JP4957997B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

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Description

本発明は、相変化ランダムアクセスメモリ(PRAM)、抵抗変化ランダムアクセスメモリ(ReRAM)、及び固体電解質メモリのような不揮発性の半導体記憶装置に関しており、特に、参照セルを用いてデータ読み出しを行う場合における、データの誤り訂正技術に関する。
近年、1ビットの情報を記憶素子の抵抗を変化させて記憶する新しい不揮発性半導体記憶装置の研究開発が活発に行われている。例えば、カルコゲナイト合金等で形成された相変化抵抗素子を記憶素子として用いるPRAM(Phase change RAM)は、そのような不揮発性半導体記憶装置の一つの例である。PRAMは、相変化抵抗素子の抵抗値が、加熱方法によって(あるいは加熱後の冷却方法によって)変化するという性質を利用している。相変化抵抗素子の加熱は、最も典型的には、相変化抵抗素子に電流を流すことによってジュール熱を発生させることによって行われる。他の例は、ペロブスカイト酸化物などで形成された金属酸化物抵抗素子を記憶素子として用いるReRAM(Resistive RAM)である。ReRAMは、ペロブスカイト酸化物などで形成された金属酸化物抵抗素子の抵抗値が、金属酸化物抵抗素子への印加電圧、又は印加電流によって変化するという性質を利用している。更に、硫化銅のような固体電解質で形成された固体電解質抵抗素子を記憶素子として用いる固体電解質メモリについても、研究開発が進められている。固体電解質抵抗素子は、固体電解質の中における原子の移動を利用した素子であり、固体電解質抵抗素子の抵抗値は、印加電圧の極性によって変化する。固体電解質メモリは、このような固体電解質抵抗素子の性質を利用している。
これらの記憶素子に蓄えられた記憶データのリード動作は、その抵抗値を検出することで行われる点で共通している。抵抗値の検出の最も典型的な方法の一つは、予め規定のデータがプログラムされた参照セルをメモリセルに設け、選択状態のメモリセルから得られる信号(典型的には電流信号)と、参照セルから得られる信号とを比較する方法である。例えば、データ「0」がプログラムされている参照セルと、データ「1」がプログラムされている参照セルとが用意され、これらの参照セルに流れる電流の平均電流値と、メモリセルに流れる電流の電流値とを比較してリード動作が実行される。
他の多くのメモリデバイスと同様に、上述のPRAM、ReRAM及び固体電解質メモリも、メモリセルのデータエラーに遭遇することが不可避であると考えられる。PRAMの場合、加熱方法の違いによってデータ書き込みを行うため、その動作環境、特に、環境温度の影響を受けやすい。例えば、室温で最適化されているPRAMを100℃程度の環境下で動作させると、室温で正常に動作したメモリセルが、不良動作することが考えられる。更に、ライト動作とリード動作とで同じ電流経路が使用されるため、リード動作によって記憶データが書き換えられる可能性も否定できない。一方、ReRAM及び固体電解質メモリの場合、書き込みデータに応じてライト動作を変更する必要がある等、ライト動作の制御が複雑であり、電源電圧の変動等でライト動作が正常に実行されないことがある。また、PRAMと同様に、ライト動作とリード動作とで同じ電流経路が使用されるため、リード動作によって記憶データが書き換えられる可能性もある。以上に説明されているように、PRAM、ReRAM及び固体電解質メモリでは、特にライト動作とリード動作とで同じ電流経路が使用されることを原因とするソフトエラーは避け難く、不所望な記憶データの反転が低確率で発生することは避け難い。
このようなデータエラーに対処するためには、他の多くのメモリデバイスと同様に、誤り訂正符号を利用したECC(Error check and correction)技術により、ソフトエラーを救済することが望ましい。ECCが採用されているメモリデバイスでは、データ書き込みの際に書き込みデータに対して誤り訂正符号化が行われ、誤り訂正符号化されたデータがメモリアレイに書き込まれる。データ読み出しの際には、メモリアレイから読み出されたデータからシンドロームが計算され、データ誤りが発見された場合には、その誤りが訂正されたデータが外部に出力される。このとき、メモリアレイに記憶されているデータも同時に訂正される。
1つの有用な誤り訂正符号は、1つのブロックが複数のシンボルで構成され、各々のシンボルが複数のビットから構成され、更にシンボル単位での誤り訂正が可能なバースト誤り訂正符号である。リード・ソロモン符号、及び、ファイア符号は、このようなバースト誤り訂正符号の一種である。PRAM、ReRAM及び固体電解質メモリにおけるバースト誤り訂正符号の有用性は、参照セルにデータエラーが発生したときに誤り訂正を可能にする点である。参照セルにデータエラーが発生したときには、多くの場合、読み出しデータにバースト誤りが発生する。バースト誤り訂正符号を採用すれば、参照セルにデータエラーが発生した場合でも、読み出しデータを正しく訂正できる可能性が高くなる。
バースト誤り訂正符号をメモリアレイの誤り訂正のために使用する上での1つの問題は、符号構成が、PRAM、ReRAM及び固体電解質メモリの入出力の数に適合しないことがあることである。一般的には、PRAM、ReRAM及び固体電解質メモリは、外部入出力ピンの数が2個であることが好適である。例えば、典型的なPRAMの外部インターフェースは、DQ0〜DQ15の16(=2)個の入出力ピンを備えている。しかし、公知のバースト誤り訂正符号化手法では、その符号構成が、外部入出力ピンの数が2個であるPRAM、ReRAM及び固体電解質メモリに適していないという事態が発生し得る。以下、リード・ソロモン符号を例にとって説明する。
公知のリード・ソロモン符号化では、1つのブロックは、データシンボルとパリティシンボルとで構成される。データシンボルとは、実際に使用されるデータを含むシンボルであり、パリティシンボルとは、誤り検出及び誤り訂正に使用されるシンボルである。1つのシンボルがMビットで構成されている場合、1つのブロックに含まれるデータシンボルの許容最大数は、2−1個である。例えば、1つのシンボルが4ビットで構成される場合には、1つのブロックを最大で15個のデータシンボルを含むように構成することができる。一つのブロックに含まれるシンボルの総数がJであり、そのうちのデータシンボルの数がKであるリード・ソロモン符号は、(J,K)リード・ソロモン符号と呼ばれる。
1つのブロックに含まれるパリティシンボルの数は、誤り訂正能力に影響する。リード・ソロモン符号では、一ブロックに含まれるシンボルのうちのt個のシンボルの誤り訂正を可能にするためには、一つのブロックが2t個のパリティシンボルを含む必要がある。
1つのブロックに含まれるデータシンボルの最大数が、2から1だけ少ないことはPRAM、ReRAM及び固体電解質メモリの設計の上で重大である。PRAM、ReRAM及び固体電解質メモリのアーキテクチャを簡便にするためには、1つのブロックの各データシンボルを、各入出力ピンに割り当てることが好適である。しかし、外部入出力ピンの数を2個にするためには、1つのシンボルに含まれるビット数を無駄に増やさなくてはならない。即ち、リード・ソロモン符号では、1つのシンボルがnビットで構成されている場合のデータシンボルの最大数が2からたった1だけ少ないために、2個の入出力ピンを1つのブロックの2個のデータシンボルにそれぞれに割り当てるためには、1つのシンボルを(n+1)ビットで構成する必要がある。これは、符号構成の効率性を低下させるため好ましくない。
このことは、とりわけ、16個の入出力ピンを備えるPRAM、ReRAM及び固体電解質メモリを実現するために重大である。1つのシンボルに含まれるビット数が2の累乗で表される数であることは、PRAM、ReRAM及び固体電解質メモリのアドレス割付を容易にすることは明らかである。例えば、1つのシンボルに含まれるビット数が4であることは、アドレス割付を容易にするため好適である。しかし、問題は、1つのシンボルが4ビットで構成される場合には、1つのブロックに含まれるデータシンボルの最大数が15個であることである。1つのシンボルを4ビットで構成すると、16個の入出力ピンを備えるPRAM、ReRAM及び固体電解質メモリを実現するためにはデータシンボルの数が1つだけ不足してしまう。したがって、一般的なリード・ソロモン符号化手法では、16個の入出力ピンを備えるPRAM、ReRAM及び固体電解質メモリを実現するためには、1つのシンボルを5ビットで構成する必要がある。これは、符号構成の効率を低下させる上、アドレス割付を複雑にするため好ましくない。
このような背景から、誤り訂正符号の符号構成を、PRAM、ReRAM及び固体電解質メモリの入出力の数に適合させるための技術を提供することが望まれている。特に、1つのシンボルが実質的に4ビットで構成されていながら、16個の入出力ピンを備えるPRAM、ReRAM及び固体電解質メモリを実現するための技術を提供することが望まれている。
本発明の目的は、バースト誤り訂正符号の符号構成をPRAM、ReRAM及び固体電解質メモリの入出力の数に適合させ、これにより、符号構成の効率を向上させるための技術を提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明は、以下に述べられる手段を採用する。その手段を構成する技術的事項の記述には、[特許請求の範囲]の記載と[発明を実施するための最良の形態]の記載との対応関係を明らかにするために、[発明を実施するための最良の形態]で使用される番号・符号が付加されている。但し、付加された番号・符号は、[特許請求の範囲]に記載されている発明の技術的範囲を限定的に解釈するために用いてはならない。
一の観点において、本発明による半導体記憶装置は、複数のシンボルから構成され、各々のシンボルが複数のビットから構成され、更にシンボル単位での誤り訂正が可能な誤り訂正符号を誤り検出及び誤り訂正に使用する半導体記憶装置である。当該半導体記憶装置は、それぞれが、相変化抵抗素子、金属酸化物抵抗素子、又は固体電解質抵抗素子のいずれかを含む複数のメモリセルと、周辺回路(3〜7)とを備えている。複数のメモリセルは、前記シンボルのうちのデータシンボルの一部のビットを記憶する第1データセル(11)を含んでいる。周辺回路(3〜7)は、第1データセル(11)から前記一部のビットを読み出し、前記一部のビットに所定のダミービットを付け加えることによって前記データシンボルを再生し、前記再生されたデータシンボルを用いて誤り検出及び誤り訂正を行う。
一実施形態では、当該半導体記憶装置のメモリセルは、更に、前記シンボルのうちのパリティシンボルの一部のビットを記憶する第2データセル(11)と、読み出し動作時に、前記第1データセル(11)と同時に選択される第1参照セル(12A)及び第2参照セル(12B)とを含む。この場合、前記第2参照セル(12B)は、前記パリティシンボルの残余ビットを記憶し、且つ、前記第1データセル(11)と別のデータセルからのデータ読み出しに使用される参照信号を生成するために使用され、前記第1参照セル(12A)は、前記第1データセル(11)及び前記第2参照セル(12B)からのデータ読み出しに使用される参照信号を生成するために使用されることが好ましい。
一実施形態では、前記第2参照セルは、互いに相補のデータを記憶する第1セルと第2セルから構成される。この場合、前記所定のダミービットは、前記第1メモリセルと前記第2メモリセルに記憶される前記残余ビットが、互いに相補であるように決定されていることが好ましい。
好適には、周辺回路(3〜7)は、前記第1データセルから読み出された前記データシンボルと前記第2参照セル(12B)から読み出された前記残余ビットの両方にデータ誤りを検出したとき、前記第1参照セル(12A)に記憶されているデータを訂正する。この場合、周辺回路(3〜7)は、前記第1データセルから読み出された前記データシンボルにデータ誤りを検出し、前記第2参照セルから読み出された前記残余ビットにデータ誤りを検出しなかったとき、前記第1データセル(11)に記憶されているデータを訂正することが好ましい。また、周辺回路(3〜7)は、前記第2参照セルから読み出された前記残余ビットにデータ誤りを検出し、前記第1メモリセルから読み出された前記データシンボルにデータ誤りを検出しなかったとき、前記第2参照セルに記憶されている前記残余ビットを訂正することが好ましい。
他の観点では、本発明による半導体記憶装置は、それぞれが、相変化抵抗素子、金属酸化物抵抗素子、又は固体電解質抵抗素子のいずれかを含む複数のメモリセルと、周辺回路(3−7)とを具備する。複数のメモリセルは、複数のデータセル(11)を含んでいる。周辺回路(3−7)は、複数のデータセル(11)と、前記書き込みデータに所定のダミービットを付け加えることによってデータシンボルを生成し、前記生成されたデータシンボルを用いてパリティシンボルを算出し、前記データシンボルのうち前記書き込みデータに対応するビットのみを前記複数のデータセル(11)のうちの第1データセル(11)に書き込む。
一実施形態では、当該半導体記憶装置のメモリセルは、更に、読み出し動作時に、前記第1データセル(11)と同時に選択される第1参照セル(12A)及び第2参照セル(12B)とを含んでいる。この場合、周辺回路(3〜7)は、前記パリティシンボルの一部のビットを前記複数のデータセル(11)のうちの第2データセルに書き込み、且つ、前記パリティシンボルの残余ビットを前記第2参照セル(12B)に書き込み、前記第1参照セル(12A)は、前記第1データセル(11)及び前記第2参照セル(12B)からのデータ読み出しに使用される参照信号を生成するために使用される。
前記第2参照セル(12B)が、互いに相補のデータを記憶する第1セルと第2セルから構成される場合、前記所定のダミービットは、前記第1セルと前記第2セルに記憶される前記残余ビットが、互いに相補であるように決定されていることが好ましい。
更に他の観点において、本発明による半導体記憶装置は、それぞれが、相変化抵抗素子、金属酸化物抵抗素子、又は固体電解質抵抗素子のいずれかを含む複数のメモリセルを具備する。前記複数のメモリセルは、前記複数のシンボルのうちのデータシンボルのビットを記憶するために使用される第1データセル(11)と、前記複数のシンボルのうちのパリティシンボルの一部のビットを記憶するために使用される第2データセル(11)と、前記第1データセル(11)のデータ読み出しに使用される参照信号を生成するために使用される第1参照セル(12A)と、前記第1データセル(11)とは別のデータセルのデータ読み出しに使用される参照信号を生成するために使用される第2参照セル(12A)とを含んでいる。第2参照セル(12A)は、前記パリティシンボルの残余ビットを記憶するために使用される。
好適には、前記第1参照セル(12A)は、第1データセル(11)のみではなく、前記第2参照セルからのデータ読み出しに使用される参照信号を生成するために使用される。
第1データセル(11)には、前記データシンボルのうちの一部のビットのみが記憶されることが好適である。この場合、半導体記憶装置の周辺回路(3−7)は、前記一部のビットに所定のダミービットを付け加えることによって前記データシンボルを再生し、且つ、前記第2データセル(11)及び前記第2参照セル(12B)から前記パリティシンボルを読み出し、前記再生されたデータシンボルと前記読み出されたパリティシンボルを用いて誤り検出及び誤り訂正を行うことが好ましい。
本発明によれば、バースト誤り訂正符号の符号構成を半導体記憶装置の入出力の数に適合させ、これにより、符号構成の効率を向上させることができる。
本実施形態の半導体記憶装置は、それぞれが、相変化抵抗素子、金属酸化物抵抗素子、又は固体電解質抵抗素子のいずれかを含む複数のメモリセルを具備する不揮発性のメモリデバイスである。メモリセルとして相変化抵抗素子が使用される場合は、本実施形態の半導体記憶装置はPRAMとして機能し、メモリセルとして金属酸化物抵抗素子が使用される場合は、本実施形態の半導体記憶装置はReRAMとして機能する。また、メモリセルとして固体電解質抵抗素子が使用される場合は、本実施形態の半導体記憶装置は固体電解質メモリとして機能する。
本実施形態の半導体記憶装置では、メモリアレイに記憶されるデータが、(18、16)リード・ソロモン符号を用いて符号化される。即ち、本実施形態では、1つのブロックに含まれるデータシンボルの数は16、パリティシンボルの数は2である。これは、1つのブロックに含まれる18のシンボルのうちの1つのシンボルの誤り訂正が可能であることを意味している。
既述のとおり、データシンボルの数を16にするためには、公知のリード・ソロモン符号化手法では、1つのシンボルに含まれるビット数は5でなくてはならない。しかし、本実施形態では、下記のような符号構成を採用することにより、誤り訂正符号の符号構成と半導体記憶装置の入出力の数の不適合性を解消している:
(1)各データシンボル、パリティシンボルを構成する5ビットのうちの4ビットは、メモリアレイのデータセルに記憶される。
(2)各データシンボルの残りの1ビットとしては所定値が使用され、データセルには記憶されない。
(3)各パリティシンボルの残りの1ビットは、参照セルに記憶される。
これにより、1つのデータシンボルに含まれるビット数を実質的には4にしながら、16個の入出力を有するPRAM、ReRAM、及び固体電解質メモリを実現することができる。また、データシンボルは合計64ビット、パリティシンボルは合計10ビットであるから、64個の入出力を有するPRAM、ReRAM、及び固体電解質メモリを実現することも可能である。以下、本実施形態の半導体記憶装置を詳細に説明する。なお、以下の実施形態においては、便宜上、相変化抵抗素子をメモリセルとして使用するPRAMを例にとって説明する。しかし、金属酸化物抵抗素子をメモリセルとして使用するReRAM、及び固体電解質抵抗素子をメモリセルとして使用する固体電解質メモリも、以下の実施形態と同様の動作方法、及び回路構成をとることが可能である。
図1は、本発明の一実施形態に係るPRAM10の構成を示すブロック図である。PRAM10は、磁気抵抗素子で構成されたメモリセルが行列に配置されたメモリアレイを複数備えている。
PRAM10のメモリアレイには、データアレイ1_0〜1_15とパリティアレイ2_0、2_1の2種類がある。以下において、相互に区別しない場合には、データアレイ1_0〜1_15を総称してデータアレイ1と記載し、パリティアレイ2_0、2_1をパリティアレイ2と記載する。データアレイ1は、データシンボルを記憶するために使用され、パリティアレイ2は、パリティシンボルを記憶するために使用される。データアレイ1_0〜1_15は、それぞれPRAM10のデータ入出力DQ0〜DQ15に対応付けられている。データ書き込み時には、データ入出力DQ0〜DQ15に入力された書き込みデータからデータシンボルが構成されてデータアレイ1_0〜1_15に保存される一方、そのデータシンボルからパリティシンボルが生成されてパリティアレイ2_0、2_1に保存される。
データアレイ1及びパリティアレイ2へのアクセスは、周辺回路、具体的には、ロウデコーダ3と、カラムデコーダ4と、書き込み回路5と、センスアンプ回路6と、コントローラ7とを用いて行われる。ロウデコーダ3及びカラムデコーダ4は、アクセスされるメモリセルを選択するために使用される。書き込み回路5は、選択されたメモリセルに対するデータ書き込みに使用される書き込み電流を生成する。センスアンプ回路6は、メモリセルに記憶されているデータを識別するために使用される。コントローラ7は、ロウデコーダ3と、カラムデコーダ4と、書き込み回路5と、センスアンプ回路6とを制御する機能を有している。コントローラ7は、更に、誤り訂正のための様々な演算、例えば、リード・ソロモン符号化や誤り検出を行う機能を有している。
図2は、本実施の形態のデータアレイ1_0及びデータアレイ1_0に対応して設けられたセンスアンプ回路6の構成の詳細を示すブロック図である。データアレイ1_0に配置されているメモリセルには、データセル11と参照セル12の2種類がある。図3に示されているように、データセル11と参照セル12は、ワード線13とビット線14とが交差する位置に配置されている。ワード線13は、Xアドレスに応じて選択され、ビット線14はYアドレスに応じて選択される。
図2に戻り、データアレイ1_0は、2つのエリア15A、15Bに区分されている。エリア15Aは、偶数のYアドレスのデータを記憶するために使用される領域であり、エリア15Bは、奇数のYアドレスのデータを記憶するために使用される領域である。一のXアドレスによって1つのメモリセルの行が指定されるのに対し、一のYアドレスでは、4つのデータセル11の列が指定される。即ち、一組のXアドレスとYアドレスを指定すると、同一の行に位置する4つのデータセル11が選択される。後述されるように、この4つのデータセル11は、一つのデータシンボルを記憶するために使用される。
本実施形態の説明では、16個のデータ入出力構成の場合、データセル11の列を区別するためにYアドレスのさらに下位のyアドレスを使用することがある。図2において、一組のXアドレスとYアドレス
例えば、各データアレイ1及び各パリティアレイ2のYアドレス”0”のデータQ0〜Q3は、それぞれ、yアドレス”0”〜”3”に対応しており、Yアドレス”1”のデータQ4〜Q7は、それぞれ、yアドレス”0”〜”3”に対応している。更に、Yアドレス”2”のデータQ8〜Q11は、yアドレス”0”〜”3”に対応しており、Yアドレス”3”のデータQ12〜Q15は、yアドレス”0”〜”3”に対応している。
一方、64個のデータ入出力構成の場合、下位のyアドレスは存在せず、データアレイ1_0〜1_15のデータQ0〜Q3が1サイクルで64ビットのデータとして入出力され、同様に、データアレイ1_0〜1_15のデータQ4〜Q7も1サイクルで64ビットのデータとして入出力される。
エリア15A、15Bのそれぞれに、参照セル12の列が2つずつ設けられている。エリア15Aに設けられている参照セルは、以下、参照セル12Aと呼ばれ、エリア15Bに設けられている参照セル12は、参照セル12Bと呼ばれる。同一のメモリセルの行に位置する(即ち、同一のワード線13に接続されている)2つの参照セル12Aには、互いに相補のデータが書き込まれている。エリア15Aに位置するデータセル11からのデータ読み出しの際には、当該データセル11と同一の行に位置する2つの参照セル12Aに電流が流され、それらの電流から参照信号が発生される。この参照信号は、データ”1”に対応する信号レベルと、データ”0”に対応する信号レベルの中間に対応する信号レベルを有するように発生される。その参照信号と、データセル11に電流が流されることによって発生するデータ信号とを比較することにより、当該データセル11のデータが判別される。
同一のメモリセルの行に位置する2つの参照セル12Aには、互いに相補のデータが記憶されていればよく、2つの参照セル12Aのいずれにデータ”1”、”0”が記録されていても良いことに留意されたい。2つの参照セル12Aの特性の違いが充分に小さければ、2つの参照セル12Aのいずれにデータ”1”、”0”が記録されていても、データ読み出しに影響はない。即ち、2つの参照セル12Aは、それぞれデータ”1”、”0”を記憶する状態と、データ”0”、”1”を記憶する状態の何れの状態をとることも許容される。
同様に、同一のメモリセルの行に位置する(即ち、同一のワード線13に接続されている)2つの参照セル12Bには、互いに相補のデータが書き込まれている。エリア15Bに位置するデータセル11からのデータ読み出しの際には、該データセル11と同一の行に位置する2つの参照セル12Bが使用される。
センスアンプ回路6は、2つの4ビット・センスアンプ16A、16Bと、2つの2ビット・センスアンプ17A、17Bとを備えている。4ビット・センスアンプ16Aは、エリア15Aに位置するデータセル11に記憶されているデータの識別に使用される。詳細には、4ビット・センスアンプ16Aは、エリア15Aに位置する参照セル12Aから受け取った信号から参照信号を生成し、その参照信号を用いてエリア15Aに位置するデータセル11に記憶されているデータを識別する。同様に、4ビット・センスアンプ16Bは、エリア15Bに位置するデータセル11に記憶されているデータの識別に使用される。
一方、2ビット・センスアンプ17A、17Bは、参照セル12A、12Bに記憶されているデータの識別に使用される。後述されるように、一般的なPRAMとは異なり、参照セル12A、12Bは、単に参照信号の生成に使用されるわけではない;参照セル12A、12Bは、参照信号の生成と共に、パリティシンボルの一部のビットの記憶に使用される。2ビット・センスアンプ17Aは、エリア15Bに位置する参照セル12Bから受け取った信号から参照信号を生成し、その参照信号を用いてエリア15Aに位置する参照セル12Aのデータを識別する。同様に、2ビット・センスアンプ17Bは、エリア15Aに位置する参照セル12Aから受け取った信号から参照信号を生成し、その参照信号を用いてエリア15Bに位置する参照セル12Bのデータを識別する。
一実施形態では、他のデータアレイ1_1〜1_15及びパリティアレイ2_0、2_1、並びに、それらに対応して設けられたセンスアンプ回路6も、図2に示されている構成を有する。ただし、他のデータアレイ1_1〜1_15及びパリティアレイ2_0、2_1は、図4に示されているように、行列に配置されたデータセル11と、2列に配置された参照セル12とで構成されることも可能である。この場合、センスアンプ回路6は、4ビット・センスアンプで構成される。データアレイ1_0と同様に、一のXアドレスによってメモリセルの行が選択され、一のYアドレスによってメモリセルの列が4つ選択される。即ち、一組のXアドレスとYアドレスを指定すると、同一の行に位置する4つのデータセル11と、2つの参照セル12が選択される。4ビット・センスアンプは、選択されたメモリセルの行に位置する2つの参照セル12から供給される信号を用いて参照信号を生成し、その参照信号を用いてデータセル11のデータを識別する。
続いて、本実施形態におけるデータ割付を説明する。本実施形態では、一組のXアドレスとYアドレスが一つのブロックに対応している。即ち、アクセス時にXアドレス、Yアドレスが指定されると、そのXアドレス、Yアドレスに対応する一つのブロックに対するアクセスが行われる。
図5A、図5Bは、本実施形態におけるバースト誤り訂正符号の符号構成を示す概念図である。図5Aは、偶数Yアドレスに対応するブロックの符号構成を、Yアドレス”0”を例として図示しており、図5Bは、奇数Yアドレスに対応するブロックの符号構成を、Yアドレス”1”を例として図示している。
図5A、図5Bに示されているように、各ブロックは、16個のデータシンボルと、2つのパリティシンボルで構成される。16個のデータシンボルは、それぞれ、PRAM10の入出力DQ0〜DQ15に、即ち、それぞれデータアレイ1_0〜1_15に対応付けられている。以下では、入出力DQ0〜DQ15に対応付けられているデータシンボルを、それぞれ、データシンボルDQ0〜DQ15と記載することがある。更に、2つのパリティシンボルは、それぞれ、パリティアレイ2_0、2_1に対応付けられている。以下では、パリティアレイ2_0、2_1に対応付けられたパリティシンボルを、それぞれ、パリティシンボルP0、P1と記載することがある。
データアレイ1_0〜1_15は、それぞれ、データシンボルDQ0〜DQ15を記憶するために使用される。ただし、データシンボルDQ0〜DQ15の全ビットがデータアレイ1_0〜1_15に記憶されるのではない。データシンボルDQ0〜DQ15のそれぞれを構成する5ビットのうちの上位4ビットは、それぞれデータアレイ1_0〜1_15に記憶される。残りの下位1ビットは、所定値に固定され、実際にはデータアレイ1_0〜1_15には記憶されない。実際にデータアレイ1_0〜1_15には記憶されないデータシンボルDQ0〜DQ15のビットを、以下では、ダミービットと呼ぶこととする。
同様に、パリティアレイ2_0、2_1は、それぞれ、パリティシンボルP0、P1を記憶するために使用される。ただし、パリティシンボルP0、P1の全ビットが、パリティアレイ2_0、2_1に記憶されるのではない。パリティシンボルP0、P1を構成する5ビットのうちの4ビットは、それぞれ、パリティアレイ2_0、2_1に記憶される。残りの1ビットは、データアレイ1_0の参照セル12A、12Bに記憶される;パリティアレイ2_0、2_1に記憶されない残りの1ビットを、以下では、残余ビットと記載することとする。より詳細には、あるXアドレスのある偶数Yアドレスに対応するブロックのパリティシンボルP0、P1の残余ビットは、データアレイ1_0の該Xアドレスに対応するメモリセルの行に位置する参照セル12Bに記憶される。図2及び図5Aでは、参照セル12Bに記憶されている残余ビットがQref0として参照されている。一方、あるXアドレスの奇数YアドレスブロックのパリティシンボルP0、P1の残余ビットは、データアレイ1_0の該Xアドレスに対応するメモリセルの行に位置する参照セル12Aに記憶される。図2及び図5Bでは、参照セル12Aに記憶されている残余ビットは、Qref1として参照されている。
上述されているように、同一のXアドレスに対応する2つの参照セル12Aは、その一方がデータ”1”を他方がデータ”0”でなくてはならず、同一のXアドレスに対応する2つの参照セル12Bも、同様である。したがって、実質的には、2つの参照セル12A(又は2つの参照セル12B)で1ビットのデータしか記憶できない。これでは、2つのパリティシンボルP0、P1それぞれの残余ビットを記憶することはできないと考えられるかもしれない。
しかし、このような問題は、データシンボルDQ0〜DQ15のダミービットを適切に決定することによって回避できる。具体的には、データシンボルDQ0〜DQ15のダミービットのうちの奇数個を”1”に設定することにより、2つのパリティシンボルP0、P1の残余ビットを、それぞれ、”1”、”0”の組み合わせ、又は、”0”、”1”の組み合わせのいずれかに制限することができる。なぜなら、データシンボルDQ0〜DQ15の値をそれぞれD〜D15とし、パリティシンボルP0、P1の値をそれぞれP、Pとしたとき、リード・ソロモン符号では、下記の式が成立するからである:
+D+D+・・・+D15+P+P=0.
ここで、D〜D15、及びP、Pは、ガロア体GF(2)の元であり、加算は、ガロア体GF(2)上の演算として定義されることに留意されたい。上記の式は、データシンボルDQ0〜DQ15の最下位ビットのうちの奇数個が1であれば、パリティシンボルP0、P1の一方が”0”、他方が”1”でなければならないことを意味している。これは、一方がデータ”1”、他方がデータ”0”を記憶する2つの参照セル12A(又は2つの参照セル12B)で2つのパリティシンボルP0、P1の残余ビットを記憶できることを意味している。
以下では、図9A、9Bに図示されている符号構成に対応したリード動作、及び、ライト動作を説明する。
(リード動作)
を参照して、リード動作では、まず、選択されたXアドレス、Yアドレスに対応するブロックのデータシンボル及びパリティシンボルのデータがパリティアレイ2_0、2_1から読み出される(ステップS01)。
より具体的には、リード動作が開始されると、データアレイ1_0〜1_15、パリティアレイ2_0、2_1のそれぞれにおいて、選択されたXアドレス、Yアドレスの組によって選択される4つのデータセル11から4ビットのデータが読み出される。詳細には、Yアドレスが偶数Yアドレスである場合には、エリア15Aに位置する参照セル12Aを用いて生成された参照信号を用いてエリア15Aに位置するデータセル11からデータが読み出され、奇数Yアドレスである場合には、エリア15Bに位置する参照セル12Bを用いて生成された参照信号を用いてエリア15Bに位置するデータセル11からデータが読み出される。以下では、データ読み出しに使用される参照信号の生成に使用された参照セルを参照信号生成参照セルと呼ぶこととする。
更に、データアレイ1_0の参照セル12からパリティシンボルP0、P1の残余ビットが読み出される。指定されたYアドレスが偶数Yアドレスである場合には、指定されたXアドレスに対応する2つの参照セル12Bから、参照セル12Aを用いて生成された参照信号を用いて2ビットのデータが読み出される。一方、奇数Yアドレスである場合には、指定されたXアドレスに対応する2つの参照セル12Aから、参照セル12Bを用いて生成された参照信号を用いて2ビットのデータが読み出される。以下では、パリティシンボルP0、P1の残余ビットが読み出された参照セルを、読み出し対象参照セルと呼ぶこととする。
コントローラ7は、データアレイ1_0〜1_15から読み出された4ビットのデータに所定のダミービットを付け加えて、16個のデータシンボルを再生する。更に、コントローラ7は、パリティアレイ2_0、2_1から読み出された4ビットのデータに読み出し対象参照セルから読み出された残余ビットを付け加えて、2個のパリティシンボルを再生する。
続いて、コントローラ7は、再生した16個のデータシンボル及び2個のパリティシンボルを用いて誤り検出を行う(ステップS02)。
誤りが検出されなかった場合には(ステップS03)、コントローラ7は、データアレイ1_0〜1_15から読み出された読み出しデータをそのまま出力し(ステップS04)、読み出し動作が完了する。
一方、誤りが検出された場合には、コントローラ7は、誤り訂正が可能であるかを判断する(ステップS05)。本実施形態では、一のシンボルに誤りが検出された場合には、誤りのビット数に関らず誤り訂正が可能である。誤り訂正が不可能である場合、コントローラ7は、エラー信号を出力し、リード動作を完了させる(ステップS12)。
誤り訂正が可能である場合、コントローラ7は、データアレイ1_0〜1_15から読み出された読み出しデータを訂正し、訂正された読み出しデータを出力する(ステップS06)。
更にコントローラ7は、データアレイ1_0〜1_15、及びパリティアレイ2_0、2_1について誤り訂正動作を行う(ステップS07〜S11)。この誤り訂正動作の一つの主題は、データセル11と、参照信号生成参照セル(参照信号の生成に使用された参照セル)と、読み出し対象参照セル(パリティシンボルの残余ビットが読み出された参照セル)とのいずれを訂正すべきであるかである。データセル11及び読み出し対象参照セルにデータ誤りが検出されても、それらに実際に記憶されているデータに誤りがあるとは限らない;参照信号の生成に使用された参照信号生成参照セルにデータ誤りがあった場合にも、データセル11及び読み出し対象参照セルにデータ誤りが検出され得る。本実施形態では、誤り検出において検出された誤りパターンの内容に応じて、適切なメモリセルのデータが訂正される。
具体的には、本実施形態では、データセル11及び読み出し対象参照セルの両方にデータ誤りが検出された場合には、対応する参照信号生成参照セルのデータが反転されて訂正される。これは、メモリセルのデータ誤り率が充分に低減されている状況において、データセル11及び読み出し対象参照セルの両方にデータ誤りが検出された場合には参照信号生成参照セルのデータ誤りが発生している確率が最も高いからである。一方、データセル11にのみデータ誤りが検出された場合にはデータセル11のデータが訂正され、読み出し対象参照セルのみにデータ誤りが検出された場合には、読み出し対象参照セルのデータが訂正される。
より具体的には、誤りが検出され、且つ、読み出し対象参照セルに誤りが検出されない場合(即ち、データセル11にのみデータ誤りが検出された場合)、図Aに示されているように、誤りが発見されたデータセル11のデータが反転され、これにより、データセル11のデータが訂正される(ステップS11)。
一方、読み出し対象参照セルに誤りが検出され(ステップS07)、且つ、データセル11にも誤りが検出された場合(ステップS08)、図Bに示されているように、コントローラ7は、参照信号生成参照セルに誤りがあると判断し、対応する参照信号生成参照セルの訂正を行う。参照信号生成参照セルの訂正は、参照信号の生成に使用された2つの参照セルのうちの一方のみのデータを反転することによって行われる。参照信号生成参照セルに誤りがある状態とは、(データ”1”、データ”0”の何れであるかは不明であるが)2つの参照セルに同一のデータが書き込まれている状態であるから、一方のみのデータを反転することによって参照信号生成参照セルの訂正を行うことができる
更に、読み出し対象参照セルに誤りが検出され(ステップS07)、且つ、データセル11には誤りが検出されない場合には(ステップS08)、図Cに示されているように、コントローラ7は、読み出し対象参照セルに誤りがあると判断し、データ誤りが検出された読み出し対象参照セルの訂正を行う。
このようなリード動作によれば、データセル11及び参照セル12に書き込まれているデータを高い確率で正しく訂正することができる。
(ライト動作)
次に、ライト動作について説明する。ライトコマンドが入力されると、コントローラ7は、書き込みデータに応じたパリティシンボルのデータパターンを作成する。留意すべきことは、パリティシンボルの作成には、データシンボルの全てのビット情報が必要であることである。図5A、図5Bの符号例では、64個のデータ入出力構成が採用される場合には、64ビットの書き込みデータは、一つのデータシンボルの全てのビット情報であるから、64ビットの書き込みデータからパリティシンボルを作成可能である。したがって、この場合には、データアレイ1には、書き込みデータがデータシンボルDQ0〜DQ15(の上位4ビット)としてそのまま書き込まれ、パリティシンボルを記憶するパリティアレイ2には、書き込みデータからコントローラ7によって作成された2つのパリティシンボルP0、P1の上位4ビットが書き込まれる。更に、データアレイ1_0の参照セル12(参照セル12A又は参照セル12B)に、パリティシンボルP0、P1の残余ビット(最下位ビット)が書き込まれる。上述のように、パリティシンボルP0、P1の残余ビットは、一方が”1”で他方が”0”であるから1ビットの情報量しかなく、また、一対の参照セル12は、1ビットを記憶できるから、結局、2つのパリティシンボルP0、P1の残余ビットを、一対の参照セル12で記憶できることに留意されたい。ライト動作時においては、書き込み先のデータセル11、参照セル12に誤りビットが存在していたとしても、上書きされるため、後述されるような先読み動作と誤り検出動作は必要ない。
一方、16個のデータ入出力構成が採用される場合には、各データシンボルの一部のビットしか、書き込みデータとして外部から入力されない。パリティシンボルを作成するためには、図8Aのフローチャートに示されているように、対応するデータシンボルの全てのビットが先読みされる(ステップS21)。次に、コントローラ7は、入力された16ビットの書き込みデータと、先読みで取得された残りの48ビットのデータを用いて、2つのパリティシンボルP0、P1を作成する(ステップS22)。次に、16ビットの書き込みデータと、2つのパリティシンボルP0、P1のデータ書き込みが行われる(ステップS23)。具体的には、16ビットの書き込みデータがデータアレイ1の対応するデータセル11に書き込まれ、2つのパリティシンボルP0、P1の上位4ビットが、パリティアレイ2の対応するデータセル11に書き込まれ、更に、2つのパリティシンボルP0、P1の残余ビットが、データアレイ1_0の対応する参照セル12に書き込まれる。例えば、図9Aは、書き込みデータとしてデータQ0(Y=0のy=0に対応)が入力された場合の符号構成と実際にライト動作が行われるビットを示す図である。ステップS21では、データQ0〜Q3(y=0〜3)に相当する全てのビット情報がデータアレイ1から先読みされる。ステップS22では、書き込みデータであるデータQ0(y=0)と、元々、データアレイ1に書き込まれていたデータであるデータQ1〜Q3(y=1〜3)からパリティシンボルが作成される。ステップS23では、書き込みデータD0がデータアレイ1に書き込まれ、パリティシンボルP0、P1の上位4ビットがパリティアレイ2に書き込まれ、パリティシンボルP0、P1の残余ビットのデータQref0が、データアレイ1_0の参照セル12Bに書き込まれる。
図8A、図9Aに示されているような、書き込みデータに対応するデータビットと、パリティシンボルに限定してデータ書き込みを行う方法は、ライト動作時の消費電流を削減できるメリットがある反面、書き込みデータ以外のデータビットに対応するデータセル11にソフトエラーが存在しても、そのソフトエラーを訂正できないという問題もある。
図8Bは、このような問題を解決するための他のライト動作を説明する図であり、図9Bは、当該他のライト動作において、書き込みデータとしてデータQ0(Y=0のy=0に対応)が入力された場合の符号構成と、実際にデータ書き込みが行われるビットを示す図である。ステップS31では、書き込みデータQ0が属するデータシンボルDQ0〜DQ15、及びそれに対応するパリティシンボルP0、P1の全てのビット情報がデータアレイ1及びパリティアレイ2から先読みされる。先読みされるデータには、新たなパリティシンボルの残余ビットの書き込み先である参照セル12のデータも含まれていることに留意されたい。例えば、書き込み先のYアドレスが偶数アドレス(例えば”0”)である場合には、データアレイ1_0のエリア15Bの参照セル12Bが、新たなパリティシンボルの残余ビットの書き込み先であり、この参照セル12BのデータQref0が先読みされる。一方、書き込み先のYアドレスが奇数アドレス(例えば”1”)である場合には、データアレイ1_0のエリア15Aの参照セル12Aが、新たなパリティシンボルの残余ビットの書き込み先であり、この参照セル12AのデータQref1が先読みされる。以下では、パリティシンボルの残余ビットの書き込み先の参照セル12を書き込み対象参照セルと呼ぶこととする。
データアレイ1_0のデータセル11と書き込み対象参照セルの先読みにおいては、書き込み参照セルと同一の行に位置する参照セル12が参照信号の生成に使用される。例えば、書き込み先のYアドレスが偶数アドレス(例えば”0”)である場合には、データアレイ1_0のエリア15Aの参照セル12Aが参照信号の生成に使用され、書き込み先のYアドレスが奇数アドレス(例えば”1”)である場合には、データアレイ1_0のエリア15Bの参照セル12Bが参照信号の生成に使用される。以下では、先読みにおいて参照信号の生成に使用される参照セル12を、参照信号生成参照セルと呼ぶこととする。
続いて、コントローラ7は、先読みされたデータシンボル及びパリティシンボルに対して誤り検出を行う(ステップS32)。先読みされたデータシンボルに誤り(ソフトエラー)が無い場合、即ち、ステップS33で誤りがないと判断された場合には、コントローラ7は、入力された16ビットの書き込みデータと、先読みで取得された残りの48ビットのデータを用いて、2つのパリティシンボルP0、P1を作成する(ステップS34)。次に、16ビットの書き込みデータと、2つのパリティシンボルP0、P1のデータ書き込みが行われる(ステップS35)。具体的には、16ビットの書き込みデータがデータアレイ1の対応するデータセル11に書き込まれ、2つのパリティシンボルP0、P1の上位4ビットが、パリティアレイ2の対応するデータセル11に書き込まれ、更に、2つのパリティシンボルP0、P1の残余ビットが、書き込み対象参照セル12に書き込まれる。
一方、ステップS32、S33においてデータ誤りが検出された場合、コントローラ7は、誤り訂正が可能であるかを判断する(ステップS36)。本実施形態では、一のシンボルに誤りが検出された場合には、誤りのビット数に関らず誤り訂正が可能である。誤り訂正が不可能である場合、コントローラ7は、エラー信号を出力し、ライト動作を完了させる(ステップS37)。
誤り訂正が可能である場合には、誤りパターンに応じて異なる動作シーケンスで、データ書き込みが行われる。より具体的には、下記のようにしてデータ書き込みが行われる。
先読みされたデータシンボルの書きこみデータに対応するデータビット、又は、書き込み対象参照セルに記憶されているビットに誤りがあった場合には(ステップS38:YES)、誤りが発見されなかった場合と同様に、パリティシンボルP0、P1の作成(ステップS34)と、16ビットの書き込みデータと、2つのパリティシンボルP0、P1のデータ書き込みが行われる(ステップS35)。データシンボルの書きこみデータに対応するデータビット、又は、書き込み対象参照セルに記憶されているビットに誤りが発見されても、これらは上書きされるので、何らの対処も必要としない。
先読みされたデータシンボルの書きこみデータに対応しないデータビットに誤りがあった場合には(ステップS39:YES)、誤り訂正されたデータシンボルとパリティシンボルとが生成される(ステップS40)。詳細には、誤り訂正によって正しいデータビットが算出され、更に、書きこみデータに対応するデータビットと誤りが訂正されたデータビットとを組み合わせることにより、誤り訂正されたデータシンボルDQ0〜DQ15が生成される。更に、誤り訂正されたデータシンボルからパリティシンボルP0、P1が生成される。
続いて、誤り訂正されたデータシンボルDQ0〜DQ15とパリティシンボルP0、P1とが、データアレイ1及びパリティアレイ2の書き込まれる(ステップS41)。ステップS41のデータ書き込みでは、図9Bに示されているように、書き込みデータに対応するデータビットのみならず、データシンボルDQ0〜DQ15の全体が書き込まれることに留意されたい。
また、上記のいずれにも該当しない場合、即ち、参照電流生成参照セルに誤りがあった場合には、誤り訂正されたデータシンボルとパリティシンボルとが生成された後、(ステップS42)、参照電流生成参照セルの訂正とデータ書き込みとが同時に行われる(ステップS44)。ステップS42における誤り訂正されたデータシンボルとパリティシンボルの生成の手順は、ステップS40と同様である。詳細には、誤り訂正によって正しいデータビットが算出され、更に、書きこみデータに対応するデータビットと誤りが訂正されたデータビットとを組み合わせることにより、誤り訂正されたデータシンボルDQ0〜DQ15が生成される。更に、誤り訂正されたデータシンボルからパリティシンボルP0、P1が生成される。
パリティシンボルP0、P1の生成には、先読みによって得られたデータシンボルDQ0〜DQ15ではなく、誤り訂正されたデータシンボルDQ0〜DQ15が使用されることに留意されたい。参照電流生成参照セルに誤りがある場合には、先読みによって得られたデータシンボルDQ0〜DQ15の値は、データアレイ1に書き込まれている値とは相違し得る。一方、誤り訂正されたデータシンボルDQ0〜DQ15は、データアレイ1に書き込まれている値と一致する。従って、誤り訂正されたデータシンボルからパリティシンボルP0、P1が生成される必要がある。
ステップS44における参照電流生成参照セルの訂正は、2つの参照電流生成参照セルの一方のデータを反転させることによって行われる。ステップS44におけるデータ書き込みでは、16ビットの書き込みデータと、2つのパリティシンボルP0、P1のデータ書き込みが行われる。ステップS44におけるデータ書き込みでは、書きこみデータに対応しないデータビットの訂正は行われる必要がない。
以上の手順でライト動作を行うことにより、書き込みデータ以外のデータビットに対応するデータセル11におけるソフトエラーを訂正しながらデータ書き込みを行うことができる。
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示すブロック図である。 図2は、本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置のデータアレイ及びセンスアンプ回路の構成を示すブロック図である。 図3は、本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置のデータアレイの構成を示す概念図である。 図4は、本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置のデータアレイ及びパリティアレイの他の構成を示すブロック図である。 図5Aは、本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置の符号構成を示す図である。 図5Bは、本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置の符号構成を示す図である。 図6は、本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置のリード動作を説明するタイミングチャートである。 図7Aは、本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置の誤り訂正の動作を説明する概念図である。 図7Bは、本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置の誤り訂正の動作を説明する概念図である。 図7Cは、本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置の誤り訂正の動作を説明する概念図である。 図8Aは、本発明の一実施形態に係る半導体記憶装置のライト動作を説明するタイミングチャートである。 図8Bは、本発明の他の実施形態に係る半導体記憶装置のライト動作を説明するタイミングチャートである。 図9Aは、図8Aのライト動作において、先読みが行われるビットとデータ書き込み動作が行われるビットを示す図である。 図9Bは、図8Bのライト動作における、先読みが行われるビットとデータ書き込みが行われるビットを示す図である。
符号の説明
1、1_0〜1_15:データアレイ
2、2_0、2_1:パリティアレイ
3:ロウデコーダ
4:カラムデコーダ
5:書き込み回路
6:センスアンプ回路
7:コントローラ
11:データセル
12、12A、12B:参照セル
13:ワード線
14:ビット線
15A、15B:エリア
16A、16B:4ビット・センスアンプ
17A、17B:2ビット・センスアンプ

Claims (4)

  1. 複数のシンボルから構成され、各々のシンボルが複数のビットから構成され、更にシンボル単位での誤り訂正が可能な誤り訂正符号を誤り検出及び誤り訂正に使用する半導体記憶装置であって、
    それぞれが、相変化抵抗素子、金属酸化物抵抗素子、又は固体電解質抵抗素子のいずれかを含む複数のメモリセルを具備し、
    前記複数のメモリセルは、
    前記複数のシンボルのうちのデータシンボルのうちの一部のビットを記憶するために使用される第1データセルと、
    前記複数のシンボルのうちのパリティシンボルの一部のビットを記憶するために使用される第2データセルと、
    前記第1データセルのデータ読み出しに使用される参照信号を生成するために使用される第1参照セルと、
    前記第1データセルとは別のデータセルのデータ読み出しに使用される参照信号を生成するために使用される第2参照セル
    とを含む半導体記憶装置であって、
    前記第2参照セルは、前記パリティシンボルの残余ビットを記憶するために使用され
    前記半導体記憶装置には、前記複数のシンボルのそれぞれのビットの一部に対応する書き込みデータが与えられ、
    前記周辺回路は、前記書き込みデータに対応する前記データシンボルのデータを前記第1データセルから読み出し、前記書き込みデータに対応する前記パリティシンボルのデータを前記第2データセル及び前記第2参照セルから読み出し、前記第1データセルから読み出したデータに所定のダミービットを付け加えることによって前記データシンボルを再生し、前記再生されたデータシンボルと前記読み出されたパリティシンボルを用いて前記第1データセルから読み出されたデータ及び前記第2データセル及び前記第2参照セルから読み出されたデータに対して誤り検出を行い、
    前記周辺回路は、前記第1データセルから読み出したデータのうち前記書き込みデータに対応するビット、又は、前記第2参照セルから読み出されたビットに誤り訂正が可能な誤りがあった場合に、前記書き込みデータと前記第1データセルから読み出したデータのうち前記書き込みデータに対応しないビットとを用いて書き込みパリティシンボルを生成し、前記第1データセルのうちの前記書き込みデータに対応するデータセルに前記書き込みデータを書き込み、前記書き込みパリティシンボルの一部のビットを前記第2データセルに書き込み、前記書き込みパリティシンボルの残余ビットを前記第2参照セルに書き込み、
    前記周辺回路は、前記第1データセルから読み出したデータのうち前記書き込みデータに対応しないビットに誤り訂正が可能な誤りがあった場合、前記書き込みデータと前記誤り訂正によって算出されたデータとを組み合わせることで誤り訂正されたデータシンボルを生成し、前記誤り訂正されたデータシンボルから書き込みパリティシンボルを生成し、前記誤り訂正されたデータシンボルのうちの一部のビットを前記第1データセルに書き込み、前記誤り訂正されたデータシンボルから生成された前記書き込みパリティシンボルの一部を前記第2データセルに書き込み、前記誤り訂正されたデータシンボルから生成された前記書き込みパリティシンボルの残余ビットを前記第2参照セルに書き込む
    半導体記憶装置。
  2. 請求項に記載の半導体記憶装置であって、
    前記第1参照セルは、前記第2参照セルからのデータ読み出しに使用される参照信号を生成するために使用される
    半導体記憶装置。
  3. 請求項1又は2に記載の半導体記憶装置であって、
    前記周辺回路は、前記誤り検出において誤りがないと判断した場合、前記書き込みデータと前記第1データセルから読み出したデータのうち前記書き込みデータに対応しないビットとを用いて書き込みパリティシンボルを生成し、前記第1データセルのうちの前記書き込みデータに対応するデータセルに前記書き込みデータを書き込み、前記書き込みパリティシンボルの一部のビットを前記第2データセルに書き込み、前記書き込みパリティシンボルの残余ビットを前記第2参照セルに書き込む
    半導体記憶装置。
  4. 請求項3に記載の半導体記憶装置であって、
    前記第1データセルから読み出したデータのうち前記書き込みデータに対応するビット又は前記第2参照セルから読み出されたビットに誤り訂正が可能な誤りがある場合、前記第1データセルから読み出したデータのうち前記書き込みデータに対応しないビットに誤り訂正が可能な誤りがある場合、及び、前記誤り検出において誤りがないと判断された場合のいずれにも該当しない場合、前記第1参照セルのデータの訂正が行われる
    半導体記憶装置。
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