JP4946544B2 - 計測処理用の画像生成方法およびこの方法を用いた基板外観検査装置 - Google Patents
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第2の登録ステップでは、対象物に設定された複数の処理対象領域毎に、それぞれ計測に要求される分解能を登録する。
また第1の登録ステップでは、撮像素子の分解能より低い分解能のカラー画像を生成するためのルールとして、複数の画素によるマトリクスを均一な間隔を隔てて撮像素子の複数箇所に設定して、各マトリクス内の画素からそれぞれの色データを読み出すことを定めた読出用制御データと、設定する分解能に応じたサイズになるように撮像素子の画素配列から所定数の画素を間引きし、残された各画素に、それぞれその画素から読み出されていない色データを周囲の当該色データの読み出した行われた画素から補間することを定めた補間用制御データとを登録する。
第3の登録ステップでは、上記の複数の処理対象領域がすべて撮像されるように対象物に所定数の撮像対象領域を設定し、各撮像対象領域にカメラを位置合わせするための制御データを登録する。第4の登録ステップでは、上記の複数の処理対象領域毎に、『その領域を含む撮像対象領域にカメラが合わせられたときに撮像素子上で当該処理対象領域に対応する範囲』を特定するのに必要な範囲特定情報を登録する。
この基板外観検査装置(以下、単に「検査装置」という。)は、部品実装基板の製造ラインの各工程を経た基板を処理対象として、部品の実装状態やはんだ付け状態の適否を検査するためのもので、カラー画像生成用のCMOSカメラ1(以下、単に「カメラ1」という。)、照明装置2、Xステージ部3、Yステージ部4、制御処理装置5などが含まれる。また図示はしていないが、検査対象の基板を支持するために、基板支持テーブルが設けられる。
撮像制御部52は、カメラ1の撮像タイミングを制御し、照明制御部53は、照明装置2の点消灯の制御や光量調整を行う。
なお、この実施例のカメラ1にはズームレンズは設けられないので、各撮像対象領域の大きさは均一になる。
図2の例では、8個の検査対象領域r1〜r8が設定されている。これらのうち、r1およびr8は、最も低いレベル1の分解能(20μm/画素)が選択された検査対象領域であり、r2,r3,r4,r5は、最も高いレベル3の分解能(10μm/画素)が設定された検査対象領域である。また、r6,r7は、中間レベルであるレベル2の分解能(13.3μm/画素)が設定された検査対象領域である。
この例のテーブルには、図2に示した検査対象領域r1〜r8について、それぞれその領域内の被検査部位に対して設定された分解能レベルが登録されている。また、この領域に対応する撮像素子上の範囲を特定するための範囲特定情報として、画像データの読み出し開始位置のアドレス(読み出し開始アドレス)と、画像データの読み出し終了位置を示すアドレス(読み出し終了アドレス)とが登録される。
この実施例のカメラ1は、図4および図5に示すような画素配列の撮像素子を具備する。最も分解能の高いレベル3の画像を生成する場合には、撮像素子の読み出し範囲内に含まれる全画素から画像データを読み出し、この読み出し対象の各画素を構成画素とするカラー画像を生成する。したがって、撮像素子の分解能がそのままカラー画像の分解能となる。ただし、この実施例のカメラ1では単板式の撮像素子を使用するので、読み出された画像データを用いて画素毎にR,G,Bの各色データを補間することによって、検査用のカラー画像を生成する。
ただし、この場合には、図4(2)に示すように、どの行/列でも読み出しが行われるようにすることによって、図4(1)の倍の数のマトリクスからデータを読み出す。したがって、全体の1/2に相当する画像データが読み出されることになる。
一方、レベル2の画像を生成する場合には、実際にデータが読み出された画素を構成画素とするのではなく、縦横とも1画素分の間引き間隔をおいて3画素分の画素を読み出すものと擬制して、カラー画像と元の読み出し範囲との対応関係を設定する。図4(2)の例によれば、横方向においては、アドレスD,H,Lの位置にある画素が間引きされ、縦方向においては、アドレス4,8,12の位置にある画素が間引きされ、その他の画素をカラー画像の構成画素に設定している。ただし、各画素に対する補間処理では、実際に読み出された画像データのみが使用される。
R(5E)=R(5E) ・・・(1)
G(5E)=0.2×(G(3D)+G(5B)+G(7D))+0.4×G(5F)
・・・(2)
B(5E)=0.2×(G(2E)+G(4C)+G(4G))+0.4×G(6E)
・・・(3)
ただし、図6の方法はあくまでも一例であって、他の画素のデータを用いて補間を行ったり、係数の値を変更してもよい。
この処理は、前記した検査対象領域や撮像対象領域の設定や、計測や判定のための各種設定データの登録が完了した後に実行される。
さらに、図7の例では、1つの撮像対象領域に対する処理が終了してから、つぎの撮像対象領域に対する処理を行うようにしたが、これに代えて、ST3の撮像を行った後に、ST4〜8の処理を行いながら、つぎの撮像対象領域にカメラを位置合わせすれば、画像の生成に要する時間をさらに短縮することができ、処理を高速化することができる。
5 制御処理装置
50 制御部
51 画像入力部
53 撮像制御部
54 Xステージ駆動部
55 Yステージ駆動部
59 ティーチング用メモリ
Claims (4)
- それぞれ異なる色彩の色データを生成する複数種の画素が一定の規則性をもって配列されて成る撮像素子を有するCMOSカメラにより対象物を撮像し、前記撮像素子により生成された複数種の色データを用いて前記対象物を計測するためのカラー画像を生成する方法であって、
複数とおりの分解能について、それぞれ当該分解能のカラー画像を生成するためのルールとして、前記撮像素子から各色の色データを読み出すための読出用制御データと、読み出された色データを用いて画素毎にその画素で生成されていない色データを補間するための補間用制御データとを登録する第1の登録ステップ、
前記対象物に設定された複数の処理対象領域毎に、それぞれ計測に要求される分解能を登録する第2の登録ステップ、
の各ステップを、あらかじめ実行し、
前記複数の処理対象領域がすべて撮像されるように所定回数分の撮像を実行し、撮像毎に、その撮像時の処理対象領域に対応する範囲内の画像データに、第2の登録ステップで登録された分解能に対応する読出用制御データおよび補間用制御データを適用して色データの読み出し処理および色データの補間処理を実行することにより、処理対象領域毎にカラー画像を生成し、
前記第1の登録ステップでは、前記撮像素子の分解能より低い分解能のカラー画像を生成するためのルールとして、複数の画素によるマトリクスを均一な間隔を隔てて撮像素子の複数箇所に設定して、各マトリクス内の画素からそれぞれの色データを読み出すことを定めた読出用制御データと、設定する分解能に応じたサイズになるように前記撮像素子の画素配列から所定数の画素を間引きし、残された各画素に、それぞれその画素から読み出されていない色データを周囲の当該色データの読み出しが行われた画素から補間することを定めた補間用制御データとを、登録する、
ことを特徴とする計測処理用の画像生成方法。 - 前記撮像素子の分解能より低い分解能のカラー画像を生成するために登録されるルールの少なくとも1つには、前記読出用制御データによる色データの読み出し処理の対象となるが間引きされる画素から読み出された色データによって、当該画素の周囲の間引きされなかった画素の色データを補間するように設定された補間用制御データが含まれる、請求項1に記載された計測処理用の画像生成方法。
- 前記撮像素子の分解能より低い分解能のカラー画像を生成するためのルールの少なくとも1つには、前記色データの読み出しの対象となる画素の数よりも補間処理の対象となる画素の数の方が多くなるような処理を実行するための読出用制御データおよび補間用制御データが含まれる、請求項1または2に記載された計測処理用の画像生成方法。
- それぞれ異なる色彩の色データを生成する複数種の画素が一定の規則性をもって配列されて成る撮像素子を有し、検査対象の基板の画像を生成するためのCMOSカメラと、このCMOSカメラにより生成された前記複数種の色データを用いて前記基板上の複数の検査対象部位を検査する検査実行手段とを具備する基板外観検査装置であって、
前記検査実行手段には、
前記カメラと基板との位置関係を調整する位置関係調整手段と、
複数とおりの分解能について、それぞれ当該分解能の画像を生成するためのルールとして、前記カメラの撮像素子から各色の色データを読み出すための読出用制御データと、読み出された色データを用いて画素毎にその画素で生成されていない色データを補間するための補間用制御データとが登録されたルール登録手段と、
前記基板に設定された所定数の撮像対象領域について、それぞれその領域にカメラが位置合わせされるように前記位置関係調整手段を制御するための制御データが登録された制御データ登録手段と、
前記基板上の各検査対象領域毎に、検査のための計測に要求される分解能と、その領域を含む撮像対象領域にカメラが合わせられたときに撮像素子上で当該検査対象領域に対応する範囲を特定するのに必要な範囲特定情報とが登録された検査領域登録手段と、
前記制御データ登録手段に登録された制御データを用いて、前記基板の各撮像対象領域にカメラを順に合わせてカメラに撮像を行わせる撮像制御手段と、
前記撮像制御手段の制御により撮像が行われる毎に、その撮像時の撮像対象領域内に含まれる検査対象領域について、前記範囲特定情報により撮像素子に対して特定される範囲内の画像データに、当該検査対象領域につき登録された分解能に対応する読出用制御データおよび補間用制御データを適用して色データの読み出し処理および色データの補間処理を実行することにより、検査対象領域毎にカラー画像を生成する画像生成手段と、
画像生成手段により生成された検査対象領域毎のカラー画像を用いて、検査のための画像処理を実行する画像処理手段とを、具備し、
前記ルール登録手段には、前記撮像素子の分解能より低い分解能のカラー画像を生成するためのルールとして、複数の画素を含むマトリクスを均一な間隔を隔てて撮像素子の複数箇所に設定して、各マトリクス内の画素からそれぞれの色データを読み出すことを定めた読出用制御データと、設定する分解能に応じたサイズになるように前記撮像素子の画素配列から所定数の画素を間引きし、残された各画素に、それぞれその画素から読み出されていない色データを周囲の当該色データの読み出しが行われた画素から補間することを定めた補間用制御データとが、登録される、ことを特徴とする基板外観検査装置。
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