JP4993493B2 - 無機エレクトロルミネッセンス素子 - Google Patents
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Description
そして、発光層としては、II族−VI族元素の化合物またはII族−III族−VI族元素の化合物にMnまたはTb、Smなどの希土類元素を添加した材料が従来から使われている。多く使われている材料としてはZnS:Mnがある。発光層の形成法は、電子ビーム蒸着法、抵抗加熱蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、CVD法などから適宜選択して用いられる。
無機EL素子は、有機EL素子より早く実用化されたけれども、フルカラー化が難しいことや消費電力が大きいこと、あるいは製造コストの問題などから、有機EL素子に比べて利用分野が限定されていた。
しかし、本発明者らの検討によると、発光層と第2電極との間に設けられている第2絶縁層の組織構造が無機EL素子に影響し、その特性を低下せしめていることが確認された。そこで、第2絶縁層形成後のプロセスを詳細に調べた結果、第2絶縁層上にスパッタリング法及びウエットエッチング法等によって第2電極パターンを形成するプロセスにおいて、第2絶縁層がダメージを受けて絶縁性が低下する現象が多く発生することが認められた。
イ)スパッタリング法においてイオン化されて加速した原子が衝突することによって第2絶縁層にダメージを与える。
ロ)第2電極材料に含まれている元素が熱処理の過程で第2絶縁層に拡散する。
ハ)ウエットエッチング法において液体が第2絶縁層に浸透する。
したがって、本発明の目的は、第2絶縁層のダメージを抑制し、第2絶縁層が本来の絶縁性を発揮する無機EL素子を簡便に製造する方法を開発し、無機EL素子の利用拡大を図ることにある。
(1)基板上に、第1電極、第1絶縁層、発光層、第2絶縁層および第2電極を備えた無機EL素子であって、当該第2絶縁層と第2電極との間にバリア層を設けたことを特徴とする無機EL素子。
(2)前記バリア層がIII〜V族金属の酸化物からなる上記(1)項記載の無機EL素子。
(3)前記バリア層がIII〜V族金属の酸化物であるTa2O5からなる上記(1)項又は(2)項記載の無機EL素子。
(4)前記バリア層がTa2O5からなり、前記第2絶縁層がBaTa2O6からなる上記(1)〜(3)項記載のいずれかの無機EL素子。
(5)前記無機EL素子が少なくとも光取り出し側を光学的に透明な材料で構成した上記(1)〜(4)項記載の無機EL素子。
(6)基板上に、第1電極、第1絶縁層、発光層、第2絶縁層、バリア層および第2電極を備えた無機EL素子の製造法であって、第1絶縁層および第2絶縁層並びにバリア層をスパッタリング法により形成することを特徴とする無機EL素子の製造方法。
図1は、本発明の第1電極及び第2電極ともに透明材料を用いて構成した透明無機EL素子についての例を示している。透明無機EL素子は、透明なガラス基板上に、第1透明電極、第1絶縁層、発光層、第2絶縁層及び第2透明電極を順次積層して構成されるが、本発明の透明無機EL素子は、同図に示すとおり、第2絶縁層と第2透明電極の間にバリア層を設けた新しい構成からなる素子である。
基板材料としては、各種のセラミック材料、アクリル等の高分子材料あるいはガラスなどが用いられている。これらの中から用途あるいは製造プロセスなどにより適切な材料が選択されるが、ほとんどの用途に適合するガラス基板が多く用いられる。
ガラス基板を用いた場合、安価なソーダライムガラスにおいても十分な機能を実現することができる。
本発明の無機EL素子におけるバリア層の材料としては、MgO、Nb2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、Ta2O5、Al2O3など絶縁層に用いる絶縁材料と同種の材料が例示されるが、バリア層と第2絶縁層には、異なる材料を組合せて用いることが必要である。例えば、バリア層と第2絶縁層に用いる絶縁材料の組合せとし、TiO2とAl2O3、Ta2O5とBaTa2O6、HfO2とBaTiO3、HfO2とTiO2、MgOとBaTa2O6、HfO2とY2O3、HfO2とNb2O3などが例示される。誘電性に優れていること、また従来絶縁材料と多く用いられていることから製造上の問題が少ない、バリア層にTa2O5を用い、第2絶縁層にBaTa2O6を用いる組合せが好適である。
また、多元系母体材料に希土類元素を添加した高輝度発光材料などが高性能な素子製造には有効である。
透明なガラス基板上に第1電極として透明な材料(ITO、AzO、ITO、TiO2、SnO2など)をスパッタリング法によって150nmの厚さに成膜したのち、フォトリソグラフィーによって任意のパターン形状に加工する。このときのレジスト現像、エッチング、レジスト剥離はウェットプロセスで行う。パターニングした第1電極の上にBaTa2O6からなる第1絶縁層を450nmの膜厚にスパッタリング法で形成する。
次に、第1絶縁層上に発光層としてZnS:Mnからなる蛍光体を真空蒸着法により550nmの薄膜を形成する。さらに、第1絶縁層と同じ材料(BaTa2O6)をスパッタリング法により膜厚300nmの第2絶縁層を形成する。
その後、第2絶縁層の上にTa2O5をスパッタリング法により厚さ250nmの膜厚からなるバリア層を形成する。
最後にバリア層の上に第2透明電極となるITO膜を形成し、第2電極のパターン形成を第1電極と同様にウェットプロセスで行い両面発光型の透明無機EL素子を製造した。
製造した素子上に、ガラス板をUV硬化型接着剤にて貼り付け素子の保護を行った。
上記実施例で製造した透明無機EL素子を用いて120×96ドットマトリックス透明ELディスプレイを作製した(図2)。この装置は、EL素子と接続用基板とドライブ基板によって構成されている。ストライプ状に加工した電極の端と接続用プリント配線板の銅箔パターンを導電用シリコンゴムにて接続した。駆動回路には、市販のELドライブ用のICを用いた。ベースの基板材料は、一般的なディスプレイ用無アルカリガラスを用いた。これにより、汎用のドライブ素子による駆動において、室内使用においては十分な輝度と視認性が得られることを確認することができた。
そして、かかる無機EL素子が提供されたことにより、飛行機や自動車のフロントガラス等に装着して、外部情報や機械情報を得ることができ、安全性に寄与するほか、スロットマシーンやパチンコなどの遊戯用品、アナログメータなどの表面に取り付け種々の情報を表示することができる。また、ディスプレイ装置においては、三原色を重ね合わせることによってカラー化が実現可能であるなど、広い分野での利用が期待される。
Claims (3)
- 基板上に、第1電極、第1絶縁層、発光層、第2絶縁層および第2電極を備えた無機EL素子であって、上記第2絶縁層がBaTa 2 O 6 からなり、当該第2絶縁層と第2電極との間にTa 2 O 5 からなるバリア層を設けたことを特徴とする無機EL素子。
- 前記無機EL素子の少なくとも光取り出し側を光学的に透明な材料で構成した請求項1に記載の無機EL素子。
- 基板上に、第1電極、第1絶縁層、発光層、BaTa 2 O 6 からなる第2絶縁層、Ta 2 O 5 からなるバリア層および第2電極を備えた無機EL素子の製造法であって、第1および第2絶縁層並びにバリア層をスパッタリング法により形成することを特徴とする無機EL素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007243693A JP4993493B2 (ja) | 2007-09-20 | 2007-09-20 | 無機エレクトロルミネッセンス素子 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009076297A JP2009076297A (ja) | 2009-04-09 |
JP4993493B2 true JP4993493B2 (ja) | 2012-08-08 |
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JP2007243693A Active JP4993493B2 (ja) | 2007-09-20 | 2007-09-20 | 無機エレクトロルミネッセンス素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4993493B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07272858A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Nippondenso Co Ltd | エレクトロルミネッセンス素子とその製造方法 |
JPH11126690A (ja) * | 1997-08-20 | 1999-05-11 | Fuji Electric Co Ltd | 薄膜エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
CN101258779A (zh) * | 2005-09-05 | 2008-09-03 | 松下电器产业株式会社 | 电致发光元件以及显示装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009076297A (ja) | 2009-04-09 |
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