JP4923723B2 - 集光されたイオンビームによる薄膜の加工方法 - Google Patents
集光されたイオンビームによる薄膜の加工方法 Download PDFInfo
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- 薄膜に集光されたイオンビームを照射し、薄膜全体にスキャンして、ラフに加工領域を認識し、指定する工程、
前記薄膜が配置された処理室内に加工領域の加工のための反応ガスを導入する工程、
前記反応ガスの導入工程の後、前記薄膜の指定された加工領域近傍に集光されたイオンビームを照射し、局所的にスキャンして、詳細に加工領域を認識し、指定する工程、
前記薄膜の詳細に指定された加工領域に集光されたイオンビームを照射し、加工領域の加工を行う工程
を具備することを特徴とする、集光されたイオンビームによる薄膜の加工方法。 - 前記薄膜はフォトマスクの遮光膜パターンであり、前記加工領域は、欠陥を含む領域であり、前記加工領域の加工は、欠陥の修正であることを特徴とする請求項1に記載の薄膜の加工方法。
- 前記欠陥は、黒欠陥であり、前記欠陥の修正は、エッチングにより行われることを特徴とする請求項2に記載の薄膜の加工方法。
- 前記欠陥は、白欠陥であり、前記欠陥の修正は、成膜により行われることを特徴とする請求項2に記載の薄膜の加工方法。
- 前記詳細に認識された加工領域の画像をピクセル単位で編集して、サイズの補正処理を行なうことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の薄膜の加工方法。
- 前記詳細に認識された加工領域の画像の一部が、前記補正処理によって消失する場合に、補完ピクセルを追加し、加工領域の画像を確保することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の薄膜の加工方法。
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