KR101333611B1 - 러빙 검사 장치 및 이를 이용한 러빙 검사 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 러빙이 완료된 배향막을 갖는 기판에 있어 상기 러빙된 배향막 위로 액정층을 형성하는 단계와; 상기 액정층을 갖는 기판을 러빙 검사 장비를 통해 리타데이션 값을 측정하는 단계와; 상기 측정된 리타데이션 값이 오차 범위 내인가를 확인하여 러빙 불량 유무를 판별하는 단계를 포함하는 러빙 검사 방법을 제공함으로써 종래의 검사자의 능력에 따라 그 결과가 달라지는 등의 러빙 검사의 불명확성이 제거되며, 나아가 수치적으로 정량화된 데이터를 통해 불량유무를 판별하게 되는 바, 안정적인 러빙 검사를 진행하는 효과가 있다.

Description

러빙 검사 장치 및 이를 이용한 러빙 검사 방법{Apparatus for inspecting the rubbing state on alignment layer forming on substrate and inspecting method using the same}

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 액정표시장치용 기판의 러빙 검사를 위한 러빙 검사장치 및 이를 이용한 러빙 검사 방법에 관한 것이다.

최근 정보화 사회로 시대가 급발전함에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판 표시 장치(flat panel display)의 필요성이 대두되었다.

이러한 평판 표시 장치는 스스로 빛을 발하느냐 그렇지 못하냐에 따라 나눌 수 있는데, 스스로 빛을 발하여 화상을 표시하는 것을 발광형 표시장치라 하고, 그렇지 못하고 외부의 광원을 이용하여 화상을 표시하는 것을 수광형 표시장치라고 한다. 발광형 표시장치로는 플라즈마 표시장치(plasma display panel)와 전계 방출 표시장치(field emission display), 전계 발광 표시 장치(electro luminescence display) 등이 있으며, 수광형 표시 장치로는 액정표시장치(liquid crystal display)가 있다.

이중 액정표시장치가 해상도, 컬러표시, 화질 등이 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터에 활발하게 적용되고 있다.

액정표시장치는 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 두 전극이 형성되어 있는 면이 서로 대향하도록 배치하고, 두 기판 사이에 액정을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자를 움직여 빛의 투과율을 조절하여 화상을 표현하는 장치이다.

이러한 액정표시장치용 액정패널은 화소전극과 스위칭 소자인 박막 트랜지스터가 각 화소별로 형성되는 어레이 기판을 제조하는 공정과 상기 어레이 기판과 대향되어 공통전극 및 적, 녹, 청색의 컬러가 각 화소에 대응하여 형성되는 되어 있는 컬러필터 기판을 제조하는 공정과 상기 두 공정을 통해 제작된 어레이 기판과 컬러필터 기판 사이에 액정을 주입한 후, 합착하는 일련의 공정을 진행하여 완성된다.

액정패널 제조공정은 셀 공정이라고 칭하며, 상기 셀 공정은 박막 트랜지스터가 배열된 어레이 기판과 컬러필터가 형성된 컬러필터 기판에 액정을 한 방향으로 배향시키기 위한 배향공정과 두 기판을 합착시켜 일정한 갭(Gap)을 유지시키기 셀 갭(cell gap) 형성공정, 셀 절단(cutting) 공정, 액정주입 공정으로 크게 나눌 수 있다.

이러한 액정패널을 형성하기 위한 많은 공정 중 배향공정에 대해 좀 더 자세히 설명한다.

배향공정은 배향막 형성공정과 러빙 공정으로 나뉘며, 배향막 형성 공정으로서 박막 트랜지스터가 각 화소별로 배열된 어레이 기판과 상기 어레이 기판의 화소에 대응하여 적, 녹, 청색 컬러필터가 형성된 컬러필터 기판에 고분자 물질인 폴리이미드(Polyimide)를 코팅하여 배향막을 형성하는 것이다. 어레이 기판 및 컬러필터 기판의 전면에 균일한 두께로 주로 롤 코팅 방식에 의해 일정 패턴을 갖도록 상기 폴리이미드인 배향막을 인쇄한다. 이후, 상기 배향막이 인쇄된 두 기판은 예비 건조 및 소성 과정을 진행하여 경화된 배향막을 형성하게 된다.

다음, 배향공정의 두 번째 단계로써 상기 경화된 배향막이 형성된 상부 및 하부기판에 대해 러빙공정을 진행한다. 상기 경화된 배향막 표면을 일방향으로 정렬된 결을 갖는 천이 감긴 롤러를 빠르게 회전시키며 상기 배향막 표면에 대해 압력과 속도로 마찰시켜 진행시킴으로써 상기 배향막 표면의 고분자 사슬을 일정한 방향으로 정렬시킨다. 상기 러빙은 액정의 초기 배열방향을 결정하는 주요한 공정으로, 정상적인 액정의 구동과 균일한 디스플레이(Display)특성을 갖게 한다.

이러한 러빙 공정을 진행한 기판은 러빙이 균일하게 되었는지 확인하기 위해 러빙 검사를 진행하게 되는데, 이 경우 통상적으로 도 1a 및 1b에 도시한 바와같이, 순수(DI)와 CDA(clean dry air)를 공급받아 이를 응축함으로써 수증기(22)를 발생시키는 수증기 발생 장치(20)를 이용하여 상기 러빙된 기판(10) 표면에 수증기(22)를 분사시킴으로써 상기 기판(10)의 배향막 상에 수증기가 맺힌 상태에서 상기 기판(10)의 하부에 위치하는 램프(미도시)에 의해 조사된 빛을 이용하여 산란된 정도를 관찰하는 육안 검사를 실시함으로써 진행되고 있다.

이러한 수증기(22)를 이용한 러빙 검사는 도 1a와 같이 수증기(22)를 분무하는 단계에서는 검사자의 시야 및 램프(미도시)로부터 조사된 빛이 상기 수증기(22)에 의해 가려지게 되므로 검사를 실시할 수 없는 바, 수증기(22)를 기판(10) 표면에 분사시킨 후, 기판(10) 상에 상기 수증기가 맺힌 상태에서 상기 수증기기 맺힌 부분(A1)에 대해서 육안 검사를 진행하게 된다.

하지만, 이 경우 기판(10)상에 수증기(22)가 맺힌 상태를 유지하는 시간은 통상적으로 10초 미만이 되며, 따라서 검사자는 10초 동안 러빙 불량이 발생했는가를 조사해야하며, 10초가 지난 후에는 기판(10) 표면에서 수증기(22)가 제거되는 바, 다시 수증기(22)를 분사시킨 후 러빙 상태의 검사를 실시해야 한다.

더욱이 수증기(22)가 기판(10)상에 남아있는 상태에서 러빙 불량을 발견한다 하여도 수증기(22)가 제거되면 러빙 불량 발생된 곳도 함께 사라지게 되는 바, 이후 러빙 불량이 발생한 정확한 위치를 파악하기 힘들어지는 문제가 있다.

또한, 상기 수증기(22)를 이용한 러빙 검사는 수증기 발생장치(20)를 이용하여 수증기(22)를 기판(10) 상에 분사 시, 수증기 뿐 아니라 물방울이 튀게되는 물튐 현상이 발생함으로써 배향막(미도시)의 손상을 초래하며, 수증기(22)에 노출 시 대기중의 이물이 상기 수증기(22)에 포획되어 기판(10)상에 흡착됨으로써 이물에 의한 불량을 초래하는 문제가 발생하고 있다.

또한 이러한 수증기(22)를 이용한 러빙 검사의 경우 빛의 산란된 정도를 가지고 불량 여부를 결정하게 되는 바, 러빙시 미세한 불량에 대해서는 확인이 불가능하며, 검사자의 검사 능력에 의해서 검사의 효율성 및 정확성이 결정되므로 미숙련된 검사자에 의해서는 러빙 불량을 검출시키지 못함으로써 불량 발생 시 전수 불량을 야기하는 러빙 공정 특성 상 대량의 불량을 초래할 가능성이 있다.

상기 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에서는 검사자의 능력에 의존하거나 정량화를 할 수 없는 수증기를 이용한 러빙 상태 검사를 대체하여 검사자의 능력에 관계없이 정량화된 데이터를 통해 불량 유무를 판단할 수 있는 러빙 검사 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 실시예에 따른 러빙 검사 방법은, 러빙이 완료된 배향막을 갖는 기판 상의 상기 러빙이 완료된 배향막 위로 액정층을 형성하는 단계와; 상기 액정층이 형성된 상기 기판을 러빙 검사 장치를 통해 리타데이션 값을 측정하는 단계와; 상기 측정된 리타데이션 값이 오차 범위 내인가를 확인하여 러빙 불량 유무를 판별하는 단계를 포함한다.

이때, 상기 액정층은 단일액정(single LC)으로 형성된 것이 특징이다.

또한, 상기 액정층은 열증착에 의해 형성하는 것이 특징이며, 이때 상기 액정층은 그 두께가 10Å 내지 20Å인 것이 특징이며, 또한 이때, 상기 열증착에 의한 액정층을 형성하는 단계는, 상기 기판을 액정 증착 장비의 챔버 내에 상기 배향막이 지면을 향하도록 위치시키는 단계와; 상기 배향막과 마주하며 위치한 액정을 가열함으로써 상기 액정을 기화시키는 단계를 더욱 포함하며, 상기 액정의 기화는 상기 챔버 내 구비된 핫 플레이트의 가열에 의해 이루어지는 것이 특징이며, 또한, 상기 챔버는 진공의 분위기의 형성이 가능한 진공챔버로 이루어짐으로써 상기 액정 끊는점을 낮추어 액정의 기화가 일반 대기분위기에서 보다 낮은 온도 범위에서 이루어지도록 하는 것이 특징이다.

또한, 상기 측정된 리타데이션 값이 오차 범위 내인가를 확인하여 러빙 불량 유무를 판별하는 단계는, Δn·d = λ·m ( m=1,2,3...) (d는 셀갭(액정층 두께), λ는 입사된 광의 파장, Δn은 액정의 굴절율 이방성)라 정의 된 식에 입각하여 상기 러빙 검사 장치를 통해 측정된 파장 값이 상기 식을 파장에 대해 정리된 식으로 변환하여 계산된 값의 오차범위 내에 속하는 지를 확인하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 러빙 검사장치는, 기판을 장착하기 위한 기판 장착 수단과; 상기 기판장착 수단 하부에 위치하는 편광자와; 상기 기판 장착 수단 상부에 위치하는 검광자와; 상기 검광자 상부로 빛의 파장을 측정하는 검출기와; 상기 편광자 하부에 특정 파장대의 광을 조사하는 조광수단과; 상기 검출기와 연결되어 검출된 빛의 파장 정보와 측정된 곳의 위치 정보를 저장하는 처리장치를 포함하며, 상기 기판은 액정층이 형성된 기판인 것이 특징이다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따라 측정장비를 통해 러빙 검사를 진행할 수 있도록 함으로써 검사자의 능력에 따라 그 결과가 달라지는 등의 러빙 검사의 불명확성이 제거되며, 나아가 수치적으로 정량화된 데이터를 통해 불량유무를 판별하게 되는 바, 안정적인 러빙 검사를 진행하는 효과가 있다.

검사자를 통한 육안검사로써 진행 시 본 발명에서 제안한 러빙 검사의 경우, 불량 유무 확인이 용이하며, 시간적 제한이 없이 계속적으로 검사를 진행할 수 있는 바, 기판 표면 관찰에 집중할 수 있게 됨으로써 육안 검사의 정확성 등이 상승되는 효과가 있다.

도 1a 및 1b는 종래의 액정표장치용 기판의 러빙 검사 방법을 도시한 단계별 도면.
도 2a 및 2b는 본 발명의 액정표장치용 기판의 러빙 검사 방법을 도시한 단계별 도면.
도 3은 본 발명에 따른 액정표장치용 기판의 러빙 검사 방법(육안검사)의 도면.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.

본 발명에 따른 러빙 검사는 러빙 상태를 특정 장비를 이용하여 특정 값(리타데이션값)을 측정하여 정량화가 가능하도록 함에 특징이 있으며, 이러한 리타데이션(retardation) 측정장비를 통해 러빙 상태 정도를 수치화함으로써 검사자의 관찰 능력에 의존하는 종래의 러빙 검사를 개선한 것을 특징으로 한다.

이러한 본 발명에 따른 러빙 검사는 특성상 선처리되어야 할 단계가 있으며, 리타데이션 측정을 위해서는 복굴절 특성을 갖는 액정층이 형성되어야 하는 바, 러빙 후 기판상에 액정층을 형성하는 단계를 진행하여야 한다.

이러한 러빙 검사전 액정층 형성에 대해 우선 도면을 참조하여 설명한다.

도 2a와 도 2b는 본 발명의 일실시예 따른 러빙 검사를 실시하기 단계를 도시한 도면이다.

도 2a에 도시한 바와 같이, 배향공정을 진행하여 고분자 물질 예를들면 폴리이미드 등의 고분자 물질을 도포하여 배향막(115)을 형성하고, 이를 경화시킨 후 러빙 공정을 실시한 기판(110)을 진공 챔버(130)내의 스테이지(131) 상에 위치하도록 이동시킨다.

다음, 상기 진공 챔버(130)내의 스테이지(131) 상에 위치한 기판(110)을 진공 흡착함으로서 상기 스테이지(131)에 완전 밀착되도록 한 후, 상기 스테이지(131)를 반전시킴으로써 상기 기판(110)상에 형성된 배향막(115)이 상기 진공 챔버(130) 내부에서 지면을 향하도록 위치하도록 한다.

이후, 상기 진공챔버(130)내의 상기 기판(110) 하측에 그 표면을 적당한 온도로 가열할 수 있는 핫 플레이트(133)와 그 상부에 액정(139)을 담은 정반(136)을 구비한 후, 상기 핫 플레이트(133)를 적정 온도(60℃ 내지 300℃)로 가열시킴으로써 상기 정반(136)에 담겨있는 액정(139)이 기화되도록 함으로써 상기 러빙 처리된 배향막(115) 상에 증착되도록 하여 소정 두께를 갖는 액정층을 한다.

이때 본 발명에 사용되는 상기 액정(139)은, 통상적으로 이용되는 점도, 상전이 온도, 구동전압, 점도, 굴절율 이방성 및 유전율 이방성 등의 복합적 특성을 만족시키기 위해 수십 종류의 각각 특성을 달리하는 단일액정을 혼합한 혼합액정도 이용할 수 있겠으나, 이는 단가 등이 비싼편이며 본 발명의 특성상 제품의 품질에 영향을 미치는 것이 아닌 바, 굴절율 이방성 특성을 갖는 단일액정(single LC)인 것이 바람직하다. 이러한 단일액정(single LC)의 일례로써 PCH(phenyl cyclo hexane)를 들 수 있으며, 이런 단일액정(single LC)은 전술한 여러 특성을 만족시키기 위해 10-20가지 이상의 단일액정(single LC)들을 혼합한 혼합액정 대비 그 비용이 저렴하므로 검사 용도로서 이용하기에는 적당하다 할 것이다.

또한, 상기 단일액정(single LC)을 가열하여 기화시킴으로써 형성된 즉 열증착에 의해 배향막(115) 상에 형성된 액정층(120)은 그 두께(t)가 10Å 내지 20Å정도인 것이 바람직하다.

이러한 열증착에 의한 물질층의 형성은 비교적 기판 전면에 대해 고른 두께를 갖도록 하며, 증착 시간을 조절함으로써 도포 또는 코팅의 방법보다 훨씬 얇고 균일성이 우수한 고른 두께의 물질층을 형성할 수 있는 것이 특징이다.

이때 상기 액정의 기화하여 증착시키는 챔버(130)는 진공의 분위기를 형성할 수 있는 진공챔버(130)인 것이 바람직하다. 이는 일반 대기에서 상기 액정(139)을 기화시키기 위해서는 끊는점 이상이 되도록 즉, 200℃ 내지 300℃ 정도로 상기 액정을 가열해야 하지만, 이를 진공의 분위기에서 진행할 경우 액정의 끓는점을 60℃ 내지 150℃ 정도로 낮출 수 있기 때문이다. 액정(139)은 고온에 장시간 노출 시 액정(139) 본연의 특성이 저하되는 경향을 가지며, 이러한 가열에 의한 액정(139) 특성 저하를 진공챔버(130) 내에서 진공의 분위기에서 비교적 낮은 온도에서 가열하여 기화시킴으로써 방지할 수 있는 것이다.

한편, 전술한 바와 같은 두께(t)를 갖도록 액정층(120)을 형성하는 것 대신에 통상적인 액정패널 내에 주입되는 액정층의 두께인 2㎛ 내지 4㎛로 형성할 경우, 열증착 특성상 그 진행 시간이 많이 걸리며, 액정은 점도를 갖는 액체 상태이므로 두껍게 형성할 경우 흘러내림 등이 발생하는 바, 이러한 모든 점을 감안할 때, 10Å 내지 20Å정도의 두께(t)를 갖도록 액정층(120)을 형성하는 것이 실험적으로 가장 바람직하였다.

다음, 10Å 내지 20Å정도의 두께(t)를 가지며 형성된 액정층(120)을 갖는 기판(110)을 상기 진공챔버(130)내에서 배출시킨 후, 리타데이션(retardation) 측정이 가능한 셀갭 측정장비(150)로 이동시킨다.

도 2b에 도시한 바와같이, 셀갭 측정장비(150)의 내부는 액정층(120)이 구비된 기판(110) 하부에 편광자(153)가 구비되어 있고, 상기 기판(110) 상부에는 상기 편광자(153)와 직교하는 검광자(156)가 구비되어 있으며, 상기 검광자(156) 상부에는 검출기(159)가 구비되어 있다.

이러한 구성을 갖는 셀갭 측정장비를 이용하여 측정할 경우, 상기 기판(110)의 러빙 방향을 기준으로 상기 편광자(153)의 편광축이 θ만큼, 상기 검광자(156)의 편광축이 r만큼의 차이를 갖는다고 가정한다.

이러한 상태에서 상기 편광자(153)의 하부에서 특정 파장대의 값을 갖는 광(주로 헬륨-네오듐 레이저)을 조사하면 상기 조사된 광이 상기 기판(110) 내부를 통과하며 액정 특성상 회전 편광된 상태가 되며, 이러한 회전 편광된 광이 검광자(156)를 통해 상기 검출기(159) 내부로 입사됨으로써 셀갭 측정을 하게 된다.

이때 통상적인 셀갭은,

라 정의되며,

여기서 d는 셀갭(액정층 두께), λ는 입사된 광의 파장, Φ는 액정패널 구현시 하부기판과 상부기판의 러빙 방향의 차이(본 발명의 경우 0의 값을 갖는다), Δn은 액정의 굴절율 이방성이 된다.

이 식을 정의하면, Δn·d = λ·m ( m=1,2,3...)이 되며, 검출기를 통해 측정된 광의 파장 값에 변화가 있다면, Δn·d값의 변화가 있는 것이 되며, 이 경우, 셀갭 d는 10Å 내지 20Å의 값을 갖는 바, 이러한 셀갭 변화를 감안하여 액정층(120)의 위치별 Δn의 변화정도를 측정함으로써 이를 근거로 위치별 러빙 불량을 검출할 수 있게 된다.

즉, 본 발명에 따른 액정층(120) 내의 액정분자들은 상기 액정층(120)이 러빙된 배향막(115) 상에 형성되며 전계가 인가되지 않은 상태이므로 동일한 방향으로 배열되어 있으며, 이 경우 굴절율 이방성 Δn 값은 기판(110) 전면에 대해 동일한 값을 가져야 한다. 따라서 Δn·d값은 d값의 오차범위에 Δn를 곱한 값의 범위 내에 있어야 하며, 검출기(159)로 측정한 파장의 변화에 대해 전술한 식을 바탕으로 계산했을 경우, 이러한 범위를 벗어난 값이 있다면 복굴절 이방성(Δn )의 값이 차이가 발생한 것이며, 이는 러빙 상태의 불량이 발생하여 액정층(120) 내의 액정분자가 타영역과 비교하여 다른 방향으로 위치하거나 경사각이 더욱 큰값을 갖거나 또는 작은 값을 갖게 되었음을 알리는 지표가 되며 이는 러빙 불량을 의미하게 되는 것이다.

이 경우, 셀갭 측정 장치(150)는 검출기를 통해 측정된 파장값과 측정 포인트의 위치 정보를 알 수 있도록 이들 데이터를 저장 출력하기 위한 처리장치(162)를 더욱 구비하는 바, 기판(110)내의 러빙 불량의 위치까지도 명확히 알 수 있게 된다.

한편, 본 발명에 따른 소정 두께의 액정층을 형성한 것을 특징으로 하는 기판은 전술한 셀갭 측정기를 통해서 러빙 불량의 위치 및 불량 정도를 정량화할 수도 있지만, 러빙 후 검사자가 육안으로도 러빙상태를 검사할 수도 있다.

즉, 본 발명에 따른 러빙 후 액정층을 형성한 기판에 대해 육안 검사를 실시하는 것을 도시한 도면인 도 3을 참조하면, 전술한 러빙 처리된 배향막(115) 상에 소정 두께의 액정층(120)을 형성한 기판(110)에 대해 그 하면으로부터 램프 등을 통해 빛을 조사시켜 투과된 빛을 관찰하거나 또는 상기 액정층(120)에 직접 빛을 조사하여 반사된 빛을 관찰할 경우 액정층(120)에 의해 일관된 색의 빛이 관찰되어야 하나 일부 색차이가 나는 빛이 관찰될 경우 그 부분에 액정분자들의 배열이 잘 못된 것이며, 이는 러빙 불량이 발생하였음을 알 수 있게 된다.

본 발명의 경우 이러한 검사자를 통한 러빙 불량 검사에 있어서도 액정층이 마치 수증기처럼 일정 시간이 지나면 사라지거나 하는 등의 문제는 발생하지 않는바 수증기를 주기적으로 분사시키는 등의 부가적인 작업없이 육안검사를 안정적으로 실시할 수 있는 장점을 갖게 된다.

110 : 기판
115 : 배향막
120 : 액정층
130 : 진공챔버
131 : 스테이지
133 : 핫 플레이트
136 : 정반
139 : 액정

Claims (9)

1. 러빙이 완료된 배향막을 갖는 기판 상의 상기 러빙이 완료된 배향막 위로 액정층을 형성하는 단계와;
   상기 액정층이 형성된 상기 기판을 러빙 검사 장치를 통해 리타데이션 값을 측정하는 단계와;
   상기 측정된 리타데이션 값이 오차 범위 내인가를 확인하여 러빙 불량 유무를 판별하는 단계
   를 포함하는 러빙 검사 방법.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 액정층은 단일액정(single LC)으로 형성된 것이 특징인 러빙 검사 방법.
   
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 액정층은 열증착에 의해 형성하는 것이 특징인 러빙 검사 방법.
   
   
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 열증착에 의한 액정층을 형성하는 단계는,
   상기 기판을 액정 증착 장비의 챔버 내에 상기 배향막이 지면을 향하도록 위치시키는 단계와;
   상기 배향막과 마주하며 위치한 액정을 가열함으로써 상기 액정을 기화시키는 단계
   를 더욱 포함하는 것이 특징인 러빙 검사 방법.
   
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 액정의 기화는 상기 챔버 내 구비된 핫 플레이트의 가열에 의해 이루어지는 것이 특징인 러빙 검사 방법.
   
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 챔버는 진공의 분위기의 형성이 가능한 진공챔버로 이루어짐으로써 상기 액정 끊는점을 낮추어 액정의 기화가 일반 대기분위에서 보다 낮은 온도 범위에서 이루어지도록 하는 것이 특징인 러빙 검사 방법.
   
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 액정층은 10Å 내지 20Å의 두께로 형성된 것이 특징인 러빙 검사 방법.
   
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 측정된 리타데이션 값이 오차 범위 내인가를 확인하여 러빙 불량 유무를 판별하는 단계는,
   Δn·d = λ·m ( m=1,2,3...) (d는 셀갭(액정층 두께), λ는 입사된 광의 파장, Δn은 액정의 굴절율 이방성)
   라 정의 된 식에 입각하여 상기 러빙 검사 장치를 통해 측정된 파장 값이 상기 식을 파장에 대해 정리된 식으로 변환하여 계산된 값의 오차범위 내에 속하는 지를 확인하는 것을 특징으로 하는 러빙 검사 방법..
   
9. 러빙된 배향막과 상기 배향막 위로 열증착에 의한 액정층이 형성된 기판을 장착하기 위한 기판 장착 수단과;
   상기 기판장착 수단 하부에 위치하는 편광자와;
   상기 기판 장착 수단 상부에 위치하는 검광자와;
   상기 검광자 상부로 빛의 파장을 측정하는 검출기와;
   상기 편광자 하부에 특정 파장대의 광을 조사하는 조광수단과;
   상기 검출기와 연결되어 검출된 빛의 파장 정보와 측정된 곳의 위치 정보를 저장하는 처리장치
   를 포함하며, 상기 처리장치를 통해 획득된 검출된 빛의 파장 정보는 상기 검출된 빛의 리타데이션 값을 포함하는 것이 특징인 러빙 검사 장치.

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