JP4872605B2 - Manufacturing method of semiconductor device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To maximally prevent the occurrence of voids between semiconductor elements or the flow of a wire located between the semiconductor elements owing to a resin flow-velocity difference between each path on an element and each path outside an element in a manufacturing method for a semiconductor device composed by sealing a plurality of semiconductor elements arrayed on a lead frame with a resin. <P>SOLUTION: Each projection 700, projecting from each portion corresponding to each path 602 outside an element on the inner face of a cavity 503, is provided to a die 500 so that a flow velocity of the resin 50 flowing in each path 601 on an element has magnitude being the same or more than that of a flow velocity of the resin 50 flowing in each path 602 outside an element. Sealing by the resin 50 is executed while using the die 500 provided with each projection 700. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、基板上に搭載された複数個の半導体素子を樹脂で封止してなる半導体装置の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a semiconductor device in which a plurality of semiconductor elements mounted on a substrate are sealed with a resin.

従来より、この種の半導体装置は、ワークとして、リードフレームなどよりなる基板の一面上に複数個の半導体素子が間隔を空けて平面的に配列され、個々の半導体素子が基板の一面にボンディングワイヤなどを介して接続されたものを用意し、このワークにおける基板の一面側にて複数個の半導体素子を樹脂で封止した後、半導体素子の間に位置するダイシングラインにて、カットすることにより製造されていた。   Conventionally, in this type of semiconductor device, a plurality of semiconductor elements are arranged in a plane with a space on one surface of a substrate made of a lead frame or the like as a work, and individual semiconductor elements are bonded to one surface of the substrate. By preparing what is connected via, etc., sealing a plurality of semiconductor elements with resin on one side of the substrate in this work, and then cutting with a dicing line located between the semiconductor elements It was manufactured.

ここで、樹脂封止は、ワークを樹脂成形用の金型のキャビティ内に設置し、キャビティ内に樹脂を注入することにより行うが、従来の成形用金型では、キャビティのサイズが、ゲートの接続部に対して大き過ぎることから、樹脂の充填時にキャビティ内全面にわたって樹脂を充填することが難しく、未充填部分が生じたり、ボイドを生じたりする不具合がある。また、樹脂の射出圧力を高圧にして充填した場合、ワイヤ流れによるワイヤショートが発生する恐れがあった。   Here, resin sealing is performed by placing a workpiece in a cavity of a resin molding die and injecting resin into the cavity. However, in the conventional molding die, the size of the cavity is the gate Since it is too large with respect to the connecting portion, it is difficult to fill the entire surface of the cavity when filling the resin, and there is a problem that an unfilled portion is generated or a void is generated. Further, when the resin injection pressure is set to a high level, there is a possibility that a wire short circuit may occur due to the wire flow.

これに対して、キャビティに対してゲートを数箇所設けることが提案されているが、この場合においても、それぞれのゲートから流入した樹脂が合流する部分において、ボイドの発生、ワイヤ流れによるワイヤショートが発生する恐れがあった。   On the other hand, it has been proposed to provide several gates for the cavity, but even in this case, voids are generated at the portion where the resin flowing in from the respective gates merges, and wire short-circuiting due to the wire flow occurs. There was a risk of occurrence.

このような樹脂封止における問題に対して、たとえば特許文献１では、ゲート付近に樹脂ダムを設け、樹脂が長手方向に広がり、ダムにいったん蓄えられるような状態を経て、一斉に注入させることで均質に樹脂を流そうとしている。   For example, in Patent Document 1, a resin dam is provided in the vicinity of the gate, and the resin spreads in the longitudinal direction and is temporarily stored in the dam. Trying to flow resin evenly.

また、特許文献２に記載されているように、キャビティ内に案内板を入れ、流速を制御する方法や、特許文献３に記載されているように、注入ゲートに付近に稼動ピンを設け、樹脂の流動バランスをとる技術が提案されている。
特開２０００−１２５７８号公報 特開平１０−３４０９７６号公報 特開平６−３７１３０号公報 In addition, as described in Patent Document 2, a guide plate is placed in the cavity to control the flow velocity, and as described in Patent Document 3, an operating pin is provided near the injection gate, A technology that balances the flow is proposed.
JP 2000-12578 A JP-A-10-340976 JP-A-6-37130

本発明者は、上記したような従来の半導体装置の製造方法について鋭意検討を行った。図１４〜図１６は、本発明者が従来の一般的な製造方法に準じて行った試作的な製造方法を示す図である。   The present inventor has intensively studied a conventional method for manufacturing a semiconductor device as described above. 14-16 is a figure which shows the prototype manufacturing method which this inventor performed according to the conventional general manufacturing method.

ここで、図１４は、金型５００にワーク４００を設置した状態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。また、図１５は、樹脂封止工程における樹脂５０の進行を示す平面図であり、図１６は、樹脂封止工程におけるワイヤ流れを示す図であり、図１４（ａ）中の丸Ｋで囲んだ部分の拡大図である。   Here, FIG. 14 is a view showing a state where the workpiece 400 is installed in the mold 500, (a) is a plan view, and (b) is a cross-sectional view. FIG. 15 is a plan view showing the progress of the resin 50 in the resin sealing step, and FIG. 16 is a diagram showing the wire flow in the resin sealing step, which is surrounded by a circle K in FIG. It is an enlarged view of the part.

図１４に示されるように、ワーク４００を樹脂成形用の金型５００のキャビティ５０３内に設置する。このワーク４００は、基板２００の一面上に、複数個の半導体素子３０が間隔を空けて平面的に配列されたものである。ここで、個々の半導体素子３０は、基板２００の一面に対して、図１６に示されるように、ボンディングワイヤ４０を介して接続されている。   As shown in FIG. 14, the workpiece 400 is placed in a cavity 503 of a resin molding die 500. The workpiece 400 is formed by planarly arranging a plurality of semiconductor elements 30 on one surface of the substrate 200 at intervals. Here, the individual semiconductor elements 30 are connected to one surface of the substrate 200 via bonding wires 40 as shown in FIG.

ここで、金型５００には、４個のゲート５０５がある。図１５に示されるように、このゲート５０５からキャビティ５０３内に樹脂５０を注入することにより、基板２００の一面側にて複数個の半導体素子３０を、樹脂５０で封止する。   Here, the mold 500 has four gates 505. As shown in FIG. 15, by injecting resin 50 from the gate 505 into the cavity 503, a plurality of semiconductor elements 30 are sealed with the resin 50 on one surface side of the substrate 200.

このとき、この樹脂封止工程では、図１４や図１５に示されるように、金型５００内を流れる樹脂５０の経路として、基板２００の一面上のうち半導体素子３０の直上を樹脂５０が流れる素子上経路６０１と、基板２００の一面上のうち半導体素子３０の存在しない部位のみを樹脂５０が流れる素子外経路６０２とが同一方向に沿って並列に存在する。   At this time, in this resin sealing step, as shown in FIG. 14 and FIG. 15, the resin 50 flows as a path of the resin 50 flowing in the mold 500 directly on the semiconductor element 30 on one surface of the substrate 200. An on-element path 601 and an out-element path 602 through which the resin 50 flows only in a portion where the semiconductor element 30 does not exist on one surface of the substrate 200 exist in parallel along the same direction.

ここで、素子外経路６０２についてさらに言うならば、素子外経路６０２は、基板２００の一面上のうち半導体素子３０間の部位およびワーク４００の両側の半導体素子３０の存在しない部位を、樹脂５０が流れる経路である。   Here, the element outside path 602 will be further described. In the element outside path 602, the resin 50 is formed on the surface of the substrate 200 between the parts between the semiconductor elements 30 and the parts where the semiconductor elements 30 on both sides of the workpiece 400 do not exist. It is a flowing path.

図１４（ｂ）に示されるように、ワーク４００における基板２００の一面側は、半導体素子３０の部分が凸、半導体素子３０の存在しない部分が凹となっており、半導体素子３０間の方が隙間が広い。そのため、樹脂封止工程においては、図１５に示されるように、素子外経路６０２の方が樹脂５０が速く流れる。   As shown in FIG. 14B, on one surface side of the substrate 200 in the workpiece 400, the part of the semiconductor element 30 is convex and the part where the semiconductor element 30 does not exist is concave. The gap is wide. Therefore, in the resin sealing process, as shown in FIG. 15, the resin 50 flows faster in the outside-element path 602.

そして、この素子上経路６０１を流れる樹脂５０の流速と素子外経路６０２を流れる樹脂５０の流速との差により、図１６に示されるように、流れの速い素子外経路６０２の部分では、ワイヤ４０の流れが生じる。あるいは、この流速の差により、樹脂５０の未充填部分が生じたり、ボイドが生じたりする。   Then, due to the difference between the flow rate of the resin 50 flowing through the on-element path 601 and the flow rate of the resin 50 flowing through the out-of-element path 602, as shown in FIG. The flow of Or the difference of this flow velocity will produce the unfilled part of the resin 50, or a void will arise.

このように、基板２００上に搭載された複数個の半導体素子３０を樹脂５０で封止してなる半導体装置を製造するにあたっては、素子上経路６０１の流速と素子外経路６０２の流速との差が問題となることが、本発明者の検討の結果、わかった。そして、上記した各特許文献１〜３に記載されている手法では、このような樹脂流れの差を解消することはできない。   As described above, in manufacturing a semiconductor device in which a plurality of semiconductor elements 30 mounted on the substrate 200 are sealed with the resin 50, the difference between the flow speed of the on-element path 601 and the flow speed of the external element path 602. As a result of the study of the present inventor, it has been found that this is a problem. And by the method described in each patent document 1-3 mentioned above, such a difference of the resin flow cannot be eliminated.

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、基板上に配列された複数個の半導体素子を樹脂で封止してなる半導体装置の製造方法において、素子上経路と素子外経路との間の樹脂の流速差による半導体素子間のボイドの発生や、半導体素子間に位置するワイヤの流れを極力防止できるようにすることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and in a method of manufacturing a semiconductor device in which a plurality of semiconductor elements arranged on a substrate are sealed with a resin, the path between the element and the path outside the element are provided. It is an object of the present invention to prevent the generation of voids between semiconductor elements due to the difference in the flow rate of resin between them and the flow of wires located between semiconductor elements as much as possible.

上記目的を達成するため、本発明は、金型（５００）に対し、素子上経路（６０１）を流れる樹脂（５０）の流速が素子外経路（６０２）を流れる樹脂（５０）の流速に対して同等以上の大きさとなるように、キャビティ（５０３）の内面の素子外経路（６０２）に対応する部位から突出する突起（７００）を設け、この突起（７００）を備える金型（５００）を用いて樹脂（５０）による封止を行うことを特徴とする。   To achieve the above object, according to the present invention, the flow rate of the resin (50) flowing through the element path (601) is higher than the flow rate of the resin (50) flowing through the element path (602) with respect to the mold (500). A protrusion (700) protruding from a portion corresponding to the external element path (602) on the inner surface of the cavity (503) is provided so as to have a size equal to or larger than that, and a mold (500) including the protrusion (700) is provided. And sealing with resin (50).

それによれば、樹脂封止時には、金型（５００）のキャビティ（５０３）内において半導体素子（３０）上の空間つまり素子上経路（６０１）と半導体素子（３０）の存在しない部位上の空間つまり素子外経路（６０２）とで、樹脂（５０）の流速が同一、もしくは素子上経路（６０１）の流速の方が速くなるため、これら両経路（６０１、６０２）間の樹脂の流速差による半導体素子（３０）間のボイドの発生や、半導体素子（３０）間に位置するワイヤの流れを極力防止することができる。   According to this, at the time of resin sealing, in the cavity (503) of the mold (500), the space on the semiconductor element (30), that is, the space on the element path (601) and the portion on which the semiconductor element (30) does not exist, Since the flow rate of the resin (50) is the same as that of the path outside the element (602), or the flow speed of the path (601) on the element is faster, the semiconductor due to the difference in the flow rate of the resin between these two paths (601, 602). Generation | occurrence | production of the void between elements (30) and the flow of the wire located between semiconductor elements (30) can be prevented as much as possible.

また、素子上経路（６０１）において、半導体素子（３０）が、素子上経路（６０１）に沿って間隔を空けて複数個配列され、樹脂（５０）で封止された後のワーク（４００）が、素子上経路（６０１）における半導体素子（３０）間の位置を通り且つ素子上経路（６０１）および素子外経路（６０２）と直交するライン（Ａ）にて、ダイシングカットされるようになっている場合、突起（７００）を、キャビティ（５０３）の内面の素子外経路（６０２）に対応する部位のうちダイシングカットされるライン（Ａ）に対応した部位に、設けることが好ましい。   Further, in the on-element path (601), a plurality of semiconductor elements (30) are arranged at intervals along the on-element path (601) and sealed with the resin (50) (400). However, dicing is cut at a line (A) passing through the position between the semiconductor elements (30) in the on-element path (601) and orthogonal to the on-element path (601) and the outside element path (602). In this case, it is preferable to provide the protrusion (700) at a portion corresponding to the dicing cut line (A) among the portions corresponding to the element outside path (602) on the inner surface of the cavity (503).

それによれば、ダイシングカット後の半導体装置において、上記突起（７００）によるパッケージ形状への影響を極力少ないものにできる。   According to this, in the semiconductor device after the dicing cut, the influence on the package shape by the protrusion (700) can be minimized.

また、キャビティ（５０３）にワーク（４００）が設置された状態を、素子上経路（６０１）および素子外経路（６０２）と直交する断面と正対する方向から眺めたとき、素子上経路（６０１）における半導体素子（３０）とこれに対向するキャビティ（５０３）の内面との最大距離（ｈ１）が、素子外経路（６０２）における突起（７００）の先端部とこれに対向するキャビティ（５０３）の内面との距離（ｈ２）よりも大きくなるように、突起（７００）を設けることが、好ましい。   Further, when the state in which the workpiece (400) is installed in the cavity (503) is viewed from the direction facing the cross section orthogonal to the element path (601) and the element path (602), the element path (601). The maximum distance (h1) between the semiconductor element (30) and the inner surface of the cavity (503) opposite to the semiconductor element (30) is the tip of the protrusion (700) in the outside path (602) and the cavity (503) opposite to the tip. It is preferable to provide the protrusion (700) so as to be larger than the distance (h2) from the inner surface.

さらに、この場合、突起（７００）の突出高さを、突起（７００）と隣り合う素子上経路（６０１）における半導体素子（３０）の厚さよりも大きいものにできる。   Further, in this case, the protrusion height of the protrusion (700) can be made larger than the thickness of the semiconductor element (30) in the element path (601) adjacent to the protrusion (700).

また、突起（７００）に、樹脂（５０）が通り抜ける通路（７０１）を樹脂（５０）の流れ方向に沿って設ければ、樹脂封止工程における樹脂（５０）の流れをスムーズにすることができる。   Further, if a passage (701) through which the resin (50) passes is provided in the protrusion (700) along the flow direction of the resin (50), the flow of the resin (50) in the resin sealing step can be made smooth. it can.

また、金型（５００）が、ワーク（４００）における基板（２００）の他面側に位置する下型（５０１）と、ワーク（４００）における基板（２００）の一面側に位置する上型（５０２）とを合致させ、これら下型（５０１）と上型（５０２）との間にキャビティ（５０３）が形成されるものである場合には、突起（７００）は、上型（５０２）の内面の素子外経路（６０２）に対応する部位に、設けてもよい。   The mold (500) includes a lower mold (501) positioned on the other surface side of the substrate (200) in the workpiece (400), and an upper mold (positioned on one surface side of the substrate (200) in the workpiece (400)). 502) and a cavity (503) is formed between the lower mold (501) and the upper mold (502), the protrusion (700) is formed on the upper mold (502). You may provide in the site | part corresponding to the element outside path | route (602) of an inner surface.

また、ワーク（４００）における基板（２００）として、素子外経路（６０２）に対応する部位にて厚さ方向に貫通する開口部（２０１）を有するものを用いれば、突起（７００）は、下型（５０１）の内面の素子外経路（６０２）に対応する部位から開口部（２０１）を通して基板（２００）の一面上に突出するように、設けることもできる。   Further, if the substrate (200) in the workpiece (400) has an opening (201) penetrating in the thickness direction at a portion corresponding to the external path (602), the protrusion (700) is It can also be provided so as to protrude from one portion of the inner surface of the mold (501) corresponding to the element outside path (602) to one surface of the substrate (200) through the opening (201).

また、樹脂封止工程中に、キャビティ（５０３）内における突起（７００）の突出高さを可変とすれば、素子外経路（６０２）に位置するワイヤ（４０）などを樹脂（５０）で封止した後に、さらに突起（７００）の突出高さを変えて樹脂封止を続けることで、突起（７００）による樹脂（５０）の未充填部分を樹脂（５０）で埋めることができる。その結果、平坦なパッケージ形状を得ることも可能である。   In addition, if the protrusion height of the protrusion (700) in the cavity (503) is variable during the resin sealing step, the wire (40) and the like located in the external path (602) is sealed with the resin (50). After stopping, the protrusion height of the protrusion (700) is further changed to continue the resin sealing, so that the unfilled portion of the resin (50) by the protrusion (700) can be filled with the resin (50). As a result, a flat package shape can be obtained.

また、金型（５００）のうち突起（７００）が設けられる部位に、当該金型（５００）の外側からキャビティ（５０３）へ貫通する貫通穴（５１０）を設け、突起（７００）を、金型（５００）の外側から貫通穴（５１０）に挿入してキャビティ（５０３）内に突出させるものとすることによって、突起（７００）を取り替え可能とすれば、ワーク（４００）の種類に応じて、樹脂封止工程における突起（７００）の突出高さや幅、位置などを設定できる。   Further, a through hole (510) penetrating from the outside of the mold (500) to the cavity (503) is provided in a part of the mold (500) where the protrusion (700) is provided, and the protrusion (700) If the protrusion (700) can be replaced by inserting it into the through hole (510) from the outside of the mold (500) and projecting it into the cavity (503), depending on the type of the workpiece (400) The protrusion height, width and position of the protrusion (700) in the resin sealing step can be set.

また、突起（７００）を、樹脂（５０）と同じ材質の樹脂よりなるものとすれば、突起（７００）によるパッケージ形状への影響を極力少ないものにできる。   Further, if the protrusion (700) is made of the same material as the resin (50), the influence of the protrusion (700) on the package shape can be minimized.

また、複数個の半導体素子（３０）は、基板（２００）の一面において格子状に配列されたものであり、この格子状配列における複数個の半導体素子（３０）の列に対応して素子上経路（６０１）が構成され、当該複数個の半導体素子（３０）の列の間の部位に対応して素子外経路（６０２）が構成されるものにできる。   The plurality of semiconductor elements (30) are arranged in a lattice pattern on one surface of the substrate (200), and the elements are arranged on the elements corresponding to the rows of the plurality of semiconductor elements (30) in the lattice array. The path (601) is configured, and the element-external path (602) can be configured to correspond to a portion between the plurality of rows of the semiconductor elements (30).

なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in the claim and this column is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, parts that are the same or equivalent to each other are given the same reference numerals in the drawings in order to simplify the description.

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る半導体装置１００の概略断面構成を示す図である。本実施形態の半導体装置１００は、大きくは、アイランド１０と、アイランド１０上に搭載された半導体素子３０と、アイランド１０の周囲に配置され半導体素子３０とボンディングワイヤ４０を介して電気的に接続されたリード端子２０と、これらアイランド１０、リード端子２０、ワイヤ４０および半導体素子３０を封止する樹脂５０とを備えて構成されている。 (First embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing a schematic cross-sectional configuration of a semiconductor device 100 according to the first embodiment of the present invention. The semiconductor device 100 according to the present embodiment is broadly electrically connected to the island 10, the semiconductor element 30 mounted on the island 10, and the semiconductor element 30 disposed around the island 10 via the bonding wire 40. The lead terminal 20 and the island 50, the lead terminal 20, the wire 40, and the resin 50 that seals the semiconductor element 30 are provided.

本実施形態では、アイランド１０とリード端子２０とは、後述する基板としての１枚のリードフレーム２００（後述の図２参照）から分離形成されたものである。ここで、リードフレーム２００は、Ｃｕや４２アロイなどの通常のリードフレーム材料からなるものであり、１枚の板材をプレスやエッチング加工することなどによってアイランド１０とリード端子２０とのパターンが形成されたものである。   In the present embodiment, the island 10 and the lead terminal 20 are separately formed from one lead frame 200 (see FIG. 2 described later) as a substrate described later. Here, the lead frame 200 is made of a normal lead frame material such as Cu or 42 alloy, and the pattern of the island 10 and the lead terminal 20 is formed by pressing or etching one plate material. It is a thing.

また、本実施形態では、アイランド１０は矩形板状のものであり、リード端子２０は、アイランド１０の４辺の外周において複数本のものが配列されている。また、図１に示されるように、アイランド１０の上には、Ａｇペーストや導電性接着剤などよりなる図示しないダイマウント材を介して半導体素子３０が搭載され、接着されている。   In the present embodiment, the island 10 has a rectangular plate shape, and a plurality of lead terminals 20 are arranged on the outer periphery of the four sides of the island 10. As shown in FIG. 1, a semiconductor element 30 is mounted on and bonded to the island 10 via a die mount material (not shown) made of Ag paste, a conductive adhesive, or the like.

この半導体素子３０は、シリコン半導体などの半導体基板を用いて半導体プロセスにより形成されたＩＣチップなどである。ここで、半導体素子３０は複数個の素子の集合体であってもよい。   The semiconductor element 30 is an IC chip or the like formed by a semiconductor process using a semiconductor substrate such as a silicon semiconductor. Here, the semiconductor element 30 may be an aggregate of a plurality of elements.

そして、図１に示されるように、半導体素子３０の上面と各リード端子２０の上面とは、同一方向に面しており、これらの上面同士は、Ａｕ（金）やアルミニウムなどからなるボンディングワイヤ４０を介して結線されて互いに電気的に接続されている。   As shown in FIG. 1, the upper surface of the semiconductor element 30 and the upper surface of each lead terminal 20 face the same direction, and these upper surfaces are bonding wires made of Au (gold), aluminum, or the like. They are connected via 40 and are electrically connected to each other.

そして、樹脂５０は、エポキシ樹脂などの通常のモールド材料を用いてトランスファーモールド法などにより形成されるもので、アイランド１０、リード端子２０、半導体素子３０およびボンディングワイヤ４０を包み込むように封止している。   The resin 50 is formed by a transfer molding method using a normal molding material such as an epoxy resin, and is sealed so as to enclose the island 10, the lead terminal 20, the semiconductor element 30, and the bonding wire 40. Yes.

ここでは、樹脂５０は矩形板状のものである。そして、図１において、アイランド１０の上面とは反対側の下面、および、リード端子２０の上面とは反対側の下面が、樹脂５０の下面から露出している。   Here, the resin 50 has a rectangular plate shape. In FIG. 1, the lower surface opposite to the upper surface of the island 10 and the lower surface opposite to the upper surface of the lead terminal 20 are exposed from the lower surface of the resin 50.

そして、本実施形態の半導体装置１００では、これらアイランド１０の下面およびリード端子２０の下面が、プリント基板などの外部基材と、はんだ付けがなされるようになっている。   In the semiconductor device 100 of the present embodiment, the lower surface of the island 10 and the lower surface of the lead terminal 20 are soldered to an external base material such as a printed circuit board.

次に、本実施形態の半導体装置１００の製造方法について、図２〜図５を参照して述べる。   Next, a method for manufacturing the semiconductor device 100 of the present embodiment will be described with reference to FIGS.

図２（ａ）〜（ｆ）は、本製造方法を工程順に示す工程図であり、図３（ａ）は図２（ｅ）の上面図、図３（ｂ）は図２（ｆ）の上面図である。また、図４は本製造方法の樹脂封止工程に用いる金型５００にワーク４００を設置した状態の概略断面を示す図であり、図５（ａ）は図４の概略上面図、図５（ｂ）は図５（ａ）の一点鎖線Ａに沿った概略断面図である。   2A to 2F are process diagrams showing the manufacturing method in the order of processes. FIG. 3A is a top view of FIG. 2E and FIG. 3B is a process diagram of FIG. It is a top view. 4 is a diagram showing a schematic cross-section of a state in which the workpiece 400 is installed in a mold 500 used in the resin sealing step of the manufacturing method. FIG. 5 (a) is a schematic top view of FIG. FIG. 5B is a schematic cross-sectional view taken along the alternate long and short dash line A in FIG.

まず、図２、図３を参照して、本製造方法の全体的な流れを述べる。図２（ａ）に示されるように、上記基板としてのリードフレーム２００を用意し、このリードフレーム２００における半導体素子３０が搭載される一面とは反対側の他面に粘着シート３００を貼り付ける。   First, the overall flow of this manufacturing method will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 2A, a lead frame 200 as the substrate is prepared, and an adhesive sheet 300 is attached to the other surface of the lead frame 200 opposite to the one surface on which the semiconductor element 30 is mounted.

ここで、リードフレーム２００は、上記した半導体装置１００の１個分に相当するアイランド１０およびリード端子２０が、複数個の単位で一体に連結されたもので、いわゆる多連のリードフレームである。また、粘着シート３００は、ポリイミド樹脂などよりなるもので、リードフレーム２００を金型４００内に固定するとともに、リードフレーム２００の他面に樹脂５０が付着しないようにするためのものである。   Here, the lead frame 200 is a so-called multiple lead frame in which the island 10 and the lead terminal 20 corresponding to one of the semiconductor devices 100 described above are integrally connected in a plurality of units. The adhesive sheet 300 is made of polyimide resin or the like, and is used for fixing the lead frame 200 in the mold 400 and preventing the resin 50 from adhering to the other surface of the lead frame 200.

次に、図２（ｂ）に示されるように、リードフレーム２００の各アイランド１０の上に半導体素子３０を、上記ダイマウント材を介して搭載し、接着固定する。さらに、各半導体素子３０とリードフレーム２００のリード端子２０との間でワイヤボンディングを行い、当該間をボンディングワイヤ４０により結線する。   Next, as shown in FIG. 2B, the semiconductor element 30 is mounted on each island 10 of the lead frame 200 via the die mount material, and is fixed by adhesion. Further, wire bonding is performed between each semiconductor element 30 and the lead terminal 20 of the lead frame 200, and the gap is connected by the bonding wire 40.

これにより、図２（ｃ）に示されるように、リードフレーム２００の一面上に複数個の半導体素子３０が間隔を空けて平面的に配列されたワーク４００が形成される。なお、上述したように、このワーク４００における１個の半導体素子３０は、１個の半導体装置１００を構成するのに必要な分の半導体素子を意味しており、上述したように、複数個の素子の集合体でもよい。   As a result, as shown in FIG. 2C, a work 400 is formed in which a plurality of semiconductor elements 30 are arranged in a plane at intervals on one surface of the lead frame 200. As described above, one semiconductor element 30 in the workpiece 400 means the number of semiconductor elements necessary to configure one semiconductor device 100. As described above, a plurality of semiconductor elements 30 are provided. It may be an assembly of elements.

次に、図２（ｄ）に示される樹脂封止工程を行う。まず、樹脂封止工程では、このワーク４００を、樹脂成形用の金型５００のキャビティ５０３内に設置する。   Next, the resin sealing step shown in FIG. First, in the resin sealing step, the workpiece 400 is placed in the cavity 503 of the resin molding die 500.

この金型５００は、ワーク４００におけるリードフレーム２００の他面側に位置する下型５０１と、ワーク４００におけるリードフレーム２００の一面側に位置する上型５０２とを合致させ、これら下型５０１と上型５０２との間にキャビティ５０３が形成されるものである。また、ワーク４００は、粘着シート３００を介して下型５０１の内面に貼り付けられる。   In this mold 500, a lower mold 501 located on the other surface side of the lead frame 200 in the workpiece 400 and an upper mold 502 located on one surface side of the lead frame 200 in the workpiece 400 are matched with each other. A cavity 503 is formed between the mold 502 and the mold 502. Further, the workpiece 400 is attached to the inner surface of the lower mold 501 through the adhesive sheet 300.

そして、このようにキャビティ５０３内にワーク４００を設置した状態で、キャビティ５０３内に樹脂５０を注入することにより、リードフレーム２００の一面側にて複数個の半導体素子３０およびボンディングワイヤ４０を、樹脂５０で封止する。   Then, with the workpiece 400 installed in the cavity 503 in this manner, the resin 50 is injected into the cavity 503, so that the plurality of semiconductor elements 30 and the bonding wires 40 are bonded to the resin on one surface side of the lead frame 200. Seal with 50.

ここまでの状態が、図２（ｄ）に示される。次に、図２（ｅ）、図３（ａ）に示されるように、樹脂５０で封止されたワーク４００を金型５００から取り出し、ダイシングラインＤＬに沿ってカットする。それにより、図２（ｆ）、図３（ｂ）に示されるように、ワーク４００が個片化され、複数個の半導体装置１００ができあがる。   The state up to this point is shown in FIG. Next, as shown in FIGS. 2E and 3A, the workpiece 400 sealed with the resin 50 is taken out from the mold 500 and cut along the dicing line DL. As a result, as shown in FIGS. 2 (f) and 3 (b), the workpiece 400 is divided into pieces, and a plurality of semiconductor devices 100 are completed.

このような工程流れを有する本実施形態の製造方法においては、樹脂封止工程およびそれに用いる金型５００に独自の工夫を施している。この工夫点について、図４、図５を参照して述べる。   In the manufacturing method of this embodiment having such a process flow, a unique idea is applied to the resin sealing step and the mold 500 used therefor. This device will be described with reference to FIGS. 4 and 5. FIG.

金型５００は、下型５０１と上型５０２とが合致し、その間にキャビティ５０３が形成されるものであることは、上述したとおりである。ここで、図４に示されるように、金型５００には、溜まり部５０４、ゲート５０５、プランジャ５０６が設けられている。   As described above, in the mold 500, the lower mold 501 and the upper mold 502 are matched, and the cavity 503 is formed therebetween. Here, as shown in FIG. 4, the mold 500 is provided with a pool portion 504, a gate 505, and a plunger 506.

溜まり部５０４は樹脂５０を溜めておく空間であり、プランジャ５０６は、この溜まり部５０４の樹脂５０に圧力を加えてゲート５０５からキャビティ５０３へ樹脂５０を注入するためのものである。   The reservoir portion 504 is a space for storing the resin 50, and the plunger 506 is for injecting the resin 50 from the gate 505 into the cavity 503 by applying pressure to the resin 50 in the reservoir portion 504.

ゲート５０５は、キャビティ５０３への樹脂５０の注入口であり、ここでは、図５（ａ）に示されるように、４個のゲート５０５が設けられている。そして、キャビティ５０３内には、ワーク４００が設置されている。なお、図４、図５では、粘着シート３００やボンディングワイヤ４０などの細部は省略してある。   The gate 505 is an inlet for the resin 50 into the cavity 503. Here, as shown in FIG. 5A, four gates 505 are provided. A workpiece 400 is installed in the cavity 503. 4 and 5, details such as the adhesive sheet 300 and the bonding wire 40 are omitted.

そして、上記樹脂封止工程では、この状態で、４つのゲート５０５からキャビティ５０３内に樹脂５０が注入され、ワーク４００における基板としてのリードフレーム２００の一面上を、樹脂５０が流れる。   In the resin sealing step, the resin 50 is injected into the cavity 503 from the four gates 505 in this state, and the resin 50 flows on one surface of the lead frame 200 as a substrate in the workpiece 400.

このとき、本実施形態の樹脂封止工程では、図５（ａ）に示されるように、金型５００内を流れる樹脂５０の経路として、リードフレーム２００の一面上のうち半導体素子３０の直上を樹脂５０が流れる素子上経路６０１と、リードフレーム２００の一面上のうち半導体素子３０の存在しない部位のみを樹脂５０が流れる素子外経路６０２とが同一方向（図５（ａ）の上下方向）に沿って並列に存在する。   At this time, in the resin sealing process of the present embodiment, as shown in FIG. 5A, as a path of the resin 50 flowing through the mold 500, the semiconductor element 30 is directly above the one surface of the lead frame 200. The element path 601 through which the resin 50 flows and the element outer path 602 through which the resin 50 flows only in a portion of the one surface of the lead frame 200 where the semiconductor element 30 does not exist are in the same direction (vertical direction in FIG. 5A). Exist in parallel along.

ここで、素子外経路６０２は、リードフレーム２００の一面上のうち半導体素子３０間の部位およびワーク４００の両側の半導体素子３０の存在しない部位であり、上記したボンディングワイヤ４０が位置する経路である。さらに言うならば、素子外経路６０２は、半導体素子３０の部分が凸、半導体素子３０の存在しない部分が凹となっているワーク４００の表面において、凹となっている部分を樹脂５０が流れる経路である。   Here, the element outside path 602 is a part on one surface of the lead frame 200 between the semiconductor elements 30 and a part where the semiconductor elements 30 on both sides of the workpiece 400 do not exist, and is a path where the bonding wire 40 described above is located. . In other words, the out-of-element path 602 is a path through which the resin 50 flows in the concave portion on the surface of the workpiece 400 where the portion of the semiconductor element 30 is convex and the portion where the semiconductor element 30 does not exist is concave. It is.

そして、本実施形態では、図５に示されるように、金型５００に対して、キャビティ５０３の内面の素子外経路６０２に対応する部位から突出する突起７００を設けている。ここでは、突起７００は、金型５００における上型５０２の内面の素子外経路６０２に対応する部位に、設けられている（図５（ｂ）参照）。このような突起７００は金型５００と一体に加工されたものであり、切削や型加工などにより形成される。   In the present embodiment, as shown in FIG. 5, the mold 500 is provided with a protrusion 700 protruding from a portion corresponding to the element outer path 602 on the inner surface of the cavity 503. Here, the protrusion 700 is provided at a portion corresponding to the element outer path 602 on the inner surface of the upper mold 502 in the mold 500 (see FIG. 5B). Such a protrusion 700 is processed integrally with the mold 500 and is formed by cutting or mold processing.

そして、この突起７００を備える金型５００を用いて樹脂封止工程を行うことにより、樹脂封止工程では、素子上経路６０１を流れる樹脂５０の流速を、素子外経路６０２を流れる樹脂５０の流速に対して、同等か、もしくはそれ以上の大きさとしている。   Then, by performing the resin sealing process using the mold 500 including the protrusion 700, in the resin sealing process, the flow rate of the resin 50 flowing through the element path 601 is changed to the flow rate of the resin 50 flowing through the element path 602. However, it is equivalent or larger.

また、本実施形態では、図５に示されるように、素子上経路６０１において、半導体素子３０は、素子上経路６０１に沿って間隔を空けて複数個（図５では２個）配列されている。そして、樹脂５０で封止された後のワーク４００は、上記図２にも示したように、各半導体素子３０の間の部位にてダイシングカットされる。   In the present embodiment, as shown in FIG. 5, in the on-element path 601, a plurality (two in FIG. 5) of semiconductor elements 30 are arranged along the on-element path 601. . Then, the workpiece 400 after being sealed with the resin 50 is diced and cut at portions between the semiconductor elements 30 as shown in FIG.

ここで、図５における一点鎖線Ａで示されるラインＡは、素子上経路６０１における半導体素子３０間の位置を通り且つ素子上経路６０１および素子外経路６０２（つまり樹脂５０の流れ）と直交するラインであるが、このラインＡは、上記製造工程におけるダイシングカットがなされるラインすなわちダイシングラインに相当するものである。   Here, the line A indicated by the alternate long and short dash line A in FIG. 5 passes through the position between the semiconductor elements 30 in the on-element path 601 and is orthogonal to the on-element path 601 and the outside element path 602 (that is, the flow of the resin 50). However, the line A corresponds to a line where a dicing cut is made in the manufacturing process, that is, a dicing line.

そして、本実施形態では、突起７００は、キャビティ５０３における上型５０２の内面の素子上経路６０２に対応する部位のうち当該ダイシングラインＡに対応した部位に、設けられている。ここでは、図５に示されるように、突起７００は、平面および断面ともに矩形をなしている。   In this embodiment, the protrusion 700 is provided at a portion corresponding to the dicing line A among the portions corresponding to the element path 602 on the inner surface of the upper mold 502 in the cavity 503. Here, as shown in FIG. 5, the protrusion 700 has a rectangular shape both in plan and in cross section.

また、図５（ｂ）は、キャビティ５０３にワーク４００が設置された状態を、素子上経路６０１および素子外経路６０２と直交する断面（図５（ａ）のＡ−Ａ断面）と正対する方向から眺めた図であるが、これからわかるように、素子上経路６０１における半導体素子３０とこれに対向するキャビティ５０３の内面との最大距離ｈ１が、素子外経路６０２における突起７００の先端部とこれに対向するキャビティ５０３の内面との距離ｈ２よりも大きくなっている。   Further, FIG. 5B shows a direction in which the workpiece 400 is placed in the cavity 503, which is opposed to a cross section (cross section AA in FIG. 5A) perpendicular to the element path 601 and the element path 602. As can be seen from this figure, the maximum distance h1 between the semiconductor element 30 in the element path 601 and the inner surface of the cavity 503 facing this is the tip of the projection 700 in the element path 602 and the tip thereof. The distance h2 is larger than the distance h2 from the inner surface of the opposite cavity 503.

なお、上記最大距離ｈ１は、半導体素子３０とこれに正対するキャビティ５０３の内面との間で最も両者が離れている部分の距離を意味し、一方、距離ｈ２は、突起７００とこれに正対するキャビティ５０３の内面との間で最も両者が近づいている部分の距離を意味する。   Note that the maximum distance h1 means the distance between the semiconductor element 30 and the inner surface of the cavity 503 facing the semiconductor element 30, and the distance h2 is opposed to the protrusion 700. It means the distance of the part that is closest to the inner surface of the cavity 503.

また、突起７００は樹脂の流れ方向に幅を持っているが、最大距離ｈ１＞距離ｈ２の関係は、樹脂の流れ方向における突起７００の全体に渡って成立するものでなくてもよく、一部分にて上記関係が成立していればよい。   Further, the protrusion 700 has a width in the resin flow direction, but the relationship of the maximum distance h1> the distance h2 may not be established over the entire protrusion 700 in the resin flow direction. As long as the above relationship is established.

本実施形態では、この最大距離ｈ１が距離ｈ２よりも大きくなるように、突起７００を設けることにより、キャビティ５０３における素子上経路６０１の流路断面積を、素子外経路６０２の流路断面積と同等かそれ以上のものとしている。それにより、素子上経路６０１の流速が、素子外経路６０２の流速に対して同等以上となるようにしている。   In the present embodiment, by providing the protrusion 700 so that the maximum distance h1 is larger than the distance h2, the flow path cross-sectional area of the on-element path 601 in the cavity 503 is changed to the flow path cross-sectional area of the external path 602. Equivalent or better. Thereby, the flow speed of the on-element path 601 is equal to or higher than the flow speed of the outside-element path 602.

なお、このような最大距離ｈ１と距離ｈ２との大小関係を実現するために、突起７００の突出高さを、当該突起７００と隣り合う素子上経路６０１における半導体素子３０の厚さよりも大きいものすることが好ましい。また、半導体素子３０が複数個の素子の集合体であるときは、この集合体としての半導体素子３０の平均厚さを半導体素子３０の厚さとすればよい。   In order to realize such a magnitude relationship between the maximum distance h 1 and the distance h 2, the protrusion height of the protrusion 700 is larger than the thickness of the semiconductor element 30 in the on-element path 601 adjacent to the protrusion 700. It is preferable. When the semiconductor element 30 is an aggregate of a plurality of elements, the average thickness of the semiconductor element 30 as the aggregate may be the thickness of the semiconductor element 30.

このように、本実施形態の半導体装置１００の製造方法によれば、上記突起７００を備える金型５００を用いて樹脂封止工程を行うことにより、キャビティ５０３内において半導体素子３０上の空間つまり素子上経路６０１と半導体素子３０の存在しない部位上の空間つまり素子外経路６０２とで、樹脂５０の流速が同一、もしくは素子上経路６０１の流速の方が速くなる。   As described above, according to the method for manufacturing the semiconductor device 100 of the present embodiment, the resin sealing process is performed using the mold 500 including the protrusion 700, so that the space on the semiconductor element 30 in the cavity 503, that is, the element In the upper path 601 and the space above the part where the semiconductor element 30 does not exist, that is, the outside path 602, the flow rate of the resin 50 is the same, or the flow rate of the upper path 601 is higher.

そのため、従来の製造方法において問題となっていたこれら両経路６０１、６０２間の樹脂の流速差による半導体素子３０間のボイドの発生や、半導体素子３０間に位置するワイヤ４０の流れといった不具合を、極力防止することができる。   Therefore, problems such as the generation of voids between the semiconductor elements 30 due to the difference in the flow velocity of the resin between these paths 601 and 602 and the flow of the wires 40 positioned between the semiconductor elements 30, which have been problems in the conventional manufacturing method, It can be prevented as much as possible.

また、このような突起７００を設けた場合、この突起７００の分、できあがりのパッケージ形状において樹脂５０に凹みが発生すると考えられるが、本実施形態の製造方法によれば、上述したように、突起７００を、ダイシングカットされるラインＡに対応した部位に、設けている。   Further, when such a protrusion 700 is provided, it is considered that a recess is generated in the resin 50 in the finished package shape by the protrusion 700. However, according to the manufacturing method of this embodiment, as described above, the protrusion 700 is provided at a portion corresponding to the line A to be diced.

この場合、樹脂封止後のワーク４００においては、突起７００に対応した部分は突起の形状に合わせて変形したものとなるが、突起７００がダイシングラインＡにあるため、この変形部分は、ダイシングによって削られる。そのため、本実施形態では、ダイシングカット後の半導体装置１００において、上記突起７００によるパッケージ形状への影響を極力少ないものにできる。   In this case, in the workpiece 400 after resin sealing, the portion corresponding to the protrusion 700 is deformed in accordance with the shape of the protrusion, but since the protrusion 700 is on the dicing line A, the deformed portion is formed by dicing. It is shaved. Therefore, in the present embodiment, in the semiconductor device 100 after the dicing cut, the influence on the package shape by the protrusion 700 can be minimized.

（第２実施形態）
図６は、本発明の第２実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図であって、樹脂封止工程に用いる金型５００にワーク４００を設置した状態の概略断面を示す図であり、（ａ）は本実施形態の第１の例、（ｂ）は第２の例を示す。 (Second Embodiment)
FIG. 6 is a diagram showing a main part of the method for manufacturing a semiconductor device according to the second embodiment of the present invention, and is a diagram showing a schematic cross section in a state where a workpiece 400 is installed in a mold 500 used in a resin sealing process. (A) shows a first example of this embodiment, and (b) shows a second example.

上記第１実施形態では、上記図５（ｂ）に示したように、突起７００は、断面矩形をなすものとしたが、その突出形状は、これに限定されるものではない。本実施形態は、上記第１実施形態に対して突起７００の断面形状を変形したものであり、図６に示されるように、突起７００としては、（ａ）断面波形のものや（ｂ）断面三角形のものであってもよい。   In the first embodiment, as shown in FIG. 5B, the protrusion 700 has a rectangular cross section, but the protruding shape is not limited to this. In this embodiment, the cross-sectional shape of the protrusion 700 is modified with respect to the first embodiment, and as shown in FIG. 6, the protrusion 700 includes (a) a cross-sectional waveform and (b) a cross-section. It may be triangular.

なお、突起７００は、その一部が素子上経路６０１まではみ出して存在するものであってもよい。そして、これらの突起７００によっても、上記第１実施形態と同様の効果が得られる。   Note that the protrusion 700 may be a part of which protrudes to the element path 601. These projections 700 can provide the same effects as those of the first embodiment.

（第３実施形態）
図７は、本発明の第３実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図であって、本実施形態の突起７００の種々の例を示す概略断面図である。 (Third embodiment)
FIG. 7 is a diagram showing the main part of the method for manufacturing a semiconductor device according to the third embodiment of the present invention, and is a schematic cross-sectional view showing various examples of the protrusion 700 of this embodiment.

本実施形態は、上記各実施形態に適用可能なものであり、上記各実施形態における突起７００に、樹脂５０が通り抜ける通路７０１を樹脂５０の流れ方向に沿って設けたものである。ここで、図７においては、樹脂５０の流れ方向は紙面垂直方向である。   The present embodiment is applicable to each of the above embodiments, and is provided with a passage 701 through which the resin 50 passes in the protrusion 700 in each of the above embodiments along the flow direction of the resin 50. Here, in FIG. 7, the flow direction of the resin 50 is a direction perpendicular to the paper surface.

この通路７０１としては、突起７００の先端部に設けられたスリット（図７（ａ）参照）や、突起７００の内部を貫通する穴（図７（ｂ）、（ｄ）参照）や、突起７００の側面に設けられたスリット（図７（ｃ）参照）が挙げられる。本実施形態によれば、上記各実施形態の効果を奏することに加えて、樹脂封止工程において、この通路７０１を樹脂５０が通過するため、樹脂５０の流れをスムーズにすることができる。   The passage 701 includes a slit (see FIG. 7A) provided at the tip of the protrusion 700, a hole (see FIGS. 7B and 7D) penetrating the inside of the protrusion 700, and the protrusion 700. The slit (refer FIG.7 (c)) provided in the side surface of this is mentioned. According to the present embodiment, in addition to the effects of the above-described embodiments, since the resin 50 passes through the passage 701 in the resin sealing step, the flow of the resin 50 can be made smooth.

また、樹脂５０は突起７００内の通路７０１を通るため、当該通路７０１を通る樹脂５０が、最終的なパッケージ形状に影響を及ぼすことはない。   Further, since the resin 50 passes through the passage 701 in the protrusion 700, the resin 50 passing through the passage 701 does not affect the final package shape.

また、この場合には、上記素子上経路６０１における半導体素子３０とこれに対向するキャビティ５０３の内面との最大距離ｈ１が、素子外経路６０２における突起７００の先端部とこれに対向するキャビティ５０３の内面との距離ｈ２よりも大きいものでなくてもよい。つまり、本実施形態では、距離ｈ１の方が距離ｈ２よりも小さくてもよい。   In this case, the maximum distance h1 between the semiconductor element 30 and the inner surface of the cavity 503 facing the semiconductor element 30 in the element upper path 601 is equal to the tip of the projection 700 in the element outer path 602 and the cavity 503 facing it. It may not be larger than the distance h2 from the inner surface. That is, in the present embodiment, the distance h1 may be smaller than the distance h2.

なぜならば、突起７００の一部が素子情景路６０１にまで存在するとき、この部分に、これらスリットや穴などの通路７０１を設ければ、これら通路７０１が半導体素子３０の直上すなわち素子上経路６０１に位置することになる。そうすれば、その通路７０１の分、半導体素子３０の直上を樹脂５０が流れる面積が増えて、実質的に素子上経路６０１における樹脂５０の流速を速めることができるためである。   This is because, when a part of the protrusion 700 is present up to the element scene path 601, if a passage 701 such as a slit or a hole is provided in this part, the passage 701 is directly above the semiconductor element 30, that is, the on-element path 601. Will be located. This is because the area of the resin 50 flowing directly above the semiconductor element 30 is increased by the amount of the passage 701, and the flow rate of the resin 50 in the element path 601 can be substantially increased.

（第４実施形態）
図８は、本発明の第４実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図であって、樹脂封止工程に用いる金型５００にワーク４００を設置した状態の概略断面を示す図である。 (Fourth embodiment)
FIG. 8 is a diagram showing a main part of a method for manufacturing a semiconductor device according to the fourth embodiment of the present invention, and is a diagram showing a schematic cross section in a state in which a workpiece 400 is installed in a mold 500 used for a resin sealing process. It is.

上記第１実施形態では、金型５００は、下型５０１と上型５０２とが合致し、その間にキャビティ５０３が形成されるものであり、突起７００は、金型５００における上型５０２の内面の素子外経路６０２に対応する部位に、設けていた（図５（ｂ）参照）。   In the first embodiment, the mold 500 is such that the lower mold 501 and the upper mold 502 are matched and a cavity 503 is formed between them, and the protrusion 700 is formed on the inner surface of the upper mold 502 in the mold 500. It was provided at a site corresponding to the element outside path 602 (see FIG. 5B).

それに対して、本実施形態では、図８に示されるように、突起７００を、金型５００における下型５０１の内面の素子外経路６０２に対応する部位に、設けている。この場合、基板としてのリードフレーム２００には、素子外経路６０２に対応する部位にて厚さ方向に貫通する開口部２０１を有するものを用いる。   On the other hand, in this embodiment, as shown in FIG. 8, the protrusion 700 is provided at a portion corresponding to the element outside path 602 on the inner surface of the lower mold 501 in the mold 500. In this case, a lead frame 200 as a substrate having an opening 201 penetrating in the thickness direction at a portion corresponding to the outside-element path 602 is used.

この開口部２０１は、基板２００に対して穴あけ加工により設けてもよいが、リードフレーム２００の場合には、通常、素子外経路６０２には、上記リード端子２０が位置するものであり、このパターニングされたリード端子２０の隙間が、当該開口部２０１として構成される。   The opening 201 may be provided by drilling the substrate 200. However, in the case of the lead frame 200, the lead terminal 20 is usually located in the outside-element path 602, and this patterning is performed. The gap between the lead terminals 20 is configured as the opening 201.

そして、突起７００は、下型５０１の内面の素子外経路６０２に対応する部位から開口部２０１を通してリードフレーム２００の一面上に突出している。なお、この場合、突起７００は、図示しない上記粘着シートを突き破ってリードフレーム２００の一面上に突出している。   The protrusion 700 protrudes on one surface of the lead frame 200 from the portion corresponding to the element outer path 602 on the inner surface of the lower mold 501 through the opening 201. In this case, the protrusion 700 protrudes on one surface of the lead frame 200 through a pressure-sensitive adhesive sheet (not shown).

本実施形態では、上記第１実施形態に比べて、突起７００が上型５０２ではなく下型５０１に設けられているという違いはあるものの、上記第１〜第３実施形態と同様の突起の形状や配置を採用することができ、その作用効果も同様である。   In this embodiment, compared to the first embodiment, the protrusion 700 is provided on the lower mold 501 instead of the upper mold 502, but the shape of the protrusion is the same as in the first to third embodiments. And the arrangement can be adopted, and the effects thereof are also the same.

（第５実施形態）
図９は、本発明の第５実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図であって、樹脂封止工程に用いる金型５００にワーク４００を設置した状態の概略平面を示す図である。 (Fifth embodiment)
FIG. 9 is a view showing a main part of a method for manufacturing a semiconductor device according to a fifth embodiment of the present invention, and showing a schematic plan view of a state in which a workpiece 400 is installed in a mold 500 used for a resin sealing process. It is.

上記第１実施形態では、上記図５（ａ）に示したように、素子上経路６０１において、半導体素子３０は、素子上経路６０１に沿って間隔を空けて２個配列されており、素子上経路６０１における半導体素子３０間の位置を通り且つ素子上経路６０１および素子外経路６０２と直交するダイシングラインＡは、１本であった。そして、この１本のダイシングラインＡに対して突起７００を設けていた。   In the first embodiment, as shown in FIG. 5A, in the on-element path 601, two semiconductor elements 30 are arranged at intervals along the on-element path 601. There was one dicing line A passing through the position between the semiconductor elements 30 in the path 601 and orthogonal to the on-element path 601 and the outside element path 602. And the protrusion 700 was provided with respect to this one dicing line A.

それに対して、図９では、素子上経路６０１において、半導体素子３０が素子上経路６０１に沿って間隔を空けて３個以上配列され、ダイシングラインＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄも複数本存在する。このような場合には、各ダイシングラインＡ〜Ｄに対応して、複数箇所、突起７００を設けてもよい。   On the other hand, in FIG. 9, three or more semiconductor elements 30 are arranged at intervals along the element path 601 in the element path 601, and a plurality of dicing lines A, B, C, and D exist. In such a case, a plurality of protrusions 700 may be provided corresponding to the dicing lines A to D.

本実施形態によれば、上記第１実施形態と同様の作用効果を発揮できる。そして、本実施形態においても、上記した各実施形態のような種々の突起７００の形状を採用することができ、また、上型５０２だけでなく、下型５０１へ突起７００を配置することも可能である。   According to the present embodiment, the same operational effects as those of the first embodiment can be exhibited. Also in this embodiment, the shape of various protrusions 700 as in the above-described embodiments can be adopted, and the protrusion 700 can be disposed not only on the upper mold 502 but also on the lower mold 501. It is.

（第６実施形態）
図１０は、本発明の第６実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図であって、樹脂封止工程に用いる金型５００にワーク４００を設置した状態の概略断面を示す図である。本実施形態では、上型５０２側に突起７００を設けている。 (Sixth embodiment)
FIG. 10 is a diagram showing a main part of a method for manufacturing a semiconductor device according to the sixth embodiment of the present invention, and is a diagram showing a schematic cross section in a state where a workpiece 400 is installed in a mold 500 used for a resin sealing process. It is. In the present embodiment, the protrusion 700 is provided on the upper mold 502 side.

本実施形態の製造方法では、図１０（ａ）に示されるように、金型５００の上型５０２のうち突起７００が設けられる部位に、当該上型５０２の外側からキャビティ５０３へ貫通する貫通穴５１０を設けている。   In the manufacturing method of the present embodiment, as shown in FIG. 10A, a through-hole penetrating from the outside of the upper mold 502 to the cavity 503 in a portion of the upper mold 502 of the mold 500 where the protrusion 700 is provided. 510 is provided.

そして、図１０（ｂ）に示されるように、突起７００が設けられている部材７０２を、上型５０２の外側から貫通穴５１０に挿入して、キャビティ５０３内に突起７００を突出させる。   Then, as shown in FIG. 10B, the member 702 provided with the protrusion 700 is inserted into the through hole 510 from the outside of the upper mold 502 to project the protrusion 700 into the cavity 503.

このとき、当該部材７０２は貫通穴５１０に対して、樹脂５０の漏れがないように隙間なく挿入されるとともに、貫通穴５１０に対して摺動可能となっており、樹脂封止工程中に、キャビティ５０３内における突起７００の突出高さを可変としている。   At this time, the member 702 is inserted into the through hole 510 without a gap so that the resin 50 does not leak, and is slidable with respect to the through hole 510. During the resin sealing process, The protrusion height of the protrusion 700 in the cavity 503 is variable.

そして、樹脂封止工程では、部材７０２を貫通穴５０１に摺動させ、上方へ引き上げるように移動させる。それによって、樹脂封止工程中は、キャビティ５０３内の突起７００の突出高さが、時間経過とともに低くなっていく。そして、樹脂５０の注入終了後には、図１０（ｃ）に示されるように、部材７０２を完全に引き上げる。この部材７０２の移動はサーボモータなどにより可能である。   In the resin sealing step, the member 702 is slid into the through hole 501 and moved so as to be pulled up. Accordingly, during the resin sealing process, the protrusion height of the protrusion 700 in the cavity 503 decreases with time. And after completion | finish of injection | pouring of the resin 50, as FIG.10 (c) shows, the member 702 is pulled up completely. The member 702 can be moved by a servo motor or the like.

本実施形態の製造方法によれば、素子外経路６０２に位置するボンディングワイヤ４０を樹脂５０で封止するまでは、突起７００を上記各実施形態と同様の突出状態としておき、ワイヤ４０の封止後には、突起７００を引き上げながら樹脂封止を続けることで、突起７００による樹脂５０の未充填部分を樹脂５０で埋めることができる。その結果、図１０（ｃ）に示されるように、平坦なパッケージ形状を実現できる。   According to the manufacturing method of the present embodiment, until the bonding wire 40 positioned in the outside-element path 602 is sealed with the resin 50, the protrusion 700 is kept in the protruding state similar to that in each of the above embodiments, and the wire 40 is sealed. After that, by continuing the resin sealing while pulling up the protrusion 700, an unfilled portion of the resin 50 by the protrusion 700 can be filled with the resin 50. As a result, a flat package shape can be realized as shown in FIG.

なお、上記図１０では、上型５０２に貫通穴５１０を設け、この貫通穴５１０を介して上型５０２において突起７００を可変とした例を示したが、下型５０１においても同様に本実施形態が適用できることは、いうまでもない。   10 shows an example in which a through hole 510 is provided in the upper mold 502 and the protrusion 700 is variable in the upper mold 502 through the through hole 510, the present embodiment is similarly applied to the lower mold 501. Needless to say, is applicable.

また、本実施形態においては、樹脂封止工程中に樹脂５０の流れを圧力センサなどで検出し、この樹脂５０の流れに応じて突起７００の位置を移動させることで、より精密に流れを制御することも可能である。また、このことは、金型５００におけるプランジャの圧力制御と同時に行うと、なお良い。   In the present embodiment, the flow of the resin 50 is detected by a pressure sensor or the like during the resin sealing process, and the position of the protrusion 700 is moved in accordance with the flow of the resin 50, thereby controlling the flow more precisely. It is also possible to do. It is even better if this is done simultaneously with the pressure control of the plunger in the mold 500.

（第７実施形態）
図１１は、本発明の第７実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図であって、（ａ）は樹脂封止工程に用いる金型５００の概略平面図、（ｂ）および（ｃ）は、本実施形態における突起７００が設けられている部材７０２の概略側面図である。本実施形態では、上型５０２側に突起７００を設けている。 (Seventh embodiment)
11A and 11B are diagrams showing a main part of a method for manufacturing a semiconductor device according to a seventh embodiment of the present invention, wherein FIG. 11A is a schematic plan view of a mold 500 used for a resin sealing process, and FIG. (C) is a schematic side view of the member 702 provided with the protrusion 700 in the present embodiment. In the present embodiment, the protrusion 700 is provided on the upper mold 502 side.

図１１に示されるように、本実施形態では、金型５００の上型５０２うち突起７００が設けられる部位に、上型５０２の外側からキャビティ（図１１では図示せず）へ貫通する貫通穴５１０を設けている。   As shown in FIG. 11, in the present embodiment, in the upper mold 502 of the mold 500, a through hole 510 that penetrates from the outside of the upper mold 502 to a cavity (not shown in FIG. 11) is provided. Is provided.

この貫通穴５１０は、上記第６実施形態の貫通穴５１０と同様であり、突起７００が設けられている部材７０２を、上型５０２の外側から貫通穴５１０に挿入して突起７００をキャビティ内に突出させるようになっている。   The through hole 510 is the same as the through hole 510 of the sixth embodiment, and the member 702 provided with the protrusion 700 is inserted into the through hole 510 from the outside of the upper mold 502 to place the protrusion 700 into the cavity. It is designed to protrude.

もちろん本実施形態においても、部材７０２は貫通穴５１０に対して、樹脂５０の漏れがないように隙間なく挿入される。このようにすることにより、本実施形態では、突起７００を取り替え可能としている。たとえば、図１１（ｂ）、（ｃ）に示されるような、異なる突起７００を有する部材７０２同士を互いに取り替えることができる。   Of course, also in this embodiment, the member 702 is inserted into the through hole 510 without any gap so that the resin 50 does not leak. By doing so, in this embodiment, the protrusion 700 can be replaced. For example, members 702 having different protrusions 700 as shown in FIGS. 11B and 11C can be replaced with each other.

それにより、上記第１実施形態と同様の効果が発揮できるとともに、ワーク４００の種類に応じて、樹脂封止工程における突起７００の突出高さや幅、位置などを設定でき、一つの金型５００で様々な形状のパッケージに対応することが可能となる。   Thereby, the same effects as those of the first embodiment can be exhibited, and the protrusion height, width, position, etc. of the protrusion 700 in the resin sealing process can be set according to the type of the workpiece 400. It becomes possible to deal with packages of various shapes.

なお、上記図１１では、上型５０２に貫通穴５１０を設け、この貫通穴５１０を介して上型５０２において突起７００を取り替え可能とした例を示したが、下型５０１においても同様に本実施形態が適用できることは、いうまでもない。   11 shows an example in which a through hole 510 is provided in the upper mold 502 and the protrusion 700 can be replaced in the upper mold 502 through the through hole 510. However, the present embodiment is similarly applied to the lower mold 501. Needless to say, the form is applicable.

（第８実施形態）
上記各実施形態では、突起７００は、金型５００と同様の金属などよりなるものであったが、上記した第１〜第５の各実施形態における突起７００を、半導体装置１００における樹脂５０と同じ材質の樹脂よりなるものとしてもよい。 (Eighth embodiment)
In each of the above embodiments, the protrusion 700 is made of the same metal as the mold 500. However, the protrusion 700 in each of the first to fifth embodiments is the same as the resin 50 in the semiconductor device 100. It may be made of a resin material.

たとえば、突起７００としては、樹脂５０を構成するエポキシ樹脂よりなるものにできる。それによれば、このような樹脂よりなる突起７００が樹脂封止中に、流動する樹脂５０の熱によって当該樹脂５０中に溶け込んだり、または、樹脂封止後のワーク４００を金型５００から取り出すときに、樹脂よりなる突起７００が、ワーク４００と一緒に金型５００から外され樹脂５０と一体化したりする。   For example, the protrusion 700 can be made of an epoxy resin constituting the resin 50. According to this, when the protrusion 700 made of such resin is melted into the resin 50 by the heat of the flowing resin 50 during resin sealing, or the work 400 after resin sealing is taken out from the mold 500. In addition, the protrusion 700 made of resin is removed from the mold 500 together with the workpiece 400 and integrated with the resin 50.

また、この樹脂よりなる突起７００はダイシングで切ることが可能なため、ダイシングへの影響はない。こうして、本実施形態によれば、上記各実施形態の効果に加えて、突起７００によるパッケージ形状への影響を極力少ないものにできる。   Further, since the protrusion 700 made of resin can be cut by dicing, there is no influence on dicing. Thus, according to this embodiment, in addition to the effects of the above embodiments, the influence of the protrusion 700 on the package shape can be minimized.

また、本実施形態においては、突起７００の全体を、樹脂５０と同じ材質の樹脂よりなるものとしなくてもよく、その先端部側の部分のみを樹脂５０と同じ材質の樹脂よりなるものとしてもよい。その例を図１２に示す。   Further, in the present embodiment, the entire projection 700 may not be made of the same material as the resin 50, and only the tip side portion may be made of the same material as the resin 50. Good. An example is shown in FIG.

図１２は、本実施形態の製造方法における樹脂封止工程の一例を示す工程図であり、（ａ）は樹脂５０の注入前の状態を示す概略断面図、（ｂ）は樹脂５０の充填後の状態を示す概略断面図である。ここでは、上記図８と同様に、下型５０１側に突起７００を設けている。   12A and 12B are process diagrams showing an example of a resin sealing process in the manufacturing method of the present embodiment. FIG. 12A is a schematic cross-sectional view showing a state before the resin 50 is injected, and FIG. It is a schematic sectional drawing which shows this state. Here, as in FIG. 8, the protrusion 700 is provided on the lower die 501 side.

この場合、図１２（ａ）に示されるように、突起７００の先端部を、樹脂５０と同じ材質の樹脂よりなる樹脂部７００ａとして構成している。この樹脂部７００ａは、金属製の突起７００の先端に樹脂の塊を載せることにより形成することができる。   In this case, as shown in FIG. 12A, the tip of the protrusion 700 is configured as a resin portion 700 a made of the same material as the resin 50. The resin portion 700a can be formed by placing a lump of resin on the tip of the metal protrusion 700.

そして、樹脂封止工程を行うと、流動する樹脂５０の熱により、樹脂部７００ａが樹脂５０中に溶け込み、一体化する。そのため、図１２（ｂ）に示されるように、樹脂封止の終了後は、樹脂部７００ａは無くなる。なお、上記図１２では、下型５０１に突起７００を設けた例を示したが、上型５０２においても同様に、樹脂部７００ａを適用できることは、いうまでもない。   And if a resin sealing process is performed, the resin part 700a will melt | dissolve in the resin 50 with the heat | fever of the resin 50 which flows, and it will integrate. Therefore, as shown in FIG. 12B, the resin portion 700a disappears after the resin sealing is completed. 12 shows an example in which the protrusion 700 is provided on the lower mold 501, it goes without saying that the resin portion 700a can be applied to the upper mold 502 as well.

（第９実施形態）
上記実施形態では、実質的に素子外経路６０２にのみ突起７００を設けたが、素子上経路６０１にも突起を設けてもよい。ただし、この場合は、素子上経路６０１に突起が存在しても、素子上経路６０１の流速が素子外経路６０２の流速に対して同等以上の大きさとなるようにすることが肝要である。 (Ninth embodiment)
In the above-described embodiment, the protrusion 700 is provided substantially only in the element outside path 602. However, the protrusion on the element path 601 may be provided. However, in this case, it is important that the flow speed of the on-element path 601 is equal to or greater than the flow speed of the outside-element path 602 even if protrusions are present in the on-element path 601.

図１３は、本発明の第９実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図であって、（ａ）は樹脂封止工程に用いる金型５００にワーク４００を設置した状態の概略断面図、（ｂ）は（ａ）中の突起７００、７００ｂの概略平面図である。   FIG. 13 is a view showing the main part of the semiconductor device manufacturing method according to the ninth embodiment of the present invention, wherein FIG. 13A is a schematic view showing a state in which a workpiece 400 is installed in a mold 500 used for a resin sealing process. Sectional drawing (b) is a schematic plan view of protrusions 700 and 700b in (a).

図１３に示されるように、素子上経路にも突起７００ｂが存在するが、ここでは、この素子上経路の突起７００ｂには、スリット７００ｃが設けられ、このスリット７００ｃは半導体素子３０の直上に樹脂５０を案内するガイド７００ｃとして構成されている。これにより、素子上経路に突起７００ｂが存在しても、素子上経路の流速を遅くすることなく、素子外経路の流速と同等以上にできる。   As shown in FIG. 13, the protrusion 700 b is also present on the element path, but here, the protrusion 700 b of the element path is provided with a slit 700 c, and the slit 700 c is a resin directly above the semiconductor element 30. 50 as a guide 700c for guiding 50. As a result, even if the protrusion 700b exists in the on-element path, the flow speed of the on-element path can be made equal to or higher than the flow speed of the outside path without slowing down the on-element path.

（他の実施形態）
なお、上記各実施形態では、突起７００は、素子上経路６０１における半導体素子３０間の位置を通り且つ素子上経路６０１および素子外経路６０２と直交するラインＡ〜Ｄに部分的に位置したが、素子外経路６０２の全域に渡って延びるように配置されていてもよい。 (Other embodiments)
In each of the above embodiments, the protrusion 700 is partially located on lines A to D that pass through the position between the semiconductor elements 30 in the on-element path 601 and orthogonal to the on-element path 601 and the outside element path 602. You may arrange | position so that it may extend over the whole area | region of the element outside path | route 602. FIG.

また、基板としては、上記のリードフレーム２００以外にも、半導体素子３０が搭載される部分がヒートシンクであり、このヒートシンクをリードフレームにかしめなどによって固定したもの等であってもよい。   Further, as the substrate, in addition to the lead frame 200 described above, a portion where the semiconductor element 30 is mounted may be a heat sink, and the heat sink may be fixed to the lead frame by caulking or the like.

また、上記各実施形態では、図５などに示したように、複数個の半導体素子３０は、基板としてのリードフレーム２００の一面において格子状に配列されたものであり、この格子状配列における複数個の半導体素子３０の列に対応して素子上経路６０１が構成され、当該複数個の半導体素子３０の列の間の部位に対応して素子外経路６０２が構成されている。   Further, in each of the above embodiments, as shown in FIG. 5 and the like, the plurality of semiconductor elements 30 are arranged in a grid pattern on one surface of the lead frame 200 as a substrate. An on-element path 601 is configured corresponding to the row of semiconductor elements 30, and an out-of-element path 602 is configured corresponding to a portion between the columns of the plurality of semiconductor elements 30.

ここにおいて、基板の一面上に複数個の半導体素子が間隔を空けて平面的に配列されたワークを封止するものであって、金型内を流れる樹脂の経路として上記素子上経路と、上記素子外経路とが同一方向に沿って並列に存在するものであるならば、上記した格子状の半導体素子の配列でなくてもよい。   Here, a work in which a plurality of semiconductor elements are arranged in a plane on one surface of the substrate is sealed, and the above-mentioned element path as a path of the resin flowing in the mold, As long as the path outside the element exists in parallel along the same direction, the arrangement of the above-described lattice-shaped semiconductor elements may not be required.

また、ワークとしては、個々の半導体素子が基板の一面にボンディングワイヤ４０を介して接続されたものでなくてもよく、たとえば、ボンディングワイヤに代えて、バンプなどを用い、フリップチップ実装による半導体素子の搭載を行ってもよい。   Further, the work may not be such that individual semiconductor elements are connected to one surface of the substrate via bonding wires 40. For example, instead of bonding wires, bumps or the like are used, and semiconductor elements by flip chip mounting are used. May be mounted.

また、金型としては、上記各実施形態に示されるように、下型５０１と上型５０２とを合致させ、これら下型５０１と上型５０２との間にキャビティ５０３が形成されるものに限定されるものではない。   Further, as shown in the above embodiments, the mold is limited to a mold in which the lower mold 501 and the upper mold 502 are matched and a cavity 503 is formed between the lower mold 501 and the upper mold 502. Is not to be done.

本発明の第１実施形態に係る半導体装置の概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a semiconductor device according to a first embodiment of the present invention. （ａ）〜（ｆ）は第１実施形態の半導体装置の製造方法を工程順に示す工程図である。(A)-(f) is process drawing which shows the manufacturing method of the semiconductor device of 1st Embodiment in process order. （ａ）は上記図２（ｅ）の上面図、（ｂ）は上記図２（ｆ）の上面図である。FIG. 2A is a top view of FIG. 2E, and FIG. 2B is a top view of FIG. 第１実施形態の製造方法の樹脂封止工程に用いる金型にワークを設置した状態を示す概略断面である。It is a schematic cross section which shows the state which installed the workpiece | work in the metal mold | die used for the resin sealing process of the manufacturing method of 1st Embodiment. （ａ）は上記図４の概略上面図、（ｂ）は（ａ）の一点鎖線Ａに沿った概略断面図である。(A) is a schematic top view of the said FIG. 4, (b) is a schematic sectional drawing in alignment with the dashed-dotted line A of (a). 本発明の第２実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図であって、（ａ）は第１の例、（ｂ）は第２の例を示す。It is a figure which shows the principal part of the manufacturing method of the semiconductor device which concerns on 2nd Embodiment of this invention, Comprising: (a) shows a 1st example and (b) shows a 2nd example. 本発明の第３実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of the manufacturing method of the semiconductor device which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of the manufacturing method of the semiconductor device which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第５実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of the manufacturing method of the semiconductor device which concerns on 5th Embodiment of this invention. 本発明の第６実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of the manufacturing method of the semiconductor device which concerns on 6th Embodiment of this invention. 図１１は、本発明の第７実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図であって、（ａ）は樹脂封止工程に用いる金型の概略平面図、（ｂ）および（ｃ）は、本実施形態における突起が設けられている部材の概略側面図である。11A and 11B are diagrams showing a main part of a method for manufacturing a semiconductor device according to a seventh embodiment of the present invention, wherein FIG. 11A is a schematic plan view of a mold used for a resin sealing process, and FIGS. c) is a schematic side view of a member provided with a protrusion in the present embodiment. 本発明の第８実施形態の製造方法における樹脂封止工程の一例を示す工程図であり、（ａ）は樹脂の注入前の状態を示す概略断面図、（ｂ）は樹脂の充填後の状態を示す概略断面図である。It is process drawing which shows an example of the resin sealing process in the manufacturing method of 8th Embodiment of this invention, (a) is a schematic sectional drawing which shows the state before pouring of resin, (b) is the state after filling with resin. It is a schematic sectional drawing which shows. 本発明の第９実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を示す図であって、（ａ）は樹脂封止工程に用いる金型にワークを設置した状態の概略断面図、（ｂ）は（ａ）中の突起の概略平面図である。It is a figure which shows the principal part of the manufacturing method of the semiconductor device which concerns on 9th Embodiment of this invention, Comprising: (a) is a schematic sectional drawing of the state which installed the workpiece | work in the metal mold | die used for a resin sealing process, (b). FIG. 2 is a schematic plan view of a protrusion in (a). 本発明者の試作としての製造方法における金型にワークを設置した状態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。It is a figure which shows the state which installed the workpiece | work in the metal mold | die in the manufacturing method as a trial manufacture of this inventor, (a) is a top view, (b) is sectional drawing. 上記図１４に示される製造方法の樹脂封止工程における樹脂の進行を示す平面図である。It is a top view which shows progress of resin in the resin sealing process of the manufacturing method shown by the said FIG. 上記図１４に示される製造方法の樹脂封止工程におけるワイヤ流れを示す図である。It is a figure which shows the wire flow in the resin sealing process of the manufacturing method shown by the said FIG.

符号の説明Explanation of symbols

３０…半導体素子、５０…樹脂、２００…基板としてのリードフレーム、
２０１…リードフレームの開口部、４００…ワーク、
５００…金型、５０１…金型の下型、５０２…金型の上型、５０３…キャビティ、
５１０…金型の貫通穴、６０１…素子上経路、６０２…素子外経路、７００…突起、
Ａ…素子上経路における半導体素子間の位置を通り且つ素子上経路および素子外経路と直交するダイシングライン、
ｈ１…素子上経路における半導体素子とこれに対向するキャビティの内面との最大距離、ｈ２…素子外経路における突起の先端部とこれに対向するキャビティの内面との距離。 30 ... Semiconductor element, 50 ... Resin, 200 ... Lead frame as substrate,
201: lead frame opening, 400 ... work,
500: mold, 501: lower mold, 502: upper mold, 503: cavity,
510... Die through hole, 601... On element path, 602.
A: A dicing line passing through a position between the semiconductor elements in the path on the element and orthogonal to the path on the element and the path outside the element,
h1... Maximum distance between the semiconductor element in the on-element path and the inner surface of the cavity facing the semiconductor element. h2 Distance between the tip of the protrusion in the path outside the element and the inner surface of the cavity facing this.

Claims (11)

基板（２００）の一面上に複数個の半導体素子（３０）が間隔を空けて平面的に配列されたワーク（４００）を用意し、
このワーク（４００）を樹脂成形用の金型（５００）のキャビティ（５０３）内に設置し、前記キャビティ（５０３）内に樹脂（５０）を注入することにより、前記基板（２００）の一面側にて前記複数個の半導体素子（３０）を、前記樹脂（５０）で封止する樹脂封止工程を備え、
この樹脂封止工程では、前記キャビティ（５０３）内を流れる前記樹脂（５０）の経路として、前記基板（２００）の一面上のうち前記半導体素子（３０）の直上を前記樹脂（５０）が流れる素子上経路（６０１）と、前記基板（２００）の一面上のうち前記半導体素子（３０）の存在しない部位のみを前記樹脂（５０）が流れる素子外経路（６０２）とが同一方向に沿って並列に存在する半導体装置の製造方法において、
前記金型（５００）に対し、前記素子上経路（６０１）を流れる前記樹脂（５０）の流速が前記素子外経路（６０２）を流れる前記樹脂（５０）の流速に対して同等以上の大きさとなるように、前記キャビティ（５０３）の内面の前記素子外経路（６０２）に対応する部位から突出する突起（７００）を設け、
この突起（７００）を備える前記金型（５００）を用いて前記樹脂（５０）による封止を行う半導体装置の製造方法であって、
前記突起（７００）には、前記樹脂（５０）が通り抜ける通路（７０１）が前記樹脂（５０）の流れ方向に沿って設けられていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 Preparing a work (400) in which a plurality of semiconductor elements (30) are arranged in a plane on one surface of a substrate (200) at intervals;
The workpiece (400) is placed in a cavity (503) of a mold (500) for resin molding, and the resin (50) is injected into the cavity (503), whereby one surface side of the substrate (200). A resin sealing step of sealing the plurality of semiconductor elements (30) with the resin (50),
In this resin sealing step, the resin (50) flows directly above the semiconductor element (30) on one surface of the substrate (200) as a path of the resin (50) flowing in the cavity (503). An on-element path (601) and an out-element path (602) through which the resin (50) flows only on a portion of the substrate (200) where the semiconductor element (30) does not exist along the same direction. In the manufacturing method of semiconductor devices existing in parallel,
The flow rate of the resin (50) flowing through the on-element path (601) with respect to the mold (500) is equal to or greater than the flow rate of the resin (50) flowing through the outside-element path (602). A protrusion (700) protruding from a portion of the inner surface of the cavity (503) corresponding to the outside-element path (602),
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein sealing is performed with the resin (50) using the mold (500) provided with the protrusion (700).
The protrusion (700) is provided with a passage (701) through which the resin (50) passes along the flow direction of the resin (50). 前記金型（５００）は、前記ワーク（４００）における前記基板（２００）の一面とは反対側の他面側に位置する下型（５０１）と、前記ワーク（４００）における前記基板（２００）の一面側に位置する上型（５０２）とを合致させ、これら下型（５０１）と上型（５０２）との間に前記キャビティ（５０３）が形成されるものであり、
前記突起（７００）は、前記上型（５０２）の内面の前記素子外経路（６０２）に対応する部位に、設けることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。 The mold (500) includes a lower mold (501) positioned on the other surface side opposite to the one surface of the substrate (200) in the workpiece (400), and the substrate (200) in the workpiece (400). The upper mold (502) located on one side of the upper mold (502) is matched, and the cavity (503) is formed between the lower mold (501) and the upper mold (502).
2. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 1, wherein the protrusion (700) is provided at a portion of the inner surface of the upper mold (502) corresponding to the external path (602). 基板（２００）の一面上に複数個の半導体素子（３０）が間隔を空けて平面的に配列されたワーク（４００）を用意し、
このワーク（４００）を樹脂成形用の金型（５００）のキャビティ（５０３）内に設置し、前記キャビティ（５０３）内に樹脂（５０）を注入することにより、前記基板（２００）の一面側にて前記複数個の半導体素子（３０）を、前記樹脂（５０）で封止する樹脂封止工程を備え、
この樹脂封止工程では、前記キャビティ（５０３）内を流れる前記樹脂（５０）の経路として、前記基板（２００）の一面上のうち前記半導体素子（３０）の直上を前記樹脂（５０）が流れる素子上経路（６０１）と、前記基板（２００）の一面上のうち前記半導体素子（３０）の存在しない部位のみを前記樹脂（５０）が流れる素子外経路（６０２）とが同一方向に沿って並列に存在する半導体装置の製造方法において、
前記金型（５００）に対し、前記素子上経路（６０１）を流れる前記樹脂（５０）の流速が前記素子外経路（６０２）を流れる前記樹脂（５０）の流速に対して同等以上の大きさとなるように、前記キャビティ（５０３）の内面の前記素子外経路（６０２）に対応する部位から突出する突起（７００）を設け、
この突起（７００）を備える前記金型（５００）を用いて前記樹脂（５０）による封止を行う半導体装置の製造方法であって、
前記金型（５００）は、前記ワーク（４００）における前記基板（２００）の一面とは反対側の他面側に位置する下型（５０１）と、前記ワーク（４００）における前記基板（２００）の一面側に位置する上型（５０２）とを合致させ、これら下型（５０１）と上型（５０２）との間に前記キャビティ（５０３）が形成されるものであり、
前記ワーク（４００）における前記基板（２００）として、前記素子外経路（６０２）に対応する部位にて厚さ方向に貫通する開口部（２０１）を有するものを用い、
前記突起（７００）は、前記下型（５０１）の内面の前記素子外経路（６０２）に対応する部位から前記開口部（２０１）を通して前記基板（２００）の一面上に突出するように、設けることを特徴とする半導体装置の製造方法。 Preparing a work (400) in which a plurality of semiconductor elements (30) are arranged in a plane on one surface of a substrate (200) at intervals;
The workpiece (400) is placed in a cavity (503) of a mold (500) for resin molding, and the resin (50) is injected into the cavity (503), whereby one surface side of the substrate (200). A resin sealing step of sealing the plurality of semiconductor elements (30) with the resin (50),
In this resin sealing step, the resin (50) flows directly above the semiconductor element (30) on one surface of the substrate (200) as a path of the resin (50) flowing in the cavity (503). An on-element path (601) and an out-element path (602) through which the resin (50) flows only on a portion of the substrate (200) where the semiconductor element (30) does not exist along the same direction. In the manufacturing method of semiconductor devices existing in parallel,
The flow rate of the resin (50) flowing through the on-element path (601) with respect to the mold (500) is equal to or greater than the flow rate of the resin (50) flowing through the outside-element path (602). A protrusion (700) protruding from a portion of the inner surface of the cavity (503) corresponding to the outside-element path (602),
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein sealing is performed with the resin (50) using the mold (500) provided with the protrusion (700).
The mold (500) includes a lower mold (501) positioned on the other surface side opposite to the one surface of the substrate (200) in the workpiece (400), and the substrate (200) in the workpiece (400). The upper mold (502) located on one side of the upper mold (502) is matched, and the cavity (503) is formed between the lower mold (501) and the upper mold (502).
As the substrate (200) in the workpiece (400), a substrate having an opening (201) penetrating in the thickness direction at a portion corresponding to the external path (602) is used.
The protrusion (700) is provided so as to protrude from a portion of the inner surface of the lower mold (501) corresponding to the external element path (602) to one surface of the substrate (200) through the opening (201). A method for manufacturing a semiconductor device. 前記突起（７００）には、前記樹脂（５０）が通り抜ける通路（７０１）が前記樹脂（５０）の流れ方向に沿って設けられていることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。   The semiconductor device according to claim 3, wherein a passage (701) through which the resin (50) passes is provided in the protrusion (700) along a flow direction of the resin (50). Method. 基板（２００）の一面上に複数個の半導体素子（３０）が間隔を空けて平面的に配列されたワーク（４００）を用意し、
このワーク（４００）を樹脂成形用の金型（５００）のキャビティ（５０３）内に設置し、前記キャビティ（５０３）内に樹脂（５０）を注入することにより、前記基板（２００）の一面側にて前記複数個の半導体素子（３０）を、前記樹脂（５０）で封止する樹脂封止工程を備え、
この樹脂封止工程では、前記キャビティ（５０３）内を流れる前記樹脂（５０）の経路として、前記基板（２００）の一面上のうち前記半導体素子（３０）の直上を前記樹脂（５０）が流れる素子上経路（６０１）と、前記基板（２００）の一面上のうち前記半導体素子（３０）の存在しない部位のみを前記樹脂（５０）が流れる素子外経路（６０２）とが同一方向に沿って並列に存在する半導体装置の製造方法において、
前記金型（５００）に対し、前記素子上経路（６０１）を流れる前記樹脂（５０）の流速が前記素子外経路（６０２）を流れる前記樹脂（５０）の流速に対して同等以上の大きさとなるように、前記キャビティ（５０３）の内面の前記素子外経路（６０２）に対応する部位から突出する突起（７００）を設け、
この突起（７００）を備える前記金型（５００）を用いて前記樹脂（５０）による封止を行う半導体装置の製造方法であって、
前記突起（７００）を、前記樹脂（５０）と同じ材質の樹脂よりなるものとしたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 Preparing a work (400) in which a plurality of semiconductor elements (30) are arranged in a plane on one surface of a substrate (200) at intervals;
The workpiece (400) is placed in a cavity (503) of a mold (500) for resin molding, and the resin (50) is injected into the cavity (503), whereby one surface side of the substrate (200). A resin sealing step of sealing the plurality of semiconductor elements (30) with the resin (50),
In this resin sealing step, the resin (50) flows directly above the semiconductor element (30) on one surface of the substrate (200) as a path of the resin (50) flowing in the cavity (503). An on-element path (601) and an out-element path (602) through which the resin (50) flows only on a portion of the substrate (200) where the semiconductor element (30) does not exist along the same direction. In the manufacturing method of semiconductor devices existing in parallel,
The flow rate of the resin (50) flowing through the on-element path (601) with respect to the mold (500) is equal to or greater than the flow rate of the resin (50) flowing through the outside-element path (602). A protrusion (700) protruding from a portion of the inner surface of the cavity (503) corresponding to the outside-element path (602),
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein sealing is performed with the resin (50) using the mold (500) provided with the protrusion (700).
The method of manufacturing a semiconductor device, wherein the protrusion (700) is made of the same material as the resin (50). 前記突起（７００）には、前記樹脂（５０）が通り抜ける通路（７０１）が前記樹脂（５０）の流れ方向に沿って設けられていることを特徴とする請求項５に記載の半導体装置の製造方法。   The semiconductor device according to claim 5, wherein a passage (701) through which the resin (50) passes is provided in the protrusion (700) along a flow direction of the resin (50). Method. 前記金型（５００）は、前記ワーク（４００）における前記基板（２００）の一面とは反対側の他面側に位置する下型（５０１）と、前記ワーク（４００）における前記基板（２００）の一面側に位置する上型（５０２）とを合致させ、これら下型（５０１）と上型（５０２）との間に前記キャビティ（５０３）が形成されるものであり、
前記突起（７００）は、前記上型（５０２）の内面の前記素子外経路（６０２）に対応する部位に、設けることを特徴とする請求項５または６に記載の半導体装置の製造方法。 The mold (500) includes a lower mold (501) positioned on the other surface side opposite to the one surface of the substrate (200) in the workpiece (400), and the substrate (200) in the workpiece (400). The upper mold (502) located on one side of the upper mold (502) is matched, and the cavity (503) is formed between the lower mold (501) and the upper mold (502).
The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 5, wherein the protrusion (700) is provided at a portion of the inner surface of the upper mold (502) corresponding to the external path (602). 前記金型（５００）は、前記ワーク（４００）における前記基板（２００）の一面とは反対側の他面側に位置する下型（５０１）と、前記ワーク（４００）における前記基板（２００）の一面側に位置する上型（５０２）とを合致させ、これら下型（５０１）と上型（５０２）との間に前記キャビティ（５０３）が形成されるものであり、
前記ワーク（４００）における前記基板（２００）として、前記素子外経路（６０２）に対応する部位にて厚さ方向に貫通する開口部（２０１）を有するものを用い、
前記突起（７００）は、前記下型（５０１）の内面の前記素子外経路（６０２）に対応する部位から前記開口部（２０１）を通して前記基板（２００）の一面上に突出するように、設けることを特徴とする請求項５または６に記載の半導体装置の製造方法。 The mold (500) includes a lower mold (501) positioned on the other surface side opposite to the one surface of the substrate (200) in the workpiece (400), and the substrate (200) in the workpiece (400). The upper mold (502) located on one side of the upper mold (502) is matched, and the cavity (503) is formed between the lower mold (501) and the upper mold (502).
As the substrate (200) in the workpiece (400), a substrate having an opening (201) penetrating in the thickness direction at a portion corresponding to the external path (602) is used.
The protrusion (700) is provided so as to protrude from a portion of the inner surface of the lower mold (501) corresponding to the external element path (602) to one surface of the substrate (200) through the opening (201). A method for manufacturing a semiconductor device according to claim 5 or 6. 前記素子上経路（６０１）において、前記半導体素子（３０）は、前記素子上経路（６０１）に沿って間隔を空けて複数個配列されており、
前記樹脂（５０）で封止された後の前記ワーク（４００）は、前記素子上経路（６０１）における前記半導体素子（３０）間の位置を通り且つ前記素子上経路（６０１）および前記素子外経路（６０２）と直交するライン（Ａ）にて、ダイシングカットされるようになっており、
前記突起（７００）は、前記キャビティ（５０３）の内面の前記素子外経路（６０２）に対応する部位のうち前記ダイシングカットされるライン（Ａ）に対応した部位に、設けることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の半導体装置の製造方法。 In the on-element path (601), a plurality of the semiconductor elements (30) are arranged at intervals along the on-element path (601).
The workpiece (400) after being sealed with the resin (50) passes through the position between the semiconductor elements (30) in the on-element path (601), and passes between the on-element path (601) and the outside of the element. The line (A) orthogonal to the path (602) is diced and cut.
The protrusion (700) is provided in a portion corresponding to the dicing cut line (A) in a portion corresponding to the outside path (602) of the inner surface of the cavity (503). Item 9. A method for manufacturing a semiconductor device according to any one of Items 1 to 8. 前記キャビティ（５０３）に前記ワーク（４００）が設置された状態を、前記素子上経路（６０１）および前記素子外経路（６０２）と直交する断面と正対する方向から眺めたとき、
前記素子上経路（６０１）における前記半導体素子（３０）とこれに対向する前記キャビティ（５０３）の内面との最大距離（ｈ１）が、前記素子外経路（６０２）における前記突起（７００）の先端部とこれに対向する前記キャビティ（５０３）の内面との距離（ｈ２）よりも大きくなるように、前記突起（７００）を設けることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１つに記載の半導体装置の製造方法。 When the state where the workpiece (400) is installed in the cavity (503) is viewed from a direction facing a cross section perpendicular to the on-element path (601) and the outside-element path (602),
The maximum distance (h1) between the semiconductor element (30) in the on-element path (601) and the inner surface of the cavity (503) facing the semiconductor element (30) is the tip of the protrusion (700) in the outside path (602). The protrusion (700) is provided so as to be larger than a distance (h2) between the portion and an inner surface of the cavity (503) facing the portion. Semiconductor device manufacturing method. 前記突起（７００）の突出高さは、前記突起（７００）と隣り合う前記素子上経路（６０１）における前記半導体素子（３０）の厚さよりも大きいものであることを特徴とする請求項１０に記載の半導体装置の製造方法。
The protrusion height of the protrusion (700) is larger than the thickness of the semiconductor element (30) in the on-element path (601) adjacent to the protrusion (700). The manufacturing method of the semiconductor device of description.
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