JP4902176B2 - Manufacturing method of liquid crystal display device - Google Patents

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Description

本発明は、液晶表示装置の製造方法に関し、特に、液晶滴下貼り合わせ法によって製造される液晶表示装置に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device manufactured by a liquid crystal dropping bonding method.

液晶表示装置は、例えば、薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)アレイ基板とカラーフィルタ基板とを貼り合わせてセルを作製し、そのセルの内部に液晶材料を封入することにより製造されている。   A liquid crystal display device is manufactured by, for example, manufacturing a cell by bonding a thin film transistor (TFT) array substrate and a color filter substrate, and encapsulating a liquid crystal material inside the cell.

この液晶材料をセルの内部に封入する方法としては、従来より真空注入法がよく知られている。例えば、特許文献1には、複数のセルの内部に一括して液晶材料を注入する技術が開示されている。   As a method for enclosing the liquid crystal material in the cell, a vacuum injection method has been well known. For example, Patent Document 1 discloses a technique for injecting a liquid crystal material into a plurality of cells at once.

ここで、一般的な真空注入法では、液晶注入口を持つ2枚の基板(上記TFTアレイ基板及びカラーフィルタ基板)に挟まれた空間(セルの内部)を真空状態にし、液晶注入口を液晶材料と接触させた後、雰囲気を大気圧へ戻すことにより、液晶材料がセルの内部に注入される。   Here, in a general vacuum injection method, the space (inside the cell) sandwiched between two substrates (the TFT array substrate and the color filter substrate) having a liquid crystal injection port is evacuated, and the liquid crystal injection port is liquid crystal. After contacting the material, the liquid crystal material is injected into the cell by returning the atmosphere to atmospheric pressure.

具体的には、まず、TFTアレイ基板及びカラーフィルタ基板を液晶注入口を有する開パターンの枠形状に形成されたシール部によって貼り合わせた後、各基板の不要部分を分断して、液晶注入口が露出したセルを作製する。次いで、作製されたセルを注入用カセットに液晶注入口が下向きになるように取り付ける。そして、真空チャンバーの内部に、セルが取り付けられたカセットと液晶材料を入れた液晶皿とを収容し、チャンバー内を1.0×10−3Pa程度に真空脱気すると共に、液晶皿の液晶材料とセルの液晶注入口とを接触させた後、チャンバー内を大気圧に戻すことにより、液晶材料をセルの内部に注入させる。さらに、液晶注入口に封止樹脂を塗布し、その樹脂を硬化させることで液晶材料を封止する。このようにして、液晶材料がセルの内部に注入される。 Specifically, first, the TFT array substrate and the color filter substrate are bonded together by a seal portion formed in an open pattern frame shape having a liquid crystal injection port, and then an unnecessary portion of each substrate is divided to obtain a liquid crystal injection port. A cell is exposed. Next, the manufactured cell is attached to the injection cassette so that the liquid crystal injection port faces downward. The cassette with the cells attached and the liquid crystal dish containing the liquid crystal material are accommodated in the vacuum chamber, and the inside of the chamber is vacuum degassed to about 1.0 × 10 −3 Pa. After bringing the material into contact with the liquid crystal inlet of the cell, the liquid crystal material is injected into the cell by returning the inside of the chamber to atmospheric pressure. Furthermore, a liquid crystal material is sealed by applying a sealing resin to the liquid crystal inlet and curing the resin. In this way, the liquid crystal material is injected into the cell.

また、小型のセルに液晶材料を注入する場合には、まず、図7に示すように、複数の構成単位(セル形成部a〜i)がそれぞれ配設されたTFTアレイ基板105及び対向基板106を貼り合わせて基板109aを作製する。次いで、図8に示すように、基板109aを、例えば、セル形成部a、b及びcの3つの構成単位の各液晶注入口が1つの辺に配置するように短冊状に分断して、短冊基板109bを作製する。さらに、短冊基板109bの各液晶注入口が配置された側を液晶材料に漬けて、短冊基板109bの各セルに液晶材料を同時に一括して注入させることにより、注入におけるセルの取り扱いを簡略で確実にしている。そしてその後、図9に示すように、短冊基板109bを各セル毎に分断して、液晶表示装置(セル)109cが製造される。   When a liquid crystal material is injected into a small cell, first, as shown in FIG. 7, a TFT array substrate 105 and a counter substrate 106 each having a plurality of structural units (cell formation portions a to i) are disposed. Are bonded together to form a substrate 109a. Next, as shown in FIG. 8, the substrate 109a is divided into strips so that, for example, the liquid crystal inlets of the three structural units of the cell forming portions a, b, and c are arranged on one side, A substrate 109b is produced. Furthermore, the side of the strip substrate 109b where the liquid crystal injection ports are arranged is immersed in a liquid crystal material, and the liquid crystal material is simultaneously injected into each cell of the strip substrate 109b, thereby simplifying and ensuring the handling of the cells during the injection. I have to. Then, as shown in FIG. 9, the strip substrate 109b is divided into each cell, and the liquid crystal display device (cell) 109c is manufactured.

しかし、上記のような真空注入法による液晶材料の注入においては、液晶表示装置が大型化するに伴って、注入時間が長くなってしまうという問題点があった。   However, the injection of the liquid crystal material by the vacuum injection method as described above has a problem that the injection time becomes longer as the liquid crystal display device becomes larger.

そこで、近年では、上記真空注入法に替わって、液晶滴下貼り合わせ法による液晶材料の注入が行われるようになっている。この液晶滴下貼り合わせ法は、TFTアレイ基板及びカラーフィルタ基板を貼り合わせる前に、一方の基板の表面に液晶材料を滴下し、TFTアレイ基板とカラーフィルタ基板とを閉パターンの枠形状に形成されたシール部を介して貼り合わせることによって、セルギャップ内に液晶材料が行き渡るようにする方法である(例えば、特許文献2、3及び4参照)。この液晶滴下貼り合わせ法によれば、上記真空注入法よりも、注入時間を短縮することができると共に、液晶材料のロスを削減し、また、液晶注入口の封止などの工程を省略することができる。
特開平11−147612号公報 特許第3084975号公報 特開平3−246514号公報 特開平5−281562号公報
Therefore, in recent years, liquid crystal material is injected by a liquid crystal dropping bonding method instead of the vacuum injection method. In this liquid crystal dropping bonding method, before the TFT array substrate and the color filter substrate are bonded together, a liquid crystal material is dropped on the surface of one substrate, and the TFT array substrate and the color filter substrate are formed in a closed pattern frame shape. In this method, the liquid crystal material is spread in the cell gap by bonding through the seal portion (see, for example, Patent Documents 2, 3, and 4). According to this liquid crystal dropping and bonding method, the injection time can be shortened compared to the above-described vacuum injection method, the loss of the liquid crystal material can be reduced, and steps such as sealing the liquid crystal injection port can be omitted. Can do.
JP-A-11-147612 Japanese Patent No. 3084975 JP-A-3-246514 JP-A-5-281562

ところで、TFTアレイ基板及びカラーフィルタ基板を構成するガラス基板は、近年、益々大型化する傾向にある。そして、その大型化したガラス基板(母基板)には各々セルとなる複数の構成単位が形成されるので、貼り合わされた母基板(TFTアレイ基板及びカラーフィルタ基板)を構成単位毎に分断することにより、複数のセルを同時に一括して製造することが多くなっている。   By the way, the glass substrate constituting the TFT array substrate and the color filter substrate tends to increase in size in recent years. Since a plurality of structural units each serving as a cell are formed on the enlarged glass substrate (mother substrate), the bonded mother substrate (TFT array substrate and color filter substrate) is divided into structural units. Therefore, a plurality of cells are often manufactured simultaneously at the same time.

しかしながら、従来の液晶滴下貼り合わせ法では、1つの母基板において、各構成単位に対して液晶材料を滴下することになるので、仮に、ある構成単位のシール部に断線などの不具合があった場合でも、その不具合のある構成単位に対しても他の不具合のない構成単位と同様に液晶材料が滴下されてしまう。そうなると、不良のセルを作製してしまうだけでなく、その不良セルの周辺部分において液晶材料の漏れが発生し、後に構成単位毎に分断する際に、製造装置に液晶材料が付着するなど、生産効率を低下させる虞れもある。   However, in the conventional liquid crystal dropping and laminating method, the liquid crystal material is dropped on each constituent unit in one mother substrate, so if there is a problem such as disconnection in the seal portion of a certain constituent unit However, the liquid crystal material is dropped on the defective structural unit in the same manner as other structural units having no defective. If this happens, not only will defective cells be produced, but liquid crystal material will leak around the defective cells, and when it will be divided into structural units later, the liquid crystal material will adhere to the production equipment. There is also a risk of reducing the efficiency.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、液晶滴下貼り合わせ法によって複数の液晶表示装置を一括して製造する際に、不良セルによる生産効率の低下を抑制することにある。   The present invention has been made in view of such points, and the object of the present invention is to reduce the production efficiency due to defective cells when a plurality of liquid crystal display devices are manufactured collectively by the liquid crystal dropping bonding method. It is to suppress.

上記目的を達成するために、本発明は、それぞれがセルとなる複数のセル形成部がマトリクス状に配置された基板において、不良のセル形成部を除く他の各セル形成部に液晶材料を滴下するようにしたものである。   In order to achieve the above object, according to the present invention, a liquid crystal material is dropped on each cell forming portion other than a defective cell forming portion on a substrate in which a plurality of cell forming portions each serving as a cell are arranged in a matrix. It is what you do.

具体的に本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、それぞれがセルとなる複数のセル形成部がマトリクス状に配置された一対の基板を作製すると共に、上記一対の基板の一方において、上記各セル形成部毎に液晶材料を封入するための枠形状のシール部を形成する基板作製工程と、上記作製された各基板において、不良のセル形成部を検知して、上記一対の基板の一方において、上記検知された不良のセル形成部を除く他の各セル形成部に上記液晶材料を滴下する液晶滴下工程と、上記液晶材料が滴下された基板と上記一対の基板の他方とを貼り合わせる基板貼り合わせ工程と、上記貼り合わされた一対の基板を上記各セル形成部毎に分断する分断工程とを備え、上記液晶滴下工程では、上記一対の基板の少なくとも一方を構成する母基板の納品データ、上記各セル形成部内の成膜不良、又は上記各セル形成部内のパターニング不良により上記不良のセル形成部を検知することを特徴とする。   Specifically, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, a pair of substrates in which a plurality of cell forming portions each serving as a cell are arranged in a matrix is manufactured, and each of the above-described substrates is formed on one of the pair of substrates. A substrate manufacturing process for forming a frame-shaped seal portion for enclosing a liquid crystal material for each cell forming portion, and in each of the manufactured substrates, a defective cell forming portion is detected and one of the pair of substrates is detected. A liquid crystal dropping step of dropping the liquid crystal material on each of the other cell forming portions excluding the detected defective cell forming portion, and a substrate for bonding the substrate on which the liquid crystal material is dropped and the other of the pair of substrates A bonding step and a dividing step of dividing the bonded pair of substrates for each cell forming portion, and in the liquid crystal dropping step, a mother substrate constituting at least one of the pair of substrates Goods data, failure film formation in each cell forming unit, or and detecting a cell forming part of the defect by patterning defects in each cell forming portion.

上記の方法によれば、液晶滴下工程では、基板作製工程で作製された各基板において、一対の基板の少なくとも一方を構成する母基板の納品データ(例えば、ガラス基板やカラーフィルタ基板の納品データ)、各セル形成部内の成膜不良、又は各セル形成部内のパターニング不良により、不良のセル形成部を検知して、複数のセル形成部がマトリクス状に配置された一対の基板の一方に対して、検知された不良のセル形成部を除く他の各セル形成部に液晶材料を滴下するので、不良のセル形成部には、液晶材料が滴下されないことになる。そのため、その後、基板貼り合わせ工程及び分断工程を経て、不良のセルをそのまま作製してしまうことがなくなるので、生産効率の低下が抑制される。したがって、液晶滴下貼り合わせ法によって複数の液晶表示装置(セル)を一括して製造する際に、不良セルによる生産効率の低下が抑制される。   According to the above method, in the liquid crystal dropping step, delivery data of a mother substrate constituting at least one of a pair of substrates (for example, delivery data of a glass substrate or a color filter substrate) in each substrate produced in the substrate production step. Detecting a defective cell formation portion by a film formation failure in each cell formation portion or a patterning failure in each cell formation portion, and one of a pair of substrates in which a plurality of cell formation portions are arranged in a matrix Since the liquid crystal material is dropped on each of the other cell forming portions except the detected defective cell forming portion, the liquid crystal material is not dropped on the defective cell forming portion. Therefore, after that, a defective cell is not produced as it is through the substrate bonding step and the dividing step, so that a reduction in production efficiency is suppressed. Therefore, when a plurality of liquid crystal display devices (cells) are manufactured collectively by the liquid crystal dropping bonding method, a decrease in production efficiency due to defective cells is suppressed.

上記貼り合わされた一対の基板を一対の偏光板の間に挟持させた後、上記各セル形成部に光を透過させて、該各セル形成部の良否判定を行う検査工程を備えてもよい。   After the pair of bonded substrates are sandwiched between a pair of polarizing plates, an inspection process may be provided in which light is transmitted through each of the cell forming portions and the quality of each of the cell forming portions is determined.

上記の方法によれば、不良のセル形成部からなるセルでは、液晶材料が封入されないので、液晶材料が封入された正常なセル形成部からなるセルと光の透過挙動が異なることになる。そのため、偏光板を介して各セル形成部に光を透過させることにより、各セル形成部からなるセルの良否が容易に判断される According to the above method, since the liquid crystal material is not encapsulated in the cell composed of the defective cell formation portion, the light transmission behavior is different from the cell composed of the normal cell formation portion encapsulated with the liquid crystal material. Therefore, it is possible to easily determine the quality of the cell composed of each cell forming portion by transmitting light to each cell forming portion through the polarizing plate .

本発明によれば、それぞれがセルとなる複数のセル形成部がマトリクス状に配置された基板において、不良のセル形成部を除く他の各セル形成部に液晶材料を滴下するので、液晶滴下貼り合わせ法によって複数の液晶表示装置(セル)を一括して製造する際に、不良セルによる生産効率の低下を抑制することができる。   According to the present invention, the liquid crystal material is dropped on each of the other cell forming portions except for the defective cell forming portion on the substrate in which a plurality of cell forming portions each serving as a cell are arranged in a matrix. When a plurality of liquid crystal display devices (cells) are manufactured collectively by the alignment method, it is possible to suppress a decrease in production efficiency due to defective cells.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited to the following embodiment.

《発明の実施形態1》
図1〜図5は、本発明に係る液晶表示装置の製造方法及び液晶滴下装置の実施形態1を示している。
Embodiment 1 of the Invention
1 to 5 show Embodiment 1 of a method for manufacturing a liquid crystal display device and a liquid crystal dropping device according to the present invention.

まず、液晶滴下装置について図1及び図2を用いて説明する。ここで、図1は、液晶滴下装置20の断面模式図であり、図2は、液晶滴下装置20を構成するシリンジ10の断面模式図である。   First, a liquid crystal dropping apparatus will be described with reference to FIGS. Here, FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of the liquid crystal dropping device 20, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the syringe 10 constituting the liquid crystal dropping device 20.

この液晶滴下装置20は、図1に示すように、表面に被処理基板6が吸着固定されるステージ2と、ステージ2が載置されるベース部1と、ステージ2の上方に設置されたシリンジ10(液晶滴下部)と、シリンジ10をベース部1に固定するフレーム3と、ステージ2及びシリンジ10の動作を制御する滴下制御部7とを備えている。   As shown in FIG. 1, the liquid crystal dropping device 20 includes a stage 2 on which a substrate 6 to be treated is adsorbed and fixed, a base 1 on which the stage 2 is placed, and a syringe installed above the stage 2. 10 (liquid crystal dropping unit), a frame 3 for fixing the syringe 10 to the base unit 1, and a dropping control unit 7 for controlling operations of the stage 2 and the syringe 10.

ステージ2は、その表面に静電チャックなどにより被処理基板6を吸着させた状態でベース部1上を水平方向(XY方向)にスライド移動可能にするために、リニアガイドなどを備えている。   The stage 2 is provided with a linear guide or the like so that the surface of the stage 2 can be slid in the horizontal direction (XY direction) while the surface of the substrate 6 is attracted to the surface by an electrostatic chuck or the like.

シリンジ10は、図2に示すように、底面に吐出口を有し、内部に液晶材料15が充填される容器部11と、容器部11の上面から内部に向けて取り付けられ、下方端にニードル弁14を有するエアシリンダ13と、容器部11の上面に取り付けられた加圧弁12とを備えている。ここで、ニードル弁14は、容器部11の吐出口に嵌合するように構成されている。そして、液晶材料15を吐出する際には、容器部11の内部に加圧弁12によって一定の圧力を加えると共に、エアシリンダ13でニードル弁14を上下させることによって、液晶材料15の1滴の量を調整して、その液晶材料15を1滴ずつ吐出(滴下)するようになっている。   As shown in FIG. 2, the syringe 10 has a discharge port on the bottom surface, a container part 11 filled with a liquid crystal material 15 inside, and attached from the top surface of the container part 11 to the inside, and a needle at the lower end. An air cylinder 13 having a valve 14 and a pressurizing valve 12 attached to the upper surface of the container part 11 are provided. Here, the needle valve 14 is configured to fit into the discharge port of the container portion 11. When discharging the liquid crystal material 15, a certain pressure is applied to the inside of the container portion 11 by the pressurizing valve 12, and the needle valve 14 is moved up and down by the air cylinder 13. The liquid crystal material 15 is discharged (dropped) one by one.

次に、上記構成の液晶滴下装置20を用いた製造システム50について図3を用いて説明する。   Next, a manufacturing system 50 using the liquid crystal dropping device 20 having the above configuration will be described with reference to FIG.

この製造システム50は、納品データ入力部31と、TFTアレイ基板製造装置32と、TFTアレイ基板検査装置33と、配向膜形成装置34と、シール部形成装置35と、シール部検査装置36と、液晶滴下装置20と、貼り合わせ装置37と、シール部硬化装置(不図示)と、分断装置38と、偏光板貼り付け装置(不図示)と、点灯検査装置39と、納品データ入力部31、及び各装置20、32〜39に接続され、システム全体を管理する生産ラインホストコンピュータ40とを備えている。   The manufacturing system 50 includes a delivery data input unit 31, a TFT array substrate manufacturing device 32, a TFT array substrate inspection device 33, an alignment film forming device 34, a seal portion forming device 35, a seal portion inspection device 36, A liquid crystal dropping device 20, a bonding device 37, a seal portion curing device (not shown), a cutting device 38, a polarizing plate attaching device (not shown), a lighting inspection device 39, a delivery data input unit 31, And a production line host computer 40 that is connected to each of the devices 20 and 32 to 39 and manages the entire system.

次に、上記構成の製造システム50を用いて液晶表示装置(セル)を製造する方法について図4のフローチャートを用いて説明する。   Next, a method of manufacturing a liquid crystal display device (cell) using the manufacturing system 50 having the above configuration will be described with reference to the flowchart of FIG.

まず、St11では、基板ID番号や納品されたガラス基板における不良箇所の位置情報などが入った納品データを納品データ入力部31を介して生産ラインホストコンピュータ40に取り込む。   First, in St 11, delivery data including a substrate ID number and positional information of a defective part on the delivered glass substrate is taken into the production line host computer 40 via the delivery data input unit 31.

続いて行うSt12では、TFTアレイ基板製造装置32によって、納品されたガラス基板上に、公知の方法を用いて、それぞれがセルとなる複数のセル形成部をマトリクス状に配設して、TFTアレイ基板を作製する。ここで、TFTアレイ基板の各セル形成部には、例えば、マトリクス状に設けられた複数の画素電極と、各画素電極毎に設けられた薄膜トランジスタ(TFT)と、各画素電極の間を互いに平行に延びる複数のゲート線と、各ゲート線と交差して各画素電極の間を互いに平行に延びる複数のソース線とが設けられている。   In subsequent St12, a plurality of cell forming portions each serving as a cell are arranged in a matrix form on the delivered glass substrate by the TFT array substrate manufacturing apparatus 32 using a known method. A substrate is produced. Here, in each cell formation part of the TFT array substrate, for example, a plurality of pixel electrodes provided in a matrix, a thin film transistor (TFT) provided for each pixel electrode, and a space between the pixel electrodes are mutually parallel. And a plurality of source lines that cross each gate line and extend between the pixel electrodes in parallel with each other.

続いて行うSt13では、TFTアレイ基板検査装置33によって、作製されたTFTアレイ基板を外観検査や電気光学検査などを行う。ここで、外観検査とは、CCDカメラなどにより、配線パターンを光学的に検査するものであり、電気光学検査とは、TFTアレイ基板に対向するようにモジュレータ(電気光学素子)を設置した後、TFTアレイ基板とモジュレータとの間に電圧を印加させると共に光を入射させて、その光の輝度の変化をCCDカメラなどで捉えることで配線パターンを電気光学的に検査するものである。そして、配線パターンの断線などの不具合による不良箇所の位置情報などが入った検査データを生産ラインホストコンピュータ40に取り込む。   In subsequent St13, the TFT array substrate inspection apparatus 33 performs an appearance inspection, an electro-optical inspection, and the like on the manufactured TFT array substrate. Here, the appearance inspection is to optically inspect the wiring pattern with a CCD camera or the like, and the electro-optical inspection is to install a modulator (electro-optical element) so as to face the TFT array substrate. A wiring pattern is electro-optically inspected by applying a voltage between the TFT array substrate and the modulator and making light incident and capturing a change in luminance of the light with a CCD camera or the like. Then, inspection data including position information of a defective portion due to a defect such as disconnection of the wiring pattern is taken into the production line host computer 40.

続いて行うSt14では、TFTアレイ基板の表面を洗浄し、配向膜形成装置34によって、ポリイミド樹脂を印刷し、その後、焼成して、回転布によって一方向にラビング処理を行って、配向膜を形成する。   In subsequent St14, the surface of the TFT array substrate is washed, polyimide resin is printed by the alignment film forming device 34, and then baked and rubbed in one direction with a rotating cloth to form an alignment film. To do.

さらに、セルギャップを規制するために、例えば、TFTアレイ基板上にプラスチックビーズなどからなるスペーサを散布する。なお、後述するカラーフィルタ(CF)基板としてフォトスペーサーが形成された基板を用いる場合には、上記スペーサを散布する工程が不必要になる。   Further, in order to regulate the cell gap, for example, spacers made of plastic beads or the like are dispersed on the TFT array substrate. In addition, when using the board | substrate in which the photo spacer was formed as a color filter (CF) board | substrate mentioned later, the process of spraying the said spacer becomes unnecessary.

また、St21では、納品されたカラーフィルタ(CF)基板における基板ID番号や不良箇所の位置情報などが入った納品データを納品データ入力部31を介してホストコンピュータ40に取り込む。ここで、カラーフィルタ基板の各セル形成部には、例えば、R・G・Bの着色層、共通電極などが順に積層された基板である。   In St21, the delivery data including the substrate ID number and the location information of the defective part on the delivered color filter (CF) substrate is taken into the host computer 40 via the delivery data input unit 31. Here, each cell forming portion of the color filter substrate is a substrate in which, for example, an R / G / B colored layer, a common electrode, and the like are sequentially laminated.

続いて行うSt22では、カラーフィルタ基板の表面を洗浄し、配向膜形成装置34によって、ポリイミド樹脂を印刷し、その後、焼成して、回転布によって一方向にラビング処理を行って、配向膜を形成する。   In subsequent St22, the surface of the color filter substrate is washed, and polyimide resin is printed by the alignment film forming device 34, and then baked and rubbed in one direction with a rotating cloth to form an alignment film. To do.

続いて行うSt23では、シール部形成装置35によって、配向膜が形成されたカラーフィルタ基板の各セル形成部毎に枠状のシール部を形成する。具体的には、例えば、0.15mm以上且つ0.45mm以下の微小な穴を有するノズルを備えたシリンジの内部にシール材料を充填し、カラーフィルタ基板とノズル先端との距離を30μm程度に保持して、充填されたシール材料をノズルから吐出しながら、カラーフィルタ基板、或いはノズルを移動させることにより、シール材料を一筆書きで枠形状(矩形)の閉パターンに描画する、いわゆる、ディスペンサ方式により、シール部を形成する。また、シール部は、例えば、UV硬化と熱硬化との併用型の樹脂により構成されている。   In subsequent St23, a seal portion forming device 35 forms a frame-shaped seal portion for each cell forming portion of the color filter substrate on which the alignment film is formed. Specifically, for example, the inside of a syringe provided with a nozzle having a minute hole of 0.15 mm or more and 0.45 mm or less is filled with a sealing material, and the distance between the color filter substrate and the nozzle tip is maintained at about 30 μm. Then, by discharging the filled sealing material from the nozzle, the color filter substrate or the nozzle is moved to draw the sealing material into a closed pattern of a frame shape (rectangular shape) with a single stroke. , Forming a seal part. Further, the seal portion is made of, for example, a combined resin of UV curing and heat curing.

続いて行うSt24では、シール部検査装置36によって、カラーフィルタ基板上に形成されたシール部の断線の有無を検査する。このシール部の断線検査では、シール部が形成されたカラーフィルタ基板を照明装置及び検査用カメラの下を通過させ、その際の画像を読み取って処理することにより、断線が検知される。そして、シール部の断線の位置情報などが入った検査データを生産ラインホストコンピュータ40に登録する。ここで、照明装置としては、ハロゲンランプなどの光源による落射照明装置や25W程度のライン照明装置が用いられ、検査用カメラとしては、50μmの高さを認識できる焦点距離を有するCCDカメラやラインセンサーが用いられる。また、シール部検査装置36は、例えば、シール部の一方端と他方端との重ね合わさる部分が無くなったときに、シール部が断線していると判断するように構成されている。   In subsequent St24, the seal portion inspection device 36 inspects the seal portion formed on the color filter substrate for disconnection. In the disconnection inspection of the seal portion, the disconnection is detected by passing the color filter substrate on which the seal portion is formed under the illumination device and the inspection camera and reading and processing the image at that time. Then, the inspection data including the position information of the disconnection of the seal portion is registered in the production line host computer 40. Here, an epi-illumination device using a light source such as a halogen lamp or a line illumination device of about 25 W is used as the illumination device, and a CCD camera or line sensor having a focal length capable of recognizing a height of 50 μm is used as the inspection camera. Is used. Moreover, the seal | sticker part test | inspection apparatus 36 is comprised so that it may be judged that the seal | sticker part is disconnected, for example, when the part which the one end and other end of a seal | sticker part overlap is lost.

続いて行うSt25では、図1、図2及び図5に示すように、液晶滴下装置20によって、シール部4が形成されたカラーフィルタ基板(上記被処理基板)6の各セル形成部a、b、c、d、e、g、h及びiに液晶材料15をシリンジ10から滴下する。具体的には、生産ラインホストコンピュータ40に取り込まれた不良箇所の位置情報(例えば、シール部の断線の位置情報)に基づいて、滴下制御部7が、カラーフィルタ基板6上の各セル形成部a〜iを、シール部4が正常に形成されて液晶材料を滴下すべきセル形成部a、b、c、d、e、g、h及びiと、シール部4に断線がある液晶材料を滴下すべきでないセル形成部fとに区分し、ステージ2及びシリンジ10を適宜動作させて、セル形成部a、b、c、d、e、g、h及びiのみに液晶材料15を滴下させる。   In subsequent St25, as shown in FIGS. 1, 2, and 5, the cell forming portions a and b of the color filter substrate (the substrate to be processed) 6 on which the seal portion 4 is formed by the liquid crystal dropping device 20 are provided. , C, d, e, g, h and i, the liquid crystal material 15 is dropped from the syringe 10. Specifically, based on the position information (for example, the position information on the disconnection of the seal portion) of the defective portion taken into the production line host computer 40, the dropping control unit 7 controls each cell forming unit on the color filter substrate 6. a to i, cell forming portions a, b, c, d, e, g, h and i in which the seal portion 4 is normally formed and the liquid crystal material should be dropped, and a liquid crystal material having a disconnection in the seal portion 4 The liquid crystal material 15 is dropped only on the cell forming portions a, b, c, d, e, g, h, and i by appropriately operating the stage 2 and the syringe 10 by dividing into cell forming portions f that should not be dropped. .

続いて行うSt31では、貼り合わせ装置37によって、St14で配向膜が形成されたTFTアレイ基板と、St25で液晶材料が滴下されたカラーフィルタ基板とを真空下で貼り合わせる。具体的には、貼り合わせ装置37を構成する処理室の内部に、TFTアレイ基板及びカラーフィルタ基板6を収容して、処理室の内部を真空引きをした後、TFTアレイ基板とカラーフィルタ基板6とを貼り合わせる。その後、処理室の内部に窒素ガスなどを供給して、処理室の内部を大気圧に復圧させる。このとき、貼り合わされた基板が大気に開放されることにより、TFTアレイ基板及びカラーフィルタ基板の双方の表面が大気圧によってプレスされ、シール部4が所定の厚さにまでつぶされ、TFTアレイ基板とカラーフィルタ基板との間隔が所定の大きさとなる。   In subsequent St31, the bonding device 37 bonds the TFT array substrate on which the alignment film is formed in St14 and the color filter substrate on which the liquid crystal material is dropped in St25 under vacuum. Specifically, the TFT array substrate and the color filter substrate 6 are accommodated in the processing chamber constituting the bonding apparatus 37, the inside of the processing chamber is evacuated, and then the TFT array substrate and the color filter substrate 6 are filled. And paste together. Thereafter, nitrogen gas or the like is supplied to the inside of the processing chamber, and the inside of the processing chamber is restored to atmospheric pressure. At this time, the bonded substrate is released to the atmosphere, so that the surfaces of both the TFT array substrate and the color filter substrate are pressed by atmospheric pressure, and the seal portion 4 is crushed to a predetermined thickness. And the color filter substrate have a predetermined distance.

さらに、UV照射装置及び熱焼成装置などからなるシール部硬化装置によって、貼り合わされた基板のシール部を硬化する。具体的には、シール部4をUV照射装置によるUV光の照射によって仮硬化させ、その後、仮硬化させたシール部4を熱焼成装置による加熱によって本硬化させる。   Further, the seal portion of the bonded substrate is cured by a seal portion curing device including a UV irradiation device and a thermal baking device. Specifically, the seal portion 4 is temporarily cured by irradiation with UV light from a UV irradiation device, and then the temporarily cured seal portion 4 is finally cured by heating with a thermal baking device.

続いて行うSt32では、分断装置38によって、シール部4が硬化された貼り合わされた基板を、セル毎に分断する。   In subsequent St32, the bonded substrate on which the seal portion 4 has been cured is cut into cells by the cutting device 38 for each cell.

その後、偏光板貼り付け装置によって、分断された各セルの表面及び裏面の双方に、偏光板を貼り付ける。   Then, a polarizing plate is affixed on both the front and back surfaces of each divided cell by a polarizing plate affixing device.

最後に行うSt33では、点灯検査装置39によって、偏光板が貼り付けられたセルに対して、点灯検査を行う。具体的には、例えば、セルを構成するTFTアレイ基板上の各ゲート線にバイアス電圧−5V、周期16.7msec、パルス幅50μsecの+10Vのパルス電圧のゲート検査信号を入力して全てのTFTをオン状態にする。さらに、同じくTFTアレイ基板上の各ソース線に16.7msec毎に極性が反転する±2Vの電位のソース検査信号を入力して、各TFTを介して画素電極に±2Vに対応した電荷を書き込む。同時に、セルを構成するカラーフィルタ基板上の共通電極に直流で−1Vの電位の共通電極検査信号を入力する。このとき、画素電極と共通電極との間で構成される液晶容量に電圧が印加され、正常な画素では、点灯状態になる。また、シール部4に断線があるセル(セル形成部f)では、液晶材料15が封入されていないので、液晶材料15が封入された正常な各セル形成部a、b、c、d、e、g、h及びiからなるセルと光の透過挙動が異なり、点灯及び反転しないことになる。そのため、偏光板を介して各セルに光を透過させることにより、各セルの良否を容易に判断することができる。したがって、上記点灯検査において、容易に不良なセル(セル形成部f)を見つけることができる。   In St33 to be performed lastly, the lighting inspection device 39 performs a lighting inspection on the cell to which the polarizing plate is attached. Specifically, for example, a gate inspection signal with a bias voltage of −5 V, a period of 16.7 msec, a pulse width of 50 μsec and a pulse voltage of +10 V is input to each gate line on the TFT array substrate constituting the cell, and all TFTs are connected. Turn on. Further, a source inspection signal having a potential of ± 2 V whose polarity is inverted every 16.7 msec is inputted to each source line on the TFT array substrate, and a charge corresponding to ± 2 V is written to the pixel electrode via each TFT. . At the same time, a common electrode inspection signal having a direct current potential of -1 V is input to the common electrode on the color filter substrate constituting the cell. At this time, a voltage is applied to the liquid crystal capacitance formed between the pixel electrode and the common electrode, and a normal pixel is turned on. Further, since the liquid crystal material 15 is not sealed in the cell (cell forming portion f) in which the seal portion 4 is disconnected, each normal cell forming portion a, b, c, d, e in which the liquid crystal material 15 is sealed. , G, h, and i have different light transmission behavior and do not light up and invert. Therefore, the quality of each cell can be easily determined by transmitting light to each cell via the polarizing plate. Therefore, a defective cell (cell formation part f) can be easily found in the lighting inspection.

以上のようにして、液晶表示装置(セル)9が製造される。この液晶表示装置9は、図6に示すように、互いに対向して配置されたTFTアレイ基板5及びカラーフィルタ基板6と、両基板5及び6の間に枠形状に設けられたシール部4と、両基板5及び6の間でシール部4の内側に設けられた液晶材料15からなる液晶層とを備え、TFTアレイ基板5及びカラーフィルタ基板6の各表面に偏光板8が貼り付けられている。   The liquid crystal display device (cell) 9 is manufactured as described above. As shown in FIG. 6, the liquid crystal display device 9 includes a TFT array substrate 5 and a color filter substrate 6 that are arranged to face each other, and a seal portion 4 that is provided in a frame shape between the substrates 5 and 6. And a liquid crystal layer made of a liquid crystal material 15 provided inside the seal portion 4 between both the substrates 5 and 6, and a polarizing plate 8 is attached to each surface of the TFT array substrate 5 and the color filter substrate 6. Yes.

以上説明したように本実施形態の製造方法によれば、液晶滴下工程では、カラーフィルタ基板作製工程(シール描画工程)でシール部4が形成されたカラーフィルタ基板6において、シール部4に断線が発生した不良のセル形成部fを検知して、そのカラーフィルタ基板6に対して、検知された不良のセル形成部fを除く他の各セル形成部a、b、c、d、e、g、h及びiに液晶材料15を滴下するので、不良のセル形成部fには、液晶材料15が滴下されないことになる。そのため、不良のセル(セル形成部f)をそのまま作製してしまうことがないと共に、シール部4の断線部分から液晶材料14が漏れ出すこともなく周辺部分における液晶材料15の漏れが抑制されるので、生産効率の低下を抑制することができる。したがって、液晶滴下貼り合わせ法によって複数の液晶表示装置(セル)を一括して製造する際に、不良セルによる生産効率の低下をすることができる。   As described above, according to the manufacturing method of this embodiment, in the liquid crystal dropping process, in the color filter substrate 6 in which the seal part 4 is formed in the color filter substrate manufacturing process (seal drawing process), the seal part 4 is disconnected. The generated defective cell forming portion f is detected, and each of the other cell forming portions a, b, c, d, e, g excluding the detected defective cell forming portion f is detected with respect to the color filter substrate 6. Since the liquid crystal material 15 is dropped on h, i, the liquid crystal material 15 is not dropped on the defective cell forming portion f. Therefore, a defective cell (cell forming portion f) is not produced as it is, and the liquid crystal material 14 does not leak from the disconnected portion of the seal portion 4, and the leakage of the liquid crystal material 15 in the peripheral portion is suppressed. Therefore, a decrease in production efficiency can be suppressed. Therefore, when a plurality of liquid crystal display devices (cells) are manufactured collectively by the liquid crystal dropping bonding method, the production efficiency due to defective cells can be reduced.

なお、図7〜図9に示した短冊状の複数のセルに液晶材料を真空注入法で注入する場合には、短冊基板109bにおいて不良のある特定のセルfへ液晶材料を選択的に注入しないようにすることが技術的に困難である。   When the liquid crystal material is injected into the plurality of strip-shaped cells shown in FIGS. 7 to 9 by the vacuum injection method, the liquid crystal material is not selectively injected into a specific cell f having a defect in the strip substrate 109b. It is technically difficult to do so.

《その他の実施形態》
上記実施形態1では、セル形成部内の不良として、シール部4に発生した断線を検知して、断線が検知されたセル形成部を除く他の各セル形成部に対し、液晶材料の滴下を行うものを例示したが、本発明は、製造工程での各セル形成部内の成膜不良やパターニング不良などの不良を検知したり、または納品される母基板内の異物混入やレジスト欠陥などの不良を検知したりして、液晶材料の滴下を制御してもよい。
<< Other Embodiments >>
In the first embodiment, the disconnection generated in the seal portion 4 is detected as a defect in the cell formation portion, and the liquid crystal material is dropped on each cell formation portion other than the cell formation portion where the disconnection is detected. Although the present invention has been exemplified, the present invention detects defects such as film formation defects and patterning defects in each cell forming part in the manufacturing process, or detects defects such as foreign matter contamination and resist defects in the delivered mother board. Or the dropping of the liquid crystal material may be controlled.

上記各実施形態では、アクティブマトリクス駆動型の液晶表示装置を例示したが、本発明は、パッシブマトリクス駆動型の液晶表示装置にも適用することができる。   In each of the above embodiments, an active matrix drive type liquid crystal display device has been exemplified. However, the present invention can also be applied to a passive matrix drive type liquid crystal display device.

以上説明したように、本発明は、液晶滴下貼り合わせ法によって複数の液晶表示装置を一括して製造する際に、不良セルによる生産効率の低下を抑制することができるので、大型の液晶表示装置について有用である。   As described above, the present invention can suppress a decrease in production efficiency due to defective cells when a plurality of liquid crystal display devices are manufactured collectively by the liquid crystal dropping bonding method. Useful for.

実施形態1に係る液晶滴下装置20の断面模式図である。1 is a schematic cross-sectional view of a liquid crystal dropping device 20 according to Embodiment 1. FIG. 液晶滴下装置20を構成するシリンジ10の断面模式図である。3 is a schematic cross-sectional view of a syringe 10 that constitutes the liquid crystal dropping device 20. FIG. 実施形態1に係る製造システム50を示すブロック図である。1 is a block diagram showing a manufacturing system 50 according to Embodiment 1. FIG. 実施形態1に係る液晶表示装置の製造方法における工程フローを示すフローチャートである。4 is a flowchart showing a process flow in the method for manufacturing the liquid crystal display device according to the first embodiment. 液晶材料15を滴下した後のカラーフィルタ基板6の斜視図である。It is a perspective view of the color filter substrate 6 after dropping the liquid crystal material 15. 実施形態1に係る液晶表示装置9の断面模式図である。2 is a schematic cross-sectional view of a liquid crystal display device 9 according to Embodiment 1. FIG. 従来の109aの斜視図である。It is a perspective view of the conventional 109a. 従来の短冊基板109bの斜視図である。It is a perspective view of the conventional strip board | substrate 109b. 従来のセル109cの斜視図である。It is a perspective view of the conventional cell 109c.

a,b,c,d,e,f,g,h,i セル形成部
5 TFTアレイ基板
6 カラーフィルタ基板(被処理基板)
7 滴下制御部
8 偏光板
9 液晶表示装置(セル)
10 シリンジ(液晶滴下部)
11 シリンジ本体
15 液晶材料
20 液晶滴下装置
a, b, c, d, e, f, g, h, i Cell forming portion 5 TFT array substrate 6 Color filter substrate (substrate to be processed)
7 Dropping control unit 8 Polarizing plate 9 Liquid crystal display device (cell)
10 Syringe (liquid crystal dropping part)
11 Syringe body 15 Liquid crystal material 20 Liquid crystal dropping device

Claims (2)

それぞれがセルとなる複数のセル形成部がマトリクス状に配置された一対の基板を作製すると共に、上記一対の基板の一方において、上記各セル形成部毎に液晶材料を封入するための枠形状のシール部を形成する基板作製工程と、
上記作製された各基板において、不良のセル形成部を検知して、上記一対の基板の一方において、上記検知された不良のセル形成部を除く他の各セル形成部に上記液晶材料を滴下する液晶滴下工程と、
上記液晶材料が滴下された基板と上記一対の基板の他方とを貼り合わせる基板貼り合わせ工程と、
上記貼り合わされた一対の基板を上記各セル形成部毎に分断する分断工程とを備え、
上記液晶滴下工程では、上記一対の基板の少なくとも一方を構成する母基板の納品データ、上記各セル形成部内の成膜不良、又は上記各セル形成部内のパターニング不良により上記不良のセル形成部を検知することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
A pair of substrates in which a plurality of cell forming portions each serving as a cell are arranged in a matrix are formed, and a frame shape for enclosing a liquid crystal material in each of the cell forming portions on one of the pair of substrates. A substrate manufacturing process for forming a seal portion;
In each of the manufactured substrates, a defective cell formation portion is detected, and the liquid crystal material is dropped on each of the other cell formation portions except for the detected defective cell formation portion on one of the pair of substrates. A liquid crystal dropping step;
A substrate bonding step of bonding the substrate on which the liquid crystal material is dropped and the other of the pair of substrates;
A dividing step of dividing the bonded pair of substrates for each cell forming part,
In the liquid crystal dropping step, the defective cell formation portion is detected by delivery data of a mother substrate constituting at least one of the pair of substrates, a film formation failure in each cell formation portion, or a patterning failure in each cell formation portion. A method for manufacturing a liquid crystal display device.
請求項1に記載された液晶表示装置の製造方法において、
上記貼り合わされた一対の基板を一対の偏光板の間に挟持させた後、上記各セル形成部に光を透過させて、該各セル形成部の良否判定を行う検査工程を備えることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the liquid crystal display device described in Claim 1,
A liquid crystal, comprising: an inspection step in which light is transmitted through each cell forming portion and the quality of each cell forming portion is determined after the pair of bonded substrates are sandwiched between a pair of polarizing plates. Manufacturing method of display device.
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