JP5001398B2 - Diamond scribing tool and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明はダイヤモンドを用いたスクライビング工具に関するものである。   The present invention relates to a scribing tool using diamond.

従来、板ガラスを切断するためにはスクライビングを行い、その後スクライブラインに沿ってガラス板を分断することによって切断している。対象となるガラス板の厚さは、例えば、建材用・自動車用の比較的厚いガラスから、液晶テレビ等の大型、携帯電話用等の小面積の貼り合わせガラス板まで種々ある。特に携帯電話等の小型のガラス板では厚さが薄くなるという傾向がある。薄いガラス板を切断する場合には、不整破断を抑止する為にスクライブ荷重を小さくする必要があり、この為にはスクライビングホイールの径を小さくする必要があった。しかし、スクライビングホイールは外径がφ1mm程度のものが最小であり、これより小さくすることが難しいという欠点があった。   Conventionally, in order to cut a plate glass, scribing is performed, and then the glass plate is cut along a scribe line. The target glass plate has various thicknesses, for example, from relatively thick glass for building materials and automobiles to large-sized laminated glass plates for liquid crystal televisions and the like, and small-sized laminated glass plates for mobile phones and the like. In particular, a small glass plate such as a mobile phone tends to be thin. In the case of cutting a thin glass plate, it is necessary to reduce the scribe load in order to suppress irregular fracture, and for this purpose, it is necessary to reduce the diameter of the scribing wheel. However, the smallest scribing wheel has an outer diameter of about φ1 mm, and it is difficult to make the scribing wheel smaller than this.

一方、シリコン半導体やサファイアの割断などでは、天然ダイヤモンドによるダイヤモンドポイントを使ったスクライビング工具が用いられている。この天然ダイヤモンドによるダイヤモンドポイントを使った工具は、薄板ガラスの割断においても接触円径を小さく出来るので有用であると期待される。産出される天然ダイヤモンドの中では、最も出現頻度の高いものは図1(a)に示すように8個の正三角形で構成される8面体結晶であり、次に出現頻度の高い基本形は図1(b)に示すように菱形の面が12個集まってできる12面体結晶である。又これらより出現頻度が低いが、正四角形が6個集まってできた正6面体結晶(図1(c))があり、その6面体結晶の面は6面体面又は(100)面と呼ばれる。図1(d)は立方体と正8面体が組み合わされた結晶である。   On the other hand, scribing tools using diamond points made of natural diamond are used for cleaving silicon semiconductors and sapphire. This tool using diamond points made of natural diamond is expected to be useful because the contact circle diameter can be reduced even in the cutting of thin glass. Among the natural diamonds produced, the most frequently occurring natural diamond is an octahedral crystal composed of eight equilateral triangles as shown in FIG. 1A, and the next most frequently occurring basic shape is shown in FIG. As shown in (b), it is a dodecahedron crystal formed by collecting 12 rhombus faces. There is a regular hexahedron crystal (FIG. 1 (c)), which has a lower frequency of appearance than these, but is formed of six regular tetragons, and the plane of the hexahedron crystal is called a hexahedron plane or (100) plane. FIG. 1D shows a crystal in which a cube and a regular octahedron are combined.

板ガラスをスクライブする用途では、従来より1/70〜1/80カラットの天然ダイヤモンドが用いられている。特許文献1では直交する3軸を1つの工具の取付軸に対応するように台金に接合したスクライビング工具が示されている。接合後、取付軸の方向にダイヤモンドを研磨して(100)面を形成し、(100)面と8面体(111)面とが交差する1つのポイントがスクライブポイントとなるように研磨して用いる。6面体面((100)面)と8面体面((111)面)とが交差する4つの面を研磨して使う工具を4ポイントツールという。   Conventionally, natural diamond of 1/70 to 1/80 carat has been used for scribing plate glass. Patent Document 1 discloses a scribing tool in which three orthogonal axes are joined to a base so as to correspond to an attachment axis of one tool. After joining, the diamond is polished in the direction of the mounting axis to form the (100) plane, and polished and used so that one point where the (100) plane and the octahedral (111) plane intersect becomes the scribe point. . A tool used by polishing four surfaces intersecting a hexahedral surface ((100) surface) and an octahedral surface ((111) surface) is called a four-point tool.

従来では(100)面を検知して研磨したダイヤモンドをシャンクに接合する作業は熟練作業者の技量に頼っていた。従って天然ダイヤモンドを用いたスクライビング工具において、軸方向にダイヤモンドを研磨して形成された面と(100)面の傾きは1.1°〜5.8°とばらつくことが避けられなかった。   Conventionally, the operation of joining the polished diamond to the shank by detecting the (100) plane relies on the skill of a skilled worker. Therefore, in a scribing tool using natural diamond, it is inevitable that the inclination of the surface formed by polishing diamond in the axial direction and the (100) plane varies from 1.1 ° to 5.8 °.

特公昭47−20236号公報Japanese Patent Publication No. 47-20236

本発明はこのような問題点に着目してなされたものであって、合成ダイヤモンドを用い(100)面と軸方向にダイヤモンドを研磨して形成した面との傾きを少なくしてシャンクに保持でき、製造が容易で高性能が得られるようにすることを技術的課題とする。   The present invention has been made paying attention to such problems, and can be held in the shank by reducing the inclination between the (100) plane using synthetic diamond and the plane formed by polishing diamond in the axial direction. Therefore, it is a technical problem to make it easy to manufacture and to obtain high performance.

この課題を解決するために、本発明のダイヤモンドスクライビング工具は、第1の(100)面及び前記第1の(100)面に平行な第2の(100)面を有し、前記第1の(100)面と隣接する少なくとも2面の(111)面との交点をポイントとする合成ダイヤモンド砥粒と、先端に座ぐり穴を有するシャンクと、前記シャンクの座ぐり穴に、前記シャンクの中心軸に対して前記合成ダイヤモンド砥粒の第1,第2の(100)面が垂直となるように保持すると共に、前記合成ダイヤモンド砥粒を固定するろう材と、を有するものである。   In order to solve this problem, the diamond scribing tool of the present invention has a first (100) plane and a second (100) plane parallel to the first (100) plane, Synthetic diamond abrasive grains having a point at the intersection of at least two (111) planes adjacent to the (100) plane, a shank having a counterbore at the tip, and a center of the shank at the counterbore of the shank A brazing material that holds the synthetic diamond abrasive grains while holding the first and second (100) planes of the synthetic diamond abrasive grains perpendicular to an axis.

ここで前記合成ダイヤモンド砥粒は、1/100カラット以下の重量としてもよい。   Here, the synthetic diamond abrasive may have a weight of 1/100 carat or less.

ここで前記合成ダイヤモンド砥粒は、前記(100)面に隣接する(111)面を4面とし、その4つの交点をポイントとしてもよい。   Here, in the synthetic diamond abrasive grains, the (111) plane adjacent to the (100) plane may be four, and the four intersections may be points.

この課題を解決するために、本発明のダイヤモンドスクライビング工具の製造方法は、シャンクの先端に座ぐり穴を形成し、第1の(100)面及び前記第1の(100)面に平行な第2の(100)面を有する合成ダイヤモンド砥粒の第1の(100)面を前記シャンクの中心軸と垂直の面を有する押さえ治具に仮止めし、前記シャンクの座ぐり穴に前記押さえ治具に取付けられたダイヤモンド砥粒を第1の(100)面とシャンクの軸が垂直となるように圧入してろう材によってろう付けし、前記シャンクの先端に取付けられた合成ダイヤモンド砥粒の第1の(100)面に隣接する少なくとも2面の(111)面を研磨し、その交点をポイントとして構成したものである。   In order to solve this problem, in the method for manufacturing a diamond scribing tool of the present invention, a counterbore is formed at the tip of the shank, and the first (100) plane and the first (100) plane are parallel to the first. The first (100) surface of the synthetic diamond abrasive having two (100) surfaces is temporarily fixed to a pressing jig having a surface perpendicular to the central axis of the shank, and the pressing treatment is carried out in the counterbore of the shank. The diamond abrasive grains attached to the tool are press-fitted so that the axis of the first (100) plane and the shank are perpendicular to each other and brazed with a brazing material, and the diamond abrasive grains attached to the tip of the shank are At least two (111) planes adjacent to one (100) plane are polished and their intersections are used as points.

ここで前記研磨工程は、第1の(100)面に隣接する4面の(111)面を研磨することによって4つの交点を夫々ポイントとして形成するようにしてもよい。   Here, in the polishing step, four (111) planes adjacent to the first (100) plane may be polished to form four intersections as points.

このような特徴を有する本発明によれば、(100)面が発達した合成ダイヤモンド砥粒を用いることによって結晶面を容易に見出すことができ、この面を基準としてシャンクに取付けているため、ダイヤモンド砥粒の傾きを少なくしてスクライビング工具を容易に製造することができる。又従来より小さい合成ダイヤモンドを使うことによってスクライビング工具の価格を低減することができる。又このスクライビング工具を用いればスクライブ荷重を小さくすることができるため、薄い脆性材料(ガラス・シリコン・サファイアなど)基板のスクライブに好適に用いることができる。   According to the present invention having such characteristics, a crystal plane can be easily found by using synthetic diamond abrasive grains with a developed (100) plane, and the diamond is attached to the shank based on this plane. A scribing tool can be easily manufactured with less inclination of the abrasive grains. Moreover, the price of the scribing tool can be reduced by using a synthetic diamond smaller than the conventional one. In addition, since the scribing load can be reduced by using this scribing tool, it can be suitably used for scribing a thin brittle material (glass, silicon, sapphire, etc.) substrate.

図1は従来の天然ダイヤモンドの結晶を示す図である。FIG. 1 shows a conventional natural diamond crystal. 図2は本発明の実施の形態によるダイヤモンドスクライビング工具の製造過程を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a manufacturing process of the diamond scribing tool according to the embodiment of the present invention. 図3は本実施の形態によるダイヤモンドスクライビング工具の製造過程を示す拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view showing a manufacturing process of the diamond scribing tool according to the present embodiment. 図4(a)はダイヤモンド砥粒をシャンクのチップ保持穴に取付けた状態を示す拡大図、(b)はその上面図である。FIG. 4A is an enlarged view showing a state where diamond abrasive grains are attached to the chip holding hole of the shank, and FIG. 4B is a top view thereof. 図5(a)はダイヤモンド砥粒を研磨した状態を示す拡大断面図、(b)はその上面図である。FIG. 5A is an enlarged cross-sectional view showing a state where diamond abrasive grains are polished, and FIG. 5B is a top view thereof.

本実施の形態によるスクライビング工具は、ソーブレード用として開発された合成ダイヤモンドを工具の先端に用いてスクライビング工具としたものである。ここでソーブレード用高品質合成ダイヤモンド砥粒について説明する。ソーブレード用高品質ダイヤモンド砥粒は、種結晶を用いて合成され、内包物(Inclusion)が少なく大粒で高強度を有するIb型の合成ダイヤモンドであり、例えば粒径は#16/20や#20/25等が用いられる。ここで#16/20とは、16番の篩を通り、20番の篩で止るように分級される粒径サイズを示しており、以下も同様である。ソーブレード用合成ダイヤモンドは他の用途(メタルボンド用やレジン/ビトリファイドボンド用)の合成ダイヤモンドと比べて破壊靱性値が高く、粒径は合成ダイヤモンド砥粒として最も粗い部類に入る。   The scribing tool according to the present embodiment is a scribing tool using synthetic diamond developed for saw blades at the tip of the tool. Here, the high-quality synthetic diamond abrasive for saw blade will be described. The high-quality diamond abrasive for saw blades is an Ib type synthetic diamond which is synthesized using a seed crystal and has a large number of inclusions and high strength. For example, the grain size is # 16/20 or # 20. / 25 etc. are used. Here, # 16/20 indicates a particle size that is classified so as to pass through the No. 16 sieve and stop at the No. 20 sieve, and so on. Synthetic diamond for saw blades has a higher fracture toughness value than synthetic diamonds for other uses (for metal bonds and resins / vitrified bonds), and the particle diameter falls into the coarsest category as synthetic diamond abrasive grains.

スクライビング工具としてこのダイヤモンド砥粒を使用する場合は、ダイヤモンド角部分であるポイントのみを使用するので、サイズの大小は問われない。従ってコスト面からは、加工や接合が可能な範囲で小さいダイヤモンドを用いることが好ましい。本実施の形態では合成ダイヤモンドとして例えば#20/25の篩で分級した約1/170カラットのソーブレード用の高品質のダイヤモンド砥粒を用いる。#18/20の約1/130カラット(約1.5mg)のソーブレード用のダイヤモンド砥粒を用いてもよく、1/100カラット以下のものであることが好ましい。   When using this diamond abrasive grain as a scribing tool, only the point that is the diamond corner is used, so the size is not limited. Therefore, in terms of cost, it is preferable to use a small diamond as long as processing and bonding are possible. In this embodiment, high-quality diamond abrasive grains for saw blades of about 1/170 carat classified by a # 20/25 sieve are used as synthetic diamond. # 18/20 about 1/130 carat (about 1.5 mg) saw blade diamond abrasive grain may be used, preferably 1/100 carat or less.

合成ダイヤモンドは(100)面がダイヤモンドの対向する面にほぼ平行に形成されている。ここで一方を第1の(100)面、他方を第2の(100)面とする。そして第1の(100)面を上面となるように治具に取付けて用いる。図2,図3は本発明の実施の形態によるスクライビング工具の製造過程を示す図である。本図に示すようにシャンク11は先端が円錐状に形成されており、その上部先端面に円形の座ぐり穴12を形成する。この座ぐり穴12の径は例えばφ0.9mmとする。そして図中一点鎖線で示すシャンク11の中心軸を垂直方向に保持しておき、シャンク11に対して上部より押さえ治具13を上下動自在に配置する。押さえ治具13の下面はシャンク11の中心軸に垂直とし、その下端には図3に拡大図を示すように仮止め剤14を介して合成ダイヤモンド15を取付ける。仮止め剤14は、例えば両面テープやボンド等の接着剤であり、押さえ治具13の下面に平行に合成ダイヤモンド15の第1の(100)面15aを取付ける。更に図3に拡大図を示すように、座ぐり穴12にろう材16を挿入し、上部より合成ダイヤモンド15をこの座ぐり穴12内に押し付けてろう材16に圧入する。こうすれば第1の(100)面15aがシャンク11の中心軸に垂直となって、ろう材16によって合成ダイヤモンド15が座ぐり穴12の上部に保持される。その後真空炉でろう接させて、シャンク11の先端に合成ダイヤモンド15をろう材16によって強固に固定する。図4(a)はこうして合成ダイヤモンドを取付けた状態を示す先端部分の断面図、図4(b)はその上面図である。   Synthetic diamond has a (100) plane formed substantially parallel to the opposing surface of the diamond. Here, one is a first (100) plane and the other is a second (100) plane. The first (100) surface is attached to a jig so as to be the upper surface. 2 and 3 are diagrams showing a manufacturing process of the scribing tool according to the embodiment of the present invention. As shown in this figure, the shank 11 has a conical tip, and a circular counterbore 12 is formed in the upper tip surface. The diameter of the counterbore 12 is, for example, φ0.9 mm. Then, the central axis of the shank 11 shown by a one-dot chain line in the figure is held in the vertical direction, and the pressing jig 13 is arranged so as to be vertically movable with respect to the shank 11 from above. The lower surface of the holding jig 13 is perpendicular to the central axis of the shank 11, and a synthetic diamond 15 is attached to the lower end of the holding jig 13 via a temporary fixing agent 14 as shown in an enlarged view in FIG. The temporary fixing agent 14 is, for example, an adhesive such as a double-sided tape or a bond, and attaches the first (100) surface 15 a of the synthetic diamond 15 in parallel to the lower surface of the pressing jig 13. Further, as shown in an enlarged view in FIG. 3, the brazing material 16 is inserted into the counterbore hole 12, and the synthetic diamond 15 is pressed into the counterbore hole 12 from above and pressed into the brazing material 16. In this way, the first (100) surface 15 a becomes perpendicular to the central axis of the shank 11, and the synthetic diamond 15 is held on the top of the counterbore 12 by the brazing material 16. Thereafter, soldering is performed in a vacuum furnace, and the synthetic diamond 15 is firmly fixed to the tip of the shank 11 by the brazing material 16. FIG. 4A is a sectional view of the tip portion showing a state where the synthetic diamond is thus attached, and FIG. 4B is a top view thereof.

次に図5に示すように上面の(100)面15aに対して側面が(111)面15c〜15fとなるように研磨し、(100)面15aと隣接する(111)面とによって4つの交点がポイントとなるように研磨して4点のポイントP1〜P4を形成する。(100)面15aと(111)面15c〜15fとの成す角度は夫々135°とし、隣接する2つの(111)面が成す角度を110°前後とする。こうして4ポイントP1〜P4を形成することで、スクライビング工具を完成させることができる。こうして形成した4点のポイントP1〜P4は夫々スクライブのためのポイントとして用いることができる。本実施の形態ではろう材によってシャンク先端に合成ダイヤモンドを取付けたときに、シャフトの中心軸に対する合成ダイヤモンドの(100)面の法線の傾き角αは2.0°以下の傾きとなる。従って従来のスクライビング工具に比べて取付ばらつきを小さくすることができる。   Next, as shown in FIG. 5, the (100) surface 15a on the upper surface is polished so that the side surfaces become the (111) surfaces 15c to 15f, and the (100) surface 15a and the (111) surface adjacent to the (100) surface 15a The four points P1 to P4 are formed by polishing so that the intersection points become points. The angle formed between the (100) surface 15a and the (111) surfaces 15c to 15f is 135 °, and the angle formed between two adjacent (111) surfaces is approximately 110 °. By forming the four points P1 to P4 in this way, the scribing tool can be completed. The four points P1 to P4 thus formed can be used as points for scribing. In the present embodiment, when synthetic diamond is attached to the tip of the shank with a brazing material, the inclination angle α of the normal line of the (100) plane of the synthetic diamond with respect to the central axis of the shaft becomes an inclination of 2.0 ° or less. Therefore, the mounting variation can be reduced as compared with the conventional scribing tool.

このように本発明によれば(100)面が発達したソーブレード用の合成ダイヤモンド砥粒を用いることによって結晶面を容易に見出すことができ、(100)面を加工する工程時間を削減することができる。従ってスクライビング工具の製造が容易となる。又従来より小さい合成ダイヤモンドを使うことによってスクライビング工具の価格を低減することができる。   As described above, according to the present invention, the crystal plane can be easily found by using the synthetic diamond abrasive grain for saw blade having the developed (100) plane, and the process time for processing the (100) plane can be reduced. Can do. Accordingly, the scribing tool can be easily manufactured. Moreover, the price of the scribing tool can be reduced by using a synthetic diamond smaller than the conventional one.

本実施の形態による合成ダイヤモンドを用いたスクライビング工具は薄いガラス板だけでなく、シリコン板,サファイア板,InP板,GaN板,GaAs板等の脆性材料基板のスクライブに用いることができる。又本実施の形態では4面の(111)面15c〜15fを研磨して形成しているが、1点のポイントのみでよければ2面の(111)面を研磨によって構成するだけで足りる。   The scribing tool using synthetic diamond according to the present embodiment can be used for scribing not only a thin glass plate but also a brittle material substrate such as a silicon plate, a sapphire plate, an InP plate, a GaN plate, and a GaAs plate. In the present embodiment, the four (111) surfaces 15c to 15f are formed by polishing. However, if only one point is required, it is sufficient to form the two (111) surfaces by polishing.

本発明は合成ダイヤモンドを用いて容易にスクライビング工具を製造することができ、薄いガラス板等の種々の形状の脆性材料基板のスクライビング工具として用いることができる。   The present invention can easily produce a scribing tool using synthetic diamond, and can be used as a scribing tool for various shapes of brittle material substrates such as thin glass plates.

11 シャンク
12 座ぐり穴
13 押さえ治具
14 仮止め剤
15 合成ダイヤモンド
15a,15b (100)面
15c〜15f (111)面
16 ろう材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Shank 12 Countersunk hole 13 Holding jig 14 Temporary fixing agent 15 Synthetic diamond 15a, 15b (100) surface 15c-15f (111) surface 16 Brazing material

Claims (5)

第1の(100)面及び前記第1の(100)面に平行な第2の(100)面を有し、前記第1の(100)面と隣接する少なくとも2面の(111)面との交点をポイントとする合成ダイヤモンド砥粒と、
先端に座ぐり穴を有するシャンクと、
前記シャンクの座ぐり穴に、前記シャンクの中心軸に対して前記合成ダイヤモンド砥粒の第1,第2の(100)面が垂直となるように保持すると共に、前記合成ダイヤモンド砥粒を固定するろう材と、を有するダイヤモンドスクライビング工具。
A first (100) plane and a second (100) plane parallel to the first (100) plane, and at least two (111) planes adjacent to the first (100) plane; Synthetic diamond abrasive grains with the intersection of
A shank with a counterbore at the tip;
The synthetic diamond abrasive grains are held in the counterbore holes of the shank so that the first and second (100) planes of the synthetic diamond abrasive grains are perpendicular to the central axis of the shank. A diamond scribing tool having a brazing material.
前記合成ダイヤモンド砥粒は、1/100カラット以下の重量である請求項1記載のダイヤモンドスクライビング工具。   The diamond scribing tool according to claim 1, wherein the synthetic diamond abrasive has a weight of 1/100 carat or less. 前記合成ダイヤモンド砥粒は、前記(100)面に隣接する(111)面を4面とし、その4つの交点をポイントとした請求項1記載のダイヤモンドスクライビング工具。   The diamond scribing tool according to claim 1, wherein the synthetic diamond abrasive grain has four (111) planes adjacent to the (100) plane, and the four intersections are points. シャンクの先端に座ぐり穴を形成し、
第1の(100)面及び前記第1の(100)面に平行な第2の(100)面を有する合成ダイヤモンド砥粒の第1の(100)面を前記シャンクの中心軸と垂直の面を有する押さえ治具に仮止めし、
前記シャンクの座ぐり穴に前記押さえ治具に取付けられたダイヤモンド砥粒を第1の(100)面とシャンクの軸が垂直となるように圧入してろう材によってろう付けし、
前記シャンクの先端に取付けられた合成ダイヤモンド砥粒の第1の(100)面に隣接する少なくとも2面の(111)面を研磨し、その交点をポイントとして構成したダイヤモンドスクライビング工具の製造方法。
A counterbore is formed at the tip of the shank,
A first (100) plane of a synthetic diamond abrasive grain having a first (100) plane and a second (100) plane parallel to the first (100) plane is a plane perpendicular to the central axis of the shank. Temporarily fix to a holding jig with
The diamond abrasive grains attached to the holding jig in the countersunk hole of the shank are press-fitted so that the first (100) surface and the shank axis are perpendicular to each other, and brazed with a brazing material,
A method for manufacturing a diamond scribing tool, comprising polishing at least two (111) surfaces adjacent to a first (100) surface of a synthetic diamond abrasive grain attached to the tip of the shank and using the intersection as a point.
前記研磨工程は、第1の(100)面に隣接する4面の(111)面を研磨することによって4つの交点を夫々ポイントとして形成した請求項4記載のダイヤモンドスクライビング工具の製造方法。   5. The method of manufacturing a diamond scribing tool according to claim 4, wherein in the polishing step, four intersection points are formed by polishing four (111) surfaces adjacent to the first (100) surface, respectively.
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