JP4963091B2 - イオンビームの評価方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施例1〜3は以上のとおりであるが、これらの実施例で測定されたビーム電流分布に基づき、極力真値に近いイオン密度分布(小刻みのポイントにおける密度分布ではなく連続したポイントにおける密度分布)を取得するための、近似値の抽出方法について、以下説明する。
Di − = D’i + D’i-1 + D’i-2 + … + D’i-n+1 ………(2)
Di-1 = D’i-1 + D’i-2 + … + D’i-n+1 + D’i-n ………(1)
式(2)から式(1)のそれぞれ各辺を差し引くと次の式(3)のようになる。
∵ Di − Di-1 = D’i −D’i-n ………(3)
∴ D’i = Di − Di-1 + D’i-n ………(4)
つまり、i番目の測定値であるDiに、近似値の計算結果であるD’i−nを加算して、i−n番目からi番目までの、測定刻みΔhごとの電流の累積値とすることが出来るので、i−n番目からi-1番目までの電流の累積値Di-1で、その値を引けば、目的とするi番目の近似値を求めることが出来る。
1 操作ロッド
2 電気的絶縁体
3 ネジ
4 ワイヤーロッド
5 電流計
6 ワイヤーロッドの基端部
7 電線
8 第1ロッド
9 第2ロッド
10 支持台
11 照射投影面
12 イオンビーム
(実施例2)
13 ワイヤーロッド
14 ワーク支持台
15 被測定物
16 ステージ駆動装置
17 演算制御装置
18 第1ロッド
19 第2ロッド
20 支柱
21 信号・制御線
(実施例3)
22 ワイヤーロッド
23 投影面の差
P1 第1の位置
P2 第2の位置
Claims (1)
- 全体形状が互いに直交する第1ロッド及び第2ロッドによりL型に形成された導電性のワイヤーロッドを、イオンビームのビーム軸に直交する平面内で、前記第1ロッドを該第1ロッドに直交する第1の方向に移動させ、前記第2ロッドを該第2ロッドに直交する第2の方向に移動させ、前記イオンビームに対して相対的に横切るように移動しながら、該ワイヤーロッドを流れるビーム電流を測定することにより、イオンビームの前記第1の方向及び前記第2の方向のビーム密度分布を検出するイオンビームの評価方法であって、
前記第1ロッド及び第2ロッドを、ロッド径Φdをn個に等分割した測定刻みΔh毎に移動させ、該測定刻みΔhの移動毎に計測された前記ビーム電流の測定結果をDi(i=1〜m)としたとき、今回の測定結果Diから前回の測定結果Di-1を減算することにより、今回の前記測定刻み分の移動により加算されるビーム電流の推定値D’iと減算されるビーム電流の推定値D’i-nとの差を求め、初期値を用いてすでに算出した前記減算されるビーム電流の推定値D’i-nを加算することにより、今回測定された前記ビーム電流のうち、今回の前記測定刻み分により新たに測定されたビーム電流の推定値D’iを求めることを特徴とするイオンビームの評価方法。
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