JP4977644B2 - Automatic conveyance system and method for setting standby position of conveyance vehicle in automatic conveyance system - Google Patents

Automatic conveyance system and method for setting standby position of conveyance vehicle in automatic conveyance system Download PDF

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Description

本発明は、搬送物の受け渡しを自動で行う自動搬送技術に関する。   The present invention relates to an automatic conveyance technique for automatically delivering a conveyed product.

近年、生産システム、すなわち工場や倉庫において無人化が進展しつつある。これは人件費の高騰などの他、消費者ニーズの多様化に合わせるために工場では多品種少量生産の対応が要求されているためである。この結果、生産システムでは物の流れが複雑化し、運用方式、レイアウト、設備が頻繁に変更される。また、倉庫における在庫量を低減するために自動倉庫と生産ラインを搬送システムで結びJust in timeの機能を実現している。今後さらに生産ラインや倉庫間の物流は複雑化するものと考えられる。このような状況から搬送システムは無人の自動搬送システムへと移行しつつある。   In recent years, unmanned production is progressing in production systems, that is, factories and warehouses. This is because factories are required to respond to diversification of consumer needs, as well as soaring labor costs, and factories are required to handle high-mix low-volume production. As a result, the flow of goods in the production system becomes complicated, and the operation method, layout, and equipment are frequently changed. In addition, in order to reduce the amount of inventory in the warehouse, the automatic warehouse and the production line are connected by a transport system to realize the Just in time function. In the future, logistics between production lines and warehouses is expected to become more complex. Under such circumstances, the transport system is shifting to an unattended automatic transport system.

かかる自動搬送システムは、例えば半導体製造工場において採用されおり、キャリアとなるウエハが搬送経路上を走行する搬送車によって自動搬送され、各製造装置間でウエハの受け渡しが無人で行われている。図１は、半導体製造ラインにおける各製造装置のレイアウトの一例を示したものである。一般的に装置のレイアウト方式としては、プロセスステップに従って装置を並べて配置するフローショップ型と、同種処理が可能な装置をグループ化して配置するジョブショップ型が知られているが、半導体製造ラインにおいては、多品種の半導体装置の製造に対応できる汎用性と各処理装置の稼働率を確保する観点からジョブショップ型が採用される場合が多い。図１に示すレイアウトにおいてもジョブショップ型のレイアウト方式が採用されており、同種の処理装置がグループ化して配置され装置群１を構成している。各装置群１の端部には、ウエハを一次保管しておくためのストッカ２が設けられる。各装置群の間に形成された領域４と、この領域４を囲む装置群１およびストッカ２からなるブロックをイントラベイと称する。ストッカ２は、図１に示すように、図中の上段部分に並置された装置群と図中下段部分に並置された装置群の間の領域５に集結するように配置される。この中央部分の領域５と、領域５を囲むストッカ２からなるブロックをインターベイと称する。各イントラベイ内には搬送車３が少なくとも１台配備される。搬送車３は、搬送装置統合システムからの搬送指令に基づいて、イントラベイ内を走行し、装置群１を構成する各製造装置とストッカ２との間でキャリアであるウエハの受け渡しを行う。かかる搬送車によるイントラベイ内におけるキャリアの搬送をベイ内搬送と称する。さらに、搬送車３は、インターベイ内にも配備され、ストッカ間でウエハの受け渡しを行う。すなわち、インターベイ内においてストッカ間でウエハの受け渡しを行うことにより、イントラベイ間でのウエハ搬送が可能となる。このインターベイ内におけるキャリアの搬送をベイ間搬送と称する。   Such an automatic transfer system is adopted, for example, in a semiconductor manufacturing factory, and a wafer serving as a carrier is automatically transferred by a transfer vehicle that travels on a transfer path, and wafers are transferred between each manufacturing apparatus unattended. FIG. 1 shows an example of the layout of each manufacturing apparatus in a semiconductor manufacturing line. In general, the layout method of the device is known as a flow shop type in which devices are arranged side by side in accordance with process steps, and a job shop type in which devices that can perform the same kind of processing are grouped and arranged. In many cases, a job shop type is adopted from the viewpoint of ensuring versatility capable of supporting the manufacture of various types of semiconductor devices and the operating rate of each processing apparatus. Also in the layout shown in FIG. 1, a job shop type layout method is adopted, and processing apparatuses of the same kind are grouped and arranged to form an apparatus group 1. At the end of each device group 1 is provided a stocker 2 for primary storage of wafers. A block composed of a region 4 formed between each device group and the device group 1 and the stocker 2 surrounding the region 4 is referred to as an intrabay. As shown in FIG. 1, the stocker 2 is arranged so as to be concentrated in a region 5 between a device group juxtaposed in the upper part of the drawing and a device group juxtaposed in the lower part of the drawing. A block made up of the central region 5 and the stocker 2 surrounding the region 5 is called an interbay. At least one transport vehicle 3 is provided in each intrabay. The transport vehicle 3 travels in the intrabay based on a transport command from the transport device integration system, and transfers wafers serving as carriers between the manufacturing apparatuses constituting the device group 1 and the stocker 2. Carrier transportation within the intrabay by such a transport vehicle is referred to as intrabay transportation. Furthermore, the transport vehicle 3 is also provided in the interbay and transfers wafers between the stockers. That is, wafers can be transferred between intrabays by transferring wafers between stockers in the interbay. Carrier transportation in the interbay is referred to as interbay transportation.

特許文献１には、フローショップ方式のレイアウトを採用する搬送システムに関して、搬送車のキャリアの搬送方向に対して上流に待機させることが記載されている。
特開２００５−１９７４３４号公報 Patent Document 1 describes that a transport system that employs a flow shop type layout waits upstream in the transport direction of a carrier of a transport vehicle.
JP 2005-197434 A

上記の如き自動搬送システムが適用された製造ラインにおいて、各製造装置のレイアウトや搬送車の台数などの工程計画と、搬送や加工のスケジューリングが互いに密接に関連し、システムの効率的な運用を図るためにはこれらの同時最適化が要求される。更に、搬送車が搬送指令を受ける前の待機位置を最適化することにより搬送時間の短縮化を図ることがシステムの効率的運用を図る上で不可欠となる。しかしながら、従来の自動搬送システムにおいては、搬送時間の短縮を図るという観点で搬送車の待機位置が定められていなかった。例えば、イントラベイの端部に配置された製造装置の単位時間当たりのウエハ搬送量が最も多いにもかかわらず、搬送車の待機位置が当該製造装置の遠端部に定められていると、搬送車の移動距離が長くなり、効率的な搬送作業を行うことができない。すなわち、搬送車の待機位置が最適化されていないとトータルの搬送時間が長くなり、システムの効率的運用の妨げとなる。   In a production line to which the automatic conveyance system as described above is applied, the process plan such as the layout of each production apparatus and the number of conveyance vehicles and the scheduling of conveyance and processing are closely related to each other, and the system is operated efficiently. Therefore, these simultaneous optimizations are required. Furthermore, it is indispensable for the efficient operation of the system to reduce the transport time by optimizing the standby position before the transport vehicle receives the transport command. However, in the conventional automatic transfer system, the stand-by position of the transfer vehicle is not determined from the viewpoint of shortening the transfer time. For example, if the standby position of the transport vehicle is determined at the far end of the manufacturing apparatus even though the wafer transport amount per unit time of the manufacturing apparatus arranged at the end of the intrabay is the largest, The moving distance of the car becomes long and the efficient transfer work cannot be performed. In other words, if the standby position of the transport vehicle is not optimized, the total transport time becomes long, which hinders efficient operation of the system.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、搬送車の待機位置の最適化を図ることによりキャリアを効率的に搬送することが可能な自動搬送システムおよび、自動搬送システムにおける搬送車の待機位置の設定方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and an automatic transport system capable of efficiently transporting a carrier by optimizing a standby position of the transport vehicle, and a transport vehicle in the automatic transport system. An object is to provide a method for setting a standby position.

本発明の自動搬送システムは、断続的に供給される搬送指令に基づいて所定の経路網を自動的に移動して前記経路網に沿って設置された複数の処理装置間において搬送物を搬送する少なくとも１台の搬送車と、前記搬送車に対して前記搬送指令を与える制御手段と、前記経路網において前記搬送車が停止し得る複数の停止位置と、前記停止位置のうち前記処理装置の各々に対応する複数の移動位置と、前記処理装置の各々の前記搬送物の単位時間あたりの処理数を示す処理能力情報とが記録された記録手段と、前記搬送車が前記搬送指令を受ける前の待機状態にあるときの前記搬送車の待機位置を前記停止位置のいずれかから選択して設定する待機位置設定手段と、を含み、前記待機位置設定手段は、前記記録手段に記録された停止位置、移載位置および処理能力情報に基づいて、前記停止位置のうちのいずれかを前記待機位置としたときの当該停止位置と前記移載位置の各々との間の前記搬送車の前記搬送指令に基づく単位時間あたりの総移動距離を前記停止位置毎に算出し、そのうち最小値に対応する停止位置を前記待機位置として設定することを特徴としている。   The automatic transfer system of the present invention automatically moves a predetermined route network based on a transfer command that is intermittently supplied, and transfers a transfer object between a plurality of processing apparatuses installed along the route network. At least one transport vehicle, control means for giving the transport command to the transport vehicle, a plurality of stop positions at which the transport vehicle can stop in the route network, and each of the processing devices among the stop positions And a recording means in which processing capability information indicating the number of processings per unit time of the transported object of each of the processing devices is recorded, and before the transporting vehicle receives the transporting command. Standby position setting means for selecting and setting the standby position of the transport vehicle when in the standby state from any of the stop positions, and the standby position setting means is the stop position recorded in the recording means , Transfer Based on the position and processing capability information, the unit time based on the transport command of the transport vehicle between the stop position and the transfer position when any of the stop positions is the standby position The total travel distance is calculated for each stop position, and the stop position corresponding to the minimum value is set as the standby position.

また、本発明の自動搬送システムは、断続的に供給される搬送指令に基づいて所定の経路網を自動的に移動して前記経路網に沿って設置された複数の処理装置間において搬送物を搬送する少なくとも１台の搬送車と、前記搬送車に対して前記搬送指令を与える制御手段と、前記経路網において前記搬送車が停止し得る複数の停止位置と、前記停止位置のうち前記処理装置の各々に対応する複数の移載位置と、前記処理装置の各々の前記搬送物の単位時間あたりの処理数を示す処理能力情報と、前記搬送車の前記停止位置間毎の移動速度を示す移動速度情報と、が記録された記録手段と、前記搬送車が前記搬送指令を受ける前の待機状態にあるときの前記搬送車の待機位置を前記停止位置のいずれかから選択して設定する待機位置設定手段と、を含み、前記待機位置設定手段は、前記記録手段に記録された停止位置、移載位置、処理能力情報および移動速度情報に基づいて、前記停止位置のうちのいずれかを前記待機位置としたときの当該停止位置と前記移載位置の各々との間の前記搬送車の前記搬送指令に基づく単位時間あたりの総移動時間を前記停止位置毎に算出し、その算出結果に基づいて前記待機位置を設定することを特徴としている。   Further, the automatic transfer system of the present invention automatically moves a predetermined route network based on a transfer command supplied intermittently, and transfers a transfer object between a plurality of processing apparatuses installed along the route network. At least one transport vehicle for transporting, control means for giving the transport command to the transport vehicle, a plurality of stop positions at which the transport vehicle can stop in the route network, and the processing device among the stop positions A plurality of transfer positions corresponding to each of the above, processing capability information indicating the number of processes per unit time of each of the transported objects of the processing apparatus, and movement indicating a moving speed of each of the transport vehicles between the stop positions. Recording means in which speed information is recorded, and a standby position for selecting and setting the standby position of the transport vehicle from any of the stop positions when the transport vehicle is in a standby state before receiving the transport command Setting means; And the standby position setting means is based on the stop position, the transfer position, the processing capability information, and the moving speed information recorded in the recording means when any one of the stop positions is set as the standby position. The total travel time per unit time based on the transport command of the transport vehicle between the stop position and the transfer position is calculated for each stop position, and the standby position is set based on the calculation result It is characterized by doing.

また、本発明の自動搬送システムにおける搬送車の待機位置設定方法は、断続的に供給される搬送指令に基づいて所定の経路網を自動的に移動して前記経路網に沿って設置された複数の処理装置間において搬送物を搬送する少なくとも１台の搬送車と、前記搬送車に対して前記搬送指令を与える制御手段と、を含む自動搬送システムにおいて、前記搬送車が前記搬送指令を受ける前の待機状態にあるときの前記搬送車の待機位置を設定する待機位置設定方法であって、入力手段が前記経路網において前記搬送車が停止し得る複数の停止位置、前記停止位置のうち前記処理装置の各々に対応する複数の移載位置および前記処理装置の各々の前記搬送物の単位時間あたりの処理数を示す処理能力情報の入力を受け付け、これを記録手段に記録するステップと、待機位置設定手段が、前記記録手段に記録された停止位置、移載位置および処理能力情報に基づいて、前記停止位置のうちのいずれかを前記待機位置としたときの当該停止位置と前記移載位置の各々との間の前記搬送車の前記搬送指令に基づく単位時間あたりの総移動距離を前記停止位置毎に算出し、そのうち最小値に対応する停止位置を前記待機位置として設定するステップと、を含むことを特徴としている。   Also, the standby position setting method for the transport vehicle in the automatic transport system according to the present invention includes a plurality of vehicles installed along the route network by automatically moving a predetermined route network based on a transport command supplied intermittently. In an automatic transport system including at least one transport vehicle that transports a transported object between the processing apparatuses and a control unit that gives the transport command to the transport vehicle, before the transport vehicle receives the transport command. A standby position setting method for setting a standby position of the transport vehicle when the transport vehicle is in a standby state, wherein the input means is a plurality of stop positions at which the transport vehicle can stop in the route network, and the processing among the stop positions. Accepts input of processing capability information indicating a plurality of transfer positions corresponding to each of the apparatuses and the number of processes per unit time of the transported object of each of the processing apparatuses, and records this in the recording means And the stop position when the standby position setting means uses any one of the stop positions as the standby position based on the stop position, transfer position, and processing capability information recorded in the recording means. A total travel distance per unit time based on the transport command of the transport vehicle between each of the transfer positions is calculated for each stop position, and a stop position corresponding to the minimum value is set as the standby position. And a step.

また、本発明の自動搬送システムにおける搬送車の待機位置の設定方法は、断続的に供給される搬送指令に基づいて所定の経路網を自動的移動して前記経路網に沿って設置された複数の処理装置間において搬送物を搬送する少なくとも１台の搬送車と、前記搬送車に対して前記搬送指令を与える制御手段と、を含む自動搬送システムにおいて、前記搬送車が前記搬送指令を受ける前の待機状態にあるときの前記搬送車の待機位置を設定する待機位置設定方法であって、入力手段が前記経路網において前記搬送車が停止し得る複数の停止位置、前記停止位置のうち前記処理装置の各々に対応する複数の移載位置、前記処理装置の各々の前記搬送物の単位時間あたりの処理数を示す処理能力情報および前記搬送車の前記停止位置間毎の移動速度を示す移動速度情報の入力を受け付け、これを記録手段に記録するステップと、待機位置設定手段が、前記記録手段に記録された停止位置、移載位置、処理能力情報および移動速度情報に基づいて、前記停止位置のうちのいずれかを前記待機位置としたときの当該停止位置と前記移載位置の各々との間の前記搬送車の前記搬送指令に基づく単位時間あたりの総移動時間を前記停止位置毎に算出し、その算出結果に基づいて前記待機位置を設定するステップと、を含むことを特徴としている。   Further, the method for setting the standby position of the transport vehicle in the automatic transport system of the present invention includes a plurality of systems installed along the route network by automatically moving a predetermined route network based on a transport command supplied intermittently. In an automatic transport system including at least one transport vehicle that transports a transported object between the processing apparatuses and a control unit that gives the transport command to the transport vehicle, before the transport vehicle receives the transport command. A standby position setting method for setting a standby position of the transport vehicle when the transport vehicle is in a standby state, wherein the input means is a plurality of stop positions at which the transport vehicle can stop in the route network, and the processing among the stop positions. A plurality of transfer positions corresponding to each of the apparatuses, processing capacity information indicating the number of processes per unit time of the transported object of each of the processing apparatuses, and a moving speed of the transport vehicle between the stop positions. Receiving the movement speed information and recording it in the recording means, and the standby position setting means based on the stop position, the transfer position, the processing capability information and the movement speed information recorded in the recording means, The total travel time per unit time based on the transport command of the transport vehicle between the stop position and each of the transfer positions when any one of the stop positions is the standby position is the stop position. Calculating each time, and setting the standby position based on the calculation result.

また本発明の半導体装置の製造ラインは、上記本発明の自動搬送システムを適用した半導体装置の製造ラインであって、複数の半導体製造装置および前記半導体製造装置の処理対象を含むウエハを一次保管しておくためのストッカとからなる装置群と、前記装置群の設置方向に沿って伸長する前記搬送車の移動領域と、からなる複数のベイエリアを有し、前記搬送車は、前記ベイエリア毎に少なくとも１台配備され、前記搬送指令に基づいて前記半導体製造装置と前記ストッカとの間で前記ウエハを搬送し、前記停止位置は、前記搬送車の移動領域上に設けられていることを特徴としている。   The semiconductor device manufacturing line of the present invention is a semiconductor device manufacturing line to which the above-described automatic transfer system of the present invention is applied, and primarily stores a plurality of semiconductor manufacturing devices and wafers including processing objects of the semiconductor manufacturing devices. A plurality of bay areas, each of which includes a device group including a stocker and a movement area of the transport vehicle extending along an installation direction of the device group. And at least one of the wafers is transferred between the semiconductor manufacturing apparatus and the stocker based on the transfer command, and the stop position is provided on a moving area of the transfer vehicle. It is said.

発明を実施するための形態BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

（第１実施例）
以下、本発明の実施例について図面を参照しつつ説明する。尚、以下に示す図において、実質的に同一又は等価な構成要素、部分には同一の参照符を付している。図２に本発明の自動搬送システム１００の制御構成を示す。以下においては、本発明の自動搬送システム１００を半導体装置の製造ラインに適用した場合を例に説明する。 (First embodiment)
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the drawings shown below, substantially the same or equivalent components and parts are denoted by the same reference numerals. FIG. 2 shows a control configuration of the automatic conveyance system 100 of the present invention. Hereinafter, a case where the automatic transfer system 100 of the present invention is applied to a semiconductor device manufacturing line will be described as an example.

搬送車３は、キャリアとなるウエハが収容されたウエハケースの搬送を実際に行う例えば無軌道式の無人搬送車である。搬送車３には、複数のキャリアを積載可能な荷台と、製造装置１やストッカ２との間でキャリアの受け渡しを行うためのアーム部を備えている。   The transport vehicle 3 is, for example, a trackless unmanned transport vehicle that actually transports a wafer case containing a wafer serving as a carrier. The transport vehicle 3 includes a loading platform on which a plurality of carriers can be loaded, and an arm unit for transferring carriers between the manufacturing apparatus 1 and the stocker 2.

ストッカ２は、製造装置１による処理を待つキャリアと、製造装置１で処理が完了したキャリアとを一次保管する保管庫である。ストッカ２は、ストッカ内のキャリアの搬送作業を行うスタッカクレーン、キャリアを収容しておくための収容棚、搬送車３との間でイントラベイ内でのキャリアの受け渡しを行うための入庫ポートおよび出庫ポート、搬送車３との間でインターベイ内でのキャリアの受け渡しを行うための搬入ポートおよび搬出ポートを備えている。   The stocker 2 is a storage that primarily stores a carrier waiting for processing by the manufacturing apparatus 1 and a carrier that has been processed by the manufacturing apparatus 1. The stocker 2 includes a stacker crane for carrying the carrier in the stocker, a storage shelf for holding the carrier, a warehousing port for delivering the carrier in the intrabay to the carrier 3 and a delivery. A carry-in port and a carry-out port for delivering a carrier in the interbay between the port and the transport vehicle 3 are provided.

搬送装置統合システム１０は、搬送ルートの決定、搬送車３およびストッカ２の制御、搬送車３とストッカ２の稼動管理および搬送作業の実行時間の管理を行う。搬送車３およびストッカ２は、搬送装置統合システム１０から断続的に供給される搬送指令に基づいて搬送作業を行う。かかる搬送統合システム１０による搬送制御によって効率的なキャリア搬送が実現される。本発明の自動搬送システム１００は、この搬送装置統合システム１０以下の部分を指す。搬送装置統合システム１０はホストシステム２０に接続され、工場全体のシステムに組み込まれる。搬送装置統合システム１０による搬送ルートの決定は、ホストシステムから指示される包括的な搬送要求に対して、搬送ルートマップ等の搬送システムの構成情報や搬送作業の実行情況等に基づいて搬送ルートを決定する機能である。搬送装置統合システム１０による搬送車３およびストッカ２の制御は、決定した搬送ルートに基づいて、搬送元および搬送先の情報を含む搬送指示を搬送車３およびストッカ２に供給し、搬送車３およびストッカ２に搬送作業を実行させる機能である。搬送装置統合システム１０による稼動管理は、搬送車３およびストッカ２の稼動状況を監視する機能である。搬送装置統合システム１０による搬送作業の実行時間管理は、ホストシステム２０が要求する時間内に作業が完了するように実行順序を決定する機能と実際に作業時間内に完了したかを監視する機能である。   The transport apparatus integration system 10 determines the transport route, controls the transport vehicle 3 and the stocker 2, manages the operation of the transport vehicle 3 and the stocker 2, and manages the execution time of the transport work. The transport vehicle 3 and the stocker 2 perform transport work based on a transport command that is intermittently supplied from the transport apparatus integration system 10. Efficient carrier conveyance is realized by the conveyance control by the conveyance integrated system 10. The automatic conveyance system 100 of this invention points out the part below this conveyance apparatus integrated system 10. FIG. The transport apparatus integration system 10 is connected to the host system 20 and is incorporated in the system of the entire factory. The transport route is determined by the transport system integration system 10 in response to a comprehensive transport request instructed by the host system based on the transport system configuration information such as the transport route map and the execution status of the transport work. It is a function to decide. Control of the transport vehicle 3 and the stocker 2 by the transport device integration system 10 is based on the determined transport route, and supplies a transport instruction including information on the transport source and transport destination to the transport vehicle 3 and the stocker 2. This is a function for causing the stocker 2 to perform a transport operation. The operation management by the transfer device integration system 10 is a function for monitoring the operation status of the transfer vehicle 3 and the stocker 2. The execution time management of the transfer work by the transfer apparatus integration system 10 is a function for determining the execution order so that the work is completed within the time required by the host system 20 and a function for monitoring whether the work is actually completed within the work time. is there.

製造装置１は、例えばウエハ洗浄装置、酸化炉、イオン注入装置、ＣＶＤ装置、スパッタ装置、エッチング装置等である。製造装置１は、ホストシステム２０に直結され、ホストシステム２０より供給される着工指示に基づいて稼動する。製造装置１は、ホストシステム２０に処理結果の実績報告を行う。   The manufacturing apparatus 1 is, for example, a wafer cleaning apparatus, an oxidation furnace, an ion implantation apparatus, a CVD apparatus, a sputtering apparatus, an etching apparatus, or the like. The manufacturing apparatus 1 is directly connected to the host system 20 and operates based on a start instruction supplied from the host system 20. The manufacturing apparatus 1 reports the results of processing results to the host system 20.

ホストシステム２０は、生産計画に沿った進捗管理を行うスケジューリングと次ロットの処理が可能になった製造装置にどのロットを割り当てるかの処理を行う機能を有し、包括的な搬送要求を搬送装置統合システム１０に対して与える。製造装置１は処理完了ロットの排出要求と次処理ロットの供給要求をホストシステム２０に対して行い、実質的な搬送作業のトリガを与える。   The host system 20 has a function of performing a scheduling for performing progress management in accordance with a production plan and a process for assigning a lot to a manufacturing apparatus that can process a next lot. To the integrated system 10. The manufacturing apparatus 1 issues a request for discharging a processed lot and a request for supplying a next processed lot to the host system 20 to give a substantial transport work trigger.

各製造装置およびストッカは、図１に示す如きレイアウトで配置され、イントラベイおよびインターベイが構成されている。図３に本実施例に係るイントラベイの構成図を示す。イントラベイ内には、製造装置群１を構成する例えば６台の製造装置１Ａ〜１Ｆが設けられている。これらの製造装置は、キャリアの搬送経路となる領域４を取り囲むように配置される。また、イントラベイの端部には、２台のストッカ２Ａおよび２Ｂが領域４を挟んで対向するように配置されている。これらの製造装置およびストッカに対して単位時間当たりに搬送されるロット数すなわち各装置の処理能力は各装置毎に異なっている。本実施例においては、製造装置１Ａは単位時間当たり４ロット、製造装置１Ｂは単位時間当たり６ロット、製造装置１Ｃは単位時間当たり１４ロット、製造装置１Ｄは単位時間当たり６ロット、製造装置１Ｅは単位時間当たり８ロットであり、製造装置１Ｆは単位時間当たり１２ロット、ストッカ２Ａは単位時間当たり１６ロット、ストッカ２Ｂは単位時間当たり３４ロットの搬送量（処理能力）となっている。これらの各装置の処理能力は、搬送装置統合システムが備えるメモリに登録されている。また、イントラベイ内には搬送車３が２台配備されている。これらの搬送車３は、搬送装置統合システム１０より供給されるFROM-TO搬送指令に基づいて各ストッカから各製造装置へ又は各製造装置から各ストッカへウエハの移載を行う。   Each manufacturing apparatus and stocker are arranged in a layout as shown in FIG. 1, and an intrabay and an interbay are configured. FIG. 3 shows a configuration diagram of the intrabay according to the present embodiment. In the intrabay, for example, six manufacturing apparatuses 1A to 1F that constitute the manufacturing apparatus group 1 are provided. These manufacturing apparatuses are arranged so as to surround a region 4 that becomes a carrier conveyance path. Further, two stockers 2A and 2B are arranged at the end of the intrabay so as to face each other with the region 4 interposed therebetween. The number of lots transported per unit time with respect to these manufacturing apparatuses and stockers, that is, the processing capacity of each apparatus is different for each apparatus. In this embodiment, the manufacturing apparatus 1A has 4 lots per unit time, the manufacturing apparatus 1B has 6 lots per unit time, the manufacturing apparatus 1C has 14 lots per unit time, the manufacturing apparatus 1D has 6 lots per unit time, and the manufacturing apparatus 1E has There are 8 lots per unit time, the manufacturing apparatus 1F has a transfer amount (processing capacity) of 12 lots per unit time, the stocker 2A has 16 lots per unit time, and the stocker 2B has 34 lots per unit time. The processing capability of each of these apparatuses is registered in a memory included in the transport apparatus integrated system. In addition, two transport vehicles 3 are arranged in the intrabay. These transfer vehicles 3 transfer wafers from each stocker to each manufacturing apparatus or from each manufacturing apparatus to each stocker based on a FROM-TO transfer command supplied from the transfer apparatus integration system 10.

図３に示すように、搬送車３の搬送経路となる領域４には、例えば、縦方向および横方向において均等間隔に配置された３０ポイントからなる搬送車３の停止位置が定められている。イントラベイ内の各装置は、この停止位置の配列方向に沿って配置される。搬送車３は、この停止位置において停止および方向変換できるようになっており、図中上下左右方向において隣接する停止位置間を結ぶ線上を走行できるようになっており、停止位置の各々によって搬送車３の移動経路網が構成されている。この停止位置にはそれぞれ１から３０の識別番号が割り付けられており、各停止位置の位置情報が識別番号と対応付けられて搬送装置統合システム１０に備えられたメモリに登録されている。これら３０ポイントの停止位置のうち製造装置１Ａ〜１Ｆおよびストッカ２Ａ、２Ｂの直近に位置するものを移載位置と称する。すなわち、搬送車３は移載位置において各製造装置Ａ〜Ｆ又はストッカ２Ａ、２Ｂとの間でウエハの受け渡しを行う。図３に示す本実施例のイントラベイの構成においては、停止位置１、３、７、１５、１９、２４、２８および３０の８箇所が移載位置となる。かかる移載位置の位置情報は、停止位置の識別番号と対応付けられて搬送装置統合システム１０に備えられたメモリに登録されている。   As shown in FIG. 3, the stop position of the transport vehicle 3 consisting of 30 points arranged at equal intervals in the vertical direction and the horizontal direction is defined in the region 4 that becomes the transport path of the transport vehicle 3, for example. Each device in the intrabay is arranged along the arrangement direction of the stop positions. The transport vehicle 3 can stop and change direction at this stop position, and can travel on a line connecting adjacent stop positions in the vertical and horizontal directions in the figure. 3 mobile route networks are configured. Each stop position is assigned an identification number from 1 to 30, and the position information of each stop position is registered in a memory provided in the transport apparatus integrated system 10 in association with the identification number. Among these 30-point stop positions, those located in the immediate vicinity of the manufacturing apparatuses 1A to 1F and the stockers 2A and 2B are referred to as transfer positions. In other words, the transport vehicle 3 delivers the wafer to and from the manufacturing apparatuses A to F or the stockers 2A and 2B at the transfer position. In the configuration of the intrabay of the present embodiment shown in FIG. 3, eight positions of stop positions 1, 3, 7, 15, 19, 24, 28, and 30 are transfer positions. The position information of the transfer position is registered in a memory provided in the transport apparatus integration system 10 in association with the stop position identification number.

搬送車３は、上記したように、搬送装置統合システム１０から供給される搬送元と搬送先の情報を含むFROM-TO搬送指令に基づいてキャリアの搬送を行うが、本実施例においてはその搬送パターンは、次の２４通りである。すなわち、ストッカ２Ａから製造装置１Ａ又は１Ｂ又は１Ｃ又は１Ｄ又は１Ｅ又は１Ｆに向かう経路と、ストッカ２Ｂから製造装置１Ａ又は１Ｂ又は１Ｃ又は１Ｄ又は１Ｅ又は１Ｆに向かう経路と、製造装置１Ａ又は１Ｂ又は１Ｃ又は１Ｄ又は１Ｅ又は１Ｆからストッカ２Ａに向かう経路と、製造装置１Ａ又は１Ｂ又は１Ｃ又は１Ｄ又は１Ｅ又は１Ｆからストッカ２Ｂに向かう経路である。例えば、ストッカ２Ａから製造装置１Ｃにウエハを搬送すべき搬送指令が搬送装置統合システム１０より発せられると、これを受信したストッカ２Ａは対象ロットを収容棚から出庫ポートに移動させ、ウエハの引渡し準備を行う。一方、搬送車３は、上記搬送指令を受信すると、所定の待機位置から移載位置である停止位置１へ移動し、ストッカ２Ａの出庫ポートからウエハを受け取った後、移載位置である停止位置１９に移動して製造装置１Ｃにウエハを供給する。   As described above, the transport vehicle 3 transports the carrier based on the FROM-TO transport command including the information of the transport source and the transport destination supplied from the transport device integration system 10. In this embodiment, the transport vehicle 3 transports the carrier. There are the following 24 patterns. That is, the path from the stocker 2A to the manufacturing apparatus 1A or 1B or 1C or 1D or 1E or 1F, the path from the stocker 2B to the manufacturing apparatus 1A or 1B or 1C or 1D or 1E or 1F, and the manufacturing apparatus 1A or 1B or A path from 1C or 1D or 1E or 1F to the stocker 2A and a path from the manufacturing apparatus 1A or 1B or 1C or 1D or 1E or 1F to the stocker 2B. For example, when a transfer command to transfer a wafer from the stocker 2A to the manufacturing apparatus 1C is issued from the transfer apparatus integrated system 10, the stocker 2A that has received the instruction moves the target lot from the storage shelf to the delivery port, and prepares for wafer delivery. I do. On the other hand, when the transfer vehicle 3 receives the transfer command, the transfer vehicle 3 moves from a predetermined standby position to a stop position 1 which is a transfer position, receives a wafer from the delivery port of the stocker 2A, and then stops at a transfer position. It moves to 19 and supplies a wafer to manufacturing apparatus 1C.

本発明の自動搬送システム１００においては、搬送装置統合システム１０から搬送指令が発せられる前の待機状態にあるときは、搬送車３を以下に示す方法により定められる特定の停止位置に待機させることにより、搬送車３は、次の搬送指令に係る搬送元の製造装置又はストッカにより早く到着することが可能となり、搬送時間の短縮化を図ることが可能となる。   In the automatic transfer system 100 of the present invention, when the transfer vehicle integrated system 10 is in a standby state before a transfer command is issued, the transfer vehicle 3 is made to wait at a specific stop position determined by the following method. The transport vehicle 3 can arrive early by the manufacturing apparatus or stocker of the transport source related to the next transport command, and the transport time can be shortened.

以下に、搬送車３の待機位置の設定方法について説明する。搬送経路上の特定の停止位置Ｎ（本実施例の場合Ｎは１〜３０の自然数）が搬送車３の待機位置であるものと仮定する。このとき、搬送車３は搬送指令に基づいて停止位置Ｎから特定の製造装置又はストッカまでの距離ａを単位時間当たりｋ回移動することとなる。ここでｋは、当該製造装置又はストッカの単位時間あたりの搬送ロット数である。従って、搬送車３が停止位置Ｎと搬送指令に係る特定の製造装置又はストッカとの間を移動する単位時間あたりの移動距離ｌは、
ｌ＝ａ×ｋ・・・（１）
と表すことができる。このようにして求められる搬送車の特定の装置との間の移動距離ｌを各製造装置毎およびストッカ毎に算出し、その総和を求めることにより、停止位置Ｎを待機位置とした場合の搬送車３の単位時間当たりの総移動距離LNを求めることができる。 Below, the setting method of the standby position of the conveyance vehicle 3 is demonstrated. It is assumed that a specific stop position N (N is a natural number of 1 to 30 in this embodiment) on the transport path is the standby position of the transport vehicle 3. At this time, the transport vehicle 3 moves the distance a from the stop position N to the specific manufacturing apparatus or stocker k times per unit time based on the transport command. Here, k is the number of transport lots per unit time of the manufacturing apparatus or stocker. Therefore, the moving distance l per unit time that the transport vehicle 3 moves between the stop position N and the specific manufacturing apparatus or stocker related to the transport command is:
l = a × k (1)
It can be expressed as. The transporting vehicle 1 in the case where the stop position N is set as the standby position is calculated by calculating the moving distance l between the transporting vehicle and the specific device thus obtained for each manufacturing device and each stocker. The total movement distance L N per unit time of 3 can be obtained.

次に、このようにして求められる搬送車３の総移動距離LNを停止位置１〜３０を待機位置とした場合のそれぞれについて算出する。そして、各停止位置毎に算出された総移動距離L1〜L30のうち最も値が小さくなる停止位置がラインの重心点となるので、かかる停止位置を搬送車３の待機位置として設定する。すなわち、本発明の自動搬送システムにおいては、イントラベイ内を走行する搬送車３の待機位置から搬送元の装置までの単位時間当たりの総移動距離が最小となるように待機位置を設定することによりトータルの搬送時間の短縮が達成されるのである。 Next, the total movement distance L N of the transport vehicle 3 obtained in this way is calculated for each of the cases where the stop positions 1 to 30 are the standby positions. Since the stop position having the smallest value among the total movement distances L 1 to L 30 calculated for each stop position is the center of gravity of the line, the stop position is set as the standby position of the transport vehicle 3. That is, in the automatic conveyance system of the present invention, the standby position is set so that the total movement distance per unit time from the standby position of the transport vehicle 3 traveling in the intrabay to the transport source device is minimized. A reduction in total transport time is achieved.

以下において、上記した方法を用いて図３に示す構成を有するイントラベイ内に配備された搬送車３の待機位置を実際に求める。尚、互いに隣接する停止位置間の距離を１とする。まず、停止位置１を待機位置とした場合の搬送車３の単位時間当たりの総移動距離L１を求める。
停止位置１とストッカ２Ａとの間の単位時間当たりの移動距離ｌは、ａ＝０、ｋ＝１６であるので式（１）よりｌ＝０である。
停止位置１とストッカ２Ｂとの間の単位時間当たりの移動距離ｌは、ａ＝２、ｋ＝３４であるので式（１）よりｌ＝６８である。
停止位置１と製造装置１Ａとの間の単位時間当たりの移動距離ｌは、ａ＝２、ｋ＝４であるので式（１）よりｌ＝８である。
停止位置１と製造装置１Ｂとの間の単位時間当たりの移動距離ｌは、ａ＝６、ｋ＝６であるので式（１）よりｌ＝３６である。
停止位置１と製造装置１Ｃとの間の単位時間当たりの移動距離ｌは、ａ＝６、ｋ＝１４であるので式（１）よりｌ＝８４である。
停止位置１と製造装置１Ｄとの間の単位時間当たりの移動距離ｌは、ａ＝６、ｋ＝９であるので式（１）よりｌ＝５４である。
停止位置１と製造装置１Ｅとの間の単位時間当たりの移動距離ｌは、ａ＝９、ｋ＝８であるので式（１）よりｌ＝７２である。
停止位置１と製造装置１Ｆとの間の単位時間当たりの移動距離ｌは、ａ＝１１、ｋ＝１２であるので式（１）よりｌ＝１３２である。 In the following, the standby position of the transport vehicle 3 arranged in the intrabay having the configuration shown in FIG. Note that the distance between adjacent stop positions is 1. First, the total distance L 1 per unit time transport vehicle 3 in the case of a standby position stop position 1.
Since the moving distance l per unit time between the stop position 1 and the stocker 2A is a = 0 and k = 16, l = 0 from the equation (1).
Since the moving distance l per unit time between the stop position 1 and the stocker 2B is a = 2 and k = 34, l = 68 from equation (1).
Since the moving distance l per unit time between the stop position 1 and the manufacturing apparatus 1A is a = 2 and k = 4, l = 8 from the equation (1).
Since the movement distance l per unit time between the stop position 1 and the manufacturing apparatus 1B is a = 6 and k = 6, l = 36 from the equation (1).
Since the movement distance l per unit time between the stop position 1 and the manufacturing apparatus 1C is a = 6 and k = 14, l = 84 from the equation (1).
Since the moving distance l per unit time between the stop position 1 and the manufacturing apparatus 1D is a = 6 and k = 9, l = 54 from Equation (1).
Since the movement distance l per unit time between the stop position 1 and the manufacturing apparatus 1E is a = 9 and k = 8, l = 72 from Equation (1).
Since the moving distance l per unit time between the stop position 1 and the manufacturing apparatus 1F is a = 11, k = 12, l = 132 from the equation (1).

そして、停止位置１を待機位置とした場合の搬送車３の単位時間あたりの総移動距離L1は、上記各製造装置およびストッカ毎に求めた移動距離ｌの総和によって求められ、これを計算するとL1＝４５４となる。同様にして、停止位置２を待機位置とした場合について搬送車３の単位時間あたりの総移動距離L2を求めると、L2＝３９４となる。以下、同様の方法で求められる各停止位置毎の搬送車３の単位時間あたりの総移動距離L1〜L30の算出結果を図４に示す。そして、この算出されたL1〜L30のうち最も値が小さい２つを抽出し、これらに対応する停止位置の各々をイントラベイに配備された２台の搬送車の待機位置としてそれぞれ割り当てる。図４においては、L1〜L30を値の小さい順に順位付けした場合の順位が示されている。本実施例においては、停止位置３を待機位置とした場合に搬送車３の単位時間当たりの総移動距離が最も短くなるので停止位置３を一方の搬送車の待機位置として割り当てる。次いで停止位置６を待機位置とした場合に搬送車３の単位時間当たりの総移動距離が短くなるので、停止位置６を他方の搬送車の待機位置として割り当てる。尚、待機位置は、総移動距離が最小となる停止位置に限らず、例えば総移動距離が２番目若しくは３番目に小さいものに対応する停止位置を待機位置に設定することとしてもよい。 Then, the total movement distance L 1 per unit time of the transport vehicle 3 when the stop position 1 is set as the standby position is obtained by the sum of the movement distances l obtained for each manufacturing apparatus and stocker. L 1 = 454. Similarly, when the total movement distance L 2 per unit time of the transport vehicle 3 is obtained when the stop position 2 is set as the standby position, L 2 = 394. Hereinafter, the calculation results of the total movement distances L 1 to L 30 per unit time of the transport vehicle 3 for each stop position obtained by the same method are shown in FIG. Then, two of the calculated values L 1 to L 30 that are the smallest are extracted, and each of the corresponding stop positions is assigned as a standby position for two transport vehicles arranged in the intrabay. FIG. 4 shows the ranking when L 1 to L 30 are ranked in ascending order of value. In this embodiment, when the stop position 3 is set as the standby position, the total travel distance per unit time of the transport vehicle 3 is the shortest, so the stop position 3 is assigned as the standby position of one transport vehicle. Next, when the stop position 6 is set as the standby position, the total movement distance per unit time of the transport vehicle 3 is shortened, so the stop position 6 is assigned as the standby position of the other transport vehicle. Note that the standby position is not limited to the stop position at which the total movement distance is minimum, and for example, the stop position corresponding to the second or third smallest movement distance may be set as the standby position.

上記した本実施例に係る搬送車３の待機位置の設定は、搬送装置統合システム１０が図５に示すフローチャートによって示されるプログラムを実行することにより実現される。以下、搬送装置統合システム１０による搬送車３の待機位置の設定動作について図５のフローチャートを参照しつつ説明する。尚、搬送装置統合システム１０が搬送車３の待機位置の設定処理を行うためには、搬送経路上の各停止位置および移載位置の位置情報と、各製造装置およびストッカの単位時間当たりの搬送ロット数（処理能力情報）が事前に搬送装置統合システム１０に登録されていることが前提となる。これらの各情報は、例えば搬送装置統合システム１０に付随する端末装置のキーボード等の入力手段により入力され、搬送装置統合システム１０に備えるメモリに記録される。まず、搬送装置統合システム１０は、停止位置の識別番号Ｎに１をセットする（ステップＳ１）。これにより、停止位置１が選択される（ステップＳ２）。次に、搬送装置統合システム１０は、停止位置１から各移載位置までの各距離ａを登録された停止位置および移載位置の位置情報に基づいて算出する（ステップＳ３）。次に、搬送装置統合システム１０は、算出した各距離ａと対応する装置の単位時間あたりの処理数ｋとを乗算して停止位置１と各移載位置との間の単位時間当たりの移動距離ｌを各移載位置毎に求め、それぞれの値を合算して、停止位置１を待機位置とした場合の搬送車３の単位時間当たりの総移動距離L1を求め、これを自身に備えるメモリに格納する（ステップＳ４）。続いて、搬送装置統合システム１０は、Ｎの値に１を加算し（ステップＳ４）、その結果得られた値が３０よりも大であるか否かを判定する（ステップＳ５）。すなわち、本ステップにおいては、搬送経路に設けられた３０ポイントの停止位置の全てについて算出処理が完了したか否かが判定される。そして、搬送装置統合システム１０は、ステップＳ５においてＮ＞３０と判定されるまでステップＳ２〜Ｓ５の処理を繰り返し実行し、停止位置２〜３０を待機位置とした場合についても同様に搬送車３の単位時間当たりの総移動距離L2〜L30を算出し、これらをメモリに格納する。搬送装置統合システム１０は、全ての停止位置について総移動距離L1〜L30の算出が完了すると、ステップＳ６に進み、メモリに格納されたL1〜L30の値を読み出して、値の最も小さい２つを抽出し、これに対応する停止位置を搬送車の待機位置として設定する（ステップＳ６）。搬送装置統合システム１０は、搬送車３による搬送作業が完了すると、上記ステップを経て設定した待機位置で待機すべき待機指令をイントラベイ内に配備された２台の搬送車３にそれぞれ送信する。 The setting of the standby position of the transport vehicle 3 according to the present embodiment described above is realized by the transport apparatus integrated system 10 executing a program shown by the flowchart shown in FIG. Hereinafter, the setting operation of the standby position of the transport vehicle 3 by the transport apparatus integration system 10 will be described with reference to the flowchart of FIG. In addition, in order for the conveyance apparatus integrated system 10 to perform the setting process of the standby position of the conveyance vehicle 3, the position information of each stop position and transfer position on the conveyance path, and conveyance per unit time of each manufacturing apparatus and stocker. It is assumed that the number of lots (processing capacity information) is registered in advance in the transfer apparatus integrated system 10. Each of these pieces of information is input by input means such as a keyboard of a terminal device attached to the transport apparatus integration system 10 and is recorded in a memory provided in the transport apparatus integration system 10. First, the transport apparatus integration system 10 sets 1 to the stop position identification number N (step S1). Thereby, the stop position 1 is selected (step S2). Next, the transport apparatus integrated system 10 calculates each distance a from the stop position 1 to each transfer position based on the registered stop position and position information of the transfer position (step S3). Next, the transport apparatus integration system 10 multiplies the calculated distances a by the number k of processing of the corresponding apparatus per unit time, and the movement distance per unit time between the stop position 1 and each transfer position. l is obtained for each transfer position, and the respective values are added together to obtain the total movement distance L 1 per unit time of the transport vehicle 3 when the stop position 1 is set as the standby position, and this is provided in the memory. (Step S4). Subsequently, the transport apparatus integration system 10 adds 1 to the value of N (step S4), and determines whether or not the resulting value is greater than 30 (step S5). That is, in this step, it is determined whether or not the calculation process has been completed for all the 30-point stop positions provided in the transport path. And the conveyance apparatus integrated system 10 repeats the process of step S2-S5 until it determines with N> 30 in step S5, and also when the stop position 2-30 is made into a standby position, it is the same of the conveyance vehicle 3. The total movement distances L 2 to L 30 per unit time are calculated and stored in the memory. When the calculation of the total movement distances L 1 to L 30 is completed for all stop positions, the transport apparatus integration system 10 proceeds to step S6, reads the values of L 1 to L 30 stored in the memory, and sets the maximum value. Two smaller ones are extracted, and the corresponding stop position is set as the standby position of the transport vehicle (step S6). When the transport operation by the transport vehicle 3 is completed, the transport apparatus integration system 10 transmits a standby command to be standby at the standby position set through the above steps to each of the two transport vehicles 3 provided in the intrabay.

以下において、イントラベイ内に配備される搬送車の待機位置を上記の如く設定することによってもたらされる搬送時間の短縮効果について例えば、搬送車の待機位置を搬送作業終了後の各装置直近の移載位置とした場合と比較することにより定量的に検証する。かかる比較例の場合、搬送車３の総移動距離の期待値Ｅは、以下ようにして求めることができる。すなわち、図３に示すレイアウトによれば移載位置は、停止位置１、３、７、１５、１９、２４、２５、３０であり、搬送車３はこれらのうちのいずれかで待機することとなる。これらの移載位置を待機位置とした場合の搬送車３の単位時間当たりの総移動距離L１、L3、L7、L15、L19、L24、L25、L30を上記したものと同様の手順で求める（これらの算出結果は図４に示してある）。次に、各移載位置が待機位置となる確率SNを求める。この確率SNは、当該移載位置に対応する製造装置又はストッカの単位時間あたりの搬送ロット数をｋ、イントラベイ内の各製造装置およびストッカの単位時間あたりの搬送ロット数の総和をｊとすると、
SN=ｋ/ｊ・・・（２）
と表すことができる。 In the following, with respect to the effect of shortening the transport time brought about by setting the standby position of the transport vehicle arranged in the intrabay as described above, for example, the transfer position of the transport vehicle closest to each device after the completion of the transport operation is set. It is verified quantitatively by comparing with the position. In the case of such a comparative example, the expected value E of the total movement distance of the transport vehicle 3 can be obtained as follows. That is, according to the layout shown in FIG. 3, the transfer positions are the stop positions 1, 3, 7, 15, 19, 24, 25, and 30, and the transport vehicle 3 waits at any of these. Become. The total moving distances L 1 , L 3 , L 7 , L 15 , L 19 , L 24 , L 25 , and L 30 per unit time when the transfer position is set as the standby position are described above. (The calculation results are shown in FIG. 4). Next, a probability S N that each transfer position is a standby position is obtained. This probability S N is the number of transport lots per unit time of the manufacturing apparatus or stocker corresponding to the transfer position, and j is the total number of transport lots per unit time of each manufacturing apparatus and stocker in the intrabay. Then
S N = k / j (2)
It can be expressed as.

式（２）より、停止位置１が待機位置となる確率S1は16/100である。停止位置３が待機位置となる確率S3は34/100である。停止位置７が待機位置となる確率S7は4/100である。停止位置１５が待機位置となる確率S15は6/100である。停止位置１９が待機位置となる確率S19は14/100である。停止位置２４が待機位置となる確率S24は8/100である。停止位置２５が待機位置となる確率S25は6/100である。停止位置３０が待機位置となる確率S30は12/100である。そして、比較例において、搬送車３の単位時間当たりの総移動距離の期待値Eは、
E=(L1×S1)+ (L3×S3) + (L7×S7) + (L15×S15) + (L19×S19) + (L24×S24) + (L25×S25) + (L30×S30)・・・（３）
と表すことができ、これを計算すると期待値E=458.96となる。 From the equation (2), the probability S 1 that the stop position 1 becomes the standby position is 16/100. Probability S 3 that the stop position 3 in the standby position is 34/100. Probability S 7 the stop position 7 becomes the standby position is 4/100. Probability S 15 the stop position 15 in the standby position is 6/100. Probability S 19 the stop position 19 is in the standby position is 14/100. Probability S 24 the stop position 24 is in the standby position is 8/100. Probability S 25 to stop position 25 is in the standby position is 6/100. Probability S 30 to stop position 30 is in the standby position is 12/100. In the comparative example, the expected value E of the total movement distance per unit time of the transport vehicle 3 is
E = (L 1 × S 1 ) + (L 3 × S 3 ) + (L 7 × S 7 ) + (L 15 × S 15 ) + (L 19 × S 19 ) + (L 24 × S 24 ) + (L 25 × S 25 ) + (L 30 × S 30 ) (3)
When this is calculated, the expected value E = 458.96.

一方、本実施例に係る方法によって設定された停止位置３に待機している搬送車の単位時間当たりの総移動距離は３７８であるので、上記比較例と比較して１７．６％の搬送時間の短縮が達成される。また、本発明に係る手法により選定された停止位置６に待機している搬送車の単位時間当たりの総移動距離は３８２であるので、上記比較例と比較して１６．８％の搬送時間の短縮が達成される。   On the other hand, since the total moving distance per unit time of the transport vehicle waiting at the stop position 3 set by the method according to the present embodiment is 378, the transport time is 17.6% compared with the comparative example. Shortening is achieved. Further, since the total moving distance per unit time of the transport vehicle waiting at the stop position 6 selected by the method according to the present invention is 382, the transport time is 16.8% compared with the comparative example. Shortening is achieved.

上記イントラベイ内に配備された搬送車の待機位置の設定方法は、インターベイ内の搬送車にも適用することが可能である。図６に本実施例に係るインターベイの構成図を示す。インターベイ内には、キャリアの搬送経路となる領域５を取り囲むように例えば５台のストッカ２Ｃ〜２Ｇが設けられている。これらのストッカに対して単位時間あたり搬送されるロット数すなわち各ストッカの単位時間当たりの処理量は、ストッカ毎に異なっている。本実施例においては、ストッカ２Ｃは単位時間当たり８ロット、ストッカ２Ｄは単位時間当たり１０ロット、ストッカ２Ｅは単位時間当たり１２ロット、ストッカ２Ｆは単位時間当たり６ロット、ストッカ２Ｇは単位時間当たり１４ロットの搬送量となっている。これらの各ストッカの処理能力は、搬送装置統合システム１０が備えるメモリに登録されている。また、インターベイ内には搬送車３が３台配備されている。   The method for setting the standby position of the transport vehicle arranged in the intrabay can be applied to the transport vehicle in the interbay. FIG. 6 shows a configuration diagram of the interbay according to the present embodiment. In the interbay, for example, five stockers 2C to 2G are provided so as to surround a region 5 serving as a carrier transport path. The number of lots transported per unit time with respect to these stockers, that is, the amount of processing per unit time of each stocker differs for each stocker. In this embodiment, the stocker 2C is 8 lots per unit time, the stocker 2D is 10 lots per unit time, the stocker 2E is 12 lots per unit time, the stocker 2F is 6 lots per unit time, and the stocker 2G is 14 lots per unit time. This is the transport amount. The processing capability of each stocker is registered in a memory included in the transport apparatus integration system 10. In addition, three transport vehicles 3 are arranged in the interbay.

搬送車３の走行経路となる領域５には、その周方向に沿って互いに等間隔に配置された２２ポイントからなる搬送車３の停止位置が定められている。搬送車３は互いに隣接する停止位置間を結ぶ線上を図中矢印方向にのみ走行でき、各停止位置において停止できるようになっている。つまり、インターベイ内の搬送車３の搬送経路は一方通行単線となっている。停止位置にはそれぞれ１から２２の識別番号が割り付けられており、各停止位置の位置情報が識別番号と対応付けられて搬送装置統合システム１０に登録されている。これら２２箇所の停止位置のうち、ストッカ２Ｃ〜２Ｇの直近に位置するものを移載位置と称する。すなわち、搬送車３は移載位置において各ストッカとの間でウエハの受け渡しを行う。図６に示す本実施例のインターベイの構成においては、停止位置１、７、１０、１４、１７の５箇所が移載位置となる。   A stop position of the transport vehicle 3 composed of 22 points arranged at equal intervals along the circumferential direction is defined in the region 5 serving as the travel route of the transport vehicle 3. The transport vehicle 3 can travel only in the direction of the arrow in the drawing on a line connecting adjacent stop positions, and can stop at each stop position. That is, the conveyance route of the conveyance vehicle 3 in the interbay is a one-way single line. Each stop position is assigned an identification number 1 to 22, and the position information of each stop position is registered in the transport apparatus integrated system 10 in association with the identification number. Of these 22 stop positions, the position closest to the stockers 2C to 2G is referred to as a transfer position. That is, the transfer vehicle 3 transfers wafers to and from each stocker at the transfer position. In the configuration of the interbay of the present embodiment shown in FIG. 6, five positions of stop positions 1, 7, 10, 14, and 17 are transfer positions.

搬送車３は、搬送装置統合システム１０から供給される搬送元と搬送先の情報を含むFROM-TO搬送指令に基づいてキャリアの搬送を行うが、インターベイ内においてはその搬送パターンは、次の２０通りである。すなわち、ストッカ２Ｃからストッカ２Ｄ又は２Ｅ又は２Ｆ又は２Ｇに向かう経路と、ストッカ２Ｄからストッカ２Ｃ又は２Ｅ又は２Ｆ又は２Ｇに向かう経路と、ストッカ２Ｅからストッカ２Ｃ又は２Ｄ又は２Ｆ又は２Ｇに向かう経路と、ストッカ２Ｆからストッカ２Ｃ又は２Ｄ又は２Ｅ又は２Ｇに向かう経路と、ストッカ２Ｇからストッカ２Ｃ又は２Ｄ又は２Ｅ又は２Ｆに向かう経路である。例えば、ストッカ２Ｃからストッカ２Ｇにウエハを搬送すべき搬送指令が搬送装置統合システム１０より発せられると、これを受信したストッカ２Ｃは対象ロットを収容棚から搬出ポートに移動させ、ウエハの引渡し準備を行う。搬送車３は、上記搬送指令を受信すると、待機位置から移載位置１へ移動し、ストッカ２Ｃの搬出ポートからウエハを受け取り、移載位置１４に移動してストッカ２Ｇの搬入ポートにウエハを供給する。   The transport vehicle 3 transports a carrier based on a FROM-TO transport command including information on a transport source and a transport destination supplied from the transport device integration system 10, but the transport pattern in the interbay is as follows: There are 20 ways. That is, a route from the stocker 2C to the stocker 2D or 2E or 2F or 2G, a route from the stocker 2D to the stocker 2C or 2E or 2F or 2G, a route from the stocker 2E to the stocker 2C or 2D or 2F or 2G, A route from the stocker 2F to the stocker 2C or 2D or 2E or 2G and a route from the stocker 2G to the stocker 2C or 2D or 2E or 2F. For example, when a transfer command to transfer a wafer from the stocker 2C to the stocker 2G is issued from the transfer apparatus integrated system 10, the stocker 2C that has received this moves the target lot from the storage shelf to the carry-out port, and prepares for wafer delivery. Do. Upon receipt of the transfer command, the transfer vehicle 3 moves from the standby position to the transfer position 1, receives the wafer from the carry-out port of the stocker 2C, moves to the transfer position 14, and supplies the wafer to the carry-in port of the stocker 2G. To do.

本発明の自動搬送システム１００においては、インターベイ内に配備される搬送車３の待機位置は、上記インターベイの場合と同様の方法により設定される。これにより搬送車３は、次の搬送指令に係る搬送元のストッカにより早く到着することが可能となり、搬送時間の短縮化を図ることが可能となる。   In the automatic transport system 100 of the present invention, the standby position of the transport vehicle 3 provided in the interbay is set by the same method as in the interbay. As a result, the transport vehicle 3 can arrive earlier by the transporter stocker related to the next transport command, and the transport time can be shortened.

以下に、インターベイ内の搬送車３の待機位置の設定方法について説明する。まず、搬送経路上の特定の停止位置Ｎ（本実施例の場合Ｎは１〜２２の自然数）が搬送車３の待機位置であるものと仮定する。このとき、搬送車３は搬送指令に基づいて停止位置Ｎから特定のストッカまでの距離ａを単位時間当たりｋ回移動することとなる。ここでｋは、当該ストッカの単位時間あたりの搬送ロット数である。従って、搬送車３が停止位置Ｎと搬送指令に係る特定のストッカとの間を移動する単位時間あたりの移動距離ｌは、
ｌ＝ａ×ｋ・・・（４）
と表すことができる。このようにして求められる搬送車の特定のストッカとの間の移動距離ｌを各ストッカ毎に算出し、その総和を求めることにより停止位置Ｎを待機位置とした場合の搬送車３の単位時間当たりの総移動距離LNを求めることができる。 Below, the setting method of the standby position of the conveyance vehicle 3 in an interbay is demonstrated. First, it is assumed that a specific stop position N on the transport path (in this embodiment, N is a natural number of 1 to 22) is the standby position of the transport vehicle 3. At this time, the transport vehicle 3 moves the distance a from the stop position N to the specific stocker k times per unit time based on the transport command. Here, k is the number of transport lots per unit time of the stocker. Therefore, the movement distance l per unit time that the conveyance vehicle 3 moves between the stop position N and the specific stocker according to the conveyance command is:
l = a × k (4)
It can be expressed as. The movement distance l between the transporter and the specific stocker thus obtained is calculated for each stocker, and the sum is obtained to determine the total per unit time of the transport vehicle 3 when the stop position N is set as the standby position. it is possible to determine the total distance traveled L N of.

次に、このようにして求められる搬送車３の総移動距離LNを停止位置１〜２２を待機位置とした場合のそれぞれについて算出する。そして、各停止位置毎に算出された総移動距離L1〜L22のうち最も値が小さくなる停止位置がラインの重心点となるので、かかる停止位置を搬送車３の待機位置として設定する。すなわち、本発明に係る自動搬送システムにおいては、インターベイ内を走行する搬送車３の単位時間当たりの総移動距離が最小となるように搬送車の待機位置を設定することにより搬送時間の短縮が達成されるのである。 Next, the total travel distance L N of the transport vehicle 3 obtained in this way is calculated for each of the cases where the stop positions 1 to 22 are the standby positions. Since the stop position having the smallest value among the total movement distances L 1 to L 22 calculated for each stop position is the center of gravity of the line, the stop position is set as the standby position of the transport vehicle 3. That is, in the automatic transport system according to the present invention, the transport time can be shortened by setting the standby position of the transport vehicle so that the total travel distance per unit time of the transport vehicle 3 traveling in the interbay is minimized. It is achieved.

以下において、上記した方法により図６に示す構成を有するインターベイ内の搬送車３の待機位置を実際に求める。尚、互いに隣接する停止位置間の距離を１とする。まず、停止位置１を待機位置とした場合の搬送車３の単位時間当たりの総移動距離L１を求める。
停止位置１とストッカ２Ｃとの間の単位時間当たりの移動距離ｌは、ａ＝０、ｋ＝８であるので式（４）よりｌ＝０である。
停止位置１とストッカ２Ｄとの間の単位時間当たりの移動距離ｌは、ａ＝６、ｋ＝１０であるので式（４）よりｌ＝６０である。
停止位置１とストッカ２Ｅとの間の単位時間当たりの移動距離ｌは、ａ＝９、ｋ＝６であるので式（４）よりｌ＝５４である。
停止位置１とストッカ２Ｇとの間の単位時間当たりの移動距離ｌは、ａ＝１３、ｋ＝１４であるので式（４）よりｌ＝１８２である。
停止位置１とストッカ２Ｅとの間の単位時間当たりの移動距離ｌは、ａ＝１６、ｋ＝１２であるので式（４）よりｌ＝８４である。 Hereinafter, the standby position of the transport vehicle 3 in the interbay having the configuration shown in FIG. Note that the distance between adjacent stop positions is 1. First, the total distance L 1 per unit time transport vehicle 3 in the case of a standby position stop position 1.
Since the moving distance l per unit time between the stop position 1 and the stocker 2C is a = 0 and k = 8, l = 0 from the equation (4).
Since the movement distance l per unit time between the stop position 1 and the stocker 2D is a = 6 and k = 10, l = 60 from the equation (4).
Since the movement distance l per unit time between the stop position 1 and the stocker 2E is a = 9 and k = 6, l = 54 from the equation (4).
Since the movement distance l per unit time between the stop position 1 and the stocker 2G is a = 13 and k = 14, l = 182 from Equation (4).
Since the movement distance l per unit time between the stop position 1 and the stocker 2E is a = 16 and k = 12, l = 84 from the equation (4).

そして、停止位置１を待機位置とした場合の搬送車３の単位時間あたりの総移動距離L1は、ストッカ毎に求めた移動距離ｌの総和によって求められ、これを計算するとL1＝４８８となる。同様に停止位置２を待機位置とした場合について搬送車２の総移動距離L2を求めると、L2＝３９４となる。以下、同様の方法で求められる各停止位置毎の搬送車の単位時間あたりの総移動距離L1〜L22の算出結果を図７に示す。そして、この算出された総移動距離L1〜L22のうち最も値が小さい３つを抽出し、これらに対応する停止位置の各々を３台の搬送車３の待機位置として割り当てる。図７においては、L1〜L22を値の小さい順に順位付けした場合の順位が示されている。本実施例においては、停止位置７を待機位置とした場合に搬送車３の単位時間当たりの総移動距離が最も短くなるので、停止位置７をいずれかの搬送車の待機位置として割り当てる。次いで停止位置を１４および６とした場合に搬送車３の単位時間当たりの総移動距離が短くなるので、停止位置１４および６を他の２台の搬送車の待機位置として割り当てる。 Then, the total movement distance L 1 per unit time of the transport vehicle 3 when the stop position 1 is set as the standby position is obtained by the sum of the movement distances l obtained for each stocker. When this is calculated, L 1 = 488. Become. Similarly, when the total moving distance L 2 of the transport vehicle 2 is obtained when the stop position 2 is set as the standby position, L 2 = 394. Hereinafter, the calculation results of the total movement distances L 1 to L 22 per unit time of the transport vehicle for each stop position obtained by the same method are shown in FIG. Then, three of the calculated total movement distances L 1 to L 22 are extracted, and the corresponding stop positions are assigned as the standby positions of the three transport vehicles 3. FIG. 7 shows the ranking when L 1 to L 22 are ranked in ascending order of values. In this embodiment, when the stop position 7 is set as the standby position, the total movement distance per unit time of the transport vehicle 3 is the shortest, so the stop position 7 is assigned as the standby position of any transport vehicle. Next, when the stop positions are 14 and 6, since the total movement distance per unit time of the transport vehicle 3 is shortened, the stop positions 14 and 6 are assigned as standby positions for the other two transport vehicles.

上記方法によるインターベイ内に配備された搬送車３の待機位置の設定は、搬送装置統合システム１０が待機位置を選定するためのプログラムを実行することにより行われる。このプログラムは図５に示すフローチャートと同様の処理に係るものである。搬送装置統合システム１０が上記プログラムを実行することによりなされるインターベイ内の搬送車３の待機位置の設定動作については、上記したイントラベイ内におけるものと同様であるのでその説明は省略する。   The setting of the standby position of the transport vehicle 3 provided in the interbay by the above method is performed by the transport device integration system 10 executing a program for selecting the standby position. This program relates to the same processing as the flowchart shown in FIG. Since the operation of setting the standby position of the transport vehicle 3 in the interbay performed by the transport device integration system 10 executing the above program is the same as that in the above intrabay, the description thereof is omitted.

以下において、インターベイ内に配備される搬送車の待機位置を上記の如く設定することによってもたらされる搬送時間の短縮効果について例えば、搬送車の待機位置を搬送作業終了後の各ストッカ直近の移載位置とした場合と比較することにより定量的に検証する。かかる比較例の場合、搬送車３の総移動距離の期待値Ｅは、以下ようにして求めることができる。すなわち、図６に示すレイアウトによれば移載位置は停止位置１、７、１０、１４、１７であり、搬送車３はこれらのうちのいずれかで待機することとなる。これらの停止位置を待機位置とした場合の搬送車３の単位時間当たりの総移動距離L１、L7、L10、L14、L17を上記したものと同様の手順で求める（これらの算出結果は図７に示してある）。次に、各移載位置が待機位置となる確率SNを求める。この確率SNは、当該移載位置に対応するストッカの単位時間あたりの搬送ロット数をｋ、インターベイ内の各ストッカの単位時間あたりの搬送ロット数の総和をｊとすると、
SN=ｋ/ｊ・・・（５）
と表すことができる。式（５）より、停止位置１が待機位置となる確率S1は8/50である。停止位置７が待機位置となる確率S7は10/50である。停止位置１０が待機位置となる確率S10は6/50である。停止位置１４が待機位置となる確率S14は14/50である。停止位置１７が待機位置となる確率S17は12/50である。そして、搬送車３の単位時間当たりの総移動距離の期待値Eは、
E=(L1×S1)+ (L7×S7) + (L10×S10) + (L14×S14) + (L17×S17)・・・（６）
と表すことができ、これを計算すると期待値E=431.20となる。 In the following, with regard to the effect of shortening the transport time brought about by setting the standby position of the transport vehicle disposed in the interbay as described above, for example, the transfer position of the transport vehicle closest to each stocker after the transport work is completed. It is verified quantitatively by comparing with the position. In the case of such a comparative example, the expected value E of the total movement distance of the transport vehicle 3 can be obtained as follows. That is, according to the layout shown in FIG. 6, the transfer positions are the stop positions 1, 7, 10, 14, and 17, and the transport vehicle 3 stands by at any of these. The total travel distances L 1 , L 7 , L 10 , L 14 , and L 17 of the transport vehicle 3 when these stop positions are set as the standby positions are obtained in the same procedure as described above (calculation of these) The results are shown in FIG. Next, a probability S N that each transfer position is a standby position is obtained. This probability S N is expressed as follows: k is the number of transport lots per unit time of the stocker corresponding to the transfer position, and j is the total number of transport lots per unit time of each stocker in the interbay.
S N = k / j (5)
It can be expressed as. From equation (5), the probability S 1 that the stop position 1 becomes the standby position is 8/50. Probability S 7 the stop position 7 becomes the standby position is 10/50. Probability S 10 the stop position 10 is in the standby position is 6/50. Probability S 14 the stop position 14 in the standby position is 14/50. Probability S 17 the stop position 17 is in the standby position is 12/50. And the expected value E of the total travel distance per unit time of the transport vehicle 3 is
E = (L 1 × S 1 ) + (L 7 × S 7 ) + (L 10 × S 10 ) + (L 14 × S 14 ) + (L 17 × S 17 ) (6)
When this is calculated, the expected value E = 431.20.

一方、本実施例に係る方法によって選定された停止位置７に待機している搬送車の単位時間当たりの総移動距離は３６４であるので、上記比較例と比較して１５．６％の搬送時間の短縮が達成される。また、本実施例に係る方法により選定された停止位置１４に待機している搬送車の単位時間当たりの総移動距離は３６６であるので、上記比較例と比較して１５．１％の搬送時間の短縮が達成される。また、本実施例に係る方法により選定された停止位置６に待機している搬送車の単位時間当たりの総移動距離は４１４であるので、上記比較例と比較して４％の搬送時間の短縮が達成される。   On the other hand, since the total moving distance per unit time of the transport vehicle waiting at the stop position 7 selected by the method according to the present embodiment is 364, the transport time is 15.6% compared with the comparative example. Shortening is achieved. Further, since the total movement distance per unit time of the transport vehicle waiting at the stop position 14 selected by the method according to the present embodiment is 366, the transport time is 15.1% as compared with the comparative example. Shortening is achieved. Further, since the total movement distance per unit time of the transport vehicle waiting at the stop position 6 selected by the method according to the present embodiment is 414, the transport time is shortened by 4% compared to the above comparative example. Is achieved.

以上の説明から明らかなように、本発明の自動搬送システムによれば、イントラベイおよびインターベイ内に配備される搬送車の待機位置は、待機位置から搬送元の製造装置又はストッカまでの単位時間当たりの総移動距離が最も短くなるように設定されるので、搬送作業に要する時間を短縮することができ、生産効率の向上に寄与することができる。尚、以上の説明においては、半導体装置の生産ラインに本発明の自動搬送システムを適用した場合を例示したが、半導体装置以外の生産ラインや自動倉庫に適用することも可能である。   As is clear from the above description, according to the automatic transfer system of the present invention, the standby position of the transport vehicle provided in the intrabay and interbay is the unit time from the standby position to the manufacturing apparatus or stocker as the transfer source. Since the total movement distance per hit is set to be the shortest, the time required for the conveyance work can be shortened, and the production efficiency can be improved. In the above description, the case where the automatic transfer system of the present invention is applied to a production line for semiconductor devices has been illustrated, but the present invention can also be applied to production lines other than semiconductor devices and automatic warehouses.

尚、上記各実施例において示した各製造装置やストッカのレイアウトおよび処理能力、搬送車の設置台数、停止位置の数や配列形態等は例示であり、上記したものに限定されず、適宜変更することが可能である。   In addition, the layout and processing capability of each manufacturing apparatus and stocker shown in each of the above embodiments, the number of carriages installed, the number of stop positions, the arrangement form, and the like are examples, and are not limited to those described above, and may be changed as appropriate. It is possible.

（第２実施例）
以下に本発明の第２実施例を示す。上記第１実施例においては、各停止位置毎に搬送車の単位時間当たりの総移動距離L1〜L30を求め、その値が最小となるものに対応する停止位置を待機位置に設定することとしたが、これは各停止位置間を移動する搬送車の移動速度が一定であることを前提としている。すなわち、各停止位置間を移動する搬送車の移動速度が一定の場合、搬送車の単位時間当たりの総移動距離L1〜L30の大小比較により搬送車のトータルの搬送時間の大小を導出することが可能となる。本実施例は、搬送車の移動速度が各停止位置間毎に別個に設定されている場合における待機位置設定方法を示すものである。尚、本実施例においても図３に示す構成のイントラベイ内搬送を行う場合を例に説明する。 (Second embodiment)
The second embodiment of the present invention will be described below. In the first embodiment, the total travel distances L1 to L30 per unit time of the transport vehicle are obtained for each stop position, and the stop position corresponding to the minimum value is set as the standby position. However, this is based on the premise that the moving speed of the transport vehicle moving between the stop positions is constant. That is, if the moving speed of the transport vehicle moving between the stop positions is constant, the total transport time of the transport vehicle can be derived by comparing the total travel distances L1 to L30 per unit time of the transport vehicle. It becomes possible. This embodiment shows a standby position setting method when the moving speed of the transport vehicle is set separately for each stop position. In this embodiment, the case where the intra-bay transport having the configuration shown in FIG. 3 is performed will be described as an example.

イントラベイ内の領域４には、図３に示すように、縦方向および横方向において均等間隔に配置された３０ポイントからなる搬送車３の停止位置が定められている。この停止位置にはそれぞれ１から３０の識別番号が割り付けられており、各停止位置の位置情報が識別番号と対応付けられて搬送装置統合システム１０に備えられたメモリに登録されている。また、これら３０ポイントの停止位置のうち製造装置１Ａ〜１Ｆおよびストッカ２Ａ、２Ｂの直近に位置する移載位置の位置情報は、停止位置の識別番号と対応付けられて搬送装置統合システム１０に備えられたメモリに登録されている。搬送車３は移載位置において各製造装置Ａ〜Ｆ又はストッカ２Ａ、２Ｂとの間でウエハの受け渡しを行う。更に、各停止位置間毎に搬送車３の移動速度が定められており、これが搬送装置統合システム１０に備えるメモリに登録されている。搬送車３が搬送指令に基づいてイントラベイ内を走行する際には、上記定められた各走行速度に従う。   In the intrabay area 4, as shown in FIG. 3, the stop position of the transport vehicle 3 consisting of 30 points arranged at equal intervals in the vertical and horizontal directions is defined. Each stop position is assigned an identification number from 1 to 30, and the position information of each stop position is registered in a memory provided in the transport apparatus integrated system 10 in association with the identification number. Moreover, the position information of the transfer position located in the immediate vicinity of the manufacturing apparatuses 1A to 1F and the stockers 2A and 2B among these 30-point stop positions is associated with the stop position identification number and provided in the transport apparatus integrated system 10. Registered in the specified memory. The transfer vehicle 3 transfers wafers between the manufacturing apparatuses A to F or the stockers 2A and 2B at the transfer position. Furthermore, the moving speed of the transport vehicle 3 is determined for each stop position, and this is registered in a memory provided in the transport apparatus integrated system 10. When the transport vehicle 3 travels in the intrabay based on the transport command, it follows the travel speeds defined above.

以下、本実施例の待機位置の設定方法について詳述する。搬送経路上の特定の停止位置Ｎ（本実施例の場合Ｎは１〜３０の自然数）が搬送車３の待機位置であるものと仮定する。搬送車３が待機位置である停止位置Ｎから特定の製造装置又はストッカまで移動するのに要する時間ｔを、停止位置間毎に定められた搬送車の走行速度に基づいて算出する。一例として、搬送車３が停止位置１４から停止位置１７、２０を経て停止位置１９に向かう場合について考える。搬送装置統合システム１０には、停止位置１４−１７間の搬送車の移動速度としてV1、停止位置１７−２０間の搬送車の移動速度としてV2、停止位置２０−１９間の搬送車の移動速度としてV3が登録されているものとし、各停止位置間の距離を１とすると、搬送車３が停止位置１４から停止位置１９までの移動に要する時間ｔは、1/V1＋1/V2＋1/V3と表すことができる。尚、搬送車３が特定の停止位置から特定の製造装置又はストッカとの間を走行する移動経路は、所定のルールに基づいて一義的に決まるものとする。   Hereinafter, a method for setting the standby position according to the present embodiment will be described in detail. It is assumed that a specific stop position N (N is a natural number of 1 to 30 in this embodiment) on the transport path is the standby position of the transport vehicle 3. A time t required for the transport vehicle 3 to move from the stop position N, which is a standby position, to a specific manufacturing apparatus or stocker is calculated based on the travel speed of the transport vehicle determined for each stop position. As an example, consider a case where the transport vehicle 3 goes from the stop position 14 to the stop position 19 via the stop positions 17 and 20. The transport apparatus integrated system 10 includes V1 as the travel speed of the transport vehicle between the stop positions 14-17, V2 as the travel speed of the transport vehicle between the stop positions 17-20, and the travel speed of the transport vehicle between the stop positions 20-19. Assuming that V3 is registered as 1 and the distance between the stop positions is 1, the time t required for the transport vehicle 3 to move from the stop position 14 to the stop position 19 is expressed as 1 / V1 + 1 / V2 + 1 / V3. be able to. In addition, the movement path | route which the conveyance vehicle 3 drive | works between a specific manufacturing apparatus or a stocker from a specific stop position shall be uniquely determined based on a predetermined rule.

ここでｋを製造装置又はストッカの単位時間あたりの搬送ロット数とすると、搬送車３は搬送指令に基づいて停止位置Ｎと当該製造装置又はストッカまでの間を単位時間当たりｋ回移動することとなる。従って、搬送車３が停止位置Ｎと特定の製造装置又はストッカとの間のｋ回に亘る移動に要する時間Ｔは
Ｔ＝ｋ×ｔ・・・（７）
と表すことができる。このようにして求められる搬送車３の移動時間Ｔを各ストッカ毎に算出し、その総和を求めることにより停止位置Ｎを待機位置とした場合の搬送車３の単位時間あたりの総移動時間TNを求めることができる。すなわち、総移動時間TNは、搬送指令に基づいて、単位時間あたりに搬送車が待機位置から搬送元の製造装置又はストッカまでの間を移動する移動時間の総和を意味している。 When k is the number of transport lots per unit time of the manufacturing apparatus or stocker, the transport vehicle 3 moves k times per unit time between the stop position N and the manufacturing apparatus or stocker based on the transport command. Become. Therefore, the time T required for the transport vehicle 3 to move k times between the stop position N and the specific manufacturing apparatus or stocker is T = k × t (7)
It can be expressed as. The movement time T of the transport vehicle 3 obtained in this way is calculated for each stocker, and the total travel time TN per unit time of the transport vehicle 3 when the stop position N is set as the standby position is obtained by obtaining the sum. Can be sought. That is, the total travel time TN means the total travel time during which the transport vehicle moves from the standby position to the manufacturing apparatus or stocker as the transport source per unit time based on the transport command.

このようにして求められる搬送車３の総移動時間TNを停止位置１〜２２を待機位置とした場合のそれぞれについて算出する。そして、各停止位置毎に算出された総移動時間T1〜T22のうち最も値が小さくなる停止位置がラインの重心点となるので、かかる停止位置を搬送車３の待機位置として設定する。すなわち、本実施例の場合には、インターベイ内を走行する搬送車３の総移動時間TNが最小となるように搬送車の待機位置を設定することにより搬送時間の短縮が達成されるのである。尚、待機位置は、総移動距時間が最小となる停止位置に限らず、例えば総移動時間が２番目若しくは３番目に小さいものに対応する停止位置を待機位置として設定することとしてもよい。   The total travel time TN of the transport vehicle 3 obtained in this way is calculated for each of the cases where the stop positions 1 to 22 are the standby positions. Since the stop position having the smallest value among the total movement times T1 to T22 calculated for each stop position is the center of gravity of the line, the stop position is set as the standby position of the transport vehicle 3. That is, in the case of the present embodiment, the transport time can be shortened by setting the standby position of the transport vehicle so that the total travel time TN of the transport vehicle 3 traveling in the interbay is minimized. . The standby position is not limited to the stop position at which the total travel distance time is minimized, and for example, the stop position corresponding to the second or third smallest travel time may be set as the standby position.

本発明の自動搬送システムが適用された生産ラインのレイアウト図である。It is a layout diagram of a production line to which the automatic conveyance system of the present invention is applied. 本発明の自動搬送システムの制御構成を示す図である。It is a figure which shows the control structure of the automatic conveyance system of this invention. 本発明の自動搬送システムが適用されたイントラベイの構成図である。It is a block diagram of the intrabay to which the automatic conveyance system of this invention was applied. 各停止位置毎の搬送車の総移動距離の算出結果を示す図である。It is a figure which shows the calculation result of the total moving distance of the conveyance vehicle for every stop position. 本発明の自動搬送システムのよる搬送車の待機位置の設定手順を示すフローチャート図である。It is a flowchart figure which shows the setting procedure of the stand-by position of the conveyance vehicle by the automatic conveyance system of this invention. 本発明の自動搬送システムが適用されたインターベイの構成図である。It is a block diagram of the interbay to which the automatic conveyance system of this invention was applied. 各停止位置毎の搬送車の総移動距離の算出結果を示す図である。It is a figure which shows the calculation result of the total moving distance of the conveyance vehicle for every stop position.

符号の説明Explanation of symbols

１ 製造装置群
２ ストッカ
３ 搬送車
１０ 搬送装置統合システム
２０ ホストシステム
１Ａ〜１Ｆ 製造装置群
２Ａ、２Ｂ ストッカ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Manufacturing apparatus group 2 Stocker 3 Conveyor vehicle 10 Conveyance apparatus integrated system 20 Host system 1A-1F Manufacturing apparatus group 2A, 2B Stocker

Claims (6)

断続的に供給される搬送指令に基づいて所定の経路網を自動的に移動して前記経路網に沿って設置された複数の処理装置間において搬送物を搬送する少なくとも１台の搬送車と、
前記搬送車に対して前記搬送指令を与える制御手段と、
前記経路網において前記搬送車が停止し得る複数の停止位置と、前記停止位置のうち前記処理装置の各々に対応する複数の移載位置と、前記処理装置の各々の前記搬送物の単位時間あたりの処理数を示す処理能力情報と、前記搬送車の前記停止位置間毎の移動速度を示す移動速度情報と、が記録された記録手段と、
前記搬送車が前記搬送指令を受ける前の待機状態にあるときの前記搬送車の待機位置を前記停止位置のいずれかから選択して設定する待機位置設定手段と、を含み、
前記待機位置設定手段は、前記記録手段に記録された前記停止位置、前記移載位置、前記処理能力情報および前記移動速度情報に基づいて、前記停止位置のうちのいずれかを前記待機位置としたときの当該停止位置と前記移載位置の各々との間の前記搬送車の前記搬送指令に基づく単位時間あたりの総移動時間を前記停止位置毎に算出し、算出された総移動時間のうちの最小値に対応する停止位置を前記待機位置として設定することを特徴とする自動搬送システム。 At least one transport vehicle that automatically moves a predetermined route network based on a transport command that is intermittently supplied and transports a transported object among a plurality of processing apparatuses installed along the route network;
Control means for giving the transport command to the transport vehicle;
A plurality of stop positions at which the transport vehicle can stop in the route network, a plurality of transfer positions corresponding to each of the processing apparatuses among the stop positions, and a unit time of the transported object of each of the processing apparatuses Recording means in which processing capacity information indicating the number of processings and movement speed information indicating movement speeds between the stop positions of the transport vehicle are recorded,
Standby position setting means for selecting and setting a standby position of the transport vehicle from any of the stop positions when the transport vehicle is in a standby state before receiving the transport command,
The standby position setting means sets one of the stop positions as the standby position based on the stop position, the transfer position , the processing capability information, and the moving speed information recorded in the recording means. A total travel time per unit time based on the transport command of the transport vehicle between the stop position and the transfer position is calculated for each stop position, of the calculated total travel time An automatic conveyance system , wherein a stop position corresponding to a minimum value is set as the standby position . 請求項１に記載の自動搬送システムを適用した半導体装置の製造ラインであって、A semiconductor device manufacturing line to which the automatic transfer system according to claim 1 is applied,
前記製造ラインは、複数の半導体製造装置および前記半導体製造装置の処理対象となるウエハを一次保管しておくためのストッカを含む装置群と、前記装置群の設置方向に沿って伸長する前記搬送車の移動領域と、からなる複数のベイエリアを有し、The manufacturing line includes an apparatus group including a plurality of semiconductor manufacturing apparatuses and a stocker for primarily storing wafers to be processed by the semiconductor manufacturing apparatus, and the transport vehicle extending along an installation direction of the apparatus group. And a plurality of bay areas consisting of
前記搬送車は、前記ベイエリア毎に少なくとも１台配備され、前記搬送指令に基づいて前記半導体製造装置と前記ストッカとの間で前記ウエハを搬送し、The transport vehicle is provided at least one for each bay area, and transports the wafer between the semiconductor manufacturing apparatus and the stocker based on the transport command,
前記停止位置は、前記搬送車の移動領域上に設けられていることを特徴とする半導体装置の製造ライン。The semiconductor device manufacturing line, wherein the stop position is provided on a moving region of the transport vehicle. 前記停止位置の各々は上下方向および左右方向において互いに等間隔で配置されていることを特徴とする請求項２に記載の半導体装置の製造ライン。The semiconductor device manufacturing line according to claim 2, wherein each of the stop positions is arranged at equal intervals in the vertical direction and the horizontal direction. 前記停止位置の各々は、前記装置群の設置方向に沿って配列されていることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造ライン。4. The semiconductor device manufacturing line according to claim 3, wherein each of the stop positions is arranged along an installation direction of the device group. 断続的に供給される搬送指令に基づいて所定の経路網を自動的移動して前記経路網に沿って設置された複数の処理装置間において搬送物を搬送する少なくとも１台の搬送車と、前記搬送車に対して前記搬送指令を与える制御手段と、を含む自動搬送システムにおいて、前記搬送車が前記搬送指令を受ける前の待機状態にあるときの前記搬送車の待機位置を設定する待機位置設定方法であって、At least one transport vehicle that automatically moves a predetermined route network based on a transport command that is intermittently supplied and transports a transported object among a plurality of processing apparatuses installed along the route network; A standby position setting for setting a standby position of the transport vehicle when the transport vehicle is in a standby state before receiving the transport command. A method,
入力手段が前記経路網において前記搬送車が停止し得る複数の停止位置、前記停止位置のうち前記処理装置の各々に対応する複数の移載位置、前記処理装置の各々の前記搬送物の単位時間あたりの処理数を示す処理能力情報および前記搬送車の前記停止位置間毎の移動速度を示す移動速度情報の入力を受け付け、これを記録手段に記録するステップと、The input means has a plurality of stop positions at which the transport vehicle can stop in the route network, a plurality of transfer positions corresponding to each of the processing apparatuses among the stop positions, and a unit time of the transported object of each of the processing apparatuses Receiving processing capacity information indicating the number of processing per round and movement speed information indicating a movement speed for each stop position of the transport vehicle, and recording it in a recording means;
待機位置設定手段が、前記記録手段に記録された前記停止位置、前記移載位置、前記処理能力情報および前記移動速度情報に基づいて、前記停止位置のうちのいずれかを前記待機位置としたときの当該停止位置と前記移載位置の各々との間の前記搬送車の前記搬送指令に基づく単位時間あたりの総移動時間を前記停止位置毎に算出し、その算出結果に基づいて前記待機位置を設定するステップと、を含むことを特徴とする待機位置設定方法。When the standby position setting means sets any one of the stop positions as the standby position based on the stop position, the transfer position, the processing capability information, and the moving speed information recorded in the recording means. The total movement time per unit time based on the conveyance command of the transport vehicle between the stop position and the transfer position is calculated for each stop position, and the standby position is determined based on the calculation result. A standby position setting method comprising: a setting step. 前記待機位置設定手段が前記待機位置を設定するステップは、The step of setting the standby position by the standby position setting means includes:
前記停止位置の１つを選択する第１ステップと、A first step of selecting one of the stop positions;
当該選択された１の停止位置から前記移載位置の各々までの移動時間ｔを求める第２ステップと、A second step for obtaining a movement time t from the selected one stop position to each of the transfer positions;
前記移動時間ｔの各々と、対応する処理装置の前記搬送物の単位時間当たりの処理数ｋの各々とを乗算して得た値の各々の総和を算出し、当該選択された１の停止位置を前記待機位置としたときの前記搬送車の単位時間当たりの総移動時間ＴＮを求める第３ステップと、The sum of each of the values obtained by multiplying each of the movement times t by each of the number of treatments k per unit time of the transported object of the corresponding processing device is calculated, and the selected one stop position A third step of determining a total travel time TN per unit time of the transport vehicle when the standby position is
前記第１から第３ステップの処理を繰り返し実行し、前記停止位置の全てについて前記総移動時間ＴＮを求める第４ステップと、A fourth step of repeatedly executing the processing of the first to third steps to obtain the total travel time TN for all of the stop positions;
前記停止位置毎に算出された総移動時間ＴＮが最小となる停止位置を前記待機位置として設定する第５ステップと、を含むことを特徴とする請求項５に記載の待機位置設定方法。The standby position setting method according to claim 5, further comprising: a fifth step of setting, as the standby position, a stop position at which the total movement time TN calculated for each stop position is minimum.
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5337543B2 (en) * 2009-03-16 2013-11-06 ラピスセミコンダクタ株式会社 Transport control method, control device, and transport system
JP6338897B2 (en) 2014-03-13 2018-06-06 株式会社東芝 Automated traveling vehicle system, control method, program, and restricted section controller
JP6324246B2 (en) * 2014-07-11 2018-05-16 キヤノン株式会社 Lithographic apparatus and article manufacturing method
CN105459117B (en) * 2016-01-04 2017-05-03 杭州亚美利嘉科技有限公司 Method and device for controlling lots of robots to stop emergently
JP6656296B2 (en) * 2018-05-08 2020-03-04 株式会社東芝 Controller, automatic traveling vehicle system, control method, and program
JP6929980B2 (en) * 2018-05-08 2021-09-01 株式会社東芝 Controllers, self-driving car systems, control methods and programs
US20220019235A1 (en) * 2018-11-29 2022-01-20 Nec Corporation Route search support apparatus, route search support method, and computer-readable recording medium
JP7140279B2 (en) * 2019-05-14 2022-09-21 村田機械株式会社 Transport system and transport control method
JP7468238B2 (en) 2020-08-05 2024-04-16 村田機械株式会社 Standby position determination device and transport system

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2893695B2 (en) * 1988-12-26 1999-05-24 日本電気株式会社 Automatic guided vehicle operation control device
JPH09152914A (en) * 1995-11-29 1997-06-10 Oki Electric Ind Co Ltd Method and system for controlling moving body
JPH10254946A (en) * 1997-03-06 1998-09-25 Oki Electric Ind Co Ltd Method, device for determining number of moving objects to be arranged and programming system for the same
JP2000203702A (en) * 1999-01-13 2000-07-25 Hitachi Ltd Automatic carrier system

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