JP5020117B2 - ガルバノスキャナ制御装置 - Google Patents
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ガルバノスキャナはミラーやエンコーダの接着材等の経時変化により、機械振動周波数が変化するので、機械振動を抑制するノッチフィルタの設定周波数を適宜、振動周波数を計測しながら修正する機能を持つ。しかしながら、従来、機械状態が正常であるか異常であるかを診断する機能がなかったので、機械剛性がかなり低くなったり、機械の摩擦が大きくなったりしても駆動しつづける。その結果、ガルバノスキャナは精度が低下し、また、このようなガルバノスキャナを搭載したレーザ加工機は精度低下による加工不良を出してしまうことがあった。本実施の形態のガルバノスキャナ制御装置においては、ガルバノスキャナの周波数特性計測部と機械状態診断部を持つので、ガルバノスキャナの機械特性が劣化しても、精度不良が発生する前に注意信号を発生して、ガルバノスキャナの交換を適切に行うことができる。
図9は本発明にかかる実施の形態2のガルバノスキャナ制御装置20Bの機能構成ブロック図である。図9において、本実施の形態のガルバノスキャナ制御装置20Bは、要注意の度合いをしめす信号を計算し出力する第2の機械状態診断部18を有している。上記実施の形態1のガルバノスキャナ制御装置20Aの第1の機械状態診断部15では、ガルバノスキャナ101の機械状態が要注意と診断した場合に、どの程度で故障するのか、判別できない。これに対して本実施の形態の第2の機械状態診断部18は、どの程度で故障するのか判別するために、要注意の度合いをしめす信号を出力する。なお、第2の機械状態診断部18以外の構成は、実施の形態1のものと全く同じ動作をするので説明を省略し、第2の機械状態診断部18の要注意度合いの算出式の説明のみ行う。なお、前記要注意度合いの計算は、図8の機械状態診断モードのS7の処理時に実施し、周波数特性計算部13で求めた前記第1共振周波数Fk1、第2共振周波数Fk2、第1反共振周波数Fh1、第1共振ピークゲインGh1と、機械状態診断テーブルの設定値である前記Fk1x1、Fk1x2、Fk1x3、Fk1x4、Fk2x1、Fk2x2、Fk2x3、Fk2x4、Fh1x1、Fh1x2、Fh1x3、Fh1x4、Gk1x1、Gk1x2、Gk1x3、Gk1x4を入力して計算する。なお、求める要注意レベルは、第1共振周波数Fk1を用いて求めたミラーの要注意レベルをLm1、第1反共振周波数Fh1を用いて求めたミラーの要注意レベルをLm2、前記Lm1とLm2を考慮して求められるミラーの要注意レベルをLm、第2共振周波数Fk2を用いて求めたエンコーダの要注意レベルをLe、第1共振のピークゲインGh1を用いて求めたベアリングの要注意レベルをLbとし、前記Lm、Le、Lbを考慮して求められるガルバノスキャナ101の要注意レベルをLgとすると、例えば、下記のように求められる。
Lm1=(Fk1x2−Fk1)/(Fk1x2−Fk1x1)(6)
(b)第1共振周波数Fk1がFk1x3以上〜Fk1x4未満の範囲にある場合のミラーの要注意レベルLm1
Lm1=(Fk1x3−Fk1)/(Fk1x3−Fk1x4)(7)
(c)第2共振周波数Fk2が、Fk2x1より上〜Fk2x2以下の範囲にある場合のエンコーダの要注意レベルLe
Le=(Fk2x2−Fk2)/(Fk2x2−Fk2x1)(8)
(d)第2共振周波数Fk2が、Fk1x3以上〜Fk1x4未満の範囲にある場合のエンコーダの要注意レベルLe
Le=(Fk2x3−Fk2)/(Fk2x3−Fk2x4)(9)
Lm2=(Fh1x2―Fh1)/(Fh1x2−Fh1x1)(10)
(f)第1反共振周波数Fh1が、Fk1x3以上〜Fk1x4未満の範囲にある場合のミラーの要注意レベルLm2
Lm2=(Fh1x3−Fh1)/(Fh1x3−Fh1x4)(11)
(g)第1共振ピークゲインGk1が、Gk1x1より上〜Gk1x2以下の範囲にある場合のベアリングの要注意レベルLe
Le=(Gk1x2−Gk1)/(Gk1x2−Gk1x1)(12)
(h)第1共振ピークゲインGk1が、Gk1x3以上〜Gk1x4未満の範囲にある場合のベアリングの要注意レベルLe
Le=(Gk1x3−Gk1)/(Gk1x3−Gk1x4)(13)
(i)前記Lm1とLm2を考慮して求められるミラーの要注意レベルLm
Lm=max{Lm1,Lm2}(14)
(j)ガルバノスキャナの要注意レベルLg
Lg=max{Lm、Le、Lb}(15)
前記機械状態診断テーブル14に設定される故障周波数、要注意周波数、故障ピークゲイン、及び要注意ピークゲインの値は、ガルバノスキャナの基準設定値であり、ガルバノスキャナ101の周波数特性の固体差が大きいと、適正な値からずれる可能性がある。そこで、本実施の形態においては、機械状態診断テーブル14の設定値を個別のガルバノスキャナの周波数特性の初期値(例えば、工場出荷時のガルバノスキャナ101の正常な状態の周波数特性)を用いて修正することで、ガルバノスキャナ間の固体差の影響を小さくすることができる。
αsk1x2=Fsk1x2/Fsk1x0(17)
αsk1x3=Fsk1x3/Fsk1x0(18)
αsk1x4=Fsk1x4/Fsk1x0(19)
αsk2x1=Fsk2x1/Fsk2x0(20)
αsk2x2=Fsk2x2/Fsk2x0(21)
αsk2x3=Fsk2x3/Fsk2x0(22)
αsk2x4=Fsk2x4/Fsk2x0(23)
αsh1x1=Fsh1x1/Fsh0x0(24)
αsh1x2=Fsh1x2/Fsh0x0(25)
αsh1x3=Fsh1x3/Fsh0x0(26)
αsh1x4=Fsh1x4/Fsh0x0(27)
αsgk1x1=Gsh1x1/Gsk1x0(28)
αsgk1x2=Gsh1x2/Gsk1x0(29)
αsgk1x3=Gsh1x3/Gsk1x0(30)
αsgk1x4=Gsh1x4/Gsk1x0(31)
Fik1x2=αsk1x2*Fik1x0(33)
Fik1x3=αsk1x3*Fik1x0(34)
Fik1x4=αsk1x4*Fik1x0(35)
Fik2x1=αsk2x1*Fik2x0(36)
Fik2x2=αsk2x2*Fik2x0(37)
Fik2x3=αsk2x3*Fik2x0(38)
Fik2x4=αsk2x4*Fik2x0(39)
Fih1x1=αsh1x1*Fih1x0(40)
Fih1x2=αsh1x2*Fih1x0(41)
Fih1x3=αsh1x3*Fih1x0(42)
Fih1x4=αsh1x4×Fih1x0(43)
Gih1x1=αsgk1x1×Gik1x0(44)
Gih1x2=αsgk1x2×Gik1x0(45)
Gih1x3=αsgk1x3×Gik1x0(46)
Gih1x4=αsgk1x4×Gik1x0(47)
2 D/A変換器
3 電流アンプ
5 エンコーダ信号処理回路
6 位置指令生成部
7 位置制御部
8 速度制御部
9 振動抑制フィルタ
10 スイッチ(切換部)
11 スイッチ制御部(切換部)
12 加振信号発生部
13 周波数特性計算部
14 機械特性診断テーブル(機械特性診断データ)
15 第1の機械状態診断部
16 表示部
17 記憶部
18 第2の機械状態診断部
19 基準機械状態テーブル
20 周波数特性初期値テーブル
20A,20B ガルバノスキャナ制御装置
21 テーブルデータ作成部
22 第2の機械特性診断テーブル(機械特性診断データ)
41 ミラー部
42 エンコーダ部
43 モータ部
101 ガルバノスキャナ
Claims (7)
- 動作指令値を出力してガルバノスキャナを回転動作させるとともに、ガルバノスキャナの回転角度を検出する角度センサの検出値によりフィードバック制御するガルバノスキャナの制御装置において、
ガルバノスキャナの周波数特性を計測する為の加振信号を発生する加振信号発生部と、
前記動作指令値に代えて前記加振信号によりガルバノスキャナを動作させた際の周波数特性を、前記加振信号によりガルバノスキャナを動作させた際の電流指令と前記角度センサの検出値とを用いて算出する周波数特性計算部と、
ガルバノスキャナの正常状態及び故障が起きる前の要注意状態の際の周波数特性の特徴を含むガルバノスキャナの周波数特性の特徴と、故障状態と要注意状態、要注意状態と正常状態を診断できる2つ以上の診断基準と、標準初期値とを含むガルバノスキャナの機械状態とが関連して記載された機械状態診断データと、
前記機械状態診断データにおける前記2つ以上の診断基準のそれぞれと前記標準初期値との比率を計算し、個別のガルバノスキャナの正常な状態の周波数特性における個別初期値と前記計算された比率とを用いて前記機械状態診断データにおける前記2つ以上の診断基準のそれぞれを修正し、修正された機械状態診断データを作成するデータ作成部と、
前記周波数特性計算部の算出した周波数特性と前記修正された機械状態診断データとに基づいて、ガルバノスキャナが正常状態か要注意状態か故障状態かを診断する機械状態診断部と、
前記機械状態診断部の診断結果を出力する表示部と、
を備えたことを特徴とするガルバノスキャナ制御装置。 - 前記機械状態診断データとして、ガルバノスキャナの共振周波数及び反共振周波数を用いることを特徴とする請求項1に記載のガルバノスキャナ制御装置。
- 前記機械状態診断データとして、ガルバノスキャナの共振周波数及び反共振周波数のピークゲインを用いることを特徴とする請求項1に記載のガルバノスキャナ制御装置。
- 前記機械状態診断部は、ミラー部の機械剛性状態を診断する
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のガルバノスキャナ制御装置。 - 前記機械状態診断部は、センサ部の機械剛性状態を診断する
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のガルバノスキャナ制御装置。 - 前記機械状態診断部は、ベアリングの機械状態を診断する
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のガルバノスキャナ制御装置。 - 前記機械状態診断部は、要注意状態を状態の程度により複数の段階に分けて出力する
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のガルバノスキャナ制御装置。
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