JP4852881B2 - プラズマディスプレイパネルの検査方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4852881B2 JP4852881B2 JP2005142666A JP2005142666A JP4852881B2 JP 4852881 B2 JP4852881 B2 JP 4852881B2 JP 2005142666 A JP2005142666 A JP 2005142666A JP 2005142666 A JP2005142666 A JP 2005142666A JP 4852881 B2 JP4852881 B2 JP 4852881B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- plasma display
- display panel
- optical
- optical model
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Description
プラズマディスプレイ放電発光調査専門委員会、プラズマディスプレイ放電と発光効率、電気学会技術報告、第830号、2001年5月30日発行
本発明の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネル(PDP)の検査方法について、図1〜図7を用いて説明する。図1はAC(交流)型カラーPDPの一例を示す断面図、図2は本発明の実施の形態におけるPDP検査方法で用いる検査装置の一例の概略構成を示す図、図3は本発明の実施の形態のPDP検査方法においてPDP前面板上に形成された保護層の検査フローを示す流れ図、図4は図3に示したステップS3で設定される初期光学モデルを示す図、図5は図3に示したステップS7で設定される光学モデルを示す図、図6は図3に示したステップS3で多層膜構造の場合に設定される初期光学モデルを示す図、図7は図3に示したステップS7で多層膜構造の場合に設定される光学モデルを示す図である。
図2に示した本発明の実施の形態におけるPDP検査方法を説明するのに用いた検査装置21は、保護層(図示せず)が形成されたPDP前面板100を保持するステージ101、X、Y、Z軸の駆動系を備え、PDP前面板100上の任意の位置に移動し、測定することが可能な回転補償子型分光エリプソメータ102、解析用PC103、データ保存用PC104を備えている。なお、分光エリプソメータの機構、機能、原理等については、既に多くの文献が公開されている(例えば、「藤原裕之著:分光エリプソメトリー、丸善株式会社、2003年」参照)ので、ここでは簡単な説明にとどめる。
本発明の実施の形態のPDPの検査方法について、図3に示したPDP前面板上に形成された保護層の検査フローを示す流れ図の光学モデル構築ステップで、図6のような多層膜構造に変形して設定する例を実施例2として説明する。実施例2においても、図2に示した検査装置を用いて、図3に示したPDP前面板上に形成された保護層の検査フローを示す流れ図を適用するものとする。また、実施例2において、ステップS1とステップS2の手順は実施例1における手順と同じであるので、説明を省略する。
2 アドレス電極
3,9 誘電体層
4 隔壁
5 蛍光体層
6 前面基板
7 透明電極
8 バス電極
10 保護層(保護膜)
11 表示電極
12 放電セル
20 PDP(プラズマディスプレイパネル)
21 検査装置
100 PDP前面板
101 ステージ
102 分光エリプソメータ
103 解析用PC
104 データ保存用PC
Claims (8)
- 複数の表示電極を形成するとともに前記表示電極を誘電体層、およびMgを主成分とする酸化膜からなり柱状構造を有する保護層で覆った前面板と、放電空間が形成されるように前記前面板に対向配置されかつ前記表示電極と直交する方向に形成したアドレス電極を形成するとともに前記放電空間を区画する隔壁間に蛍光体層を形成した背面板とを備え、前記放電空間に放電ガスが充填されエージング処理がなされるプラズマディスプレイパネルの検査方法であって、
前記保護層を形成し且つ前記エージング処理を行う前の前面板の分光測定を行い、この分光測定により得られた光強度からΔ、ψの波長分散波形を算出すると共に、多層膜構造について光学モデルを設定し、この光学モデルから分散式を用いてΔ、ψの波長分散波形を作成し、この作成された波長分散波形と測定によって得られた波長分散波形との比較を行い、フィッティング誤差を算出して評価し、このフィッティング誤差が最小となる光学モデルを採用し、次に、後工程のエージング処理においてスパッタリング除去されると予測される膜厚分を考慮した光学モデルを設定し、最表層はスパッタリング除去されると予測される膜厚を設定し、その下層の部分の膜厚および光学定数を、フィッティング誤差からシミュレーション波形と実測波形がよく一致すると判断して決定した光学モデルの採用で得られた分散式から求めることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの検査方法。 - 前記最表層の膜厚が前記保護層の前記最表層の空隙率から計算されることを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの検査方法。
- 前記最表層の膜厚が前記保護層の前記最表層の屈折率から計算されることを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの検査方法。
- 前記最表層より下層の部分の光学定数が屈折率であることを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの検査方法。
- 前記最表層より下層の部分の光学定数が消衰係数であることを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの検査方法。
- 前記Mgを主成分とする酸化膜の検査には分光エリプソメータを用いることを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの検査方法。
- 分光範囲が可視領域と紫外線領域の両方を含んだものであることを特徴とする請求項6に記載のプラズマディスプレイパネルの検査方法。
- 分光範囲が波長250nmから800nmの領域を含んだものであることを特徴とする請求項6に記載のプラズマディスプレイパネルの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005142666A JP4852881B2 (ja) | 2005-05-16 | 2005-05-16 | プラズマディスプレイパネルの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005142666A JP4852881B2 (ja) | 2005-05-16 | 2005-05-16 | プラズマディスプレイパネルの検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006317390A JP2006317390A (ja) | 2006-11-24 |
JP4852881B2 true JP4852881B2 (ja) | 2012-01-11 |
Family
ID=37538178
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005142666A Expired - Fee Related JP4852881B2 (ja) | 2005-05-16 | 2005-05-16 | プラズマディスプレイパネルの検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4852881B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0918043B8 (de) * | 1997-11-20 | 2005-11-23 | Applied Films GmbH & Co. KG | Mit mindestens einer MgO-Schicht beschichtetes Substrat |
JP2004199917A (ja) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
JP4344197B2 (ja) * | 2003-08-26 | 2009-10-14 | パナソニック株式会社 | 絶縁膜測定装置、絶縁膜測定方法及び絶縁膜評価装置 |
-
2005
- 2005-05-16 JP JP2005142666A patent/JP4852881B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006317390A (ja) | 2006-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7535178B2 (en) | Plasma display panel | |
JP2009509356A (ja) | 基板温度決定装置およびその決定方法 | |
US20110101857A1 (en) | Organic el display and method of manufacturing the same | |
KR20030077443A (ko) | 유기 전기발광 소자에 사용되는 유기 박막의 막 두께 측정방법 및 측정 장치 | |
US7598664B2 (en) | Gas discharge display apparatus | |
US8023189B2 (en) | Retardation compensation element and manufacturing method of the same | |
JP4852881B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルの検査方法 | |
US8163085B2 (en) | Method and apparatus for forming protective layer | |
JP2006277987A (ja) | 有機電界発光素子のシミュレーション方法およびその装置 | |
JP2007324077A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
JP4631550B2 (ja) | プラズマディスプレイパネル、保護膜およびプラズマディスプレイパネルの検査方法 | |
KR101072941B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 | |
US7764017B2 (en) | Plasma display panel | |
JP2004199917A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
JP2008147061A (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP4876665B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP4747921B2 (ja) | Pdp用基板の欠陥検査方法 | |
JP2005353455A (ja) | プラズマディスプレイパネル | |
Ha et al. | Characteristics of phosphor degradation in AC-driven plasma display panels | |
JP4788227B2 (ja) | プラズマディスプレイパネル | |
JP2009271001A (ja) | 基板表面欠陥検査方法,基板表面欠陥検査装置 | |
TW578194B (en) | Measurement method of dielectric thickness and device thereof | |
KR101333611B1 (ko) | 러빙 검사 장치 및 이를 이용한 러빙 검사 방법 | |
US20070188097A1 (en) | Phosphor layer and plasma display panel using the same | |
JP4967457B2 (ja) | プラズマディスプレイパネル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080304 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20080414 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100907 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110412 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110613 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110927 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111010 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141104 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141104 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |