JP5021337B2 - Resin composition containing thermal base generator - Google Patents
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Description
本発明は、フレキシブルプリント配線板のカバーレイに好適な樹脂組成物及びそれを用いたフレキシブルプリント配線板に関する。 The present invention relates to a resin composition suitable for a coverlay of a flexible printed wiring board and a flexible printed wiring board using the same.
近年、伸長著しいフレキシブルプリント配線板(以下、FPCと省略する)においては、柔軟性、屈曲性に優れる素材が、基材、カバーレイとして求められている。
FPCのカバーレイには、プロセスの優位性からラミネート可能なドライフィルム化が望まれている。さらに、ドライフィルムには感光性を持つことが望まれている。
感光性を持たないドライフィルムを用いてFPCを製造する場合には、ドライフィルムを所定の外形パターンに機械的に打ち抜き、回路基板との間で位置合わせを行った後、回路基板と打ち抜いたドライフィルムとを貼り合わせていた。ドライフィルムの感光化が実現すると、回路基板とドライフィルムとを貼り合わせた後に、フォトリソグラフィーによって所望のパターンにドライフィルムをパターニングできるため、機械的なパターン打ち抜き、回路基板との位置合わせなどの工程が不要となる。
In recent years, in a flexible printed wiring board (hereinafter abbreviated as FPC) that is remarkably elongated, a material excellent in flexibility and flexibility is required as a base material and a coverlay.
For FPC coverlays, a dry film that can be laminated is desired because of the superiority of the process. Furthermore, the dry film is desired to have photosensitivity.
When manufacturing an FPC using a dry film having no photosensitivity, the dry film is mechanically punched into a predetermined outer shape pattern, aligned with the circuit board, and then dried with the circuit board. The film was pasted together. Once dry film sensitization is realized, the dry film can be patterned into a desired pattern by photolithography after the circuit board and dry film are bonded together, so mechanical pattern punching, alignment with the circuit board, etc. Is no longer necessary.
このような感光性ドライフィルムとして、アルカリ現像性に優れたポリアミド酸を用いる提案がある。例えば、(メタ)アクリレート化合物とポリアミド酸と光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物が提案されているが、このような感光性樹脂組成物は、露光、現像の工程を経てパターンを形成した後、200℃以上の高温でイミド化を行う必要がある(例えば、特許文献1)。
しかしながら、イミド化する際の高温加熱はFPCにダメージを与える。イミド化触媒を用いることにより加熱温度を下げることができるが、イミド化触媒をそのまま添加すると、徐々に反応が進行し、組成物の安定性が悪化することが懸念される。その為、加熱によりイミド化触媒が発生する熱イミド化剤を用いることが検討されている。
As such a photosensitive dry film, there is a proposal of using a polyamic acid excellent in alkali developability. For example, a photosensitive resin composition containing a (meth) acrylate compound, polyamic acid, and a photopolymerization initiator has been proposed. Such a photosensitive resin composition forms a pattern through exposure and development processes. Then, it is necessary to perform imidization at a high temperature of 200 ° C. or higher (for example, Patent Document 1).
However, high temperature heating during imidization damages the FPC. Although the heating temperature can be lowered by using an imidization catalyst, there is a concern that when the imidization catalyst is added as it is, the reaction gradually proceeds and the stability of the composition deteriorates. Therefore, it has been studied to use a thermal imidizing agent that generates an imidization catalyst by heating.
熱イミド化剤は、配線を有する基材に感光性樹脂組成物のカバー層を形成した後、フォトリソグラフィーにより形成したパターンに加熱処理を施した際に、その加熱による熱でイミド化触媒を発生させイミド化を行うものである。低温でイミド化触媒を発生する熱イミド化剤であると、フィルムを製膜する際、すなわちワニス乾燥時や熱ラミネートする際の温度でイミド化触媒が発生してしまう。このように、フォトリソグラフィーによるパターン形成の工程より以前にイミド化触媒が発生してしまうと、露光部でも未露光部でもイミド化が進行してしまう為、アルカリ現像液に対する露光部と未露光部との間の溶解度差がとれなくなり、パターン形成が困難となる。 The thermal imidizing agent generates an imidization catalyst by the heat generated by heating the pattern formed by photolithography after forming the cover layer of the photosensitive resin composition on the substrate with wiring. And imidization is performed. If it is a thermal imidizing agent that generates an imidization catalyst at a low temperature, the imidization catalyst is generated at the temperature at which the film is formed, that is, at the time of varnish drying or thermal lamination. As described above, if an imidization catalyst is generated before the pattern formation process by photolithography, imidization proceeds in both the exposed and unexposed areas. Therefore, it becomes difficult to form a pattern.
このため、FPCのカバーレイに用いる熱イミド化剤には、優れた熱安定性とともに、FPC基板にダメージを与えない程度の加熱処理温度でイミド化を行うことが望まれている。
公知の熱イミド化剤としては、例えばカルバメート化合物や4級アンモニウム塩がある(例えば、非特許文献1、特許文献2)。カルバメート化合物は、熱によりイミド化触媒だけでなく炭酸ガスを発生する。フィルム中でガスが発生すると、フィルム表面の荒れ、発泡によるボイドが発生する懸念があり、FPCのカバーレイとしては好ましくない。また、4級アンモニウム塩のようにイオン性の塩を含む化合物は、FPCのカバーレイとした際に絶縁信頼性を損なう懸念があり、好ましくない。
Examples of known thermal imidizing agents include carbamate compounds and quaternary ammonium salts (for example, Non-Patent Document 1 and Patent Document 2). The carbamate compound generates not only an imidization catalyst but also carbon dioxide gas by heat. When gas is generated in the film, there is a concern that the surface of the film is rough and voids due to foaming are generated, which is not preferable as an FPC coverlay. Further, a compound containing an ionic salt such as a quaternary ammonium salt is not preferable because there is a concern that the insulation reliability is impaired when an FPC coverlay is formed.
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、熱安定性に優れ、ガス成分を発生しない熱塩基発生剤を用いることにより、従来の樹脂組成物では困難であった、熱安定性に優れるとともに、アルカリ現像でパターニング可能であり、表面荒れを起こさず、FPC基板にダメージを与えない程度の加熱処理温度でイミド化される樹脂組成物を提供することを目的とする。 This invention is made | formed in view of this point, and is excellent in thermal stability, and was excellent in the thermal stability which was difficult in the conventional resin composition by using the thermal base generator which does not generate | occur | produce a gas component. Another object of the present invention is to provide a resin composition that can be patterned by alkali development, that does not cause surface roughness, and that is imidized at a heat treatment temperature that does not damage the FPC substrate.
本発明の樹脂組成物は、ラクトン環を有する化合物とアミンを発生する熱塩基発生剤(A)と、前記アミンを触媒として閉環反応を起こし得る部位を有する樹脂(B)と、を含有する樹脂組成物であって、該樹脂(B)の閉環反応を起こし得る部位が、式(1)で示される有機基であり、該熱塩基発生剤(A)が、式(4a)又は式(5a)で示される化合物の少なくとも1種であることを特徴とする。 The resin composition of the present invention, a resin containing thermal base generator which generates a compound with an amine having the lactone ring and (A), the resin (B) having the moiety capable of causing ring closure reaction the amine as a catalyst, the In the composition, a site capable of causing a ring-closing reaction of the resin (B) is an organic group represented by the formula (1), and the thermal base generator (A) is represented by the formula (4a) or the formula (5a). It is at least one of the compounds represented by
(式(1)中、R1は4価の有機基であり、R2は2価の有機基である。) (In Formula (1), R 1 is a tetravalent organic group, and R 2 is a divalent organic group.)
本発明の樹脂組成物においては、キノンジアジド化合物(C)を含有することが好ましい。
本発明の樹脂組成物においては、光重合開始剤(D)及び二重結合を有する化合物(E)を含有することが好ましい。
本発明のフィルムは、上記樹脂組成物で構成されたことを特徴とする。
本発明の積層フィルムは、キャリアフィルムと、前記キャリアフィルム上に設けられた前記フィルムと、を具備することを特徴とする。
In the resin composition of this invention, it is preferable to contain a quinonediazide compound (C).
In the resin composition of this invention, it is preferable to contain the photoinitiator (D) and the compound (E) which has a double bond.
The film of the present invention is characterized by being composed of the above resin composition.
The laminated film of the present invention comprises a carrier film and the film provided on the carrier film.
本発明の積層フィルムは、前記フィルム上に形成されたカバーフィルムを具備することが好ましい。
本発明のフレキシブルプリント配線板は、配線を有する基材と、前記配線を覆うように前記基材上に形成され、前記フィルムもしくは積層フィルムを用い構成されたカバーレイと、を具備することを特徴とする。
The laminated film of the present invention preferably includes a cover film formed on the film.
The flexible printed wiring board of the present invention comprises: a base material having wiring; and a cover lay formed on the base material so as to cover the wiring and configured using the film or the laminated film. And
ラクトン環を有する化合物とアミンを発生する熱塩基発生剤(A)と、前記アミンを触媒として閉環反応を起こし得る部位を有する樹脂(B)とを含有することにより、従来困難であった、熱安定性に優れるとともに、アルカリ現像でパターニング可能であり、表面荒れを起こさず、FPC基板にダメージを与えない程度の加熱処理温度でイミド化される樹脂組成物を実現することができる。 By containing a compound having a lactone ring, a thermal base generator (A) for generating an amine, and a resin (B) having a site capable of causing a ring-closing reaction using the amine as a catalyst, A resin composition that is excellent in stability, can be patterned by alkali development, does not cause surface roughness, and is imidized at a heat treatment temperature that does not damage the FPC substrate can be realized.
本発明者らは、ラクトン環を有する化合物とアミンとを発生する熱塩基発生剤(A)と、前記アミンを触媒として閉環反応を起こし得る部位を有する樹脂(B)と、を含有することにより、従来困難であった、熱安定性に優れるとともに、アルカリ現像でパターニング可能であり、表面荒れを起こさず、FPC基板にダメージを与えない程度の加熱処理温度でイミド化される樹脂組成物を提供する。
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
まず、熱塩基発生剤(A)について説明する。
本発明に係る熱塩基発生剤(A)は、熱により分解して、ラクトン環を有する化合物とアミンを発生するものである。アミンは1級アミン、2級アミンの何れでも良いが、本発明の樹脂組成物においては、イミド化触媒として用いられる為、2級アミンが好ましい。
The present inventors include a thermal base generator (A) that generates a compound having a lactone ring and an amine, and a resin (B) having a site capable of causing a ring-closing reaction using the amine as a catalyst. Provided a resin composition that is imidized at a heat treatment temperature that is difficult in the past, has excellent thermal stability, can be patterned by alkali development, does not cause surface roughness, and does not damage the FPC board. To do.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
First, the thermal base generator (A) will be described.
The thermal base generator (A) according to the present invention is decomposed by heat to generate a compound having a lactone ring and an amine. The amine may be either a primary amine or a secondary amine, but in the resin composition of the present invention, a secondary amine is preferable because it is used as an imidization catalyst.
本発明に係る熱塩基発生剤(A)は、熱により分解し、ラクトン環を有する化合物とアミンを発生するが、その際、二酸化炭素などのガス成分を発生しない。ガス成分を発生しないことは、フィルム表面の脱ガスによる荒れを防止する観点で好ましい。
本発明に係る熱塩基発生剤(A)から発生するアミンとしては、例えばアルキル基を有するアミンや環状アミンがある。
アルキル基を有する2級アミンとしては、例えば、ジエチルアミン、ジプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジ−s−ブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、などがある。これらアルキル基を有する2級アミンは芳香族や他の置換基を有していてもよい。芳香族を有している2級アミンとは、例えばN−メチルアニリン、N−エチルアニリン、ジフェニルアミン、N−ベンジルイソプロピルアミンである。他の置換基を有しているアミンとは、例えばジエタノールアミン、N−メチルエタノールアミン、N−エチルエタノールアミンである。
The thermal base generator (A) according to the present invention is decomposed by heat and generates a compound having a lactone ring and an amine, but does not generate a gas component such as carbon dioxide. It is preferable not to generate a gas component from the viewpoint of preventing roughness due to degassing of the film surface.
Examples of the amine generated from the thermal base generator (A) according to the present invention include an amine having an alkyl group and a cyclic amine.
Examples of the secondary amine having an alkyl group include diethylamine, dipropylamine, diisopropylamine, dibutylamine, diisobutylamine, di-s-butylamine, dipentylamine, dihexylamine, dicyclohexylamine, diheptylamine, dioctylamine, dinonylamine. , Didecylamine, and the like. These secondary amines having an alkyl group may have aromatic or other substituents. Examples of the secondary amine having an aromatic group include N-methylaniline, N-ethylaniline, diphenylamine, and N-benzylisopropylamine. Examples of the amine having another substituent include diethanolamine, N-methylethanolamine, and N-ethylethanolamine.
また、環状2級アミンとしては、例えばピロリジン、ピペリジン、モルホリン、ヘキサメチレンイミン、ヘプタメチレンイミン、オクタメチレンイミンがある。
環状2級アミンは、環に置換基を有していてもよい。メチル基又はエチル基の置換基を有している場合は、置換基の電子供与性により塩基性が若干強くなる為、塩基性度を調整したい時に用いることが出来る。このような環状2級アミンとしては、例えばジメチルピペリジン、ジエチルピペリジンが挙げられる。
環状2級アミンは、環に酸素原子を含んでいてもよい。酸素原子を含む環状2級アミンは若干塩基性が弱くなる為、塩基性度を調整したい時に用いることができる。この様な環状2級アミンとしては、例えば、モルホリンが挙げられる。
Examples of the cyclic secondary amine include pyrrolidine, piperidine, morpholine, hexamethyleneimine, heptamethyleneimine, and octamethyleneimine.
The cyclic secondary amine may have a substituent in the ring. In the case of having a substituent of a methyl group or an ethyl group, the basicity becomes slightly stronger due to the electron donating property of the substituent, so that it can be used when adjusting the basicity. Examples of such cyclic secondary amines include dimethylpiperidine and diethylpiperidine.
The cyclic secondary amine may contain an oxygen atom in the ring. Since the cyclic secondary amine containing an oxygen atom becomes slightly weak in basicity, it can be used when adjusting the basicity. Examples of such a cyclic secondary amine include morpholine.
環状2級アミンは、環に二重結合を有していてもよい。このような環状2級アミンとしては、ピロールなどがある。
また、環状2級アミンは、1分子中に2つの環状2級アミンを有していても良い。このような環状2級アミンとしては、例えばピペラジン、ホモピペラジンがある。
これら2級アミンのなかでも、アミンのプロトン近傍の立体障害が低い環状2級アミンが好ましい。また、環の安定性の観点から、5員環から9員環のものが好ましく、5員環から7員環の環状2級アミンがより好ましい。このような化合物としては、式(2)又は式(3)で示される化合物が挙げられる。これらのなかでも、イミド化触媒能力の観点から、特に式(6)で示される化合物が好ましい。
The cyclic secondary amine may have a double bond in the ring. Such cyclic secondary amines include pyrrole.
The cyclic secondary amine may have two cyclic secondary amines in one molecule. Examples of such cyclic secondary amines include piperazine and homopiperazine.
Among these secondary amines, cyclic secondary amines having low steric hindrance in the vicinity of amine protons are preferable. From the viewpoint of ring stability, a 5-membered to 9-membered ring is preferable, and a 5-membered to 7-membered cyclic secondary amine is more preferable. Examples of such a compound include compounds represented by formula (2) or formula (3). Among these, the compound represented by the formula (6) is particularly preferable from the viewpoint of imidation catalyst ability.
(式(2)中、nは4〜8であり、R3は水素、メチル基、エチル基から選ばれる1価の有機基である。複数あるR3は、それぞれ同一でも異なっていても良い。) (In the formula (2), n is 4 to 8, and R 3 is a monovalent organic group selected from hydrogen, a methyl group, and an ethyl group. A plurality of R 3 may be the same or different. .)
(式(3)中、k及びmはそれぞれ1以上であり、kとmの合計が4〜8である。R3は前記と同じ意味である。複数あるR3は、それぞれ同じでも異なっていても良い。) (In formula (3), k and m are each 1 or more, and the sum of k and m is 4 to 8. R 3 has the same meaning as above. Plural R 3 s are the same or different. May be.)
(式(6)中、R3は前記と同じ意味である。複数あるR3は、それぞれ同じでも異なっていても良い。R4は酸素又はメチレン基である。)
また、熱塩基発生剤(A)がアミンを発生する際に脱離する化合物はラクトン環を有しているが、これは、熱塩基発生剤が加熱されることにより起こる閉環反応によって生じる。ラクトン環を有する化合物は何でもよいが、環の安定性の観点から、4員環から6員環が好ましい。
4員環から6員環のラクトン環を有する化合物としては、例えばβ−プロピオラクトン、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトンがある。また、ラクトン環を有する化合物は芳香環を有していてもよい。芳香環を有する化合物としては、例えばフタリド、4−クロマノンがある。なかでも、環の安定性に優れるγ−ブチロラクトンが好ましい。
(In formula (6), R 3 has the same meaning as described above. Plural R 3 s may be the same or different. R 4 is oxygen or a methylene group.)
In addition, the compound that is eliminated when the thermal base generator (A) generates an amine has a lactone ring, which is caused by a ring-closing reaction that occurs when the thermal base generator is heated. Any compound having a lactone ring may be used, but a 4-membered to 6-membered ring is preferable from the viewpoint of ring stability.
Examples of the compound having a 4-membered to 6-membered lactone ring include β-propiolactone, γ-butyrolactone, and δ-valerolactone. The compound having a lactone ring may have an aromatic ring. Examples of the compound having an aromatic ring include phthalide and 4-chromanone. Of these, γ-butyrolactone having excellent ring stability is preferable.
ラクトン環を有する化合物とアミンを発生する熱塩基発生剤(A)としては、例えば式(4)や式(5)に示す化合物が好ましい。なかでも式(4)は熱安定性に優れ好ましい。 As the thermal base generator (A) for generating a compound having a lactone ring and an amine, for example, compounds represented by formula (4) or formula (5) are preferable. Among these, the formula (4) is preferable because of excellent thermal stability.
(式(4)中、R3は前記と同じ意味である。複数あるR3は、それぞれ同じでも異なっていても良い。R4は酸素又はメチレン基である。aは2〜4である。) (In Formula (4), R 3 has the same meaning as described above. Plural R 3 s may be the same or different. R 4 is an oxygen or methylene group. A is 2-4. )
(式(5)中、R3は前記と同じ意味である。複数あるR3は、それぞれ同じでも異なっていても良い。R4は酸素又はメチレン基である。bは0〜2である。)
次に、本発明に係る前記アミンを触媒として閉環反応を起こし得る部位を有する樹脂(B)(以下、樹脂(B))について説明する。
樹脂(B)は、前記熱塩基発生剤(A)から発生したアミンを触媒として、閉環反応を起こし得る部位を有する樹脂である。樹脂(B)は、閉環反応を起こすことにより、アルカリ溶解性、ガラス転移点、伸度、弾性率などの性質が変わることが特徴である。このような樹脂としては、式(7)や式(1)で示される有機基を有する樹脂があるが、アミンによる閉環反応の観点から、式(1)で示される有機基を有する樹脂が好ましい。
(In Formula (5), R 3 has the same meaning as described above. Plural R 3 s may be the same or different. R 4 is an oxygen or methylene group. B is 0-2. )
Next, resin (B) (hereinafter referred to as resin (B)) having a site capable of causing a ring-closing reaction using the amine according to the present invention as a catalyst will be described.
The resin (B) is a resin having a site capable of causing a ring closure reaction using the amine generated from the thermal base generator (A) as a catalyst. The resin (B) is characterized in that properties such as alkali solubility, glass transition point, elongation, and elastic modulus are changed by causing a ring-closing reaction. As such a resin, there is a resin having an organic group represented by the formula (7) or the formula (1), but a resin having an organic group represented by the formula (1) is preferable from the viewpoint of a ring-closing reaction with an amine. .
(式(1)中、R1は4価の有機基であり、R2は2価の有機基である。)
式(1)で示される有機基を有する樹脂としては、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾールなどが挙げられる。
樹脂(B)がポリアミドである場合、式(8)に示すように、式(1)で示される有機基でポリアミド酸を形成してもよい。
(In Formula (1), R 1 is a tetravalent organic group, and R 2 is a divalent organic group.)
Examples of the resin having an organic group represented by the formula (1) include polyamide, polyimide, and polybenzoxazole.
When the resin (B) is a polyamide, a polyamic acid may be formed with the organic group represented by the formula (1) as shown in the formula (8).
(式(8)中、R1は4価の有機基であり、R2は2価の有機基である。xは1以上である。複数あるR1及びR2は、それぞれ同じでも異なっていても良い。)
樹脂(B)がポリイミドである場合、式(9)に示すように、ポリアミド酸を一部イミド化したポリマーとして用いることができる。
(In Formula (8), R 1 is a tetravalent organic group and R 2 is a divalent organic group. X is 1 or more. Plural R 1 and R 2 are the same or different. May be.)
When the resin (B) is a polyimide, as shown in the formula (9), it can be used as a polymer obtained by partially imidizing polyamic acid.
(式(9)中、R1は4価の有機基であり、R2は2価の有機基である。x及びyは1以上である。複数あるR1及びR2は、それぞれ同じでも異なっていても良い。)
樹脂(B)がポリイミドの場合、アルカリ溶解速度の観点より、式(9)においてx/(x+y)の比は0.5以上が好ましく、0.7以上がより好ましい。
樹脂(B)がポリベンゾオキサゾールである場合、式(10)に示すように、ポリアミド中にポリベンゾオキサゾール骨格を導入したポリマーとして用いることができる。
(In Formula (9), R 1 is a tetravalent organic group, R 2 is a divalent organic group. X and y are 1 or more. A plurality of R 1 and R 2 may be the same. May be different.)
When the resin (B) is polyimide, from the viewpoint of alkali dissolution rate, the ratio of x / (x + y) in formula (9) is preferably 0.5 or more, and more preferably 0.7 or more.
When the resin (B) is polybenzoxazole, as shown in the formula (10), it can be used as a polymer in which a polybenzoxazole skeleton is introduced into polyamide.
(式(10)中、R1は4価の有機基であり、R2は2価の有機基であり、R5は2価の有機基である。x及びzは1以上である。複数あるR1及びR2及びR5はそれぞれ同じでも異なっていても良い。)
樹脂(B)がポリベンゾオキサゾールの場合、アルカリ溶解速度の観点より、式(10)においてx/(x+z)の比は0.5以上が好ましい。
樹脂(B)としては、屈曲性など機械物性の観点から、式(8)又は式(9)で示されるポリアミド又はポリイミドが好ましい。
式(8)又は式(9)で示されるポリマーは、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とから合成されるが、その原料として、例えば下記のようなものを用いることができる。
(In Formula (10), R 1 is a tetravalent organic group, R 2 is a divalent organic group, and R 5 is a divalent organic group. X and z are 1 or more. R 1 and R 2 and R 5 may be the same or different.)
When the resin (B) is polybenzoxazole, the ratio of x / (x + z) in the formula (10) is preferably 0.5 or more from the viewpoint of the alkali dissolution rate.
The resin (B) is preferably polyamide or polyimide represented by the formula (8) or the formula (9) from the viewpoint of mechanical properties such as flexibility.
The polymer represented by the formula (8) or the formula (9) is synthesized from diamine and tetracarboxylic dianhydride, and as the raw material, for example, the following can be used.
ジアミンとしては、例えば芳香族ジアミン、脂肪族ジアミン、脂環式ジアミンを用いることができる。
芳香族ジアミンとしては、例えばo−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノジフェニルジフルオロメタン、4,4’−ジアミノジフェニルジフルオロメタン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルケトン、3,4’−ジアミノジフェニルケトン、4,4’−ジアミノジフェニルケトン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)プロパン、2,2−(3,4’−ジアミノジフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−(3,4’−ジアミノジフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3’−[1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、3,4’−[1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4’−[1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)プロパン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ブタン、1,5−ビス(4−アミノフェノキシ)ヘプタンが挙げられる。
Examples of diamines that can be used include aromatic diamines, aliphatic diamines, and alicyclic diamines.
Examples of the aromatic diamine include o-phenylenediamine, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, and 3,3 ′. -Diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenyldifluoromethane, 4,4'-diaminodiphenyldifluoromethane, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 3, , 4'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfide, 3,4'-diaminodiphenylsulfide, 4,4'-diaminodiphenylsulfide, 3,3'-diamino Diphenyl ketone, , 4'-diaminodiphenyl ketone, 4,4'-diaminodiphenyl ketone, 2,2-bis (3-aminophenyl) propane, 2,2- (3,4'-diaminodiphenyl) propane, 2,2-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2-bis (3-aminophenyl) hexafluoropropane, 2,2- (3,4'-diaminodiphenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (4-aminophenyl) ) Hexafluoropropane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 3,3 ′-[1,4-phenylenebis (1-methylethylidene)] Bisaniline, 3,4 ′-[1,4-phenylenebis (1-methylethylidene)] bisaniline, 4,4 ′-[1,4-phenylenebis (1-methyl) Tylidene)] bisaniline, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- ( 3-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- ( 4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 1,3-bis (4-aminophenoxy) propane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) butane, 1,5-bis (4-aminophenoxy) heptane That.
脂肪族ジアミンとしては、例えば1,2−ジアミノエタン、1,3−ジアミノプロパン、1,4−ジアミノブタン、1,5−ジアミノペンタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,7−ジアミノヘプタン、1,8−ジアミノオクタン、1,9−ジアミノノナン、1,10−ジアミノデカン、1,11−ジアミノウンデカンが挙げられる。
脂環式ジアミンとしては、例えば式(11)で示される化合物が挙げられる。
Examples of the aliphatic diamine include 1,2-diaminoethane, 1,3-diaminopropane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diaminopentane, 1,6-diaminohexane, 1,7-diaminoheptane, 1 , 8-diaminooctane, 1,9-diaminononane, 1,10-diaminodecane, 1,11-diaminoundecane.
Examples of the alicyclic diamine include a compound represented by the formula (11).
また、カルボキシル基及び/又は水酸基を導入する目的で、カルボキシル基を有するジアミンや水酸基を有するジアミンを用いることができる。カルボキシル基及び/又は水酸基の導入は、ポリアミド又はポリイミドのアルカリ溶解性の観点から好ましい。
カルボキシル基を有するジアミンとしては、式(12)で示される化合物が挙げられる。
Further, for the purpose of introducing a carboxyl group and / or a hydroxyl group, a diamine having a carboxyl group or a diamine having a hydroxyl group can be used. Introduction of a carboxyl group and / or a hydroxyl group is preferred from the viewpoint of alkali solubility of polyamide or polyimide.
Examples of the diamine having a carboxyl group include a compound represented by the formula (12).
水酸基を有するジアミンとしては、例えば1,2−ジアミノ−4−ヒドロキシベンゼン、1,3−ジアミノ−5−ヒドロキシベンゼン、1,3−ジアミノ−4−ヒドロキシベンゼン、1,4−ジアミノ−6−ヒドロキシベンゼン、1,5−ジアミノ−6−ヒドロキシベンゼン、1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシベンゼン、1,2−ジアミノ−3,5−ジヒドロキシベンゼン、4−(3,5−ジアミノフェノキシ)フェノール、3−(3,5−ジアミノフェノキシ)フェノール、2−(3,5−ジアミノフェノキシ)フェノール、3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシビフェニル、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−ヒドロキシ−3−アミノフェニル)ケトン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3−アミノフェニル)スルフィド、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3−アミノフェニル)エーテル、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3−アミノフェニル)スルホン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3−アミノフェニル)メタン、4−[(2,4−ジアミノ−5−ピリミジニル)メチル]フェノール、p−(3,6−ジアミノ−s−トリアジン−2−イル)フェノール、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3−アミノフェニル)ジフルオロメタン、2,2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル)ケトン、2,2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル)スルフィド、2,2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル)エーテル、2,2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル)スルホン、2,2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル)メタン、2,2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル)ジフルオロメタンが挙げられる。 Examples of the diamine having a hydroxyl group include 1,2-diamino-4-hydroxybenzene, 1,3-diamino-5-hydroxybenzene, 1,3-diamino-4-hydroxybenzene, 1,4-diamino-6-hydroxy. Benzene, 1,5-diamino-6-hydroxybenzene, 1,3-diamino-4,6-dihydroxybenzene, 1,2-diamino-3,5-dihydroxybenzene, 4- (3,5-diaminophenoxy) phenol 3- (3,5-diaminophenoxy) phenol, 2- (3,5-diaminophenoxy) phenol, 3,3′-dihydroxy-4,4′-diaminobiphenyl, 3,3′-diamino-4,4 '-Dihydroxybiphenyl, 2,2-bis (4-hydroxy-3-aminophenyl) propane, 2,2-bis (4 Hydroxy-3-aminophenyl) hexafluoropropane, bis (4-hydroxy-3-aminophenyl) ketone, 2,2-bis (4-hydroxy-3-aminophenyl) sulfide, 2,2-bis (4-hydroxy) -3-aminophenyl) ether, 2,2-bis (4-hydroxy-3-aminophenyl) sulfone, 2,2-bis (4-hydroxy-3-aminophenyl) methane, 4-[(2,4- Diamino-5-pyrimidinyl) methyl] phenol, p- (3,6-diamino-s-triazin-2-yl) phenol, 2,2-bis (4-hydroxy-3-aminophenyl) difluoromethane, 2,2 -Bis (4-amino-3-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-amino-3-hydroxyphenyl) hexafluoro Lopan, bis (4-amino-3-hydroxyphenyl) ketone, 2,2-bis (4-amino-3-hydroxyphenyl) sulfide, 2,2-bis (4-amino-3-hydroxyphenyl) ether, 2 , 2-bis (4-amino-3-hydroxyphenyl) sulfone, 2,2-bis (4-amino-3-hydroxyphenyl) methane, 2,2-bis (4-amino-3-hydroxyphenyl) difluoromethane Is mentioned.
また、シロキサン骨格を導入する目的で、ジアミノシロキサンを用いることができる。
シロキサン骨格の導入は、フィルムにした際の伸度の観点から、好ましい。ジアミノシロキサンとしては、例えば式(13)で示される化合物が挙げられる。
Moreover, diaminosiloxane can be used for the purpose of introducing a siloxane skeleton.
The introduction of a siloxane skeleton is preferable from the viewpoint of elongation when formed into a film. Examples of the diaminosiloxane include a compound represented by the formula (13).
(式(13)中、R6は2価の有機基であり、kは1〜10の整数である。)
R6で示される2価の有機基としては、炭化水素基、芳香族基が挙げられる。炭化水素基は、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基などである。芳香族基は、フェニレン基などである。
なお、これらのジアミンは、単独又は組み合わせて用いることができる。
テトラカルボン酸二無水物としては、例えば芳香族テトラカルボン酸二無水物、エステル基を有するテトラカルボン酸二無水物、脂環式テトラカルボン酸二無水物、脂肪族テトラカルボン酸二無水物が挙げられる。
(In Formula (13), R 6 is a divalent organic group, and k is an integer of 1 to 10.)
Examples of the divalent organic group represented by R 6 include a hydrocarbon group and an aromatic group. The hydrocarbon group is an ethylene group, a propylene group, a butylene group, or the like. The aromatic group is a phenylene group or the like.
These diamines can be used alone or in combination.
Examples of tetracarboxylic dianhydrides include aromatic tetracarboxylic dianhydrides, tetracarboxylic dianhydrides having ester groups, alicyclic tetracarboxylic dianhydrides, and aliphatic tetracarboxylic dianhydrides. It is done.
芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、例えばピロメリット酸二無水物、3,3’4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、ベンゼン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、3,4,3’,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,2’,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,6−ジクロルナフタレン−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水物、2,7−ジクロルナフタレン−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−テトラクロルナフタレン−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水物、フェナントレン−1,8,9,10−テトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ジメチルシラン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メチルフェニルシラン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ジフェニルシラン二無水物、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェニルジメチルシリル)ベンゼン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,3,3−テトラメチルジシクロヘキサン二無水物、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、4,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物が挙げられる。 Examples of the aromatic tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3′4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic acid. Dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (2,3 -Dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis ( 2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 3,4,9,10 -Perylenete Lacarboxylic acid dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, benzene-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, 3,4,3 ′, 4′-benzophenone tetra Carboxylic dianhydride, 2,3,2 ′, 3′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6- Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetra Carboxylic dianhydride, 2,6-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride Thing, 2, 3, , 7-tetrachloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, phenanthrene-1,8,9,10-tetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) dimethyl Silane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methylphenylsilane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) diphenylsilane dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxy) Phenyldimethylsilyl) benzene dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,3,3-tetramethyldicyclohexane dianhydride, p-phenylenebis (trimellitic acid monoester Acid anhydride), 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarbo. Xylphenoxy) phenyl] hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 4,4-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) And diphenyl sulfide dianhydride.
また、エステル基を有するテトラカルボン酸二無水物としては、例えば1,4−ビス(2−ヒドロキシヘキサフルオロイソプロピル)ベンゼンビス(トリメリテート無水物)、1,3−ビス(2−ヒドロキシヘキサフルオロイソプロピル)ベンゼンビス(トリメリテート無水物)、1,2−(エチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,3−(トリメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,4−(テトラメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,5−(ペンタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,6−(ヘキサメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,7−(ヘプタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,8−(オクタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,9−(ノナメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,10−(デカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,12−(ドデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,16−(ヘキサデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,18−(オクタデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)が挙げられる。 Examples of tetracarboxylic dianhydrides having ester groups include 1,4-bis (2-hydroxyhexafluoroisopropyl) benzenebis (trimellitate anhydride) and 1,3-bis (2-hydroxyhexafluoroisopropyl). Benzene bis (trimellitic anhydride), 1,2- (ethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,3- (trimethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,4- (tetramethylene) bis (trimellitic anhydride) 1,5- (pentamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,6- (hexamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,7- (heptamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,8- (Octamethylene) bis (trimellitate anhydride), 1,9- (nonamethylene) bis ( Rimerimate anhydride), 1,10- (decamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,12- (dodecamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,16- (hexadecamethylene) bis (trimellitate anhydride), 1,18- (octadecamethylene) bis (trimellitate anhydride).
脂環式テトラカルボン酸二無水物、脂肪族テトラカルボン酸二無水物としては、例えばエチレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、1,5−シクロオクタジエン−1,2,5,6−テトラカルボン酸二無水物、5−カルボキシメチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン−2,3,6−トリカルボン酸−2,3:5,6−二無水物、1−カルボキシメチル−2,3,5−シクロペンタントリカルボン酸−2,6:3,5−二無水物、ビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ−3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、テトラヒドロフラン−2,3,4,5−テトラカルボン酸二無水物、4−(2,5−ジオキソテトラヒドロフラン−3−イル)−1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−1,2−ジカルボン酸無水物、デカヒドロナフタレン−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水物、4,8−ジメチル−1,2,3,5,6,7−ヘキサヒドロナフタレン−1,2,5,6−テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン−2,3,4,5−テトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、ビス(エキソ−ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−2,3−ジカルボン酸無水物)スルホンが挙げられる。 Examples of the alicyclic tetracarboxylic dianhydride and aliphatic tetracarboxylic dianhydride include ethylene tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride, 1,5- Cyclooctadiene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 5-carboxymethylbicyclo [2.2.1] heptane-2,3,6-tricarboxylic acid-2,3: 5,6- Dianhydride, 1-carboxymethyl-2,3,5-cyclopentanetricarboxylic acid-2,6: 3,5-dianhydride, bicyclo [2.2.2] oct-7-ene-2,3 5,6-tetracarboxylic dianhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, tetrahydrofuran-2,3 4,5-tetracar Acid dianhydride, 4- (2,5-dioxotetrahydrofuran-3-yl) -1,2,3,4-tetrahydronaphthalene-1,2-dicarboxylic acid anhydride, decahydronaphthalene-1,4 5,8-tetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane -1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, bis (Exo-bicyclo [2.2.1] heptane-2,3-dicarboxylic anhydride) sulfone.
これらのテトラカルボン酸二無水物は、単独又は組み合わせて用いることができる。
式(8)で示したポリマーは、例えば上記ジアミンとテトラカルボン酸二無水物を適当な溶媒中で混合してポリイミド前駆体であるポリアミド酸を合成し、得ることができる。溶媒としては、例えばN−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、テトラメチル尿素、ヘキサメチルリン酸トリアミド、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、蓚酸ジエチル、炭酸ジメチル、マロン酸ジエチル、ジエチルエーテル、イソプロピルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフランを用いることができる。これらの溶媒は単独で用いても良いし、2種以上を混合して用いても良い。
These tetracarboxylic dianhydrides can be used alone or in combination.
The polymer represented by the formula (8) can be obtained by, for example, mixing the diamine and tetracarboxylic dianhydride in a suitable solvent to synthesize a polyamic acid that is a polyimide precursor. Examples of the solvent include N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, tetramethylurea, hexamethylphosphoric triamide, γ-butyrolactone, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl. Ketones, cyclohexanone, methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, diethyl oxalate, dimethyl carbonate, diethyl malonate, diethyl ether, isopropyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, and tetrahydrofuran can be used. These solvents may be used alone or in combination of two or more.
また、式(9)で示したポリマーは、例えば上記のようにして得られたポリアミド酸を部分的にイミド化することにより得ることができる。イミド化は、適当な溶媒中で加熱のみによって行っても良く、触媒を添加し加熱することにより行っても良い。溶媒としては、ポリアミド酸の合成と同じものを用いてもよいし、異なるものを用いてもよい。ポリアミド酸の合成溶媒として上記に示したもの以外には、へキサン、ヘプタン、オクタン、ベンゼン、トルエン、キシレンなどを用いることができる。これらの溶媒は単独で用いても良いし、2種以上を混合して用いても良い。触媒としては、例えば、酸無水物やラクトン、及び塩基を使用することができる。酸無水物としては、例えば無水酢酸が挙げられる。ラクトンとしては、γ−バレロラクトンが好ましく、塩基としては、ピリジン及び/又はメチルモルフォリンが好ましい。ポリアミド酸を部分的にイミド化する際用いた触媒は、合成後、除去することが好ましい。触媒の除去は、例えば、トルエンやキシレンなどの水と共沸する溶媒を合成溶媒に添加することで、イミド化する際に生成する水と共に共沸させて除去する事ができる。 Moreover, the polymer shown by Formula (9) can be obtained by partially imidating the polyamic acid obtained by making it above, for example. The imidization may be performed only by heating in an appropriate solvent, or may be performed by adding a catalyst and heating. As a solvent, the same thing as the synthesis | combination of a polyamic acid may be used, and a different thing may be used. Hexane, heptane, octane, benzene, toluene, xylene and the like can be used in addition to the above-described synthetic solvents for polyamic acid. These solvents may be used alone or in combination of two or more. As the catalyst, for example, acid anhydrides, lactones, and bases can be used. Examples of the acid anhydride include acetic anhydride. The lactone is preferably γ-valerolactone, and the base is preferably pyridine and / or methylmorpholine. The catalyst used for partially imidizing the polyamic acid is preferably removed after synthesis. The catalyst can be removed, for example, by adding a solvent azeotroped with water such as toluene or xylene to the synthesis solvent to azeotrope with water generated during imidization.
次に、本発明に係る(感光性)樹脂組成物について説明する。
本発明の樹脂組成物は、感光性樹脂組成物とすることができる。この場合、熱塩基発生剤(A)、樹脂(B)に、キノンジアジド化合物(C)、又は、光重合開始剤(D)及び二重結合を有する化合物(E)などを含有させればよい。
本発明に係る樹脂組成物をアルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂組成物として用いる場合、キノンジアジド化合物(C)を含有させればよい。
キノンジアジド化合物としては、例えば、1,2−ベンゾキノンジアジドスルホン酸エステル類、1,2−ベンゾキノンジアジドスルホン酸アミド類、1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル類、1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸アミド類が挙げられる。
Next, the (photosensitive) resin composition according to the present invention will be described.
The resin composition of the present invention can be a photosensitive resin composition. In this case, the thermal base generator (A) and the resin (B) may contain a quinonediazide compound (C), a photopolymerization initiator (D), a compound having a double bond (E), or the like.
When the resin composition according to the present invention is used as a positive photosensitive resin composition capable of alkali development, a quinonediazide compound (C) may be contained.
Examples of the quinone diazide compound include 1,2-benzoquinone diazide sulfonic acid esters, 1,2-benzoquinone diazide sulfonic acid amides, 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid esters, 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid amides. Is mentioned.
1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル類としては、トリヒドロキシベンゾフェノン類、テトラヒドロキシベンゾフェノン類、ペンタヒドロキシベンゾフェノン類、ヘキサヒドロキシベンゾフェノン類、(ポリヒドロキシフェニル)アルカン類の1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル類などが挙げられる。
トリヒドロキシベンゾフェノン類の1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル類としては、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステルなどが挙げられる。
1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid esters include trihydroxybenzophenones, tetrahydroxybenzophenones, pentahydroxybenzophenones, hexahydroxybenzophenones, 1,2-naphthoquinone diazide sulfonate esters of (polyhydroxyphenyl) alkanes And the like.
Examples of 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid esters of trihydroxybenzophenones include 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinone diazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,4-trihydroxybenzophenone -1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,4,6-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,4,6-trihydroxybenzophenone-1,2 -Naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester etc. are mentioned.
テトラヒドロキシベンゾフェノン類の1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル類としては、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,2’,4,3’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2’,4,3’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,3,4,2’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4,2’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,3,4,4’−テトラヒドロキシ−3’−メトキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4,4’−テトラヒドロキシ−3’−メトキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステルなどが挙げられる。 Examples of 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid esters of tetrahydroxybenzophenones include 2,2 ′, 4,4′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinone diazide-4-sulfonic acid ester, 2,2 ′, 4,4′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,2 ′, 4,3′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2 , 2 ′, 4,3′-Tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,3,4,4′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid Ester, 2,3,4,4'-tetrahydroxybenzopheno -1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,3,4,2′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,4,2′-tetra Hydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,3,4,4′-tetrahydroxy-3′-methoxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3 4,4′-tetrahydroxy-3′-methoxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester and the like.
ペンタヒドロキシベンゾフェノン類の1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル類としては、2,3,4,2’,6’−ペンタヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4,2’,6’−ペンタヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステルなどが挙げられる。
ヘキサヒドロキシベンゾフェノン類の1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル類としては、2,4,6,3’,4’,5’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,4,6,3’,4’,5’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、3,4,5,3’,4’,5’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、3,4,5,3’,4’,5’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステルなどが挙げられる。
Examples of 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid esters of pentahydroxybenzophenones include 2,3,4,2 ′, 6′-pentahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinone diazide-4-sulfonic acid ester, 2,3 , 4,2 ′, 6′-pentahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester and the like.
Examples of 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid esters of hexahydroxybenzophenones include 2,4,6,3 ′, 4 ′, 5′-hexahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinone diazide-4-sulfonic acid ester, 2,4,6,3 ′, 4 ′, 5′-hexahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 3,4,5,3 ′, 4 ′, 5′-hexahydroxybenzophenone -1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 3,4,5,3 ′, 4 ′, 5′-hexahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, and the like.
(ポリヒドロキシフェニル)アルカン類の1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル類としては、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,2’−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2’−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−ヘキサノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−ヘキサノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,2,4−トリメチル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2,4−トリメチル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステルなどが挙げられる。 Examples of 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid esters of (polyhydroxyphenyl) alkanes include bis (2,4-dihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinone diazide-4-sulfonic acid ester, bis (2,4 -Dihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, bis (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (p-hydroxyphenyl) methane- 1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 1,1,1-tri (p-hydroxyphenyl) ethane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 1,1,1-tri (p -Hydroxyphenyl) ethane-1,2-naphthoquinonediazide-5-s Phosphonate, bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonate, bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane-1,2-naphtho Quinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,2′-bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) propane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,2′-bis (2,3 , 4-Trihydroxyphenyl) propane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 1,1,3-tris (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -3-phenylpropane-1,2 -Naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 1,1,3-tris (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -3- Phenylpropane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1, 2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide— 5-sulfonic acid ester, bis (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -2-hydroxyphenylmethane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (2,5-dimethyl-4-hydroxy) Phenyl) -2-hydroxyphenylmethane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester 3,3,3 ′, 3′-tetramethyl-1,1′-spirobiindene-5,6,7,5 ′, 6 ′, 7′-hexanol-1,2-naphthoquinonediazide-4- Sulfonic acid ester, 3,3,3 ′, 3′-tetramethyl-1,1′-spirobiindene-5,6,7,5 ′, 6 ′, 7′-hexanol-1,2-naphthoquinonediazide— 5-sulfonic acid ester, 2,2,4-trimethyl-7,2 ′, 4′-trihydroxyflavan-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,2,4-trimethyl-7,2 Examples include ', 4'-trihydroxyflavan-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester.
これらの中で、溶解抑止能の観点から、1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル類が好ましい。1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルとしては、スルホン酸基の置換位置が4位の1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステルと5位の1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステルがあり、いずれを用いても良い。1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルは、フェノール性水酸基を有する化合物を原料として用い、スルホン酸でエステル化して得ることができる。例えば、フェノール性水酸基の官能基数1モルに対して1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸もしくはその酸塩化物もしくはそのスルホン酸塩、又は5位の1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸もしくはその酸塩化物もしくはそのスルホン酸塩を、アセトンなど適当な溶剤中で混合することによって得ることができる。このとき、トリエチルアミンなど塩基性の触媒を用いても良い。スルホン酸によるエステル化率としては、溶解抑止能と露光後のアルカリ溶解性の観点から、0.60以上0.98以下が好ましい。 Among these, 1,2-naphthoquinonediazide sulfonic acid esters are preferable from the viewpoint of dissolution inhibiting ability. As 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid ester, 1,2-naphthoquinone diazide-4-sulfonic acid ester at the 4-position of the sulfonic acid group and 1,2-naphthoquinone diazide-5-sulfonic acid ester at the 5-position Any of these may be used. 1,2-naphthoquinonediazide sulfonic acid ester can be obtained by esterifying with sulfonic acid using a compound having a phenolic hydroxyl group as a raw material. For example, 1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid or its acid chloride or its sulfonate, or 1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid at the 5-position with respect to 1 mol of the functional group of the phenolic hydroxyl group Alternatively, the acid chloride or sulfonate thereof can be obtained by mixing in a suitable solvent such as acetone. At this time, a basic catalyst such as triethylamine may be used. The esterification rate with sulfonic acid is preferably 0.60 or more and 0.98 or less from the viewpoint of dissolution inhibiting ability and alkali solubility after exposure.
本発明に係る樹脂組成物を、アルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物として用いる場合、光重合開始剤(D)と、二重結合を有する化合物(E)と、を含有させればよい。この場合、露光部では光重合開始剤により二重結合を有する化合物が重合を開始する為、IPN構造(相互侵入高分子網目構造)を形成することにより、露光部のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する。これにより、露光部と未露光部との溶解度差を増加させることができ、ネガ型の感光性樹脂組成物として用いることができる。
光重合開始剤(D)としては、例えばベンゾフェノン、ミヒラーケトン、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、2−ヒドロキシ−4−イソプロピル−2−メチルプロピオフェノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、ジエチルチオキサントン、クロルチオキサントン、ベンジル、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンゾイル安息香酸、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロパン−1−オン、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドが挙げられる。さらにベンゾインとエチレンオキサイドの等モル付加物や、2〜4倍モル付加物、ベンゾインとプロピレンオキサイドの等モル付加物や、2〜4倍モル付加物、α−アリルベンゾイン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンとエチレンオキサイドの等モル付加物や、2〜4倍モル付加物、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンとプロピレンオキサイドの等モル付加物や、2〜4倍モル付加物、ベンゾイル安息香酸とエチレンオキサイド等モル反応物、2〜4倍モル付加物、ベンゾイル安息香酸とプロピレンオキサイドの等モル反応物、2〜4倍モル付加物、ヒドロキシベンゾフェノンとエチレンオキサイドの等モル反応物、2〜4倍モル付加物、ヒドロキシベンゾフェノンとプロピレンオキサイドの等モル反応物、2〜4倍モル付加物、4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、4−(2−アクロオキシエトキシ)−フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトンとエチレンオキサイドの等モル反応物、2〜4倍モル付加物、4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトンとプロピレンオキサイドの等モル反応物、2〜4倍モル付加物、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−デシルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン等が挙げられる。これらは、1種又は2種以上を混合して使用することができる。
When the resin composition according to the present invention is used as a negative photosensitive resin composition capable of alkali development, it contains a photopolymerization initiator (D) and a compound (E) having a double bond. Good. In this case, since the compound having a double bond starts to be polymerized by the photopolymerization initiator in the exposed area, the IPN structure (interpenetrating polymer network structure) is formed, so that the exposed area can be dissolved in an alkaline developer. descend. Thereby, the solubility difference of an exposed part and an unexposed part can be increased, and it can be used as a negative photosensitive resin composition.
Examples of the photopolymerization initiator (D) include benzophenone, Michler's ketone, benzoin, benzoin ethyl ether, benzoin butyl ether, benzoin isobutyl ether, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-phenylacetophenone, 2- Hydroxy-2-methylpropiophenone, 2-hydroxy-4-isopropyl-2-methylpropiophenone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, diethylthioxanthone, chlorothioxanthone, benzyl, benzyldimethyl ketal, 1- Hydroxycyclohexyl phenyl ketone, benzoylbenzoic acid, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2,4,6-trimethylbenzo Le diphenylphosphine oxide. Furthermore, equimolar adducts of benzoin and ethylene oxide, 2- to 4-fold molar adducts, equimolar adducts of benzoin and propylene oxide, 2- to 4-fold molar adducts, α-allylbenzoin, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone And ethylene oxide equimolar adduct, 2 to 4 times mole adduct, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone and propylene oxide equimolar adduct, 2 to 4 times mole adduct, benzoylbenzoic acid and ethylene oxide, etc. Reactant, 2 to 4 times mole adduct, benzoylbenzoic acid and propylene oxide equimolar reaction, 2 to 4 times mole adduct, hydroxybenzophenone and ethylene oxide equimolar reactant, 2 to 4 times mole adduct, Equimolar reaction product of hydroxybenzophenone and propylene oxide, 2 to 4 times Adduct, 4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 4- (2-acryloxyethoxy) -phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 4 Equimolar reaction product of 2- (2-hydroxyethoxy) -phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone and ethylene oxide, 2- to 4-fold molar adduct, 4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl- (2 -Hydroxy-2-propyl) ketone and propylene oxide equimolar reactant, 2- to 4-fold molar adduct, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- ( 4-decylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one and the like. These can be used 1 type or in mixture of 2 or more types.
二重結合を有する化合物(E)としては、反応性の観点から、1分子中に2つ以上の二重結合を有するアクリレート化合物又はメタクリレート化合物が好ましい。
このようなアクリレート化合物としては、例えば1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、フェノキシジエチレングリコールアクリレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレート、β−アクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、ラウリルアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2−ヒドロキシ1−アクリロキシ3−メタクロキシプロパン、テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、2,2−水添ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリプロポキシ)フェニル]プロパン、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジアクリレート、エトキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、イソシアヌル酸EO変性トリアクリレート、ε−カプロラクトン変性トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、ペンタスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、プロポキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトレアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、イソシアヌル酸トリアリル、1,3,5−トリアクリロイルヘキサヒドロ−s−トリアジン、トリアリル1,3,5−ベンゼンカルボキシレート、トリアリルアミン、トリアリルシトレート、トリアリルホスフェート、5,5−ジアリルバルビツル酸、ジアリルアミン、ジアリルジメチルシラン、ジアリルジスルフィド、ジアリルエーテル、ジアリルシアルレート、ジアリルイソフタレート、ジアリルテレフタレート、1,3−ジアリロキシ−2−プロパノール、ジアリルスルフィドジアリルマレエート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジアクリレートが挙げられる。
The compound (E) having a double bond is preferably an acrylate compound or a methacrylate compound having two or more double bonds in one molecule from the viewpoint of reactivity.
Examples of such acrylate compounds include 1,6-hexanediol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and dipentaerythritol hexaacrylate. , Tetramethylolpropane tetraacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, phenoxyethyl acrylate, phenoxydiethylene glycol acrylate, phenoxy polyethylene glycol acrylate, β-acryloyloxyethyl hydrogen succinate, lauryl acrylate, polyethylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate Polypropylene glycol diacrylate, 2,2-bis [4- (acryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxypolyethoxy) phenyl] propane, 2-hydroxy 1-acryloxy 3-meta Cloxypropane, tetramethylolmethane triacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, dipropylene glycol diacrylate, tricyclodecane dimethanol diacrylate, 2,2-hydrogenated bis [4- (acryloxy-polyethoxy) phenyl] propane, 2, 2-bis [4- (acryloxy-polypropoxy) phenyl] propane, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol diacrylate, ethoxylated totimethylolpropane triacrylate, propoxylated totimethylol group Pan triacrylate, isocyanuric acid EO modified triacrylate, ε-caprolactone modified tris (acryloxyethyl) isocyanurate, pentathritol tetraacrylate, ethoxylated pentathritol tetraacrylate, propoxylated pentathritol tetraacrylate, ditrimethylolpropane tetrale Acrylate, dipentaerythritol polyacrylate, triallyl isocyanurate, 1,3,5-triacryloylhexahydro-s-triazine, triallyl 1,3,5-benzenecarboxylate, triallylamine, triallyl citrate, triallyl phosphate, 5,5-diallylbarbituric acid, diallylamine, diallyldimethylsilane, diallyldisulfide, diallylether, diallylsiale Salts, diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, 1,3-dialyloxy-2-propanol, diallyl sulfide diallyl maleate, 4,4′-isopropylidene diphenol diacrylate.
また、メタクリレート化合物としては、例えば1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート、β−メタクロイルオキシエチルハイドロジェンフタレート、β−メタクロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブチレングリコールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、2−ヒドロキシ−1,3−ジメタクロキシプロパン、2,2−ビス[4−(メタクロキシエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、1,4−ブタンジオールジメタクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,6−メキサンジオールジメタクリレート、1,9−ノナンジオールメタクリレート、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールジメタクリレート、グリシジルメタクリレート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジメタクリレートが挙げられる。 Examples of the methacrylate compound include 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, Tetramethylolpropane tetramethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxypolyethylene glycol methacrylate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen phthalate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen succinate, 3-chloro-2-hydroxypropyl Methacrylate, steer Lyl methacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, polypropylene glycol di Methacrylate, 2-hydroxy-1,3-dimethacryloxypropane, 2,2-bis [4- (methacryloxyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2 , 2-bis [4- (methacryloxy polyethoxy) phenyl] propane, trimethylolpropane trimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 1, -Butanediol dimethacrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, 1,6-mexanediol dimethacrylate, 1,9-nonanediol methacrylate, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol di Examples include methacrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol dimethacrylate, glycidyl methacrylate, and 4,4′-isopropylidene diphenol dimethacrylate.
本発明に係る樹脂組成物は、さらに光増感剤を含んでいてもよい。光増感剤としては特に制限はなく、公知の光増感剤を用いることができる。例えば、芳香族物アジド類の、アジドアントラキノン、アジドベンザルアセトフェノンなど;クマリン化合物のクマリン、ケトクマリン、3,3’−カルボニルビス(ジエチルアミノクマリン)、3−ケトクマリンなど;芳香族ケトン類のベンズアントロン、フェノントレンキノン、ベンジル、ベンゾフェノン、p,p’−テトラメチルジアミノベンゾフェノンなど;芳香族アミン類のN−フェニルジエタノールアミン、N−フェニルグリシン、p−ニトロアニリン、2,4−ジニトロアニリン、2−クロロ−4−ニトロアニリン2,6−ジニトロ−4−ニトロアニリン、ミヒラーケトンなど;チオキサントン化合物のチオキサントン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン;芳香族炭化水素類のアントラセン、ナフタレン、ジフェニル、p−ニトロジフェニル;キノン類のアントラキノン、ナフトキノン、ベンゾキノンなどである。この他、例えば特開平3−239703号公報、特開平5−289335号公報に記載の複素環を有するクマリン化合物;特開昭63−221110号公報に記載の3−ケトクマリン化合物;特開平4−221958号公報、特開平4−219756号公報に記載のキサンテン色素;特開平6−19240号公報に記載のピロメテン色素;特開昭47−2528号公報、特開昭54−155292号公報、特開昭56−166154号公報、特開昭59−56403号公報に記載の(p−ジアルキルアミノベンジリデン)ケトン、スチリル系色素;特開平6−295061号公報に記載のジュロリジル基を有する増感色素;特開平11−326624号公報に記載のジアミノベンゼン化合物を挙げることができる。なかでも300〜450nm付近に吸収を持つ化合物が好ましく、具体的にはクマリン化合物、チオキサントン化合物、芳香族ケトン類が好ましい。 The resin composition according to the present invention may further contain a photosensitizer. There is no restriction | limiting in particular as a photosensitizer, A well-known photosensitizer can be used. For example, aromatic azides such as azidoanthraquinone and azidobenzalacetophenone; coumarin compounds such as coumarin, ketocoumarin, 3,3′-carbonylbis (diethylaminocoumarin), and 3-ketocoumarin; benzanthrone of aromatic ketones, Phenontolenquinone, benzyl, benzophenone, p, p′-tetramethyldiaminobenzophenone, etc .; aromatic amines N-phenyldiethanolamine, N-phenylglycine, p-nitroaniline, 2,4-dinitroaniline, 2-chloro- 4-nitroaniline 2,6-dinitro-4-nitroaniline, Michler's ketone, etc .; thioxanthone compounds such as thioxanthone, diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone; aromatic hydrocarbons anthracene, naphthalene Diphenyl, p- nitro diphenyl; is quinones anthraquinone, naphthoquinone, benzoquinone, etc.. In addition, for example, coumarin compounds having a heterocyclic ring described in JP-A-3-239703 and JP-A-5-289335; 3-ketocoumarin compounds described in JP-A-63-221110; JP-A-4-221958 Xanthene dyes described in JP-A-4-219756; pyromethene dyes described in JP-A-6-19240; JP-A-47-2528; JP-A-54-155292; (P-dialkylaminobenzylidene) ketone and styryl dye described in JP-A-56-166154 and JP-A-59-56403; sensitizing dye having a julolidyl group described in JP-A-6-295061; The diaminobenzene compound described in 11-326624 gazette can be mentioned. Of these, compounds having absorption in the vicinity of 300 to 450 nm are preferable, and specifically, coumarin compounds, thioxanthone compounds, and aromatic ketones are preferable.
本発明に係る樹脂組成物には、本発明の効果を逸脱しない量的、質的範囲内で、公知の添加剤を必要に応じて添加することができる。具体的には、密着性向上剤、界面活性剤、酸化防止剤、紫外線防止剤、光安定剤、可塑剤、ワックス類、充填剤、顔料、染料、発泡剤、消泡剤、脱水剤、帯電防止剤、抗菌剤、防カビ剤、レベリング剤、分散剤、などが挙げられる。
本発明に係る樹脂組成物は、熱塩基発生剤(A)と樹脂(B)と、必要に応じ、キノンジアジド化合物(C)、又は光重合開始剤(D)と二重結合を有する化合物(E)、とを任意の溶剤中にて混合して得られる。混合により得られた溶液は、塗工液として用いることができる。溶剤としては、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、テトラメチル尿素、ヘキサメチルリン酸トリアミド、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、蓚酸ジエチル、炭酸ジメチル、マロン酸ジエチル、ジエチルエーテル、イソプロピルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフランなどを用いることができる。
A known additive can be added to the resin composition according to the present invention, if necessary, within a quantitative and qualitative range that does not depart from the effects of the present invention. Specifically, adhesion improvers, surfactants, antioxidants, UV inhibitors, light stabilizers, plasticizers, waxes, fillers, pigments, dyes, foaming agents, antifoaming agents, dehydrating agents, charging Examples thereof include an inhibitor, an antibacterial agent, an antifungal agent, a leveling agent, and a dispersant.
The resin composition according to the present invention comprises a thermal base generator (A) and a resin (B) and, if necessary, a quinonediazide compound (C) or a photopolymerization initiator (D) and a compound having a double bond (E ), And are mixed in an arbitrary solvent. The solution obtained by mixing can be used as a coating solution. Solvents include N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, tetramethylurea, hexamethylphosphoric triamide, γ-butyrolactone, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone , Cyclohexanone, methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, diethyl oxalate, dimethyl carbonate, diethyl malonate, diethyl ether, isopropyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, and the like.
また、本発明に係る樹脂組成物の溶液を所定の基材に塗布し、任意の方法で乾燥させることにより(ドライ)フィルムを得ることができる。
本発明に係る樹脂組成物を用いて、回路基板を製造することが可能である。回路基板を製造する場合においては、少なくとも配線を有する基材上に、ポジ型又はネガ型の感光性樹脂組成物層を積層し、前記感光性樹脂組成物層にパターン露光を行い、前記パターン露光後の樹脂組成物層に対してアルカリ水溶液を用いて現像処理を行う。配線を有する基材とは、例えばガラスエポキシ基板、ガラスマレイミド基板などの硬質な基材、あるいはポリイミドフィルムなどの可撓性のある基材などの任意の基材上に配線を有するものをいう。
Moreover, the (dry) film can be obtained by apply | coating the solution of the resin composition which concerns on this invention to a predetermined base material, and making it dry by arbitrary methods.
A circuit board can be produced using the resin composition according to the present invention. In the case of producing a circuit board, a positive or negative photosensitive resin composition layer is laminated on at least a substrate having wiring, and pattern exposure is performed on the photosensitive resin composition layer, and the pattern exposure is performed. The subsequent resin composition layer is developed using an alkaline aqueous solution. The base material having wiring refers to a material having wiring on an arbitrary base material such as a hard base material such as a glass epoxy substrate or a glass maleimide substrate or a flexible base material such as a polyimide film.
中でも特に、本発明に係る樹脂組成物は、ポリイミドフィルムなどのフレキシブルな基材上に配線を有するフレキシブルプリント配線板のカバーレイとして好適に用いることができる。本発明に係る樹脂組成物をフレキシブルプリント配線板のカバーレイとする場合は、例えば、ドライフィルムの状態にして、配線を有する基材上に貼付する。
本発明の樹脂組成物で構成されたドライフィルムを用いる場合は、樹脂組成物の溶液を、任意の方法でポリエチレンテレフタレートフィルムや金属フィルムなどの任意のキャリアフィルム上に塗布した後に乾燥し、ドライフィルム化して、キャリアフィルムとドライフィルムとを有する積層フィルムとする。
Especially, the resin composition concerning this invention can be used suitably as a coverlay of the flexible printed wiring board which has wiring on flexible base materials, such as a polyimide film. When the resin composition according to the present invention is used as a coverlay for a flexible printed wiring board, for example, it is applied in a dry film state onto a substrate having wiring.
When using a dry film composed of the resin composition of the present invention, the resin composition solution is applied on an arbitrary carrier film such as a polyethylene terephthalate film or a metal film by an arbitrary method, and then dried. Into a laminated film having a carrier film and a dry film.
また、ドライフィルム上に、低密度ポリエチレンフィルムなど任意の防汚用のフィルムや保護用のフィルムを少なくとも一層設けて、積層フィルムとしても良い。
このドライフィルムを、熱ラミネート法、熱プレス法、熱真空ラミネート法、熱真空プレス法など任意の方法で配線を有する基材上にラミネートする。このようにして、配線を有する基材と、この配線を覆うように前記基材上に形成され、本発明に係る樹脂組成物を露光・現像してなる物質で構成されたカバーレイと、を具備するフレキシブルプリント配線板を作製することができる。
これらの方法によって形成されたカバーレイの膜厚には特に制限はないが、回路特性などの点から、4μm〜50μmであることが好ましく、6μm〜40μmであることがより好ましく、10μm〜30μmであることが特に好ましい。
Moreover, it is good also as a laminated film by providing at least one layer of arbitrary antifouling films, such as a low density polyethylene film, and a protective film on a dry film.
This dry film is laminated on a substrate having wiring by an arbitrary method such as a heat laminating method, a heat pressing method, a heat vacuum laminating method, or a heat vacuum pressing method. Thus, a base material having wiring, and a cover lay formed on the base material so as to cover the wiring and made of a substance obtained by exposing and developing the resin composition according to the present invention, The flexible printed wiring board to comprise can be produced.
Although there is no restriction | limiting in particular in the film thickness of the coverlay formed by these methods, From points, such as a circuit characteristic, it is preferable that they are 4 micrometers-50 micrometers, It is more preferable that they are 6 micrometers-40 micrometers, It is 10 micrometers-30 micrometers. It is particularly preferred.
露光に用いる光源としては、特に制限はないが、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、低圧水銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、蛍光灯、タングステンランプ、アルゴンレーザ、ヘリウムカドミウムレーザなどが挙げられる。
現像に用いるアルカリ水溶液としては、特に制限はないが、例えば炭酸ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、水酸化ナトリウム水溶液、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液が挙げられる。現像方法としては特に制限はないが、例えば浸漬現像、パドル現像、スプレー現像が挙げられる。
これらの方法により基材上に得られたフィルムあるいはポジ型のパターンあるいはネガ型のパターンには、必要に応じて加熱処理を施すことができる。加熱温度は、イミド化触媒発生とその活性化、FPCにダメージを与えないという観点から、100℃以上200℃以下が好ましい。より好ましくは120℃以上180℃以下である。
The light source used for the exposure is not particularly limited, and examples thereof include a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a low pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp, a fluorescent lamp, a tungsten lamp, an argon laser, and a helium cadmium laser.
The aqueous alkali solution used for development is not particularly limited, and examples thereof include an aqueous sodium carbonate solution, an aqueous potassium hydroxide solution, an aqueous sodium hydroxide solution, and an aqueous tetramethylammonium hydroxide solution. Although there is no restriction | limiting in particular as a developing method, For example, immersion development, paddle development, and spray development are mentioned.
A film, a positive pattern, or a negative pattern obtained on the substrate by these methods can be subjected to a heat treatment as necessary. The heating temperature is preferably 100 ° C. or more and 200 ° C. or less from the viewpoint of generation of an imidation catalyst, activation thereof, and damage to the FPC. More preferably, it is 120 degreeC or more and 180 degrees C or less.
この温度範囲の加熱処理により、本発明に係る樹脂組成物は、熱塩基発生剤(A)がアミンを発生することにより、樹脂(B)成分中で閉環反応が起こる為、得られるフィルムは耐薬品性、難燃性などを発現することができる。
加熱は空気雰囲気下、窒素雰囲気下のいずれで行っても良い。また、加熱方法としては特に制限はないが、オーブン、焼成炉、ホットプレートなどを用いて行うことができる。
本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態における数値や成分についてこれに限定されず、適宜変更して実施することが可能である。その他、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
Due to the heat treatment in this temperature range, the resin composition according to the present invention causes a ring closure reaction in the resin (B) component when the thermal base generator (A) generates an amine. Chemical properties, flame retardancy, etc. can be expressed.
Heating may be performed in an air atmosphere or a nitrogen atmosphere. Moreover, there is no restriction | limiting in particular as a heating method, However, It can carry out using oven, a baking furnace, a hotplate, etc.
The present invention is not limited to the embodiment described above, and can be implemented with various modifications. It is not limited to this about the numerical value and component in the said embodiment, It is possible to change suitably and to implement. In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
本発明の樹脂組成物は、アルカリ現像可能なフォトリソグラフィーを利用したパターニング工程に適用することができ、FPCのカバーレイとして好適に利用できる。 The resin composition of the present invention can be applied to a patterning process using photolithography capable of alkali development, and can be suitably used as an FPC coverlay.
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