JP4985280B2 - 回折格子の形状評価方法 - Google Patents
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- 238000011156 evaluation Methods 0.000 title claims description 23
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000012854 evaluation process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
この発明では、光源から照射された光を分岐する半透明鏡と、この半透明鏡によって分岐された光が反射鏡によって反射された光(参照光)と、分岐された他の光が測定すべき回折格子に入射し、回折格子によって反射され、半透明鏡に戻てきた光(測定光)とを干渉させ、位相シフト部で干渉コントラストの周期位相が変化し、このシフト量から位相シフト量を測定する装置、および、方法である。また、測定すべき位相シフトを有する回折格子を形成した基板上に、フォトレジストを塗布し、均一回折格子パターンを重ねて形成し、2層の回折格子から得られるモアレ縞から位相シフト量を測定する方法である。
このような参照光を利用する干渉縞解析は、参照光と測定光の位相差によってコントラストが影響を受けるため、干渉縞の間隔は、試料表面の凹凸の影響を受けてしまう。この影響を小さくするため、照射光の波長を長くすると測定の位置精度が悪くなる。
この発明は、あらかじめ変形されるべき材料にSEM観察する上で2次電子発生効率の異なるグリッドパターンを形成し、材料を変形させた後、走査電子顕微鏡観察すると、SEMの走査間隔とグリッドパターンが干渉したため生じるモアレ縞の変形量を測定する。
これは、微小形状の変形を走査型電子顕微鏡で観察するものであり、変形前後の比較に対してのみ有効である。
Y1=A×(sin(2π(x+x1)/Λ)+1)
Y2=B×(sin(2π(x+x2)/D)+1)
Y3=C×Y1×Y2
Y3=C×(cos(2πx(1/Λ−1/D))+1)
と近似することができる。
(干渉縞検出工程)
(形状評価工程)
Claims (3)
- 位相シフト部を有する回折格子の形状評価方法であって、
前記回折格子の凹凸に対応する干渉縞を検出する干渉縞検出工程と、
前記干渉縞検出工程で検出した前記干渉縞に基づいて、前記回折格子の形状評価をおこなう形状評価工程と
を含み、
前記干渉縞検出工程の際、走査型電子顕微鏡により、前記回折格子の周期と前記走査型電子顕微鏡の走査周期との干渉の結果として生じる前記干渉縞を検出し、
前記形状評価工程の際、前記干渉縞検出工程で検出した前記干渉縞の周期と前記走査型顕微鏡の走査周期とから、前記回折格子の周期および前記位相シフト部のシフト量を評価する、回折格子の形状評価方法。 - 前記干渉縞検出工程の際、前記走査型電子顕微鏡の走査方向と前記回折格子の並び方向とを傾ける、請求項1に記載の回折格子の形状評価方法。
- 前記形状評価工程の際、前記回折格子の周期(Λ)を下記式により求める、請求項1または2に記載の回折格子の形状評価方法。
Y3=C×(cos(2πx(1/Λ−1/D))+1) (ここで、xは回折格子縞に垂直な方向の座標、Dは走査型電子顕微鏡の走査周期、Cは定数、Y3は座標xにおける干渉縞の強度を表す。)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007251969A JP4985280B2 (ja) | 2007-09-27 | 2007-09-27 | 回折格子の形状評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007251969A JP4985280B2 (ja) | 2007-09-27 | 2007-09-27 | 回折格子の形状評価方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009085615A JP2009085615A (ja) | 2009-04-23 |
JP4985280B2 true JP4985280B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=40659259
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007251969A Expired - Fee Related JP4985280B2 (ja) | 2007-09-27 | 2007-09-27 | 回折格子の形状評価方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4985280B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0610612B2 (ja) * | 1988-10-20 | 1994-02-09 | 科学技術庁金属材料技術研究所長 | 変形測定法 |
JPH07105899A (ja) * | 1993-10-07 | 1995-04-21 | Jeol Ltd | 試料像形成方法 |
JP3916773B2 (ja) * | 1998-07-07 | 2007-05-23 | 富士通株式会社 | 回折格子の周期測定方法 |
JP2995298B1 (ja) * | 1998-11-20 | 1999-12-27 | 科学技術庁金属材料技術研究所長 | 変形測定法と変形測定用グリッドシ―ト |
JP2005010003A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | National Institute For Materials Science | 複合材料における残留ひずみおよび残留応力の測定方法 |
JP4708856B2 (ja) * | 2005-05-16 | 2011-06-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子ビーム校正方法及び電子ビーム装置 |
JP5152615B2 (ja) * | 2006-05-25 | 2013-02-27 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 微小な規則的パターンの配列の乱れ検出測定方法 |
-
2007
- 2007-09-27 JP JP2007251969A patent/JP4985280B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009085615A (ja) | 2009-04-23 |
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