JP4936375B2 - 飛行時間型エネルギー分光装置 - Google Patents
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Description
図5に示すように、分光装置10はケース9内に飛行管4と電子検出器5を収納配置する。ケース9内で飛行管4の外部に試料2を置き、分光装置10の外部から励起光1で励起されて発生する光電子3は飛行管4内を飛行して電子検出器5に達する。電子検出器5で検出された光電子の電流波形は、オシロスコープ(図示省略)等で記録され、その信号を解析することで、電子のエネルギースペクトルを得る。地磁気あるいは周辺装置の磁場などで電子の軌道が曲げられないように、飛行管4あるいはケース9全体を磁気遮蔽する。
図6は従来技術で取得された光電子飛行時間スペクトルの特性図である。
図6の縦軸は検出器で検出した捕集電子の検出電圧(V)、横軸は飛行時間(秒)を示す。
本発明の飛行時間型エネルギー分光装置は、飛行管内壁から発生する二次電子の検出器への入射を制限する制限開口板を飛行管内に有することを特徴とする。
上記制限開口板の開口を、励起光が照射される試料上の場所と、検出器の感光部の周囲とを直線で結んだ領域により画成することを特徴とする。
上記制限開口板を複数とし、飛行管内壁のどの一点からも試料と検出器の感光部の両方へは直線で繋ぐことが出来ないように、それらを配置することを特徴とする。
飛行管の管壁は二次電子発生を抑制するためのメッシュで構成することを特徴とする。
解決手段は以下のようにして導出した。
一つ目が、励起光強度が強すぎて、検出器が飽和している可能性。二つ目が、励起光が照射されて検出器から発生する二次電子が、飛行管内に放射され、それが何らかの要因で検出器に戻って来る可能性。
一番目の可能性は、図6及び図7の時刻0の信号も、半値全幅自体は3ns程度と短いこと、及び励起光強度を数倍変化させても裾引きの波形は変化しなかったことから、否定された。
つまり、試料で反射あるいは散乱される励起光は、一部は検出器の受光部に直接に達し、時刻0に信号を作るが、大半は、飛行管内壁を照射する。励起光が照射された飛行管内壁から夥しい量の二次電子が放出され、それが検出器に達すると大きな電気信号になる。二次電子のエネルギーは小さくて速度は遅いが、検出器に近い内壁で作られた二次電子は、時刻0付近の信号として現れる。試料に近いつまり検出器から遠い飛行管内壁にあたる励起光の散乱光強度は強く極めて多くの二次電子が発生するが、逆に、遠くの検出器に到達する割合は極めて小さいので、それほど大きな検出信号にはならない。また、かなり遅れて検出器に到達するので、長い裾を引く信号になる。
この解決手段の作用・効果を確認したところ、制限開口板を設置することで、励起光起因の電気信号が大幅に抑制できた。
図1は本発明の実施例1の構成図である。図1の構成要素のうち、図5と同じ符号は同じものを意味する。
図1に示すように、分光装置10はケース9内に飛行管4と検出器5を収納配置する。飛行管4の入口に、遅延電界印加用の透過型メッシュ電極7を有し透過型メッシュ電極7に近接して、メッシュ状接地電極8を有する。電極7は飛行管4と同電位であり、電極8は試料2及びケース9と同電位である。飛行管内に、開口6aを有する制限開口板6が設けられている。
アルミニウム(Al)試料に光子エネルギー255eVの励起光を楕円鏡で集光した。遅延電位は140Vである。励起光に起因する信号が飛行時間(T)=0に見られるが、T=50nsでは、励起光前のノイズに近いレベルにまで信号が小さくなっている。T<10nsに微弱な信号が見られるが、これは、電気回路の特性による幅3nsのパルスの反射と考えられる。図6および図7で、20<T<50nsの信号が大きいことと比べれば、本発明の効用が分かる。
電子の信号を小さくするには管壁面積を小さくすることも効果がある。実施例1ではモリブデン(Mo)板で飛行管を製作したが、実施例2では、飛行管の材料としてMoメッシュを用いる。開口率の高いメッシュを用いることで、散乱光が照射される固体材料の面積が小さくなり、二次電子の発生量を小さくできる。これだけでも相当程度の改善になるが、制限開口板と併用することで一層の改善が行われる。
2 試料
3 光電子
4、4a 飛行管
5 電子検出器(MCP)
6 制限開口板
7 透過型メッシュ電極
8 メッシュ状接地電極
9 ケース
10 分光装置
Claims (5)
- 飛行管内壁から発生する二次電子の検出器への入射を制限する制限開口板を前記飛行管内に有することを特徴とする飛行時間型エネルギー分光装置。
- 上記制限開口板の開口を、励起光が照射される試料上の場所と、検出器の感光部の周囲とを直線で結んだ領域により画成することを特徴とする請求項1記載の飛行時間型エネルギー分光装置。
- 上記制限開口板を複数とし、飛行管内壁のどの一点からも試料と検出器の感光部の両方へは直線で繋ぐことが出来ないように、それらを配置することを特徴とする、請求項1又は2記載の飛行時間型エネルギー分光装置。
- 飛行管の管壁は二次電子発生を抑制するためのメッシュで構成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の飛行時間型エネルギー分光装置。
- 飛行管に透過型メッシュ電極を設け、該透過型メッシュ電極に近接してメッシュ状接地電極を設けたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の飛行時間型エネルギー分光装置。
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