JP4891676B2 - Display device - Google Patents
Display device Download PDFInfo
- Publication number
- JP4891676B2 JP4891676B2 JP2006188465A JP2006188465A JP4891676B2 JP 4891676 B2 JP4891676 B2 JP 4891676B2 JP 2006188465 A JP2006188465 A JP 2006188465A JP 2006188465 A JP2006188465 A JP 2006188465A JP 4891676 B2 JP4891676 B2 JP 4891676B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- wiring
- insulating layer
- electrode
- active area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 128
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 41
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 30
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 15
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 89
- 239000010408 film Substances 0.000 description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 17
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Images
Description
この発明は、表示装置に係り、特に、品質に関わる検査を行うための検査部を備えた表示装置に関する。 The present invention relates to a display device, and more particularly, to a display device including an inspection unit for performing an inspection related to quality.
液晶表示装置などの表示装置は、マトリクス状の画素によって構成されたアクティブエリアを備えている。このアクティブエリアは、画素の行方向に沿って延在する複数の走査線、画素の列方向に沿って延在する複数の信号線、これら走査線と信号線との交差部付近に配置されたスイッチング素子、スイッチング素子に接続された画素電極などを備えている。これら各走査線及び各信号線は、アクティブエリアの外周に引き出されている。 A display device such as a liquid crystal display device includes an active area composed of matrix pixels. The active area is arranged in the vicinity of a plurality of scanning lines extending along the pixel row direction, a plurality of signal lines extending along the pixel column direction, and an intersection between the scanning lines and the signal lines. A switching element, a pixel electrode connected to the switching element, and the like are provided. Each of these scanning lines and each signal line is drawn to the outer periphery of the active area.
このような表示装置においては、光透過性を有する基板として絶縁物であるガラスが用いられているため、このガラスの帯電による素子の静電破壊によって製造歩留まりの低下を招くおそれがある。このような課題に対して、特許文献1によれば、アクティブエリアに備えられたゲート電極配線を画素毎に分断し、層間絶縁膜上の信号電極配線と同一材料の導電膜によって電気的に接続する技術が提案されている。
この発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、信頼性試験における不良の発生及び製造歩留まりの低下を防止することが可能な検査部を備えた表示装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide a display device including an inspection unit capable of preventing the occurrence of defects in a reliability test and a decrease in manufacturing yield. There is.
本実施形態によれば、
それぞれ画素電極を備えた複数の画素、及び、各画素に駆動信号を供給するための複数の信号供給配線を有するアクティブエリアと、
前記アクティブエリア外に配置され、前記アクティブエリアの検査を行うための検査部と、を備え、
前記検査部は、
前記アクティブエリアの検査を行う際に検査信号が供給される主要部、及び、主要部から離間した島状の電極部を有する検査用配線と、
前記主要部と前記信号供給配線との間に配置され、前記電極部をゲート電極とする薄膜トランジスタからなるスイッチング素子と、
前記検査用配線とは絶縁層を介して異なる層に配置されるとともに前記画素電極と同一材料によって形成され、前記絶縁層に形成されたコンタクトホールを介して前記主要部と前記電極部とを電気的に接続するジャンパー部と、
を備えたことを特徴とする表示装置が提供される。
According to this embodiment,
A plurality of pixels each having a pixel electrode, and an active area having a plurality of signal supply wirings for supplying drive signals to each pixel;
An inspection unit disposed outside the active area and inspecting the active area, and
The inspection unit
A main part to which an inspection signal is supplied when inspecting the active area, and an inspection wiring having an island-shaped electrode part spaced from the main part,
A switching element comprising a thin film transistor disposed between the main part and the signal supply wiring and having the electrode part as a gate electrode;
The inspection wiring is arranged in a different layer via an insulating layer and is formed of the same material as the pixel electrode, and the main part and the electrode part are electrically connected via a contact hole formed in the insulating layer. Jumper part to be connected
A display device is provided .
この表示装置によれば、離間した主要部と電極部とをジャンパー部により電気的に接続した構造の検査用配線を適用したことにより、検査用配線の帯電が抑制され、配線間でのショートの発生を防止することが可能となる。このため、検査部におけるスイッチング素子などの静電破壊を防止することができ、信頼性試験における不良の発生及び製造歩留まりの低下を防止することが可能となる。 According to this display device, by applying the inspection wiring having a structure in which the separated main portion and the electrode portion are electrically connected by the jumper portion, charging of the inspection wiring is suppressed, and a short circuit between the wirings is prevented. Occurrence can be prevented. For this reason, it is possible to prevent electrostatic breakdown of the switching element or the like in the inspection unit, and it is possible to prevent occurrence of a defect in the reliability test and a decrease in manufacturing yield.
この発明によれば、信頼性試験における不良の発生及び製造歩留まりの低下を防止することが可能な検査部を備えた表示装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a display device including an inspection unit capable of preventing the occurrence of defects in the reliability test and the decrease in manufacturing yield.
以下、この発明の一実施の形態に係る表示装置について図面を参照して説明する。 A display device according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1及び図2に示すように、表示装置の一例としての液晶表示装置は、略矩形平板状の液晶表示パネル1を備えている。この液晶表示パネル1は、一対の基板すなわちアレイ基板3及び対向基板4と、これら一対の基板の間に光変調層として保持された液晶層5と、によって構成されている。この液晶表示パネル1は、画像を表示する略矩形状のアクティブエリア6を備えている。このアクティブエリア6は、マトリクス状に配置された複数の画素PXや、各画素PXに駆動信号を供給する複数の信号供給配線などを有している。
As shown in FIGS. 1 and 2, a liquid crystal display device as an example of a display device includes a liquid crystal display panel 1 having a substantially rectangular flat plate shape. The liquid crystal display panel 1 is composed of a pair of substrates, that is, an
アレイ基板3は、光透過性を有するガラスなどの絶縁基板81を用いて構成され、アクティブエリア6に配置された信号供給配線として、例えば、画素PXの行方向に沿って延在する複数の走査線Y(1、2、3、…、m)や、画素PXの列方向に沿って延在する複数の信号線X(1、2、3、…、n)などを備えている。これら走査線Y及び信号線Xは、絶縁層を介して互いに異なる層に配置されている。また、アレイ基板3は、アクティブエリア6において、これらの走査線Yと信号線Xとの交差部付近において画素PX毎に配置されたスイッチング素子7、このスイッチング素子7に接続された画素電極8などを備えている。
The
スイッチング素子7は、薄膜トランジスタ(TFT)などによって構成されている。このスイッチング素子7は、半導体層7SC、ゲート電極7G、ソース電極7S、及び、ドレイン電極7Dを有している。
The
半導体層7SCは、絶縁基板81を覆うアンダーコート層82上に配置されている。この半導体層7SCは、例えば多結晶シリコン薄膜によって形成されている。アンダーコート層82は、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜などによって形成されている。半導体層7SCは、ゲート絶縁層83によって覆われている。
The semiconductor layer 7SC is disposed on the
ゲート電極7Gは、ゲート絶縁層83上に配置されている。このゲート電極7Gは、対応する走査線Yに電気的に接続されている(あるいは走査線と一体に形成されている)。ゲート絶縁層83は、例えば酸化シリコン膜によって形成されている。ゲート電極7Gは、第1絶縁層84によって覆われている。
The
ソース電極7S及びドレイン電極7Dは、第1絶縁層84上に配置されている。ソース電極7Sは、ゲート絶縁層83及び第1絶縁層84を貫通するコンタクトホール85を介して半導体層7SCのソース領域にコンタクトしているとともに、対応する信号線Xに電気的に接続されている(あるいは信号線と一体に形成されている)。ドレイン電極7Dは、ゲート絶縁層83及び第1絶縁層84を貫通するコンタクトホール86を介して半導体層7SCのドレイン領域にコンタクトしている。第1絶縁層84は、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜などの無機系材料によって形成されている。ソース電極7S及びドレイン電極7Dは、第2絶縁層87によって覆われている。この第2絶縁層87は、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜などの無機系材料によって形成されている。
The
画素電極8は、第2絶縁層87上に配置されている。この画素電極8は、第2絶縁層87を貫通するコンタクトホール88を介してドレイン電極7Dに電気的に接続されている。この画素電極8は、バックライト光を選択的に透過して画像を表示する透過型の液晶表示装置においては、インジウム・ティン・オキサイド(ITO)などの光透過性を有する金属材料によって形成される。また、画素電極8は、対向基板4側から入射する外光を選択的に反射して画像を表示する反射型の液晶表示装置においては、アルミニウム(Al)などの光反射性を有する金属材料によって形成される。このような構成のアレイ基板3における少なくともアクティブエリア6の表面は、配向膜89によって覆われている。
The pixel electrode 8 is disposed on the second
対向基板4は、光透過性を有するガラスなどの絶縁基板91を用いて構成され、アクティブエリア6において、全画素PXに共通の対向電極9などを備えている。この対向電極9は、ITOなどの光透過性を有する金属材料によって形成されている。このような構成の対向基板4における少なくともアクティブエリア6の表面は、配向膜92によって覆われている。
The
これらのアレイ基板3及び対向基板4は、全画素PXの画素電極8と対向電極9とを対向させた状態で配設され、これらの間にギャップを形成する。液晶層5は、アレイ基板3と対向基板4とのギャップに封止された液晶組成物によって形成されている。
The
カラー表示タイプの液晶表示装置では、液晶表示パネル1は、複数種類の画素、例えば赤(R)を表示する赤色画素、緑(G)を表示する緑色画素、青(B)を表示する青色画素を有している。すなわち、赤色画素は、赤色の主波長の光を透過する赤色カラーフィルタを備えている。緑色画素は、緑色の主波長の光を透過する緑色カラーフィルタを備えている。青色画素は、青色の主波長の光を透過する青色カラーフィルタを備えている。これらのカラーフィルタは、アレイ基板3または対向基板4の主面に配置される。
In a color display type liquid crystal display device, the liquid crystal display panel 1 includes a plurality of types of pixels, for example, a red pixel that displays red (R), a green pixel that displays green (G), and a blue pixel that displays blue (B). have. That is, the red pixel includes a red color filter that transmits light having a red main wavelength. The green pixel includes a green color filter that transmits light having a green dominant wavelength. The blue pixel includes a blue color filter that transmits light having a blue main wavelength. These color filters are arranged on the main surface of the
液晶表示パネル1は、アクティブエリア6の外側に位置する外周部10に、接続配線群20、第1接続部31及び第2接続部32を備えている。第1接続部31は、信号供給配線に駆動信号を供給する信号供給源として機能する駆動ICチップ11と接続可能である。第2接続部32は、信号供給源として機能するフレキシブル・プリンテッド・サーキット(FPC)と接続可能である。図1に示した例では、これら第1接続部31及び第2接続部32は、対向基板4の端部4Aより外方に延在したアレイ基板3の延在部10A上に配置されている。駆動ICチップ11と第1接続部31とは、例えば異方性導電膜を介して電気的及び機械的に接続される。
The liquid crystal display panel 1 includes a
液晶表示パネル1の第1接続部31に実装される駆動ICチップ11は、アクティブエリア6の各信号線Xに駆動信号(映像信号)を供給する信号線駆動部11Xの少なくとも一部、及び、アクティブエリア6の各走査線Yに駆動信号(走査信号)を供給する走査線駆動部11Yの少なくとも一部を有している。
The driving
接続配線群20は、各信号供給配線とそれぞれ接続された複数の接続配線を備えている。すなわち、接続配線群20は、信号供給配線の本数と同数あるいはそれ以上の数の接続配線Wを備えており、各走査線Yのそれぞれと接続された接続配線WY、及び、各信号線Xのそれぞれと接続された接続配線WXを備えている。
The
このような構成により、走査線駆動部11Yは、接続配線WYを介して各走査線Y(1、2、3、…)と電気的に接続されている。つまり、走査線駆動部11Yから出力された駆動信号は、第1接続部31及び各接続配線WYを介して対応する各走査線Y(1、2、3、…)に供給される。各行の各画素PXに含まれるスイッチング素子7は、対応する走査線Yから供給された走査信号に基づいてオン・オフ制御される。
With such a configuration, the scanning
また、信号線駆動部11Xは、接続配線WXを介して各信号線X(1、2、3、…)と電気的に接続されている。つまり、信号線駆動部11Xから出力された駆動信号は、第1接続部31及び各接続配線WXを介して対応する各信号線X(1、2、3、…)に供給される。各列の各画素PXに含まれるスイッチング素子7は、オンしたタイミングで対応する信号線Xから供給された映像信号を画素電極8に入力する。
Further, the
アレイ基板3は、図3に示すように、接続配線群20の配線不良、及び、アクティブエリア6における配線不良や画素PXの表示品位など、アクティブエリア6での品質に関わる検査を行うための検査部40を備えている。この検査部40は、信号線駆動部11Xに対応して設けられた信号線検査部41、走査線駆動部11Yに対応して設けられた走査線検査部42、及び、各検査部41、42に検査用の信号を入力するためのパッド部44を有している。
As shown in FIG. 3, the
信号線検査部41は、アクティブエリア6を検査する際に検査用の駆動信号が供給されるとともに接続配線群20の接続配線WXを介して各信号線Xに接続された信号線検査用駆動配線51を備えている。また、信号線検査部41は、各信号線X(1、2、…、n)と信号線検査用駆動配線51との間にスイッチング素子61を備えている。さらに、信号線検査部41は、アクティブエリア6を検査する際にスイッチング素子61のオン・オフを制御する検査用の制御信号が供給される検査用制御配線55を備えている。つまり、信号線検査用駆動配線51及び検査用制御配線55は、信号線検査部41において、アクティブエリア6を検査する際に検査用の信号が供給される検査用配線として機能する。
The signal
スイッチング素子61は、薄膜トランジスタによって構成されている。各スイッチング素子61のゲート電極61Gは、検査用制御配線55に電気的に接続されている。また、各スイッチング素子61のソース電極61Sは、信号線検査用駆動配線51に電気的に接続されている。さらに、各スイッチング素子61のドレイン電極61Dは、対応する接続配線を介して信号線Xに電気的に接続されている。
The switching
走査線検査部42は、アクティブエリア6を検査する際に検査用の駆動信号が供給されるとともに接続配線群20の接続配線WYを介して各走査線Yに接続された走査線検査用駆動配線52を備えている。また、走査線検査部42は、各走査線Y(1、2、…、m)と走査線検査用駆動配線52との間にスイッチング素子62を備えている。さらに、走査線検査部42は、アクティブエリア6を検査する際にスイッチング素子62のオン・オフを制御する検査用の制御信号が供給される検査用制御配線55を備えている。この検査用制御配線55は、信号線検査部41と共通である。つまり、走査線検査用駆動配線52及び検査用制御配線55は、走査線検査部42において、アクティブエリア6を検査する際に検査用の信号が供給される検査用配線として機能する。
The scanning
スイッチング素子62は、薄膜トランジスタによって構成されている。各スイッチング素子62のゲート電極62Gは、検査用制御配線55に電気的に接続されている。また、各スイッチング素子62のソース電極62Sは、走査線検査用駆動配線52に電気的に接続されている。さらに、各スイッチング素子62のドレイン電極62Dは、対応する接続配線を介して走査線Yに電気的に接続されている。
The switching
パッド部44は、信号線検査用駆動配線51の一端部に検査用の駆動信号の入力を可能とする入力パッド71、走査線検査用駆動配線52の一端部に検査用の駆動信号の入力を可能とする入力パッド72、及び、検査用制御配線55の一端部に検査用の制御信号の入力を可能とする入力パッド75を備えている。
The
入力パッド71から入力される駆動信号は、検査段階において、各画素PXの画素電極8に書き込まれる検査信号である。入力パッド72から入力される駆動信号は、検査段階において、各画素PXのスイッチング素子7のオン・オフを制御するための検査信号である。入力パッド75から入力される制御信号は、検査段階において、信号線検査部41のスイッチング素子61、及び、走査線検査部42のスイッチング素子62のオン・オフを制御するための検査信号である。
The drive signal input from the
接続配線群20の接続配線WX及びWYは、それぞれの中途部に駆動ICチップ11との接続を可能とする接続パッドPDを備えている。
The connection wirings WX and WY of the
上述したような構成の液晶表示装置によれば、接続配線群における配線間でのショートや各配線の断線といった配線不良、さらには、アクティブエリア6における配線不良といったパネル上での配線不良を確実に検出することが可能となる。 According to the liquid crystal display device having the above-described configuration, wiring defects such as a short circuit between the wirings in the connection wiring group and disconnection of each wiring, and further, a wiring defect on the panel such as a wiring defect in the active area 6 can be reliably ensured. It becomes possible to detect.
また、信号線検査部41、及び、走査線検査部42は、駆動ICチップ11が配置される領域に対応して、アレイ基板3の延在部10A上に配置されている。当然のことながら、信号線検査用駆動配線51、走査線検査用駆動配線52、及び、検査用制御配線55は、駆動ICチップ11が配置される領域に対応して延在部10A上に配置されている。これらの検査用配線51、52、55は、駆動ICチップ11の長手方向に沿って伸びている。つまり、これらの検査用配線51、52、55は、駆動ICチップ11を実装した際に駆動ICチップ11に重なる。要するに、外形寸法を拡大することなく、アレイ基板上に検査用配線を配置することが可能となる。
Further, the signal
さらに、駆動ICチップ11を接続可能な接続パッドPDは、アクティブエリア6と検査部40との間に配置されている。このため、アクティブエリア6での品質に関わる検査を行うための検査信号が検査部40を介して供給される配線経路と、アクティブエリア6に画像を表示するための駆動信号(映像信号及び走査信号)が駆動ICチップ11から供給される配線経路とが一致する。したがって、検査部40を介した検査により良品と判定された液晶表示パネル1に、正常と判定された駆動ICチップ11を実装することにより、信頼性の高い液晶表示装置を提供することが可能となる。
Further, the connection pad PD to which the driving
上述したような構成の表示装置においては、その製造過程において帯電した電荷が比較的設置面積の大きな配線に蓄積しやすい。特に、信号線検査用駆動配線51、走査線検査用駆動配線52、検査用制御配線55などの検査用配線は、アクティブエリア6内における各種信号供給配線と比較して広い線幅を有し、しかも、長い配線長を有するため、設置面積が大きく、電荷が蓄積しやすい。特に、アクティブエリア6のスイッチング素子7がそれぞれ1画素のスイッチング能力を備えていれば良いのに対して、検査部40に配置されるスイッチング素子61、62は、1素子で信号供給配線に接続されている全ての画素に信号を供給する能力が要求されるため、スイッチング素子7より大型であり、電荷が蓄積しやすい。
In the display device having the above-described configuration, electric charges charged during the manufacturing process are likely to accumulate in a wiring having a relatively large installation area. In particular, the inspection lines such as the signal line
蓄積した電荷は、配線の終端部や屈曲部に集中しやすく、隣接する他の導電層(配線や電極など)との間で静電放電を発生する原因となる。また、同一層内の隣接配線の場合だけではなく、絶縁層を介して重なる隣の導電層の配線が静電放電を発生する原因になることも少なくない。このような静電放電は、絶縁状態を維持すべき隣接する配線との間でのショートや、隣接する配線の断線、また絶縁層を介して重なる隣の導電層上の配線のショートや断線を招くおそれがある。 Accumulated charges are likely to concentrate at the terminal end portion and the bent portion of the wiring, and cause electrostatic discharge between other adjacent conductive layers (wiring, electrodes, etc.). In addition, not only in the case of adjacent wirings in the same layer, wiring of adjacent conductive layers that overlap with each other through an insulating layer often causes electrostatic discharge. Such electrostatic discharge is caused by short-circuiting between adjacent wires that should be kept in an insulated state, disconnection of adjacent wires, or short-circuiting or disconnection of wires on the adjacent conductive layer through the insulating layer. There is a risk of inviting.
そこで、この実施の形態に係る表示装置においては、検査部40は、以下のように構成されている。
Therefore, in the display device according to this embodiment, the
すなわち、図4及び図5に示すように、検査部40は、検査用配線として検査用制御配線55を備えている。この検査用制御配線55は、検査信号が供給される主要部55A、及び、主要部55Aから離間した島状の電極部55Bを有している。このような検査用制御配線55は、ゲート絶縁層83上に配置され、アクティブエリア6の走査線Yなどとともに形成されている。
That is, as shown in FIGS. 4 and 5, the
スイッチング素子61は、主要部55Aと信号供給配線である信号線Xとの間に配置されている。スイッチング素子62は、主要部55Aと信号供給配線である走査線Yとの間に配置されている。これらのスイッチング素子61及び62は、基本的に同一構造であるため、スイッチング素子61を例により詳細な構造について説明する。
The switching
このスイッチング素子61は、半導体層61SCを備えている。半導体層61SCは、絶縁基板81を覆うアンダーコート層82上に配置されている。この半導体層61SCは、例えば多結晶シリコン薄膜によって形成されている。半導体層61SCは、ゲート絶縁層83によって覆われている。
The switching
検査用制御配線55の電極部55Bは、スイッチング素子61のゲート電極61G(あるいはスイッチング素子62のゲート電極62G)として機能する。このような電極部55B及び主要部55Aを有する検査用制御配線55は、第1絶縁層84によって覆われている。
The
ソース電極61S及びドレイン電極61Dは、第1絶縁層84上に配置されている。ソース電極61Sは、ゲート絶縁層83及び第1絶縁層84を貫通するコンタクトホール85を介して半導体層61SCのソース領域にコンタクトしているとともに、信号線検査用駆動配線51に電気的に接続されている。ドレイン電極61Dは、ゲート絶縁層83及び第1絶縁層84を貫通するコンタクトホール86を介して半導体層61SCのドレイン領域にコンタクトしているとともに、信号線X(詳細には接続配線WXを介して信号線X)に電気的に接続されている。
The
なお、スイッチング素子62のソース電極62S及びドレイン電極62Dも同様に構成されており、ソース電極62Sは、走査線検査用駆動配線52に電気的に接続されており、また、ドレイン電極62Dは走査線Y(詳細には接続配線WYを介して走査線Y)に電気的に接続されている。
Note that the
これらのソース電極61S(及び62S)及びドレイン電極61D(及び62D)は、第2絶縁層87によって覆われている。
The
このような検査用制御配線55においては、離間した主要部55Aと電極部55Bとは、ジャンパー部Jを介して電気的に接続されている。すなわち、このジャンパー部Jは、検査用制御配線55とは絶縁層(すなわち、第1絶縁層84及び第2絶縁層87)を介して異なる層に配置され、画素電極8と同一材料(例えば光透過性を有する金属材料や、光反射性を有する金属材料)によって形成されている。このようなジャンパー部Jは、絶縁層に形成されたコンタクトホールCH1及びCH2のそれぞれを介して主要部55Aと電極部55Bとを電気的に接続している。コンタクトホールCH1は、第1絶縁層84及び第2絶縁層87を主要部55Aまで貫通するものであり、また、コンタクトホールCH2は、第1絶縁層84及び第2絶縁層87を電極部55Bまで貫通するものである。
In such an
このような構成によれば、比較的設置面積の大きな検査用配線、特に、検査用制御配線55の面積を小さくすることができ、検査用配線の帯電を抑制することができる。このため、隣接する配線間でのショートの発生を防止することが可能となる。したがって、検査部40におけるスイッチング素子などの静電破壊を防止することができ、信頼性試験における不良の発生及び製造歩留まりの低下を防止することが可能となる。
According to such a configuration, the area of the inspection wiring having a relatively large installation area, in particular, the area of the
上述したような構成の液晶表示装置は、以下のようにして製造される。 The liquid crystal display device having the above-described configuration is manufactured as follows.
すなわち、絶縁基板81上にアンダーコート層82を形成した後、このアンダーコート層82上にアモルファスシリコン膜を成膜する。このアモルファスシリコン膜をアニールすることにより多結晶シリコン薄膜を形成した後、この多結晶シリコン薄膜を島状にパターニングすることにより、アクティブエリア6のスイッチング素子7、検査部40のスイッチング素子61及び62などの半導体層を形成する。その後、この半導体層を覆うゲート絶縁層83を形成する。
That is, after forming the
続いて、ゲート絶縁層83上に金属薄膜を成膜した後、この金属薄膜をパターニングすることにより、アクティブエリア6の走査線Yやスイッチング素子7のゲート電極7Gなどを形成する。このとき、検査部40においては、主要部55A及びこの主要部55Aとは離間した電極部55B(スイッチング素子61のゲート電極61G及びスイッチング素子62のゲート電極62Gとして機能する)を有する検査用制御配線55なども同時に形成する。
Subsequently, after forming a metal thin film on the
続いて、ゲート電極7Gや電極部55Bをマスクとして、各スイッチング素子の半導体層にイオン注入などでドーパントを注入した後、このドーパントを活性化させてソース領域及びドレイン領域を形成する。この後、走査線Yやゲート電極7G、さらには検査用制御配線55などを覆う第1絶縁層84を形成する。
Subsequently, using the
続いて、ゲート絶縁層83及び第1絶縁層84をパターニングすることにより、スイッチング素子7、61及び62の半導体層のソース領域及びドレイン領域まで貫通するコンタクトホール85及び86をそれぞれ形成する。この後、第1絶縁層84上に金属薄膜を形成した後、この金属薄膜をパターニングすることにより、アクティブエリア6の信号線Xや、コンタクトホール85及び86のそれぞれを介して半導体層にコンタクトした電極、すなわち、スイッチング素子7、61及び62のソース電極及びドレイン電極などを形成する。
Subsequently, by patterning the
続いて、信号線Xやソース電極及びドレイン電極などを覆う第2絶縁層87を形成する。その後、アクティブエリア6において、第2絶縁層87をパターニングすることにより、スイッチング素子7のドレイン電極7Dまで貫通するコンタクトホール88を形成すると同時に、検査部40において、第1絶縁層84及び第2絶縁層87をパターニングすることにより、検査用制御配線55の主要部55A及び電極部55Bまでそれぞれ貫通するコンタクトホールCH1及びCH2をそれぞれ形成する。
Subsequently, a second insulating
この後、第2絶縁層87上に画素電極8を形成するための金属薄膜を形成した後、この金属薄膜をパターニングする。これにより、アクティブエリア6において、コンタクトホール88を介してドレイン電極7Dにコンタクトした画素電極8を形成すると同時に、検査部40において、コンタクトホールCH1を介して主要部55AにコンタクトするとともにコンタクトホールCH2を介して電極部55Bにコンタクトしたジャンパー部Jを形成する。さらに、少なくともアクティブエリア6において画素電極8上に配向膜89を形成してアレイ基板3を製造する。
Thereafter, after forming a metal thin film for forming the pixel electrode 8 on the second insulating
続いて、別工程にて製造した対向基板4をその配向膜92がアレイ基板3の配向膜89側に対向させて貼り合せた後、これらのアレイ基板3と対向基板4との間に液晶材料を封止して液晶層5を形成する。さらに、これらのアレイ基板3や対向基板4に様々な部材を取り付けて液晶表示装置とする。
Subsequently, the
上述したように、検査用制御配線55の面積を小さくすることにより、製造過程での検査用制御配線の帯電を抑制することが可能となる。また、検査用制御配線55の主要部55Aと電極部55Bとを電気的に接続するにあたり、アクティブエリア6のスイッチング素子7と画素電極8との電気的接続を可能とするためのコンタクトホール88を形成する工程、すなわち第2絶縁層87のパターニング工程において、第2絶縁層87と同様の無機系材料からなる第1絶縁層84も同時にパターニングすることにより、コンタクトホールCH1及びCH2も形成可能である。また、画素電極8を形成する工程において、ジャンパー部Jも同時に形成可能である。このため、主要部55Aと電極部55Bとが離間した構造の検査用制御配線55を適用したときに、これらの主要部55Aと電極部55Bとを電気的に接続するための別途の工程が不要であり、製造コストの増大が抑制される。
As described above, by reducing the area of the
なお、この発明は、上記実施形態そのものに限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment itself, In the stage of implementation, it can change and implement a component within the range which does not deviate from the summary. Further, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiment. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment. Furthermore, you may combine suitably the component covering different embodiment.
例えば、この発明の表示装置は、上述した液晶表示装置に限定されるものではなく、自己発光素子を表示素子とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置など他の表示装置であっても良い。 For example, the display device of the present invention is not limited to the liquid crystal display device described above, and may be another display device such as an organic electroluminescence display device using a self-luminous element as a display element.
PX…画素 Y…走査線 X…信号線 WY…接続配線 WX…接続配線 J…ジャンパー部 1…液晶表示パネル CH1…コンタクトホール CH2…コンタクトホール 3…アレイ基板 4…対向基板 5…液晶層 6…アクティブエリア 7…スイッチング素子 8…画素電極 9…対向電極 11…駆動ICチップ 11X…信号線駆動部 11Y…走査線駆動部 20…接続配線群 40…検査部 41…信号線検査部 42…走査線検査部 44…パッド部 51…信号線検査用駆動配線 52…走査線検査用駆動配線 55…検査用制御配線 55A…主要部 55B…電極部 61…スイッチング素子 62…スイッチング素子 81…絶縁基板 82…アンダーコート層 83…ゲート絶縁層 84…第1絶縁層 85…コンタクトホール 86…コンタクトホール 87…第2絶縁層 88…コンタクトホール
PX ... Pixel Y ... Scanning line X ... Signal line WY ... Connection wiring WX ... Connection wiring J ... Jumper part 1 ... Liquid crystal display panel CH1 ... Contact hole CH2 ...
Claims (6)
前記アクティブエリア外に配置され、前記アクティブエリアの検査を行うための検査部と、を備え、
前記検査部は、
前記アクティブエリアの検査を行う際に検査信号が供給される主要部、及び、主要部から離間した島状の電極部を有する検査用配線と、
前記主要部と前記信号供給配線との間に配置され、前記電極部をゲート電極とする薄膜トランジスタからなるスイッチング素子と、
前記検査用配線とは絶縁層を介して異なる層に配置されるとともに前記画素電極と同一材料によって形成され、前記絶縁層に形成されたコンタクトホールを介して前記主要部と前記電極部とを電気的に接続するジャンパー部と、
を備えたことを特徴とする表示装置。 A plurality of pixels each having a pixel electrode, and an active area having a plurality of signal supply wirings for supplying drive signals to each pixel;
An inspection unit disposed outside the active area and inspecting the active area, and
The inspection unit
A main part to which an inspection signal is supplied when inspecting the active area, and an inspection wiring having an island-shaped electrode part spaced from the main part,
A switching element comprising a thin film transistor disposed between the main part and the signal supply wiring and having the electrode part as a gate electrode;
The inspection wiring is arranged in a different layer via an insulating layer and is formed of the same material as the pixel electrode, and the main part and the electrode part are electrically connected via a contact hole formed in the insulating layer. Jumper part to be connected
A display device comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006188465A JP4891676B2 (en) | 2006-07-07 | 2006-07-07 | Display device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006188465A JP4891676B2 (en) | 2006-07-07 | 2006-07-07 | Display device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008015367A JP2008015367A (en) | 2008-01-24 |
JP4891676B2 true JP4891676B2 (en) | 2012-03-07 |
Family
ID=39072420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006188465A Active JP4891676B2 (en) | 2006-07-07 | 2006-07-07 | Display device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4891676B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012215743A (en) * | 2011-04-01 | 2012-11-08 | Seiko Epson Corp | Electro-optic device and electronic apparatus |
JP6164554B2 (en) * | 2013-10-25 | 2017-07-19 | 株式会社ジャパンディスプレイ | Display device |
CN104238215A (en) | 2014-08-28 | 2014-12-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | Array substrate, display panel and display device |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0394223A (en) * | 1989-09-07 | 1991-04-19 | Sharp Corp | Manufacture of active matrix display device |
JP3667548B2 (en) * | 1998-03-27 | 2005-07-06 | シャープ株式会社 | Active matrix type liquid crystal display panel and inspection method thereof |
JP5084114B2 (en) * | 1999-08-31 | 2012-11-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | projector |
JP2003157053A (en) * | 2001-11-19 | 2003-05-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Liquid crystal display device, and inspection method and device therefor |
JP3964223B2 (en) * | 2002-02-15 | 2007-08-22 | シャープ株式会社 | Thin film transistor device |
JP4006304B2 (en) * | 2002-09-10 | 2007-11-14 | 株式会社 日立ディスプレイズ | Image display device |
JP4476737B2 (en) * | 2004-08-06 | 2010-06-09 | 東芝モバイルディスプレイ株式会社 | Display device, display device inspection method, and display device inspection device |
JP4945070B2 (en) * | 2004-10-29 | 2012-06-06 | 東芝モバイルディスプレイ株式会社 | Display device |
-
2006
- 2006-07-07 JP JP2006188465A patent/JP4891676B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008015367A (en) | 2008-01-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5140999B2 (en) | Liquid crystal display | |
JP5690916B2 (en) | Array substrate for display device | |
KR100778168B1 (en) | Display device | |
TWI398712B (en) | Thin film transistor array panel with improved connection to test lines | |
JP5154503B2 (en) | Active matrix substrate, liquid crystal panel, liquid crystal display device, television receiver | |
JP4886278B2 (en) | Display device | |
US20090213288A1 (en) | Acitve device array substrate and liquid crystal display panel | |
US7196766B2 (en) | Defect correction of pixel electrode by connection to gate line | |
JP2008003134A (en) | Wiring structure and display device | |
JP2006209089A (en) | Display device | |
US20120326148A1 (en) | Thin film transistor array panel and manufacturing method thereof | |
US20070013855A1 (en) | Liquid crystal display device | |
JP4298726B2 (en) | Display device | |
JP2008064961A (en) | Wiring structure, and display device | |
JP4891676B2 (en) | Display device | |
JP2009093023A (en) | Display device | |
JP2011123162A (en) | Display device | |
JP4834477B2 (en) | Display device | |
JP2008089646A (en) | Display device | |
JP2008015373A (en) | Display device | |
US11693460B2 (en) | Wiring substrate and display panel | |
KR100686235B1 (en) | A panel for liquid crystal display | |
US8648976B2 (en) | Display device and manufacturing method thereof | |
JP4639659B2 (en) | Electro-optical device substrate, electro-optical device, and electronic apparatus | |
JP2007024964A (en) | Liquid crystal display |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090416 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110826 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111014 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111122 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4891676 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141222 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141222 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |