JP4891629B2 - 表面性状測定機、形状解析プログラムおよび記録媒体 - Google Patents
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Description
ワークの表面性状解析としては、微小レベルの凹凸を解析する表面粗さ解析、微小レベルの凹凸は無視して、全体的な表面傾向を解析する表面うねり解析、ワーク各部の幾何学的な形状を解析する表面形状解析などがあり、それぞれに適した測定機が用いられている。
例えば、表面粗さ解析や表面うねり解析には表面粗さ測定機、表面形状解析には表面形状測定機や真円度測定機などが用いられ、それぞれに特化した機能、性能が実現されて来た。
その結果、各測定機の種類毎に、特徴が相反し、単一の測定機において複合的な測定・解析機能を実現することが難しかった。
これに対して、最近の技術の進歩に伴って、実用レベル面で問題のない複合機能を備えた測定機が開発されるに至っている(例えば、特許文献2)。
この真円度測定機を用いれば、ワークの真円度測定と、ワーク表面の円周方向の粗さ測定の両方の測定を行うことが出来る。
しかし、元々、表面粗さ解析を行うためには、微小凹凸情報を収集するという機能上の必要から微細なスタイラス先端(例えば、先端の曲率半径が2μm)を備えた表面粗さ検出器を用いなければならず、一方、真円度解析を行うためには、ワーク表面の微小凹凸による悪影響を避けるために、ある程度の大きさの接触球(例えば、先端の曲率半径が0.8mm)を備えた真円度検出器を用いなければならない。
このような検出器交換は、それに伴って、交換作業、再校正作業などの測定段取りを検出器ごとに行う必要が生じ、余分な作業を行わなければならず、測定能率の改善が望めない上、これらの段取り作業を行っている間に温度などの測定機周囲環境が変化してしまい、必ずしも、表面粗さ測定と真円度測定が同一環境条件で行えず、高精度測定・解析が難しいという問題点があった。
また、本発明にかかる記録媒体は、前記形状解析プログラムをコンピュータ読取可能に記録することが好ましい。
従って、ワークの表面粗さを測定する検出器の出力である測定データに基づいて、形状解析と表面粗さ解析を行えるので、検出器を形状測定用に交換する手間が不要となる。また、一回の測定データに基づいて形状解析と表面粗さ解析が行えるので、同一環境条件下における解析が可能になり、高精度測定・解析が行える。
図1は本発明にかかる表面性状測定機10のブロック図を示し、測定機本体20とデータ処理装置30から構成される。測定機本体20は従来技術の真円度測定機と同一で、基台に設けられてワークを載置して回動させる回動手段22と、やはり基台に立設された図示しないコラムと、このコラムに沿って垂直方向に上下動する図示しない駆動部と、この駆動部によって水平方向に移動する検出器21とを含んで構成される。
データ処理装置30は、検出器21から出力されるデータとロータリエンコーダから出力される回転角度θを入力して測定データとする入力手段31と、この測定データに転がり円うねりフィルタ処理を施す転がり円うねりフィルタ処理手段33と、この転がり円うねりフィルタ処理手段33の出力に基づいて形状解析(真円度解析や円筒度解析など)を行う形状解析手段34と、前記測定データに基づいて表面粗さ解析を行う表面粗さ解析手段32と、図示しない表示設定手段と、データ入出力手段と、印刷手段とを備える。
データ入出力手段は、各種の条件設定データや解析結果などを外部記憶装置との間で入出力する。
印刷手段は、設定された各種の条件や解析結果を文字や図形で印刷して出力する。
まず、処理手順を開始する(手順S10)。
次に、測定段取りを行う(手順S20)。この測定段取りとしては、表面性状測定機10に表面粗さ測定用の検出器21を取り付け、駆動部に対する検出器の位置や角度などの姿勢を調整し、回転テーブルの回転中心に対して正しく変位検出が行えるようにする。この際、検出器の感度、直線性などについて校正を行っても良い。その後、ワーク(ここでは説明の便宜上、円柱状ワークとする)を回転テーブルへ載置し、ワークの円柱軸線が回転テーブルの回転中心に一致するように水平位置を微調整すると共に、回転テーブルの回転軸線とワークの円柱軸線が一致するように傾きを微調整する。この時、検出器21の検出感度など、測定に必要となる各種の条件設定も行う。
測定が開始したら、ワーク走査の結果である検出器21から出力されるデータとロータリエンコーダから出力される回転角度θとを入力し、測定データとしてデータ処理装置30の記憶手段に格納する(手順S40)。
次に、測定データの解析処理を行う。
表面粗さ解析処理が完了、あるいは表面粗さ解析の指定なし(N)の場合は、次に条件設定として形状解析の指定があるか否かを判定し(手順S80)、指定あり(Y)の場合は、測定データに対して、転がり円うねりフィルタ処理を行う(手順S90)。
図3は、この転がり円うねりフィルタ処理の模式図を示す。ここで、θは回転テーブルの回転角度、Rwはワークの平均半径、Rtは真円度測定用検出器の接触子の曲率半径、Wsは表面粗さ測定用検出器21で測定したデータ(測定データ)、Wrは転がり円うねりフィルタ処理を行った結果のデータを示す。つまり、測定データWsに対して、半径Rt(真円度測定用検出器の半径)の円を順次転がした時の円の中心が描くデータがWrとなる。
形状解析処理が完了、あるいは形状解析の指定なし(N)の場合は、次に解析結果の表示・印刷を行ない(手順S110)、その後、形状解析を終了する(手順S120)。
例えば、この実施例においては、表面性状測定機はワーク回転型の接触式真円度測定機として説明したが、これに限らず、ワークを定盤上に固定し、検出器21がワーク周囲を回転するものでも良く、更に、レーザを含む光検出器や電磁式、静電式検出器などの他の検出原理に基づく検出器であっても良い。また、三次元測定機に回転テーブルを併用するもの、あるいは三次元測定機において検出器をワーク周囲に回転させるものであっても良い。
また、表面粗さ測定用検出器の接触子曲率半径として2μm、真円度測定用検出器の接触子曲率半径(あるいは転がり円半径)として0.8mmに限定して説明したが、これに限らず、両者の曲率半径に相当程度に差があって、転がり円うねりフィルタ処理が有効なものであれば本発明を実施できる。
また、形状解析の例として真円度解析と円筒度解析を示したが、これに限らず、楕円解析や円周上の切り欠き(溝)解析などであっても良い。
以上の通り、本発明は測定の分野において極めて効果的に実施することができる。
20 測定機本体
21 検出器
22 回動手段
23 データ処理装置
31 入力手段
32 表面粗さ解析手段
33 転がり円うねりフィルタ処理手段
34 形状解析手段
Claims (5)
- ワークの表面粗さを測定する検出器を備えた表面性状測定機において、
前記ワークと前記検出器とを相対的に回転駆動する回動手段と、
前記回動手段によって前記検出器が前記ワークの表面を走査した際に前記検出器の出力を入力して測定データとする入力手段と、
前記測定データに基づいて前記ワークの表面粗さを解析する表面粗さ解析手段と、
前記測定データに転がり円うねりフィルタ処理を施す転がり円うねりフィルタ処理手段と、
前記転がり円うねりフィルタ処理手段の出力に基づいて前記ワークの幾何学的な形状を解析する形状解析手段と、を備え、
前記検出器は、前記ワークと接触して表面粗さを測定するための接触子を有し、
前記転がり円うねりフィルタ処理手段は、前記接触子の半径とは異なる所定半径の円による転がり円うねりフィルタ処理を施し、
前記形状解析手段は、前記転がり円うねりフィルタ処理手段の出力を前記所定半径の接触子による測定データと看做して形状解析を行うことを特徴とする表面性状測定機。 - 請求項1に記載の表面性状測定機において、前記形状解析手段による形状解析は真円度解析であることを特徴とする表面性状測定機。
- ワークの表面粗さを測定する検出器と、前記ワークと前記検出器とを相対的に回転駆動する回動手段と、を備えた表面性状測定機を用いて前記ワークの形状解析を行う形状解析プログラムであって、
前記回動手段によって前記検出器が前記ワークの表面を走査した際に前記検出器の出力を入力して測定データとする入力手順と、
前記ワークの表面粗さ解析が指定された際に、前記測定データに基づいて前記ワークの表面粗さを解析する表面粗さ解析手順と、
前記ワークの形状解析が指定された際に、前記測定データに転がり円うねりフィルタ処理を施す転がり円うねりフィルタ処理手順と、
前記転がり円うねりフィルタ処理手順の処理結果に基づいて前記ワークの幾何学的な形状を解析する形状解析手順と、
をコンピュータに実行させ、
前記転がり円うねりフィルタ処理手順は、前記検出器の表面粗さを測定するためにワークと接触される接触子の半径と異なる所定半径の円による転がり円うねりフィルタ処理を施し、
前記形状解析手順は、前記転がり円うねりフィルタ処理手順の処理結果を前記所定半径の接触子による測定データと看做して形状解析を行うことを特徴とする形状解析プログラム。 - 請求項3に記載の形状解析プログラムにおいて、前記形状解析手順における形状解析は真円度解析であることを特徴とする形状解析プログラム。
- 請求項3又は請求項4に記載の形状解析プログラムを記録したコンピュータ読取可能な記録媒体。
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