JP5009816B2 - 流出セルバルブ - Google Patents
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Description
本願は、2005年2月22日に出願された米国仮特許出願第60/655,124号の利益を享受し、引用を持って本願への記載加入とする。
本発明は、真空蒸着に関し、特に流出タイプ(effusion-type)の蒸着セルに用いられるバルブに関する。
真空蒸着技術は、基質上に異なるタイプの材料を蒸着して薄いフィルムを形成するのに用いられる。一体の金属針バルブ又は移動可能な金属シャッタで溶剤を調節する蒸気源は、分子線エピキタシ(MBE)の技術分野で公知である。固体又は融解した源(ソース)材料及び生成した蒸気の大部分は、高温度では金属と反応する。それ故に、金属バルブ又は金属シャッタを用いる現在使われているMBE源は、少数の比較的非反応源材料に対してしかみ用いられない。
ソース材料と格納容器又はバルブ要素との間に反応があれば、薄いフィルムは汚染される。
本発明は、セラミックルツボ及びバルブアセンブリを含む熱蒸発源である。貯蔵庫及びバルブアセンブリは、抵抗で加熱される(resistively heated)フィラメントを用いて輻射加熱される。熱遮蔽金属ホイル及び支持セラミック片は、別個の熱ゾーンを作るように構成される。各熱ゾーンの温度は、各熱ゾーンに特有の熱電対又は高温計を用いて一般に監視される。温度制御デバイスが、ゾーンの温度を監視し、フィラメントに供給される電力を調整するのに用いられ、発明品に所望の熱勾配を加える。発明品に必要な熱プロフィールが加えられた後に、源から蒸発する上記の流れは、源の頂部にあるセラミックプラグ内に位置するセラミック針の位置を更に調整することにより、調節される。バルブの位置は一般に、マイクロメータ、又はステッパモータ又はサーボモータ及び位置エンコーダのような他のマイクロ位置デバイスを用いて正確に制御される。
図1−図4は、本発明の実施例に従った流出セル(10)を示す。図1及び図2に於いて、流出セル(10)は外囲い無しで示され、一方、図3及び図4に於いて、円筒状の囲い(11)が示される。囲いは、例えばタンタルのような任意の適切な材料から形成され、内側及び外側のタンタルスリーブは、隆起のあるタンタル箔の絶縁層によって分離されている。
流出セル(10)は、図3及び図4に示す、黒鉛、炭化ケイ素又はその他同種のような材料で作られるルツボ(12)を含む。ルツボ(12)には開放端(16)を備えたルツボ室(14)がある。
孔、即ち開口(19)があるバルブシート(18)は、圧入、ネジ接続即ちファスナのような手段によってルツボ(12)の開放端(16)に取り付けられる。ルツボ(12)は内径CDを有し、その一方、バルブシートの開口(19)は、直径ADを有する。
一実施例に於いて、AD:CDの比は、比較的大きく、例えば0.2:1より大きく、一般には0.5:1より大きい。しかし、いくつかの応用例には、0.1:1又は0.01:1と同じくらいのより低いAD:CDの比が用いられ得る。
アクチュエータ棒(34)(35)は、アクチュエータ棒(34)(35)の端部上にてネジが切られたナットのような、ファスナー(36)(37)によって、耳部(32)(33)に取り付けられている。
バネ付勢されたカップリング(38)は、アクチュエータ棒(34)(35)とバルブコントローラ(図示せず)の間に接続され、バルブコントローラはアクチュエータ棒(34)(35)の軸方向の移動を制御して、バルブシート(18)に対してバルブディスク(30)を選択的に開閉する。バネ付勢されたカップリング(38)は、バルブシート(18)とバルブディスク(30)が互いに接したときに、損傷することから保護する。本発明の流出セルバルブに使用され得るバルブコントローラの一例は、米国特許第6,162,300号に示される。バルブコントローラにより、真空の外からバルブ位置が正確に制御されることができる。
バルブシート(18)、出口ノズル(20)及びバルブディスク(30)についての他の適切な材料は、熱分解性の窒化ホウ素、炭化ケイ素のようなセラミックス及び/又はアルミナ、酸化マグネシウム等のような金属酸化物を含む。
バルブディスク(130)は、底面とディスクの円錐形の着座面の間の縁にて、入口直径DIDを有する。バルブ・ディスク(130)は出口直径DOD及び厚さDTを有する。
バルブ・ディスク(230)は、平坦で、バルブが閉じているときに、バルブシート(218)の円錐形の環状凹部に受け入れられる底面から延びる隆起したリングを具えた筒状形を呈している。バルブ・ディスク(230)は、出口径に等しい内径DIDを有する。バルブ・ディスク(230)は、厚さDTを有する。
材料蒸着フラックスを調節しながら、略一定の温度を維持する能力は、例えば、異なる蒸着速度に切り換わる場合に、温度調節が必要だった従来のMBE技術に対して改良されたことを示す。
これは材料減耗の影響により、蒸着速度がわずかに低下することが見られるバルブ無しの流出セルで見られた結果よりよかった。
Claims (8)
- 内部室(14)と開放端(16)を有するルツボ(12)と、
ルツボ(12)の開放端(16)に隣接して、ルツボ(12)の開放端(16)と流体が流通可能な開口(19)(119)(219)と、開口(19)(119)(219)を囲む着座面とを具えるバルブシート(18)(118)(218)と、
バルブシート(18)(118)(218)から下流側にある出口ノズル(20)(120)(220)と、
着座面を具えたバルブディスク(30)(130)(230)であって、バルブディスク(30)(130)(230)は流出セル(10)の長手方向に沿って、バルブシート(18)(118)(218)の着座面とバルブディスク(30)(130)(230)の着座面とが互いに接する閉位置から、バルブシート(18)(118)(218)の着座面とバルブディスク(30)(130)(230)の着座面が外れる開位置まで、出口ノズル(20)(120)(220)の内側にて軸方向に移動可能なバルブディスクを具えており、
バルブシート(18)(118)(218)が閉位置にある場合に互いに接するバルブシート(18)(118)(218)の着座面及びバルブディスク(30)(130)(230)の着座面の少なくとも一部は、略平面である流出セルバルブ。 - バルブシート(18)(218)の着座面の少なくとも一部は、略平面である、請求項1に記載の流出セルバルブ。
- バルブシート(18)(218)及びバルブディスク(30)(230)の略平面の着座面は、流出セル(10)の長手方向に略直交した面内にある、請求項2に記載の流出セルバルブ。
- バルブディスク(30)(230)は、テーパ状の側部を有する、請求項1に記載の流出セルバルブ。
- 出口ノズル(20)(120)(220)は、内径NIDを有し、バルブディスク(30)(130)(230)は内径DIDを有し、DID:NIDの比は、0.3:1よりも大きい、請求項1に記載の流出セルバルブ。
- 出口ノズル(20)(120)(220)とバルブシート(18)(118)(218)は一体である、請求項1に記載の流出セルバルブ。
- 内部室(14)と開放端(16)を有し、内径CDを有するルツボ(12)と、
ルツボ(12)の開放端(16)に隣接しており、着座面と、直径ADを有してルツボ(12)の開放端(16)と流体が流通可能な1つの開口(19)(119)(219)とを具えており、着座面は、その開口の半径方向の外にあるバルブシート(18)(118)(218)と、
内径DIDを有しており、着座面を有するバルブディスク(30)(130)(230)とを有しており、
バルブディスク(30)(130)(230)は、流出セル(10)の長手方向に沿って、バルブシート(18)(118)(218)の着座面とバルブディスク(30)(130)(230)の着座面とが互いに接する閉位置から、バルブシート(18)(118)(218)の着座面とバルブディスク(30)(130)(230)の着座面が外れる開位置まで、軸方向に移動可能であり、
バルブシート(18)(118)(218)の着座面及びバルブディスク(30)(130)(230)の着座面の少なくとも一部は、略平面であり、
AD:CDの比及び/又はDID:CDの比は0.1:1よりも大きい流出セルバルブ。 - 内部室(14)と開放端(16)を有するルツボ(12)と、
ルツボ(12)の開放端(16)に隣接して、ルツボ(12)の開放端(16)と流体が流通可能な開口(19)(119)(219)を具えたバルブシート(18)(118)(218)と、
バルブシート(18)(118)(218)に対して移動可能であり、開口(19)(119)(219)を開閉するバルブ部材(30)(130)(230)と、
バルブシートの開口(19)(119)(219)から下流に位置する出口ノズル(20)を具え、
バルブシート(18)(118)(218)、バルブ部材(30)(130)(230)及び出口ノズル(20)(120)(220)の少なくとも1つは、カーボン含有材料で被覆された切削加工されたグラファイトから構成され、
バルブ部材(30)(130)(230)は、出口ノズル(20)(120)(220)の内側にて軸方向に移動可能であり、
バルブシート(18)(118)(218)が閉位置にある場合に互いに接するバルブシート(18)(118)(218)の着座面及びバルブディスク(30)(130)(230)の着座面の少なくとも一部は、略平面である流出セルバルブ。
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