JP4962535B2

JP4962535B2 - lift device

Info

Publication number: JP4962535B2
Application number: JP2009153481A
Authority: JP
Inventors: 博田中
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2009-06-29
Filing date: 2009-06-29
Publication date: 2012-06-27
Anticipated expiration: 2029-06-29
Also published as: CN101934918A; JP2011006240A; TW201100312A; CN101934918B; KR101345744B1; KR20110001873A

Description

本発明は、昇降装置、特に、マスト内に配置されたチェーンによって昇降台を昇降させる昇降装置に関する。 The present invention relates to an elevating device, and more particularly to an elevating device that elevates an elevating platform by a chain disposed in a mast.

スタッカークレーンは、走行台車と、それに設けられたマストに昇降自在となっている昇降台と、それに設けられた移載機（例えば、スカラーアーム）とを有している。 The stacker crane includes a traveling carriage, a lifting platform that is movable up and down on a mast provided therein, and a transfer machine (for example, a scalar arm) provided therein.

電子部品製造工程は、室内の塵を極端に減少したクリーンルーム内で行われる。したがって、クリーンルーム内で用いられるスタッカークレーンには、機構部からの発塵を抑制し、粉塵の拡散を防止する必要がある。 The electronic component manufacturing process is performed in a clean room in which indoor dust is extremely reduced. Therefore, it is necessary for the stacker crane used in the clean room to suppress dust generation from the mechanism part and prevent the diffusion of dust.

スタッカークレーンの昇降装置は、昇降台と、マストと、マスト内に配置されたベルトと、ベルトを駆動するための駆動機構とを備えている。マストには上下方向に延びるスリットが形成されており、スリット内に配置された接続部材が昇降台とチェーンとを接続している（例えば、特許文献１を参照。）。 The lifting device for a stacker crane includes a lifting platform, a mast, a belt disposed in the mast, and a drive mechanism for driving the belt. A slit extending in the vertical direction is formed in the mast, and a connecting member arranged in the slit connects the lifting platform and the chain (see, for example, Patent Document 1).

特開平１１−３３４８６９号公報JP-A-11-334869

特許文献１に記載の昇降装置では、駆動ベルトにスリットのシール部材としての機能を持たせている。これにより、専用のシール部材が無くても、ベルトの摺動によって生じたダストがスリットから出ていきにくくなっている。したがって、外部の汚染が少なくなる。 In the lifting device described in Patent Document 1, the drive belt is provided with a function as a slit seal member. Thereby, even if there is no dedicated seal member, the dust generated by the sliding of the belt is difficult to come out of the slit. Therefore, external contamination is reduced.

一方、昇降装置にチェーンを用いた場合は、スリットを塞ぐためにはカバーリング専用のベルト機構を用意する必要がある。カバーリング専用のベルト機構は、ベルト、プーリ、テンション等の部品が必要であり、その配置に余分なスペースが必要になる。また、コスト、重量、メンテナンス項目等が増加してしまう。 On the other hand, when a chain is used for the lifting device, it is necessary to prepare a belt mechanism dedicated to the cover ring in order to close the slit. The belt mechanism dedicated to the cover ring requires parts such as a belt, a pulley, and a tension, and an extra space is required for the arrangement. In addition, cost, weight, maintenance items and the like increase.

本発明の課題は、マスト内に配置されたチェーンによって昇降台を昇降させる昇降装置において、簡単な構成によって、マスト内で発生した塵が外部へ洩れるのを抑えることにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to prevent dust generated in the mast from leaking to the outside with a simple configuration in an elevating device that elevates the elevating platform with a chain disposed in the mast.

昇降装置は、マストと、昇降台と、チェーンと、接続部材と、スリット覆い部材とを備えている。マストは、内部に空間を有しており、上下方向に延びるスリットが形成されている。昇降台は、マストに沿って昇降可能である。チェーンは、マストの内部に設けられ、昇降台を駆動するための無端状の部材である。接続部材は、スリットを通ってチェーンと昇降台を接続する。スリット覆い部材は、チェーンの外周側に配置されてチェーンとともに移動する部材であり、連続して配置されることでスリットを覆う複数の板状部材を有する。
この昇降装置では、チェーンに固定されたスリット覆い部材によってスリットを覆うので、マストのスリットから塵が外部に出ることが抑えられる。なお、「スリットを覆う」とは、チェーンがスリットと対向する位置になったときに、スリット覆い部材がチェーンとスリットとの間に配置され、それによりスリットから漏れるパーティクル等を減らすことを意味する。この場合に、「スリットを覆う」は、スリットの一部のみを覆うことも含んでおり、スリットの全てを覆うことに限定されない。 The lifting device includes a mast, a lifting platform, a chain, a connecting member, and a slit covering member. The mast has a space inside and is formed with a slit extending in the vertical direction. The lifting platform can be moved up and down along the mast. The chain is an endless member that is provided inside the mast and drives the lifting platform. The connecting member connects the chain and the lifting platform through the slit. The slit covering member is a member that is arranged on the outer peripheral side of the chain and moves together with the chain, and has a plurality of plate-like members that cover the slit by being continuously arranged .
In this lifting device, the slit is covered by the slit covering member fixed to the chain, so that dust can be prevented from coming out from the slit of the mast. Note that “covering the slit” means that when the chain is in a position facing the slit, the slit covering member is disposed between the chain and the slit, thereby reducing particles leaking from the slit. . In this case, “covering the slit” includes covering only part of the slit, and is not limited to covering all of the slit.

チェーンは、スリットの幅方向両側に配置された一対のチェーン部材を有しており、スリット覆い部材は一対のチェーン部材間に固定されていてもよい。
この昇降装置では、スリット覆い部材の両端がチェーン部材によって支持されているので、安定性が高い。 The chain may have a pair of chain members disposed on both sides in the width direction of the slit, and the slit covering member may be fixed between the pair of chain members.
This lifting device has high stability because both ends of the slit covering member are supported by the chain member.

チェーンは複数のリンクを有しており、複数の板状部材は複数のリンクに各々固定されている。
この昇降装置では、板状部材がチェーンの各リンクに固定されているので、チェーンが移動する際に、板状部材がチェーンの動きを妨げにくい。
Chain has a plurality of links, the plurality of plate-shaped members are respectively fixed to the plurality of links.
In this lifting device, since the plate-like member is fixed to each link of the chain, the plate-like member is unlikely to hinder the movement of the chain when the chain moves.

本発明によって、マスト内に配置されたチェーンによって昇降台を昇降させる昇降装置において、マスト内で発生した塵が外部へ洩れるのが抑えられる。 According to the present invention, in the lifting device that lifts and lowers the lifting platform by the chain disposed in the mast, the dust generated in the mast is prevented from leaking to the outside.

本発明の一実施形態が採用された移載装置の斜視図。The perspective view of the transfer equipment by which one embodiment of the present invention was adopted. 移載装置の概略平面図。The schematic plan view of a transfer apparatus. 移載装置の側面図。The side view of a transfer apparatus. 図３のＩＶ矢視図。IV arrow line view of FIG. 昇降装置のマストの内部構成を示す模式図。The schematic diagram which shows the internal structure of the mast of a raising / lowering apparatus. 昇降装置のマストの中間部の横断面図。The cross-sectional view of the middle part of the mast of the lifting device. 昇降装置のマストの上部の横断面図。The cross-sectional view of the upper part of the mast of the lifting device. チェーンおよび上部スプロケットの側面図。Side view of chain and upper sprocket. マストの部分正面図。The partial front view of a mast. 図８の部分拡大図。The elements on larger scale of FIG. 他の実施形態の図１０に相当する図。The figure equivalent to FIG. 10 of other embodiment. さらに他の実施形態の図１０に相当する図。The figure equivalent to Drawing 10 of other embodiments.

（１）移載装置
図１を用いて、移載装置１について説明する。図１は、本発明の一実施形態が採用された移載装置の斜視図である。 (1) Transfer apparatus The transfer apparatus 1 is demonstrated using FIG. FIG. 1 is a perspective view of a transfer apparatus in which an embodiment of the present invention is adopted.

移載装置１は、例えば、大型液晶基板が入ったカセットを搬送するための装置であり、主に、基台５と、昇降装置７と、移載機８と、を有している。 The transfer device 1 is, for example, a device for transporting a cassette containing a large liquid crystal substrate, and mainly includes a base 5, an elevating device 7, and a transfer machine 8.

基台５には複数の車輪９が設けてある。車輪９は、地面に敷設されたレール１０上にある。車輪９は、例えば基台５内に組み込んだモータ（図示せず）により回転駆動される。レール１０に沿って、倉庫の棚（図示せず）が設けられている。 A plurality of wheels 9 are provided on the base 5. The wheel 9 is on a rail 10 laid on the ground. The wheel 9 is rotationally driven by, for example, a motor (not shown) incorporated in the base 5. A warehouse shelf (not shown) is provided along the rail 10.

（２）昇降装置（概略）
昇降装置７は、主に、一対のマスト１１と、昇降台１２と、駆動機構１３とを有している。マスト１１は、基台５上に左右一対となるように固定されている。昇降台１２は、マスト１１の間に昇降可能に取り付けられており、駆動機構１３（後述）によって駆動されることでマスト１１に沿って昇降する。 (2) Lifting device (outline)
The lifting device 7 mainly has a pair of masts 11, a lifting platform 12, and a drive mechanism 13. The mast 11 is fixed on the base 5 in a pair of left and right. The lifting platform 12 is mounted between the mast 11 so as to be movable up and down, and moves up and down along the mast 11 by being driven by a drive mechanism 13 (described later).

（３）移載機
図２を用いて、移載機８を説明する。図２は、移載装置の概略平面図である。
移載機８は、倉庫の棚（図示せず）にカセットを出し入れするためのスカラーアームである。移載機８は昇降台１２上に設けられている。移載機８は、伸縮と回転が可能であり、伸びた状態でカセットの出し入れを行い、輸送時には縮んだ状態でカセットを搭載する。また、移載機８は、回転して反対側の棚にカセットを出し入れすることもできる。 (3) Transfer machine The transfer machine 8 is demonstrated using FIG. FIG. 2 is a schematic plan view of the transfer device.
The transfer machine 8 is a scalar arm for taking cassettes in and out of a warehouse shelf (not shown). The transfer machine 8 is provided on the lifting platform 12. The transfer machine 8 can be expanded and contracted and rotated, and the cassette is loaded and unloaded in the extended state, and the cassette is mounted in the contracted state during transportation. Moreover, the transfer machine 8 can also rotate and can take in and out a cassette in the opposite shelf.

（４）昇降装置（詳細）
図３および図４を用いて、昇降台１２を説明する。図３は移載装置の側面図であり、図４は図３のＩＶ矢視図である。
昇降台１２は、昇降台本体１５と、その両側の支持フレーム１６と有している。支持フレーム１６は、駆動機構１３（後述）に連結されており、昇降台本体１５を吊り下げている。支持フレーム１６は、底辺が昇降台本体１５の幅と同じとなる略二等辺三角形になっている。 (4) Lifting device (details)
The lifting platform 12 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 3 is a side view of the transfer device, and FIG. 4 is a view taken along arrow IV in FIG.
The lifting platform 12 has a lifting platform body 15 and support frames 16 on both sides thereof. The support frame 16 is connected to a drive mechanism 13 (described later), and suspends the lift base body 15. The support frame 16 has a substantially isosceles triangle whose bottom is the same as the width of the lift base body 15.

図５、図６および図７を用いて、マスト１１の構造を説明する。図５は昇降装置のマストの内部構成を示す模式図であり、図６は昇降装置のマストの中間部の横断面図であり、図７は昇降装置のマストの上部の横断面図である。なお、以下の説明では、図５の左右方向および図６および図７の上下方向を「マスト対向方向」といい、図６および図７の左右方向を「マスト対向方向と直交する方向」という。
マスト１１は、主に、マスト本体１７と、内側カバー１８とを備えている。マスト本体１７は、例えばアルミニウム製であり、断面が中空の略四角形となっている。
マスト本体１７の上端部には上部フレーム２１が取り付けられ、下端部には下部フレーム２２が取り付けられている。 The structure of the mast 11 will be described with reference to FIGS. 5, 6, and 7. FIG. 5 is a schematic diagram showing the internal configuration of the mast of the lifting device, FIG. 6 is a cross-sectional view of the middle portion of the mast of the lifting device, and FIG. 7 is a cross-sectional view of the upper portion of the mast of the lifting device. In the following description, the horizontal direction in FIG. 5 and the vertical direction in FIGS. 6 and 7 are referred to as “mast facing direction”, and the left and right direction in FIGS. 6 and 7 is referred to as “direction orthogonal to the mast facing direction”.
The mast 11 mainly includes a mast main body 17 and an inner cover 18. The mast main body 17 is made of, for example, aluminum and has a substantially rectangular shape with a hollow cross section.
An upper frame 21 is attached to the upper end portion of the mast body 17, and a lower frame 22 is attached to the lower end portion.

内側カバー１８は、樹脂等の薄板であり、マスト本体１７の内側面１７ａ（マスト対向方向の対向側の面）に取り付けられている。内側カバー１８は、マスト本体１７の内側面１７ａとの間の所定の空間を確保している。また、内側カバー１８の正面部分（マスト対向方向の対向側の部分）には、上下方向に延びるスリット１８ａが形成されている。スリット１８ａによって、内側カバー１８の内外の空間が互いに連通している。 The inner cover 18 is a thin plate made of resin or the like, and is attached to the inner side surface 17a of the mast body 17 (the surface on the opposite side in the mast facing direction). The inner cover 18 secures a predetermined space between the inner surface 17 a of the mast body 17. Further, a slit 18a extending in the vertical direction is formed in a front portion of the inner cover 18 (a portion on the opposite side in the mast facing direction). The inner and outer spaces of the inner cover 18 communicate with each other by the slit 18a.

昇降装置７の駆動機構１３について説明する。駆動機構１３は、チェーン駆動式の機構であって、主に、チェーン２３と、上側スプロケット２４と、下側スプロケット２５と、駆動装置２６とを有している。上側スプロケット２４は上部フレーム２１内に配置され、下側スプロケット２５は下部フレーム２２内に配置されている。チェーン２３は、無端のローラチェーンであって、上側スプロケット２４と下側スプロケット２５に巻回されている。チェーン２３は、内側カバー１８内の空間と、マスト本体１７の中空の内部を通過している。
より詳細には、チェーン２３は、図６および図７に示すように、マスト対向方向に直交する方向に離れて配置された第１チェーン部材２３Ａおよび第２チェーン部材２３Ｂから構成されている。第１チェーン部材２３Ａおよび第２チェーン部材２３Ｂは、各々が、２列のチェーン部材であり、ローラ、ブッシュ、内側プレート（内リンク）、外側プレート（外リンク）、軸から構成されている。また、上側スプロケット２４は、第１上側スプロケット２４Ａおよび第２上側スプロケット２４Ｂから構成されている。下側スプロケット２５も同様である（図示せず）。 The drive mechanism 13 of the lifting device 7 will be described. The drive mechanism 13 is a chain drive type mechanism, and mainly includes a chain 23, an upper sprocket 24, a lower sprocket 25, and a drive device 26. The upper sprocket 24 is disposed in the upper frame 21, and the lower sprocket 25 is disposed in the lower frame 22. The chain 23 is an endless roller chain, and is wound around the upper sprocket 24 and the lower sprocket 25. The chain 23 passes through the space in the inner cover 18 and the hollow interior of the mast body 17.
More specifically, as shown in FIGS. 6 and 7, the chain 23 includes a first chain member 23 </ b> A and a second chain member 23 </ b> B that are spaced apart in a direction orthogonal to the mast facing direction. Each of the first chain member 23A and the second chain member 23B is a two-row chain member, and includes a roller, a bush, an inner plate (inner link), an outer plate (outer link), and a shaft. The upper sprocket 24 includes a first upper sprocket 24A and a second upper sprocket 24B. The same applies to the lower sprocket 25 (not shown).

駆動装置２６は、下部フレーム２２に収容されている。駆動装置２６は、例えばモータを含んでおり、下側スプロケット２５に動力を伝達可能である。駆動装置２６が下側スプロケット２５に動力を伝達すると、チェーン２３が上側スプロケット２４と下側スプロケット２５の間を循環する。 The driving device 26 is accommodated in the lower frame 22. The drive device 26 includes a motor, for example, and can transmit power to the lower sprocket 25. When the driving device 26 transmits power to the lower sprocket 25, the chain 23 circulates between the upper sprocket 24 and the lower sprocket 25.

チェーン２３において、内側カバー１８内を通過する部分には、移動ブロック３２が吊り下げられている。チェーン２３において、マスト本体１７の中空内を通過する部分には、カウンターウェイト２９が吊り下げられている。カウンターウェイト２９の重量は、搬送するカセットを載せた昇降台１２とバランスを取れるように設定されている。 A moving block 32 is suspended from a portion of the chain 23 that passes through the inner cover 18. A counterweight 29 is suspended from a portion of the chain 23 that passes through the hollow of the mast body 17. The weight of the counterweight 29 is set so as to be balanced with the lifting platform 12 on which the cassette to be transported is placed.

マスト本体１７の内側面１７ａには、上下方向に延びるガイド部材３１が設けられている。ガイド部材３１には、前述の移動ブロック３２が係合している。移動ブロック３２は、ガイド部材３１によって前後左右の動作が規制されており、ガイド部材３１に沿った上下動のみが可能となっている。移動ブロック３２は、接続部材３３を介して支持フレーム１６に連結されている。接続部材３３は、内側カバー１８のスリット１８ａ内を上下に移動可能である。移動ブロック３２には、吊チェーン取付部３４が２カ所設けられており、ここに、チェーン２３が上下に固定され、吊り下げられている。
なお、スリット１８ａの幅（マスト対向方向と直交する方向の長さ）は、第１上側スプロケット２４Ａおよび第２上側スプロケット２４Ｂの間隔よりも短い。 A guide member 31 extending in the vertical direction is provided on the inner side surface 17 a of the mast body 17. The aforementioned moving block 32 is engaged with the guide member 31. The movement block 32 is restricted to move back and forth and left and right by the guide member 31, and can only move up and down along the guide member 31. The moving block 32 is coupled to the support frame 16 via a connection member 33. The connecting member 33 can move up and down in the slit 18 a of the inner cover 18. The moving block 32 is provided with two hanging chain attachment portions 34, where the chain 23 is fixed vertically and suspended.
The width of the slit 18a (the length in the direction orthogonal to the mast facing direction) is shorter than the interval between the first upper sprocket 24A and the second upper sprocket 24B.

マスト本体１７の開口部には、複数のファンフィルターユニット３５が取り付けられる。ファンフィルターユニット３５は、ファンと高性能フィルターを備えており、マスト本体１７内の空気をファンで吸入しフィルターを通過させることで、マスト１１の外にダストの含まれないクリーンな空気を排出する。 A plurality of fan filter units 35 are attached to the opening of the mast body 17. The fan filter unit 35 includes a fan and a high-performance filter. The air inside the mast body 17 is sucked by the fan and passed through the filter, so that clean air that does not contain dust is discharged outside the mast 11. .

（５）スリット遮蔽構造
昇降装置７は、マスト１１の内側カバー１８のスリット１８ａを遮蔽するためのダスト漏洩抑制構造４０をさらに備えている。 (5) Slit Shielding Structure The elevating device 7 further includes a dust leakage suppressing structure 40 for shielding the slit 18 a of the inner cover 18 of the mast 11.

この実施形態では、マスト本体１７に内側カバー１８を設けることによって、チェーン２３の巻き込み防止の効果の他、移動ブロック３２とチェーン２３の昇降によって発生した塵を拡散させないといった効果がある。ただし、内側カバー１８には接続部材３３を通過させるためのスリット１８ａが形成されているので、そこから塵が外部に漏れ出る問題がある。そこで、その問題を解決するために、以下に述べるダスト漏洩抑制構造４０が採用されている。 In this embodiment, providing the inner cover 18 on the mast main body 17 has an effect of preventing the dust generated by the moving block 32 and the raising / lowering of the chain 23 from being diffused in addition to the effect of preventing the chain 23 from being caught. However, since the slit 18a for allowing the connecting member 33 to pass through is formed in the inner cover 18, there is a problem that dust leaks outside. Therefore, in order to solve the problem, a dust leakage suppression structure 40 described below is employed.

ダスト漏洩抑制構造４０は、主に、チェーン２３に固定された板状部材４２から構成されている。より具体的には、第１チェーン部材２３Ａおよび第２チェーン部材２３Ｂの互いに近い側の列にある互いに近い側の内側プレート４１に、板状部材４２が固定されている。 The dust leakage suppression structure 40 is mainly composed of a plate-like member 42 fixed to the chain 23. More specifically, the plate-like member 42 is fixed to the inner plate 41 on the near side in the row on the near side of the first chain member 23A and the second chain member 23B.

さらに具体的には、板状部材４２は、マスト対向方向と直交する方向両端が前述の２つの内側プレート４１に固定されている。このように板状部材４２の両端がチェーン２３によって支持されているので、安定性が高い。 More specifically, the plate-like member 42 is fixed to the two inner plates 41 at both ends in the direction orthogonal to the mast facing direction. Thus, since both ends of the plate-like member 42 are supported by the chain 23, the stability is high.

内側プレート４１には互いに向かって延びる突起部４３が形成されており、突起部４３には、外周側に延びるブッシュ４４がボルト４５およびナット４６によって固定されている。ブッシュ４４の先端には、前述の板状部材４２の端部が固定されている。 Protrusions 43 extending toward each other are formed on the inner plate 41, and bushes 44 extending to the outer peripheral side are fixed to the protrusions 43 by bolts 45 and nuts 46. The end of the plate-like member 42 is fixed to the tip of the bush 44.

板状部材４２は、概ね長方形状の部材であり、左右に長く配置されている。板状部材４２の長辺（左右方向幅）は、概ね、第１チェーン部材２３Ａおよび第２チェーン部材２３Ｂの間に対応している。板状部材４２の短辺は、概ね、チェーンのリンク一つ分に対応している。 The plate-like member 42 is a substantially rectangular member, and is disposed long on the left and right. The long side (lateral width) of the plate-like member 42 generally corresponds between the first chain member 23A and the second chain member 23B. The short side of the plate-like member 42 generally corresponds to one chain link.

以下、図８〜図１０を用いて、板状部材４２同士の関係について説明する。図８は、チェーンおよび上部スプロケットの側面図である。図９は、マストの部分正面図である。図１０は図８の部分拡大図である。
ここでは、チェーン２３において内側カバー１８内でスリット１８ａに近接する位置にある部分に取り付けられた板状部材４２を説明する。板状部材４２は、内側カバー１８のスリット１８ａに近接した位置において、下方に延びており、下方にある第１端部４２ａが、図１０に示すように下方にある他の板状部材４２の上方にある第２端部４２ｂに当接している。このようにして、複数の板状部材４２が連続して配置され、しかも両端がスリット１８ａよりマスト対向方向と直交する方向の外側にある。つまり、複数の板状部材４２がスリット１８ａの大半を覆っている。 Hereinafter, the relationship between the plate-like members 42 will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a side view of the chain and the upper sprocket. FIG. 9 is a partial front view of the mast. FIG. 10 is a partially enlarged view of FIG.
Here, the plate-like member 42 attached to a portion of the chain 23 in the inner cover 18 at a position close to the slit 18a will be described. The plate-like member 42 extends downward at a position close to the slit 18a of the inner cover 18, and the lower first end portion 42a of the other plate-like member 42 below as shown in FIG. It abuts on the upper second end 42b. In this way, the plurality of plate-like members 42 are continuously arranged, and both ends are outside the slit 18a in the direction orthogonal to the mast facing direction. That is, the plurality of plate-like members 42 cover most of the slits 18a.

なお、板状部材４２はスリット１８ａに近接していることが好ましい。しかし、板状部材４２と内側カバー１８との隙間は、スリット１８ａから出る塵の量が許容範囲になるほどであれば、それ以上小さくなくてよい。 The plate member 42 is preferably close to the slit 18a. However, the gap between the plate-like member 42 and the inner cover 18 does not have to be further smaller as long as the amount of dust coming out of the slit 18a is within an allowable range.

板状部材４２は、チェーン２３においてスリット１８ａを通過する部分全てに設けられていることが好ましい。なお、接続部材３３が通過する部分には、板状部材４２は設けられていない。 It is preferable that the plate-like member 42 is provided in all portions of the chain 23 that pass through the slit 18a. In addition, the plate-like member 42 is not provided in the part through which the connecting member 33 passes.

前述のようにダスト漏洩抑制構造４０はキャタピラ状に配置された複数の板状部材４２から構成されており、構造が簡単であり、しかも、部品の種類も少ない。また、複数の板状部材４２はチェーン駆動に合わせて循環送りされるだけなので、それほど多くのメンテナンス作業を必要としない。さらに、摺動部分が少なく、そのためベルト方式に比べてダストを発生しにくい。
さらに、昇降チェーンにキャタピラ状のアタッチメントを取り付けてスリットを塞ぐカバーとしたことで、従来のカバーベルト方式に比べて省スペースになる。 As described above, the dust leakage suppression structure 40 is composed of a plurality of plate-like members 42 arranged in a caterpillar shape, has a simple structure, and has few types of parts. Further, since the plurality of plate-like members 42 are only circulated and fed in accordance with the chain drive, not much maintenance work is required. Furthermore, there are few sliding parts, so it is less likely to generate dust than the belt method.
Furthermore, by attaching a caterpillar-shaped attachment to the lifting chain to cover the slit, the space is saved compared to the conventional cover belt system.

（６）特徴
昇降装置７は、マスト１１と、昇降台１２と、チェーン２３と、接続部材３３と、板状部材４２とを備えている。マスト１１は、内部に空間を有しており、上下方向に延びるスリット１８ａが形成されている。昇降台１２は、マスト１１に沿って昇降可能である。チェーン２３は、マスト１１の内部に設けられ、昇降台１２を駆動するための無端状の部材である。接続部材３３は、スリット１８ａを通ってチェーン２３と昇降台１２を接続する。板状部材４２は、チェーン２３の外周部に固定され、スリット１８ａを覆っている。
この昇降装置７では、チェーン２３に固定された板状部材４２によってスリット１８ａを覆うので、マスト１１のスリット１８ａから塵が外部に出ることが抑えられる。なお、「スリット１８ａを覆う」とは、チェーン２３がスリット１８ａと対向する位置になったときに、板状部材４２がチェーン２３とスリット１８ａとの間に配置され、それによりスリット１８ａから漏れるパーティクル等を減らすことを意味する。この場合に、「スリット１８ａを覆う」は、スリット１８ａの一部のみを覆うことも含んでおり、スリット１８ａの全てを覆うことに限定されない。 (6) Features The lifting device 7 includes a mast 11, a lifting platform 12, a chain 23, a connection member 33, and a plate-like member 42. The mast 11 has a space inside, and a slit 18a extending in the vertical direction is formed. The lifting platform 12 can be moved up and down along the mast 11. The chain 23 is an endless member that is provided inside the mast 11 and drives the lifting platform 12. The connecting member 33 connects the chain 23 and the lifting platform 12 through the slit 18a. The plate-like member 42 is fixed to the outer periphery of the chain 23 and covers the slit 18a.
In the lifting device 7, the slit 18 a is covered with the plate-like member 42 fixed to the chain 23, so that dust can be prevented from coming out from the slit 18 a of the mast 11. Note that “cover the slit 18a” means a particle in which the plate-like member 42 is disposed between the chain 23 and the slit 18a when the chain 23 is in a position facing the slit 18a, thereby leaking from the slit 18a. It means reducing etc. In this case, “covering the slit 18a” includes covering only a part of the slit 18a, and is not limited to covering all of the slit 18a.

チェーン２３は、スリットの幅方向両側に配置された第１チェーン部材２３Ａおよび第２チェーン部材２３Ｂを有しており、板状部材４２は第１チェーン部材２３Ａおよび第２チェーン部材２３Ｂ間に固定されている。
この昇降装置７では、板状部材４２の両端がチェーン２３によって支持されているので、安定性が高い。 The chain 23 has a first chain member 23A and a second chain member 23B arranged on both sides in the width direction of the slit, and the plate-like member 42 is fixed between the first chain member 23A and the second chain member 23B. ing.
The lifting device 7 has high stability because both ends of the plate-like member 42 are supported by the chain 23.

チェーン２３は複数の内側プレート４１を有しており、板状部材４２は内側プレート４１に各々固定されている。
この昇降装置７では、板状部材４２がチェーン２３の各内側プレート４１に固定されているので、チェーン２３が移動する際に、板状部材４２がチェーン２３の動きを妨げにくい。 The chain 23 has a plurality of inner plates 41, and the plate-like members 42 are fixed to the inner plates 41, respectively.
In the lifting device 7, since the plate-like member 42 is fixed to each inner plate 41 of the chain 23, the plate-like member 42 is unlikely to hinder the movement of the chain 23 when the chain 23 moves.

（７）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。 (7) Other Embodiments Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

図１１に本発明の他の実施形態を示す。板状部材４２Ａは、内側カバー１８のスリット１８ａに近接した位置において、下方に延びており、下方にある第１端部４２ｃが、下方にある他の板状部材４２Ａの上方にある第２端部４２ｄにわずかな隙間を空けて配置されている。 FIG. 11 shows another embodiment of the present invention. The plate-like member 42A extends downward at a position close to the slit 18a of the inner cover 18, and the first end portion 42c below is a second end above the other plate-like member 42A below. The portion 42d is arranged with a slight gap.

図１２に本発明のさらに他の実施形態を示す。板状部材４２Ｂは、内側カバー１８のスリット１８ａに近接した位置において、下方に延びており、下方にある第１端部４２ｅが、下方にある他の板状部材４２Ｂの上方にある第２端部４２ｆに外側から重なって配置されている。 FIG. 12 shows still another embodiment of the present invention. The plate-like member 42B extends downward at a position close to the slit 18a of the inner cover 18, and the first end 42e below is a second end above the other plate-like member 42B below. It overlaps with the part 42f from the outside.

チェーンの種類や形状は前記実施形態に限定されない。例えば、二本のチェーンではなくて一本のチェーンであってもよい。その場合は、一本のチェーンのプレートに板状部材が固定される。また、ダブルローラチェーンではなく、シングルローラチェーンであっててもよいし、３列以上の多列ローラチェーンであってもよい。 The type and shape of the chain are not limited to the above embodiment. For example, one chain may be used instead of two chains. In that case, the plate-like member is fixed to the plate of one chain. Further, instead of a double roller chain, a single roller chain or a multi-row roller chain of three or more rows may be used.

前記実施形態では、板状部材はスペーサとしてのブッシュによってスリットに近づく位置に配置されていた。しかし、チェーン自体が十分にスリットに近い場合は、ブッシュを用いずに、板状部材を直接チェーンに固定してもよい。 In the said embodiment, the plate-shaped member was arrange | positioned in the position which approaches a slit with the bush as a spacer. However, when the chain itself is sufficiently close to the slit, the plate-like member may be directly fixed to the chain without using the bush.

板状部材の形状、個数、配置等は前記実施形態に限定されない。例えば、前記実施形態では板状部材は固定部分からチェーン延長方向片側に延びているが、板状部材は固定部分からチェーン延長方向両側に延びていてもよい。
板状部材が固定されるチェーンの部材は、内側プレートに限定されない。
板状部材は、チェーンの全てのリンクに固定されていなくてもよい。たとえば、リンク一つおきに板状部材が固定されていてもよい。その場合は、板状部材の長さをリンク二つ分にすることで、板状部材同士の隙間が無くすかまたは小さくすることになる。 The shape, number, arrangement, etc. of the plate-like members are not limited to the above embodiment. For example, in the embodiment, the plate-like member extends from the fixed portion to one side in the chain extending direction, but the plate-like member may extend from the fixed portion to both sides in the chain extending direction.
The member of the chain to which the plate member is fixed is not limited to the inner plate.
The plate-like member may not be fixed to all the links of the chain. For example, a plate-like member may be fixed every other link. In that case, the gap between the plate-like members is eliminated or reduced by setting the length of the plate-like member to two links.

本発明は、マスト内に配置されたチェーンによって昇降台を昇降させる昇降装置に広く適用できる。 The present invention can be widely applied to a lifting device that lifts and lowers a lifting platform using a chain disposed in a mast.

１移載装置
５基台
７昇降装置
８移載機
９車輪
１０レール
１１マスト
１２昇降台
１３駆動機構
１５昇降台本体
１６支持フレーム
１７マスト本体
１７ａ内側面
１８内側カバー
１８ａスリット
２１上部フレーム
２２下部フレーム
２３チェーン
２３Ａ第１チェーン部材
２３Ｂ第２チェーン部材
２４上側スプロケット
２４Ａ第１上側スプロケット
２４Ｂ第２上側スプロケット
２５下側スプロケット
２６駆動装置
２９カウンターウェイト
３１ガイド部材
３２移動ブロック
３３接続部材
３４吊チェーン取付部
３５ファンフィルターユニット
４０ダスト漏洩抑制構造
４１内側プレート
４２板状部材（スリット覆い部材）
４３突起部
４４ブッシュ
４５ボルト
４６ナット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transfer device 5 Base 7 Lifting device 8 Transfer machine 9 Wheel 10 Rail 11 Mast 12 Lifting table 13 Drive mechanism 15 Lifting table main body 16 Support frame 17 Mast main body 17a Inner side surface 18 Inner cover 18a Slit 21 Upper frame 22 Lower frame 23 Chain 23A First chain member 23B Second chain member 24 Upper sprocket 24A First upper sprocket 24B Second upper sprocket 25 Lower sprocket 26 Drive device 29 Counterweight 31 Guide member 32 Moving block 33 Connecting member 34 Suspended chain mounting portion 35 Fan filter unit 40 Dust leakage suppression structure 41 Inner plate 42 Plate member (slit covering member)
43 Projection 44 Bush 45 Bolt 46 Nut

Claims

A mast having a space inside and formed with a slit extending in the vertical direction;
A lifting platform capable of moving up and down along the mast;
An endless chain provided inside the mast for driving the lifting platform;
A connecting member for connecting the chain and the lifting platform through the slit;
A slit covering member having a plurality of plate-like members which are arranged on the outer peripheral side of the chain and move together with the chain, and which are continuously arranged to cover the slit;
Elevating device equipped with.

The chain has a pair of chain members disposed on both sides in the width direction of the slit,
The lifting device according to claim 1, wherein the slit covering member is fixed between the pair of chain members.

The chain has a plurality of links;
Said plurality of plate-like members are respectively fixed to the plurality of links, the lifting device according to claim 1.