JP4844673B2 - Esd保護素子の製造方法 - Google Patents
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Description
基板上に所定の間隔をおいて形成された一対の電極と、該一対の電極間に形成された、樹脂中に導電性粒子を存在させてなるESD吸収部とを備えたESD保護素子の製造方法であって、
前記ESD吸収部を形成するプロセスが、
前記基板上に金属膜を成膜する工程と、
前記金属膜を熱処理し、前記金属膜を凝集させることにより、前記基板上に導電性粒子を形成する工程と、
前記基板上に前記一対の電極を形成する前に、または、前記基板上に前記一対の電極を形成した後に、前記導電性粒子上に樹脂を供給して、前記導電性粒子を前記樹脂により覆う工程と
を備えていることを特徴としている。
すなわち、薄い金属膜は熱処理により凝集して微細な導電性粒子を生じやすく、微細な導電性粒子を生成しやすい薄い金属膜は薄膜形成方法により効率よく形成することができる。
2 SiO2膜
3a,3b 一対の電極
4 樹脂
5,15 導電性粒子
5a Pt膜
6,16 ESD吸収部
7a,7b アンダーバンプメタル(UBM)
8a,8b 開口部
10,20 ESD保護素子
14,14a シリコーン樹脂
A ギャップ部分の間隔
B ギャップ部分の幅
G ギャップ部分
このように構成されたESD保護素子10は、微細な導電性粒子5が樹脂4中に均一に分散されたESD吸収部6を備えており、低い電圧で確実に動作し、かつ、動作の安定性にも優れている。
なお、基板1としては、サファイアなどの絶縁体基板を用いることも可能である。
ここで、熱処理前のPt膜5aの膜厚、熱処理温度、熱処理時間を制御することにより、導電性粒子(Pt粒子)5の粒径および粒子間隔を制御することができる。
また、基板1の表面を粗化したり、他の材料をコーティングしたりすることにより、導電性粒子5の粒径および粒子間隔を制御して、ESD保護素子10の放電特性を制御することができる。
なお、この実施例で形成した導電性粒子(Pt粒子)5の形成状態を、AFM(原子間力顕微鏡)を用いて調べた結果、導電性粒子(Pt粒子)5の粒径は、約50〜200nmであった。
また、導電性粒子5の間隔は約50〜100nmであって、分布の幅が後述の比較例のものと比べて小さくなっていることが確認された。
なお、この一対の電極3a,3bの間隔Aを調整することにより、放電開始電圧および静電容量を制御することができる。また、ギャップ部分Gの幅Bを調整することにより静電容量および放電電流を制御することができる。
そして、フォトリソグラフィー法により電極3a,3b上の不要なベンザオキサゾール膜を除去した後、300℃で30分間の熱処理を行い、ベンザオキサゾール膜を硬化させた。ここで、ポリイミドなどのベンザオキサゾール以外の樹脂を選択したり、フィラーを添加したりすることにより、異なる放電特性および静電容量特性を得ることが可能である。
また、ベンザオキサゾールは放電パスとしての機能だけでなく、機械的な強度を得るための保護膜としての機能も有している。
さらに、必要に応じて、耐湿性を向上させるためにベンザオキサゾール膜の上にSiN膜、SiO膜などを形成したり、機械的強度を高めるためにベンザオキサゾール膜の上に別の樹脂膜を形成したりしてもよい。
比較のため、以下の方法で、ESD保護素子(比較例)を作製し、その特性を調べた。
このESD吸収部16を断面観察したところ、導電性粒子(Al粒子)15の間隔は約0.5〜3μmであり、上記実施例1のESD保護素子10と比較して分布の幅が大きいことが確認された。
したがって、本発明は半導体装置などに用いられるESD保護素子の分野に広く適用することが可能である。
Claims (3)
- 基板上に所定の間隔をおいて形成された一対の電極と、該一対の電極間に形成された、樹脂中に導電性粒子を存在させてなるESD吸収部とを備えたESD保護素子の製造方法であって、
前記ESD吸収部を形成するプロセスが、
前記基板上に金属膜を成膜する工程と、
前記金属膜を熱処理し、前記金属膜を凝集させることにより、前記基板上に導電性粒子を形成する工程と、
前記基板上に前記一対の電極を形成する前に、または、前記基板上に前記一対の電極を形成した後に、前記導電性粒子上に樹脂を供給して、前記導電性粒子を前記樹脂により覆う工程と
を備えていることを特徴とするESD保護素子の製造方法。 - 前記導電性粒子を前記基板上に島状に形成することにより、前記基板上に前記導電性粒子を2次元的に分布させることを特徴とする請求項1記載のESD保護素子の製造方法。
- 前記基板上に成膜される金属膜が、薄膜形成方法により形成される金属薄膜であることを特徴とする請求項1または2記載のESD保護素子の製造方法。
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