JP4954105B2 - Chemical solution reuse system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガラス基板などの被処理基板の表面に被膜などを形成する塗布液などの薬液を再利用するシステムに関する。 The present invention relates to a system for reusing a chemical solution such as a coating solution for forming a film on the surface of a substrate to be processed such as a glass substrate.
半導体用レジスト液等の薬液は、需要が年々高まっているが、一方で薬液の回収や再利用が課題となっている。薬液のうちホトレジストの上に盛り付けられる現像液については、その回収方法が特許文献1、2に提案されている。
The demand for chemicals such as resist solutions for semiconductors is increasing year by year, but on the other hand, recovery and reuse of chemicals is an issue.
特許文献1には、スリットノズルで基板上に現像液を液盛りした後、別のノズルで使用済みの現像液を回収し、回収した現像液を再生して利用することが開示されている。また、特許文献2には、基板上に現像液を液盛りした後、吸込みノズルが接続されたケースを基板の上に被せて使用済みの現像液を回収し、回収した現像液を再生して利用することが開示されている。
現像液は膜自体を構成するものではないため、回収と再利用が比較的容易である。しかしながら、ホトレジスト液やSOG液或いはカラーフィルター液などの薬液は不純物の混入の問題があり、回収はできても再利用するまでには至っていない。 Since the developer does not constitute the film itself, it is relatively easy to collect and reuse. However, chemical solutions such as a photoresist solution, an SOG solution, and a color filter solution have a problem of contamination with impurities, and even though they can be recovered, they have not yet been reused.
上記課題を解決するため本発明は、貯留タンク内の薬液をポンプを介してスリットノズルに供給するとともに供給した薬液の一部を回収して再利用するシステムであって、このシステムは、前記貯留タンクからスリットノズルに至るまでの経路の途中から回収した薬液およびスリットノズルのエア抜きの際に回収した薬液を貯留する第1の回収タンクと、前記第1の回収タンクからの薬液が集められる一時貯留容器と、前記一時貯留容器から前記貯留タンクからの薬液供給配管に繋がる流路とを備える。
また、前記薬液の再利用システムは、スリットノズルの下端部が浸漬するディップ槽から回収した薬液を貯留する第2の回収タンクを更に備え、前記一時貯留容器は、前記第1及び第2の回収タンクからの薬液が集められる一時貯留容器である。
In order to solve the above-described problems, the present invention is a system for supplying a chemical solution in a storage tank to a slit nozzle through a pump and collecting a part of the supplied chemical solution for reuse. A first recovery tank for storing the chemical solution collected from the middle of the path from the tank to the slit nozzle and the chemical solution collected when the slit nozzle is vented, and a temporary collection time for the chemical solution from the first recovery tank A storage container, and a flow path that leads from the temporary storage container to a chemical solution supply pipe from the storage tank.
The chemical solution recycling system further includes a second recovery tank for storing the chemical solution recovered from the dip tank in which the lower end portion of the slit nozzle is immersed, and the temporary storage container includes the first and second recovery containers. It is a temporary storage container for collecting chemicals from the tank.
またさらに前記薬液の再利用システムは、前記一時貯留容器に集められた薬液の濃度を検出する濃度計と、廃液タンクとを更に備え、前記濃度計により測定される薬液の濃度が所定値以下の場合には一時貯留容器からの配管流路を前記廃液タンクに切り替え、薬液の濃度が所定値を維持している場合には一時貯留容器からの配管流路を前記貯留タンクからの薬液供給配管に繋がる流路に切り替えるバルブとを備える。 The chemical solution recycling system further includes a concentration meter for detecting the concentration of the chemical solution collected in the temporary storage container, and a waste liquid tank, and the concentration of the chemical solution measured by the concentration meter is a predetermined value or less. In this case, the pipe flow path from the temporary storage container is switched to the waste liquid tank, and when the concentration of the chemical liquid is maintained at a predetermined value, the pipe flow path from the temporary storage container is connected to the chemical liquid supply pipe from the storage tank. And a valve for switching to a connected flow path.
前記貯留タンクからスリットノズルに至るまでの経路の途中から回収した薬液とは、例えば、フィルタやポンプから回収される薬液が挙げられる。ポンプ内の圧を抜くエア抜き管内には空気とともに薬液も混じっている。これら第1の回収タンクに集められる薬液は閉鎖系の経路を構成し、汚れていないため、そのまま再利用することが可能である。
Examples of the chemical solution collected from the middle of the path from the storage tank to the slit nozzle include a chemical solution collected from a filter or a pump. In the air vent pipe for releasing the pressure in the pump, chemicals are mixed with air. The chemicals collected in these first collection tanks constitute a closed path and are not contaminated, and can be reused as they are.
またディップ槽から再利用のために回収する薬液としては、スリットノズルへの導入時の薬液、色替えの際にスリットノズルに供給される薬液及びノズルの分解清掃の際にスリットノズルに供給される薬液が挙げられる。 Also, as the chemical solution to be recovered from the dip tank for reuse, the chemical solution at the time of introduction to the slit nozzle, the chemical solution supplied to the slit nozzle at the time of color change, and supplied to the slit nozzle at the time of disassembly and cleaning of the nozzle Examples include chemicals.
また、前記第1及び第2の回収タンクは1つに限らず、複数に分割してもよい。例えば第1の回収タンクをフィルタからの薬液が導入されるタンクとポンプからの薬液が導入されるタンクに分けてもよい。 Further, the first and second collection tanks are not limited to one, and may be divided into a plurality. For example, the first recovery tank may be divided into a tank into which chemical liquid from a filter is introduced and a tank into which chemical liquid from a pump is introduced.
また、本発明に係る再利用システムは、前記一時貯留容器を2個設け、一方の一時貯留容器が満杯になったならば、第1および/または第2の回収タンクからの流路を他方の一時貯留容器に切り替え、且つ一方の一時貯留容器内の薬液は、濃度が所定値以下の場合には廃液タンクに送り、濃度が所定値を維持している場合には前記貯留タンクからの薬液供給配管に繋がる流路に送るようにすることが考えられる。 In the recycling system according to the present invention, two temporary storage containers are provided, and when one temporary storage container becomes full, the flow path from the first and / or second recovery tank is set to the other. Switch to the temporary storage container, and the chemical solution in one temporary storage container is sent to the waste liquid tank when the concentration is lower than the predetermined value, and when the concentration is maintained at the predetermined value, the chemical solution is supplied from the storage tank. It is conceivable to send it to a flow path connected to piping.
本発明によれば、従来汚染されていない薬液であっても回収はするが再利用されていなかったが、再利用が可能となったので、コストダウンが図れる。
また本発明によれば、濃度(汚染の度合い)に応じて回収した薬液を廃液タンクに送るか、再利用するかを自動的に選択することができる。
According to the present invention, a chemical solution that has not been contaminated can be recovered but not reused. However, since it can be reused, the cost can be reduced.
Further, according to the present invention, it is possible to automatically select whether the collected chemical solution is sent to the waste liquid tank or reused according to the concentration (degree of contamination).
以下に本発明を実施するための実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明に係る薬液の再利用システムの全体図である。尚、バルブについては主要なもののみを示した。 Embodiments for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an overall view of a chemical solution reuse system according to the present invention. Only the main valves are shown.
図中1A、1Bは薬液貯留タンクであり、薬液貯留タンク1A、1Bには加圧用の配管2a、2bが接続され、また薬液貯留タンク1A、1Bからの薬液供給管3a、3bにはバルブV1、V2が設けられ、更に薬液供給管3a、3bが合流した薬液供給管3は供給用エアベントタンク4に接続され、この薬液供給管3にはバルブV3が設けられている。
In the figure,
エアベントタンク4の上面には大気ベント兼加圧用の配管5が接続され、必要に応じて底面にはドレイン管6が接続され、更にエアベントタンク4から薬液供給管7が導出され、この薬液供給管7の先端はスリットノズル8に接続されている。
An air vent / pressurizing
前記薬液供給管7の途中にはフィルタF1、ポンプP1、フィルタF2が設けられ、これらフィルタF1、ポンプP1、フィルタF2及びスリットノズル8から、それぞれエア抜き管9、10、11、12が導出され、これらエア抜き管9、10、11、12は第1の回収タンク13に接続されている。この第1の回収タンク13には大気ベント兼加圧用の配管14が接続され、底面にはドレイン管15が接続され、更に第1の回収タンク13からは回収用配管16が導出され、この回収用配管16にはポンプP2及びバルブV4が設けられている。
A filter F1, a pump P1, and a filter F2 are provided in the middle of the chemical
回収用配管16のバルブV4よりも上流側部分からは廃棄用配管17が分岐し、この廃棄用配管17は廃液タンク18に接続され、途中にはバルブV5が設けられている。
A
一方、スリットノズル8下端の吐出口の乾燥を防ぐディップ槽19の底面にはドレイン管20が接続され、このドレイン管20にはオーバーフロー管21が合流し、またドレイン管20は第2の回収タンク22に接続され、この第2の回収タンク22からは回収用配管23が導出され、この回収用配管23にはポンプP3及びバルブV6、V7が設けられている。
On the other hand, a
前記回収用配管23は一時貯留容器30Aに接続され、また前記回収用配管23のポンプP3とバルブV6の間からは廃棄用配管24が分岐し、この廃棄用配管24は廃液タンク18に接続され、途中にはバルブV8が設けられている。
The
また廃棄用配管24のバルブV6とバルブV7の中間からは回収用配管25が分岐し、この回収用配管25は一時貯留容器30Bに接続され、回収用配管25にはバルブV9が設けられている。
Further, a
前記一時貯留容器30A、30Bからは戻し用配管31a、31bが導出され、これら戻し用配管31a、31bにはバルブV10、V11が設けられ、また戻し用配管31a、31bが合流した戻し用配管32は前記薬液供給管3に接続されている。
また、前記戻し用配管32には濃度計33、バルブV12及びフィルタF3が設けられ、濃度計33とバルブV12との間からは前記廃液タンク18に接続される廃棄用配管34が分岐し、この廃棄用配管34にはバルブV13が設けられている。
The
以下に、上記の配管構成からなるシステムの主な運転パターンを図2乃至図5に基づいて説明する。尚、各パターンにおいて薬液が流れる配管を実線で示し、薬液が流れない配管等は点線で示した。 Below, the main operation pattern of the system which consists of said piping structure is demonstrated based on FIG. 2 thru | or FIG. In each pattern, the piping through which the chemical solution flows is indicated by a solid line, and the piping etc. through which the chemical solution does not flow is indicated by a dotted line.
図2は第1及び第2の回収タンクからの薬液を全て廃液タンクに送る運転パターンを示す図であり、この運転パターンでは、バルブV4を閉、バルブV5を開、バルブV6を閉、バルブV8を開とする。この状態では第1及び第2の回収タンク13、22に回収された薬液は全て廃液タンク18に集められる。
FIG. 2 is a diagram showing an operation pattern in which all the chemicals from the first and second recovery tanks are sent to the waste liquid tank. In this operation pattern, the valve V4 is closed, the valve V5 is opened, the valve V6 is closed, and the valve V8 is used. Is open. In this state, all the chemicals recovered in the first and
図3は第1及び第2の回収タンクからの薬液を一方の一時貯留容器に回収する運転パターンを示す図であり、この運転パターンでは、バルブV4を開、バルブV5を閉、バルブV6、V7を開、バルブV8を閉、バルブV9を閉とする。この状態では第1及び第2の回収タンク13、22に回収された薬液は全て一方の一時貯留容器30Aに回収される。
FIG. 3 is a diagram showing an operation pattern in which the chemical solution from the first and second recovery tanks is collected in one temporary storage container. In this operation pattern, the valve V4 is opened, the valve V5 is closed, and the valves V6, V7 are used. Is opened, the valve V8 is closed, and the valve V9 is closed. In this state, all the chemicals collected in the first and
図4は第1及び第2の回収タンクからの薬液を他方の一時貯留容器に回収する運転パターンを示す図であり、この運転パターンでは、バルブV4を開、バルブV5を閉、バルブV6を開、バルブV7を閉、バルブV8を閉、バルブV9を開とする。この状態では、第1及び第2の回収タンク13、22からの薬液は他方の一時貯留容器30Bに回収される。
FIG. 4 is a diagram showing an operation pattern for recovering the chemical solution from the first and second recovery tanks to the other temporary storage container. In this operation pattern, the valve V4 is opened, the valve V5 is closed, and the valve V6 is opened. The valve V7 is closed, the valve V8 is closed, and the valve V9 is opened. In this state, the chemicals from the first and
またこの運転パターンでは、一方の一時貯留容器30Aに回収された薬液の濃度を濃度計33で測定する。なお、必要に応じて測定後の薬液は戻り管(図示せず)により一時貯留容器30Aに戻る構成としても良い。濃度が所定値に達していない場合には、バルブV12を閉、バルブV13を開とし、一方の一時貯留容器30Aに回収された薬液を廃液タンク18に廃棄する。
In this operation pattern, the
図5は、一方の一時貯留容器に回収した薬液を薬液供給管に送り込む運転パターンを示す図であり、一方の一時貯留容器30Aに回収した薬液の濃度が一定以上であれば、バルブV12を開、バルブV13を閉とし、一方の一時貯留容器30Aに回収された薬液を薬液供給管3に戻す。
FIG. 5 is a diagram showing an operation pattern in which the chemical liquid collected in one temporary storage container is sent to the chemical liquid supply pipe. If the concentration of the chemical liquid collected in one
以上の運転パターンの他に、バルブを操作することで、別の運転パターンも可能になる。例えば、第1の回収タンク13に回収される薬液は閉鎖系経路からの薬液であり、汚れている可能性が低い。そのため、第1の回収タンク13に回収される薬液を第2の回収タンク22に回収される薬液から区別し、それぞれを一時貯留容器30A、30Bに分離して回収し、第1の回収タンク13に回収される薬液については、濃度を調べることなくそのまま薬液供給管3に戻すパターンも考えられる。
In addition to the above operation patterns, other operation patterns are possible by operating the valve. For example, the chemical solution collected in the
1A、1B…薬液貯留タンク、2a、2b…加圧用の配管、3、3a、3b…薬液供給管、4…供給用のエアベントタンク、5…大気ベント兼加圧用の配管、6…ドレイン管、7…薬液供給管、8…スリットノズル、9、10、11、12…エア抜き管、13…第1の回収タンク、14…大気ベント兼加圧用の配管、15…ドレイン管、16…回収用配管、17…廃棄用配管、18…廃液タンク、19…ディップ槽、20…ドレイン管、21…オーバーフロー管、22…第2の回収タンク、23…回収用配管、24…廃棄用配管、25…回収用配管、30A、30B…一時貯留容器、31a、31b…戻し用配管31a、31b、32…戻し用配管、33…濃度計、34…廃棄用配管、F1〜F3…フィルタ、P1〜P3…ポンプ、V1〜V13…バルブ。
DESCRIPTION OF
Claims (5)
The chemical solution reuse system further includes a concentration meter for detecting the concentration of the chemical solution collected in the temporary storage container and a waste liquid tank, and the concentration of the chemical solution measured by the concentration meter is equal to or lower than a predetermined value. Switch the pipe flow path from the temporary storage container to the waste liquid tank, and when the concentration of the chemical liquid is maintained at a predetermined value, the pipe flow path from the temporary storage container is connected to the chemical liquid supply pipe from the storage tank. The chemical solution reuse system according to claim 1, further comprising a valve that switches to a path.
5. The chemical solution reuse system according to claim 1, wherein the chemical solution is a photoresist solution. 6.
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