JP4909789B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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したがって、請求項1に係る発明の基板処理装置を使用すると、マイクロバブルを含む洗浄液を使用して基板を枚葉式で洗浄処理する場合に、洗浄むらを生じることなく処理品質の均一性を保持することができる。
図1は、この発明の実施形態の1例を示し、基板処理装置の要部の概略構成を洗浄液供給系と共に示す図である。
12、60 吐出ノズルの吐出口
14 搬送ローラ
16、62 洗浄液供給配管
18 高圧ポンプ
22、34 流量制御弁
24 三方分岐管
26 インジェクト部
28 エアー供給配管
30 増圧弁
32 増圧エアータンク
36 流量計
38 制御部
40、46、64 エアー抜き配管
42、48、66 流量調整弁
44 供給ノズル
50 回転ベース部材
52 チャックピン
54 回転支軸
56 モータ
W 基板
Claims (3)
- 基板を支持する基板支持手段と、
管状もしくは筒状をなし長手方向に沿って複数個の吐出口が並列して形設され、前記基板支持手段によって支持された基板の主面に対し前記複数個の吐出口から洗浄液を吐出する吐出ノズルと、
この吐出ノズルへ洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
を備えた基板処理装置において、
前記洗浄液供給手段によって前記吐出ノズルへ供給される洗浄液中に気体を混入させて洗浄液中にマイクロバブルもしくはナノバブルを発生させるバブル発生手段を備えて、前記吐出ノズルの複数個の吐出口からマイクロバブルもしくはナノバブルを含む洗浄液を基板の主面に対し吐出するようにし、
前記吐出ノズルの端部に、その吐出ノズル内部に溜まる気体を小流量の洗浄液と共に排出するための気体抜き配管を連通接続したことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記基板支持手段は、基板を支持して水平方向へ搬送する複数の搬送ローラであり、
前記吐出ノズルが基板搬送方向と交差するように配設されたことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において、
前記吐出ノズルの、基板搬送方向における手前側に、前記搬送ローラによって搬送される基板の主面へ洗浄液を供給する供給ノズルを配設し、その供給ノズルに前記気体抜き配管を流路接続して、前記吐出ノズルの複数個の吐出口からマイクロバブルもしくはナノバブルを含む洗浄液を基板の主面に対し吐出する前に、前記吐出ノズルから排出され前記気体抜き配管を通って前記供給ノズルへ送給される洗浄液を基板の主面へ供給するようにしたことを特徴とする基板処理装置。
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