JP4980138B2

JP4980138B2 - Grinding jig

Info

Publication number: JP4980138B2
Application number: JP2007137440A
Authority: JP
Inventors: 清文田中; 則義細野; 敦谷口
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2007-05-24
Filing date: 2007-05-24
Publication date: 2012-07-18
Anticipated expiration: 2027-05-24
Also published as: JP2008290178A

Description

本発明は、液晶パネル等の被研削体の研削に使用されるグラインド用治具に関するものである。 The present invention relates to a grinding jig used for grinding an object to be ground such as a liquid crystal panel.

近年の被研削体は、１００μｍ以下の薄さにバックグラインドされる半導体ウェーハが代表的ではあるが、この半導体ウェーハ以外にも、画像表示用の液晶パネルがあげられる（特許文献１、２参照）。この種の液晶パネル１０は、図２に示すように、幅の異なる一対のガラス基板を備え、幅狭のガラス基板が通過する光を着色するカラーフィルタ１１に形成されており、幅広のガラス基板が複数の薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の配列されたＴＦＴアレイ１２に形成されている。カラーフィルタ１１から食み出たＴＦＴアレイ１２の食み出し部分には、電極１３形成用のオーバーハング部１４が形成され、このオーバーハング部１４の下方が空洞に形成されている。 In recent years, the object to be ground is typically a semiconductor wafer that is back-ground to a thickness of 100 μm or less. In addition to this semiconductor wafer, there are liquid crystal panels for image display (see Patent Documents 1 and 2). . As shown in FIG. 2, this type of liquid crystal panel 10 includes a pair of glass substrates having different widths, is formed in a color filter 11 that colors light passing through a narrow glass substrate, and has a wide glass substrate. Are formed in a TFT array 12 in which a plurality of thin film transistors (TFTs) are arranged. An overhang portion 14 for forming the electrode 13 is formed in the protruding portion of the TFT array 12 protruding from the color filter 11, and a lower portion of the overhang portion 14 is formed in a cavity.

このような液晶パネル１０は、オーバーハング部１４を含む上下両面の研削により薄化される工程等を通じて製造される。
特開２００７‐１１４３６１号公報特開２００７‐９３８４９号公報 Such a liquid crystal panel 10 is manufactured through a process of thinning by grinding both upper and lower surfaces including the overhang portion 14.
JP 2007-114361 A JP 2007-93849 A

従来におけるグラインド用治具は、以上のように構成され、オーバーハング部１４を含む上下両面の研削により薄化されるが、この際、ＴＦＴアレイ１２側が研削されると、オーバーハング部１４の下方が空洞に形成されている関係上、オーバーハング部１４が割れて損傷するおそれがある。 The conventional grinding jig is configured as described above and is thinned by grinding both the upper and lower surfaces including the overhang portion 14. At this time, when the TFT array 12 side is ground, Is formed in the cavity, the overhang portion 14 may be broken and damaged.

本発明は上記に鑑みなされたもので、被研削体のオーバーハング部が損傷するおそれを抑制して研削することのできるグラインド用治具を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a grinding jig that can be ground while suppressing the possibility of damage to an overhang portion of an object to be ground.

本発明においては上記課題を解決するため、曲げ弾性率が１ＧＰａ以上の支持基板と、この支持基板に形成される凹部と、この凹部に形成される複数の突起と、支持基板の凹部を被覆して複数の突起に支持され、液晶パネルを保持する変形可能な自己粘着層と、支持基板に設けられて凹部と自己粘着層との間の空間に連通する排気路とを含み、複数の突起のピッチを１．０〜２．０ｍｍの範囲としたものであって、
液晶パネルは、自己粘着層に保持される幅狭のカラーフィルタと、このカラーフィルタ上に設けられる幅広のＴＦＴアレイとを備え、カラーフィルタから食み出たＴＦＴアレイの食み出し部分を電極形成用のオーバーハング部とし、このオーバーハング部には空洞を形成し、
自己粘着層に、厚さ精度に優れるマスキング層を積層してその厚さを液晶パネルのカラーフィルタの厚さに対応させ、このマスキング層に液晶パネルのカラーフィルタを包囲させ、かつオーバーハング部を支持させるようにし、マスキング層を、ポリエチレンテレフタレート製のフィルムに粘着層を積層することにより形成したことを特徴としている。 In the present invention, in order to solve the above problems, a support substrate having a flexural modulus of 1 GPa or more, a recess formed in the support substrate, a plurality of protrusions formed in the recess, and a recess of the support substrate are covered. A deformable self-adhesive layer that is supported by the plurality of protrusions and holds the liquid crystal panel, and an exhaust passage that is provided on the support substrate and communicates with a space between the recess and the self-adhesive layer . The pitch is in the range of 1.0 to 2.0 mm ,
The liquid crystal panel has a narrow color filter held on the self-adhesive layer and a wide TFT array provided on the color filter, and an electrode is formed on the protruding portion of the TFT array protruding from the color filter. For this overhang part, a cavity is formed in this overhang part,
The self-adhesive layer is laminated with a masking layer with excellent thickness accuracy, and the thickness corresponds to the thickness of the color filter of the liquid crystal panel. The masking layer surrounds the color filter of the liquid crystal panel, and the overhang portion is formed. The masking layer is formed by laminating an adhesive layer on a polyethylene terephthalate film .

なお、自己粘着層に帯電防止性を付与することができる。 Note that antistatic properties can be imparted to the self-adhesive layer .

ここで、特許請求の範囲における支持基板、凹部、及び自己粘着層は、液晶パネルの形状に応じて平面円形、楕円形、矩形、多角形等に形成される。各突起は、円柱形、角柱形、円錐台形、角錐台形等に形成される。また、排気路の端部は、支持基板の下面に開口しても良いし、周面に開口しても良い。マスキング層は、透明、不透明、半透明を問わず、自己粘着層に着脱自在に重ねても良いし、そうでなくても良い。 Here, the support substrate, the concave portion, and the self-adhesive layer in the claims are formed into a planar circle, an ellipse, a rectangle, a polygon, and the like according to the shape of the liquid crystal panel . Each protrusion is formed in a cylindrical shape, a prism shape, a truncated cone shape, a truncated pyramid shape, or the like. The end of the exhaust path may be opened on the lower surface of the support substrate or may be opened on the peripheral surface. Regardless of whether it is transparent, opaque or translucent, the masking layer may or may not be detachably layered on the self-adhesive layer .

本発明によれば、液晶パネルのカラーフィルタの厚さに対応するマスキング層が液晶パネルの食み出たオーバーハング部を支持するので、例えオーバーハング部の近辺に空洞部や中空部等が形成されていても、オーバーハング部が損傷するのを抑制することができる。 According to the present invention, since the masking layer corresponding to the thickness of the color filter of the liquid crystal panel supports the overhang portion that protrudes from the liquid crystal panel , for example, a hollow portion or a hollow portion is formed in the vicinity of the overhang portion. Even if it is done, it can suppress that an overhang part is damaged.

本発明によれば、被研削体である液晶パネルのカラーフィルタと略同じ高さ（厚さ）のマスキング層の一部が自己粘着層とＴＦＴアレイとの間に介在し、液晶パネルのオーバーハング部を支持するので、例えオーバーハング部の付近に空洞が形成されていても、オーバーハング部が欠けたり、割れて損傷することが少ないという効果がある。また、グラインド用治具の自己粘着層が使い捨てタイプではなく、複数回使用することができるので、研削の度に自己粘着層を廃棄する必要がなく、廃棄物の削減が期待できる。また、凹凸に変形可能な自己粘着層を使用するので、液晶パネルを確実に固定したり、薄く研削した液晶パネルをハンドリングしたり、あるいは剥離、移載することができる。
また、液晶パネルのカラーフィルタをマスキング層に包囲させるので、液晶パネルを適切に位置決めすることが可能となる。また、支持基板の曲げ弾性率を１ＧＰａ以上とするので、支持基板を肉厚に形成する手間を省くことが可能となる。また、複数の突起のピッチを１．０〜２．０ｍｍの範囲とするので、自己粘着層が極端に引き伸ばされ、繰り返しの使用により自己粘着層が切れたり、裂けたりするおそれが少なく、液晶パネルの研削時の厚さバラツキが増大するおそれをも抑制することが可能となる。さらに、マスキング層を、ポリエチレンテレフタレート製のフィルムに粘着層を積層することにより形成すれば、厚さ精度等に優れるマスキング層を比較的容易に得ることが可能になる。 According to the present invention, a part of the masking layer having substantially the same height (thickness) as the color filter of the liquid crystal panel as the object to be ground is interposed between the self-adhesive layer and the TFT array, and the liquid crystal panel overhangs. Therefore, even if a cavity is formed in the vicinity of the overhang portion, there is an effect that the overhang portion is less likely to be chipped or broken and damaged. Further, since the self-adhesive layer of the grinding jig is not a disposable type and can be used a plurality of times, it is not necessary to discard the self-adhesive layer every time grinding is performed, and waste reduction can be expected. Further, since the self-adhesive layer that can be deformed into irregularities is used, the liquid crystal panel can be securely fixed, the thinly ground liquid crystal panel can be handled, peeled off or transferred.
Further, since the color filter of the liquid crystal panel is surrounded by the masking layer, the liquid crystal panel can be appropriately positioned. In addition, since the flexural modulus of the support substrate is 1 GPa or more, it is possible to save time and labor for forming the support substrate thick. In addition, since the pitch of the plurality of protrusions is in the range of 1.0 to 2.0 mm, the self-adhesive layer is extremely stretched, and the self-adhesive layer is less likely to be cut or torn by repeated use. It is possible to suppress the possibility that the thickness variation at the time of grinding increases. Further, if the masking layer is formed by laminating an adhesive layer on a polyethylene terephthalate film, a masking layer having excellent thickness accuracy can be obtained relatively easily.

また、自己粘着層に帯電防止性を付与すれば、自己粘着層に粘着した液晶パネルが剥離される際の帯電を有効に防ぐことができる。If antistatic properties are imparted to the self-adhesive layer, it is possible to effectively prevent charging when the liquid crystal panel adhered to the self-adhesive layer is peeled off.

以下、図面を参照して本発明に係るグラインド用治具の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態におけるグラインド用治具は、図１や図２に示すように、グラインド設備の吸着テーブル１に搭載される支持基板２と、この支持基板２に凹み形成される凹部３と、この凹部３内に配設される複数の突起４と、支持基板２の凹部３を被覆して複数の突起４に支持され、研削される液晶パネル１０を着脱自在に保持する変形可能な自己粘着層２０と、凹部３と自己粘着層２０との間に連通する排気路３０とを備え、自己粘着層２０に、液晶パネル１０のオーバーハング部１４の割れを抑制するマスキング層４０を積層して粘着するようにしている。 Hereinafter, a preferred embodiment of a grinding jig according to the present invention will be described with reference to the drawings. The grinding jig in this embodiment is attached to a suction table 1 of a grinding facility as shown in FIGS. The support substrate 2 to be mounted, the recess 3 formed in the recess in the support substrate 2, the plurality of protrusions 4 disposed in the recess 3, and the plurality of protrusions 4 covering the recess 3 of the support substrate 2. The self-adhesive layer 20 includes a deformable self-adhesive layer 20 that detachably holds the liquid crystal panel 10 that is supported and ground, and an exhaust passage 30 that communicates between the recess 3 and the self-adhesive layer 20. A masking layer 40 that suppresses cracking of the overhang portion 14 of the liquid crystal panel 10 is laminated and adhered.

吸着テーブル１は、例えば通気性の多孔質セラミック等を使用して形成され、図示しないバキューム装置に接続されており、このバキューム装置の駆動により、グラインド用治具の支持基板２を着脱自在に搭載支持するよう機能する。 The suction table 1 is formed using, for example, a breathable porous ceramic and is connected to a vacuum device (not shown), and the support substrate 2 of the grinding jig is detachably mounted by driving the vacuum device. Function to support.

支持基板２は、例えば剛性を有する所定の材料を使用して専用の基板収納容器に収納可能な平面円形の基板に形成され、平坦な表面の周縁部を除く中央部には、平面円形の凹部３が凹み形成されており、この凹部３内には、複数の突起４が所定の間隔をおいて配設される。この支持基板２の所定の材料としては、例えば剛直性を有する各種の金属、セラミックス、ガラス、ポリカーボネート等の樹脂があげられる。 The support substrate 2 is formed in a flat circular substrate that can be stored in a dedicated substrate storage container using a predetermined material having rigidity, for example, and a flat circular recess is formed in the central portion excluding the peripheral portion of the flat surface. 3 is formed as a recess, and a plurality of projections 4 are disposed in the recess 3 at a predetermined interval. Examples of the predetermined material of the support substrate 2 include various metals having rigidity, ceramics, glass, and resins such as polycarbonate.

支持基板２の曲げ弾性率は概ね１ＧＰａ以上であることが好ましいが、これは、１ＧＰａ未満の場合には、支持基板２を肉厚に形成せざるを得ないからである。また、支持基板２の厚さは、０．５〜２ｍｍの範囲、好ましくは１ｍｍが適切である。これは、支持基板２の厚さが０．５ｍｍ未満の場合には、強度に欠け、液晶パネル１０の研削加工に支障を来たすおそれがあるからである。逆に、支持基板２の厚さが２ｍｍを超える場合には、肉厚に過ぎ、グラインド用治具の搬送や輸送に支障を来たす場合があるからである。 The flexural modulus of the support substrate 2 is preferably approximately 1 GPa or more, but this is because the support substrate 2 must be formed thick when it is less than 1 GPa. The thickness of the support substrate 2 is in the range of 0.5 to 2 mm, preferably 1 mm. This is because when the thickness of the support substrate 2 is less than 0.5 mm, the strength is insufficient, and the grinding of the liquid crystal panel 10 may be hindered. On the contrary, when the thickness of the support substrate 2 exceeds 2 mm, it is too thick and may hinder the conveyance and transportation of the grinding jig.

複数の突起４のピッチ（突起４の中心と隣接する他の突起４の中心までの距離）は、１．０〜２．０ｍｍの範囲、好ましくは１．０ｍｍが適切である。これは、１．０ｍｍ未満の場合には、自己粘着層２０が極端に引き伸ばされ、繰り返しの使用により自己粘着層２０が切れたり、裂けたりするおそれがあるからである。逆に、２．０ｍｍを超える場合には、液晶パネル１０の研削時の厚さバラツキが増大するおそれがあるからである。この複数の突起４のピッチは、突起４が太い場合には、大きいほうが液晶パネル１０の剥離が容易となるので、留意する必要がある。 The pitch of the plurality of protrusions 4 (distance to the center of another protrusion 4 adjacent to the center of the protrusion 4) is in the range of 1.0 to 2.0 mm, preferably 1.0 mm. This is because when the thickness is less than 1.0 mm, the self-adhesive layer 20 is extremely stretched, and the self-adhesive layer 20 may be cut or torn by repeated use. On the other hand, when the thickness exceeds 2.0 mm, there is a possibility that the thickness variation during grinding of the liquid crystal panel 10 may increase. It should be noted that the pitch of the plurality of protrusions 4 is larger when the protrusions 4 are thicker, because peeling of the liquid crystal panel 10 becomes easier.

各突起４は、例えば０．１〜０．５ｍｍの範囲、好ましくは０．２ｍｍの高さを有する円柱形や円錐台形に形成される。これは、突起４の高さが０．１ｍｍ未満の場合には、自己粘着層２０から液晶パネル１０を剥離する作業が困難になるという理由に基づく。逆に、０．５ｍｍを超える場合には、自己粘着層２０が過剰に伸び、自己粘着層２０と液晶パネル１０との密着に支障を来たすという理由に基づく。 Each protrusion 4 is formed in a columnar shape or a truncated cone shape having a height of, for example, 0.1 to 0.5 mm, preferably 0.2 mm. This is based on the reason that the operation of peeling the liquid crystal panel 10 from the self-adhesive layer 20 becomes difficult when the height of the protrusion 4 is less than 0.1 mm. On the other hand, when the thickness exceeds 0.5 mm, the self-adhesive layer 20 is excessively stretched, which is based on the reason that the adhesion between the self-adhesive layer 20 and the liquid crystal panel 10 is hindered.

各突起４の太さは、例えばφ０．２〜０．６ｍｍの範囲、好ましくはφ０．４ｍｍが適切である。これは、φ０．２ｍｍ未満の場合には、突起４自体の強度が低下し、しかも、突起４により自己粘着層２０が切れたり、孔が空いてしまうおそれがあるという理由に基づく。逆に、φ０．６ｍｍを超える場合には、自己粘着層２０の突起４に支持された部分と液晶パネル１０との粘着度が増大し、液晶パネル１０の剥離に支障を来たすという理由に基づく。 The thickness of each protrusion 4 is, for example, in the range of φ0.2 to 0.6 mm, preferably φ0.4 mm. This is based on the reason that when the diameter is less than 0.2 mm, the strength of the protrusion 4 itself decreases, and the protrusion 4 may cause the self-adhesive layer 20 to be cut or a hole to be formed. On the contrary, when the diameter exceeds 0.6 mm, the degree of adhesion between the portion of the self-adhesive layer 20 supported by the protrusions 4 and the liquid crystal panel 10 increases, and this causes the hindrance to the peeling of the liquid crystal panel 10.

液晶パネル１０は、図１や図２に示すように、幅の異なる一対のガラス基板を一体の対向構造に備え、幅狭のガラス基板が自己粘着層２０に剥離可能に粘着されるカラーフィルタ１１に形成され、幅広のガラス基板が複数の薄膜トランジスタの配列されたＴＦＴアレイ１２に形成される。カラーフィルタ１１から水平横方向に食み出たＴＦＴアレイ１２の食み出し部分、換言すれば、段差部分には、電極１３形成用のオーバーハング部１４が形成され、このオーバーハング部１４の下方（図１の上方）が空洞に形成される。 As shown in FIGS. 1 and 2, the liquid crystal panel 10 includes a pair of glass substrates having different widths in an integrated opposing structure, and the narrow glass substrate is detachably adhered to the self-adhesive layer 20. A wide glass substrate is formed on the TFT array 12 in which a plurality of thin film transistors are arranged. An overhang portion 14 for forming the electrode 13 is formed at the protruding portion of the TFT array 12 protruding from the color filter 11 in the horizontal and horizontal direction, in other words, at the step portion, and below the overhang portion 14. (Above FIG. 1) is formed in the cavity.

自己粘着層２０は、例えば弾性変形可能な可撓性のエチレンメチルメタクリレート製等のフィルム（例えば、アクリフトＷＨ３０３（住友化学工業社製：商品名））からなり、その下面には、複数の突起４に接着支持される帯電防止層２１が選択的に積層接着されており、支持基板２の表面の周縁部に接着されて凹部３の底面との間に区画空間２２を形成するよう機能する。 The self-adhesive layer 20 is made of, for example, an elastically deformable flexible film made of ethylene methyl methacrylate or the like (for example, ACLIFT WH303 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd .: trade name)). The antistatic layer 21 that is adhered and supported on the surface of the support substrate 2 is selectively laminated and adhered to the peripheral edge of the surface of the support substrate 2 to function to form a partition space 22 between the bottom surface of the recess 3.

自己粘着性を有する自己粘着層２０の厚さは、２０〜２００μｍの範囲、好ましくは５０〜１００μｍの範囲が好適である。これは、２０μｍ未満の場合には、繰り返し使用時の耐久性に乏しいからである。逆に、２００μｍを超える場合には、液晶パネル１０の剥離に長時間を要するからである。また、自己粘着層２０の引張破断強度は、自己粘着層２０の破断防止の観点から５ＭＰａ以上、好ましくは９ＭＰａが好適である。また、自己粘着層２０の引張破断伸びは、自己粘着層２０の損傷防止の観点から５００％以上、好ましくは７５０％が好適である。 The thickness of the self-adhesive layer 20 having self-adhesiveness is in the range of 20 to 200 μm, preferably in the range of 50 to 100 μm. This is because when the thickness is less than 20 μm, durability during repeated use is poor. Conversely, when it exceeds 200 μm, it takes a long time to peel off the liquid crystal panel 10. Further, the tensile strength at break of the self-adhesive layer 20 is 5 MPa or more, preferably 9 MPa from the viewpoint of preventing the self-adhesive layer 20 from being broken. Further, the tensile elongation at break of the self-adhesive layer 20 is 500% or more, preferably 750% from the viewpoint of preventing damage to the self-adhesive layer 20.

自己粘着層２０の曲げ弾性率は、１０〜１００ＭＰａ、好ましくは２７ＭＰａが良い。これは、１０ＭＰａ未満の場合には、自己粘着層２０の突起４に支持された部分以外の部分が重力で撓んでしまい、液晶パネル１０が適切に粘着しないおそれがあるという理由に基づく。逆に、１００ＭＰａを超える場合には、自己粘着層２０の変形に支障を来たし、液晶パネル１０の粘着や剥離に支障を来たすおそれがあるという理由に基づく。 The bending elastic modulus of the self-adhesive layer 20 is 10 to 100 MPa, preferably 27 MPa. This is based on the reason that when the pressure is less than 10 MPa, the portion other than the portion supported by the protrusion 4 of the self-adhesive layer 20 is bent by gravity, and the liquid crystal panel 10 may not be properly adhered. On the other hand, when the pressure exceeds 100 MPa, the deformation of the self-adhesive layer 20 is hindered, and the liquid crystal panel 10 may be hindered from sticking or peeling.

自己粘着層２０の静摩擦係数は、縦３０ｍｍ×横３０ｍｍ×厚さ３ｍｍの大きさのガラス板に自己粘着層を貼り、これをミラーウェーハ上に置いて全体に９００ｇの荷重を５秒間加え、自己粘着層付きのガラス板をミラーウェーハと平行に荷重をかけて押した際、動き出したときの荷重が２０Ｎ以上、好ましくは３５Ｎ以上が良い。これは、２０Ｎ未満の場合には、研削の際に液晶パネル１０が剥離して破損を招くおそれがあるからである。 The static friction coefficient of the self-adhesive layer 20 is as follows: a self-adhesive layer is attached to a glass plate having a size of 30 mm in length, 30 mm in width, and 3 mm in thickness, placed on a mirror wafer, and a 900 g load is applied to the whole for 5 seconds. When a glass plate with an adhesive layer is pushed in parallel with a mirror wafer and pushed, the load when it starts to move is 20 N or more, preferably 35 N or more. This is because if it is less than 20N, the liquid crystal panel 10 may be peeled off during grinding to cause damage.

自己粘着層２０の自己粘着力は、ミラーウェーハ上に３０ｍｍ幅にカットした自己粘着層をゴムローラを介して空気が侵入しないように貼り、２０分後に３００ｍｍ／分の速度、１８０°の角度で剥離した場合に、剥離強度が２Ｎ以下／３０ｍｍ幅、好ましくは１Ｎ以下／３０ｍｍ幅が良い。これは、剥離強度が２Ｎ以下／３０ｍｍ幅を超える場合には、自己粘着層２０から研削した液晶パネル１０を剥離する作業が困難になるからである。 The self-adhesive strength of the self-adhesive layer 20 is such that a self-adhesive layer cut to a width of 30 mm is pasted on a mirror wafer so that air does not enter through a rubber roller, and after 20 minutes, peeled off at a speed of 300 mm / min and an angle of 180 ° In this case, the peel strength is 2N or less / 30 mm width, preferably 1N or less / 30 mm width. This is because when the peel strength exceeds 2N or less / 30 mm width, it becomes difficult to peel the ground liquid crystal panel 10 from the self-adhesive layer 20.

帯電防止層２１は、側鎖に式（１）で示される第四級アンモニウム塩を有する帯電防止性樹脂、有機導電性ポリマー、金属酸化物、及びカーボンからなる群から選択された少なくとも１種の材料からなり、帯電防止効果を発揮する。 The antistatic layer 21 is at least one selected from the group consisting of an antistatic resin having a quaternary ammonium salt represented by the formula (1) in the side chain, an organic conductive polymer, a metal oxide, and carbon. Made of material, it exhibits antistatic effect.

排気路３０は、研削加工に支障を来たすことのないよう、支持基板２の厚さ方向に略φ１ｍｍ程度の大きさに穿孔されて凹部３と自己粘着層２０との間の区画空間２２に連通し、支持基板２の裏面と凹部３の底面とにそれぞれ開口しており、区画空間２２内の空気をバキューム装置の駆動により、吸着テーブル１を介し外部に排気するよう機能する（図１の矢印参照）。そして、この空気の排気により、自己粘着層２０が複数の突起４に応じて凹凸に変形し、自己粘着層２０に粘着した液晶パネル１０が容易に剥離可能となる。 The exhaust passage 30 is perforated to a size of about φ1 mm in the thickness direction of the support substrate 2 so as not to hinder the grinding process, and communicates with the partition space 22 between the recess 3 and the self-adhesive layer 20. 1 and open to the bottom surface of the support substrate 2 and the bottom surface of the recess 3, respectively, and function to exhaust the air in the partition space 22 to the outside through the suction table 1 by driving the vacuum device (arrow in FIG. 1). reference). And by this air exhaust, the self-adhesive layer 20 is deformed into irregularities according to the plurality of protrusions 4, and the liquid crystal panel 10 adhered to the self-adhesive layer 20 can be easily peeled off.

マスキング層４０は、例えば厚さ精度、寸法安定性、絶縁性、耐候性に優れる薄いポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製フィルムの片面に、自己粘着層２０の表面に粘着する粘着層２０が積層されることにより、液晶パネル１０のカラーフィルタ１１の厚さに対応する厚さに形成され、液晶パネル１０のカラーフィルタ１１を包囲するよう機能する。 For the masking layer 40, for example, the adhesive layer 20 that adheres to the surface of the self-adhesive layer 20 is laminated on one surface of a thin polyethylene terephthalate (PET) film that is excellent in thickness accuracy, dimensional stability, insulation, and weather resistance. Thus, a thickness corresponding to the thickness of the color filter 11 of the liquid crystal panel 10 is formed, and functions to surround the color filter 11 of the liquid crystal panel 10.

上記構成において、液晶パネル１０を研削する場合には、先ず、グラインド用治具の自己粘着層２０上に液晶パネル１０を粘着してそのオーバーハング部１４を有しないカラーフィルタ１１をマスキング層４０に位置決め状態で包囲させ、マスキング層４０に液晶パネル１０のオーバーハング部１４を支持させ、グラインド設備の吸着テーブル１にグラインド用治具の支持基板２を真空吸着させれば、液晶パネル１０のＴＦＴアレイ１２側のガラス基板を研削装置により上方から薄く研削することができる。 In the above configuration, when the liquid crystal panel 10 is ground, first, the liquid crystal panel 10 is adhered onto the self-adhesive layer 20 of the grinding jig, and the color filter 11 having no overhang portion 14 is used as the masking layer 40. The TFT array of the liquid crystal panel 10 can be obtained by surrounding the substrate in a positioned state, supporting the overhang portion 14 of the liquid crystal panel 10 on the masking layer 40, and vacuum-supporting the support substrate 2 of the grind jig on the suction table 1 of the grind equipment. The 12 side glass substrate can be thinly ground from above by a grinding apparatus.

液晶パネル１０を薄く研削したら、吸着テーブル１の真空吸着を解除して液晶パネル１０をグラインド用治具と共に取り外し、凹部３と自己粘着層２０との間の区画空間２２の空気を排気路３０を介し外部に排気して自己粘着層２０を複数の突起４に応じて変形させ、自己粘着層２０と液晶パネル１０との間に空気の侵入を許容して自己粘着層２０の粘着力を低下させれば、自己粘着層２０から液晶パネル１０を簡単に剥離することができる。 After the liquid crystal panel 10 is thinly ground, the vacuum suction of the suction table 1 is released and the liquid crystal panel 10 is removed together with the grinding jig, and the air in the partition space 22 between the recess 3 and the self-adhesive layer 20 is exhausted through the exhaust passage 30. The self-adhesive layer 20 is deformed according to the plurality of protrusions 4 by evacuating to the outside, allowing air to enter between the self-adhesive layer 20 and the liquid crystal panel 10 and reducing the adhesive strength of the self-adhesive layer 20. Then, the liquid crystal panel 10 can be easily peeled from the self-adhesive layer 20.

上記構成によれば、液晶パネル１０のカラーフィルタ１１と略同じ高さ（厚さ）のマスキング層４０の一部が自己粘着層２０とＴＦＴアレイ１２との間に介在し、液晶パネル１０のオーバーハング部１４を下方から支持するので、例えオーバーハング部１４の付近に空洞が形成されていても、オーバーハング部１４が欠けたり、割れて損傷することがない。また、グラインド用治具の自己粘着層２０が使い捨てタイプではなく、複数回使用することができるので、研削の度に自己粘着層２０を廃棄する必要が全くなく、廃棄物の削減が大いに期待できる。 According to the above configuration, a part of the masking layer 40 having substantially the same height (thickness) as the color filter 11 of the liquid crystal panel 10 is interposed between the self-adhesive layer 20 and the TFT array 12, so Since the hang portion 14 is supported from below, even if a cavity is formed in the vicinity of the overhang portion 14, the overhang portion 14 is not chipped or broken and damaged. Further, since the self-adhesive layer 20 of the grinding jig is not a disposable type and can be used a plurality of times, there is no need to discard the self-adhesive layer 20 every grinding, and a great reduction in waste can be expected. .

また、凹凸に変形可能な自己粘着層２０を使用するので、液晶パネル１０を確実に固定したり、薄く研削した液晶パネル１０をハンドリングしたり、あるいは剥離、移載することができる。また、自己粘着層２０には、粘着剤のような低分子量物質が塗布されないので、自己粘着層２０から液晶パネル１０に粘着剤が移行して糊残りの生じることがない。 In addition, since the self-adhesive layer 20 that can be deformed into irregularities is used, the liquid crystal panel 10 can be securely fixed, the thinly ground liquid crystal panel 10 can be handled, or peeled and transferred. Further, since a low molecular weight substance such as an adhesive is not applied to the self-adhesive layer 20, the adhesive does not move from the self-adhesive layer 20 to the liquid crystal panel 10 and no adhesive residue is generated.

また、気温の上昇に伴い揮発する溶剤タイプの粘着剤を使用するものではないので、残留溶剤に伴う液晶パネル１０の汚染や導通不良、火災のおそれがなく、しかも、耐溶剤性の基材を選択する必要がないので、材料選択の自由度や生産性を大幅に向上させることができる。さらに、ＵＶ光を利用して自己粘着層２０の粘着力を低下させるものではないので、ＵＶ光の管理を考慮したり、照明に配慮する必要も全くない。 In addition, since a solvent-type pressure-sensitive adhesive that volatilizes as the temperature rises is not used, there is no risk of liquid crystal panel 10 contamination, poor conduction, or fire due to residual solvent, and a solvent-resistant substrate is used. Since there is no need to select, the degree of freedom of material selection and productivity can be greatly improved. Furthermore, since the adhesive strength of the self-adhesive layer 20 is not reduced using UV light, there is no need to consider the management of UV light or to consider illumination.

なお、本発明に係るグラインド用治具は、上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、自己粘着層２０に帯電防止性を付与するため、自己粘着層２０を多層構造に形成してその中間に帯電防止層２１を介在しても良い。また、自己粘着層２０に導電性カーボン、カーボンナノチューブ、高分子型の帯電防止剤、あるいは導電性ポリマー等を練り込んで良い。また、上記実施形態では単一の排気路３０を示したが、何らこれに限定されるものではなく、複数本でも良い。 The grinding jig according to the present invention is not limited to the above embodiment. For example, in order to impart antistatic properties to the self-adhesive layer 20, the self-adhesive layer 20 may be formed in a multilayer structure, and the antistatic layer 21 may be interposed therebetween. Further, the self-adhesive layer 20 may be kneaded with conductive carbon, carbon nanotubes, a polymer-type antistatic agent, or a conductive polymer. Moreover, although the single exhaust path 30 was shown in the said embodiment, it is not limited to this at all, A plurality may be sufficient.

さらに、自己粘着層２０の表面の全部分にマスキング層４０を積層して粘着しても良いし、自己粘着層２０の表面の一部にマスキング層４０を積層して粘着することもできる。さらにまた、マスキング層４０を、厚さ精度に優れる各種の樹脂フィルムに粘着層２０を積層することにより形成することもできる。 Further, the masking layer 40 may be laminated and adhered to the entire surface of the self-adhesive layer 20, or the masking layer 40 may be laminated and adhered to a part of the surface of the self-adhesive layer 20. Furthermore, the masking layer 40 can also be formed by laminating the adhesive layer 20 on various resin films having excellent thickness accuracy.

本発明に係るグラインド用治具の実施形態を模式的に示す全体説明図である。It is a whole explanatory view showing typically an embodiment of a jig for grinding concerning the present invention. 液晶パネルを模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a liquid crystal panel typically.

Explanation of symbols

１吸着テーブル
２支持基板
３凹部
４突起
１０液晶パネル（被研削体）
１１カラーフィルタ（幅狭部）
１２ＴＦＴアレイ（幅広部）
１３電極
１４オーバーハング部
２０自己粘着層
２１帯電防止層
２２区画空間
３０排気路
４０マスキング層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Adsorption table 2 Support substrate 3 Concave part 4 Protrusion 10 Liquid crystal panel (to-be-ground object)
11 Color filter (Narrow part)
12 TFT array (wide part)
13 Electrode 14 Overhang part 20 Self-adhesive layer 21 Antistatic layer 22 Compartment space 30 Exhaust path 40 Masking layer

Claims

Bending the supporting substrate than 1GPa modulus, and a recess formed on the supporting substrate, a plurality of protrusions formed in the recess, covering the recess of the support substrate is supported on a plurality of protrusions, a liquid crystal panel A deformable self-adhesive layer to be held; and an exhaust passage provided in the support substrate and communicating with a space between the concave portion and the self-adhesive layer, wherein the pitch of the plurality of protrusions is in the range of 1.0 to 2.0 mm A jig for grinding
The liquid crystal panel has a narrow color filter held on the self-adhesive layer and a wide TFT array provided on the color filter, and an electrode is formed on the protruding portion of the TFT array protruding from the color filter. For this overhang part, a cavity is formed in this overhang part,
The self-adhesive layer is laminated with a masking layer with excellent thickness accuracy, and the thickness corresponds to the thickness of the color filter of the liquid crystal panel. The masking layer surrounds the color filter of the liquid crystal panel, and the overhang portion is formed. A grinding jig characterized in that it is supported, and the masking layer is formed by laminating an adhesive layer on a polyethylene terephthalate film .

The grinding jig according to claim 1, wherein the self-adhesive layer is provided with antistatic properties.