions described above are four, and each of the four widened portions is You may arrange | position at the four corners of the rectangle of a channel | path formation member. Further, each of the four widened portions swells on both sides in a direction perpendicular to the plate surface of the passage forming member (that is, a surface parallel to the widest surface (main surface) of the plate) and corresponds. By swelling in the direction of the corner of the passage forming member, the four widened portions are set as trappable portions, and portions other than the four widened portions of the passages (12, 21) are set as non-trap portions. It may be.

熱拡散装置がこのような構造となっていることで、４つの拡幅部以外のどの位置に電極を取り付けても、熱拡散装置の姿勢や熱拡散装置にかかる慣性力にかかわらず、ＥＣＦの通路中の空気と異物とを共に、電極の部分以外にトラップできる。すなわち、電極の設置位置の自由度が非常に高まる。 Since the heat diffusion device has such a structure, regardless of the position of the heat diffusion device or the inertial force applied to the heat diffusion device, the ECF passage can be attached to any position other than the four widened portions. Both the air inside and the foreign matter can be trapped outside the electrode portion. That is, the degree of freedom of the electrode installation position is greatly increased.

また、請求項５に記載のように、通路形成部材の外形は板形状となっており、当該通路は、電界共役流体を通路形成部材の板面に沿って移動させるための通路であり、当該通路は、２つ以上の交差部（１２２ｂ、１２２ｃ、１２７ｂ、１２７ｃ）を有し、当該２つ以上の交差部のうち１つを、通路形成部材の板面に交差する第１の向きに延ばし、当該２つ以上の交差部のうち他の１つを、当該板面に交差すると共に前記第１の向きと反対側を向いた第２の向きに延ばすことで、トラップ可能部分と非トラップ部分とを設けるようになっていてもよい。 Further, as described in claim 5, the outer shape of the passage forming member has a plate shape, and the passage is a passage for moving the electric field conjugate fluid along the plate surface of the passage forming member. The passage has two or more intersections (122b, 122c, 127b, 127c), and one of the two or more intersections extends in a first direction intersecting the plate surface of the passage forming member. The trappable portion and the non-trap portion are formed by extending the other one of the two or more intersecting portions in a second direction that intersects the plate surface and faces the opposite side of the first direction. And may be provided.

なお、上記および特許請求の範囲における括弧内の符号は、特許請求の範囲に記載された用語と後述の実施形態に記載される当該用語を例示する具体物等との対応関係を示すものである。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis in the said and the claim shows the correspondence of the term described in the claim, and the concrete thing etc. which illustrate the said term described in embodiment mentioned later. .

（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態について説明する。図１〜図４に、本実施形態に係る熱拡散装置１の構成を示す。図１は、熱拡散装置１の斜視図である。図２は、図１の矢印方向から見た熱拡散装置１の側面図である。図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。図４は、図２のＢ−Ｂ断面図である。 (First embodiment)
The first embodiment of the present invention will be described below. 1 to 4 show the configuration of the thermal diffusion device 1 according to the present embodiment. FIG. 1 is a perspective view of the thermal diffusion device 1. FIG. 2 is a side view of the thermal diffusion device 1 as seen from the direction of the arrow in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.

この熱拡散装置１は、発熱する電子部品３（発熱体の一例に相当する）を冷却するための冷却器の一部である。具体的には、冷却器は、熱拡散装置１と、熱拡散装置１の一方の面（以下、第１の面という）に取り付けられた放熱器２とを備えている。 The heat diffusing device 1 is a part of a cooler for cooling an electronic component 3 that generates heat (corresponding to an example of a heating element). Specifically, the cooler includes a heat diffusing device 1 and a radiator 2 attached to one surface (hereinafter referred to as a first surface) of the heat diffusing device 1.

熱拡散装置１は、放熱器２とは反対側の面（以下、第２の面という）において、電子部品３に接触するように備え付けられ、電子部品３によって発生した熱を熱拡散装置１の板面に沿って拡散させるための部材である。 The heat diffusing device 1 is provided on the surface opposite to the radiator 2 (hereinafter referred to as a second surface) so as to contact the electronic component 3, and heat generated by the electronic component 3 is transferred to the heat diffusing device 1. It is a member for diffusing along the plate surface.

放熱器２は、空冷方式または水冷方式で、熱拡散装置１によって拡散された熱を外部に放出するための周知の部材であり、例えば、ヒートシンク、放熱フィンを用いて実現可能である。 The radiator 2 is a well-known member for releasing the heat diffused by the heat diffusing device 1 to the outside by an air cooling method or a water cooling method, and can be realized by using, for example, a heat sink or a radiation fin.

この冷却器は、例えば車両に取り付けられ、車両内の電子部品３を冷却するために用いられる。 This cooler is attached to a vehicle, for example, and is used to cool the electronic component 3 in the vehicle.

以下、熱拡散装置１の詳細について説明する。熱拡散装置１は、図１〜図４に示すように、通路形成部材１０、針状電極１３、円筒状電極１４、および図示しないＥＣＦを有している。 Hereinafter, the details of the thermal diffusion device 1 will be described. As shown in FIGS. 1 to 4, the thermal diffusion device 1 includes a passage forming member 10, a needle electrode 13, a cylindrical electrode 14, and an ECF (not shown).

通路形成部材１０は、熱拡散装置１の外形を為す部材であり、例えば、樹脂によって形成されている。通路形成部材１０は、図１および図２に示すように、矩形形状の板と、その板の２つの隅（１つの短辺の両端に相当する隅）から板面に垂直な両方向（すなわち、図２中の上方向および下方向）に突出する４つの円柱形状の突起部１１ａ〜１１ｄと、から成っている。これら４つの突起部１１ａ〜１１ｄのうち、突起部１１ａと突起部１１ｃとが板面内の同じ位置を挟んで対向しており、突起部１１ｂと突起部１１ｄとが板面内の同じ位置を挟んで対向している。 The passage forming member 10 is a member that forms the outer shape of the heat diffusing device 1, and is formed of, for example, resin. As shown in FIGS. 1 and 2, the passage forming member 10 includes a rectangular plate and two directions perpendicular to the plate surface from two corners (corners corresponding to both ends of one short side) (that is, And four columnar protrusions 11a to 11d protruding upward and downward in FIG. Among these four protruding portions 11a to 11d, the protruding portion 11a and the protruding portion 11c face each other with the same position in the plate surface, and the protruding portion 11b and the protruding portion 11d have the same position in the plate surface. Opposite across.

なお、放熱器２においては、突起部１１ａ、１１ｂに合致した形状の切り欠きを設けることで、放熱器２を通路形成部材１０に取り付ける際に、突起部１１ａ、１１ｂが取り付けの邪魔にならないようにする。 In addition, in the radiator 2, by providing a notch having a shape that matches the protrusions 11a and 11b, when the radiator 2 is attached to the passage forming member 10, the protrusions 11a and 11b do not interfere with the attachment. To.

また、図３、図４に示すように、通路形成部材１０の内部には、ＥＣＦ通路１２が形成されている。ＥＣＦ通路１２は、ＥＣＦ流体を、通路形成部材１０の板面に沿って移動させ、かつ、循環させるための管路であり、単一の層内を通路形成部材１０の板面に平行に蛇行している。このＥＣＦ通路１２の断面形状は、後述するトラップ部１２２、１２３以外の部分においては、同じ太さの円形形状となっている。以下、このトラップ部１２２、１２３以外の部分の太さおよび形状を、ＥＣＦ通路１２の通常の大きさおよび形状という。 As shown in FIGS. 3 and 4, an ECF passage 12 is formed inside the passage forming member 10. The ECF passage 12 is a conduit for moving and circulating the ECF fluid along the plate surface of the passage forming member 10, and meanders in a single layer parallel to the plate surface of the passage forming member 10. is doing. The cross-sectional shape of the ECF passage 12 is a circular shape having the same thickness in portions other than the trap portions 122 and 123 described later. Hereinafter, the thickness and shape of portions other than the trap portions 122 and 123 are referred to as a normal size and shape of the ECF passage 12.

なお、本実施形態および以降の実施形態では、ＥＣＦ通路１２の「部分」とは、ＥＣＦ通路１２内のＥＣＦ流体の流れに垂直な２つの断面によって区切られる部分をいう。 In the present embodiment and the following embodiments, the “portion” of the ECF passage 12 refers to a portion that is divided by two cross sections perpendicular to the flow of the ECF fluid in the ECF passage 12.

このＥＣＦ通路１２中には、ＥＣＦが満たされている。ＥＣＦとしては、例えば、引用文献３に記載のように、横軸が導電率σであり縦軸が粘度ηであって作動温度における流体の導電率σと粘度ηとの関係を示すグラフにおいて、導電率σ＝４×１０^−１０Ｓ／ｍ、粘度η＝１×１０^０Ｐａ・ｓで表される点Ｐ、導電率σ＝４×１０^−１０Ｓ／ｍ、粘度η＝１×１０^−４Ｐａ・ｓで表される点Ｑ、導電率σ＝５×１０^−６Ｓ／ｍ、粘度η＝１×１０^−４Ｐａ・ｓで表される点Ｒを頂点とする直角三角形の内部に位置する導電率σおよび粘度ηを有する化合物、または、当該三角形の内部に位置する導電率σおよび粘度ηを有するように調製された二種類以上の化合物の混合物を用いることができる。例えば、デカン２酸ジブチル（ｄｉｂｕｔｙｌｄｅｃａｎｅ−ｄｉｏａｔｅ）を、ＥＣＦとして用いることができる。 The ECF passage 12 is filled with ECF. As the ECF, for example, as described in Citation 3, in the graph showing the relationship between the conductivity σ of the fluid at the operating temperature and the viscosity η, the horizontal axis is the conductivity σ and the vertical axis is the viscosity η, Conductivity σ = 4 × 10 ⁻¹⁰ S / m, viscosity η = 1 × 10 ⁰ Pa · s point P, conductivity σ = 4 × 10 ⁻¹⁰ S / m, viscosity η = 1 × 10 ^{− The} point Q represented by ⁴ Pa · s, the conductivity σ = 5 × 10 ⁻⁶ S / m, the viscosity η = 1 × 10 ⁻⁴ Pa · s inside the right triangle having the point R represented by Pa · s as the vertex A compound having electrical conductivity σ and viscosity η positioned, or a mixture of two or more compounds prepared to have electrical conductivity σ and viscosity η positioned inside the triangle can be used. For example, dibutyl decane-dioate can be used as the ECF.

ＥＣＦはこのＥＣＦ通路１２内においてほぼ密封されているが、熱拡散装置１の製造段階、および熱拡散装置１の使用段階において、ＥＣＦ通路１２内に空気や異物が混入してしまうことを完全に防ぐことは不可能に近い。 Although the ECF is almost sealed in the ECF passage 12, it is completely prevented that air and foreign matters are mixed in the ECF passage 12 in the manufacturing stage of the heat diffusion device 1 and the use stage of the heat diffusion device 1. It is almost impossible to prevent.

ＥＣＦ通路１２中には、ポンプ部１２１がある。図３中では、このポンプ部１２１の範囲を、仮想線（点線）で示している。このポンプ部１２１には、針状電極１３および円筒状電極１４が取り付けられている。針状電極１３は、ＥＣＦ通路１２の中心に固定された針形状の電極であり、その長手方向は、ポンプ部１２１におけるＥＣＦの流れ方向に平行となっている。針状電極１３の固定は、通路形成部材１０から伸びる図示しない固定部材によって実現されている。円筒状電極１４は、針状電極１３からＥＣＦ通路１２に沿って少し離れた位置に、ＥＣＦ通路１２を取り囲むように取り付けられた、円筒形状の電極である。 In the ECF passage 12, there is a pump part 121. In FIG. 3, the range of the pump unit 121 is indicated by a virtual line (dotted line). A needle electrode 13 and a cylindrical electrode 14 are attached to the pump unit 121. The needle electrode 13 is a needle-shaped electrode fixed to the center of the ECF passage 12, and the longitudinal direction thereof is parallel to the ECF flow direction in the pump unit 121. The needle electrode 13 is fixed by a fixing member (not shown) extending from the passage forming member 10. The cylindrical electrode 14 is a cylindrical electrode attached so as to surround the ECF passage 12 at a position slightly apart from the needle-like electrode 13 along the ECF passage 12.

これら針状電極１３および円環状電極１４は、通路形成部材１０に埋め込まれた導電線（図示せず）を介して熱拡散装置１の外部の電源４に接続されている。この電源４を電源として、針状電極１３が正極、円環状電極１４が負極となるように電圧を印加すると、ポンプ部１２１におけるＥＣＦが、針状電極１３から円環状電極１４の方向に移動する。したがって、針状電極１３および円環状電極１４は、ＥＣＦに電圧を印加することによってＥＣＦを駆動するポンプとして機能する。このポンプの作用により、ＥＣＦは、矢印に示すような方向にＥＣＦ通路１２内を循環する。 The needle-like electrode 13 and the annular electrode 14 are connected to a power source 4 outside the heat diffusing device 1 through a conductive wire (not shown) embedded in the passage forming member 10. When the power source 4 is used as a power source and a voltage is applied so that the needle electrode 13 is a positive electrode and the annular electrode 14 is a negative electrode, the ECF in the pump 121 moves from the needle electrode 13 toward the annular electrode 14. . Therefore, the needle electrode 13 and the annular electrode 14 function as a pump that drives the ECF by applying a voltage to the ECF. By the action of this pump, the ECF circulates in the ECF passage 12 in the direction shown by the arrow.

すると、通路形成部材１０の第２の面の中央部に接触している電子部品３の熱が、このＥＣＦを媒体として通路形成部材１０に沿って拡散する。そして、拡散した熱が放熱器２に伝わり、放熱器２から放出される。これによって、電子部品３の冷却が実現する。このように、ＥＣＦに電圧を印加するポンプを用いることで、ＥＣＦを循環させるために可動部品を必要としないので、非常に簡素で高耐久なポンプが実現可能である。 Then, the heat of the electronic component 3 that is in contact with the central portion of the second surface of the passage forming member 10 diffuses along the passage forming member 10 using this ECF as a medium. Then, the diffused heat is transmitted to the radiator 2 and released from the radiator 2. Thereby, cooling of the electronic component 3 is realized. In this way, by using a pump that applies a voltage to the ECF, no moving parts are required to circulate the ECF, so that a very simple and highly durable pump can be realized.

また、通路形成部材１０の板面における一辺（図３中の右端の辺に相当する）の両端に位置する２つの隅には、ＥＣＦ通路１２の一部として、トラップ部１２２、１２３（拡幅部の一例に相当する）が形成されている。この２つの隅は、板面に垂直に突起部１１ａ〜１１ｄが配置されている隅である。 Further, trap portions 122 and 123 (enlarged portions) are formed as two parts of the ECF passage 12 at two corners located at both ends of one side (corresponding to the right end side in FIG. 3) on the plate surface of the passage forming member 10. Corresponds to an example of the above). These two corners are corners at which the protrusions 11a to 11d are arranged perpendicular to the plate surface.

このトラップ部１２２、１２３のそれぞれは、ＥＣＦ通路１２中のＥＣＦの流れにおける当該トラップ部の直前の上流部分および直後の下流部分に対して、幅が太くなっている。 Each of the trap portions 122 and 123 is thicker than the upstream portion immediately before the trap portion and the downstream portion immediately after the trap portion in the flow of the ECF in the ECF passage 12.

より具体的には、トラップ部１２２、１２３のそれぞれは、図３に示すように、直前の上流部分および直後の下流部分と比較して、通路形成部材１０の対応する隅（すなわち、図中の右上隅または右下隅）の方向に膨らんでいる。 More specifically, as shown in FIG. 3, each of the trap portions 122 and 123 has a corresponding corner (that is, in the drawing) of the passage forming member 10 as compared with the immediately upstream portion and the immediately downstream portion. It swells in the direction of the upper right corner or the lower right corner.

さらにトラップ部１２２は、図４に示すように、直前の上流部分および直後の下流部分に対して、通路形成部材１０の板面に垂直な方向の両側（すなわち、図４中の上方向および下方向）に膨らみ、突起部１１ａおよび１１ｃの内部に入り込んでいる。 Further, as shown in FIG. 4, the trap portion 122 has both sides in a direction perpendicular to the plate surface of the passage forming member 10 with respect to the immediately upstream portion and the immediately downstream portion (that is, upward and downward in FIG. 4). Swells in the direction) and enters the projections 11a and 11c.

したがって、図４に示すように、トラップ部１２２は、中央層１２２ａ、ポケット層１２２ｂ、ポケット層１２２ｃという、板面に平行な３つの層から成る。なお、ポケット層１２２ｂ、１２２ｃおよび、後述する他のポケット層は、本願発明の交差部の一例に相当する。 Therefore, as shown in FIG. 4, the trap portion 122 is composed of three layers parallel to the plate surface: a central layer 122a, a pocket layer 122b, and a pocket layer 122c. The pocket layers 122b and 122c and other pocket layers to be described later correspond to an example of the intersecting portion of the present invention.

中央層１２２ａは、ポケット層１２２ｂおよびポケット層１２２ｃに挟まれた部分である。ポケット層１２２ｂは、直前の上流部分および直後の下流部分に対して板面に垂直な第１の向き（図４中の上向き）に膨らんで突起部１１ａ内に入りこんでいる部分である。ポケット層１２２ｃは、直前の上流部分および直後の下流部分に対して板面に垂直かつ第１の向きとは反対の第２の向き（図４中の下向き）に膨らんで突起部１１ｃ内に入りこんでいる部分である。これらポケット層１２２ｂおよびポケット層１２２ｃが、互いに反対方向に膨らんで対向する２つの膨らみ部の一例に相当する。 The central layer 122a is a portion sandwiched between the pocket layer 122b and the pocket layer 122c. The pocket layer 122b is a portion that bulges in the first direction (upward in FIG. 4) perpendicular to the plate surface and enters the protrusion 11a with respect to the immediately upstream portion and the immediately downstream portion. The pocket layer 122c swells in a second direction (downward in FIG. 4) perpendicular to the plate surface and opposite to the first direction with respect to the immediately upstream portion and the immediately downstream portion, and enters the protrusion 11c. It is the part that is. The pocket layer 122b and the pocket layer 122c correspond to an example of two bulging portions that bulge in opposite directions to face each other.

さらにトラップ部１２３も、板面に垂直な方向に関して、トラップ部１２２と同様の構造となっている。すなわち、トラップ部１２３は、直前の上流部分および直後の下流部分に対して、通路形成部材１０の板面に垂直な方向の両側に膨らみ、突起部１１ｂおよび１１ｄの内部に入り込むことで、中央層、および中央層を挟む２つのポケット層という、板面に平行な３つの層から成る。 Furthermore, the trap part 123 has the same structure as the trap part 122 in the direction perpendicular to the plate surface. That is, the trap portion 123 swells on both sides in the direction perpendicular to the plate surface of the passage forming member 10 with respect to the immediately upstream portion and the immediately downstream portion, and enters the inside of the protruding portions 11b and 11d, so that the center layer , And two pocket layers sandwiching the central layer, and three layers parallel to the plate surface.

ポケット層の一方は、直前の上流部分および直後の下流部分に対して上記第１の向き（図４中の上向き）に膨らんで突起部１１ｂ内に入りこんでいる部分である。ポケット層の他方は、直前の上流部分および直後の下流部分に対して上記第２の向き（図４中の下方向）に膨らんで突起部１１ｄ内に入りこんでいる部分である。これら２つのポケット層も、互いに反対方向に膨らんで対向する２つの膨らみ部の一例に相当する。 One of the pocket layers is a portion that bulges in the first direction (upward in FIG. 4) with respect to the immediately upstream portion and the immediately downstream portion and enters the protrusion 11b. The other of the pocket layers is a portion that bulges in the second direction (downward direction in FIG. 4) with respect to the immediately upstream portion and the immediately downstream portion and enters the protruding portion 11d. These two pocket layers also correspond to an example of two bulging portions that bulge in opposite directions and face each other.

このように、トラップ部１２２、１２３のそれぞれは、通路形成部材１０の板面内の隅への方向、および、板面に垂直な方向の両側に、膨らんでいることで、直前の上流部分および直後の下流部分に対して、幅が太くなっている。 As described above, each of the trap portions 122 and 123 bulges in the direction toward the corner in the plate surface of the passage forming member 10 and on both sides in the direction perpendicular to the plate surface. The width is thicker than the immediately downstream portion.

このような構成のＥＣＦ通路１２は、通路形成部材１０が特定の姿勢をとれば鉛直方向最上部となり得るトラップ可能部分と、通路形成部材がどのような姿勢をとっても鉛直方向最上部となり得ない非トラップ部分と、に分かれる。 The ECF passage 12 having such a configuration has a trappable portion that can be the uppermost portion in the vertical direction when the passage forming member 10 takes a specific posture, and a non-capable portion that can be the uppermost portion in the vertical direction regardless of the posture of the passage forming member. It is divided into a trap part.

具体的には、ＥＣＦ通路１２のうち、トラップ部１２２、１２３、および部分通路１２４〜１２６が、トラップ可能部分に該当する。図３中では、この部分通路１２４〜１２６のそれぞれの範囲を、仮想線（点線）で示している。 Specifically, in the ECF passage 12, the trap portions 122 and 123 and the partial passages 124 to 126 correspond to trappable portions. In FIG. 3, the respective ranges of the partial passages 124 to 126 are indicated by virtual lines (dotted lines).

部分通路１２４〜１２６のそれぞれは、ＥＣＦ通路１２の一部であり、通路形成部材１０のトラップ部１２２、１２３側の短辺とは反対側の短辺に最も近い位置において、Ｕ字状にカーブすることで、通路形成部材１０の蛇行を実現している部分通路である。 Each of the partial passages 124 to 126 is a part of the ECF passage 12 and curves in a U shape at a position closest to the short side of the passage forming member 10 opposite to the short side on the trap portions 122 and 123 side. This is a partial passage that realizes meandering of the passage forming member 10.

以下、これらの部分が、特定の姿勢をとれば鉛直方向最上部となり得る部分であることを説明する。 In the following, it will be described that these portions can be the uppermost portion in the vertical direction when taking a specific posture.

例えば、通路形成部材１０の板面に垂直な突起部１１ａから突起部１１ｃへの向き（図３の紙面奥への向き）が鉛直下方向であった場合について説明する。以下、この場合の通路形成部材１０の姿勢を、基本姿勢という。この場合、トラップ部１２２のポケット層１２２ｂおよびトラップ部１２３の突起部１１ｂ内のポケット層が、鉛直方向最上部となる。 For example, a case will be described in which the direction from the protrusion 11a perpendicular to the plate surface of the passage forming member 10 to the protrusion 11c (the direction toward the back of the paper in FIG. 3) is a vertically downward direction. Hereinafter, the posture of the passage forming member 10 in this case is referred to as a basic posture. In this case, the pocket layer 122b of the trap part 122 and the pocket layer in the protrusion part 11b of the trap part 123 are the uppermost part in the vertical direction.

また例えば、通路形成部材１０が基本姿勢と上下逆の姿勢となっている場合、トラップ部１２２のポケット層１２２ｃおよびトラップ部１２３の突起部１１ｄ内のポケット層が、鉛直方向最上部となる。したがって、トラップ部１２２およびトラップ部１２３は、特定の姿勢をとれば鉛直方向最上部となり得る部分である。 Further, for example, when the passage forming member 10 is in an upside down posture with respect to the basic posture, the pocket layer 122c of the trap portion 122 and the pocket layer in the protruding portion 11d of the trap portion 123 are the uppermost portion in the vertical direction. Therefore, the trap part 122 and the trap part 123 are parts that can be the uppermost part in the vertical direction when taking a specific posture.

また例えば、基本姿勢に対して、連絡通路を軸として、連絡通路と反対側の通路形成部材１０の短辺を持ち上げるように、通路形成部材１０を角度θ回転させたとする。連絡通路とは、ＥＣＦ通路１２のうち、トラップ部１２２とトラップ部１２３とを直線で繋ぐ通路である。ここで、角度θが０°よりも僅かに大きい場合は、部分通路１２４〜１２６は、ポケット層１２２ｂよりも低い位置にある。しかし、角度θがある程度以上大きくなると、部分通路１２４〜１２６が、ポケット層１２２ｂおよびトラップ部１２３の突起部１１ｂ内のポケット層よりも高い所に位置する。したがって、部分通路１２４〜１２６は、特定の姿勢をとれば鉛直方向最上部となり得る部分である。 Further, for example, it is assumed that the passage forming member 10 is rotated by an angle θ with respect to the basic posture so that the short side of the passage forming member 10 on the side opposite to the connecting passage is lifted about the connecting passage. The communication passage is a passage connecting the trap portion 122 and the trap portion 123 in a straight line in the ECF passage 12. Here, when the angle θ is slightly larger than 0 °, the partial passages 124 to 126 are at positions lower than the pocket layer 122b. However, when the angle θ is increased to a certain degree or more, the partial passages 124 to 126 are positioned higher than the pocket layer 122b and the pocket layer in the protruding portion 11b of the trap portion 123. Therefore, the partial passages 124 to 126 are portions that can be the uppermost portion in the vertical direction when taking a specific posture.

そして、ＥＣＦ通路１２の他の部分（すなわち、非トラップ部分）は、通路形成部材１０がどのような姿勢を取っても、トラップ部１２２、１２３、部分通路１２４〜１２６のうち少なくとも１つよりは低い所に位置してしまう。 The other part of the ECF passage 12 (that is, the non-trap portion) is more than at least one of the trap portions 122 and 123 and the partial passages 124 to 126 regardless of the posture of the passage forming member 10. It is located in a low place.

非トラップ部分は、通路形成部材１０がどのような姿勢を取っても、鉛直最上部に位置することができないので、当然に、通路形成部材１０がどのような姿勢を取っても、鉛直最下部に位置することもできない。したがって、非トラップ部分は、通路形成部材１０がどのような姿勢を取っても、常に、自身よりも高い位置に通路形成部材１０の他の部分が存在すると同時に、自身よりも低い位置に通路形成部材１０の他の部分が存在することになる。 The non-trap portion cannot be positioned at the uppermost vertical position regardless of the posture of the passage forming member 10. Can not be located in. Therefore, the non-trapping portion always forms a passage at a position lower than itself at the same time as other portions of the passage formation member 10 always exist at a position higher than the self, regardless of the posture of the passage formation member 10. There will be other parts of the member 10.

ここで、ＥＣＦ通路１２中におけるポンプ部１２１の配置について説明する。ＥＣＦ通路１２のうち、トラップ部１２２とトラップ部１２３とを繋ぐ連絡通路は、通路形成部材１０の板面の一辺に平行に、直線的に伸びている。ポンプ部１２１は、この連絡通路に設けられている。 Here, arrangement | positioning of the pump part 121 in the ECF channel | path 12 is demonstrated. In the ECF passage 12, a communication passage connecting the trap portion 122 and the trap portion 123 extends linearly in parallel with one side of the plate surface of the passage forming member 10. The pump part 121 is provided in this communication path.

そして、この連絡通路は、ＥＣＦ通路１２の通常の太さおよび形状となっており、トラップ部１２２、１２３、部分通路１２４〜１２６のいずれでもないので、非トラップ部分である。したがって、したがって、通路形成部材１０がどのような姿勢で設置されても、トラップ可能部分１２２〜１２６のいずれかの部分がポンプ部１２１よりも高い位置に配置されると共に、トラップ可能部分１２２〜１２６のいずれかの部分がポンプ部１２１よりも低い位置に配置されることになる。 The communication passage has the normal thickness and shape of the ECF passage 12 and is not any of the trap portions 122 and 123 and the partial passages 124 to 126, and thus is a non-trap portion. Therefore, no matter what posture the passage forming member 10 is installed, any part of the trappable parts 122 to 126 is arranged at a higher position than the pump part 121 and the trappable parts 122 to 126 are arranged. Any of these parts will be arrange | positioned in the position lower than the pump part 121. FIG.

なお、通路形成部材１０に通路形成部材１０の移動の加減速による慣性力が及ぼされている状況は、慣性力と重力の合力の向きが鉛直下方向になっている状況と実質的に同じであるので、以下では、慣性力がゼロである場合についてのみ説明する。 The situation in which the inertia force due to acceleration / deceleration of the movement of the passage forming member 10 is exerted on the passage forming member 10 is substantially the same as the situation in which the direction of the resultant force of the inertia force and gravity is vertically downward. Therefore, in the following, only the case where the inertial force is zero will be described.

ここで、ＥＣＦ通路１２内に空気および異物が混入した場合について説明する。空気は、ＥＣＦよりも比重が低いので、ＥＣＦ通路１２中のうち、鉛直方向に最も高い位置に溜まる傾向にある。また、ＥＣＦよりも比重が高い異物は、鉛直方向に最も低い位置に沈殿する傾向にある。 Here, a case where air and foreign matter are mixed in the ECF passage 12 will be described. Since air has a specific gravity lower than that of ECF, air tends to accumulate at the highest position in the vertical direction in the ECF passage 12. Further, the foreign matter having a specific gravity higher than that of ECF tends to settle at the lowest position in the vertical direction.

したがって、ＥＣＦ通路１２において、トラップ可能部分と非トラップ部分とがある場合は、設置時の通路形成部材１０の姿勢に応じて、トラップ可能部分のいずれかに空気が溜まり、トラップ可能部分のいずれかに異物が沈殿するようになる。そしてその結果、非トラップ部分を空気および異物が通る可能性が低下する。したがって、ポンプ部１２１に空気および異物が侵入する可能性が低下するので、電極の劣化によるポンプ性能の低下、ＥＣＦの変質、過電流による発火などの危険性等の発生する可能性が低減し、ポンプ部１２１の性能が安定する。 Therefore, in the ECF passage 12, when there is a trappable portion and a non-trap portion, depending on the posture of the passage forming member 10 at the time of installation, air accumulates in any of the trappable portions, and any of the trappable portions Foreign matter begins to settle on the surface. As a result, the possibility of air and foreign matter passing through the non-trap portion decreases. Therefore, since the possibility of air and foreign matter entering the pump unit 121 is reduced, the possibility of occurrence of danger such as deterioration of pump performance due to electrode deterioration, ECF alteration, ignition due to overcurrent, etc. is reduced. The performance of the pump unit 121 is stabilized.

なお、ＥＣＦ通路がトラップ可能部分と非トラップ部分とに分かれない場合もある。仮に、本実施形態のトラップ部１２２およびトラップ部１２３が、通常の太さおよび形状であった場合、ＥＣＦ通路１２は、１つの層内において一様な太さで形成された通路となってしまう。このような場合は、基本姿勢において、ＥＣＦ通路１２のすべての部分が最上部となり、かつ、ＥＣＦ通路１２のすべての部分が最下部となる。 The ECF passage may not be divided into a trappable part and a non-trap part. If the trap part 122 and the trap part 123 of this embodiment are normal thickness and shape, the ECF channel | path 12 will be a channel | path formed with uniform thickness within one layer. . In such a case, in the basic posture, all parts of the ECF passage 12 are the uppermost part, and all parts of the ECF passage 12 are the lowermost part.

このような場合と異なり、本実施形態の通路形成部材１０において、トラップ部１２２中の２つのポケット層１２２ｂ、１２２ｃ（２つの交差部に相当する）のうち、ポケット層１２２ｂは、（上流部分および下流部分と比較して）通路形成部材１０の板面に交差する第１の向きに延び（具体的には膨らみ）、ポケット層１２２ｃは、（上流部分および下流部分と比較して）、通路形成部材１０の板面に交差する第２の向きに延びて（具体的には膨らんで）いる。 Unlike such a case, in the passage forming member 10 of the present embodiment, of the two pocket layers 122b and 122c (corresponding to two intersecting portions) in the trap portion 122, the pocket layer 122b is (upstream portion and Extending in a first direction that intersects the plate surface of the passage-forming member 10 (relatively to the downstream portion) (specifically bulges), the pocket layer 122c (relative to the upstream and downstream portions) It extends in a second direction intersecting the plate surface of the member 10 (specifically, swells).

このようになっていることで、ＥＣＦ通路１２において、そのポケット層１２２ｂ、１２２ｃ等の部分がトラップ可能部分となり、その他の部分が非トラップ部分になる。トラップ部１２３に設けられている一対のポケット層についても、同じことが言える。 As a result, in the ECF passage 12, the pocket layers 122b, 122c and the like become trappable portions and the other portions become non-trap portions. The same can be said for the pair of pocket layers provided in the trap portion 123.

なお、第１の向きおよび第２の向きは、必ずしも板面に対して垂直である必要はなく、板面に対して０°以外の角度で交差していれば足りる。また、第１の向きおよび第２の向きは、互いに完全に反対の向きである必要はなく、板面に対して互いに反対側への向きであればよい。 Note that the first direction and the second direction do not necessarily have to be perpendicular to the plate surface, and need only intersect with the plate surface at an angle other than 0 °. Further, the first direction and the second direction do not need to be completely opposite to each other, and may be any direction opposite to each other with respect to the plate surface.

このように、本実施形態では、電子部品３が発する熱を拡散させるための熱拡散装置１において、通路形成部材１０に形成されたＥＣＦ通路１２は、通路形成部材１０が特定の姿勢をとれば鉛直方向最上部となり得るトラップ可能部分１２２〜１２６と、通路形成部材１０がどのような姿勢をとっても鉛直方向最上部となり得ない非トラップ部分と、を有し、ポンプ部１２１の電極１３、１４は、非トラップ部分に取り付けられている。 Thus, in this embodiment, in the heat diffusing device 1 for diffusing the heat generated by the electronic component 3, the ECF passage 12 formed in the passage forming member 10 is configured so that the passage forming member 10 takes a specific posture. The trappable portions 122 to 126 that can be the uppermost portion in the vertical direction and the non-trapping portions that cannot be the uppermost portion in the vertical direction regardless of the posture of the passage forming member 10, Attached to the non-trap part.

このように、電極１３、１４が取り付けられる部分は、熱拡散装置１がどのような姿勢をとっても鉛直方向最上部となり得ない部分である。したがって、熱拡散装置１がどのような姿勢をとっても、電極１３、１４が取り付けられる部分よりも高い所に位置する部分が、通路中に存在することになる。したがって、熱拡散装置がどのような姿勢をとっても、また、熱拡散装置にどのような外力が及ぼされても、電極１３、１４が取り付けられる部分以外の部分に空気がトラップされることになる。 As described above, the portion to which the electrodes 13 and 14 are attached is a portion that cannot be the uppermost portion in the vertical direction regardless of the posture of the heat diffusing device 1. Therefore, regardless of the posture of the heat diffusing device 1, a portion located higher than the portion to which the electrodes 13 and 14 are attached is present in the passage. Therefore, no matter what posture the heat diffusing device takes or any external force applied to the heat diffusing device, air is trapped in a portion other than the portion to which the electrodes 13 and 14 are attached.

また、熱拡散装置がどのような姿勢をとっても鉛直方向最上部となり得ない部分は、当然に、熱拡散装置がどのような姿勢をとっても鉛直方向最下部となり得ない部分である。したがって、熱拡散装置がどのような姿勢をとっても、電極１３、１４が取り付けられる部分よりも低い所に位置する部分が、通路中に存在することになる。したがって、熱拡散装置がどのような姿勢をとっても、また、熱拡散装置にどのような外力が及ぼされても、電極１３、１４が取り付けられる部分以外の部分に異物が沈殿してトラップされることになる。 Further, the portion that cannot be the uppermost portion in the vertical direction regardless of the posture of the heat diffusion device is naturally the portion that cannot be the lowermost portion in the vertical direction regardless of the posture of the heat diffusion device. Therefore, regardless of the posture of the heat diffusing device, a portion located below the portion to which the electrodes 13 and 14 are attached is present in the passage. Therefore, no matter what posture the heat diffusing device takes, and what external force is exerted on the heat diffusing device, foreign matter will precipitate and be trapped in parts other than the part where the electrodes 13 and 14 are attached. become.

このように、熱拡散装置の姿勢や熱拡散装置にかかる慣性力にかかわらず、ＥＣＦの通路中の空気と異物とを共に、ポンプ部１２１の部分以外にトラップすることができる。 In this manner, air and foreign matter in the ECF passage can be trapped in a portion other than the pump portion 121 regardless of the attitude of the heat diffusion device and the inertial force applied to the heat diffusion device.

また、通路形成部材１０のトラップ可能部分は、２つのトラップ部１２２および１２３を有している。そして、トラップ部１２２、１２３のそれぞれは、ＥＣＦの流速が当該トラップ部１２２および１２３の直前の上流部分および直後の下流部分に比べて太くなっている。 The trappable portion of the passage forming member 10 has two trap portions 122 and 123. In each of the trap portions 122 and 123, the flow rate of the ECF is thicker than the upstream portion immediately before the trap portions 122 and 123 and the downstream portion immediately after the trap portions 122 and 123.

このように、トラップ部１２２、１２３がその前後の部分より太くなっていると、トラップ部１２２、１２３におけるＥＣＦの流速が、他の部分よりも低下する。したがって、熱拡散装置１の姿勢および熱拡散装置１にかかる慣性力が特定の状態にあることで、トラップ部１２２、１２３に空気または異物がトラップされるようになっている場合は、ＥＣＦに押し流されて空気または異物が拡幅部から流出してしまう可能性が低下する。すなわち、拡幅部における空気または異物のトラップが、より確実になる。 As described above, when the trap portions 122 and 123 are thicker than the front and rear portions thereof, the flow rate of the ECF in the trap portions 122 and 123 is lower than the other portions. Therefore, when the posture of the heat diffusing device 1 and the inertial force applied to the heat diffusing device 1 are in a specific state so that air or foreign matter is trapped in the trap portions 122 and 123, they are pushed away by the ECF. This reduces the possibility that air or foreign matter will flow out of the widened portion. That is, trapping of air or foreign matter in the widened portion becomes more reliable.

なお、本実施形態においては、トラップ部１２２、１２３は、ＥＣＦ通路１２の他の部分に比べて、板面に垂直な方向の両側に膨らんでいるので、通路形成部材１０がどのような姿勢にあっても、トラップ部１２２、１２３のいずれかには、少なくとも空気および異物のいずれか一方がトラップされるようになっている。 In this embodiment, the trap portions 122 and 123 swell on both sides in the direction perpendicular to the plate surface as compared with other portions of the ECF passage 12, so that the passage forming member 10 is in any posture. Even in such a case, at least one of air and foreign matter is trapped in any of the trap portions 122 and 123.

また、トラップ部１２２においては、互いに反対方向に対向して膨らんで対向する２つのポケット層１２２ｂ、１２２ｃが設けられている。また、トラップ部１２３においても、互いに反対方向に膨らんで対向する２つのポケット層が設けられている。 The trap portion 122 is provided with two pocket layers 122b and 122c that swell and face each other in opposite directions. The trap portion 123 is also provided with two pocket layers that swell in opposite directions and face each other.

このようになっていることで、熱拡散装置１の姿勢が上下逆になって、一方のポケット層にトラップされていた空気または異物が流出しても、ただちに反対側に膨らんだ他方のポケット層に再トラップされる可能性が高い。したがって、空気および異物が電極に到達してしまう可能性をより低減することができる。 Thus, even if the posture of the heat diffusing device 1 is turned upside down and air or foreign matter trapped in one pocket layer flows out, the other pocket layer immediately swells on the opposite side. Likely to be trapped again. Therefore, possibility that air and a foreign material will reach an electrode can be reduced more.

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。図５〜図８に、本実施形態に係る熱拡散装置１の構成を示す。図５は、熱拡散装置１の斜視図である。図６は、図５の矢印方向から見た熱拡散装置１の側面図である。図７は、図６のＣ−Ｃ断面図である。図７は、図２のＤ−Ｄ断面図である。本実施形態が第１実施形態と異なるのは、ＥＣＦ通路１２におけるトラップ部の数および配置と、ポンプ部１２の数および配置である。なお、図５〜８においては、放熱器２および電子部品３の記載は省略している。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described with a focus on differences from the first embodiment. 5 to 8 show a configuration of the thermal diffusion device 1 according to the present embodiment. FIG. 5 is a perspective view of the thermal diffusion device 1. FIG. 6 is a side view of the thermal diffusion device 1 as seen from the direction of the arrow in FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG. The present embodiment differs from the first embodiment in the number and arrangement of trap portions in the ECF passage 12 and the number and arrangement of pump portions 12. In addition, in FIG. 5-8, description of the heat radiator 2 and the electronic component 3 is abbreviate | omitted.

具体的には、本実施形態においては、図５および図６に示すように、通路形成部材１０の板の４隅から板面に垂直な両方向（すなわち、図２中の上方向および下方向）に突出する８つの円柱形状の突起部１１ａ〜１１ｈが設けられている。 Specifically, in this embodiment, as shown in FIGS. 5 and 6, both directions perpendicular to the plate surface from the four corners of the plate of the passage forming member 10 (that is, the upward direction and the downward direction in FIG. 2). Eight columnar projections 11a to 11h are provided.

そして、図７に示すように、通路形成部材１０の板面における四隅には、ＥＣＦ通路１２の一部として、トラップ部１２２、１２３、１２７、１２８（拡幅部の一例に相当する）が形成されている。この４隅の位置は、突起部１１ａ〜１１ｈが配置されている位置に対応する。 As shown in FIG. 7, trap portions 122, 123, 127, and 128 (corresponding to an example of the widened portion) are formed as a part of the ECF passage 12 at the four corners on the plate surface of the passage forming member 10. ing. The positions of these four corners correspond to the positions where the protrusions 11a to 11h are arranged.

トラップ部１２２、１２３の構造は、第１実施形態と同じである。また、トラップ部１２７、１２８のそれぞれも、ＥＣＦ通路１２中のＥＣＦの流れにおける当該トラップ部の直前の上流部分および直後の下流部分に対して、幅が太くなっている。 The structures of the trap portions 122 and 123 are the same as those in the first embodiment. In addition, each of the trap portions 127 and 128 is wider than the upstream portion immediately before the trap portion and the downstream portion immediately after the trap portion in the flow of the ECF in the ECF passage 12.

より具体的には、トラップ部１２７、１２８のそれぞれは、図７に示すように、直前の上流部分および直後の下流部分と比較して、通路形成部材１０の対応する隅（すなわち、図中の左上隅または左下隅）の方向に膨らんでいる。 More specifically, as shown in FIG. 7, each of the trap portions 127 and 128 has a corresponding corner (that is, in the drawing) of the passage forming member 10 as compared with the immediately upstream portion and the immediately downstream portion. It swells in the direction of the upper left corner or lower left corner).

さらにトラップ部１２７は、図８に示すように、直前の上流部分および直後の下流部分に対して、通路形成部材１０の板面に垂直な方向の両側（すなわち、図８中の上方向および下方向）に膨らみ、突起部１１ｅおよび１１ｇの内部に入り込んでいる。 Further, as shown in FIG. 8, the trap portion 127 has both sides in the direction perpendicular to the plate surface of the passage forming member 10 with respect to the immediately upstream portion and the immediately downstream portion (that is, upward and downward in FIG. 8). Swell in the direction) and enter the projections 11e and 11g.

したがって、図８に示すように、トラップ部１２７は、中央層１２７ａ、ポケット層１２７ｂ（延長部の一例に相当する）、ポケット層１２７ｃ（延長部の一例に相当する）という、板面に平行な３つの層から成る。 Therefore, as shown in FIG. 8, the trap portion 127 is parallel to the plate surface of the central layer 127 a, the pocket layer 127 b (corresponding to an example of the extension portion), and the pocket layer 127 c (corresponding to an example of the extension portion). It consists of three layers.

中央層１２７ａは、ポケット層１２７ｂおよびポケット層１２７ｂに挟まれた部分である。ポケット層１２７ｂは、直前の上流部分および直後の下流部分に対して板面に垂直な第１の向き（図８中の上方向）に膨らんで突起部１１ｅ内に入りこんでいる部分である。ポケット層１２７ｃは、直前の上流部分および直後の下流部分に対して板面に垂直かつ第１の向きとは反対の第２の向き（図８中の下方向）に膨らんで突起部１１ｇ内に入りこんでいる部分である。これらポケット層１２７ｂおよびポケット層１２７ｃも、互いに反対方向に膨らんで対向する２つの膨らみ部の一例に相当する。 The central layer 127a is a portion sandwiched between the pocket layer 127b and the pocket layer 127b. The pocket layer 127b is a portion that bulges in the first direction (upward in FIG. 8) perpendicular to the plate surface into the protruding portion 11e with respect to the immediately upstream portion and the immediately downstream portion. The pocket layer 127c swells in a second direction (downward in FIG. 8) perpendicular to the plate surface and opposite to the first direction with respect to the immediately upstream portion and the immediately downstream portion, and into the protrusion 11g. It is an intrusive part. The pocket layer 127b and the pocket layer 127c also correspond to an example of two bulges that bulge in opposite directions and face each other.

さらにトラップ部１２８も、板面に垂直な方向に関して、トラップ部１２７と同様の構造となっている。すなわち、トラップ部１２８は、直前の上流部分および直後の下流部分に対して、通路形成部材１０の板面に垂直な方向の両側に膨らみ、突起部１１ｆおよび１１ｈの内部に入り込むことで、中央層、および中央層を挟む２つのポケット層という、板面に平行な３つの層から成る。 Furthermore, the trap part 128 has the same structure as the trap part 127 in the direction perpendicular to the plate surface. That is, the trap portion 128 swells on both sides in the direction perpendicular to the plate surface of the passage forming member 10 with respect to the immediately upstream portion and the immediately downstream portion, and enters the inside of the protrusion portions 11f and 11h, thereby , And two pocket layers sandwiching the central layer, and three layers parallel to the plate surface.

ポケット層の一方は、直前の上流部分および直後の下流部分に対して上記第１の向きに膨らんで突起部１１ｆ内に入りこんでいる部分である。ポケット層の他方は、直前の上流部分および直後の下流部分に対して上記第２の向きに膨らんで突起部１１ｈ内に入りこんでいる部分である。これら２つのポケット層も、互いに反対方向に膨らんで対向する２つの膨らみ部の一例に相当する。 One of the pocket layers is a portion that bulges in the first direction with respect to the immediately upstream portion and the immediately downstream portion and enters the protrusion 11f. The other of the pocket layers is a portion that bulges in the second direction with respect to the immediately upstream portion and the immediately downstream portion and enters the protrusion 11h. These two pocket layers also correspond to an example of two bulging portions that bulge in opposite directions and face each other.

このように、トラップ部１２７、１２８のそれぞれは、通路形成部材１０の板面内の隅への向き、および、板面に垂直な方向の両側に膨らんでいることで、直前の上流部分および直後の下流部分に対して、幅が太くなっている。 Thus, each of the trap portions 127 and 128 bulges toward the corner in the plate surface of the passage forming member 10 and on both sides in the direction perpendicular to the plate surface, so that the immediately upstream portion and the immediately following portion are expanded. The width is thicker than the downstream portion.

本実施形態においては、トラップ部１２２、１２３に加えて、トラップ部１２７、１２８が設けられていることにより、トラップ可能部分の範囲および非トラップ部分の範囲が、第１実施形態と異なっている。具体的には、部分通路１２６が、第１実施形態においてはトラップ可能部分であったのに対し、本実施形態においては非トラップ部分となっている。 In the present embodiment, the trap portions 127 and 128 are provided in addition to the trap portions 122 and 123, so that the range of the trappable portion and the range of the non-trap portion are different from the first embodiment. Specifically, the partial passage 126 is a trappable portion in the first embodiment, but is a non-trap portion in the present embodiment.

このように、通路形成部材１０の板の四隅にトラップ部１２２、１２３、１２７、１２８を設けることで、４つのトラップ部１２２、１２３、１２７、１２８以外のどの位置にポンプ部を取り付けても、熱拡散装置１の姿勢や熱拡散装置１にかかる慣性力にかかわらず、ＥＣＦの通路中の空気と異物とを共に、ポンプ部以外にトラップできる。その結果、非トラップ部分の範囲が広がり、その分だけ、ＥＣＦを移動させるための電極の取り付け位置の自由度が向上する。 In this way, by providing the trap portions 122, 123, 127, 128 at the four corners of the plate of the passage forming member 10, no matter which position other than the four trap portions 122, 123, 127, 128 is attached, Regardless of the attitude of the heat diffusing device 1 and the inertial force applied to the heat diffusing device 1, both the air and foreign matter in the ECF passage can be trapped outside the pump section. As a result, the range of the non-trapping portion is expanded, and the degree of freedom of the electrode attachment position for moving the ECF is increased by that amount.

空気および異物を４つのトラップ部１２２、１２３、１２７、１２８のいずれかにトラップできたとしても、空気および異物は、電圧が印加された流体が循環する環境下に晒されているので、帯電してしまう可能性がある。帯電してしまった空気や異物は、電極に近い位置においては、電極に引き寄せられてしまう。したがって、ポンプ部は、トラップ部１２２、１２３、１２７、１２８からできるだけ離れた位置に配置するようになっていてもよい。このように、ポンプ部とトラップ部とを離すことを考慮に入れても、電極の取り付け位置の自由度が向上することは好ましい。 Even if air and foreign matter can be trapped in any of the four trap portions 122, 123, 127, and 128, the air and foreign matter are exposed to an environment in which a fluid to which a voltage is applied circulates. There is a possibility that. The charged air and foreign matter are attracted to the electrode at a position close to the electrode. Therefore, the pump unit may be arranged at a position as far as possible from the trap units 122, 123, 127, and 128. As described above, it is preferable that the degree of freedom of the electrode attachment position is improved even if the pump part and the trap part are taken into consideration.

なお、本実施形態においては、通路形成部材１０の板面の中央付近にポンプ部１３１、１３２を配置することで、ポンプ部１３１、１３２を４つのトラップ部１２２、１２３、１２７、１２８から離している。 In the present embodiment, the pump parts 131 and 132 are arranged near the center of the plate surface of the passage forming member 10 so that the pump parts 131 and 132 are separated from the four trap parts 122, 123, 127, and 128. Yes.

また、本実施形態においては、ＥＣＦ通路１２中に、複数のポンプ部１３１、１３２が設けられている図７中では、このポンプ部１３１、１３２の範囲を、仮想線（点線）で示している。ポンプ部１３１には、第１実施形態のポンプ部１２１と同様の方法で、針状電極１５および円筒状電極１６が取り付けられている。また、ポンプ部１３２にも、第１実施形態のポンプ部１２１と同様の方法で、針状電極１７および円筒状電極１８が取り付けられている。 In the present embodiment, a plurality of pump parts 131 and 132 are provided in the ECF passage 12. In FIG. 7, the range of the pump parts 131 and 132 is indicated by a virtual line (dotted line). . The needle electrode 15 and the cylindrical electrode 16 are attached to the pump unit 131 in the same manner as the pump unit 121 of the first embodiment. Also, the needle electrode 17 and the cylindrical electrode 18 are attached to the pump unit 132 in the same manner as the pump unit 121 of the first embodiment.

これら電極１５〜１８は、通路形成部材１０に埋め込まれた導電線（図示せず）を介して熱拡散装置１の外部の電源４に接続されている。この電源４を電源として、針状電極１５、１７が正極、円環状電極１６、１８が負極となる。したがって、ポンプ部１３１、１３２は、ＥＣＦ通路１２に沿って同じ方向にＥＣＦを移動させる。このポンプの作用により、ＥＣＦは、矢印に示すような方向にＥＣＦ通路１２内を循環する。 These electrodes 15 to 18 are connected to a power supply 4 outside the heat diffusing apparatus 1 through conductive wires (not shown) embedded in the passage forming member 10. Using this power source 4 as a power source, the needle-like electrodes 15 and 17 are positive electrodes, and the annular electrodes 16 and 18 are negative electrodes. Therefore, the pump units 131 and 132 move the ECF in the same direction along the ECF passage 12. By the action of this pump, the ECF circulates in the ECF passage 12 in the direction shown by the arrow.

このように、複数のポンプ部１３１、１３２を設けることで、万一、空気や異物をトラップしきれず、その結果、空気や異物がポンプ部１３１、１３２の一方に到達してしまい、当該ポンプ部がポンプ作用を失ったとしても、他方のポンプ部は正常に作動可能であるため、全体としてＥＣＦの作動が停止することはなくなる。 In this way, by providing a plurality of pump parts 131 and 132, it is impossible to trap air and foreign matter, and as a result, air and foreign matter reach one of the pump parts 131 and 132, and the pump part Even if the pumping action is lost, the other pump part can operate normally, so that the operation of the ECF does not stop as a whole.

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。図９〜図１５に、本実施形態に係る熱拡散装置１の構成を示す。図９は、熱拡散装置１の斜視図である。図１０は、図９の矢印方向から見た熱拡散装置１の側面図である。図１１は、図１０のＥ−Ｅ断面図である。図１２は、図１０のＦ−Ｆ断面図である。図１３は、図１０のＧ−Ｇ断面図である。図１４は、図１０のＨ−Ｈ断面図である。図１５は、図１１のＩ−Ｉ断面で熱拡散装置１を切った場合の断面図である。なお、図９〜１５においては、放熱器２および電子部品３の記載は省略しているが、その取り付け位置は、第１実施形態と同じである。 (Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described with a focus on differences from the first embodiment. 9 to 15 show a configuration of the thermal diffusion device 1 according to the present embodiment. FIG. 9 is a perspective view of the thermal diffusion device 1. FIG. 10 is a side view of the thermal diffusion device 1 as seen from the direction of the arrow in FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line EE in FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line FF in FIG. 13 is a cross-sectional view taken along the line GG in FIG. FIG. 14 is a cross-sectional view taken along the line HH of FIG. FIG. 15 is a cross-sectional view of the thermal diffusion device 1 taken along the line II in FIG. In addition, in FIGS. 9-15, although the description of the heat radiator 2 and the electronic component 3 is abbreviate | omitted, the attachment position is the same as 1st Embodiment.

本実施形態においては、熱拡散装置１の通路形成部材１０は、突起部のない板形状となっている。そして、その板厚は、第１実施形態のものよりも増している。これは、通路形成部材１０の内部に形成されてＥＣＦが充填されるＥＣＦ通路２１が、３層構造となっているからである。図１１が、ＥＣＦ通路２１の第１層の断面に相当し、図１２および図１３が第２層の断面に相当し、図１４が、第３層の断面に相当する。 In the present embodiment, the passage forming member 10 of the heat diffusing device 1 has a plate shape without a protrusion. And the plate | board thickness is increasing rather than the thing of 1st Embodiment. This is because the ECF passage 21 formed inside the passage forming member 10 and filled with ECF has a three-layer structure. 11 corresponds to the cross section of the first layer of the ECF passage 21, FIGS. 12 and 13 correspond to the cross section of the second layer, and FIG. 14 corresponds to the cross section of the third layer.

このＥＣＦ通路２１の構造について以下説明する。このＥＣＦ通路２１は、図１１〜図１５に示すように、通路２１ａ〜２１ｋから成っている。まず、３層のうち、放熱器２に最も近い層（図１０中の最も上の層に相当する）である第１層においては、ＥＣＦ通路２１は、図１１に示すように、１０個の通路２１ａ〜２１ｊが、板の中央部に位置する通路２１ｋから板の周縁方向に、放射状かつ板面に平行に延びている。 The structure of the ECF passage 21 will be described below. As shown in FIGS. 11 to 15, the ECF passage 21 includes passages 21 a to 21 k. First, in the first layer, which is the layer closest to the radiator 2 among the three layers (corresponding to the uppermost layer in FIG. 10), the ECF passage 21 has 10 pieces as shown in FIG. The passages 21a to 21j extend radially and parallel to the plate surface from the passage 21k located at the center of the plate in the peripheral direction of the plate.

更に、図１２、１３に示すように、通路２１ａ〜２１ｊは、板の周縁部で板面に垂直な方向に向きを変え、第１層の次に放熱器２に近い第２層において、板面に垂直に延び、電子部品３に最も近い層（図１０中の最も下の層に相当する）である第３層にまで続いている。そして通路２１ａ〜２１ｊは、図１４に示すように、第３層において、板面に平行かつ板面の中央部に向かう方向へと向きを変え、その後、通路２１ｋに合流している。 Furthermore, as shown in FIGS. 12 and 13, the passages 21 a to 21 j are turned in the direction perpendicular to the plate surface at the peripheral edge of the plate, and in the second layer close to the radiator 2 next to the first layer, It extends perpendicular to the surface and continues to the third layer, which is the layer closest to the electronic component 3 (corresponding to the lowermost layer in FIG. 10). As shown in FIG. 14, the passages 21 a to 21 j change direction in the third layer in a direction parallel to the plate surface and toward the center of the plate surface, and then merge with the passage 21 k.

また、通路２１ｋは、通路形成部材１０の板の中央部において、第３層から第２層を通って第１層まで、板面に垂直に延びている。 The passage 21k extends perpendicularly to the plate surface from the third layer to the first layer through the second layer at the center of the plate of the passage forming member 10.

ＥＣＦ通路２１がこのような構造となっているので、ＥＣＦ通路２１のうち、通路２１ａ〜２１ｊまでの部分は、通路形成部材１０が特定の姿勢をとれば鉛直方向最上部となり得るトラップ可能部分となる。そして、通路２１ｋが、通路形成部材１０がどのような姿勢をとっても鉛直方向最上部となり得ない非トラップ部分となる。 Since the ECF passage 21 has such a structure, the portion of the ECF passage 21 from the passages 21a to 21j is a trappable portion that can be the top in the vertical direction when the passage forming member 10 takes a specific posture. Become. The passage 21k is a non-trap portion that cannot be the uppermost portion in the vertical direction regardless of the posture of the passage forming member 10.

そして、本実施形態においては、通路２１ｋが、ポンプ部となっている。図１５中では、このポンプ部の範囲を、仮想線（点線）で示している。このポンプ部には、針状電極１９および円筒状電極２０が取り付けられている。針状電極１９は、通路２１ｋの中心に固定された針形状の電極であり、その長手方向は、板面に垂直な方向、すなわち、通路２１ｋにおけるＥＣＦの流れ方向に平行となっている。円筒状電極２０は、針状電極１９からＥＣＦ通路２１に沿って少し離れた位置に、通路２１ｋを取り囲むように取り付けられた、円筒形状の電極である。 And in this embodiment, the channel | path 21k becomes a pump part. In FIG. 15, the range of this pump part is shown with the virtual line (dotted line). A needle electrode 19 and a cylindrical electrode 20 are attached to the pump portion. The needle-like electrode 19 is a needle-like electrode fixed at the center of the passage 21k, and the longitudinal direction thereof is parallel to the direction perpendicular to the plate surface, that is, the ECF flow direction in the passage 21k. The cylindrical electrode 20 is a cylindrical electrode attached so as to surround the passage 21k at a position slightly apart from the needle-like electrode 19 along the ECF passage 21.

これら針状電極１９および円環状電極２０は、通路形成部材１０に埋め込まれた導電線（図示せず）を介して熱拡散装置１の外部の電源４に接続されている。この電源４を電源として、針状電極１９が正極、円環状電極２０が負極となるように電圧を印加すると、ポンプ部におけるＥＣＦが、針状電極１９から円環状電極２０の方向に移動する。したがって、針状電極１９および円環状電極２０は、ＥＣＦに電圧を印加することによってＥＣＦを駆動するポンプとして機能する。 The needle-like electrode 19 and the annular electrode 20 are connected to the power supply 4 outside the heat diffusing device 1 through a conductive wire (not shown) embedded in the passage forming member 10. When a voltage is applied using the power source 4 as a power source so that the needle electrode 19 is a positive electrode and the annular electrode 20 is a negative electrode, the ECF in the pump section moves from the needle electrode 19 toward the annular electrode 20. Therefore, the needle electrode 19 and the annular electrode 20 function as a pump that drives the ECF by applying a voltage to the ECF.

このポンプの作用により、ＥＣＦは、図１５の矢印に例示するような方向にＥＣＦ通路２１内を循環する。すなわち、ＥＣＦは、通路２１ｋを第３の層→第２の層→第１の層の順に通り、第１の層において通路２１ｋから通路２１ａ〜２１ｊのそれぞれに分岐し、通路２１ａ〜２１ｊを第１の層→第２の層→第３の層の順に通り、第３の層において通路２１ｋに合流する。 By the action of this pump, the ECF circulates in the ECF passage 21 in the direction illustrated by the arrow in FIG. That is, the ECF passes through the passage 21k in the order of the third layer → the second layer → the first layer, branches in the first layer from the passage 21k to the passages 21a to 21j, and passes the passages 21a to 21j to the first layer. It passes through the order of the first layer → the second layer → the third layer, and merges with the passage 21k in the third layer.

このように、電極１９、２０が取り付けられる部分は、熱拡散装置１がどのような姿勢をとっても鉛直方向最上部となり得ない部分である。したがって、熱拡散装置１がどのような姿勢をとっても、電極１９、２０が取り付けられる部分よりも高い所に位置する部分が、通路中に存在することになる。したがって、熱拡散装置がどのような姿勢をとっても、また、熱拡散装置１にどのような外力が及ぼされても、電極１９、２０が取り付けられる部分以外の部分に空気がトラップされることになる。 Thus, the part to which the electrodes 19 and 20 are attached is a part that cannot be the uppermost part in the vertical direction regardless of the posture of the thermal diffusion device 1. Therefore, regardless of the posture of the heat diffusing device 1, a portion located higher than the portion to which the electrodes 19 and 20 are attached is present in the passage. Therefore, no matter what posture the heat diffusing device takes or any external force applied to the heat diffusing device 1, air is trapped in a portion other than the portion to which the electrodes 19 and 20 are attached. .

また、熱拡散装置１がどのような姿勢をとっても鉛直方向最上部となり得ない部分は、当然に、熱拡散装置１がどのような姿勢をとっても鉛直方向最下部となり得ない部分である。したがって、熱拡散装置１がどのような姿勢をとっても、電極が取り付けられる部分よりも低い所に位置する部分が、通路中に存在することになる。したがって、熱拡散装置１がどのような姿勢をとっても、また、熱拡散装置１にどのような外力が及ぼされても、電極１９、２０が取り付けられる部分以外の部分に異物が沈殿してトラップされることになる。 Further, the portion that cannot be the uppermost portion in the vertical direction regardless of the posture of the heat diffusion device 1 is naturally the portion that cannot be the lowermost portion in the vertical direction regardless of the posture of the heat diffusion device 1. Therefore, regardless of the posture of the heat diffusing device 1, a portion located lower than the portion to which the electrode is attached is present in the passage. Therefore, no matter what posture the heat diffusing device 1 takes and what kind of external force is exerted on the heat diffusing device 1, foreign matter settles and is trapped in portions other than the portions to which the electrodes 19 and 20 are attached. Will be.

なお、本実施形態においては、通路２１ａ〜２１ｊのうち板面に垂直な部分、および、通路２１ｋが、交差部の一例に相当する。 In the present embodiment, portions of the passages 21a to 21j that are perpendicular to the plate surface and the passage 21k correspond to an example of an intersection.

（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の範囲は、上記実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の各発明特定事項の機能を実現し得る種々の形態を包含するものである。 (Other embodiments)
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, the scope of the present invention is not limited only to the said embodiment, The various form which can implement | achieve the function of each invention specific matter of this invention is included. It is.

例えば、第１実施形態においては、図１６に示すように、トラップ部１２２のポケット層１２２ｂ、１２２ｃにおいては、戻り防止板１３０、１３１が設けられていてもよい。戻り防止板１３０、１３１は、円形の端部においてそれぞれ突起部１１ａ、１１ｂの内側面と一体的に密着しており、端部から中央部に向かうにつれ中央層１２２ａから遠ざかり、かつ、中央部に穴が開けられている。戻り防止板１３０、１３１がこのような戻り防止構造になっていることで、ポケット層１２２ｂ、１２２ｃに一端トラップされた空気や異物が、通路形成部材１０の姿勢が変化しても、流出し難くなる。 For example, in the first embodiment, as shown in FIG. 16, the return layers 130 and 131 may be provided in the pocket layers 122 b and 122 c of the trap portion 122. The return prevention plates 130 and 131 are in close contact with the inner surfaces of the protrusions 11a and 11b at the circular ends, respectively, away from the central layer 122a as they go from the end toward the center, and at the center. A hole has been drilled. Since the return prevention plates 130 and 131 have such a return prevention structure, it is difficult for air and foreign matter trapped in the pocket layers 122b and 122c to flow out even if the posture of the passage forming member 10 changes. Become.

また例えば、ＥＣＦに電圧を印可してＥＣＦを移動させるための電極は、針状の電極と円筒状の電極である必要はなく、一方の電極が尖った先端部を有し、他方の電極が湾曲した周縁部を有していれば足りる。 Further, for example, an electrode for applying a voltage to the ECF to move the ECF does not need to be a needle-like electrode and a cylindrical electrode, and one electrode has a pointed tip, and the other electrode It is sufficient to have a curved peripheral edge.

また例えば、トラップ部１２３は、ＥＣＦ通路１２の通常の太さおよび形状となっていてもよい。その場合でも、トラップ部１２２の存在により、通路形成部材１０がどのような姿勢で設置されても、トラップ部１２２のいずれかの部分がポンプ部１２１よりも高い位置に配置され、トラップ部１２２のいずれかの部分がポンプ部１２１よりも低い位置に配置されることになる。 For example, the trap part 123 may be the normal thickness and shape of the ECF passage 12. Even in that case, due to the presence of the trap part 122, no matter what posture the passage forming member 10 is installed, any part of the trap part 122 is disposed at a higher position than the pump part 121. One of the portions is arranged at a position lower than the pump unit 121.

また、発熱体は、電子部品でなくともよく、何らかの原因で発熱するものであれば、どのようなものであってもよい。 Further, the heating element does not have to be an electronic component, and any heating element may be used as long as it generates heat for some reason.

また、通路形成部材１０のうち、電極のあるポンプ部およびその周囲だけを絶縁部材（樹脂）とし、他の部分を金属として形成するようになっていてもよい。このように、通路形成部材１０の多くの部分で金属を用いることで熱伝導性を高める一方、ポンプ部においては絶縁性を確保することで、電極の機能を正常に維持することができる。 Further, in the passage forming member 10, only the pump portion having the electrode and the periphery thereof may be formed as an insulating member (resin), and the other portion may be formed as a metal. As described above, the metal is used in many portions of the passage forming member 10 to improve the thermal conductivity, while ensuring the insulating property in the pump portion can maintain the function of the electrode normally.

本発明の第１実施形態に係る熱拡散装置１の斜視図である。It is a perspective view of the thermal diffusion apparatus 1 which concerns on 1st Embodiment of this invention. 熱拡散装置１の側面図である。1 is a side view of a thermal diffusion device 1. FIG. 図２のＡ−Ａ断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. 図２のＢ−Ｂ断面図である。It is BB sectional drawing of FIG. 本発明の第２実施形態に係る熱拡散装置１の斜視図である。It is a perspective view of the thermal diffusion apparatus 1 which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 熱拡散装置１の側面図である。1 is a side view of a thermal diffusion device 1. FIG. 図６のＡ−Ａ断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. 図６のＢ−Ｂ断面図である。It is BB sectional drawing of FIG. 本発明の第３実施形態に係る熱拡散装置１の斜視図である。It is a perspective view of the thermal diffusion apparatus 1 which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 熱拡散装置１の側面図である。1 is a side view of a thermal diffusion device 1. FIG. 図９のＥ−Ｅ断面図である。It is EE sectional drawing of FIG. 図９のＦ−Ｆ断面図である。It is FF sectional drawing of FIG. 図９のＧ−Ｇ断面図である。It is GG sectional drawing of FIG. 図９のＨ−Ｈ断面図である。It is HH sectional drawing of FIG. 図１１のＩ−Ｉ断面図である。It is II sectional drawing of FIG. 第１実施形態の変形例における図２のＢ−Ｂ断面図である。It is BB sectional drawing of FIG. 2 in the modification of 1st Embodiment.

Explanation of symbols

１熱拡散装置
２放熱器
３電子部品
４電源
１０通路形成部材
１１ａ〜１１ｈ突起部
１２、２１ＥＣＦ通路
１３、１５、１７、１９針状電極
１４、１６、１８、２０円環状電極
１２１、１３１、１３２ポンプ部
１２２、１２３、１２７、１２８トラップ部
１２２ａ、１２７ａ中央層
１２２ｂ、１２７ｂポケット層
１２２ｃ、１２７ｃポケット層
１２４〜１２６部分通路
１３０、１３１戻り防止板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Thermal diffusion apparatus 2 Radiator 3 Electronic component 4 Power supply 10 Path | route formation member 11a-11h Protrusion part 12, 21 ECF channel | path 13,15,17,19 Needle-shaped electrode 14,16,18,20 Toroidal electrode 121,131, 132 Pump parts 122, 123, 127, 128 Trap parts 122a, 127a Central layer 122b, 127b Pocket layers 122c, 127c Pocket layers 124-126 Partial passages 130, 131 Return prevention plate

Claims

A heat diffusion device for diffusing heat generated by the heating element (3),
A passage forming member (10) for forming a passage (12, 21) for circulating the electric field conjugate fluid;
An electrode (13-20) attached in the passage (12, 21) and applying a voltage to the electric field conjugate fluid;
The passages (12, 21) have a trappable portion (122 to 128, 21a to 21j) that can be the top in the vertical direction when the passage forming member takes a specific posture, and what posture the passage forming member has. A non-trap portion that cannot be the very top in the vertical direction,
The thermal diffusion device, wherein the electrode is attached to the non-trap portion.

The trappable portion has one or more widened portions (122, 123, 127, 128);
Each of the one or more widened portions is thicker than the upstream portion and the downstream portion so that the flow velocity of the electric field conjugate fluid is lower than the upstream portion and the downstream portion of the widened portion. The thermal diffusion device according to claim 1, wherein

3. The thermal diffusion device according to claim 2, wherein at least one of the one or more widened portions includes two bulge portions (122 b, 122 c, 127 b, 127 c) that bulge in opposite directions.

The outer shape of the passage forming member is a rectangular plate shape,
The one or more widened portions are four,
Each of the four widened portions is disposed at four corners of the rectangular shape of the passage forming member,
Each of the four widened portions swells on both sides in a direction perpendicular to the plate surface of the passage forming member, and bulges toward the corner of the corresponding passage forming member, so that the four widened portions The heat diffusing device according to claim 2 or 3, wherein a portion other than the four widened portions of the passage (12, 21) is a non-trap portion.

The outer shape of the passage forming member is a plate shape,
The passage is a passage for moving the electric field conjugate fluid along the plate surface of the passage forming member,
The passage has two or more intersections (122b, 122c, 127b, 127c), and the first direction intersects one of the two or more intersections with the plate surface of the passage forming member. And extending the other one of the two or more intersecting portions in a second direction that intersects the plate surface and faces away from the first direction, The thermal diffusion device according to claim 1, wherein the non-trap portion is provided.