KR101646983B1 - 기판이송장치 - Google Patents

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Abstract

기판이송장치가 제공된다. 본 발명에 따른 기판이송장치는 웨이퍼로부터 다이를 픽업하여 공급된 기판 상에 실장하는 실장부와, 상기 기판을 지지하여 다이가 기판 상에 실장되도록 하는 실장 컨베이어와, 상기 실장 컨베이어와 평행하게 배치되며, 기판을 진행방향으로 이송시키는 버퍼 컨베이어와, 상기 실장 컨베이어와 상기 버퍼 컨베이어 사이를 왕복 가능하며, 상기 실장 컨베이어에 기판을 공급하는 공급 컨베이어와, 상기 공급 컨베이어와 대향하여 위치하며, 상기 실장 컨베이어와 상기 버퍼 컨베이어 사이를 왕복 가능하게 구비되어 기판을 이송시키는 셔틀 컨베이어와, 상기 실장 컨베이어로부터 실장을 마친 기판을 진행방향을 따라 외부로 이송시키는 배출 컨베이어를 포함한다.

Description

기판이송장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 실장 전후의 기판을 신속하게 이송할 수 있는 기판이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 부품 실장 장치는 인쇄회로기판과 같은 기판상에 집적회로, 고밀도 집적회로, 다이오드, 콘덴서, 저항 등의 전자부품(이하, '부품'이라 칭하기로 함)을 실장하는 작업을 수행하는 기기를 말한다.
이와 같은 부품 실장 장치는 기판상에 실장될 부품들을 공급하는 부품공급모듈, 부품공급모듈에서 공급하는 부품들이 실장 될 수 있도록 기판을 운송하는 기판운송모듈, 부품공급모듈로부터 공급되는 부품들을 픽업한 후, 픽업된 부품들을 기판상에 실장할 수 있도록 노즐 스핀들(nozzle spindle)을 구비한 헤드 어셈블리가 부품이 공급되도록 미리 설정된 위치 즉, 부품픽업영역에서 부품들을 픽업한 후 픽업된 부품들을 부품이 실장 되도록 미리 설정된 위치인 부품실장영역에서 실장할 수 있도록 헤드 어셈블리를 X방향, Y방향으로 이동시키는 수평이동모듈을 포함한다.
종래의 기판을 컨베이어 상에서 이송하는 기판이송장치의 경우, 기판을 공급하는 컨베이어와, 공급된 기판을 헤드 어셈블리에 인접하게 이동시키는 컨베이어와, 실장을 마친 컨베이어를 언로딩 하는 컨베이어를 포함한다.
이와 같은 구성을 가진 기판이송장치의 경우, 공급을 위한 컨베이어와 언로딩을 위한 컨베이어는 한 번에 한 개의 기판 만을 이송할 수 있기 때문에, 헤드 어셈블리를 복수로 구비하여 기판 실장을 동시에 수행하더라도, 동시에 실장이 완료된 기판을 언로드 하여 후속 공정을 진행하기 위해서는 언로딩 컨베이어가 기판의 개수만큼 왕복이동하여 외부로 기판을 이송하게 된다.
따라서, 이와 같은 작업 순서로 인해 실장된 모든 기판이 언로드 될 때까지 추가 기판을 공급할 수 없게 되어 작업 시간이 증가하게 되고 생산량이 감소되는 문제점이 있다.
본 발명은 이와 같은 점으로부터 착안된 것으로, 본 발명이 해결하려는 과제는 한 번에 복수의 기판을 로드 및 언로드 하여 다이 실장 작업을 수행할 수 있는 기판이송장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 복수의 기판을 신속하게 이송할 수 있어서 작업효율이 높고 단위시간 당 기판 생산량을 증가시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치는 웨이퍼로부터 다이를 픽업하여 공급된 기판 상에 실장하는 실장부와, 상기 기판을 지지하여 다이가 기판 상에 실장되도록 하는 실장 컨베이어와, 상기 실장 컨베이어와 평행하게 배치되며, 기판을 진행방향으로 이송시키는 버퍼 컨베이어와, 상기 실장 컨베이어와 상기 버퍼 컨베이어 사이를 왕복 가능하며, 상기 실장 컨베이어에 기판을 공급하는 공급 컨베이어와, 상기 공급 컨베이어와 대향하여 위치하며, 상기 실장 컨베이어와 상기 버퍼 컨베이어 사이를 왕복 가능하게 구비되어 기판을 이송시키는 셔틀 컨베이어와, 상기 실장 컨베이어로부터 실장을 마친 기판을 진행방향을 따라 외부로 이송시키는 배출 컨베이어를 포함한다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치를 이용한 기판이송과정을 순차적으로 도시한 도면이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다.
본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "이루어지다(made of)"는 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 구성 요소들 상호 간의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
예를 들어, 동일한 구성 요소가 복수로 구비된 경우 동일한 숫자 말미에 알파벳을 병기하였다.
이하, 도 1을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치에 대해 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치는 웨이퍼(W)로부터 다이를 픽업하여 공급된 기판(S) 상에 실장하는 실장부(12)와, 상기 기판(S)을 지지하여 다이가 기판(S) 상에 실장되도록 하는 실장 컨베이어(14)와, 상기 실장 컨베이어(14)와 평행하게 배치되며, 기판(S)을 진행방향으로 이송시키는 버퍼 컨베이어(22)와, 상기 실장 컨베이어(14)와 상기 버퍼 컨베이어(22) 사이를 왕복 가능하며, 상기 실장 컨베이어(14)에 기판(S)을 공급하는 공급 컨베이어(16)와, 상기 공급 컨베이어(16)와 대향하여 위치하며, 상기 실장 컨베이어(14)와 상기 버퍼 컨베이어(22) 사이를 왕복 가능하게 구비되어 기판(S)을 이송시키는 셔틀 컨베이어(18)와, 상기 실장 컨베이어(14)로부터 실장을 마친 기판(S)을 진행방향을 따라 외부로 이송시키는 배출 컨베이어(20)를 포함한다.
웨이퍼 공급부(10)는 외부로부터 공급된 웨이퍼(W)를 지지한다. 웨이퍼(W) 상에는 기판(S)에 실장하기 위한 복수의 다이가 구비되어 있다. 본 실시예에 따른 기판이송장치에서 웨이퍼 공급부(10)는 복수로 구비될 수 있으며, 도 1에 도시된 예에서와 같이 기판이송장치의 각 모서리 부분에 구비될 수 있다.
공급된 웨이퍼(W)에 다이가 모두 소진되면, 웨이퍼 공급부(10)는 외부로부터 새로운 웨이퍼(W)를 공급받아서 실장 작업을 지속적으로 수행할 수 있다.
실장부(12)는 웨이퍼(W) 상의 다이를 픽업하여 공급된 기판(S) 상에 실장한다. 실장부(12)는 실제 다이를 흡착 또는 파지하는 헤드 어셈블리부와, 이를 구동시키는 몸체부를 포함할 수 있다.
실장부(12)는 공급되는 부품에 따라 다이를 플립하기 위한 규격이 다르게 설정될 수 있다. 즉, 헤드 어셈블리부의 흡착모듈의 형상 또는 폭 등이 공급되는 부품에 따라 다르게 설정될 수 있으며, 기판(S) 위에 부품(다이)을 실장할 때, 실장 위치 및 실장 높이 등을 다르게 결정할 수 있다. 일예로, 부품 실장부(12)는 제어부(미도시)에 의해 다양한 형태로 설정될 수 있다.
실장부(12)는 웨이퍼(W)로부터 하나 또는 그 이상의 다이를 흡착 또는 파지하고, 몸체를 회전 및/또는 이동시켜 기판(S) 상부에 해당 다이를 위치시킨다. 다음으로, 해당 다이를 기판(S)에 장착하고 필요한 후속공정 예를 들어 솔더링 또는 접착과 같은 공정을 수행하여 기판(S)에 해당 다이를 고정시킨다.
실장부(12)는 도 1에 도시된 바와 같이 X축 또는 Y축으로 이동가능하게 설치될 수 있다. 하나의 기판(S) 상에 실장되는 다이의 위치가 서로 상이할 수 있기 때문에 기판이송장치의 가로 및 세로 방향으로 구비된 레일을 따라 실장부(12)가 이동하면서 기판(S) 상의 정확한 위치에 다이를 실장하게 된다.
실장 컨베이어(14)는 상기 기판(S)을 지지하여 다이가 기판(S) 상에 실장되도록 한다. 실장 컨베이어(14)는 실장부(12)와 인접하게 배치되며, 실장부(12)가 복수로 구비된 경우 각 실장부(12)에 인접하게 복수로 구비될 수 있다.
실장 컨베이어(14)는 소정의 위치에 고정되며, 실장 컨베이어(14) 상에 위치하는 기판(S)은 도 1 상으로 오른쪽으로 이동 가능하게 설정될 수 있다. 따라서, 후술하는 바와 같이, 공급 컨베이어(16)로부터 전달된 기판(S)에의 실장 작업이 완료되면, 다시 기판(S)을 실장 컨베이어(14)로부터 셔틀 컨베이어(18)로 이송하여 진행방향을 따라 후속 공정이 수행되도록 한다.
공급 컨베이어(16)는 실장 컨베이어(14)와 후술하는 버퍼 컨베이어(22)의 사이를 이동할 수 있도록 구비되어, 외부로부터 공급된 기판(S)을 실장 컨베이어(14) 또는 버퍼 컨베이어(22)에 공급한다. 공급 컨베이어(16) 상에 위치하는 기판(S)은 도 1 상으로 왼쪽 또는 오른쪽으로 이동 가능하게 설정될 수 있다. 따라서, 공급 컨베이어(16)로부터 실장 컨베이어(14) 또는 버퍼 컨베이어(22)에 기판(S)을 공급할 경우에는 컨베이어가 도 1 상으로 오른쪽으로 이동하도록 구동시켜 기판(S)을 이송하며, 반대로 실장 컨베이어(14) 또는 버퍼 컨베이어(22)로부터 기판(S)을 공급받을 경우에는 컨베이어가 도 1 상으로 왼쪽으로 이동하도록 구동시켜 기판(S)을 이송한다.
공급 컨베이어(16)도 실장 컨베이어(14)와 마찬가지로 복수로 구비될 수 있다. 도 1에 도시된 예에서는 한 쌍이 구비되며, 하나의 공급 컨베이어 예를 들어 도면 상으로 위쪽에 위치하는 공급 컨베이어(16a)의 경우 실장 컨베이어(14a) 및 버퍼 컨베이어(22a)에 2개의 기판(S)을 공급할 수 있으며, 아래쪽에 위치하는 공급 컨베이어(16b)로 마찬가지로 실장 컨베이어(14c) 및 버퍼 컨베이어(22c)에 2개의 기판(S)을 공급할 수 있기 때문에 도합 4개의 기판(S)을 동시에 취급할 수 있다.
버퍼 컨베이어(22)는 상기 실장 컨베이어(14)와 평행하게 배치되며, 기판(S)을 진행방향으로 이송시킨다. 실장 컨베이어(14)가 복수로 구비된 경우, 버퍼 컨베이어(22)도 동일한 수로 구비될 수 있다. 버퍼 컨베이어(22)는 기판(S)이 진행방향으로 이송되는 경로를 구성하며, 실장 컨베이어(14)에서 기판(S)에 다이가 실장되는 작업이 종료되기 전인 경우에는, 공급 컨베이어(16)로부터 공급된 기판(S)은 버퍼 컨베이어(22)에 일시적으로 보관될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이 복수의 실장 컨베이어(14a, 14b, 14c, 14d)가 구비된 경우, 하나의 실장 컨베이어(14a)에 기판(S)이 존재하는 경우에는 비어있는 다른 실장 컨베이어(14b)로 이동시키기 위한 가교 역할을 수행할 수도 있다. 다른 컨베이어와 마찬가지로 버퍼 컨베이어(22)도 전후방으로 이동가능하게 설계될 수 있다.
셔틀 컨베이어(18)는 도 1에 도시된 바와 같이, 버퍼 컨베이어(22)를 중심으로 공급 컨베이어(16)와 대향하여 위치하며, 실장 컨베이어(14)와 상기 버퍼 컨베이어(22) 사이를 왕복 가능하게 구비되어 기판을 이송시킨다.
앞서 살펴본 바와 같이 실장 컨베이어(14)에 기판(S)이 존재하는 경우 추가 공급된 기판(S)은 버퍼 컨베이어(22)에 일시적으로 보관될 수 있으며, 실장 컨베이어(14)에서 실장 작업이 완료된 기판(S)은 셔틀 컨베이어(18)에 의해 언로드되어 진행방향의 전방 즉, 배출 컨베이어(20)를 거쳐 외부로 이송된다. 이후, 셔틀 컨베이어(18)는 버퍼 컨베이어(22)에 보관된 기판(S)을 전달받아서 다시 실장 컨베이어(14)로 이동하여 실장 컨베이어(14)에 기판(S)을 새롭게 공급하여 연속적인 기판 실장 과정이 이루어지도록 한다.
도시된 바와 같이, 실장 컨베이어(14) 및 버퍼 컨베이어(22)가 복수로 구비된 경우, 셔틀 컨베이어(18), 예를 들어 도 1 상으로 상부의 셔틀 컨베이어(18a)는 하나의 실장 컨베이어(14a) 및 버퍼 컨베이어(22a)와 연결될 뿐만 아니라 동일선상에 존재하는 인접한 다른 실장 컨베이어(14b) 및 버퍼 컨베이어(22b)와도 연결된다. 따라서, 도 1에 도시된 예에서 하나의 셔틀 컨베이어(18)는 4개의 컨베이어 사이를 이동하면서 기판(S)을 이동시킨다.
배출 컨베이어(20)는 실장 컨베이어(14)로부터 실장을 마친 기판(S)을 진행방향을 따라 외부로 이송시킨다. 외부로 이송된 기판(S)은 후속공정 예를 들어 솔더링 등의 작업을 거치게 된다.
배출 컨베이어(20)도 마찬가지로 도 1 상에서 상하로 이동가능하게 구비되어, 실장 컨베이어(14) 및 버퍼 컨베이어(22) 사이를 이동할 수 있다.
앞서 설명한 공급 컨베이어(16)와 마찬가지로, 배출 컨베이어(20)도 일방향(진행방향)으로 기판(S)을 이송시켜 외부로 배출하는 구성 이외에도 셔틀 컨베이어(18)와 동일한 기능을 수행할 수 있다. 즉, 버퍼 컨베이어(22)와 실장 컨베이어(14) 사이를 이동하면서 기판(S)을 이동시킬 수도 있다.
상기 복수의 컨베이어들 즉, 공급 컨베이어, 실장 컨베이어, 버퍼 컨베이어, 셔틀 컨베이어, 배출 컨베이어는 모두 기판(S)의 규격에 따라 개별적으로 폭 조절이 가능하며, 기판(S)을 전후방향 모두로 이송 가능하게 구비될 수 있다.
이하, 도 2 내지 도 10을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치를 이용한 기판이송과정에 대해 설명한다. 도 2 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치를 이용한 기판이송과정을 순차적으로 도시한 도면이다. 이하에서는 하나의 공급 컨베이어(16a)를 기준으로 기판(S)의 이송과정을 설명하나, 다른 하나의 공급 컨베이어(16b)도 동일한 구조 및 동일한 이송과정을 수행한다.
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 공급 컨베이어(16a)로 제1 기판(S1)이 제공되고, 웨이퍼 공급부(10a)에는 복수의 다이를 포함하는 웨이퍼(W)가 제공될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 도 2에 도시된 바와 달리 개별적인 다이가 직접 웨이퍼 공급부(10a)에 공급되는 구성을 가질 수도 있다. 공급 컨베이어(16a)는 실장 컨베이어(14a) 및 버퍼 컨베이어(22a) 사이를 이동할 수 있다. 공급된 제1 기판(S)을 실장 컨베이어(14a)에 공급하기 위해, 공급 컨베이어(16a)는 실장 컨베이어(14a)와 나란하게 정렬되도록 이동한다.
이어서, 도 3에 도시된 바와 같이, 공급 컨베이어(16a)로부터 실장 컨베이어(14a)로 제1 기판(S1)이 이송된다. 이송된 제1 기판(S1)은 앞서 설명한 바와 같이, 실장부(12a)에 의해 웨이퍼(W) 상의 다이가 소정의 위치에 실장된다. 제1 기판(S1)을 실장 컨베이어(14a)에 공급한 공급 컨베이어(16a)는 다시 원래 위치로 이동하여 제2 기판(S2)을 새롭게 공급받게 된다.
이어서, 도 4에 도시된 바와 같이, 공급 컨베이어(16a)에 의해 공급된 제2 기판(S2)은 실장 컨베이어(14a)에 이미 제1 기판(S1)이 존재하기 때문에, 다음 실장 컨베이어(14b)로 이송될 수 있도록 버퍼 컨베이어(22a)를 거쳐 셔틀 컨베이어(18a)에 도달한다.
이어서, 도 5에 도시된 바와 같이, 버퍼 컨베이어들(22a, 22b)과 나란하게 위치하던 셔틀 컨베이어(18a)가 두번째 실장 컨베이어(14b)로 제2 기판(S2)을 공급한다. 앞서 설명한 바와 같이, 공급된 제2 기판(S2)은 다른 실장부(12b)에 의해 다이가 실장된다. 이때, 공급 컨베이어(16a)에는 새로운 제3 기판(S3)이 연속적으로 공급될 수 있다.
이어서, 도 6에 도시된 바와 같이, 2개의 실장 컨베이어들(14a, 14b)에 모두 기판이 존재하기 때문에, 버퍼 컨베이어들(18a, 18b) 중 하나의 버퍼 컨베이어에 제3 기판(S3)이 일시적으로 보관된다. 도시된 예에서는 첫번째 버퍼 컨베이어(18a)에 제3 기판(S3)이 보관된다.
이어서, 도 7에 도시된 바와 같이, 다이 실장이 완료된 제1 기판(S1)이 셔틀 컨베이어(18a)로 이송되고, 비어있는 실장 컨베이어(14a)에는 버퍼 컨베이어(18a)에 보관 중인 제3 기판(S3) 또는 새롭게 공급된 제4 기판(S4)이 공급된다. 도시된 예에서는 공급 컨베이어(16a)에 의해 새롭게 공급된 제4 기판(S4)이 실장 컨베이어(14a)에 공급되는 예를 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 제4 기판(S4)이 추가 공급되기 전에 공급 컨베이어(16a)가 버퍼 컨베이어(22a)로부터 제3 기판(S3)을 이송받아 이를 실장 컨베이어(14a)에 공급할 수도 있다.
이어서, 도 8에 도시된 바와 같이, 실장이 완료된 제1 기판(S1)은 셔틀 컨베이어(18a), 두번째 버퍼 컨베이어(22b)를 거쳐 배출 컨베이어(20a)로 이동하여 외부로 이송된다. 이어서, 첫번째 버퍼 컨베이어(22a)에 보관되던 제3 기판(S3)은 두번째 버퍼 컨베이어(22b)로 이송될 수 있으며, 첫번째 버퍼 컨베이어(22a)에는 새로운 제5 기판(S5)이 공급될 수 있다.
이어서, 도 9에 도시된 바와 같이, 실장이 완료된 제2 기판(S2)은 배출 컨베이어(20a)에 의해 외부로 이송되며, 제2 기판(S2)이 이송된 후 비어 있는 두번째 실장 컨베이어(14b)로, 셔틀 컨베이어(18a)에 의해 두번째 버퍼 컨베이어(22b)에 보관 중이던 제3 기판(S3)이 이송된다.
이어서, 도 10에 도시된 바와 같이, 제4 기판(S4) 및 제3 기판(S3)에 실장 작업이 수행되며, 첫번째 버퍼 컨베이어(22a)에 보관되던 제5 기판(S5)은 두번째 버퍼 컨베이어(22b)로 이송되며, 첫번째 버퍼 컨베이어(22a)에는 새로운 제6 기판(S6)이 공급된다.
이와 같이, 본 실시예에 따른 기판이송장치는 실장 컨베이어(14) 이외에 버퍼 컨베이어(22)를 더 구비함으로써, 동시에 처리할 수 있는 기판(S)의 숫자가 증가되어 생산성이 향상될 수 있으며, 공급 컨베이어(16), 셔틀 컨베이어(18) 및 배출 컨베이어(20)가 각각 실장 컨베이어(14) 및/또는 버퍼 컨베이어(22)에 접근하여 기판(S)을 유기적으로 이송할 수 있기 때문에, 종래의 기판이송장치와 달리 적체현상이 없다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 웨이퍼 공급부
12: 실장부
14: 실장 컨베이어
16: 공급 컨베이어
18: 셔틀 컨베이어
20: 배출 컨베이어
22: 버퍼 컨베이어

Claims (7)

  1. 웨이퍼로부터 다이를 픽업하여 공급된 기판 상에 실장하는 실장부;
    상기 기판을 지지하여 다이가 기판 상에 실장되도록 하는 실장 컨베이어;
    상기 실장 컨베이어와 평행하게 배치되며, 기판을 진행방향으로 이송시키는 버퍼 컨베이어;
    상기 실장 컨베이어와 상기 버퍼 컨베이어 사이를 왕복 가능하며, 상기 실장 컨베이어에 기판을 공급하는 공급 컨베이어;
    상기 공급 컨베이어와 대향하여 위치하며, 상기 실장 컨베이어와 상기 버퍼 컨베이어 사이를 왕복 가능하게 구비되어 기판을 이송시키는 셔틀 컨베이어;
    상기 실장 컨베이어로부터 실장을 마친 기판을 진행방향을 따라 외부로 이송시키는 배출 컨베이어를 포함하고,
    상기 공급 컨베이어, 셔틀 컨베이어 및 배출 컨베이어는 상호 평행하게 이격되어 배치되는 3열의 레일 상에서 각각 왕복 이동 가능하도록 설치되는 기판실장장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 실장 컨베이어와 버퍼 컨베이어는 복수로 구비되고,
    상기 셔틀 컨베이어는 상기 복수의 실장 컨베이어 및 버퍼 컨베이어의 사이에 위치하는 기판실장장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 실장 컨베이어와 버퍼 컨베이어는 복수로 구비되고,
    상기 버퍼 컨베이어는 상기 복수의 실장 컨베이어에 모두 기판이 존재할 경우, 공급된 다른 기판을 이송하지 않고 상기 복수의 실장 컨베이어 중 하나의 실장 컨베이어에서의 실장이 종료될 때까지 상기 공급된 다른 기판을 보관하는 기판실장장치.
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