JP4933166B2 - 実装装置 - Google Patents
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Description
2 ダイエジェクタ
3 反転ノズル
4 移載ノズル(チップ移載装置)
5 第1ガイドレール(軌道)
6 第2ガイドレール(軌道)
7 第1シャトル
8 第2シャトル
9 第1ポケット位置認識装置
10 第2ポケット位置認識装置
11 第1ポケットチップ有無認識装置(チップ認識手段)
12 第2ポケットチップ有無認識装置(チップ認識手段)
13 吸着孔
2a ニードルピン
21 ローダー部
22 ディスペンサー部
23 チップ供給部
24 チップ搭載部
25 本圧着部
26 アンローダー部
27 制御部(制御装置)
211 ロール体
212 ロール体支持部
213 ダンサー部
214 グリップフィード機構
215 ガイドローラ
221 接着剤吐出ノズル
241 搭載ノズル
251 圧着ヘッド
261 グリップフィード機構
262 ダンサー部
263 ロール支持部
C チップ
K 回路基板
L1 チップ受取位置
L2 チップ受渡位置
P チップ保持部(ポケット)
P1 第1ポケット
P2 第2ポケット
P3 第3ポケット
P4 第4ポケット
P5 第5ポケット
P6 第6ポケット
P7 第7ポケット
P8 第8ポケット
U ウェハー
W 帯状ワーク
Claims (7)
- バンプ形成面が上向きとされたチップを複数備えるダイシング済みのウェハーからチップを取り出し、このチップをバンプ形成面が下向きとされた状態で、基板にチップを搭載する部位であるチップ搭載部に供給するように構成された実装装置において、
バンプ形成面が下向きとされたチップを保持可能なチップ保持部をX方向に複数有すると共にX方向に移動自在とされたシャトルと、
ダイシング済みのウェハーから取り出したチップを、表裏反転させてバンプ形成面が下向きとされた状態でチップ保持部に移載するチップ移載装置と、
チップ保持部におけるチップの有無を認識可能に配置されたチップ有無認識装置と、
チップ搭載部の側から数えて第i番目のチップ保持部iにチップ移載装置がチップを移載すると同時に、第i+1番目のチップ保持部i+1におけるチップの有無をチップ有無認識装置が認識し、第i+1番目のチップ保持部i+1にチップが無い場合には、チップ移載装置が第i+1番目のチップ保持部i+1にチップを移載し、第i+1番目のチップ保持部i+1にチップが有る場合には、チップ移載装置が第i+1番目のチップ保持部i+1にチップを移載しないように各構成要素を動作制御する制御装置とを備えることを特徴とする実装装置。 - 前記シャトルは、第1シャトルと第2シャトルとからなり、これら第1シャトルと第2シャトルとは、それぞれ互いに対向してX方向に平行に設けられた軌道上を独立して移動自在とされ、前記制御装置は、第1シャトルがチップ移載装置からチップの受取り動作を行っている間に第2シャトルがチップ搭載部へのチップの受渡し動作を行い、第2シャトルがチップ移載装置からチップの受取り動作を行っている間に第1シャトルがチップ搭載部へのチップの受渡し動作を行えるように各構成要素を動作制御する請求項1に記載の実装装置。
- 前記チップ保持部は、チップを真空吸着可能な吸着孔を備える請求項1または請求項2に記載の実装装置。
- 前記チップ保持部は、チップに応じた形状に加工され、チップを出し入れ自在に収容可能なチップ保持部である請求項1から請求項3のいずれかに記載の実装装置。
- 前記シャトルは、前記チップ搭載部の搭載ノズルと同数のチップ保持部をX方向に沿って一直線状に備え、各チップ保持部間の距離は各搭載ノズル間のピッチと同一とされた請求項1から請求項4のいずれかに記載の実装装置。
- 前記シャトルがNC制御により高速多点位置決めが可能とされた請求項1から請求項5のいずれかに記載の実装装置。
- 前記チップ保持部の位置を認識可能なポケット位置認識装置を備え、前記制御装置は、ポケット位置認識装置で認識したチップ保持部の位置情報に基づいて、チップ移載装置がチップ保持部へチップを移載するときに位置補正を行うように構成される請求項1から請求項6のいずれかに記載の実装装置。
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