JP4994070B2 - 半導体回路のパッケージ評価用ウェハ - Google Patents
半導体回路のパッケージ評価用ウェハ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4994070B2 JP4994070B2 JP2007064174A JP2007064174A JP4994070B2 JP 4994070 B2 JP4994070 B2 JP 4994070B2 JP 2007064174 A JP2007064174 A JP 2007064174A JP 2007064174 A JP2007064174 A JP 2007064174A JP 4994070 B2 JP4994070 B2 JP 4994070B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- heating resistor
- thermal diode
- evaluation
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49171—Fan-out arrangements
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
θja=(Tj−Ta)/Pd=K(Vf2−Vf1)/(Id・Vd)
ここで、Tjはジャンクション温度、Taは周囲温度、Pdは消費電力(Id・Vd)、Kは電圧対温度特性から求めた傾きで温度上昇にともない感熱ダイオードの順方向電圧(Vf)が減ずる定数、Vf1は常温時の感熱ダイオードの順方向電圧、Vf2は加熱時の感熱ダイオードの順方向電圧、Idは加熱電流、Vdは加熱電圧である。ジャンクション温度を直接測定することができないが、周囲温度−感熱ダイオード順方向電圧の校正直線の傾きであるKを求めて、K=ΔTj/ΔVfから、Tj=K・Vfとなるので、Vfを測定することにより、ジャンクション温度Tjを求めることができる。
2,2a,2b,2c,2d 単位チップ
3 ダイシングライン
4a,4b,4c,4d 発熱抵抗体加熱用パッド
5a,5b 感熱ダイオード特性評価用パッド
6 感熱ダイオード接続配線
7,34 感熱ダイオード
8a,8b,8c,8d,8e,8f,8g,8h 発熱抵抗体配線
9a,9b,9c,9d,9e,9f,9g,9h,9i,9j,9k,9l,9m,9n リード
10,13 モールド樹脂
11,21 評価用チップ
12 4個取りチップ
14 絶縁層
Claims (2)
- 半導体回路素子を形成するのに十分な大きさを有する単位チップを複数形成してなり、所望数の単位チップ毎に切り出して、評価対象となるパッケージの内部に収納し、そのパッケージにおける熱抵抗を評価する半導体回路のパッケージ評価用ウェハであって、
各単位チップのウェハ内にそれぞれ感熱ダイオードを設けるとともに、隣接する一対の単位チップに設けた感熱ダイオード同士を接続するようにウェハ内を直線的に互いに平行に伸びる複数の感熱ダイオード接続配線からなる感熱ダイオード接続配線群を設け、同じくウェハ内に前記感熱ダイオード接続配線群と絶縁層を介してウェハ全域に及ぶよう直線的に互いに交差して伸びる複数の発熱抵抗体配線からなる発熱抵抗体配線群を設け、前記各感熱ダイオード接続配線は、各単位チップ毎に感熱ダイオードを挟む位置に一対ずつ設けた感熱ダイオード特性評価用パッドと接続し、前記発熱抵抗体配線群は、各単位チップの隅部に位置するよう少なくとも一対設けた発熱抵抗体加熱用パッドと接続した
ことを特徴とする半導体回路のパッケージ評価用ウェハ。 - 発熱抵抗体加熱用パッドは、各単位チップの4隅部にそれぞれ設け、発熱抵抗体配線群は、前記発熱抵抗体用パッドの直下に位置してこれら各パッドを結ぶ垂直面上を水平に伸びる配線と、各単位チップの各辺の中央部を通る垂直面上を水平に伸びる配線とからなり、各感熱ダイオード接続配線は前記発熱抵抗体配線群のいずれかの配線の直上または直下に位置することを特徴とする請求項1に記載の半導体回路のパッケージ評価用ウェハ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007064174A JP4994070B2 (ja) | 2007-03-13 | 2007-03-13 | 半導体回路のパッケージ評価用ウェハ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007064174A JP4994070B2 (ja) | 2007-03-13 | 2007-03-13 | 半導体回路のパッケージ評価用ウェハ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008227191A JP2008227191A (ja) | 2008-09-25 |
JP4994070B2 true JP4994070B2 (ja) | 2012-08-08 |
Family
ID=39845449
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007064174A Expired - Fee Related JP4994070B2 (ja) | 2007-03-13 | 2007-03-13 | 半導体回路のパッケージ評価用ウェハ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4994070B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9177887B2 (en) | 2013-02-26 | 2015-11-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor test device and method for fabricating the same |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0688852A (ja) * | 1991-11-12 | 1994-03-29 | Nec Corp | 熱抵抗測定用半導体装置 |
JPH1167862A (ja) * | 1997-08-13 | 1999-03-09 | Sony Corp | パッケージ評価用の半導体素子 |
JP4086597B2 (ja) * | 2002-09-05 | 2008-05-14 | 三洋電機株式会社 | 半導体回路のパッケージ評価用ウエーハ及びそれを用いたチップ評価装置 |
-
2007
- 2007-03-13 JP JP2007064174A patent/JP4994070B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9177887B2 (en) | 2013-02-26 | 2015-11-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor test device and method for fabricating the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008227191A (ja) | 2008-09-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9640461B1 (en) | Bridging DMB structure for wire bonding in a power semiconductor module | |
US8013431B2 (en) | Semiconductor power module package with temperature sensor mounted thereon and method of fabricating the same | |
US8860198B2 (en) | Semiconductor package with temperature sensor | |
US8410464B2 (en) | Optical coupler having first and second terminal boards and first and second conversion elements | |
JP2001015655A (ja) | パワーmosfetダイと、小型感知mosfetを備えた制御および保護回路ダイとを有するハイブリッドパッケージ | |
KR101513961B1 (ko) | 전력 반도체 모듈 및 그 제조방법 | |
CN104508811B (zh) | Led封装和制造方法 | |
US9391006B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device | |
TWI287865B (en) | Semiconductor package and process for making the same | |
CN101499511B (zh) | 具温度感测组件的发光二极管芯片及其制造方法 | |
CN109564941A (zh) | 半导体装置、半导体模块、以及半导体封装装置 | |
JPH0758277A (ja) | 半導体装置 | |
CN105452886A (zh) | 半导体器件的制造方法 | |
US5302022A (en) | Technique for measuring thermal resistance of semiconductor packages and materials | |
CN104798198B (zh) | 半导体装置 | |
US8304902B2 (en) | Semiconductor device | |
JP4994070B2 (ja) | 半導体回路のパッケージ評価用ウェハ | |
JP2011199148A (ja) | 半導体装置 | |
US20110260315A1 (en) | Power block and power semiconductor module using same | |
WO2010084550A1 (ja) | 半導体モジュール及びその制御方法 | |
US8853835B2 (en) | Chip arrangements, a chip package and a method for manufacturing a chip arrangement | |
JP5568922B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
TWI482310B (zh) | 發光二極體結構、發光二極體封裝與發光二極體結構之溫度的量測方法 | |
JP4917902B2 (ja) | 半導体回路のパッケージ評価用ウェハ | |
JP2008147683A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100728 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120425 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120508 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150518 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4994070 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |