JP5020037B2 - Pressure distribution measurement method - Google Patents

Pressure distribution measurement method Download PDF

Info

Publication number
JP5020037B2
JP5020037B2 JP2007304925A JP2007304925A JP5020037B2 JP 5020037 B2 JP5020037 B2 JP 5020037B2 JP 2007304925 A JP2007304925 A JP 2007304925A JP 2007304925 A JP2007304925 A JP 2007304925A JP 5020037 B2 JP5020037 B2 JP 5020037B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
pressure measurement
sheet
convex
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007304925A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2009128248A (en
Inventor
憲行 細井
努 渡邉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2007304925A priority Critical patent/JP5020037B2/en
Publication of JP2009128248A publication Critical patent/JP2009128248A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5020037B2 publication Critical patent/JP5020037B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Description

本発明は、面圧などの圧力分布を測定する圧力測定用材料を用いた圧力分布測定方法に関する。   The present invention relates to a pressure distribution measuring method using a pressure measuring material for measuring a pressure distribution such as a surface pressure.

圧力測定用の材料は、液晶ガラスの貼合せ工程、プリント基板へのハンダ印刷、ローラ間の圧力調整などの用途に使われている。このような圧力測定用の材料には、例えば、富士フイルム(株)から提供されているプレスケール(商品名)に代表される圧力測定フィルムがある。   The material for pressure measurement is used for applications such as liquid crystal glass bonding, solder printing on printed circuit boards, and pressure adjustment between rollers. Such a material for pressure measurement includes, for example, a pressure measurement film represented by a prescale (trade name) provided by FUJIFILM Corporation.

この圧力測定フィルムの例として、電子供与性無色染料前駆体と電子受容性化合物との発色反応を利用した圧力測定用シートが開示されており(例えば、特許文献1参照)、0.1MPa〜20MPa程度の圧力範囲で測定することができるとされている。圧力測定フィルムは、測定部位に合わせてフィルムを任意の大きさに裁断して使用できる特徴を有するほか、筆圧による高い線圧によって発色反応を起こさせる、いわゆる感圧複写紙とは異なり、面圧を測定することができる特徴を有している。   As an example of this pressure measurement film, a pressure measurement sheet using a color reaction between an electron donating colorless dye precursor and an electron accepting compound is disclosed (for example, see Patent Document 1), and 0.1 MPa to 20 MPa. It is said that it can be measured within a certain pressure range. The pressure measurement film has the characteristics that it can be used by cutting the film into an arbitrary size according to the measurement site, and, unlike so-called pressure-sensitive copying paper, which causes a color reaction due to high linear pressure due to writing pressure, It has the feature that pressure can be measured.

近年、製品の高機能化、高精細化により、微小な圧力の分布を測定する必要性が増加している。例えば、液晶パネルの貼り合わせでは、大面積化により真空貼り合わせ方式が増加し、大気圧である0.1MPa以下の領域での圧力分布測定が重要になっている。また、プリント基板へのハンダ印刷では、電子部品の高精細化や基板の多層化により、0.1MPa以下の微小な圧力を含む圧力領域でのハンドリングが増加しており、0.1MPa以下の微小な圧力の分布測定に対する要望が高まっている。   In recent years, the necessity of measuring the distribution of minute pressures has been increasing due to higher functionality and higher definition of products. For example, in the bonding of liquid crystal panels, the number of vacuum bonding methods increases as the area increases, and pressure distribution measurement in the region of atmospheric pressure of 0.1 MPa or less is important. In solder printing on a printed circuit board, handling in a pressure region including a minute pressure of 0.1 MPa or less is increasing due to high definition of electronic components and multilayering of the substrate. There is a growing demand for accurate pressure distribution measurements.

微小な圧力を測定するための技術としては、前記圧力測定フィルムと、表面に微細な凹凸を均一に有する定盤と、を組み合わせて用いる技術(例えば、特許文献2参照)や、前記圧力測定フィルムと、片面に多数の凸部を形成したゴム製の弾性マットと、を組み合わせて用いる技術(例えば、特許文献3、4参照)が知られている。
特公昭57−24852号 特開平6−331467号公報 特開平9−329513号公報 特開平10−62276号公報
As a technique for measuring a minute pressure, a technique using a combination of the pressure measuring film and a surface plate having uniform fine irregularities on the surface (for example, see Patent Document 2), the pressure measuring film There is known a technique (for example, see Patent Documents 3 and 4) using a combination of a rubber elastic mat having a large number of convex portions on one side.
Japanese Patent Publication No.57-24852 JP-A-6-331467 JP-A-9-329513 Japanese Patent Laid-Open No. 10-62276

しかしながら、特許文献1のような従来から圧力や圧力分布の測定に用いられている材料では、例えば0.05MPa付近など、0.1MPaを下回るような微少な圧力領域では発色せず、あるいは充分な発色濃度が得られない。そのため、上記のように、僅かな圧力変化が製品の品質バラツキに影響を与えるような過程では使用できない、あるいは発色してもそれをスキャン等によりデータとして取り込んだ場合に細かい濃度分析や制御ができない等の課題が残されていた。また、特許文献2の表面に微細な凹凸を有する定盤を用いる技術では、例えば、搬送ローラーにおける挟み圧測定のような可撓性(フレキシブル性)や薄さが要求される用途に使用することはできない。また、特許文献3、4の凸部を形成したゴム製の弾性マットを用いる技術では、弾性マット自身が圧力分布を緩和するクッションの役割をしてしまい、特に、液晶パネルの貼り合わせ圧測定やシリコンウエハの研磨工程における抑え圧測定等、薄さが要求され、正確な圧力分布を測定する必要がある用途に用いることはできない。   However, the materials conventionally used for measuring pressure and pressure distribution such as Patent Document 1 do not develop color in a very small pressure region below 0.1 MPa, such as around 0.05 MPa, or are sufficient. Color density cannot be obtained. For this reason, as described above, it cannot be used in a process where a slight pressure change affects product quality variation, or even if color is developed, it cannot be analyzed or controlled in detail when it is captured as data by scanning or the like. Etc. remained. Moreover, in the technique using the surface plate which has fine unevenness | corrugation on the surface of patent document 2, it uses for the use for which flexibility (flexibility) and thinness, such as pinching pressure measurement in a conveyance roller, are required, for example. I can't. Moreover, in the technique using the rubber elastic mat in which the convex portions of Patent Documents 3 and 4 are formed, the elastic mat itself serves as a cushion for relaxing the pressure distribution. It cannot be used for applications where thinness is required and accurate pressure distribution needs to be measured, such as suppression pressure measurement in a silicon wafer polishing process.

本発明は、上記に鑑みなされたものであり、真空圧着における微小な圧力又は圧力分布を測定できる圧力分布測定方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and an object thereof is to provide a pressure distribution measuring method capable of measuring a minute pressure or pressure distribution in vacuum pressure bonding.

<1> マイクロカプセルに内包された電子供与性無色染料前駆体と前記電子供与性無色染料前駆体を発色させる電子受容性化合物とを含み、前記マイクロカプセルの体積標準のメジアン径がAμmであるときに、直径(A+5)μm以上のマイクロカプセルが2cm×2cm当たり5000〜30000個存在し、0.1MPa以下の圧力範囲の測定が可能な圧力測定用材料を用いて、真空圧着における圧力分布を測定することを特徴とする圧力分布測定方法。
<2> 前記マイクロカプセルはδ/D=1.0×10−3〜2.0×10−2〔δ:マクロカプセルの数平均壁厚(μm)、D:マイクロカプセルの体積標準のメジアン径(μm)〕の関係を満たすことを特徴とする上記<1>に記載の圧力分布測定方法。
<3> 前記圧力測定用材料が、0.05MPaでの加圧前後における発色濃度差ΔDが0.02以上であることを特徴とする上記<1>又は<2>に記載の圧力分布測定方法。
<1> When the electron-donating colorless dye precursor encapsulated in the microcapsule and an electron-accepting compound that develops the color of the electron-donating colorless dye precursor, and the volume standard median diameter of the microcapsule is A μm In addition, there are 5000 to 30000 microcapsules having a diameter (A + 5) μm or more per 2 cm × 2 cm , and the pressure distribution in vacuum press bonding is measured using a pressure measuring material capable of measuring a pressure range of 0.1 MPa or less. A pressure distribution measurement method characterized by:
<2> before KOR microcapsules is δ / D = 1.0 × 10 -3 ~2.0 × 10 -2 [[delta]: number average wall thickness of microcapsule (μm), D: the microcapsule volume standard The median diameter (μm)] relationship is satisfied, The pressure distribution measuring method according to <1> above.
<3> The pressure distribution measuring method according to <1> or <2>, wherein the pressure measurement material has a color density difference ΔD before and after pressing at 0.05 MPa is 0.02 or more. .

<4>前記マイクロカプセルの体積標準のメジアン径A(μm)が10〜40μmであることを特徴とする上記<1>〜<3のいずれか1項に記載の圧力分布測定方法。 <4> prior Symbol pressure distribution measuring method according to any one of the above <1> to <3>, wherein the microcapsule volume standard median diameter A ([mu] m) is 10 to 40 [mu] m.

> 下記条件(A)又は(B)を満たす凹凸シートを更に用い、前記凹凸シートの凸部が前記圧力測定用材料に接触するように配置して測定することを特徴とする上記<1>〜<>のいずれか1項に記載の圧力分布測定方法。
<条件:(A)>
厚さ0.05mm以上の基底部上に軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有し、総厚0.5mm以下であり、加圧により形成した発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める場合に、前記スキャナーの読み取り解像度をI、前記スキャナーによる読み取り階調数をN、前記凸部の高さをH、前記凸部の頂角をθ、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径をDmaxとしたとき、
tan(θ/2)=I×(N+1)/(2×H)かつDmax≧I×(N+1)の関係を満たす。
<条件:(B)>
硬質樹脂からなる厚さ0.05mm以上の基底部上に、該基底部に平行な露出面を有する硬質樹脂からなる凸部を複数有し、総厚0.5mm以下であり、前記露出面の面積をS、前記複数の凸部間の間隔をL、圧力測定用材料と共に用いて圧力測定を行う場合の圧力測定下限に対する前記圧力測定用材料の圧力測定下限の比をRとしたとき、
S=(L×L)/Rの関係を満たす。
< 5 > The above-mentioned <1>, wherein a concavo-convex sheet satisfying the following condition (A) or (B) is further used, and the convex part of the concavo-convex sheet is arranged and measured so as to contact the pressure measuring material. The pressure distribution measuring method according to any one of> to < 4 >.
<Condition: (A)>
When there is a conical convex part made of soft resin on the base part with a thickness of 0.05 mm or more, the total thickness is 0.5 mm or less, and the color development area formed by pressing is read with a scanner to obtain the pressure The reading resolution of the scanner is I, the number of gradations read by the scanner is N, the height of the convex portion is H, the apex angle of the convex portion is θ, and the pressurization is the measurement lower limit of the material for pressure measurement When the diameter of the color-development region when performed under pressure is D max ,
tan (θ / 2) = I × (N + 1) / (2 × H) and D max ≧ I × (N + 1) is satisfied.
<Condition: (B)>
On the base portion having a thickness of 0.05 mm or more made of hard resin, there are a plurality of convex portions made of hard resin having an exposed surface parallel to the base portion, and the total thickness is 0.5 mm or less. When the area is S, the interval between the plurality of convex portions is L, and the ratio of the pressure measurement lower limit of the pressure measurement material to the pressure measurement lower limit when the pressure measurement is performed using the pressure measurement material is R,
The relationship of S = (L × L) / R is satisfied.

本発明によれば、真空圧着における微小な圧力又はその圧力分布を測定できる圧力分布測定方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the pressure distribution measuring method which can measure the micro pressure in vacuum pressure bonding or its pressure distribution can be provided.

本発明の圧力分布測定方法は、マイクロカプセルに内包された電子供与性無色染料前駆体と前記電子供与性無色染料前駆体を発色させる電子受容性化合物とを含み、前記マイクロカプセルの体積標準のメジアン径がAμmであるときに、直径(A+5)μm以上のマイクロカプセルが2cm×2cm当たり5000〜30000個存在し、0.1MPa以下の圧力範囲の測定が可能な圧力測定用材料を用いて、真空圧着における圧力分布を測定することを特徴とする。
本発明の圧力分布測定方法は上記構成とすることにより、真空圧着における微小な圧力又は圧力分布を測定できる。
The pressure distribution measuring method of the present invention comprises an electron donating colorless dye precursor encapsulated in a microcapsule and an electron accepting compound for coloring the electron donating colorless dye precursor, and the volume standard median of the microcapsule When the diameter is A μm, there are 5000 to 30000 microcapsules having a diameter (A + 5) μm or more per 2 cm × 2 cm, and a pressure measurement material capable of measuring a pressure range of 0.1 MPa or less is used. It is characterized by measuring a pressure distribution in the pressure bonding.
The pressure distribution measuring method of the present invention can measure a minute pressure or pressure distribution in vacuum pressure bonding by adopting the above configuration.

本発明の圧力測定方法は、前記圧力測定材料を用いて真空圧着における圧力分布を測定する方法であれば特に限定されないが、(1)圧力測定用材料のみを用いた圧力測定方法、及び(2)下記条件(A)又は(B)を満たすと凹凸シートを更に用い、前記凹凸シートの凸部が前記圧力測定用材料に接触するように配置して測定する圧力分布測定方法が好ましい態様である。
<条件:(A)>
厚さ0.05mm以上の基底部上に軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有し、総厚0.5mm以下であり、加圧により形成した発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める場合に、前記スキャナーの読み取り解像度をI、前記スキャナーによる読み取り階調数をN、前記凸部の高さをH、前記凸部の頂角をθ、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径をDmaxとしたとき、
tan(θ/2)=I×(N+1)/(2×H)、かつ、Dmax≧I×(N+1)の関係を満たす。
<条件:(B)>
硬質樹脂からなる厚さ0.05mm以上の基底部上に、該基底部に平行な露出面を有する硬質樹脂からなる凸部を複数有し、総厚0.5mm以下であり、前記露出面の面積をS、前記複数の凸部間の間隔をL、圧力測定用材料と共に用いて圧力測定を行う場合の圧力測定下限に対する前記圧力測定用材料の圧力測定下限の比をRとしたとき、
S=(L×L)/Rの関係を満たす。
The pressure measurement method of the present invention is not particularly limited as long as it is a method for measuring the pressure distribution in vacuum pressure bonding using the pressure measurement material, but (1) a pressure measurement method using only a pressure measurement material, and (2 ) When the following condition (A) or (B) is satisfied, a pressure distribution measurement method in which a concavo-convex sheet is further used and the convex part of the concavo-convex sheet is arranged and measured so as to contact the pressure measuring material is a preferred embodiment. .
<Condition: (A)>
When there is a conical convex part made of soft resin on the base part with a thickness of 0.05 mm or more, the total thickness is 0.5 mm or less, and the color development area formed by pressing is read with a scanner to obtain the pressure The reading resolution of the scanner is I, the number of gradations read by the scanner is N, the height of the convex portion is H, the apex angle of the convex portion is θ, and the pressurization is the measurement lower limit of the material for pressure measurement When the diameter of the color-development region when performed under pressure is D max ,
tan (θ / 2) = I × (N + 1) / (2 × H) and the relationship of D max ≧ I × (N + 1) is satisfied.
<Condition: (B)>
On the base portion having a thickness of 0.05 mm or more made of hard resin, there are a plurality of convex portions made of hard resin having an exposed surface parallel to the base portion, and the total thickness is 0.5 mm or less. When the area is S, the interval between the plurality of convex portions is L, and the ratio of the pressure measurement lower limit of the pressure measurement material to the pressure measurement lower limit when the pressure measurement is performed using the pressure measurement material is R,
The relationship of S = (L × L) / R is satisfied.

上記の圧力測定方法(1)、(2)の中でも、前記(2)の方法がより微圧の圧力範囲を測定できることから好ましい。上記(2)の方法のうち、圧力測定用材料がA条件、B条件を満たす圧力測定方法をそれぞれ(2A)圧力測定方法、(2B)圧力測定方法(以下、単に、適宜(2A)の方法、(2B)の方法ともいう。)という。
以下、(1)、(2A)及び(2B)のそれぞれの測定方法について詳細に説明する。
Among the pressure measuring methods (1) and (2), the method (2) is preferable because it can measure a pressure range of a fine pressure. Among the methods (2), the pressure measurement methods satisfying conditions A and B satisfy the conditions (2A) and (2B) pressure measurement methods (hereinafter simply referred to as the method (2A) as appropriate). , Also referred to as (2B) method).
Hereinafter, each measurement method of (1), (2A) and (2B) will be described in detail.

<(1)圧力測定用材料のみを用いた圧力測定方法>
本発明において、圧力測定用材料のみを用いた測定方法の実施形態の例について説明するが、下記の実施形態に限定されるものではない。
本実施形態における圧力測定材料としては、マイクロカプセルに内包された電子供与性無色染料前駆体と前記電子供与性無色染料前駆体を発色させる電子受容性化合物(顕色剤)を含み、前記マイクロカプセルと前記電子受容性化合物とが単一の基材に設けられたモノシートタイプと、別々の基材に設けられた2シートタイプ(電子供与性無色染料シートと顕色剤シート)が用いられる。前記圧力測定用材料はその保存性や取り扱いの観点から前記2シートタイプが好ましい。前記圧力測定材料については詳細には後述する。
<(1) Pressure measurement method using only pressure measurement material>
In this invention, although the example of embodiment of the measuring method using only the material for pressure measurement is demonstrated, it is not limited to the following embodiment.
The pressure measurement material in the present embodiment includes an electron donating colorless dye precursor encapsulated in a microcapsule and an electron accepting compound (developer) for coloring the electron donating colorless dye precursor, and the microcapsule And a mono-sheet type in which the electron-accepting compound is provided on a single substrate and a two-sheet type (an electron-donating colorless dye sheet and a developer sheet) provided on separate substrates. The pressure measurement material is preferably the two-sheet type from the viewpoint of storage stability and handling. The pressure measurement material will be described later in detail.

本実施態様の圧力測定方法は、(a)〜(c)工程から構成されることが好ましい。
(a)工程:真空圧着装置の真空チャンバー内に被測定物と圧力測定用材料とを配置する工程。
(b)工程:前記真空チャンバー内の圧力が所望の圧力になるまで、減圧する工程。
(c)工程:真空チャンバー内の真空を解除して、前記圧力測定用材料を取り出し、圧力測定用材料に形成された発色領域の発色濃度を読み取り、その発色濃度に基づき圧力分布を測定する工程。
The pressure measurement method of this embodiment is preferably composed of steps (a) to (c).
(A) Process: The process of arrange | positioning a to-be-measured object and the material for pressure measurement in the vacuum chamber of a vacuum press-bonding apparatus.
(B) Step: A step of reducing pressure until the pressure in the vacuum chamber reaches a desired pressure.
(C) Step: releasing the vacuum in the vacuum chamber, taking out the pressure measurement material, reading the color density of the color development region formed in the pressure measurement material, and measuring the pressure distribution based on the color density .

本実施態様の圧力測定方法について、以下に図1を用いて具体的に説明するがこれに限定されるものではない。
図1は、本発明の真空圧着における圧力測定方法の一実施形態を示す斜視図である。
本発明における圧力分布は、以下の(a)〜(c)工程を行うことによって測定することができる。
The pressure measurement method of this embodiment will be specifically described below with reference to FIG. 1, but is not limited thereto.
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a pressure measuring method in vacuum bonding according to the present invention.
The pressure distribution in the present invention can be measured by performing the following steps (a) to (c).

<(a)工程>
(a)工程は、真空圧着装置100が有する真空チャンバー110内に被測定物(ガラス基板104、106)を配置し、更に、被測定物104の上全面に圧力測定用材料102(102A,102C)を配置する工程である。
<(A) Process>
In the step (a), the object to be measured (glass substrates 104 and 106) is placed in the vacuum chamber 110 of the vacuum pressure bonding apparatus 100, and the pressure measurement material 102 (102A and 102C) is further formed on the entire surface of the object 104 to be measured. ).

前記真空圧着装置は、特に限定されることなく、公知の真空圧着装置、真空チャンバー等を用いることができる。
前記被測定物104、106としては特に限定はなく、液晶パネル、ガラス基板、シリコンウエハ、プリント基板、並びにコピー機やプリンターの搬送ローラー等を用いることができる。被測定物が液晶パネルのような場合、前記被測定物104と106の間にはUV硬化樹脂112が設けられている。
本実施態様においては、後述の圧力測定用材料のうち、電子供与性無色染料シートと顕色剤シートからなる2シートタイプの圧力測定用材料を用いているがこれに限定されるものではない。
さらに、圧力測定用材料は、1シートタイプ又は2シートタイプの1つを単独で用いても、必要に応じて、1シートタイプ及び/又は2シートタイプを複数組合せて用いてもよく、特に限定されない。
真空チャンバー内の被測定物と圧力測定材料との配置関係について、圧力測定用材料は、被測定物の下全面であっても、また、被測定物のガラス基板104と106との間に位置してもよく、必要に応じて、適宜選択することができる。
前記圧力測定用材料の大きさは、被測定物の大きさより小さくとも圧力測定用材料を複数用いて測定することができるが、面圧力分布の測定及び面圧力測定の精度の観点から、圧力分布を測定する被測定物の大きさと同じ大きさであることが好ましい。
The vacuum pressure bonding apparatus is not particularly limited, and a known vacuum pressure bonding apparatus, a vacuum chamber, or the like can be used.
The objects to be measured 104 and 106 are not particularly limited, and a liquid crystal panel, a glass substrate, a silicon wafer, a printed board, a transfer roller of a copying machine or a printer, or the like can be used. When the measurement object is a liquid crystal panel, a UV curable resin 112 is provided between the measurement objects 104 and 106.
In this embodiment, among the pressure measurement materials described later, a two-sheet type pressure measurement material comprising an electron donating colorless dye sheet and a developer sheet is used, but the present invention is not limited to this.
Furthermore, the material for pressure measurement may be one sheet type or two sheet types used alone, or may be used in combination of a plurality of one sheet type and / or two sheet types as required. Not.
Regarding the positional relationship between the object to be measured and the pressure measuring material in the vacuum chamber, the pressure measuring material may be located on the entire lower surface of the object to be measured or between the glass substrates 104 and 106 of the object to be measured. It may also be selected as necessary.
Although the size of the pressure measurement material is smaller than the size of the object to be measured, it can be measured using a plurality of pressure measurement materials. From the viewpoint of measurement of surface pressure distribution and accuracy of surface pressure measurement, the pressure distribution It is preferable that the size is the same as the size of the object to be measured.

<(b)工程>
前記真空チャンバー110内の圧力が所望の圧力になるまで、真空チャンバー110の減圧口Vを介して真空ポンプ(図示せず。)で減圧する工程である。
<(B) Process>
In this step, the pressure in the vacuum chamber 110 is reduced by a vacuum pump (not shown) through the pressure reducing port V of the vacuum chamber 110 until the pressure in the vacuum chamber 110 reaches a desired pressure.

上記(b)工程において、前記減圧された真空チャンバー110内の被測定物(ガラス基板104、106)と圧力測定用材料102は、それらの上下に設けられたエア抜きエンボスシート(180μmPET)108により圧着され、圧着された圧力測定用材料は所望の圧力(真空度)に応じて発色する。   In the step (b), the object to be measured (glass substrates 104 and 106) and the pressure measurement material 102 in the vacuum chamber 110 that has been decompressed are made by the air vent embossed sheets (180 μm PET) 108 provided above and below them. The pressure measurement material that has been pressure-bonded and pressed is colored according to a desired pressure (degree of vacuum).

前記所望の圧力とは、0.1MPa以下の圧力であり、十分な圧着効果を得る観点から、0.0〜0.09MPaが好ましく、0.0〜0.08MPaがより好ましく、0.0〜0.70MPaが特に好ましい。0.1MPa以下の圧力を測定可能な圧力測定用材料を用いることにより、従来測定が困難であった機器等を測定することができる点で好ましい。
前記減圧に用いる装置としては、真空ポンプを示すが減圧できれば特に限定されないで、公知の減圧装置を用いることができる。
本実施態様においては、エア抜きエンボスシートを用いて被測定物を圧着しているが、エア抜きができて被測定物を圧着できる機能を有するものであれば特に限定されるものではない。
前記エア抜きエンボスシートの材質としては、クッション性のない硬度を有することが好ましいとの観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、アクリル等が挙げられる。
The desired pressure is a pressure of 0.1 MPa or less, preferably 0.0 to 0.09 MPa, more preferably 0.0 to 0.08 MPa, from the viewpoint of obtaining a sufficient pressure-bonding effect, and 0.0 to 0.08 MPa. 0.70 MPa is particularly preferable. The use of a pressure measurement material capable of measuring a pressure of 0.1 MPa or less is preferable in that a device or the like that has conventionally been difficult to measure can be measured.
The apparatus used for the pressure reduction is a vacuum pump, but is not particularly limited as long as the pressure can be reduced, and a known pressure reduction apparatus can be used.
In the present embodiment, the object to be measured is pressure-bonded using an air vent embossed sheet, but there is no particular limitation as long as it has a function of allowing air to be released and pressure-bonding the object to be measured.
Examples of the material of the air vent embossed sheet include polyethylene terephthalate, polyethylene, polystyrene, polypropylene, polycarbonate, and acrylic from the viewpoint that it is preferable to have hardness without cushioning properties.

<(c)工程>
真空チャンバー110内の真空を解除して、前記(b)工程により減圧された圧力測定用材料102を取り出し、重ね合わせた電子供与性無色染料シート102Aと顕色剤シート102Cとを剥離し、圧力の度合いに応じて顕色剤シート102Cに形成された発色領域の発色濃度(D)を読み取り、その発色濃度に基づき面内圧力分布を測定する工程である。
<(C) Process>
The vacuum in the vacuum chamber 110 is released, the pressure measurement material 102 decompressed in the step (b) is taken out, the superposed electron-donating colorless dye sheet 102A and the developer sheet 102C are peeled off, and the pressure The color density (D) of the color development area formed on the developer sheet 102C is read in accordance with the degree of color, and the in-plane pressure distribution is measured based on the color density.

前記顕色剤シートに形成された発色濃度の分布は、スキャナーを用いた圧力画像解析システム(例えば、FPD−9210、富士フイルム(株)製)等により濃度分布を読み取って面内圧力分布を解析することにより、圧力分布を測定することができる。
また、簡易的には、発色濃度を目視により観察することにより測定することができる。
The color density distribution formed on the developer sheet is analyzed by reading the density distribution with a pressure image analysis system using a scanner (for example, FPD-9210, manufactured by FUJIFILM Corporation). By doing so, the pressure distribution can be measured.
Moreover, it can measure simply by observing the color density visually.

<(2A)圧力測定用材料と凹凸シート(凸部が円錐状)を用いた圧力測定方法>
本実施態様の圧力測定方法(以下、単に、(2A)圧力測定方法ともいう。)は、(a)厚さ0.05mm以上の基底部上に軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有する総厚0.5mm以下の凹凸シートを、被測定物と加圧部位が発色する圧力測定用材料との間に、前記凸部が前記圧力測定用材料側となる向きに配置する工程と、(b)加圧により前記凹凸シートの凸部を前記圧力測定用材料に圧接し、前記凸部を変形させ、前記圧力測定用材料に凸部の変形量に対応した面積の発色領域を形成する工程と、(c)前記発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める工程と、を有し、前記スキャナーの読み取り解像度をI、前記スキャナーによる読み取り階調をN、前記凸部の高さをH、前記凸部の頂角をθ、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径をDmaxとしたとき、
tan(θ/2)=I×(N+1)/(2×H)、かつ、
max≧I×(N+1)
の関係を満たすように構成される。
<(2A) Pressure Measurement Method Using Pressure Measurement Material and Convex Sheet (Convex is Conical)>
The pressure measurement method of the present embodiment (hereinafter, also simply referred to as (2A) pressure measurement method) is (a) a total of having a conical convex portion made of a soft resin on a base portion having a thickness of 0.05 mm or more. A step of disposing a concavo-convex sheet having a thickness of 0.5 mm or less between the object to be measured and a pressure measurement material that develops a pressure at a position where the convex portion is on the pressure measurement material side; ) Pressing the convex portion of the concavo-convex sheet against the pressure measurement material by pressurization, deforming the convex portion, and forming a color development region having an area corresponding to the deformation amount of the convex portion on the pressure measurement material; And (c) reading the color development area with a scanner to obtain pressure, wherein the reading resolution of the scanner is I, the reading gradation by the scanner is N, the height of the convex portion is H, and the convexity The apex angle of the part is θ, the pressurization is the pressure measurement material When the diameter of the color regions when performing a constant lower pressure to a D max,
tan (θ / 2) = I × (N + 1) / (2 × H), and
D max ≧ I × (N + 1)
It is configured to satisfy the relationship.

加圧部位が発色する圧力測定用材料を用いて被測定物に加えられた圧力を測定する際、凹凸シートをその凸部が該圧力測定用材料となる側にして該圧力測定用材料と被測定物との間に挟むことで、被測定物全体に加えられた圧力を、凹凸シートの凸部に集中させることができる。このため、前記被測定物全体に加えられた圧力が該圧力測定用材料固有の測定下限以下である場合でも、圧力測定や圧力分布の測定を行うことができる。ところが、この際、凹凸シートの性状(例えば、基底部の厚さ、凸部の高さ、凸部の形状、凸部の硬さ(変形量)等)によっては、凹凸シート自身により圧力が緩和される不都合や、各測定点の圧力値を分類する段階数が不足する不都合等を生じ、正確な圧力を測定できない場合がある。   When measuring the pressure applied to the object to be measured using the pressure measurement material that develops color at the pressurization site, the concavo-convex sheet is placed on the side where the convex part becomes the pressure measurement material and the pressure measurement material By being sandwiched between the object to be measured, the pressure applied to the entire object to be measured can be concentrated on the convex part of the uneven sheet. For this reason, even when the pressure applied to the whole object to be measured is equal to or lower than the measurement lower limit specific to the material for pressure measurement, pressure measurement and pressure distribution measurement can be performed. However, depending on the properties of the concavo-convex sheet (for example, the thickness of the base, the height of the bulge, the shape of the bulge, the hardness of the bulge (the amount of deformation), etc.), the pressure is relaxed by the concavo-convex sheet itself. May cause inconveniences that may occur and the number of steps for classifying the pressure value at each measurement point may be insufficient, and so on.

圧力測定方法を上記本実施態様の構成とした場合、即ち、上記関係を満たす凹凸シートを使用した場合には、加圧により被測定物と圧力測定用材料との間に加えられた圧力が圧力測定用材料の測定下限であるときには、凹凸シートの凸部は、高さほぼ0となるまで潰れ、発色領域の直径(面積)は最大となる。一方、前記圧力が圧力測定用材料の測定下限未満の場合には、前記凸部が高さを有する程度に潰れることとなり、このときの発色領域の直径(面積)は、前記測定下限である場合の発色領域の直径(面積)に比べて小さくなる。
従って、発色領域の直径(面積)をスキャナーで読み取ることにより、加圧により被測定物と圧力測定用材料との間に加えられた圧力が圧力測定用材料固有の測定下限以下である場合であっても、圧力値又は圧力分布を正確に測定できる。特に、コピー機又はプリンター製造工程での搬送ローラーにおける挟み圧測定、液晶ディスプレイ製造工程でのガラス基板の接着における貼り合わせ圧測定、半導体製造工程でのシリコンウエハの研磨における押し付け圧測定等に好適である。
When the pressure measuring method is the configuration of the present embodiment, that is, when a concavo-convex sheet satisfying the above relationship is used, the pressure applied between the object to be measured and the pressure measuring material by pressure is the pressure. When it is the measurement lower limit of the measurement material, the convex portion of the concavo-convex sheet is crushed until the height becomes almost zero, and the diameter (area) of the coloring region becomes maximum. On the other hand, when the pressure is less than the measurement lower limit of the material for pressure measurement, the convex portion will be crushed to a height, and the diameter (area) of the coloring region at this time is the measurement lower limit. This is smaller than the diameter (area) of the coloring region.
Therefore, by reading the diameter (area) of the color development area with a scanner, the pressure applied between the object to be measured and the pressure measurement material by pressurization is less than the measurement lower limit specific to the pressure measurement material. However, the pressure value or pressure distribution can be accurately measured. Especially suitable for pinching pressure measurement on transport rollers in copier or printer manufacturing process, laminating pressure measurement in glass substrate bonding in liquid crystal display manufacturing process, pressing pressure measurement in polishing silicon wafer in semiconductor manufacturing process, etc. is there.

本発明において「圧力測定用材料の測定下限」とは、凹凸シートと共に用いずに、圧力測定用材料単独で圧力測定を行う場合の測定下限を指す。圧力測定用材料はその構成により固有の測定下限を有しているが、前記凹凸シートと組み合わせて用いることにより、圧力測定の感度を向上させることができる(即ち、圧力測定用材料固有の測定下限値以下の圧力の測定が可能となる)。   In the present invention, the “measurement lower limit of the pressure measurement material” refers to the measurement lower limit when the pressure measurement material alone is used for pressure measurement without being used together with the uneven sheet. Although the pressure measurement material has a specific measurement lower limit depending on its configuration, the pressure measurement sensitivity can be improved by using it in combination with the concavo-convex sheet (that is, the measurement lower limit specific to the pressure measurement material). Pressure below the value can be measured).

本発明においてスキャナーの読み取り解像度Iは、スキャナーが読み取ることができる最小の幅である。本発明において発色領域の直径は、実際には加圧の際の圧力に応じて連続的な値となるが、スキャナーによる読み取りの際には解像度I毎の段階的(不連続的)な値として読み取られる。
本実施態様におけるスキャナーによる読み取り階調Nは、発色領域の直径を読み取る際の段階を示し、予め設定しておくことができる。
本実施態様では、発色領域の直径の読み取り値がIのとき階調は「0」であり(0階調)、該読み取り値が2Iのとき階調は「1」であり(1階調)、該読み取り値が3Iのとき階調は「2」であり(2階調)、該読み取り値がI×(N+1)のとき階調は「N」である(N階調)。
In the present invention, the reading resolution I of the scanner is the minimum width that the scanner can read. In the present invention, the diameter of the color development region is actually a continuous value according to the pressure at the time of pressurization, but as a stepwise (discontinuous) value for each resolution I at the time of reading by the scanner. Read.
The reading gradation N by the scanner in this embodiment indicates a stage when reading the diameter of the color development region, and can be set in advance.
In this embodiment, when the read value of the diameter of the color development region is I, the gradation is “0” (0 gradation), and when the read value is 2I, the gradation is “1” (1 gradation). When the reading value is 3I, the gradation is “2” (2 gradations), and when the reading value is I × (N + 1), the gradation is “N” (N gradations).

本実施態様の圧力測定方法では、前記I及び前記Nと、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径Dmaxと、の間には、
max≧I×(N+1)
の関係がある。
maxが「I×(N+1)」より小さい場合、、 各測定点の圧力値を段階的に分類する際の段階数が不足し、圧力測定用材料の測定下限以下の微小な圧力又はその分布を測定することができない。
本発明による効果をより効果的に得る観点からは、
max=I×(N+1)
の関係を満たすことが好ましい。
In the pressure measurement method of this embodiment, between the I and the N, and the diameter D max of the color development region when the pressurization is performed at a pressure that is a measurement lower limit of the pressure measurement material,
D max ≧ I × (N + 1)
There is a relationship.
When D max is smaller than “I × (N + 1)”, the number of steps when classifying the pressure value at each measurement point is insufficient, and the minute pressure below the measurement lower limit of the pressure measurement material or its distribution Can not be measured.
From the viewpoint of obtaining the effect of the present invention more effectively,
D max = I × (N + 1)
It is preferable to satisfy the relationship.

本実施態様の圧力測定方法は、被測定物と圧力測定用材料との間に加えられた圧力が、下記Pmin〜Pmaxの範囲であるときの圧力測定に特に適している。
min:発色領域の直径の読み取り値がIとなる圧力
max:発色領域の直径の読み取り値がI×(N+1)となる圧力
ここで、Pmaxは圧力測定用材料固有の測定下限以下の圧力である。
また、本実施態様では、前記圧力Pminのときの発色領域の直径をDminということがある。前記Dminは前記Iに等しい。
The pressure measurement method of this embodiment is particularly suitable for pressure measurement when the pressure applied between the object to be measured and the pressure measurement material is in the range of P min to P max below.
P min : Pressure at which the reading value of the diameter of the coloring area is I P max : Pressure at which the reading value of the diameter of the coloring area is I × (N + 1) Here, P max is equal to or lower than the measurement lower limit specific to the material for pressure measurement Pressure.
In the present embodiment, the diameter of the color development region at the pressure P min may be referred to as D min . The D min is equal to the I.

スキャナーの読み取り解像度Iの具体的な範囲としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、0.2mm以下が好ましく、0.15mm以下がより好ましい。
スキャナーの読み取り階調Nの具体的な範囲としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、10以上が好ましく、15以上がより好ましい。
本実施態様の圧力測定方法において測定できる圧力範囲は、ともに用いる圧力測定用材料の測定下限値以下の範囲であることが好ましい。本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、0.002〜0.08MPaの範囲が好ましく、0.004〜0.04MPaの範囲がより好ましい。
The specific range of the reading resolution I of the scanner is preferably 0.2 mm or less and more preferably 0.15 mm or less from the viewpoint of more effectively achieving the effects of the present invention.
The specific range of the reading gradation N of the scanner is preferably 10 or more and more preferably 15 or more from the viewpoint of more effectively achieving the effects of the present invention.
It is preferable that the pressure range which can be measured in the pressure measurement method of this embodiment is a range below the measurement lower limit of the pressure measurement material used together. From the viewpoint of more effectively achieving the effects of the present invention, a range of 0.002 to 0.08 MPa is preferable, and a range of 0.004 to 0.04 MPa is more preferable.

<(a)工程>
本発明における(a)工程は、厚さ0.05mm以上の基底部上に軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有する総厚0.5mm以下の凹凸シートを、被測定物と加圧部位が発色する圧力測定用材料との間に、前記凸部が前記圧力測定用材料側となる向きに配置する工程である。
被測定物としては特に限定はなく、液晶パネル、ガラス基板、シリコンウエハ、プリント基板、並びにコピー機やプリンターの搬送ローラー等を用いることができる。
図2は、本発明の一実施形態における凹凸シート10を示した斜視図である。シート状の基底部12に円錐状の凸部14が設けられている。なお、図2では説明の便宜上、凸部は9個となっているが、本発明において凸部の数、密度等に限定はない(好ましい密度については後述する)。
<(A) Process>
In the step (a) in the present invention, a concavo-convex sheet having a total thickness of 0.5 mm or less having a conical convex portion made of a soft resin on a base portion having a thickness of 0.05 mm or more is used. It is a process of arrange | positioning in the direction from which the said convex part turns into the said pressure measurement material side between the pressure measurement materials which color.
There are no particular limitations on the object to be measured, and liquid crystal panels, glass substrates, silicon wafers, printed substrates, and transfer rollers for copying machines and printers can be used.
FIG. 2 is a perspective view showing the concavo-convex sheet 10 in one embodiment of the present invention. A conical convex portion 14 is provided on the sheet-like base portion 12. In FIG. 2, for convenience of explanation, the number of convex portions is nine, but in the present invention, the number of convex portions, the density, and the like are not limited (preferred density will be described later).

<(b)工程>
本発明における(b)工程は、加圧により凹凸シートの凸部を圧力測定用材料に圧接し、前記凸部を変形させ、前記圧力測定用材料に凸部の変形量に対応した面積の発色領域を形成する工程である。
<(B) Process>
In the step (b) in the present invention, the convex portion of the concavo-convex sheet is pressed against the pressure measuring material by pressurization, the convex portion is deformed, and the color of the area corresponding to the deformation amount of the convex portion is formed on the pressure measuring material. This is a step of forming a region.

ここで、加圧の実施形態について、図3(A)、図3(B)、図4(A)、図4(B)、図5(A)、及び図5(B)を参照して説明する。
図3(A)、図4(A)、及び図5(A)は、本発明の一実施形態における加圧の様子を概念的に示した図である。図3(A)、図4(A)、及び図5(A)では、被測定物20と被測定物22との間に圧力測定用材料24が配置され、更に、被測定物22と圧力測定用材料24との間に、凹凸シート10が、その凸部14が圧力測定用材料24側となる向きで配置されている。被測定物20と被測定物22との間にかけられた圧力(図3〜5では双方から圧力Pずつで加圧している)により、凹凸シートの凸部が変形し、凸部の変形量に対応した面積の発色領域28が圧力測定用材料24に形成されている。なお、上記実施形態中の圧力測定用材料24は、後述する2シートタイプであり、基材上に発色層が設けられた電子供与性無色染料シート24Aと、基材上に顕色層が設けられた顕色剤シート24Cとからなり、発色層と顕色層とが接する向きに重ね合わせた構成となっている。
Here, referring to FIGS. 3A, 3B, 4A, 4B, 5A, and 5B, an embodiment of pressurization is described. explain.
3 (A), 4 (A), and 5 (A) are diagrams conceptually showing the state of pressurization in one embodiment of the present invention. 3A, FIG. 4A, and FIG. 5A, the pressure measurement material 24 is disposed between the DUT 20 and the DUT 22, and the DUT 22 and the pressure are further measured. Between the measurement material 24, the concavo-convex sheet 10 is arranged in such a direction that the convex portion 14 is on the pressure measurement material 24 side. Due to the pressure applied between the object to be measured 20 and the object to be measured 22 (in FIG. 3 to FIG. 5, the pressure P is applied from both sides by the pressure P), the convex part of the concave-convex sheet is deformed, and the deformation amount of the convex part A color development region 28 having a corresponding area is formed in the pressure measurement material 24. The pressure measurement material 24 in the above embodiment is a two-sheet type, which will be described later, an electron donating colorless dye sheet 24A provided with a coloring layer on a base material, and a color developing layer provided on the base material. The developer sheet 24 </ b> C thus formed is superposed so that the color-developing layer and the developer layer are in contact with each other.

図3(A)は、低圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図3(B)は、図3(A)における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図3(A)、(B)に示すように、凸部の変形量は少なく、発色領域28の面積も小さい。
図4(A)は、中圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図4(B)は、図4(A)における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図4(A)、(B)に示すように、凸部の変形量及び発色領域28の面積は、低圧時に比べて大きくなっている。
図5(A)は、高圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図5(B)は、図5(A)における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図5(A)、(B)に示すように、凸部の変形量及び発色領域28の面積は、中圧時に比べて更に大きくなっている。
3A is a cross-sectional view conceptually showing a state at a low pressure, and FIG. 3B is a plan view conceptually showing the pressure measurement material in FIG. As shown in FIGS. 3A and 3B, the amount of deformation of the convex portion is small, and the area of the color development region 28 is also small.
4A is a cross-sectional view conceptually showing a state at medium pressure, and FIG. 4B is a plan view conceptually showing the pressure measurement material in FIG. 4A. . As shown in FIGS. 4A and 4B, the deformation amount of the convex portion and the area of the coloring region 28 are larger than those at the time of low pressure.
5A is a cross-sectional view conceptually showing a state at high pressure, and FIG. 5B is a plan view conceptually showing the pressure measurement material in FIG. 5A. As shown in FIGS. 5A and 5B, the deformation amount of the convex portion and the area of the color development region 28 are larger than those at the intermediate pressure.

なお、本発明における加圧は上記実施形態に限定されることはなく、例えば、被測定物20と被測定物22のいずれか一方を固定し、他方のみから加圧する形態であってもよい。また、圧力測定用材料としては、モノシートタイプの圧力測定シート等、上記2シートタイプ以外のものを用いることもできる。また、凹凸シートに設けられた凸部の数(密度)は適宜設定することができる。   Note that the pressurization in the present invention is not limited to the above-described embodiment, and for example, either one of the measurement object 20 and the measurement object 22 may be fixed and the pressure may be applied only from the other. In addition, as a material for pressure measurement, materials other than the above-described two-sheet type such as a mono-sheet type pressure measurement sheet can be used. Moreover, the number (density) of the convex part provided in the uneven | corrugated sheet | seat can be set suitably.

<(c)工程>
本発明における(c)工程は、前記発色領域をスキャナーを用いて前記解像度I及び前記階調Nで読み取り、圧力を求める工程である。
スキャナーとしては、例えばラインセンサを圧力測定用材料に沿って移動させるものや、2次元CCDエリヤセンサを用いるものなどが使用できる。
前記圧力を求める方法については特に限定はないが、例えば、予め求めておいた発色領域の面積と圧力との関係に基づいて、読み取った発色領域の面積を圧力値に換算する方法等を用いることができる。さらに、圧力が等しくなる位置同士を結んで多次元表示し、圧力分布を求めることができる。また、読み取った各発色領域の面積の合計と、被測定物に対し実際に圧力が加えられた面積と、の比に基づいて、被測定物に加えられた平均圧力を求めることもできる。
<(C) Process>
The step (c) in the present invention is a step of obtaining the pressure by reading the color development region with the resolution I and the gradation N using a scanner.
As the scanner, for example, a scanner that moves the line sensor along the pressure measurement material, a scanner that uses a two-dimensional CCD area sensor, or the like can be used.
The method for obtaining the pressure is not particularly limited. For example, a method of converting the read area of the color development region into a pressure value based on the relationship between the area of the color development region obtained in advance and the pressure is used. Can do. Further, the pressure distribution can be obtained by connecting the positions where the pressures are equal to each other and performing multidimensional display. Further, the average pressure applied to the object to be measured can be obtained based on the ratio between the total area of the read color developing regions and the area where the pressure is actually applied to the object to be measured.

ここで、(c)工程の好ましい実施形態について、図6〜8を参照して説明するが、本発明はこの形態に限定されるものではない。この実施形態は、各発色領域の面積をスキャナーで読み取り、凸部による加圧力を求め、加圧力が等しくなる位置を結んで加圧力の分布を多次元表示する形態である。
図6は、前記(b)工程後の圧力測定用材料の例を示した平面図であり、図7は、圧力画像解析装置の構成を概念的に示した図であり、図8(A)は圧力測定結果を2次元的に示した図であり、図8(B)は、図8(A)のA−A線に沿った圧力測定結果である。
Here, although preferable embodiment of (c) process is described with reference to FIGS. 6-8, this invention is not limited to this form. In this embodiment, the area of each color development region is read by a scanner, the pressure applied by the convex portion is obtained, and the distribution of the pressure is displayed in a multidimensional manner by connecting positions where the pressure is equal.
FIG. 6 is a plan view showing an example of the pressure measurement material after the step (b), FIG. 7 is a diagram conceptually showing the configuration of the pressure image analyzer, and FIG. FIG. 8 is a diagram two-dimensionally showing the pressure measurement result, and FIG. 8B is the pressure measurement result along the line AA in FIG. 8A.

図6では、圧力測定用材料である圧力測定用材料24上に、凸部の変形量に対応した種々の直径の発色領域28が複数形成されている。図6では、一部の発色領域のみに符号28を付している。
図7に示した圧力画像解析装置50では、発色領域を読み取るためのスキャナー30と、読み取った発色領域から圧力及び圧力分布を演算するマイクロコンピュータ32と、得られた圧力及び圧力分布を多次元表示する多次元表示手段44と、から構成される。
In FIG. 6, a plurality of color development regions 28 having various diameters corresponding to the deformation amount of the convex portion are formed on the pressure measurement material 24 that is a pressure measurement material. In FIG. 6, reference numeral 28 is given only to a part of the coloring regions.
In the pressure image analysis apparatus 50 shown in FIG. 7, a scanner 30 for reading a color development area, a microcomputer 32 for calculating pressure and pressure distribution from the read color development area, and the obtained pressure and pressure distribution are displayed in a multidimensional manner. And multi-dimensional display means 44.

図6に示す圧力測定用材料24の発色領域28(加圧点)の画像は、図7に示すスキャナー30によって読み取られる。
スキャナー30の出力はマイクロコンピュータ32に入力される。このコンピュータ32はソフトウェアで構成される種々の機能を持つ。加圧点読取り手段34はスキャナー30の出力を取入れて、各発色領域28の座標位置と面積とを求める。圧力検出手段36はこの面積に対応する圧力Pを演算する。すなわち各面積に対応する圧力Pの換算を求めるための換算表、マップあるいは換算式を予めルックアップテーブル(LUT)38にメモリしておき、圧力検出手段36はこのLUT38を用いて圧力Pを計算するものである。
The image of the color development region 28 (pressing point) of the pressure measurement material 24 shown in FIG. 6 is read by the scanner 30 shown in FIG.
The output of the scanner 30 is input to the microcomputer 32. The computer 32 has various functions configured by software. The pressurization point reading means 34 takes the output of the scanner 30 and obtains the coordinate position and area of each color development region 28. The pressure detector 36 calculates a pressure P 0 corresponding to this area. That is, a conversion table, map, or conversion formula for calculating the conversion of the pressure P 0 corresponding to each area is stored in advance in the lookup table (LUT) 38, and the pressure detection means 36 uses this LUT 38 to store the pressure P 0. Is calculated.

等圧力分布演算手段40では発色領域28の圧力Pを用いた圧力が等しくなる位置を結んで圧力分布を求める。すなわち発色領域28が図8(A)に示すように一定間隔の格子上に位置する場合、A−A線に載った発色領域28の圧力Pを縦軸にしてその分布を示すと、図8(B)のようになる。 The equal pressure distribution calculating means 40 obtains the pressure distribution by connecting the positions where the pressures using the pressure P 0 of the color development region 28 become equal. That is, when the color development region 28 is positioned on a lattice with a constant interval as shown in FIG. 8A, the distribution is shown with the pressure P 0 of the color development region 28 on the AA line as the vertical axis. It becomes like 8 (B).

この図8(B)においてP、P、P、P、・・・は、A−A線上の加圧点Q、Q、Q、Q、・・・の圧力を示す。等圧力分布演算手段40では、点P、P、P、P、・・・をつなぐ滑らかな曲線を例えば数学的な補間法を用いて求める。補間法としては種々の方法が使用でき、例えば一定数の点P、P、P、P、・・・を結ぶ多項式や多次元曲線を求める方法が用いられる。 In FIG. 8B, P 1 , P 2 , P 3 , P 4 ,... Indicate the pressures at the pressurization points Q 1 , Q 2 , Q 3 , Q 4 ,. Show. In the equal pressure distribution calculating means 40, a smooth curve connecting the points P 1 , P 2 , P 3 , P 4 ,... Is obtained by using, for example, a mathematical interpolation method. Various methods can be used as the interpolation method. For example, a method of obtaining a polynomial or a multidimensional curve connecting a certain number of points P 1 , P 2 , P 3 , P 4 ,.

このように求めた圧力曲線を用い、等圧力分布演算手段40では予め決めた一定の圧力(設定圧)P、P、Pとなる座標R、R、Rを求める。以上の演算をA−A線と別なB−B線、C−C線などの格子状の線に対して繰り返し、設定圧Pになる座標Rを結ぶことにより、図8(A)に示す等圧力線Sを求めることができる。同様に設定圧P、Pになる座標R、Rを結ぶことにより、等圧力線S、Sを求めることができる。 Using the pressure curve thus obtained, the equal pressure distribution calculating means 40 obtains coordinates R a , R b , and R c that become predetermined constant pressures (set pressures) P a , P b , and P c . Repeating the calculation of the above A-A line and another line B-B, with respect to grid lines, such as line C-C, by connecting the coordinate R a becomes set pressure P a, FIG. 8 (A) it can be obtained an equal pressure line S a shown in. Similarly, the equal pressure lines S b and S c can be obtained by connecting the coordinates R b and R c which become the set pressures P b and P c .

ここに設定圧P、P、Pは設定変更手段42によって任意に変更できるようにしておく。この設定圧P、P、P、・・・を変えることにより図8(A)に示す等圧力線S、S、Sの位置や間隔が変化でき、加圧物の形状などを特定するのに都合がよい。 Here, the set pressures P a , P b , and P c can be arbitrarily changed by the setting changing means 42. By changing the set pressures P a , P b , P c ,..., The positions and intervals of the isobaric lines S a , S b , S c shown in FIG. It is convenient to specify.

このようにして求めた等圧線S、S、Sは多次元表示手段44により出力される。例えばプリンタやCRTなどにより図8(A)に示す等圧線S、S、Sをプリント出力させたり画像表示させる。等圧線S、S、Sで示す所定の圧力範囲ごとに表示色を変えてカラー表示するようにしてもよい。また圧力を高さ方向にとって3次元表示してもよい。 The isobars S a , S b , and S c thus obtained are output by the multidimensional display means 44. For example, the isobaric lines S a , S b , and S c shown in FIG. 8A are printed out or displayed as an image by a printer or CRT. Color display may be performed by changing the display color for each predetermined pressure range indicated by the isobaric lines S a , S b , and S c . Further, the pressure may be displayed three-dimensionally in the height direction.

この結果、格子状に表れた圧力測定用材料24の発色領域28を2次元あるいは多次元に連続的に表示した圧力分布に変えることができる。従って視覚により直ちに圧力分布を知ることができ、取扱が極めて簡単になる。   As a result, the color development region 28 of the pressure measuring material 24 appearing in a lattice shape can be changed to a pressure distribution continuously displayed in two dimensions or multi dimensions. Therefore, the pressure distribution can be immediately known visually, and handling becomes extremely simple.

<(2B)圧力測定用材料と基底部に平行な露出面をもつ凸部を有する凹凸シートとを用いた圧力測定方法>
本実施態様における凹凸シートは、硬質樹脂からなる厚さ0.05mm以上の基底部上に、該基底部に平行な露出面を有する硬質樹脂からなる凸部を複数有し、総厚0.5mm以下の凹凸シート(以下、適宜「凹凸シートB」ともいう。)である。詳細については、後述する。
ここで、凹凸シートBを用いた圧力測定方法の実施形態の例について説明するが、下記の実施形態に限定されるものではない。
本実施形態における圧力測定方法は、
(a) 凹凸シートを、被測定物と加圧部位が発色する圧力測定用材料との間に、該凹凸シートの凸部が前記圧力測定用材料側となる向きに配置する工程と、
(b) 加圧により前記凸部の基底部に平行な露出面を前記圧力測定用材料に圧接し、前記圧力測定用材料に凸部による圧力に対応した濃度の発色領域を形成する工程と、
(c) 前記発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める工程と、を有し、
前記露出面の面積をS、前記複数の凸部間の間隔をL、前記凹凸シートと前記圧力測定用材料とを共に用いて圧力測定を行う場合の圧力測定下限に対する前記圧力測定用材料の圧力測定下限の比をRとしたとき、
S=(L×L)/R
の関係を満たすように構成される。
<(2B) Pressure measurement method using a pressure measurement material and a concavo-convex sheet having a convex portion having an exposed surface parallel to the base portion>
The concavo-convex sheet in this embodiment has a plurality of convex portions made of a hard resin having an exposed surface parallel to the base portion on a base portion having a thickness of 0.05 mm or more made of a hard resin, and has a total thickness of 0.5 mm. The following uneven sheet (hereinafter also referred to as “uneven sheet B” as appropriate). Details will be described later.
Here, although the example of embodiment of the pressure measuring method using the uneven | corrugated sheet | seat B is demonstrated, it is not limited to the following embodiment.
The pressure measurement method in this embodiment is:
(A) a step of arranging the concavo-convex sheet between the object to be measured and the pressure measurement material in which the pressurization site develops a color so that the convex portion of the concavo-convex sheet is on the pressure measurement material side;
(B) pressing the exposed surface parallel to the base of the convex portion to the pressure measurement material by pressurization and forming a color development region having a density corresponding to the pressure by the convex portion on the pressure measurement material;
(C) reading the color development area with a scanner and obtaining pressure,
The pressure of the pressure measurement material with respect to the pressure measurement lower limit when the area of the exposed surface is S, the interval between the plurality of convex portions is L, and pressure measurement is performed using both the uneven sheet and the pressure measurement material. When the ratio of the lower limit of measurement is R,
S = (L × L) / R
It is configured to satisfy the relationship.

圧力測定方法を上記構成とすることにより、圧力測定用材料の測定下限値にて被測定物と圧力測定用材料との間に圧力を加えた場合には、該圧力は約((L×L)/S)倍に増幅される。このため、前記被測定物と圧力測定用材料との間に加える圧力が、該圧力測定用材料に固有の測定下限以下である場合であっても、圧力値又は圧力分布を正確に測定できる。   When the pressure measurement method is configured as described above, when pressure is applied between the object to be measured and the pressure measurement material at the measurement lower limit value of the pressure measurement material, the pressure is about ((L × L ) / S) times amplified. For this reason, even when the pressure applied between the object to be measured and the pressure measurement material is equal to or lower than the measurement lower limit specific to the pressure measurement material, the pressure value or the pressure distribution can be accurately measured.

<(a)工程>
前記(a)工程は、本実施態様の凹凸シートを、被測定物と加圧部位が発色する圧力測定用材料との間に、凹凸シートの凸部が前記圧力測定用材料側となる向きに配置する工程である。
被測定物としては特に限定はなく、液晶パネル、ガラス基板、シリコンウエハ、プリント基板、並びにコピー機やプリンターの搬送ローラー等を用いることができる。
<(A) Process>
In the step (a), the concave-convex sheet of the present embodiment is placed between the object to be measured and the pressure measurement material that develops the pressure, and the convex portion of the concave-convex sheet faces the pressure measurement material. It is a process of arranging.
There are no particular limitations on the object to be measured, and liquid crystal panels, glass substrates, silicon wafers, printed substrates, and transfer rollers for copying machines and printers can be used.

<(b)工程>
前記(b)工程は、加圧により前記凸部の基底部に平行な露出面を前記圧力測定用材料に圧接し、前記圧力測定用材料に凸部による圧力に対応した濃度の発色領域を形成する工程である。
<(B) Process>
In the step (b), an exposed surface parallel to the base of the convex portion is pressed against the pressure measuring material by pressurization, and a color developing region having a density corresponding to the pressure by the convex portion is formed on the pressure measuring material. It is a process to do.

ここで、加圧の実施形態について、図17(A)、図17(B)、図17(A)、図18(B)、図19(A)、及び図19(B)を参照して説明する。
図17(A)、図18(A)、及び図19(A)は、本発明の一実施形態における加圧の様子を概念的に示した図である。図17(A)、図18(A)、及び図19(A)では、被測定物61と被測定物62との間に圧力測定用材料64が配置され、更に、被測定物62と圧力測定用材料64との間に、凹凸シート70が、その凸部74が圧力測定用材料64側となる向きで配置されている。被測定物61と被測定物62との間にかけられた圧力(図17〜19では双方から圧力Pずつで加圧している)が、凹凸シートの凸部上に集中し、凸部上の圧力に対応した色濃度の発色領域68が圧力測定用材料64に形成されている。なお、上記実施形態中の圧力測定用材料64は、後述する2シートタイプであり、基材上に発色層が設けられた電子供与性無色染料シート64Aと、基材上に顕色層が設けられた顕色剤シート64Cとからなり、発色層と顕色層とが接する向きに重ね合わせた構成となっている。
Here, referring to FIGS. 17A, 17B, 17A, 18B, 19A, and 19B, an embodiment of pressurization is described. explain.
FIG. 17A, FIG. 18A, and FIG. 19A are diagrams conceptually showing the state of pressurization in one embodiment of the present invention. In FIG. 17A, FIG. 18A, and FIG. 19A, a pressure measurement material 64 is disposed between the object to be measured 61 and the object to be measured 62, and further, the object to be measured 62 and the pressure are measured. Between the measurement material 64, the concavo-convex sheet 70 is arranged in such a direction that the convex portion 74 is on the pressure measurement material 64 side. The pressure applied between the DUT 61 and the DUT 62 (pressurized by pressure P from both sides in FIGS. 17 to 19) concentrates on the convex portion of the concave-convex sheet, and the pressure on the convex portion. A color development region 68 having a color density corresponding to the above is formed in the pressure measurement material 64. The pressure measuring material 64 in the above embodiment is a two-sheet type, which will be described later, and an electron donating colorless dye sheet 64A in which a coloring layer is provided on a substrate, and a developer layer on a substrate. The developer sheet 64 </ b> C thus formed is superposed so that the color-developing layer and the developer layer are in contact with each other.

図17(A)は、低圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図17(B)は、図17(A)における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図17(A)、(B)に示すように、凸部74にかかる圧力は低く、発色領域68の色濃度は薄い。
図18(A)は、中圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図18(B)は、図18(A)における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図18(A)、(B)に示すように、低圧時に比べて凸部74にかかる圧力は上がり、発色領域68の色濃度は濃くなっている。
図19(A)は、高圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図19(B)は、図19(A)における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図19(A)、(B)に示すように、中圧時に比べて凸部74にかかる圧力はさらに上がり、発色領域68の色濃度はさらに濃くなっている。
なお、低圧時、中圧時、及び高圧時をとおして、凸部74の変形量は変わらず(好ましくは、加圧により変形せず)発色領域68の面積自体は変化しない。
FIG. 17A is a cross-sectional view conceptually showing a state at a low pressure, and FIG. 17B is a plan view conceptually showing the pressure measurement material in FIG. As shown in FIGS. 17A and 17B, the pressure applied to the convex portion 74 is low, and the color density of the coloring region 68 is low.
18A is a cross-sectional view conceptually showing a state at medium pressure, and FIG. 18B is a plan view conceptually showing the pressure measurement material in FIG. 18A. . As shown in FIGS. 18A and 18B, the pressure applied to the convex portions 74 is higher than that at the time of low pressure, and the color density of the coloring region 68 is high.
FIG. 19A is a cross-sectional view conceptually showing a state at high pressure, and FIG. 19B is a plan view conceptually showing the pressure measurement material in FIG. 19A. As shown in FIGS. 19A and 19B, the pressure applied to the convex portion 74 is further increased as compared with the case of the intermediate pressure, and the color density of the coloring region 68 is further increased.
Note that the deformation amount of the convex portion 74 does not change (preferably, it does not deform by pressurization) through the low pressure, the medium pressure, and the high pressure, and the area itself of the color development region 68 does not change.

なお、本発明における加圧は上記実施形態に限定されることはなく、例えば、被測定物61と被測定物62のいずれか一方を固定し、他方のみから加圧する形態であってもよい。また、圧力測定用材料としては、モノシートタイプの圧力測定シート等、上記2シートタイプ以外のものを用いることもできる。また、凹凸シートに設けられた凸部の数(密度)は適宜設定することができる。   Note that the pressurization in the present invention is not limited to the above-described embodiment, and for example, either one of the measurement object 61 and the measurement object 62 may be fixed and the pressure may be applied only from the other. In addition, as a material for pressure measurement, materials other than the above-described two-sheet type such as a mono-sheet type pressure measurement sheet can be used. Moreover, the number (density) of the convex part provided in the uneven | corrugated sheet | seat can be set suitably.

<(c)工程>
本発明における(c)工程は、前記発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める工程である。
スキャナーとしては、例えばラインセンサを圧力測定用材料に沿って移動させるものや、2次元CCDエリヤセンサを用いるものなどが使用できる。
前記圧力を求める方法については特に限定はないが、例えば、予め求めておいた発色領域の色濃度と圧力との関係に基づいて、読み取った発色領域の色濃度を圧力値に換算する方法等を用いることができる。さらに、圧力が等しくなる位置同士を結んで多次元表示し、圧力分布を求めることができる。また、読み取った各発色領域の面積の合計と、被測定物に対し実際に圧力が加えられた面積と、の比に基づいて、被測定物に加えられた平均圧力を求めることもできる。
<(C) Process>
The step (c) in the present invention is a step of obtaining the pressure by reading the color development region with a scanner.
As the scanner, for example, a scanner that moves the line sensor along the pressure measurement material, a scanner that uses a two-dimensional CCD area sensor, or the like can be used.
The method for obtaining the pressure is not particularly limited.For example, based on the relationship between the color density of the color development area obtained in advance and the pressure, a method for converting the color density of the read color development area into a pressure value, etc. Can be used. Further, the pressure distribution can be obtained by connecting the positions where the pressures are equal to each other and performing multidimensional display. Further, the average pressure applied to the object to be measured can be obtained based on the ratio between the total area of the read color developing regions and the area where the pressure is actually applied to the object to be measured.

ここで、(c)工程の好ましい実施形態について、図20〜22を参照して説明するが、本発明はこの形態に限定されるものではない。この実施形態は、各発色領域の色濃度をスキャナーで読み取り、凸部による加圧力を求め、加圧力が等しくなる位置を結んで加圧力の分布を多次元表示する形態である。
図20は、前記(b)工程後の圧力測定用材料の例を示した平面図であり、図21は、圧力画像解析装置の構成を概念的に示した図であり、図22(A)は圧力測定結果を2次元的に示した図であり、図22(B)は、図22(A)のA−A線に沿った圧力測定結果である。
Here, although preferable embodiment of (c) process is described with reference to FIGS. 20-22, this invention is not limited to this form. In this embodiment, the color density of each color-development region is read by a scanner, the pressure applied by the convex portion is obtained, and the distribution of the pressure is displayed in a multidimensional manner by connecting positions where the pressure is equal.
FIG. 20 is a plan view showing an example of the pressure measurement material after the step (b), FIG. 21 is a diagram conceptually showing the configuration of the pressure image analyzer, and FIG. FIG. 22 is a diagram two-dimensionally showing the pressure measurement result, and FIG. 22B is the pressure measurement result along the line AA in FIG. 22A.

図20では、圧力測定用材料である圧力測定用材料64上に、凸部による押し付け圧に対応した種々の色濃度の発色領域68が複数形成されている(図20では、一部の発色領域のみに符号68を付している)。
図21に示した圧力画像解析装置100では、発色領域を読み取るためのスキャナー80と読み取った発色領域から圧力及び圧力分布を演算するマイクロコンピュータ82と得られた圧力及び圧力分布を多次元表示する多次元表示手段94とから構成される。
In FIG. 20, a plurality of color development regions 68 having various color densities corresponding to the pressing pressure by the convex portions are formed on the pressure measurement material 64 which is a pressure measurement material (in FIG. 20, some color development regions are shown). Only 68 is attached).
In the pressure image analyzing apparatus 100 shown in FIG. 21, a scanner 80 for reading a color development area, a microcomputer 82 for calculating pressure and pressure distribution from the read color development area, and a multi-dimensional display of the obtained pressure and pressure distribution. And a dimension display means 94.

図20に示す圧力測定用材料64の発色領域68(加圧点)の画像は、図21に示すスキャナー80によって読み取られる。
スキャナー80の出力はマイクロコンピュータ82に入力される。このマイクロコンピュータ82はソフトウェアで構成される種々の機能を持つ。加圧点読取り手段84はスキャナー80の出力を取入れて、各発色領域68の座標位置と色濃度とを求める。圧力検出手段86はこの色濃度に対応する圧力Pを演算する。すなわち各色濃度に対応する圧力Pの換算を求めるための換算表、マップあるいは換算式を予めルックアップテーブル(LUT)88にメモリしておき、圧力検出手段86はこのLUT88を用いて圧力Pを計算するものである。
An image of the color development region 68 (pressing point) of the pressure measurement material 64 shown in FIG. 20 is read by the scanner 80 shown in FIG.
The output of the scanner 80 is input to the microcomputer 82. The microcomputer 82 has various functions configured by software. The pressurization point reading means 84 takes in the output of the scanner 80 and obtains the coordinate position and color density of each color development region 68. The pressure detecting means 86 calculates a pressure P 0 corresponding to this color density. That is, a conversion table, map, or conversion formula for calculating the conversion of the pressure P 0 corresponding to each color density is stored in advance in the look-up table (LUT) 88, and the pressure detection unit 86 uses the LUT 88 to calculate the pressure P 0. Is calculated.

等圧力分布演算手段90では発色領域68の圧力Pを用いた圧力が等しくなる位置を結んで圧力分布を求める。すなわち発色領域68は図22(A)に示すように一定間隔の格子上に位置する場合、A−A線に載った発色領域68の圧力Pを縦軸にしてその分布を示すと、図22(B)のようになる。なお、図22(A)では、発色領域の色濃度が濃く押し付け圧が高い加圧点を半径の大きなプロットで表し、色濃度が薄く押し付け圧が低い加圧点を半径の小さなプロットで表している。 The equal pressure distribution calculating means 90 obtains the pressure distribution by connecting the positions where the pressures using the pressure P 0 of the coloring area 68 become equal. That is, when the color development region 68 is positioned on a lattice at regular intervals as shown in FIG. 22A, the distribution is shown with the pressure P 0 of the color development region 68 on the AA line as the vertical axis. 22 (B). In FIG. 22 (A), a pressing point having a large color density in the color development region and a high pressing pressure is represented by a plot having a large radius, and a pressing point having a low color density and a low pressing pressure is represented by a plot having a small radius. Yes.

この図22(B)においてP、P、P、P、・・・は、A−A線上の加圧点Q、Q、Q、Q、・・・の圧力を示す。等圧力分布演算手段90では、点P、P、P、P、・・・をつなぐ滑らかな曲線を例えば数学的な補間法を用いて求める。補間法としては種々の方法が使用でき、例えば一定数の点P、P、P、P、・・・を結ぶ多項式や多次元曲線を求める方法が用いられる。 In FIG. 22 (B), P 1 , P 2 , P 3 , P 4 ,... Indicate the pressures at the pressurization points Q 1 , Q 2 , Q 3 , Q 4 ,. Show. In the equal pressure distribution calculating means 90, a smooth curve connecting the points P 1 , P 2 , P 3 , P 4 ,... Is obtained by using, for example, a mathematical interpolation method. Various methods can be used as the interpolation method. For example, a method of obtaining a polynomial or a multidimensional curve connecting a certain number of points P 1 , P 2 , P 3 , P 4 ,.

このように求めた圧力曲線を用い、等圧力分布演算手段90では予め決めた一定の圧力(設定圧)P、P、Pとなる座標R、R、Rを求める。以上の演算をA−A線と別なB−B線、C−C線などの格子状の線に対して繰り返し、設定圧Pになる座標Rを結ぶことにより、図22(A)に示す等圧力線Sを求めることができる。同様に設定圧P、Pになる座標R、Rを結ぶことにより、等圧力線S、Sを求めることができる。 Using the pressure curve thus obtained, the equal pressure distribution calculating means 90 obtains coordinates R a , R b , and R c that become predetermined constant pressures (set pressures) P a , P b , and P c . Repeating the calculation of the above A-A line and another line B-B, with respect to grid lines, such as line C-C, by connecting the coordinate R a becomes set pressure P a, FIG. 22 (A) it can be obtained an equal pressure line S a shown in. Similarly, the equal pressure lines S b and S c can be obtained by connecting the coordinates R b and R c which become the set pressures P b and P c .

ここに設定圧P、P、Pは設定変更手段92によって任意に変更できるようにしておく。この設定圧P、P、P、・・・を変えることにより図22(A)に示す等圧力線S、S、Sの位置や間隔が変化でき、加圧物の形状などを特定するのに都合がよい。 Here, the setting pressures P a , P b , and P c can be arbitrarily changed by the setting changing means 92. By changing the set pressures P a , P b , P c ,..., The positions and intervals of the isobaric lines S a , S b , S c shown in FIG. It is convenient to specify.

このようにして求めた等圧線S、S、Sは多次元表示手段94により出力される。例えばプリンタやCRTなどにより図22(A)に示す等圧線S、S、Sをプリント出力させたり画像表示させる。等圧線S、S、Sで示す所定の圧力範囲ごとに表示色を変えてカラー表示するようにしてもよい。また圧力を高さ方向にとって3次元表示してもよい。 The isobars S a , S b , and S c thus obtained are output by the multidimensional display means 94. For example, the isobaric lines S a , S b , and S c shown in FIG. 22A are printed out or displayed as an image by a printer or CRT. Color display may be performed by changing the display color for each predetermined pressure range indicated by the isobaric lines S a , S b , and S c . Further, the pressure may be displayed three-dimensionally in the height direction.

この結果、格子状に表れた圧力測定用材料64の発色領域68を2次元あるいは多次元に連続的に表示した圧力分布に変えることができる。従って視覚により直ちに圧力分布を知ることができ、取扱が極めて簡単になる。   As a result, the color development region 68 of the pressure measuring material 64 appearing in a lattice shape can be changed to a pressure distribution that is continuously displayed in two dimensions or in multiple dimensions. Therefore, the pressure distribution can be immediately known visually, and handling becomes extremely simple.

[圧力測定用材料]
本発明において用いられる前記圧力測定用材料について、以下に詳細に説明する。
本発明における圧力測定用材料は、0.1MPa以下の圧力範囲を測定できる材料であれば特に限定されないで用いることができるが、中でも、電子供与性無色染料前駆体(以下、「発色剤」ともいう。)(好ましくは、更に溶媒含む。)を内包したマイクロカプセルと、前記電子供与性無色染料前駆体と反応して発色させる電子受容性化合物(以下、「顕色剤」ともいう。)とを含み、単一の基材あるいは別々の基材に設けて構成されることが好ましく、特に、前記マイクロカプセルはδ/D=1.0×10−3〜2.0×10−2〔δ:マクロカプセルの数平均壁厚(μm)、D:マイクロカプセルの体積標準のメジアン径(μm)〕の関係を満たすことが好ましい。
前記圧力測定用材料は上記構成とすることにより、0.1MPa以下の圧力範囲の測定が可能となる。
[Material for pressure measurement]
The pressure measurement material used in the present invention will be described in detail below.
The material for measuring pressure in the present invention is not particularly limited as long as it is a material capable of measuring a pressure range of 0.1 MPa or less, and among them, an electron-donating colorless dye precursor (hereinafter referred to as “color former”). A microcapsule encapsulating (preferably further containing a solvent) and an electron-accepting compound (hereinafter also referred to as “developer”) that reacts with the electron-donating colorless dye precursor to cause color development. It is preferable that the microcapsules are provided on a single base material or on separate base materials. In particular, the microcapsule has δ / D = 1.0 × 10 −3 to 2.0 × 10 −2 [δ : Number average wall thickness (μm) of macrocapsules, D: median diameter (μm) of volume standard of microcapsules] is preferably satisfied.
The pressure measuring material can measure in a pressure range of 0.1 MPa or less by adopting the above configuration.

前記マイクロカプセルのカプセル壁の壁厚については、カプセル壁材の種類やカプセル径など種々の条件にも依存するが、0.1MPa以下の加圧で破壊可能な範囲であれば、制限なく任意に選択することができる。
中でも、0.05MPa以下の低圧で良好な発色性を得る観点から、好ましい壁厚は0.005〜2.0μmの範囲であり、より好ましくは0.05〜0.30μmの範囲であり、更に好ましくは、マイクロカプセルのメジアン径Aを10〜40μmとした場合において0.06〜0.28μmである。特に好ましいカプセル壁の壁厚は、メジアン径Aが10〜40μmのマイクロカプセルのカプセル壁をポリウレタン・ウレアで構成した場合において、0.07〜0.27μmである。
The wall thickness of the capsule wall of the microcapsule depends on various conditions such as the type of capsule wall material and the capsule diameter, but is not limited as long as it can be broken by pressurization of 0.1 MPa or less. You can choose.
Among these, from the viewpoint of obtaining good color developability at a low pressure of 0.05 MPa or less, the preferable wall thickness is in the range of 0.005 to 2.0 μm, more preferably in the range of 0.05 to 0.30 μm. Preferably, it is 0.06-0.28 μm when the median diameter A of the microcapsule is 10-40 μm. The wall thickness of the capsule wall is particularly preferably 0.07 to 0.27 μm when the capsule wall of a microcapsule having a median diameter A of 10 to 40 μm is made of polyurethane urea.

電子供与性無色染料前駆体を内包するマイクロカプセルは、ウレタン結合を含むポリウレタン・ウレアを壁材として形成されると共に、下記式1に示す関係を満たすことが、0.1MPa未満の低圧で良好な発色を得る点で特に好ましい。この関係式を満たすマイクロカプセルに構成することで、低圧領域(0.1MPa未満の圧力領域)での加圧でも発色しやすい発色系を形成することができる。下記式1において、δはマクロカプセルの数平均壁厚(μm)を表し、Dはマイクロカプセルの体積標準のメジアン径(μm)を表す。
1.0×10−3 ≦ δ/D ≦ 2.0×10−2 ・・・式1
δ/D値が前記範囲内であると、カプセルサイズとカプセル壁の厚みとのバランスが良く、薄すぎて経時でカプセルの中身が漏れる等がなく、低圧領域(好ましくは0.1MPa未満の圧力領域)で良好な発色を得ることができる。
The microcapsule encapsulating the electron-donating colorless dye precursor is formed using polyurethane / urea containing a urethane bond as a wall material, and satisfying the relationship shown in the following formula 1 is good at a low pressure of less than 0.1 MPa. This is particularly preferable in terms of obtaining color development. By forming the microcapsule satisfying this relational expression, it is possible to form a coloring system that easily develops color even under pressure in a low pressure region (pressure region less than 0.1 MPa). In the following formula 1, δ represents the number average wall thickness (μm) of the macrocapsules, and D represents the median diameter (μm) of the volume standard of the microcapsules.
1.0 × 10 −3 ≦ δ / D ≦ 2.0 × 10 −2 Formula 1
When the δ / D value is within the above range, the balance between the capsule size and the capsule wall thickness is good, the capsule content does not leak over time and the capsule contents do not leak, and the low pressure region (preferably a pressure of less than 0.1 MPa). Good color development can be obtained in the region).

本発明において、壁厚とは、マイクロカプセルのカプセル粒を形成する樹脂膜(いわゆるカプセル壁)の厚みをいい、数平均壁厚(μm)とは、5個のマイクロカプセルの個々のカプセル壁の厚みを走査型電子顕微鏡により求めて平均した平均値をいう。   In the present invention, the wall thickness refers to the thickness of a resin film (so-called capsule wall) that forms capsule particles of microcapsules, and the number average wall thickness (μm) refers to the individual capsule walls of five microcapsules. An average value obtained by obtaining the thickness with a scanning electron microscope and averaging it.

上記のδ/D値の範囲のうち、低圧領域(好ましくは0.1MPa未満の圧力領域)で良好な発色(着色)を得る点で、δ/D値は、2.0×10−3〜1.5×10−2が好ましく、3.0×10−3〜1.3×10−2がより好ましい。 In the range of the above δ / D value, the δ / D value is 2.0 × 10 −3 to in that a good color (coloring) is obtained in a low pressure region (preferably a pressure region of less than 0.1 MPa). 1.5 × 10 −2 is preferable, and 3.0 × 10 −3 to 1.3 × 10 −2 is more preferable.

本発明における圧力測定用材料が、マイクロカプセルと電子受容性化合物とが単一の基材に塗工等して設けられた、いわゆるモノシートタイプの場合、シートやフィルム等の基材と、基材上に該基材側から順に設けられた顕色剤含有の顕色剤層とマイクロカプセル含有の発色剤層とを有してなり、これを圧力あるいは圧力分布を測定したい部位に単独で挟んで、または載せて加圧する。   In the case of the so-called mono-sheet type, in which the material for pressure measurement in the present invention is a so-called mono-sheet type in which the microcapsules and the electron-accepting compound are provided on a single substrate, the substrate and the substrate A developer-containing developer layer and a microcapsule-containing color developer layer, which are provided in this order from the substrate side, are placed on the material, and are sandwiched alone in a site where pressure or pressure distribution is to be measured. Or put and pressurize.

また、本発明における圧力測定用材料が、マイクロカプセルと電子受容性化合物とが別個の基材に塗工等して設けられた、いわゆる2シートタイプの場合、シートやフィルム等の基材上に顕色剤含有の顕色剤層を有する材料A(顕色剤シート)と、シートやフィルム等の基材上にマイクロカプセル含有の発色剤層を有する材料B(発色剤シート)と、を有して構成されており、材料Bのマイクロカプセルが存在する面(発色剤層表面)と、材料Aの電子受容性化合物が存在する面(顕色剤層表面)とが互いに向き合うように両材料を重ね、重ねた状態で圧力あるいは圧力分布を測定したい部位に挟んで、又は載せて加圧する。   In the case of the so-called two-sheet type in which the material for pressure measurement in the present invention is provided by coating the microcapsule and the electron-accepting compound on separate substrates, on the substrate such as a sheet or a film. Material A (developer sheet) having a developer layer containing developer and Material B (color developer sheet) having a microcapsule-containing color developer layer on a substrate such as a sheet or film. Both materials are configured so that the surface where the microcapsules of material B are present (color developer layer surface) and the surface where the electron accepting compound of material A is present (surface of the developer layer) face each other. , And in a stacked state, press between the parts where pressure or pressure distribution is to be measured, or place and pressurize.

加圧は、任意の方法により点、線、又は面で圧力(点圧、線圧、又は面圧等)を与えることにより行なうことができる。本発明では、特に0.1MPa未満の低圧域において、微小な圧力差を識別するための発色部の濃度差が小さく、差圧が捉えにくい面圧が与えられる場合に有効である。   Pressurization can be performed by applying pressure (point pressure, linear pressure, surface pressure, etc.) by a point, a line, or a surface by any method. In the present invention, particularly in a low pressure range of less than 0.1 MPa, the density difference for identifying a minute pressure difference is small, and this is effective when a surface pressure that makes it difficult to grasp the differential pressure is applied.

上記のように加圧されることで、マイクロカプセルが破壊されて電子供与性無色染料前駆体を含む内包物が放出され、電子供与性無色染料前駆体と電子受容性化合物が反応することによって着色が見られるものである。このとき、加圧する圧力に対応して電子供与性無色染料前駆体を含む内包物がより多く放出されるようになり、電子受容性化合物との反応量が増えるため、濃い発色が得られる。
上記のうち、圧力測定用材料は、その保存性や取扱い性の観点から、電子供与性無色染料前駆体を内包するマイクロカプセルと電子受容性化合物とは、別個の基材に塗工等して設けられた2シートタイプに構成されるのがより好ましい。
By pressurizing as described above, the microcapsule is broken and the inclusion containing the electron donating colorless dye precursor is released, and the electron donating colorless dye precursor and the electron accepting compound react to color. Is seen. At this time, the inclusion containing the electron-donating colorless dye precursor is released more in response to the pressure applied, and the amount of reaction with the electron-accepting compound increases, so that deep color development is obtained.
Among the above, from the viewpoint of storage stability and handleability, the pressure measurement material is prepared by coating the microcapsules enclosing the electron-donating colorless dye precursor and the electron-accepting compound on separate substrates. It is more preferable that the two-sheet type is provided.

本発明における前記圧力測定材料は、読み取り可能な濃度差を得る観点から、電子供与性無色染料前駆体と電子受容性化合物との発色反応を利用したもので、0.05MPaでの加圧前後における発色濃度差ΔDが0.02以上になるように構成したものであることが好ましい。   The pressure measurement material according to the present invention uses a color development reaction between an electron donating colorless dye precursor and an electron accepting compound from the viewpoint of obtaining a readable concentration difference, and before and after pressurization at 0.05 MPa. It is preferable that the color density difference ΔD is configured to be 0.02 or more.

本発明においては、0.05MPaの微圧を与えることにより、視認ないしスキャニングにより読み取り可能な濃度差ΔD(≧0.02)が発現されることが好ましい。
このような構成とすることにより、近年の製品の高機能化、高精細化に伴なって増加する微小な圧力差や圧力分布の検知、測定が可能である。
In the present invention, it is preferable that a density difference ΔD (≧ 0.02) that can be read by visual recognition or scanning is expressed by applying a slight pressure of 0.05 MPa.
By adopting such a configuration, it is possible to detect and measure minute pressure differences and pressure distributions that increase with the enhancement of functionality and definition of products in recent years.

本発明においては、特に、発色成分の一方である電子供与性無色染料前駆体をマイクロカプセルに内包すると共に、このマイクロカプセルの体積標準のメジアン径をAμmとしたときの(A+5)μm以上のマイクロカプセルの存在数を、2cm×2cm当たり5000〜30000個とすることにより、電子供与性無色染料前駆体を内包するマイクロカプセルのうち所定の径以上の大サイズを選択的に存在させるようにするので、視認ないしスキャニングにより読み取り可能な濃度である0.02以上のΔDが好適に得られる。   In the present invention, in particular, an electron-donating colorless dye precursor, which is one of the color forming components, is encapsulated in a microcapsule, and a microstandard of (A + 5) μm or more when the median diameter of the volume standard of the microcapsule is Aμm. By setting the number of capsules to 5,000 to 30,000 per 2 cm × 2 cm, the microcapsules encapsulating the electron-donating colorless dye precursor are selectively made to be larger than a predetermined diameter. A ΔD of 0.02 or more, which is a density that can be read by visual recognition or scanning, is preferably obtained.

マイクロカプセルの体積標準のメジアン径をAμmとした場合、(A+5)μm以上のマイクロカプセルが2cm×2cm当たり5000個以上であると、電子供与性無色染料前駆体を内包するマイクロカプセルのうち発色に影響する比較的大きいサイズのカプセル数が多くなり、より高い発色濃度が得られ、読取り性も良好になる。また、30000個以下であると、0.05MPaの微少な圧力でカプセル破壊(すなわち発色)が起こりやすくなる。   If the median diameter of the microcapsule volume standard is A μm, if the number of microcapsules of (A + 5) μm or more is 5000 or more per 2 cm × 2 cm, the microcapsules encapsulating the electron-donating colorless dye precursor will develop color. The number of relatively large size capsules that are affected increases, resulting in higher color density and better readability. On the other hand, when the number is 30000 or less, capsule destruction (that is, color development) is likely to occur at a slight pressure of 0.05 MPa.

上記のように、(A+5)μm以上のマイクロカプセルは、0.05MPaの微圧を与えたときの発色濃度を高め、視認性、スキャニング時の読取り性を向上させる点で、2cm×2cm当たり5000〜30000個存在する場合が好ましく、更には7000〜28000個存在する場合がより好ましい。   As described above, the microcapsules of (A + 5) μm or more increase the color density when a fine pressure of 0.05 MPa is applied, and improve visibility and reading at the time of scanning, 5000 per 2 cm × 2 cm. The case where -30000 pieces exist is preferable, and the case where 7000-28000 pieces exist is still more preferable.

また、マイクロカプセルの体積標準のメジアン径としては、微少な圧力(特に0.1MPa未満の圧力(好ましくは面圧))での発色濃度を高め、視認性、スキャニング時の読取り性を向上させる点で、10〜40μmが好ましく、13〜37μmがより好ましく、更には15〜35μmが好ましい。   In addition, the volume standard median diameter of the microcapsules is such that the color density at a very low pressure (particularly less than 0.1 MPa (preferably surface pressure)) is increased, and visibility and readability during scanning are improved. 10 to 40 μm is preferable, 13 to 37 μm is more preferable, and 15 to 35 μm is more preferable.

上記のうち、本発明においては、0.1MPa未満の圧力(好ましくは面圧)での発色濃度を高め、視認性、スキャニング時の読取り性を向上させる点から、マイクロカプセルの体積標準のメジアン径が15〜35μmであるときに、(15〜35μm)+5μm以上のマイクロカプセルが2cm×2cm当たり7000〜28000個存在する場合が特に好ましい。   Among the above, in the present invention, the median diameter of the volume standard of the microcapsule is used in order to increase the color density at a pressure of less than 0.1 MPa (preferably the surface pressure) and improve the visibility and the readability at the time of scanning. Is 15 to 35 μm, it is particularly preferred that there are 7000 to 28000 microcapsules of (15 to 35 μm) +5 μm or more per 2 cm × 2 cm.

本発明において、体積標準のメジアン径は、マイクロカプセル全体を体積累計が50%となる粒子径を閾値に2つに分けたときに、大径側と小径側での粒子の体積の合計が等量となる径D50である。この体積標準のメジアン径は、マイクロカプセル液を支持体に塗布し、その表面を光学顕微鏡により150倍で撮影して、2cm×2cmの範囲にある全てのマイクロカプセルの大きさを計測して算出される値である。 In the present invention, the median diameter of the volume standard is the sum of the volume of the particles on the large diameter side and the small diameter side when the entire microcapsule is divided into two with the particle diameter at which the cumulative volume is 50% as a threshold value. It is a diameter D 50 that is a quantity. The median diameter of the volume standard is calculated by applying a microcapsule solution to a support, photographing the surface with an optical microscope at a magnification of 150 times, and measuring the size of all microcapsules in the range of 2 cm × 2 cm. Is the value to be

(基材)
本発明における圧力測定用材料を構成する基材は、シート状、フィルム状、板状等のいずれであってもよく、具体的な例として、紙、プラスチィックフィルム、合成紙等が挙げられる。圧力測定用材料がモノシートタイプ及び2シートタイプのいずれの形態であっても、同様である。
(Base material)
The substrate constituting the pressure measurement material in the present invention may be any of a sheet shape, a film shape, a plate shape, and the like, and specific examples include paper, plastic film, synthetic paper and the like. The same is true regardless of whether the pressure measurement material is in the mono-sheet type or the two-sheet type.

前記紙の具体例としては、上質紙、中質紙、更紙、中性紙、酸性紙、再生紙、コート紙、マシンコート紙、アート紙、キャストコート紙、微塗工紙、トレーシングペーパー、再生紙等を挙げることができる。
また、前記プラスチックフィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のポリエステルフィルム、三酢酸セルロース等のセルロース誘導体フィルム、ポリプロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィンフィルム、ポリスチレンフィルム、等を挙げることができる。
また、前記合成紙の具体例としては、ポリプロピレンやポリエチレンテレフタレート等を二軸延伸してミクロボイドを多数形成したもの(ユポ等)や、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミドなどの合成繊維からなるもの、これらを紙の一部、一面、両面に積層したものなどが挙げられる。
但し、本発明においては、これらに限定されるものではない。
これらの中でも、加圧によって生じる発色濃度をより高くする点で、プラスチックフィルム、合成紙が好ましく、プラスチックフィルムがより好ましい。
Specific examples of the paper include high-quality paper, medium-quality paper, reprint paper, neutral paper, acid paper, recycled paper, coated paper, machine-coated paper, art paper, cast-coated paper, fine-coated paper, and tracing paper. And recycled paper.
Specific examples of the plastic film include a polyester film such as a polyethylene terephthalate film, a cellulose derivative film such as cellulose triacetate, a polyolefin film such as polypropylene and polyethylene, and a polystyrene film.
In addition, specific examples of the synthetic paper include polypropylene and polyethylene terephthalate biaxially stretched to form a large number of microvoids (such as Yupo), and those made of synthetic fibers such as polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, and polyamide, The thing which laminated | stacked these on a part of paper, one surface, both surfaces, etc. are mentioned.
However, the present invention is not limited to these.
Among these, a plastic film and synthetic paper are preferable, and a plastic film is more preferable in that the color density generated by pressurization is higher.

(電子供与性無色染料前駆体)
本発明における圧力測定用材料の発色剤層に含有されるマイクロカプセルは、電子供与性無色染料前駆体の少なくとも一種を内包する。
マイクロカプセルに内包される電子供与性無色染料前駆体は、感圧複写紙あるいは感熱記録紙の用途において公知のものを使用することができる。例えば、トリフェニルメタンフタリド系化合物、フルオラン系化合物、フェノチアジン系化合物、インドリルフタリド系化合物、ロイコオーラミン系化合物、ローダミンラクタム系化合物、トリフェニルメタン系化合物、ジフェニルメタン系化合物、トリアゼン系化合物、スピロピラン系化合物、フルオレン系化合物など各種の化合物を使用することができる。
これら化合物の詳細については、特開平5−257272号公報に記載されており、電子供与性無色染料前駆体は、1種単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
(Electron-donating colorless dye precursor)
The microcapsule contained in the color former layer of the pressure measuring material in the present invention contains at least one kind of electron-donating colorless dye precursor.
As the electron-donating colorless dye precursor encapsulated in the microcapsule, a known one can be used for the application of pressure-sensitive copying paper or heat-sensitive recording paper. For example, triphenylmethane phthalide compound, fluorane compound, phenothiazine compound, indolyl phthalide compound, leucooramine compound, rhodamine lactam compound, triphenylmethane compound, diphenylmethane compound, triazene compound, Various compounds such as spiropyran compounds and fluorene compounds can be used.
Details of these compounds are described in JP-A-5-257272, and the electron-donating colorless dye precursor can be used alone or in combination of two or more.

電子供与性無色染料前駆体は、0.1MPa未満の圧力(好ましくは面圧)での発色性を高め、微少な圧力で高い濃度を得る(圧力変化に対する濃度変化(濃度勾配)を高める)観点から、モル吸光係数(ε)の高いものが好ましい。電子供与性無色染料前駆体のモル吸光係数(ε)は、10000 mol−1・cm−1・L以上であることが好ましく、15000 mol−1・cm−1・L以上あることがより好ましく、更には25000mol−1・cm−1・L以上あることが好ましい。 The electron-donating colorless dye precursor enhances color developability at a pressure (preferably surface pressure) of less than 0.1 MPa, and obtains a high concentration at a slight pressure (enhances a concentration change (concentration gradient) with respect to a pressure change). Therefore, those having a high molar extinction coefficient (ε) are preferable. The molar extinction coefficient (ε) of the electron-donating colorless dye precursor is preferably 10000 mol −1 · cm −1 · L or more, more preferably 15000 mol −1 · cm −1 · L or more, Furthermore, it is preferably 25000 mol −1 · cm −1 · L or more.

εが前記範囲の電子供与性無色染料前駆体の好ましい例としては、3−(4−ジエチルアミノ−2−エトキシフェニル)−3−(1−エチル−2−メチルインドール−3−イル)−4−アザフタリド(ε=61000)、3−(4−ジエチルアミノ−2−エトキシフェニル)−3−(1−n−オクチル−2−メチルインドール−3−イル)フタリド(ε=40000)、3−[2,2−ビス(1−エチル−2−メチルインドール−3−イル)ビニル]−3−(4−ジエチルアミノフェニル)−フタリド(ε=40000)、9−[エチル(3−メチルブチル)アミノ]スピロ[12H−ベンゾ[a]キサンテン−12,1’(3’H)イソベンゾフラン]−3’−オン(ε=34000)、2−アニリノ−6−ジブチルアミノ−3−メチルフルオラン(ε=22000)、6−ジエチルアミノ−3−メチル−2−(2,6−キシリジノ)−フルオラン(ε=19000)、2−(2−クロロアニリノ)−6−ジブチルアミノフルオラン(ε=21000)、3,3−ビス(4−ジメチルアミノフェニル)−6−ジメチルアミノフタリド(ε=16000)、2−アニリノ−6−ジエチルアミノ−3−メチルフルオラン(ε=16000)等が挙げられる。   Preferable examples of the electron donating colorless dye precursor having ε in the above range include 3- (4-diethylamino-2-ethoxyphenyl) -3- (1-ethyl-2-methylindol-3-yl) -4- Azaphthalide (ε = 61000), 3- (4-diethylamino-2-ethoxyphenyl) -3- (1-n-octyl-2-methylindol-3-yl) phthalide (ε = 40000), 3- [2, 2-bis (1-ethyl-2-methylindol-3-yl) vinyl] -3- (4-diethylaminophenyl) -phthalide (ε = 40000), 9- [ethyl (3-methylbutyl) amino] spiro [12H -Benzo [a] xanthene-12,1 '(3'H) isobenzofuran] -3'-one (ε = 34000), 2-anilino-6-dibutylamino-3-methylfluor Run (ε = 22000), 6-diethylamino-3-methyl-2- (2,6-xylidino) -fluorane (ε = 19000), 2- (2-chloroanilino) -6-dibutylaminofluorane (ε = 21000) ), 3,3-bis (4-dimethylaminophenyl) -6-dimethylaminophthalide (ε = 16000), 2-anilino-6-diethylamino-3-methylfluorane (ε = 16000), and the like.

モル吸光係数εが前記範囲の電子供与性無色染料前駆体を1種単独で用い、あるいはモル吸光係数εが前記範囲の電子供与性無色染料前駆体を含む2種以上を混合して用いる場合、電子供与性無色染料前駆体の合計量に占める、モル吸光係数(ε)が10000 mol−1・cm−1・L以上の電子供与性無色染料前駆体の割合は、0.1MPa未満の低圧(好ましくは面圧)での発色性を高め、低圧で高い濃度を得る(圧力変化に対する濃度変化(濃度勾配)を高める)観点から、10〜100質量%の範囲が好ましく、20〜100質量%の範囲がより好ましく、更には30〜100質量%の範囲が好ましい。
2種以上の電子供与性無色染料前駆体を用いる場合、εがそれぞれ10000 mol−1・cm−1・L以上のものを2種以上併用するのが好ましい。
When the molar extinction coefficient ε is used alone as an electron donating colorless dye precursor in the above range, or when the molar extinction coefficient ε is used in combination of two or more containing an electron donating colorless dye precursor in the above range, The ratio of the electron-donating colorless dye precursor having a molar extinction coefficient (ε) of 10,000 mol −1 · cm −1 · L or more to the total amount of the electron-donating colorless dye precursor is a low pressure (less than 0.1 MPa ( From the viewpoint of increasing color developability (preferably surface pressure) and obtaining a high concentration at low pressure (increasing concentration change (concentration gradient) with respect to pressure change), a range of 10 to 100% by mass is preferable, and 20 to 100% by mass is preferable. The range is more preferable, and the range of 30 to 100% by mass is more preferable.
When two or more kinds of electron-donating colorless dye precursors are used, it is preferable to use two or more kinds each having an ε of 10,000 mol −1 · cm −1 · L or more.

モル吸光係数(ε)は、電子供与性無色染料前駆体を95%酢酸水溶液中に溶解したときの吸光度から算出することができる。具体的には、吸光度が1.0以下となるように濃度を調節した電子供与性無色染料前駆体の95%酢酸水溶液において、測定用セルの長さをAcm、電子供与性無色染料前駆体の濃度をB mol/L、吸光度をCとしたときに、下記式によって算出することができる。
モル吸光係数(ε)= C/(A×B)
The molar extinction coefficient (ε) can be calculated from the absorbance when the electron-donating colorless dye precursor is dissolved in a 95% aqueous acetic acid solution. Specifically, in a 95% acetic acid aqueous solution of an electron donating colorless dye precursor whose concentration was adjusted so that the absorbance was 1.0 or less, the measurement cell length was Acm, and the electron donating colorless dye precursor was When the concentration is B mol / L and the absorbance is C, it can be calculated by the following formula.
Molar extinction coefficient (ε) = C / (A × B)

電子供与性無色染料前駆体の量(例えば塗布量)は、低圧(好ましくは0.1MPa未満)での発色性を高める観点から、乾燥後の質量で0.1〜5g/mであることが好ましく、0.1〜4g/mであることがより好ましく、0.2〜3g/mであることがさらに好ましい。 The amount of the electron-donating colorless dye precursor (for example, the coating amount) is 0.1 to 5 g / m 2 in terms of the mass after drying from the viewpoint of enhancing the color developability at a low pressure (preferably less than 0.1 MPa). Is preferably 0.1 to 4 g / m 2 , and more preferably 0.2 to 3 g / m 2 .

(溶媒)
本発明におけるマイクロカプセルは、電子供与性無色染料前駆体と共に溶媒の少なくとも一種を内包する。
マイクロカプセルに内包される溶媒としては、感圧複写紙用途において公知のものを使用することができる。例えば、ジイソプロピルナフタレン等のアルキルナフタレン類、1−フェニル−1−キシリルエタン等のジアリールアルカン類、イソプロピルビフェニル等のアルキルビフェニル類、その他トリアリールメタン類、アルキルベンゼン類、ベンジルナフタレン類、ジアリールアルキレン類、アリールインダン類等の芳香族炭化水素;フタル酸ジブチル、イソパラフィン等の脂肪族炭化水素、大豆油、コーン油、綿実油、菜種油、オリーブ油、ヤシ油、ひまし油、魚油等の天然動植物油等、鉱物油等の天然物高沸点留分等が挙げられる。溶媒は、1種単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
(solvent)
The microcapsule in the present invention includes at least one kind of solvent together with the electron donating colorless dye precursor.
As the solvent included in the microcapsule, a known solvent can be used for pressure-sensitive copying paper. For example, alkylnaphthalenes such as diisopropylnaphthalene, diarylalkanes such as 1-phenyl-1-xylylethane, alkylbiphenyls such as isopropylbiphenyl, other triarylmethanes, alkylbenzenes, benzylnaphthalenes, diarylalkylenes, arylindanes Aromatic hydrocarbons such as dibutyl phthalate, isoparaffins, etc., natural oils such as soybean oil, corn oil, cottonseed oil, rapeseed oil, olive oil, coconut oil, castor oil, fish oil, and mineral oils And high boiling point fractions. You may use a solvent individually by 1 type or in mixture of 2 or more types.

マイクロカプセルに内包される溶媒と電子供与性染料前駆体との質量比(溶媒:前駆体)としては、発色性の点で、98:2〜30:70の範囲が好ましく、97:3〜40:60の範囲がより好ましく、95:5〜50:50の範囲が更に好ましい。   The mass ratio between the solvent encapsulated in the microcapsule and the electron donating dye precursor (solvent: precursor) is preferably in the range of 98: 2 to 30:70, and 97: 3 to 40 in terms of color developability. : 60 is more preferable, and 95: 5 to 50:50 is more preferable.

また、必要に応じて、補助溶媒として、メチルエチルケトン等のケトン類や酢酸エチルなどのエステル類、イソプロピルアルコール等のアルコール類等、沸点が130℃以下の溶媒を添加することもできる。   If necessary, a solvent having a boiling point of 130 ° C. or lower, such as ketones such as methyl ethyl ketone, esters such as ethyl acetate, alcohols such as isopropyl alcohol, and the like can be added as an auxiliary solvent.

(マイクロカプセルの作製方法)
電子供与性無色染料前駆体及び溶媒を内包するマイクロカプセルは、それ自体公知の任意の方法、例えば、界面重合法、内部重合法、相分離法、外部重合法、コアセルベーション法等の方法により製造することができる。
(Method for producing microcapsules)
The microcapsules encapsulating the electron-donating colorless dye precursor and the solvent can be obtained by any method known per se, such as interfacial polymerization method, internal polymerization method, phase separation method, external polymerization method, coacervation method, etc. Can be manufactured.

前記マイクロカプセルの壁材としては、従来から感圧記録材料の電子供与性無色染料前駆体含有のマイクロカプセルの壁材として使用されている水不溶性、油不溶性のポリマーの中から、特に限定されることなく使用できる。中でも、壁材としては、ウレタン・ウレア樹脂(ポリウレタン・ウレア)、メラミン・ホルムアルデヒド樹脂、ゼラチンが好ましく、低圧(好ましくは0.1MPa未満)で良好な発色を得る観点から、ポリウレタン・ウレア、メラミン・ホルムアルデヒド樹脂がより好ましく、特にウレタン結合を含むポリウレタン・ウレアが好ましい。   The wall material of the microcapsule is particularly limited from the water-insoluble and oil-insoluble polymers conventionally used as the wall material of the microcapsule containing the electron donating colorless dye precursor of the pressure-sensitive recording material. Can be used without Among these, urethane / urea resin (polyurethane / urea), melamine / formaldehyde resin, and gelatin are preferable as the wall material. From the viewpoint of obtaining good color at low pressure (preferably less than 0.1 MPa), polyurethane / urea, melamine / A formaldehyde resin is more preferable, and a polyurethane / urea containing a urethane bond is particularly preferable.

ここで、カプセル璧材にポリウレタン・ウレアを用いた場合を例に説明する。
電子供与性無色染料前駆体を内包する、ポリウレタン・ウレア壁のマイクロカプセルの分散液の調製は、感圧複写紙用途において公知の方法を使用することができる。例えば、電子供与性無色染料前駆体と多価イソシアネートとを溶媒に溶解した溶液(油相)を、水溶性高分子(ポリオール、ポリアミンなどのカプセル壁形成用物質)を含有する親水性溶液(例えば水など;水相)に乳化分散させ、得られた乳化分散液中の油滴をポリウレタン・ウレアで被覆してマイクロカプセル化する方法が挙げられる。このとき、加温することによって油滴界面で高分子形成反応が進み、マイクロカプセル壁を形成できる。
Here, a case where polyurethane / urea is used for the capsule wall material will be described as an example.
The preparation of a dispersion of polyurethane-urea wall microcapsules encapsulating an electron-donating colorless dye precursor can be carried out using a known method in pressure-sensitive copying paper applications. For example, a solution (oil phase) obtained by dissolving an electron-donating colorless dye precursor and a polyvalent isocyanate in a solvent is used as a hydrophilic solution (for example, a capsule wall-forming substance such as a polyol or polyamine). There is a method of emulsifying and dispersing in water or the like; aqueous phase), and coating the oil droplets in the obtained emulsified dispersion with polyurethane / urea to form microcapsules. At this time, by heating, the polymer formation reaction proceeds at the oil droplet interface, and the microcapsule wall can be formed.

マイクロカプセル化する工程途中には、多価ヒドロキシ化合物と多価アミンなどの反応調整剤を添加してもよい。多価ヒドロキシ化合物の具体例としては、脂肪族又は芳香族の多価アルコール、ヒドロキシポリエステル、ヒドロキシポリアルキレンエーテル、多価アミンのアルキレンオキサイド付加物等を挙げることができる。中でも、脂肪族又は芳香族の多価アルコール、多価アミンのアルキレンオキサイド付加物が好ましく、より好ましくは、多価アミンのアルキレンオキサイド付加物である。   During the process of microencapsulation, a reaction modifier such as a polyvalent hydroxy compound and a polyvalent amine may be added. Specific examples of the polyvalent hydroxy compound include aliphatic or aromatic polyhydric alcohols, hydroxy polyesters, hydroxy polyalkylene ethers, alkylene oxide adducts of polyvalent amines, and the like. Among them, aliphatic or aromatic polyhydric alcohols and alkylene oxide adducts of polyvalent amines are preferable, and alkylene oxide adducts of polyvalent amines are more preferable.

多価アミンとしては、分子中に2個以上の−NH基または−NH基を有するものであれば、いずれも使用可能である。具体的な化合物としては、例えば、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、1,3−プロピレンジアミン、ヘキサメチレンジアミンなどの脂肪族多価アミン;脂肪族多価アミンのエポキシ化合物付加物;ピペラジン等の脂環式多価アミン;3,9−ビス−アミノプロピル−2,4,8,10−テトラオキサスピロ−(5,5)ウンデカンなどの複素環式ジアミンなどを挙げることができる。 Any polyvalent amine may be used as long as it has two or more —NH groups or —NH 2 groups in the molecule. Specific examples of the compound include aliphatic polyamines such as diethylenetriamine, triethylenetetramine, 1,3-propylenediamine, and hexamethylenediamine; epoxy compound adducts of aliphatic polyamines; alicyclic compounds such as piperazine Examples include polyvalent amines; heterocyclic diamines such as 3,9-bis-aminopropyl-2,4,8,10-tetraoxaspiro- (5,5) undecane, and the like.

多価ヒドロキシ化合物や多価アミンの添加量は、使用する多価イソシアネートの種類及び量、さらには所望のカプセル膜硬度などにより適宜決定される。多価ヒドロキシ化合物や多価アミンを添加する場合、「多価ヒドロキシ化合物及び/又は多価アミンの総量:多価イソシアネートの量」の比(質量比)は、0.1:99.9〜30:70であることが好ましく、1:99〜25:75であることがより好ましい。また、多価ヒドロキシ化合物の添加量としては、多価イソシアネート:多価ヒドロキシ化合物が質量比で99.9:0.1〜70:30であることが好ましく、99:1〜75:25であることがより好ましく、98:2〜80:20であることがさらに好ましい。   The amount of polyhydric hydroxy compound or polyamine added is appropriately determined depending on the type and amount of polyisocyanate used and the desired capsule membrane hardness. In the case of adding a polyvalent hydroxy compound or a polyvalent amine, the ratio (mass ratio) of “total amount of polyvalent hydroxy compound and / or polyvalent amine: amount of polyvalent isocyanate” is 0.1: 99.9-30. : 70 is preferable, and 1:99 to 25:75 is more preferable. Further, the addition amount of the polyvalent hydroxy compound is preferably 99.9: 0.1 to 70:30, and 99: 1 to 75:25 in terms of mass ratio of polyvalent isocyanate: polyvalent hydroxy compound. More preferably, it is more preferably 98: 2 to 80:20.

多価ヒドロキシ化合物や多価アミンの添加時期は、電子供与性無色染料前駆体を溶解する溶媒や補助溶媒中にあらかじめ添加しておいてもよいし、乳化分散前あるいは乳化分散後に添加してもよい。   The addition timing of the polyvalent hydroxy compound or polyvalent amine may be added in advance to the solvent or auxiliary solvent for dissolving the electron donating colorless dye precursor, or may be added before or after emulsification dispersion. Good.

親水性溶液中には、乳化剤として、種々の両性高分子、イオン系高分子、非イオン系高分子、例えばゼラチン、でんぷん、カルボキシメチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリアルキルベンゼンスルホン酸塩、ポリオキシエチレン硫酸塩、ポリオキシアルキルエーテルやその変性体、イソブチレン−無水マレイン酸共重合体等を添加してもよい。   In the hydrophilic solution, as an emulsifier, various amphoteric polymers, ionic polymers, nonionic polymers such as gelatin, starch, carboxymethyl cellulose, polyvinyl alcohol, polyalkylbenzene sulfonate, polyoxyethylene sulfate, A polyoxyalkyl ether, a modified product thereof, an isobutylene-maleic anhydride copolymer, or the like may be added.

前記多価イソシアネートとしては、感圧複写紙用途において公知のものを使用することができる。例えば、水添キシリレンジイソシアネート(一般に水添XDIと称される)のイソシアヌレート体、イソホロンジイソシアネート(一般にIPDIと称される)のイソシアヌレート体、4,4′−ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネートとトリメチロールプロパンとの付加物、ヘキサメチレンジイソシアネートのビュレット体、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体にウレタン結合により脂肪族ジオール(例、アルキレンジオール)が結合した化合物、ポリメチレンポリフェニルイソシアネート、カルボジイミド変性ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネートとトリメチロールプロパンとの付加物、キシリレンジイソシアネートとトリメチロールプロパンとの付加物、トリレンジイソシアネートのイソシアヌレート体、水添キシリレンジイソシネートとトリメチロールプロパンとの付加体、イソホロンジイソシネートとトリメチロールプロパンとの付加体、キシリレンジイソシアネートのビュレット体及びトリス−(p−イソシアネートフェニル)チオホスファイトを挙げることができる。多価イソシアネートは、1種単独で又は2種以上を混合して使用することができる。   As the polyvalent isocyanate, those known for pressure-sensitive copying paper can be used. For example, an isocyanurate of hydrogenated xylylene diisocyanate (generally referred to as hydrogenated XDI), an isocyanurate of isophorone diisocyanate (generally referred to as IPDI), 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, hexamethylene diisocyanate and trimethylene Adducts with methylolpropane, hexamethylene diisocyanate burette, hexamethylene diisocyanate isocyanurate, hexamethylene diisocyanate isocyanurate compound bonded with aliphatic diol (eg, alkylene diol) by urethane bond, polymethylene poly Phenyl isocyanate, carbodiimide-modified diphenylmethane diisocyanate, adduct of tolylene diisocyanate and trimethylol propane, xylylene di Adduct of socyanate and trimethylolpropane, isocyanurate of tolylene diisocyanate, adduct of hydrogenated xylylene diisocyanate and trimethylol propane, adduct of isophorone diisocyanate and trimethylol propane, xylylene diisocyanate And tris- (p-isocyanatophenyl) thiophosphite. Polyvalent isocyanate can be used individually by 1 type or in mixture of 2 or more types.

また、マイクロカプセルには、上記の電子供与性無色染料前駆体、溶媒、及び補助溶媒以外に、必要に応じて、添加剤を内包してもよい。添加剤としては、紫外線吸収剤、光安定化剤、酸化防止剤、ワックス、臭気抑制剤などを挙げることができる。   In addition to the electron donating colorless dye precursor, the solvent, and the auxiliary solvent, the microcapsule may contain an additive as necessary. Examples of the additive include an ultraviolet absorber, a light stabilizer, an antioxidant, a wax, and an odor inhibitor.

(発色剤層形成用の調製液の調製)
マイクロカプセルは上記のように分散液として得ることができるが、このマイクロカプセルの分散液は、そのまま電子供与性無色染料前駆体を含有する発色剤層を形成するための調製液(特に塗布液)としてもよい。また、上記のように得られたマイクロカプセルの分散液に更に、澱粉又は澱粉誘導体の微粉末、セルロース繊維粉末等の緩衝剤、ポリビニルアルコール等の水溶性高分子結着剤、酢酸ビニル系、アクリル系、スチレン・ブタジエン共重合体ラテックス等の疎水性高分子結着剤、蛍光増白剤、消泡剤、浸透剤、紫外線吸収剤、防腐剤を添加して調製液(特に塗布液)としてもよい。
このようにして得られた調製液(特に塗布液)を、基材の上に塗工等して付与し、乾燥させることにより、圧力測定用材料を構成する発色剤層を形成することができる。
(Preparation of preparation solution for color former layer formation)
The microcapsules can be obtained as a dispersion liquid as described above. The microcapsule dispersion liquid is a preparation liquid (particularly a coating liquid) for forming a color former layer containing an electron donating colorless dye precursor as it is. It is good. Further, the microcapsule dispersion obtained as described above is further added with a starch or starch derivative fine powder, a buffer such as cellulose fiber powder, a water-soluble polymer binder such as polyvinyl alcohol, a vinyl acetate, an acrylic. System, hydrophobic polymer binders such as styrene / butadiene copolymer latex, fluorescent brighteners, antifoaming agents, penetrating agents, UV absorbers, preservatives, and other preparations (especially coating solutions) Good.
The prepared liquid (particularly the coating liquid) thus obtained is applied on a substrate by coating or the like, and dried to form a color former layer constituting the pressure measuring material. .

前記発色剤層形成用の調製液を塗布液として用いる場合、塗布液の塗工方法は、通常の塗工機を用いて塗布、乾燥させて行なえる。具体的な塗工機の例としては、エアーナイフコーター、ロッドコーター、バーコーター、カーテンコーター、グラビアコータ−、エクストルージョンコーター、ダイコーター、スライドビードコーター、ブレードコーター等を挙げることができる。   When the preparation liquid for forming the color former layer is used as a coating liquid, the coating method of the coating liquid can be performed by applying and drying using a normal coating machine. Specific examples of the coating machine include an air knife coater, a rod coater, a bar coater, a curtain coater, a gravure coater, an extrusion coater, a die coater, a slide bead coater, and a blade coater.

本発明における圧力測定用材料が、電子供与性無色染料前駆体内包のマイクロカプセルと電子受容性化合物とがそれぞれ別個の基材に塗工等されて構成される2シートタイプの場合、例えば、上記塗布液を所望のシート状基材の上に、直接もしくは他の層を介して塗布し、乾燥させることにより、少なくとも発色剤層が形成されたシート材を得ることができる。また、電子供与性無色染料前駆体内包のマイクロカプセルと電子受容性化合物とが単一のシート状基材に塗工等されて構成されるモノシートタイプの場合、例えば、所望の基材上に形成された後述の顕色剤層の上に上記塗布液を重ねて塗布し、乾燥させることにより、圧力測定用材料が得られる。   In the case where the pressure measurement material in the present invention is a two-sheet type constituted by coating the electron-donating colorless dye precursor-encapsulated microcapsules and the electron-accepting compound on separate substrates, for example, By applying the coating liquid on a desired sheet-like substrate directly or via another layer and drying, a sheet material on which at least a color former layer is formed can be obtained. In addition, in the case of a mono-sheet type configured by coating the electron-donating colorless dye precursor encapsulated microcapsules and the electron-accepting compound on a single sheet-like substrate, for example, on a desired substrate The above-mentioned coating solution is applied on the formed developer layer described later, and dried to obtain a pressure measurement material.

(電子受容性化合物)
本発明における圧力測定用材料の顕色剤層は、電子受容性化合物(顕色剤)の少なくとも一種を含有する。
本発明における顕色剤層に含有される電子受容性化合物としては、無機化合物と有機化合物を挙げることができる。無機化合物の具体例としては、酸性白土、活性白土、アタパルジャイト、ゼオライト、ベントナイト、カオリンのような粘土物質等を挙げることができる。有機化合物としては、芳香族カルボン酸の金属塩、フェノールホルムアルデヒド樹脂、カルボキシル化テンペルフェノール樹脂の金属塩等を挙げることができる。中でも、酸性白土、活性白土、ゼオライト、カオリン、芳香族カルボン酸の金属塩、カルボキシル化テンペルフェノール樹脂の金属塩が好ましく、酸性白土、活性白土、カオリン、芳香族カルボン酸の金属塩であることがより好ましい。
(Electron-accepting compound)
The developer layer of the material for pressure measurement in the present invention contains at least one electron-accepting compound (developer).
Examples of the electron-accepting compound contained in the developer layer in the present invention include inorganic compounds and organic compounds. Specific examples of the inorganic compound include acidic clay, activated clay, attapulgite, zeolite, bentonite, and clay materials such as kaolin. Examples of the organic compound include metal salts of aromatic carboxylic acids, phenol formaldehyde resins, metal salts of carboxylated temperphenol resins, and the like. Among them, acid clay, activated clay, zeolite, kaolin, metal salt of aromatic carboxylic acid, metal salt of carboxylated temperphenol resin are preferable, and acid clay, activated clay, kaolin, metal salt of aromatic carboxylic acid More preferred.

前記芳香族カルボン酸の金属塩の好ましい具体例としては、3,5−ジ−t−ブチルサリチル酸、3,5−ジ−t−オクチルサリチル酸、3,5−ジ−t−ノニルサリチル酸、3,5−ジ−t−ドデシルサリチル酸、3−メチル−5−t−ドデシルサリチル酸、3−t−ドデシルサリチル酸、5−t−ドデシルサリチル酸、5−シクロヘキシルサリチル酸、3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)サリチル酸、3−メチル−5−(α−メチルベンジル)サリチル酸、3−(α,α−ジメチルベンジル)−5−メチルサリチル酸、3−(α,α−ジメチルベンジル)−6−メチルサリチル酸、3−(α−メチルベンジル)−5−(α,α−ジメチルベンジル)サリチル酸、3−(α,α−ジメチルベンジル)−6−エチルサリチル酸、3−フェニル−5−(α,α−ジメチルベンジル)サリチル酸、カルボキシ変性テルペンフェノール樹脂、3,5−ビス(α−メチルベンジル)サリチル酸とベンジルクロリドとの反応生成物であるサリチル酸樹脂等の、亜鉛塩、ニッケル塩、アルミニウム塩、カルシウム塩等を挙げることができる。   Preferable specific examples of the metal salt of the aromatic carboxylic acid include 3,5-di-t-butylsalicylic acid, 3,5-di-t-octylsalicylic acid, 3,5-di-t-nonylsalicylic acid, 3, 5-di-t-dodecylsalicylic acid, 3-methyl-5-t-dodecylsalicylic acid, 3-t-dodecylsalicylic acid, 5-t-dodecylsalicylic acid, 5-cyclohexylsalicylic acid, 3,5-bis (α, α-dimethyl) Benzyl) salicylic acid, 3-methyl-5- (α-methylbenzyl) salicylic acid, 3- (α, α-dimethylbenzyl) -5-methylsalicylic acid, 3- (α, α-dimethylbenzyl) -6-methylsalicylic acid, 3- (α-methylbenzyl) -5- (α, α-dimethylbenzyl) salicylic acid, 3- (α, α-dimethylbenzyl) -6-ethylsalicylic acid, 3-phenyl Zinc salts, nickel salts such as 5- (α, α-dimethylbenzyl) salicylic acid, carboxy-modified terpene phenol resin, salicylic acid resin which is a reaction product of 3,5-bis (α-methylbenzyl) salicylic acid and benzyl chloride , Aluminum salts, calcium salts and the like.

(顕色剤分散液の調製)
顕色剤分散液は、電子受容性化合物が上記の無機化合物である場合、無機化合物を機械的に水系で分散処理することにより調製することができ、また、電子受容性化合物が有機化合物である場合、有機化合物を機械的に水系で分散処理するか、又は有機溶媒に溶解することにより調製することができる。
詳細は、特開平8−207435号公報に記載された方法を参照することができる。
(Preparation of developer dispersion)
When the electron-accepting compound is the above-described inorganic compound, the developer dispersion can be prepared by mechanically dispersing the inorganic compound in an aqueous system, and the electron-accepting compound is an organic compound. In this case, the organic compound can be prepared by mechanically dispersing in an aqueous system or dissolving it in an organic solvent.
For details, the method described in JP-A-8-207435 can be referred to.

(顕色剤層形成用の調製液の調製)
上記のようにして調製された顕色剤分散液(電子受容性化合物分散液)は、そのまま電子受容性化合物を含有する顕色剤層を形成するための調製液(特に塗布液)としてもよい。また、顕色剤層を形成するための調製液(特に塗布液)には、バインダーとして、スチレン−ブタジエン共重合体ラテックス、酢酸ビニル系ラテックス、アクリル酸エステル系ラテックス、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、無水マレイン酸−スチレン−共重合体、デンプン、カゼイン、アラビアゴム、ゼラチン、カルボキシメチルセルロース、メチルセルロースなどの合成又は天然高分子物質を添加してもよい。また、顔料として、カオリン、焼成カオリン、カオリン凝集体、重質炭酸カルシウム、種々の形態(米粒状、角状、紡錘状、イガ状、球状、アラゴナイト系柱状、無定形等)の軽質炭酸カルシウム、タルク、ルチル型またはアナターゼ型の二酸化チタン等を添加してもよい。更には、所望により蛍光増白剤、消泡剤、浸透剤、防腐剤を添加することもできる。
(Preparation of the developer for forming the developer layer)
The developer dispersion liquid (electron-accepting compound dispersion liquid) prepared as described above may be used as a preparation liquid (particularly a coating liquid) for forming a developer layer containing an electron-accepting compound as it is. . In addition, a preparation liquid (particularly a coating liquid) for forming a developer layer includes, as a binder, a styrene-butadiene copolymer latex, a vinyl acetate latex, an acrylate latex, polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, Synthetic or natural polymer substances such as maleic anhydride-styrene-copolymer, starch, casein, gum arabic, gelatin, carboxymethylcellulose, methylcellulose and the like may be added. Further, as pigments, kaolin, calcined kaolin, kaolin aggregate, heavy calcium carbonate, light calcium carbonate in various forms (rice granular, square, spindle-shaped, rugged, spherical, aragonite columnar, amorphous, etc.), Talc, rutile type or anatase type titanium dioxide or the like may be added. Furthermore, if desired, an optical brightener, an antifoaming agent, a penetrating agent, and an antiseptic can be added.

前記顕色剤層形成用の調製液を塗布液として用いる場合、塗布液の塗工方法としては、通常の塗工機を用いて塗布、乾燥させて行なえる。具体的な塗工機の例としては、ブレードコーター、ロッドコーター、エアーナイフコーター、カーテンコーター、グラビアコーター、バーコーター、ロールコーター、エクストルージョンコーター、ダイコーター、スライドビードコーター、ブレードコーター等を挙げることができる。   When the developer for forming the developer layer is used as a coating solution, the coating solution can be applied and dried using a normal coating machine. Specific examples of coating machines include blade coaters, rod coaters, air knife coaters, curtain coaters, gravure coaters, bar coaters, roll coaters, extrusion coaters, die coaters, slide bead coaters, blade coaters, etc. Can do.

本発明における圧力測定用材料が、電子供与性無色染料前駆体内包のマイクロカプセルと電子受容性化合物とがそれぞれ別個の基材に塗工等されて構成される2シートタイプの場合、例えば、顕色剤含有の塗布液を所望のシート状基材の上に、直接もしくは他の層を介して塗布し、乾燥させることにより、少なくとも顕色剤層が形成されたシート材を得ることができる。また、電子供与性無色染料前駆体内包のマイクロカプセルと電子受容性化合物とが単一のシート状基材に塗工等されて構成されるモノシートタイプの場合、例えば、所望のシート状基材の上に直接もしくは他の層を介して、顕色剤含有の塗布液を塗布し、乾燥させることにより、圧力測定用材料を構成する顕色剤層を形成することができる。   In the case where the pressure measurement material in the present invention is a two-sheet type constituted by coating electron-donating colorless dye precursor encapsulated microcapsules and electron-accepting compounds on separate substrates, for example, A coating material containing a colorant is applied directly or via another layer on a desired sheet-like substrate and dried to obtain a sheet material on which at least a developer layer is formed. In addition, in the case of a monosheet type in which a microcapsule encapsulating an electron-donating colorless dye precursor and an electron-accepting compound are coated on a single sheet-like substrate, for example, a desired sheet-like substrate The developer layer constituting the pressure measurement material can be formed by applying a developer-containing coating solution directly or via another layer and drying the coating solution.

電子受容性化合物(顕色剤)の顕色剤層中における量(塗布による場合は塗布量)は、乾燥後の質量で0.1〜30g/mが好ましく、より好ましくは、無機化合物の場合は3〜20g/mであり、有機化合物の場合は0.1〜5g/mであり、さらに好ましくは、無機化合物の場合は5〜15g/mであり、有機化合物の場合は0.2〜3g/mである。 The amount of the electron-accepting compound (developer) in the developer layer (in the case of coating, the coating amount) is preferably 0.1 to 30 g / m 2 in terms of the mass after drying, more preferably the inorganic compound. case is 3 to 20 g / m 2, in the case of the organic compound is 0.1-5 g / m 2, more preferably, in the case of the inorganic compound is 5 to 15 g / m 2, in the case of organic compounds 0.2 to 3 g / m 2 .

本発明における圧力測定用材料は、その構成により固有の圧力測定範囲の下限を有している。圧力測定範囲の下限としては、0.01〜0.1MPaが好ましく、0.02〜0.05MPaがより好ましい。   The material for pressure measurement in the present invention has an inherent lower limit of the pressure measurement range depending on its configuration. The lower limit of the pressure measurement range is preferably 0.01 to 0.1 MPa, more preferably 0.02 to 0.05 MPa.

<凹凸シート>
本発明において用いられる凹凸シートは、前記(2A)及び(2B)圧力測定方法に用いられる凹凸シート(以下、適宜、それぞれ「凹凸シートA」及び「凹凸シートB」ともいう。)である。以下に、前記凹凸シートA及びBについて詳細に説明する。
<Uneven sheet>
The uneven sheet used in the present invention is the uneven sheet used in the pressure measurement methods (2A) and (2B) (hereinafter also referred to as “uneven sheet A” and “uneven sheet B” as appropriate). Hereinafter, the uneven sheets A and B will be described in detail.

<凹凸シートA>
前記(2A)圧力測定方法において用いられた凹凸シートAは、厚さ0.05mm以上の基底部上に、軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有し、総厚0.5mm以下に構成される。ここで、総厚とは、基底部の厚さと凸部の高さとの合計である。
前記総厚が0.5mmより厚いと、圧力測定の際に凹凸シートがクッションの役割をしてしまい、正確な圧力分布の測定を行うことができない場合がある。本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、前記総厚としては、0.05〜0.4mmが好ましく、0.07〜0.3mmがより好ましい。
<Uneven sheet A>
The concavo-convex sheet A used in the (2A) pressure measuring method has a conical convex portion made of a soft resin on a base portion having a thickness of 0.05 mm or more, and is configured to have a total thickness of 0.5 mm or less. The Here, the total thickness is the sum of the thickness of the base portion and the height of the convex portion.
If the total thickness is greater than 0.5 mm, the uneven sheet may act as a cushion during pressure measurement, and accurate pressure distribution measurement may not be possible. From the viewpoint of more effectively achieving the effects of the present invention, the total thickness is preferably 0.05 to 0.4 mm, and more preferably 0.07 to 0.3 mm.

前記基底部は、製造の容易性の観点や取り扱いの容易性の観点から、厚さ0.05mm以上であることが必要である。
本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、前記基底部の厚さは0.05〜0.15mmが好ましく、0.05〜0.1mmがより好ましい。
The base portion needs to have a thickness of 0.05 mm or more from the viewpoint of ease of manufacture and ease of handling.
From the viewpoint of more effectively achieving the effects of the present invention, the thickness of the base portion is preferably 0.05 to 0.15 mm, more preferably 0.05 to 0.1 mm.

基底部の材質には特に限定はなく、硬質樹脂、軟質樹脂(例えば、凸部と同材質の軟質樹脂)等の材料を用いることができる。
中でも、製造の容易性、取り扱いの容易性の観点や圧力又はその分布をより正確に測定する観点からは、硬質樹脂が好ましい。
本発明において「硬質樹脂」とは、ヤング率が500MPa以上である樹脂をいう。
硬質樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、アクリル等が好ましく、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート、アクリルがより好ましく、ポリエチレンテレフタレート(PET)が特に好ましい。
There is no particular limitation on the material of the base portion, and materials such as hard resin and soft resin (for example, soft resin of the same material as the convex portion) can be used.
Among these, a hard resin is preferable from the viewpoint of ease of production and ease of handling, and from the viewpoint of more accurately measuring pressure or its distribution.
In the present invention, the “hard resin” refers to a resin having a Young's modulus of 500 MPa or more.
As the hard resin, polyethylene terephthalate (PET), polyethylene, polystyrene, polypropylene, polycarbonate, acrylic and the like are preferable, polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate and acrylic are more preferable, and polyethylene terephthalate (PET) is particularly preferable.

前記凹凸シートAにおける凸部は、軟質樹脂からなり円錐状の構造を有して構成される。
本発明において「軟質樹脂」とは、ヤング率が50MPa以下である樹脂をいう。
軟質樹脂としては、軟質UV硬化性樹脂、軟質アクリルが好ましく、軟質UV硬化性樹脂がより好ましい。
前記軟質UV硬化性樹脂としては、アクリル系のUV硬化性樹脂が好ましい。
なお、本発明において「UV」とは、紫外光(Ultra Violet)を意味する。
The convex part in the said uneven | corrugated sheet A consists of soft resin, and has a conical structure.
In the present invention, “soft resin” refers to a resin having a Young's modulus of 50 MPa or less.
As the soft resin, soft UV curable resin and soft acrylic are preferable, and soft UV curable resin is more preferable.
The soft UV curable resin is preferably an acrylic UV curable resin.
In the present invention, “UV” means ultraviolet light (Ultra Violet).

前記凹凸シートAにおける凸部は、圧力により変形する硬さであれば特に限定はないが、凸部のヤング率が0.05〜5MPaであることが好ましく、0.1〜1MPaであることがより好ましい。
前記凹凸シートAにおける凸部の頂角としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、145〜165°が好ましく、150〜160°がより好ましい。
前記凹凸シートAにおける凸部の間隔としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、1〜10mmが好ましく、2〜5mmがより好ましい。
前記凹凸シートAにおける凸部の高さとしては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、0.05〜0.45mmが好ましく、0.1〜0.3mmがより好ましい。
前記凹凸シートAにおける凸部の密度としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、1〜100個/mmが好ましく、4〜25個/mmがより好ましい。
Although the convex part in the said uneven | corrugated sheet A will not be specifically limited if it is the hardness which deform | transforms with a pressure, It is preferable that the Young's modulus of a convex part is 0.05-5 MPa, and it is 0.1-1 MPa. More preferred.
The apex angle of the convex portion in the concavo-convex sheet A is preferably 145 to 165 °, more preferably 150 to 160 °, from the viewpoint of more effectively achieving the effects of the present invention.
As a space | interval of the convex part in the said uneven | corrugated sheet A, 1-10 mm is preferable from a viewpoint which show | plays the effect by this invention more effectively, and 2-5 mm is more preferable.
The height of the convex portion in the uneven sheet A is preferably 0.05 to 0.45 mm, more preferably 0.1 to 0.3 mm, from the viewpoint of more effectively achieving the effects of the present invention.
As the density of the convex portion of the concavo-convex sheet A, from the standpoint of demonstrating the effect of the invention more effectively, preferably 1 to 100 / mm 2, more preferably 4 to 25 pieces / mm 2.

図9は、本発明の一実施形態((2A)の測定方法)における凹凸シート52を模式的に示した断面図である。図9の凹凸シートは、基底部と凸部とが同材質の軟質熱可塑性樹脂である形態である。厚さt1の基底部の上に、高さH、頂角θの凸部が、間隔Lで設けられている。
図10は、本発明の別の実施形態における凹凸シート54を模式的に示した断面図である。図10の凹凸シートは、凸部が軟質UV硬化性樹脂であり、基材(基底部)が硬質樹脂である形態である。厚さt2の基材(基底部)の上に、高さH、頂角θの凸部が、間隔Lで設けられている。
FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing the concavo-convex sheet 52 in one embodiment of the present invention ((2A) measurement method). The concavo-convex sheet in FIG. 9 has a form in which the base portion and the convex portion are made of the same material soft thermoplastic resin. Convex portions having a height H and an apex angle θ are provided at intervals L on the base portion having a thickness t1.
FIG. 10 is a cross-sectional view schematically showing an uneven sheet 54 according to another embodiment of the present invention. The concavo-convex sheet of FIG. 10 has a form in which the convex portion is a soft UV curable resin and the base material (base portion) is a hard resin. Convex portions having a height H and an apex angle θ are provided at intervals L on a base material (base portion) having a thickness t2.

<凹凸シートの製造方法>
本発明における凹凸シートの製造方法には特に限定はなく、フォトリソグラフィー方式を用いて製造する方法、熱プレス方式を用いて製造する方法、パターンロールとUV硬化樹脂とを用いて製造する方法等、種々の方法を用いることができる。
<Method for producing uneven sheet>
The method for producing the concavo-convex sheet in the present invention is not particularly limited, a method for producing using a photolithography method, a method for producing using a hot press method, a method for producing using a pattern roll and a UV curable resin, etc. Various methods can be used.

中でも、凹凸シートの厚さを薄く、かつ、均一に形成できる点等からは、パターンロールとUV硬化性樹脂とを用いて製造する方法が好ましい。例えば、凹凸シートの凸部の反転パターン(凹部)が表面に形成されたパターンロールと、連続的に供給される基材との間に、UV硬化性樹脂の前駆体であるモノマー溶液を供給し、供給されたモノマー溶液にUV光を照射してUV硬化性樹脂からなる凸部を基材上に形成し、形成された凸部をパターンロールから剥離して凸部が形成された基材を得、必要に応じ該基材を巻き取る方法が好適である。   Among these, a method of manufacturing using a pattern roll and a UV curable resin is preferable from the viewpoint that the thickness of the uneven sheet can be reduced and formed uniformly. For example, a monomer solution, which is a precursor of a UV curable resin, is supplied between a pattern roll having a reverse pattern (concave portion) formed on the surface of a concavo-convex sheet and a continuously supplied substrate. Irradiating the supplied monomer solution with UV light to form a convex portion made of a UV curable resin on the substrate, and peeling the formed convex portion from the pattern roll to form a substrate on which the convex portion is formed. A method of winding up the substrate as needed is preferable.

図11は、上記好ましい製造方法に用いられる凹凸シート製造装置60を模式的に示した断面図である。
凹凸シート製造装置60は、凹凸シートの基底部となる基材82を連続的に搬送する搬送路の上流側から下流側に向かって(搬送方向Sの方向)、基材82を連続的に供給する供給ローラー62、供給された基材82を連続的に搬送する搬送ローラー64、搬送ローラー66、搬送ローラー68、及び基材82を巻き取るための巻き取りローラー72を有して構成される。さらに、基材82の搬送路を介して搬送ローラー64に対向する位置には塗布装置74が備えられており、UV硬化樹脂の前駆体であるモノマー溶液76を基材82上に付与できるようになっている。搬送ローラー66と搬送ローラー68との間には、円柱状のパターンロール80が備えられており、この間では基材82は、該パターンロール80の弧に沿って変形し、該パターンロールの回転に合わせて移動するようになっている。パターンロール80の表面には、製造する凹凸シートの凸部の反転パターンである凹部81(図10中では、便宜上一部の凹部にのみ符号81を付す)が設けられている。また、基材82の搬送路を介してパターンロール80に対向する位置には、基材82上に供給されたモノマー溶液76を硬化するためのUV光源70が設けられている。
FIG. 11 is a cross-sectional view schematically showing an uneven sheet manufacturing apparatus 60 used in the preferred manufacturing method.
The concavo-convex sheet manufacturing apparatus 60 continuously supplies the base material 82 from the upstream side to the downstream side of the transport path that continuously transports the base material 82 that is the base of the concavo-convex sheet (direction of the transport direction S). And a take-up roller 72 for taking up the base material 82. The feed roller 62 for carrying the base material 82 is provided. Further, a coating device 74 is provided at a position facing the transport roller 64 through the transport path of the base material 82 so that the monomer solution 76 that is a precursor of the UV curable resin can be applied onto the base material 82. It has become. Between the transport roller 66 and the transport roller 68, a cylindrical pattern roll 80 is provided. During this period, the base material 82 is deformed along the arc of the pattern roll 80, and the pattern roll is rotated. It is designed to move together. The surface of the pattern roll 80 is provided with a concave portion 81 (in FIG. 10, only a portion of the concave portions is provided with a reference numeral 81 for convenience) that is a reverse pattern of the convex portion of the concavo-convex sheet to be manufactured. Further, a UV light source 70 for curing the monomer solution 76 supplied on the base material 82 is provided at a position facing the pattern roll 80 via the transport path of the base material 82.

次に、凹凸シート製造装置60を用いて凹凸シートを製造する方法について説明する。
まず、供給ローラー62により基材82を連続的に供給し、供給された基材82上に塗布装置74によりモノマー溶液76を連続的に塗布する。
基材82の幅(搬送方向Sに直交する方向における長さ)は、200〜2000mmが好ましい。基材82の長さは、100〜4000mが好ましい。基材82の厚さは、50〜450μmが好ましい。搬送速度は0.5〜50m/minが好ましい。モノマー溶液76の塗布幅は、100〜1800mmが好ましく、モノマー溶液76の塗布量は、2〜200ml/mが好ましい。
Next, a method for producing an uneven sheet using the uneven sheet manufacturing apparatus 60 will be described.
First, the base material 82 is continuously supplied by the supply roller 62, and the monomer solution 76 is continuously applied on the supplied base material 82 by the coating device 74.
As for the width | variety (length in the direction orthogonal to the conveyance direction S) of the base material 82, 200-2000 mm is preferable. The length of the base material 82 is preferably 100 to 4000 m. As for the thickness of the base material 82, 50-450 micrometers is preferable. The conveyance speed is preferably 0.5 to 50 m / min. The coating width of the monomer solution 76 is preferably 100 to 1800 mm, and the coating amount of the monomer solution 76 is preferably 2 to 200 ml / m 2 .

モノマー溶液76が塗布された基材82は、搬送ローラー66を通過後、回転方向Rに回転するパターンロール80の弧に沿って変形し、該回転に合わせて搬送される。この際、モノマー溶液76は、パターンロール80表面の凹部81と基材82との間に充填される。
ここで、パターンロール80の回転速度は、基材82の搬送速度と等しくなっていることが好ましい。パターンロール80の直径は、100〜500mmが好ましく、パターンロール80の幅は、300〜2200mmが好ましい。
The base material 82 on which the monomer solution 76 is applied is deformed along the arc of the pattern roll 80 that rotates in the rotation direction R after passing through the transport roller 66, and is transported in accordance with the rotation. At this time, the monomer solution 76 is filled between the recess 81 on the surface of the pattern roll 80 and the substrate 82.
Here, the rotation speed of the pattern roll 80 is preferably equal to the conveyance speed of the base material 82. The diameter of the pattern roll 80 is preferably 100 to 500 mm, and the width of the pattern roll 80 is preferably 300 to 2200 mm.

次に、パターンロール80の回転に合わせて移動する基材82及びモノマー溶液76に対し、UV光源70によりUV光(紫外光)を照射し、モノマー溶液76の硬化を行い、UV硬化樹脂からなる凸部84を基材82上に形成する。この際のUV照射量は、100〜2000mJ/cmが好ましい。 Next, UV light (ultraviolet light) is irradiated from the UV light source 70 to the base material 82 and the monomer solution 76 that move in accordance with the rotation of the pattern roll 80, and the monomer solution 76 is cured to be made of a UV curable resin. A convex portion 84 is formed on the base material 82. In this case, the UV irradiation amount is preferably 100 to 2000 mJ / cm 2 .

次に、基材82が搬送ローラー68を通過する際に、形成された凸部84を、パターンロール80から剥離する。凸部84が形成された基材82は、巻き取りローラー72によって巻き取る。
巻き取られた凸部84付き基材82は、用途に応じて適当な大きさに切断され、凹凸シートとして用いられる。
Next, when the base material 82 passes the transport roller 68, the formed convex portion 84 is peeled off from the pattern roll 80. The base material 82 on which the convex portions 84 are formed is taken up by the take-up roller 72.
The wound base material 82 with the convex portion 84 is cut into an appropriate size according to the application and used as an uneven sheet.

<凹凸シートB>
前記(2B)圧力測定方法において用いられた凹凸シートBは、前記圧力測定用材料と共に用いて圧力測定を行うための凹凸シートであって、硬質樹脂からなる厚さ0.05mm以上の基底部上に、該基底部に平行な露出面を有する硬質樹脂からなる凸部を複数有し、総厚0.5mm以下であり、前記露出面の面積をS、前記複数の凸部間の間隔をL、前記凹凸シートと前記圧力測定用材料とを共に用いて圧力測定を行う場合の圧力測定下限に対する前記圧力測定用材料の圧力測定下限の比をRとしたとき、S=(L×L)/R
の関係を満たすように構成される凹凸シートである。
<Uneven sheet B>
The concavo-convex sheet B used in the (2B) pressure measurement method is a concavo-convex sheet for performing pressure measurement together with the pressure measurement material, on a base portion having a thickness of 0.05 mm or more made of a hard resin. A plurality of convex portions made of a hard resin having an exposed surface parallel to the base portion, having a total thickness of 0.5 mm or less, an area of the exposed surface being S, and an interval between the plurality of convex portions being L When the ratio of the pressure measurement lower limit of the pressure measurement material to the pressure measurement lower limit when pressure measurement is performed using both the uneven sheet and the pressure measurement material is R, S = (L × L) / R
It is the uneven | corrugated sheet | seat comprised so that the relationship may be satisfy | filled.

前記凹凸シートBを上記構成とすることで、圧力測定用材料に固有の圧力測定下限値にて被測定物と圧力測定用材料との間に圧力を加えた場合には、被測定物中の該圧力が加えられた面の面積と、該圧力が集中する前記露出面の面積と、の関係により、該圧力は約((L×L)/S)倍に増幅される。このため、前記被測定物と圧力測定用材料との間に加える圧力が、該圧力測定用材料に固有の測定下限以下である場合であっても、圧力値又は圧力分布を正確に測定できる。特に、コピー機又はプリンター製造工程での搬送ローラーにおける挟み圧測定、液晶ディスプレイ製造工程でのガラス基板の接着における張り合わせ圧測定、半導体製造工程でのシリコンウエハの研磨における押し付け圧測定等に好適である。   When the uneven sheet B has the above-described configuration, when pressure is applied between the object to be measured and the material for pressure measurement at a pressure measurement lower limit specific to the material for pressure measurement, The pressure is amplified about ((L × L) / S) times by the relationship between the area of the surface to which the pressure is applied and the area of the exposed surface on which the pressure is concentrated. For this reason, even when the pressure applied between the object to be measured and the pressure measurement material is equal to or lower than the measurement lower limit specific to the pressure measurement material, the pressure value or the pressure distribution can be accurately measured. In particular, it is suitable for pinching pressure measurement in a conveyance roller in a copier or printer manufacturing process, bonding pressure measurement in glass substrate adhesion in a liquid crystal display manufacturing process, and pressing pressure measurement in polishing a silicon wafer in a semiconductor manufacturing process. .

本発明において、「複数の凸部間の間隔」とは、凸部の露出面中心と該凸部に最近接する別の凸部の露出面中心との距離をいう。
本発明において、「圧力測定用材料の圧力測定下限」とは、凹凸シートBと共に用いずに、圧力測定用材料単独で圧力測定を行う場合の測定下限を指す。圧力測定用材料はその構成により固有の測定下限を有しているが、本実施態様の凹凸シートBと組み合わせて用いることにより、圧力測定の感度がR倍となる(即ち、圧力測定用材料固有の測定下限値の1/Rの圧力の測定が可能となる)。本発明による効果をより効果的に得る観点からは、前記Rの具体的な範囲としては、2〜20が好ましく、5〜10がより好ましい。
以下において、凹凸シートBと圧力測定用材料とを共に用いて圧力測定を行う場合の圧力測定下限に対する圧力測定用材料の圧力測定下限の比Rを、「圧力増幅率R」ということがある。
In the present invention, the “interval between a plurality of convex portions” refers to the distance between the exposed surface center of a convex portion and the exposed surface center of another convex portion closest to the convex portion.
In the present invention, the “pressure measurement lower limit of the pressure measurement material” refers to the measurement lower limit when the pressure measurement material alone is used for pressure measurement without being used together with the uneven sheet B. The pressure measurement material has a specific measurement lower limit depending on its configuration, but when used in combination with the concavo-convex sheet B of this embodiment, the pressure measurement sensitivity becomes R times (ie, the pressure measurement material specific 1 / R of the measurement lower limit value can be measured). From the viewpoint of obtaining the effect of the present invention more effectively, the specific range of R is preferably 2 to 20, and more preferably 5 to 10.
Hereinafter, the ratio R of the pressure measurement lower limit of the pressure measurement material to the pressure measurement lower limit when pressure measurement is performed using both the uneven sheet B and the pressure measurement material may be referred to as “pressure amplification factor R”.

本実施態様における凹凸シートBを用いた圧力測定方法にて測定できる圧力範囲は、ともに用いる圧力測定用材料の測定下限値以下の範囲であることが好ましい。本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、0.002〜0.08MPaの範囲が好ましく、0.004〜0.04MPaの範囲がより好ましい。   The pressure range that can be measured by the pressure measurement method using the uneven sheet B in this embodiment is preferably a range that is equal to or lower than the measurement lower limit value of the pressure measurement material used together. From the viewpoint of more effectively achieving the effects of the present invention, a range of 0.002 to 0.08 MPa is preferable, and a range of 0.004 to 0.04 MPa is more preferable.

本実施態様における凹凸シートBは、硬質樹脂からなる厚さ0.05mm以上の基底部上に、該基底部に平行な露出面を有する硬質樹脂からなる凸部を複数有し、総厚0.5mm以下に構成される。ここで、総厚とは、基底部の厚さと凸部の高さとの合計である。
前記総厚が0.5mmより厚いと、圧力測定の際に凹凸シートBがクッションの役割をしてしまい、正確な圧力分布の測定を行うことができない場合がある。本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、前記総厚としては、0.05mm〜0.4mmが好ましく、0.07mm〜0.3mmがより好ましい。
The concavo-convex sheet B in this embodiment has a plurality of convex portions made of hard resin having an exposed surface parallel to the base portion on a base portion having a thickness of 0.05 mm or more made of hard resin, and has a total thickness of 0. It is configured to be 5 mm or less. Here, the total thickness is the sum of the thickness of the base portion and the height of the convex portion.
If the total thickness is greater than 0.5 mm, the uneven sheet B may act as a cushion during pressure measurement, and accurate pressure distribution measurement may not be possible. From the viewpoint of more effectively achieving the effects of the present invention, the total thickness is preferably 0.05 mm to 0.4 mm, more preferably 0.07 mm to 0.3 mm.

前記基底部は、製造の容易性の観点や取り扱いの容易性の観点から、厚さ0.05mm以上であることが必要である。
本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、前記基底部の厚さは0.05mm〜0.15mmが好ましく、0.05mm〜0.1mmがより好ましい。
The base portion needs to have a thickness of 0.05 mm or more from the viewpoint of ease of manufacture and ease of handling.
From the viewpoint of more effectively achieving the effects of the present invention, the thickness of the base portion is preferably 0.05 mm to 0.15 mm, more preferably 0.05 mm to 0.1 mm.

前記凸部の形状については前記基底部に平行な露出面を有していれば特に限定はなく、例えば、円柱形、多角柱形(三角柱、四角柱等)等の形状とすることができる(例えば、図12、14、15参照)。また、前記凸部の側面は基底部に垂直である場合に限られず、前記基底部に平行な露出面の面積と前記基底部に接する面の面積とが異なる形状であってもよい(例えば、図13参照)。
図12は、第1の実施形態に係る凹凸シートB10を示す斜視図である。シート状の基底部12上に円柱形状の凸部14が設けられている。
図13は、第2の実施形態に係る凹凸シートB20を示す斜視図である。シート状の基底部12上に、底面が基底部に接する円錐を該底面に平行な平面で切った形状(以下、「台形円柱形状」ともいう)である凸部15が設けられている。
図14は、第3の実施形態に係る凹凸シートB30を示す斜視図である。シート状の基底部12上に四角柱形状の凸部16が設けられている。
図15は、第4の実施形態に係る凹凸シートB40を示す斜視図である。シート状の基底部12上に三角柱形状の凸部17が設けられている。
The shape of the convex portion is not particularly limited as long as it has an exposed surface parallel to the base portion. For example, the shape of the convex portion can be a cylindrical shape, a polygonal prism shape (triangular prism, quadrangular prism, etc.) ( For example, see FIGS. In addition, the side surface of the convex portion is not limited to the case where the side surface is perpendicular to the base portion, and the exposed surface area parallel to the base portion and the area of the surface in contact with the base portion may be different (for example, (See FIG. 13).
FIG. 12 is a perspective view showing the uneven sheet B10 according to the first embodiment. A cylindrical convex portion 14 is provided on the sheet-like base portion 12.
FIG. 13 is a perspective view showing a concavo-convex sheet B20 according to the second embodiment. On the sheet-like base portion 12, a convex portion 15 having a shape in which a cone whose bottom surface is in contact with the base portion is cut by a plane parallel to the bottom surface (hereinafter also referred to as “trapezoidal cylindrical shape”) is provided.
FIG. 14 is a perspective view showing an uneven sheet B30 according to the third embodiment. A quadrangular prism-shaped convex portion 16 is provided on the sheet-like base portion 12.
FIG. 15 is a perspective view showing an uneven sheet B40 according to the fourth embodiment. A triangular prism-shaped convex portion 17 is provided on the sheet-like base portion 12.

本実施態様における基底部は、硬質樹脂からなる。
本実施態様において「硬質樹脂」とは、ヤング率が500MPa以上である樹脂をいう。
基底部に用いられる硬質樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、アクリル等が好ましく、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート、アクリルがより好ましく、ポリエチレンテレフタレート(PET)が特に好ましい。
The base part in this embodiment consists of hard resin.
In this embodiment, “hard resin” refers to a resin having a Young's modulus of 500 MPa or more.
The hard resin used for the base is preferably polyethylene terephthalate (PET), polyethylene, polystyrene, polypropylene, polycarbonate, acrylic, etc., more preferably polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate, acrylic, and particularly preferably polyethylene terephthalate (PET). .

本実施態様における凸部は、硬質樹脂からなる。
凸部に用いられる硬質樹脂としては、硬質熱可塑性樹脂、硬質UV硬化性樹脂が好ましく、硬質UV硬化性樹脂がより好ましい。
硬質熱可塑性樹脂としては、ポリカーボネート、硬質アクリルが好ましく、硬質アクリルがより好ましい。
硬質UV硬化性樹脂としては、アクリル系のUV硬化性樹脂が好ましい。
なお、本発明において「UV」とは、紫外線(Ultra Violet)を意味する。
The convex part in this embodiment consists of hard resin.
As hard resin used for a convex part, a hard thermoplastic resin and a hard UV curable resin are preferable, and a hard UV curable resin is more preferable.
As the hard thermoplastic resin, polycarbonate and hard acrylic are preferable, and hard acrylic is more preferable.
As the hard UV curable resin, an acrylic UV curable resin is preferable.
In the present invention, “UV” means ultraviolet (Ultra Violet).

本実施態様における凸部は、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、圧力により変形しない程度の硬さであることが好ましい。
凸部のヤング率は500MPa以上であることが好ましく、1000MPa以上であることがより好ましい。
本実施態様における凸部の基底部に平行な露出面としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、0.05mm〜20mmが好ましく、0.1mm〜5mmがより好ましい。
本実施態様における凸部の間隔としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、1mm〜10mmが好ましく、2mm〜5mmがより好ましい。
本実施態様における凸部の高さとしては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、0.05mm〜0.45mmが好ましく、0.1mm〜0.3mmがより好ましい。
本実施態様における凸部の密度としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、1個/mm〜100個/mmが好ましく、4個/mm〜25個/mmがより好ましい。
From the viewpoint of more effectively achieving the effects of the present invention, it is preferable that the convex portion in the present embodiment has a hardness that does not deform due to pressure.
The Young's modulus of the convex portion is preferably 500 MPa or more, and more preferably 1000 MPa or more.
As the exposed surface parallel to the base portion of the projecting portion in the present embodiment, from the viewpoint of the effect of the invention with greater effectiveness is preferably 0.05mm 2 ~20mm 2, 0.1mm 2 ~5mm 2 Gayori preferable.
The distance between the convex portions in the present embodiment is preferably 1 mm to 10 mm, more preferably 2 mm to 5 mm, from the viewpoint of more effectively achieving the effects of the present invention.
The height of the convex portion in this embodiment is preferably 0.05 mm to 0.45 mm, more preferably 0.1 mm to 0.3 mm, from the viewpoint of more effectively achieving the effects of the present invention.
The density of the convex portions in this embodiment is preferably 1 piece / mm 2 to 100 pieces / mm 2 from the viewpoint of more effectively achieving the effect of the present invention, and 4 pieces / mm 2 to 25 pieces / mm 2. Is more preferable.

<凹凸シートBの製造方法>
本実施態様における凹凸シートBの製造方法には特に限定はなく、フォトリソグラフィー方式を用いて製造する方法、熱プレス方式を用いて製造する方法、パターンロールとUV硬化樹脂とを用いて製造する方法等、種々の方法を用いることができる。
<Method for producing uneven sheet B>
The manufacturing method of the concavo-convex sheet B in this embodiment is not particularly limited, a method of manufacturing using a photolithography method, a method of manufacturing using a hot press method, a method of manufacturing using a pattern roll and a UV curable resin. Various methods can be used.

中でも、凹凸シートBの厚さを薄く、かつ、均一に形成できる点等からは、パターンロールとUV硬化樹脂とを用いて製造する方法が好ましい。例えば、凹凸シートBの凸部の反転パターン(凹部)が表面に形成されたパターンロールと、連続的に供給される基材との間に、UV硬化樹脂の前駆体であるモノマー溶液を供給し、供給されたモノマー溶液にUV光を照射してUV硬化樹脂からなる凸部を基材上に形成し、形成された凸部をパターンロールから剥離して凸部が形成された基材を得、さらに必要に応じ、該基材を巻き取る方法が好適である。   Among these, a method of manufacturing using a pattern roll and a UV curable resin is preferable from the viewpoint that the thickness of the uneven sheet B is thin and can be formed uniformly. For example, a monomer solution that is a precursor of a UV curable resin is supplied between a pattern roll on which the reverse pattern (concave portion) of the convex portion of the concave-convex sheet B is formed and a substrate that is continuously supplied. Irradiate the supplied monomer solution with UV light to form a convex portion made of UV curable resin on the base material, and peel the formed convex portion from the pattern roll to obtain a base material on which the convex portion is formed. Further, if necessary, a method of winding the substrate is suitable.

図16は、上記好ましい製造方法に用いられる凹凸シートB製造装置60を模式的に示した断面図である。
凹凸シートB製造装置60は、基底部となる基材42を連続的に搬送する搬送路の上流側から下流側に向かって、基材42を連続的に供給する供給ローラー22、供給された基材42を連続的に搬送する搬送ローラー24、搬送ローラー26、搬送ローラー28、及び基材42を巻き取るための巻き取りローラー32を有して構成される。さらに、基材42の搬送路を介して搬送ローラー24に対向する位置には塗布装置34が備えられており、UV硬化樹脂の前駆体であるモノマー溶液36を基材42上に付与できるようになっている。搬送ローラー26と搬送ローラー28との間には、円柱状のパターンロール50が備えられており、この間では基材42は、該パターンロール50の弧に沿って変形し、該パターンロールの回転に合わせて移動するようになっている。パターンロール50の表面には、製造する凹凸シートBの凸部の反転パターンである凹部41(図5中では、便宜上一部の凹部にのみ符号41を付す)が設けられている。また、基材42の搬送路を介してパターンロール50に対向する位置には、基材42上に供給されたモノマー溶液36を硬化するためのUV光源31が設けられている。
FIG. 16 is a cross-sectional view schematically showing the concavo-convex sheet B manufacturing apparatus 60 used in the preferable manufacturing method.
The concavo-convex sheet B manufacturing apparatus 60 includes a supply roller 22 that continuously supplies the base material 42 from the upstream side to the downstream side of the conveyance path that continuously conveys the base material 42 serving as a base, and the supplied base. The conveyance roller 24 which conveys the material 42 continuously, the conveyance roller 26, the conveyance roller 28, and the winding roller 32 for winding up the base material 42 are comprised. Further, a coating device 34 is provided at a position facing the transport roller 24 through the transport path of the base material 42 so that the monomer solution 36 that is a precursor of the UV curable resin can be applied onto the base material 42. It has become. Between the conveyance roller 26 and the conveyance roller 28, a cylindrical pattern roll 50 is provided. During this period, the base material 42 is deformed along the arc of the pattern roll 50, and the pattern roll rotates. It is designed to move together. The surface of the pattern roll 50 is provided with a recess 41 (in FIG. 5, only a part of the recesses are provided with a reference numeral 41 for convenience) that is a reverse pattern of the protrusions of the uneven sheet B to be manufactured. In addition, a UV light source 31 for curing the monomer solution 36 supplied on the substrate 42 is provided at a position facing the pattern roll 50 via the conveyance path of the substrate 42.

次に、凹凸シート製造装置60を用いて凹凸シートBを製造する方法について説明する。
まず、供給ローラー22により基材42を連続的に供給し、供給された基材42上に塗布装置34によりモノマー溶液36を連続的に塗布する。
基材42の幅(搬送方向Sに直交する方向についての長さ)は、200mm〜2000mmが好ましい。基材42の長さは、100m〜4000mが好ましい。基材42の厚さは、50μm〜450μmが好ましい。搬送速度は0.5m/min〜50m/minが好ましい。モノマー溶液36の塗布幅は、100mm〜1800mmが好ましく、モノマー溶液36の塗布量は、2ml/m〜200ml/mが好ましい。
Next, a method for manufacturing the concavo-convex sheet B using the concavo-convex sheet manufacturing apparatus 60 will be described.
First, the base material 42 is continuously supplied by the supply roller 22, and the monomer solution 36 is continuously applied on the supplied base material 42 by the coating device 34.
The width of the base material 42 (the length in the direction orthogonal to the transport direction S) is preferably 200 mm to 2000 mm. The length of the base material 42 is preferably 100 m to 4000 m. The thickness of the base material 42 is preferably 50 μm to 450 μm. The conveyance speed is preferably 0.5 m / min to 50 m / min. Coating width of the monomer solution 36 is preferably 100Mm~1800mm, the coating amount of the monomer solution 36, 2ml / m 2 ~200ml / m 2 is preferred.

モノマー溶液36が塗布された基材42は、搬送ローラー26を通過後、回転方向Rに回転するパターンロール50の弧に沿って変形し、該回転に合わせて搬送される。この際、モノマー溶液36は、パターンロール50表面の凹部41と基材42との間に充填される。
ここで、パターンロール50の回転速度は、基材42の搬送速度と等しくなっていることが好ましい。パターンロール50の直径は、100mm〜500mmが好ましく、パターンロール50の幅は、300mm〜2200mmが好ましい。
The base material 42 to which the monomer solution 36 is applied is deformed along the arc of the pattern roll 50 that rotates in the rotation direction R after passing through the conveyance roller 26 and is conveyed in accordance with the rotation. At this time, the monomer solution 36 is filled between the recess 41 on the surface of the pattern roll 50 and the substrate 42.
Here, the rotation speed of the pattern roll 50 is preferably equal to the conveyance speed of the substrate 42. The diameter of the pattern roll 50 is preferably 100 mm to 500 mm, and the width of the pattern roll 50 is preferably 300 mm to 2200 mm.

次に、パターンロール50の回転に合わせて移動する基材42及びモノマー溶液36に対し、UV光源31によりUV光(紫外光)を照射し、モノマー溶液36の硬化を行い、UV硬化樹脂からなる凸部44を基材42上に形成する。この際のUV照射量は、100mJ/cm〜2000mJ/cmが好ましい。 Next, UV light (ultraviolet light) is irradiated from the UV light source 31 to the base material 42 and the monomer solution 36 that move in accordance with the rotation of the pattern roll 50, and the monomer solution 36 is cured to be made of a UV curable resin. The convex portion 44 is formed on the base material 42. UV irradiation dose at this time, 100mJ / cm 2 ~2000mJ / cm 2 is preferred.

次に、基材42が搬送ローラー28を通過する際に、形成された凸部44を、パターンロール50から剥離する。凸部44が形成された基材42は、巻き取りローラー32によって巻き取る。
巻き取られた凸部44付き基材42は、用途に応じて適当な大きさに切断され、凹凸シートBとして用いられる。
なお、図5では、凸部44が円柱形状である場合を表しているが、上記凹凸シートの製造方法により製造できる凹凸シートBの凸部の形状は、円柱形状である場合に限られない。例えば、パターンロール50表面の凹部の形状を適宜変更することにより、凸部を、前述の台形円柱形状や三角柱形状、四角柱形状等、その他の形状に形成することができる。
Next, when the base material 42 passes the conveyance roller 28, the formed convex portion 44 is peeled off from the pattern roll 50. The base material 42 on which the convex portions 44 are formed is taken up by the take-up roller 32.
The wound base material 42 with the convex portion 44 is cut into an appropriate size according to the application and used as the uneven sheet B.
In addition, although the case where the convex part 44 is cylindrical shape is represented in FIG. 5, the shape of the convex part of the uneven | corrugated sheet B which can be manufactured with the manufacturing method of the said uneven sheet | seat is not restricted to a cylindrical shape. For example, by appropriately changing the shape of the concave portion on the surface of the pattern roll 50, the convex portion can be formed in other shapes such as the trapezoidal cylindrical shape, the triangular prism shape, and the quadrangular prism shape described above.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further more concretely, this invention is not limited to a following example. Unless otherwise specified, “part” is based on mass.

[実施例1]
(電子供与性無色染料シート(1)の作製)
−電子供与性無色染料前駆体内包マイクロカプセル液(A)の調製−
電子供与性無色染料として化合物(A)18質量部をイソプロピルビフェニル70質量部に溶解し溶液Aを得た。メチルエチルケトン1質量部に溶解したエチレンジアミンのブチレンオキシド付加物0.4質量部を、攪拌している溶液Aに加えて、溶液Bを得た。メチルエチルケトン1質量部に溶解したトリレンジイソシアナートのトリメチロールプロパン付加物2質量部を、攪拌している溶液Bに加えて、溶液Cを得た。水150質量部にポリビニルアルコール6質量部を溶解した溶液中に溶液Cを加えて、乳化分散した。前記乳化液に水300質量部を加え、攪拌しながら70℃まで加温し、1時間攪拌後冷却し、電子供与性無色染料を内包したマイクロカプセルを含む塗布液を得た。得られたマイクロカプセルの体積標準でのメジアン径は20μmであった。
[Example 1]
(Preparation of electron-donating colorless dye sheet (1))
-Preparation of electron-donating colorless dye precursor-encapsulated microcapsule solution (A)-
As an electron donating colorless dye, 18 parts by mass of the compound (A) was dissolved in 70 parts by mass of isopropyl biphenyl to obtain a solution A. 0.4 parts by mass of an ethylenediamine butylene oxide adduct dissolved in 1 part by mass of methyl ethyl ketone was added to the stirring solution A to obtain a solution B. A solution C was obtained by adding 2 parts by mass of a trimethylolpropane adduct of tolylene diisocyanate dissolved in 1 part by mass of methyl ethyl ketone to the solution B being stirred. Solution C was added to a solution obtained by dissolving 6 parts by mass of polyvinyl alcohol in 150 parts by mass of water, and emulsified and dispersed. 300 parts by weight of water was added to the emulsion, heated to 70 ° C. while stirring, stirred for 1 hour, and then cooled to obtain a coating liquid containing microcapsules encapsulating an electron-donating colorless dye. The median diameter of the obtained microcapsules based on the volume standard was 20 μm.

Figure 0005020037
Figure 0005020037

−電子供与性無色染料シート(1)の作製−
このマイクロカプセル塗布液を、厚さ75μmのポリエチレンテレフタレート(PET)シートの上に、乾燥後の質量が3.0g/mとなるように塗布乾燥して、電子供与性無色染料シート(1)を得た。
-Preparation of electron-donating colorless dye sheet (1)-
This microcapsule coating solution was applied and dried on a 75 μm-thick polyethylene terephthalate (PET) sheet so that the mass after drying was 3.0 g / m 2, and the electron-donating colorless dye sheet (1) Got.

(顕色剤シート(1)の作製)
−顕色剤含有塗布液の調製−
硫酸処理活性白土100質量部に40%水酸化ナトリウム水溶液5質量部、水300質量部を加えてホモジナイザーで分散し、さらにカゼインのナトリウム塩の10%水溶液50質量部、スチレンーブタジエンラテックス30質量部を添加して顕色剤(電子受容性化合物)含有塗布液を調製した。
−顕色剤シート(1)の作製−
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレート(PET)シートの上に、顕色剤含有塗布液を固形分塗布量が10g/mになるように塗布して、顕色剤シート(1)を得た。
(Preparation of developer sheet (1))
-Preparation of developer containing coating solution-
To 100 parts by weight of sulfuric acid-treated activated clay, 5 parts by weight of 40% aqueous sodium hydroxide and 300 parts by weight of water are added and dispersed with a homogenizer. Further, 50 parts by weight of 10% aqueous sodium salt of casein, 30 parts by weight of styrene-butadiene latex Was added to prepare a developer (electron-accepting compound) -containing coating solution.
-Production of developer sheet (1)-
On a 75 μm thick polyethylene terephthalate (PET) sheet, a developer-containing coating solution was applied so that the solid content coating amount was 10 g / m 2 to obtain a developer sheet (1).

(圧力測定用材料(1)の作製)
上記で得られた電子供与性無色染料シート(1)と顕色剤シート(1)とを、電子供与性無色染料シートの発色剤層の表面と顕色剤シートの顕色剤層の表面とが向き合うようにして重ね合わせて圧力測定用材料(1)を作製した。
(Preparation of pressure measurement material (1))
The electron donating colorless dye sheet (1) and the developer sheet (1) obtained above are obtained by combining the surface of the color former layer of the electron donating colorless dye sheet and the surface of the developer layer of the developer sheet. The materials for pressure measurement (1) were produced by superimposing them facing each other.

(凹凸シート(1)の作製)
図11に示す凹凸シートA製造装置60を用い、図10に示すような、硬質樹脂からなる基底部と軟質樹脂からなる凸部とを有する凹凸シート(1)を作製した。
まず、供給ローラー62により基材82を連続的に供給し、供給された基材82上に塗布装置74によりモノマー溶液76を連続的に塗布した。ここで、基材82としては、幅450mm、厚さ100μmのPET(ポリエチレンテレフタレート、以下同じ)フィルムを用いた。供給速度及び搬送速度は、2m/minとした。モノマー溶液76としては、アクリル系モノマーと光重合開始剤とをメチルエチルケトンで希釈して67質量%としたものを用いた(詳細な組成は以下のとおりである)。モノマー溶液76の塗布量は、90ml/mとし、塗布幅は300mmとした。
(Preparation of uneven sheet (1))
Using the concavo-convex sheet A manufacturing apparatus 60 shown in FIG. 11, a concavo-convex sheet (1) having a base portion made of a hard resin and a convex portion made of a soft resin as shown in FIG. 10 was produced.
First, the base material 82 was continuously supplied by the supply roller 62, and the monomer solution 76 was continuously applied on the supplied base material 82 by the coating device 74. Here, as the substrate 82, a PET (polyethylene terephthalate, hereinafter the same) film having a width of 450 mm and a thickness of 100 μm was used. The supply speed and the conveyance speed were 2 m / min. As the monomer solution 76, an acrylic monomer and a photopolymerization initiator diluted with methyl ethyl ketone to 67 mass% were used (detailed composition is as follows). The coating amount of the monomer solution 76 was 90 ml / m 2 and the coating width was 300 mm.

〜モノマー溶液の組成〜
・アクリル系モノマー ・・・ 66質量部
・光重合開始剤 ・・・ 1質量部
・メチルエチルケトン ・・・ 33質量部
~ Monomer solution composition ~
・ Acrylic monomer ・ ・ ・ 66 parts by mass ・ Photopolymerization initiator ・ ・ ・ 1 part by mass ・ Methyl ethyl ketone ・ ・ ・ 33 parts by mass

次に、モノマー溶液76が塗布された基材82をパターンロール80の弧に密着させ、モノマー溶液76を、パターンロール80表面の凹部81と基材82との間に充填しながらパターンロール80を2m/minの速度で回転させた。パターンロール80としては、φ350mm、幅(回転軸方向の長さ)500mmのパターンロールを用いた。   Next, the base material 82 coated with the monomer solution 76 is brought into close contact with the arc of the pattern roll 80, and the pattern roll 80 is applied while filling the monomer solution 76 between the concave portion 81 on the surface of the pattern roll 80 and the base material 82. It was rotated at a speed of 2 m / min. As the pattern roll 80, a pattern roll having a diameter of 350 mm and a width (length in the rotation axis direction) of 500 mm was used.

次に、基材82及びモノマー溶液76に対し、UV光源70によりUV光(紫外光、波長365nm)を照射し、モノマー溶液76の硬化を行い、アクリル系UV硬化樹脂からなる凸部84を形成した。UV照射量は1000mJ/cmとした。 Next, the base material 82 and the monomer solution 76 are irradiated with UV light (ultraviolet light, wavelength 365 nm) from the UV light source 70 to cure the monomer solution 76 to form a convex portion 84 made of an acrylic UV curable resin. did. The UV irradiation amount was 1000 mJ / cm 2 .

次に、基材82が搬送ローラー68を通過する際に、形成された凸部84を、パターンロール80から剥離した。更に、凸部84が形成された基材82(凹凸シート(1))を、巻き取りローラー72によって巻き取った。   Next, when the base material 82 passed the conveyance roller 68, the formed convex portion 84 was peeled from the pattern roll 80. Furthermore, the base material 82 (concave / convex sheet (1)) on which the convex portions 84 were formed was wound up by the winding roller 72.

以上により、凹凸シート(1)を得た。
得られた凹凸シート(1)の基底部の厚みは0.1mmであり、総厚は0.3mmであった。また、凸部の形状は、頂角151.93°、高さ0.2mmの円錐形であった。凸部は、2mm間隔の格子状に配置されていた。凸部の硬化後のヤング率を、テンシロン(オリエンテック製 RTM−50)によって測定したところ、1MPaであった。
Thus, an uneven sheet (1) was obtained.
The thickness of the base part of the obtained uneven sheet (1) was 0.1 mm, and the total thickness was 0.3 mm. Further, the shape of the convex portion was a conical shape having an apex angle of 151.93 ° and a height of 0.2 mm. The convex portions were arranged in a lattice shape with an interval of 2 mm. The Young's modulus after the convex portion was cured was measured by Tensilon (RTM-50 manufactured by Orientec Co., Ltd.) and found to be 1 MPa.

(評価・測定)
図1に示した真空圧により2枚のガラス基板を貼り合せる装置のエア抜きエンボスシート107と、ガラス基板104全面との間に、上記で得られた圧力測定用材料を挟み込んだ後、チャンバー内の圧力が0.02MPaになるまで真空ポンプで吸引し、その後真空を解除し、圧力測定用材料を取り出し、重ね合わせた前記両シートを剥離して発色状態を調べた。
エアー抜きエンボスシートの跡はついたが、均一に発色し、バランスよく加圧されていることが、確認された。
(Evaluation / Measurement)
The material for pressure measurement obtained above is sandwiched between the air vent embossing sheet 107 of the apparatus for bonding two glass substrates by the vacuum pressure shown in FIG. The pressure was sucked with a vacuum pump until the pressure became 0.02 MPa, and then the vacuum was released, the pressure measuring material was taken out, and the two superimposed sheets were peeled to examine the color development state.
Although there was a trace of the air vent embossed sheet, it was confirmed that it was uniformly colored and pressed in a well-balanced manner.

[実施例2]
実施例1において、図1におけるUV硬化樹脂を取り除き、2枚のガラス基板(104と106)間の位置に、実施例1と同様に作製した圧力測定用材料(1)を挟み、チャンバー内の圧力が0.02MPaとなるまで真空ポンプで吸引した。
実施例1と同様にして、圧力測定用材料の発色状況を調べた。
前記圧力測定用材料が均一に発色していることにより、圧力が均一に加わっていることが確認できたが、エア抜けによる発色ムラが一部に見られた。
[Example 2]
In Example 1, the UV curable resin in FIG. 1 was removed, and the pressure measurement material (1) produced in the same manner as in Example 1 was sandwiched between the two glass substrates (104 and 106). Suction was performed with a vacuum pump until the pressure reached 0.02 MPa.
In the same manner as in Example 1, the color development state of the pressure measurement material was examined.
Although it was confirmed that the pressure measurement material was uniformly colored, it was confirmed that the pressure was uniformly applied, but uneven coloring due to air leakage was partially observed.

[実施例3]
実施例2において、2枚のガラス基板(104と106)間の位置に、圧力測定用材料(1)と凹凸シート(1)を挟み、実施例2と同様にチャンバー内の圧力が0.02MPaとなるまで真空ポンプで吸引した。
実施例2と同様にして、圧力測定用材料の発色状況を調べた。
前記圧力測定用材料が、片側で濃く発色していることにより、圧力バランスが悪いことが分かった。ガラス基板の位置精度を見直した。
発色は実施例2よりは鮮明で、凹凸シート(1)の間隙より、エアが抜ける為、エア抜けムラも無かった。
ガラス板の位置精度を調整後、上記と同様の操作を行い、圧力測定用材料の発色状況を調べた。
圧力測定用材料が均一に発色しており、バランスよく加圧されていることでガラス板の位置精度調整が良好であることが確認できた。
[Example 3]
In Example 2, the pressure measurement material (1) and the concavo-convex sheet (1) are sandwiched between the two glass substrates (104 and 106), and the pressure in the chamber is 0.02 MPa as in Example 2. Suction was performed with a vacuum pump until
In the same manner as in Example 2, the color development state of the pressure measurement material was examined.
It was found that the pressure balance was poor because the pressure measuring material was darkly colored on one side. The position accuracy of the glass substrate was reviewed.
The color development was clearer than in Example 2, and air escaped from the gaps between the concavo-convex sheet (1).
After adjusting the positional accuracy of the glass plate, the same operation as described above was performed, and the color development state of the pressure measurement material was examined.
It was confirmed that the position measurement of the glass plate was well adjusted because the pressure measuring material was uniformly colored and pressed in a balanced manner.

[比較例1]
実施例1において、実施例1で得られた圧力測定用材料を用いる代わりに、特公昭57−24852号公報に記載の実施例1の方法にて作製した圧力測定用材料を用いた以外は同様に行って発色状態を調べた。
前記圧力測定用材料は、ほとんど発色しておらず、圧力分布を調べることができなかった。
[Comparative Example 1]
In Example 1, instead of using the pressure measurement material obtained in Example 1, the same applies except that the pressure measurement material produced by the method of Example 1 described in JP-B-57-24852 is used. Then, the state of color development was examined.
The pressure measuring material was hardly colored and the pressure distribution could not be examined.

[比較例2]
実施例1において、実施例1で得られた圧力測定用材料を用いる代わりに、ニッタ株式会社 タクタイルセンサー BIG−MAT1300を用いた以外は同様に行って発色状態を調べた。尚、該真空システムはクローズド系なので、真空ポンプで吸引中は解析システムと接続することはできなかった。
該BIG−MAT1300を取り出し、解析システムに接続したが、何ら情報を読み取ることができなかった。
[Comparative Example 2]
In Example 1, instead of using the pressure measurement material obtained in Example 1, the color development state was examined in the same manner except that NITTA Corporation Tactile Sensor BIG-MAT1300 was used. Since the vacuum system is a closed system, it could not be connected to the analysis system during suction with a vacuum pump.
The BIG-MAT 1300 was taken out and connected to the analysis system, but no information could be read.

本発明の一実施形態における低圧時の様子を概念的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed notionally the mode at the time of the low voltage | pressure in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態における凹凸シートを示した斜視図である。It is the perspective view which showed the uneven | corrugated sheet in one Embodiment of this invention. (A)は本発明の一実施形態における低圧時の様子を概念的に示した断面図であり、(B)は(A)における圧力測定用材料の平面図である。(A) is sectional drawing which showed notionally the mode at the time of the low pressure in one Embodiment of this invention, (B) is a top view of the material for pressure measurements in (A). (A)は本発明の一実施形態における中圧時の様子を概念的に示した断面図であり、(B)は(A)における圧力測定用材料の平面図である。(A) is sectional drawing which showed notably the mode at the time of the intermediate pressure in one Embodiment of this invention, (B) is a top view of the material for pressure measurements in (A). (A)は本発明の一実施形態における高圧時の様子を概念的に示した断面図であり、(B)は(A)における圧力測定用材料の平面図である。(A) is sectional drawing which showed notably the mode at the time of the high voltage | pressure in one Embodiment of this invention, (B) is a top view of the material for pressure measurements in (A). 本発明の一実施形態における圧力測定用材料の例を示した平面図である。It is the top view which showed the example of the material for pressure measurements in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態における圧力画像解析装置の構成を概念的に示した図である。It is the figure which showed notionally the structure of the pressure image analyzer in one Embodiment of this invention. (A)本発明の一実施形態における圧力測定結果を2次元的に示した図であり、(B)は(A)のA−A線に沿った圧力測定結果である。(A) It is the figure which showed the pressure measurement result in one Embodiment of this invention two-dimensionally, (B) is a pressure measurement result along the AA line of (A). 本発明の一実施形態における凹凸シートを模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed typically the uneven | corrugated sheet in one Embodiment of this invention. 本発明の別の実施形態における凹凸シートを模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed typically the uneven | corrugated sheet in another embodiment of this invention. 本発明の一実施形態における、凹凸シートの好ましい製造方法に用いられる凹凸シート製造装置を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed typically the uneven | corrugated sheet manufacturing apparatus used for the preferable manufacturing method of an uneven | corrugated sheet in one Embodiment of this invention. 第1の実施形態に係る凹凸シートを示した斜視図である。It is the perspective view which showed the uneven | corrugated sheet which concerns on 1st Embodiment. 第2の実施形態に係る凹凸シートを示した斜視図である。It is the perspective view which showed the uneven | corrugated sheet which concerns on 2nd Embodiment. 第3の実施形態に係る凹凸シートを示した斜視図である。It is the perspective view which showed the uneven | corrugated sheet which concerns on 3rd Embodiment. 第4の実施形態に係る凹凸シートを示した斜視図である。It is the perspective view which showed the uneven | corrugated sheet which concerns on 4th Embodiment. 本発明の凹凸シートの製造方法に用いられる凹凸シート製造装置の例を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed typically the example of the uneven | corrugated sheet manufacturing apparatus used for the manufacturing method of the uneven | corrugated sheet of this invention. (A)は本発明の一実施形態における低圧時の様子を概念的に示した断面図であり、(B)は(A)における圧力測定用材料の平面図である。(A) is sectional drawing which showed notionally the mode at the time of the low pressure in one Embodiment of this invention, (B) is a top view of the material for pressure measurements in (A). (A)は本発明の一実施形態における中圧時の様子を概念的に示した断面図であり、(B)は(A)における圧力測定用材料の平面図である。(A) is sectional drawing which showed notably the mode at the time of the intermediate pressure in one Embodiment of this invention, (B) is a top view of the material for pressure measurements in (A). (A)は本発明の一実施形態における高圧時の様子を概念的に示した断面図であり、(B)は(A)における圧力測定用材料の平面図である。(A) is sectional drawing which showed notably the mode at the time of the high voltage | pressure in one Embodiment of this invention, (B) is a top view of the material for pressure measurements in (A). 本発明の一実施形態における圧力測定用材料の例を示した平面図である。It is the top view which showed the example of the material for pressure measurements in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態における圧力画像解析装置の構成を概念的に示した図である。It is the figure which showed notionally the structure of the pressure image analyzer in one Embodiment of this invention. (A)本発明の一実施形態における圧力測定結果を2次元的に示した図であり、(B)は、(A)のA−A線に沿った圧力測定結果である。(A) It is the figure which showed the pressure measurement result in one Embodiment of this invention two-dimensionally, (B) is a pressure measurement result along the AA line of (A).

符号の説明Explanation of symbols

10、20、30、40、52、54、70 凹凸シートA又はB
12 基底部
14、15、16、17、44、74、84 凸部
20、22、61、62 被測定物
24、64 圧力測定用材料
28、68 発色領域
30 スキャナー
60 凹凸シートA又はB製造装置
100 真空圧着装置
102 圧力測定用材料
104,106 被測定物
107、108 エア抜きエンボスシート
110 真空チャンバー
112 UV硬化樹脂
V 減圧口
10, 20, 30, 40, 52, 54, 70 Uneven sheet A or B
12 Base part 14, 15, 16, 17, 44, 74, 84 Convex part 20, 22, 61, 62 Object to be measured 24, 64 Pressure measuring material 28, 68 Color development area 30 Scanner 60 Concavity and convexity sheet A or B manufacturing apparatus DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Vacuum pressure bonding apparatus 102 Pressure measuring material 104,106 Measured object 107,108 Air release embossed sheet 110 Vacuum chamber 112 UV curable resin V Depressurization port

Claims (5)

マイクロカプセルに内包された電子供与性無色染料前駆体と前記電子供与性無色染料前駆体を発色させる電子受容性化合物とを含み、前記マイクロカプセルの体積標準のメジアン径がAμmであるときに、直径(A+5)μm以上のマイクロカプセルが2cm×2cm当たり5000〜30000個存在し、0.1MPa以下の圧力範囲の測定が可能な圧力測定用材料を用いて、真空圧着における圧力分布を測定することを特徴とする圧力分布測定方法。 When the electron-donating colorless dye precursor encapsulated in the microcapsule and an electron-accepting compound that develops the color of the electron-donating colorless dye precursor, the diameter when the median diameter of the microcapsule volume standard is A μm (A + 5) There are 5000 to 30000 microcapsules of 2 μm × 2 cm or more, and the pressure distribution in vacuum pressure bonding is measured using a pressure measurement material capable of measuring a pressure range of 0.1 MPa or less. A characteristic pressure distribution measuring method. 記マイクロカプセルはδ/D=1.0×10−3〜2.0×10−2〔δ:マクロカプセルの数平均壁厚(μm)、D:マイクロカプセルの体積標準のメジアン径(μm)〕の関係を満たすことを特徴とする請求項1に記載の圧力分布測定方法。 Before KOR microcapsules is δ / D = 1.0 × 10 -3 ~2.0 × 10 -2 [[delta]: Macro number average wall thickness of the capsule ([mu] m), D: the volume standard microcapsules median diameter ( The pressure distribution measuring method according to claim 1, wherein the relationship of μm)] is satisfied. 前記圧力測定用材料が、0.05MPaでの加圧前後における発色濃度差ΔDが0.02以上であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧力分布測定方法。   The pressure distribution measuring method according to claim 1 or 2, wherein the pressure measuring material has a color density difference ΔD before and after pressurizing at 0.05 MPa of 0.02 or more. 前記マイクロカプセルの体積標準のメジアン径A(μm)が10〜40μmであることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の圧力分布測定方法。 4. The pressure distribution measuring method according to claim 1, wherein the volume standard median diameter A (μm) of the microcapsule is 10 to 40 μm. 5. 下記条件(A)又は(B)を満たす凹凸シートを更に用い、前記凹凸シートの凸部が前記圧力測定用材料に接触するように配置して測定することを特徴とする請求項1〜請求項のいずれか1項に記載の圧力分布測定方法。
<条件:(A)>
厚さ0.05mm以上の基底部上に軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有し、総厚0.5mm以下であり、加圧により形成した発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める場合に、前記スキャナーの読み取り解像度をI、前記スキャナーによる読み取り階調数をN、前記凸部の高さをH、前記凸部の頂角をθ、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径をDmaxとしたとき、
tan(θ/2)=I×(N+1)/(2×H)かつDmax≧I×(N+1)の関係を満たす。
<条件:(B)>
硬質樹脂からなる厚さ0.05mm以上の基底部上に、該基底部に平行な露出面を有する硬質樹脂からなる凸部を複数有し、総厚0.5mm以下であり、前記露出面の面積をS、前記複数の凸部間の間隔をL、圧力測定用材料と共に用いて圧力測定を行う場合の圧力測定下限に対する前記圧力測定用材料の圧力測定下限の比をRとしたとき、
S=(L×L)/Rの関係を満たす。
The concavo-convex sheet satisfying the following condition (A) or (B) is further used, and the convex part of the concavo-convex sheet is arranged and measured so as to be in contact with the pressure measuring material. 5. The pressure distribution measuring method according to any one of 4 above.
<Condition: (A)>
When there is a conical convex part made of soft resin on the base part with a thickness of 0.05 mm or more, the total thickness is 0.5 mm or less, and the color development area formed by pressing is read with a scanner to obtain the pressure The reading resolution of the scanner is I, the number of gradations read by the scanner is N, the height of the convex portion is H, the apex angle of the convex portion is θ, and the pressurization is the measurement lower limit of the material for pressure measurement When the diameter of the color-development region when performed under pressure is D max ,
tan (θ / 2) = I × (N + 1) / (2 × H) and D max ≧ I × (N + 1) is satisfied.
<Condition: (B)>
On the base portion having a thickness of 0.05 mm or more made of hard resin, there are a plurality of convex portions made of hard resin having an exposed surface parallel to the base portion, and the total thickness is 0.5 mm or less. When the area is S, the interval between the plurality of convex portions is L, and the ratio of the pressure measurement lower limit of the pressure measurement material to the pressure measurement lower limit when the pressure measurement is performed using the pressure measurement material is R,
The relationship of S = (L × L) / R is satisfied.
JP2007304925A 2007-11-26 2007-11-26 Pressure distribution measurement method Active JP5020037B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007304925A JP5020037B2 (en) 2007-11-26 2007-11-26 Pressure distribution measurement method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007304925A JP5020037B2 (en) 2007-11-26 2007-11-26 Pressure distribution measurement method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009128248A JP2009128248A (en) 2009-06-11
JP5020037B2 true JP5020037B2 (en) 2012-09-05

Family

ID=40819318

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007304925A Active JP5020037B2 (en) 2007-11-26 2007-11-26 Pressure distribution measurement method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5020037B2 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG194935A1 (en) * 2011-06-06 2013-12-30 Ev Group E Thallner Gmbh Method and device for determining the pressure distribution for bonding
CN110144056B (en) * 2018-02-11 2022-03-29 保定乐凯新材料股份有限公司 Color film with special formula, pressure test film and preparation method thereof
CN108373548B (en) * 2018-02-11 2022-03-29 保定乐凯新材料股份有限公司 Color film with concave-convex structure, pressure test film and preparation method thereof
WO2021235364A1 (en) * 2020-05-22 2021-11-25 富士フイルム株式会社 Surface pressure analysis device, method, and program

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0325180Y2 (en) * 1985-01-30 1991-05-31
JPH06331467A (en) * 1993-05-19 1994-12-02 Fujitsu Ltd Pressure measuring film and pressure measuring method
JPH09329513A (en) * 1996-06-11 1997-12-22 Fuji Photo Film Co Ltd Pressure measuring method, and device therefor
JPH1062276A (en) * 1996-08-21 1998-03-06 Fuji Photo Film Co Ltd Method and apparatus for measuring pressure
JP2003040656A (en) * 2001-07-30 2003-02-13 Sekisui Chem Co Ltd Laminated glass and its manufacturing process

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009128248A (en) 2009-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI396836B (en) Material for pressure measurement
JP4986749B2 (en) Material for pressure measurement
JP5014096B2 (en) Material for pressure measurement
JP2009063512A (en) Material for pressure measurement
CN109791079B (en) Material composition for pressure measurement, material for pressure measurement, and material set for pressure measurement
JP7438139B2 (en) Pressure measurement material and method for producing pressure measurement material
JP5020037B2 (en) Pressure distribution measurement method
WO2018221169A1 (en) Pressure measurement material
JP5142646B2 (en) Pressure measurement method
JP5258238B2 (en) Uneven sheet and pressure measuring method
JP5258236B2 (en) Material for pressure measurement
JP5334393B2 (en) Method for manufacturing film coating material
US11230130B2 (en) Material composition for pressure measurement, material for pressure measurement, and material set for pressure measurement
JP2009014493A (en) Pressure measuring material
TWI842080B (en) Material for pressure measurement and pressure measurement material set

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100714

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120222

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120306

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120427

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120522

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120612

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5020037

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150622

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250