JP4885663B2 - 窒素発生装置 - Google Patents

Description

本発明は、窒素発生装置の技術分野に属する。

酸素を吸着する吸着媒体が収容された吸着筒に加圧空気を送り込んで酸素を吸着させることで、空気から酸素を除去して窒素を得る窒素発生装置がある（一例として、特開２００３−３４２００８号公報）。
特開２００３−３４２００８号公報

窒素発生装置においては窒素の純度を高めるために２本の吸着筒を備えるのが普通であるが、それらへの空気の供給経路や排気などを切り換えるために電磁弁が用いられていた。つまり、電磁弁、電磁弁を制御するためのタイマーやリレー等、各吸着筒と各電磁弁とを相互に接続するための管路を必要とし、構成が複雑であった。

請求項１記載の窒素発生装置は、
酸素を吸着する吸着媒体が収容された第１の吸着筒Ｔ１及び第２の吸着筒Ｔ２と、
弁体を回転させることで、
（ａ）コンプレッサから供給される空気を第１の吸着筒Ｔ１のみに誘導し第２の吸着筒Ｔ２から排気させる第１筒加圧ポジション、
（ｂ）第１の吸着筒Ｔ１と第２の吸着筒Ｔ２とを連通させて第１の吸着筒Ｔ１から第２の吸着筒Ｔ２へ気体を流入させる第１均圧ポジション、
（ｃ）コンプレッサから供給される空気を第２の吸着筒Ｔ２に誘導し第１の吸着筒Ｔ１から排気させる第２筒加圧ポジション、
（ｄ）第１の吸着筒Ｔ１と第２の吸着筒Ｔ２とを連通させて第２の吸着筒Ｔ２から第１の吸着筒Ｔ１へ気体を流入させる第２均圧ポジション
を上記（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の順に繰り返すロータリ弁と、
第１の吸着筒Ｔ１と第２の吸着筒Ｔ２とを連通する管路に配されて、前記弁体の回転角度が前記第１筒加圧ポジションの範囲内で設定される第１開放角度になると開弁して第１の吸着筒Ｔ１から第２の吸着筒Ｔ２へと気体を通過させ、前記弁体の回転角度が前記第２筒加圧ポジションの範囲内で設定される第２開放角度になると開弁して第２の吸着筒Ｔ２から第１の吸着筒Ｔ１へと気体を通過させる開閉弁手段と
を備えることを特徴とする。

この窒素発生装置は、ロータリ弁１つで、第１の吸着筒Ｔ１への加圧空気の供給と第２の吸着筒Ｔ２からの排気（第１筒加圧ポジション）、第１の吸着筒Ｔ１と第２の吸着筒Ｔ２との連通による第１の吸着筒Ｔ１から第２の吸着筒Ｔ２への窒素リッチ気体の流入（第１均圧ポジション）、第２の吸着筒Ｔ２への加圧空気の供給と第１の吸着筒Ｔ１からの排気（第２筒加圧ポジション）、第２の吸着筒Ｔ２と第１の吸着筒Ｔ１との連通による第２の吸着筒Ｔ２から第１の吸着筒Ｔ１への窒素リッチ気体の流入（第２均圧ポジション）を順に繰り返すことができ、多数の電磁弁も、それら電磁弁を制御するためのタイマーやリレー等も、また吸着筒と電磁弁とを相互に接続するための複雑な管路も不要になり、構成を単純化できる。

また、第１の吸着筒Ｔ１と第２の吸着筒Ｔ２とを連通する管路に配されて、前記弁体の回転角度が前記第１筒加圧ポジションの範囲内で設定される第１開放角度になると開弁して第１の吸着筒Ｔ１から第２の吸着筒Ｔ２へと気体を通過させ、前記弁体の回転角度が前記第２筒加圧ポジションの範囲内で設定される第２開放角度になると開弁して第２の吸着筒Ｔ２から第１の吸着筒Ｔ１へと気体を通過させる開閉弁手段とを備えるので、第１均圧ポジションにおいて第１の吸着筒Ｔ１から第２の吸着筒Ｔ２への窒素リッチ気体を流入させる前に、第１の吸着筒Ｔ１から第２の吸着筒Ｔ２に窒素リッチの気体を導入して、第２の吸着筒Ｔ２に残存している酸素をパージアウトでき、第２均圧ポジションにおいて第２の吸着筒Ｔ２から第１の吸着筒Ｔ１への窒素リッチ気体を流入させる前に、第２の吸着筒Ｔ２から第１の吸着筒Ｔ１に窒素リッチの気体を導入して、第１の吸着筒Ｔ１に残存している酸素をパージアウトできる。しかも、開閉弁手段の開弁は弁体の回転角度に従うので、開弁のタイミングを適切にできる。

その開閉弁手段の閉弁タイミングは、請求項４のようにすればよい。即ち、前記弁体の回転角度が前記第１開放角度になって開弁した前記開閉弁手段は、前記ロータリ弁が前記第１均圧ポジションになると同時又は前記第１均圧ポジションにある間に閉弁し、前記弁体の回転角度が前記第２開放角度になって開弁した前記開閉弁手段は、前記ロータリ弁が前記第２均圧ポジションになると同時又は前記第２均圧ポジションにある間に閉弁する構成である。

このようにすれば、第１筒加圧ポジションから第１均圧ポジションになるときは、第１均圧ポジションになると同時又は第１均圧ポジション中に開閉弁手段を閉弁でき、第２筒加圧ポジションから第２均圧ポジションになるときは、第２均圧ポジションになると同時又は第２均圧ポジション中に開閉弁手段を閉弁できる。

ところで、気体用の小型の開閉弁はフラッパ式の弁体や昇降する弁体にて開閉する構造であるため、流出ポートから流入ポートへの逆流は阻止できないのが普通である。従って、開閉弁手段は、そうした開閉弁を２個、いわゆる背中合わせに配置して構成するとよい。勿論、流出ポートから流入ポートへの逆流を阻止できる構造の開閉弁であれば、１個だけで開閉弁手段を構成できる。

また、請求項２記載のように、前記開閉弁手段は、前記弁体と共に回転するカムによって駆動されるメカニカル弁にすれば、弁体の回転に伴って開閉弁手段が自動的に開弁されるから、例えばタイマーや駆動用のアクチュエータ等は不要である。

或いは、請求項３記載のように、前記開閉弁手段は電磁弁であり、前記弁体の回転角度が前記第１開放角度になると前記開閉弁手段を開弁させ、また前記弁体の回転角度が前記第２開放角度になると前記開閉弁手段を開弁させるスイッチ手段を備えた構成にしてもよい。この場合も、弁体の回転に伴ってオンされる接点（スイッチ手段）を備える程度の簡単な構成で済む。

次に、本発明の実施例等により発明の実施の形態を説明する。なお、本発明は下記の実施例等に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でさまざまに実施できることは言うまでもない。
［実施例］
図１に示す窒素発生装置１は、ＰＳＡ（Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）式窒素発生装置であり、材質、寸法等が同一の第１吸着筒Ｔ１及び第２吸着筒Ｔ２を備えている。これら第１吸着筒Ｔ１及び第２吸着筒Ｔ２には、空気中の酸素や二酸化炭素、水等の不純物を吸着可能なペレット状の分子篩活性炭（モレキュラシーブカーボン）が吸着媒体として充填されている。

第１吸着筒Ｔ１のボトムはロータリ弁ＲＶ−１の第１ポートＰＴ１に接続され、第２吸着筒Ｔ２のボトムはロータリ弁ＲＶ−１の第２ポートＰＴ２に接続されている。
このロータリ弁ＲＶ−１のロータリ弁としての構成は特許第３５９７１５５号公報に記載されているものと同様であるから、その詳細説明は省略する。

ロータリ弁ＲＶ−１の第３ポートＰＴ３は、ドレンユニットＤＦ１及び冷却管ＣＣ１を介してエアコンプレッサＰ１のデリバリ側に接続されている。
第３ポートＰＴ３とドレンユニットＤＦ１間にはリリーフ弁ＲＲＶが取り付けられ、冷却管ＣＣ１とエアコンプレッサＰ１間には圧力センサＰＩＳ１が配され、また圧力センサＰＩＳ１の検出圧が設定値以上になると開放される電磁弁ＳＶ１が取り付けられている。

またエアコンプレッサＰ１のサクション側は吸気フィルタＡＦ１を介して大気開放されている。
ロータリ弁ＲＶ−１の第４ポートＰＴ４は、サイレンサＳＬ−１を介して大気開放されている。

一方、第１吸着筒Ｔ１のヘッドには逆止弁ＣＶ１を介してバッファタンクＢＴに至る窒素送出管路２が接続され、第２吸着筒Ｔ２のヘッドには逆止弁ＣＶ２を介してバッファタンクＢＴに至る窒素送出管路３が接続されている。窒素送出管路２、３には、それぞれ圧力センサＰＩＳ２、ＰＩＳ３が取り付けられている。

これら窒素送出管路２と窒素送出管路３とは、逆止弁ＣＶ１、ＣＶ２の上流側において、オリフィスＯＲ２を備える連通管路４により常時連通している。
また、メカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２及びオリフィスＯＲ１を備える通断管路５が、窒素送出管路２と窒素送出管路３とを接続している。メカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２はフラッパ式の弁体にて開閉する構造であるため、流出ポートから流入ポートへの逆流は阻止できない。例えばメカニカル弁ＭＶ１が開放されたときに窒素送出管路２の気圧が窒素送出管路３の気圧に勝ると、メカニカル弁ＭＶ２は開放されて逆流を許す。これらメカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２は共同して開閉弁手段を構成する。

逆止弁ＣＶ１、ＣＶ２の下流側は上述の通りバッファタンクＢＴに接続されている。そのバッファタンクＢＴには、圧力調整弁ＰＲ１、窒素ガス流量計ＦＭ１、定流量調整弁ＦＣ１を経て窒素ガス出口に至る窒素ガス取出管路６が接続されている。また窒素ガス取出管路６には、圧力調整弁ＰＲ１の下流側に圧力計ＰＧ１が取り付けられ、定流量調整弁ＦＣ１の下流側に酸素濃度計Ｏ₂ＩＡが取り付けられている。

上述したように、ロータリ弁ＲＶ−１のロータリ弁としての構成及び動作は特許第３５９７１５５号公報に記載されているものと同様であるが、本実施例ではメカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２を開放駆動する機構が付属しているので、その構成を図２によって説明する。

ロータリ弁ＲＶ−１の弁箱１０内には弁室１１が設けられており、この弁室１１に第１ポートＰＴ１〜第４ポートＰＴ４がそれぞれ連通している。また弁室１１には弁体１２が収容されている。この弁体１２に結合されているカップリング１３は図示しないモータの出力軸に連結されており、モータを回転させると弁室１１内で弁体１２が回転する。この弁体１２の回転に伴って、特許第３５９７１５５号公報に記載されている通りに第１ポートＰＴ１〜第４ポートＰＴ４のいずれかが相互に連通し、また遮断される。

この弁体１２の回転により、ロータリ弁ＲＶ−１は、
（ａ）第１ポートＰＴ１と第３ポートＰＴ３とが連通し第２ポートＰＴ２と第４ポートＰＴ４とが連通する第１筒加圧ポジション、
（ｂ）第１ポートＰＴ１と第２ポートＰＴ２とが連通し第２ポートＰＴ３と第４ポートＰＴ４とが連通する第１均圧ポジション、
（ｃ）第２ポートＰＴ２と第３ポートＰＴ３とが連通し第１ポートＰＴ１と第４ポートＰＴ４とが連通する第２筒加圧ポジション、
（ｄ）第１ポートＰＴ１と第２ポートＰＴ２とが連通し第２ポートＰＴ３と第４ポートＰＴ４とが連通する第２均圧ポジション
を（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）順に繰り返す。

なお、これら第１筒加圧ポジション、第１均圧ポジション、第２筒加圧ポジション及び第２均圧ポジションとなる弁体１２の回転角度には、弁体１２の構成に応じてある範囲があり（一点ではない）、その回転角度の範囲で各ポジションが持続する。

カップリング１３の弁箱１０の外に出ている部分には、メカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２用の第１カム１４及び第２カム１５とが１８０度の位相差で取り付けられており、第１カム１４及び第２カム１５は弁体１２と共回りする。

第１カム１４及び第２カム１５の軌道内にはメカニカル弁ＭＶ１の開弁軸１６とメカニカル弁ＭＶ２の開弁軸１７とが位置しており、弁体１２の回転に伴って第１カム１４がメカニカル弁ＭＶ１の開弁軸１６を駆動する（メカニカル弁ＭＶ１を開弁させる）ときは、第２カム１５がメカニカル弁ＭＶ２の開弁軸１７を駆動し（メカニカル弁ＭＶ１を開弁させ）、第２カム１５がメカニカル弁ＭＶ１の開弁軸１６を駆動する（メカニカル弁ＭＶ１を開弁させる）ときは、第１カム１４がメカニカル弁ＭＶ２の開弁軸１７を駆動する（メカニカル弁ＭＶ１を開弁させる）。従って、弁体１２（第１カム１４及び第２カム１５）が１回転する毎に、メカニカル弁ＭＶ１、メカニカル弁ＭＶ２が２回ずつ同時に開閉される。

次に、この窒素発生装置１の動作、すなわち空気から窒素を得るための処理を説明する。
（１）窒素発生装置１が稼働して、ロータリ弁ＲＶ−１が第１筒加圧ポジションになると、第１ポートＰＴ１と第３ポートＰＴ３とが連通するので、エアコンプレッサＰ１からの加圧空気が第１吸着筒Ｔ１のボトムに送り込まれる。

第１吸着筒Ｔ１に送り込まれた空気は、ボトムからヘッドへと移動する途中で分子篩活性炭と接触し、空気中の酸素、二酸化炭素、水等が分子篩活性炭に吸着される。窒素はほとんど吸着されないので、第１吸着筒Ｔ１のヘッドに達した気体は高純度の窒素となる。この窒素ガスは、窒素送出管路２に流出し逆止弁ＣＶ１を通ってバッファタンクＢＴに流入して製品ガスとして貯留される。

また、第１筒加圧ポジションでは第２ポートＰＴ２と第４ポートＰＴ４とが連通するので、第２吸着筒Ｔ２内の気体がサイレンサＳＬ−１から排気される。
ところで、第１吸着筒Ｔ１から窒素送出管路２に流出した窒素ガスの一部は連通管路４を通って窒素送出管路３に流れるので、上記の第２吸着筒Ｔ２の排気に際して第２吸着筒Ｔ２に流入する。

また、ロータリ弁ＲＶ−１が第１筒加圧ポジションの後半になると第１カム１４がメカニカル弁ＭＶ１の開弁軸１６を押し込んで開弁させ、同時に第２カム１５がメカニカル弁ＭＶ２の開弁軸１７を押し込んで開弁させる。すると、窒素送出管路２に流出した窒素ガスの一部は通断管路５からも窒素送出管路３に流入する。この窒素送出管路３に流入した窒素ガスは第２吸着筒Ｔ２に流入する。即ち、高濃度の窒素ガスが第２吸着筒Ｔ２に送り込まれるので、第２吸着筒Ｔ２における窒素の濃縮効率が高まる。

なお、メカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２の開弁のタイミング及び閉弁のタイミングは、弁体１２の回転角度と第１カム１４、第２カム１５の形状とにより所望のタイミングにできるので、実験などに基づいて好適な設定をすればよい。
（２）次に、ロータリ弁ＲＶ−１が第１均圧ポジションになると、第１ポートＰＴ１と第２ポートＰＴ２とが連通するので、第１吸着筒Ｔ１に残留していた窒素リッチの気体が第２吸着筒Ｔ２に流入する。つまり、窒素リッチの気体を第２吸着筒Ｔ２に移動させることで第２吸着筒Ｔ２での窒素の濃縮効率を高めている。また第３ポートＰＴ３と第４ポートＰＴ４とが連通するので、エアコンプレッサＰ１からの加圧空気はサイレンサＳＬ−１から放出される。

なお、ロータリ弁ＲＶ−１が第１均圧ポジションになるのとほぼ同時にメカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２が閉弁する。
（３）次に、ロータリ弁ＲＶ−１が第２筒加圧ポジションになると、第２ポートＰＴ２と第３ポートＰＴ３とが連通するので、エアコンプレッサＰ１からの加圧空気が第２吸着筒Ｔ２のボトムに送り込まれる。

第２吸着筒Ｔ２に送り込まれた空気は、ボトムからヘッドへと移動する途中で分子篩活性炭と接触し、空気中の酸素、二酸化炭素、水等が分子篩活性炭に吸着される。窒素はほとんど吸着されないので、第２吸着筒Ｔ２のヘッドに達した気体は高純度の窒素となる。
この窒素ガスは、窒素送出管路３に流出し逆止弁ＣＶ２を通ってバッファタンクＢＴに流入して製品ガスとして貯留される。

また、第２筒加圧ポジションでは第１ポートＰＴ１と第４ポートＰＴ４とが連通するので、第１吸着筒Ｔ１内の気体がサイレンサＳＬ−１から排気される。
この場合も、上述の第１筒加圧ポジションにおけると同様に、第２吸着筒Ｔ２から窒素送出管路３に流出した窒素ガスの一部は連通管路４を通って窒素送出管路２に流れる。またロータリ弁ＲＶ−１が第２筒加圧ポジションの後半になると、第１カム１４がメカニカル弁ＭＶ２の開弁軸１７を押し込んで開弁させ、同時に第２カム１５がメカニカル弁ＭＶ１の開弁軸１６を押し込んで開弁させる。すると、窒素送出管路３に流出した窒素ガスの一部は通断管路５からも窒素送出管路２に流入する。この窒素送出管路２に流入した窒素ガスは第１吸着筒Ｔ１に流入する。即ち、高濃度の窒素ガスが第１吸着筒Ｔ１に送り込まれるので、第１吸着筒Ｔ１における窒素の濃縮効率が高まる。
（４）次に、ロータリ弁ＲＶ−１が第２均圧ポジションになると、第１ポートＰＴ１と第２ポートＰＴ２とが連通するので、第２吸着筒Ｔ２に残留していた窒素リッチの気体が第１吸着筒Ｔ１に流入する。つまり、窒素リッチの気体を第１吸着筒Ｔ１に移動させることで第１吸着筒Ｔ１での窒素の濃縮効率を高めている。また第３ポートＰＴ３と第４ポートＰＴ４とが連通するので、エアコンプレッサＰ１からの加圧空気はサイレンサＳＬ−１から放出される。

なお、ロータリ弁ＲＶ−１が第２均圧ポジションになるのとほぼ同時にメカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２が閉弁する。
このように、弁体１２が１回転する毎にロータリ弁ＲＶ−１が第１筒加圧ポジション、第１均圧ポジション、第２筒加圧ポジション、第２均圧ポジションの順に切り替わり、これが繰り返されるので、バッファタンクＢＴには高純度（操作条件にもよるが９９．５〜９９．９９％）の窒素ガスが貯留される。このバッファタンクＢＴに貯留された窒素ガスを窒素ガス出口から取り出して使用できる。

また、第１の吸着筒Ｔ１と第２の吸着筒Ｔ２とを連通する通断管路５に配されたメカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２（開閉弁手段）が、第１筒加圧ポジションの後半〜第１均圧ポジションの開始まで開弁して第１吸着筒Ｔ１から第２吸着筒Ｔ２へと高濃度の窒素ガスを通過させ、また第２筒加圧ポジションの後半〜第２均圧ポジションの開始まで開弁して第２吸着筒Ｔ２から第１吸着筒Ｔ１へと高濃度の窒素ガスを通過させるので、窒素発生装置１の濃縮効率を高めることができる。なお、窒素発生装置１の濃縮効率は、第１均圧ポジションにおいて第１吸着筒Ｔ１から第２吸着筒Ｔ２へと窒素リッチの気体を移動させ、第２均圧ポジションにおいて第２吸着筒Ｔ１から第１吸着筒Ｔ１へと窒素リッチの気体を移動させることによっても高められている。

しかも、これらメカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２の開弁及び閉弁は弁体１２の回転角度に従うので、開弁、閉弁のタイミングを適切にできる。
以上説明したとおり、この窒素発生装置１は、１つのロータリ弁ＲＶ−１が第１筒加圧ポジション、第１均圧ポジション、第２筒加圧ポジション、第２均圧ポジションを順に繰り返すことで高純度の窒素ガスを生成でき、多数の電磁弁も、それら電磁弁を制御するためのタイマーやリレー等も、また吸着筒と電磁弁とを相互に接続するための複雑な管路も不要になり、構成を単純化できる。

また、第１筒加圧ポジションの後半にはメカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２を開放して第１吸着筒Ｔ１から第２吸着筒Ｔ２に高濃度の窒素ガスを導入し、第２筒加圧ポジションの後半にはメカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２を開放して第２吸着筒Ｔ２から第１吸着筒Ｔ１に高濃度の窒素ガスを導入するので、生成される窒素ガスの純度を高めることができる。

そのメカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２の開閉は、弁体１２と共に回転する第１カム１４、第２カム１５によって行われ、弁体１２の回転に伴ってメカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２が自動的に開閉されるから、例えばタイマーや駆動用のアクチュエータ等は不要である。
［その他］
例えば、実施例では、カムにてメカニカル弁ＭＶ１、ＭＶ２（開閉弁手段）を開放させているが、メカニカル弁ではなく電磁弁として、弁体１２の回転角度が第１開放角度になると開閉弁手段（電磁弁）を開弁させ、弁体１２の回転角度が第２開放角度になると開閉弁手段（電磁弁）を開弁させるスイッチ手段を備えた構成にしてもよい。

実施例の窒素発生装置のプロセスフロー図。 実施例の窒素発生装置におけるロータリ弁によるメカニカル弁の駆動説明図。

符号の説明

１・・・窒素発生装置、
２・・・窒素送出管路、
３・・・窒素送出管路、
４・・・連通管路、
５・・・通断管路、
１２・・・弁体、
１３・・・カップリング、
１４・・・第１カム、
１５・・・第２カム、
ＢＴ・・・バッファタンク、
ＣＶ１・・・逆止弁、
ＣＶ２・・・逆止弁、
ＭＶ１・・・メカニカル弁、
ＭＶ２・・・メカニカル弁、
Ｐ１・・・エアコンプレッサ、
ＰＴ１・・・第１ポート、
ＰＴ２・・・第２ポート、
ＰＴ３・・・第３ポート、
ＰＴ４・・・第４ポート、
ＲＶ−１・・・ロータリ弁、
Ｔ１・・・第１吸着筒、
Ｔ２・・・第２吸着筒。

Claims (4)

1. 酸素を吸着する吸着媒体が収容された第１の吸着筒Ｔ１及び第２の吸着筒Ｔ２と、
   弁体を回転させることで、
   （ａ）コンプレッサから供給される空気を第１の吸着筒Ｔ１のみに誘導し第２の吸着筒Ｔ２から排気させる第１筒加圧ポジション、
   （ｂ）第１の吸着筒Ｔ１と第２の吸着筒Ｔ２とを連通させて第１の吸着筒Ｔ１から第２の吸着筒Ｔ２へ気体を流入させる第１均圧ポジション、
   （ｃ）コンプレッサから供給される空気を第２の吸着筒Ｔ２に誘導し第１の吸着筒Ｔ１から排気させる第２筒加圧ポジション、
   （ｄ）第１の吸着筒Ｔ１と第２の吸着筒Ｔ２とを連通させて第２の吸着筒Ｔ２から第１の吸着筒Ｔ１へ気体を流入させる第２均圧ポジション
   を上記（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の順に繰り返すロータリ弁と、
   第１の吸着筒Ｔ１と第２の吸着筒Ｔ２とを連通する管路に配されて、前記弁体の回転角度が前記第１筒加圧ポジションの範囲内で設定される第１開放角度になると開弁して第１の吸着筒Ｔ１から第２の吸着筒Ｔ２へと気体を通過させ、前記弁体の回転角度が前記第２筒加圧ポジションの範囲内で設定される第２開放角度になると開弁して第２の吸着筒Ｔ２から第１の吸着筒Ｔ１へと気体を通過させる開閉弁手段と
   を備えることを特徴とする窒素発生装置。
2. 前記開閉弁手段は、前記弁体と共に回転するカムによって駆動されるメカニカル弁であることを特徴とする請求項１記載の窒素発生装置。
3. 前記開閉弁手段は電磁弁であり、
   前記弁体の回転角度が前記第１開放角度になると前記開閉弁手段を開弁させ、また前記弁体の回転角度が前記第２開放角度になると前記開閉弁手段を開弁させるスイッチ手段を備えた
   ことを特徴とする請求項１記載の窒素発生装置。
4. 前記弁体の回転角度が前記第１開放角度になって開弁した前記開閉弁手段は、前記ロータリ弁が前記第１均圧ポジションになると同時又は前記第１均圧ポジションにある間に閉弁し、
   前記弁体の回転角度が前記第２開放角度になって開弁した前記開閉弁手段は、前記ロータリ弁が前記第２均圧ポジションになると同時又は前記第２均圧ポジションにある間に閉弁する
   ことを特徴とする請求項１、２又は３記載の窒素発生装置。

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