JP4865351B2 - LCD display - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glass substrate having high dimensional accuracy by suppressing the formation of cracks when glass is cut and separated. <P>SOLUTION: The surface of the glass is subjected to masking so as to make a pattern corresponding to a cutting and separating pattern, and thereafter, a groove corresponding to the cutting and separating pattern is formed by subjecting the glass to chemical treatment. Further, the glass is cut and separated by giving a mechanical or thermal stress to the formed groove. This cutting and separating method can be suitably applied to the production of glass substrates for flat panel displays. The glass substrates produced by this method can be suitably used in the flat panel displays. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&amp;NCIPI

Description

本発明は、貼り合せガラスの切断分離方法に特徴がある液晶ディスプレイに関するものである。 The present invention relates to a liquid crystal display characterized by a method for cutting and separating laminated glass .

液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの生産に用いられるガラス基板は、そのガラス基板よりも大きなガラス板(以下、「母材」と称する)を原材料にしている。ガラス基板は、母材を切断分離する方法によって製造されている。例えば、図1のように、15型モニターに使用する液晶ディスプレイ用ガラス基板は、550mm×650mmの母材から4面とれることになる。ガラス基板は、1枚の母材を切断分離することで得ることができる。また、ガラス表面に膜が形成されたガラス板を母材として、これを切断分離することでも得ることができる。   A glass substrate used for production of a flat panel display such as a liquid crystal display, a plasma display, and an electroluminescence display is made of a glass plate (hereinafter referred to as “base material”) larger than the glass substrate. The glass substrate is manufactured by a method of cutting and separating a base material. For example, as shown in FIG. 1, a glass substrate for a liquid crystal display used for a 15-inch monitor can take four surfaces from a base material of 550 mm × 650 mm. The glass substrate can be obtained by cutting and separating one base material. It can also be obtained by cutting and separating a glass plate having a film formed on the glass surface as a base material.

他方で、小型液晶ディスプレイ用のガラス基板を製造する場合、貼り合わせガラス基板を、直接、切断分離する方法が重要な切断方法である。なぜなら、液晶ディスプレイ用ガラス基板は、2枚のガラスをシール剤で貼り合わせた構成をとるからである。ここで、液晶ディスプレイ用ガラス基板は、2枚のガラス基板間に液晶を封入することができるセル1を有する。   On the other hand, when manufacturing a glass substrate for a small liquid crystal display, a method of directly cutting and separating a bonded glass substrate is an important cutting method. This is because the glass substrate for a liquid crystal display has a structure in which two glasses are bonded together with a sealant. Here, the glass substrate for a liquid crystal display has a cell 1 that can enclose a liquid crystal between two glass substrates.

母材の切断分離は、非特許文献1及び2に開示されている。非特許文献1及び非特許文献2に開示されている母材の切断分離は、母材表面にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、このスクライブラインに機械的または熱的応力を加える工程からなる。この切断分離する方法は、スクライブ・ブレーク法という方法である。
三宅泰明、スクライブ・ブレーク技術、「月刊FPD Inteligence増刊号 第4世代のLCD製造・検査技術」、株式会社プレスジャーナル、平成12年1月20日発行、p.85−89 山本健、クリーンルーム内での使用を可能にする光配向装置とレーザー応用ガラス分断装置、「月刊FPD Inteligence1999.4」、株式会社プレスジャーナル、p.28−31
Non-Patent Documents 1 and 2 disclose the cutting and separating of the base material. The cutting and separation of the base material disclosed in Non-Patent Document 1 and Non-Patent Document 2 includes a scribing process of forming a scribe line on the surface of the base material and a process of applying mechanical or thermal stress to the scribe line. This method of cutting and separating is a method called a scribe break method.
Yasuaki Miyake, Scribe Break Technology, “Monthly FPD Intelligence Extra Number 4th Generation LCD Manufacturing / Inspection Technology”, Press Journal, published on January 20, 2000, p. 85-89 Ken Yamamoto, Optical alignment device and laser-applied glass cutting device enabling use in a clean room, “Monthly FPD Intelligence 1999.4”, Press Journal, p. 28-31

非特許文献1に記載されている切断分離方法は、一般的なスクライブ・ブレーク法である。このスクライブ・ブレーク法は、スクライブライン形成工程と機械的応力を加える工程からなる。スクライブライン形成工程は、ダイヤモンドや超硬合金製のホイールカッターで母材表面を引っ掻いて、スクライブラインを形成する工程である。この工程で形成されるスクライブラインの深さは、母材板厚の10〜15%程度の深さである。機械的応力を形成する工程は、スクライブライン形成部位に機械的応力を加える工程である。この工程で、母材からガラス基板が切断分離する。   The cutting and separating method described in Non-Patent Document 1 is a general scribe / break method. The scribe / break method includes a scribe line forming step and a step of applying mechanical stress. The scribe line forming step is a step of forming a scribe line by scratching the surface of the base material with a wheel cutter made of diamond or cemented carbide. The depth of the scribe line formed in this step is about 10 to 15% of the base material plate thickness. The step of forming mechanical stress is a step of applying mechanical stress to the scribe line formation site. In this step, the glass substrate is cut and separated from the base material.

非特許文献2に記載されている切断分離方法は、スクライブライン形成工程と熱的応力を加える工程からなる。この切断分離方法は、米国ACCUDYNE社のガラス切断装置において採用されている方法である。スクライブラインの形成工程は、(1)金属箔で母材の端に小さな傷を形成、(2)その傷に線状のレーザービームを照射、(3)レーザービーム照射直後に、ヘリウムと水の混合ガスを母材に吹き付けて急冷、の各工程からなる。このスクライブライン形成工程で、分子レベルのスクライブラインが母材に形成する。熱的応力を加える工程は、スクライブラインの両側にレーザーを照射した後、ヘリウムと水の混合物を吹き付けて冷却する工程である。このレーザー照射とその直後の冷却によって、スクライブラインに熱応力が生じ、母材からガラス基板が切断分離する。   The cutting and separating method described in Non-Patent Document 2 includes a scribe line forming step and a step of applying thermal stress. This cutting and separating method is a method adopted in a glass cutting apparatus manufactured by ACCUDYNE, USA. The scribe line formation process consists of (1) forming a small scratch on the end of the base metal with metal foil, (2) irradiating the scratch with a linear laser beam, and (3) immediately after laser beam irradiation, helium and water. It consists of each process of spraying mixed gas on a base material and quenching. In this scribe line formation step, a molecular level scribe line is formed on the base material. The step of applying thermal stress is a step of cooling by spraying a mixture of helium and water after irradiating laser on both sides of the scribe line. By this laser irradiation and cooling immediately thereafter, thermal stress is generated in the scribe line, and the glass substrate is cut and separated from the base material.

しかしながら、非特許文献1に記載されている切断分離方法では、次の問題がある。第一の問題は、スクライブライン形成時に母材表面及び母材表面付近にひび割れが生ずる。このひび割れが原因で、スクライブ時および切断分離時にガラスカレットが生じやすい。第二の問題は、スクライブライン形成時に、スクライブライン交差部には、ひびが多く発生する。このひびが原因で、切断分離時に母材ガラスの割れが発生しやすい。この割れによって、切断分離されたガラス基板は、ガラス基板のエッジ強度が弱いことが問題である。第三の問題は、ガラス基板のエッジ強度を向上させるには、ガラス基板の面取りを行う必要がある。面取りで生じたガラス粉等を除去するために、洗浄を行う必要がある。つまり、ガラス基板の切断分離方法としては、生産性が低いことが問題である。   However, the cutting and separating method described in Non-Patent Document 1 has the following problems. The first problem is that cracks occur on the base material surface and in the vicinity of the base material surface when the scribe line is formed. Due to the cracks, glass cullet is likely to occur during scribing and cutting separation. The second problem is that many cracks occur at the scribe line intersection when the scribe line is formed. Due to this crack, the base glass is likely to break during cutting and separation. A problem with the glass substrate that has been cut and separated by this crack is that the edge strength of the glass substrate is weak. The third problem is that it is necessary to chamfer the glass substrate in order to improve the edge strength of the glass substrate. In order to remove glass powder or the like generated by chamfering, it is necessary to perform cleaning. That is, as a method for cutting and separating a glass substrate, there is a problem that productivity is low.

一方、非特許文献2に記載されている切断分離方法は、クリーンプロセス、高い生産性、かつ切断分離後の面取り処理が不要であるとの効果が期待されている。しかし、切断精度が低いこと及び切断分離処理スピードの遅さが問題である。また、非特許文献2に開示されているACCUDYNE社の切断装置は、高価であるため、汎用できるものではない。   On the other hand, the cutting / separating method described in Non-Patent Document 2 is expected to have an effect that a clean process, high productivity, and chamfering after cutting / separation are unnecessary. However, low cutting accuracy and slow cutting / separation processing speed are problems. Also, the ACCUDYNE cutting device disclosed in Non-Patent Document 2 is expensive and cannot be used in general.

ところで、ガラス割れは、母材表面に始めから存在する微細な傷を起点に生ずるものである。従って、母材に比べて、ガラス基板自体の表面の傷を減少させれば、ガラス強度の向上とガラス割れ防止になる。ガラス基板表面の傷を除去する研磨処理工程を設けた場合、ガラス基板切断分離の生産性が低くなってしまう。一方で、母材の切断分離工程中にガラス表面の傷を減少させることができれば、ガラス基板切断分離の生産性は、低くならない。このような切断分離工程中に、母材表面の傷を減少する技術提供が期待されている。   By the way, the glass crack is caused from a fine scratch existing on the surface of the base material from the beginning. Therefore, if the scratches on the surface of the glass substrate itself are reduced as compared with the base material, the glass strength can be improved and the glass can be prevented from cracking. When a polishing process for removing scratches on the surface of the glass substrate is provided, the productivity of cutting and separating the glass substrate is lowered. On the other hand, if the scratches on the glass surface can be reduced during the base material cutting and separating step, the productivity of the glass substrate cutting and separating is not lowered. It is expected to provide a technique for reducing scratches on the surface of the base material during such a cutting and separating step.

本発明の目的は、ガラスカレット発生およびガラス割れを抑制し、ガラス基板寸法を高精度とする貼り合せガラスを有する液晶ディスプレイを提供することである。間接的には、スクライブライン形成時の平面クラックを除去することが出来るガラスの切断分離方法の提供をすること、又はスクライブライン形成をひび割れの発生なしに行うガラスの切断分離方法の提供をすることを目的とする。 An object of the present invention is to provide a liquid crystal display having a laminated glass that suppresses the occurrence of glass cullet and glass breakage and makes the glass substrate dimension highly accurate. Indirectly, provide a method for cutting and separating glass that can remove plane cracks during scribe line formation, or provide a method for cutting and separating glass that performs scribe line formation without cracking. With the goal.

本発明は、カラーフィルター層等が形成されている2枚のガラス基板を貼り合せてなる1枚の貼り合せガラス母材を切断分離して製造される複数個の液晶ディスプレイにおいて、個々の液晶ディスプレイの縁分断面は、ガラス基板の分断面において、ホイールカッターにてスクライブラインを形成した後に化学的なエッチング処理を行うことによって形成された表面側の溝部分と、前記溝部分に機械的応力を加えて形成された、クラックの存在しない切断部分とに区分され、前記溝部分と切断部分との境界部に、所定深さに形成されたスクライブラインに対応する直線状の境界線が、長さ方向に形成されていることを特徴とする。 The present invention relates to a plurality of liquid crystal displays manufactured by cutting and separating a single laminated glass base material formed by laminating two glass substrates on which a color filter layer or the like is formed. peripheral edge component section, in the cutting surface of each glass substrate, and the chemical groove of the formed surface side by performing an etching process after forming a scribe line in wheel cutter, mechanical in the groove portion A straight boundary line corresponding to a scribe line formed at a predetermined depth is formed at a boundary portion between the groove portion and the cut portion, and is divided into a cut portion without cracks formed by applying stress. It is formed in the length direction .

この方法によれば、機械的応力又は熱的応力を加えて母材を切断分離した場合であっても、スクライブラインに応力が集中することになる。その結果、切断分離時のガラスカレット発生及びガラス割れを抑制することができる。またこの方法を使用すれば、切断分離後に切断面処理工程の必要性が小さい。これは、ガラス基板の切断分離を安価にすることができること、また、ガラスの切断分離の生産性が向上することを意味する。また、マスキングされていない母材表面の傷は、ケミカル処理によって減少するので、ガラス基板の強度を向上させることが可能となる。   According to this method, even when the base material is cut and separated by applying mechanical stress or thermal stress, the stress is concentrated on the scribe line. As a result, glass cullet generation and glass breakage during cutting and separation can be suppressed. Moreover, if this method is used, the necessity of a cut surface treatment process after cutting and separation is small. This means that the cutting and separation of the glass substrate can be made inexpensive, and the productivity of cutting and separating the glass is improved. Further, the scratches on the surface of the base material not masked are reduced by the chemical treatment, so that the strength of the glass substrate can be improved.

前記ケミカル処理は、ケミカル処理液をガラス表面に接触させることにより行うべきである。好適には、ケミカル処理液にガラスを浸漬することである。ケミカル処理を、ケミカル処理液に母材を浸漬する場合、ケミカル処理液中に気泡又は噴流を発生させることが好適である。この場合、ケミカル処理液を攪拌する効果を得ることができる。気泡を発生させた場合には、ケミカル処理液中に生ずる生成物がガラスに付着することを防止することができる。   The chemical treatment should be performed by bringing a chemical treatment liquid into contact with the glass surface. Preferably, the glass is immersed in the chemical treatment liquid. In the chemical treatment, when the base material is immersed in the chemical treatment liquid, it is preferable to generate bubbles or jets in the chemical treatment liquid. In this case, the effect of stirring the chemical treatment liquid can be obtained. When bubbles are generated, it is possible to prevent the product generated in the chemical treatment liquid from adhering to the glass.

前記ケミカル処理は、ケミカル処理液がガラス表面に沿って流動するものであると良い。例えば、前記気泡又は噴流をガラス表面に沿って流動させることで、ケミカル処理液をガラス表面に沿って流動させることができる。この場合、母材表面に存在する傷を減少させる効果が大きい。   In the chemical treatment, the chemical treatment solution may flow along the glass surface. For example, the chemical treatment liquid can be caused to flow along the glass surface by causing the bubbles or jets to flow along the glass surface. In this case, the effect of reducing scratches existing on the surface of the base material is great.

また、前記ケミカル処理は、ケミカル処理液をスクライブライン形成部に流れ込ませるものであっても良い。例えば、前記気泡又は噴流をスクライブライン形成部に流れ込ませることで、ケミカル処理液をスクライブライン形成部に流れ込ませることができる。ケミカル処理液をスクライブライン形成部に流れ込ませた場合、スクライブラインの深さを深くする作用が大きい。   Further, the chemical treatment may be one in which a chemical treatment liquid is caused to flow into the scribe line forming portion. For example, the chemical treatment liquid can be caused to flow into the scribe line forming portion by causing the bubbles or jets to flow into the scribe line forming portion. When the chemical treatment liquid is caused to flow into the scribe line forming portion, the effect of increasing the depth of the scribe line is great.

また、前記ケミカル処理は、ガラス表面にケミカル処理液を吹き付け、ガラス表面にケミカル処理液蒸気を吹き付け、又はガラス表面をケミカル処理液蒸気に暴露するものであっても良い。   The chemical treatment may be performed by spraying a chemical treatment liquid on the glass surface, spraying a chemical treatment liquid vapor on the glass surface, or exposing the glass surface to the chemical treatment liquid vapor.

本発明は、ガラス表面に切断分離パターンに対応したマスキングを施した後、前記ガラスを気泡又は噴流を発生させたケミカル処理液中に浸漬することによりケミカル処理を行って、切断分離パターンに対応した溝を前記ガラス表面に形成する方法を採ることもできる。 In the present invention, after the masking corresponding to the cutting separation pattern is performed on the glass surface, chemical treatment is performed by immersing the glass in a chemical treatment liquid in which bubbles or jets are generated, and the cutting separation pattern is supported. A method of forming grooves on the glass surface can also be adopted.

この方法においても、機械的応力又は熱的応力を加えて母材を切断分離しても、スクライブラインに相当する溝(以下、単に「溝」と称する)に応力が集中するので、切断分離時のガラスカレット発生及びガラス割れを抑制することができる。また、切断分離後の切断面処理の必要性が小さく、ガラス基板の切断分離を安価にすることができると共に、ガラスの切断分離の生産性が向上する。その上、マスキングされていない母材表面の傷をケミカル処理によって減少させ、ガラス基板の強度が向上する。更には、溝形成時に、母材に対して外部応力が加わることがないため、溝形成時にガラスのひびや割れが生じることがない。また、任意の溝形成が可能であるので、高寸法精度のガラス基板を提供するものとなる。ケミカル処理液中に気泡を発生させた場合には、ケミカル処理液中に生ずる生成物がガラスに付着することを防止することができる。   Even in this method, even when mechanical or thermal stress is applied to the base material, the stress is concentrated in a groove corresponding to the scribe line (hereinafter simply referred to as “groove”). Generation of glass cullet and glass breakage can be suppressed. Moreover, the necessity for the cut surface treatment after the cutting and separation is small, the cutting and separating of the glass substrate can be made inexpensive, and the productivity of cutting and separating the glass is improved. In addition, scratches on the unmasked base material surface are reduced by chemical treatment, and the strength of the glass substrate is improved. Furthermore, since no external stress is applied to the base material when the groove is formed, the glass is not cracked or cracked when the groove is formed. In addition, since any groove can be formed, a glass substrate with high dimensional accuracy is provided. When bubbles are generated in the chemical treatment liquid, it is possible to prevent the product generated in the chemical treatment liquid from adhering to the glass.

前記マスキングを施す方法は、スクリーン印刷法、ラミネートフィルム加工法またはレジスト塗布フォトリソ法などがある。マスキングは、ケミカル処理液に対して耐薬品性があるマスキング剤を使用することによって行われることが好ましい。気泡を発生させた場合には、ケミカル処理液中に生ずる生成物がガラスに付着することを防止することができる。   Examples of the masking method include a screen printing method, a laminate film processing method, and a resist coating photolithography method. Masking is preferably performed by using a masking agent that is chemically resistant to the chemical treatment liquid. When bubbles are generated, it is possible to prevent the product generated in the chemical treatment liquid from adhering to the glass.

また、このマスキングを行う切断分離方法において、前記ケミカル処理は、ケミカル処理液がガラス表面に沿って流動するものであると良い。この場合、母材表面に存在する傷を減少させる効果が大きい。またケミカル処理液を溝形成部に流れ込ませるものであっても良い。例えば、前記気泡又は噴流を溝形成部に流れ込ませることで、ケミカル処理液を溝形成部に流れ込ませることができる。ケミカル処理液を溝形成部に流れ込ませた場合、溝の深さを深くする作用が大きい。   In the cutting and separating method in which masking is performed, the chemical treatment is preferably such that the chemical treatment liquid flows along the glass surface. In this case, the effect of reducing scratches existing on the surface of the base material is great. Further, a chemical treatment liquid may be allowed to flow into the groove forming portion. For example, the chemical treatment liquid can be caused to flow into the groove forming portion by causing the bubbles or jets to flow into the groove forming portion. When the chemical treatment liquid is caused to flow into the groove forming portion, the effect of increasing the depth of the groove is great.

本発明は、ガラス表面に切断分離パターンに対応したマスキングを施した後、ガラス表面にケミカル処理液を吹き付け、ガラス表面にケミカル処理液蒸気を吹き付け、又はガラス表面をケミカル処理液蒸気に暴露して、ケミカル処理を行って切断分離パターンに対応した溝を前記ガラス表面に形成しても良いIn the present invention, after masking corresponding to the cutting separation pattern on the glass surface, the chemical treatment liquid is sprayed on the glass surface, the chemical treatment liquid vapor is sprayed on the glass surface, or the glass surface is exposed to the chemical treatment liquid vapor. A groove corresponding to the cut and separated pattern may be formed on the glass surface by chemical treatment.

前記ケミカル処理の後、スクライブライン等に機械的又は熱的応力を加えてガラスを切断分離すると良い。   After the chemical treatment, the glass may be cut and separated by applying mechanical or thermal stress to a scribe line or the like.

前記機械的応力を加えてガラスを切断分離するには、前記ケミカル処理の後、ガラス表面のスクライブライン等を中心にガラスを引っ張り、ガラスを切断分離すると良い。   In order to cut and separate the glass by applying the mechanical stress, the glass may be cut and separated by pulling the glass around a scribe line or the like on the glass surface after the chemical treatment.

また、前記機械的応力を加えてガラスを切断分離するには、前記ケミカル処理の後、ガラス表面のスクライブライン等の形成面方向又は当該形成面の対向面方向から圧力を加え、スクライブライン等に機械的応力を加えてガラスを切断分離することが好ましい。このうち、スクライブライン等形成面方向から圧力を加えることが好適である。   Further, in order to cut and separate the glass by applying the mechanical stress, after the chemical treatment, pressure is applied from the direction of the formation surface such as the scribe line on the glass surface or the direction opposite the surface of the formation surface, to the scribe line or the like. It is preferable to cut and separate the glass by applying mechanical stress. Of these, it is preferable to apply pressure from the direction of the formation surface such as a scribe line.

前記熱的応力を加えてガラスを切断分離するには、前記ケミカル処理の後、ガラス表面のスクライブライン等の両側にレーザーを照射してガラスを切断分離すると良い。   In order to cut and separate the glass by applying the thermal stress, the glass is preferably cut and separated by irradiating laser on both sides of the scribe line or the like on the glass surface after the chemical treatment.

本発明によれば、ガラス基板の切断分離によるガラスのひび割れを抑制することができる。その結果、液晶用ディスプレイガラス基板の寸法精度を高めることが可能である。また、マスキングを行わなかったガラス表面の傷を減少させることで、ガラス基板強度を向上させることができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the crack of glass by the cutting | disconnection separation of a glass substrate can be suppressed. As a result, it is possible to increase the dimensional accuracy of the liquid crystal display glass substrate. Moreover, glass substrate intensity | strength can be improved by reducing the damage | wound of the glass surface which was not masked.

以下に本発明を実現する切断分離方法の実施形態を説明する。本発明を実現するガラスの切断分離方法は、母材表面へのスクライブライン形成工程、ケミカル処理工程及び母材の切断分離工程からなる。また、本発明のガラスの切断分離は、スクライブライン形成工程及びケミカル処理工程に変えて、溝形成工程を行うことでも可能である。溝形成工程は、母材表面に切断分離パターンに対応したマスキングを施した後、ケミカル処理を行うことによって行われる。 Embodiments of the cutting and separating method for realizing the present invention will be described below. The glass cutting and separating method for realizing the present invention includes a scribe line forming step on the surface of a base material, a chemical treatment step, and a base material cutting and separating step. In addition, the glass separation and separation of the present invention can be performed by performing a groove forming step instead of the scribe line forming step and the chemical treatment step. The groove forming step is performed by performing chemical treatment after masking corresponding to the cut separation pattern on the surface of the base material.

本発明液晶ディスプレイガラス基板を製造する場合には、2枚のガラス基板をシール材で貼り合わせたガラス基板を母材に使用する。この貼り合わせガラスには、液晶ディスプレイガラス基板に必要な、カラーフィルター層等が形成されている。 When manufacturing the glass substrate of the liquid crystal display of this invention , the glass substrate which bonded two glass substrates together with the sealing material is used for a base material. In this laminated glass, a color filter layer and the like necessary for a liquid crystal display glass substrate are formed.

母材表面にスクライブラインを形成するには、従来技術と同様に、ダイヤモンドカッターまたは超硬合金製のホイールカッターで形成することができる。このスクライブラインの形成は、ダイヤモンドカッター又は超硬合金製のホイールカッターで母材表面に線を刻み付けることにより行なわれる。   In order to form a scribe line on the surface of the base material, it can be formed by a diamond cutter or a cemented carbide wheel cutter, as in the prior art. The scribe line is formed by scoring a line on the surface of the base material with a diamond cutter or a cemented carbide wheel cutter.

また、スクライブラインの形成は、従来技術で行われているACCUDYNE社の切断分離装置が採用している方法と同じ方法を採用することができる。つまり、(1)母材の端に金属箔等で傷を形成する。(2)次に線状のレーザービームをこの傷に照射する。(3)この直後、ヘリウムと水の混合ガスを母材に吹き付けて、母材を急冷する。この(1)〜(3)の作業によっても母材表面にスクライブラインを形成することができる。   In addition, the scribe line can be formed by the same method as that employed by the cutting and separating apparatus of ACCUDYNE, which is used in the prior art. That is, (1) A scratch is formed on the end of the base material with a metal foil or the like. (2) Next, a linear laser beam is irradiated onto the scratch. (3) Immediately after this, a mixed gas of helium and water is sprayed on the base material to rapidly cool the base material. A scribe line can also be formed on the surface of the base material by the operations (1) to (3).

母材表面の溝は、母材表面にマスキングを行い、その後に、ケミカル処理を行うことで形成する。このマスキングは、マスキング剤を使用して、切断分離パターンに対応したマスキングを行う。マスキング剤としては、ケミカル処理液に腐食されないものを使用することが好ましい。マスキング方法は、スクリーン印刷法、ラミネートフィルム加工法又はレジスト塗布フォトリソ法等がある。   The groove on the surface of the base material is formed by masking the surface of the base material and then performing chemical treatment. This masking uses a masking agent to perform masking corresponding to the cutting separation pattern. It is preferable to use a masking agent that is not corroded by the chemical treatment liquid. The masking method includes a screen printing method, a laminate film processing method, a resist coating photolithography method, and the like.

スクリーン印刷法とは、マスキング剤の通る部分と通らない部分を備えたスクリーンを母材表面に当接して、マスキング剤の通る部分からマスキング剤を押し出しガラス表面にマスキングをする方法である。ラミネートフィルム加工法とは、片面に粘着層を形成したフィルムをマスキング剤として使用し、このマスキング剤を母材表面に貼り付ける方法である。レジスト塗布フォトリソ法とは、フォトレジストをマスキング剤に使用し、これを母材表面に塗布後、光を照射してマスキングを行う方法である。   The screen printing method is a method in which a screen having a portion through which the masking agent passes and a portion through which the masking agent does not pass is brought into contact with the surface of the base material, and the masking agent is extruded from the portion through which the masking agent passes to mask the glass surface. The laminate film processing method is a method in which a film having an adhesive layer formed on one side is used as a masking agent, and this masking agent is applied to the surface of the base material. The resist coating photolitho method is a method in which a photoresist is used as a masking agent, and this is applied to the surface of a base material and then masked by irradiating light.

なお、貼り合わせガラス基板の一方にスクライブライン又は溝(以下、「スクライブライン等」と称する)を形成した場合、他方のガラス基板へのスクライブライン等の形成は、前記スクライブライン等の真下に形成することが通常である。真下に形成しない場合には、切断後の貼り合せガラス基板は、縦断面が階段状の形状をとることになる。この階段状の形状を取れば、階段形状の下段部分を、ガラス基板と他の部材との接合固定部として利用することができる。   In addition, when a scribe line or a groove (hereinafter referred to as “scribe line etc.”) is formed on one side of the bonded glass substrate, the formation of the scribe line etc. on the other glass substrate is formed immediately below the scribe line etc. It is normal to do. In the case where it is not formed directly below, the laminated glass substrate after cutting has a stepwise shape in the longitudinal section. If this step-like shape is taken, the lower step portion of the step shape can be used as a joint fixing portion between the glass substrate and another member.

ケミカル処理は、ケミカル処理液に母材ガラスを接触させることによって行われる。   The chemical treatment is performed by bringing the base glass into contact with the chemical treatment liquid.

ケミカル処理液は、ガラス溶解性の薬品を含む液体を使用すべきである。このケミカル処理液は、フッ化水素酸を含有する水溶液が好適である。このフッ化水素酸水溶液に、さらに、フッ化水素酸塩、無機酸及び有機酸のうち一種以上を含有させることが好ましい。   As the chemical treatment liquid, a liquid containing a glass-soluble chemical should be used. The chemical treatment liquid is preferably an aqueous solution containing hydrofluoric acid. It is preferable to further contain one or more of hydrofluoric acid salt, inorganic acid and organic acid in this hydrofluoric acid aqueous solution.

フッ化水素酸塩としては、例えば、フッ化アンモニウム、フッ化カリウム、フッ化ナトリウムがある。無機酸としては、例えば、塩酸、硫酸、リン酸、硝酸がある。有機酸としては、例えば、酢酸、コハク酸がある。また、ケミカル処理液に、陰イオン系界面活性剤及び両性界面活性剤のうち1種以上添加しても良い。陰イオン系界面活性剤としては、スルホン酸塩系界面活性剤等がある。両性界面活性剤としては、例えば、アミン系界面活性剤がある。   Examples of hydrofluoric acid salts include ammonium fluoride, potassium fluoride, and sodium fluoride. Examples of inorganic acids include hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, and nitric acid. Examples of the organic acid include acetic acid and succinic acid. One or more of an anionic surfactant and an amphoteric surfactant may be added to the chemical treatment liquid. Examples of the anionic surfactant include a sulfonate surfactant. Examples of amphoteric surfactants include amine surfactants.

上記ケミカル処理液中の各薬品の主な作用は、次の通りである。フッ化水素酸及びフッ化水素酸塩は、ガラスを化学的にエッチングすることである。無機酸、有機酸、陰イオン系界面活性剤及び両性界面活性剤は、ケミカル処理液中に生ずる生成物が、ガラス表面に付着することを防止することである。   The main actions of each chemical in the chemical treatment liquid are as follows. Hydrofluoric acid and hydrofluoric acid salt are chemically etching glass. An inorganic acid, an organic acid, an anionic surfactant, and an amphoteric surfactant are to prevent a product generated in the chemical treatment liquid from adhering to the glass surface.

母材をケミカル処理液に接触させる時間及びケミカル処理液温度は、母材ガラスの組成、ガラスの厚みによって適宜変更することになる。   The time for bringing the base material into contact with the chemical treatment liquid and the temperature of the chemical treatment liquid are appropriately changed depending on the composition of the base glass and the thickness of the glass.

ケミカル液を母材に接触させるには、例えば、次の(1)〜(4)方法が挙げられる。
(1)ケミカル処理液に母材を浸漬。
(2)ケミカル処理液を母材に吹き付け。
(3)ケミカル処理液蒸気を母材に吹き付け。
(4)ケミカル処理液蒸気中への母材を暴露。
In order to bring the chemical liquid into contact with the base material, for example, the following methods (1) to (4) may be mentioned.
(1) A base material is immersed in a chemical treatment solution.
(2) Spray chemical treatment liquid onto the base material.
(3) Spray chemical treatment liquid vapor onto the base material.
(4) Exposure of the base material into the chemical treatment liquid vapor.

ケミカル処理液へ母材を浸漬する場合、ケミカル処理液中に気泡又はケミカル処理液の噴流を発生させることが好適である。前記気泡又はケミカル処理液の噴流を発生させるには、ケミカル処理液貯留槽の底部に気泡発生装置又はケミカル処理液の噴射装置を設けることが良い。この場合、ケミカル処理液を攪拌する効果を得ることができる。気泡発生装置を設けた場合、ケミカル処理液中の生成物をケミカル処理液面に上昇させて、この生成物がガラスに付着することを防止することができる。   When the base material is immersed in the chemical treatment liquid, it is preferable to generate bubbles or a jet of the chemical treatment liquid in the chemical treatment liquid. In order to generate a jet of the bubbles or the chemical treatment liquid, it is preferable to provide a bubble generation device or a chemical treatment liquid injection device at the bottom of the chemical treatment liquid storage tank. In this case, the effect of stirring the chemical treatment liquid can be obtained. When the bubble generating device is provided, the product in the chemical treatment liquid can be raised to the chemical treatment liquid surface, and the product can be prevented from adhering to the glass.

気泡又は噴流の流れは、ケミカル処理液の流れと同じである。また、ガラス表面の傷部分は、凹状となっているので、この凹状部分のケミカル処理液は、ケミカル処理液の流れにさらされにくい。そのため、凹状部分のケミカル処理液は、静止状態になってエッチング反応の速度が遅くなりやすい。その結果、凹部以外の部分が先立ってエッチングされることで、ガラス表面の傷が減少する効果が生じる。従って、ケミカル処理液がガラス表面に沿って流動すれば、ガラス表面の傷を減少させる効果が大きい。ケミカル処理液の流動が、ガラス表面に対して実質的に平行な流動に近づくにつれて、ガラス表面の傷を減少させる効果が増す。   The bubble or jet flow is the same as the chemical treatment liquid flow. Further, since the scratched portion of the glass surface is concave, the chemical treatment liquid in the concave portion is not easily exposed to the flow of the chemical treatment liquid. Therefore, the chemical treatment liquid in the concave portion is in a stationary state, and the etching reaction rate tends to be slow. As a result, portions other than the recesses are etched in advance, thereby producing an effect of reducing scratches on the glass surface. Therefore, if the chemical treatment liquid flows along the glass surface, the effect of reducing scratches on the glass surface is great. As the flow of the chemical treatment liquid approaches a flow that is substantially parallel to the glass surface, the effect of reducing scratches on the glass surface increases.

また、ガラス基板の角を面取りする効果が生ずる。この効果は、ケミカル処理を行うことで得られるものである。上記ガラス表面にケミカル処理液が実質的に平行に流れる場合、ガラス基板の角を面取りする効果が特に大きくなる。   In addition, the effect of chamfering the corners of the glass substrate occurs. This effect is obtained by performing a chemical treatment. When the chemical treatment liquid flows substantially parallel to the glass surface, the effect of chamfering the corners of the glass substrate is particularly great.

一方、ケミカル処理液をスクライブライン等形成部に流れ込ませる場合、この形成部分のケミカル処理液は、流動状態になってエッチング反応の速度が速くなるので、スクライブライン等の深さを深くする作用が大きくなる。ガラス表面に対して実質的に垂直方向から、ケミカル処理液をスクライブライン等に流れ込ませた場合、スクライブライン等の深さを深くする作用が一層大きくなる。また、ケミカル処理液をスクライブライン等に流れ込ませる場合でも、ガラス基板の角を面取りする効果が生ずる。   On the other hand, when the chemical treatment liquid is caused to flow into the formation part such as the scribe line, the chemical treatment liquid in the formation part is in a fluid state and the etching reaction speed is increased, so that the depth of the scribe line and the like is increased. growing. When the chemical treatment liquid is caused to flow into the scribe line or the like from a direction substantially perpendicular to the glass surface, the effect of increasing the depth of the scribe line or the like is further increased. Further, even when the chemical treatment liquid is caused to flow into a scribe line or the like, the effect of chamfering the corners of the glass substrate is produced.

ケミカル処理液貯留槽の底部に気泡発生装置又はケミカル処理液噴射装置を設けた場合、母材をケミカル処理液に浸漬する方法は、次の観点から選択される。   When the bubble generating device or the chemical processing liquid jetting device is provided at the bottom of the chemical processing liquid storage tank, the method of immersing the base material in the chemical processing liquid is selected from the following viewpoint.

ガラス表面の傷を減少させる効果を大きくしたい場合には、母材ガラス板をケミカル処理液の液面に対して垂直に浸漬することになる。スクライブライン等の深さを深くする効果を大きくしたい場合には、母材ガラス板をケミカル処理液の液面に対して平行にして浸漬することになる。また、母材をケミカル処理液の液面に対して、斜めにして浸漬しても良い。   In order to increase the effect of reducing scratches on the glass surface, the base glass plate is immersed perpendicular to the liquid surface of the chemical treatment liquid. In order to increase the effect of increasing the depth of the scribe line or the like, the base glass plate is immersed in parallel with the liquid surface of the chemical treatment liquid. Further, the base material may be immersed obliquely with respect to the liquid surface of the chemical treatment liquid.

ケミカル処理を行った後、母材を切断分離する。この切断分離方法としては、機械的または熱的な応力を加えてガラスを切断分離すると良い。   After the chemical treatment, the base material is cut and separated. As this cutting and separating method, it is preferable to apply mechanical or thermal stress to cut and separate the glass.

機械的応力によって切断分離する方法としては、引っ張り又は加圧することによって切断分離する方法がある。引っ張りによってガラスを切断分離する方法は、スクライブライン等を中心にガラスを引っ張って切断分離する方法である。一方、加圧する方法は、スクライブライン等に加圧して切断分離する方法である。この加圧する方法が、切断分離する方法として好ましい。   As a method of cutting and separating by mechanical stress, there is a method of cutting and separating by pulling or pressing. The method of cutting and separating glass by pulling is a method of cutting and separating glass by pulling the glass around a scribe line or the like. On the other hand, the pressurizing method is a method of pressurizing a scribe line or the like to cut and separate. This pressurizing method is preferred as a method for cutting and separating.

加圧する方法の場合、スクライブライン等の形成面方向又は当該形成面の対向面方向の何れから加圧しても良い。好適には、スクライブライン等の形成面方向から加圧することである。図2は、スクライブライン等の形成面方向から加圧する状態の例を図示したものである。母材2は、2個の載置台4に架渡すように設置される。次いで、スクライブライン等3の真上から加圧治具5によって加圧して、母材を切断分離することができる。   In the case of the pressurizing method, pressurization may be performed from either the direction of the formation surface such as a scribe line or the direction of the surface facing the formation surface. Preferably, pressure is applied from the direction of the forming surface such as a scribe line. FIG. 2 illustrates an example of a state in which pressure is applied from the formation surface direction of a scribe line or the like. The base material 2 is installed so as to be bridged between the two mounting tables 4. Next, the base material can be cut and separated by pressing with a pressing jig 5 directly above the scribe line 3 or the like.

スクライブライン等の形成面方向から加圧して母材を切断分離した場合、スクライブライン形成面と対向する面方向から加圧するよりも、小さな加圧で母材を切断分離することができる。また、深さの浅いスクライブライン等であっても、切断面の平滑性を維持したまま、母材を切断分離することができる。例えば、ケミカル処理を行って深さ200μmの溝を形成した40mm×60mm×0.7mmのアルミノホウケイ酸ガラスを切断分離する場合、溝が形成された面の対向面方向から加圧すれば、3000g以上の加圧が必要であることが確認されている。一方、溝が形成された面方向から加圧する場合には、1500〜2000g以下の加圧で、ガラスが切断分離したことが確認されている。   When the base material is cut and separated from the forming surface direction of the scribe line or the like, the base material can be cut and separated with a smaller pressure than when pressing from the surface direction facing the scribe line forming surface. Further, even if the scribe line has a shallow depth, the base material can be cut and separated while maintaining the smoothness of the cut surface. For example, when cutting and separating a 40 mm × 60 mm × 0.7 mm aluminoborosilicate glass in which a groove having a depth of 200 μm is formed by chemical treatment, if the pressure is applied from the direction opposite to the surface on which the groove is formed, 3000 g It has been confirmed that the above pressurization is necessary. On the other hand, when pressurizing from the surface direction in which the groove is formed, it has been confirmed that the glass is cut and separated at a pressure of 1500 to 2000 g or less.

つまり、小さな加圧で済むため、迅速な切断分離を行うことができる。また、スクライブライン等以外に圧力が分散することが少ないので、切断分離時にガラスのひび割れが発生することを防止することができる。   That is, since only a small pressure is required, rapid cutting and separation can be performed. Further, since the pressure is hardly dispersed other than the scribe line or the like, it is possible to prevent the glass from cracking during the cutting and separation.

なお、ガラスと当接する加圧治具は、平板であると良い。好適には、板厚がより薄い板を使用することである。   In addition, the pressurization jig | tool contact | abutted with glass is good in it being a flat plate. Preferably, a plate having a thinner plate thickness is used.

熱的応力を加える方法としては、例えば、スクライブライン等の両側にレーザーを照射して母材を切断分離する方法がある。この場合、ガラス溶融温度以下のレーザー加熱を行うことになる。   As a method of applying thermal stress, for example, there is a method of cutting and separating a base material by irradiating a laser on both sides of a scribe line or the like. In this case, laser heating below the glass melting temperature is performed.

次に、本発明の具体例を実施例に基づき具体的に示す。本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。   Next, specific examples of the present invention will be specifically shown based on examples. The present invention is not limited to the following examples.

400mm×500mm×0.7mmの液晶ディスプレイ用ガラス2枚をシール材で貼り合わせた。その両面をダイヤモンドカッターで深さ約0.05mmのスクライブラインを形成した。一方のスクライブラインが他方のスクライブラインの真下になるように形成した。次に、貼り合わせたガラスの厚みをケミカル処理によって、0.4mm程度薄くした。   Two pieces of glass for liquid crystal display of 400 mm × 500 mm × 0.7 mm were bonded together with a sealing material. A scribe line having a depth of about 0.05 mm was formed on both sides with a diamond cutter. One scribe line was formed directly below the other scribe line. Next, the thickness of the bonded glass was reduced by about 0.4 mm by chemical treatment.

ケミカル処理は、次の条件で行った。
ケミカル処理液:フッ酸5%、塩酸10%、硝酸5%の水溶液。
ケミカル処理液への貼り合わせガラスの浸漬:ケミカル処理液の液面にガラスを垂直にして浸漬。
ケミカル処理液への気泡発生:ケミカル処理液貯留槽底部から気泡を発生(ガラス表面と実質的に平行に気泡が流れた)。
The chemical treatment was performed under the following conditions.
Chemical treatment solution: An aqueous solution of 5% hydrofluoric acid, 10% hydrochloric acid, and 5% nitric acid.
Immersion of laminated glass in chemical treatment liquid: Immerse the glass vertically with the chemical treatment liquid surface.
Bubble generation in the chemical treatment liquid: Bubbles are generated from the bottom of the chemical treatment liquid storage tank (the bubbles flowed substantially parallel to the glass surface).

ケミカル処理の後、スクライブラインの真上から加圧して、貼り合わせガラスを分断した。
[比較例1]
ケミカル処理を行っていない貼り合わせガラスを切断分離した。ケミカル処理を行っていないこと以外は、実施例1と同様にした。
After the chemical treatment, pressure was applied from directly above the scribe line to cut the laminated glass.
[Comparative Example 1]
The laminated glass not subjected to chemical treatment was cut and separated. The procedure was the same as Example 1 except that no chemical treatment was performed.

実施例1と比較例1で得られたガラス基板の顕微鏡観察を行った。図3及び4は、スクライブライン交差部周辺のガラス基板の角形状を観察した模式図である。図5及び6は、ガラス板を分断した分断面を観察した模式図である。そして、図3及び5は、ケミカル処理を行ったガラス基板(実施例1)を観察したものである。図4及び6は、ケミカル処理を行っていないガラス基板(比較例1)を観察したものである。   The glass substrates obtained in Example 1 and Comparative Example 1 were observed with a microscope. FIGS. 3 and 4 are schematic views of observing the square shape of the glass substrate around the scribe line intersection. 5 and 6 are schematic views of observing a cross section obtained by dividing a glass plate. 3 and 5 are observations of a glass substrate (Example 1) subjected to chemical treatment. 4 and 6 are observations of a glass substrate not subjected to chemical treatment (Comparative Example 1).

図3及び4において、黒色部分がガラス基板3である。図3に示されるガラス基板6の角形状は、全くガラスが欠けた状態ではない。一方、図4に示されるガラス基板7の角形状は、ガラスの欠け8が確認できる。このことから、ケミカル処理を行った実施例1のガラス基板の角において、ガラス欠けは、認められなかったことが分かる。一方、ケミカル処理を行っていない比較例1のガラス基板の角において、ガラス欠けが認められたことが分かる。よって、ガラス基板の切断分離において、ケミカル処理を行うことによって、ガラス基板のひび割れが防止されたことが確認されたことになる。   3 and 4, the black portion is the glass substrate 3. The square shape of the glass substrate 6 shown in FIG. 3 is not in a state where the glass is not chipped at all. On the other hand, in the square shape of the glass substrate 7 shown in FIG. From this, it can be seen that no glass chipping was observed at the corners of the glass substrate of Example 1 subjected to chemical treatment. On the other hand, it can be seen that glass chipping was observed at the corners of the glass substrate of Comparative Example 1 that was not subjected to chemical treatment. Therefore, it was confirmed that cracking of the glass substrate was prevented by performing chemical treatment in cutting and separating the glass substrate.

図5において、ガラス切断面9は、平滑な状態であった。一方、図6において、ガラス切断面11は、平滑ではなく、クラック13が生じている。   In FIG. 5, the glass cut surface 9 was in a smooth state. On the other hand, in FIG. 6, the glass cut surface 11 is not smooth but has a crack 13.

また、図5において、ガラス表面のスクライブライン10は、直線状の形状をとっている。一方、図6において、深くなっている凹部は、黒色で示されている。つまり、ガラス表面のスクライブライン12は、凹凸の激しい形状をとっている。凹凸の激しさは、ガラス基板の切断分離時にガラス割れや欠けが生じたことを示している。従って、ケミカル処理を行うことで、スクライブライン形成時に生じたガラスのひび割れを除去したことが確認できたことになる。   Moreover, in FIG. 5, the scribe line 10 on the glass surface has a linear shape. On the other hand, in FIG. 6, the deepened recess is shown in black. That is, the scribe line 12 on the glass surface has a shape with severe irregularities. The severity of the unevenness indicates that glass breakage or chipping occurred during cutting and separation of the glass substrate. Therefore, it was confirmed that the cracks in the glass generated during the scribe line formation were removed by performing the chemical treatment.

また、実施例1のガラス板において、スクライブライン形成部の角形状は、面取りされていることが確認された(不図示)。一方、比較例1のガラス板において、スクライブライン形成部の角形状は、直角又は鋭角形状であることが確認された(不図示)。   Moreover, in the glass plate of Example 1, it was confirmed that the square shape of the scribe line forming portion is chamfered (not shown). On the other hand, in the glass plate of Comparative Example 1, it was confirmed that the square shape of the scribe line forming portion was a right angle or an acute angle shape (not shown).

さらに、実施例1及び比較例1で得られたガラス基板の強度を測定した。ガラス基板強度の測定は、次の条件で測定した。図7は、測定方法を図示したものである。
(1)2個の40mm(L2)×40mm(L3)×8.4mm(L4)のガラス板載置台15を、49mmの間隔(L1)で平行に設置した。
(2)試料ガラス板14を、載置台15に設置した。
(3)ステンレス製加圧冶具16(50mm(L5)×2.0mm(L6)×10mm(L7))を、試料ガラス板の中心線上垂直方向から加圧した。加圧治具の速度は、0.5mm/min.であった。
(4)試料が破壊するまでの最大加圧を測定した。
(5)前記最大加圧が、ガラス基板の強度とした。
Furthermore, the strength of the glass substrate obtained in Example 1 and Comparative Example 1 was measured. The glass substrate strength was measured under the following conditions. FIG. 7 illustrates the measurement method.
(1) Two 40 mm (L2) × 40 mm (L3) × 8.4 mm (L4) glass plate mounting tables 15 were installed in parallel at an interval (L1) of 49 mm.
(2) The sample glass plate 14 was placed on the mounting table 15.
(3) A stainless steel pressure jig 16 (50 mm (L5) × 2.0 mm (L6) × 10 mm (L7)) was pressed from the direction perpendicular to the center line of the sample glass plate. The speed of the pressing jig is 0.5 mm / min. Met.
(4) The maximum pressurization until the sample broke was measured.
(5) The maximum pressure is the strength of the glass substrate.

実施例1のガラス基板の強度は、1500gであった。一方、比較例1のガラス基板の強度は、1000gであった。つまり、ガラス基板強度が向上したことが分かる。   The strength of the glass substrate of Example 1 was 1500 g. On the other hand, the strength of the glass substrate of Comparative Example 1 was 1000 g. That is, it can be seen that the glass substrate strength has been improved.

400mm×500mm×0.7mmの液晶ディスプレイ用ガラス2枚をシール材で貼り合わせた。この貼り合わせガラスの、両面及び側面にマスキングを行った。このマスキングには、ラミネートフィルムを使用した。次に、マスキングしたラミネートフィルムを、幅0.2mmの帯状に剥離した。剥離部分は、溝を形成する部分である。このラミネートフィルム剥離は、貼り合わせガラスの上面と下面に行った。上面のラミネートフィルム剥離部分の真下に、下面のラミネートフィルム剥離を行った。     Two pieces of glass for liquid crystal display of 400 mm × 500 mm × 0.7 mm were bonded together with a sealing material. Masking was performed on both sides and side surfaces of the laminated glass. A laminate film was used for this masking. Next, the masked laminate film was peeled into a strip having a width of 0.2 mm. A peeling part is a part which forms a groove | channel. This laminate film peeling was performed on the upper surface and the lower surface of the laminated glass. The lower surface laminate film was peeled directly under the upper surface laminate film peeled portion.

次に、ケミカル処理を行った。ケミカル処理液及びケミカル処理液への気泡発生条件は、実施例1と同様にして行った。ケミカル処理液への貼り合わせガラスの浸漬は、ケミカル処理液の液面と貼り合せガラスの表面が平行になるようにした。つまり、気泡が、貼り合せガラスに対して、垂直方向から衝突するように浸漬した。ケミカル処理は、深さが0.05mmの溝が形成されるまで行った。   Next, chemical treatment was performed. The chemical treatment liquid and the conditions for generating bubbles in the chemical treatment liquid were the same as in Example 1. The laminated glass was immersed in the chemical treatment liquid so that the surface of the chemical treatment liquid and the surface of the laminated glass were parallel. That is, the bubbles were immersed so as to collide with the laminated glass from the vertical direction. The chemical treatment was performed until a groove having a depth of 0.05 mm was formed.

その後、加圧して、貼り合わせガラスを切断分離した。以上の操作によって得られたガラス基板の顕微鏡観察を行った。この結果、ガラス基板端面にひび割れがないことが確認された。また、分断面が滑らかであることが確認された。   Thereafter, the pressure was applied to cut and separate the laminated glass. The glass substrate obtained by the above operation was observed with a microscope. As a result, it was confirmed that there was no crack in the end surface of the glass substrate. Moreover, it was confirmed that a dividing surface is smooth.

実施例1と同じ方法で、この実施例2で得られたガラス基板の強度測定を行った。ガラス基板強度は、1500gであった。   In the same manner as in Example 1, the strength of the glass substrate obtained in Example 2 was measured. The glass substrate strength was 1500 g.

ラミネートフィルムの剥離方法だけ実施例2と異なる方法で、ガラス基板を切断分離した。貼り合せガラス基板の上面と下面のラミネートフィルム剥離を平行にした。その上、貼り合せガラス基板の上面と下面のラミネートフィルム剥離を、貼り合せガラスを垂直方向から見た剥離間隔が0.2mmとなるように行った。   The glass substrate was cut and separated by a method different from that in Example 2 only in the laminate film peeling method. The laminate film peeling of the upper surface and the lower surface of the bonded glass substrate was made parallel. In addition, the laminate film was peeled from the upper surface and the lower surface of the bonded glass substrate so that the peel interval when the bonded glass was viewed from the vertical direction was 0.2 mm.

実施例3で得られたガラス基板の顕微鏡観察を行った。その結果、ガラス基板端面のひび割れ及び分断面のひび割れ発生が抑制されていることが確認された。分断面が滑らかであることが確認された。また、ガラス基板の側面を顕微鏡観察した。図7は、ガラス基板側面を表した模式図である。ガラス切断部分は、階段形状を形成していることが分かる。   The glass substrate obtained in Example 3 was observed with a microscope. As a result, it was confirmed that the cracks on the end face of the glass substrate and the cracks on the sectional surface were suppressed. It was confirmed that the sectional surface was smooth. Further, the side surface of the glass substrate was observed with a microscope. FIG. 7 is a schematic diagram showing the side surface of the glass substrate. It can be seen that the glass cut portion forms a staircase shape.

15型液晶ディスプレイ用ガラス基板を4面取りできるガラス板を図示したものである。The figure shows a glass plate capable of chamfering four 15-inch liquid crystal display glass substrates. 本発明の加圧切断工程を例示した図である。It is the figure which illustrated the pressure cutting process of the present invention. 本発明の切断分離方法により得られるガラス基板表面形状を顕微鏡で観察(50倍率)したときの模式図である。It is a schematic diagram when the glass substrate surface shape obtained by the cutting | disconnection separation method of this invention is observed with a microscope (50 magnifications). スクライブライン形成後ケミカル処理を行わずに切断分離したガラス基板表面形状を顕微鏡で観察(50倍率)したときの模式図である。It is a schematic diagram when the glass substrate surface shape cut | disconnected and separated without performing a chemical process after scribe line formation is observed with a microscope (50 magnifications). 本発明の切断分離方法により得られるガラス基板分断面形状を顕微鏡で観察(50倍率)したときの模式図である。It is a schematic diagram when the cross-sectional shape of the glass substrate obtained by the cutting and separating method of the present invention is observed with a microscope (50 magnifications). スクライブライン形成後ケミカル処理を行わず切断分離したガラス基板分断面形状を顕微鏡観察(50倍率)したときの模式図である。It is a schematic diagram when the glass substrate part cross-sectional shape cut | disconnected and separated without performing a chemical process after scribe line formation is observed with a microscope (50 magnifications). ガラス板強度測定方法を図示したものである。The glass plate strength measurement method is illustrated. 本発明の切断分離方法により、切断分離した貼り合せガラス基板を側面から顕微鏡観察(50倍率)したときの模式図である。It is a schematic diagram when the bonded glass substrate cut and separated by the cutting and separating method of the present invention is observed from the side by a microscope (50 magnifications).

符号の説明Explanation of symbols

2 ガラス板
3 スクライブライン又は溝
4 加圧治具
5 載置台
6、7 ガラス基板
8 ガラス欠け
9、11 分断面
10、12 スクライブライン
13 クラック
17 貼り合せガラス基板

2 Glass plate 3 Scribe line or groove 4 Pressure jig 5 Mounting table 6, 7 Glass substrate 8 Glass chip 9, 11 Divided section 10, 12 Scribe line 13 Crack 17 Bonded glass substrate

Claims (1)

カラーフィルター層等が形成されている2枚のガラス基板を貼り合せてなる1枚の貼り合せガラス母材を切断分離して製造される複数個の液晶ディスプレイにおいて、
個々の液晶ディスプレイの縁分断面は、ガラス基板の分断面において、ホイールカッターにてスクライブラインを形成した後に化学的なエッチング処理を行うことによって形成された表面側の溝部分と、
前記溝部分に機械的応力を加えて形成された、クラックの存在しない切断部分と
に区分され、
前記溝部分と切断部分との境界部に、所定深さに形成されたスクライブラインに対応する直線状の境界線が、長さ方向に形成されていることを特徴とする液晶ディスプレイ。
In a plurality of liquid crystal displays manufactured by cutting and separating one bonded glass base material formed by bonding two glass substrates on which a color filter layer or the like is formed,
Circumferential edge component section of the individual liquid crystal display, in divided surfaces of each glass substrate, and the chemical groove portion of the surface side that is formed by performing an etching process after forming the scribe lines by the wheel cutter,
The groove portion is formed by applying mechanical stress, and is divided into a cut portion having no crack ,
A liquid crystal display, wherein a linear boundary line corresponding to a scribe line formed at a predetermined depth is formed in a length direction at a boundary portion between the groove portion and the cut portion.
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